JP3411374B2 - Temperature compensation method in leak test - Google Patents
Temperature compensation method in leak testInfo
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Description
【０００１】[0001]
【産業上の利用分野】本発明は、リークテストにおける
温度補償方法に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a temperature compensation method in a leak test.
【０００２】[0002]
【従来の技術】一般にリークテストでは、検査物と基準
容器にテスト圧力を付与した後で、この検査物と基準容
器を互いに独立して封止し、これら検査物と基準容器の
内圧の差を時間の変化でとらえる。そして、この差圧値
の変化が所定の変化より大きい場合には、検査物に漏れ
が生じたと判断して、この検査物を不良品として認定す
るのである。ところで、鋳物やプラスチック成型品から
なる検査物の製造ラインでは、成型後にあまり時間を置
かずにリークテストを行うことがある。この場合には、
検査物はまだ室温より高い状態にあるので、封止して差
圧値を測定している間に、検査物の温度が低下し、この
温度低下に伴って検査物の内圧が低下する。その結果差
圧値が増大してしまう。この差圧値の増大分をそのまま
判断基準にしたのでは、検査物に漏れが生じていると誤
判断してしまう。そこで、上記のような場合には、温度
補償を行う必要がある。従来では、基準容器と検査物の
温度を測定し、その測定温度差の変化に基づいて温度補
償値を決定し、上記リークテスト時の差圧値の変化分か
らこの温度補償値を差し引くことにより、検査物の漏れ
によって生じる差圧値を演算し、この差圧値に基づい
て、漏れの認否を行っている。2. Description of the Related Art Generally, in a leak test, after a test pressure is applied to an inspection object and a reference container, the inspection object and the reference container are sealed independently of each other, and a difference in internal pressure between the inspection object and the reference container is measured. Capture with changes in time. When the change in the differential pressure value is larger than the predetermined change, it is determined that the inspection object has leaked, and the inspection object is certified as a defective product. By the way, in a manufacturing line for inspected products such as castings and plastic molded products, a leak test may be performed without much time after molding. In this case,
Since the inspection object is still higher than room temperature, the temperature of the inspection object decreases while sealing and the differential pressure value is measured, and the internal pressure of the inspection object decreases as the temperature decreases. As a result, the differential pressure value increases. If the increased amount of the differential pressure value is directly used as the determination reference, it is erroneously determined that the inspection object has a leak. Therefore, in the above case, it is necessary to perform temperature compensation. Conventionally, the temperature of the reference container and the inspection object is measured, the temperature compensation value is determined based on the change in the measured temperature difference, and the temperature compensation value is subtracted from the change in the differential pressure value during the leak test, The differential pressure value caused by the leakage of the inspection object is calculated, and the leakage is determined based on this differential pressure value.
【０００３】[0003]
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記温
度測定には、次の欠点があった。第１に、検査物の形状
が複雑である場合に、どの部位の温度変化が内部圧力の
変動と密接な関係があるのかを探るのが困難である。第
２に、接触式の温度測定器具を用いる場合には、検査物
と密接に接触する部位を探さなければならず、この部位
が第１の条件を満たすとは限らない。第３に、接触式の
温度測定器具を用いる場合には、検査物毎に、同じ条件
で接触させるのは難しく、温度補償が正確に行われな
い。第４に、温度測定器具を必要とする分だけ、設備コ
ストが上がる。However, the above temperature measurement has the following drawbacks. First, when the shape of the inspection object is complicated, it is difficult to find out which part the temperature change has a close relation to the change of the internal pressure. Secondly, when a contact-type temperature measuring instrument is used, it is necessary to search for a portion that comes into close contact with the inspection object, and this portion does not always satisfy the first condition. Thirdly, when using a contact-type temperature measuring instrument, it is difficult to make contact under the same conditions for each inspection object, and temperature compensation is not performed accurately. Fourthly, the equipment cost is increased because the temperature measuring instrument is required.
【０００４】[0004]
【課題を解決するための手段】本発明は上記課題を解決
するためになされたものであり、請求項１では、検査物
と基準容器にテスト圧力を与えてそれぞれ独立して封止
し、検査物と基準容器との間に発生する差圧値の変化を
時間の経過でとらえ、この差圧値の変化に基づいて検査
物の漏れの有無を検査するリークテストにおいて、テス
ト圧力を付与して封止する前に、検査物および基準容器
のうち少なくとも検査物を大気圧で封止し、この大気圧
封止工程での差圧値の変化の仕方に基づいて温度補償値
を決定し、その直後に実行されるテスト圧封止工程での
時間経過に伴う差圧値変化分から上記温度補償値を差し
引くことにより、温度補償を行い、しかも、上記大気圧
封止工程において、所定周期毎に差圧値変化分を読み込
んで記憶しておき、上記テスト圧封止工程において、同
一周期で差圧値変化分を読み込むとともに、その度に温
度補償を行うことを特徴とする。請求項２では、上記大
気圧封止により差圧値がピーク値に到達した後に、差圧
値の変化を時間の経過でとらえ、この差圧値の変化分に
基づいて、上記温度補償値を決定することを特徴する。
請求項３では、上記大気圧封止による差圧値のピーク値
に基づいて、上記温度補償値を決定することを特徴とす
る。請求項４では、検査物と基準容器にテスト圧力を与
えてそれぞれ独立して封止し、検査物と基準容器との間
に発生する差圧値の変化を時間の経過でとらえ、この差
圧値の変化に基づいて検査物の漏れの有無を検査するリ
ークテストにおいて、テスト圧力を付与して封止する前
に、検査物および基準容器のうち少なくとも検査物を大
気圧で封止し、この大気圧封止工程での差圧値の変化の
仕方に基づいて温度補償値を決定し、その直後に実行さ
れるテスト圧封止工程での時間経過に伴う差圧値変化分
から上記温度補償値を差し引くことにより、温度補償を
行い、しかも、上記大気圧封止により差圧値がピーク値
に到達する前に、この差圧値の変化の勾配に基づいて、
上記温度補償値を決定することを特徴とする。SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made to solve the above problems. In claim 1, a test pressure is applied to an inspection object and a reference container to seal them independently. captures the change in differential pressure generated between the object and the reference container in the course of time, the leak test to check for leakage of the test substance based on a change in the differential pressure, by applying a test pressure Before sealing, at least the inspection object among the inspection object and the reference container is sealed at atmospheric pressure, and the temperature compensation value is set based on the manner of change of the differential pressure value in the atmospheric pressure sealing step. determined by subtracting the temperature compensation value from the differential pressure variation with time in the test pressure sealing step performed immediately thereafter, subjected to temperature compensation. Moreover, the atmospheric pressure
In the sealing process, the differential pressure value change is read in every predetermined cycle
Therefore, in the test pressure sealing process, the same
The differential pressure value change is read in one cycle, and the temperature is changed each time.
It is characterized by performing degree compensation . According to claim 2, after the differential pressure by the atmospheric pressure sealing reaches a peak value, captured over time the change in the differential pressure value, based on a change in the differential pressure, the temperature compensation value Characterize to decide.
According to a third aspect of the present invention, the temperature compensation value is determined based on the peak value of the differential pressure value due to the atmospheric pressure sealing. In claim 4, the test pressure is applied to the inspection object and the reference container.
Between the inspection object and the reference container
The change in the differential pressure value that occurs in the
A test to inspect for leaks based on changes in pressure value.
Before applying sealing test pressure and sealing
In addition, at least the inspection
Seal at atmospheric pressure to prevent changes in the differential pressure value during this atmospheric pressure sealing process.
Determine the temperature compensation value based on the method, and execute it immediately after that.
Change in differential pressure value over time in the test pressure sealing process
By subtracting the above temperature compensation value from
Moreover, before the differential pressure value reaches the peak value due to the atmospheric pressure sealing, based on the gradient of the change in the differential pressure value,
It is characterized in that the temperature compensation value is determined.
【０００５】[0005]
【作用】請求項１の発明において、検査物の温度が室温
より高い場合を例にとって説明する。検査物を大気圧で
封止した時、まず、検査物の内部空気が外部空気と完全
に遮断されるので、検査物からの熱により昇温し、これ
に伴い検査物の内圧が上昇する。そして、内部空気の温
度が検査物の温度と一致した後は、この検査物の温度低
下に伴って内部空気の温度も低下し、検査物の内圧も低
下する。これに対して、基準容器では大気圧で封止され
るか大気圧に解放されているか否かに拘わらず、その内
部空気圧は、大気圧に維持されている。したがって、基
準容器と検査物の内圧の差は、一時的に上昇した後で低
下するのである。この差圧値の変化のしかたは、検査物
の形状，大きさが同じであれば、検査物の初期温度にの
み依存するものである。したがって、上記大気圧封止時
の差圧値の変化のしかたに基づいて、リークテストのた
めの温度補償値を演算することができる。その結果、テ
スト圧でのリークテストにおいて生じた差圧値の変化分
からこの温度補償値を差し引くことにより、温度補償を
することができる。この温度補償は、温度測定器を用い
ないので設備コストを安くできる。しかも、検査物の特
定の部位の温度を測るのでないから、正確に検査物の温
度低下に基づく温度補償値を得ることができ、正確な温
度補償を行うことができる。請求項２では、大気圧封止
工程において、ピーク到達後における差圧値の変化を時
間の経過でとらえており、この差圧値の変化分は、テス
ト圧での検査物の温度変化に伴う差圧値の変化分と対応
するので、高精度の温度補償値を得ることができる。請
求項３では、大気圧封止後の差圧値のピーク値に基づい
て温度補償値を決定するので、ピーク値検出後のデータ
は必要でなくなり、テスト圧によるリークテスト時期を
早めることができる。請求項４では、上記大気圧封止後
に差圧値がピーク値に到達する前に、その変化の勾配に
基づいて、上記温度補償値を決定するので、差圧値がピ
ーク値に到達するのを待つ必要がなくなり、請求項３よ
りもさらに早くテスト圧によるリークテストを実行する
ことができる。In the invention of claim 1, the case where the temperature of the inspection object is higher than room temperature will be described as an example. When the inspection object is sealed at atmospheric pressure, first, the internal air of the inspection object is completely cut off from the external air, so that the temperature of the inspection object is raised by the heat from the inspection object, and the internal pressure of the inspection object is increased accordingly. Then, after the temperature of the internal air matches the temperature of the inspection object, the temperature of the internal air also decreases as the temperature of the inspection object decreases, and the internal pressure of the inspection object also decreases. On the other hand, the internal air pressure of the reference container is maintained at the atmospheric pressure regardless of whether the reference container is sealed at the atmospheric pressure or released to the atmospheric pressure. Therefore, the difference between the internal pressures of the reference container and the inspection object temporarily rises and then decreases. The method of changing the differential pressure value depends only on the initial temperature of the inspection object if the inspection object has the same shape and size. Therefore, the temperature compensation value for the leak test can be calculated based on the way the differential pressure value changes when the atmospheric pressure is sealed. As a result, the temperature compensation can be performed by subtracting the temperature compensation value from the change amount of the differential pressure value generated in the leak test with the test pressure. Since this temperature compensation does not use a temperature measuring device, the equipment cost can be reduced. Moreover, since the temperature of a specific part of the inspection object is not measured, the temperature compensation value based on the temperature decrease of the inspection object can be accurately obtained, and the accurate temperature compensation can be performed. According to the second aspect, in the atmospheric pressure sealing step, the change in the differential pressure value after reaching the peak is captured with the passage of time, and the change in the differential pressure value is accompanied by the temperature change of the test object at the test pressure. Since it corresponds to the amount of change in the differential pressure value, a highly accurate temperature compensation value can be obtained. In claim 3, since the temperature compensation value is determined based on the peak value of the differential pressure value after the atmospheric pressure sealing, the data after the peak value detection is unnecessary, and the leak test timing by the test pressure can be advanced. . In the present invention, since the temperature compensation value is determined based on the gradient of the change before the differential pressure value reaches the peak value after the atmospheric pressure sealing, the differential pressure value reaches the peak value. There is no need to wait, and the leak test by the test pressure can be executed earlier than in the third aspect.
【０００６】[0006]
【実施例】以下、本発明の一実施例を図面を参照して説
明する。図１において、共通通路１の一端（図中右端）
には２つの分岐通路２，３の一端が接続されている。こ
れら通路１〜３は、ブロック内に形成されるか、配管に
よって形成されている。共通通路１の他端（左端）に
は、エア圧力源４が接続されている。分岐通路２,３の
他端（右端）には、治具を介して基準容器５と検査物６
が接続される。DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS An embodiment of the present invention will be described below with reference to the drawings. In FIG. 1, one end of the common passage 1 (the right end in the drawing)
One end of two branch passages 2 and 3 is connected to. These passages 1 to 3 are formed in the block or by pipes. An air pressure source 4 is connected to the other end (left end) of the common passage 1. At the other ends (right ends) of the branch passages 2 and 3, a reference container 5 and an inspection object 6 are provided via a jig.
Are connected.
【０００７】上記共通通路１には、分岐通路２，３に向
かって順に、レギュレータ（減圧弁）７，圧力計８，二
位置三方型電磁弁９が、設けられている。分岐通路２，
３にはそれぞれ開閉型電磁弁１１，１２がそれぞれ設け
られている。この電磁弁１１，１２より下流側におい
て、分岐通路２，３は、圧力導入通路２ａ，３ａを介し
て差圧センサ１５の２つのポートにそれぞれ接続されて
いる。The common passage 1 is provided with a regulator (pressure reducing valve) 7, a pressure gauge 8, and a two-position three-way solenoid valve 9 in this order toward the branch passages 2 and 3. Branch passage 2,
Opening / closing solenoid valves 11 and 12 are respectively provided in the unit 3. On the downstream side of the solenoid valves 11 and 12, the branch passages 2 and 3 are connected to the two ports of the differential pressure sensor 15 via the pressure introduction passages 2a and 3a, respectively.
【０００８】上記差圧センサ１５は、内部にダイヤフラ
ムを有し、上記２つのポートからの圧力の差に応じたダ
イヤフラムの変形を電圧に変換して出力するものであ
る。この出力電圧は、増幅器１６で増幅され，図示しな
いアナログ・デジタルコンバータを介してマイクロコン
ピュータ２０に送られるようになっている。The differential pressure sensor 15 has a diaphragm inside, and converts the deformation of the diaphragm according to the difference in pressure from the two ports into a voltage and outputs the voltage. This output voltage is amplified by the amplifier 16 and sent to the microcomputer 20 via an analog / digital converter (not shown).
【０００９】上記構成において、基準容器５は、常に分
岐回路２に接続されている。図１に示すように、検査物
６が製造ラインから暖かいまま分岐回路３に接続された
時には、すべての電磁弁９，１１，１２がオフとなって
おり、検査物６，基準容器５は大気に解放されている。In the above structure, the reference container 5 is always connected to the branch circuit 2. As shown in FIG. 1, when the inspection object 6 is connected to the branch circuit 3 while being warm from the manufacturing line, all the solenoid valves 9, 11, 12 are off, and the inspection object 6 and the reference container 5 are in the atmosphere. Has been released to.
【００１０】以下、図２のタイムチャートと第３図のフ
ローチャートを参照して、上記装置により実行される大
気圧封止工程とテスト圧によるリークテスト工程を説明
する。マイクロコンピュータ２０では、電源オンにより
スタートし、スタートボタンのオンを待っている（ステ
ップ１００）。上記検査物６の接続後に、スタートボタ
ンを押すと、マイクロコンピュータ２０はこれに応答し
て、まず、大気圧封止工程を実行する。詳述すると、電
磁弁１１，１２をオンして閉じる（ステップ１０１）。
これにより、基準容器５と検査物６とが、大気圧Ｐａで
封止される。図２において、この封止開始時点をｔ0で
示す。マイクロコンピュータ２０は、上記大気圧封止開
始時点ｔ0から、差圧センサ１５からの差圧値を所定時
間間隔で読み込んで監視し、差圧値がピーク値に到達す
るのを待つ（ステップ１０２）。The atmospheric pressure sealing step and the leak test step by the test pressure executed by the above apparatus will be described below with reference to the time chart of FIG. 2 and the flowchart of FIG. The microcomputer 20 starts by turning on the power and waits for the start button to be turned on (step 100). When the start button is pressed after the inspection object 6 is connected, the microcomputer 20 responds to this by first executing the atmospheric pressure sealing step. More specifically, the solenoid valves 11 and 12 are turned on and closed (step 101).
As a result, the reference container 5 and the inspection object 6 are sealed at the atmospheric pressure Pa. In FIG. 2, this sealing start point is indicated by t 0 . The microcomputer 20 reads the differential pressure value from the differential pressure sensor 15 at predetermined time intervals from the atmospheric pressure sealing start time t 0 and monitors it, and waits until the differential pressure value reaches the peak value (step 102). ).
【００１１】上記大気圧封止時点ｔ0以後において、室
温状態にある基準容器５の内圧は大気圧に維持される。
これに対して、室温より高い温度の検査物６の内圧は図
２に示すように変動する。詳述すると、まず、検査物６
の内部空気が外部空気と完全に遮断されるので、封止直
後に内部空気が検査物６からの熱により昇温し、これに
伴い検査物６の内圧が急上昇し（曲線Ａ参照）、差圧値
も急上昇する。検査物６の内部空気の温度が検査物６の
温度と一致すると、検査物６の内圧の上昇が停止しピー
ク値（Ｐ0）に達し、差圧値もピーク値ΔＰｋに達す
る。ただしΔＰｋ＝Ｐ0ーＰａである。このピーク値到
達時点を図２においてｔ1で示す。マイクロコンピュー
タ２０では、差圧値がピーク値ΔＰｋに到達した時、タ
イマ計測を開始する（ステップ１０３）。After the atmospheric pressure sealing time point t 0 , the internal pressure of the reference container 5 in the room temperature state is maintained at the atmospheric pressure.
On the other hand, the internal pressure of the inspection object 6 at a temperature higher than room temperature fluctuates as shown in FIG. In detail, first, the inspection object 6
Since the internal air of is completely shut off from the external air, the internal air is heated by the heat from the inspection object 6 immediately after the sealing, and the internal pressure of the inspection object 6 is rapidly increased accordingly (see the curve A). The pressure value also rises sharply. When the temperature of the internal air of the inspection object 6 coincides with the temperature of the inspection object 6, the increase of the internal pressure of the inspection object 6 stops and reaches the peak value (P 0 ), and the differential pressure value also reaches the peak value ΔPk. However, ΔPk = P 0 −Pa. The time point at which this peak value is reached is indicated by t 1 in FIG. The microcomputer 20 starts the timer measurement when the differential pressure value reaches the peak value ΔPk (step 103).
【００１２】図２に示すように、検査物６の内圧は、ピ
ーク値到達後に、検査物６の温度低下に伴ってなだらか
に低下する（曲線Ｂ参照）。その結果、上記差圧値も緩
やかに低下する。マイクロコンピュータ２０では、ピー
ク値到達時点ｔ1から設定期間Ｔ0経過した時点ｔ2での
差圧値を読み込んで、差圧値のピーク値ΔＰｋから変化
分ΔＰ0を演算すると同時に、電磁弁１１，１２をオフ
にして開き、電磁弁９を介して検査物６と基準容器５と
を大気に解放する（ステップ１０４）。これにより、装
置は図１の状態に戻る。なお、大気解放時点は、封止開
始時点ｔ0から設定時間経過時点としてもよい。As shown in FIG. 2, after reaching the peak value, the internal pressure of the inspection object 6 gradually decreases as the temperature of the inspection object 6 decreases (see the curve B). As a result, the differential pressure value also gently decreases. The microcomputer 20 reads the differential pressure value at the time point t 2 when the set period T 0 has elapsed from the peak value reaching time point t 1 and calculates the change ΔP 0 from the differential pressure value peak value ΔPk, and at the same time, the solenoid valve 11 , 12 are turned off and opened to open the inspection object 6 and the reference container 5 to the atmosphere via the solenoid valve 9 (step 104). As a result, the device returns to the state shown in FIG. The atmosphere may be released at the time when the set time has elapsed from the sealing start time t 0 .
【００１３】上記大気封止工程で注意すべきは、図２の
曲線Ａ，Ｂで示す検査物６内圧の変化の仕方が、検査物
６の形状，大きさが同じであれば、漏れがないことを条
件として初期温度（大気圧封止開始時点ｔ0での温度）
のみに依存することである。したがって、例えば、検査
物６の内圧のピーク値Ｐ0（差圧値のピーク値ΔＰ
ｋ），設定期間Ｔ0での内圧の低下分ΔＰ0（差圧値の低
下分ΔＰ0）に基づいて次に述べるリークテストでの温
度補償を行えるのである。本実施例では、上記のように
して求めた差圧値の低下分ΔＰ0に基づいて後述の温度
補償を行う。Attention should be paid to the above atmospheric sealing step, as long as the shape and size of the inspection object 6 are the same in the way of changing the internal pressure of the inspection object 6 indicated by the curves A and B in FIG. Initial temperature (the temperature at the time t 0 when the atmospheric pressure sealing is started)
It depends only on. Therefore, for example, the peak value P 0 of the internal pressure of the inspection object 6 (the peak value ΔP of the differential pressure value
k), is to perform the temperature compensation in described next leak test on the basis of the decrease amount [Delta] P 0 of the internal pressure in the setting period T 0 (decrease amount [Delta] P 0 differential pressure value). In this embodiment, the temperature compensation described below is performed based on the decrease ΔP 0 of the differential pressure value obtained as described above.
【００１４】マイクロコンピュータ２０では、上記設定
期間Ｔ0の経過時点ｔ2から再びタイマ計測を開始し、所
定の短時間経過時点（図２においてｔ3で示す）でリー
クテストを開始する。すなわち、マイクロコンピュータ
２０により電磁弁９をオンにする（ステップ１０５）。
これにより、エア圧力源４からの高圧空気がレギュレー
タ７でテスト圧力Ｐｔになり、電磁弁９，１１，１２を
通って基準容器５および検査物６に付与される。その結
果、検査物６，基準容器５の内部圧力は急速に立ち上が
ってテスト圧力Ｐｔに達する。ここで、基準容器５，検
査物６をすぐに封止状態にはせず、テスト圧力Ｐｔの付
与状態を維持する。これは、平衡工程と称されている公
知の工程であり、テスト圧力Ｐｔの封入時点での圧力の
微小変動を回避するものである。なお、この時の、基準
容器５と検査物６との間の差圧値はゼロである。In the microcomputer 20, the timer measurement is restarted from the time point t 2 of the set period T 0 , and the leak test is started at a predetermined short time point (shown by t 3 in FIG. 2). That is, the microcomputer 20 turns on the solenoid valve 9 (step 105).
As a result, the high pressure air from the air pressure source 4 becomes the test pressure Pt by the regulator 7, passes through the solenoid valves 9, 11, 12 and is applied to the reference container 5 and the inspection object 6. As a result, the internal pressure of the inspection object 6 and the reference container 5 rises rapidly and reaches the test pressure Pt. Here, the reference container 5 and the inspection object 6 are not immediately put in the sealed state, but the applied state of the test pressure Pt is maintained. This is a known process called an equilibrium process, which avoids minute fluctuations in pressure at the time of filling the test pressure Pt. At this time, the differential pressure value between the reference container 5 and the inspection object 6 is zero.
【００１５】マイクロコンピュータ２０は、上記テスト
圧付与開始時点ｔ3から所定時間経過した時点ｔ4で、電
磁弁１１，１２をオンにして閉じ、検査物６，基準容器
５を互いに独立して封止する（ステップ１０６）。The microcomputer 20 turns on and closes the solenoid valves 11 and 12 at a time point t 4 when a predetermined time has elapsed from the time point t 3 at which the test pressure is applied, and the test object 6 and the reference container 5 are sealed independently of each other. Stop (step 106).
【００１６】上記封止後に、検査物６の内圧は、検査物
６の温度低下に伴ってなだらかに低下する（曲線Ｃ参
照）。マイクロコンピュータ２０では、上記設定期間Ｔ
0と同じ期間経過時点ｔ5での差圧値ΔＰ1を求める。上
述したように、封止開始時点ｔ4での差圧値はゼロであ
るから、この差圧値ΔＰ1は、設定期間Ｔ0での差圧値の
変化分ΔＰ1を表している。なお、より正確を期すため
に、ｔ5時点での差圧値からｔ4時点での差圧値を差し引
くことにより、差圧値の変化分ΔＰ1を求めても良い。
この直後に、すべての電磁弁９，１１，１２をオフにし
て、検査物６，基準容器５を再び大気圧に解放する（ス
テップ１０７）。After the above-mentioned sealing, the internal pressure of the inspection object 6 gradually decreases as the temperature of the inspection object 6 decreases (see the curve C). In the microcomputer 20, the set period T
The differential pressure value ΔP 1 at the time point t 5 when the same period as 0 has elapsed is obtained. As described above, since the differential pressure value at the sealing start time t 4 is zero, this differential pressure value ΔP 1 represents the change ΔP 1 of the differential pressure value in the set period T 0 . In order to be more accurate, the change ΔP 1 of the differential pressure value may be obtained by subtracting the differential pressure value at time t 4 from the differential pressure value at time t 5 .
Immediately after this, all the electromagnetic valves 9, 11, 12 are turned off, and the inspection object 6 and the reference container 5 are released again to the atmospheric pressure (step 107).
【００１７】ところで、上記リークテスト工程における
検査物６の内圧の低下の仕方は、テスト圧開始時点ｔ4
での検査物６の温度にのみ依存する。このｔ4時点での
温度は、検査物６の形状と大きさが同じである限り、大
気圧封止開始時点ｔ0での初期温度と、それからの経過
時間に依存する。上述の説明から明らかなように、この
経過時間はほぼ一定であるから、ｔ4時点での温度は、
大気圧封止時点ｔ0での初期温度にのみ依存することに
なる。したがって、テスト圧Ｐｔでの検査物６の内圧の
低下の仕方は、大気圧封止工程での、ピーク値到達時点
ｔ1からの低下の仕方と対応している。それ故、大気圧
封止工程での差圧値の低下分ΔＰ0に基づいて、マップ
から、リークテスト工程での検査物６の温度低下に伴っ
て生ずべき差圧値の変化分に相当する温度補償値Ｘを演
算することができる。この温度補償値Ｘを演算するため
のマップは、漏れのないことが確認された検査物６を用
いて作成されるものであり、この時の差圧値の変化分Δ
Ｐ1が温度補償値Ｘとなるのである。なお、差圧値の低
下分ΔＰ0が大きいほど温度補償値Ｘが大となることは
容易に理解できるところである。[0017] Incidentally, the way of reduction of the internal pressure of the test object 6 in the leak test process, the test pressure start time t 4
It depends only on the temperature of the inspection object 6 at. The temperature at the time point t 4 depends on the initial temperature at the atmospheric pressure sealing start time point t 0 and the elapsed time from that point as long as the shape and size of the inspection object 6 are the same. As is clear from the above description, since this elapsed time is almost constant, the temperature at time t 4 is
It depends only on the initial temperature at the atmospheric pressure sealing time point t 0 . Therefore, the way of decreasing the internal pressure of the inspection object 6 at the test pressure Pt corresponds to the way of decreasing from the time point t 1 at which the peak value is reached in the atmospheric pressure sealing step. Therefore, based on the decrease amount ΔP 0 of the differential pressure value in the atmospheric pressure sealing step, from the map, it corresponds to the change amount of the differential pressure value that should occur with the temperature decrease of the inspection object 6 in the leak test step. The temperature compensation value X to be calculated can be calculated. The map for calculating the temperature compensation value X is created by using the inspection object 6 confirmed to have no leakage, and the change Δ in the differential pressure value at this time is Δ.
P 1 becomes the temperature compensation value X. It can be easily understood that the temperature compensation value X increases as the decrease ΔP 0 of the differential pressure value increases.
【００１８】マイクロコンピュータ２０では、上記大気
圧封止工程での差圧値の低下分ΔＰ 0に基づいて温度補
償値Ｘを演算し（ステップ１０８）、上記テスト圧によ
るリークテスト工程での差圧値の変化分ΔＰ1からこの
温度補償値Ｘを差し引いて、検査物６での漏れに起因す
る差圧値の変化分ΔＰｘを演算する（ステップ１０
９）。そして、この変化分ΔＰｘを閾値αと比較し（ス
テップ１１０）、閾値α未満の時には良品を表すランプ
を点灯させ（１１１）、閾値α以上の時には不良品を表
すランプを点灯させる（１１２）。In the microcomputer 20, the atmosphere
Amount of decrease in differential pressure value ΔP in the pressure sealing process 0Temperature compensation based on
Compensation value X is calculated (step 108), and the above test pressure is used.
Change in differential pressure value in leak test process ΔP1From this
After subtracting the temperature compensation value X,
The change amount ΔPx of the differential pressure value is calculated (step 10
9). Then, this change ΔPx is compared with the threshold α (
Step 110), a lamp that indicates a non-defective product when the threshold value is less than α
Is turned on (111), and when it is equal to or greater than the threshold value α, the defective product is displayed.
The lamp is turned on (112).
【００１９】ところで、検査物６が漏れのない良品の場
合には、大気圧封止工程での差圧値低下分ΔＰ0も、テ
スト圧封止工程での差圧値変化分ΔＰ1も、検査物６の
温度低下にのみ起因するものであり、差圧値低下分ΔＰ
0に基づいて演算される温度補償値Ｘは差圧値変化分Δ
Ｐ1とほぼ等しいはずである。したがって、漏れに起因
する差圧値変化分Ｐｘはほぼゼロであり、良品判定ラン
プが点灯することになる。検査物６に漏れがある場合に
は、大気圧封止工程での検査物６の内圧のピーク値Ｐ0
も小さくなり、これに伴い大気圧封止工程での差圧値低
下分ΔＰ0も小さくなる。したがって、温度補償値Ｘも
小さくなる。これに対して、テスト圧封止工程での差圧
値変化分Ｐ1は正常な場合に比べて大きくなる。その結
果、演算されるΔＰｘは大きくなり、不良品ランプが点
灯することになる。By the way, when the inspection object 6 is a non-defective product, both the decrease ΔP 0 in the differential pressure value in the atmospheric pressure sealing step and the change ΔP 1 in the differential pressure value in the test pressure sealing step, It is caused only by the temperature decrease of the inspection object 6, and the differential pressure value decrease ΔP
The temperature compensation value X calculated based on 0 is the differential pressure value change Δ
It should be approximately equal to P 1 . Therefore, the differential pressure value change Px due to the leakage is almost zero, and the non-defective product determination lamp is turned on. When there is a leak in the inspection object 6, the peak value P 0 of the internal pressure of the inspection object 6 in the atmospheric pressure sealing step.
Becomes smaller, and accordingly, the amount of decrease ΔP 0 in the differential pressure value in the atmospheric pressure sealing step also becomes smaller. Therefore, the temperature compensation value X also becomes small. On the other hand, the differential pressure value change P 1 in the test pressure sealing step is larger than that in the normal case. As a result, the calculated ΔPx becomes large, and the defective lamp lights up.
【００２０】上記実施例において、テスト圧封止開始時
点から差圧値変化分ΔＰ1検出までの設定期間は、大気
圧封止時の設定期間Ｔ0より長くてもよい。この場合、
設定期間Ｔ1経過時の差圧値変化分ΔＰ2から差し引くべ
き温度補償値Ｘは、上記実施例より大きくなることは当
然である。また、上記実施例において、大気圧封止工程
での設定期間Ｔ0において、所定周期毎に差圧値低下分
を読み込んで記憶しておき、テスト圧封止工程におい
て、同一周期で差圧値変化分を読み込むとともに、その
度に温度補償演算，閾値との比較を行ってもよい。この
場合、比較的早期に良否判断がなされる。この方法は、
以下に述べる実施例にも適用できる。In the above embodiment, the set period from the start of the test pressure sealing to the detection of the differential pressure value change ΔP 1 may be longer than the set period T 0 at the atmospheric pressure sealing. in this case,
It goes without saying that the temperature compensation value X to be subtracted from the differential pressure value change ΔP 2 when the set period T 1 has elapsed is larger than that in the above embodiment. Further, in the above embodiment, in the set period T 0 in the atmospheric pressure sealing step, the amount of decrease in the differential pressure value is read and stored in every predetermined cycle, and in the test pressure sealing step, the differential pressure value in the same cycle is read. It is also possible to read the variation and perform temperature compensation calculation and comparison with the threshold value each time. In this case, the quality judgment is made relatively early. This method
It can also be applied to the embodiments described below.
【００２１】上述したように、大気圧封止状態での検査
物６の内圧の変化の仕方は初期温度に依存し、したがっ
て、内圧のピーク値Ｐ0，ひいては差圧値のピーク値Δ
Ｐｋも初期温度のみに依存する。したがって、このピー
ク値ΔＰｋに基づいて温度補償値Ｘをマップから求めて
もよい。この場合、温度補償値Ｘは、ピーク値ΔＰｋが
大きい程大きくなる。この実施例を、図４のタイムチャ
ートと図５のフローチャートに基づき説明する。なお、
図５のプログラムにおいて、図３のプログラムと共通の
ステップには同番号を付してその説明を省略する。ピー
ク値検出（ステップ１０２）後に、ピーク値ΔＰｋを記
憶し（ステップ１０３’）、その後大気解放する（ステ
ップ１０４’）。この大気解放時点ｔ2’（図４）は、
大気圧封止開始時点ｔ0から所定時間経過時点でもよい
し、ピーク値到達時点から所定時間経過時点でもよい。
ステップ１０８’では、ピーク値ΔＰｋに基づいて、温
度補償値Ｘを演算する。この実施例では、大気圧封止工
程においてピーク値到達時点ｔ1後のデータを必要とし
ないので、その後すぐに大気解放して大気圧封止工程を
終了させることができ、その結果、テスト圧によるリー
クテストの実施を早めることができる（図４において、
テスト圧付与開始時点ｔ3’，テスト圧封止開始時点
ｔ4’，差圧値変化分ΔＰ1を検出する時点ｔ5’を早め
ることができる）。As described above, the manner of changing the internal pressure of the inspection object 6 in the atmospheric pressure sealed state depends on the initial temperature. Therefore, the internal pressure peak value P 0 , and thus the differential pressure value peak value Δ.
Pk also depends only on the initial temperature. Therefore, the temperature compensation value X may be obtained from the map based on this peak value ΔPk. In this case, the temperature compensation value X increases as the peak value ΔPk increases. This embodiment will be described based on the time chart of FIG. 4 and the flowchart of FIG. In addition,
In the program of FIG. 5, steps common to those of the program of FIG. 3 are given the same numbers and their explanations are omitted. After the peak value is detected (step 102), the peak value ΔPk is stored (step 103 ′), and then the atmosphere is released (step 104 ′). This time t 2 '(Fig. 4) of releasing the atmosphere is
It may be a predetermined time after the atmospheric pressure sealing start time t 0 , or a predetermined time after the peak value is reached.
In step 108 ', the temperature compensation value X is calculated based on the peak value ΔPk. In this embodiment, since the data after the peak value reaching time t 1 is not required in the atmospheric pressure sealing process, it is possible to immediately open the atmosphere to terminate the atmospheric pressure sealing process. It is possible to accelerate the execution of the leak test by
The test pressure application start time t 3 ′, the test pressure sealing start time t 4 ′, and the time t 5 ′ at which the differential pressure value change ΔP 1 is detected can be advanced.
【００２２】また、大気圧封止開始からの差圧値の上昇
の勾配の変化に基づき、ピーク値到達時間前に上記ピー
ク値を予測してピーク値として書き込んでもよい。この
実施例では、図５のステップ１０２の代わりに、大気圧
封止開始から所定周期で差圧値を読み込むとともに、そ
の上昇勾配とその変化を演算するステップが実行され
る。そして、図５のステップ１０３’では、その勾配の
変化に対応したピーク値を演算して書き込む。この実施
例では、テスト圧によるリークテストをより早く行うこ
とができる。Further, the peak value may be predicted and written as the peak value before the peak value arrival time based on the change in the gradient of the increase of the differential pressure value from the start of the atmospheric pressure sealing. In this embodiment, instead of step 102 of FIG. 5, a step of reading the differential pressure value at a predetermined cycle from the start of atmospheric pressure sealing, and calculating the rising gradient and its change is executed. Then, in step 103 ′ of FIG. 5, a peak value corresponding to the change in the gradient is calculated and written. In this embodiment, the leak test by the test pressure can be performed earlier.
【００２３】本発明は上記実施例に制約されず種々の態
様が可能である。例えば、検査物が室温より低い場合に
も、本発明方法を適用することができる。また、テスト
圧力を負圧にしてもよい。さらに、大気圧封止工程にお
いて基準容器は封止しなくてもよい。The present invention is not limited to the above-mentioned embodiment and various modes are possible. For example, the method of the present invention can be applied even when the inspection object is lower than room temperature. Further, the test pressure may be a negative pressure. Furthermore, the reference container may not be sealed in the atmospheric pressure sealing step.
【００２４】[0024]
【発明の効果】以上説明したように請求項１の発明で
は、テスト圧によるリークテストに先立って大気圧封止
工程を実施し、この大気圧封止工程での差圧値の変化の
しかたに基づいて、リークテストのための温度補償を行
うことができる。そのため、温度測定器を用いないので
設備コストを安くできる。しかも、検査物の特定の部位
の温度を測るのでないから、正確に検査物の温度低下に
基づく温度補償値を得ることができ、正確な温度補償を
行うことができる。請求項２では、大気圧封止工程で差
圧値のピーク値に到達した後、差圧値の変化に基づいて
上記温度補償値を決定しており、高精度の温度補償値を
得ることができる。請求項３では、大気圧封止工程での
差圧値のピーク値に基づいて温度補償値を決定するの
で、テスト圧によるリークテストを早く実施することが
できる。請求項４では、上記大気圧封止工程で差圧値が
ピーク値に到達する前に、その差圧値の勾配に基づいて
上記温度補償値を決定するので、より一層早くテスト圧
によるリークテストを実行することができる。As described above, according to the invention of claim 1, the atmospheric pressure sealing step is carried out prior to the leak test by the test pressure, and the differential pressure value is changed in the atmospheric pressure sealing step. Based on this, temperature compensation for the leak test can be performed. Therefore, since the temperature measuring device is not used, the equipment cost can be reduced. Moreover, since the temperature of a specific part of the inspection object is not measured, the temperature compensation value based on the temperature decrease of the inspection object can be accurately obtained, and the accurate temperature compensation can be performed. In claim 2, after the peak value of the differential pressure value is reached in the atmospheric pressure sealing step, the temperature compensation value is determined based on the change in the differential pressure value, and a highly accurate temperature compensation value can be obtained. it can. According to the third aspect, since the temperature compensation value is determined based on the peak value of the differential pressure value in the atmospheric pressure sealing step, it is possible to quickly carry out the leak test with the test pressure. In the present invention, before the differential pressure value reaches the peak value in the atmospheric pressure sealing step, the temperature compensation value is determined based on the gradient of the differential pressure value. Can be executed.
【図１】本発明のリークテストに用いられる装置を示す
概略図である。FIG. 1 is a schematic view showing an apparatus used for a leak test of the present invention.
【図２】大気圧封止工程とその後に実行されるテスト圧
でのリークテスト工程での、検査物の内圧変化を示す図
である。FIG. 2 is a diagram showing changes in the internal pressure of an inspection object in an atmospheric pressure sealing step and a leak test step with a test pressure executed thereafter.
【図３】図２の工程をマイクロコンピュータで実行する
ためのプログラムのフローチャートである。FIG. 3 is a flowchart of a program for executing the steps of FIG. 2 by a microcomputer.
【図４】他の実施例を示す図２対応図である。FIG. 4 is a view corresponding to FIG. 2 showing another embodiment.
【図５】図４の工程を実行するためのプログラムを示す
フローチャートである。5 is a flowchart showing a program for executing the process of FIG.
５ … 基準容器 ６ … 検査物 １５ … 差圧センサ ２０ … マイクロコンピュータ 5 ... Standard container 6 ... Inspection item 15 ... Differential pressure sensor 20 ... Microcomputer
Claims (4)
それぞれ独立して封止し、検査物と基準容器との間に発
生する差圧値の変化を時間の経過でとらえ、この差圧値
の変化に基づいて検査物の漏れの有無を検査するリーク
テストにおいて、 テスト圧力を付与して封止する前に、検査物および基準
容器のうち少なくとも検査物を大気圧で封止し、この大
気圧封止工程での差圧値の変化の仕方に基づいて温度補
償値を決定し、その直後に実行されるテスト圧封止工程
での時間経過に伴う差圧値変化分から上記温度補償値を
差し引くことにより、温度補償を行い、 しかも、上記大気圧封止工程において、所定周期毎に差
圧値変化分を読み込んで記憶しておき、上記テスト圧封
止工程において、同一周期で差圧値変化分を読み込むと
ともに、その度に温度補償を行う ことを特徴とするリー
クテストにおける温度補償方法。1. A test pressure is applied to the inspection object and the reference container.
Each is sealed independently, and is sealed between the inspection object and the reference container.
The change in the differential pressure value that occurs is detected over time, and this differential pressure value
Leak that inspects for leaks based on changes in
In the test, Apply test pressureThen sealedBefore inspecting and standard
At least the inspection object in the container is sealed at atmospheric pressure, andBig
Barometric pressureTemperature compensation based on how the differential pressure value changes during the sealing process.
The test pressure to be executed immediately after determining the compensation value.Sealing process
The temperature compensation value can be calculated from the change in differential pressure value with the passage of time at
Temperature compensation by subtractingAnd then In addition, in the atmospheric pressure sealing step, the difference in
Read the change in pressure value and memorize it.
If the differential pressure value change is read in the same cycle in the stop process,
Together, temperature compensation is performed each time Lee characterized by
Temperature compensation method in the test.
に到達した後に、差圧値の変化を時間の経過でとらえ、
この差圧値の変化分に基づいて、上記温度補償値を決定
することを特徴する請求項１に記載のリークテストにお
ける温度補償方法。After wherein differential pressure value by the atmospheric pressure sealing reaches a peak value, capturing the change in the differential pressure over time,
The temperature compensating method in the leak test according to claim 1, wherein the temperature compensating value is determined based on a change amount of the differential pressure value.
に基づいて、上記温度補償値を決定することを特徴とす
る請求項１に記載のリークテストにおける温度補償方
法。3. The temperature compensating method in the leak test according to claim 1, wherein the temperature compensating value is determined based on a peak value of the differential pressure value due to the atmospheric pressure sealing.
それぞれ独立して封止し、検査物と基準容器との間に発
生する差圧値の変化を時間の経過でとらえ、この差圧値
の変化に基づいて検査物の漏れの有無を検査するリーク
テストにおいて、 テスト圧力を付与して封止する前に、検査物および基準
容器のうち少なくとも検査物を大気圧で封止し、この大
気圧封止工程での差圧値の変化の仕方に基づいて温度補
償値を決定し、その直後に実行されるテスト圧封止工程
での時間経過に伴う差圧値変化分から上記温度補償値を
差し引くことにより、温度補償を行い、 しかも、 上記大気圧封止により差圧値がピーク値に到達
する前に、この差圧値の変化の勾配に基づいて、上記温
度補償値を決定することを特徴とするリークテストにお
ける温度補償方法。4.Apply test pressure to the inspection object and the reference container
Each is sealed independently, and is sealed between the inspection object and the reference container.
The change in the differential pressure value that occurs is detected over time, and this differential pressure value
Leak that inspects for leaks based on changes in
In the test, Before applying test pressure and sealing, inspect and reference
At least the inspection object in the container is sealed at atmospheric pressure, and
Temperature compensation based on how the differential pressure value changes in the atmospheric pressure sealing process.
Test pressure sealing process that determines the compensation value and is executed immediately after that.
The temperature compensation value can be calculated from the change in differential pressure value with the passage of time at
Temperature compensation by subtracting, Moreover, The differential pressure reaches the peak value due to the atmospheric pressure sealing.
Before changing the temperature, based on the gradient of the change in the differential pressure value,
The leak test is characterized by determining the degree compensation value.
Temperature compensation method.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP06904594A JP3411374B2 (en) | 1994-03-14 | 1994-03-14 | Temperature compensation method in leak test |
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Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
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| JPH07253378A JPH07253378A (en) | 1995-10-03 |
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Family
ID=13391229
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|---|---|---|---|
| JP06904594A Expired - Lifetime JP3411374B2 (en) | 1994-03-14 | 1994-03-14 | Temperature compensation method in leak test |
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| Country | Link |
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| JP (1) | JP3411374B2 (en) |
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