KR20180010481A - 가열부재가 구비된 도가니가 포함되는 박막 증착장치 - Google Patents
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Abstract
가열부재가 구비된 도가니가 포함되는 박막 증착장치가 개시된다. 본 발명은 내부를 진공으로 유지시키는 진공 챔버와, 증발물질이 증착되는 기판과, 증발물질을 가열하여 승화시키는 증발원을 포함하는 박막 증착장치에 있어서, 상기 증발원은, 상기 증발물질이 내부에 충전되고, 세락믹 재질을 갖는 용기 형상의 도가니와, 상기 증발물질의 증발면의 상측에 위치되는 가열부재와, 상기 도가니의 외측에 배치되어 고주파 유도가열로 가열부재를 가열하는 가열부를 포함하여 가열부재는 상기 도가니 내부에서 고주파를 발하는 가열부에 의해 가열되어 증발면에서부터 순차적로 증발물질을 승화시켜 증착공정을 진행할 수 있는 가열부재가 구비된 도가니가 포함되는 박막 증착장치를 제공한다.
Description
본 발명은 박막 증착장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는 도가니 내부의 증발물질을 고주파 유도가열 방식으로 가열되는 가열부재를 이용하여 증발시킴으로써 증발물질의 산화를 방지할 수 있는 가열부재가 구비된 도가니가 포함되는 박막 증착장치에 관한 것이다.
일반적으로, 유기 발광 소자(OLED: Organic Light Emitted Device)를 제작하는데 있어서 가장 중요한 공정은 유기박막을 형성하는 공정이며, 이러한 유기 박막을 형성하기 위해서는 진공 증착이 주로 사용된다.
이러한 진공 증착은 챔버 내에 글라스(glass)와 같은 기판과 파우더(powder) 형태의 증발물질이 담긴 점증발원(point source)과 같은 증발원을 대향 배치하고, 증발원 내에 담긴 증발 물질을 증발시킴으로써 기판의 일면에 유기 박막을 형성한다.
최근에는 기판이 대면적화됨에 따라, 점증발원 대신 대면적 기판의 박막 균일도가 확보되는 선형 증발원이 사용된다. 이러한 선형 증발원은 도가니 내에 증발물질을 저장하고, 저장된 증발물질을 증발시켜 기판을 향해 분사하는 서로 이격된 복수의 노즐 또는 분배공을 구비한다.
이와 관련한 종래의 기술로서, 한국등록특허 제10-0758694호, 한국등록특허 제10-0862340호, 한국공개특허 제10-2016-0035364호 및 한국등록특허 제10-1488868호가 있다. 위 선행문헌들에는 상방으로 개방되고 일렬로 배치된 복수의 개구부를 상면에 구비하고 내부에는 증발 물질을 담는 도가니와, 상기 도가니 외부에 배치되어 도가니를 가열하는 히터를 갖는 선형 증발원이 개시되어 있다.
상기 선행문헌들에 개시된 증발원들은 히터에 의해 도가니를 가열하고, 도가니의 내벽면에 접촉하고 있는 증발물질이 증발하여 상기 개구부로부터 진공챔버로 방출되는 구조이다.
그러나, 이와 같은 종래의 기술은, 히터에 의해 도가니를 가열하는 방식이어서, 증발면, 즉 증발이 일어나는 증발물질의 상부영역만 선택적으로 가열되는 것이 아니라 도가니 내의 증발 물질이 전체적으로 가열되게 되므로, 도가니 내의 증발 물질이 장시간 고온에 노출되어 산화되는 문제가 있다.
도가니 길이 방향으로 복수의 히팅 존(zone)으로 나누고 각 히팅 존을 가열하는 복수의 히터를 구비함으로써 증발 물질이 소모됨에 따라 증발면이 위치하는 히팅 존(Heating Zone)만을 가열하는 기술도 사용되고 있으나, 이러한 기술도 각 히팅 존 전체를 가열하는 방식이므로 장시간 고온 노출에 따른 증발 물질의 산화 문제에 대한 근본적인 해결책이라고는 할 수 없다.
또한, 종래기술은 히터로 도가니를 가열하는 방식이므로 도가니 내벽면과의 이격 거리에 따른 온도 편차가 발생하여 불균일한 증발이 일어난다는 문제점도 있다.
본 발명은 이러한 문제점을 해결하기 위한 것으로, 증발 물질이 도가니 내부에서 장시간 고온에 노출되는 문제를 최소화할 수 있는 박막 증착장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.
또한 본 발명은, 도가니 내벽면과의 이격 거리에 따른 온도 편차를 최소화할 수 있는 박막 증착장치를 제공하는 것을 또 다른 목적으로 한다.
상기 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 박막 증착장치는, 내부를 진공으로 유지시키는 진공 챔버와, 증발물질이 증착되는 기판과, 증발물질을 가열하여 승화시키는 증발원을 포함하는 박막 증착장치로서, 상기 증발원은, 상기 증발물질이 내부에 충전되는 용기 형상의 도가니와, 상기 도가니 내부의 상기 증발물질의 증발면에 인접 배치되는 가열부재와, 상기 도가니의 외측에 배치되어 고주파 유도가열로 가열부재를 가열하는 가열부를 포함하는 가열부재가 구비된 도가니가 포함하는것을 특징으로 한다.
또한 상기 가열부재는, 상기 도가니의 내주면의 크기에 대응되는 외경을 갖고, 증발된 증발물질이 통과될 수 있는 다수개의 통공이 구비되며, 금속 등 전기전도성 재질의 바디를 포함할 수 있다.
또한 상기 가열부재의 바디는, 중심에서 외향으로 단위면적 당 밀도가 높아지도록 형성될 수 있다.
또한 상기 가열부재의 바디는, 다수개의 선부 및 통공이 구비된 그물망 형태로 형성되고, 중심부 및 상기 중심부에 비해 중심에서 먼 외각부를 포함하고, 상기 외각부는 상기 중심부에 비해 단위면적 당 높은 밀도를 갖도록 더 많은 선부가 배열되거나 또는 더 두꺼운 선부가 배열될 수 있다.
또한, 상기 가열부재의 바디는, 중심에서 외향으로 단위면적 당 밀도가 연속적으로 높아지도록 형성될 수 있다.
또한 상기 가열부재는, 상기 가열부재가 기울어짐에 따라 상기 도가니의 내주면에 접촉되어 바디의 수평을 이루도록 상기 바디의 외주면에 결합되는 균형편을 더 포함할 수 있으며, 상기 균형편은 세라믹 재질로 형성될 수 있다.
또한 상기 가열부재는, 바디가 상하로 적어도 2개 이상으로 구비될 수 있다.
그리고 상기 도가니의 일측에는 가열부재가 증발면의 상측에 위치되도록 상기 도가니에 진동을 가하는 진동부를 더 포함할 수 있다.
상기에서 설명한 본 발명의 가열부재가 구비된 도가니가 포함되는 박막 증착장치에 의하면, 세라믹 재질 도가니 외측의 가열부에 의해 고주파 유도가열되는 가열부재를 증발물질의 증발면에 인접 배치함으로써, 도가니의 하부에 위치한 증중발 물질이 도가니 내부에서 장시간 고온에 노출되는 문제를 최소화할 수 있는 효과가 있다.
또한 본 발명의 가열부재가 구비된 도가니가 포함되는 박막 증착장치에 의하면, 가열부재의 바디를 중심에서 외향으로 단위면적당 밀도가 높아지도록 형성함으로써, 도가니 내벽면과의 이격 거리에 따른 온도 편차를 최소화할 수 있는 효과가 있다.
도 1은 본 발명에 의한 가열부재를 포함하는 증착장치의 개략도이다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 도 1의 가열부재를 도시한 평면도와 일부 확대도이다.
도 3은 본 발명의 다른 실시예에 따른 도 1의 가열부재를 도시한 평면도와 일부 확대도이다.
도 4는 본 발명의 다른 실시예에 따른 도 1의 가열부재를 도시한 도면으로서, (a)는 가열부재의 단면도, (b)는 가열부재의 사시도이다.
도 5는 본 발명의 다른 실시예에 따른 도 1의 가열부재를 도시한 도면으로서, (a)는 가열부재의 단면도, (b)는 가열부재의 사시도, (c)는 가열부재가 도가니에 안착된 모습을 도시한 개략도이다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 도 1의 가열부재를 도시한 평면도와 일부 확대도이다.
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도 4는 본 발명의 다른 실시예에 따른 도 1의 가열부재를 도시한 도면으로서, (a)는 가열부재의 단면도, (b)는 가열부재의 사시도이다.
도 5는 본 발명의 다른 실시예에 따른 도 1의 가열부재를 도시한 도면으로서, (a)는 가열부재의 단면도, (b)는 가열부재의 사시도, (c)는 가열부재가 도가니에 안착된 모습을 도시한 개략도이다.
본 발명을 충분히 이해하기 위해서 본 발명의 바람직한 실시예를 첨부 도면을 참조하여 설명한다. 본 발명의 실시예는 여러 가지 형태로 변형될 수 있으며, 본 발명의 범위가 아래에서 상세히 설명하는 실시예로 한정되는 것으로 해석되어서는 안 된다. 본 실시예는 당업계에서 평균적인 지식을 가진 자에게 본 발명을 보다 완전하게 설명하기 위하여 제공 되는 것이다. 따라서 도면에서의 요소의 형상 등은 보다 명확한 설명을 강조하기 위해서 과장되어 표현될 수 있다. 각 도면에서 동일한 부재는 동일한 참조부호로 도시한 경우가 있음을 유의하여야 한다. 또한, 본 발명의 요지를 불필요하게 흐릴 수 있다고 판단되는 공지 기능 및 구성에 대한 상세한 기술은 생략된다.
도 1은 본 발명에 의한 가열부재를 포함하는 증착장치의 개략도이다.
우선 도 1에 도시된 바와 같이 본 발명에 의한 가열부재가 구비된 도가니가 포함되는 박막 증착장치는 내부를 진공으로 유지시키는 진공 챔버(30)와, 증발물질이 증착되는 기판(70)과, 상기 기판(70)이 안착되는 기판 안착부(50)와, 증발물질(130)을 가열하여 승화시키는 증발원(100)을 포함한다.
진공 챔버(30)는 기판 안착부(50)와 기판(70) 및 증발원(100)을 수용하기 위한 공간을 제공한다.
또한 증발원(100)은 증발물질(130)이 내부에 충전되는 용기 형상의 도가니(110)와, 증발물질(130)의 증발면(135)에 인접 배치되는 가열부재(160)와, 도가니(110)의 외측에 배치되어 고주파 유도가열로 가열부재(160)를 가열하는 가열부(150)를 포함한다. 이때, 가열부재(160)는 증발면(135)의 상측에 배치될 수 있다.
기판(70)은 기판 안착부(50)에 안착되어 지지되고, 증발원(100)은 기판(70)에 대향되는 위치에 소정 간격으로 이격되어 위치된다. 이 경우 증발원(100)에 의하여 증발/승화되는 증발물질(130)은 상향하여 기판(70)에 증착된다.
도가니(110)는 증발물질(130)이 수용되는 수용공간이 내부에 형성된다. 본 실시예에서 도가니(110)는 점 증발원(100)에 사용되는 도가니(110)를 중심으로 설명하나, 선형 증발원(100) 등 다양한 형태의 증발원(100)에 사용되는 도가니(110)인 경우도 가능하다. 또한 증발물질(130)은 유기 발광 표시 장치의 발광층 재료, 또는 도전막 재료로, 기화(evaporation) 가능한 물질일 수 있다.
가열부(150)는 도가니(110) 외주에 권선되는 코일(151)일 수 있다. 이 경우 가열부(150)는 일측에 구비된 고주파발진부와 전기적으로 연결되며, 상기 고주파발진부는 별도의 제어부(미도시)에 의하여 코일(151)에 고주파 전류를 흘리도록 제어될 수 있다.
이때, 도가니(110) 길이 방향을 따라 복수의 히팅 존으로 구획하고, 각 히팅 존에 대응되도록 도가니(110) 외주에 복수의 가열부(150)를 구비하여, 가열부재(160)의 높이, 즉 가열해야 하는 히팅 존에 따라 이에 해당하는 가열부(150)를 선택적으로 동작시키도록 구성될 수도 있다. 복수의 가열부(150)는 각각 고주파 전류를 흘릴 수 있도록 구비된 복수의 코일(151)일 수 있다.
도가니(110)는 비전도성 부재, 예를 들어 세라믹 재질로 형성되며, 가열부재(160)는 전도성 부재, 예를 들어 금속 재질로 형성된다. 따라서 가열부(150)에 고주파 전류를 흘릴 경우, 도가니(110)는 유도가열에 영향을 받지 않아 가열되지 않으며, 가열부재(160)는 고주파 유도가열에 의해 선택적으로 가열된다.
이러한 본 발명의 구성에 따르면, 고주파발진부를 이용하여 가열부(150)에 고주파 전류를 흘릴 경우 도가니(110)의 내부에 위치되는 가열부재(160)가 고주파 유도가열을 통하여 가열되어, 가열부재(160)에 인접한 증발면(135)에 위치되는 증발물질(130)부터 상측에서 하측으로 순차적으로 승화됨으로써 증착 공정이 진행된다. 따라서, 금속재질의 도가니(110) 자체가 고온으로 가열되어 도가니(110)의 내부에 위치되는 증발물질(130)이 장시간 가열되고 이로 인해 산화/변성/변질되는 종래기술의 문제점을 해결할 수 있다.
또한, 본 발명에 따른 증발원(100)은, 가열부재(160)가 별도의 지지구조 없이 파우더 재질의 증발물질(130) 상부에 얹혀지는 방식으로 구현할 수 있으므로, 증착 공정이 진행되어 도가니(110) 내부의 수용공간에 수용되는 증발물질(130)의 양이 점차 줄어들어 증발면(135)의 높이가 낮아짐에 따라, 가열부재(160)도 자중에 의해 함께 하강하면서 항상 증발면(135)의 수위에 대응하는 위치를 유지할 수 있다. 즉, 본 발명에 따르면, 증발면(135)의 수위와 함께 움직이는 동적 히팅 존(Dynamic heating zone)을 구현할 수 있다.
이하 본 발명에 의한 가열부재(160)의 구성에 대하여 구체적으로 설명하기로 한다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 도 1의 가열부재를 도시한 평면도와 일부 확대도이다.
도 2에 도시된 바와 같이, 가열부재(160)는 선부(165)와 통공(166)이 구비된 그물망 형태의 바디(161)를 포함할 수 있다. 선부(165)는 전기전도성 재질로 형성되어 고주파 유도가열되는 부분이고, 통공(166)은 승화된 기체형태의 증발물질(130)이 통과되는 부분일 수 있다. 상기 바디(161)는 전기전도도 및 열전달 계수가 충분히 높으면서 유기물과의 반응성이 낮은 스테인레스 계열, 구리, 황동 등의 금속재질로 형성되는 것이 바람직하다. 또한 상기 바디(161)는 도가니(110)의 내주면의 크기에 대응되는 외경을 가질 수 있다.
바디(161)는 가열부(150)에 흐르는 고주파 전류에 의하여 유도가열되는데, 이때 바디(161)의 외주면은 도가니(110)의 내주면에 밀착되거나 근접하게 위치되므로, 도가니(110)로의 열손실로 인해 바디(161)의 중심에 비하여 상대적으로 저온이 될 수 있다. 이러한 열손실은 가열부재(160)의 바디(161) 중심과 외주면의 온도 편차의 원인이 될 수 있고, 이로 인해 도가니(110) 내부의 증발물질(130)에 불균일한 증발이 유발될 수 있다.
이러한 열손실 문제를 최소화하기 위해, 가열부재(160)의 바디(161)는 중심에서 외향으로 밀도가 점차 높아지도록 형성될 수 있다. 이러한 구성에 의하면 가열부재(160) 바디(161)의 밀도가 높은 외주면 측이 상대적으로 밀도가 낮은 중심보다 유도 가열에 의해 더 고온으로 가열되게 되므로, 도가니(110)에 의한 열손실이 발생되더라도 바디(161)의 외주면과 바디(161)의 중심에 대한 온도 편차가 줄어들 수 있는 효과가 있다.
예를 들어 도 2에 도시한 바와 같이, 가열부재(160)의 바디(161)를 다수개의 선부(165)가 격자형태로 배열되어 통공(166)이 구비된 그물망 형상으로 형성하고, 아울러 바디(161)를 소정 반경으로 구획된 외각부(162), 중간부(163) 및 중심부(164), 즉 3단계로 구분하되, 외각부(162)는 중간부(163)보다 단위면적 당 높은 밀도를 갖도록 더 많은 선부(165)가 격자형태로 구비되고, 마찬가지로 중간부(163)는 중심부(164)보다 더 많은 선부(165)가 격자형태로 구비되도록 형성할 수 있다.
도 2에서는 바디(161)가 외각부(162), 중간부(163) 및 중심부(164)의 3단계로 구분되는 것으로 도시하였으나 이는 예시적인 것이며, 2단계 이상으로 구분되는 것일 수 있다. 또한, 도 2에서는 외각부(162), 중간부(163) 및 중심부(164)에서의 밀도가 불연속적으로 변하는 것으로 도시하였으나, 바디(161)가 중심에서 외향으로 밀도가 연속적으로 높아지도록 형성될 수도 있다.
또한, 외각부(162), 중간부(163) 및 중심부(164)가 상호 균일 면적을 가지도록 형성할 수도 있으며, 이에 따라 외각부(162)에는 중간부(163)보다 더 많은 통공(166)이 마련되고, 중간부(163)에는 중심부(164)보다 더 많은 통공(166)이 마련될 수 있다.
도 3은 본 발명의 다른 실시예에 따른 도 1의 가열부재를 도시한 평면도와 확대도이다.
도 3에 도시된 바와 같이, 본 발명에 의한 가열부재(160)는 외각부(162)가 중간부(163)보다 단위면적 당 높은 밀도를 갖도록, 외각부(162)에 위치되는 선부(165)를 중간부(163)에 위치되는 선부(165)보다 더 두껍게 형성할 수 있다. 마찬가지로 상기 중간부(163)에 위치되는 선부(165)는 중심부(164)에 위치되는 선부(165)보다 더 두껍게 형성된다. 이러한 구성을 통해, 바디(161)는 중심에서 외향으로 밀도가 높아지도록 형성되며, 도가니(160)에 의한 열손실 문제를 최소화할 수 있다.
본 실시예에서도 상기 바디(161)가 중심에서 외향으로 밀도가 높아지도록 상기 외각부(162), 중간부(163) 및 중심부(164)가 바디(161)의 균등 반경으로 구획되거나 또는 상기 외각부(162), 중간부(163) 및 중심부(164)가 상호 균일 면적을 가지도록 형성될 수 있다. 또는 중심에서 외향으로 밀도가 연속적으로 높아지도록 형성될 수 있다.
도 4는 본 발명의 다른 실시예에 따른 도 1의 가열부재를 도시한 도면으로서, (a)는 가열부재의 단면도, (b)는 가열부재의 사시도이다.
본 실시예에서 가열부재(160)는 바디(161)의 외주면에 결합되는 균형편(167)을 더 포함하는데, 균형편(167)은 증발면(135)에 안착되는 바디(161)가 도가니(110) 내부에서 기울어지지 않도록 하는 역할을 하는 구성이다.
자세하게는 균형편(167)은 바디(161)의 테두리 외주면에 수직 상방향으로 돌출되도록 형성되어 상기 가열부재(160)가 기울어짐에 따라 균형편(167)이 도가니(110)의 내주면에 접촉되어 바디(161)의 수평이 구현될 수 있게 된다.
또한 균형편(167)이 충분히 얇게 형성되는 경우에는 균형편(167)은 도 4에 도시된 바와 같이 바디(161)의 테두리 외주면에 수직 하방향으로도 돌출되어 형성될 수 있다. 이 경우 균형편(167)의 상기 하방향 돌출된 부분은 증발물질(130)의 증발면(135) 내측으로 들어가 바디(161)가 증발물질(130)의 상측에 안착될 수 있다.
또한 균형편(167)은 가열부(150)에 흐르는 고주파 전류에 의해 유도 가열되지 않는 세라믹 재질로 형성되어 증발물질(130)에 열을 가하지 않도록 함이 바람직하다. 아울러 본 실시예는 상술한 실시예에 모두 적용될 수 있다.
도 5는 본 발명의 다른 실시예에 따른 도 1의 가열부재를 도시한 도면으로서, (a)는 가열부재의 단면도, (b)는 가열부재의 사시도, (c)는 가열부재가 도가니에 내부에서 증발물질에 일부 삽입된 모습을 도시한 개략도이다.
이 경우 도 5 (c)를 참조하면, 상기 가열부재(160)에 형성되는 통공(166)으로 증발물질(130)이 투과되어 가열부재(160)가 증발면(135)의 아래에 위치되는 경우가 발생될 수 있다. 이에 따라 상기 증발물질(130)의 증발/승화 효과가 상대적으로 나빠지고, 또한 바디(161)에 인접한 증발물질(130)이 과열되어 산화/변성이 발생할 수 있다.
따라서 본 실시예에서는 도 5 (a)에 도시된 바와 같이, 가열부재(160)의 바디(161)가 상하 한 쌍으로 구비되어 하측에 위치되는 바디(161)가 증발면(135)의 하측에 있어도, 상측에 위치되는 바디(161)에 의하여 증발면(135)에 위치되는 증발물질(130)을 증발/승화시킬 수 있다. 이에 따라 하측에 위치되는 바디(161)는 증발면(135)의 상단에 다시 재정렬되어 안착될 수 있게 된다.
자세하게는 하측에 위치되는 바디(161)에 증발물질(130)이 닿지 않아 증발되지 않아도 상측에 위치되는 바디(161)에 접촉되어 증발이 일어날 수 있게 되는 것이다. 이 경우 하측에 위치되는 바디(161)의 선부(165)는 상측에 위치되는 바디(161)의 선부(165)와 엇갈리게 배치되는 것이 바람직하다.
일 예로 하측에 위치되는 바디(161)의 선부(165)가 상하방향으로 배치되고, 상측에 위치되는 바디(161)의 선부(165)는 대각방향으로 배치되면, 하측 바디(161)의 통공(166)으로 빠져나온 증발물질(130)이 상측 바디(161)의 선부(165)에 닿아 증발될 수 있게 되는 것이다.
또한 증발물질(130)의 종류, 가열부재(160)의 크기 또는 선부(165)의 간격에 따라 3단 또는 그 이상의 복수개의 바디가 적절히 선택되어 가열부재(160)에 구비될 수 있다.
아울러 상기 도가니(110)의 일측에는 가열부재(160)가 증발면(135)의 상측에 위치될 수 있도록 도가니(110)에 진동을 가하는 진동부가 구비될 수 있다.
증발물질(130)이 파우더 형태로 구비된다면, 상기 진동부의 진동에 의하여 가열부재(160)의 바디(161)가 증발물질(130)의 증발면(135)에 위치될 수 있다. 이 경우 진동부에 의해 가해지는 진동 주파수 또는 세기는 증발물질의 종류 또는 가열부재(160)의 크기에 따라 적절히 선택될 수 있다.
이상에서 설명된 본 발명의 가열부재가 구비된 도가니가 포함되는 박막 증착장치의 실시예는 예시적인 것에 불과하며, 본 발명이 속한 기술분야의 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 타 실시예가 가능하다는 점을 잘 알 수 있을 것이다. 그러므로 본 발명은 상기의 상세한 설명에서 언급되는 형태로만 한정되는 것은 아님을 잘 이해할 수 있을 것이다. 따라서 본 발명의 진정한 기술적 보호 범위는 첨부된 특허청구범위의 기술적 사상에 의해 정해져야 할 것이다. 또한, 본 발명은 첨부된 청구범위에 의해 정의되는 본 발명의 정신과 그 범위 내에 있는 모든 변형물과 균등물 및 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다.
30 : 진공 챔버
50 : 기판 안착부
70 : 기판 100 : 증발원
110 : 도가니 130 : 증발물질
135 : 증발면 150 : 가열부
160 : 가열부재 161 : 바디
162 : 외각부 163 : 중간부
164 : 중심부 165 : 선
166 : 통공 167 : 균형편
70 : 기판 100 : 증발원
110 : 도가니 130 : 증발물질
135 : 증발면 150 : 가열부
160 : 가열부재 161 : 바디
162 : 외각부 163 : 중간부
164 : 중심부 165 : 선
166 : 통공 167 : 균형편
Claims (10)
- 내부를 진공으로 유지시키는 진공 챔버와, 증발물질이 증착되는 기판과, 상기 증발물질을 가열하여 승화시키는 증발원을 포함하는 박막 증착장치에 있어서,
상기 증발원은,
상기 증발물질이 내부에 충전되는 용기 형상의 도가니;
상기 도가니 내부의 상기 증발물질의 증발면에 인접 배치되는 가열부재; 및
상기 도가니의 외측에 배치되어 고주파 유도가열로 가열부재를 가열하는 가열부;
를 포함하는 가열부재가 구비된 도가니가 포함되는 박막 증착장치. - 청구항 1에 있어서,
상기 가열부재는,
증발된 증발물질이 통과될 수 있는 다수개의 통공이 구비되는 전기전도성 재질의 바디;
를 포함하는 것을 특징으로 하는 가열부재가 구비된 도가니가 포함되는 박막 증착장치. - 청구항 2에 있어서,
상기 가열부재의 바디는,
중심에서 외향으로 단위면적 당 밀도가 높아지도록 형성되는 것을 특징으로 하는 가열부재가 구비된 도가니가 포함되는 박막 증착장치. - 청구항 3에 있어서,
상기 가열부재의 바디는 다수개의 선부 및 통공이 구비된 그물망 형태로 형성되고,
중심부 및 상기 중심부에 비해 중심에서 먼 외각부를 포함하고,
상기 외각부는 상기 중심부에 비해 단위면적 당 높은 밀도를 갖도록 더 많은 선부가 배열되거나, 또는 더 두꺼운 선부가 배열되는 것을 특징으로 하는 가열부재가 구비된 도가니가 포함되는 박막 증착장치. - 청구항 3에 있어서,
상기 가열부재의 바디는,
중심에서 외향으로 단위면적 당 밀도가 연속적으로 높아지도록 형성되는 것을 특징으로 하는 가열부재가 구비된 도가니가 포함되는 박막 증착장치. - 청구항 2에 있어서,
상기 가열부재는,
상기 바디의 외주면에 결합되는 균형편을 더 포함하는 가열부재가 구비된 도가니가 포함되는 박막 증착장치. - 청구항 2에 있어서,
상기 가열부재는,
바디가 상하로 적어도 2개 이상 구비되는 것을 특징으로 하는 가열부재가 구비된 도가니가 포함되는 박막 증착장치. - 청구항 7에 있어서,
상기 가열부재는,
상기 한쌍의 바디의 외주면에 결합되는 균형편을 더 포함하는 가열부재가 구비된 도가니가 포함되는 박막 증착장치. - 청구항 6 또는 8에 있어서,
상기 균형편은,
유도 가열에 반응되지 않는 세라믹 재질로 형성되는 것을 특징으로 하는 가열부재가 구비된 도가니가 포함되는 박막 증착장치. - 청구항 1 내지 8 중 어느 한 항에 있어서
상기 도가니에 진동을 가하는 진동부를 더 포함하는 가열부재가 구비된 도가니가 포함되는 박막 증착장치.
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| KR1020160092634A KR20180010481A (ko) | 2016-07-21 | 2016-07-21 | 가열부재가 구비된 도가니가 포함되는 박막 증착장치 |
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| KR1020160092634A KR20180010481A (ko) | 2016-07-21 | 2016-07-21 | 가열부재가 구비된 도가니가 포함되는 박막 증착장치 |
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| KR (1) | KR20180010481A (ko) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2021082847A1 (zh) * | 2019-10-30 | 2021-05-06 | 东北大学 | 一种真空镀膜机的蒸发装置 |
| WO2021139880A1 (en) * | 2020-01-07 | 2021-07-15 | Applied Materials, Inc. | Evaporation method, evaporation apparatus, and evaporation source |
| WO2021139878A1 (en) * | 2020-01-07 | 2021-07-15 | Applied Materials, Inc. | Assembly for material evaporation, vacuum deposition apparatus, and method for material evaporation |
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2016
- 2016-07-21 KR KR1020160092634A patent/KR20180010481A/ko active IP Right Grant
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