KR20180021342A - 유기발광표시장치 및 유기발광표시장치의 제조방법 - Google Patents

유기발광표시장치 및 유기발광표시장치의 제조방법 Download PDF

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Abstract

본 발명의 일 실시예는 검은색 안료를 포함하는 기판, 기판 상에 배치된 화소전극, 화소전극 상에 배치되고, 화소전극의 적어도 일부를 노출시키는 개구를 가지는 화소정의막, 화소전극 상에 배치되고, 유기발광층을 포함하는 중간층 및 중간층 상에 배치된 대향전극을 포함하는 유기발광표시장치를 제공한다.

Description

유기발광표시장치 및 유기발광표시장치의 제조방법{ORGANIC LIGHT EMITTING DISPLAY DEVICE AND METHOD FOR MANUFACTURING THE SAME}
본 발명은 유기발광표시장치 및 유기발광표시장치의 제조방법에 관한 것이다.
유기발광표시장치는 박막트랜지스터(Thin Film Transistor: TFT) 및 이를 연결하는 배선을 포함하는 패턴이 형성된 어레이 기판 상에 제작되어 화상을 구현한다.
유기발광표시장치는 다양한 환경에서 사용되는데, 유기발광표시장치가 실외 또는 밝은 실내에서 사용되는 경우, 유기발광표시장치에 포함된 배선 및 전극을 구성하는 금속 등에서 반사되는 외부광으로 인해 영상의 콘트라스트비가 낮아져서 시인성이 저하된다.
상기와 같은 외부광의 반사를 방지하기 위하여, 유기발광표시장치는 다양한 종류의 반사방지수단을 포함한다.
기존의 유기발광표시장치는 블랙매트릭스(Black matrix), 컬러필터(Color Filter) 및/또는 편광층 등의 반사방지수단을 포함한다. 하지만, 반사방지를 위해 별도의 층을 두게 되어 공정 수가 증가하고 두께가 두꺼워져, 유연성(flexibility)이 감소하는 문제가 있었다.
본 발명은 상기와 같은 문제점을 포함하여 여러 문제점들을 해결하기 위한 것으로서, 기판에 검은색 안료를 포함시켜 광흡수율을 증가시킴에 따라, 반사방지수단의 두께를 감소시켜 유연성이 증가하면서도 외광반사율을 감소시킨 유기발광표시장치 및 이의 제조방법을 제공하는 것을 목적으로 한다.
그러나 이러한 과제는 예시적인 것으로, 이에 의해 본 발명의 범위가 한정되는 것은 아니다.
본 발명의 일 실시예에 따른 유기발광표시장치는 검은색 안료를 포함하는 기판, 기판 상에 배치된 화소전극, 화소전극 상에 배치되고, 화소전극의 적어도 일부를 노출시키는 개구를 가지는 화소정의막, 화소전극 상에 배치되고, 유기발광층을 포함하는 중간층 및 중간층 상에 배치된 대향전극을 포함한다.
상기 검은색 안료는 아닐린 블랙(Aniline Black, C66H51Cr3N11O12), 카본 블랙(Carbon Black), 램프 블랙(Lamp Black), 흑연(graphite), 팔리오겐 블랙(Paliogen Black, C40H26N2O4) 및 페릴렌 블랙(Perylene Black, C40H26N2O6)을 포함하는 그룹에서 선택된 적어도 어느 하나를 포함할 수 있다.
상기 기판의 가시광선 영역에서의 광흡수율은 약 90% 이상일 수 있다.
상기 기판은 폴리이미드(PI)를 포함하고, 상기 기판에 포함되는 상기 검은색 안료는 카본 블랙(Carbon Black)이며, 상기 카본 블랙의 상기 기판에 대한 중량비율은 약 1% 내지 약 15%일 수 있다.
상기 기판의 두께는 약 5㎛ 내지 약 40㎛ 일 수 있다.
다른 실시예에 따른 유기발광표시장치는 상기 대향전극 상에 배치된 캡핑층, 상기 캡핑층 상에 배치된 커버층 및 상기 커버층 상에 배치된 박막봉지층을 더 포함할 수 있다.
또 다른 실시예에 따른 유기발광표시장치는 상기 박막봉지층 상에 배치된 편광층을 더 포함할 수 있다. 이 때, 광반사율은 약 5% 이하일 수 있다.
또 다른 실시예에 따른 유기발광표시장치는 상기 박막봉지층 상에 배치되고, 발광영역의 적어도 일부를 노출하는 개구를 가지는 블랙매트릭스를 더 포함할 수 있다.
상기 대향전극은 저반사층을 포함할 수 있다.
또 다른 실시예에 따른 유기발광표시장치는 상기 블랙매트릭스의 개구를 매립하는 컬러필터를 더 포함할 수 있다. 이 때 광반사율은 약 5% 이하일 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따른 유기발광표시장치의 제조방법은 검은색 안료를 포함하는 기판조성물을 경화시켜 기판을 형성하는 단계, 상기 기판 상에 화소전극을 형성하는 단계, 상기 화소전극 상에, 상기 화소전극의 적어도 일부를 노출시키는 개구를 가지는 화소정의막을 형성하는 단계, 상기 화소전극 상에, 유기발광층을 포함하는 중간층을 형성하는 단계 및 상기 중간층 상에 대향전극을 형성하는 단계를 포함한다.
상기 검은색 안료는 아닐린 블랙(Aniline Black, C66H51Cr3N11O12), 카본 블랙(Carbon Black), 램프 블랙(Lamp Black), 흑연(graphite), 팔리오겐 블랙(Paliogen Black, C40H26N2O4) 및 페릴렌 블랙(Perylene Black, C40H26N2O6)을 포함하는 그룹에서 선택된 어느 하나를 포함할 수 있다.
상기 기판은 폴리이미드(PI)를 포함하고, 상기 기판조성물에 포함되는 검은색 안료는 카본 블랙(Carbon Black)이며, 상기 카본 블랙의 상기 기판조성물에 대한 중량비율은 약 1% 내지 약 15%일 수 있다.
상기 기판의 두께는 약 5㎛ 내지 약 40㎛일 수 있다.
다른 실시예에 따른 유기발광표시장치의 제조방법은, 상기 대향전극을 형성하는 단계 후에, 상기 대향전극 상에 캡핑층을 형성하는 단계, 상기 캡핑층 상에 커버층을 형성하는 단계 및 상기 커버층 상에 박막봉지층을 형성하는 단계를 더 포함할 수 있다.
또 다른 실시예에 따른 유기발광표시장치의 제조방법은 상기 박막봉지층을 형성하는 단계 후에, 상기 박막봉지층 상에 편광층을 형성하는 단계를 더 포함할 수 있다.
또 다른 실시예에 따른 유기발광표시장치의 제조방법은 상기 박막봉지층을 형성하는 단계 후에, 상기 박막봉지층 상에, 발광영역의 적어도 일부를 노출하는 개구를 가지는 블랙매트릭스를 형성하는 단계를 더 포함할 수 있다.
또 다른 실시예에 따른 유기발광표시장치의 제조방법은 상기 블랙매트릭스를 형성하는 단계 후에, 상기 블랙매트릭스의 개구를 덮는 컬러필터를 형성하는 단계를 더 포함할 수 있다.
전술한 것 외의 다른 측면, 특징, 이점이 이하의 도면, 특허청구범위 및 발명의 상세한 설명으로부터 명확해질 것이다.
상기한 바와 같이 이루어진 본 발명에 따르면, 검은색 안료를 포함하는 기판은 검은색으로 보이게 되어 검은색 안료를 포함하지 않는 기존의 기판보다 광흡수율이 증가하고 광반사율이 감소하여, 전체적인 외광 반사율이 작아져 시인성이 향상된 유기발광표시장치 및 이의 제조방법을 제공할 수 있다. 물론 이러한 효과에 의해 본 발명의 범위가 한정되는 것은 아니다.
도 1은 일 실시예에 따른 유기발광표시장치를 개략적으로 도시한 단면도이다.
도 2는 다른 실시예에 따른 유기발광표시장치의 단면도이다.
도 3은 또 다른 실시예에 따른 유기발광표시장치의 단면도이다.
도 4는 또 다른 실시예에 따른 유기발광표시장치의 단면도이다.
도 5 내지 도 8은 일 실시예에 따른 유기발광표시장치의 제조방법 중 일부를 나타낸 단면도들이다.
본 발명은 다양한 변환을 가할 수 있고 여러 가지 실시예를 가질 수 있는 바, 특정 실시예들을 도면에 예시하고 상세한 설명에 상세하게 설명하고자 한다. 본 발명의 효과 및 특징, 그리고 그것들을 달성하는 방법은 도면과 함께 상세하게 후술되어 있는 실시예들을 참조하면 명확해질 것이다. 그러나 본 발명은 이하에서 개시되는 실시예들에 한정되는 것이 아니라 다양한 형태로 구현될 수 있다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예들을 상세히 설명하기로 하며, 도면을 참조하여 설명할 때 동일하거나 대응하는 구성 요소는 동일한 도면부호를 부여하고 이에 대한 중복되는 설명은 생략하기로 한다.
이하의 실시예에서, 제1, 제2 등의 용어는 한정적인 의미가 아니라 하나의 구성 요소를 다른 구성 요소와 구별하는 목적으로 사용된다.
이하의 실시예에서, 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다.
이하의 실시예에서, 포함하다 또는 가지다 등의 용어는 명세서상에 기재된 특징, 또는 구성요소가 존재함을 의미하는 것이고, 하나 이상의 다른 특징들 또는 구성요소가 부가될 가능성을 미리 배제하는 것은 아니다.
도면에서는 설명의 편의를 위하여 구성 요소들이 그 크기가 과장 또는 축소될 수 있다. 예컨대, 도면에서 나타난 각 구성의 크기 및 두께는 설명의 편의를 위해 임의로 나타내었으므로, 본 발명이 반드시 도시된 바에 한정되지 않는다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예들을 상세히 설명하기로 하며, 도면을 참조하여 설명할 때 동일하거나 대응하는 구성 요소는 동일한 도면부호를 부여하고 이에 대한 중복되는 설명은 생략하기로 한다.
도 1은 일 실시예에 따른 유기발광표시장치를 개략적으로 도시한 단면도이다.
도 1을 참조하면, 일 실시예에 따른 유기발광표시장치는, 검은색 안료를 포함하는 기판(10), 기판(10) 상에 배치된 화소전극(80), 화소전극(80) 상에 배치되고, 화소전극(80)의 적어도 일부를 노출시키는 개구(90H)를 가지는 화소정의막(90), 화소전극(80) 상에 배치되고, 유기발광층을 포함하는 중간층(100) 및 중간층(100) 상에 배치된 대향전극(110)을 포함한다.
기판(10)은 다양한 재료, 예컨대 글라스재, 플라스틱재 또는 금속재 등과 같은 다양한 재질로 형성된 것일 수 있다. 특히 기판(10)은 플렉서블(flexible) 또는 벤더블(bendable) 특성을 갖는 다양한 물질을 포함할 수 있는데, 예컨대 폴리에테르술폰(polyethersulphone, PES), 폴리아크릴레이트(polyacrylate, PAR), 폴리에테르 이미드(polyetherimide, PEI), 폴리에틸렌 나프탈레이트(polyethyelenen napthalate, PEN), 폴리에틸렌 테레프탈레이드(polyethyeleneterepthalate, PET), 폴리페닐렌 설파이드(polyphenylene sulfide, PPS), 폴리아릴레이트(polyallylate), 폴리이미드(polyimide, PI), 폴리카보네이트(polycarbonate, PC) 또는 셀룰로오스 아세테이트 프로피오네이트(cellulose acetate propionate, CAP)와 같은 고분자 수지를 포함할 수 있다.
기판(10)은 검은색 안료를 포함한다. 검은색 안료는, 예컨대 아닐린 블랙(Aniline Black, C66H51Cr3N11O12), 카본 블랙(Carbon Black), 램프 블랙(Lamp Black), 흑연(graphite), 팔리오겐 블랙(Paliogen Black, C40H26N2O4) 및 페릴렌 블랙(Perylene Black, C40H26N2O6)을 포함하는 그룹에서 선택된 적어도 어느 하나를 포함할 수 있다.
기판(10)이 검은색 안료를 포함하는 경우, 기판(10)은 검은색으로 보이게 되어 검은색 안료를 포함하지 않는 기존의 기판(10)보다 광흡수율이 증가한다. 이에 따라 기판(10)에서의 광반사율이 감소하여, 유기발광표시장치의 외광에 대한 광반사율이 작아지게 된다. 따라서 유기발광표시장치의 시인성이 향상된다.
유기발광표시장치는 후술할 유기발광층으로부터 방출된 빛이 대향전극(110)을 투과하여 외부로 방출되는 전면발광 방식(top-emission type)일 수 있다.
일 실시예에 따르면, 검은색 안료를 포함하는 기판(10)의 가시광선 영역에서의 광흡수율은 90% 이상일 수 있다. 이 때 가시광선 영역이란, 빛의 파장이 380nm~780nm 사이인 영역을 의미한다.
기판(10)에서 반사된 외광은 유기발광표시장치 전체적으로 반사된 외광 중 일부이므로, 기판(10)에서의 외광 반사율을 크게 줄이지 않는 한 전체 외광 반사에 영향을 미치지 않는다. 따라서 기판(10)에서의 광흡수율을 90% 이상으로 구성함으로써, 유기발광표시장치의 전체적인 외광 반사율을 크게 감소시킬 수 있다.
[표 1]은 폴리이미드(PI)를 포함하는 기판(10)의 두께 및 기판(10)의 카본 블랙(Carbon Black) 함유율(%)에 따른 기판(10)의 광흡수율을 측정한 실험데이터이다. 이 때, 광흡수율이 90% 이상인 경우는 노란색으로 표시하였다.
[표 1]
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[표 1]에서 확인할 수 있듯, 검은색 안료의 함량이 증가함에 따라 기판(10)의 광흡수율이 높아져 기판(10)은 점점 더 검은색으로 보이게 되며, 투과율 및 반사율은 작아지게 된다. 한편, 기판(10)의 두께가 증가함에 따라 빛의 투과도가 감소하므로 광흡수율은 증가한다.
일 실시예에 따르면, 폴리이미드(PI)를 포함하는 기판(10) 상에 포함되는 검은색 안료는 카본 블랙(Carbon Black)이고, 카본 블랙의 기판(10)에 대한 중량비율은 약 1% 내지 약 15%일 수 있다. [표 1]을 참조하면, 카본 블랙의 중량비율이 1% 미만인 경우 기판(10)의 광흡수율이 90% 미만이 된다. 이 경우에도 카본 블랙을 포함하지 않는 경우에 비해 기판(10)의 반사율이 작아지긴 하나, 유기발광표시장치 전체의 광반사율에는 큰 영향을 끼치지 못하게 된다. 한편, 카본 블랙의 중량비율이 15%보다 커지는 경우, 광흡수율은 100%에 가깝게 커져 기판(10)에서의 반사율을 0%에 가깝게 줄일 수 있으나, 기판(10)의 검은색 안료의 비율이 커져 유연성(flexibility)이 저하된다.
특히, 카본 블랙의 중량비율이 약 5% 내지 약 15%인 경우, 기판(10)의 두께가 5㎛ 이상이기만 하면 광흡수율이 약 90% 이상이 된다. 이 때 기판(10)의 두께가 20㎛ 이상인 경우에는 광흡수율이 약 99% 이상이 되는 효과가 있다.
일 실시예에 따르면, 폴리이미드(PI)를 포함하는 기판(10)의 두께(h1)는 약 5㎛ 내지 약 40㎛일 수 있다. 기판(10)의 두께(h1)가 40㎛를 초과하는 경우, 기판(10)의 유연성(flexibility)이 저하되는 문제점이 있다. 반대로 기판(10)의 두께(h1)가 5㎛미만인 경우, 기판(10)의 광흡수율과 강도가 낮아지는 문제점이 있다.
상기와 같이 기판(10)이 검은색 안료를 포함하는 경우, 기판(10)은 검은색으로 보이게 되어 검은색 안료를 포함하지 않는 기존의 기판(10)보다 광흡수율이 증가한다. 이에 따라 기판(10)에서의 광반사율이 감소하여, 유기발광표시장치의 전체적인 외광에 대한 광반사율이 작아지게 된다. 즉 기판(10)이 검은색 안료를 포함하는 경우의 반사율은, 검은색 안료를 포함하지 않는 경우의 반사율보다 약 5% 작아지게 된다. 따라서 유기발광표시장치의 시인성이 향상된다.
이하, 기판(10) 상의 구성요소에 대하여 설명한다.
도 1을 다시 참조하면, 기판(10) 상에는, 실리콘옥사이드, 실리콘나이트라이드 및/또는 실리콘옥시나이트라이드 등과 같은 무기물을 포함하는 버퍼층(11)이 배치될 수 있다. 이러한 버퍼층(11)은 기판(10)의 상면의 평활성을 높이거나 기판(10) 등으로부터의 불순물이 박막트랜지스터(TFT)의 활성층(20)으로 침투하는 것을 방지하거나 최소화하는 역할을 할 수 있다. 버퍼층(11)은 경우에 따라 생략될 수도 있다.
기판(10) 상에는, 박막트랜지스터(TFT)가 배치될 수 있으며, 박막트랜지스터(TFT)는 화소전극(80)과 전기적으로 연결될 수 있다. 이러한 박막트랜지스터(TFT)는 비정질실리콘, 다결정실리콘, 산화물반도체 또는 유기반도체물질 등의 반도체 물질을 포함하는 활성층(20), 활성층(20)과 절연된 게이트 전극(40), 활성층(20)과 각각 전기적으로 연결된 소스 전극(61) 및 드레인 전극(62)을 포함할 수 있다. 활성층(20)의 상부에는 게이트 전극(40)이 배치되는데, 이 게이트 전극(40)에 인가되는 신호에 따라 소스 전극(61) 및 드레인 전극(62)이 전기적으로 소통된다. 게이트 전극(40)은 인접층과의 밀착성, 적층되는 층의 표면 평탄성 그리고 가공성 등을 고려하여, 예컨대 알루미늄(Al), 백금(Pt), 팔라듐(Pd), 은(Ag), 마그네슘(Mg), 금(Au), 니켈(Ni), 네오디뮴(Nd), 이리듐(Ir), 크롬(Cr), 리튬(Li), 칼슘(Ca), 몰리브덴(Mo), 티타늄(Ti), 텅스텐(W), 구리(Cu) 중 하나 이상의 물질로 단층 또는 다층으로 형성될 수 있다.
활성층(20)과 게이트 전극(40)의 절연성을 확보하기 위해, 실리콘옥사이드, 실리콘나이트라이드 및/또는 실리콘옥시나이트라이드 등의 무기물을 포함하는 제1절연층(30)이 활성층(20)과 게이트 전극(40) 사이에 배치될 수 있다. 아울러 게이트 전극(40)의 상부에는 실리콘옥사이드, 실리콘나이트라이드 및/또는 실리콘옥시나이트라이드 등의 무기물을 포함하는 제2절연층(50)이 배치될 수 있으며, 소스 전극(61) 및 드레인 전극(62)은 제2절연층(50) 상에 배치될 수 있다. 소스 전극(61) 및 드레인 전극(62)은 제2절연층(50)과 제1절연층(30)에 형성되는 컨택홀을 통하여 활성층(20)에 각각 전기적으로 연결된다.
박막트랜지스터(TFT) 상에는 박막트랜지스터(TFT)를 덮는 제3절연층(70)이 배치될 수 있다. 제3절연층(70)은 화소전극(80)이 평탄하게 형성될 수 있도록 평탄한 상면을 가질 수 있다. 이러한 제3절연층(70)은 예컨대 아크릴, BCB(Benzocyclobutene), 폴리이미드(polyimide) 또는 HMDSO(Hexamethyldisiloxane) 등과 같은 유기물로 형성될 수 있다. 도 1에서는 제3절연층(70)이 단층으로 도시되어 있으나, 제3절연층(70)은 다층일 수도 있다.
제3절연층(70)은 박막트랜지스터(TFT)의 소스 전극(61) 및 드레인 전극(62) 중 어느 하나를 노출시키는 비아홀(70H)을 포함하며, 화소전극(80)은 비아홀(70H)을 통해 소스 전극(61) 및 드레인 전극(62) 중 어느 하나와 컨택하여 박막트랜지스터(TFT)와 전기적으로 연결된다. 도 1에서는 예시적으로 화소전극(80)이 드레인 전극(62)과 연결되어 있다.
제3절연층(70) 상에는 화소전극(80), 화소전극(80) 상에 배치되며 유기발광층을 포함하는 중간층(100) 및 대향전극(110)을 포함하는 유기발광소자(OLED)가 배치된다.
화소전극(80)은 반사형 전극으로 형성될 수 있다. 화소전극(80)이 반사형 전극으로 형성될 때에는 Ag, Mg, Al, Pt, Pd, Au, Ni, Nd, Ir, Cr 및 이들의 화합물 등으로 형성된 반사막과, 반사막의 상부 및/또는 하부에 배치된 투명 전도층을 포함할 수 있다. 투명 전도층은 ITO, IZO, ZnO, In2O3: indium oxide, IGO, 및 AZO을 포함하는 그룹에서 선택된 적어도 어느 하나일 수 있다. 물론 본 발명이 이에 한정되는 것은 아니고 화소전극(80)은 다양한 재질로 형성될 수 있으며, 그 구조 또한 단층 또는 다층으로 될 수 있는 등 다양한 변형이 가능하다.
제3절연층(70) 상에는 화소전극(80)의 가장자리 영역을 덮는 화소정의막(90)이 배치될 수 있다. 화소정의막(90)은 적어도 화소전극(80)의 일부를 노출시키는 개구(90H)를 가지며 화소를 정의하는 역할을 한다. 이와 같은 화소정의막(90)은 예컨대 폴리이미드(PI; polyimide) 또는 HMDSO(hexamethyldisiloxane) 등과 같은 유기물로 형성될 수 있다. 화소정의막(90)은 단층 또는 복수층으로 형성될 수 있다.
화소정의막(90)에 의해 노출된 화소전극(80) 상에는 중간층(100)이 배치된다. 중간층(100)은 저분자 또는 고분자 물질을 포함하는 유기발광층(EML: Emission Layer)을 포함할 수 있다. 유기발광층이 저분자 물질을 포함할 경우 중간층(100)은 정공주입층(HIL: Hole Injection Layer), 정공수송층(HTL: Hole Transport Layer), 유기발광층(EML: Emission Layer), 전자수송층(ETL: Electron Transport Layer), 전자주입층(EIL: Electron Injection Layer) 등이 단일 또는 복합의 구조로 적층된 구조를 가질 수 있으며, 유기발광층(EML)은 구리 프탈로시아닌(CuPc: copper phthalocyanine), N,N-디(나프탈렌-1-일)-N,N'-디페닐-벤지딘 (N,N'-Di(naphthalene-1-yl)-N,N'-diphenyl-benzidine: NPB) , 트리스-8-하이드록시퀴놀린 알루미늄(tris-8-hydroxyquinoline aluminum)(Alq3) 등을 비롯해 다양한 유기물질을 포함할 수 있다. 이러한 층들은 진공증착의 방법으로 형성될 수 있다. 유기발광층(EML)이 고분자 물질을 포함할 경우에는 대개 정공수송층(HTL) 및 유기발광층(EML)을 포함하는 구조를 가질 수 있다. 이 때, 정공수송층은 PEDOT을 포함하고, 유기발광층(EML)은 PPV(Poly-Phenylenevinylene)계 및 폴리플루오렌(Polyfluorene)계 등의 유기물을 포함할 수 있다.
물론 중간층(100)은 반드시 이에 한정되는 것은 아니고, 다양한 구조를 가질 수도 있음은 물론이다. 그리고 중간층(100)은 복수 개의 화소전극(80)들에 걸쳐서 일체인 층을 포함할 수도 있고, 복수 개의 화소전극(80)들 각각에 대응하도록 패터닝된 층을 포함할 수도 있다.
중간층(100) 상에는 대향전극(110)이 배치된다. 대향전극(110)은 화소전극(80)과는 달리 복수의 화소들에 걸쳐 일체(一體)로 형성될 수 있다.
대향전극(110)은 (반)투명 전극으로 형성될 수 있다. 대향전극(110)이 (반)투명 전극으로 형성될 때에는 Ag, Al, Mg, Li, Ca, Cu, LiF/Ca, LiF/Al, MgAg 및 CaAg에서 선택된 하나 이상의 물질을 포함할 수 있으며, 수 내지 수십 nm의 두께를 갖는 박막 형태로 형성될 수 있다. 대향전극(110)의 구성 및 재료는 이에 한정되는 것은 아니며 다양한 변형이 가능함은 물론이다.
일 실시예에 따르면, 유기발광표시장치는 대향전극(110) 상에 배치된 캡핑층(120), 캡핑층 상에 배치된 커버층(121), 커버층 상에 배치된 박막봉지층(160)을 더 포함할 수 있다.
도 1을 다시 참조하면, 대향전극(110) 상에는 캡핑층(120)이 배치될 수 있다. 캡핑층(120)은 대향전극(110)보다 낮은 굴절률을 가지며, 유기발광층(EML)을 포함하는 중간층(100)에서 발생된 빛이 전반사되어 외부로 방출되지 않는 비율을 감소시켜 광효율을 향상시키는 역할을 한다.
예시적으로, 캡핑층(120)은 폴리(3,4-에틸렌디옥시티오펜)(Poly(3,4- ethylenedioxythiophene), PEDOT), 4,4'－비스[N-(3-메틸페닐)-N-페닐 아미노]비페닐(TPD), 4,4',4''-트리스[(3-메틸페닐)페닐 아미노]트리페닐아민(m-MTDATA), 1,3,5-트리스[N,N-비스(2-메틸페닐)-아미노]-벤젠(o-MTDAB), 1,3,5-트리스[N,N-비스(3-메틸페닐)-아미노]-벤젠(m-MTDAT), 1,3,5-트리스[N,N-비스(4-메틸페닐)-아미노]-벤젠(p-MTDAB), 4,4'－비스[N,N-비스(3-메틸페닐)-아미노]-디페닐메탄(BPPM), 4,4'－디카르바졸릴-1,1'－비페닐(CBP), 4,4',4''-트리스(N-카르바졸)트리페닐아민(TCTA), 2,2',2''-(1,3,5-벤젠톨릴)트리스-[1-페닐-1H-벤조이미다졸](TPBI), 및 3-(4-비페닐)-4-페닐-5-t-부틸페닐-1,2,4-트리아졸(TAZ)과 같은 유기물을 포함할 수 있다.
또는, 캡핑층(120)은 산화 아연(zinc oxide), 산화 티타늄(titanium oxide), 산화 지르코늄(zirconium oxide), 산화 질소(silicon nitride), 산화 나이오븀(niobium oxide), 산화 탄탈(tantalum oxide), 산화 주석(tin oxide), 산화 니켈(nickel oxide), 질화 인듐(indium nitride), 및 질화 갈륨(gallium nitride)과 같은 무기물을 포함할 수 있다. 물론, 캡핑층(120)을 형성할 수 있는 물질은 이에 한정되는 것은 아니며 다양한 물질들로 형성될 수 있다.
캡핑층(120)상에는 커버층(121)이 배치될 수 있다. 커버층(121)은 플라즈마 등을 이용한 후속 공정 과정에서 발생할 수 있는 손상으로부터 유기발광 소자(OLED)를 보호한다. 커버층(121)은 플루오린화 리튬(LiF; lithium fluoride)을 포함할 수 있다.
커버층(121) 상에는 박막봉지층(160)이 배치될 수 있다. 박막봉지층(160)은 대향전극(110) 상에 순차적으로 배치된 제1무기막(161), 유기막(162) 및 제2무기막(163)을 포함할 수 있다. 제1무기막(161)은 실리콘옥사이드, 실리콘나이트라이드 및/또는 실리콘옥시나이트라이드 등을 포함할 수 있다. 이러한 제1무기막(161)은 그 하부의 구조물을 따라 형성되기에, 도 1에 도시된 것과 같이 그 상면이 평탄하지 않을 수 있다. 유기막(162)은 이러한 제1무기막(161)을 덮으며 평탄한 상면을 형성할 수 있다. 유기막(162)은 폴리에틸렌테레프탈레이트, 폴리에틸렌나프탈레이트, 폴리카보네이트, 폴리이미드, 폴리에틸렌설포네이트, 폴리옥시메틸렌, 폴리아릴레이트, 헥사메틸디실록산으로 이루어지는 군으로부터 선택된 하나 이상의 재료를 포함할 수 있다. 제2무기막(163)은 유기막(162)을 덮으며, 실리콘옥사이드, 실리콘나이트라이드 및/또는 실리콘옥시나이트라이드 등을 포함할 수 있다.
박막봉지층(160)은 유기발광소자(OLED)가 외부의 공기나 이물질에 노출되지 않도록 유기발광소자(OLED)를 밀봉하는 역할을 수행하며, 매우 얇은 두께를 가지므로 벤딩(bending) 또는 폴딩(folding) 등이 가능한 플렉서블 표시 장치의 봉지 수단으로 이용될 수 있다.
한편, 도 1에서는 예시적으로 박막봉지층(160)이 하나의 유기막(162)만을 포함하는 것으로 도시하였으나, 박막봉지층(160)은 여러 층의 유기막과 무기막이 교대로 적층된 구조일 수 있다.
도 2는 다른 실시예에 따른 유기발광표시장치의 단면도이다.
일 실시예에 따르면, 유기발광표시장치는 박막봉지층(160) 상에 배치된 편광층(130)을 더 포함할 수 있다. 도 2를 참조하면, 편광층(130)은 박막봉지층(160) 상에 배치된 위상지연필름(132) 및 위상지연필름(132) 상에 배치된 선편광필름(linear polarization film, 131)을 포함할 수 있다. 선편광필름(131)은 통과하는 빛을 선편광시키고, 위상지연필름(132)은 통과하는 빛의 위상을 지연시킨다. 예컨대 위상지연필름(132)은 빛의 위상을 45도, 즉 위상의 1/4만큼을 지연시킬 수 있다. 여기서, 선편광필름(131)을 통과하여 선편광된 빛은 위상지연필름(132)을 통과하면서 원편광(circular polarization)된다. 도 2에서는 편광층(130)이 하나의 위상지연필름(132)을 포함하는 것을 예시하였으나, 편광층(130)은 복수 개의 위상지연필름(132)을 포함할 수 있다.
편광층(130)으로 입사된 외광은 선편광필름(131)에 의하여 선편광되고, 위상지연필름(132)에 의하여 원편광된다. 원편광된 외광은 유기발광표시장치 내부에서 반사될 때 회전방향이 반대로 되어, 위상지연필름(132)을 통과할 때 편광방향이 선편광필름(131)의 편광 방향과 수직으로 된다. 따라서 반사된 빛은 선편광필름(131)을 통과하지 못하여, 외광반사가 방지된다.
일 실시예에 따르면, 편광층(130)을 포함하는 유기발광표시장치의 반사율은 약 5% 이하일 수 있다. 반사율은 유기발광표시장치로의 입사광에 대한 반사광의 세기의 비율을 의미한다. 기판(10)이 검은색 안료를 포함하고, 유기발광표시장치가 편광층(130)을 포함하는 경우, 외광에 의한 반사율을 5% 이하로 낮출 수 있다. 이와 같은 경우 유기발광표시장치의 시인성이 향상된다.
도 3은 또 다른 실시예에 따른 유기발광표시장치의 단면도이다.
일 실시예에 따르면, 유기발광표시장치는 블랙매트릭스(140)를 더 포함할 수 있다. 도 3을 참조하면, 블랙매트릭스(140)는 박막봉지층(160) 상의 비발광영역(NA)에 대응되는 영역에 배치된다. 블랙매트릭스(140)는 발광영역(AA)의 적어도 일부를 노출하는 개구(140H)를 가질 수 있다. 이 때 발광영역(AA)은 중간층(100)의 영역, 즉 유기발광층(EML)이 빛을 내는 영역과 평면상 중첩되는 영역을 의미한다. 비발광영역(NA)은 발광영역(AA)이 이외의 영역을 의미한다.
블랙매트릭스(140)는, 발광영역(AA)을 통해 중간층(100)내의 유기발광층(EML)에서 발생한 빛을 통과시키는 한편, 비발광영역(NA)을 통해 외부로부터 유입되는 빛을 흡수할 수 있다. 그리하여, 유기발광표시장치의 콘트라스트 및 광효율을 향상시킬 수 있다. 블랙매트릭스(140)는 다양한 재질로, 예컨대 검은색 안료를 혼합한 유기 물질, 크롬(Cr) 또는 크롬산화물(CrOx) 등을 포함할 수 있다. 크롬 또는 크롬산화물로 블랙매트릭스(140)가 형성되는 경우, 블랙매트릭스(140)는 크롬 또는 크롬 산화물의 단일막 또는 다중막일 수 있다.
상기와 같이 유기발광표시장치가 블랙매트릭스(140)를 포함하는 경우, 일반적으로 약 100㎛ 정도의 두께를 가질 수 있는 편광층(130) 없이도 외광 반사를 충분히 방지할 수 있어, 유연성(flexibility)이 향상된다. 단, 블랙매트릭스(140)는 비발광영역(NA)에서의 광반사율을 감소시키는 역할을 수행하므로, 발광영역(AA)에서의 광반사율을 감소시키기 위한 수단이 따로 필요하다.
일 실시예에 따르면 대향전극(110)은 저반사층일 수 있다. 대향전극(110)은 비발광영역(NA) 뿐 아니라 발광영역(AA)에도 배치되므로, 발광영역(AA)에서의 광반사율을 감소시켜 유기발광표시장치 전체의 광반사율을 감소시키는 역할을 수행할 수 있다. 대향전극(110)은 굴절률이 다른 복수 개의 물질층을 포함하여, 각 경계면에서 반사하는 빛이 상쇄간섭하도록 하여 저반사 기능을 구현할 수 있다. 또는, 대향전극(110)의 표면을 산화시켜 저반사 기능을 구현할 수도 있다.
상기와 같이, 유기발광표시장치가 블랙매트릭스(140)를 포함하고, 기판(10)이 검은색 안료를 포함하며, 대향전극(110)은 저반사층으로 구성되는 경우, 유기발광표시장치의 외광에 의한 반사율을 약 6% 이하로 낮출 수 있다.
도 4는 또 다른 실시예에 따른 유기발광표시장치의 단면도이다.
도 4를 참조하면, 유기발광표시장치는 컬러필터(150)를 더 포함할 수 있다. 컬러필터(150)는 예컨대 블랙매트릭스(140)의 개구(140H)를 매립하도록 배치될 수 있다. 컬러필터(150)는 발색 물질 및 발색 물질이 분산된 유기물질을 포함하며, 발색 물질은 일반적인 안료 또는 염료일 수 있고 유기물질은 일반적인 분산제일 수 있다.
유기발광소자(OLED)에서 백색광이 방출되는 경우, 컬러필터(150)는　적색, 녹색 또는 청색과 같은 특정 파장의 광만 선택적으로 통과시키고, 나머지 파장의 광은 흡수함으로써, 각 화소에서 적색, 녹색 또는 청색 중 하나의 광을 방출하게 한다. 이와 같이 각 발광영역(AA)에 대응하여 적색, 녹색, 및 청색을 가지는 컬러필터(150)가 배치됨으로써, 복수의 발광영역(AA)은 각각 적색, 녹색 및 청색으로 발광하게 된다.
한편, 유기발광소자(OLED)에서 소정의 색을 갖는 가시광선, 예를 들면 적색, 녹색 및 청색 가시광선이 방출되는 경우 컬러필터(150)는 이러한 가시광선의 광특성을 향상시킬 수 있다.
컬러필터(150)는 발광영역(AA)과 중첩되고, 비발광영역(NA)의 일부와도 중첩될 수 있다. 즉 컬러필터(150)는 주로 발광영역(AA)에서의 광반사율을 감소시킬 수 있다. 유기발광표시장치가 블랙매트릭스(140)와 컬러필터(150)를 포함하고, 기판(10)이 검은색 안료를 포함하는 경우, 외광 반사율을 약 5% 이하로 낮출 수 있다.
이하 도 5 내지 도 8을 참조하여 상기 유기발광표시장치의 제조방법을 순차적으로 설명한다.
도 5 내지 도 8을 참조하면, 일 실시예에 따른 유기발광표시장치의 제조 방법은, 검은색 안료(BP)를 포함하는 기판조성물(10')을 경화시켜 기판(10)을 형성하는 단계, 기판(10) 상에 화소전극(80)을 형성하는 단계, 화소전극(80) 상에, 화소전극(80)의 적어도 일부를 노출시키는 개구(90H)를 가지는 화소정의막(90)을 형성하는 단계, 화소전극(80) 상에, 유기발광층(EML)을 포함하는 중간층(100)을 형성하는 단계 및 중간층(100) 상에 대향전극(110)을 형성하는 단계를 포함한다.
도 5를 참조하면, 캐리어기판(1) 상에 검은색 안료(BP)를 포함하는 기판조성물(10')이 도포된다. 캐리어기판(1)은 유기발광표시장치의 구성요소들이 모두 적층된 후 기판(10)과 분리될 수 있다. 이하에서는 편의상 도면에서의 캐리어기판(1)의 도시를 생략한다.
기판조성물(10')은 폴리에테르술폰(polyethersulphone, PES), 폴리아크릴레이트(polyacrylate, PAR), 폴리에테르 이미드(polyetherimide, PEI), 폴리에틸렌 나프탈레이트(polyethyelenen napthalate, PEN), 폴리에틸렌 테레프탈레이드(polyethyeleneterepthalate, PET), 폴리페닐렌 설파이드(polyphenylene sulfide, PPS), 폴리아릴레이트(polyallylate), 폴리이미드(polyimide, PI), 폴리카보네이트(polycarbonate, PC) 또는 셀룰로오스 아세테이트 프로피오네이트(cellulose acetate propionate, CAP)의 전구체(precursor) 용액일 수 있다. 예컨대 기판조성물(10')은 폴리이미드(PI)의 전구체인 폴리아믹산(polyamic acid) 조성물 용액일 수 있다.
일 실시예에 따르면, 기판조성물(10')에 섞인 검은색 안료(BP)는 아닐린 블랙(Aniline Black, C66H51Cr3N11O12), 카본 블랙(Carbon Black), 램프 블랙(Lamp Black), 흑연(graphite), 팔리오겐 블랙(Paliogen Black, C40H26N2O4) 및 페릴렌 블랙(Perylene Black, C40H26N2O6)를 포함하는 그룹에서 선택된 어느 하나를 포함할 수 있다.
일 실시예에 따르면, 기판(10)은 폴리이미드(PI)를 포함하고, 기판조성물(10')에 포함되는 검은색 안료는 카본 블랙(Carbon Black)이며, 카본 블랙의 기판조성물(10')에 대한 중량비율은 약 1% 내지 약 15%일 수 있다.
도 6을 참조하면, 기판조성물(10')을 경화시켜 기판(10)을 형성한다. 예컨대 폴리아믹산(polyamic acid) 조성물 용액을 경화시켜 폴리이미드(PI) 기판(10)을 형성할 수 있다. 기판조성물(10')은 검은색 안료를 포함하고 있으므로, 이를 경화시킨 기판(10)은 검은색을 띠게 된다. 이 때 기판(10)의 두께는 약 5㎛ 내지 약 40㎛일 수 있다.
도 7을 참조하면, 기판(10) 상에 박막트랜지스터(TFT)를, 박막트랜지스터(TFT) 상에 제3절연층(70)을, 제3절연층(70)의 비아홀(70H)을 매립하는 화소전극(80)을, 화소전극(80)의 적어도 일부를 노출시키는 개구를 가지는 화소정의막(90)을, 화소전극(80) 상에 유기발광층을 포함하는 중간층(100)을 형성한다. 상기 공정은 공지된 포토(photo) 공정 등을 통해 이루어질 수 있는 바, 자세한 기재를 생략한다.
도 8을 참조하면, 중간층(100) 상에 대향전극(110)을 형성한다. 대향전극(110)은 화소전극(80)과는 달리 복수의 화소들에 걸쳐 일체(一體)로 형성될 수 있다.
일 실시예에 따르면 대향전극(110)은 저반사층으로 형성될 수 있다. 대향전극(110)은 비발광영역(NA) 뿐 아니라 발광영역(AA)에도 배치되므로, 발광영역(AA)에서의 광반사율을 감소시켜 유기발광표시장치 전체의 광반사율을 감소시키는 역할을 수행할 수 있다. 도시되지는 않았으나, 대향전극(110) 형성시, 굴절률이 다른 복수 개의 물질층을 적층하여, 각 경계면에서 반사하는 빛이 상쇄간섭하도록 하여 저반사 기능을 구현할 수 있다. 또는, 대향전극(110)의 표면을 산화시켜 저반사 기능을 구현할 수도 있다.
다시 도 1을 참조하면, 다른 실시예에 따른 유기발광표시장치의 제조방법은, 대향전극(110)을 형성하는 단계 후에, 대향전극(110)상에 캡핑층(120)을 형성하는 단계, 캡핑층(120)상에 커버층(121)을 형성하는 단계, 커버층(121)상에 박막봉지층(160)을 형성하는 단계를 더 포함할 수 있다.
또 다른 실시예에 따르면, 박막봉지층(160)을 형성하는 단계 후에, 박막봉지층(160) 상에 편광층(130)을 형성하는 단계가 더 수행될 수 있다. 다시 도 2를 참조하면, 박막봉지층(160) 형성 단계 이후 위상지연필름(132)을 형성한다. 이후, 위상지연필름(132) 상에 선편광필름(131)을 형성하여 편광층(130)을 형성한다. 기판(10)이 검은색 안료를 포함하고, 유기발광표시장치가 편광층(130)을 포함하는 경우, 외광에 의한 반사율을 5% 이하로 낮출 수 있다. 따라서 유기발광표시장치의 시인성이 향상된다.
또 다른 실시예에 따른 유기발광표시장치의 제조방법은, 박막봉지층(160)을 형성하는 단계 후에, 블랙매트릭스(140)를 형성하는 단계를 더 포함할 수 있다. 다시 도 3을 참조하면, 박막봉지층(160)을 형성하는 단계 이후 박막봉지층(160) 상에 발광영역(AA)의 적어도 일부를 노출하는 개구(140H)를 가지는 블랙매트릭스(140)가 형성될 수 있다.
블랙매트릭스(140)는 다양한 재질로, 예컨대 검은색 안료를 혼합한 유기 물질, 크롬(Cr) 또는 크롬산화물(CrOx) 등을 포함할 수 있다. 한편, 블랙매트릭스(140)는 크롬 또는 크롬 산화물의 단일막 또는 다중막일 수 있다. 이 때 스퍼터링이나 E-빔 증착 방법을 이용하여 크롬 또는 크롬산화물을 포함하는 블랙매트릭스(140)를 형성할 수 있다. 블랙매트릭스(140)는 비발광영역(NA)에서의 광반사율을 감소시키는 역할을 수행하므로, 발광영역(AA)에서의 광반사율을 감소시키는 수단이 따로 필요하다.
일 실시예에 따르면, 블랙매트릭스(140)를 형성하는 단계 후에, 컬러필터(150)를 형성하는 단계가 더 수행될 수 있다. 다시 도 4를 참조하면, 컬러필터(150)는 예컨대 블랙매트릭스(140)의 개구(140H)를 매립하도록 형성될 수 있다. 즉 컬러필터(150)는 발광영역(AA)과 중첩되고, 비발광영역(NA)의 일부와도 중첩될 수 있다. 즉 컬러필터(150)는 주로 발광영역(AA)에서의 광반사율을 감소시킬 수 있다. 유기발광표시장치가 블랙매트릭스(140)와 컬러필터(150)를 포함하고, 기판(10)이 검은색 안료를 포함하는 경우, 외광에 의한 반사율을 약 5% 이하로 낮출 수 있다.
한편, 상술한 바와 같이 대향전극(110)을 저반사층으로 형성하여 발광영역(AA)에서의 광반사율을 감소시킬 수도 있다.
상술한 바와 같이 기판(10)이 검은색 안료를 포함하도록 유기발광표시장치를 제조하는 경우, 기판(10)은 검은색으로 보이게 되어 검은색 안료를 포함하지 않는 기존의 기판(10)보다 광흡수율이 증가한다. 이에 따라 기판(10)에서의 광반사율이 감소하여, 유기발광표시장치의 전체적인 외광반사율이 작아지게 된다. 따라서, 유기발광표시장치의 시인성이 향상된다.
본 발명은 도면에 도시된 실시예를 참고로 설명되었으나 이는 예시적인 것에 불과하며, 당해 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 다른 실시 예가 가능하다는 점을 이해할 것이다. 따라서, 본 발명의 진정한 기술적 보호 범위는 첨부된 특허청구범위의 기술적 사상에 의하여 정해져야 할 것이다.
10: 기판 10': 기판조성물
11: 버퍼층 20: 활성층
30: 제1절연층 40: 게이트 전극
50: 제2절연층 61: 소스 전극
62: 드레인 전극 70: 제3절연층
80: 화소전극 90: 화소정의막
100: 중간층 110: 대향전극
120: 캡핑층 121: 커버층
130: 편광층 131: 선편광필름
132: 위상지연필름 140: 블랙매트릭스
150: 컬러필터 160: 박막봉지층
161: 제1무기막 162: 유기막
163: 제2무기막

Claims (20)

  1. 검은색 안료를 포함하는 기판;
    상기 기판 상에 배치된 화소전극;
    상기 화소전극 상에 배치되고, 상기 화소전극의 적어도 일부를 노출시키는 개구를 가지는 화소정의막;
    상기 화소전극 상에 배치되고, 유기발광층을 포함하는 중간층; 및
    상기 중간층 상에 배치된 대향전극;을 포함하는, 유기발광표시장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 검은색 안료는 아닐린 블랙(Aniline Black, C66H51Cr3N11O12), 카본 블랙(Carbon Black), 램프 블랙(Lamp Black), 흑연(graphite), 팔리오겐 블랙(Paliogen Black, C40H26N2O4) 및 페릴렌 블랙(Perylene Black, C40H26N2O6)을 포함하는 그룹에서 선택된 적어도 어느 하나를 포함하는, 유기발광표시장치.
  3. 제1항에 있어서,
    상기 기판의 가시광선 영역에서의 광흡수율은 약 90% 이상인, 유기발광표시장치.
  4. 제1항에 있어서,
    상기 기판은 폴리이미드(PI)를 포함하고,
    상기 기판에 포함되는 상기 검은색 안료는 카본 블랙(Carbon Black)이며,
    상기 카본 블랙의 상기 기판에 대한 중량비율은 약 1% 내지 약 15%인, 유기발광표시장치.
  5. 제4항에 있어서,
    상기 기판의 두께는 약 5㎛ 내지 약 40㎛ 인, 유기발광표시장치.
  6. 제1항에 있어서,
    상기 대향전극 상에 배치된 캡핑층;
    상기 캡핑층 상에 배치된 커버층;
    상기 커버층 상에 배치된 박막봉지층;을 더 포함하는, 유기발광표시장치.
  7. 제6항에 있어서,
    상기 박막봉지층 상에 배치된 편광층을 더 포함하는, 유기발광표시장치.
  8. 제7항에 있어서, 광반사율은 약 5% 이하인, 유기발광표시장치.
  9. 제6항에 있어서,
    상기 박막봉지층 상에 배치되고, 발광영역의 적어도 일부를 노출하는 개구를 가지는 블랙매트릭스를 더 포함하는, 유기발광표시장치.
  10. 제9항에 있어서,
    상기 대향전극은 저반사층을 포함하는, 유기발광표시장치.
  11. 제9항에 있어서,
    상기 블랙매트릭스의 개구를 매립하는 컬러필터를 더 포함하는, 유기발광표시장치.
  12. 제11항에 있어서, 광반사율은 약 5% 이하인, 유기발광표시장치.
  13. 검은색 안료를 포함하는 기판조성물을 경화시켜 기판을 형성하는 단계;
    상기 기판 상에 화소전극을 형성하는 단계;
    상기 화소전극 상에, 상기 화소전극의 적어도 일부를 노출시키는 개구를 가지는 화소정의막을 형성하는 단계;
    상기 화소전극 상에, 유기발광층을 포함하는 중간층을 형성하는 단계; 및
    상기 중간층 상에 대향전극을 형성하는 단계;를 포함하는, 유기발광표시장치의 제조방법.
  14. 제13항에 있어서, 상기 검은색 안료는 아닐린 블랙(Aniline Black, C66H51Cr3N11O12), 카본 블랙(Carbon Black), 램프 블랙(Lamp Black), 흑연(graphite), 팔리오겐 블랙(Paliogen Black, C40H26N2O4) 및 페릴렌 블랙(Perylene Black, C40H26N2O6)을 포함하는 그룹에서 선택된 어느 하나를 포함하는, 유기발광표시장치의 제조방법.
  15. 제13항에 있어서,
    상기 기판은 폴리이미드(PI)를 포함하고,
    상기 기판조성물에 포함되는 검은색 안료는 카본 블랙(Carbon Black)이며,
    상기 카본 블랙의 상기 기판조성물에 대한 중량비율은 약 1% 내지 약 15% 인, 유기발광표시장치의 제조방법.
  16. 제15항에 있어서,
    상기 기판의 두께는 약 5㎛ 내지 약 40㎛ 인, 유기발광표시장치의 제조방법.
  17. 제13항에 있어서,
    상기 대향전극을 형성하는 단계 후에,
    상기 대향전극 상에 캡핑층을 형성하는 단계;
    상기 캡핑층 상에 커버층을 형성하는 단계; 및
    상기 커버층 상에 박막봉지층을 형성하는 단계;를 더 포함하는,
    유기발광표시장치의 제조방법.
  18. 제17항에 있어서,
    상기 박막봉지층을 형성하는 단계 후에,
    상기 박막봉지층 상에 편광층을 형성하는 단계를 더 포함하는, 유기발광표시장치의 제조방법.
  19. 제17항에 있어서,
    상기 박막봉지층을 형성하는 단계 후에,
    상기 박막봉지층 상에, 발광영역의 적어도 일부를 노출하는 개구를 가지는 블랙매트릭스를 형성하는 단계를 더 포함하는, 유기발광표시장치의 제조방법.
  20. 제19항에 있어서,
    상기 블랙매트릭스를 형성하는 단계 후에,
    상기 블랙매트릭스의 개구를 덮는 컬러필터를 형성하는 단계를 더 포함하는, 유기발광표시장치의 제조방법.
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