KR20180024985A - 정전기 제거 모듈 및 이를 포함하는 에어 샤워 장치 - Google Patents

Abstract

본 발명은 방전침의 접촉에 의한 감전사고를 방지할 수 있는 정전기 제거 모듈 및 이를 포함하는 에어 샤워 장치에 관한 것이다.

Description

정전기 제거 모듈 및 이를 포함하는 에어 샤워 장치{Static electricity removal module and air shower apparatus including the same}

본 발명은 정전기 제거 모듈 및 이를 포함하는 에어 샤워 장치에 관한 것이다.

일반적으로 반도체, 액정디스플레이(LCD), 플라즈마 디스플레이 패널(PDP), 유기EL, 다중레이어 세라믹 콘덴서(MLCC; Multi-Layer Ceramic Condenser)등을 제작함에 있어서는 고도의 청정한 작업공간을 요한다.

그런데 특히 이들의 인쇄, 도포 및 세정 공정에서는 정전기가 대전하기 쉬운 고절연물질을 다량으로 취급하는데, 이때 정전기로 인한 먼지 등의 이물질 부착 등의 이유로 수율의 저하, 패턴의 파괴, 인쇄불량 등의 문제가 발생한다.

이와 같이 고절연물질의 작업과정 중에 대전체의 정전기를 제거할 필요성이 있는 경우가 많은데, 이러한 정전기를 제거하기 위한 장치로서 코로나방전식 정전기 제거장치가 널리 사용되고 있는 실정이다.

일반적인 코로나방전식 정전기 제거장치는 인가되는 전압방식에 따라 크게 교류전압을 이용하는 방식과 직류전압을 이용하는 방식의 2가지로 나눌 수 있다. 교류전압 코로나방전식 정전기제거장치는 주로 상용 주파수(60Hz) 및 고주파(약 10kHz~18kHz)를 사용하며, 직류전압 방식은 (ㅁ 7kV)정도의 직류전압을 사용한다.

본 출원인은 종래기술 한국등록특허 제0885176호의 제어부; 고주파 전압 인가시 방전이 이루어지는 방전침; 내부에 위치하는 상기 방전침에 먼지가 부착되는 것을 막기 위한 먼지 부착 방지용 메인 소켓; 및 상기 정전기 제거장치에 공기를 공급하기 위한 다수개의 에어 바디;를 포함하여 이루어지고, 상기 제어부는 고주파 전압을 발생시키는 피에조 세라믹 소자, 상기 피에조 세라믹 소자에 의해 출력되는 고주파 전압을 인가받아 이온을 생성하는 상기 방전침에 의해 유도되는 전하량을 측정하는 감지부, 상기 감지부의 감지 결과 상기 피에조 세라믹 소자가 정상 동작하는 것으로 판단되면 상기 감지부의 출력신호를 센서 증폭기로 증폭하여 상기 피에조 세라믹 소자에 피드백하여 상기 피에조 세라믹 소자가 지속적으로 고주파 전압을 발생하도록 하는 피에조 구동기, 만약 상기 감지부의 감지 결과 상기 피에조 세라믹 소자가 비정상동작하는 것으로 판단되면 경보를 발생시키는 경보발생수단 및 상기 정전기 제거장치내 각 소자에 직류전압을 공급하기 위한 직류전원을 구비하는 것이 특징인 피에조 세라믹 소자를 이용한 막대형 정전기 제거 장치를 제시한 적이 있었다.

그러나 종래기술은 방전침에 피에조 세라믹 소자에서 공급된 고주파 전압와 동일한 고주파 전압이 흐르게 됨으로써, 방전침의 접촉에 의한 감전사고가 발생하는 문제점이 있었다.

한국등록특허 제0885176호(2009.02.17)

본 발명은 상기한 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로, 본 발명의 목적은 방전침의 접촉에 의한 감전사고를 방지할 수 있는 정전기 제거 모듈 및 이를 포함하는 에어 샤워 장치를 제공하기 위한 것이다.

본 발명에 따른 정전기 제거 모듈은 방전케이스; 상기 방전케이스와 고압연결소켓을 매개로 결합되는 방전소켓; 상기 방전소켓의 내부에 일단이 결합되며 전압이 인가되는 고압전극; 상기 고압전극의 외주면 소정 부분을 둘러싸는 감전방지전극; 및 상기 방전커버에 관통되되, 일단이 상기 감전방지전극에 접촉되어 코로나 방전을 수행하여 상기 방전케이스의 내부에 이온이 발생하도록 유도하며, 타단이 상기 방전케이스의 외부로 돌출되는 방전침;을 포함하는 것을 특징으로 한다.

또한, 상기 감전방지전극은 코일 구조로 형성되는 것을 특징으로 한다.

또한, 상기 감전방지전극은 상기 방전침이 결합되는 제1감전방지부재와, 상기 제1감전방지부재와 연결되며 상기 제1감전방지부재보다 코일감은수가 더 적게 구성되며 다른 방전침이 결합되는 제2감전방지부재를 포함하는 것을 특징으로 한다.

또한, 상기 정전기 제거 모듈은 상기 감전방지전극의 일단이 상기 방전소켓에 밀착된 상태에서 상기 감전방지전극의 타단을 상기 방전소켓을 향하여 가압하는 상태로 상기 고압전극의 외주면에 끼워지는 스페이서;를 더 포함하는 것을 특징으로 한다.

본 발명에 따른 에어 샤워 장치는 에어하우징; 상기 에어하우징의 내부로 에어를 공급하는 에어공급기; 상기 에어하우징의 일면에 관통 삽입되는 에어분사노즐; 상기 에어분사노즐의 내면에 탈착가능하게 결합되는 방전케이스와, 상기 방전케이스와 고압연결소켓을 매개로 결합되는 방전소켓과, 상기 방전소켓의 내부에 일단이 결합되며 전압이 인가되는 고압전극과, 상기 고압전극의 외주면 소정 부분을 둘러싸는 감전방지전극과, 상기 방전커버에 관통되되, 일단이 상기 감전방지전극에 접촉되어 코로나 방전을 수행하여 상기 방전케이스의 내부에 이온이 발생하도록 유도하며, 타단이 상기 에어분사노즐의 내부로 돌출되는 방전침을 포함하는 정전기 제거 모듈;을 포함하는 것을 특징으로 한다.

또한, 상기 감전방지전극은 코일 구조로 형성되는 것을 특징으로 한다.

또한, 상기 감전방지전극은 상기 방전침이 결합되는 제1감전방지부재와, 상기 제1감전방지부재와 연결되며 상기 제1감전방지부재보다 코일감은수가 더 적게 구성되며 다른 방전침이 결합되는 제2감전방지부재를 포함하는 것을 특징으로 한다.

또한, 상기 정전기 제거 모듈은 상기 감전방지전극의 일단이 상기 방전소켓에 밀착된 상태에서 상기 감전방지전극의 타단을 상기 방전소켓을 향하여 가압하는 상태로 상기 고압전극의 외주면에 끼워지는 스페이서를 더 포함하는 것을 특징으로 한다.

이에 따라, 본 발명에 따른 정전기 제거 모듈 및 이를 포함하는 에어 샤워 장치는 방전침이 감전방지전극을 통해 고압전극과 간접적으로 연결됨으로써, 방전침에서 흐르는 전압이 고압전극에서 흐르는 전압보다 저하된 상태에서 방전침의 접촉에 의한 감전사고를 방지할 수 있는 장점이 있다.

도 1은 본 발명에 따른 정전기 제거 모듈을 나타낸 사시도.
도 2는 본 발명에 따른 정전기 제거 모듈에서 방전케이스를 제외한 사시도.
도 3은 본 발명에 따른 정전기 제거 모듈에서 방전케이스의 분해사시도.
도 4는 본 발명에 따른 정전기 제거 모듈의 단면도.
도 5는 본 발명에 따른 에어 샤워 장치를 나타낸 사시도.
도 6은 본 발명에 따른 에어 샤워 장치를 나타낸 내부도.

이하, 본 발명의 기술적 사상을 첨부된 도면을 사용하여 더욱 구체적으로 설명한다.

첨부된 도면은 본 발명의 기술적 사상을 더욱 구체적으로 설명하기 위하여 도시한 일예에 불과하므로 본 발명의 기술적 사상이 첨부된 도면의 형태에 한정되는 것은 아니다.

<본 발명에 따른 정전기 제거 모듈>

도 1은 본 발명에 따른 정전기 제거 모듈을 나타낸 사시도, 도 2는 본 발명에 따른 정전기 제거 모듈에서 방전케이스를 제외한 사시도, 도 3은 본 발명에 따른 정전기 제거 모듈의 분해사시도, 도 4는 본 발명에 따른 정전기 제거 모듈의 단면도이다.

도 1 내지 도 4에 도시된 바와 같이, 본 발명에 따른 정전기 제거 모듈(100)은 제전기능을 가진 이온이 혼합된 공기를 방출하기 위한 것으로, 방전케이스(110), 방전소켓(120), 고압전극(130), 감전방지전극(140) 및 방전침(150)을 포함한다.

상기 방전케이스(110)는 원통형으로 형성될 수 있다.

상기 방전소켓(120)은 상기 방전케이스(110)와 고압연결소켓(180)을 매개로 결합되며, 상기 고압연결소켓(180)의 외주면이 상기 방전케이스(110)의 내주면에 나사 결합된다.

상기 고압전극(130)은 상기 방전소켓(210)의 내부에 일단이 결합되며 전압전원(미도시)과 연결되어 전압이 인가된다.

상기 감전방지전극(140)은 상기 고압전극(130)의 외주면 소정 부분을 둘러싸며, 상기 고압전극(130)에서 전달된 전압이 흐르게 된다.

상기 방전침(150)은 상기 방전커버에 관통되되, 일단이 상기 감전방지전극(140)에 접촉되어 상기 고압전극(130)에서 감전방지전극(140)을 통해 간접적으로 전달된 전압에 의해 코로나 방전을 수행하여 상기 방전케이스(110)의 내부에 이온이 발생하도록 유도하며, 타단이 상기 방전케이스(110)의 외부로 돌출된다. 이 때, 상기 방전침(150)은 상기 방전케이스(110)의 외부로 돌출되는 타단이 송곳 구조로 형성된다. 한편, 상기 방전케이스(110)의 내부로 유입되어 있던 공기는 상기 방전케이스(110)의 내부에서 발생한 이온과 혼합되어 제전기능을 가지게 된다.

이에 따라, 본 발명에 따른 정전기 제거 모듈(100)은 방전침(150)이 감전방지전극(140)을 통해 고압전극(130)과 간접적으로 연결됨으로써, 방전침(150)에서 흐르는 전압이 고압전극(130)에서 흐르는 전압보다 저하된 상태에서 방전침(150)이 코로나 방전을 수행하여 방전침(150)의 접촉에 의한 감전사고를 방지할 수 있는 장점이 있다.

또한, 상기 감전방지전극(140)은 상기 방전침(150)과의 접촉면적이 최대화되도록 코일 구조로 형성될 수 있다.

또한, 상기 정전기 제거 모듈(100)은 상기 감전방지전극(140)의 코일형상이 최대한 유지되게 하는 스페이서(160)를 더 포함할 수 있다.

상기 스페이서(160)는 상기 감전방지전극(140)의 일단이 상기 방전소켓(120)에 밀착된 상태에서 상기 감전방지전극(140)의 타단을 상기 방전소켓(120)을 향하여 가압하는 상태로 상기 고압전극(130)의 외주면에 끼워진다.

미설명된 부호 170은 브라켓(170)이다.

<본 발명에 따른 에어 샤워 장치>

도 5는 본 발명에 따른 에어 샤워 장치를 나타낸 사시도, 도 6은 본 발명에 따른 에어 샤워 장치를 나타낸 내부도이다.

도 1 내지 도 6에 도시된 바와 같이, 본 발명에 따른 에어 샤워 장치(1000)는 에어하우징(200), 에어공급기(300), 에어분사노즐(400), 정전기 제거 모듈(100)을 포함한다.

상기 에어하우징(200)은 직육면체 구조로 형성되며, 내부가 중공된다.

상기 에어공급기(300)는 상기 에어하우징(200)의 내부로 에어를 공급하는 송풍기이다. 한편, 도 4 내지 도 5에는 상기 에어공급기(300)의 상면에 연결되어 상기 에어하우징(200)의 내부로 에어를 공급할 수 있다.

상기 에어분사노즐(400)은 상기 에어하우징(200)의 일면에 관통 삽입된다. 도 5를 참조하면, 상기 에어분사노즐(400)은 다수가 상기 에어하우징(200)의 일면에 상하방향으로 배열 설치될 수 있다.

상기 정전기 제거 모듈(100)은 제전기능을 가진 이온이 혼합된 공기를 방출하기 위한 것으로, 방전케이스(110), 방전소켓(120), 고압전극(130), 감전방지전극(140) 및 방전침(150)을 포함한다.

상기 방전케이스(110)는 원통형으로 형성될 수 있으며, 상기 에어분사노즐(400)의 내면에 탈착가능하게 결합된다. 또한, 상기 방전케이스(110)는 상기 에어분사노즐(400)의 내면에 브라켓(170)을 통해 탈착가능하게 결합될 수 있다.

상기 방전소켓(120)은 상기 방전케이스(110)와 고압연결소켓(180)을 매개로 결합되며, 상기 고압연결소켓(180)의 외주면이 상기 방전케이스(110)의 내주면에 나사 결합된다.

상기 고압전극(130)은 상기 방전소켓(210)의 내부에 일단이 결합되며 전압전원(미도시)과 연결되어 전압이 인가된다.

상기 감전방지전극(140)은 상기 고압전극(130)의 외주면 소정 부분을 둘러싸며, 상기 고압전극(130)에서 전달된 전압이 흐르게 된다.

상기 방전침(150)은 상기 방전커버에 관통되되, 일단이 상기 감전방지전극(140)에 접촉되어 상기 고압전극(130)에서 감전방지전극(140)을 통해 간접적으로 전달된 전압에 의해 코로나 방전을 수행하여 상기 방전케이스(110)의 내부에 이온이 발생하도록 유도하며, 타단이 상기 방전케이스(110)의 외부로 돌출된다. 이 때, 상기 방전침(150)은 상기 방전케이스(110)의 외부로 돌출되는 타단이 송곳 구조로 형성된다. 한편, 상기 방전케이스(110)의 내부로 유입되어 있던 공기는 상기 방전케이스(110)의 내부에서 발생한 이온과 혼합되어 제전기능을 가지게 된다.

이에 따라, 본 발명에 따른 에어 샤워 장치(1000)는 방전침(150)이 감전방지전극(140)을 통해 고압전극(130)과 간접적으로 연결됨으로써, 방전침(150)에서 흐르는 전압이 고압전극(130)에서 흐르는 전압보다 저하된 상태에서 방전침(150)이 코로나 방전을 수행하여 방전침(150)의 접촉에 의한 감전사고를 방지할 수 있는 장점이 있다.

또한, 상기 감전방지전극(140)은 상기 방전침(150)과의 접촉면적이 최대화되도록 코일 구조로 형성될 수 있다.

또한, 상기 정전기 제거 모듈(100)은 상기 감전방지전극(140)의 코일형상이 최대한 유지되게 하는 스페이서(160)를 더 포함할 수 있다.

상기 스페이서(160)는 상기 감전방지전극(140)의 일단이 상기 방전소켓(120)에 밀착된 상태에서 상기 감전방지전극(140)의 타단을 상기 방전소켓(120)을 향하여 가압하는 상태로 상기 고압전극(130)의 외주면에 끼워진다.

본 발명은 상기한 실시예에 한정되지 아니하며, 적용범위가 다양함은 물론이고, 청구범위에서 청구하는 본 발명의 요지를 벗어남이 없이 다양한 변형 실시가 가능한 것은 물론이다.

100 : 정전기 제거 모듈
110 : 방전케이스
120 : 방전소켓
130 : 고압전극
140 : 감전방지전극
150 : 방전침
160 : 스페이서
170 : 브라켓
180 : 고압연결소켓
200 : 에어하우징
300 : 에어공급기
400 : 에어분사노즐
1000 : 에어 샤워 장치

Claims (6)

1. 방전케이스;
   상기 방전케이스와 고압연결소켓을 매개로 결합되는 방전소켓;
   상기 방전소켓의 내부에 일단이 결합되며 전압이 인가되는 고압전극;
   상기 고압전극의 외주면 소정 부분을 둘러싸는 감전방지전극; 및
   상기 방전커버에 관통되되, 일단이 상기 감전방지전극에 접촉되어 코로나 방전을 수행하여 상기 방전케이스의 내부에 이온이 발생하도록 유도하며, 타단이 상기 방전케이스의 외부로 돌출되는 방전침;을 포함하는 것을 특징으로 하는 정전기 제거 모듈.
   
2. 제1항에 있어서, 상기 감전방지전극은
   코일 구조로 형성되는 것을 특징으로 하는 정전기 제거 모듈.
   
3. 제2항에 있어서, 상기 정전기 제거 모듈은
   상기 감전방지전극의 일단이 상기 방전소켓에 밀착된 상태에서 상기 감전방지전극의 타단을 상기 방전소켓을 향하여 가압하는 상태로 상기 고압전극의 외주면에 끼워지는 스페이서;를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 정전기 제거 모듈.
   
4. 에어하우징;
   상기 에어하우징의 내부로 에어를 공급하는 에어공급기;
   상기 에어하우징의 일면에 관통 삽입되는 에어분사노즐;
   상기 에어분사노즐의 내면에 탈착가능하게 결합되는 방전케이스와, 상기 방전케이스와 고압연결소켓을 매개로 결합되는 방전소켓과, 상기 방전소켓의 내부에 일단이 결합되며 전압이 인가되는 고압전극과, 상기 고압전극의 외주면 소정 부분을 둘러싸는 감전방지전극과, 상기 방전커버에 관통되되, 일단이 상기 감전방지전극에 접촉되어 코로나 방전을 수행하여 상기 방전케이스의 내부에 이온이 발생하도록 유도하며, 타단이 상기 에어분사노즐의 내부로 돌출되는 방전침을 포함하는 정전기 제거 모듈;을 포함하는 것을 특징으로 하는 에어 샤워 장치.
   
5. 제4항에 있어서, 상기 감전방지전극은
   코일 구조로 형성되는 것을 특징으로 하는 에어 샤워 장치.
   
6. 제5항에 있어서, 상기 정전기 제거 모듈은
   상기 감전방지전극의 일단이 상기 방전소켓에 밀착된 상태에서 상기 감전방지전극의 타단을 상기 방전소켓을 향하여 가압하는 상태로 상기 고압전극의 외주면에 끼워지는 스페이서를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 에어 샤워 장치.

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