KR20170138617A - 온도측정 웨이퍼 센서의 신뢰성 검사장치 - Google Patents

온도측정 웨이퍼 센서의 신뢰성 검사장치 Download PDF

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Abstract

본 발명에 따른 온도측정 웨이퍼 센서 신뢰성 검사장치(100)는, 항온액(140)이 채워지는 외통 배스(110); 항온액(140)에 의해 중탕 방식으로 가열되도록 외통배스(110) 내에 설치되며 저면 상에 온도측정 웨이퍼 센서(1)가 탑재되는 내통 배스(120); 항온액(140)을 가열하도록 설치되는 항온액 가열수단(160); 항온액(140)을 교반하도록 설치되는 교반기(170); 온도측정 웨이퍼 센서(1)의 온도를 측정하도록 설치되는 웨이퍼 온도측정수단(190); 및 온도측정 웨이퍼 센서(1)의 각 부분별 온도차를 측정하도록 설치되는 검수부(101); 를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 한다. 본 발명에 의하면, 중탕 항온액을 통하여 온도측정 웨이퍼 센서(1)를 균일하게 가열한 상태에서 온도측정 웨이퍼 센서(1)의 각 부분별 온도가 측정되므로 온도측정 웨이퍼 센서 자체의 이상 유무를 검사할 수 있다.

Description

온도측정 웨이퍼 센서의 신뢰성 검사장치{Checking apparatus for reliability of temperature measuring wafer sensor}
본 발명은 온도측정 웨이퍼 센서의 신뢰성을 검사하기 위한 장치에 관한 것이다.
반도체 제조공정에서 웨이퍼는 서셉터 상에 올려 놓인 상태에서 서셉터로부터 열을 전달받아 가열된다. 이 때 서셉터에서 웨이퍼로 열이 전도되는 과정에서 열 손실이 발생되므로 서셉터와 웨이퍼 사이에 온도 차이가 나게 된다. 예컨대, 서셉터의 온도를 1000℃로 세팅하더라도 웨이퍼의 실제 온도는 이 보다 못할 수 있다는 것이다. 따라서 웨이퍼의 실제 온도를 정확히 파악할 필요가 있다.
뿐만 아니라 웨이퍼 내에서의 온도 균일성이 떨어지면 부분별로 공정조건이 달라지는 결과가 되어 공정 신뢰도 및 생산 수율이 떨어지게 된다. 따라서 웨이퍼의 전면적에 대한 온도 균일성을 파악하는 것도 매우 중요하다.
이러한 일환으로 실제 웨이퍼와 동일한 형태를 하는 온도측정 웨이퍼 센서가 제안되었다. 대한민국 공개특허 제2000-33717호(2000.06.15.공개)에 개시된 '온도센서용 웨이퍼'나 대한민국 등록특허 제387449호(2003.06.18.공고)에 개시된 '온도분포 계측용 웨이퍼 센서' 등이 바로 그 것이다.
그런데 온도측정 웨이퍼 센서에서 온도가 불균일한 것으로 측정되는 경우에 이것이 (1) 애초부터 온도측정 웨이퍼 센서가 불균일하게 가열되어서 나타나는 것인지, 아니면 (2) 서셉터를 통해서는 온도측정 웨이퍼 센서가 균일하게 가열되고 있지만 온도측정 웨이퍼 센서 자체의 불량에 의해 불균일하게 가열되는 것으로 나타는 것인지 알 길이 없다.
전자의 경우에는 온도측정 웨이퍼 센서가 제대로 동작하는 것이기에 문제가 없지만 후자의 경우에는 온도측정 웨이퍼 센서에 하자가 있는 것이기에 문제가 된다.
대한민국 공개특허 제2000-33717호(2000.06.15.공개) 대한민국 등록특허 제387449호(2003.06.18.공고)
따라서 본 발명이 해결하고자 하는 과제는, 온도측정 웨이퍼 센서 자체의 신뢰성을 검사하기 위한 검사장치를 제공하는 데 있다.
상기 과제를 달성하기 위한 본 발명에 따른 온도측정 웨이퍼 센서 신뢰성 검사장치는,
항온액이 채워지는 외통 배스(outer bath);
상기 항온액에 의해 중탕 방식으로 가열되도록 상기 외통배스 내에 설치되며 저면 상에 온도측정 웨이퍼 센서가 탑재되는 내통 배스(inner bath);
상기 항온액을 가열하도록 설치되는 항온액 가열수단;
상기 온도측정 웨이퍼 센서의 온도를 측정하도록 설치되는 웨이퍼 온도측정수단; 및
상기 온도측정 웨이퍼 센서의 각 부분별 온도차를 측정하도록 설치되는 검수부; 를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 한다.
상기 내통 배스의 저면은 그래파이트(graphite)로 코팅되는 것이 바람직하다.
상기 항온액을 교반하도록 교반기가 설치되는 것이 바람직하다.
상기 외통 배스와 내통 배스 사이의 틈이 가려지도록 상기 외통 배스와 내통 배스 사이에 덮개부가 설치되는 것이 바람직하다.
상기 웨이퍼 온도측정수단으로부터 얻어지는 온도를 피드백 받아 상기 항온액 가열수단을 가동시킴으로써 상기 온도측정 웨이퍼 센서의 온도를 제어하도록 컨트롤부가 설치되는 것이 바람직하다.
상기 웨이퍼 온도측정수단은 상기 내통 배스의 저면에 용접 설치되는 고정 안내관에 삽입 설치될 수 있다.
상기 온도측정 웨이퍼 센서는,
복수개의 단위저항이 연결배선에 의해 직렬연결되어 이루어지는 저항부;
복수개의 전극배선으로 이루어지되 각 전극배선의 일단이 상기 단위저항의 양단에 전기적으로 연결되는 전극부; 및
상기 전극배선들의 타단이 취합되는 온도측정 단자부; 를 포함하여 이루어질 수 있는데,
이 때, 상기 검수부는 상기 온도측정 단자부에 전기적으로 연결되도록 설치되는 것이 바람직하다.
본 발명에 의하면, 중탕 항온액을 통하여 온도측정 웨이퍼 센서를 균일하게 가열한 상태에서 온도측정 웨이퍼 센서의 각 부분별 온도가 측정되므로 온도측정 웨이퍼 센서 자체의 이상 유무를 검사할 수 있다.
도 1은 본 발명에 따른 검사장치(100)에 사용될 수 있는 온도측정 웨이퍼 센서(1)의 일예를 설명하기 위한 도면;
도 2는 본 발명에 따른 온도측정 웨이퍼 센서 검사장치(100)를 설명하기 위한 외관 사시도;
도 3은 도 2의 평면도;
도 4는 도 3의 A-A'선에 따른 단면도;
도 5는 도 3의 B-B'선에 따른 단면도;
도 6은 도 3의 C-C'선에 따른 단면도이다.
이하에서, 본 발명의 바람직한 실시예를 첨부한 도면들을 참조하여 상세히 설명한다. 아래의 실시예는 본 발명의 내용을 이해하기 위해 제시된 것일 뿐이며 당 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 본 발명의 기술적 사상 내에서 많은 변형이 가능할 것이다. 따라서 본 발명의 권리범위가 이러한 실시예에 한정되는 것으로 해석돼서는 안 된다.
도 1은 본 발명에 따른 검사장치(100)에 사용될 수 있는 온도측정 웨이퍼 센서(1)의 일예를 설명하기 위한 도면이다.
도 1을 참조하면, 온도측정 웨이퍼 센서(1)는 웨이퍼(10) 상에 전극부(20)와 저항부(30)가 설치되어 이루어진다. 전극부(20)는 복수개의 전극배선(21)을 포함하여 이루어지고 저항부(30)는 복수개의 단위저항(31)이 연결배선(32)에 의해 직렬 연결되어 이루어진다. 각 전극배선(21)의 일단은 단위저항(31)의 양단에 전기적으로 연결되며 타단은 웨이퍼(10)에 설치되는 온도측정 단자부(40)에 취합된다.
웨이퍼(10)에 온도 불균일이 발생하면 온도에 따라 전기저항이 변화하는 물리적 특성으로 인해 저항부(30)의 불균일이 발생하고, 따라서 온도측정 단자부(40)를 통하여 각 포인트(P1, P2, Pn)에서의 온도차를 간파함으로써 어느 부분에서 온도 불균일이 발생하였는지 파악할 수 있게 된다.
도 2는 본 발명에 따른 온도측정 웨이퍼 센서 검사장치(100)를 설명하기 위한 외관 사시도이고, 도 3은 도 2의 평면도이다. 그리고 도 4는 도 3의 A-A'선에 따른 단면도, 도 5는 B-B'선에 따른 단면도, 도 6은 C-C'선에 따른 단면도이다.
도 2 내지 도 6을 참조하면, 본 발명에 따른 온도측정 웨이퍼 센서 검사장치(100)는 외통 배스(outer bath, 110)와 내통 배스(inner bath, 120)의 이중구조로 이루어지며, 외통 배스(110)와 내통 배스(120) 사이의 틈이 가려지도록 외통배스(110)와 내통배스(120) 사이에 덮개부(130)가 설치된다. 덮개부(130)는 내통 배스(120)에 플랜지 형태로 설치될 수 있다. 외통 배스(110)의 옆에는 컨트롤부(150)가 설치된다.
외통 배스(110) 내에는 항온액(140)이 채워지고, 외통 배스(110)의 벽은 단열 처리된다. 내통 배스(120)의 저면 상에는 온도측정 웨이퍼 센서(1)가 올려 놓여진다. 열전도 효율을 높이기 위하여 내통 배스(120)의 저면은 그래파이트(graphite)로 코팅되는 것이 바람직하다. 이해의 편의상 도 1과 도 6에서만 온도측정 웨이퍼 센서(1)를 도시하였다. 덮개부(130)가 없으면 항온액(140)의 열기가 외부로 빠져 나가 가열 효율이 떨어지므로 바람직하지 않다.
외통 배스(110)에는 항온액 가열수단(160)이 설치된다. 항온액 가열수단(160)은 외통 배스(110)의 측벽을 통하여 외부에서 내부로 삽입되도록 설치되며, 컨트롤부(150)를 통해서 전원이 제어되면서 인가된다.
항온액(140)의 대류를 돕기 위하여 외통 배스(120)에는 교반기(170)가 설치되며, 항온액(140)의 온도측정을 위해서 항온액 온도측정수단(180)이 설치된다. 교반기(170)와 항온액 온도측정수단(180)은 덮개부(130)를 통하여 삽입 설치되는 것이 바람직하며, 교반기(170)의 끝에는 구동모터(175)가 설치된다. 구동모터(175)는 컨트롤부(150)에 의해 제어되도록 설치되는 것이 바람직하다.
항온액(140)의 온도와 온도측정 웨이퍼 센서(1)의 실제 온도는 차이가 있을 수 있으므로 온도측정 웨이퍼 센서(1)의 실제 온도를 측정하기 위하여 내통 배스(120)의 저면에 웨이퍼 온도측정수단(190)이 설치된다. 웨이퍼 온도측정수단(190)은 내통 배스(120)의 저면에 용접 설치되는 고정 안내관(195)에 삽입 설치될 수 있다. 웨이퍼 온도측정수단(190)도 컨트롤부(150)에 의해 제어를 받도록 설치되는 것이 바람직하다. 웨이퍼 온도측정수단(190)은 내통 배스(120)의 상부에 설치되는 적외선 온도센서로 이루어질 수도 있다.
온도측정 웨이퍼 센서(1)의 온도측정 단자부(40)에 연결되도록 검수부(101)가 설치된다. 검수부(101)는 컨트롤부(150) 내에 설치될 수도 있다. 검수부(101)는 온도측정 단자부(40)를 통하여 얻어지는 각 포인트(P1, P2, Pn)에서의 저항변화를 간파하여 온도측정 웨이퍼 센서(1) 내에서의 온도 균일성 정도를 판단하는 기능을 한다.
본 발명에 따른 온도측정 웨이퍼 센서 검사장치(100)의 동작원리는 다음과 같다.
컨트롤부(150)를 통하여 온도측정 웨이퍼 센서(1)의 가열온도를 예컨대 300℃로 세팅하면, 컨트롤부(150)의 제어에 의하여 항온액 가열수단(160)과 구동모터(175)가 가동된다. 그러면, 항온액(140)의 온도가 상승하게 되고 이 때 대류에 의해서 온도가 균일하게 분포되므로 내통 배스(120)의 저면이 균일하게 가열된다. 이러한 가열은 웨이퍼 온도측정수단(190)을 통하여 300℃로 인식될 때까지 컨트롤부(150)가 웨이퍼 온도측정수단(190)으로부터 도달온도를 피드백 받으면서 이루어진다.
이후, 컨트롤부(150)는 웨이퍼 온도측정수단(190)이 300℃를 지속적으로 유지하도록 제어한다. 그러면 온도측정 웨이퍼 센서(1)는 전면적에 대해 300℃로 균일하게 가열된 상태로 유지된다.
이렇게 온도측정 웨이퍼 센서(1)가 균일하게 가열되는 상태에서 온도측정 단자부(40)에 연결되는 검수부(101)를 통하여 각 포인트(P1, P2, Pn)에서의 온도변화를 간파하여 온도측정 웨이퍼 센서(1) 내에서의 온도 균일성을 판단한다.
이 때, 예컨대 각 포인트(P1, P2, Pn)에서의 온도가 동일하다면 온도측정 웨이퍼 센서(1)에 이상이 없는 것이고, 어느 포인트(P1, P2, Pn) 사이에 온도차가 존재한다면 온도측정 웨이퍼 센서(1)에 이상이 있는 것이 될 것이다.
물론, 후자와 같이 포인트(P1, P2, Pn)에 온도차가 있다고 하더라도 이때의 온도 분포를 균일가열 상태의 기준으로 보정함으로써 온도측정 웨이퍼 센서(1)를 폐기처분하지 않고 센서로서 계속 활용할 수도 있다.
상술한 바와 같이 본 발명에 의하면, 중탕 항온액을 통하여 온도측정 웨이퍼 센서(1)를 균일하게 가열한 상태에서 온도측정 웨이퍼 센서(1)의 각 부분별 온도가 측정되므로 온도측정 웨이퍼 센서(1) 자체의 이상 유무를 검사할 수 있다.
1: 온도측정 웨이퍼 센서 10: 웨이퍼
20: 전극부 21: 전극배선
30: 저항부 32: 연결배선
40: 온도측정 단자부
100: 온도측정 웨이퍼 센서 신뢰성 검사장치
101: 검수부 110: 외통 배스(outer bath)
120: 내통 배스(inner bath) 130: 덮개부
140: 항온액 150: 컨트롤부
160: 항온액 가열수단 170: 교반기
175: 구동모터 180: 항온액 온도측정수단
190: 웨이퍼 온도측정수단 195: 고정 안내관

Claims (7)

  1. 항온액이 채워지는 외통 배스(outer bath);
    상기 항온액에 의해 중탕 방식으로 가열되도록 상기 외통배스 내에 설치되며 저면 상에 온도측정 웨이퍼 센서가 탑재되는 내통 배스(inner bath);
    상기 항온액을 가열하도록 설치되는 항온액 가열수단;
    상기 온도측정 웨이퍼 센서의 온도를 측정하도록 설치되는 웨이퍼 온도측정수단; 및
    상기 온도측정 웨이퍼 센서의 각 부분별 온도차를 측정하도록 설치되는 검수부; 를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 온도측정 웨이퍼 센서 신뢰성 검사장치.
  2. 제1항에 있어서, 상기 내통 배스의 저면이 그래파이트(graphite)로 코팅되는 것을 특징으로 하는 온도측정 웨이퍼 센서 신뢰성 검사장치.
  3. 제1항에 있어서, 상기 항온액을 교반하도록 교반기가 설치되는 것을 특징으로 하는 온도측정 웨이퍼 센서 신뢰성 검사장치.
  4. 제1항에 있어서, 상기 외통 배스와 내통 배스 사이의 틈이 가려지도록 상기 외통 배스와 내통 배스 사이에 덮개부가 설치되는 것을 특징으로 하는 온도측정 웨이퍼 센서 신뢰성 검사장치.
  5. 제1항에 있어서, 상기 웨이퍼 온도측정수단으로부터 얻어지는 온도를 피드백 받아 상기 항온액 가열수단을 가동시킴으로써 상기 온도측정 웨이퍼 센서의 온도를 제어하도록 컨트롤부가 설치되는 것을 특징으로 하는 온도측정 웨이퍼 센서 신뢰성 검사장치.
  6. 제1항에 있어서, 상기 웨이퍼 온도측정수단이 상기 내통 배스의 저면에 용접 설치되는 고정 안내관에 삽입 설치되는 것을 특징으로 하는 온도측정 웨이퍼 센서 신뢰성 검사장치.
  7. 제1항에 있어서, 상기 온도측정 웨이퍼 센서는,
    복수개의 단위저항이 연결배선에 의해 직렬연결되어 이루어지는 저항부;
    복수개의 전극배선으로 이루어지되 각 전극배선의 일단이 상기 단위저항의 양단에 전기적으로 연결되는 전극부; 및
    상기 전극배선들의 타단이 취합되는 온도측정 단자부; 를 포함하여 이루어지고,
    상기 검수부는 상기 온도측정 단자부에 전기적으로 연결되도록 설치되는 것을 특징으로 하는 온도측정 웨이퍼 센서 신뢰성 검사장치.
KR1020160070335A 2016-06-07 2016-06-07 온도측정 웨이퍼 센서의 신뢰성 검사장치 KR20170138617A (ko)

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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN113405683A (zh) * 2021-05-20 2021-09-17 长江存储科技有限责任公司 晶片温度测量方法

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