KR20170104787A - 차지 펌프 회로 및 이를 포함하는 내부 전압 생성 회로 - Google Patents

차지 펌프 회로 및 이를 포함하는 내부 전압 생성 회로 Download PDF

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Abstract

본 발명의 일 실시예에 따른 차지 펌프 회로는, 출력 전압이 목표 전압에 도달할 때까지 전하 펌핑 동작을 수행하는 차지 펌핑부; 및 상기 차지 펌핑부와 부하 회로 사이에 병렬 연결된 제 1 내지 제 N 캐패시터를 포함하여, 상기 전하 펌핑 동작 이후에 상기 제 1 내지 제 N 캐패시터와 상기 부하 회로 사이의 제 1 내지 제 N 전하 공유 동작을 순차적으로 수행하되, 상기 제 1 내지 제 N 전하 공유 동작을 상호 배타적으로 수행하는 다단 전하 공유부를 포함할 수 있다.

Description

차지 펌프 회로 및 이를 포함하는 내부 전압 생성 회로 {CHARGE PUMP CIRCUIT AND INTERNAL VOLTAGE GENERATION CIRCUIT INCLUDING THE SAME}
본 특허문헌은 반도체 설계 기술에 관한 것으로, 구체적으로는 반도체 메모리 장치의 차지 펌프 회로 및 이를 포함한 내부 전압 생성 회로에 관한 것이다.
반도체 메모리 장치는 외부 전원으로 다양한 레벨의 전압을 갖는 내부 전원들을 생성하고, 내부 전원은 그 목적에 따라 반도체 메모리 장치의 내부 동작에 이용된다.
외부 전원으로 내부 전원을 생성하는 방식은 크게 두 가지로 구분된다. 그 중 하나는 외부 전원을 낮은 전위로 다운 컨버팅(down converting)하여 외부 전원의 전위보다 낮은 내부 전원을 생성하는 방식이고, 다른 하나는 외부 전원을 차지 펌핑(charge pump)하여 외부 전원의 전위보다 높거나 혹은 접지 전위보다 낮은 내부 전원을 생성하는 방식이다.
차지 펌핑에 의하여 생성된 내부 전원 중 가장 보편적으로 사용되는 것은 고전압(VPP)과 백 바이어스 전압(VBB)이다. 고전압(VPP)은 메모리 셀을 억세스하기 위해 셀 트랜지스터의 게이트(또는 워드 라인(word line))에 셀 데이터의 손실이 없도록 외부 전압인 전원 전압(VCC) 보다 높은 전위를 갖도록 생성된다. 백 바이어스 전압(VBB)는 메모리 셀에 저장되어 있는 데이터의 손실을 막기 위해 셀 트랜지스터의 벌크에 외부 전압인 접지 전압(VSS)보다 낮은 전위를 가지도록 생성된다.
도 1 은 일반적인 차지 펌프 회로(10)를 도시한 도면이다.
도 1 을 참조하면, 차지 펌프 회로(10)는 차지 펌핑부(12), 출력 캐패시터(C0) 및 스위치(SW)를 포함한다.
차지 펌핑부(12)는 입력 전압을 부하 회로(20)가 필요로 하는 만큼 부스팅된 출력 전압(VPASSPMP)으로 펌핑한다. 차지 펌핑부(12)는, 서로 상반된 위상을 갖는 제 1 클럭(CLK1) 및 제 2 클럭(CLK2)에 따라 온/오프되는 복수 개의 스위치(미도시)를 내부에 구비하여 특정 노드의 전하를 출력 캐패시터(C0)에 충전하거나 방전시키고, 이를 통해 출력단(OUT_ND)에서 부스팅된 출력 전압(VPASSPMP)을 얻을 수 있다.
즉, 차지 펌프 회로(10)는 입력 전압을 부스팅하여 높은 전압 레벨의 출력 전압(VPASSPMP)을 만들어 내며, 이렇게 부스팅된 출력 전압(VPASSPMP)을 일정 수준으로 유지하기 위해 출력 캐패시터(C0)를 사용하게 된다. 차지 펌프 회로(10)의 출력단(OUT_ND)에 연결된 부하 회로(20)는 차지 펌프 회로(10)로부터 전압과 전류를 공급받을 수 있다.
상술한 차지 펌프 회로(10)의 동작을 설명하면, 초기에 스위치(SW)를 오픈 시키고, 전하 펌핑 동작을 수행하여 부스팅된 출력 전압(VPASSPMP)을 출력 캐패시터(C0)에 충전한다. 이 후, 출력 전압(VPASSPMP)이 목표 전압에 도달하면, 스위치(SW)를 닫아, 차지 펌프 회로(10)의 출력 전압(VPASSPMP)을 부하 회로(20)의 입력단(INIT_ND)으로 공급할 수 있다. 이 때, 차지 펌프 회로(10)의 출력 전압(VPASSPMP)이 부하 회로(20)의 입력단(INIT_ND)으로 공급될 때, 전하 공유(charge sharing) 동작이 발생하게 된다. 전하 공유(charge sharing) 동작 중에 차지 펌프 회로의 출력단(OUT_ND)과 부하 회로(20)의 입력단(INIT_ND), 양단의 캐패시턴스가 동일한 시점에서 차지 펌프 회로(10)에서 부하 회로(20)로 출력 전압의 중간 레벨을 가지는 전압이 제공될 수 있다.
상술한 차지 펌프 회로(10)에서, 출력 캐패시터(C0)의 캐패시턴스(즉, 사이즈)는 차지 펌프 회로(10)의 전압/전류 공급 능력과 부하 회로(20)에서 필요로 하는 전류량, 전압 안정도 (ripple) 등을 고려하여 결정하게 된다.
즉, 출력 캐패시터(C0)의 캐패시턴스가 크면, 펌핑 동작에 따른 전압 리플이 작게 되고, 부하 회로(20)가 순간적으로 전류를 쓰게 되어도 전압을 유지하는 특성도 함께 좋아진다. 그러나, 이를 유지하기 위해 초기 많은 양의 전하가 필요하게 되고, 차지 펌프 회로(10) 입장에서는 이 출력 캐패시터(C0) 또한 부하로 보이기 때문에 출력단(OUT_ND)의 전압이 떨어졌을 때 회복하는데 더 많은 시간이 필요하게 된다. 반면, 출력 캐패시터(C0)의 캐패시턴스가 작으면, 출력단(OUT_ND)의 전압이 떨어졌을 때 단 시간 내에 회복이 가능하지만, 펌핑 동작에 따른 전압 리플이 크게 되고 순간적인 전류 소모에 따른 전압 변동이 커지게 된다.
따라서, 차지 펌프 회로(10)의 출력 캐패시터(C0)의 캐패시턴스를 결정하는 데 어려움이 있었다.
본 발명의 실시예가 해결하고자 하는 기술적 과제는 전하 공유 동작을 적어도 두 번 이상 수행하여 출력 전압의 전달 효율을 향상시킬 수 있는 차지 펌프 회로 및 이를 포함하는 내부 전압 생성 회로를 제공하는 데 있다.
본 발명의 일 실시예에 따르면, 차지 펌프 회로는, 출력 전압이 목표 전압에 도달할 때까지 전하 펌핑 동작을 수행하는 차지 펌핑부; 및 상기 차지 펌핑부와 부하 회로 사이에 병렬 연결된 제 1 내지 제 N 캐패시터를 포함하여, 상기 전하 펌핑 동작 이후에 상기 제 1 내지 제 N 캐패시터와 상기 부하 회로 사이의 제 1 내지 제 N 전하 공유 동작을 순차적으로 수행하되, 상기 제 1 내지 제 N 전하 공유 동작을 상호 배타적으로 수행하는 다단 전하 공유부를 포함할 수 있다.
본 발명의 다른 실시예에 따르면, 내부 전압 생성 회로는, 기준 전압과 내부 전압을 비교하여 감지 신호를 생성하는 감지부; 상기 감지 신호에 응답하여 주기 신호를 생성하는 오실레이터; 및 출력단과 내부 회로 사이에 병렬 연결된 제 1 내지 제 N 캐패시터를 포함하여, 상기 주기 신호에 응답하여 상기 내부 전압이 목표 전압에 도달할 때까지 전하 펌핑 동작을 수행한 후에 상기 제 1 내지 제 N 캐패시터와 상기 내부 회로 사이의 제 1 내지 제 N 전하 공유 동작을 순차적으로 수행하되, 상기 제 1 내지 제 N 전하 공유 동작을 상호 배타적으로 수행하여 상기 내부 회로에 상기 내부 전압을 제공하는 차지 펌프 회로를 포함할 수 있다.
본 발명의 다른 실시예에 따르면, 차지 펌프 방법은, 출력단과 부하 회로 사이에 병렬 연결된 제 1 내지 제 N 캐패시터를 포함하는 전하 펌핑 회로에 있어서, 출력 전압이 목표 전압에 도달할 때까지 전하 펌핑 동작을 수행하는 단계; 및 상기 제 1 내지 제 N 캐패시터와 상기 부하 회로 사이의 제 1 내지 제 N 전하 공유 동작을 순차적으로 수행하되, 상기 제 1 내지 제 N 전하 공유 동작을 상호 배타적으로 수행하는 단계를 포함할 수 있다.
제안된 실시예에 따른 차지 펌프 회로는, 전하 공유 동작을 여러 번에 걸쳐 수행함으로써 부하 회로로 전달되는 출력 전압의 전달 효율을 향상시킬 수 있다는 효과가 있다.
또한, 제안된 실시예에 따른 차지 펌프 회로는, 출력단에서 보이는 전압 하락폭을 작게 할 수 있어 항복 전압(break-down voltage) 보호 특성을 향상시킬 수 있다는 효과가 있다.
또한, 제안된 실시예에 따른 차지 펌프 회로는, 부하 회로와 연결된 이후에 출력 캐패시턴스가 작아지므로 부하 회로의 목표 전압에 빠르게 도달할 수 있어 동작 속도를 개선할 수 있다는 효과가 있다.
도 1 은 일반적인 차지 펌프 회로(10)를 도시한 도면이다.
도 2 는 본 발명의 일 실시예에 따른 차지 펌프 회로(100)의 회로도 이다.
도 3a 내지 도 3c 는 도 2 의 차지 펌프 회로(100)의 동작을 설명하기 위한 회로도 이다.
도 4 는 도 2 의 차지 펌프 회로(100)의 동작을 설명하기 위한 타이밍도 이다.
도 5 는 본 발명의 다른 실시예에 따른 차지 펌프 회로(200)의 회로도 이다.
도 6 은 도 5 의 차지 펌프 회로(200)의 동작을 설명하기 위한 표 이다.
도 7 은 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 차지 펌프 회로(300)의 회로도 이다.
도 8 은 도 7 의 차지 펌프 회로(300)의 동작을 설명하기 위한 표 이다.
도 9 는 본 발명의 일 실시예에 따른 차지 펌프 회로를 포함하는 내부 전압 생성 회로(400)의 블록도 이다.
이하, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자가 본 발명의 기술적 사상을 용이하게 실시할 수 있도록 상세히 설명하기 위하여, 본 발명의 가장 바람직한 실시예들을 첨부 도면을 참조하여 설명하고자 한다.
도 2 는 본 발명의 일 실시예에 따른 차지 펌프 회로(100)의 회로도 이다.
도 2 를 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 차지 펌프 회로(100)는, 차지 펌핑부(120) 및 다단 전하 공유부(130)를 포함할 수 있다.
차지 펌핑부(120)는, 출력 전압(VPASSPMP)이 목표 전압에 도달할 때까지 전하 펌핑 동작을 수행할 수 있다. 차지 펌핑부(120)는, 서로 상반된 위상을 갖는 제 1 클럭(CLK1) 및 제 2 클럭(CLK2)에 따라 온/오프되는 복수 개의 스위치(미도시)를 내부에 구비하여 특정 노드의 전하를 다단 전하 공유부(130)에 구비된 제 1 및 제 2 캐패시터(C1, C2)에 충전하거나 방전시키고, 이를 통해 출력단(OUT_ND)에서 부스팅된 출력 전압(VPASSPMP)을 얻을 수 있다.
다단 전하 공유부(130)는, 차지 펌핑부(120)와 부하 회로(150) 사이에 병렬 연결된 제 1 및 제 2 캐패시터(C1, C2)를 포함하여, 전하 펌핑 동작 이후에 제 1 및 제 2 캐패시터(C1, C2)와 부하 회로(150) 사이의 제 1 및 제 2 전하 공유 동작을 순차적으로 수행하되, 상기 제 1 및 제 2 전하 공유 동작을 상호 배타적으로 수행할 수 있다.
보다 상세하게, 다단 전하 공유부(130)는, 차지 펌핑부(120)의 출력단(OUT_ND)과 부하 회로(150)의 입력단(INIT_ND) 사이에 직렬 연결된 제 1 및 제 2 스위치(SW1, SW2)와, 제 1 스위치(SW1)와 제 2 스위치(SW2)의 공통 노드(COM_ND)에 일단이 연결된 제 3 스위치(SW3)와, 제 3 스위치(SW3)의 타단과 접지 전압단(VSS) 사이에 연결된 제 1 캐패시터(C1) 및 차지 펌핑부(120)의 출력단(OUT_ND)과 접지 전압단(VSS) 사이에 연결된 제 2 캐패시터(C2)를 포함할 수 있다. 이 때, 제 1 스위치(SW1) 및 제 2 스위치(SW2)는, 전하 펌핑 동작 및 제 1 전하 공유 동작 시에 순차적으로 턴 오프 될 수 있다. 또한, 제 3 스위치(SW3)는, 제 1 전하 공유 동작 후 제 2 전하 공유 동작 시에 턴 오프 될 수 있다.
본 발명의 실시예에서, 제 1 및 제 2 캐패시터(C1, C2)의 토탈 캐패시턴스는 도 1 의 출력 캐패시터(C0)의 캐패시턴스와 동일할 수 있다.
상기와 같은 구성을 가지는 본 발명의 실시예에 따른 차지 펌프 회로(100)는, 기존의 출력 캐패시터(C0)의 캐패시턴스와 동일한 캐패시턴스를 가지는 캐패시터들을 출력단(OUT_ND)에서 적어도 두 개 이상 병렬 연결하도록 구성한다. 그리고, 출력 전압(VPASSPMP)이 목표 전압에 도달할 때까지 전하 펌핑 동작을 수행하여 각 캐패시터들에 출력 전압(VPASSPMP)을 충전한 후에, 각 캐패시터들과 부하 회로(150) 사이의 전하 공유 동작을 순차적이고 상호 배타적으로 수행한다. 즉, 전하 공유 동작을 두 번 이상 다단(MULTI-STAGE)으로 수행하여, 부하 회로(150)의 입력단(INIT_ND)의 전압이 상승한 상태에서 다시 전하 공유 동작을 수행할 수 있다. 따라서, 부하 회로(150)의 입력단(INIT_ND)이 빠르게 목표 전압에 도달할 수 있다.
또한, 순차적으로 전하 공유 동작이 수행됨으로써 차지 펌프 회로(100)의 출력단(OUT_ND)에서 보이는 전압 하락폭이 줄어들고, 이에 따라 항복 전압(break-down voltage) 보호 특성을 향상시킬 수 있고, 부하 회로(150)와 연결된 이후에 출력 캐패시턴스가 작아지므로 부하 회로(150)의 목표 전압에 빠르게 도달할 수 있어 동작 속도를 개선할 수 있다.
이하, 도면을 참조하여 도 2 의 차지 펌프 회로(100)의 동작을 설명하면 다음과 같다.
도 3a 내지 도 3c 는 도 2 의 차지 펌프 회로(100)의 동작을 설명하기 위한 회로도 이다. 도 4 는 도 2 의 차지 펌프 회로(100)의 동작을 설명하기 위한 타이밍도 이다. 설명의 편의를 위해, 제 1 캐패시터(C1)는 제 2 캐패시터(C2)와 동일 캐패시턴스(예를 들어, 각각 1 uF)를 가지며, 또한, 제 1 및 제 2 캐패시터(C1, C2)의 토탈 캐패시턴스(즉, 2 uF)는 부하 회로(150)의 로드 캐패시터(CL)의 캐패시턴스(즉, 2 uF)와 동일한 것으로 가정한다.
도 3a 및 도 4 를 참조하면, 우선, 전하 펌핑 동작이 수행된다. 전하 펌핑 동작 시에, 제 1 스위치(SW1)는 턴 오프 되고, 제 2 스위치(SW2) 및 제 3 스위치(SW3)는 턴 온 된다. 따라서, 차지 펌프 회로(100)는 부스팅된 출력 전압(VPASSPMP)을 제 1 및 제 2 캐패시터(C1, C2)에 충전시킬 수 있다. 이 때, 출력 전압(VPASSPMP)이 10V 라면, 제 1 캐패시터(C1)와 제 2 캐패시터(C2)는 동일한 캐패시턴스를 가지므로, 각각 10u의 전하가 충전될 수 있다. (즉, Q1=Q2=10u, QL=0)
또한, 본 발명의 실시예에 따른 제 1 및 제 2 캐패시터(C1, C2)의 토탈 캐패시턴스는 종래의 기술에 따른 도 1 의 출력 캐패시터(C0)의 캐패시턴스와 동일한 값을 가지므로, 종래의 기술에 따른 차지 펌프 회로(10)의 출력단(OUT_ND)에서 출력되는 출력 전압(VPASSPMP)과 본 발명의 실시예에 따른 차지 펌프 회로(100)의 출력단(OUT_ND)에서 출력되는 출력 전압(VPASSPMP)은 실질적으로 동일한 값을 가질 수 있다.
도 3b 및 도 4 를 참조하면, 제 1 전하 공유 동작이 수행된다. 제 1 전하 공유 동작 시에, 제 2 스위치(SW2)는 턴 오프 되고, 제 1 스위치(SW1) 및 제 3 스위치(SW3)는 턴 온 된다. 따라서, 제 1 캐패시터(C1)에 충전된 출력 전압(VPASSPMP)이 부하 회로(150)에 전달될 수 있다. 이 때, 제 1 캐패시터(C1)의 캐패시턴스와 로드 캐패시터(CL)의 캐패시턴스의 비가 1:2이므로, 전하량 보존 법칙이 적용되어 제 1 캐패시터(C1)와 로드 캐패시터(CL)에는 각각 3.3u와 6.6 u의 전하가 충전될 수 있다. (즉, Q1=3.33u, Q2=10u, QL=6.66u) 결과적으로, 부하 회로(150)의 입력단(INIT_ND)로 3.3V의 전압이 전달된다.
도 3c 및 도 4 를 참조하면, 제 2 전하 공유 동작이 수행된다. 제 2 전하 공유 동작 시에, 제 3 스위치(SW3)는 턴 오프 되고, 제 1 스위치(SW1) 및 제 2 스위치(SW2)는 턴 온 된다. 따라서, 제 2 캐패시터(C2)에 충전된 출력 전압(VPASSPMP)이 부하 회로(150)에 전달될 수 있다. 이 때, 제 2 캐패시터(C2)의 캐패시턴스와 로드 캐패시터(CL)의 캐패시턴스의 비가 1:2이므로, 전하량 보존 법칙이 적용되어 제 2 캐패시터(C2)와 로드 캐패시터(CL)에는 각각 5.56u와 11.1 u의 전하가 충전될 수 있다. (즉, Q1=3.33u, Q2=5.56u, QL=11.1u) 결과적으로, 부하 회로(150)의 입력단(INIT_ND)로 5.56V의 전압이 전달된다. 즉, 동일 조건에서, 종래의 기술에 따른 차지 펌프 회로(10)에서 부하 회로(20)로 전달되는 출력 전압(VPASSPMP)의 전달 효율은 50%인 반면, 본 발명의 실시예에 따른 차지 펌프 회로(100)에서 부하 회로(150)로 전달되는 출력 전압(VPASSPMP)의 전달 효율은 55.6%가 되어 향상된 전달 효율을 가질 수 있다.
상기에서는, 2단 전하 공유 동작을 설명하였으나 본 발명의 실시예는 이에 한정되지 않고 N 단 전하 공유 동작을 수행하여 전압 전달 효율을 향상 시킬 수 있다. 이하에서는, N 개의 캐패시터를 이용하여 N 단 전하 공유 동작을 수행할 수 있는 실시예에 대해 설명한다.
도 5 는 본 발명의 다른 실시예에 따른 차지 펌프 회로(200)의 회로도 이다.
도 5 를 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 차지 펌프 회로(200)는, 차지 펌핑부(220) 및 다단 전하 공유부(230)를 포함할 수 있다.
차지 펌핑부(220)는, 출력 전압(VPASSPMP)이 목표 전압에 도달할 때까지 전하 펌핑 동작을 수행할 수 있다. 차지 펌핑부(220)는, 서로 상반된 위상을 갖는 제 1 클럭(CLK1) 및 제 2 클럭(CLK2)에 따라 온/오프되는 복수 개의 스위치(미도시)를 내부에 구비하여 특정 노드의 전하를 다단 전하 공유부(230)에 구비된 제 1 내지 제 N 캐패시터(C1~CN)에 충전하거나 방전시키고, 이를 통해 출력단(OUT_ND)에서 부스팅된 출력 전압(VPASSPMP)을 얻을 수 있다.
다단 전하 공유부(230)는, 차지 펌핑부(220)와 부하 회로(250) 사이에 병렬 연결된 제 1 내지 제 N 캐패시터(C1~CN)를 포함하여, 전하 펌핑 동작 이후에 제 1 내지 제 N 캐패시터(C1~CN)와 부하 회로(250) 사이의 제 1 내지 제 N 전하 공유 동작을 순차적으로 수행하되, 상기 제 1 내지 제 N 전하 공유 동작을 상호 배타적으로 수행할 수 있다.
보다 상세하게, 다단 전하 공유부(230)는, 차지 펌핑부(220)의 출력단(OUT_ND)과 부하 회로(250)의 입력단(INIT_ND) 사이에 직렬 연결된 N 개의 스위치들(SWA_1~SWA_N)을 포함하는 제 1 스위치 그룹(SW_GRP1)과, 제 1 스위치 그룹(SW_GRP1)의 N 개의 스위치들(SWA_1~SWA_N)의 공통 노드(CND_1~CND_N-1)에 일단이 연결된 (N-1) 개의 스위치들(SWB_1~SWB_N-1)을 포함하는 제 2 스위치 그룹(SW_GRP2)과, 제 2 스위치 그룹(SW_GRP2)의 (N-1) 개의 스위치들(SWB_1~SWB_N-1)의 타단과 접지 전압단(VSS) 사이에 각각 연결된 제 1 내지 제 (N-1) 캐패시터(C1~CN-1) 및 차지 펌핑부(220)의 출력단(OUT_ND)과 접지 전압단(VSS) 사이에 연결된 제 N 캐패시터(CN)를 포함할 수 있다. 이 때, 제 1 스위치 그룹(SW_GRP1)의 N 개의 스위치들(SWA_1~SWA_N)은, 전하 펌핑 동작과 제 1 내지 제 (N-1) 전하 공유 동작 시에 순차적으로 턴 오프 될 수 있다. 또한, 제 2 스위치 그룹(SW_GRP2)의 (N-1) 개의 스위치들(SWB_1~SWB_N-1)은, 제 1 내지 제 (N-1) 전하 공유 동작 중 해당 전하 공유 동작 후에 턴 오프 될 수 있다.
본 발명의 실시예에서, 제 1 내지 제 N 캐패시터(C1~CN)의 토탈 캐패시턴스는 도 1 의 출력 캐패시터(C0)의 캐패시턴스와 동일할 수 있다.
도 6 은 도 5 의 차지 펌프 회로(200)의 동작을 설명하기 위한 표 이다.
도 6 을 참조하면, 우선, 전하 펌핑 동작이 수행된다. 전하 펌핑 동작 시에, 제 1 스위치 그룹(SW_GRP1)의 스위치(SWA_1)는 턴 오프 되고, 제 1 스위치 그룹(SW_GRP1)의 나머지 스위치들(SWA_2~SWA_N)은 턴 온 된다. 또한, 제 2 스위치 그룹(SW_GRP2)의 (N-1) 개의 스위치들(SWB_1~SWB_N-1)도 턴 온 된다. 따라서, 차지 펌프 회로(200)는 부스팅된 출력 전압(VPASSPMP)을 제 1 내지 제 N 캐패시터(C1~CN)에 충전시킬 수 있다.
다음으로, 제 1 전하 공유 동작이 수행된다. 제 1 전하 공유 동작 시에, 제 1 스위치 그룹(SW_GRP1)의 스위치(SWA_2)는 턴 오프 되고, 제 1 스위치 그룹(SW_GRP1)의 나머지 스위치들(SWA_1,SWA_3~SWA_N)은 턴 온 된다. 또한, 제 2 스위치 그룹(SW_GRP2)의 (N-1) 개의 스위치들(SWB_1~SWB_N-1)도 턴 온 된다. 따라서, 제 1 캐패시터(C1)에 충전된 출력 전압(VPASSPMP)이 부하 회로(250)에 전달될 수 있다.
다음으로, 제 2 전하 공유 동작이 수행된다. 제 2 전하 공유 동작 시에, 제 1 스위치 그룹(SW_GRP1)의 스위치(SWA_3)는 턴 오프 되고, 제 1 스위치 그룹(SW_GRP1)의 나머지 스위치들(SWA_1,SWA_2, SWA_4~SWA_N)은 턴 온 된다. 또한, 제 2 스위치 그룹(SW_GRP2)의 스위치(SWB_1)는 턴 오프 되고, 제 2 스위치 그룹(SW_GRP2)의 나머지 스위치들(SWB_2~SWB_N-1)은 턴 온 된다. 따라서, 제 2 캐패시터(C2)에 충전된 출력 전압(VPASSPMP)이 부하 회로(250)에 전달될 수 있다.
다음으로, 제 3 전하 공유 동작이 수행된다. 제 3 전하 공유 동작 시에, 제 1 스위치 그룹(SW_GRP1)의 스위치(SWA_4)는 턴 오프 되고, 제 1 스위치 그룹(SW_GRP1)의 나머지 스위치들(SWA_1~SWA_3, SWA_5~SWA_N)은 턴 온 된다. 또한, 제 2 스위치 그룹(SW_GRP2)의 스위치들(SWB_1, SWB_2)은 턴 오프 되고, 제 2 스위치 그룹(SW_GRP2)의 나머지 스위치들(SWB_3~SWB_N-1)은 턴 온 된다. 따라서, 제 3 캐패시터(C3)에 충전된 출력 전압(VPASSPMP)이 부하 회로(250)에 전달될 수 있다.
상기와 같은 방식으로, 제 4 내지 제 N 전하 공유 동작이 순차적으로 수행된다. 즉, 제 1 스위치 그룹(SW_GRP1)의 N 개의 스위치들(SWA_1~SWA_N)은, 전하 펌핑 동작 및 제 1 내지 제 (N-1) 전하 공유 동작 시에 순차적으로 턴 오프 되고, 제 2 스위치 그룹(SW_GRP2)의 (N-1) 개의 스위치들은, 제 1 내지 제 (N-1) 전하 공유 동작 중 해당 전하 공유 동작 후에 턴 오프 될 수 있다.
상기의 제 1 내지 제 N 전하 공유 동작이 순차적으로 수행된 후에, 동일 조건에서, 종래의 기술에 따른 차지 펌프 회로(10)에서 부하 회로(20)로 전달되는 출력 전압(VPASSPMP)의 전달 효율에 비해, 본 발명의 실시예에 따른 차지 펌프 회로(200)에서 부하 회로(250)로 전달되는 출력 전압(VPASSPMP)의 전달 효율이 향상될 수 있다. 예를 들어, N=10 인 경우, 제 1 내지 제 N 캐패시터(C1~CN)의 토탈 캐패시턴스가 부하 회로(250)의 로드 캐패시터의 캐패시턴스와 동일한 것으로 가정하면, 제 1 내지 제 10 전하 공유 동작이 순차적으로 수행된 후에 차지 펌프 회로(200)에서 부하 회로(250)로 전달되는 출력 전압(VPASSPMP)의 전달 효율은 62.5%가 될 수 있다. 다른 실시예에서, 제 1 내지 제 N 캐패시터(C1~CN)의 각 캐패시턴스를 조절하여 차지 펌프 회로(200)에서 부하 회로(250)로 전달되는 출력 전압(VPASSPMP)의 전달 효율을 다르게 설정할 수 있다.
도 7 은 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 차지 펌프 회로(300)의 회로도 이다.
도 7 을 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 차지 펌프 회로(300)는, 차지 펌핑부(320) 및 다단 전하 공유부(330)를 포함할 수 있다.
차지 펌핑부(320)는, 출력 전압(VPASSPMP)이 목표 전압에 도달할 때까지 전하 펌핑 동작을 수행할 수 있다. 차지 펌핑부(320)는, 서로 상반된 위상을 갖는 제 1 클럭(CLK1) 및 제 2 클럭(CLK2)에 따라 온/오프되는 복수 개의 스위치(미도시)를 내부에 구비하여 특정 노드의 전하를 다단 전하 공유부(330)에 구비된 제 1 내지 제 N 캐패시터(C1~CN)에 충전하거나 방전시키고, 이를 통해 출력단(OUT_ND)에서 부스팅된 출력 전압(VPASSPMP)을 얻을 수 있다.
다단 전하 공유부(330)는, 차지 펌핑부(320)와 부하 회로(350) 사이에 병렬 연결된 제 1 내지 제 N 캐패시터(C1~CN)를 포함하여, 전하 펌핑 동작 이후에 제 1 내지 제 N 캐패시터(C1~CN)와 부하 회로(350) 사이의 제 1 내지 제 N 전하 공유 동작을 순차적으로 수행하되, 상기 제 1 내지 제 N 전하 공유 동작을 상호 배타적으로 수행할 수 있다.
보다 상세하게, 다단 전하 공유부(330)는, 차지 펌핑부(320)의 출력단(OUT_ND)에 일단이 각각 연결된 N 개의 스위치들(SWA_1~SWA_N)을 포함하는 제 1 스위치 그룹(SW_GRP1)과, 제 1 스위치 그룹(SW_GRP1)의 N 개의 스위치들(SWA_1~SWA_N)의 타단(즉, 공통 노드(CN_1~CN_N))과 부하 회로(350)의 입력단(INIT_ND) 사이에 연결된 N 개의 스위치들(SWB_1~SWB_N)을 포함하는 제 2 스위치 그룹(SW_GRP2)과, 제 1 스위치 그룹(SW_GRP1)의 N 개의 스위치들(SWA_1~SWA_N)과 제 2 스위치 그룹(SW_GRP2)의 N 개의 스위치들(SWB_1~SWB_N)의 공통 노드(CN_1~CN_N)와 접지 전압단(VSS) 사이에 각각 연결된 제 1 내지 제 N 캐패시터(C1~CN)를 포함할 수 있다. 이 때, 제 1 스위치 그룹(SW_GRP1)의 N 개의 스위치들(SWA_1~SWA_N)은, 전하 펌핑 동작 시에 모두 턴 온 되고, 제 1 내지 제 N 전하 공유 동작 시에 순차적으로 턴 오프 될 수 있다. 일 실시예에서, 제 N 전하 공유 동작 시에, 제 1 스위치 그룹(SW_GRP1)의 스위치(SWA_N)는 턴 오프 되지 않고 턴 온 상태를 유지할 수 있다. 또한, 제 2 스위치 그룹(SW_GRP2)의 N 개의 스위치들(SWB_1~SWB_N)은, 전하 펌핑 동작 시에 모두 턴 오프 되고, 상기 제 1 내지 제 N 전하 공유 동작 시에 순차적으로 턴 온 될 수 있다.
본 발명의 실시예에서, 제 1 내지 제 N 캐패시터(C1~CN)의 토탈 캐패시턴스는 도 1 의 출력 캐패시터(C0)의 캐패시턴스와 동일할 수 있다.
도 8 은 도 7 의 차지 펌프 회로(300)의 동작을 설명하기 위한 표 이다.
도 8 을 참조하면, 우선, 전하 펌핑 동작이 수행된다. 전하 펌핑 동작 시에, 제 1 스위치 그룹(SW_GRP1)의 N 개의 스위치들(SWA_1~SWA_N)은 모두 턴 온 되고, 제 2 스위치 그룹(SW_GRP2)의 N 개의 스위치들(SWB_1~SWB_N)은 모두 턴 오프 된다. 따라서, 차지 펌프 회로(300)는 부스팅된 출력 전압(VPASSPMP)을 제 1 내지 제 N 캐패시터(C1~CN)에 충전시킬 수 있다.
다음으로, 제 1 내지 제 N 전하 공유 동작이 순차적으로 수행된다. 각 전하 공유 동작 시에, 제 1 스위치 그룹(SW_GRP1)의 N 개의 스위치들(SWA_1~SWA_N) 중 해당 스위치는 순차적으로 턴 오프 되고, 제 2 스위치 그룹(SW_GRP2)의 N 개의 스위치들(SWB_1~SWB_N) 중 해당 스위치는 순차적으로 턴 온 된다. 따라서, 제 1 내지 제 N 캐패시터(C1~CN)에 충전된 출력 전압(VPASSPMP)이 부하 회로(350)에 순차적으로 전달될 수 있다.
마찬가지로, 상기의 제 1 내지 제 N 전하 공유 동작이 순차적으로 수행된 후에, 종래에 비해, 본 발명의 실시예에 따른 차지 펌프 회로(300)에서 부하 회로(350)로 전달되는 출력 전압(VPASSPMP)의 전달 효율이 향상될 수 있다.
도 9 는 본 발명의 일 실시예에 따른 차지 펌프 회로를 포함하는 내부 전압 생성 회로(400)의 블록도 이다.
도 9 를 참조하면, 내부 전압 생성 회로(400)는, 감지부(410), 오실레이터(420) 및 펌프부(430)를 포함할 수 있다.
감지부(410)는 기준 전압(VREF)과 내부 전압(VINT)을 비교하여 감지 신호(EN)를 출력할 수 있다. 기준 전압(VREF)보다 내부 전압(VINT)의 전압 레벨이 낮으면, 감지부(410)는 감지 신호(EN)를 로직 하이로 인에이블시켜 출력한다. 반대로, 기준 전압(VREF)보다 내부 전압(VINT)의 전압 레벨이 높으면, 감지부(410)는 감지 신호(EN)를 로직 로우로 디스에이블시켜 출력할 수 있다.
오실레이터(420)는 감지 신호(EN)에 응답하여 주기 신호(OSC)를 출력할 수 있다. 오실레이터(420)는 인에이블된 감지 신호(EN)가 입력되면 동작하여 주기 신호(OSC)를 출력한다.
펌프부(430)는 주기 신호(OSC)에 응답하여 내부 전압(VINT)를 생성할 수 있다. 보다 상세하게, 펌프부(430)는 펌프 제어부(432) 및 차지 펌프 회로(434)를 포함할 수 있다.
펌프 제어부(432)는 주기 신호(OSC)에 따라 차지 펌프 회로(434)를 제어하기 위한 복수의 펌핑 제어 신호(CLK1, CLK2)를 생성할 수 있다. 차지 펌프 회로(434)는 펌핑 제어 신호(CLK1, CLK2)에 따라 입력 전압(예를 들어, 전원 전압(VCC))을 차지 펌핑하여 내부 전압(VINT)을 출력할 수 있다.
본 발명의 일 실시예에서, 차지 펌프 회로(434)는 도 5 에 도시된 차지 펌프 회로(200) 혹은 도 7 에 도시된 차지 펌프 회로(300)로 구성될 수 있다. 즉, 차지 펌프 회로(434)는 출력단과 내부 회로(미도시) 사이에 병렬 연결된 제 1 내지 제 N 캐패시터를 포함하여, 펌핑 제어 신호(CLK1, CLK2)에 응답하여 내부 전압(VINT)이 목표 전압에 도달할 때까지 전하 펌핑 동작을 수행한 후에 제 1 내지 제 N 캐패시터와 내부 회로 사이의 제 1 내지 제 N 전하 공유 동작을 순차적으로 수행하되, 제 1 내지 제 N 전하 공유 동작을 상호 배타적으로 수행하여 내부 회로에 내부 전압(VINT)을 제공할 수 있다.
상기와 같은 구성을 가지는 본 발명의 실시예에 따른 내부 전압 생성 회로(400)는, 내부 전압(VINT)을 내부 회로들(미도시)에 제공할 때, 전하 공유 동작을 적어도 두 번 이상 수행하여 내부 전압(VINT)의 전달 효율을 향상시킬 수 있다. 또한, 본 발명의 실시예에 따른 내부 전압 생성 회로(400)는, 출력단에서 보이는 전압 하락폭을 작게 할 수 있어 항복 전압(break-down voltage) 보호 특성을 향상시킬 수 있고, 내부 회로들(미도시)과 연결된 이후에 출력 캐패시턴스가 작아지므로 내부 회로들(미도시)의 목표 전압에 빠르게 도달할 수 있어 동작 속도를 개선할 수 있다.
본 발명의 기술 사상은 상기 바람직한 실시예에 따라 구체적으로 기록되었으나, 상기한 실시예는 그 설명을 위한 것이며 그 제한을 위한 것이 아님을 주의하여야 한다. 또한, 본 발명의 기술 분야의 통상의 전문가라면 본 발명의 기술 사상의 범위 내에서 다양한 실시예가 가능함을 이해할 수 있을 것이다.
예컨대, 전술한 실시예에서 예시한 논리 게이트 및 트랜지스터는 입력되는 신호의 극성에 따라 그 위치 및 종류가 다르게 구현되어야 할 것이다.
100, 200, 300: 차지 펌프 회로 120, 220, 320: 차지 펌핑부
130, 230, 330: 다단 전하 공유부 150, 250, 350: 부하 회로
400: 내부 전압 생성 회로 410: 감지부
420: 오실레이터 430: 펌프부
432: 펌프 제어부 434: 차지 펌프 회로

Claims (17)

  1. 출력 전압이 목표 전압에 도달할 때까지 전하 펌핑 동작을 수행하는 차지 펌핑부; 및
    상기 차지 펌핑부와 부하 회로 사이에 병렬 연결된 제 1 내지 제 N 캐패시터를 포함하여, 상기 전하 펌핑 동작 이후에 상기 제 1 내지 제 N 캐패시터와 상기 부하 회로 사이의 제 1 내지 제 N 전하 공유 동작을 순차적으로 수행하되, 상기 제 1 내지 제 N 전하 공유 동작을 상호 배타적으로 수행하는 다단 전하 공유부
    를 포함하는 차지 펌프 회로.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 다단 전하 공유부는,
    상기 차지 펌핑부의 출력단과 상기 부하 회로의 입력단 사이에 직렬 연결된 N 개의 스위치들을 포함하는 제 1 스위치 그룹;
    상기 제 1 스위치 그룹의 N 개의 스위치들의 공통 노드에 일단이 연결된 (N-1) 개의 스위치들을 포함하는 제 2 스위치 그룹;
    상기 제 2 스위치 그룹의 (N-1) 개의 스위치들의 타단과 접지 전압단 사이에 각각 연결된 상기 제 1 내지 제 (N-1) 캐패시터; 및
    상기 차지 펌핑부의 출력단과 상기 접지 전압단 사이에 연결된 상기 제 N 캐패시터
    를 포함하는 것을 특징으로 하는 차지 펌프 회로.
  3. 제 2 항에 있어서,
    상기 제 1 스위치 그룹의 N 개의 스위치들은,
    상기 전하 펌핑 동작과 상기 제 1 내지 제 (N-1) 전하 공유 동작 시에 순차적으로 턴 오프 되는 것
    을 특징으로 하는 차지 펌프 회로.
  4. 제 2 항에 있어서,
    상기 제 2 스위치 그룹의 (N-1) 개의 스위치들 각각은,
    상기 제 1 내지 제 (N-1) 전하 공유 동작 중 해당 전하 공유 동작 후에 턴 오프 되는 것
    을 특징으로 하는 차지 펌프 회로.
  5. 제 1 항에 있어서,
    상기 다단 전하 공유부는,
    상기 차지 펌핑부의 출력단에 일단이 각각 연결된 N 개의 스위치들을 포함하는 제 1 스위치 그룹;
    상기 제 1 스위치 그룹의 N 개의 스위치들의 타단과 상기 부하 회로의 입력단 사이에 연결된 N 개의 스위치들을 포함하는 제 2 스위치 그룹; 및
    상기 제 1 스위치 그룹의 N 개의 스위치들과 상기 제 2 스위치 그룹의 N 개의 스위치들의 공통 노드와 접지 전압단 사이에 각각 연결된 상기 제 1 내지 제 (N-1) 캐패시터
    를 포함하는 것을 특징으로 하는 차지 펌프 회로.
  6. 제 5 항에 있어서,
    상기 제 1 스위치 그룹의 N 개의 스위치들은,
    상기 전하 펌핑 동작 시에 모두 턴 온 되고, 상기 제 1 내지 제 N 전하 공유 동작 시에 순차적으로 턴 오프 되는 것
    을 특징으로 하는 차지 펌프 회로.
  7. 제 5 항에 있어서,
    상기 제 2 스위치 그룹의 N 개의 스위치들은,
    상기 전하 펌핑 동작 시에 모두 턴 오프 되고, 상기 제 1 내지 제 N 전하 공유 동작 시에 순차적으로 턴 온 되는 것
    을 특징으로 하는 차지 펌프 회로.
  8. 제 1 항에 있어서,
    상기 제 1 내지 제 N 캐패시터의 토탈 캐패시턴스는 출력 캐패시턴스와 동일한 것
    을 특징으로 하는 차지 펌프 회로.
  9. 기준 전압과 내부 전압을 비교하여 감지 신호를 생성하는 감지부;
    상기 감지 신호에 응답하여 주기 신호를 생성하는 오실레이터; 및
    출력단과 내부 회로 사이에 병렬 연결된 제 1 내지 제 N 캐패시터를 포함하여, 상기 주기 신호에 응답하여 상기 내부 전압이 목표 전압에 도달할 때까지 전하 펌핑 동작을 수행한 후에 상기 제 1 내지 제 N 캐패시터와 상기 내부 회로 사이의 제 1 내지 제 N 전하 공유 동작을 순차적으로 수행하되, 상기 제 1 내지 제 N 전하 공유 동작을 상호 배타적으로 수행하여 상기 내부 회로에 상기 내부 전압을 제공하는 차지 펌프 회로
    를 포함하는 내부 전압 생성 회로.
  10. 제 9 항에 있어서,
    상기 차지 펌프 회로는,
    상기 내부 전압이 목표 전압에 도달할 때까지 전하 펌핑 동작을 수행하는 차지 펌핑부; 및
    상기 차지 펌핑부와 상기 내부 회로 사이에 병렬 연결된 상기 제 1 내지 제 N 캐패시터를 포함하여, 상기 전하 펌핑 동작 이후에 상기 제 1 내지 제 N 전하 공유 동작을 순차적으로 수행하되, 상기 제 1 내지 제 N 전하 공유 동작을 상호 배타적으로 수행하는 다단 전하 공유부
    를 포함하는 내부 전압 생성 회로.
  11. 제 10 항에 있어서,
    상기 다단 전하 공유부는,
    상기 차지 펌핑부의 출력단과 상기 부하 회로의 입력단 사이에 직렬 연결된 N 개의 스위치들을 포함하는 제 1 스위치 그룹;
    상기 제 1 스위치 그룹의 N 개의 스위치들의 공통 노드에 일단이 연결된 (N-1) 개의 스위치들을 포함하는 제 2 스위치 그룹;
    상기 제 2 스위치 그룹의 (N-1) 개의 스위치들의 타단과 접지 전압단 사이에 각각 연결된 상기 제 1 내지 제 (N-1) 캐패시터; 및
    상기 차지 펌핑부의 출력단과 상기 접지 전압단 사이에 연결된 상기 제 N 캐패시터
    를 포함하는 내부 전압 생성 회로.
  12. 제 11 항에 있어서,
    상기 제 1 스위치 그룹의 N 개의 스위치들은,
    상기 전하 펌핑 동작과 상기 제 1 내지 제 (N-1) 전하 공유 동작 시에 순차적으로 턴 오프 되는 것
    을 특징으로 하는 내부 전압 생성 회로.
  13. 제 11 항에 있어서,
    상기 제 2 스위치 그룹의 (N-1) 개의 스위치들 각각은,
    상기 제 1 내지 제 (N-1) 전하 공유 동작 중 해당 전하 공유 동작 후에 턴 오프 되는 것
    을 특징으로 하는 내부 전압 생성 회로.
  14. 제 10 항에 있어서,
    상기 다단 전하 공유부는,
    상기 차지 펌핑부의 출력단에 일단이 각각 연결된 N 개의 스위치들을 포함하는 제 1 스위치 그룹;
    상기 제 1 스위치 그룹의 N 개의 스위치들의 타단과 상기 부하 회로의 입력단 사이에 연결된 N 개의 스위치들을 포함하는 제 2 스위치 그룹; 및
    상기 제 1 스위치 그룹의 N 개의 스위치들과 상기 제 2 스위치 그룹의 N 개의 스위치들의 공통 노드와 접지 전압단 사이에 각각 연결된 상기 제 1 내지 제 (N-1) 캐패시터
    를 포함하는 내부 전압 생성 회로.
  15. 제 14 항에 있어서,
    상기 제 1 스위치 그룹의 N 개의 스위치들은,
    상기 전하 펌핑 동작 시에 모두 턴 온 되고, 상기 제 1 내지 제 N 전하 공유 동작 시에 순차적으로 턴 오프 되는 것
    을 특징으로 하는 내부 전압 생성 회로.
  16. 제 14 항에 있어서,
    상기 제 2 스위치 그룹의 N 개의 스위치들은,
    상기 전하 펌핑 동작 시에 모두 턴 오프 되고, 상기 제 1 내지 제 N 전하 공유 동작 시에 순차적으로 턴 온 되는 것
    을 특징으로 하는 내부 전압 생성 회로.
  17. 출력단과 부하 회로 사이에 병렬 연결된 제 1 내지 제 N 캐패시터를 포함하는 전하 펌핑 회로에 있어서,
    출력 전압이 목표 전압에 도달할 때까지 전하 펌핑 동작을 수행하는 단계; 및
    상기 제 1 내지 제 N 캐패시터와 상기 부하 회로 사이의 제 1 내지 제 N 전하 공유 동작을 순차적으로 수행하되, 상기 제 1 내지 제 N 전하 공유 동작을 상호 배타적으로 수행하는 단계
    를 포함하는 차지 펌프 방법.
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