KR20180021561A - Silt valve apparatus and substrate treating facility using the same - Google Patents

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KR20180021561A KR1020160106286A KR20160106286A KR20180021561A KR 20180021561 A KR20180021561 A KR 20180021561A KR 1020160106286 A KR1020160106286 A KR 1020160106286A KR 20160106286 A KR20160106286 A KR 20160106286A KR 20180021561 A KR20180021561 A KR 20180021561A
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Abstract

The present invention relates to a slit valve device and a substrate processing facility using the same. The slit valve device of the present invention includes: a slit door; and a door driving unit for moving the slit door so as to open and close the slit of a processing chamber. The slit door includes: a first surface facing a slit of the processing chamber; a second surface facing the first surface; and at least one reflective groove formed on the first surface.

Description

슬릿 밸브 장치 및 이를 이용한 기판 처리 설비{Silt valve apparatus and substrate treating facility using the same}BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention [0001] The present invention relates to a slit valve device,

본 발명은 슬릿 밸브 장치 및 이를 이용한 기판 처리 설비에 관한 것이다. The present invention relates to a slit valve apparatus and a substrate processing apparatus using the slit valve apparatus.

일반적으로 기판 처리 설비는 공정이 수행되는 공정 챔버와, 가공을 위한 기판을 로드 및/또는 언로드하는 로드락 챔버와, 공정 챔버와 로드락 챔버 사이에 설치되어, 기판이 이송되는 공간을 제공하는 트랜스퍼 챔버를 포함할 수 있다. 이러한, 공정 챔버는 트랜스퍼 챔버와 연결되며, 기판이 이동하는 통로인 슬릿을 가지고 있다. In general, a substrate processing apparatus includes a process chamber in which a process is performed, a load lock chamber for loading and / or unloading a substrate for processing, a transfer chamber provided between the process chamber and the load lock chamber, Chamber. The process chamber is connected to the transfer chamber and has a slit as a passage through which the substrate moves.

또한, 기판 처리 설비는 공정 챔버의 슬릿을 개폐하는 슬릿 밸브 장치를 구비할 수 있으며, 슬릿 밸브 장치는 공정 챔버 내에서 공정이 진행될 때, 슬릿을 폐쇄할 수 있다. 이에 따라, 공정 챔버는 공정이 수행되는 동안, 밀폐될 수 있다. 하지만, 공정이 진행되는 동안에 발생하는 입자에 의해 슬릿 밸브 장치가 파손되는 경우가 있어, 이를 방지하기 위한 연구가 진행 중인 추세이다. The substrate processing facility may also include a slit valve device for opening and closing a slit in the process chamber, wherein the slit valve device may close the slit when the process is in progress within the process chamber. Thus, the process chamber can be sealed while the process is being performed. However, there is a case where the slit valve device is broken due to the particles generated during the process, and studies are ongoing to prevent this.

본 발명이 해결하고자 하는 과제는 기판 처리 공정에서 발생된 입자에 의해 손상을 방지하기 위한 슬릿 밸브 장치 및 이를 이용한 기판 처리 설비를 제공하는 것이다. SUMMARY OF THE INVENTION It is an object of the present invention to provide a slit valve apparatus for preventing damage caused by particles generated in a substrate processing process and a substrate processing apparatus using the slit valve apparatus.

본 발명의 과제들은 이상에서 언급한 과제들로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 과제들은 아래의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.The problems of the present invention are not limited to the above-mentioned problems, and other problems not mentioned can be clearly understood by those skilled in the art from the following description.

본 발명에 따른 슬릿 밸브 장치는, 슬릿 도어; 및 상기 슬릿 도어를 이동시켜, 공정 챔버의 슬릿을 개폐하기 위한 도어 구동 유닛을 포함하고, 상기 슬릿 도어는: 상기 공정 챔버의 슬릿과 마주보는 제1 면; 상기 제1 면에 대향되는 제2 면; 및 상기 제1 면에 형성된 적어도 하나의 반사 홈을 포함한다.A slit valve device according to the present invention includes: a slit door; And a door drive unit for moving the slit door to open and close the slit of the process chamber, the slit door comprising: a first side facing the slit of the process chamber; A second side facing the first side; And at least one reflective groove formed on the first surface.

본 발명에 따른 기판 처리 설비는, 트랜스퍼 챔버; 슬릿을 통해 상기 트랜스퍼 챔버와 연결되는 공정 챔버; 및 상기 슬릿을 개폐하기 위해 상기 트랜스퍼 챔버 내에 배치되는 슬릿 밸브 장치를 포함하고, 상기 슬릿 밸브 장치는; 상기 슬릿과 마주보는 제1 면과, 상기 제1 면과 대향된 제2 면을 갖는 슬릿 도어를 포함하되, 상기 제1 면에는 적어도 하나의 반사 홈이 형성된 슬릿 도어를 포함한다.A substrate processing apparatus according to the present invention includes: a transfer chamber; A process chamber connected to the transfer chamber through a slit; And a slit valve device disposed in the transfer chamber for opening and closing the slit, the slit valve device comprising: And a slit door including a slit door having a first surface facing the slit and a second surface opposed to the first surface, wherein at least one reflective groove is formed in the first surface.

기타 실시예들의 구체적인 사항들은 상세한 설명 및 도면들에 포함되어 있다.The details of other embodiments are included in the detailed description and drawings.

본 발명의 실시예들에 따르면, 공정 중 발생된 입자에 의해 슬릿 밸브 장치의 패킹 부재가 손상되는 것을 방지할 수 있고, 슬릿의 기밀성이 유지될 수 있다. According to the embodiments of the present invention, it is possible to prevent the packing member of the slit valve device from being damaged by the particles generated during the process, and the airtightness of the slit can be maintained.

본 발명의 효과들은 이상에서 언급한 효과들로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 효과들은 청구범위의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.The effects of the present invention are not limited to the effects mentioned above, and other effects not mentioned can be clearly understood by those skilled in the art from the description of the claims.

도 1은 본 발명의 실시예들에 따른 기판 처리 설비를 설명하기 위한 개략도이다.
도 2는 도 1의 기판 처리 설비에 구비된 슬릿 밸브 장치를 설명하기 위한 개략도이다.
도 3은 도 2의 슬릿 도어를 설명하기 위한 평면도이다.
도 4는 도 3의 I-I' 선에 따른 단면도이다.
도 5는 도 4의 A 부분을 확대한 확대도이다.
도 6은 도 3의 슬릿 도어의 변형 실시예를 설명하기 위한 단면도이다.
도 7 및 도 8은 도 2의 슬릿 밸브 장치가 공정 챔버에서 입사된 이온을 반사하는 모습을 설명하기 위한 개략도들이다.
도 9은 도 8의 B 부분을 확대한 확대도이다.
도 10은 본 발명 실시예들에 따른 기판 처리 설비에 구비된 슬릿 밸브 장치를 설명하기 위한 개략도이다.
도 11은 도 10의 슬릿 도어를 설명하기 위한 평면도이다. 1 is a schematic view for explaining a substrate processing apparatus according to embodiments of the present invention.
FIG. 2 is a schematic view for explaining a slit valve device provided in the substrate processing apparatus of FIG. 1;
3 is a plan view for explaining the slit door of FIG. 2;
4 is a cross-sectional view taken along the line II 'in Fig.
5 is an enlarged view of a portion A in Fig.
6 is a cross-sectional view for explaining a modified embodiment of the slit door of FIG. 3;
FIGS. 7 and 8 are schematic views for explaining how the slit valve device of FIG. 2 reflects ions incident on the process chamber. FIG.
Fig. 9 is an enlarged view of a portion B in Fig.
10 is a schematic view for explaining a slit valve device provided in a substrate processing apparatus according to embodiments of the present invention.
Fig. 11 is a plan view for explaining the slit door of Fig. 10; Fig.

도면을 참조하여, 본 발명의 개념 및 이에 따른 실시예들에 대해 상세히 설명하기로 한다. DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Reference will now be made in detail to embodiments of the present invention, examples of which are illustrated in the accompanying drawings.

도 1은 본 발명의 실시예들에 따른 기판 처리 설비를 설명하기 위한 개략도이다. 1 is a schematic view for explaining a substrate processing apparatus according to embodiments of the present invention.

도 1을 참조하면, 본 발명의 실시예들에 따른 기판 처리 설비(1)는 트랜스퍼 챔버(10), 적어도 하나의 공정 챔버(20), 적어도 하나의 로드락 챔버(30), 적어도 하나의 슬릿 밸브 장치(100), 및 설비 전방 단부 모듈(EFEM: equipment front end module, 40) 을 포함할 수 있다. Referring to Figure 1, a substrate processing apparatus 1 according to embodiments of the present invention includes a transfer chamber 10, at least one process chamber 20, at least one load lock chamber 30, A valve device 100, and an equipment front end module 40 (EFEM).

트랜스퍼 챔버(10)는 기판 처리 설비(1)의 중앙에 배치될 수 있다. 트랜스퍼 챔버(10)는 평면적 관점에서 다각형으로 제공될 수 있고, 공정 챔버(20)와 로드락 챔버(30)를 연결할 수 있다. 예를 들면, 트랜스퍼 챔버(10)는 평면적 관점에서 육각형으로 제공될 수 있다. 트랜스퍼 챔버(10)는 내부 공간을 가질 수 있다. 실시예들에 따르면, 트랜스퍼 챔버(10)의 내부 공간은 진공 상태로 유지될 수 있다. The transfer chamber 10 may be disposed at the center of the substrate processing apparatus 1. [ The transfer chamber 10 may be provided in a polygonal plan view and may couple the process chamber 20 and the load lock chamber 30. For example, the transfer chamber 10 may be provided in a hexagonal shape in plan view. The transfer chamber 10 may have an internal space. According to the embodiments, the inner space of the transfer chamber 10 can be maintained in a vacuum state.

트랜스퍼 챔버(10)의 내부 공간에 제1 기판 이송 장치(15)가 배치될 수 있다. 제1 기판 이송 장치(15)는 기판을 로드락 챔버(30), 및 공정 챔버(20)로 이송시킬 수 있다. 예를 들면, 제1 기판 이송 장치(15)는 로드락 챔버(30) 내의 기판을 공정 챔버(20) 내로 이송할 수 있고, 공정 챔버(20) 내의 기판을 로드락 챔버(30) 내로 이송할 수 있다. The first substrate transfer device 15 may be disposed in the inner space of the transfer chamber 10. The first substrate transfer device 15 can transfer the substrate to the load lock chamber 30, and the process chamber 20. For example, the first substrate transfer device 15 can transfer a substrate in the load lock chamber 30 into the process chamber 20 and transfer the substrate in the process chamber 20 into the load lock chamber 30 .

공정 챔버(20)는 내부에 다양한 기판 처리 공정들(예를 들면, 식각 공정, 증착 공정, 열처리 공정 등)이 수행되는 내부 공간을 제공할 수 있다. 실시예들에 따르면, 공정 챔버(20)는 플라즈마를 이용한 식각 공정이 수행되는 공간을 제공할 수 있으나, 이에 한정되지 않는다. 공정 챔버(20)는 복수개 제공될 수 있다. 복수의 공정 챔버들(20)은 트랜스퍼 챔버(10)의 둘레를 따라 배치될 수 있다. 공정 챔버(20)들의 각각은 트랜스퍼 챔버(10)의 일측면과 연결되는 슬릿 밸브 인서트(25)를 포함할 수 있다. 슬릿 밸브 인서트(25)에 대한 자세한 사항은 도 2에서 후술한다. The process chamber 20 may provide an interior space within which various substrate processing processes (e.g., etching, deposition, thermal processing, etc.) are performed. According to embodiments, the process chamber 20 may provide a space in which the plasma etching process is performed, but is not limited thereto. A plurality of process chambers 20 may be provided. A plurality of process chambers 20 may be disposed along the periphery of the transfer chamber 10. Each of the process chambers 20 may include a slit valve insert 25 connected to one side of the transfer chamber 10. Details of the slit valve insert 25 will be described later with reference to FIG.

슬릿 밸브 장치(100)는 공정 챔버(20)의 내부 공간과 트랜스퍼 챔버(10)의 내부 공간을 분리하거나 연결할 수 있다. 이에 대한 자세한 사항은 도 2 내지 도 5에서 후술한다. The slit valve device 100 can separate or connect the internal space of the process chamber 20 and the internal space of the transfer chamber 10. [ Details of this will be described later with reference to FIG. 2 to FIG.

설비 전방 단부 모듈(40)은 카세트(55)가 로딩 및 언로딩되는 로드 포트(load port, 50)를 포함할 수 있다. 실시예들에 따르면, 카세트(55)는 푸웁(FOUP: front open unified pod)일 수 있으나, 이에 한정되지 않는다. 설비 전방 단부 모듈(40)은 로드락 챔버(30)와 카세트(55) 상호간에 기판을 이송할 수 있다. 설비 전방 단부 모듈(40)은 내부에 제2 기판 이송 장치(45)를 포함할 수 있다. 제2 기판 이송 장치(45)는 카세트(50) 내에 수용된 기판 (이하, 미처리 기판)을 로드락 챔버(30)로 이송할 수 있다. 또한, 제2 기판 이송 장치(45)는 로드락 챔버(30)에 배치된 처리 기판을 카세트(50)으로 이송할 수 있다. 여기서, 처리 기판이란, 공정 챔버들(20)에서 기판 처리 공정을 마친 기판을 의미할 수 있다. 또한, 제2 기판 이송 장치(45)는 대기압 상태에서 작동할 수 있다. 이에 따라, 설비 전방 단부 모듈(40)의 내부 공간은 대기압 상태일 수 있으나, 이에 한정되지 않는다. 실시예에 따르면, 제1 및 제2 기판 이송 장치(45)는 암 구조로 제공되나, 이에 한정되지 않고, 기판 처리 공정에서 사용되는 다양한 로봇들로 제공될 수 있다. The facility front end module 40 may include a load port 50 through which the cassette 55 is loaded and unloaded. According to embodiments, the cassette 55 may be, but is not limited to, a front open unified pod (FOUP). The facility front end module 40 can transfer the substrate between the load lock chamber 30 and the cassette 55. [ The facility front end module 40 may include a second substrate transfer device 45 therein. The second substrate transfer device 45 can transfer the substrate contained in the cassette 50 (hereinafter referred to as the unprocessed substrate) to the load lock chamber 30. Further, the second substrate transfer device 45 can transfer the process substrate disposed in the load lock chamber 30 to the cassette 50. [ Here, the processing substrate may refer to a substrate having undergone the substrate processing process in the processing chambers 20. Further, the second substrate transfer device 45 can operate in the atmospheric pressure state. Accordingly, the internal space of the facility front end module 40 may be at atmospheric pressure, but is not limited thereto. According to the embodiment, the first and second substrate transfer devices 45 are provided in an arm structure, but not limited thereto, and can be provided with various robots used in a substrate processing process.

로드락 챔버(30)는 트랜스퍼 챔버(10)와 설비 전방 단부 모듈(40) 사이에 배치되어, 트랜스퍼 챔버(10)와 설비 전방 단부 모듈(40)을 연결할 수 있다. 로드락 챔버(30)는 내부 공간의 압력을 조절하는 압력 조절 유닛(미도시)을 가질 수 있다. 로드락 챔버(30)는 제1 기판 이송 장치(15)가 기판을 로딩 또는 언로딩하는 때, 트랜스퍼 챔버(10)와 유사한 진공압 상태를 형성할 수 있다. 또한, 로드락 챔버(30)는 제2 기판 이송 장치(45)가 기판을 로딩 또는 언로딩하는 때, 대기압 상태를 형성할 수 있다. 이에 따라, 로드락 챔버(30)는 트랜스퍼 챔버(10)의 기압 상태가 변화되는 것을 방지할 수 있다. 실시예에 따르면, 로드락 챔버(30)는 2개가 구비될 수 있으나, 이에 한정되지 않는다. The load lock chamber 30 may be disposed between the transfer chamber 10 and the equipment front end module 40 to connect the transfer chamber 10 and the equipment front end module 40. The load lock chamber 30 may have a pressure regulating unit (not shown) for regulating the pressure of the internal space. The load lock chamber 30 may form a vacuum pressure state similar to the transfer chamber 10 when the first substrate transfer device 15 loads or unloads the substrate. Further, the load lock chamber 30 can form an atmospheric pressure state when the second substrate transfer device 45 loads or unloads the substrate. Thus, the load lock chamber 30 can prevent the atmospheric pressure state of the transfer chamber 10 from being changed. According to the embodiment, two load lock chambers 30 may be provided, but the present invention is not limited thereto.

도 2는 도 1의 기판 처리 설비에 구비된 슬릿 밸브 장치를 설명하기 위한 개략도이다. FIG. 2 is a schematic view for explaining a slit valve device provided in the substrate processing apparatus of FIG. 1;

도 1 및 도 2를 참조하면, 공정 챔버들(20)의 각각은 전술한 슬릿 밸브 인서트(25)를 포함할 수 있다. 슬릿 밸브 인서트(25)는 공정 챔버(20)와 트랜스퍼 챔버(10) 사이에서, 기판이 이동하는 통로인 슬릿(21)을 가질 수 있다. Referring to Figures 1 and 2, each of the process chambers 20 may include the slit valve insert 25 described above. The slit valve insert 25 may have a slit 21 between the process chamber 20 and the transfer chamber 10, which is the passage through which the substrate travels.

슬릿(21)은 공정 챔버(20)의 내부 공간과 트랜스퍼 챔버(10)의 내부 공간을 연결할 수 있다. 슬릿(21)은 공정 챔버(20)로부터 트랜스퍼 챔버(10)를 향하는 제1 방향(D1)을 따라 형성될 수 있다. 즉, 슬릿(21)의 길이 방향은 제1 방향(D1)일 수 있다. 또한, 슬릿 밸브 인서트(25)의 내측면은 제1 방향(D1)과 평행할 수 있다. The slit 21 can connect the inner space of the process chamber 20 with the inner space of the transfer chamber 10. [ The slits 21 may be formed along the first direction D1 from the process chamber 20 toward the transfer chamber 10. [ That is, the longitudinal direction of the slit 21 may be the first direction D1. In addition, the inner surface of the slit valve insert 25 may be parallel to the first direction D1.

실시예들에 따르면, 기판은 원형의 웨이퍼(wafer)를 의미할 수 있으나, 이에 한정되지 않는다. 이에 따라, 기판은 대략 200mm 또는 300mm의 직경을 가질 수 있다. 이에 따라, 슬릿(21)은 제1 방향(D1)과 수직한 제2 방향(D2)의 폭이 기판의 직경보다 크게 형성될 수 있다. 또한, 슬릿(21)의 일단은 제1 방향(D1)과 소정의 각도로 경사질 수 있다. 여기서, 슬릿(21)의 일단은 슬릿(21)의 제1 방향(D1)의 끝단을 의미할 수 있고, 이하, 슬릿(21)의 일단은 출입구(22)로 지칭하기로 한다. 예를 들면, 출입구(22)는 제1 방향(D1)과 대략 120도(deg)의 각도로 경사질 수 있다. According to embodiments, the substrate may refer to a circular wafer, but is not limited thereto. Thus, the substrate may have a diameter of approximately 200 mm or 300 mm. Accordingly, the width of the slit 21 in the second direction D2 perpendicular to the first direction D1 may be larger than the diameter of the substrate. In addition, one end of the slit 21 may be inclined at a predetermined angle with respect to the first direction D1. Here, one end of the slit 21 may be the end of the slit 21 in the first direction D1, and one end of the slit 21 is hereinafter referred to as an entrance 22. For example, the entrance 22 may be inclined at an angle of approximately 120 degrees with the first direction D1.

슬릿 밸브 장치(100)는 슬릿 밸브 인서트(25)의 슬릿(21)을 개폐할 수 있다. 슬릿 밸브 장치(100)는 트랜스퍼 챔버(10) 내에 배치될 수 있다. 또한, 슬릿 밸브 장치(100)는 출입구(22)와 인접하게 배치될 수 있다. 슬릿 밸브 장치(100)는 슬릿 도어(110), 및 도어 구동 유닛(120)을 포함할 수 있다. The slit valve device 100 can open and close the slit 21 of the slit valve insert 25. The slit valve device 100 may be disposed in the transfer chamber 10. [ Further, the slit valve device 100 may be disposed adjacent to the entrance 22. The slit valve device 100 may include a slit door 110, and a door driving unit 120.

슬릿 도어(110)는 서로 대향된 제1 면(111)과 제2 면(112)을 가질 수 있다. 제1 면(111)은 출입구(22)와 마주보게 배치될 수 있다. 또한, 슬릿 도어(110)는 제1 면(111)에 형성된 적어도 하나의 반사 홈(113)과, 제1 면(111) 상에 배치된 패킹 부재(115)를 포함할 수 있다. 슬릿 도어(110)의 제1 면(111)은 출입구(22)와 대략 평행할 수 있다. 제1 면(111)은 매끄럽게 형성될 수 있다. 예를 들면, 제1 면(111)은 대략 1nmRa 이하의 표면 거칠기(roughness)를 가질 수 있다The slit door 110 may have a first side 111 and a second side 112 opposite to each other. The first surface 111 may be disposed to face the entrance 22. The slit door 110 may also include at least one reflective groove 113 formed on the first surface 111 and a packing member 115 disposed on the first surface 111. The first surface 111 of the slit door 110 may be substantially parallel to the entrance 22. The first surface 111 may be formed smoothly. For example, the first side 111 may have a surface roughness of about 1 nm Ra or less

또한, 반사 홈(113)은 제1 방향(D1)과 수직한 제2 방향(D2)을 따라 형성될 수 있다. 슬릿 도어(110)에 대한 자세한 사항은 도 3 내지 도 5에서 후술한다. Also, the reflection grooves 113 may be formed along the second direction D2 perpendicular to the first direction D1. Details of the slit door 110 will be described later with reference to FIG. 3 to FIG.

도어 구동 유닛(120)은 슬릿 도어(110)를 이동시켜, 슬릿 밸브 인서트(25)의 슬릿(21)을 개폐시킬 수 있다. The door driving unit 120 can move the slit door 110 to open and close the slit 21 of the slit valve insert 25.

도어 구동 유닛(120)은 슬릿 도어(110)와 연결될 수 있다. 실시예들에 따르면, 도어 구동 유닛(120)은 슬릿 도어(110)를 직선 왕복 운동시킬 수 있다. 예를 들면, 도어 구동 유닛(120)은 슬릿 도어(110)를 제3 방향(D3)으로 직선 왕복 운동시킬 수 있다. 제3 방향(D3)는 출입구(22)와 대략 수직한 방향일 수 있다. 제3 방향(D3)은 제1 방향(D1)과 소정의 각도(예를 들면, 대략 120도(deg))만큼 경사질 수 있다. 이와 달리, 다른 실시예에서, 도어 구동 유닛(120)는 슬릿 도어(110)를 회전 운동시킬 수 있다. 또한, 도어 구동 유닛(120)은 도어 구동 유닛(120)은 공압 실린더일 수 있으나, 이에 한정되지 않는다. 또한, 도어 구동 유닛(120)은 트랜스퍼 챔버(10)에 설치될 수 있다. 예를 들면, 도어 구동 유닛(120)은 트랜스퍼 챔버(10)의 바닥면에 설치될 수 있다. 또한, 도어 구동 유닛(120)은 일단에 슬릿 도어(110)와 연결되는 연결부(미도시)를 포함할 수 있다. The door driving unit 120 may be connected to the slit door 110. According to the embodiments, the door driving unit 120 can reciprocate the slit door 110 linearly. For example, the door driving unit 120 can linearly reciprocate the slit door 110 in the third direction D3. The third direction D3 may be a direction substantially perpendicular to the entrance 22. The third direction D3 may be inclined by a predetermined angle (for example, about 120 degrees) with respect to the first direction D1. Alternatively, in another embodiment, the door drive unit 120 may cause the slit door 110 to rotate. Further, the door driving unit 120 may be a pneumatic cylinder, but the present invention is not limited thereto. Further, the door driving unit 120 may be installed in the transfer chamber 10. For example, the door driving unit 120 may be installed on the bottom surface of the transfer chamber 10. Further, the door driving unit 120 may include a connection portion (not shown) connected to the slit door 110 at one end thereof.

도 3은 도 2의 슬릿 도어를 설명하기 위한 평면도이다. 도 4는 도 3의 I-I' 선에 따른 단면도이다. 도 5는 도 4의 A 부분을 확대한 확대도이다. 도 6은 도 3의 슬릿 도어의 변형 실시예를 설명하기 위한 단면도이다. 3 is a plan view for explaining the slit door of FIG. 2; 4 is a cross-sectional view taken along a line I-I 'in Fig. 5 is an enlarged view of a portion A in Fig. 6 is a cross-sectional view for explaining a modified embodiment of the slit door of FIG. 3;

도 3 내지 도 5를 참조하면, 실시예에 따른 슬릿 도어(110)는 제2 방향(D2)으로 길게 연장된 플레이트 형상으로 제공될 수 있다. 예를 들면, 슬릿 도어(110)의 제2 방향(D2)의 길이는 대략 200mm일 수 있으나, 이에 한정되지 않는다. 또한, 슬릿 도어(110)는 제2 면(112)에 도어 구동 유닛(120)의 연결부(미도시)가 삽입되는 연결 홈(114)이 제공될 수 있다. 연결 홈(114)은 슬릿 도어(110)의 대략 중심에 배치될 수 있다. 3 to 5, the slit door 110 according to the embodiment may be provided in a plate shape elongated in the second direction D2. For example, the length of the slit door 110 in the second direction D2 may be approximately 200 mm, but is not limited thereto. The slit door 110 may be provided with a connection groove 114 through which a connection portion (not shown) of the door driving unit 120 is inserted into the second surface 112. The connection groove 114 may be disposed substantially at the center of the slit door 110.

슬릿 도어(110)의 반사 홈(113)은 슬릿 도어(110)의 길이 방향을 따라 길게 제공될 수 있다. 여기서, 슬릿 도어(110)의 길이 방향은 제2 방향(D2)을 의미할 수 있다. 반사 홈(113)은 복수개 제공될 수 있다. 실시예들에 따르면, 슬릿 도어(110)는 5개의 반사 홈들(113)을 포함할 수 있다. 복수의 반사 홈들(113) 중 적어도 2개는 제2 방향(D2)의 길이가 상이할 수 있다. 예를 들면, 반사 홈들(113) 중 가운데에 배치된 반사 홈은 나머지 반사 홈들의 길이보다 제2 방향(D2)의 길이가 클 수 있다. 또한, 슬릿 도어(110)는 제2 방향(D2)의 양단이 곡률지게 제공될 수 있다. The reflective groove 113 of the slit door 110 may be provided along the longitudinal direction of the slit door 110. Here, the longitudinal direction of the slit door 110 may mean a second direction D2. A plurality of reflection grooves 113 may be provided. According to embodiments, the slit door 110 may include five reflective grooves 113. At least two of the plurality of reflection grooves 113 may have different lengths in the second direction D2. For example, the reflection grooves disposed at the center of the reflection grooves 113 may have a length greater than the length of the remaining reflection grooves in the second direction D2. Further, the slit door 110 may be provided with curved ends at both ends in the second direction D2.

반사 홈들(113)의 각각은 제1 경사면들(1131)과 제2 경사면(1132)을 포함할 수 있다. 제1 및 제2 경사면들(1131, 1132)은 제1 면(111)으로부터 제2 면(112)을 향해 경사지게 연장될 수 있다. 제2 면(112)을 향해 연장된 제1 및 제2 경사면들(1131, 1132)은 서로 연결되어, 소정의 각도(α)를 형성할 수 있다. 즉, 제1 및 제2 경사면들(1131, 1132)은 서로 연결되어, 반사 홈(113)을 형성할 수 있다. Each of the reflection grooves 113 may include first inclined planes 1131 and second inclined planes 1132. The first and second sloping faces 1131 and 1132 may extend obliquely toward the second face 112 from the first face 111. The first and second inclined planes 1131 and 1132 extending toward the second surface 112 may be connected to each other to form a predetermined angle?. That is, the first and second inclined planes 1131 and 1132 are connected to each other to form the reflection grooves 113.

일 실시예에 따르면, 제1 및 제2 경사면들(1131, 1132)은 평면으로 제공될 수 있다. 이에 따라, 반사 홈들(113)은 대략 V자 형상의 단면을 갖도록 제공될 수 있다. According to one embodiment, the first and second slopes 1131 and 1132 may be provided in a plane. Accordingly, the reflection grooves 113 can be provided to have a substantially V-shaped cross section.

제1 및 제2 경사면들(1131, 1132)은 제1 면(111)과 대략 45도의 각도를 형성하며, 연장될 수 있다. 또한, 제1 및 제2 경사면들(1131, 1132)이 이루는 각도(α)는 대략 85도 내지 대략 95도일 수 있다. 예를 들면, 제1 및 제2 경사면들(1131, 1132)이 이루는 각도(α)는 대략 90도일 수 있다. The first and second sloping faces 1131 and 1132 form an angle of approximately 45 degrees with the first face 111 and may extend. In addition, the angle [alpha] formed by the first and second inclined planes 1131 and 1132 may be approximately 85 degrees to approximately 95 degrees. For example, the angle [alpha] formed by the first and second slopes 1131 and 1132 may be approximately 90 degrees.

제1 및 제2 경사면들(1131, 1132) 중 어느 하나는 슬릿 밸브 인서트(25)의 슬릿(21)의 길이 방향과 수직하게 배치될 수 있다. 또한, 제1 및 제2 경사면들(1131, 1132) 중 나머지 하나는 슬릿(21)의 길이 방향과 평행하게 배치될 수 있다. 실시예에 따르면, 슬릿(21)의 길이 방향은 제1 방향(D1)일 수 있다. Any one of the first and second slopes 1131 and 1132 may be disposed perpendicular to the longitudinal direction of the slit 21 of the slit valve insert 25. The other one of the first and second slopes 1131 and 1132 may be disposed parallel to the longitudinal direction of the slit 21. According to the embodiment, the longitudinal direction of the slit 21 may be the first direction D1.

또한, 제1 및 제2 경사면들(1131, 1132) 중 어느 하나는 슬릿 밸브 인서트(25)의 슬릿(21) 내의 입자의 이동 방향과 수직하게 배치될 수 있다. 또한, 제1 및 제2 경사면들(1131, 1132) 중 나머지 하나는 슬릿(21) 내의 입자의 이동 방향과 평행할 수 있다. 실시예들에 따르면, 슬릿(21) 내에서 이동하는 입자는 공정 챔버(20)에서 수행되는 공정 중에서 발생되는 이온일 수 있으나, 이에 한정되지 않는다. 이에 대한 자세한 사항은 도 7에서 후술한다. Also, any one of the first and second slopes 1131 and 1132 may be disposed perpendicular to the moving direction of the particles in the slit 21 of the slit valve insert 25. The other one of the first and second slopes 1131 and 1132 may be parallel to the moving direction of the particles in the slit 21. According to embodiments, the particles moving within the slit 21 may be ions generated during the process performed in the process chamber 20, but are not limited thereto. This will be described later in detail with reference to FIG.

다른 실시예에 따르면, 반사 홈(113)의 제1 및 제2 경사면들(1131, 1132)은 곡면으로 제공될 수 있다. 이에 따라, 반사 홈(113)은, 도 6에 도시된 바와 같이, 대략 U자 또는 물결 형상의 단면을 가질 수 있다. 그러나, 본 실시예들이 이에 한정되는 것은 아니다. According to another embodiment, the first and second inclined planes 1131 and 1132 of the reflective groove 113 may be provided as curved surfaces. Accordingly, the reflection grooves 113 can have a substantially U-shaped or wavy cross section, as shown in Fig. However, the embodiments are not limited thereto.

제1 및 제2 경사면들(1131, 1132)은 대략 1nmRa 이하의 표면 거칠기(roughness)를 가질 수 있다. 예를 들면, 제1 및 제2 경사면들(1131, 1132)는 샌딩 공정 등을 통해 대략 1nmRa 이하의 표면 거칠기를 가질 수 있다. 이에 따라, 제1 및 제2 경사면들(1131, 1132)과 부딪치는 입자가 난반사되는 것을 줄이거나 방지할 수 있다. The first and second inclined planes 1131 and 1132 may have a surface roughness of about 1 nm Ra or less. For example, the first and second inclined planes 1131 and 1132 may have a surface roughness of about 1 nm Ra or less through a sanding process or the like. Accordingly, it is possible to reduce or prevent irregular reflection of particles hitting against the first and second inclined planes 1131 and 1132.

패킹 부재(115)는 슬릿(21)과 슬릿 도어(110) 사이의 기밀을 유지할 수 있다. 실시예에 따르면, 패킹 부재(115)는 오링(O-ring)일 수 있으나, 이에 한정되지 않는다. 또한, 패킹 부재(115)는 탄성 재질일 수 있다. 예를 들면, 패킹 부재(115)는 고무 재질로 이루어질 수 있으나, 이에 한정되지 않는다. The packing member 115 can maintain the airtightness between the slit 21 and the slit door 110. According to an embodiment, the packing member 115 may be an O-ring, but is not limited thereto. Further, the packing member 115 may be an elastic material. For example, the packing member 115 may be made of a rubber material, but is not limited thereto.

패킹 부재(115)는 슬릿 도어(110)가 슬릿(21)을 폐쇄할 때, 출입구(22)의 경계를 둘러쌀 수 있다. 또한, 패킹 부재(115)는 반사 홈들(113)을 둘러쌀 수 있다. 패킹 부재(115)는 슬릿 도어(110)와 유사한 형상으로 제공될 수 있다. 실시예에 따르면, 슬릿 도어(110)는 하나의 패킹 부재(115)를 구비하나, 이에 한정되지 않고, 복수 개를 구비할 수 있다. 이에 따라, 슬릿(21)과 슬릿 도어(110) 사이의 기밀성이 향상될 수 있다.The packing member 115 may surround the boundary of the entrance 22 when the slit door 110 closes the slit 21. In addition, the packing member 115 may surround the reflection grooves 113. [ The packing member 115 may be provided in a shape similar to the slit door 110. According to the embodiment, the slit door 110 has a single packing member 115, but is not limited thereto and may have a plurality of slit doors. Accordingly, the airtightness between the slit 21 and the slit door 110 can be improved.

상기와 같이 구성되는 본 발명에 따른 슬릿 밸브 장치(100)의 작용을 설명하면 다음과 같다.The operation of the slit valve apparatus 100 according to the present invention will now be described.

도 7 및 도 8은 도 2의 슬릿 밸브 장치가 공정 챔버에서 입사된 이온을 반사하는 모습을 설명하기 위한 개략도들이다. 도 9은 도 8의 B 부분을 확대한 확대도이다. 도 7은 슬릿 도어(110)에 반사 홈들(113)이 없는 경우, 이온이 반사되는 모습을 설명하기 위한 개략도이고, 도 8은 슬릿 도어(110)에 반사 홈들(113)이 있는 경우, 이온이 반사되는 모습을 설명하기 위한 개략도이다. FIGS. 7 and 8 are schematic views for explaining how the slit valve device of FIG. 2 reflects ions incident on the process chamber. FIG. Fig. 9 is an enlarged view of a portion B in Fig. 7 is a schematic view for explaining how ions are reflected when there is no reflection grooves 113 in the slit door 110 and FIG. 8 is a schematic view for explaining the case where the slit door 110 has reflection grooves 113, And is a schematic view for explaining the reflection.

도 7을 참조하면, 슬릿 밸브 장치(101)의 슬릿 도어(110)가 슬릿(21)을 폐쇄한 때, 공정 챔버(20)의 내부 공간은 밀폐될 수 있다. 공정 챔버(20)는 내부 공간이 밀폐된 후, 플라즈마 식각 공정이 수행될 수 있다. 플라즈마 식각 공정시, 이온이 발생하게 되고, 이온(II)은 슬릿(21)으로 유입될 수 있다. 유입된 이온(II)은 슬릿(21) 내에서 의해 직선 운동을 할 수 있다. 예를 들면, 유입된 이온(II)은 슬릿(21)의 길이 방향인 제1 방향(D1)으로 직선 운동할 수 있다. Referring to FIG. 7, when the slit door 110 of the slit valve apparatus 101 closes the slit 21, the inner space of the process chamber 20 can be sealed. After the inner space of the process chamber 20 is sealed, a plasma etching process can be performed. In the plasma etching process, ions are generated, and ions (II) can be introduced into the slit 21. [ The introduced ions (II) can be linearly moved in the slit (21). For example, the introduced ions (II) can linearly move in the first direction (D1), which is the longitudinal direction of the slit (21).

이온(II)은 출입구(22)을 폐쇄한 슬릿 도어(110)의 제1 면(111)에 부딪칠 수 있다. 슬릿 도어(110)의 제1 면(111)이 제1 방향(D1)과 대략 120도(deg)의 경사를 형성하기 때문에, 유입된 이온(II)는 패킹 부재(115)를 향해 반사될 수 있다. 이에 따라, 패킹 부재(115)는 제1 면(111)에서 반사된 이온(RI)에 의해 손상될 수 있다. 또한, 패킹 부재(115)의 손상에 의해 슬릿(21)과 슬릿 도어(110)의 기밀성이 저하될 수 있다.The ions (II) may strike the first surface 111 of the slit door 110 that closes the entrance 22. The introduced ions II can be reflected toward the packing member 115 because the first surface 111 of the slit door 110 forms a slope of approximately 120 degrees with the first direction D1 have. As a result, the packing member 115 can be damaged by the ions RI reflected from the first surface 111. Further, the sealing property of the slit 21 and the slit door 110 may be deteriorated by the damage of the packing member 115.

도 8 및 도 9를 참조하면, 슬릿(21)으로 유입된 이온(II)은 제1 면(111)에 형성된 반사 홈들(113)에 부딪칠 수 있다. 반사 홈들(113)의 제1 및 제2 경사면들(1131, 1132) 중 어느 하나는 제1 방향(D1)과 수직하게 배치될 수 있다. 실시예에 따르면, 제2 경사면(1132)이 제1 방향(D1)과 수직하게 배치될 수 있다. 이에 따라, 제2 경사면(1132)에 부딪친 이온(RI)은 제1 방향(D1)과 반대 방향으로 반사될 수 있다. 그러므로, 이온(RI)은 패킹 부재(115)로 반사되지 않아, 반사된 이온(RI)에 의해 패킹 부재(115)의 손상이 방지될 수 있다. 또한, 제2 경사면(1132)이 매끄럽게 형성됨으로써, 난반사로 인해 이온(RI)이 패킹 부재(115)를 향해 반사되는 것을 방지할 수 있다. 8 and 9, the ions II introduced into the slit 21 may strike the reflection grooves 113 formed on the first surface 111. In this case, Any one of the first and second inclined surfaces 1131 and 1132 of the reflection grooves 113 may be disposed perpendicular to the first direction D1. According to the embodiment, the second inclined surface 1132 may be disposed perpendicular to the first direction D1. Accordingly, the ions RI striking the second inclined surface 1132 can be reflected in a direction opposite to the first direction D1. Therefore, the ions RI are not reflected by the packing member 115, and the damage of the packing member 115 by the reflected ions RI can be prevented. Also, since the second inclined surface 1132 is smoothly formed, it is possible to prevent the ion RI from being reflected toward the packing member 115 due to diffuse reflection.

도 10은 본 발명 실시예들에 따른 기판 처리 설비에 구비된 슬릿 밸브 장치를 설명하기 위한 개략도이다. 도 11은 도 10의 슬릿 도어를 설명하기 위한 평면도이다. 설명의 간결함을 위해, 도 2 내지 도 3을 참조하여 설명한 실시예와 실질적으로 동일한 구성요소에 대한 설명은 생략하거나 간략히 설명한다. 10 is a schematic view for explaining a slit valve device provided in a substrate processing apparatus according to embodiments of the present invention. Fig. 11 is a plan view for explaining the slit door of Fig. 10; Fig. For the sake of brevity of description, the description of the substantially same components as those described with reference to Figs. 2 to 3 will be omitted or briefly explained.

도 10 및 도 11의 슬릿 밸브 장치(101)는 도 2 및 도 3의 슬릿 밸브 장치(100, 도 2 참조)가 슬릿 도어(110, 도 2 참조)를 경사지게 왕복 이동시키는 것과 달리, 슬릿 도어(110)를 수직하게 왕복 이동시킬 수 있다. 실시예들에 따르면, 도어 구동 유닛(120)은 슬릿 도어(110)를 제1 및 제2 방향들(D1, D2)과 수직한 제4 방향(D4)으로 왕복 이동시킬 수 있다. The slit valve device 101 of Figs. 10 and 11 is different from the slit door device 100 (see Fig. 2) of Figs. 2 and 3 reciprocating the slit door 110 (see Fig. 2) 110 can be vertically reciprocated. According to the embodiments, the door driving unit 120 can reciprocate the slit door 110 in the fourth direction D4 perpendicular to the first and second directions D1 and D2.

도 10 및 도 11의 패킹 부재(115)는 도 2 및 도 3의 패킹 부재(115, 도 2 참조)와 달리, 복수의 오링들(1152, 1151)를 포함할 수 있다. 실시예들에 따르면, 패킹 부재(115)는 반사 홈들(113)을 둘러싸는 제1 오링(1151) 및 제1 오링(1151)을 둘러싸는 제2 오링(1152)을 포함할 수 있다. 이에 따라, 패킹 부재(115)는 슬릿 도어(110)와 슬릿(21) 사이의 기밀을 향상시킬 수 있다. 또한, 슬릿 밸브 인서트(25)는 슬릿 도어의 제1 면(111)과 마주보는 면에 제1 오링(1151)과 제2 오링(1152)이 삽입되는 삽입 홈들(미도시)을 가질 수 있다. 슬릿 도어(110)의 제1 면(111)은 매끄럽게 형성될 수 있다. 예를 들면, 제1 면(111)은 대략 1nmRa 이하의 표면 거칠기(roughness)를 가질 수 있다. 이에 따라, 플라즈마의 입자들을 반사하는 제1 면(111)의 반사 성능이 향상될 수 있다. The packing member 115 of FIGS. 10 and 11 may include a plurality of O-rings 1152 and 1151, unlike the packing member 115 (see FIG. 2) of FIGS. According to embodiments, the packing member 115 may include a first O-ring 1151 surrounding the reflective grooves 113 and a second O-ring 1152 surrounding the first O-ring 1151. Accordingly, the packing member 115 can improve the airtightness between the slit door 110 and the slit 21. The slit valve insert 25 may have insertion grooves (not shown) in which the first O-ring 1151 and the second O-ring 1152 are inserted into a face of the slit door facing the first face 111. The first surface 111 of the slit door 110 may be formed smoothly. For example, the first side 111 may have a surface roughness of about 1 nm Ra or less. Accordingly, the reflection performance of the first surface 111 reflecting the particles of the plasma can be improved.

슬릿 도어(110)는 제2 방향(D2)으로 길게 형성된 플레이트 형상으로 제공될 수 있다. 예를 들면, 슬릿 도어(110)의 제2 방향(D2)의 길이는 대략 300mm일 수 있으나, 이에 한정되지 않는다. The slit door 110 may be provided in a plate shape elongated in the second direction D2. For example, the length of the slit door 110 in the second direction D2 may be approximately 300 mm, but is not limited thereto.

이상에서는 본 발명의 바람직한 실시예에 대하여 도시하고 설명하였지만, 본 발명은 상술한 특정의 실시예에 한정되지 아니하며, 특허청구범위에서 청구하는 본 발명의 요지를 벗어남이 없이 당해 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 다양한 변형실시가 가능한 것은 물론이고, 이러한 변형실시들은 본 발명의 기술적 사상이나 전망으로부터 개별적으로 이해되어서는 안될 것이다.While the present invention has been particularly shown and described with reference to exemplary embodiments thereof, it is to be understood that the invention is not limited to the disclosed exemplary embodiments, but, on the contrary, It should be understood that various modifications may be made by those skilled in the art without departing from the spirit and scope of the present invention.

1: 기판 처리 설비 10: 트랜스퍼 챔버
15: 제1 기판 이송 장치 20: 공정 챔버
21: 슬릿 25: 슬릿 밸브 인서트
30: 로드락 챔버 40: 설비 전방 단부 모듈
45: 제2 기판 이송 장치 50: 로드 포트
55: 카세트 100, 101: 슬릿 밸브 장치
110: 슬릿 도어 111: 제1 면
112: 제2 면 113: 반사 홈
1131: 제1 경사면 1132: 제2 경사면
115: 패킹 부재 120: 도어 구동 유닛1: substrate processing facility 10: transfer chamber
15: first substrate transfer device 20: process chamber
21: Slit 25: Slit valve insert
30: load lock chamber 40: equipment front end module
45: second substrate transfer device 50: load port
55: cassette 100, 101: slit valve device
110: slit door 111: first side
112: second side 113: reflective groove
1131: first inclined plane 1132: second inclined plane
115: packing member 120: door driving unit

Claims (10)

슬릿 도어; 및
상기 슬릿 도어를 이동시켜, 공정 챔버의 슬릿을 개폐하기 위한 도어 구동 유닛을 포함하고,
상기 슬릿 도어는:
상기 공정 챔버의 슬릿과 마주보는 제1 면;
상기 제1 면에 대향되는 제2 면; 및
상기 제1 면에 형성된 적어도 하나의 반사 홈을 포함하는 슬릿 밸브 장치.Slit door; And
And a door driving unit for moving the slit door to open and close the slit of the process chamber,
The slit door comprises:
A first side facing the slit of the process chamber;
A second side facing the first side; And
And at least one reflective groove formed on the first surface. 제1항에 있어서,
상기 반사 홈은, 상기 슬릿 도어의 길이 방향을 따라 길게 제공되는 슬릿 밸브 장치. The method according to claim 1,
Wherein the reflective groove is provided along the longitudinal direction of the slit door. 제1항에 있어서,
상기 반사 홈은:
상기 제1 면으로부터 상기 제2 면을 향해 경사지게 연장되는 제1 경사면; 및
상기 제1 면으로부터 상기 제2 면을 향해 경사지게 연장되고, 상기 제1 경사면과 연결되는 제2 경사면을 포함하는 슬릿 밸브 장치.The method according to claim 1,
Wherein the reflective groove comprises:
A first inclined surface extending obliquely from the first surface toward the second surface; And
And a second inclined surface extending obliquely toward the second surface from the first surface and connected to the first inclined surface. 제3항에 있어서,
상기 제1 및 상기 제2 경사면들 중 어느 하나는 상기 공정 챔버의 슬릿의 길이 방향과 수직하게 배치되는 슬릿 밸브 장치. The method of claim 3,
Wherein one of the first and second inclined surfaces is disposed perpendicular to the longitudinal direction of the slit of the process chamber. 제3항에 있어서,
상기 제1 및 제2 경사면들은 1nmRa 이하의 표면 거칠기(roughness)를 갖는 슬릿 밸브 장치.The method of claim 3,
Wherein the first and second inclined surfaces have a surface roughness of 1 nm Ra or less. 제3항에 있어서,
상기 제1 및 제2 경사면들은 평면 또는 곡면인 슬릿 밸브 장치.The method of claim 3,
Wherein the first and second slopes are planar or curved. 제3항에 있어서,
상기 제1 및 제2 경사면들이 이루는 각도는 85도 내지 95도인 슬릿 밸브 장치.The method of claim 3,
Wherein the angle formed by the first and second inclined surfaces is 85 degrees to 95 degrees. 제1항에 있어서,
상기 제1 면 상에 배치되고, 상기 반사 홈을 둘러싸는 패킹 부재를 더 포함하는 슬릿 밸브 장치.The method according to claim 1,
And a packing member disposed on the first surface and surrounding the reflective groove. 트랜스퍼 챔버;
슬릿을 통해 상기 트랜스퍼 챔버와 연결되는 공정 챔버; 및
상기 슬릿을 개폐하기 위해 상기 트랜스퍼 챔버 내에 배치되는 슬릿 밸브 장치를 포함하고,
상기 슬릿 밸브 장치는;
상기 슬릿과 마주보는 제1 면과, 상기 제1 면과 대향된 제2 면을 갖는 슬릿 도어를 포함하되, 상기 제1 면에는 적어도 하나의 반사 홈이 형성되는 기판 처리 설비.Transfer chamber;
A process chamber connected to the transfer chamber through a slit; And
And a slit valve device disposed in the transfer chamber for opening and closing the slit,
The slit valve device comprising:
And a slit door having a first surface facing the slit and a second surface opposite to the first surface, wherein at least one reflective groove is formed in the first surface. 제9항에 있어서,
상기 반사 홈은, 상기 공정 챔버의 슬릿의 길이 방향과 수직한 경사면을 갖는 기판 처리 설비.10. The method of claim 9,
Wherein the reflective groove has an inclined surface perpendicular to the longitudinal direction of the slit of the process chamber.
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