KR20180008112A - Roller bushing supporting substrate - Google Patents

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Abstract

The present invention relates to a roller bushing for supporting a substrate, which lifts or lowers a supporting pin that supports a substrate in order to seat or separate the substrate in or from the upper part of a substrate supporting board. The roller bushing for supporting a substrate comprises: a housing unit including a pin inserting hole which is formed by penetrating the same in the longitudinal direction in order to insert a supporting pin for supporting a substrate, and a roller inserting hole which is formed by penetrating the same in the direction vertical to the longitudinal direction in order to partly overlap the pin inserting hole; a roller unit which is inserted into the roller inserting hole, rotates according to the elevation of the supporting pin by touching the supporting pin, and is formed of three rollers or more that are installed at different positions in the longitudinal direction of a housing; a rotation supporting unit which is placed inside the roller inserting hole in order to be combined with both ends of each roller; and a cover unit which is combined with the outer circumferential surface of the housing unit in order to cover the outlet of the roller inserting hole. Therefore, the roller bushing for supporting a substrate can prevent stopped elevation of a supporting pin due to inflow of powder because rollers are not concentrated on one position of the supporting pin, and can prevent damage to the rollers and the supporting pin.

Description

기판지지용 롤러 부싱{ROLLER BUSHING SUPPORTING SUBSTRATE}ROLLER BUSHING SUPPORTING SUBSTRATE [0001]

본 발명은 기판지지용 롤러 부싱에 관한 것으로, 보다 상세하게는 기판을 지지하여 기판지지대 상부에 안착 또는 이격시키는 지지핀을 승하강시키는 기판지지용 롤러 부싱에 관한 것이다.The present invention relates to a roller bushing for supporting a substrate, and more particularly to a roller bushing for supporting a substrate and raising and lowering a support pin to be seated on or spaced from a top of a substrate support.

기판은 진공 챔버 내의 기판 지지대 상부에서 증착 처리되는 것이 일반적이다. 기판은 로봇 블레이드에 의하여 진공 챔버 일측에 형성된 기판 출입구를 통해 진공 챔버 내부로 이송된다. 이송된 기판은 기판 지지대와 이격되도록 기판 지지대 상부에 기립된 지지핀에 안착 되고, 지지핀이 하강함에 따라 기판 지지대 상부면에 안착 되어 증착 처리된다. 증착 처리가 끝나면, 다시 지지핀이 상승하여 기판을 기판 지지대로부터 이격시키고 로봇 블레이드에 의해 진공 챔버 외부로 이송된다.The substrate is typically deposited on top of the substrate support in a vacuum chamber. The substrate is transferred to the inside of the vacuum chamber through a substrate entrance formed on one side of the vacuum chamber by the robot blade. The transferred substrate is seated on a support pin standing on the substrate supporter so as to be spaced apart from the substrate supporter and deposited on the upper surface of the substrate supporter as the support pin is lowered. When the deposition process is completed, the support pin rises again to separate the substrate from the substrate support and is transferred to the outside of the vacuum chamber by the robot blade.

기판지지용 롤러 부싱은, 기판 지지대 상부에 기판을 안착 또는 이격시키는 지지핀을 승하강시키는 부재로, 롤러에 의해 지지핀의 승하강을 부드럽게 하여 지지핀의 승하강 시 마찰 및 충격을 감소시켜 손상의 위험을 저감시킬 수 있다.The roller bushing for supporting a substrate is a member for raising and lowering a support pin for seating or separating a substrate on a substrate support. The support pin is moved up and down by a roller to reduce friction and impact when the support pin ascends and descends, It is possible to reduce the risk.

현재 LCD 증착 공장이나 OLED 증착 공정에서는 투습률을 향상시키기 위해 기판에 증착되는 막의 두께를 증가시키고 있는데, 이로 인하여 공정 진행 중 다량의 파우더가 발생하여 지지핀에 집중되어 있는 롤러 주변에 파우더가 쌓이기 쉽고, 이로써 롤러의 구동 불량이 발생하였다.In the current LCD deposition process or OLED deposition process, the thickness of the film deposited on the substrate is increased to improve the moisture permeability. As a result, a large amount of powder is generated during the process and the powder is easily accumulated around the roller concentrated on the support pin , Whereby the driving failure of the roller occurred.

종래의 한국 공개특허공보 제10-2014-0076631호는, 튜브형 본체, 튜브형 본체의 상부 부분 내의 개구 내에 배치되는 제1 링, 튜브형 본체의 하부 부분 내의 개구 내에 배치되는 제2 링을 포함하고, 제1 링의 제1 내측 엣지가 제1 곡률 반경을 가지고, 제2 링의 제2 내측 엣지가 제2 곡률 반경을 갖는 기판 지지 부싱에 대하여 기재되어 있다.The conventional Korean Patent Publication No. 10-2014-0076631 includes a tubular body, a first ring disposed in an opening in an upper portion of the tubular body, and a second ring disposed in an opening in a lower portion of the tubular body, 1 < / RTI > ring has a first radius of curvature, and the second inner edge of the second ring has a second radius of curvature.

한국 공개특허공보 제10-2012-0131281호는, 지지핀을 탑재하는 롤러 부싱은 서셉터에 삽입되고 관통하는 길이 방향의 구경을 갖는 하우징, 하우징 둘레에 배치되는 복수의 베어링 부재를 포함하고, 지지핀이 하우징 내에 삽입되는 경우, 복수의 베어링 부재, 지지홈부와 연장부에 지지되어 유격에 따른 움직임을 최소화하는 롤러 부싱에 대하여 기재되어 있다.Korean Patent Laid-Open Publication No. 10-2012-0131281 discloses a roller bushing in which a support pin is mounted includes a housing having a longitudinal bore inserted into and penetrating a susceptor, a plurality of bearing members disposed around the housing, When the pin is inserted into the housing, the roller bushing is supported by the plurality of bearing members, the support groove and the extending portion to minimize the movement due to the clearance.

한국 공개특허공보 제10-2009-01112470호는, 리프트가 삽입되는 하우징, 하우징에 설치되어 리프트의 이동을 가이드하는 안내부를 포함하고, 안내부가 회전접촉으로 리프트를 안내하여 안내부의 마모나 손상을 억제시키고, 안내부만의 부분적인 교환이 가능하다.Korean Patent Laid-Open Publication No. 10-2009-01112470 discloses an elevator for a vehicle comprising a housing into which a lift is inserted and a guide portion provided on the housing to guide the movement of the lift, And only the guide part can be partially replaced.

상술한 부싱은, 하우징 내부에 지지핀이 승하강되고, 지지핀의 승하강 시 하우징과의 마찰을 줄이기 위해, 롤러를 구비한다.The above bushing includes a roller for lifting and lowering the support pin inside the housing and for reducing friction with the housing when the support pin ascends and descends.

이때, 롤러는 지지핀의 외주면 둘레에 복수개가 집중되어 형성되고, 롤러가 삽입되는 부분의 하우징부 외측에는 롤러 삽입 구멍이 형성된다. 이는 롤러 삽입 구멍을 통해 파우더가 유입되기 쉽다는 문제가 있었고, 롤러가 지지핀의 일부분에 집중 형성되어 롤러와 지지핀 사이의 거리가 좁으므로 다량의 파우더가 유입되면 지지핀의 승하강 구동이 중지되고, 이로써 롤러 및 지지핀이 파손되기 쉽다는 문제점이 있었다.At this time, a plurality of rollers are formed concentrically around the outer peripheral surface of the support pin, and a roller insertion hole is formed outside the housing portion of the portion where the roller is inserted. This is because there is a problem that the powder tends to flow through the roller insertion hole and the roller is concentrated on a part of the support pin and the distance between the roller and the support pin is narrow so that when a large amount of powder flows, Thereby causing the roller and the support pin to be easily broken.

또한, 종래의 롤러 부싱은 세라믹 재질로 되어 가공비 및 제조 가격이 고가라는 단점이 있었다.In addition, the conventional roller bushing is made of a ceramic material, which has a disadvantage that the processing cost and manufacturing cost are expensive.

상술한 배경기술의 문제점을 해결하기 위하여, 본 발명은 지지핀을 승하강시키는 롤러에 파우더 유입을 억제하는 기판지지용 롤러 부싱을 제공함에 그 목적이 있다.In order to solve the problems of the background art described above, it is an object of the present invention to provide a roller bushing for supporting a substrate for suppressing powder inflow to a roller for moving up and down a support pin.

또한, 본 발명은 지지핀과 롤러 사이에 파우더가 유입되더라도 지지핀의 승하강 구동이 쉽게 중지되지 않고, 롤러 및 지지핀의 파손을 방지할 수 있는 기판지지용 롤러 부싱을 제공함에 그 목적이 있다.Another object of the present invention is to provide a roller bushing for supporting a substrate, which can prevent breakage of the roller and the support pin without easily stopping the lifting and lowering of the support pin even if the powder flows between the support pin and the roller .

또한, 본 발명은 롤러 부싱의 가공비 및 제조 가격을 저감시킨 기판지지용 롤러 부싱을 제공함에 그 목적이 있다.It is also an object of the present invention to provide a roller bushing for supporting a substrate in which the processing cost and manufacturing cost of the roller bushing are reduced.

상술한 과제를 해결하기 위한 본 발명의 기판지지용 롤러 부싱은, 기판을 지지하는 지지핀이 삽입되도록 길이 방향으로 관통 형성된 핀삽입홀과, 상기 핀삽입홀과 일부 겹치도록 길이 방향에 수직한 방향으로 관통 형성된 롤러 삽입홀이 형성된 하우징부; 상기 롤러 삽입홀에 삽입되고, 상기 지지핀과 접촉되어 상기 지지핀의 승하강에 따라 회전하며, 상기 하우징의 길이 방향으로 상이한 위치에 3개 이상 설치되는 롤러로 이루어진 롤러부; 상기 롤러 삽입홀 내부에 구비되어 상기 각각의 롤러 양단에 결합되는 회전지지부; 및 상기 하우징부 외주면 둘레에 결합되어 상기 롤러 삽입홀의 출구를 감싸는 커버부;를 포함한다.According to an aspect of the present invention, there is provided a roller bushing for supporting a substrate, comprising: a pin insertion hole formed in a longitudinal direction to insert a support pin for supporting a substrate; a pin insertion hole formed in a direction perpendicular to the longitudinal direction A housing portion having a roller insertion hole formed therethrough; A roller portion inserted in the roller insertion hole and being in contact with the support pin and rotating according to the rising and falling of the support pin and having three or more rollers installed at different positions in the longitudinal direction of the housing; A rotation support portion provided in the roller insertion hole and coupled to both ends of the respective rollers; And a cover portion coupled to the outer circumferential surface of the housing portion to surround the outlet of the roller insertion hole.

바람직하게, 상기 롤러부 중 선택된 3개의 롤러는, 각 회전축을 상기 하우징부의 중심축에 수직한 가상의 투영면에 투영 시, 투영된 각 회전축의 내각이 60°를 이룬다.Preferably, the three selected rollers of the roller portion have an internal angle of 60 degrees of each projected rotation axis when each rotation axis is projected on a virtual projection plane perpendicular to the central axis of the housing portion.

바람직하게, 상기 롤러부는, 상기 하우징부의 상, 하부에 각각 2개 이상의 롤러가 배치되는 상, 하부 롤러군을 포함한다.Preferably, the roller portion includes upper and lower roller groups, in which two or more rollers are disposed on upper and lower portions of the housing portion, respectively.

바람직하게, 상기 상부 롤러군 중 선택된 2개의 상부 롤러는, 각 회전축이 평행하게 배치되고, 상기 하부 롤러군 중 선택된 2개의 하부 롤러는, 각 회전축이 평행하게 배치되며, 상기 선택된 상, 하부 롤러의 회전축을 상기 하우징부의 중심축에 수직한 가상의 투영면에 투영 시, 투영된 상부 롤러의 회전축과 투영된 하부 롤러의 회전축이 수직하게 배치된다.Preferably, the two upper rollers selected from among the upper roller groups are arranged such that the respective axes of rotation are arranged in parallel, and the two lower rollers selected from the lower roller group are arranged such that the respective axes of rotation are arranged in parallel, The projection axis of the upper roller and the rotation axis of the projected lower roller are vertically arranged when the rotary shaft is projected on a virtual projection surface perpendicular to the center axis of the housing portion.

바람직하게, 상기 상, 하부 롤러군 중 적어도 하나에서 선택된 3개의 롤러는, 각 회전축을 상기 하우징부의 중심축에 수직한 가상의 투영면에 투영 시, 투영된 각 회전축의 내각이 60°를 이룬다.Preferably, the three rollers selected from at least one of the upper and lower roller groups have an internal angle of 60 degrees of each projected rotation axis when each rotation axis is projected on a virtual projection plane perpendicular to the central axis of the housing part.

바람직하게, 상기 하우징부는, 외주면에 나사산이 형성되고, 상기 커버부는, 내주면에 상기 하우징부에 형성된 나사산과 대응되는 나사산이 형성되어 상기 하우징부와 결합된다.Preferably, a thread is formed on the outer circumferential surface of the housing part, and a screw thread corresponding to the screw thread formed on the housing part is formed on the inner circumferential surface of the cover part so as to be coupled with the housing part.

바람직하게, 상기 커버부는, 상기 하우징부의 상, 하면으로 각각 연장 형성된 상, 하부 커버로 구성된다.Preferably, the cover portion is composed of an upper cover and a lower cover extending respectively to upper and lower surfaces of the housing portion.

바람직하게, 상기 롤러부 및 상기 회전지지부 중 적어도 하나는, 세라믹(ceramic) 재질로 이루어지고, 상기 하우징부 및 상기 커버부 중 적어도 하나는, 알루미늄(Aluminum) 재질로 이루어진다.Preferably, at least one of the roller portion and the rotation support portion is made of a ceramic material, and at least one of the housing portion and the cover portion is made of aluminum.

바람직하게, 상기 하우징부는, 내, 외부 표면이 애노다이징(anodizing) 처리된다.Preferably, the inner and outer surfaces of the housing portion are anodized.

바람직하게, 상기 회전지지부는, 베어링 또는 세라믹 링으로 이루어진다.Preferably, the rotation support portion is made of a bearing or a ceramic ring.

본 발명의 기판지지용 롤러 부싱에 의하면, 롤러를 하우징의 길이 방향으로 상이한 위치에 구비함으로써, 롤러가 지지핀의 한 위치에 집중되지 않아 파우더 유입에 의한 지지핀의 승하강 정지를 방지할 수 있고, 이로 인한 롤러 및 지지핀의 파손을 방지할 수 있다.According to the roller bushing for supporting a substrate of the present invention, since the roller is provided at a different position in the longitudinal direction of the housing, the roller is not concentrated at one position of the support pin, , It is possible to prevent the roller and the support pin from being damaged.

또한, 본 발명은 회전지지부를 구비함으로써, 롤러의 회전을 더욱 용이하게 할 수 있다.Further, the present invention can further facilitate the rotation of the rollers by providing the rotation support portion.

또한, 본 발명은 커버부를 구비함으로써, 롤러 삽입홀의 출구를 감싸 파우더의 유입을 방지할 수 있다.Further, according to the present invention, since the cover portion is provided, the outlet of the roller insertion hole can be surrounded to prevent the powder from flowing.

또한, 본 발명은 하우징부의 중심축에 수직한 투영면에 대하여 투영된 롤러의 회전축의 내각이 60°를 이루거나, 평행하게 배치된 두 쌍의 롤러를 수직하게 배치함으로써, 지지핀을 수평 방향으로 견고하게 지지할 수 있다.Further, according to the present invention, the inner angle of the rotation axis of the roller projected with respect to the projection plane perpendicular to the central axis of the housing part is 60 占 or the two pairs of rollers arranged in parallel are vertically arranged, .

또한, 본 발명은 롤러부와 회전지지부를 세라믹 재질로 구성하고, 하우징부와 커버부를 알루미늄 재질로 구성하여 롤러 부싱의 가공비 및 제조 가격을 저감시킬 수 있다.In addition, the present invention can reduce the processing cost and the manufacturing cost of the roller bushing by constituting the roller portion and the rotation supporting portion with a ceramic material and the housing portion and the cover portion with aluminum material.

도 1은 본 발명의 제1 실시예에 의한 기판지지용 롤러 부싱의 조립도.
도 2는 본 발명의 제1 실시예에 의한 기판지지용 롤러 부싱의 사시도.
도 3은 본 발명의 제1 실시예에 의한 기판지지용 롤러 부싱의 정단면도.
도 4는 본 발명의 제1 실시에에 의한 기판지지용 롤러 부싱의 평단면도.
도 5는 본 발명의 제1 실시예에 의한 롤러의 높이를 나타내는 정면도.
도 6은 본 발명의 제1 실시예에 의한 상부 롤러군의 투영된 회전축을 나타내는 투영면.
도 7은 본 발명의 제1 실시예에 의한 하부 롤러군의 투영된 회전축을 나타내는 투영면.
도 8은 본 발명의 제2 실시예에 의한 롤러의 높이를 나타내는 정면도.
도 9는 본 발명의 제2 실시예에 의한 롤러의 투영된 회전축을 나타내는 투영면.
도 10은 본 발명의 제3 실시예에 의한 롤러의 높이를 나타내는 정면도.
도 11은 본 발명의 제3 실시예에 의한 상부 롤러군의 투영된 회전축을 나타내는 투영면.
도 12는 본 발명의 제3 실시예에 의한 하부 롤러군의 투영된 회전축을 나타내는 투영면.
도 13은 본 발명의 제4 실시예에 의한 롤러의 높이를 나타내는 정면도.
도 14는 본 발명의 제4 실시예에 의한 상부 롤러군의 투영된 회전축을 나타내는 투영면.
도 15는 본 발명의 제4 실시예에 의한 하부 롤러군의 투영된 회전축을 나타내는 투영면.
도 16은 본 발명의 제5 실시예에 의한 롤러의 높이를 나타내는 정면도.
도 17은 본 발명의 제5 실시예에 의한 상부 롤러군의 투영된 회전축을 나타내는 투영면.
도 18은 본 발명의 제5 실시예에 의한 하부 롤러군의 투영된 회전축을 나타내는 투영면.1 is an assembled view of a roller bushing for supporting a substrate according to a first embodiment of the present invention;
2 is a perspective view of a roller bushing for supporting a substrate according to a first embodiment of the present invention;
3 is a front sectional view of a roller bushing for supporting a substrate according to a first embodiment of the present invention.
4 is a plan sectional view of a roller bushing for supporting a substrate according to the first embodiment of the present invention.
5 is a front view showing the height of the roller according to the first embodiment of the present invention;
6 is a projection plane showing the projected rotation axis of the upper roller group according to the first embodiment of the present invention;
7 is a projection plane showing the projected rotation axis of the lower roller group according to the first embodiment of the present invention;
8 is a front view showing the height of the roller according to the second embodiment of the present invention.
9 is a projection plane showing the projected rotation axis of the roller according to the second embodiment of the present invention.
10 is a front view showing the height of the roller according to the third embodiment of the present invention.
11 is a projection plane showing the projected rotation axis of the upper roller group according to the third embodiment of the present invention.
12 is a projection plane showing the projected rotation axis of the lower roller group according to the third embodiment of the present invention;
13 is a front view showing the height of the roller according to the fourth embodiment of the present invention.
14 is a projection plane showing the projected rotation axis of the upper roller group according to the fourth embodiment of the present invention.
15 is a projection plane showing the projected rotation axis of the lower roller group according to the fourth embodiment of the present invention;
16 is a front view showing the height of the roller according to the fifth embodiment of the present invention.
17 is a projection plane showing the projected rotation axis of the upper roller group according to the fifth embodiment of the present invention.
18 is a projection plane showing the projected rotation axis of the lower roller group according to the fifth embodiment of the present invention.

이하에서는 본 발명의 실시예를 도면을 참고하여 구체적으로 설명한다. 본 발명의 기판지지용 롤러 부싱은 제1 내지 제5 실시예로 구분할 수 있으며, 각 실시예의 구성요소는 기본적으로 동일하나, 일부 구성에 있어서 차이가 있다. 또한 본 발명의 여러 실시예 중 동일한 기능과 작용을 하는 구성요소에 대해서는 도면상의 도면부호를 동일하게 사용하기로 한다.Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the drawings. The roller bushing for supporting a substrate of the present invention can be classified into the first to fifth embodiments, and the constituent elements of each embodiment are basically the same, but there are differences in some configurations. In addition, among the various embodiments of the present invention, the same reference numerals in the drawings are used for the same functional elements and functions.

본 발명의 제1 실시예에 의한 기판지지용 롤러 부싱은 도 1 내지 도 7에 도시한 바와 같이 크게 하우징부(100), 롤러부(200), 회전지지부(300) 및 커버부(400)로 이루어진다.1 to 7, the roller bushing for supporting a substrate according to the first embodiment of the present invention includes a housing part 100, a roller part 200, a rotation support part 300, and a cover part 400 .

하우징부(100)는 기판을 지지하는 지지핀(500)이 승하강되도록 기판지지대 내부에 구비되는 원통형의 형상으로, 핀십입홀(110), 롤러 삽입홀(120) 및 링 안착부(130)가 형성된다.The housing part 100 has a cylindrical shape provided inside the substrate support so that the support pin 500 supporting the substrate moves up and down. The housing part 100 includes a pin tipping hole 110, a roller insertion hole 120, and a ring seating part 130 .

핀삽입홀(110)은 하우징부(100)의 길이 방향으로 관통 형성되어 지지핀(500)이 삽입되며, 이때 지지핀(500)의 승하강을 가이드할 수 있다. 지지핀(500)은 헤드부(510)와 몸체부(520)로 구성될 수 있으며, 헤드부(510)는 몸체부(520)의 직경보다 크게 형성되어 몸체부(520)는 핀삽입홀(110) 내부를 승하강하며, 헤드부(510)는 하우징부(100)의 상면에 걸려 지지핀(500)의 하강을 제한한다.The pin insertion hole 110 is formed in the longitudinal direction of the housing part 100 so that the support pin 500 is inserted and the guide pin 500 can be guided up and down. The support pin 500 may be composed of a head part 510 and a body part 520. The head part 510 is formed larger than the diameter of the body part 520 so that the body part 520 is inserted into the pin insertion hole 110, and the head portion 510 is hooked on the upper surface of the housing portion 100 to limit the downward movement of the support pin 500. As shown in FIG.

롤러 삽입홀(120)은 하우징부(100)의 길이 방향에 수직한 방향으로 관통 형성되며, 핀삽입홀(110)과 일부 겹치도록 하우징부(100)의 중심축(C)에 편심되게 형성된다.The roller insertion hole 120 is formed in a direction perpendicular to the longitudinal direction of the housing part 100 and eccentrically formed on the central axis C of the housing part 100 so as to partially overlap the pin insertion hole 110 .

링 안착부(130)는 롤러 양단에 결합되는 회전지지부(300)가 안착되도록 롤러 삽입홀(120)의 양단이 롤러 삽입홀(120)의 직경보다 크게 형성된다.Both ends of the roller insertion hole 120 are formed to be larger than the diameter of the roller insertion hole 120 so that the rotation support portion 300 coupled to both ends of the roller is seated.

하우징부(100)는 내, 외부 표면을 애노다이징(anodizing) 처리하여 내마모성과 전기 절연성을 향상시킬 수 있다.The housing part 100 can anodize inner and outer surfaces to improve abrasion resistance and electrical insulation.

롤러부(200)는 롤러 삽입홀(120)에 삽입되는 핀 형상의 롤러로 이루어지며, 롤러의 외주면 일측이 지지핀(500)과 접촉되어 지지핀(500)의 승하강에 따라 회전한다. 각각의 롤러는 하우징부(100)의 길이 방향으로 상이한 위치에 3개 이상 구비되며, 하우징부(100)의 길이 방향으로 동일한 위치에는 하나의 롤러가 설치되는 것이 바람직하다. 이는 지지핀(500)에 대하여 롤러가 설치되는 위치를 분산시켜 파우더가 하우징부(100) 내부로 유입되더라도 롤러와 지지핀(500) 사이에 쉽게 적층되지 않으므로, 파우더 유입에 의해 지지핀(500)의 승하강이 정지되거나 이로 인한 지지핀 또는 롤러의 파손을 방지할 수 있다. 또한, 지지핀(500)의 둘레 방향에는 하나의 롤러와 점접촉 되므로, 지지핀(500)의 승하강 시 롤러와의 마찰을 최소화할 수 있고, 파우더가 유입되더라도 지지핀(500) 타측의 롤러가 접촉되지 않은 지지핀(500)과 핀삽입홀(110) 사이의 유격을 통해 파우더가 배출되기 쉽다.The roller unit 200 is formed of a pin-shaped roller inserted into the roller insertion hole 120. One side of the outer circumferential surface of the roller contacts the support pin 500 and rotates in accordance with the rising and falling of the support pin 500. It is preferable that at least three rollers are provided at different positions in the longitudinal direction of the housing part 100 and one roller is provided at the same position in the longitudinal direction of the housing part 100. [ This is because the position where the rollers are installed on the support pin 500 is dispersed so that even if the powder flows into the housing part 100, the support pin 500 is not easily stacked between the roller and the support pin 500, It is possible to prevent the support pin or the roller from being damaged. Further, since the support pin 500 is in point contact with one roller in the circumferential direction of the support pin 500, friction between the support pin 500 and the roller can be minimized during ascending and descending of the support pin 500, The powder is easily discharged through the clearance between the support pin 500 not in contact with the pin insertion hole 110 and the pin insertion hole 110.

이하에서는 롤러부(200)의 배치를 참고하여 구체적으로 설명한다. 도면상에서 x축, y축은 하우징부(100)의 길이 방향에 수직한 방향, 즉 수평 방향을 나타내며, z축은 하우징부(100)의 길이 방향, 즉 중심축(C) 방향을 나타낸다. 복수의 롤러는 하우징부(100)의 중심축(C) 방향으로 상이한 위치에 설치되므로, 하우징부(100)의 하단으로부터 롤러가 설치된 위치까지의 길이를 롤러의 높이라 칭한다. 또한, 하우징부(100)의 중심축(C)에 수직한 가상의 투영면(P)에 롤러의 회전축을 투영하여 각 롤러의 수평 방향 배치를 설명하고자 한다.Hereinafter, the arrangement of the roller unit 200 will be specifically described. The x-axis and the y-axis in the drawing indicate the direction perpendicular to the longitudinal direction of the housing part 100, that is, the horizontal direction, and the z-axis indicates the longitudinal direction of the housing part 100, that is, the central axis C direction. Since the plurality of rollers are provided at different positions in the direction of the central axis C of the housing part 100, the length from the lower end of the housing part 100 to the position where the rollers are installed is called the height of the roller. The horizontal direction arrangement of the rollers will be described by projecting the rotation axis of the roller onto a virtual projection plane P perpendicular to the center axis C of the housing part 100. [

제1 실시예에 의한, 롤러부(200)는 도 5 내지 도 7에 도시한 바와 같이, 제1, 제2 상부 롤러(211, 212)로 이루어진 상부 롤러군(210)과 제1, 제2 하부 롤러(221, 222)로 이루어진 하부 롤러군(220)으로 구성된다.5 to 7, the roller unit 200 according to the first embodiment includes the upper roller group 210 composed of the first and second upper rollers 211 and 212, the first and second upper rollers 211 and 212, And a lower roller group 220 composed of lower rollers 221 and 222.

각 롤러의 높이는, 도 5에 도시한 바와 같이, 제1, 제2 상부 롤러(211, 212), 제1, 제2 하부 롤러(221, 222) 순으로 높다(h1>h2>h3>h4).The height of each roller is higher in the order of the first and second upper rollers 211 and 212 and the first and second lower rollers 221 and 222 as shown in FIG. 5 (h1> h2> h3> h4) .

도 6은 상부 롤러군(210)의 롤러와 롤러의 회전축을 투영면(P)에 투영한 상태를 나타낸 것으로, 제1, 제2 상부 롤러(211, 212)는 각 회전축(A11, A12)이 평행하게 배치된다.6 shows a state in which the rotation axis of the roller and the roller of the upper roller group 210 are projected onto the projection plane P. The first and second upper rollers 211 and 212 are arranged such that the rotation axes A11 and A12 are parallel Respectively.

도 7은 하부 롤러군(220)의 롤러와 롤러의 회전축을 투영면(P)에 투영한 상태를 나타낸 것으로, 제1, 제2 하부 롤러(221, 222)는 각 회전축(A21, A22)이 평행하게 배치된다.7 shows a state in which the rotation axis of the roller and the roller of the lower roller group 220 is projected on the projection plane P. The first and second lower rollers 221 and 222 are arranged such that the rotation axes A21 and A22 are parallel Respectively.

이때, 제1, 제2 상부 롤러(211, 212)와 제1, 제2 하부 롤러(221, 222)의 각 회전축은 수직하게 배치된다.At this time, the rotation axes of the first and second upper rollers 211 and 212 and the first and second lower rollers 221 and 222 are vertically arranged.

이로써, 상부 롤러군(210)은 지지핀(500)을 y축 방향으로 지지하고, 하부 롤러군(220)은 지지핀(500)을 x축 방향으로 지지하여, 지지핀(500)이 수평 방향으로 흔들리지 않도록 지지할 수 있다.The upper roller group 210 supports the support pin 500 in the y axis direction and the lower roller group 220 supports the support pin 500 in the x axis direction so that the support pin 500 is moved in the horizontal direction So as not to be shaken.

회전지지부(300)는 롤러 삽입홀(120) 내부에 구비되며, 링 안착부(130)에 위치한다. 회전지지부(300)는 고리 형상으로 형성되어 고리 내측에 각각의 롤러 양단이 삽입 결합되고, 이로써, 롤러의 회전 시, 롤러와 동일한 방향으로 회전되며 지지핀(500)과 하우징부(100)의 마찰을 감소시켜 롤러의 회전을 용이하게 할 수 있다. 이러한 회전지지부(300)로는 베어링 또는 세라믹 링을 사용할 수 있다.The rotation support part 300 is provided inside the roller insertion hole 120 and is located at the ring seating part 130. The rotation support part 300 is formed in a ring shape and is inserted and coupled at both ends of each roller inside the ring so that the rotation support part 300 is rotated in the same direction as the roller when the roller is rotated, The rotation of the roller can be facilitated. A bearing or a ceramic ring may be used as the rotation support part 300.

커버부(400)는 하우징부(100) 외주면 둘레에 결합되어 롤러 삽입홀(120)의 출구를 감싸고, 하우징부(100)의 상, 하면으로 각각 연장 형성되는 상, 하부 커버(410, 420)로 구성된다. The cover unit 400 includes upper and lower covers 410 and 420 which are coupled to the outer circumferential surface of the housing unit 100 to surround the outlet of the roller insertion hole 120 and extend respectively to the upper and lower surfaces of the housing unit 100, .

상부 커버(410)는, 하우징부(100)의 상부에 구비되어, 하우징부(100) 상부의 롤러 삽입홀(120) 출구를 감싸고, 하우징부(100) 상면으로 연장 형성되며, 상면에 지지핀(500)이 승하강되는 관통홀(411)이 형성된다.The upper cover 410 is provided on the upper part of the housing part 100 and extends around the outlet of the roller insertion hole 120 on the upper part of the housing part 100 and extends to the upper surface of the housing part 100, And the through hole 411 is formed to be raised and lowered.

상부 커버(410)의 내주면에는 나사산이 형성되고, 상부 커버(410)의 나사산이 결합되는 위치의 하우징부(100) 외주면에 상부 커버(410)의 나사산과 대응되는 나사산이 형성되어, 하우징부(100)와 상부 커버(410)는 나사 결합된다.A thread is formed on the inner circumferential surface of the upper cover 410 and a thread corresponding to the thread of the upper cover 410 is formed on the outer circumferential surface of the housing part 100 at a position where the thread of the upper cover 410 is engaged, 100 and the upper cover 410 are screwed together.

하부 커버(420)는, 하우징부(100)의 하부에 구비되어, 하우징부(100) 하부의 롤러 삽입홀(120) 출구를 감싸고, 하우징부(100) 하면으로 연장 형성되며, 하면에 지지핀(500)이 승하강되는 관통홀(412)이 형성된다.The lower cover 420 is provided at a lower portion of the housing part 100 and extends around the outlet of the roller insertion hole 120 at the lower part of the housing part 100 and extends to the lower surface of the housing part 100, The through hole 412 is formed so that the through hole 412 is raised and lowered.

하부 커버(420)의 내주면에는 나사산이 형성되고, 하부 커버(420)의 나사산이 결합되는 위치의 하우징부(100) 외주면에 하부 커버(420)의 나사산과 대응되는 나사산이 형성되어, 하우징부(100)와 하부 커버(420)는 나사 결합된다.A thread is formed on the inner circumferential surface of the lower cover 420 and a thread corresponding to the thread of the lower cover 420 is formed on the outer circumferential surface of the housing part 100 at a position where the thread of the lower cover 420 is engaged, 100 and the lower cover 420 are screwed together.

이로써, 커버부(400)는 롤러 삽입홀(120)의 출구를 밀폐하여 기판의 처리 중에 발생하는 파우더가 롤러에 유입되는 것을 방지할 수 있고, 이로부터 지지핀(500)과 롤러부(200) 사이에 파우더가 증착되어 지지핀(500)의 구동에 불량이 발생하는 것을 방지할 수 있다.Accordingly, the cover part 400 can seal the outlet of the roller insertion hole 120 to prevent the powder generated during the processing of the substrate from flowing into the roller, from which the support pin 500 and the roller part 200 It is possible to prevent the occurrence of defects in the driving of the support pin 500 due to the deposition of powder therebetween.

본 발명의 기판지지용 롤러 부싱은, 롤러부(200)와 회전지지부(300) 중 적어도 하나가 세라믹(ceramic) 재질로 이루어지고, 하우징부(100)와 커버부(400) 중 적어도 하나가 알루미늄(Aluminum) 재질로 이루어진다. 이는, 고가의 세라믹 재질을 필요한 부분에만 사용함으로써, 기판지지용 롤러 부싱의 가공비 및 제조 가격을 저감시킬 수 있다.At least one of the roller unit 200 and the rotary support unit 300 is made of a ceramic material and at least one of the housing unit 100 and the cover unit 400 is made of aluminum (Aluminum) material. This makes it possible to reduce the processing cost and the manufacturing cost of the roller bushing for supporting the substrate by using the expensive ceramic material only in a necessary portion.

본 발명의 제2 실시예는 제1 실시예와 대비하여 롤러부의 배치에 있어 차이가 있다. 이하에서는 제1 실시예와 동일한 구성요소에 대한 설명은 생략하며, 제1 실시예와 차이를 가지는 구성요소를 중심으로 도 8, 도 9를 참고하여 설명한다.The second embodiment of the present invention differs from the first embodiment in the arrangement of the roller portions. Hereinafter, description of the same components as those of the first embodiment will be omitted, and components having a difference from the first embodiment will be described with reference to FIGS. 8 and 9. FIG.

롤러부(200)는 제1, 제2, 제3 롤러(201, 202, 203)로 이루어진다.The roller unit 200 includes first, second, and third rollers 201, 202, and 203.

각 롤러의 높이는, 도 8에 도시한 바와 같이, 제1, 제2, 제3 롤러(201, 202, 203) 순으로 높다(h1>h2>h3).As shown in Fig. 8, the height of each roller is higher in the order of the first, second and third rollers 201, 202 and 203 (h1> h2> h3).

도 9는 롤러와 롤러의 회전축을 투영면(P)에 투영한 상태를 나타낸 것으로, 제1, 제2, 제3 롤러(201, 202, 203)는 각 회전축(A1, A2, A3)의 내각(θ)이 60°로 배치된다.9 shows a state in which the rotation axis of the roller and the roller are projected onto the projection plane P. The first roller 202 and the third roller 203 are disposed at the inner angles of the rotation shafts A1, theta] is arranged at 60 [deg.].

이로써, 지지핀(500)을 수평 방향으로 흔들리지 않도록 지지할 수 있다.Thereby, the support pin 500 can be supported so as not to shake in the horizontal direction.

본 발명의 제3 실시예는 제1 실시예와 대비하여 롤러부의 배치에 있어 차이가 있다. 이하에서는 제1 실시예와 동일한 구성요소에 대한 설명은 생략하며, 제1 실시예와 차이를 가지는 구성요소를 중심으로 도 10 내지 도 12를 참고하여 설명한다.The third embodiment of the present invention differs from the first embodiment in the arrangement of the roller portions. Hereinafter, description of the same components as those of the first embodiment will be omitted, and components having a difference from the first embodiment will be described with reference to FIGS. 10 to 12. FIG.

롤러부(200)는 제1, 제2, 제3 상부 롤러(211, 212, 213)로 이루어진 상부 롤러군(210)과 제1, 제2, 제3 하부 롤러(221, 222, 223)로 이루어진 하부 롤러군(220)으로 구성된다.The roller unit 200 includes an upper roller group 210 composed of first, second and third upper rollers 211, 212 and 213 and first, second and third lower rollers 221, 222 and 223 And a lower roller group 220 formed of a lower roller.

각 롤러의 높이는, 도 10에 도시한 바와 같이, 제1, 제2, 제3 상부 롤러(211, 212, 213), 제1, 제2, 제3 하부 롤러(221, 222, 223) 순으로 높다(h1>h2>h3>h4>h5>h6).As shown in FIG. 10, the height of each roller is set in the order of the first, second and third upper rollers 211, 212 and 213, and the first, second and third lower rollers 221, 222 and 223 (H1> h2> h3> h4> h5> h6).

도 11은 상부 롤러군(210)의 롤러와 롤러의 회전축을 투영면(P)에 투영한 상태를 나타낸 것으로, 제1, 제2, 제3 상부 롤러(211, 212, 213)는 각 회전축(A11, A12, A13)의 내각(θ)이 60°로 배치된다.11 shows a state in which the rotation axis of the roller and the roller of the upper roller group 210 are projected on the projection plane P. The first, second and third upper rollers 211, 212, , A12, and A13 are arranged at 60 degrees.

도 12는 하부 롤러군(220)의 롤러와 롤러의 회전축을 투영면(P)에 투영한 상태를 나타낸 것으로, 제1, 제2, 제3 하부 롤러(221, 222, 223)는 각 회전축(A21, A22, A23)의 내각(θ)이 60°로 배치된다.12 shows a state in which the rotation axis of the roller and the roller of the lower roller group 220 is projected onto the projection plane P. The first, second and third lower rollers 221, 222, , A22, and A23 are arranged at 60 degrees.

이로써, 지지핀(500)을 수평 방향으로 흔들리지 않도록 지지할 수 있으며, 제2 실시예에 비하여 더욱 견고하게 지지할 수 있다.In this way, the support pin 500 can be supported so as not to shake in the horizontal direction, and can be more firmly supported as compared with the second embodiment.

본 발명의 제4 실시예는 제1 실시예와 대비하여 롤러부의 배치에 있어 차이가 있다. 이하에서는 제1 실시예와 동일한 구성요소에 대한 설명은 생략하며, 제1 실시예와 차이를 가지는 구성요소를 중심으로 도 13 내지 도 15를 참고하여 설명한다.The fourth embodiment of the present invention differs from the first embodiment in the arrangement of the roller portions. Hereinafter, description of the same components as those of the first embodiment will be omitted, and components having a difference from the first embodiment will be described with reference to FIGS. 13 to 15. FIG.

롤러부(200)는 제1, 제2, 제3, 제4 상부 롤러(211, 212, 213, 214)로 이루어진 상부 롤러군(210)과 제1, 제2, 제3, 제4 하부 롤러(221, 222, 223, 224)로 이루어진 하부 롤러군(220)으로 구성된다.The roller unit 200 includes an upper roller group 210 composed of first, second, third and fourth upper rollers 211, 212, 213 and 214 and first, second, third, And a lower roller group 220 composed of rollers 221, 222, 223, and 224.

각 롤러의 높이는, 도 13에 도시한 바와 같이, 제1, 제2, 제3, 제4 상부 롤러(211, 212, 213, 214), 제1, 제2, 제3, 제4 하부 롤러(221, 222, 223, 224) 순으로 높다(h1>h2>h3>h4>h5>h6>h7>h8).13, the height of each roller is set so that the height of each of the first, second, third and fourth upper rollers 211, 212, 213, 214, first, second, third, 221, 222, 223, 224) (h1> h2> h3> h4> h5> h6> h7> h8).

도 14는 상부 롤러군(210)의 롤러와 롤러의 회전축을 투영면(P)에 투영한 상태를 나타낸 것으로, 제1, 제2 상부 롤러(211, 212)의 각 회전축(A11, A12)이 평행하게 배치되고, 제3, 제4 상부 롤러(213, 214)의 각 회전축(A13, A14)이 평행하게 배치되며, 제1, 제2 상부 롤러(211, 212)와 제3, 제4 상부 롤러(213, 214) 각각의 투영된 회전축은 수직하게 배치된다. 즉, 도 14와 같이, 격자 형태로 배치된다.14 shows a state in which the rotation axis of the roller and the roller of the upper roller group 210 are projected onto the projection plane P. The rotation axes A11 and A12 of the first and second upper rollers 211 and 212 are parallel And the rotary shafts A13 and A14 of the third and fourth upper rollers 213 and 214 are arranged in parallel and the first and second upper rollers 211 and 212 and the third and fourth upper rollers 213 and 214 are disposed in parallel, The projected rotation axes of each of the projecting portions 213 and 214 are arranged vertically. That is, they are arranged in a lattice form as shown in Fig.

도 15는 하부 롤러군(220)의 롤러와 롤러의 회전축을 투영면(P)에 투영한 상태를 나타낸 것으로, 제1, 제2 하부 롤러(221, 222)의 각 회전축(A21, A22)이 평행하게 배치되고, 제3, 제4 하부 롤러(223, 224)의 각 회전축(A23, A24)이 평행하게 배치되며, 제1, 제2 하부 롤러(221, 222)와 제3, 제4 하부 롤러(223, 224) 각각의 투영된 회전축은 수직하게 배치된다. 즉, 도 15와 같이, 격자 형태로 배치된다.15 shows a state in which the rotation axes of the rollers and the rollers of the lower roller group 220 are projected on the projection plane P. The rotation axes A21 and A22 of the first and second lower rollers 221 and 222 are parallel And the rotary shafts A23 and A24 of the third and fourth lower rollers 223 and 224 are disposed in parallel and the first and second lower rollers 221 and 222 and the third and fourth lower rollers 223 and 224 are disposed in parallel, The projected rotation axes of each of the projecting portions 223 and 224 are arranged vertically. That is, as shown in Fig. 15, they are arranged in a lattice form.

이로써, 상, 하부 롤러군(210, 220)은 각각 x, y축 방향으로 지지핀(500)을 지지하여 지지핀(500)이 수평 방향으로 흔들리지 않도록 지지할 수 있다.Accordingly, the upper and lower roller groups 210 and 220 support the support pins 500 in the x and y axis directions to support the support pins 500 in a horizontal direction.

본 발명의 제5 실시예는 제1 실시예와 대비하여 롤러부의 배치에 있어 차이가 있다. 이하에서는 제1 실시예와 동일한 구성요소에 대한 설명은 생략하며, 제1 실시예와 차이를 가지는 구성요소를 중심으로 도 16 내지 도 18을 참고하여 설명한다.The fifth embodiment of the present invention differs from the first embodiment in the arrangement of the roller portions. Hereinafter, description of the same components as those of the first embodiment will be omitted, and components having a difference from the first embodiment will be described with reference to FIGS. 16 to 18. FIG.

롤러부(200)는 제1, 제2, 제3, 제4 상부 롤러(211, 212, 213, 214)로 이루어진 상부 롤러군(210)과 제1, 제2, 제3, 제4 하부 롤러(221, 222, 223, 224)로 이루어진 하부 롤러군(220)으로 구성된다.The roller unit 200 includes an upper roller group 210 composed of first, second, third and fourth upper rollers 211, 212, 213 and 214 and first, second, third, And a lower roller group 220 composed of rollers 221, 222, 223, and 224.

각 롤러의 높이는, 도 16에 도시한 바와 같이, 제1, 제2, 제3, 제4 상부 롤러(211, 212, 213, 214), 제1, 제2, 제3, 제4 하부 롤러(221, 222, 223, 224) 순으로 높다(h1>h2>h3>h4>h5>h6>h7>h8).As shown in FIG. 16, the height of each roller is set so that the height of the first, second, third, and fourth upper rollers 211, 212, 213, 214, 221, 222, 223, 224) (h1> h2> h3> h4> h5> h6> h7> h8).

도 17은 상부 롤러군(210)의 롤러와 롤러의 회전축을 투영면(P)에 투영한 상태를 나타낸 것으로, 제1, 제3 상부 롤러(211, 213)의 각 회전축(A11, A13)이 평행하게 배치되고, 제2, 제4 상부 롤러(212, 214)의 각 회전축(A12, A14)이 평행하게 배치되며, 제1, 제3 상부 롤러(211, 213)와 제2, 제4 상부 롤러(212, 214) 각각의 투영된 회전축은 수직하게 배치된다. 즉, 도 17과 같이, 격자 형태로 배치되며, 상부의 롤러부터 순서대로 90°씩 회전하며 배치된다.17 shows a state in which the rotation axes of the rollers and the rollers of the upper roller group 210 are projected on the projection plane P. The rotation axes A11 and A13 of the first and third upper rollers 211 and 213 are parallel And the rotation axes A12 and A14 of the second and fourth upper rollers 212 and 214 are arranged in parallel and the first and third upper rollers 211 and 213 and the second and fourth upper rollers 212 and 214 are disposed in parallel, The projected rotational axes of the respective optical axes 212 and 214 are arranged vertically. That is, as shown in Fig. 17, they are arranged in a lattice form, and are arranged in order from the upper roller by 90 degrees.

도 18은 하부 롤러군(220)의 롤러와 롤러의 회전축을 투영면(P)에 투영한 상태를 나타낸 것으로, 제1, 제3 하부 롤러(221, 223)의 각 회전축(A21, A23)이 평행하게 배치되고, 제2, 제4 하부 롤러(222, 224)의 각 회전축(A22, A24)이 평행하게 배치되며, 제1, 제3 하부 롤러(221, 223)와 제2, 제4 하부 롤러(222, 224) 각각의 투영된 회전축은 수직하게 배치된다. 즉, 도 18과 같이, 격자 형태로 배치되며, 상부의 롤러부터 순서대로 90°씩 회전하며 배치된다.18 shows a state in which the rotation axis of the rollers and the rollers of the lower roller group 220 are projected on the projection plane P. The rotation axes A21 and A23 of the first and third lower rollers 221 and 223 are parallel And the rotary shafts A22 and A24 of the second and fourth lower rollers 222 and 224 are disposed in parallel with each other and the first and third lower rollers 221 and 223 and the second and fourth lower rollers 222 and 224 are disposed in parallel, The projected rotational axes of each of the projecting portions 222 and 224 are arranged vertically. That is, as shown in FIG. 18, they are arranged in a lattice form, and are arranged in order from the upper roller by 90 degrees.

이로써, 상, 하부 롤러군(210, 220)은 각각 x, y축 방향으로 지지핀(500)을 지지하여 지지핀(500)이 수평 방향으로 흔들리지 않도록 지지할 수 있다.Accordingly, the upper and lower roller groups 210 and 220 support the support pins 500 in the x and y axis directions to support the support pins 500 in a horizontal direction.

상술한 실시예와 같이, 각 롤러의 높이가 상이하게 설치되고, 복수의 롤러가 수평 방향으로 지지핀을 지지할 수 있다면, 롤러가 배치되는 순서나 위치는 다양하게 설정될 수 있다.As in the above-described embodiment, the order and the position in which the rollers are arranged can be variously set, provided that the heights of the rollers are different from each other and the plurality of rollers can support the support pins in the horizontal direction.

이상에서는 본 발명의 구체적인 실시예를 도면을 중심으로 설명하였으나, 본 발명의 권리범위는 특허 청구 범위에 기재된 기술적 사상을 중심으로 그 변형물 또는 균등물에까지 미침은 자명하다 할 것이다.While the invention has been shown and described with reference to certain embodiments thereof, it will be understood by those skilled in the art that various changes and modifications may be made therein without departing from the spirit and scope of the invention as defined by the appended claims.

100 : 하우징부
110 : 핀삽입홀
120 : 롤러 삽입홀
130 : 링 안착부
200 : 롤러부
210 : 상부 롤러군
220 : 하부 롤러군
300 : 회전지지부
400 : 커버부
410 : 상부 커버
420 : 하부 커버
500 : 지지핀
510 : 헤드부
520 : 몸체부100: housing part
110: pin insertion hole
120: roller insertion hole
130: ring seating part
200: roller portion
210: upper roller group
220: Lower roller group
300:
400:
410: upper cover
420: Lower cover
500: Support pin
510: head portion
520:

Claims (10)

기판을 지지하는 지지핀이 삽입되도록 길이 방향으로 관통 형성된 핀삽입홀과, 상기 핀삽입홀과 일부 겹치도록 길이 방향에 수직한 방향으로 관통 형성된 롤러 삽입홀이 형성된 하우징부;
상기 롤러 삽입홀에 삽입되고, 상기 지지핀과 접촉되어 상기 지지핀의 승하강에 따라 회전하며, 상기 하우징의 길이 방향으로 상이한 위치에 3개 이상 설치되는 롤러로 이루어진 롤러부;
상기 롤러 삽입홀 내부에 구비되어 각각의 상기 롤러 양단에 결합되는 회전지지부; 및
상기 하우징부 외주면 둘레에 결합되어 상기 롤러 삽입홀의 출구를 감싸는 커버부;를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판지지용 롤러 부싱.A housing portion having a pin insertion hole formed in a longitudinal direction so as to insert a support pin for supporting the substrate and a roller insertion hole formed to penetrate the pin insertion hole in a direction perpendicular to the longitudinal direction;
A roller portion inserted in the roller insertion hole and being in contact with the support pin and rotating according to the rising and falling of the support pin and having three or more rollers installed at different positions in the longitudinal direction of the housing;
A rotation support provided in the roller insertion hole and coupled to both ends of each of the rollers; And
And a cover portion coupled to the outer peripheral surface of the housing portion to surround the outlet of the roller insertion hole. 청구항 1에 있어서,
상기 롤러부 중 선택된 3개의 롤러는, 각 회전축을 상기 하우징부의 중심축에 수직한 가상의 투영면에 투영 시, 투영된 각 회전축의 내각이 60°를 이루는 것을 특징으로 하는 기판지지용 롤러 부싱.The method according to claim 1,
Wherein the three selected rollers of the roller portion form an angle of 60 ° of each projected rotation axis when each rotation axis is projected onto a virtual projection plane perpendicular to the central axis of the housing portion. 청구항 1에 있어서,
상기 롤러부는, 상기 하우징부의 상, 하부에 각각 2개 이상의 롤러가 배치되는 상, 하부 롤러군을 포함하는 것을 특징으로 하는 기판지지용 롤러 부싱.The method according to claim 1,
Wherein the roller portion includes upper and lower roller groups in which at least two rollers are disposed on upper and lower portions of the housing portion, respectively. 청구항 3에 있어서,
상기 상부 롤러군 중 선택된 2개의 상부 롤러는, 각 회전축이 평행하게 배치되고,
상기 하부 롤러군 중 선택된 2개의 하부 롤러는, 각 회전축이 평행하게 배치되며,
상기 선택된 상, 하부 롤러의 회전축을 상기 하우징부의 중심축에 수직한 가상의 투영면에 투영 시, 투영된 상부 롤러의 회전축과 투영된 하부 롤러의 회전축이 수직하게 배치되는 것을 특징으로 하는 기판지지용 롤러 부싱.The method of claim 3,
The two upper rollers selected from the upper roller group are arranged such that the respective rotary shafts are arranged in parallel,
The two lower rollers selected from the lower roller group are arranged such that the respective rotation axes are parallel,
Wherein a projection axis of the upper roller and a rotation axis of the projected lower roller are vertically arranged when projecting the rotation axis of the selected upper and lower rollers on a virtual projection plane perpendicular to the central axis of the housing part. bushing. 청구항 3에 있어서,
상기 상, 하부 롤러군 중 적어도 하나에서 선택된 3개의 롤러는, 각 회전축을 상기 하우징부의 중심축에 수직한 가상의 투영면에 투영 시, 투영된 각 회전축의 내각이 60°를 이루는 것을 특징으로 하는 기판지지용 롤러 부싱.The method of claim 3,
Wherein the three rollers selected from at least one of the upper and lower rollers form an angle of 60 ° of each projected rotation axis when each rotation axis is projected onto a virtual projection plane perpendicular to the central axis of the housing part. Support roller bushing. 청구항 3에 있어서,
상기 하우징부는, 외주면에 나사산이 형성되고,
상기 커버부는, 내주면에 상기 하우징부에 형성된 나사산과 대응되는 나사산이 형성되어 상기 하우징부와 결합되는 것을 특징으로 하는 기판지지용 롤러 부싱.The method of claim 3,
Wherein the housing portion is formed with a thread on an outer peripheral surface thereof,
Wherein the cover portion has a threaded portion corresponding to a threaded portion formed on the inner circumferential surface of the cover portion, and is engaged with the housing portion. 청구항 6에 있어서,
상기 커버부는, 상기 하우징부의 상, 하면으로 각각 연장 형성된 상, 하부 커버로 구성된 것을 특징으로 하는 기판지지용 롤러 부싱.The method of claim 6,
Wherein the cover portion is composed of upper and lower covers extending respectively to upper and lower surfaces of the housing portion. 청구항 1에 있어서,
상기 롤러부 및 상기 회전지지부 중 적어도 하나는, 세라믹(ceramic) 재질로 이루어지고,
상기 하우징부 및 상기 커버부 중 적어도 하나는, 알루미늄(Aluminum) 재질로 이루어진 것을 특징으로 하는 기판지지용 롤러 부싱.The method according to claim 1,
At least one of the roller portion and the rotation support portion is made of a ceramic material,
Wherein at least one of the housing part and the cover part is made of aluminum. 청구항 1에 있어서,
상기 하우징부는, 내, 외부 표면이 애노다이징(anodizing) 처리된 것을 특징으로 하는 기판지지용 롤러 부싱.The method according to claim 1,
Wherein the housing portion has an inner and an outer surface anodized. 청구항 1에 있어서,
상기 회전지지부는, 베어링 또는 세라믹 링으로 이루어진 것을 특징으로 하는 기판지지용 롤러 부싱.The method according to claim 1,
Wherein the rotation support portion is made of a bearing or a ceramic ring.
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