KR20170094215A - 방사 버너를 위한 유출 가스 입구 조립체 - Google Patents

방사 버너를 위한 유출 가스 입구 조립체 Download PDF

Info

Publication number
KR20170094215A
KR20170094215A KR1020177016108A KR20177016108A KR20170094215A KR 20170094215 A KR20170094215 A KR 20170094215A KR 1020177016108 A KR1020177016108 A KR 1020177016108A KR 20177016108 A KR20177016108 A KR 20177016108A KR 20170094215 A KR20170094215 A KR 20170094215A
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
inlet
opening
baffle
outlet
effluent gas
Prior art date
Application number
KR1020177016108A
Other languages
English (en)
Other versions
KR102491955B1 (ko
Inventor
앤드류 제임스 시레이
던칸 마이클 프라이스
Original Assignee
에드워즈 리미티드
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 에드워즈 리미티드 filed Critical 에드워즈 리미티드
Publication of KR20170094215A publication Critical patent/KR20170094215A/ko
Application granted granted Critical
Publication of KR102491955B1 publication Critical patent/KR102491955B1/ko

Links

Images

Classifications

    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F23—COMBUSTION APPARATUS; COMBUSTION PROCESSES
    • F23G—CREMATION FURNACES; CONSUMING WASTE PRODUCTS BY COMBUSTION
    • F23G7/00—Incinerators or other apparatus for consuming industrial waste, e.g. chemicals
    • F23G7/06—Incinerators or other apparatus for consuming industrial waste, e.g. chemicals of waste gases or noxious gases, e.g. exhaust gases
    • F23G7/061—Incinerators or other apparatus for consuming industrial waste, e.g. chemicals of waste gases or noxious gases, e.g. exhaust gases with supplementary heating
    • F23G7/065—Incinerators or other apparatus for consuming industrial waste, e.g. chemicals of waste gases or noxious gases, e.g. exhaust gases with supplementary heating using gaseous or liquid fuel
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F23—COMBUSTION APPARATUS; COMBUSTION PROCESSES
    • F23D—BURNERS
    • F23D14/00—Burners for combustion of a gas, e.g. of a gas stored under pressure as a liquid
    • F23D14/12—Radiant burners
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F23—COMBUSTION APPARATUS; COMBUSTION PROCESSES
    • F23D—BURNERS
    • F23D14/00—Burners for combustion of a gas, e.g. of a gas stored under pressure as a liquid
    • F23D14/46—Details, e.g. noise reduction means
    • F23D14/48—Nozzles
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F23—COMBUSTION APPARATUS; COMBUSTION PROCESSES
    • F23D—BURNERS
    • F23D14/00—Burners for combustion of a gas, e.g. of a gas stored under pressure as a liquid
    • F23D14/46—Details, e.g. noise reduction means
    • F23D14/48—Nozzles
    • F23D14/58—Nozzles characterised by the shape or arrangement of the outlet or outlets from the nozzle, e.g. of annular configuration
    • F23D14/583—Nozzles characterised by the shape or arrangement of the outlet or outlets from the nozzle, e.g. of annular configuration of elongated shape, e.g. slits
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F23—COMBUSTION APPARATUS; COMBUSTION PROCESSES
    • F23D—BURNERS
    • F23D14/00—Burners for combustion of a gas, e.g. of a gas stored under pressure as a liquid
    • F23D14/46—Details, e.g. noise reduction means
    • F23D14/70—Baffles or like flow-disturbing devices
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F23—COMBUSTION APPARATUS; COMBUSTION PROCESSES
    • F23D—BURNERS
    • F23D14/00—Burners for combustion of a gas, e.g. of a gas stored under pressure as a liquid
    • F23D14/46—Details, e.g. noise reduction means
    • F23D14/84—Flame spreading or otherwise shaping
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F23—COMBUSTION APPARATUS; COMBUSTION PROCESSES
    • F23D—BURNERS
    • F23D91/00—Burners specially adapted for specific applications, not otherwise provided for
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F23—COMBUSTION APPARATUS; COMBUSTION PROCESSES
    • F23G—CREMATION FURNACES; CONSUMING WASTE PRODUCTS BY COMBUSTION
    • F23G7/00—Incinerators or other apparatus for consuming industrial waste, e.g. chemicals
    • F23G7/06—Incinerators or other apparatus for consuming industrial waste, e.g. chemicals of waste gases or noxious gases, e.g. exhaust gases
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F23—COMBUSTION APPARATUS; COMBUSTION PROCESSES
    • F23D—BURNERS
    • F23D14/00—Burners for combustion of a gas, e.g. of a gas stored under pressure as a liquid
    • F23D14/46—Details, e.g. noise reduction means
    • F23D14/48—Nozzles
    • F23D14/58—Nozzles characterised by the shape or arrangement of the outlet or outlets from the nozzle, e.g. of annular configuration
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F23—COMBUSTION APPARATUS; COMBUSTION PROCESSES
    • F23D—BURNERS
    • F23D2205/00—Assemblies of two or more burners, irrespective of fuel type
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F23—COMBUSTION APPARATUS; COMBUSTION PROCESSES
    • F23G—CREMATION FURNACES; CONSUMING WASTE PRODUCTS BY COMBUSTION
    • F23G2209/00—Specific waste
    • F23G2209/14—Gaseous waste or fumes
    • F23G2209/142—Halogen gases, e.g. silane

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Combustion & Propulsion (AREA)
  • Environmental & Geological Engineering (AREA)
  • Incineration Of Waste (AREA)

Abstract

버너를 위한 입구 조립체(50) 및 방법이 개시된다. 입구 조립체(50)는 버너에 의한 처리를 위해 유출 가스 스트림을 제공하는 입구 도관과 결합가능한 입구 개구(240)를 한정하는 입구 노즐, 비원형 출구 개구(260), 및 버너의 연소 챔버로의 전달을 위해 입구 개구(240)로부터 출구 개구(260)로 유출 가스 스트림을 이송하기 위한, 입구 개구(240)와 출구 개구(260) 사이에서 종축을 따라 연장되는 노즐 보어를 포함하며, 노즐 보어는 입구 개구(240)로부터 연장되는 입구 부분(200), 비원형 출구 개구(260)까지 연장되는 출구 부분(220), 및 이들 사이의 감소된 배플 개구(270)를 갖는 배플 부분(210)을 갖는다. 이러한 방식으로, 비-원형 출구 개구(260)는 연소 챔버 내로의 비-원형 유출 가스 스트림 유동을 제공한다. 비-원형 유출 가스 유동은 여전히 요구되는 저감 수준을 달성하거나 초과하면서 더 큰 체적의 유출 가스 스트림이 연소 챔버 내로 도입되는 것을 가능하게 한다. 이는 비-원형 유출 가스 스트림이 동등한 원형 유출 가스 스트림의 것과 비교해, 그것을 따라 확산 및 반응이 일어날 필요가 있는 감소된 거리를 제공하기 때문이다. 따라서, 동등한 원형 유출 가스 스트림의 것과 비교해, 증가된 체적의 유출 가스 스트림이 저감될 수 있다.

Description

방사 버너를 위한 유출 가스 입구 조립체{EFFLUENT GAS INLET ASSEMBLY FOR A RADIANT BURNER}
본 발명은 버너를 위한 입구 조립체(inlet assembly) 및 방법에 관한 것이다.
방사 버너(radiant burner)가 공지되어 있으며, 전형적으로 예를 들어 반도체 또는 평판 디스플레이 제조 산업에서 사용되는 제조 프로세스 툴(manufacturing process tool)로부터의 유출 가스 스트림을 처리하는 데 사용된다. 그러한 제조 동안, 잔류 과불소화 화합물(perfluorinated compounds, PFCs) 및 다른 화합물이 프로세스 툴로부터 펌핑되는 유출 가스 스트림 내에 존재한다. PFCs는 유출 가스로부터 제거하기 어렵고, 환경 중으로의 그것의 방출은 그것이 비교적 높은 온실 활동도(greenhouse activity)를 갖는 것으로 알려져 있기 때문에 바람직하지 않다.
공지의 방사 버너는 유출 가스 스트림으로부터 PFCs 및 다른 화합물을 제거하기 위해 연소를 사용한다. 전형적으로, 유출 가스 스트림은 PFCs 및 다른 화합물을 함유한 질소 스트림이다. 연료 가스가 유출 가스 스트림과 혼합되고, 그 가스 스트림 혼합물은 소공 형성된(foraminous) 가스 버너의 출구 표면에 의해 측방향으로 둘러싸인 연소 챔버 내로 이송된다. 연료 가스와 공기가 소공 형성된 버너로 동시에 공급되어 출구 표면에서 무염 연소(flameless combustion)를 달성하며, 이때 소공 형성된 버너를 통과하는 공기의 양은 버너로 공급되는 연료 가스뿐만 아니라, 연소 챔버 내로 주입되는 가스 스트림 혼합물 내의 모든 가연성 물질을 소멸시키기에 충분하다.
유출 가스 스트림 내에 존재하는 화합물의 범위 및 그 유출 가스 스트림의 유동 특성은 프로세스 툴마다 다를 수 있고, 따라서, 방사 버너 내로 도입될 필요가 있는 다른 가스 또는 유체와 함께, 연료 가스 및 공기의 범위가 또한 다를 것이다.
유출 가스 스트림을 처리하기 위한 기술이 존재하지만, 그것은 각각 고유의 단점을 갖는다. 따라서, 유출 가스 스트림을 처리하기 위한 개선된 기술을 제공하는 것이 요구된다.
제 1 태양에 따르면, 버너를 위한 입구 조립체가 제공되며, 입구 조립체는 버너에 의한 처리를 위해 유출 가스 스트림을 제공하는 입구 도관(conduit)과 결합가능한 입구 개구를 한정하는 입구 노즐, 비원형 출구 개구, 및 버너의 연소 챔버로의 전달을 위해 입구 개구로부터 출구 개구로 유출 가스 스트림을 이송하기 위한, 입구 개구와 출구 개구 사이에서 종축을 따라 연장되는 노즐 보어를 포함하며, 노즐 보어는 입구 개구로부터 연장되는 입구 부분, 및 비원형 출구 개구까지 연장되는 출구 부분을 갖는다.
제 1 태양은 유출 가스의 처리가, 특히 그러한 유출 가스의 유동이 증가함에 따라, 문제가 될 수 있음을 인식한다. 예를 들어, 프로세싱 툴은 처리를 위한 5개의 유출 가스 스트림을 출력할 수 있으며, 이들 유출 가스 스트림 각각은 최대 300 리터/분의 유량을 갖는다(즉, 총 1,500 리터/분). 그러나, 기존의 버너 입구 조립체는 전형적으로 4개 또는 6개의 노즐을 가지며, 이들 노즐 각각은 약 50 리터/분의 유량만을 지원한다(총 200 내지 300 리터/분의 처리만을 가능하게 함). 이것은 유출 처리 메커니즘이 전형적으로 방사 버너 내의 확산 프로세스에 의존하기 때문이다; 연소 부산물은 저감 반응을 수행하기 위해 유출 스트림 내로 확산될 필요가 있다. 다시 말해서, 연소 부산물은 유출 스트림의 외측 표면으로부터, 완전히 유출 스트림 내로 확산되고, 그리고 이어서 유출 스트림이 방사 버너를 빠져나가기 전에, 유출 스트림과 반응할 필요가 있다. 유출 스트림 내로 완전히 확산되는 것에 실패하는 것은 저감 효능을 감소시킨다. 기존 노즐을 통한 유량이 증가된 양의 유출 스트림을 수용하도록 증가된다면, 더 빠르게 이동하는 유출 스트림이 방사 버너를 빠져나가기 전에 확산 및 반응이 발생할 수 있는 것을 보장하기 위해 방사 버너의 길이가 비례하여 증가할 필요가 있을 것이다. 마찬가지로, 기존 노즐의 직경이 증가된 양의 유출 스트림을 수용하도록 증가되면, 확산 및 반응이 더 큰 직경의 유출 스트림에서 발생하는 데 걸리는 증가된 시간으로 인해 방사 버너의 길이가 비례하여 증가할 필요가 있을 것이다.
따라서, 버너를 위한 입구 조립체가 제공된다. 입구 조립체는 입구 노즐을 포함할 수 있다. 입구 노즐은 입구 개구 또는 개방부를 한정할 수 있거나, 그것을 제공하도록 형상화될 수 있다. 입구 개구는 버너에 의해 처리될 유출 가스 스트림을 제공하는 입구 도관과 결합하거나 연결될 수 있다. 입구 노즐은 또한 비-원형 출구 개구를 한정할 수 있거나, 그것을 제공하도록 형상화될 수 있다. 입구 노즐은 또한 입구 개구와 출구 개구 사이에서 연장되는 노즐 보어(nozzle bore)를 한정할 수 있거나, 그것을 제공하도록 형상화될 수 있다. 노즐 보어는 버너의 연소 챔버로 전달되도록 유출 스트림을 입구 개구로부터 출구 개구로 이송하기 위해 종방향 또는 유출 가스 스트림 유동 축을 따라 연장될 수 있다. 노즐 보어는 또한 입구 개구로부터 또는 그것에 근접한 곳에서 연장되는 입구 부분으로 형성될 수 있다. 노즐 보어는 또한 비-원형 출구 개구까지 연장되거나 그것에 근접해 있는 출구 부분을 가질 수 있다. 이러한 방식으로, 비-원형 출구 개구는 연소 챔버 내로의 비-원형 유출 가스 스트림 유동을 제공한다. 비-원형 유출 가스 유동은 여전히 요구되는 저감 수준을 달성하거나 초과하면서 더 큰 체적의 유출 가스 스트림이 연소 챔버 내로 도입되는 것을 가능하게 한다. 이는 비-원형 유출 가스 스트림이 동등한 원형 유출 가스 스트림의 것과 비교해, 그것을 따라 확산 및 반응이 일어날 필요가 있는 감소된 거리를 제공하기 때문이다. 따라서, 동등한 원형 유출 가스 스트림의 것과 비교해, 증가된 체적의 유출 가스 스트림이 저감될 수 있다.
일 실시예에서, 입구 부분의 단면적은 종축을 따라 입구 개구로부터 출구 부분을 향해 감소한다.
일 실시예에서, 입구 부분의 단면 형상은 종축을 따라 입구 개구의 형상으로부터 출구 개구의 형상으로 전이한다. 입구 개구의 형상으로부터 출구 개구의 형상으로의, 불연속을 갖지 않는 점진적인 전이를 제공하는 것은 층류(laminar flow)를 유지하는 데 도움을 주고, 유출 스트림 내의 잔류물에 의해 야기되는 퇴적을 최소화한다.
일 실시예에서, 입구 개구는 원형이다. 입구 개구는 유출 스트림을 제공하는 도관의 형상과 정합하는 임의의 형상일 수 있다는 것이 인식될 것이다.
일 실시예에서, 출구 개구는 기다랗다. 기다란 형상의 출구 개구를 제공하는 것은 유사하게 형상화된 유출 스트림의 확산 거리를 최소화하는 데 도움을 준다.
일 실시예에서, 출구 개구는 대체로 사변형 슬롯이다. 이것은 넓고 좁은 유사하게 형상화된 유출 스트림을 제공하여, 유출 스트림을 갖는 임의의 지점으로부터 유출 스트림의 에지까지의 거리를 최소화하는 것과 동시에 더 큰 유량 둘 모두를 제공한다.
일 실시예에서, 출구 개구는 오브라운드(obround)이다. 그것의 종점(endpoint)에 접하는 평행한 선에 의해 연결된 2개의 반원으로 이루어진 형상인 오브라운드는 유출 스트림에, 그 유출 스트림 내에서 확산 및 반응이 그것을 따라 발생할 필요가 있는 예견가능한 거리를 제공한다.
일 실시예에서, 출구 개구는 복수의 동일한 장소에 위치된(co-located) 개별 개구로부터 형성된다. 출구 개구는 별개의, 그러나 동일한 장소에 위치된, 더 작은 개구로부터 형성될 수 있다는 것이 인식될 것이다.
일 실시예에서, 출구 부분의 단면적은 종축을 따라 출구 개구로부터 입구 부분을 향해 변한다.
일 실시예에서, 출구 부분의 단면적은 종축을 따라 출구 개구로부터 입구 부분을 향해 감소한다.
일 실시예에서, 입구 조립체는 입구 부분을 출구 부분과 결합시키는 배플(baffle)을 포함하며, 배플은 노즐 보어 내에 위치된 배플 개구를 한정하고, 배플 개구는 배플에 인접한 출구 부분의 단면적과 비교해 감소된 단면적을 갖는다. 노즐 보어 내에 배플 또는 제한부(restriction)를 배치하는 것은 방해물 및 불연속부를 제공하여, 유동의 팽창이 출구 부분 하류측 내에서 발생하며, 이는 확산 거리를 최소화하도록 유출 스트림을 형상화하는 데 도움을 준다.
일 실시예에서, 입구 부분의 단면적은 배플 개구의 단면적과 정합하도록 종축을 따라 입구 개구로부터 출구 부분을 향해 감소한다. 따라서, 입구 부분의 크기 및 형상은 유출 스트림 내의 잔류물로 인한 퇴적의 위험을 더욱 최소화하기 위해 배플 개구의 것과 정합하도록 변할 수 있다.
일 실시예에서, 입구 부분의 단면 형상은 종축을 따라 입구 개구의 형상으로부터 배플 개구의 형상으로 전이한다.
일 실시예에서, 배플 개구의 형상은 배플에 인접한 출구 부분의 형상과 정합한다.
일 실시예에서, 배플 개구는 복수의 동일한 장소에 위치된 개구로부터 형성된다. 따라서, 배플 개구는 동일한 장소에 위치되지만 별개의 개구로부터 형성될 수 있다.
일 실시예에서, 배플은 가변성 단면적을 갖는 배플 개구를 제공하도록 구성된다. 따라서, 배플 개구의 크기는 작동 조건에 적합하도록 변경되거나 변화될 수 있다.
일 실시예에서, 배플은 가변성 단면적을 제공하도록 작동가능한 셔터(shutter)를 포함한다.
일 실시예에서, 셔터는 유출 가스 스트림의 속도에 응답하여 변화하는 가변성 단면적을 제공하도록 편의된다(biased). 따라서, 배플 개구의 면적은 유출 가스 스트림의 유량에 응답하여 자동적으로 변할 수 있다.
제 2 태양에 따르면, 버너를 위한 입구 조립체를 제공하는 단계로서, 입구 조립체는 버너에 의한 처리를 위해 유출 가스 스트림을 제공하는 입구 도관과 결합가능한 입구 개구를 한정하는 입구 노즐, 비원형 출구 개구, 및 버너의 연소 챔버로의 전달을 위해 입구 개구로부터 출구 개구로 유출 가스 스트림을 이송하기 위한, 입구 개구와 출구 개구 사이에서 종축을 따라 연장되는 노즐 보어를 포함하며, 노즐 보어는 입구 개구로부터 연장되는 입구 부분, 및 비원형 출구 개구까지 연장되는 출구 부분을 갖는, 단계; 및 유출 스트림을 입구 개구에 공급하는 단계를 포함하는, 방법이 제공된다.
일 실시예에서, 입구 조립체는 입구 부분을 출구 부분과 결합시키는 배플을 포함하며, 배플은 노즐 보어 내에 위치된 가변성 단면적을 갖는 배플 개구를 한정하고, 배플 개구는 배플에 인접한 출구 부분의 단면적과 비교해 감소된 단면적을 가지며, 방법은,
유출 가스 스트림의 속도에 응답하여 가변성 단면적을 변경시키는 단계를 포함한다.
제 2 태양의 실시예는 상기에 언급된 제 1 태양의 실시예의 특징에 대응하는 특징을 제공한다.
추가의 특정한 그리고 바람직한 태양이 첨부된 독립항 및 종속항에 기재된다. 종속항의 특징은 적절한 바에 따라, 그리고 청구범위에 명시적으로 기재된 것 이외의 조합으로 독립항의 특징과 조합될 수 있다.
장치 특징부가 소정 기능을 제공하도록 작동가능한 것으로 기술되는 경우, 이는 그 기능을 제공하는, 또는 그 기능을 제공하도록 개조되거나 구성된 장치 특징부를 포함한다는 것이 인식될 것이다.
이제, 본 발명의 실시예가 첨부 도면을 참조하여 추가로 기술될 것이다.
도 1은 일 실시예에 따른 헤드 조립체 및 버너의 밑면을 보여주는 사시도,
도 2는 도 1의 헤드 조립체 및 버너의 저면도,
도 3은 일 실시예에 따른 입구 조립체를 도시하는 도면,
도 4는 도 3의 입구 조립체를 통한 단면을 도시하는 도면,
도 5는 입구 조립체의 축방향 길이를 따라 관찰될 때의 출구 개구를 도시하는 도면,
도 6 및 도 7은 실시예에 따른 배플 부분을 도시하는 도면,
도 8a는 상이한 입구 조립체 구성에 대한 200l/min의 질소로 희석된 NF3에 대한 파괴율 효율의 플롯(plot)을 도시하는 그래프,
도 8b는 200l/min 질소로 희석된 NF3 파괴율 효율의 플롯을 도시하는, 그리고 4개의 16㎜ 내경 원형 입구 조립체를 갖는 기존의 헤드 조립체와 비교한 (2개의 상이한 배플 개구를 가진) 실시예의 단일 입구 조립체를 갖는 헤드 조립체의 성능을 도시하는, 도 8a의 확대도, 및
도 8c는 300l/min 질소로 희석된 NF3 파괴율 효율의 플롯을 도시하는, 그리고 4개의 16㎜ 내경 원형 입구 조립체를 갖는 기존의 헤드 조립체와 비교한 (2개의 상이한 배플 개구를 가진) 실시예의 단일 입구 조립체를 갖는 헤드 조립체의 성능을 도시하는 그래프.
개관
실시예를 보다 상세히 논의하기 전에, 먼저 개관이 제공될 것이다. 실시예는 버너 입구 조립체를 제공한다. 하기의 실시예가 방사 버너의 사용을 기술하지만, 입구 조립체는 예를 들어 난류 화염 버너 또는 전기 가열식 산화기와 같은 다수의 상이한 버너 중 임의의 것과 함께 사용될 수 있다는 것이 인식될 것이다. EP 0 694 735호에 기술된 것과 같은 방사 버너가 당업계에 잘 알려져 있다.
실시예는 유출 가스 스트림을 제공하는 입구 도관과 결합하는 그것의 입구 개구로부터, 버너의 연소 챔버에 유출 가스 스트림을 제공하는 출구 개구까지 연장되는 비-균일 보어를 갖는 입구 노즐을 구비한 버너 입구 조립체를 제공한다. 특히, 노즐 보어의 구성은 입구 도관과 결합할 수 있는 그리고 유출 가스 스트림을 제공하는 입구 개구로부터 비-원형 출구 개구로 변화한다. 비-원형 출구 개구는 연소 챔버 내로의 비-원형 유출 가스 스트림 유동을 제공한다. 비-원형 유출 가스 유동은 여전히 요구되는 저감 수준을 달성하거나 초과하면서 더 큰 체적의 유출 가스 스트림이 연소 챔버 내로 도입되는 것을 가능하게 한다. 이는 비-원형 유출 가스 스트림이 동등한 원형 유출 가스 스트림의 것과 비교해, 그것을 따라 확산 및 반응이 일어날 필요가 있는 감소된 거리를 제공하기 때문이다. 따라서, 동등한 원형 유출 가스 스트림의 것과 비교해, 증가된 체적의 유출 가스 스트림이 저감될 수 있다.
저감의 성능은 입구 개구와 출구 개구 사이의 입구 노즐 내에 배플 또는 제한부(restriction)를 제공함으로써 실시예에서 추가로 개선된다. 이 배플은 제한을 수행하기 위해 배플 개구를 사용하는데, 이는 출구 개구의 형상과 대체로 정합하는 형상을 갖고 단면적이 약간 더 작다. 이는 배플로부터 하류측에 형상 불연속을 제공하며, 이는 배플로부터 비-원형 출구 개구까지 연장되는 출구 부분 내에서 유동의 팽창이 일어나게 한다. 성능은 상이한 상황하에서 배플 개구의 면적을 변화시키도록 작동하는 셔터 메커니즘을 배플에 제공함으로써 실시예에서 추가로 개선될 수 있다.
헤드 조립체
도 1 및 도 2는 방사 버너 조립체(100)와 결합된 일 실시예에 따른 헤드 조립체(개괄적으로 10)를 예시한다. 이 예에서, 방사 버너 조립체(100)는 내측 버너(130) 및 외측 버너(110)를 갖는 동심형 버너이다. 연료와 산화제의 혼합물이 플리넘 하우징(120) 내의 플리넘(도시되지 않음)을 통해 외측 버너(110)로, 그리고 도관(도시되지 않음)을 통해 내측 버너(130)로 공급된다.
헤드 조립체(10)는 3가지 주요 구성요소 세트를 포함한다. 제 1의 것은 금속(전형적으로, 스테인리스강) 하우징(20)이며, 이는 방사 버너 조립체(100)와 결합하기 위한 필요한 기계적 강도 및 구성을 제공한다. 제 2의 것은 단열재(30)이며, 이는 하우징(20) 내에 제공되고, 방사 버너 조립체(100)의 내측 버너(130)와 외측 버너(110) 사이에 한정된 연소 챔버 내로부터의 열 손실을 감소시키는 데 도움을 줄 뿐만 아니라, 하우징(20) 및 그것에 결합된 아이템을 연소 챔버 내에 발생되는 열로부터 보호하는 데 도움을 준다. 제 3의 것은 입구 조립체(50)이며, 이는 하우징(20) 내에 제공된 일련의 동일한, 표준화된 개구(40)(도 2 참조)에 의해 수용된다. 이러한 배열은, 방사 버너 조립체(100)의 나머지로부터 완전한 헤드 조립체(10)를 제거하거나 분해할 필요 없이, 개개의 입구 조립체(50)가 정비를 위해 제거되는 것을 가능하게 한다.
도 1에 도시된 실시예는 5개의 동일한 입구 조립체(50)를 이용하는데, 이들 각각은 대응하는 개구(40) 내에 장착되며, 6번째 개구는 비어 있는 것으로 도시된다. 모든 개구(40)가 유출 또는 프로세스 유체 또는 다른 유체를 수용하는 입구 조립체(50)로 충전되지는 않을 수 있으며, 대신에 개구(40)를 완전히 충전하기 위해 블랭킹(blanking) 입구 조립체를 수용할 수 있거나, 대신에 방사 버너 내의 상태를 모니터링하기 위해 센서를 수용하는 계측 입구 조립체를 수용할 수 있다는 것이 인식될 것이다. 또한, 6개보다 많은 또는 6개보다 적은 개구(40)가 제공될 수 있고, 이것은 하우징 주위에 원주방향으로 위치될 필요가 없고, 그것은 또한 대칭으로 위치될 필요가 없다는 것이 인식될 것이다.
도 1 및 도 2에서 또한 볼 수 있는 바와 같이, 예를 들어 검사 유리창(sight glass)(70) 및 파일럿(pilot)(75A)과 같은 다른 아이템을 제공하기 위해 추가의 개구가 하우징(20) 내에 제공된다.
입구 조립체(50)에는 입구 조립체(50)의 구조물을 연소 챔버로부터 보호하기 위해 단열재(60)가 제공된다. 입구 조립체(50)는 예를 들어 그것의 제거를 용이하게 하기 위해 제거되는 볼트(도시되지 않음)와 같은 적합한 고정구(fixing)를 사용하여 유지되며, 이것 또한 단열재(도시되지 않음)로 보호된다. 입구 조립체(50)는 하기에 더 상세히 설명될 바와 같이 출구 개구(260) 및 배플 부분(210)을 갖는다.
입구 조립체
도 3은 일 실시예에 따른 입구 조립체(50)를 도시한다. 도 4는 입구 조립체(50)를 통한 단면을 도시한다. 입구 조립체(50)는 유출 가스 스트림을 입구 조립체에 그리고 연소 챔버에 전달하는 입구 도관(도시되지 않음)에 의해 제공되는 유출 가스 스트림의 전달을 위한 도관을 형성한다. 입구 조립체(50)는 입구 도관에 의해 형상화된 유출 스트림을 수용하고, 연소 챔버에의 전달을 위해 유출 스트림을 재형상화한다.
입구 조립체(50)는 입구 부분(200), 배플 부분(210) 및 출구 부분(220)인 3개의 주요 부분을 갖는다. 적어도 출구 부분(220) - 이는 개구(40A)와 끼워맞춤됨 - 의 외측 표면 상에 단열 슈라우드(도시되지 않음)가 제공될 수 있다는 것이 인식될 것이다.
입구 부분
입구 부분(200)은 입구 개구(240)를 한정하는 원통형 섹션(230)을 포함한다. 입구 부분(200)은 입구 도관의 형상과 정합하는 임의의 형상일 수 있다는 것이 인식될 것이다. 원통형 부분(230)은 배플 부분(210)을 향해 유동하는 유출 가스 스트림을 수용하기 위해 입구 도관과 결합한다. 이 실시예에서, 입구 부분(200)은 50㎜ 내경 입구 파이프로부터 공급된다. 원통형 부분(230)으로부터 하류측에서, 입구 부분은 원형 단면으로부터, 출구 부분(220)의 단면과 정합하는 비-원형 단면으로 전이한다. 따라서, 로프트형(lofted) 전이 부분(250)이 존재하며, 여기서 입구 부분(200)의 단면 형상은 원형으로부터 비-원형으로 전이한다. 이 예에서, 단면 형상은 원으로부터 오브라운드(obround)로 변화한다. 그러나, 다른 전이가 가능하다는 것이 인식될 것이다. 배플 부분(210)의 상류측에 정합하는 원통형 부분(230)과 로프트형 부분(250)을 제공하는 것은 퇴적물의 증가를 방지하는 데 도움을 준다.
출구 부분
출구 부분(220)은 그것의 축방향 길이를 따라 동일한 오브라운드 단면 형상 및 면적을 유지하고, 연소 챔버에 유출 스트림을 제공하는 출구 개구(260)를 한정한다. 이 실시예에서, 출구 부분은 50㎜ 중심에 8㎜ 내부 반경의 오브라운드 단면을 가지며, 길이가 75㎜이다. 이 실시예에서 출구 부분(220)은 그것의 축방향 길이를 따라 일정한 형상을 갖지만, 이 부분은 테이퍼 형성될 수 있다는 것이 인식될 것이다.
배플 부분
입구 부분(200)과 출구 부분(220) 사이에 배플 부분(210)이 위치된다. 이 예에서, 배플 부분(210)은 배플 개구(270)를 갖는 플레이트를 포함한다. 배플 부분(210)은 유출 스트림의 유동 방향에 직교로 배향되며, 그 유동에 제한부를 제공한다. 이 예에서, 배플 개구(270)의 형상은 출구 개구(220)의 단면의 형상과 정합하며, 배플 부분(210) 내에 대칭으로 위치된다. 배플 개구(270)는 출구 개구(220)의 단면적보다 작은 단면적을 갖는다. 이 실시예에서, 배플 개구는 40㎜ 중심에 3㎜ 반경을 갖는다. 이는 50리터/분에서 종래의 16㎜ 내경 노즐에 대해 4m/s 및 60리터/분에서 5m/s와 비교해, 300리터/분에서, 각각, 24m/s 및 5m/s의 슬롯 속도 및 공칭 노즐 속도를 제공한다.
따라서, 볼 수 있는 바와 같이, 원통형 섹션(230)의 내부 체적은 입구 도관의 연속 연장부를 제공하는 반면, 로프트형 부분(250)은 도관의 형상을 원형으로부터 비-원형으로 전이시킨다. 이는 유출 스트림이 배플 부분(210)에 도달할 때까지 유출 스트림의 거의-층류(near-laminar flow)를 제공한다. 배플 부분(210) 및 그것의 개구(270)의 존재는 급격한 불연속을 제공하여, 배플 개구(270)를 통과하는 유출 스트림이 출구 부분(220) 내에서 유동의 팽창을 겪는다. 배플 부분(210)의 존재가 요구되지는 않지만, 하기에 논의될 바와 같이, 배플 부분(210)을 포함하는 것은 후속 저감 성능을 개선한다.
비-원형 출구
도 5는 입구 조립체(50)의 축방향 길이를 따라 관찰될 때의 출구 개구(260)를 도시한다. 출구 개구(260)는 면적 A를 갖는다. 도 5는 또한 출구 개구(260)의 면적과 동등한 면적 A를 갖는 원형 출구 개구(260a)를 예시한다.
볼 수 있는 바와 같이, 동등한 면적을 제공하기 위해, 원형 출구 개구(260a)에 대한 확산 길이 r2는 출구 개구(260)의 확산 길이 r1보다 상당히 더 길다.
따라서, 동일한 유량에 대해, 원형 출구 개구(260A)에 의해 제공되는 유출 스트림에 대해 확산 및 저감이 일어나는 데 걸리는 시간은 출구 개구(260)에 의해 제공되는 유출 스트림에 대한 시간보다 상당히 더 길다. 다시 말해서, 원형 출구 개구(260A)에 의해 제공되는 동일 유량 유출 스트림에 대해 저감 반응을 수행하는 데 필요한 연소 챔버의 길이는 출구 개구(260)에 의해 제공되는 것보다 상당히 더 클 필요가 있을 것이다. 다시 말해서, 원형 출구 개구(260A)로 가능한 것보다 더 콤팩트한 방사 버너가 출구 개구(260)를 사용하여 가능하다.
배플 부분 - 대안적인 실시예
도 6 및 도 7은 배플 부분에 대한 대안적인 배열을 예시한다.
도 6은 함께 가변 크기 배플 개구(270A)를 한정하는 한 쌍의 활주가능하게 장착된 플레이트(330A, 340A)로 구성된 셔터 배열을 갖는 배플 부분(210A)을 도시한다. 이 예에서, 플레이트(30A, 240A)는 L-형상이다. 그러나, 다른 셔터 구조 및 형상이 상상가능하다는 것이 인식될 것이다. 플레이트(330A, 340A)는 배플 개구(270A)의 면적을 변화시키기 위해 함께 또는 떨어져서 이동될 수 있다.
도 7은 배플 개구(270B)의 크기를 제한하기 위해 스프링(350)에 의해 편의되는 한 쌍의 선회 플레이트(330B, 340B)를 이용하는 패러랠 사이드 슬롯 노즐 배열(parallel sided slot nozzle arrangement)을 도시한다. 선회 플레이트(230B, 240B)는 유출 가스 스트림의 유동에 의해 작동되며, 이는 배플 개구(270B)의 면적을 증가시킨다. 다른 편의식 셔터 메커니즘이 제공될 수 있다는 것이 인식될 것이다.
전형적으로, 배플 개구의 치수는 2가지 방식, 즉 수동으로, 노즐을 통한 가스의 낮은 유량에 응답하여 변화될 수 있어서, 스로트(throat) 치수가 프로세스 가스 ＋ 펌프 희석의 처리량(throughput)에 적합하도록 최적화된다. 예를 들어, NF3와 같은 가스를 저감할 때, 더 축소된 스로트가 개선된 저감 성능을 제공하지만, 이 동일한 스로트 크기는 SiH4와 같은 입자 형성 가스를 저감할 때 버너 표면 상에의 고형물의 증가된 퇴적으로 이어지며, 이 경우에 덜 축소된 스로트가 유리하다. 또한, 스로트 치수는 배플 부분의 스로트가 스프링 작용 또는 다른 복원력에 대해 변형가능하도록 자동으로 최적화될 수 있다. 2개의 대향 플레이트(330A, 340A)의 사용은 동등한 원형 개구의 면적을 조정하는 것보다 조정이 더 용이하다는 것이 인식될 것이다.
성능 결과
도 8a 내지 도 8c에서 볼 수 있는 바와 같이, 실시예의 입구 조립체를 사용하는 방사 버너의 성능은 기존 배열의 성능과 비교해 개선된다.
도 8a는 유출 가스 스트림의 부재하에 측정될 때, 9.5%의 잔류 산소 농도를 제공하는 36 SLM의 연료로 작동하는 152.4㎜(6 인치) 내경 × 304.8㎜(12 인치) 축방향 길이의 방사 버너에 공급하는 상이한 입구 조립체 구성에 대해 200l/min의 질소를 갖는 시뮬레이션된 유출 스트림의 일부로서 측정한 NF3에 대한 파괴율 효율의 플롯을 도시한다. 볼 수 있는 바와 같이, 실시예의 입구 조립체를 사용하는 것은 단일의 32㎜ 내경 원형 입구 조립체를 사용하는 기존 배열에 비한 상당한 성능 개선을 제공한다. 또한, 배플 부분을 갖는 실시예의 그러한 입구 조립체는, 도 8b에서 더 상세히 볼 수 있는 바와 같이, 4개의 16㎜ 내경 원형 입구 조립체를 사용하는 기존 배열에 비한 상당한 성능 개선을 제공한다.
도 8b는 4×16㎜ 내경 노즐을 갖는 표준 헤드 조립체와 동일한 조건하에서 작동될 때의 도 8a의 확대도이다. 입구 조립체(50)(상이한 배플 개구 배열을 갖는 "슬롯 노즐"로 지칭됨)는 이러한 질소 희석하에서 표준 헤드 조립체를 약간 능가한다.
도 8c는 도 8b와 동일한 배열을 보여주지만, NF3를 희석하는 질소의 총 유동이 300 SLM으로 증가되었다. 볼 수 있는 바와 같이, 입구 조립체(50)(상이한 배플 개구 배열을 갖는 "슬롯 노즐")는 이러한 증가된 유체 유동하에서 표준 헤드 조립체의 성능에 비해 매우 개선된 성능을 갖는다.
변화가능한 크기 배플 개구를 제공하는 것은 상이한 작동 조건하에서 버너 조립체의 성능을 더욱 개선하는 데 도움을 준다. 예를 들어, 100 SLM의 질소에 대해, NF3 저감은 더 큰 배플 개구(예를 들어, 6㎜ 폭)에서 우수한 반면, 더 높은 유량(예를 들어, 200 및 300 SLM)의 질소에 대해, 더 좁은 슬롯이 더 잘 작동한다. 또한, 배플 개구 또는 오리피스의 크기는 저감될 프로세스 가스가 없을 때 챔버 펌프-다운(chamber pump-down)과 같은 유동 과도(flow transient) 동안 높은 배압을 발생시키지 않거나 완화시키도록 변화될 수 있다.
따라서, 실시예는 상류측에서 입구 파이프와 그리고 하류측에서 연소 챔버와 유동 연통하는, 슬롯 또는 오브라운드의 형태로 구성된 단일 노즐을 포함하는 입구 조립체를 연소 저감 시스템에 제공한다는 것을 알 수 있다. 입구 파이프와 노즐 사이의 계면은 하류측에 급격한 불연속을 제공하여, 노즐 내에서 유동의 팽창이 일어난다. 이러한 배열은 기존 구성에 비해, 예를 들어 NF3를 함유한 유출 스트림 또는 프로세스 가스의 향상된 파괴를 제공하는 것으로 입증된다. 정말로, 이러한 구성을 갖는 단일 노즐의 성능은 기존의 버너 조립체에 사용되는 복수의 별개의 노즐의 성능을 능가한다.
본 발명의 예시적인 실시예가 첨부 도면을 참조하여 본 명세서에 상세히 개시되었지만, 본 발명은 정확한 실시예로 제한되지 않고, 첨부된 청구범위 및 그것의 등가물에 의해 한정되는 바와 같은 본 발명의 범위로부터 벗어남이 없이 그 실시예에서 다양한 수정 및 변경이 당업자에 의해 수행될 수 있다는 것이 이해된다.
헤드 조립체 : 10 하우징 : 20
단열재 : 30 개구 : 40
입구 조립체 : 50 단열재 : 60
검사 유리창 : 70 파일럿 : 75A
방사 버너 조립체 : 100 외측 버너 : 110
플리넘 하우징 : 120 내측 버너 : 130
입구 부분 : 200 배플 부분 : 210, 210A, 210B
출구 부분 : 220 원통형 부분 : 230
입구 개구 : 240 로프트형 부분 : 250
출구 개구 : 260 원형 출구 개구 : 260A
배플 개구 : 270, 270A, 270B 플레이트 : 330A, 340A
선회 플레이트 : 330B, 340B 스프링 : 350
면적 : A 확산 길이 : r1, r2

Claims (20)

  1. 버너를 위한 입구 조립체(inlet assembly)에 있어서,
    상기 입구 조립체는,
    상기 버너에 의한 처리를 위해 유출 가스 스트림(effluent gas stream)을 제공하는 입구 도관(conduit)과 결합가능한 입구 개구를 한정하는 입구 노즐,
    비원형 출구 개구, 및
    상기 버너의 연소 챔버로의 전달을 위해 상기 입구 개구로부터 상기 출구 개구로 상기 유출 가스 스트림을 이송하기 위한, 상기 입구 개구와 상기 출구 개구 사이에서 종축을 따라 연장되는 노즐 보어(nozzle bore)를 포함하며,
    상기 노즐 보어는 상기 입구 개구로부터 연장되는 입구 부분, 및 상기 비원형 출구 개구까지 연장되는 출구 부분을 갖는
    입구 조립체.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 입구 부분의 단면적은 상기 종축을 따라 상기 입구 개구로부터 상기 출구 부분을 향해 감소하는
    입구 조립체.
  3. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
    상기 입구 부분의 단면 형상은 상기 종축을 따라 상기 입구 개구의 형상으로부터 상기 출구 개구의 형상으로 전이하는
    입구 조립체.
  4. 제 1 항 내지 제 3 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 입구 개구는 원형인
    입구 조립체.
  5. 제 1 항 내지 제 4 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 출구 개구는 기다란(elongate)
    입구 조립체.
  6. 제 1 항 내지 제 5 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 출구 개구는 대체로 사변형 슬롯인
    입구 조립체.
  7. 제 1 항 내지 제 6 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 출구 개구는 오브라운드(obround)인
    입구 조립체.
  8. 제 1 항 내지 제 7 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 출구 개구는 복수의, 동일한 장소에 위치된(co-located) 개별 개구로부터 형성되는
    입구 조립체.
  9. 제 1 항 내지 제 8 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 출구 부분의 단면적은 상기 종축을 따라 상기 출구 개구로부터 상기 입구 부분을 향해 변화하는
    입구 조립체.
  10. 제 1 항 내지 제 9 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 출구 부분의 단면적은 상기 종축을 따라 상기 출구 개구로부터 상기 입구 부분을 향해 감소하는
    입구 조립체.
  11. 제 1 항 내지 제 10 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 입구 부분을 상기 출구 부분과 결합시키는 배플(baffle)을 포함하며, 상기 배플은 상기 노즐 보어 내에 위치된 배플 개구를 한정하고, 상기 배플 개구는 상기 배플에 인접한 상기 출구 부분의 단면적에 비해 감소된 단면적을 갖는
    입구 조립체.
  12. 제 11 항에 있어서,
    상기 입구 부분의 단면적은 상기 배플 개구의 상기 단면적과 정합하도록 상기 종축을 따라 상기 입구 개구로부터 상기 출구 부분을 향해 감소하는
    입구 조립체.
  13. 제 11 항 또는 제 12 항에 있어서,
    상기 입구 부분의 단면 형상은 상기 종축을 따라 상기 입구 개구의 형상으로부터 상기 배플 개구의 형상으로 전이하는
    입구 조립체.
  14. 제 11 항 내지 제 13 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 배플 개구의 형상은 상기 배플에 인접한 상기 출구 부분의 형상과 정합하는
    입구 조립체.
  15. 제 11 항 내지 제 14 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 배플 개구는 복수의, 동일한 장소에 위치된 개구로부터 형성되는
    입구 조립체.
  16. 제 11 항 내지 제 15 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 배플은 가변성 단면적을 갖는 상기 배플 개구를 제공하도록 구성되는
    입구 조립체.
  17. 제 11 항 내지 제 16 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 배플은 가변성 단면적을 제공하도록 작동가능한 셔터(shutter)를 포함하는
    입구 조립체.
  18. 제 17 항에 있어서,
    상기 셔터는 상기 유출 가스 스트림의 속도에 응답하여 변화하는 상기 가변성 단면적을 제공하도록 편의되는(biased)
    입구 조립체.
  19. 방법에 있어서,
    버너를 위한 입구 조립체를 제공하는 단계로서, 상기 입구 조립체는, 상기 버너에 의한 처리를 위해 유출 가스 스트림을 제공하는 입구 도관과 결합가능한 입구 개구를 한정하는 입구 노즐, 비원형 출구 개구, 및 상기 버너의 연소 챔버로의 전달을 위해 상기 입구 개구로부터 상기 출구 개구로 상기 유출 가스 스트림을 이송하기 위한, 상기 입구 개구와 상기 출구 개구 사이에서 종축을 따라 연장되는 노즐 보어를 포함하며, 상기 노즐 보어는 상기 입구 개구로부터 연장되는 입구 부분, 및 상기 비원형 출구 개구까지 연장되는 출구 부분을 갖는, 입구 조립체 제공 단계; 및
    상기 유출 가스 스트림을 상기 입구 개구에 공급하는 단계를 포함하는
    방법.
  20. 제 19 항에 있어서,
    상기 입구 조립체는 상기 입구 부분을 상기 출구 부분과 결합시키는 배플을 포함하며, 상기 배플은 상기 노즐 보어 내에 위치된 가변성 단면적을 갖는 배플 개구를 한정하고, 상기 배플 개구는 상기 배플에 인접한 상기 출구 부분의 단면적에 비해 감소된 단면적을 가지며, 상기 방법은,
    상기 유출 가스 스트림의 속도에 응답하여 상기 가변성 단면적을 변경시키는 단계를 포함하는
    방법.
KR1020177016108A 2014-12-15 2015-12-10 방사 버너를 위한 유출 가스 입구 조립체 KR102491955B1 (ko)

Applications Claiming Priority (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
GB1422247.5A GB2533293A (en) 2014-12-15 2014-12-15 Inlet assembly
GB1422247.5 2014-12-15
PCT/GB2015/053781 WO2016097697A1 (en) 2014-12-15 2015-12-10 Effluent gas inlet assembly for a radiant burner

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20170094215A true KR20170094215A (ko) 2017-08-17
KR102491955B1 KR102491955B1 (ko) 2023-01-25

Family

ID=54937255

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020177016108A KR102491955B1 (ko) 2014-12-15 2015-12-10 방사 버너를 위한 유출 가스 입구 조립체

Country Status (9)

Country Link
US (1) US10619847B2 (ko)
EP (1) EP3234464B1 (ko)
JP (1) JP6797118B2 (ko)
KR (1) KR102491955B1 (ko)
CN (1) CN107002992B (ko)
GB (1) GB2533293A (ko)
SG (1) SG11201703691YA (ko)
TW (1) TWI690675B (ko)
WO (1) WO2016097697A1 (ko)

Families Citing this family (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
GB2550382B (en) 2016-05-18 2020-04-22 Edwards Ltd Burner Inlet Assembly
GB2584675B (en) * 2019-06-10 2021-11-17 Edwards Ltd Inlet assembly for an abatement apparatus
GB2608822A (en) * 2021-07-13 2023-01-18 Edwards Ltd Inlet nozzle assembly

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5057007A (en) * 1989-01-06 1991-10-15 Remeha Fabrieken Low nox atmospheric gas burner
JP2735610B2 (ja) * 1988-04-01 1998-04-02 ザ・ビーオーシー・グループ・インコーポレーテッド ガス噴射方法および装置
WO2011151735A1 (en) * 2010-06-04 2011-12-08 F.I.R.E. S.R.L. Burner and kiln comprising said burner
JP2014134350A (ja) * 2013-01-11 2014-07-24 Edwards Kk インレットノズル、及び除害装置

Family Cites Families (32)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3061001A (en) * 1958-09-12 1962-10-30 Zink Co John Gaseous fuel burner
US3770368A (en) * 1970-02-18 1973-11-06 Itt Pilot light apparatus
US3799734A (en) * 1973-05-03 1974-03-26 J Bailey Combustion device
JPH02126012A (ja) * 1988-11-05 1990-05-15 Osaka Gas Co Ltd ノズル面積可変ガスバーナ
DE4134979A1 (de) * 1991-10-23 1993-04-29 Linde Ag Brenner mit reduzierter schadstoffemission
JPH06159626A (ja) * 1992-11-30 1994-06-07 Sanyo Electric Co Ltd ガスバーナ
US5510093A (en) 1994-07-25 1996-04-23 Alzeta Corporation Combustive destruction of halogenated compounds
IT241746Y1 (it) * 1996-02-26 2001-05-17 Finpolidoro Srl Ora Indus Poli Bruciatore atmosferico di gas combustibile, del tipo cosiddetto a"rampette".
DE60025924D1 (de) * 1999-08-17 2006-04-20 Nippon Furnace Kogyo K K Verbrennungsverfahren und brenner
JP2001153312A (ja) * 1999-11-30 2001-06-08 Shizuo Wani 低ＮＯｘバーナ
JP3897534B2 (ja) * 2001-02-26 2007-03-28 三菱重工業株式会社 バーナーノズル
JP4228565B2 (ja) * 2001-10-19 2009-02-25 日立電線株式会社 合成石英ガラススート堆積用バーナ、光ファイバ母材製造装置及び光ファイバ母材製造方法
JP4518533B2 (ja) * 2002-08-15 2010-08-04 Ｊｆｅスチール株式会社 管状火炎バーナの燃焼制御方法及び燃焼制御装置
JP2004278879A (ja) * 2003-03-14 2004-10-07 Babcock Hitachi Kk 排ガス燃焼処理装置
US7185833B2 (en) * 2004-03-18 2007-03-06 Ernest Geskin Method for fluid jet formation and apparatus for the same
KR101036734B1 (ko) * 2005-10-31 2011-05-24 어플라이드 머티어리얼스, 인코포레이티드 공정 저감 반응로
ES2421888T3 (es) * 2007-07-24 2013-09-06 Alstom Technology Ltd Procedimiento de funcionamiento de un dispositivo de combustión y dispositivo de combustión para la puesta en práctica del procedimiento
DE102007036953B3 (de) * 2007-08-04 2009-04-02 Deutsches Zentrum für Luft- und Raumfahrt e.V. Brenner
CN101368731A (zh) * 2007-08-10 2009-02-18 Kdk托拉斯 燃烧器
US7632090B2 (en) * 2007-10-30 2009-12-15 Air Products And Chemicals, Inc. Burner system and method of operating a burner for reduced NOx emissions
CN102644928B (zh) * 2011-02-18 2015-07-29 Das环境专家有限公司 用于热处理包括有害物质的废气的装置
BE1019887A5 (nl) * 2011-03-22 2013-02-05 Romato Bvba Bv Met Beperkte Aansprakelijkheid Verwarmingstoestel voor luchtverwarming.
ITRE20110049A1 (it) * 2011-07-01 2011-09-30 Univ Degli Studi Modena E Reggio Emilia Ugello capace di deviare in modo dinamico e controllabile un getto sintetico senza parti meccaniche in movimento e relativo sistema di controllo
EP2815180B1 (en) * 2011-12-01 2018-11-21 Air Products and Chemicals, Inc. Staged oxy-fuel burners and methods for using the same
US8919337B2 (en) * 2012-02-17 2014-12-30 Honeywell International Inc. Furnace premix burner
US9145778B2 (en) * 2012-04-03 2015-09-29 General Electric Company Combustor with non-circular head end
GB2504335A (en) * 2012-07-26 2014-01-29 Edwards Ltd Radiant burner for the combustion of manufacturing effluent gases.
US9234661B2 (en) * 2012-09-15 2016-01-12 Honeywell International Inc. Burner control system
KR102277236B1 (ko) * 2013-04-25 2021-07-13 에드워즈 리미티드 방사 버너
US20160123575A1 (en) * 2014-11-02 2016-05-05 John D. Bridges Combination Combustor and Burner
GB2550382B (en) * 2016-05-18 2020-04-22 Edwards Ltd Burner Inlet Assembly
US10690339B2 (en) * 2016-11-15 2020-06-23 Honeywell International Inc. Burner for a furnace and a method of assembly

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2735610B2 (ja) * 1988-04-01 1998-04-02 ザ・ビーオーシー・グループ・インコーポレーテッド ガス噴射方法および装置
US5057007A (en) * 1989-01-06 1991-10-15 Remeha Fabrieken Low nox atmospheric gas burner
WO2011151735A1 (en) * 2010-06-04 2011-12-08 F.I.R.E. S.R.L. Burner and kiln comprising said burner
JP2014134350A (ja) * 2013-01-11 2014-07-24 Edwards Kk インレットノズル、及び除害装置

Also Published As

Publication number Publication date
CN107002992A (zh) 2017-08-01
TWI690675B (zh) 2020-04-11
SG11201703691YA (en) 2017-06-29
TW201632790A (zh) 2016-09-16
US10619847B2 (en) 2020-04-14
US20180335209A1 (en) 2018-11-22
JP6797118B2 (ja) 2020-12-09
JP2018503049A (ja) 2018-02-01
CN107002992B (zh) 2019-12-31
KR102491955B1 (ko) 2023-01-25
GB2533293A (en) 2016-06-22
EP3234464A1 (en) 2017-10-25
EP3234464B1 (en) 2020-08-05
WO2016097697A1 (en) 2016-06-23

Similar Documents

Publication Publication Date Title
TWI794173B (zh) 用於一燃燒器之入口總成及使用該入口總成的方法
KR20170094215A (ko) 방사 버너를 위한 유출 가스 입구 조립체
WO2008038426A1 (fr) Brûleur, et équipement de combustion et chaudière comprenant un brûleur
EP3325880B1 (en) Inlet assembly and method for operating the same
TW202113276A (zh) 用於一減量裝置之入口總成
US20230213186A1 (en) Inlet assembly for an abatement assembly and method of conveying an effluent to an abatement chamber
US9726372B2 (en) Burner nozzle, burner and a surface treatment device

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E902 Notification of reason for refusal
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant