KR20180008949A - Slit valve - Google Patents

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KR20180008949A KR1020160089137A KR20160089137A KR20180008949A KR 20180008949 A KR20180008949 A KR 20180008949A KR 1020160089137 A KR1020160089137 A KR 1020160089137A KR 20160089137 A KR20160089137 A KR 20160089137A KR 20180008949 A KR20180008949 A KR 20180008949A
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Abstract

The present invention relates to a slit valve which may comprise: a plate unit sealing a chamber; a housing accommodating the plate unit, and having a gas communicating with the chamber on a side surface thereof; a drive unit coupled to a lower portion of the housing, and vertically moving the plate unit; and a control unit controlling the plate unit and the drive unit.

Description

슬릿 밸브{SLIT VALVE}Slit valve {SLIT VALVE}

본 발명은 슬릿 밸브에 관한 것이다.
The present invention relates to a slit valve.

일반적으로 반도체 소자는 웨이퍼 상에 전기적인 회로를 형성하는 패브리케이션(Fabrication) 공정, 웨이퍼의 전기적 특성을 검사하는 EDS(Electrical die sorting) 공정, 반도체 장치 등을 각각 에폭시 수지로 봉지하고 개별화시키기 위한 패키지(Package) 공정 등을 통해 제조된다. 이들 각 공정은 반도체를 제작하는데 필요한 특정 조건으로 설정되며, 다수의 공정은 진공상태에서 진행된다.In general, a semiconductor device includes a fabrication process for forming an electrical circuit on a wafer, an electrical dicing (EDS) process for inspecting the electrical characteristics of the wafer, a package for encapsulating and individualizing epoxy resin, (Package) process. Each of these processes is set as a specific condition necessary for manufacturing a semiconductor, and a plurality of processes are conducted in a vacuum state.

진공상태를 위해 일반적으로 고온 저압의 환경에서 기판에 대한 공정을 수행하는 복수개의 프로세스 챔버(Process chamber), 해당 프로세스 챔버로 기판이 진입되기 전에 기판이 프로세스 챔버로 진입될 수 있는 환경을 조성하는 로드락 챔버(loadlock chamber), 프로세스 챔버와 로드락 챔버를 연결하며 로드락 챔버 내의 기판을 해당 프로세스 챔버로 이송하거나 해당 프로세스 챔버 내의 기판을 로드락 챔버로 이송하는 로봇이 설치되는 트랜스퍼 챔버(transfer chamber)를 구비한다.A plurality of process chambers for performing a process on a substrate in a high-temperature and low-pressure environment for a vacuum state, a rod for creating an environment in which the substrate can enter the process chamber before the substrate is introduced into the process chamber, A transfer chamber in which a robot for transferring the substrate in the load lock chamber to the process chamber or transferring the substrate in the process chamber to the load lock chamber is connected to the load lock chamber, Respectively.

이러한 각각의 챔버들 사이에는 웨이퍼를 통과시키기 위한 슬릿이 형성되어 있고, 슬릿에는 슬릿 밸브가 설치되어 슬릿의 개폐가 이루어질 수 있도록 되어 있다. 슬릿 밸브는 트랜스퍼 챔버와 프로세스 챔버 사이에 위치하며, 트랜스퍼 로봇의 설정 동작 이후에 프로세스 챔버의 공정을 진행하기 위하여 완벽한 격리 기능의 목적을 가진 밸브를 말한다.A slit for passing a wafer is formed between each of the chambers, and a slit valve is provided in the slit so that the slit can be opened and closed. The slit valve is located between the transfer chamber and the process chamber, and is a valve having a purpose of complete isolation in order to carry out the process of the process chamber after the setting operation of the transfer robot.

종래의 슬릿 밸브는 에어 실린더 및 기어 유니트의 업다운을 이용하여 내부 게이트 플레이트를 동작시켜 게이트(슬릿)의 개폐를 제어하는 방식으로 이루어져 업다운 속도 조절이 어렵고, 바이브레이션이 많고, 시간이 많이 소요된다는 문제가 있다. Conventionally, the slit valve controls the opening and closing of the gate (slit) by operating the internal gate plate using the up-down of the air cylinder and the gear unit, so that it is difficult to control the up-down speed, have.

또한 플레이트 내부에 에어홀을 직접 가공하여 대형 슬릿 밸브에는 부적합한 문제가 있다.In addition, there is a problem in that it is not suitable for a large slit valve by directly processing an air hole in a plate.

챔버 밀폐를 위해 O링 등을 사용하여 슬릿 밸브의 왕복 운동에 따른 마모로 파티클이 생겨 품질 불량을 유발하는 문제가 있다.
There is a problem that particles are generated due to abrasion caused by the reciprocating movement of the slit valve by using an O-ring or the like in order to seal the chamber and cause quality defects.

본 발명은 상기와 같은 문제를 해결하기 위한 것으로, 슬릿 밸브의 상하 운동 속도를 조절하고 파티클 등의 불순물 발생을 억제하는 슬릿 밸브를 제공하는 것을 목적으로 한다.
SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made to solve the above problems, and it is an object of the present invention to provide a slit valve for controlling the up and down movement speed of a slit valve and suppressing the generation of impurities such as particles.

본 발명이 이루고자 하는 기술적 과제는 이상에서 언급한 기술적 과제로 제한되지 않으며 언급되지 않은 또 다른 기술적 과제들은 아래의 기재로부터 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.
The technical object of the present invention is not limited to the above-mentioned technical objects and other technical objects which are not mentioned can be clearly understood by those skilled in the art from the following description will be.

본 발명은 상기의 목적을 달성하기 위하여, 본 발명에 따른 슬릿 밸브는, 챔버를 밀폐시키는 플레이트유닛, 상기 플레이트유닛을 수용하고 측면에 상기 챔버와 연통되는 게이트를 포함하는 하우징, 상기 하우징의 하부와 결합하며 상기 플레이트유닛을 상하로 이동시키는 구동유닛 및 상기 플레이트유닛과 구동유닛을 제어하는 제어부를 포함할 수 있다.In order to achieve the above object, a slit valve according to the present invention comprises: a plate unit for sealing a chamber; a housing including the plate unit and a gate communicating with the chamber on a side surface; And a control unit for controlling the plate unit and the driving unit.

상기 플레이트유닛은 상기 챔버를 밀폐시키는 실플레이트부, 상기 실플레이트부를 이동시키는 미들블럭부, 상기 미들블럭부의 상부에 탈부착 가능하게 결합하여 압력을 조절하는 에어라인부 및 상기 미들블럭부의 하부에 탈부착 가능하게 결합하는 벤트라인부를 포함할 수 있다.The plate unit includes a seal plate portion for sealing the chamber, a middle block portion for moving the seal plate portion, an air line portion detachably coupled to the upper portion of the middle block portion to adjust the pressure, And a vent line portion for connecting the vent line portion.

상기 미들블럭부는 상기 실플레이트부를 가압하여 이동시키는 피스톤 및 상기 피스톤을 수용하며, 상기 벤트라인부에 의해 내부 압력이 조절되는 제1벨로우즈를 포함할 수 있다.The middle block portion may include a piston for pressing and moving the seal plate portion, and a first bellows for receiving the piston, the inner pressure of which is controlled by the vent hole portion.

본 발명에 따른 슬릿 밸브는 상기 제1벨로우즈의 리크를 감지하는 리크감지부를 더 포함할 수 있다.The slit valve according to the present invention may further include a leak sensing unit for sensing a leak of the first bellows.

상기 에어라인부는 공기를 유입시켜 상기 실플레이트부를 상기 하우징과 결합시키는 제1에어라인 및 상기 제1에어라인과 별개로 형성되며 공기를 유출시켜 상기 실플레이트부를 상기 하우징과 이격시키는 제2에어라인을 포함할 수 있다.Wherein the air line unit includes a first air line for introducing air into the housing and coupling the seal plate to the housing, and a second air line formed separately from the first air line and separating the seal plate from the housing, .

상기 하우징은 측면에 상기 챔버와 연통되는 게이트가 위치하는 본체 및 상부에 위치하며 상기 본체와 분리되는 커버를 포함하며, 상기 구동유닛은 상기 하우징의 하부와 나사결합하여 분리 가능할 수 있다.The housing includes a main body on a side surface of which a gate communicating with the chamber is located, and a cover separated from the main body, and the driving unit can be separated by screwing with a lower portion of the housing.

상기 구동유닛은 모터부, 상기 모터부와 결합하며, 상기 모터부의 회전운동을 직선운동으로 변환시키는 볼스크류부, 상기 플레이트유닛과 결합하며, 상기 볼스크류부와 함께 작동하여 상기 플레이트유닛을 상하로 왕복 운동시키는 메인샤프트부 및 상기 메인샤프트와 결합하여 상기 하우징과 결합하는 제2벨로우즈를 포함할 수 있다.Wherein the driving unit includes a motor unit, a ball screw unit coupled to the motor unit and converting the rotational motion of the motor unit into linear motion, and a driving unit coupled to the plate unit, And a second bellows coupled with the main shaft in association with the main shaft.

상기 메인샤프트부는 내부에 제3에어라인과 제4에어라인을 포함하며, 복수 개의 상기 제3에어라인들은 상기 플레이트유닛의 에어라인부와 연결되어 공기를 흐르게 하며, 복수 개의 상기 제4에어라인들은 상기 플레이트유닛의 벤트라인부와 연결되어 공기를 흐르게 할 수 있다.
Wherein the main shaft portion includes a third air line and a fourth air line, a plurality of the third air lines are connected to the air line portion of the plate unit to allow air to flow therethrough, and the plurality of fourth air lines And is connected to the vent hole portion of the plate unit to allow air to flow.

본 발명은 플레이트유닛을 공기압으로 왕복운동시키는 것이 아니라 모터부를 통하여 플레이트유닛을 상하 운동하게 하여 동작시간이 단축된다.The present invention reduces the operation time by moving the plate unit up and down through the motor unit instead of reciprocating the plate unit by air pressure.

서보모터를 조절하여 플레이트유닛의 승하강 속도를 변화시켜 바이브레이션 현상을 완화하고 불순물인 파티클을 감소시킬 수 있다.The servomotor can be adjusted to change the up / down speed of the plate unit to alleviate the vibration phenomenon and to reduce the impurity particles.

모터부의 수명이 길어 종래 에어 실린더 방식에 비해 내구성이 향상된다.The durability is improved as compared with the conventional air cylinder system because the life of the motor unit is long.

모터부와 벨로우즈 리크감지부를 통해 챔버에 대한 플레이트유닛의 정확한 포지션이 가능하다. Accurate positioning of the plate unit relative to the chamber is possible through the motor part and the bellows leak sensing part.

플레이트유닛 상부에 탈부착 가능한 별개의 에어라인을 설치하여 대형 슬릿 밸브를 구성할 수 있다.It is possible to constitute a large slit valve by providing a separate air line detachably attachable to the upper portion of the plate unit.

구동유닛 메인샤프트의 내부에 에어라인을 구비하여 플레이트유닛의 에어라인부나 벤트라인부와 공기 흐름을 조절할 수 있다.An air line may be provided inside the driving unit main shaft to adjust the air line portion and the vent line portion of the plate unit and the air flow.

하우징의 상부에 커버가 있어 플레이트유닛이 슬릿 밸브로부터 용이하게 분리 가능하고, 하우징과 구동유닛이 나사결합하여 용이하게 분리 가능하여 불순물 제거 등 슬릿 밸브의 유지관리에 편의성이 있다.
The cover is provided on the upper part of the housing, the plate unit can be easily separated from the slit valve, and the housing and the drive unit can be easily separated by screwing, thereby facilitating the maintenance of the slit valve.

도 1은 본 발명에 따른 슬릿 밸브의 일실시예의 사용상태도이다.
도 2는 도 1의 AA'부분의 개략적인 확대 단면도이다.
도 3은 본 발명에 따른 슬릿 밸브의 일실시예의 사시도이다.
도 4는 본 발명에 따른 슬릿 밸브의 일실시예의 분해 사시도이다.
도 5는 본 발명에 따른 슬릿 밸브의 일실시예의 측면도이다.
도 6은 본 발명에 따른 슬릿 밸브의 일실시예의 에어라인부와 벤트라인부에 대한 개략적인 사시도이다.
도 7은 본 발명에 따른 슬릿 밸브의 일실시예의 구동유닛의 분해 사시도이다.
도 8과 도 9는 본 발명에 따른 슬릿 밸브의 일실시예의 메인샤프트와 에어라인에 대한 개략도이다.1 is a use state view of an embodiment of a slit valve according to the present invention.
2 is a schematic enlarged cross-sectional view of the AA 'portion of FIG.
3 is a perspective view of one embodiment of a slit valve according to the present invention.
4 is an exploded perspective view of an embodiment of a slit valve according to the present invention.
5 is a side view of an embodiment of a slit valve according to the present invention.
6 is a schematic perspective view of an air line portion and a ventral portion of an embodiment of a slit valve according to the present invention.
7 is an exploded perspective view of a drive unit of an embodiment of a slit valve according to the present invention.
8 and 9 are schematic views of a main shaft and an air line of an embodiment of a slit valve according to the present invention.

이하 설명되는 본 발명은 다양한 변환을 가할 수 있고, 여러 가지 실시 예를 가질 수 있는 바, 특정 실시 예들을 도면에 예시하고 상세한 설명에서 상세하게 설명하고자 한다.BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS The invention, which is set forth below, may be embodied with various changes and may have various embodiments, and specific embodiments thereof are shown by way of example in the drawings and will herein be described in detail.

그러나, 이는 본 발명을 특정한 실시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변환, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다. 본 발명을 설명함에 있어서 관련된 공지 기술에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 흐릴 수 있다고 판단되는 경우 그 상세한 설명을 생략한다.It is to be understood, however, that the invention is not to be limited to the specific embodiments, but includes all modifications, equivalents, and alternatives falling within the spirit and scope of the invention. DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Hereinafter, the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

본 출원에서 사용한 용어는 단지 특정한 실시예를 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 발명을 한정하려는 의도가 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 본 출원에서, "포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 명세서상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.The terminology used in this application is used only to describe a specific embodiment and is not intended to limit the invention. The singular expressions include plural expressions unless the context clearly dictates otherwise. In the present application, the terms "comprises" or "having" and the like are used to specify that there is a feature, a number, a step, an operation, an element, a component or a combination thereof described in the specification, But do not preclude the presence or addition of one or more other features, integers, steps, operations, elements, components, or combinations thereof.

또한 제1, 제2 등의 용어는 다양한 구성요소들을 구분하여 설명하기 위해 사용될 수 있지만, 상기 구성 요소들은 상기 용어들에 의해 한정되어서는 안 된다. 상기 용어들은 하나의 구성요소를 다른 구성요소로부터 구별하는 목적으로만 사용된다.
Also, the terms first, second, etc. may be used to distinguish between various components, but the components should not be limited by the terms. The terms are used only for the purpose of distinguishing one component from another.

이하에서는, 본 발명의 일실시예에 따른 슬릿 밸브(500)에 대하여 도면을 참조하여 상세히 설명한다.Hereinafter, a slit valve 500 according to an embodiment of the present invention will be described in detail with reference to the drawings.

도 1은 본 발명에 따른 슬릿 밸브(500)의 일실시예의 사용상태도이고, 도 2는 도 1의 AA'부분의 개략적인 확대 단면도이며, 도 3은 본 발명에 따른 슬릿 밸브(500)의 일실시예의 사시도이고, 도 4는 본 발명에 따른 슬릿 밸브(500)의 일실시예의 분해 사시도이며, 도 5는 본 발명에 따른 슬릿 밸브(500)의 일실시예의 측면도이고, 도 6은 본 발명에 따른 슬릿 밸브(500)의 일실시예의 에어라인부(130)와 벤트라인부(140)에 대한 개략적인 사시도이며, 도 7은 본 발명에 따른 슬릿 밸브(500)의 일실시예의 구동유닛(300)의 분해 사시도이고, 도 8과 도 9는 본 발명에 따른 슬릿 밸브(500)의 일실시예의 메인샤프트와 에어라인에 대한 개략도이다.FIG. 2 is a schematic enlarged cross-sectional view of a portion AA 'of FIG. 1, and FIG. 3 is a cross-sectional view of a slit valve 500 according to an embodiment of the present invention. FIG. 5 is a side view of an embodiment of a slit valve 500 according to the present invention, and FIG. 6 is a perspective view of an embodiment of the present invention. FIG. 5 is an exploded perspective view of an embodiment of a slit valve 500 according to the present invention, FIG. 7 is a schematic perspective view of an air line unit 130 and a vent line unit 140 of an embodiment of a slit valve 500 according to an embodiment of the present invention. 8 and 9 are schematic views of the main shaft and the air line of an embodiment of the slit valve 500 according to the present invention.

본 발명의 일례에 따른 슬릿 밸브(500)는 플레이트유닛(100), 하우징(200), 구동유닛(300), 제어부(400) 등을 포함할 수 있다.The slit valve 500 according to an exemplary embodiment of the present invention may include a plate unit 100, a housing 200, a driving unit 300, a control unit 400, and the like.

도 1의 예시에서 알 수 있는 바와 같이, 플레이트유닛(100)은 후술하는 구동유닛(300)에 의해 상하로 왕복 운동가능하며, 상승하는 경우 프로세스 챔버(610)나 트랜스퍼 챔버(620), 로드락 챔버(630) 등을 밀폐시키는 역할을 할 수 있으며, 하강하는 경우 프로세스 챔버(610)나 트랜스퍼 챔버(620), 로드락 챔버(630) 등을 개방하여 기판 등이 이동하도록 하는 역할을 할 수 있다. 플레이트유닛(100)은 실플레이트부(110), 미들블럭부(120), 에어라인부(130), 및 벤트라인부(140)를 포함할 수 있다.1, the plate unit 100 is vertically reciprocable by a drive unit 300 to be described later. When the plate unit 100 is lifted up, the plate unit 100 is moved up and down by the process chamber 610, the transfer chamber 620, The transfer chamber 620 and the load lock chamber 630 may be opened to move the substrate 630 or the like when the substrate 630 is lowered . The plate unit 100 may include a seal plate portion 110, a middle block portion 120, an air line portion 130, and a vent hole portion 140.

도 2의 예시에서 알 수 있는 바와 같이, 실플레이트부(110)는 후술하는 하우징(200)과 결합하여 챔버(600)의 개구부(650)를 밀폐시키는 역할을 할 수 있다.2, the seal plate 110 may be coupled with the housing 200 to seal the opening 650 of the chamber 600. As shown in FIG.

도 2를 참조하면, 미들블럭부(120)는 실플레이트부(110)를 좌우로 이동시키는 역할을 하는 것으로, 피스톤과 제1벨로우즈(121)를 포함할 수 있다.Referring to FIG. 2, the middle block 120 moves the seal plate 110 to the left and right, and may include a piston and a first bellows 121.

피스톤(미도시)은 공기압을 이용하여 실플레이트부(110)를 좌우로 이동시켜 챔버(600)의 개구부(650)를 밀폐시킬 수 있다.The piston (not shown) can move the seal plate portion 110 left and right using the air pressure to seal the opening portion 650 of the chamber 600.

제1벨로우즈(121)는 피스톤을 수용하는 것으로, 후술하는 벤트라인부(140)와 연결될 수 있다.The first bellows 121 receives the piston and can be connected to the vent hole portion 140 described later.

리크감지부(미도시)는 제1벨로우즈(121) 내부의 압력 변화를 감지하여 제1벨로우즈(121)의 리크를 감지하는 역할을 할 수 있다.The leak detection unit (not shown) may sense a leak of the first bellows 121 by sensing a change in pressure inside the first bellows 121.

도 6의 예시에서 알 수 있는 바와 같이, 에어라인부(130)는 미들블럭부(120)의 상부에 위치되는 것으로, 탈부착 가능하게 결합하여 미들블럭부(120) 내부의 압력을 조절할 수 있다. As shown in the example of FIG. 6, the air line unit 130 is disposed on the upper portion of the middle block unit 120, and is detachably coupled to adjust the pressure inside the middle block unit 120.

에어라인부(130)는 제1에어라인(131)과 제2에어라인(132)을 포함하며, 각각 별개로 대칭을 이루어 미들블럭부(120) 상부에 위치할 수 있다.The air line unit 130 includes a first air line 131 and a second air line 132. The air line unit 130 may be positioned above the middle block unit 120 in a symmetrical manner.

제1에어라인(131)은 공기를 유입시켜 실플레이트부(110)가 후술하는 하우징(200)과 결합하도록할 수 있다.The first air line 131 may allow air to flow into the seal plate unit 110 to be coupled with the housing 200 to be described later.

제2에어라인(132)은 공기를 유출시켜 실플레이트부(110)가 하우징(200)과 이격되도록 할 수 있다.The second air line 132 may allow air to escape to separate the seal plate 110 from the housing 200.

벤트라인부(140)는 미들블럭부(120) 하부에 탈부착 가능하게 결합하는 것으로, 제1벨로우즈(121) 내부의 압력을 조절하는 역할을 할 수 있다.The vent line portion 140 is detachably coupled to the lower portion of the middle block portion 120 and can control the pressure inside the first bellows portion 121.

하우징(200)은 플레이트유닛(100)을 수용하는 것으로, 도 2의 예시에서 알 수 있는 바와 같이 챔버(600)와 결합할 수 있다. 하우징(200)은 본체(210)와 커버(230) 등을 포함할 수 있다.The housing 200 accommodates the plate unit 100 and can be coupled to the chamber 600 as can be seen in the example of FIG. The housing 200 may include a main body 210, a cover 230, and the like.

도 3 내지 도 5에서 알 수 있는 바와 같이, 본체(210)는 측면에 챔버(600)와 연통되는 게이트(220)를 포함할 수 있다.3 through 5, the body 210 may include a gate 220 communicating with the chamber 600 on a side surface thereof.

커버(230)는 하우징(200)의 상부에 위치하는 것으로 본체(210)와 탈부착 가능하게 결합할 수 있다. 커버(230)는 탈부착되어 플레이트유닛(100)을 하우징(200)으로부터 용이하게 분리하는 역할을 할 수 있다. The cover 230 is disposed at an upper portion of the housing 200 and is detachably coupled to the body 210. The cover 230 may be detached and attached to easily separate the plate unit 100 from the housing 200.

구동유닛(300)은 하우징(200)의 하부와 결합하는 것으로 플레이트유닛(100)을 상하로 왕복 운동시키는 역할을 할 수 있다. 일례로, 구동유닛(300)은 하우징(200)의 하부와 나사결합하여 하우징(200)과 분리 가능하게 결합할 수 있다. The driving unit 300 may engage with the lower portion of the housing 200 to reciprocate the plate unit 100 upward and downward. For example, the driving unit 300 can be detachably coupled to the housing 200 by screwing with the lower portion of the housing 200.

도 7의 예시에서 알 수 있는 바와 같이, 구동유닛(300)은 모터부(310), 볼스크류부(320), 메인샤프트부(330), 제2벨로우즈(340) 등을 포함할 수 있으며, 대칭되는 2개로 구성될 수 있다.7, the drive unit 300 may include a motor unit 310, a ball screw unit 320, a main shaft unit 330, a second bellows 340, and the like, It can be composed of two symmetrical.

모터부(310)는 후술하는 볼스크류부(320)와 메인샤프트부(330) 등을 구동시키는 역할을 할 수 있다. 일례로 모터부(310)는 서보모터로 이루어질 수 있다.The motor unit 310 may serve to drive the ball screw unit 320, the main shaft unit 330, and the like, which will be described later. For example, the motor unit 310 may be a servo motor.

볼스크류부(320)는 모터부(310)와 결합하여 모터부(310)의 회전운동을 직선운동으로 변환시키는 역할을 할 수 있다. The ball screw unit 320 may be coupled to the motor unit 310 to convert the rotational motion of the motor unit 310 into linear motion.

메인샤프트부(330)는 플레이트유닛(100)과 결합하는 것으로 볼스크류부(320)와 함께 작동하여 플레이트유닛(100)을 상하로 왕복 운동시키는 역할을 할 수 있다.The main shaft part 330 is coupled with the plate unit 100 and can operate together with the ball screw part 320 to reciprocate the plate unit 100 up and down.

도 8과 도 9의 예시에서 알 수 있는 바와 같이, 메인샤프트부(330)는 내부에 각각 복수 개의 제3에어라인(331)과 제4에어라인(332)을 포함할 수 있다.8 and 9, the main shaft portion 330 may include a plurality of third air lines 331 and fourth air lines 332, respectively.

제3에어라인(331)들은 플레이트유닛(100)의 에어라인부(130)와 연결되어 공기의 흐름을 조절하는 역할을 할 수 있다.The third air lines 331 are connected to the air line unit 130 of the plate unit 100 to control the flow of air.

제4에어라인(332)들은 플레이트유닛(100)의 벤트라인부(140)와 연결되어 제1벨로우즈(121) 내부의 압력을 조절하는 역할을 할 수 있다.The fourth air lines 332 may be connected to the vent line portion 140 of the plate unit 100 to control the pressure inside the first bellows 121.

도 4와 도 7의 예시에서 알 수 있는 바와 같이, 제2벨로우즈(340)는 메인샤프트부(330)와 결합하는 것으로 하우징(200)과 결합하는 역할을 할 수 있다.4 and 7, the second bellows 340 may engage with the main shaft portion 330 to engage with the housing 200. As shown in FIG.

제어부(400)는 플레이트유닛(100)과 구동유닛(300) 등을 제어하는 역할을 하는 것으로, 도 5의 예시에서 알 수 있는 바와 같이, 하우징(200) 하부와 대칭되는 2개의 구동유닛(300) 사이에 위치할 수 있다.The control unit 400 controls the plate unit 100 and the drive unit 300. As can be seen from the example of FIG. 5, the drive unit 300, which is symmetrical with the lower portion of the housing 200, ). ≪ / RTI >

제어부(400)는 구동유닛(300)을 제어하여 플레이트유닛(100)의 상하 이동시 이동 속도를 조절할 수 있다.The controller 400 controls the driving unit 300 to adjust the moving speed of the plate unit 100 when the plate unit 100 is moved up and down.

일례로 플레이트유닛(100)을 상승시켜 챔버(600)의 개구부(650)를 밀폐시키려는 경우, 제어부(400)는 구동유닛(300)의 속도를 저속으로 시작하여 고속으로 이동시킨 후 챔버(600)와 플레이트유닛(100)이 결합할 때는 다시 저속을 유지하게 하여 바이브레이션을 감소시키고 이동에 따른 불순물인 파티클을 감소시킬 수 있다.
For example, when the plate unit 100 is raised to close the opening 650 of the chamber 600, the control unit 400 moves the speed of the driving unit 300 at a low speed and moves at a high speed, When the plate unit 100 and the plate unit 100 are coupled with each other, it is possible to maintain the low speed again, thereby reducing the vibration and decreasing the particles as impurities due to the movement.

이하에서는, 본 발명의 일실시예에 따른 슬릿 밸브(500)의 작용에 대하여 도면을 참조하여 상세히 설명한다.Hereinafter, the operation of the slit valve 500 according to one embodiment of the present invention will be described in detail with reference to the drawings.

본 발명에 따른 슬릿 밸브(500)는 모터부(310)를 이용하여 플레이트유닛(100)을 상하로 이동시키고, 실플레이트부(110)를 좌우로 이동시켜 챔버(600)를 밀폐시키거나 개방시킬 수 있다.The slit valve 500 according to the present invention moves the plate unit 100 up and down using the motor unit 310 and moves the seal plate unit 110 left and right to close or open the chamber 600 .

서보모터를 사용하여 플레이트유닛(100)의 상승이나 하강 속도를 변화시키는 것이 가능하여 바이브레이션을 완화시키고, 플레이트유닛(100)의 동작시간이 단축되고, 플레이트유닛(100)의 이동에 따른 파티클을 감소시킬 수 있다.It is possible to change the ascending or descending speed of the plate unit 100 by using the servo motor so as to alleviate the vibration and to shorten the operation time of the plate unit 100 and to reduce particles due to the movement of the plate unit 100 .

에어라인부(130)와 벤트라인부(140)를 미들블럭부(120)와 탈부착 가능하게 별개로 제작하여 대형의 슬릿 밸브(500) 제작이 가능하며, 공기 흐름이 효율적이다.It is possible to manufacture a large-sized slit valve 500 by separately manufacturing the air line unit 130 and the vent line unit 140 so as to be detachably attachable to the middle block unit 120, and the air flow is efficient.

메인샤프트부(330) 내부에 에어라인(331, 332)을 형성하여 플레이트유닛(100)의 에어라인부(130) 및 벤트라인부(140)와 연결하여 공기의 흐름을 조절할 수 있다.Air lines 331 and 332 are formed in the main shaft 330 to connect the air line unit 130 and the vent line unit 140 of the plate unit 100 to control the flow of air.

모터부(310)와 제1벨로우즈(121) 리크감지부를 통해 챔버(600)에 대한 플레이트유닛(100)의 정확한 포지션이 가능하다. Accurate positioning of the plate unit 100 relative to the chamber 600 is possible through the motor unit 310 and the first bellows 121 leak detection unit.

하우징(200)의 상부에 커버(230)가 있어 플레이트유닛(100)이 슬릿 밸브(500)로부터 용이하게 분리 가능하고, 하우징(200)과 구동유닛(300)이 나사결합하여 용이하게 분리 가능하여 불순물 제거 등 슬릿 밸브(500)의 유지관리에 편의성이 있다.
The cover 230 is provided on the upper portion of the housing 200 so that the plate unit 100 can be easily separated from the slit valve 500 and the housing 200 and the drive unit 300 can be easily separated It is convenient for maintenance of the slit valve 500 such as removal of impurities.

한편, 본 도면에 개시된 실시예는 이해를 돕기 위해 특정 예를 제시한 것에 지나지 않으며, 본 발명의 범위를 한정하고자 하는 것은 아니다. 여기에 개시된 실시예 이외에도 본 발명의 기술적 사상에 바탕을 둔 다른 변형예들이 실시 가능하다는 것은, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게는 자명한 것이다.
It should be noted that the embodiments disclosed in the drawings are merely examples of specific examples for the purpose of understanding, and are not intended to limit the scope of the present invention. It will be apparent to those skilled in the art that other modifications based on the technical idea of the present invention are possible in addition to the embodiments disclosed herein.

100 : 플레이트유닛 110 : 실플레이트부
120 : 미들블럭부 121 : 제1벨로우즈
130 : 에어라인부 131 : 제1에어라인
132 : 제2에어라인 140 : 벤트라인부
200 : 하우징 210 : 본체
220 : 게이트 230 : 커버
300 : 구동유닛 310 : 모터부
320 : 볼스크류부 330 : 메인샤프트부
331 : 제3에어라인 332 : 제4에어라인
340 : 제2벨로우즈 400 : 제어부
500 : 슬릿 밸브 600 : 챔버100: plate unit 110: seal plate part
120: middle block part 121: first bellows
130: air line section 131: first air line
132: second air line 140:
200: housing 210:
220: gate 230: cover
300: drive unit 310: motor unit
320: ball screw part 330: main shaft part
331: third air line 332: fourth air line
340: second bellows 400:
500: Slit valve 600: Chamber

Claims (8)

챔버를 밀폐시키는 플레이트유닛;
상기 플레이트유닛을 수용하고 측면에 상기 챔버와 연통되는 게이트를 포함하는 하우징;
상기 하우징의 하부와 결합하며 상기 플레이트유닛을 상하로 이동시키는 구동유닛; 및
상기 플레이트유닛과 구동유닛을 제어하는 제어부;를 포함하는 슬릿 밸브.
A plate unit for sealing the chamber;
A housing that houses the plate unit and has a side surface communicating with the chamber;
A drive unit coupled to a lower portion of the housing and moving the plate unit up and down; And
And a control unit for controlling the plate unit and the driving unit.
제1항에 있어서, 상기 플레이트유닛은:
상기 챔버를 밀폐시키는 실플레이트부;
상기 실플레이트부를 이동시키는 미들블럭부;
상기 미들블럭부의 상부에 탈부착 가능하게 결합하여 압력을 조절하는 에어라인부; 및
상기 미들블럭부의 하부에 탈부착 가능하게 결합하는 벤트라인부;를 포함하는 슬릿 밸브.
The apparatus of claim 1, wherein the plate unit comprises:
A seal plate for sealing the chamber;
A middle block portion for moving the seal plate portion;
An air line portion detachably coupled to an upper portion of the middle block portion to adjust the pressure; And
And a vent pipe portion detachably coupled to a lower portion of the middle block portion.
제2항에 있어서, 상기 미들블럭부는:
상기 실플레이트부를 가압하여 이동시키는 피스톤; 및
상기 피스톤을 수용하며, 상기 벤트라인부에 의해 내부 압력이 조절되는 제1벨로우즈;를 포함하는 슬릿 밸브.
3. The apparatus of claim 2, wherein the middle block portion comprises:
A piston for pressing and moving the seal plate portion; And
And a first bellows which receives the piston and whose inner pressure is controlled by the vent hole.
제3항에 있어서,
상기 제1벨로우즈의 리크를 감지하는 리크감지부를 더 포함하는 슬릿 밸브.
The method of claim 3,
And a leak sensing portion for sensing a leak of the first bellows.
제2항에 있어서, 상기 에어라인부는:
공기를 유입시켜 상기 실플레이트부를 상기 하우징과 결합시키는 제1에어라인; 및
상기 제1에어라인과 별개로 형성되며 공기를 유출시켜 상기 실플레이트부를 상기 하우징과 이격시키는 제2에어라인;을 포함하는 슬릿 밸브.
3. The air-conditioning system according to claim 2,
A first air line for introducing air into the housing to couple the seal plate to the housing; And
And a second air line which is formed separately from the first air line and discharges air to separate the seal plate portion from the housing.
제1항에 있어서,
상기 하우징은:
측면에 상기 챔버와 연통되는 게이트가 위치하는 본체; 및
상부에 위치하며 상기 본체와 분리되는 커버;를 포함하며,
상기 구동유닛은 상기 하우징의 하부와 나사결합하여 분리 가능한 슬릿 밸브.
The method according to claim 1,
Said housing comprising:
A body having a side surface on which a gate communicating with the chamber is located; And
And a cover disposed at an upper portion and separated from the main body,
Wherein the drive unit is threadably engaged with the lower portion of the housing.
제1항에 있어서, 상기 구동유닛은:
모터부;
상기 모터부와 결합하며, 상기 모터부의 회전운동을 직선운동으로 변환시키는 볼스크류부;
상기 플레이트유닛과 결합하며, 상기 볼스크류부와 함께 작동하여 상기 플레이트유닛을 상하로 왕복 운동시키는 메인샤프트부; 및
상기 메인샤프트와 결합하여 상기 하우징과 결합하는 제2벨로우즈;를 포함하는 슬릿 밸브.
2. The apparatus of claim 1, wherein the drive unit comprises:
A motor section;
A ball screw unit coupled to the motor unit and converting the rotational motion of the motor unit into linear motion;
A main shaft unit coupled to the plate unit and operating together with the ball screw unit to vertically reciprocate the plate unit; And
And a second bellows coupled with the main shaft and coupled with the housing.
제7항에 있어서,
상기 메인샤프트부는 내부에 제3에어라인과 제4에어라인을 포함하며,
복수 개의 상기 제3에어라인들은 상기 플레이트유닛의 에어라인부와 연결되어 공기를 흐르게 하며,
복수 개의 상기 제4에어라인들은 상기 플레이트유닛의 벤트라인부와 연결되어 공기를 흐르게 하는 슬릿 밸브.8. The method of claim 7,
Wherein the main shaft portion includes a third air line and a fourth air line,
The plurality of third air lines are connected to the air line portion of the plate unit to allow air to flow,
And the plurality of fourth air lines are connected to the vent hole portion of the plate unit to allow air to flow therethrough.
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