KR20180008710A

KR20180008710A - Method for manufacturing glass substrate and apparatus for manufacturing glass substrate

Info

Publication number: KR20180008710A
Application number: KR1020177036269A
Authority: KR
Inventors: 히또시 게꼬
Original assignee: 아반스트레이트 가부시키가이샤; 아반스트레이트 타이완 인크
Priority date: 2015-06-30
Filing date: 2016-06-15
Publication date: 2018-01-24
Also published as: TW201708131A; JP6767866B2; WO2017002626A1; KR102025004B1; CN107735369B; JPWO2017002626A1; TWI703099B; CN107735369A

Abstract

유리 기판을 제조할 때, 가열된 성형로실의 상부 공간 내에 있는 성형체의 상부로부터 오버플로우시킨 용융 유리를, 상기 성형체의 양측면을 따라서 유하시킨 후, 상기 성형체의 하단에서 용융 유리를 합류시켜서 반송되는 시트 글래스를 만들고, 그 후, 시트 글래스를 냉각한다. 이때, 상기 용융 유리 또는 상기 시트 글래스의 반송 방향과 직교하는 폭 방향에 있어서, 상기 용융 유리 또는 상기 시트 글래스가 상기 상부 공간으로부터의 열을 받는 것을 차폐 부재로 부분적으로 차단함으로써, 상기 용융 유리 또는 상기 시트 글래스의 상기 폭 방향의 온도 분포를 조정한다.The molten glass overflowed from the upper part of the molded body in the upper space of the heated molding furnace is allowed to flow down along the both side surfaces of the molded body at the time of manufacturing the glass substrate and the melted glass is joined at the lower end of the molded body and conveyed A sheet glass is made, and then the sheet glass is cooled. At this time, by partially shielding the molten glass or the sheet glass from receiving heat from the upper space in the width direction orthogonal to the conveying direction of the molten glass or the sheet glass by the shielding member, The temperature distribution in the width direction of the sheet glass is adjusted.

Description

Method for manufacturing glass substrate and apparatus for manufacturing glass substrate

본 발명은 유리 기판의 제조 방법 및 유리 기판 제조 장치에 관한 것이다.The present invention relates to a glass substrate manufacturing method and a glass substrate manufacturing apparatus.

종래, 유리판의 제조 방법의 하나로서 다운드로우법이 사용되고 있다. 다운드로우법에서는, 성형체로부터 오버플로우한 용융 유리가, 분류되어 성형체의 측면을 따라서 유하한다. 분류되어 유하하는 용융 유리는, 성형체의 하단부에서 합류하고, 유리판으로 성형된다. 성형된 유리판은, 연직 방향 하방으로 반송되면서 냉각된다. 냉각 공정에 있어서, 유리판은, 점성 영역으로부터 점탄성 영역을 거쳐서 탄성 영역으로 추이한다.BACKGROUND ART Conventionally, a down-draw method is used as one of manufacturing methods of a glass plate. In the down-draw method, the molten glass overflowing from the molded body is sorted and flows down along the side surface of the molded body. The molten glass which is classified and stayed merges at the lower end of the formed body and is molded into a glass plate. The formed glass plate is cooled while being conveyed downward in the vertical direction. In the cooling process, the glass plate changes from the viscous region to the elastic region via the viscoelastic region.

성형체의 측면을 따라서 유하하는 용융 유리는, 성형체로부터 떨어짐과 동시에, 표면 장력에 의해 유리판이 폭 방향으로 수축한다. 이 수축에 의해, 유리판에는, 판 두께 편차 또는 요철이 발생한다. 특허문헌 1에는, 성형체와 성형체 하방의 인장 롤러 사이에 있어서, 유리판의 폭 방향의 테두리부의 근방에 있어서, 유리판과 이격하여 설치된 냉각 유닛을 사용하여, 유리판의 테두리부의 온도를 조정하여, 유리판의 수축을 억제하는 방법이 개시되어 있다. 그 후, 수축이 억제된 유리판은, 서냉 공간을 통과하여 성형된다. 이 서냉 공간에서는, 분위기 온도가 원하는 온도 프로파일(유리판에 변형이 발생하지 않는 온도 분포)로 되도록 제어되어, 유리판의 판 두께 편차가 억제된다. 한편, 최근 들어, 액정 표시 장치용 유리 기판에 있어서는, 유리판의 판 두께 편차의 요구되는 스펙(품질)이 엄격하게 되었다.The molten glass flowing down along the side surface of the molded article is separated from the molded body and the glass plate is contracted in the width direction by the surface tension. This contraction causes plate thickness deviation or irregularities on the glass plate. Patent Document 1 discloses a technique in which the temperature of the edge of a glass plate is adjusted by using a cooling unit provided separately from the glass plate in the vicinity of the rim of the glass plate in the width direction between the formed article and the tension roller below the molded article, Is suppressed. Thereafter, the glass plate whose shrinkage is suppressed is formed through the slowly cooling space. In this slowly cooled space, the atmosphere temperature is controlled so as to become a desired temperature profile (temperature distribution in which no deformation occurs in the glass plate), so that the deviation of the thickness of the glass plate is suppressed. On the other hand, recently, in a glass substrate for a liquid crystal display apparatus, a specification (quality) required for a deviation in thickness of a glass plate becomes strict.

판 두께 편차란, 유리판의 폭 방향으로 발생하는 두께 편차이며, 유리판의 반송 방향으로 연속적으로 발생하고, 유리판의 폭 방향의 발생 위치는 일정한 경우가 많다. 판 두께 편차에 관한 최근의 엄격한 요구 스펙을 만족시키기 위해서는, 서냉 공간에 있어서의 열 관리를 행하는 것만으로는 충분하지 않다.The plate thickness variation is a thickness variation occurring in the width direction of the glass plate, which occurs continuously in the glass plate conveying direction, and the position in the width direction of the glass plate is often constant. It is not sufficient to perform the heat management in the slow cooling space in order to satisfy the latest strict specification specifications regarding the plate thickness deviation.

일본 특허 공개 평5-124827호 공보Japanese Unexamined Patent Application Publication No. 5-124827

그래서, 본 발명은 유리판의 반송 방향을 따라서 발생하는 판 두께 편차를 억제할 수 있는 유리판의 제조 방법 및 유리판의 제조 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.SUMMARY OF THE INVENTION It is therefore an object of the present invention to provide a method of manufacturing a glass plate and a manufacturing apparatus of a glass plate capable of suppressing a plate thickness deviation occurring along the conveying direction of the glass plate.

본 발명의 일 형태는, 유리 기판의 제조 방법이다. 당해 제조 방법은,One aspect of the present invention is a method of manufacturing a glass substrate. According to the production method,

가열된 성형로실의 상부 공간 내에 있는 성형체의 상부로부터 오버플로우시킨 용융 유리를, 상기 성형체의 양측면을 따라서 유하시킨 후, 상기 성형체의 하단에서 용융 유리를 합류시켜서 반송되는 시트 글래스를 만드는 성형 공정과,A molten glass overflowing from an upper portion of a molded body in an upper space of a heated molding furnace is discharged along both side surfaces of the molded body and then a molten glass is joined at the lower end of the molded body to form a sheet glass to be conveyed; ,

상기 시트 글래스를 냉각하는 냉각 공정과,A cooling step of cooling the sheet glass,

상기 용융 유리 또는 상기 시트 글래스의 반송 방향과 직교하는 폭 방향에 있어서, 상기 용융 유리 또는 상기 시트 글래스가 상기 상부 공간으로부터의 열을 받는 것을 차폐 부재로 부분적으로 차단함으로써, 상기 용융 유리 또는 상기 시트 글래스의 상기 폭 방향의 온도 분포를 조정하는 조정 공정을 구비한다.By partially shielding the molten glass or the sheet glass from receiving heat from the upper space in a width direction orthogonal to the conveying direction of the molten glass or the sheet glass by the shielding member, And adjusting the temperature distribution in the transverse direction.

상기 조정 공정에 있어서, 상기 냉각 공정에서 얻어진 상기 시트 글래스의 상기 폭 방향 20mm마다 얻어지는, 최대 유리판 두께 t_max와, 최소 유리판 두께 t_min의 차 t_max-t_min이, 각각 15㎛ 이하로 되도록, 상기 용융 유리 또는 상기 시트 글래스의 상기 폭 방향의 온도 분포를 조정하는 것이 바람직하다.In the adjustment step, the difference t _max -t _min between the maximum glass sheet thickness t _max and the minimum glass sheet thickness t _min obtained every 20 mm in the width direction of the sheet glass obtained in the cooling step is 15 탆 or less, It is preferable to adjust the temperature distribution in the width direction of the molten glass or the sheet glass.

상기 냉각 공정에서 얻어진 시트 글래스의 유리 폭 방향 100mm마다 얻어지는, 최대 유리판 두께 t_max와, 최소 유리판 두께 t_min의 차 t_max-t_min이, 각각 20㎛ 이하로 되도록, 상기 조정 공정에 있어서, 상기 용융 유리 또는 상기 시트 글래스의 상기 폭 방향의 온도 분포를 조정하는 것이 바람직하다.The difference t _max -t _min between the maximum glass sheet thickness t _max and the minimum glass sheet thickness t _min obtained every 100 mm in the glass width direction of the sheet glass obtained in the cooling step is 20 μm or less, It is preferable to adjust the temperature distribution in the width direction of the molten glass or the sheet glass.

이때, 상기 용융 유리 또는 상기 시트 글래스에 오목부가 발생하여 두께 편차가 발생했을 때, 상기 조정 공정에 있어서, 상기 오목부의 폭 방향의 발생 위치에서 상기 용융 유리 또는 상기 시트 글래스가 상기 상부 공간의 열을 받지 않도록, 상기 발생 위치에 있어서 상기 차폐 부재를 근접시켜서 상기 온도 분포를 조정하는 것이 바람직하다.At this time, when the thickness of the molten glass or the sheet glass is varied due to the occurrence of a concave portion, the molten glass or the sheet glass at the position in the width direction of the concave portion is heated It is preferable that the temperature distribution is adjusted by bringing the shielding member close to the generated position.

상기 용융 유리 또는 상기 시트 글래스에 볼록부가 발생하여 두께 편차가 발생했을 때, 상기 조정 공정에 있어서, 상기 볼록부의 폭 방향의 발생 위치를 사이에 두는 양측의 위치에서 상기 용융 유리 또는 상기 시트 글래스가 상기 상부 공간의 열을 받지 않도록, 상기 양측의 위치에 있어서 상기 차폐 부재를 근접시켜서 상기 온도 분포를 조정하는 것이 바람직하다.Wherein when the molten glass or the sheet glass has a convex portion and a thickness deviation occurs, the molten glass or the sheet glass is heated at a position on both sides of a widthwise position of the convex portion, It is preferable that the temperature distribution is adjusted by bringing the shielding member close to the both side positions so as not to receive the heat of the upper space.

상기 두께 편차의 정도에 따라, 상기 차폐 부재와 상기 시트 글래스의 표면의 이격 거리는 조정되는 것이 바람직하다.It is preferable that the distance between the shielding member and the surface of the sheet glass is adjusted according to the degree of the thickness deviation.

상기 조정 공정은, 상기 용융 유리 또는 상기 시트 글래스의 점도가 10^7.6poise 이하에 있을 때 행해지는 것이 바람직하다.It is preferable that the adjusting step is performed when the viscosity of the molten glass or the sheet glass is 10 ^7.6 poise or less.

상기 성형체의 상기 하단으로부터, 상기 용융 유리 또는 상기 시트 글래스의 반송 방향 하류측 또는 상류측으로 50mm 이격한 위치까지의 사이에서, 상기 조정 공정을 행하는 것이 바람직하다.It is preferable that the adjustment step is performed between the lower end of the molded body and a position spaced by 50 mm from the downstream side of the molten glass or the sheet glass in the conveying direction or the upstream side thereof.

상기 냉각 공정은, 상기 시트 글래스가 상기 시트 글래스의 폭 방향으로 수축되는 것을 방지하기 위해서, 냉각 롤러로 상기 시트 글래스의 양측 단부를 냉각하는 것을 포함하고,The cooling step includes cooling both side ends of the sheet glass with a cooling roller so as to prevent the sheet glass from contracting in the width direction of the sheet glass,

상기 상부 공간은, 상기 냉각 롤러가 설치되는 하부 공간과 구획하는 구획판에 대하여 상기 시트 글래스의 반송 방향 상류측에 위치하고,The upper space is located on the upstream side of the sheet glass in the conveying direction with respect to the partition plate partitioning the lower space in which the cooling roller is installed,

상기 차폐 부재는 상기 상부 공간에 설치되어 있는 것이 바람직하다.The shielding member is preferably installed in the upper space.

상기 성형로실은 상기 구획판 사이의 슬릿 구멍을 통하여 상기 시트 글래스를 상기 하부 공간에 진입시키고,Wherein the molding furnace is configured to allow the sheet glass to enter the lower space through a slit hole between the partition plates,

상기 차폐 부재는 상기 구획판에 의해 지지되어 있는 것이 바람직하다.The shielding member is preferably supported by the partition plate.

상기 구획판의 두께 또는 높이를 변화시킴으로써, 상기 차폐 부재를 사용하여 상기 온도 분포를 조정하는 반송 방향의 위치를 조정하는 것이 바람직하다.It is preferable to adjust the position in the transport direction in which the temperature distribution is adjusted by using the shielding member by changing the thickness or the height of the partition plate.

또한, 본 발명의 다른 일 형태는, 유리 기판의 제조 장치이다. 당해 제조 장치는,According to another aspect of the present invention, there is provided an apparatus for manufacturing a glass substrate. In the production apparatus,

성형로실과,In addition,

상기 성형로실의 상부 공간 내에 설치되고, 용융 유리를 오버플로우시켜서 양측면을 따라서 유하시킨 후, 하단에서 용융 유리를 합류시켜서 반송되는 시트 글래스를 만드는 성형체와,A molded body which is provided in an upper space of the molding furnace and which melts the molten glass along both side surfaces by overflowing the molten glass and joins the molten glass at the lower end to form a sheet glass to be conveyed;

상기 상부 공간의 벽 및 상기 상부 공간 내의 분위기를 가열하는 열원과,A heat source for heating the atmosphere in the upper space and the upper space,

상기 용융 유리 또는 상기 시트 글래스의 반송 방향과 직교하는 폭 방향에 있어서, 상기 용융 유리 또는 상기 시트 글래스가 상기 상부 공간으로부터의 열을 받는 것을 부분적으로 차단함으로써, 상기 용융 유리 또는 상기 시트 글래스의 상기 폭 방향의 온도 분포를 조정하는 차폐 부재를 구비한다.By partially preventing the molten glass or the sheet glass from receiving heat from the upper space in the width direction orthogonal to the conveying direction of the molten glass or the sheet glass, And a shielding member for adjusting the temperature distribution in the direction.

상술한 유리판의 제조 방법 및 유리판 제조 장치에 의하면, 성형체의 측면에 흐르는 용융 유리, 또는 성형체의 하단으로부터 용융 유리가 떨어져서 형성된 시트 글래스의 반송 방향과 직교하는 폭 방향의 온도 분포를 조정함으로써, 판 두께 편차를 억제할 수 있다.According to the above-described method for manufacturing a glass sheet and the apparatus for manufacturing a glass sheet, the temperature distribution in the width direction orthogonal to the conveying direction of the molten glass flowing on the side surface of the formed article or the sheet glass formed by dropping the molten glass from the lower end of the formed article is adjusted, The deviation can be suppressed.

도 1은 본 실시 형태의 유리판 제조 장치의 일례의 개략 구성도이다.
도 2는 본 실시 형태의 성형 장치의 일례의 단면 개략 구성도이다.
도 3은 본 실시 형태의 성형 장치의 일례의 측면 개략 구성도이다.
도 4는 성형체가 배치된 본 실시 형태의 성형로실의 상부 공간의 일례를 확대하여 설명하는 도면이다.
도 5는 본 실시 형태의 차폐 부재를 사용한 시트 글래스의 온도 분포의 조정의 일례를 설명하는 도면이다.
도 6은 본 실시 형태의 차폐 부재를 사용한 시트 글래스의 온도 분포의 조정의 다른 예를 설명하는 도면이다.BRIEF DESCRIPTION OF DRAWINGS FIG. 1 is a schematic configuration diagram of an example of a glass plate manufacturing apparatus of the present embodiment. FIG.
2 is a schematic cross-sectional view of an example of the molding apparatus of the present embodiment.
3 is a side schematic configuration view of an example of the molding apparatus of the present embodiment.
Fig. 4 is an enlarged view of an example of an upper space of a molding furnace chamber of the present embodiment in which a molded body is disposed. Fig.
5 is a diagram for explaining an example of adjustment of the temperature distribution of the sheet glass using the shielding member of the present embodiment.
6 is a view for explaining another example of adjustment of the temperature distribution of the sheet glass using the shielding member of the present embodiment.

이하, 본 실시 형태에 따른 유리판의 제조 방법 및 유리판 제조 장치에 대하여 설명한다. 도 1은, 본 실시 형태에 따른 유리판 제조 장치의 일례의 개략 구성도이다.Hereinafter, a method of manufacturing a glass sheet and a glass sheet producing apparatus according to the present embodiment will be described. 1 is a schematic configuration diagram of an example of a glass plate manufacturing apparatus according to the present embodiment.

유리판 제조 장치(100)는 도 1에 도시한 바와 같이, 용해조(200)와, 청징조(300)와, 성형 장치(400)를 포함한다. 용해조(200)에서는, 유리의 원료가 용해되어 용융 유리가 생성된다. 용해조(200)에서 생성된 용융 유리는, 청징조(300)에 보내진다. 청징조(300)에서는, 용융 유리에 함유되는 기포의 제거가 행해진다. 청징조(300)에서 기포가 제거된 용융 유리는, 성형 장치(400)에 보내진다. 성형 장치(400)에서는, 예를 들어 오버플로우 다운드로우법에 의해, 용융 유리로부터 시트 글래스(G)가 연속적으로 성형된다. 그 후, 성형된 시트 글래스(G)는, 냉각되어, 소정의 크기의 유리판으로 절단된다. 시트 글래스(G)는, 예를 들어, 디스플레이용 유리 기판(예를 들어, 액정 디스플레이용 유리 기판, 플라즈마 디스플레이용 유리 기판, 유기 EL 디스플레이용 유리 기판), 커버 유리나 자기 디스크용 등의 강화 유리용 유리 기판, 롤상으로 권취되는 유리 기판, 반도체 웨이퍼 등의 전자 디바이스가 적층된 유리 기판으로서 사용된다.1, the glass plate manufacturing apparatus 100 includes a melting vessel 200, a blue bulb 300, and a molding apparatus 400. As shown in FIG. In the melting vessel 200, the raw material of the glass is melted and molten glass is produced. The molten glass produced in the melting tank 200 is sent to the blue sign 300. In the blue sign 300, bubbles contained in the molten glass are removed. The molten glass from which air bubbles have been removed from the blue oven 300 is sent to the molding apparatus 400. In the molding apparatus 400, the sheet glass G is continuously formed from the molten glass by, for example, an overflow down-draw method. Thereafter, the formed sheet glass (G) is cooled and cut into a glass plate of a predetermined size. The sheet glass G may be used for a display glass substrate (for example, a glass substrate for a liquid crystal display, a glass substrate for a plasma display, a glass substrate for an organic EL display), a cover glass, Is used as a glass substrate on which electronic devices such as a glass substrate, a glass substrate wound in a roll, and a semiconductor wafer are stacked.

이어서, 성형 장치(400)의 상세한 구성에 대하여 설명한다. 도 2는, 성형 장치의 일례의 단면 개략 구성도이며, 도 3은, 성형 장치의 일례의 측면 개략 구성도이다. 도 4는, 성형체가 배치된 성형로실의 상부 공간의 일례를 확대하여 설명하는 도면이다.Next, the detailed configuration of the molding apparatus 400 will be described. Fig. 2 is a schematic sectional configuration view of one example of the molding apparatus, and Fig. 3 is a side schematic configuration view of an example of the molding apparatus. Fig. 4 is an enlarged view of an example of an upper space of a molding furnace in which a molded body is disposed. Fig.

성형 장치(400)에서는, 오버플로우 다운드로우법에 의해 시트 글래스를 만드는 성형 공정과, 성형한 시트 글래스를 냉각하는 냉각 공정과, 시트 글래스를 만들 때, 용융 유리 또는 시트 글래스의 반송 방향과 직교하는 폭 방향의 온도 분포를 조정하는 조정 공정이 행해진다.The forming apparatus 400 is provided with a forming step of forming a sheet glass by an overflow down-draw method, a cooling step of cooling the formed sheet glass, and a step of forming a sheet glass An adjustment step of adjusting the temperature distribution in the width direction is performed.

성형 장치(400)는 도 2 내지 4에 도시한 바와 같이, 성형체(10)와, 구획판(20)과, 냉각 롤러(30)와, 단열 부재(40a, 40b, …, 40h)와, 이송 롤러(50a, 50b, …, 50h)와, 온도 제어 유닛(온도 제어 장치)(60a, 60b, …, 60h)을 구비한다. 또한, 성형 장치(400)는 구획판(20)보다 상방의 공간인 성형로실의 상부 공간(410)과, 구획판(20) 바로 아래의 공간인 성형로실의 하부 공간(42a)과, 하부 공간(42a)의 하방의 공간인 서냉존(420)을 갖는다. 서냉존(420)은 복수의 서냉 공간(42b, 42c, …, 42h)을 갖는다. 하부 공간(42a), 서냉 공간(42b), 서냉 공간(42c), …, 서냉 공간(42h)은 이 순서로 연직 방향 상방부터 하방을 향하여 적층되어 있다. 상부 공간(410), 하부 공간(42a), 및 서냉존(420)은 내화재 및/또는 단열재 건물(도시하지 않음)에 의해 둘러싸이고, 하부 공간(42a), 서냉존(420)에 있어서, 시트 글래스(G)의 냉각 공정이 행하여져, 온도 제어 유닛(60a) 등이, 시트 글래스(G)를 성형, 냉각하기에 적합한 온도로 제어한다.2 to 4, the molding apparatus 400 includes a molding 10, a partition plate 20, a cooling roller 30, heat insulating members 40a, 40b, ..., 40h, Rollers 50a, 50b, ..., 50h and temperature control units (temperature control devices) 60a, 60b, ..., 60h. The molding apparatus 400 further includes an upper space 410 of the forming furnace space which is a space above the partition plate 20 and a lower space 42a of the furnace chamber which is a space immediately below the partition plate 20, And a standing cool zone 420 which is a space below the lower space 42a. The standing cold room 420 has a plurality of slowly cooled spaces 42b, 42c, ..., 42h. A lower space 42a, a slow cooling space 42b, a slow cooling space 42c, ... , And the slowly cooling space 42h are stacked in this order from the top to the bottom in the vertical direction. The upper space 410, the lower space 42a and the standing cold room 420 are surrounded by a refractory material and / or a thermal insulation material (not shown), and in the lower space 42a, the standing cold room 420, The cooling process of the glass G is performed to control the temperature control unit 60a or the like to a temperature suitable for forming and cooling the sheet glass G. [

상부 공간(410)은 도 4에 도시한 바와 같이, 내화재이며 단열재인 부재를 포함하는 노벽(412)으로 외부 공간과 구획되어 있다. 노벽(412)의 상부 공간(410)에 면하는 내벽면에는, 성형체(10)의 높이 방향(도 4 중의 지면 상하 방향)의 설치 위치에 맞춰서, 상부 공간(410)의 분위기 및 노벽(412)을 가열하는 히터(414)가 복수 설치되어 있다.The upper space 410 is partitioned from the outer space by a furnace wall 412 including a member which is a refractory material and a heat insulating material, as shown in Fig. The inner wall surface facing the upper space 410 of the furnace wall 412 is provided with an atmosphere of the upper space 410 and a furnace wall 412 in accordance with the installation position in the height direction of the formed article 10 A plurality of heaters 414 for heating the heaters 414 are provided.

성형체(10)는 도 2 또는 도 4에 도시하는 바와 같이, 대략 쐐기상의 단면 형상을 갖는 부재이다. 성형체(10)는 대략 쐐기상의 하단(11)이 최하부가 되도록 상부 공간(410)에 배치된다. 도 2, 도 4에 도시한 바와 같이, 성형체(10)의 상단부면에는 홈(12)이 형성되어 있다. 홈(12)은 성형체(10)의 길이 방향, 즉 도 3의 지면 좌우 방향으로 형성되어 있다. 홈(12)의 한쪽 단부에는, 유리 공급관(14)이 설치되어 있다. 홈(12)은 유리 공급관(14)이 설치되는 한쪽의 단부로부터 다른 쪽 단부에 근접함에 따라서, 서서히 얕아지도록 형성되어 있다. 성형체(10)의 길이 방향 양단에는, 측벽으로부터 용융 유리(MG)가 비어져 나오는 것을 막는 가이드가 설치되어 있다. 홈(12)으로부터 넘쳐 나온 용융 유리(MG)는, 성형체(10)의 양측면(13a), 양쪽 경사면(13b)을 흘러서, 하단(11)에서 융합되어 시트 글래스(G)가 성형된다. 용융 유리(MG) 또는 시트 글래스(G)의 폭 방향이란, 용융 유리(MG)의 표면 또는 시트 글래스(G)의 표면의 면 내에 있어서의 방향 중, 반송되는 반송 방향에 직교하는 방향을 말한다. 여기서 시트 글래스(G)의 양측의 단부에는, 시트 글래스(G)의 폭 방향 중앙의 판 두께에 대하여 두께가 두꺼워진 부분이 형성된다. 또한, 시트 글래스(G)의 양측의 단부 사이에 끼워진 폭 방향의 영역인 중앙 영역은, 단부와 비교하여 얇고, 보유 열량이 작다. 이 때문에, 온도 불균일 등에 의해 보유 열량이 변화하기 쉽고, 휨, 변형이 발생하기 쉽다. 이 때문에, 중앙 영역의 냉각량을 엄밀하게 관리할 필요가 있다. 본 실시 형태에서는, 성형체(10)의 하단(11)에서 융합하는 용융 유리(MG), 시트 글래스(G)의 온도, 점도의 조정 정밀도를 높이는 것에 의해, 시트 글래스(G)의 요철인 맥리를 포함하는 판 두께 편차를 억제한다. 이하에서는, 성형체(10)의 하단(11)에서 융합하기 전의 유리를 용융 유리(MG)라고 하고, 하단(11)에서 융합한 후의 유리를 시트 글래스(G)라고 한다. 박판 유리에 있어서, 판 두께 편차의 발생은 바람직하지 않고, 특히, 디스플레이용 유리 기판에 사용하는 유리판에서는, 부분적인 판 두께 편차의 발생은, 디스플레이의 표시 정밀도에 큰 악영향을 주므로 바람직하지 않다.The molded article 10 is a member having a substantially wedge-shaped cross-sectional shape as shown in Fig. 2 or Fig. The molded body 10 is disposed in the upper space 410 so that the lower end 11 of the wedge-like shape is the lowest. As shown in Figs. 2 and 4, grooves 12 are formed on the upper end surface of the molded body 10. [ The grooves 12 are formed in the longitudinal direction of the molded body 10, that is, in the left and right direction of the plane of Fig. At one end of the groove 12, a glass supply pipe 14 is provided. The groove 12 is formed so as to gradually become shallower as it approaches the other end from one end where the glass tube 14 is installed. At both ends in the longitudinal direction of the molded body 10, a guide for preventing the molten glass MG from being evacuated from the side wall is provided. The molten glass MG overflowing from the groove 12 flows through both side surfaces 13a and both inclined surfaces 13b of the formed body 10 and is fused at the lower end 11 to form the sheet glass G. [ The width direction of the molten glass MG or the sheet glass G refers to a direction perpendicular to the conveying direction in which the surface of the molten glass MG or the surface of the sheet glass G is conveyed. At both ends of the sheet glass G, a thicker portion is formed at the center of the sheet glass G in the widthwise direction. Further, the central region, which is a region in the width direction sandwiched between both ends of the sheet glass G, is thinner than the end portion, and the amount of heat retained is small. For this reason, the retained heat quantity tends to change due to temperature unevenness, and bending and deformation are likely to occur. Therefore, it is necessary to strictly manage the amount of cooling of the central region. This embodiment improves the accuracy of adjustment of the temperature and viscosity of the molten glass MG and the sheet glass G to be fused at the lower end 11 of the molded body 10 so that the grit of the sheet glass G, Thereby suppressing the plate thickness deviation. Hereinafter, the glass before fusion at the lower end 11 of the formed body 10 is referred to as a molten glass MG and the glass after fusion at the lower end 11 is referred to as sheet glass G. [ In a thin plate glass, occurrence of a plate thickness deviation is not preferable, and in particular, in a glass plate used for a display glass plate, partial plate thickness deviation is not preferable because it adversely affects the display accuracy of the display.

구획판(20)은 성형체(10)의 하단(11)의 근방에 배치되는 판상의 단열재이다. 구획판(20)은 그 하단의 높이 방향의 위치가, 성형체(10)의 하단(11)의 높이 방향의 위치로부터 하방에 위치하도록 배치되어 있다. 구획판(20)은 도 2 및 도 4에 도시한 바와 같이, 시트 글래스(G)의 두께 방향의 양측에 배치된다. 구획판(20)은 성형로실의 상부 공간(410)과 성형로실의 하부 공간(42a)을 구획함으로써, 상부 공간(410)으로부터 하부 공간(42a)으로의 열 이동을 억제한다. 단열재인 구획판(20)에 의해 상부 공간(410)과 하부 공간(42a)을 구획하는 것은, 상부 공간(410)과 하부 공간(42a)의 각각에 있어서, 공간 내의 온도에 대하여 양쪽 공간이 서로 영향을 미치지 않도록 온도 제어를 행하기 위해서이다. 또한, 구획판(20)은 서냉존(420)으로부터 상부 공간(410)으로 들어가는 상승 기류의 체적 유량을 억제하도록, 시트 글래스(G)와 구획판(20) 사이의 간격이 미리 조절되어서 배치되어 있다.The partition plate 20 is a plate-like heat insulating material disposed in the vicinity of the lower end 11 of the molded body 10. [ The partition plate 20 is disposed such that the position of the lower end of the partition plate 20 in the height direction is located below the position in the height direction of the lower end 11 of the molded body 10. [ The partition plate 20 is disposed on both sides in the thickness direction of the sheet glass G as shown in Figs. The partition plate 20 restricts heat transfer from the upper space 410 to the lower space 42a by partitioning the upper space 410 of the forming furnace chamber and the lower space 42a of the forming furnace chamber. The upper space 410 and the lower space 42a are partitioned by the partition plate 20 serving as a heat insulating material so that both spaces in the upper space 410 and the lower space 42a, So that temperature control is performed so as not to affect the temperature. The partition plate 20 is arranged so that the interval between the sheet glass G and the partition plate 20 is adjusted in advance so as to suppress the volume flow rate of the upward flow into the upper space 410 from the standing cold room 420 have.

냉각 롤러(30)는 하부 공간(42a)에 있어서, 구획판(20)의 근방에 배치된다. 또한, 냉각 롤러(30)는 시트 글래스(G)의 두께 방향의 양측에 배치되고, 시트 글래스(G)를 두께 방향으로 끼우고, 시트 글래스(G)를 하방으로 반송하면서 시트 글래스(G)의 단부를 냉각하는 역할을 담당한다. 성형체(10)의 측면(13a), 경사면(13b)을 따라서 유하한 용융 유리(MG)는, 성형체(10)의 하단(11)으로부터 떨어짐과 동시에, 표면 장력에 의해 시트 글래스(G)가 폭 방향으로 수축한다.The cooling roller 30 is disposed in the vicinity of the partition plate 20 in the lower space 42a. The cooling roller 30 is disposed on both sides in the thickness direction of the sheet glass G and sandwiches the sheet glass G in the thickness direction and conveys the sheet glass G downward And serves to cool the end portions. The molten glass MG flowing down along the side face 13a and the inclined face 13b of the molded body 10 is separated from the lower end 11 of the molded body 10 and at the same time, Lt; / RTI >

냉각 롤러(30)는 폭 방향으로 수축되는 시트 글래스(G)의 양측의 단부에 대하여 중앙 영역의 측에 인접하는 부분을 끼워 넣음으로써, 시트 글래스(G)가 폭 방향으로 수축되는 것을 방지하면서, 시트 글래스(G)를 냉각한다. 이에 의해, 시트 글래스(G)의 폭 방향으로의 수축을 억제하여, 시트 글래스(G)에 발생하는 변형, 판 두께 편차, 요철을 억제한다. 그러나, 성형체(10)의 하단(11)에서의 시트 글래스(G)의 점성이 높고, 시트 글래스(G)의 수축률이 크면, 냉각 롤러(30)에 의해 변형, 판 두께 편차, 요철을 억제할 수 없는 경우가 있다. 이 때문에, 본 실시 형태에서는, 성형체(10)의 하단(11)에 있어서의 열 관리의 조정을 차폐 부재(80)로 행함으로써, 열 관리의 정밀도를 높여서, 판 두께 편차를 억제할 수 있다. 즉, 시트 글래스를 냉각하는 공정은, 시트 글래스(G)가 시트 글래스(G)의 폭 방향으로 수축되는 것을 방지하기 위해서, 냉각 롤러(30)로 시트 글래스(G)의 양측의 단부를 냉각하는 것을 포함하고, 상부 공간(410)은 냉각 롤러(30)가 설치되는 하부 공간(42a)과 구획하는 구획판(20)에 대하여 시트 글래스(G)의 반송 방향 상류측에 위치하고, 차폐 부재(80)는 상부 공간(410)에 설치되어 있다.The cooling roller 30 is provided with a portion adjacent to the side of the central region with respect to both ends of the sheet glass G which is contracted in the width direction so as to prevent the sheet glass G from being contracted in the width direction, Cool the sheet glass (G). Thus, the shrinkage of the sheet glass G in the width direction is suppressed, and the deformation, the thickness deviation, and the unevenness occurring in the sheet glass G are suppressed. However, if the viscosity of the sheet glass G at the lower end 11 of the formed article 10 is high and the shrinkage percentage of the sheet glass G is large, the deformation, the thickness deviation, and the unevenness are suppressed by the cooling roller 30 There is a case that can not be. For this reason, in the present embodiment, the adjustment of the thermal management at the lower end 11 of the molded body 10 is performed by the shielding member 80, whereby the accuracy of thermal management is enhanced and the plate thickness deviation can be suppressed. That is, in the step of cooling the sheet glass, in order to prevent the sheet glass G from being shrunk in the width direction of the sheet glass G, the both ends of the sheet glass G are cooled by the cooling roller 30 The upper space 410 is located on the upstream side of the sheet glass G in the conveying direction with respect to the partition plate 20 partitioning the lower space 42a in which the cooling roller 30 is installed and the shielding member 80 Is installed in the upper space 410.

단열 부재(40a, 40b, …, 40h)는, 서냉존(420)에 있어서, 시트 글래스(G)의 반송 방향(연직 방향 하방)에 대하여 서냉존(420)을 복수의 서냉 공간(42b, 42c, …, 42h)으로 분할하고, 분할한 각 서냉 공간의 열 이동을 억제한다. 또한, 단열 부재(40a, 40b, …, 40h)는, 냉각 롤러(30)의 하방, 또한, 시트 글래스(G)의 두께 방향의 양측에 배치되는 판상의 부재이며, 시트 글래스(G)를 반송 방향으로 유도하는 슬릿 상의 공간을 갖는다. 상술한 바와 같이, 하부 공간(42a)과 서냉존(420)은, 내화재 및/또는 단열재 건물(도시하지 않음)에 의해 둘러싸여 있는데, 서냉존(420)에는, 시트 글래스(G)가 반출되는 슬릿 상의 공간이 있고, 또한, 단열재 건물 등에는 일부 미세한 간극이 있다. 이 때문에, 굴뚝 효과에 의해, 서냉존(420)에 있어서, 연직 방향 하방으로부터 하부 공간(42a)을 향하는 상승 기류가 발생한다. 이 기류는 시트 글래스(G)를 따라서 상승하고, 기류에 의해 시트 글래스(G)가 냉각되기 때문에, 이 기류를 억제하는 단열 부재(40a, 40b, …, 40h)가 있는 것이 바람직하다. 예를 들어, 도 2에 도시한 바와 같이, 단열 부재(40a)는 하부 공간(42a)과 서냉 공간(42b)을 형성하고, 단열 부재(40b)는 서냉 공간(42b)과 서냉 공간(42c)을 형성한다. 단열 부재(40a, 40b, …, 40h)는, 상하의 공간 간에 있어서의 열 이동을 억제한다. 예를 들어, 단열 부재(40a)는 하부 공간(42a)과 서냉 공간(42b) 간의 열 이동 및 상승 기류를 억제하고, 단열 부재(40b)는 서냉 공간(42b)과 서냉 공간(42c) 간의 열 이동 및 상승 기류를 억제한다.The heat insulating members 40a to 40h are arranged in the order of a plurality of slowly cooling spaces 42b and 42c (hereinafter referred to as " cold cooling zones ") in the conveyance direction (downward in the vertical direction) of the sheet glass G, , ..., and 42h, and suppresses the heat movement of each of the divided slowly cooled spaces. The heat insulating members 40a to 40h are plate-like members disposed below the cooling roller 30 and on both sides in the thickness direction of the sheet glass G. The sheet glass G is conveyed And a space in the form of a slit leading to the direction. As described above, the lower space 42a and the standing cold room 420 are surrounded by a refractory material and / or a heat insulating material (not shown). In the standing cold room 420, a slit And there is a slight gap in a heat insulating material building or the like. Therefore, by the chimney effect, an upward flow is generated from the lower side in the vertical direction to the lower space 42a in the cold-cathode-ray room 420. This air flow rises along the sheet glass G and the sheet glass G is cooled by the airflow. Therefore, it is preferable that the heat insulating members 40a, 40b, ..., 40h suppress the airflow. 2, the heat insulating member 40a forms the lower space 42a and the slow cooling space 42b, and the heat insulating member 40b forms the slow cooling space 42b and the slow cooling space 42c, . The heat insulating members 40a, 40b, ..., 40h suppress heat transfer between the upper and lower spaces. For example, the heat insulating member 40a suppresses heat transfer and upward flow between the lower space 42a and the slow cooling space 42b, and the heat insulating member 40b prevents the heat between the slow cooling space 42b and the slow cooling space 42c Thereby suppressing movement and upflow.

이송 롤러(50a, 50b, …, 50h)는, 서냉존(420)에 있어서, 연직 방향으로 소정 간격으로, 시트 글래스(G)의 두께 방향의 양측에 복수 배치된다. 이송 롤러(50a, 50b, …, 50g)는, 각각, 서냉 공간(42b, 42c, …, 42h)에 배치되고, 시트 글래스(G)를 하방으로 반송한다.A plurality of conveying rollers 50a, 50b, ..., 50h are disposed on both sides in the thickness direction of the sheet glass G at predetermined intervals in the vertical direction in the standing cold room 420. The conveying rollers 50a, 50b, ..., 50g are disposed in the slowly cooled spaces 42b, 42c, ..., 42h, respectively, and convey the sheet glass G downward.

온도 제어 유닛(60a, 60b, …, 60h)은, 예를 들어, 저항 가열, 유전 가열, 마이크로파 가열에 의해 발열하는 시즈 히터, 카트리지 히터, 세라믹 히터, 및 온도 센서 등을 포함하고, 각각, 하부 공간(42a) 및 서냉 공간(42b, 42c, …, 42h)에 시트 글래스(G)의 폭 방향을 따라서 배치되고, 하부 공간(42a) 및 서냉 공간(42b, 42c, …, 42h)의 분위기 온도를 측정하고, 제어한다. 또한, 온도 제어 유닛(60a, 60b, …, 60h)은, 시트 글래스(G)의 휨, 변형이 발생하지 않도록 설계된 소정의 온도 분포(이하, 「온도 프로파일」이라고 한다)를 형성하도록, 하부 공간(42a) 및 서냉 공간(42b, 42c, …, 42h)의 분위기 온도를 제어한다. 온도 제어 유닛(60a, 60b, …, 60h)을 총칭하는 경우, 온도 제어 유닛(60)이라고 기재한다. 또한, 상류측이란, 시트 글래스(G)의 반송 방향과 역방향의 측을 말하며, 본 실시 형태에서는, 서냉존(420)으로부터 보아서 성형체(10)측을 말한다.The temperature control units 60a, 60b, ..., 60h include a sieve heater, a cartridge heater, a ceramic heater, and a temperature sensor which generate heat by resistance heating, dielectric heating and microwave heating, And 42h are arranged in the space 42a and the slowly cooled spaces 42b, 42c, ..., and 42h along the width direction of the sheet glass G and the atmosphere temperature of the lower space 42a and the slowly cooled spaces 42b, 42c, And controls. The temperature control units 60a, 60b, ..., and 60h are arranged so as to form a predetermined temperature distribution (hereinafter referred to as " temperature profile ") designed not to cause warpage and deformation of the sheet glass G, (42a, 42b, 42c, ..., 42h). When the temperature control units 60a, 60b, ..., 60h are collectively referred to, they are referred to as the temperature control unit 60. [ The upstream side refers to the side opposite to the conveying direction of the sheet glass G and refers to the side of the formed body 10 viewed from the standing cold zone 420 in the present embodiment.

검출 장치(70)는 유리판 두께를 측정하는 장치이며, 예를 들어 광학 센서를 포함하고, 서냉존으로부터 반송되어 온 시트 글래스의 판 두께를 소정의 폭마다(예를 들어, 1mm 폭) 측정한다. 검출 장치(70)는 측정한 유리판 두께 중, 기준값을 초과하여 판 두께가 두꺼운 또는 얇은 부분(볼록부 또는 오목부)을 검출하고, 이 위치를 두께 편차의 발생 위치로 한다. 이 두께 편차의 폭 및 정도(볼록부의 높이 또는 오목부의 깊이)에 따라, 차폐 부재(80)를 근접 또는 이격시켜서 유리 시트 또는 용해 유리의 폭 방향의 온도 분포를 조절한다.The detecting device 70 is a device for measuring the thickness of a glass plate, and includes, for example, an optical sensor, and measures the sheet thickness of the sheet glass conveyed from the standing cold zone to a predetermined width (for example, 1 mm width). The detection device 70 detects a thick or thin portion (convex portion or concave portion) of the measured glass sheet thickness exceeding the reference value and defines the position as the position where the thickness deviation occurs. The temperature distribution in the width direction of the glass sheet or the molten glass is adjusted by bringing the shielding member 80 close to or away from the width and the degree of the thickness deviation (the height of the convex portion or the depth of the concave portion).

판 두께가 얇은 부분의 온도 분포의 조정에서는, 판 두께가 얇은 부분에 차폐 부재(80)를 근접시켜서, 히터로부터의 열을 차폐한다. 이에 의해 판 두께가 얇은 부분의 점도가 국부적으로 상승하여, 유리가 폭 방향으로 인장될 때에 유리의 흐름이 억제된다.In the adjustment of the temperature distribution of the thin plate portion, the shield member 80 is brought close to the thin plate portion to shield the heat from the heater. As a result, the viscosity of the thinner portion increases locally, and the flow of the glass is suppressed when the glass is stretched in the width direction.

판 두께가 두꺼운 부분의 온도 분포의 조정에서는, 판 두께가 두꺼운 부분에 인접하는 부분에 차폐 부재(80)를 근접시켜서, 히터로부터의 열을 차단한다. 이에 의해, 판 두께가 두꺼운 부분에 인접하는 부분의 점도가 상승하여 유리의 흐름이 억제되어, 판 두께가 두꺼운 부분의 유리는 양측으로 흐르므로, 두께 편차를 억제할 수 있다.In the adjustment of the temperature distribution of the thicker portion, the shielding member 80 is brought close to the portion adjacent to the thicker portion to block the heat from the heater. As a result, the viscosity of the portion adjacent to the thicker portion increases, the flow of the glass is suppressed, and the glass of the thicker portion flows to both sides, so that the thickness deviation can be suppressed.

상기 온도 분포의 조정을 반복함으로써, 유리 폭 방향의 소정 간격마다의 두께 편차가 소정값 이하로 되도록 조정한다.By repeating the adjustment of the temperature distribution, the thickness deviation at each predetermined interval in the glass width direction is adjusted to be a predetermined value or less.

두께 편차에 대해서는, 상기 검출 장치를 사용하여, 유리판 두께의 측정값으로부터, 유리 폭 방향의 소정 간격(예를 들어, 20mm, 100mm, 300mm)마다, 최대 유리판 두께(t_max)와 최소 유리판 두께(t_min)를 검출하고, 이들의 차인 두께 편차(t_max-t_min)를 계산할 수 있다. 즉, 소정 간격의 데이터로부터, 최대 유리판 두께(t_max)와 최소 유리판 두께(t_min)를 검출하고, 이들의 차인 두께 편차(t_max-t_min)를 계산한다. 이에 의해, 소정 간격 마다의 두께 편차(t_max-t_min)를 얻을 수 있다.With respect to the thickness deviation, the maximum glass sheet thickness t _max and the minimum glass sheet thickness (for example, 20 mm, 100 mm, and 300 mm) were measured from the measured values of the glass sheet thickness using the above- t _min ), and calculate the thickness deviation (t _max- t _min ) which is a difference between them. That is, the maximum glass sheet thickness t _max and the minimum glass sheet thickness t _min are detected from the data at predetermined intervals, and the thickness deviation t _max- t _min , which is a difference between them, is calculated. Thereby, the thickness deviation (t _max- t _min ) at predetermined intervals can be obtained.

용융 유리(MG) 또는 시트 글래스(G)의 반송 방향과 직교하는 폭 방향의 온도 분포의 조정은, 냉각 공정에서 얻어진 시트 글래스의 유리 폭 방향 20mm마다의 최대 유리판 두께(t_max)와, 최소 유리판 두께(t_min) 사이의 두께 편차(t_max-t_min)가 각각 15㎛ 이하로 되도록 조정하는 것이 바람직하다. 또한, 유리 폭 방향 100mm마다의 최대 유리판 두께(t_max)와, 최소 유리판 두께(t_min) 사이의 두께 편차(t_max-t_min)가 각각 20㎛ 이하로 되도록 조정하는 것이 바람직하다. 또한, 유리 폭 방향 300mm마다의 최대 유리판 두께(t_max)와, 최소 유리판 두께(t_min) 사이의 두께 편차(t_max-t_min)가 각각 25㎛로 되도록 조정하는 것이 바람직하다. 또한, 유리 폭 방향의 최대 유리판 두께(t_max)와, 최소 유리판 두께(t_min)의 차(t_max-t_min)가 25㎛ 이하로 되도록 조정하는 것이 바람직하다.The adjustment of the temperature distribution in the width direction orthogonal to the conveying direction of the molten glass (MG) or the sheet glass (G) is carried out by adjusting the maximum glass sheet thickness ( _tmax ) at every 20 mm in the glass width direction of the sheet glass obtained in the cooling step, the thickness difference between the thickness _{_{(t min) (t max -t}} min) is preferably adjusted such that in each 15㎛ below. Further, it is preferable to adjust such that each of the glass sheets up to a thickness (t _max), and a variation in thickness (t _max -t _min) between the minimum thickness of the glass sheet (t _min) of the glass width direction every 100mm or less 20㎛. Further, it is preferable to adjust so that the maximum glass plate thickness (t _max), and a variation in thickness (t _max -t _min) between the minimum thickness of the glass sheet (t _min) of the glass width direction for each 300mm by 25㎛ respectively. It is also preferable to adjust the difference (t _max- t _min ) between the maximum glass sheet thickness t _{max in the} glass width direction and the minimum glass sheet thickness t _min to 25 μm or less.

차폐 부재(80)는 노벽(412)의 열을 차폐하는 막대상 부재이기만 하면, 특별히 한정되지 않지만, 차폐 부재(80)의 재질은, 예를 들어, 알루미늄이나 실리카를 원료로 한 세라믹스인 것이 바람직하다. 차폐 부재(80)는 시트 글래스(G)를 차폐의 대상으로 하는 경우, 시트 글래스(G)를 사이에 두도록 시트 글래스(G)의 면에 대하여 양측에 설치된다. 또한, 차폐 부재(80)는 성형체(10)의 양측면을 유하하는 용융 유리(MG)를 차폐의 대상으로 하는 경우, 용융 유리(MG)가 상부 공간(410)을 향하고 있는 면의 측에 설치된다.The shielding member 80 is not particularly limited as long as it is a member to be a member that shields the heat of the furnace wall 412. The shielding member 80 is preferably made of ceramics made of aluminum or silica as a raw material Do. The shielding member 80 is provided on both sides of the sheet glass G so as to sandwich the sheet glass G when the sheet glass G is to be shielded. The shielding member 80 is provided on the side of the face on which the molten glass MG faces the upper space 410 when the molten glass MG flowing down both sides of the molded body 10 is to be shielded .

차폐 부재(80)는 노벽(412)을 관통하여 노벽(412)의 외부 공간으로부터 상부 공간(410) 내로 연장되어 있다. 막대상 부재인 차폐 부재(80)가 시트 글래스(G) 또는 용융 유리(MG)의 폭 방향으로 일렬로 배열되도록 연속하여 복수 배치되어 있다. 차폐 부재(80) 각각은, 시트 글래스(G) 또는 용융 유리(MG)의 표면에 대하여 전진, 후퇴할 수 있도록 구성되어 있다. 하나의 차폐 부재(80)의 시트 글래스(G)의 폭 방향을 따른 길이는, 예를 들어 8 내지 12mm이다.The shielding member 80 extends through the furnace wall 412 and into the upper space 410 from the outer space of the furnace wall 412. A plurality of shielding members 80 serving as film members are arranged in series so as to be aligned in the width direction of the sheet glass G or the molten glass MG. Each of the shielding members 80 is configured to be able to move back and forth with respect to the surface of the sheet glass G or the molten glass MG. The length of one shielding member 80 along the width direction of the sheet glass G is, for example, 8 to 12 mm.

이 차폐 부재(80)는 예를 들어, 히터(414)의 방사열이나, 상부 공간(410) 내의 가스의 열을, 시트 글래스(G)나 용융 유리(MG)가 받아서 가열되는 일이 없도록, 열을 차단하도록 구성되어 있다. 즉, 시트 글래스(G) 또는 용융 유리(MG)가, 시트 글래스(G) 또는 용융 유리(MG)의 폭 방향의 일부분에 있어서, 상부 공간(410)으로부터 열을 받지 않도록, 차폐 부재(80)를 시트 글래스(G) 또는 용융 유리(MG)의 표면에 근접시킨다. 이와 같이, 차폐 부재(80)가 열을 부분적으로 차단함으로써, 시트 글래스(G) 또는 용융 유리(MG)의 폭 방향의 온도 분포를 조정할 수 있다.The shielding member 80 is a heat shielding member that shields the heat generated by the heat of the heater 414 or the heat of the gas in the upper space 410 by heating the heat of the sheet glass G or the molten glass MG, As shown in Fig. That is, the sheet glass G or the molten glass MG is shielded by the shielding member 80 so as not to receive heat from the upper space 410 in the widthwise direction of the sheet glass G or the molten glass MG. Is brought close to the surface of the sheet glass (G) or the molten glass (MG). In this manner, the temperature distribution in the width direction of the sheet glass G or the molten glass MG can be adjusted by shielding the heat by the shielding member 80 partially.

상술한 바와 같이, 검사 장치(70)는 두께 편차가 발생한 오목부 또는 볼록부의, 시트 글래스(G)의 폭 방향의 위치를 특정할 수 있으므로, 이 폭 방향의 위치에 기초하여, 복수의 차폐 부재(80) 중에서 선택된 막대상의 차폐 부재(80)를 시트 글래스(G) 또는 용융 유리(MG)의 표면에 근접함으로써 폭 방향의 온도 분포를 조정할 수 있다.As described above, the inspection apparatus 70 can specify the position in the width direction of the sheet glass G of the concave or convex portion where the thickness deviation occurs. Therefore, based on the position in the width direction, The temperature distribution in the width direction can be adjusted by bringing the shielding member 80 on the rod selected from the glass sheet 80 or the glass sheet 80 close to the surface of the sheet glass G or the molten glass MG.

구체적으로는, 검출 장치(70)는 판 두께가 국부적으로 얇아진 판 두께 편차를 검출한 경우, 판 두께가 얇아진 시트 글래스(G) 또는 용융 유리(MG)의 폭 방향의 위치를 특정한다. 이 위치에 대응한 시트 글래스(G) 또는 용융 유리(MG)의 폭 방향의 대응 위치에, 막대상의 차폐 부재(80)를 근접시키도록, 차폐 부재(80)를 도시되지 않는 구동 기구를 사용하여 전진시킨다. 도 5는, 차폐 부재를 사용한 시트 글래스(G)의 온도 분포의 조정의 일례를 설명하는 도면이다. 도 5는, 시트 글래스(G)의 반송 방향 상류측에서 본 도면이다. 도 5에 도시하는 예는, 폭 방향의 위치 A에 있어서, 판 두께가 폭 방향을 따라서 국부적으로 얇아져 오목부가 발생하고, 억제해야할 판 두께 편차가 발생하고 있는 예이다. 이때, 복수의 차폐 부재(80) 중, 위치 A에 대응하는 막대상 부재(80a)를 시트 글래스(G)의 양측으로부터 시트 글래스(G)의 표면에 근접시킨다. 이에 의해, 위치 A에서는, 상부 공간(410)으로부터의 열이 차단되므로, 위치 A에 있어서의 온도는 국부적으로 저하되고, 위치 A에 있어서의 유리의 점도는 상승한다. 따라서, 성형체(10)로부터 용융 유리(MG)가 떨어져서, 표면 장력에 의해 시트 글래스(G)는 폭 방향으로 수축하고, 시트 글래스(G)가 폭 방향으로 인장될 때, 위치 A에 있어서, 차폐 부재(80a)로 열을 차단하지 않는 경우에 비하여 국부적으로 상승한 유리의 점도에 의해, 위치 A에 있어서의 시트 글래스(G)의 판 두께가 국부적으로 얇아지는 것은 억제할 수 있다. 즉, 판 두께 편차를 억제할 수 있다. 도 5에 도시하는 예에서는, 시트 글래스(G)를 온도 분포의 조정 대상으로 하지만, 성형체(10)를 흐르는 용융 유리(MG)를 온도 분포의 조정 대상으로 하는 것도 바람직하다.Specifically, the detecting device 70 specifies the position in the width direction of the sheet glass G or the molten glass MG whose plate thickness has been thinned, when a plate thickness deviation in which the plate thickness is locally thinned is detected. The shielding member 80 is moved to the position corresponding to the widthwise direction of the sheet glass G or the molten glass MG corresponding to this position by using a drive mechanism Advance. 5 is a view for explaining an example of adjustment of the temperature distribution of the sheet glass G using the shielding member. 5 is a view seen from the upstream side of the sheet glass G in the carrying direction. The example shown in Fig. 5 is an example in which, at position A in the width direction, the plate thickness is locally thinned along the width direction to generate concave portions, and a plate thickness deviation to be suppressed is generated. At this time, among the plurality of shielding members 80, the film target member 80a corresponding to the position A is brought close to the surface of the sheet glass G from both sides of the sheet glass G. [ Thus, at the position A, the heat from the upper space 410 is blocked, so that the temperature at the position A is locally lowered, and the viscosity of the glass at the position A is raised. The molten glass MG falls from the molded body 10 so that the sheet glass G shrinks in the width direction due to the surface tension and at the position A when the sheet glass G is stretched in the width direction, The plate thickness of the sheet glass G at the position A can be suppressed to be locally thin due to the viscosity of the locally raised glass as compared with the case where heat is not blocked by the member 80a. That is, the plate thickness deviation can be suppressed. In the example shown in Fig. 5, the sheet glass G is an object of adjustment of the temperature distribution, but it is also preferable that the molten glass MG flowing through the molded body 10 be an object of adjustment of the temperature distribution.

도 6은, 차폐 부재(80)를 사용한 시트 글래스(G)의 온도 분포의 조정의 다른 예를 설명하는 도면이다. 도 6은, 시트 글래스(G)의 반송 방향 상류측에서 본 도면이다. 도 6에 도시하는 예는, 폭 방향의 위치 B에 있어서, 판 두께가 폭 방향을 따라서 국부적으로 두꺼워져 볼록부가 발생하여, 억제해야 할 판 두께 편차가 발생하고 있는 예이다. 이때, 복수의 차폐 부재(80) 중, 판 두께 편차의 폭 방향의 발생 위치인 위치 B를 사이에 두는 양측의 위치에서 시트 글래스(G)가 상부 공간(410)의 열을 받지 않도록, 이 양측의 위치에 있어서 차폐 부재(80b, 80c)를 시트 글래스(G)의 표면에 근접시킨다. 이에 의해, 위치 B의 양측에서는, 상부 공간(410)으로부터의 열이 차단되므로, 위치 B의 양측의 위치에 있어서의 온도는 국부적으로 저하되고, 유리의 점도는 상승한다. 따라서, 성형체(10)로부터 용융 유리(MG)가 떨어져서, 표면 장력에 의해 시트 글래스(G)는 폭 방향으로 수축하고, 시트 글래스(G)가 폭 방향으로 인장될 때, 위치 B를 사이에 두는 양측의 위치에 있어서, 차폐 부재(80b, 80c)로 열을 차단하지 않는 경우에 비하여 국부적으로 상승한 유리의 점도에 의해 유리의 흐름이 억제되는 한편, 위치 B의 유리는 양측으로 흐르기 쉬워지므로, 위치 B에 있어서의 시트 글래스(G)의 판 두께가 국부적으로 두꺼워지는 것을 억제할 수 있다. 즉, 판 두께 편차를 억제할 수 있다. 도 6에 도시하는 예에서는, 시트 글래스(G)를 온도 분포의 조정 대상으로 하지만, 성형체(10)를 흐르는 용융 유리(MG)를 온도 분포의 조정 대상으로 하는 것도 바람직하다.6 is a view for explaining another example of adjustment of the temperature distribution of the sheet glass G using the shielding member 80. Fig. 6 is a view seen from the upstream side of the sheet glass G in the carrying direction. The example shown in Fig. 6 is an example in which a plate thickness is locally thickened along the width direction at a position B in the width direction, and a convex portion is generated, thereby causing a plate thickness deviation to be suppressed. At this time, in order to prevent the sheet glass G from being subjected to the heat of the upper space 410 at positions on both sides of the position B in the width direction of the plate thickness deviation among the plural shielding members 80, The shielding members 80b and 80c are brought close to the surface of the sheet glass G. As a result, the heat from the upper space 410 is blocked at both sides of the position B, so that the temperature at the positions on both sides of the position B is locally lowered and the viscosity of the glass is raised. The molten glass MG falls from the molded body 10 so that the sheet glass G shrinks in the width direction due to the surface tension and when the sheet glass G is stretched in the width direction, The flow of the glass is suppressed by the viscosity of the glass that is locally raised compared with the case where the shielding members 80b and 80c do not block the heat at the positions on both sides while the glass of the position B is easily flowed to both sides, The plate thickness of the sheet glass G in the region B can be suppressed from being locally thickened. That is, the plate thickness deviation can be suppressed. In the example shown in Fig. 6, the sheet glass G is an object of adjustment of the temperature distribution, but it is also preferable that the molten glass MG flowing through the molded body 10 be an object of adjustment of the temperature distribution.

또한, 도 5, 도 6에 도시하는 예에서는, 위치 A, 위치 B의 양측의 위치에 있어서 시트 글래스(G)의 표면에 차폐 부재(80a), 차폐 부재(80b, 80c)를 근접시키는데, 시트 글래스(G)의 표면과, 차폐 부재(80a), 차폐 부재(80b, 80c)의 선단 간의 이격 거리는, 1mm 내지 15mm의 범위로 설정되는 것이 바람직하다. 특히, 위치 A, B에 있어서의 판 두께 편차의 정도, 예를 들어, 시트 글래스(G)의 요철의 깊이 또는 높이의 정도(두께 편차의 정도)에 따라서 차폐 부재(80a) 또는 차폐 부재(80b, 80c)와 시트 글래스(G)의 표면의 이격 거리는 조정되는 것이 바람직하다. 예를 들어, 판 두께 편차의 정도가 클수록, 상기 이격 거리를 작게 하는 것이 바람직하다. 판 두께 편차의 정도가 큰 경우, 폭 방향의 온도 분포의 변동도 크므로, 시트 글래스(G)가 상부 공간(410)으로부터 열을 받기 어렵게 하기 위하여 차단의 정도를 크게 하기 위하여, 상기 이격 거리를 보다 작게 하는 것이 바람직하다.5 and 6, the shielding member 80a and the shielding members 80b and 80c are brought close to the surface of the sheet glass G at positions on both sides of the positions A and B, The distance between the surface of the glass G and the distal end of the shielding member 80a and the shielding members 80b and 80c is preferably set in the range of 1 mm to 15 mm. Particularly, depending on the degree of the plate thickness deviation at the positions A and B, for example, the depth or the height of the concavity and convexity of the sheet glass G (the degree of thickness deviation), the shielding member 80a or the shielding member 80b , 80c and the surface of the sheet glass (G) are adjusted. For example, it is preferable that the larger the degree of plate thickness deviation is, the smaller the spacing distance. If the degree of sheet thickness deviation is large, the variation of the temperature distribution in the width direction is large. Therefore, in order to make the sheet glass G harder to receive heat from the upper space 410, .

또한, 도 5, 도 6에 도시하는 예에서는, 위치 A, 위치 B의 양측의 위치에 있어서 시트 글래스(G)의 표면에 차폐 부재(80a), 차폐 부재(80b, 80c)만을 근접시키지만, 차폐 부재(80a), 차폐 부재(80b), 차폐 부재(80c)에 인접하는 차폐 부재(80)를 차폐 부재(80a), 차폐 부재(80b, 80c) 정도는 아니지만, 시트 글래스(G)의 표면에 근접시켜도 된다.5 and 6, only the shielding member 80a and the shielding members 80b and 80c are brought close to the surface of the sheet glass G at positions on both sides of the position A and the position B. However, The shielding member 80 adjacent to the member 80a, the shielding member 80b and the shielding member 80c is placed on the surface of the sheet glass G, not on the shielding member 80a and the shielding members 80b and 80c Close.

본 실시 형태에서는, 용융 유리(MG) 또는 시트 글래스(G)는, 연화점(유리의 점도가 10^7. ⁶poise에 상당할 때의 유리 온도) 이상의 온도에 있는 영역에서 행해진다. 즉, 차폐 부재(80)를 사용하여 행하는 용융 유리(MG) 또는 시트 글래스(G)의 온도 분포의 조정은, 용융 유리(MG) 또는 시트 글래스(G)의 점도가 10^7.6poise 이하에 있을 때 행해진다. 예를 들어 유리의 점도가 10^4.3 내지 10^7. ⁵poise의 영역에서, 차폐 부재(80)를 사용하여 용융 유리(MG) 또는 시트 글래스(G)의 온도 분포를 조정하는 것이, 판 두께 편차를 효율적으로 저감할 수 있는 점에서 바람직하다. 보다 바람직하게는, 유리 점도 10^4.3 내지 10^5.5poise의 영역이다. 또한, 성형체(10)의 하단(11) 또는 그것보다 반송 방향 상류측에 있어서 차폐 부재(80)를 사용하여 온도 분포의 조정을 행하는 것이, 판 두께 편차를 효율적으로 저감할 수 있는 점에서 바람직하다. 상기 점도의 영역에서, 온도 분포를 국소적으로 변화시킴으로써, 판 두께 편차의 발생을 효과적으로 억제할 수 있다.In this embodiment, molten glass (MG) or a glass sheet (G) is carried out in the area in which the temperature (the glass temperature at which the viscosity of the glass corresponds to 10 ^7. ⁶ poise) or more softening points. The adjustment of the temperature distribution of the molten glass MG or sheet glass G using the shielding member 80 is performed when the viscosity of the molten glass MG or sheet glass G is 10 ^7.6 poise or less Is done. For example, the viscosity of the glass in the region of 10 ^4.3 to 10 ^7. ⁵ poise, with the shield member 80 to the sheet thickness variation to adjust the temperature distribution of the molten glass (MG) or a glass sheet (G) This is preferable in that it can be reduced efficiently. More preferably, the glass viscosity is in the range of 10 ^4.3 to 10 ^5.5 poise. Adjustment of the temperature distribution using the shielding member 80 on the upstream side of the lower end 11 of the molded article 10 or on the upstream side in the transport direction is preferable in view of the ability to effectively reduce the plate thickness deviation . In the region of the viscosity, by locally changing the temperature distribution, it is possible to effectively suppress the occurrence of the plate thickness deviation.

또한, 본 실시 형태에서는, 용융 유리(MG) 또는 시트 글래스(G)에 발생하는 오목부 또는 볼록부의 폭 방향의 치수에 따라, 용융 유리(MG) 또는 시트 글래스(G)의 표면에 근접시키는 차폐 부재(80)의 반송 방향의 위치를 조정하는 것이 바람직하다. 용융 유리(MG) 또는 시트 글래스(G)에 오목부 또는 볼록부가 발생한 경우, 성형체(10)의 하단(11)으로부터, 반송 방향 하류측 또는 상류측으로 50mm 이격한 위치까지의 사이에서, 온도 분포의 조정을 행하는 것이 바람직하다. 또한, 성형체(10)의 하단(11)으로부터, 이 하단(11)보다 반송 방향 하류측 또는 상류측으로 20mm 이격한 위치까지의 사이에서, 온도 분포의 조정을 행하는 것이 보다 바람직하다. 더욱 바람직하게는, 성형체(10)하단(11)의 높이 위치(반송 방향의 위치)에서, 온도 분포의 조정을 행한다. 판 두께 편차를 억제하기 위하여 온도 조정을 행하는 반송 방향의 위치와, 시트 글래스(G) 또는 용융 유리(MG)의 표면에 차폐 부재(80)를 근접시키는 이격 거리는, 상기 오목부 또는 볼록부의 정도(요철의 정도)와 폭에 따라서 미리 정해져 있고, 검출한 오목부 또는 볼록부의 정도(요철의 정도)와 폭에 따라, 온도 조정을 행하는 반송 방향의 위치와, 이격 거리를 설정할 수 있다.According to the present embodiment, in accordance with the dimension in the width direction of the concave portion or the convex portion generated in the molten glass MG or the sheet glass G, the thickness of the molten glass MG or the sheet glass G, It is preferable to adjust the position of the member 80 in the carrying direction. When the concave portion or the convex portion is generated in the molten glass MG or the sheet glass G, the distance from the lower end 11 of the formed article 10 to the position downstream of the conveying direction or 50 mm away from the upstream side, It is preferable to perform adjustment. It is more preferable to adjust the temperature distribution from the lower end 11 of the molded body 10 to a position spaced by 20 mm from the lower end 11 in the downstream or upstream direction of the conveying direction. More preferably, the temperature distribution is adjusted at the height position (position in the transport direction) of the lower end 11 of the formed article 10. The position of the sheet glass G or the distance between the position of the sheet glass G or the shielding member 80 and the shielding member 80 in the conveying direction in which the temperature adjustment is performed in order to suppress the plate thickness deviation is determined by the degree of the concave or convex portion And the distance in the carrying direction in which the temperature adjustment is performed and the spacing distance can be set according to the degree (the degree of unevenness) and the width of the concave or convex portion detected.

본 실시 형태는, 성형로실은 구획판(20)에 의해 상부 공간(410)과 하부 공간(42a)을 구획하고(구역을 나누고), 구획판(20)의 사이 슬릿 구멍을 통하여 시트 글래스(G)를 하부 공간(42a)에 진입시켜서 시트 글래스(G)를 냉각한다.In this embodiment, the molding furnace chamber is divided into upper space 410 and lower space 42a (division of space) by the partition plate 20, and the sheet glass G ) Into the lower space 42a to cool the sheet glass G.

이때, 차폐 부재(80)는 구획판(20)에 의해 지지되어 있는 것이 바람직하다. 상부 공간(410)의 분위기 온도는 극히 높기 때문에, 막대상의 차폐 부재(80)는 가늘고 길기 때문에 자중으로 구부러지기 쉽다. 이 때문에, 차폐 부재(80)가 변형되지 않도록, 구획판(20)이 차폐 부재(80)를 하방으로부터 지지하는 것이, 시트 글래스(G)나 용융 유리(MG)의 반송 방향의 소정의 위치에서, 온도 분포를 조정할 수 있다. 온도 분포를 조정하는 반송 방향의 위치가 차폐 부재(80)의 열변형에 의해 목표 위치로부터 조금 어긋나면, 온도 분포를 조정하려고 하는 유리의 점도가 상이하기 쉬워지기 때문에, 판 두께 편차를 정확하게 억제하는 것은 어렵다.At this time, it is preferable that the shielding member 80 is supported by the partition plate 20. Since the atmosphere temperature in the upper space 410 is extremely high, the shielding member 80 on the rod is slender and prone to bending due to its own weight. This prevents the partition plate 20 from supporting the shielding member 80 from below so that the shielding member 80 is not deformed at a predetermined position in the transport direction of the sheet glass G or the molten glass MG , And the temperature distribution can be adjusted. If the position in the conveying direction for adjusting the temperature distribution slightly deviates from the target position due to the thermal deformation of the shielding member 80, the viscosity of the glass whose temperature distribution is to be adjusted tends to be different, It is difficult.

용융 유리(MG) 또는 시트 글래스(G)에 발생하는 오목부 또는 볼록부의 폭에 따라, 반송 방향에 있어서의 온도 조정 위치가 상이하다. 이 때문에, 온도 조정 위치를 변경하는 경우, 예를 들어, 구획판(20)의 두께를 변화시킴으로써, 구획판(20)에 지지되는 차폐 부재(80)의 반송 방향의 위치를 바꾸고, 이에 의해, 온도 분포를 조정하려고 하는 반송 방향의 위치를 조정하는 것이 바람직하다.The temperature adjusting position in the carrying direction differs depending on the width of the concave or convex portion generated in the molten glass MG or the sheet glass G. [ Therefore, when the temperature adjustment position is changed, for example, by changing the thickness of the partition plate 20, the position of the shield member 80 supported by the partition plate 20 in the transport direction is changed, It is preferable to adjust the position in the transport direction in which the temperature distribution is to be adjusted.

또한, 차폐 부재(80)는 구획판(20)을 2개 사용하고, 구획판(20)의 사이에 두도록 설치하는 것도 바람직하다.It is also preferable that the shielding member 80 is provided so as to be located between the partition plates 20 by using two partition plates 20.

노벽(412)에는, 유리 섬유를 포함하는 글라스 울이 개구부에 가득 채워져서 개구부가 폐색되어 있는데, 이 부분에 구획판(20) 및 차폐판(80)을 용융 유리(MG) 또는 시트 글래스(G)의 방향을 향하여 삽입할 수 있도록 구성되어 있다. 따라서, 차폐 부재(80)의 반송 방향의 위치를 반송 방향 상류측에 위치시키는 경우, 구획판(20)의 판 두께를 두껍게 함으로써, 차폐판(80)의 위치를 조정할 수 있다.The window wall 412 is filled with the glass wool containing the glass fiber so that the opening is closed to block the partition plate 20 and the shield plate 80 from the molten glass MG or the sheet glass G As shown in Fig. Therefore, when the position of the shielding member 80 in the carrying direction is positioned on the upstream side in the carrying direction, the position of the shielding plate 80 can be adjusted by increasing the plate thickness of the partitioning plate 20. [

이와 같이, 본 실시 형태에서는, 성형체(10)로부터 유하하는 용융 유리(MG) 또는 시트 글래스(G)의 반송 방향과 직교하는 폭 방향에 있어서, 용융 유리(MG) 또는 시트 글래스(G)가 상부 공간(410)으로부터의 열을 받는 것을 차폐 부재(80)로 부분적으로 차단함으로써, 용융 유리(MG) 또는 시트 글래스(G)의 폭 방향의 온도 분포를 조정할 수 있으므로, 유리판의 반송 방향으로 발생하기 쉬운 판 두께 편차를 억제할 수 있다.As described above, in the present embodiment, the molten glass MG or the sheet glass G is provided on the upper side in the width direction perpendicular to the conveying direction of the molten glass MG or sheet glass G falling down from the formed article 10, Since the temperature distribution in the width direction of the molten glass MG or the sheet glass G can be adjusted by partially blocking the receiving of the heat from the space 410 by the shielding member 80, An easy plate thickness deviation can be suppressed.

이상, 본 발명의 유리판 제조 방법, 및 유리판 제조 장치에 대하여 상세하게 설명했지만, 본 발명은 상기 실시 형태에 한정되지 않고, 본 발명의 주지를 일탈하지 않는 범위에서, 여러가지 개량이나 변경을 해도 되는 것은 물론이다.While the present invention has been particularly shown and described with respect to a preferred embodiment of the invention, it is to be understood that the invention is not limited to the disclosed embodiments, but, on the contrary, Of course.

10: 성형체
11: 하단
12: 홈
13a: 측면
13b: 경사면
14: 유리 공급관
20: 구획판
30: 냉각 롤러
40a∼40h: 단열 부재
42a: 하부 공간
42b∼42h: 서냉 공간
50a∼50h: 이송 롤러
60a∼60h: 온도 제어 유닛
70: 검출 장치
80, 80a, 80b, 80c: 차폐 부재
100: 유리판 제조 장치
200: 용해조
300: 청징조
400: 성형 장치
410: 상부 공간
412: 노벽
414: 히터
420: 서냉존10: Molded body
11: bottom
12: Home
13a: side
13b:
14: Glass supply pipe
20: partition plate
30: cooling roller
40a to 40h:
42a: Lower space
42b to 42h:
50a to 50h:
60a to 60h: temperature control unit
70: Detection device
80, 80a, 80b, 80c:
100: Glass plate manufacturing apparatus
200: Melting bath
300: Blue sign
400: Molding device
410: upper space
412: Roof wall
414: Heater
420: Standing cold

Claims

A method of manufacturing a glass substrate,
A molten glass overflowing from an upper portion of a molded body in an upper space of a heated molding furnace is discharged along both side surfaces of the molded body and then a molten glass is joined at the lower end of the molded body to form a sheet glass to be conveyed; ,
A cooling step of cooling the sheet glass,
By partially shielding the molten glass or the sheet glass from receiving heat from the upper space in a width direction orthogonal to the conveying direction of the molten glass or the sheet glass by the shielding member, And adjusting the temperature distribution in the width direction of the glass substrate.

The method according to claim 1, wherein in the adjusting step, the molten glass or the sheet glass is partially blocked by the shielding member from receiving heat from the upper space, so that the sheet glass obtained in the cooling step Wherein the temperature distribution in the width direction of the molten glass or the sheet glass is adjusted such that a difference t _max -t _min between the maximum glass sheet thickness t _max and the minimum glass sheet thickness t _min is 15 mu m or less, &Lt; / RTI >

The optical sheet according to claim 1 or 2, wherein the difference t _max -t _min between the maximum glass sheet thickness t _max and the minimum glass sheet thickness t _min obtained every 100 mm in the glass width direction of the sheet glass obtained in the cooling step is 20 μm or less , The temperature distribution in the width direction of the molten glass or the sheet glass is adjusted in the adjusting step.

4. The method according to any one of claims 1 to 3, wherein, when the thickness deviation occurs due to the occurrence of recesses in the molten glass or the sheet glass, in the adjusting step, Wherein the temperature distribution is adjusted by bringing the shielding member close to the generated position so that the glass or the sheet glass does not receive the heat of the upper space.

The method according to any one of claims 1 to 4, wherein, when the molten glass or the sheet glass has a thickness variation due to the occurrence of convex portions, Wherein the temperature distribution is adjusted by bringing the shielding member close to the molten glass or the sheet glass at positions on both sides so that the molten glass or the sheet glass does not receive the heat of the upper space.

The method of manufacturing a glass substrate according to claim 4 or 5, wherein the distance between the shielding member and the surface of the sheet glass is adjusted according to the degree of the thickness deviation.

The method of manufacturing a glass substrate according to any one of claims 1 to 6, wherein the adjusting step is performed when the viscosity of the molten glass or the sheet glass is 10 ^7.6 poise or less.

8. The method according to any one of claims 1 to 7, wherein the adjusting step is performed between the lower end of the molded body and a position spaced by 50 mm from the molten glass or the sheet glass toward the downstream side in the carrying direction or the upstream side , A method of manufacturing a glass substrate.

9. The method according to any one of claims 1 to 8, wherein the cooling step includes cooling both side ends of the sheet glass with a cooling roller in order to prevent the sheet glass from contracting in the width direction of the sheet glass Including,
The upper space is located on the upstream side of the sheet glass in the conveying direction with respect to the partition plate partitioning the lower space in which the cooling roller is installed,
Wherein the shielding member is provided in the upper space.

10. The apparatus according to claim 9, wherein the molding furnace chamber is provided with a space for introducing the sheet glass into the lower space through a slit hole between the partition plates,
And the shielding member is supported by the partition plate.

11. The method of manufacturing a glass substrate according to claim 10, wherein the position of the shielding member in the transport direction for adjusting the temperature distribution is adjusted by changing the thickness or the height of the partition plate.

An apparatus for manufacturing a glass substrate,
In addition,
A molded body which is provided in an upper space of the molding furnace and which melts the molten glass along both side surfaces by overflowing the molten glass and joins the molten glass at the lower end to form a sheet glass to be conveyed;
A heat source for heating the atmosphere in the upper space and the upper space,
By partially preventing the molten glass or the sheet glass from receiving heat from the upper space in the width direction orthogonal to the conveying direction of the molten glass or the sheet glass, And a shielding member for adjusting a temperature distribution in a direction of the glass substrate.