KR20170110792A - Air knife - Google Patents

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Abstract

본 발명은 내부에 압축공기가 통과하도록 마련되는 유로; 및 상기 유로에 마련되고, 압축공기가 분사시 라미나 플로우(Lamina flow)를 형성하도록 하는 다수의 층류생성가이드부;를 포함하고, 상기 층류생성가이드부는, 상기 유로의 폭방향으로 간격을 두고서 다수로 배열되고, 양단에 곡률부와 예각부가 각각 형성되는 물방울 형상을 가지되, 상기 곡률부가 압축공기의 유입측에 위치함과 아울러 상기 예각부가 압축공기의 배출측에 위치하도록 배치되는, 에어 나이프에 관한 것이다.
본 발명에 따르면, 압축공기가 분사시 물방울 모양의 층류생성가이드부에 의해 라미나 플로우(Lamina flow)를 형성하도록 함으로써, LCD 유리기판이나 반도체기판 등의 대상물에 대한 세정 또는 건조 효율을 증대시킬 수 있다.According to the present invention, And a plurality of laminar flow generation guide portions provided in the flow path and causing compressed air to form a lamina flow when the compressed air is injected, wherein the laminar flow generation guide portion includes a plurality Wherein the air knife has a water droplet shape in which a curvature portion and an acute angle portion are formed at both ends, the curvature portion being located on an inflow side of compressed air, and the acute angle portion being located on a discharge side of compressed air .
According to the present invention, by forming a laminar flow by the laminar flow generation guide portion of the droplet shape when the compressed air is jetted, it is possible to increase the cleaning or drying efficiency of an object such as an LCD glass substrate or a semiconductor substrate have.

Description

에어 나이프{Air knife}Air knife

본 발명은 에어 나이프에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 압축공기가 분사시 라미나 플로우(Lamina flow)를 형성하도록 함으로써, LCD 유리기판 등에 대한 세정 효율이 뛰어나도록 하는 에어 나이프에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention [0001] The present invention relates to an air knife, and more particularly, to an air knife that allows a compressed air to form a lamina flow at the time of jetting, thereby achieving excellent cleaning efficiency for an LCD glass substrate and the like.

일반적으로, 에어 나이프는 압축공기의 분사에 의해 LCD 유리기판이나 반도체기판에 부착된 파티클 등의 이물질을 제거함으로써 세정하는데 사용될 뿐만 아니라, 나아가서 이들에 부착된 습기 등의 제거를 위한 건조 과정 등에 사용된다. Generally, the air knife is used not only for cleaning by removing foreign substances such as particles attached to an LCD glass substrate or a semiconductor substrate by injection of compressed air, but also for a drying process for removing moisture and the like adhering thereto .

이러한 에어 나이프는 내부 공간부에 형성된 유로를 통해서 압축공기가 토출됨으로써, 압축공기가 압력에 의해 비산 및 분산되어 세정 작업 등이 이루어지도록 한다.The air knife ejects the compressed air through the flow path formed in the inner space portion, so that the compressed air is scattered and dispersed by the pressure to perform the cleaning operation.

종래의 에어 나이프와 관련된 기술로는 한국공개특허 제10-2016-0029557호의 "유체 분사용 에어나이프"가 제시된 바 있는데, 이는 한쪽 방향으로 연장되면서 내부에 유체의 유동 공간이 형성된 몸체; 외부로부터 상기 유동 공간에 유체를 공급하기 위한 주입 캡; 몸체의 하나의 면과 접촉되는 접촉면을 형성하는 커버; 접촉면에 형성되는 분사 갭; 및 상기 분사 갭에 형성된 이격 유닛을 포함하고, 상기 이격 유닛은 분사 갭의 분사 방향에 수직이 되는 분리 거리를 몸체의 길이 방향을 따라 균일하도록 유지한다.A conventional art relating to an air knife is disclosed in Korean Patent Laid-Open Publication No. 10-2016-0029557 entitled " Air knife for fluid distribution use ", which comprises a body having a fluid flow space formed therein and extending in one direction; An injection cap for supplying fluid from the outside to the fluid space; A cover forming a contact surface that contacts one surface of the body; A jet gap formed on the contact surface; And a separation unit formed in the injection gap. The separation unit maintains a separation distance perpendicular to the injection direction of the injection gap to be uniform along the longitudinal direction of the body.

그러나, 이와 같은 종래 기술은 압축공기를 압력에 의해 단순히 분사하게 됨으로써, 대상물에 대한 세정이나 건조 효율을 높이는데 한계를 가지는 문제점을 가지고 있었다.However, such a conventional art has a problem in that the compressed air is simply sprayed by pressure, which limits the cleaning and drying efficiency of the object.

상기한 바와 같은 종래 기술의 문제점을 해결하기 위하여, 본 발명은 분사되는 압축공기가 라미나 플로우(Lamina flow)를 형성하도록 함으로써, LCD 유리기판이나 반도체기판 등의 대상물에 대한 세정 또는 건조 효율을 증대시키도록 하는데 목적이 있다.In order to solve the problems of the prior art as described above, the present invention forms a lamina flow by compressed air to be injected, thereby increasing cleaning or drying efficiency of an object such as an LCD glass substrate or a semiconductor substrate And the like.

본 발명의 다른 목적들은 이하의 실시례에 대한 설명을 통해 쉽게 이해될 수 있을 것이다.Other objects of the present invention will become readily apparent from the following description of the embodiments.

상기한 바와 같은 목적을 달성하기 위해, 본 발명의 일측면에 따르면, 내부에 압축공기가 통과하도록 마련되는 유로; 및 상기 유로에 마련되고, 압축공기가 분사시 라미나 플로우(Lamina flow)를 형성하도록 하는 다수의 층류생성가이드부;를 포함하고, 상기 층류생성가이드부는, 상기 유로의 폭방향으로 간격을 두고서 다수로 배열되고, 양단에 곡률부와 예각부가 각각 형성되는 물방울 형상을 가지되, 상기 곡률부가 압축공기의 유입측에 위치함과 아울러 상기 예각부가 압축공기의 배출측에 위치하도록 배치되는, 에어 나이프가 제공된다.To achieve the above object, according to one aspect of the present invention, there is provided an air conditioner comprising: And a plurality of laminar flow generation guide portions provided in the flow path and causing compressed air to form a lamina flow when the compressed air is injected, wherein the laminar flow generation guide portion includes a plurality The air knife having a water droplet shape in which a curvature portion and an acute angle portion are formed at both ends, the curvature portion being located on the inflow side of the compressed air and the acute angle portion being located on the discharge side of the compressed air / RTI >

몸체; 및 상기 몸체에 착탈 가능하게 고정되고, 상기 몸체와의 사이에 상기 유로를 형성하는 커버;를 더 포함하고, 상기 층류생성가이드부는, 상기 몸체와 상기 커버 중 어느 하나에 돌출되도록 형성되고, 다른 하나에 면접촉될 수 있다.Body; And a cover which is detachably fixed to the body and forms the flow path between the body and the body, wherein the laminar flow generation guide portion is formed to protrude from any one of the body and the cover, As shown in Fig.

상기 층류생성가이드부는, 상기 커버를 상기 몸체에 고정시키는 볼트가 관통하기 위한 관통홀이 형성되고, 각각의 중심 간의 간격이 45~55 mm일 수 있다.The laminar flow generation guide portion may have a through hole through which the bolt for fixing the cover to the body passes, and the distance between the centers of the through holes may be 45 to 55 mm.

상기 몸체를 정해진 위치에 고정시키도록 상기 몸체의 양단에 마련되고, 상기 몸체가 상기 폭방향을 축으로 하여 회전 가능하도록 결합되는 고정부를 더 포함하고, 상기 몸체는, 일단 또는 양단에 함께 회전하도록 각도지시부가 마련되고, 상기 고정부는, 상기 각도지시부의 회전량을 측정하기 위한 눈금을 가지는 각도표시부가 마련될 수 있다.Further comprising fixing portions provided at both ends of the body so as to fix the body at a predetermined position and the body being rotatably coupled with the body in a lateral direction of the body, The angle indicator may be provided, and the fixing portion may be provided with an angle indicator having a scale for measuring the amount of rotation of the angle indicator.

상기 유로에 압축공기를 주입하는 주입라인; 및 상기 유로에서 배출측에 압축공기의 분사방향을 가이드하도록 마련되는 블레이드;를 더 포함하고, 상기 주입라인은, 외부의 압축공급부로부터 압축공기가 공급되는 메인주입관; 상기 메인주입관에 연결되고, 상기 메인주입관을 통해 주입되는 압축공기를 다수로 분기되도록 하는 분기관; 상기 분기관 각각이 연결되어 압축공기를 각각 공급받고, 상기 폭방향을 따라 배치되는 분배관; 및 상기 분배관에 길이방향을 따라 간격을 두고서 다수로 마련되고, 상기 분배관으로부터 상기 유로에 압축공기를 공급하는 공급포트;를 포함하고, 상기 유로는, 상기 커버의 상단에 상기 폭방향을 따라 간격을 두고서 형성되는 공급구 각각이 상기 공급포트에 연결됨으로써 압축공기를 공급받고, 상기 층류생성가이드부의 하단에 상기 폭방향으로 연장되는 폭방향유출로가 형성되며, 상기 폭방향유출로부터 하단까지 연장되는 분사슬릿을 통해서 압축공기가 분사되도록 할 수 있다.An injection line for injecting compressed air into the flow path; And a blade provided to guide the injection direction of the compressed air from the flow path to the discharge side, wherein the injection line includes: a main injection pipe to which compressed air is supplied from an external compression supply part; A branch pipe connected to the main injection pipe for branching a plurality of compressed air injected through the main injection pipe; A distribution pipe connected to each branch pipe and supplied with compressed air, and disposed along the width direction; And a supply port provided in the distribution pipe at a plurality of intervals in the longitudinal direction and supplying compressed air to the flow path from the distribution pipe, wherein the flow path is formed along the width direction Wherein each of the supply ports formed at intervals is connected to the supply port to receive compressed air and a widthwise outflow passage extending in the width direction is formed at a lower end of the laminar flow generation guide portion, So that compressed air can be sprayed through the spray slit.

본 발명에 따른 에어 나이프에 의하면, 압축공기가 분사시 물방울 모양의 층류생성가이드부에 의해 라미나 플로우(Lamina flow)를 형성하도록 함으로써, LCD 유리기판이나 반도체기판 등의 대상물에 대한 세정 또는 건조 효율을 증대시킬 수 있다.According to the air knife according to the present invention, by forming the lamina flow by the laminar flow generation guide portion of the droplet shape when the compressed air is jetted, the cleaning or drying efficiency of the object such as the LCD glass substrate or the semiconductor substrate Can be increased.

도 1은 본 발명의 일 실시례에 따른 에어 나이프가 장착된 모습을 도시한 사시도이다.
도 2는 본 발명의 일 실시례에 따른 에어 나이프를 도시한 사시도이다.
도 3은 본 발명의 일 실시례에 따른 에어 나이프를 다른 방향에서 도시한 사시도이다.
도 4는 본 발명의 일 실시례에 따른 에어 나이프의 요부를 도시한 분해사시도이다.
도 5는 본 발명의 일 실시례에 따른 에어 나이프의 요부를 다른 방향에서 도시한 사시도이다.
도 6은 본 발명의 일 실시례에 따른 에어 나이프를 도시한 측단면도이다.1 is a perspective view showing a state where an air knife according to an embodiment of the present invention is mounted.
2 is a perspective view showing an air knife according to one embodiment of the present invention.
Figure 3 is a perspective view of the air knife according to one embodiment of the present invention in another direction.
FIG. 4 is an exploded perspective view showing a main portion of an air knife according to an embodiment of the present invention. FIG.
Fig. 5 is a perspective view showing the recessed portion of the air knife according to one embodiment of the present invention in another direction. Fig.
6 is a side cross-sectional view showing an air knife according to one embodiment of the present invention.

본 발명은 다양한 변경을 가할 수 있고, 여러 가지 실시례를 가질 수 있는 바, 특정 실시례들을 도면에 예시하고, 상세하게 설명하고자 한다. 그러나, 이는 본 발명을 특정한 실시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니고, 본 발명의 기술 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변경, 균등물 내지 대체물을 포함하는 식으로 이해되어야 하고, 여러 가지 다른 형태로 변형될 수 있으며, 본 발명의 범위가 하기 실시례에 한정되는 것은 아니다. The present invention is capable of various modifications and various embodiments, and specific embodiments are illustrated and described in detail in the drawings. It is to be understood, however, that the invention is not to be limited to the specific embodiments, but is to be understood to cover all modifications, equivalents, and alternatives falling within the spirit and scope of the invention, And the scope of the present invention is not limited to the following examples.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명에 따른 실시례를 상세히 설명하며, 도면 부호에 관계없이 동일하거나 대응하는 구성요소에 대해서는 동일한 참조 번호를 부여하고, 이에 대해 중복되는 설명을 생략하기로 한다.Hereinafter, embodiments according to the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings, wherein like or corresponding elements are denoted by the same reference numerals, and redundant explanations thereof will be omitted.

도 1은 본 발명의 일 실시례에 따른 에어 나이프가 장착된 모습을 도시한 사시도이다.1 is a perspective view showing a state where an air knife according to an embodiment of the present invention is mounted.

도 1을 참조하면, 본 발명의 일 실시례에 따른 에어 나이프(100)는 에어 나이프 시스템의 본체(200)에 고정됨으로써 본체(200)를 통과하는 대상물, 예컨대 LCD 유리기판에 압축공기를 분사하여 세정 과정을 수행할 수 있다. 여기서 대상물은 LCD 유리기판 뿐만 아니라, 반도체기판을 비롯하여, 압축공기를 사용하여 세정 과정, 나아가서 건조 과정을 수행하는 다양한 소재 내지 재료 또는 부품 등이 해당될 수 있다. 1, an air knife 100 according to an embodiment of the present invention is fixed to a main body 200 of an air knife system, thereby spraying compressed air onto an object passing through the main body 200, for example, an LCD glass substrate A cleaning process can be performed. In this case, not only an LCD glass substrate but also a semiconductor substrate, various materials, materials or parts for performing a cleaning process and a drying process using compressed air may be covered.

에어 나이프 시스템의 본체(200)는 예컨대, LCD 유리기판이 이동하는 경로 상에 설치되는데, 한 쌍의 프레임(210)이 수직되게 설치될 수 있고, 프레임(210)을 서로 연결시키는 배드(220)가 LCD 유리기판의 하측에 위치하도록 수평되게 설치될 수 있으며, 배드(220) 상부를 통과하는 LCD 유리기판의 상측에 위치하여 에어 나이프(100)로 분사되는 압축공기에 의해 LCD 유리기판으로부터 분리되는 파티클 등의 이물질을 흡입하여 외부로 배출시키는 흡입부(230)가 마련될 수 있고, 프레임(210) 각각에 에어 나이프(100)의 고정부(120)에 볼트로 체결됨으로써 에어 나이프(100)의 양단을 고정시키는 고정브라켓(240)이 각각 마련될 수 있다.The main body 200 of the air knife system is installed, for example, on a path along which the LCD glass substrate moves. The pair of frames 210 can be vertically installed, and a bed 220, which connects the frames 210 to each other, And is separated from the LCD glass substrate by compressed air that is positioned on the upper side of the LCD glass substrate passing over the upper part of the bed 220 and is injected into the air knife 100 The air knife 100 is fastened to each of the frames 210 by bolts to the fixing portion 120 of the air knife 100 so that the air knife 100 And fixing brackets 240 for fixing both ends can be provided, respectively.

도 2는 본 발명의 일 실시례에 따른 에어 나이프를 도시한 사시도이고, 도 3은 본 발명의 일 실시례에 따른 에어 나이프를 다른 방향에서 도시한 사시도이다.FIG. 2 is a perspective view showing an air knife according to one embodiment of the present invention, and FIG. 3 is a perspective view showing an air knife according to an embodiment of the present invention in another direction.

도 2 및 도 3을 참조하면, 본 발명의 일 실시례에 따른 에어 나이프(100)는 몸체(110)와 고정부(120)를 포함할 수 있다. Referring to FIGS. 2 and 3, the air knife 100 according to an embodiment of the present invention may include a body 110 and a fixing portion 120.

몸체(110)는 압축공기의 배출경로에 직각으로 교차하도록, 일례로 수평되게 설치되는 길이부재로 이루어질 수 있다. The body 110 may be formed of a lengthwise member, for example, horizontally installed so as to cross at right angles to the discharge path of the compressed air.

고정부(120)는 몸체(110)를 정해진 위치, 예컨대 에어 나이프 시스템의 본체(200)에 고정시키도록 몸체(110)의 양단에 각각 마련될 수 있고, 몸체(110)가 후술하게 될 유로(150)의 폭방향을 축으로 하여 회전 가능하도록 결합된다. 따라서, 고정부(120)는 몸체(110)가 압축공기를 분사하는 방향을 전환시킬 수 있도록, 회전축(미도시) 등에 의해 회전 결합된다. 한편, 몸체(110)를 원하는 각도로 회전시킨 다음, 고정부(120)와 몸체(110) 중 어느 하나에 마련되어 다른 하나를 조이도록 하는 조임볼트의 조임이나, 고정부(120)와 몸체(110)를 서로 분리 가능하게 결합시키는 별도의 고정부재 또는 몸체(110)의 회전을 제한하도록 하는 스토퍼나 억지 끼움 부재 등을 사용하여, 몸체(110)가 고정부(120)로부터 원하지 않게 회전하는 것을 방지하도록 구성될 수 있다. 여기서, 유로(150)의 폭방향은 본 실시례에서처럼 몸체(110)의 길이방향과 동일할 수 있고, 압축공기의 분사경로에 직교하는 방향일 수 있다.The fixing portion 120 may be provided at both ends of the body 110 to fix the body 110 to a predetermined position such as the body 200 of the air knife system. 150 in the width direction. Therefore, the fixing portion 120 is rotationally coupled by a rotation shaft (not shown) or the like so that the body 110 can switch the direction in which compressed air is injected. The tightening bolts are fastened to the fixing part 120 and the body 110 so as to fasten the fastening bolts to the other part of the fixing part 120 and the body 110, A separate fixing member for detachably coupling the body 110 or a stopper or a detent member for restricting rotation of the body 110 may be used to prevent the body 110 from rotating unwantedly from the fixing portion 120 . Here, the width direction of the flow path 150 may be the same as the longitudinal direction of the body 110 as in the present embodiment, and may be a direction orthogonal to the injection path of the compressed air.

몸체(110)는 일단 또는 양단에 고정부(120)로부터 회전시 함께 회전하도록 각도지시부(111)가 마련될 수 있다. 각도지시부(111)는 본 실시례에서처럼 끝단이 예각을 이루도록 형성될 수 있다.The body 110 may be provided at one or both ends with an angle indicator 111 so as to rotate together with the fixed part 120 when rotated. The angle designating unit 111 may be formed such that the ends thereof form an acute angle as in the present embodiment.

고정부(120)는 연결부재(121)에 의해 서로 연결될 수 있고, 에어 나이프 시스템의 본체(200)에 마련되는 고정브라켓(240)에 볼트 등으로 결합되도록 볼트결합부(122)가 마련될 수 있으며, 각도지시부(111)의 회전량을 측정하기 위한 눈금을 가지는 각도표시부(123)가 각도지시부(111)와 대향되는 면에 마련될 수 있다.The fixing part 120 may be connected to each other by the connecting member 121 and the bolt connecting part 122 may be provided to be coupled to the fixing bracket 240 provided in the main body 200 of the air knife system with bolts or the like And an angle display unit 123 having a scale for measuring the amount of rotation of the angle instruction unit 111 may be provided on a surface facing the angle instruction unit 111. [

도 4 내지 도 6을 참조하면, 본 발명의 일 실시례에 따른 에어 나이프(100)는 내부에 압축공기가 통과하도록 마련되는 유로(150)와, 유로(150)에 마련되고, 압축공기가 분사시 라미나 플로우(Lamina flow)를 형성하도록 하는 다수의 층류생성가이드부(160)를 포함할 수 있다. 또한 유로(150)는 예컨대 본 실시례에서처럼 몸체(110)와 커버(130) 사이에 형성될 수 있다. 4 to 6, an air knife 100 according to an embodiment of the present invention includes a flow path 150 provided so as to allow compressed air to pass therethrough, And a plurality of laminar flow generation guide portions 160 for forming a lamina flow. The flow path 150 may be formed between the body 110 and the cover 130, for example, as in the present embodiment.

커버(130)는 몸체(110)에 착탈 가능하게 고정될 수 있고, 몸체(110)와의 사이에 유로(150)를 형성하도록 한다. 몸체(110)와 커버(130)는 볼트(133)에 의해 서로 착탈 가능하게 결합될 수 있는데, 이를 위해 몸체(110)의 양측단과 상단에 체결홀(112)이 각각 다수로 형성될 수 있고, 커버(130)의 양측단과 상단에 관통홀(131)이 각각 다수로 형성될 수 있으며, 관통홀(131)을 관통하여 체결홀(112)에 나사 체결되는 볼트(133)에 의해 몸체(110)와 커버(130)가 서로 결합하되, 이로 인해 유로(150)가 하방으로 개방되는 공간을 이루도록 할 수 있다.The cover 130 is detachably fixed to the body 110 and forms a flow path 150 between the body 130 and the body 110. The body 110 and the cover 130 may be detachably coupled to each other by bolts 133. For this purpose, a plurality of fastening holes 112 may be formed at both ends and upper ends of the body 110, A plurality of through holes 131 may be formed in both ends of the cover 130 and the upper end of the cover 130. The body 110 may be formed by bolts 133 passing through the through holes 131 and screwed into the fastening holes 112. [ And the cover 130 are coupled to each other, thereby making the space for opening the channel 150 downward.

층류생성가이드부(160)는 유로(150)의 폭방향으로 간격을 두고서 다수로 배열되고, 양단에 곡률부(162)와 예각부(161)가 각각 형성되는 물방울 형상을 가지되, 곡률부(162)가 압축공기의 유입측에 위치함과 아울러 예각부(161)가 압축공기의 배출측에 위치하도록 배치될 수 있다. 따라서, 층류생성가이드부(160)는 압축공기(a; 도 5에 도시)가 곡률부(162)의 외측면을 따라 예각부(161)로 이동하여 예각부(161)의 외측면을 따라 외부로 배출됨으로써. 압축공기가 라미나 플로우(Lamina flow)를 형성하도록 하며, 이로 인해 LCD 유리기판에 부착된 파티클이나 수분 등의 분리 효율을 높일 수 있다. The laminar flow generation guide portions 160 are arranged in a plurality of intervals in the width direction of the flow path 150 and have a water droplet shape in which the curved portion 162 and the protruding portion 161 are formed at both ends, 162 are positioned on the inflow side of the compressed air and the protrusion 161 is positioned on the discharge side of the compressed air. Accordingly, the laminar flow generation guide unit 160 moves the compressed air (a) (shown in FIG. 5) along the outer surface of the curvature portion 162 to the protruding portion 161 and moves along the outer surface of the protruding portion 161 As a result. The compressed air can form a lamina flow, which can increase the efficiency of separation of particles and moisture attached to the LCD glass substrate.

층류생성가이드부(160)는 서로 마주보는 몸체(110)와 커버(130) 중 어느 하나에 돌출되도록 형성될 수 있고, 다른 하나에 면접촉될 수 있는데, 본 실시례에서는 유로(150)가 커버(130)에 대부분 형성되는 점을 감안하여 커버(130)에 돌출되도록 형성될 수 있고, 몸체(110)에 면접촉됨으로써 유로(150)를 폭방향으로 다수개가 분할되도록 할 수 있다.The laminar flow generation guide unit 160 may protrude from one of the body 110 and the cover 130 facing each other and may be in surface contact with the other. In this embodiment, A plurality of the flow paths 150 may be divided in the width direction by being in surface contact with the body 110. In this case,

층류생성가이드부(160)는 커버(130)를 몸체(110)에 고정시키는 볼트(133)가 관통하기 위한 관통홀(132)이 형성될 수 있다. 예컨대 커버(130)에는 층류생성가이드부(160) 각각의 중심에 일치하도록 관통홀(132)이 형성될 수 있고, 몸체(110)에는 이러한 관통홀(132) 각각에 일치하도록 체결홀(113)이 각각 형성될 수 있다. 따라서 층류생성가이드부(160)에 형성되는 관통홀(132)을 관통한 볼트(133)가 몸체(110) 측의 체결홀(113)에 나사 체결됨으로써 몸체(110)와 커버(130)가 안정적으로 결합되도록 한다. 또한 층류생성가이드부(160)는 각각의 중심 간의 간격(L; 도 5에 도시)이 45~55 mm, 일례로 50 mm일 수 있다. 층류생성가이드부(160) 각각의 중심 간의 간격(L)이 45 mm 미만인 경우, 라미나 플로우의 형성을 어렵게 하는 문제점을 가지며, 55 mm 초과인 경우, 틈을 유발할 뿐만 아니라 라미 플로우의 형성력의 급격하게 저하시키는 문제점을 가진다.The laminar flow generation guide unit 160 may have a through hole 132 through which the bolt 133 for fixing the cover 130 to the body 110 passes. For example, the cover 130 may be provided with a through-hole 132 so as to coincide with the center of each of the laminar flow generation guide portions 160, and the body 110 may have a fastening hole 113, Respectively. The bolts 133 passing through the through holes 132 formed in the laminar flow generation guide unit 160 are screwed into the fastening holes 113 of the body 110 so that the body 110 and the cover 130 can be stably . Further, the laminar flow generation guide portion 160 may have a distance L (shown in FIG. 5) between the centers thereof of 45 to 55 mm, for example, 50 mm. If the distance L between the centers of the laminar flow generation guide portions 160 is less than 45 mm, it is difficult to form the lamina flow. If the distance L is more than 55 mm, .

유로(150)에 압축공기를 주입하기 위해 주입라인(140)이 마련될 수 있다. 주입라인(140)은 일례로, 외부의 압축공급부로부터 압축공기가 공급되는 메인주입관(141)과, 메인주입관(141)에 연결되고, 메인주입관(141)을 통해 주입되는 압축공기를 다수로 분기되도록 하는 분기관(142)과, 분기관(142) 각각이 연결되어 압축공기를 각각 공급받고, 폭방향을 따라 배치되는 분배관(143)과, 분배관(143)에 길이방향을 따라 간격을 두고서 다수로 마련되고, 분배관(143)으로부터 유로(150)에 압축공기를 공급하는 공급포트(144)를 포함할 수 있다. 유로(150)는 커버(130)의 상단에 폭방향을 따라 간격을 두고서 다수로 형성되는 공급구(151) 각각이 공급포트(144)의 분사구(145)에 연결됨으로써 압축공기를 공급받고, 층류생성가이드부(160)의 하단에 상기의 폭방향으로 연장되는 폭방향유출로(153)가 형성되며, 폭방향유출로(153)로부터 하단까지 연장되는 분사슬릿(152)을 통해서 압축공기가 분사되도록 한다.An injection line 140 may be provided to inject compressed air into the flow path 150. The injection line 140 includes, for example, a main injection pipe 141 to which compressed air is supplied from an external compression supply unit, and a compressed air supply unit 140 connected to the main injection pipe 141, A distribution pipe 143 connected to each of the branch pipes 142 to supply the compressed air to each of the branch pipes 142 and disposed along the width direction; And a supply port 144 which is provided at a plurality of intervals and which supplies compressed air to the flow path 150 from the distribution pipe 143. Each of the supply ports 151 formed at the upper end of the cover 130 at a plurality of intervals in the width direction is connected to the ejection port 145 of the supply port 144 to receive the compressed air, A width direction outflow passage 153 extending in the width direction is formed at the lower end of the generation guide section 160 and compressed air is injected through the injection slit 152 extending from the width direction outflow passage 153 to the lower end, .

유로(150)에서 배출측에 압축공기의 분사방향을 가이드하도록 블레이드(170)가 마련될 수 있다. 블레이드(170)는 예컨대 분사슬릿(152) 내의 일측에 치우치도록 몸체(110)와 커버(130) 사이에 설치될 수 있다.The blade 170 may be provided to guide the direction of injection of the compressed air from the flow path 150 to the discharge side. The blade 170 may be installed between the body 110 and the cover 130 so as to be offset to one side in the jetting slit 152, for example.

이와 같은 본 발명에 따른 에어 나이프에 따르면, 압축공기가 분사시 물방울 모양의 층류생성가이드부에 의해 라미나 플로우(Lamina flow)를 형성하도록 함으로써, LCD 유리기판이나 반도체기판 등의 대상물에 대한 세정 또는 건조 효율을 증대시킬 수 있다.According to the air knife according to the present invention, by forming the laminar flow by the laminar flow generation guide part of the droplet shape when the compressed air is jetted, the air knife can be cleaned or cleaned with respect to the object such as the LCD glass substrate or the semiconductor substrate The drying efficiency can be increased.

이와 같이 본 발명에 대해서 첨부된 도면을 참조하여 설명하였으나, 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위 내에서 다양한 수정 및 변형이 이루어질 수 있음은 물론이다. 그러므로, 본 발명의 범위는 설명된 실시례에 한정되어서는 아니되며, 후술하는 특허청구범위뿐만 아니라 이러한 특허청구범위와 균등한 것들에 의해 정해져야 한다.Although the present invention has been described with reference to the accompanying drawings, it is to be understood that various changes and modifications may be made without departing from the spirit and scope of the present invention. Therefore, the scope of the present invention should not be limited to the described embodiments, but should be determined by the scope of the appended claims and equivalents thereof.

110 : 몸체 111 : 각도지시부
112,113 : 체결홀 120 : 고정부
121 : 연결부재 122 : 볼트결합부
123 : 각도표시부 130 : 커버
131,132 : 관통홀 133 : 볼트
140 : 주입라인 141 : 메인주입관
142 : 분기관 143 : 분배관
144 : 공급포트 145 : 분사구
150 : 유로 151 : 공급구
152 : 분사슬릿 153 : 폭방향유출로
160 : 층류생성가이드부 161 : 예각부
162 : 곡률부 170 : 블레이드
200 : 본체 210 : 프레임
220 : 배드 230 : 흡입부
240 : 고정브라켓110: body 111: angle indicator
112, 113: fastening hole 120:
121: connecting member 122: bolt connecting portion
123: angle display section 130: cover
131, 132: Through hole 133: Bolt
140: injection line 141: main injection tube
142: branch 143: distribution pipe
144: Supply port 145:
150: Euro 151: Supply port
152: injection slit 153: width direction outflow path
160: Laminar flow generation guide unit 161:
162: curvature portion 170: blade
200: main body 210: frame
220: Bad 230: Suction part
240: Fixed bracket

Claims (5)

내부에 압축공기가 통과하도록 마련되는 유로; 및
상기 유로에 마련되고, 압축공기가 분사시 라미나 플로우(Lamina flow)를 형성하도록 하는 다수의 층류생성가이드부;를 포함하고,
상기 층류생성가이드부는,
상기 유로의 폭방향으로 간격을 두고서 다수로 배열되고, 양단에 곡률부와 예각부가 각각 형성되는 물방울 형상을 가지되, 상기 곡률부가 압축공기의 유입측에 위치함과 아울러 상기 예각부가 압축공기의 배출측에 위치하도록 배치되는, 에어 나이프.An oil passage through which compressed air passes; And
And a plurality of laminar flow generation guide portions provided in the flow passage, the compressed laminar flow guide portions forming a laminar flow when the compressed air is injected,
The laminar flow generation guide unit
Wherein the curved portion is located on the inflow side of the compressed air, and the acute angle portion is formed by a curved portion and an acute angle portion formed at both ends of the curved portion, And the air knife is arranged to be positioned on the side of the air knife. 청구항 1에 있어서,
몸체; 및
상기 몸체에 착탈 가능하게 고정되고, 상기 몸체와의 사이에 상기 유로를 형성하는 커버;를 더 포함하고,
상기 층류생성가이드부는,
상기 몸체와 상기 커버 중 어느 하나에 돌출되도록 형성되고, 다른 하나에 면접촉되는, 에어 나이프.The method according to claim 1,
Body; And
And a cover detachably fixed to the body and forming the flow path between the body and the body,
The laminar flow generation guide unit
Wherein the air knife is formed to protrude from one of the body and the cover, and is in surface contact with the other. 청구항 2에 있어서,
상기 층류생성가이드부는,
상기 커버를 상기 몸체에 고정시키는 볼트가 관통하기 위한 관통홀이 형성되고, 각각의 중심 간의 간격이 45~55 mm인, 에어 나이프.The method of claim 2,
The laminar flow generation guide unit
Wherein a through hole is formed through which the bolt for fixing the cover to the body passes, and the distance between the center of each of the through holes is 45 to 55 mm. 청구항 1 내지 청구항 3 중 어느 한 항에 있어서,
상기 몸체를 정해진 위치에 고정시키도록 상기 몸체의 양단에 마련되고, 상기 몸체가 상기 폭방향을 축으로 하여 회전 가능하도록 결합되는 고정부를 더 포함하고,
상기 몸체는,
일단 또는 양단에 함께 회전하도록 각도지시부가 마련되고,
상기 고정부는,
상기 각도지시부의 회전량을 측정하기 위한 눈금을 가지는 각도표시부가 마련되는, 에어 나이프.The method according to any one of claims 1 to 3,
And a fixing unit provided at both ends of the body for fixing the body to a predetermined position and the body being rotatably coupled about the width direction,
The body,
An angle indicating portion is provided so as to rotate together at one end or both ends,
The fixing unit includes:
And an angle display unit having a scale for measuring a rotation amount of the angle indication unit is provided. 청구항 1 내지 청구항 3 중 어느 한 항에 있어서,
상기 유로에 압축공기를 주입하는 주입라인; 및
상기 유로에서 배출측에 압축공기의 분사방향을 가이드하도록 마련되는 블레이드;를 더 포함하고,
상기 주입라인은,
외부의 압축공급부로부터 압축공기가 공급되는 메인주입관;
상기 메인주입관에 연결되고, 상기 메인주입관을 통해 주입되는 압축공기를 다수로 분기되도록 하는 분기관;
상기 분기관 각각이 연결되어 압축공기를 각각 공급받고, 상기 폭방향을 따라 배치되는 분배관; 및
상기 분배관에 길이방향을 따라 간격을 두고서 다수로 마련되고, 상기 분배관으로부터 상기 유로에 압축공기를 공급하는 공급포트;를 포함하고,
상기 유로는,
상기 커버의 상단에 상기 폭방향을 따라 간격을 두고서 형성되는 공급구 각각이 상기 공급포트에 연결됨으로써 압축공기를 공급받고, 상기 층류생성가이드부의 하단에 상기 폭방향으로 연장되는 폭방향유출로가 형성되며, 상기 폭방향유출로부터 하단까지 연장되는 분사슬릿을 통해서 압축공기가 분사되도록 하는, 에어 나이프.The method according to any one of claims 1 to 3,
An injection line for injecting compressed air into the flow path; And
Further comprising: a blade provided to guide the jetting direction of compressed air from the flow path to the discharge side,
The injection line,
A main injection pipe to which compressed air is supplied from an external compression supply portion;
A branch pipe connected to the main injection pipe for branching a plurality of compressed air injected through the main injection pipe;
A distribution pipe connected to each branch pipe and supplied with compressed air, and disposed along the width direction; And
And a supply port provided in the distribution pipe at a plurality of intervals in the longitudinal direction and supplying compressed air to the flow path from the distribution pipe,
The flow path includes:
Wherein each of the supply ports formed at the upper end of the cover at a distance along the width direction is connected to the supply port to receive compressed air and a widthwise outflow path extending in the width direction is formed at the lower end of the laminar flow generation guide portion So that compressed air is ejected through the ejection slit extending from the widthwise outflow to the bottom.
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KR20190083800A (en) * 2018-01-05 2019-07-15 주식회사 이오테크닉스 Laser processing system and air knife unit

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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR200305052Y1 (en) * 2002-12-03 2003-02-19 (주)케이.씨.텍 Slit Type Device Nozzle for Jetting Fluid

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20190083800A (en) * 2018-01-05 2019-07-15 주식회사 이오테크닉스 Laser processing system and air knife unit
CN109622555A (en) * 2018-12-06 2019-04-16 中国工程物理研究院激光聚变研究中心 A kind of dynamic cleaning maintenance system and method for high power-terminal optical system
CN109622555B (en) * 2018-12-06 2021-09-07 中国工程物理研究院激光聚变研究中心 Dynamic cleanness maintaining system and method for high-power terminal optical system

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