KR20180000050A - Aligning method of droplet apparatus - Google Patents

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Abstract

An alignment method of a droplet discharging apparatus uses a first camera for checking the alignment state of an inkjet head while being arranged on a maintenance and repair chamber and a second camera arranged on the inkjet head to check the alignment state of a substrate arranged on a printing chamber and the discharging state of droplets discharged to the substrate. A first camera mark marked on the first camera is checked to set the current alignment state related to the inkjet head. A second camera mark marked between the maintenance and repair chamber and the printing chamber is checked to set reference points related to the current alignment state. An alignment mark marked on the substrate is checked before checking the droplet discharging state. By comparing the current alignment state and the set reference point related to the inkjet head, the droplet discharging apparatus checks whether a problem in the droplet discharging state is due to a substrate alignment problem or an inkjet head alignment problem.

Description

액적 토출 장치에 대한 정렬 방법{Aligning method of droplet apparatus}Technical Field [0001] The present invention relates to an alignment method for a droplet ejection apparatus,

본 발명은 액적 토출 장치에 대한 정렬 방법에 관한 것으로써, 보다 상세하게는 유지보수 챔버 쪽에 배치되어 잉크젯 헤드의 정렬 상태를 확인할 수 있는 제1 카메라 및 잉크젯 헤드 쪽에 배치되어 프린팅 챔버에 위치하는 기판의 정렬 상태와 기판으로 토출되는 액적의 토출 상태를 확인할 수 있는 제2 카메라를 이용하는 액적 토출 장치에 대한 정렬 방법에 관한 것이다.The present invention relates to a method for aligning a liquid droplet ejecting apparatus, and more particularly, to a method for aligning a liquid droplet ejecting apparatus, including a first camera disposed on a maintenance chamber side to confirm an alignment state of the inkjet head, And an alignment method for a droplet ejection apparatus using a second camera that can confirm the alignment state and the ejection state of the droplet ejected to the substrate.

최근, 종이 등의 프린트 매체에 잉크를 사용하여 인쇄를 행할 경우, 액정 표시 장치 등으로 제조하기 위한 기판(투명 기판) 상에 배향막의 형성이나 UV 잉크를 도포할 경우, 또는 유기 EL 표시 장치 등으로 제조하기 위한 기판 상에 컬러 필터를 도포할 경우 등에 대해서는 잉크젯 헤드를 구비하는 액적 토출 장치를 사용하고 있다.In recent years, in the case of printing using a printing medium such as a paper, printing is performed by forming an alignment film on a substrate (transparent substrate) for producing a liquid crystal display or the like, applying UV ink, In the case of applying a color filter on a substrate to be manufactured, a liquid drop ejecting apparatus having an ink jet head is used.

그리고 상기 잉크젯 헤드를 사용하는 공정에서는 정확한 위치에 액적이 토출되어야만 원하는 패턴 등을 형성할 수 있다. 이에, 상기 액적의 정확한 토출을 위하여 상기 잉크젯 헤드의 정렬 상태 및 기판의 정렬 상태를 확인한 이후에 상기 액적을 토출하고, 그리고 상기 액적의 토출 도중에도 상기 액적의 토출 상태를 확인하고 있다. 여기서, 상기 잉크젯 헤드의 정렬 상태는 유지보수 챔버 쪽에 배치되는 제1 카메라를 사용하여 확인하고, 상기 기판의 정렬 상태와 액적의 토출 상태는 프린팅 챔버의 겐트리에 위치하는 제2 카메라를 사용하여 확인한다.In the process using the inkjet head, a desired pattern or the like can be formed only when a droplet is ejected at an accurate position. In order to accurately discharge the droplet, the droplet is ejected after confirming the alignment state of the inkjet head and the alignment state of the substrate, and the ejection state of the droplet is also checked during ejection of the droplet. Here, the alignment state of the inkjet head is confirmed by using a first camera disposed on the maintenance chamber side, and the alignment state of the substrate and the discharge state of the droplet are confirmed using a second camera located in the gantry of the printing chamber .

그러나 상기 액적의 토출시 상기 액적이 원하는 위치가 아닌 다른 위치에 토출되거나 또는 얼룩 등과 같은 불량이 발생할 경우 상기 불량이 상기 잉크젯 헤드의 정렬 문제에 기인한 것인지 아니면 상기 기판의 정렬 문제에 기인한 것인지는 확인할 수 없는 실정이다. 즉, 종래에는 상기 잉크젯 헤드의 정렬 상태, 상기 기판의 정렬 상태 및 상기 액적이 토출 상태에 대해서는 개별적으로 불량 유무를 확인할 수 있으나 언급한 바와 같이 불량이 발생할 경우 상기 잉크젯 헤드의 정렬이 문제인지 아니면 상기 기판의 정렬이 문제인지 상대적인 불량 유무에 대해서는 확인이 거의 힘든 실정인 것이다.However, if the droplet of the liquid droplet is discharged at a position other than the desired position, or if a defect such as stain occurs, it is confirmed whether the defect is caused by the alignment problem of the inkjet head or the alignment problem of the substrate It can not be done. In other words, conventionally, whether or not the alignment state of the inkjet head, the alignment state of the substrate, and the ejection state of the droplets are individually defective can be confirmed. However, if defects occur as described above, It is hard to confirm whether the alignment of the substrate is a problem or not.

이에, 종래에는 언급한 바와 같이 불량이 발생할 경우에는 상기 잉크젯 헤드를 구비하는 액적 토출 장치 자체를 초기 세팅해야 하기 때문에 유지보수에 따른 시간이 많이 소요되는 문제점이 있다.As described above, when a defect occurs, the liquid droplet ejecting apparatus including the ink jet head itself needs to be initially set, so that it takes a long time for maintenance.

본 발명의 목적은 액적이 원하는 위치가 아닌 다른 위치에 토출되거나 또는 얼룩 등과 같은 불량이 발생할 경우 잉크젯 헤드의 정렬 문제에 기인한 것인지 아니면 기판의 정렬 문제에 기인한 것인지를 정확하게 판단할 수 있는 액적 토출 장치에 대한 정렬 방법을 제공하는데 있다.SUMMARY OF THE INVENTION It is an object of the present invention to provide a liquid droplet ejecting apparatus capable of precisely determining whether a liquid droplet is ejected at a position other than a desired position or a defect such as a stain is caused by an alignment problem of the ink- To provide an alignment method for the device.

언급한 목적을 달성하기 위한 본 발명의 일 실시예에 따른 액적 토출 장치에 대한 정렬 방법은 유지보수 챔버 쪽에 배치되어 잉크젯 헤드의 정렬 상태를 확인할 수 있는 제1 카메라; 및 상기 잉크젯 헤드 쪽에 배치되어 프린팅 챔버에 위치하는 기판의 정렬 상태와 상기 기판으로 토출되는 액적의 토출 상태를 확인할 수 있는 제2 카메라를 이용하는 액적 토출 장치에 대한 정렬 방법에 있어서, 상기 제1 카메라를 이용하여 상기 잉크젯 헤드의 정렬 상태를 확인할 때 상기 제2 카메라를 이용하여 상기 제1 카메라에 마킹된 제1 카메라 마크를 확인함으로써 상기 잉크젯 헤드에 대한 현재 정렬 상태를 설정하는 단계; 상기 제2 카메라를 이용하여 상기 유지보수 챔버와 상기 프린팅 챔버 사이에 마킹된 제2 카메라 마크를 확인함으로써 상기 현재 정렬 상태에 대한 기준점을 설정하는 단계; 상기 기판의 정렬 상태를 확인하도록 상기 제2 카메라를 이용하여 상기 기판에 마킹된 정렬 마크를 확인하는 단계; 상기 제2 카메라를 이용하여 상기 액적의 토출 상태를 확인하는 단계; 및 상기 잉크젯 헤드에 대한 상기 설정된 기준점 및 현재 정렬 상태를 비교함으로써 상기 액적의 토출 상태에 대한 문제가 상기 기판의 정렬 문제에 의한 것인지 또는 상기 잉크젯 헤드의 정렬 문제에 의한 것인지를 확인하는 단계;를 포함할 수 있다.According to an aspect of the present invention, there is provided an alignment method for a liquid drop ejection apparatus, including: a first camera disposed at a maintenance chamber side to check an alignment state of an ink jet head; And a second camera disposed on the side of the ink jet head and capable of checking an alignment state of a substrate positioned in a printing chamber and a discharge state of a droplet discharged to the substrate, the method comprising: Setting a current alignment state of the inkjet head by checking a first camera mark marked on the first camera using the second camera when the alignment state of the inkjet head is checked; Setting a reference point for the current alignment state by checking a second camera mark marked between the maintenance chamber and the printing chamber using the second camera; Identifying an alignment mark marked on the substrate using the second camera to identify alignment of the substrate; Confirming an ejection state of the liquid droplet using the second camera; And comparing the set reference point and the current alignment state for the inkjet head to determine whether the problem with the ejection state of the droplet is due to the alignment problem of the substrate or the alignment problem of the inkjet head can do.

언급한 본 발명의 일 실시예에 따른 액적 토출 장치에 대한 정렬 방법에서, 상기 제1 카메라는 하방에서 상방으로 상기 잉크젯 헤드의 저면을 바라볼 수 있도록 배치될 수 있고, 상기 제2 카메라는 상방에서 하방으로 상기 제1 카메라 마크를 바라볼 수 있도록 배치될 수 있다.In the alignment method for a droplet ejection apparatus according to an embodiment of the present invention, the first camera may be disposed so as to face the bottom surface of the inkjet head from below to the upper side, So that the first camera mark can be viewed downward.

언급한 본 발명의 일 실시예에 따른 액적 토출 장치에 대한 정렬 방법에서, 상기 기판의 정렬이 문제일 경우에는 상기 기판을 다시 정렬하는 단계; 및 상기 잉크젯 헤드의 정렬이 문제일 경우에는 상기 잉크젯 헤드를 다시 정렬하는 단계를 더 포함할 수 있다.In the alignment method for a droplet ejection apparatus according to an embodiment of the present invention, if alignment of the substrate is a problem, re-aligning the substrate is performed. And rearranging the inkjet head if alignment of the inkjet head is a problem.

본 발명의 액적 토출 장치에 대한 정렬 방법에 따르면 잉크젯 헤드에 대한 설정된 기준점 및 현재 정렬 상태를 비교함으로써 액적의 토출 상태에 대한 문제가 발생할 경우 기판의 정렬 문제에 의한 것인지 또는 잉크젯 헤드의 정렬 문제에 의한 것인지를 용이하게 확인할 수 있다. 그리고 기판의 정렬이 문제일 경우에는 기판의 정렬을 보정하고, 잉크젯 헤드의 정렬이 문제일 경우에는 잉크젯 헤드의 정렬을 보정함으로서 언급한 불량을 해결할 수 있다.According to the alignment method for the droplet ejection apparatus of the present invention, when a problem with the droplet ejection state occurs by comparing the set reference point with the current alignment state for the inkjet head, It is possible to easily confirm whether or not. In the case where the alignment of the substrate is a problem, the alignment of the substrate is corrected, and when the alignment of the inkjet head is a problem, the deficiencies mentioned can be solved by correcting the alignment of the inkjet head.

따라서 본 발명은 언급한 바와 같이 불량이 발생할 경우에는 기판의 정렬 또는 잉크젯 헤드의 정렬에 대한 보정을 수행함에 의해 불량을 처리할 수 있기 때문에 유지보수에 따른 시간의 단축을 기대할 수 있다.Therefore, in the present invention, defects can be handled by performing alignment of the substrate or alignment of the ink-jet head when defects are generated, thereby shortening the time required for maintenance.

도 1은 본 발명의 정렬 방법을 구현할 수 있는 액적 토출 장치를 나타내는 개략적인 도면이다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 액적 토출 장치에 대한 정렬 방법을 설명하기 위한 공정도이다.1 is a schematic view showing a droplet ejection apparatus capable of implementing the alignment method of the present invention.
FIG. 2 is a process diagram for explaining an alignment method for a droplet ejection apparatus according to an embodiment of the present invention.

본 발명은 다양한 변경을 가할 수 있고 여러 가지 형태를 가질 수 있는 바, 실시예를 본문에 상세하게 설명하고자 한다. 그러나 이는 본 발명을 특정한 개시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변경, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다. 각 도면을 설명하면서 유사한 참조 부호를 유사한 구성 요소에 대해 사용하였다. 제1, 제2 등의 용어는 다양한 구성 요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 상기 구성 요소들은 상기 용어들에 의해 한정되어서는 안 된다. 상기 용어들은 하나의 구성 요소를 다른 구성 요소로부터 구별하는 목적으로만 사용된다. 본 출원에서 사용한 용어는 단지 특정한 실시예를 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 발명을 한정하려는 의도가 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 본 출원에서, "포함하다" 또는 "이루어진다" 등의 용어는 명세서 상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성 요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성 요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야한다.While the present invention has been described in connection with certain exemplary embodiments, it is obvious to those skilled in the art that various changes and modifications may be made therein without departing from the spirit and scope of the invention. It is to be understood, however, that the invention is not intended to be limited to the particular forms disclosed, but on the contrary, is intended to cover all modifications, equivalents, and alternatives falling within the spirit and scope of the invention. Like reference numerals are used for like elements in describing each drawing. The terms first, second, etc. may be used to describe various components, but the components should not be limited by the terms. The terms are used only for the purpose of distinguishing one component from another. The terminology used in this application is used only to describe a specific embodiment and is not intended to limit the invention. The singular expressions include plural expressions unless the context clearly dictates otherwise. In the present application, the term "comprises" or "comprising ", etc. is intended to specify that there is a stated feature, figure, step, operation, component, But do not preclude the presence or addition of one or more other features, integers, steps, operations, components, parts, or combinations thereof.

다르게 정의되지 않는 한, 기술적이거나 과학적인 용어를 포함해서 여기서 사용되는 모든 용어들은 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 일반적으로 이해되는 것과 동일한 의미를 가지고 있다. 일반적으로 사용되는 사전에 정의되어 있는 것과 같은 용어들은 관련 기술의 문맥 상 가지는 의미와 일치하는 의미를 가지는 것으로 해석되어야 하며, 본 출원에서 명백하게 정의하지 않는 한, 이상적이거나 과도하게 형식적인 의미로 해석되지 않는다.Unless defined otherwise, all terms used herein, including technical or scientific terms, have the same meaning as commonly understood by one of ordinary skill in the art to which this invention belongs. Terms such as those defined in commonly used dictionaries are to be interpreted as having a meaning consistent with the contextual meaning of the related art and are to be interpreted as either ideal or overly formal in the sense of the present application Do not.

도 1은 본 발명의 정렬 방법을 구현할 수 있는 액적 토출 장치를 나타내는 개략적인 도면이다.1 is a schematic view showing a droplet ejection apparatus capable of implementing the alignment method of the present invention.

도 1을 참조하면, 본 발명의 정렬 방법을 달성하기 위한 액적 토출 장치(100)는 액정 표시 장치 등으로 제조하기 위한 기판 상에 배향막의 형성이나 UV 잉크를 도포하거나, 또는 유기 EL 표시 장치 등으로 제조하기 위한 기판 상에 컬러 필터를 도포하는데 사용할 수 있다.Referring to FIG. 1, the droplet ejection apparatus 100 for achieving the alignment method of the present invention is a droplet ejection apparatus 100 for forming an alignment film, UV ink, or an organic EL display device on a substrate for manufacturing a liquid crystal display Can be used to apply a color filter on a substrate for fabrication.

그리고 본 발명의 액적 토출 장치(100)는 언급한 바와 같이 잉크젯 헤드(15)를 포함할 수 있다. 상기 잉크젯 헤드(15)의 저면에는 기판(29) 상으로 액적을 토출할 수 있는 복수개의 노즐들이 구비될 수 있다. 상기 잉크젯 헤드(15)에는 128개 또는 256개의 노즐이 구비될 수 있다. 상기 노즐은 일정 간격으로 일렬로 배치될 수 있고, pl(picoliter) 단위의 양으로 액적을 토출할 수 있도록 구비될 수 있다. 상기 잉크젯 헤드(15)에서의 상기 노즐에는 상기 노즐에 대응하는 수만큼의 압전 소자가 구비될 수 있고, 이에 상기 압전 소자의 동작에 의해 상기 노즐을 통하여 상기 기판(29) 상으로 액적을 토출시킬 수 있다. 즉, 상기 노즐이 128개 구비될 경우에는 상기 압전 소자 또한 128개가 구비되고, 상기 노즐이 256개 구비될 경우에는 상기 압전 소자 또한 256개가 구비되는 것이다. 그리고 상기 노즐로부터 토출되는 액적량은 압전 소자들에 인가되는 전압의 제어에 의해 각기 독립적으로 조절될 수 있다.And the droplet ejection apparatus 100 of the present invention may include the inkjet head 15 as mentioned above. A plurality of nozzles capable of ejecting droplets onto the substrate 29 may be provided on the bottom surface of the ink jet head 15. [ The ink jet head 15 may have 128 or 256 nozzles. The nozzles may be arranged in a line at regular intervals, and may be provided to discharge liquid droplets in an amount of pl (picoliter). The number of piezoelectric elements corresponding to the number of nozzles may be provided in the nozzle of the ink jet head 15 so that droplets are ejected onto the substrate 29 through the nozzles by the operation of the piezoelectric elements . That is, when 128 nozzles are provided, 128 piezoelectric elements are provided, and when 256 nozzles are provided, 256 piezoelectric elements are also provided. The droplet amount discharged from the nozzle can be independently controlled by controlling the voltage applied to the piezoelectric elements.

본 발명의 정렬 방법에서 상기 잉크젯 헤드(15)에 대한 정렬은 상기 잉크젯 헤드(15)의 저면에 구비되는 복수개의 노즐에 대한 정렬과 동일한 것으로 이해할 수 있다.In the alignment method of the present invention, alignment with respect to the ink jet head 15 may be understood to be the same as alignment with respect to a plurality of nozzles provided on the bottom surface of the ink jet head 15.

그리고 상기 잉크젯 헤드(15)는 상기 잉크젯 헤드(15)가 이동되는 경로를 제공하는 갠트리(17)에 배치되도록 구비될 수 있다. 이에, 상기 갠트리(17)에 배치되는 상기 잉크젯 헤드(15)를 사용하여 아래에 위치하는 상기 기판(29)을 향하여 액적을 토출할 수 있는 것이다.The inkjet head 15 may be disposed in a gantry 17 that provides a path through which the inkjet head 15 is moved. Accordingly, droplets can be discharged toward the substrate 29 located below using the ink jet head 15 disposed in the gantry 17.

본 발명의 정렬 방법을 달성하기 위한 액적 토출 장치(100)는 유지보수 챔버(11) 및 프린팅 챔버(13)를 포함할 수 있다. 상기 유지보수 챔버(11)는 유지보수에 필요한 공간을 제공할 수 있고, 상기 프린팅 챔버(13)는 상기 기판(29)에 액적을 토출하는 공정이 수행되는 공간을 제공할 수 있다.The droplet ejection apparatus 100 for achieving the alignment method of the present invention may include a maintenance chamber 11 and a printing chamber 13. [ The maintenance chamber 11 may provide a space required for maintenance and the printing chamber 13 may provide a space in which the process of discharging droplets to the substrate 29 is performed.

상기 유지보수 챔버(11)에는 제1 카메라(21)가 구비될 수 있고, 상기 프린팅 챔버(13)에는 제2 카메라(19)가 구비될 수 있다. 특히, 상기 제1 카메라(21)는 상기 유지보수 챔버(11)의 바닥 쪽에 배치되도록 구비될 수 있고, 상기 제2 카메라(19)는 상기 갠트리(17)에 구비되는 상기 잉크젯 헤드(15) 쪽에 배치되도록 구비될 수 있다. 이에, 상기 제1 카메라(21)는 상기 잉크젯 헤드(15)의 저면인 복수개의 노즐을 바라볼 수 있도록 배치될 수 있고, 상기 제2 카메라(19)는 상방에서 하방으로 바라볼 수 있도록 배치될 수 있다. 즉, 상기 제2 카메라(19)는 상기 제1 카메라(21) 및 상기 기판(29)을 상방에서 하방으로 바라볼 수 있도록 배치될 수 있는 것이다.A first camera 21 may be installed in the maintenance chamber 11 and a second camera 19 may be installed in the printing chamber 13. In particular, the first camera 21 may be disposed on the bottom side of the maintenance chamber 11, and the second camera 19 may be disposed on the ink jet head 15 side of the gantry 17 As shown in FIG. The first camera 21 may be arranged to view a plurality of nozzles, which are the bottom surface of the inkjet head 15, and the second camera 19 may be arranged to be viewed from above to below . That is, the second camera 19 can be disposed so that the first camera 21 and the substrate 29 can be viewed from above.

상기 프린팅 챔버(13)에는 상기 기판(29)이 배치되어 이송이 이루어지는 스테이지(27)가 구비될 수 있는데, 상기 기판(29)은 주로 상기 스테이지(27)에 구비되는 에어 플로팅 부재에 의해 이송이 이루어질 수 있다.The printing chamber 13 may be provided with a stage 27 on which the substrate 29 is disposed and conveyed. The substrate 29 is mainly conveyed by an air floating member provided on the stage 27, Lt; / RTI >

그리고 본 발명에서의 정렬 방법을 달성하기 위한 액적 토출 장치(100)에서는 상기 제1 카메라(21)에 제1 카메라 마크(23), 상기 유지보수 챔버(11)와 상기 프린팅 챔버(13) 사이에 제2 카메라 마크(25), 및 상기 기판(29)에 정렬 마크(31)가 마킹될 수 있다. 특히, 상기 제1 카메라 마크(23)는 상기 제1 카메라(21)와 동일한 축에 위치하도록 마킹될 수 있고, 상기 제2 카메라 마크(25)는 상기 제2 카메라(19)가 이동하는 경로에 위치하도록 마킹될 수 있다.In the droplet ejection apparatus 100 for achieving the alignment method according to the present invention, a first camera mark 23 is provided to the first camera 21, a second camera mark 23 is provided between the maintenance chamber 11 and the printing chamber 13, The second camera mark 25, and the alignment mark 31 on the substrate 29 may be marked. In particular, the first camera mark 23 may be marked on the same axis as the first camera 21, and the second camera mark 25 may be marked on the same path as the first camera 21, As shown in FIG.

이하에서는 언급한 액적 토출 장치(100)에 대한 정렬 방법을 설명하기로 한다.Hereinafter, the alignment method for the droplet ejection apparatus 100 will be described.

도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 액적 토출 장치에 대한 정렬 방법을 설명하기 위한 공정도이다.FIG. 2 is a process diagram for explaining an alignment method for a droplet ejection apparatus according to an embodiment of the present invention.

도 2를 참조하면, 기판에 액적을 토출하기 이전에 잉크젯 헤드의 정렬 상태를 확인한다. 즉, 잉크젯 헤드의 저면에 구비되는 복수개의 노즐에 대한 정렬 상태를 확인하는 것이다. 상기 잉크젯 헤드의 정렬 상태는 아래쪽에서 상기 잉크젯 헤드를 바라볼 수 있어야 하기 때문에 상기 제1 카메라를 이용한다. 이에, 상기 잉크젯 헤드는 유지보수 챔버 쪽에 위치하고, 상기 유지보수 챔버 쪽에 구비되는 제1 카메라를 이용하여 상기 잉크젯 헤드의 정렬 상태를 확인하는 것이다.Referring to FIG. 2, the alignment state of the inkjet head is confirmed before ejecting droplets onto the substrate. That is, the alignment state of the plurality of nozzles provided on the bottom surface of the inkjet head is checked. The alignment state of the inkjet head uses the first camera because the inkjet head must be able to view the inkjet head from below. The ink jet head is located on the maintenance chamber side and uses the first camera provided on the maintenance chamber side to check the alignment state of the ink jet head.

그리고 상기 제1 카메라를 이용하여 상기 잉크젯 헤드의 정렬 상태를 확인할 때 상기 제2 카메라를 이용하여 상기 제1 카메라에 마킹된 제1 카메라 마크를 확인한다. 이와 같이, 상기 제2 카메라를 이용하여 상기 제1 카메라 마크를 확인함으로써 상기 잉크젯 헤드에 대한 현재 정렬 상태를 설정할 수 있다.(S11 단계) 즉, 상기 제1 카메라 마크를 확인함으로써 상기 잉크젯 헤드의 정렬 상태를 확인할 때 상기 잉크젯 헤드를 바라보는 상기 제1 카메라의 상대적 위치를 설정할 수 있는 것이다. When the alignment state of the inkjet head is checked using the first camera, the first camera mark marked on the first camera is confirmed using the second camera. In this manner, the current alignment state of the inkjet head can be set by checking the first camera mark using the second camera. (Step S11) In other words, by confirming the first camera mark, The relative position of the first camera facing the inkjet head can be set when the state is checked.

본 발명에서는 상기 제2 카메라를 이용하여 상기 제1 카메라에 마킹된 제1 카메라 마크를 확인함으로써 상기 잉크젯 헤드에 대한 현재 정렬 상태를 설정할 수 있는 것으로써, 언급한 바와 같이 상기 잉크젯 헤드를 바라보고 있는 상기 제1 카메라의 상대적 위치를 설정할 수 있는 것이다. 즉, 본 발명에서는 상기 잉크젯 헤드에 대한 현재 정렬 상태의 설정을 통하여 상기 제1 카메라에 대한 위치를 확인하는 것이다.In the present invention, the current alignment state of the inkjet head can be set by checking the first camera mark marked on the first camera using the second camera. As described above, The relative position of the first camera can be set. That is, in the present invention, the position of the first camera is confirmed through the setting of the current alignment state of the inkjet head.

상기 잉크젯 헤드에 대한 현재 정렬 상태를 설정한 후, 상기 잉크젯 헤드는 기판을 향하여 이동한다. 이때, 상기 잉크젯 헤드는 상기 유지보수 챔버와 상기 프린팅 챔버 사이에 마킹된 제2 카메라 마크를 확인할 수 있다. 즉, 상기 제2 카메라를 이용하여 상기 제2 카메라 마크를 확인하는 것이다. 이와 같이, 상기 제2 카메라를 이용하여 상기 제2 카메라 마크를 확인함으로써 상기 제1 카메라 마크를 확인함으로써 설정된 상기 잉크젯 헤드의 현재 정렬 상태에 대한 기준점을 설정할 수 있다.(S13 단계)After setting the current alignment state for the inkjet head, the inkjet head moves toward the substrate. At this time, the ink jet head can confirm the second camera mark marked between the maintenance chamber and the printing chamber. That is, the second camera mark is confirmed using the second camera. In this manner, the reference point for the current alignment state of the inkjet head set by checking the first camera mark can be set by checking the second camera mark using the second camera (step S13)

본 발명에서는 상기 제2 카메라 마크를 확인함에 의해 상기 잉크젯 헤드의 현재 정렬 상태의 상대적 위치에 대한 기준점을 설정하는 것으로써, 상기 제1 카메라 마크를 확인하여 상기 잉크젯 헤드의 현재 정렬 상태에 대한 상대적 위치를 설정할 수 있고 ,상기 제2 카메라 마크를 확인하여 사기 잉크젯 헤드의 현재 정렬 상태에 대한 기준점을 설정할 수 있는 것이다. 즉, 본 발명에서는 상기 제2 카메라 마크의 확인을 통하여 상기 제2 카메라에 대한 위치를 확인하는 것이다.In the present invention, by setting the reference point for the relative position of the current alignment state of the inkjet head by checking the second camera mark, it is possible to check the first camera mark and determine the relative position of the current alignment state of the inkjet head And the reference point for the current alignment state of the scribing inkjet head can be set by confirming the second camera mark. That is, the present invention confirms the position of the second camera through the confirmation of the second camera mark.

이와 같이, 본 발명에서는 상기 제1 카메라가 어떤 위치에서 상기 잉크젯 헤드의 현재 정렬 상태를 확인하는 가를 파악하여 그 상대적 위치를 설정하고, 상기 제2 카메라가 어떤 위치에서 기판의 정렬 상태를 확인하는 가를 파악할 수 있도록 그 상대적 위치를 설정하는 것이다. As described above, according to the present invention, the first camera recognizes the current position of the inkjet head at a certain position, sets its relative position, and determines how the second camera confirms the alignment of the substrate And set its relative position so that it can be grasped.

이어서, 상기 잉크젯 헤드는 기판 상으로 이동하여 상기 제2 카메라를 이용하여 상기 기판에 마킹된 정렬 마크를 확인함으로써 상기 기판의 정렬 상태를 확인한다.(S15 단계) 즉, 상기 기판이 올바른 위치에 배치되어 있는 가를 확인하는 것이다.Then, the inkjet head moves on the substrate and confirms the alignment state of the substrate by checking an alignment mark marked on the substrate using the second camera (step S15). That is, the substrate is placed in the correct position To be sure.

그리고 상기 잉크젯 헤드를 이용하여 상기 기판의 원하는 위치에 액적을 토출하는 공정을 수행한다. 이때, 상기 제2 카메라를 이용하여 토출이 이루어지는 상기 액적의 토출 상태를 확인한다.(S17 단계)And discharging the droplet to a desired position of the substrate using the inkjet head. At this time, the ejection state of the liquid droplet ejected using the second camera is checked (step S17)

상기 액적의 토출시 상기 액적의 원하는 위치에 토출되지 않거나 얼룩 등과 같은 불량이 발생할 수 있다.It may not be discharged at a desired position of the liquid droplet so as to cause defects such as stains or the like.

이와 같이, 상기 액적이 원하는 위치에 토출되지 않거나 얼룩 등과 같은 불량이 발생할 경우 본 발명에서는 상기 잉크젯 헤드에 대한 상기 설정된 기준점 및 현재 정렬 상태를 비교하고, 아울러 상기 기판의 현재 정렬 상태가 올바른 가를 비교한다.(S19 단계) 즉, 상기 잉크젯 헤드의 정렬 상태가 틀어져 있는가 아니면 상기 기판의 정렬 상태가 틀어져 있는 가를 상기 설정된 기준점 및 현재 정렬 상태를 비교하고, 그리고 기판의 정렬 상태를 비교하는 것이다.When the droplet is not discharged to a desired position or a defect such as a stain occurs, the present invention compares the set reference point and the current alignment state of the ink jet head and compares the current alignment state of the substrate with the current alignment state of the substrate (Step S19). That is, whether the alignment state of the inkjet head is distorted or whether the substrate is misaligned is compared with the set reference point and the current alignment state, and the alignment state of the substrate is compared.

본 발명에서는 상기 비교를 통하여 상기 불량이 상기 기판의 정렬 문제에 의한 것인지 또는 상기 잉크젯 헤드의 정렬 문제에 의한 것인지를 확인할 수 있다. 이는, 상기 제1 카메라 마크, 상기 제2 카메라 마크 및 상기 정렬 마크 각각에 대한 확인을 통하여 상대적 위치를 확인할 수 있기 때문이다.In the present invention, it is possible to confirm whether the defect is due to the alignment problem of the substrate or the alignment problem of the inkjet head through the comparison. This is because it is possible to confirm the relative position through confirmation of each of the first camera mark, the second camera mark and the alignment mark.

그리고 상기 기판의 정렬이 문제일 경우에는 상기 기판을 다시 정렬(S21 단계)하고, 상기 잉크젯 헤드의 정렬이 문제일 경우에는 상기 잉크젯 헤드를 다시 정렬(S23 단계)함으로써, 상기 불량에 대한 유지보수를 수행할 수 있다. 즉, 본 발명에서는 상기 불량이 발생할 경우 액적 토출 장치 자체의 가동을 중단시켜 유지보수를 수행하는 것이 아니라 상기 잉크젯 헤드와 상기 기판 사이에서의 상대적 위치를 서로 파악하여 상기 기판 정렬을 보정하거나 또는 상기 잉크젯 헤드 정렬을 보정하는 간단한 유지보수를 수행하는 것이다.If alignment of the substrate is a problem, the substrate is re-aligned (step S21). If the alignment of the ink-jet head is a problem, the ink-jet head is re-aligned (step S23) Can be performed. That is, in the present invention, rather than performing maintenance by stopping the operation of the droplet ejection apparatus itself when the defects occur, it is possible to correct the substrate alignment by grasping the relative positions between the inkjet head and the substrate, To perform simple maintenance to correct head alignment.

본 발명의 액적 토출 장치에 대한 정렬 방법에서는 불량이 발생할 경우에는 기판의 정렬 또는 잉크젯 헤드의 정렬에 대한 보정을 간단하게 수행함에도 불구하고 불량을 처리할 수 있기 때문에 유지보수에 따른 시간의 단축을 기대할 수 있고, 그 결과 액적 토출 장치를 이용하는 공정 생산성을 향상시킬 수 있을 것이다.In the alignment method for the droplet ejection apparatus according to the present invention, it is possible to process defects even though the alignment of the substrate or the alignment of the inkjet head is easily performed in the case of defects, so that the time required for maintenance can be shortened As a result, the process productivity using the droplet ejection apparatus can be improved.

상기에서는 본 발명의 바람직한 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야의 숙련된 당업자는 하기의 특허 청구 범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.It will be apparent to those skilled in the art that various modifications and variations can be made in the present invention without departing from the spirit or scope of the present invention as defined by the following claims. It can be understood that it is possible.

11 : 유지보수 챔버 13 : 프린팅 챔버
15 : 잉크젯 헤드 17 : 갠트리
19, 21 : 카메라 23 : 제1 카메라 마크
25 : 제2 카메라 마크 27 : 스테이지
29 : 기판 31 : 정렬 마크
100 : 액적 토출 장치11: maintenance chamber 13: printing chamber
15: inkjet head 17: gantry
19, 21: camera 23: first camera mark
25: second camera mark 27: stage
29: substrate 31: alignment mark
100: Droplet ejecting device

Claims (3)

유지보수 챔버 쪽에 배치되어 잉크젯 헤드의 정렬 상태를 확인할 수 있는 제1 카메라; 및 상기 잉크젯 헤드 쪽에 배치되어 프린팅 챔버에 위치하는 기판의 정렬 상태와 상기 기판으로 토출되는 액적의 토출 상태를 확인할 수 있는 제2 카메라를 이용하는 액적 토출 장치에 대한 정렬 방법에 있어서,
상기 제1 카메라를 이용하여 상기 잉크젯 헤드의 정렬 상태를 확인할 때 상기 제2 카메라를 이용하여 상기 제1 카메라에 마킹된 제1 카메라 마크를 확인함으로써 상기 잉크젯 헤드에 대한 현재 정렬 상태를 설정하는 단계;
상기 제2 카메라를 이용하여 상기 유지보수 챔버와 상기 프린팅 챔버 사이에 마킹된 제2 카메라 마크를 확인함으로써 상기 현재 정렬 상태에 대한 기준점을 설정하는 단계;
상기 기판의 정렬 상태를 확인하도록 상기 제2 카메라를 이용하여 상기 기판에 마킹된 정렬 마크를 확인하는 단계;
상기 제2 카메라를 이용하여 상기 액적의 토출 상태를 확인하는 단계; 및
상기 잉크젯 헤드에 대한 상기 설정된 기준점 및 현재 정렬 상태를 비교함으로써 상기 액적의 토출 상태에 대한 문제가 상기 기판의 정렬 문제에 의한 것인지 또는 상기 잉크젯 헤드의 정렬 문제에 의한 것인지를 확인하는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 액적 토출 장치에 대한 정렬 방법.A first camera disposed on the maintenance chamber side to check an alignment state of the inkjet head; And a second camera disposed on the side of the ink jet head and capable of checking an alignment state of a substrate positioned in a printing chamber and a discharge state of a droplet discharged to the substrate,
Setting a current alignment state for the inkjet head by checking a first camera mark marked on the first camera using the second camera when checking the alignment state of the inkjet head using the first camera;
Setting a reference point for the current alignment state by checking a second camera mark marked between the maintenance chamber and the printing chamber using the second camera;
Identifying an alignment mark marked on the substrate using the second camera to identify alignment of the substrate;
Confirming an ejection state of the liquid droplet using the second camera; And
Comparing the set reference point and the current alignment state for the inkjet head to determine whether the problem with the ejection state of the liquid droplet is due to the alignment problem of the substrate or the alignment problem of the inkjet head Wherein the liquid droplet discharging device is a liquid droplet discharging device. 제1 항에 있어서, 상기 제1 카메라는 하방에서 상방으로 상기 잉크젯 헤드의 저면을 바라볼 수 있도록 배치되고, 상기 제2 카메라는 상방에서 하방으로 상기 제1 카메라 마크를 바라볼 수 있도록 배치되는 것을 특징으로 하는 액적 토출 장치에 대한 정렬 방법.2. The inkjet head according to claim 1, wherein the first camera is disposed so as to face the bottom of the inkjet head from below, and the second camera is disposed to face the first camera mark from above to below Wherein the liquid droplet ejection device is a liquid droplet ejecting device. 제1 항에 있어서,
상기 기판의 정렬이 문제일 경우에는 상기 기판을 다시 정렬하는 단계; 및 상기 잉크젯 헤드의 정렬이 문제일 경우에는 상기 잉크젯 헤드를 다시 정렬하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 액적 토출 장치에 대한 토출 방법.The method according to claim 1,
Aligning the substrate if alignment of the substrate is a problem; And re-aligning the ink jet head when alignment of the ink jet head is a problem.
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