KR20170133799A - Apparatus for Droplet Formation - Google Patents
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- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 title 1
- 239000007788 liquid Substances 0.000 claims abstract description 19
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 13
- 238000001914 filtration Methods 0.000 claims description 4
- 238000007599 discharging Methods 0.000 claims description 3
- 238000000034 method Methods 0.000 description 4
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 3
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 3
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 3
- 230000014509 gene expression Effects 0.000 description 2
- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 description 2
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 description 1
- 230000004886 head movement Effects 0.000 description 1
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 1
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B05—SPRAYING OR ATOMISING IN GENERAL; APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
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- G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour
- G02F1/13—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
- G02F1/1303—Apparatus specially adapted to the manufacture of LCDs
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- H01L51/0005—
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- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
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- H10K71/13—Deposition of organic active material using liquid deposition, e.g. spin coating using printing techniques, e.g. ink-jet printing or screen printing
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- Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
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Abstract
Description
본 발명은 액적 토출 장치에 관한 것으로써, 보다 상세하게는 기판을 향하여 액적을 토출하는 노즐이 배치되는 하부 어셈블리 및 액적을 노즐로 공급하는 상부 어셈블리로 이루어지는 잉크젯 헤드를 구비하는 액적 토출 장치에 관한 것이다.The present invention relates to a droplet ejection apparatus, and more particularly, to a droplet ejection apparatus including an inkjet head including a lower assembly in which nozzles for ejecting droplets are arranged toward a substrate, and an upper assembly for supplying droplets to nozzles .
최근, 종이 등의 프린트 매체에 잉크를 사용하여 인쇄를 행할 경우, 액정 표시 장치 등으로 제조하기 위한 기판(투명 기판) 상에 배향막의 형성이나 UV 잉크를 도포할 경우, 또는 유기 EL 표시 장치 등으로 제조하기 위한 기판 상에 컬러 필터를 도포할 경우 등에 대해서는 잉크젯 헤드를 구비하는 인쇄 장치, 즉 액적 토출 장치를 사용하고 있다.In recent years, in the case of printing using a printing medium such as a paper, printing is performed by forming an alignment film on a substrate (transparent substrate) for producing a liquid crystal display or the like, applying UV ink, A printing apparatus including an ink jet head, that is, a liquid droplet ejecting apparatus is used when a color filter is applied on a substrate to be manufactured.
도 1은 종래의 액적 토출 장치에 구비되는 잉크젯 헤드를 나타내는 도면이고, 도 2는 도 1의 잉크젯 헤드의 저면을 나타내는 도면이다.Fig. 1 is a view showing an ink jet head provided in a conventional droplet ejection apparatus, and Fig. 2 is a view showing a bottom surface of the ink jet head in Fig.
도 1 및 도 2를 참조하면, 액적 토출 장치의 잉크젯 헤드(100)는 기판을 향하여 액적을 토출하는 노즐(23)이 배치되는 하부 어셈블리(13) 및 상기 액적을 저장하는 레저버(도시되지 않음)와 연결되어 상기 액적을 상기 노즐(23)로 공급하는 상부 어셈블리(11)로 이루어질 수 있다. 그리고 상기 하부 어셈블리(13) 및 상부 어셈블리(11)가 연결됨에 의해 상기 레저버에 저장된 상기 액적을 상기 노즐(23)로 플로우시키는 유로(21)가 형성될 수 있다. 아울러 상기 하부 어셈블리(13) 및 상부 어셈블리(11) 사이에는 상기 액적의 플로우를 유도하는 리스트릭터(15) 및 상기 액적을 필터링하는 필터(17)가 구비될 수 있고, 상기 상부 어셈블리(11)에는 인가되는 전압의 크기에 의해 상기 액적의 토출량을 결정하는 피에조(19)가 구비될 수 있다.1 and 2, an
여기서, 상기 잉크젯 헤드(100)의 경우 상기 노즐(23)은 2열 구조 및 지그재그 구조를 갖도록 배치되고, 상기 유로(21)는 상기 2열 구조 및 지그재그 구조의 노즐에 대응하여 연결되게 듀얼 라인의 구조를 갖도록 형성될 수 있다.Here, in the case of the
그러나 종래와 같이 상기 2열 구조 및 지그재그 구조를 갖도록 배치되는 노즐(23)로 이루어지는 잉크젯 헤드(100)를 이용할 경우 기판 전면에 액적을 토출하기에는 별다른 문제가 없으나 특정 간격을 따라 부분적으로 상기 액적을 토출하기에는 한계가 있는 실정이다. 특히, 상기 잉크젯 헤드(100)를 틸팅시켜 상기 액적을 토출할 경우 상기 노즐(23)의 간격이 서로 상이한 상황이 발생하여 2열 중 하나의 라인에 배치되는 노즐(23)만으로 상기 액적을 토출하여야 함으로 2대의 잉크젯 헤드(100)를 사용하는 상황까지도 발생할 수 있다.However, when the
본 발명은 목적은 다양한 간격에 대응하여 액적을 토출시킬 수 있는 잉크젯 헤드를 구비한는 액적 토출 장치를 제공하는데 있다.An object of the present invention is to provide a droplet ejection apparatus having an ink jet head capable of ejecting droplets corresponding to various gaps.
언급한 목적을 달성하기 위한 본 발명의 일 실시예에 따른 액적 토출 장치는 기판을 향하여 액적을 토출하는 노즐이 배치되는 하부 어셈블리; 및 상기 액적을 저장하는 레저버와 연결되어 상기 액적을 상기 노즐로 공급하는 상부 어셈블리;로 이루어지고, 상기 하부 어셈블리 및 상기 상부 어셈블리가 연결됨에 의해 상기 레저버에 저장된 상기 액적을 상기 노즐로 플로우시키는 유로가 형성되는 잉크젯 헤드를 구비하는 액적 토출 장치에 있어서, 상기 노즐은 일렬로 늘어선 구조를 갖도록 배치되고, 상기 유로는 상기 일렬 구조의 노즐 각각에 대응하여 연결되게 싱글 라인의 구조를 갖도록 형성될 수 있다.According to an aspect of the present invention, there is provided a droplet ejection apparatus comprising: a lower assembly having nozzles for ejecting liquid droplets toward a substrate; And an upper assembly connected to a reservoir for storing the droplet and supplying the droplet to the nozzle, wherein the droplet stored in the reservoir is flowed to the nozzle by connecting the lower assembly and the upper assembly In the droplet ejection apparatus having an ink jet head in which a flow path is formed, the nozzles are arranged so as to have a line-by-line structure, and the flow paths may be formed so as to have a single- have.
언급한 본 발명의 일 실시예에 따른 액적 토출 장치에서, 상기 상부 어셈블리에는 인가되는 전압의 크기에 의해 상기 액적의 토출량을 결정하는 피에조가 구비될 수 있다.In the droplet ejection apparatus according to an embodiment of the present invention, the upper assembly may be provided with a piezo for determining the ejection amount of the liquid droplet depending on the magnitude of the applied voltage.
언급한 본 발명의 일 실시예에 따른 액적 토출 장치에서, 상기 하부 어셈블리 및 상기 상부 어셈블리 사이에는 상기 액적의 플로우를 유도하는 리스트릭터 및 상기 액적을 필터링하는 필터가 구비될 수 있다.In the droplet ejection apparatus according to an embodiment of the present invention, a restrictor for guiding the flow of the droplet and a filter for filtering the droplet may be provided between the lower assembly and the upper assembly.
본 발명의 액적 토출 장치에 따르면, 하부 어셈블리 및 상부 어셈블리가 연결됨에 의해 레저버에 저장된 액적을 노즐로 플로우시키는 유로가 형성되는 잉크젯 헤드를 구비할 때 노즐은 일렬로 늘어선 구조를 갖도록 배치되고, 유로는 일렬 구조의 노즐 각각에 대응하여 연결되게 싱글 라인의 구조를 갖도록 형성됨으로써 언급한 잉크젯 헤드를 구비하는 액적 토출 장치를 사용한 액적의 토출에서는 다양한 간격에 대응하여 액적을 토출시킬 수 있고, 액적의 탄착점을 보다 정확하게 확보할 수 있다.According to the droplet ejection apparatus of the present invention, when the inkjet head is provided with a flow path for flowing droplets stored in the reservoir by the connection of the lower assembly and the upper assembly to the nozzles, the nozzles are arranged in a line- The liquid droplets can be ejected corresponding to various intervals in the droplet ejecting apparatus using the droplet ejecting apparatus having the ink jet head mentioned above, Can be ensured more accurately.
따라서 본 발명의 액적 토출 장치는 다양한 패턴을 요구하는 액적 토출 공정에 보다 적극적으로 적용할 수 있고, 그 결과 고사양의 패널 제조 등에 적용할 수 있을 것이다. 또한, 본 발명의 액적 토출 장치는 잉크젯 헤드를 틸팅시켜도 노즐 사이가 동일한 간격을 유지할 수 있기 때문에 보다 다양한 액적 토출 공정에 적용할 수 있을 것이다.Therefore, the droplet ejection apparatus of the present invention can be more positively applied to a droplet ejection process requiring various patterns, and as a result, the droplet ejection apparatus can be applied to high-density panel manufacturing. In addition, the droplet ejection apparatus of the present invention can be applied to various droplet ejection processes because the nozzles can be maintained at the same interval even when the inkjet head is tilted.
도 1은 종래의 액적 토출 장치에 구비되는 잉크젯 헤드를 나타내는 도면이다.
도 2는 도 1의 잉크젯 헤드의 저면을 나타내는 도면이다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 잉크젯 헤드를 구비하는 액적 토출 장치를 설명하기 위한 개략적인 도면이다.
도 4는 도 3의 잉크젯 헤드의 저면을 나타내는 도면이다.
도 5는 본 발명의 다른 실시예에 따른 잉크젯 헤드를 구비하는 액적 토출 장치를 설명하기 위한 개략적인 도면이다.
도 6은 도 5의 잉크젯 헤드에 구비되는 리스트릭터를 설명하기 위한 도면이다.1 is a view showing an ink jet head provided in a conventional droplet ejection apparatus.
2 is a view showing the bottom surface of the ink jet head of Fig.
3 is a schematic view for explaining a liquid droplet ejecting apparatus having an ink jet head according to an embodiment of the present invention.
Fig. 4 is a view showing the bottom of the ink jet head of Fig. 3;
5 is a schematic view for explaining a droplet ejecting apparatus having an ink jet head according to another embodiment of the present invention.
6 is a view for explaining a restrictor provided in the ink jet head of FIG.
본 발명은 다양한 변경을 가할 수 있고 여러 가지 형태를 가질 수 있는 바, 실시예를 본문에 상세하게 설명하고자 한다. 그러나 이는 본 발명을 특정한 개시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변경, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다. 각 도면을 설명하면서 유사한 참조 부호를 유사한 구성 요소에 대해 사용하였다. 제1, 제2 등의 용어는 다양한 구성 요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 상기 구성 요소들은 상기 용어들에 의해 한정되어서는 안 된다. 상기 용어들은 하나의 구성 요소를 다른 구성 요소로부터 구별하는 목적으로만 사용된다. 본 출원에서 사용한 용어는 단지 특정한 실시예를 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 발명을 한정하려는 의도가 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 본 출원에서, "포함하다" 또는 "이루어진다" 등의 용어는 명세서 상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성 요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성 요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야한다.While the present invention has been described in connection with certain exemplary embodiments, it is obvious to those skilled in the art that various changes and modifications may be made therein without departing from the spirit and scope of the invention. It is to be understood, however, that the invention is not intended to be limited to the particular forms disclosed, but on the contrary, is intended to cover all modifications, equivalents, and alternatives falling within the spirit and scope of the invention. Like reference numerals are used for like elements in describing each drawing. The terms first, second, etc. may be used to describe various components, but the components should not be limited by the terms. The terms are used only for the purpose of distinguishing one component from another. The terminology used in this application is used only to describe a specific embodiment and is not intended to limit the invention. The singular expressions include plural expressions unless the context clearly dictates otherwise. In the present application, the term "comprises" or "comprising ", etc. is intended to specify that there is a stated feature, figure, step, operation, component, But do not preclude the presence or addition of one or more other features, integers, steps, operations, components, parts, or combinations thereof.
다르게 정의되지 않는 한, 기술적이거나 과학적인 용어를 포함해서 여기서 사용되는 모든 용어들은 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 일반적으로 이해되는 것과 동일한 의미를 가지고 있다. 일반적으로 사용되는 사전에 정의되어 있는 것과 같은 용어들은 관련 기술의 문맥 상 가지는 의미와 일치하는 의미를 가지는 것으로 해석되어야 하며, 본 출원에서 명백하게 정의하지 않는 한, 이상적이거나 과도하게 형식적인 의미로 해석되지 않는다.Unless defined otherwise, all terms used herein, including technical or scientific terms, have the same meaning as commonly understood by one of ordinary skill in the art to which this invention belongs. Terms such as those defined in commonly used dictionaries are to be interpreted as having a meaning consistent with the contextual meaning of the related art and are to be interpreted as either ideal or overly formal in the sense of the present application Do not.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 잉크젯 헤드를 구비하는 액적 토출 장치를 설명하기 위한 개략적인 도면이고, 도 4는 도 3의 잉크젯 헤드의 저면을 나타내는 도면이다.FIG. 3 is a schematic view for explaining a liquid droplet ejecting apparatus having an ink jet head according to an embodiment of the present invention, and FIG. 4 is a bottom view of the ink jet head of FIG.
먼저, 본 발명의 액적 토출 장치는 액정 표시 장치 등으로 제조하기 위한 기판 상에 배향막의 형성이나 UV 잉크를 도포하거나, 또는 유기 EL 표시 장치 등으로 제조하기 위한 기판 상에 컬러 필터를 도포하는데 사용할 수 있다.First, the liquid droplet ejecting apparatus of the present invention can be used for applying a color filter on a substrate for forming an alignment film, a UV ink, or an organic EL display device on a substrate for manufacturing a liquid crystal display device or the like have.
그리고 본 발명의 액적 토출 장치는 잉크젯 헤드와 함께 도시하지는 않았지만 베이스, 기판 지지 부재, 갠트리, 갠트리 이동 유닛, 잉크젯 헤드 이동 유닛, 잉크 공급 유닛, 제어 유닛, 액적 토출량 측정 유닛, 노즐 검사 유닛, 잉크젯 헤드 세정 유닛 등을 포함할 수 있다.The droplet ejection apparatus according to the present invention is not limited to the ink jet head, but may include a base, a substrate support member, a gantry, a gantry movement unit, an inkjet head movement unit, an ink supply unit, a control unit, a droplet discharge amount measurement unit, A cleaning unit, and the like.
도 3 및 도 4를 참조하면, 액적 토출 장치의 잉크젯 헤드(300)는 하부 어셈블리(33)및 상부 어셈블리(31)를 구비할 수 있다.Referring to FIGS. 3 and 4, the
상기 하부 어셈블리(33)에는 기판을 향하여 액적을 토출하는 노즐(43)이 배치될 수 있고, 상기 상부 어셈블리(31)는 상기 액적을 저장하는 레저버(도시되지 않음)와 연결될 수 있다. 이에, 상기 레저버에 저장된 액적이 상기 상부 어셈블리(31)로 공급되어 상기 하부 어셈블리(33)의 노즐(43)을 통하여 토출될 수 있는 것이다. 따라서 상기 하부 어셈블리(33) 및 상부 어셈블리(31)가 연결됨에 의해 상기 레저버에 저장된 상기 액적을 상기 노즐(43)로 플로우시키는 유로(41)가 형성될 수 있는 것이다.The
아울러, 상기 하부 어셈블리(33) 및 상부 어셈블리(31) 사이에는 상기 액적의 플로우를 유도하는 리스트릭터(restrictor)(35) 및 상기 액적을 필터링하는 필터(37)가 구비될 수 있다. 상기 리스트릭터(35)는 상기 액적이 토출될 때 상기 액적이 억류하는 것을 억제하기 위하여 구비될 수 있고, 상기 필터(37)는 상기 액적 내에 기포 등을 제거하기 위하여 구비될 수 있다. 또한, 상기 상부 어셈블리(31)에는 인가되는 전압의 크기에 의해 상기 액적의 토출량을 결정하는 피에조(39)가 구비될 수 있다.Between the
그리고 본 발명의 상기 잉크젯 헤드(300)에서의 상기 노즐(43)은 일렬로 늘어선 구조를 갖도록 배치될 수 있다. 즉, 본 발명에서는 하나의 상기 잉크젯 헤드(300)에 한줄로만 상기 노즐(43)이 배치되도록 구비되는 것이다. 이에, 상기 노즐(43)에 대응하도록 상기 유로(41)의 구조도 변경되는 것으로써, 본 발명에서는 상기 일렬 구조의 노즐(43) 각각에 대응하여 연결되게 싱글 라인의 구조를 갖도록 상기 유로(41)를 형성할 수 있다. 즉, 본 발명의 상기 잉크젯 헤드(300)의 경우 상기 노즐(43)은 일렬로 늘어선 구조를 갖도록 배치되고, 상기 유로(41)는 상기 일렬 구조의 노즐(43) 각각에 대응하여 연결되게 싱글 라인의 구조를 갖도록 형성되는 것이다.And the
특히, 도 3에서는 상기 하부 어셈블리(33)에서의 상기 유로(41)의 변경을 통하여 상기 노즐(43)을 일렬로 늘어선 구조를 갖도록 배치할 수 있다. 즉, 'Y' 자 구조의 대각 가공을 통하여 상기 유로(41)를 싱글 라인이 구조를 갖도록 형성할 수 있고, 이에 대응되는 상기 노즐(43)이 일렬로 늘어선 구조를 갖도록 배치할 수 있는 것이다.In particular, in FIG. 3, the
따라서 상기 잉크젯 헤드(300)를 구비하는 본 발명의 액적 토출 장치를 사용한 액적의 토출에서는 상기 노즐(43)이 일렬로 늘어선 구조를 갖도록 배치되기 때문에 다양한 간격에 대응하여 상기 액적을 토출시킬 수 있고, 또한 상기 액적의 탄착점을 보다 정확하게 확보할 수 있다. 또한, 상기 잉크젯 헤드를 틸팅(tilting)시켜도 상기 노즐(43) 사이가 동일한 간격을 유지할 수 있기 때문에 다양한 간격을 요구하는 공정에 보다 적극적으로 적용할 수 있을 것이다.Therefore, in the ejection of droplets using the droplet ejection apparatus of the present invention including the
도 5는 본 발명의 다른 실시예에 따른 잉크젯 헤드를 구비하는 액적 토출 장치를 설명하기 위한 개략적인 도면이고, 도 6은 도 5의 잉크젯 헤드에 구비되는 리스트릭터를 설명하기 위한 도면이다.FIG. 5 is a schematic view for explaining a liquid droplet ejecting apparatus having an ink jet head according to another embodiment of the present invention, and FIG. 6 is a view for explaining a restrictor included in the ink jet head of FIG.
먼저 도 5에서의 잉크젯 헤드(300)는 하부 어셈블리(53)의 구조 및 제2 리스트릭터(55)를 구비하는 것을 제외하고는 도 3에서의 잉크젯 헤드(300)와 동일한 구조를 갖기 때문에 동일 부호를 사용하고, 그 상세한 설명은 생략하기로 한다.First, the
도 5 및 도 6을 참조하면, 유로(61)의 배치를 변경시킬 수 있도록 제2 리스트릭러(55)를 추가시킨다. 이에, 상기 잉크젯 헤드(300)의 유로(61)는 싱글 라인의 구조를 갖도록 형성될 수 있고, 더불어 상기 노즐(63) 또한 일렬로 늘어선 구조를 갖도록 배치될 수 있다. 여기서, 상기 제2 리스트릭터(55)는 상기 하부 어셈블리(53)와 마주하게 배치되도록 추가할 수 있다. 그리고 도시하지는 않았지만 상기 제2 리스트릭터(55)는 삼각 돌기, 원형 돌기 등의 형상을 갖도록 다양하게 구비할 수 있다.5 and 6, the
이와 같이, 도 5에서는 상기 제2 리스트릭터(55)의 추가를 통한 상기 유로(61)의 싱글 라인으로의 구조 변경으로 상기 노즐(63)을 일렬로 늘어선 구조를 갖도록 배치할 수 있다.5, the
그리고 본 발명의 액적 토출 장치(300)에서 상기 상부 어셈블리(31)의 구조는 도 1에서와 같이 종래의 상부 어셈블리(11)와 동일한 구조를 갖는 것으로써, 본 발명에서는 상기 상부 어셈블리(31)의 구조를 변경하지 않고 도 3에서와 같이 상기 하부 어셈블리(33)의 구조를 변경하거나 또는 도 5에서와 같이 제2 리스트릭터(55)를 추가함으로써 상기 노즐(43, 63)은 일렬로 늘어선 구조를 갖도록 배치할 수 있고, 상기 유로(41, 61)는 상기 일렬 구조의 노즐(43, 63) 각각에 대응하여 연결되게 싱글 라인의 구조를 갖도록 형성할 수 있다.1, the structure of the
본 발명의 액적 토출 장치는 다양한 패턴을 요구하는 고사양의 패널 제조 등에 적용할 수 있고, 다양한 액적 토출 공정에 적용할 수 있기 때문에 보다 우수한 장치 경쟁력의 확보가 가능할 것이다.Since the droplet ejection apparatus of the present invention can be applied to high-end panel manufacture requiring various patterns and can be applied to various droplet ejection processes, superior device competitiveness can be secured.
상기에서는 본 발명의 바람직한 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야의 숙련된 당업자는 하기의 특허 청구 범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.It will be apparent to those skilled in the art that various modifications and variations can be made in the present invention without departing from the spirit or scope of the present invention as defined by the following claims. It can be understood that it is possible.
11, 31 : 상부 어셈블리 13, 33, 53 : 하부 어셈블리
15, 35, 55 : 리스트릭터 17, 37 : 필터
19, 39 : 피에조 21, 31, 61 : 유로
23, 43, 63 : 노즐 100, 300 : 잉크젯 헤드11, 31:
15, 35, 55: restrictor 17, 37: filter
19, 39:
23, 43, 63:
Claims (3)
상기 노즐은 일렬로 늘어선 구조를 갖도록 배치되고, 상기 유로는 상기 일렬 구조의 노즐 각각에 대응하여 연결되게 싱글 라인의 구조를 갖도록 형성되는 것을 특징으로 하는 액적 토출 장치.A lower assembly in which a nozzle for discharging droplets toward the substrate is disposed; And an upper assembly connected to a reservoir for storing the droplet and supplying the droplet to the nozzle, wherein the droplet stored in the reservoir is flowed to the nozzle by connecting the lower assembly and the upper assembly In a liquid droplet ejecting apparatus having an ink jet head in which a flow path is formed,
Wherein the nozzles are arranged so as to have a line-by-line structure, and the flow paths are formed so as to have a single-line structure so as to correspond to the nozzles of the arrayed structure.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1020160065042A KR102533210B1 (en) | 2016-05-26 | 2016-05-26 | Apparatus for Droplet Formation |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1020160065042A KR102533210B1 (en) | 2016-05-26 | 2016-05-26 | Apparatus for Droplet Formation |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
KR20170133799A true KR20170133799A (en) | 2017-12-06 |
KR102533210B1 KR102533210B1 (en) | 2023-05-16 |
Family
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Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
KR1020160065042A KR102533210B1 (en) | 2016-05-26 | 2016-05-26 | Apparatus for Droplet Formation |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
KR (1) | KR102533210B1 (en) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US11390071B2 (en) | 2019-07-05 | 2022-07-19 | Semes Co. Ltd. | Real time drop information measurement unit and real time discharging droplet compensating apparatus and method using the same |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2005014513A (en) * | 2003-06-27 | 2005-01-20 | Seiko Epson Corp | Liquid droplet discharging head, nozzle hole position detection method and liquid droplet discharging device |
KR100570823B1 (en) * | 2003-12-22 | 2006-04-12 | 삼성전자주식회사 | Inkjet print head |
JP2011235251A (en) * | 2010-05-12 | 2011-11-24 | Panasonic Corp | Inkjet head, inkjet apparatus, and method of manufacturing the same |
JP4984209B2 (en) * | 2006-01-05 | 2012-07-25 | リコープリンティングシステムズ株式会社 | Droplet discharge apparatus and droplet discharge method |
-
2016
- 2016-05-26 KR KR1020160065042A patent/KR102533210B1/en active IP Right Grant
Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2005014513A (en) * | 2003-06-27 | 2005-01-20 | Seiko Epson Corp | Liquid droplet discharging head, nozzle hole position detection method and liquid droplet discharging device |
KR100570823B1 (en) * | 2003-12-22 | 2006-04-12 | 삼성전자주식회사 | Inkjet print head |
JP4984209B2 (en) * | 2006-01-05 | 2012-07-25 | リコープリンティングシステムズ株式会社 | Droplet discharge apparatus and droplet discharge method |
JP2011235251A (en) * | 2010-05-12 | 2011-11-24 | Panasonic Corp | Inkjet head, inkjet apparatus, and method of manufacturing the same |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US11390071B2 (en) | 2019-07-05 | 2022-07-19 | Semes Co. Ltd. | Real time drop information measurement unit and real time discharging droplet compensating apparatus and method using the same |
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Publication number | Publication date |
---|---|
KR102533210B1 (en) | 2023-05-16 |
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