KR20170081002A - Array substrate with enhanced thermal resistance and display device having thereof - Google Patents

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KR20170081002A
KR20170081002A KR1020150191568A KR20150191568A KR20170081002A KR 20170081002 A KR20170081002 A KR 20170081002A KR 1020150191568 A KR1020150191568 A KR 1020150191568A KR 20150191568 A KR20150191568 A KR 20150191568A KR 20170081002 A KR20170081002 A KR 20170081002A
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Abstract

본 발명은 터치 패널과 표시 패널 사이에 내열성이 우수한 바인더 수지에 다공성 구리 입자가 분산된 평탄화층을 가지는 어레이 기판 및 표시장치에 관한 것이다. 터치 패널과 표시 패널 사이에 내열성이 우수한 다공성 구리 입자가 분산된 평탄화층을 적용함으로써, 고온의 박막트랜지스터 제조 공정에 의해서도 평탄화층이 열화되지 않는다. 뿐만 아니라, 본 발명의 평탄화층을 적용하면 접착 특성, 내-크랙 특성, 내-정전기 특성 등이 우수하여, 표시 패널과 터치 패널의 안정적인 합착이 가능하며, 저유전율을 구비하여 구동 전압을 낮출 수 있고, 정전기를 신속하게 배출하여 소자 불량을 방지할 수 있다. The present invention relates to an array substrate and a display device having a planarization layer in which porous copper particles are dispersed in a binder resin having excellent heat resistance between a touch panel and a display panel. The planarization layer is not deteriorated even by the manufacturing process of the high temperature thin film transistor by applying the planarization layer in which the porous copper particles having excellent heat resistance are dispersed between the touch panel and the display panel. In addition, when the flattening layer of the present invention is applied, it is possible to stably adhere the display panel and the touch panel with excellent adhesion properties, anti-cracking property, and anti-electrostatic property, And it is possible to quickly discharge the static electricity to prevent the defective device.

Description

내열성이 향상된 어레이 기판 및 이를 포함하는 표시장치{ARRAY SUBSTRATE WITH ENHANCED THERMAL RESISTANCE AND DISPLAY DEVICE HAVING THEREOF}TECHNICAL FIELD [0001] The present invention relates to an array substrate having improved heat resistance and a display device including the array substrate.

본 발명은 어레이 기판에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 인-셀 타입 표시장치에 적용되어 내열성이 향상된 표시장치용 어레이 기판 및 이를 포함하는 표시장치에 관한 것이다.
The present invention relates to an array substrate, and more particularly, to an array substrate for a display device having improved heat resistance, which is applied to an in-cell type display device and a display device including the same.

스마트 기기가 널리 보급되면서, 액정 표시장치(Liquid Crystal Display Device, LCD)나 유기발광다이오드 표시장치(Organic Light Emitting Diode Display Device, OLED 표시장치)와 같은 평판 표시장치에 터치스크린 패널을 적용하고 있다. 터치스크린 패널(Touch Screen Panel)은 스크린에 사용자가 손가락이나 펜 등으로 화면을 누르거나 접촉하면, 그 위치를 인지하여 시스템에 전달하는 입력 장치를 의미한다. As smart devices have become widespread, touch screen panels have been applied to flat panel display devices such as liquid crystal display devices (LCDs) and organic light emitting diode display devices (OLED display devices). A touch screen panel refers to an input device that recognizes a position of a screen or touches the screen with a finger or a pen or the like and transmits the touch screen to the system.

터치스크린 패널은 터치 패널, 컨트롤러 IC, 드라이버 소프트웨어 등으로 구성된다. 터치 패널은 투명 전극이 증착된 기판으로 구성되며 접촉이 발생하거나 전기적 용량 변화에 따른 신호 발생 위치를 파악하여 컨트롤러 IC에 전송하고, 컨트롤러 IC는 터치 패널에서 전송된 아날로그 신호를 디지털 신호로 변경하여 화면에 나타낼 수 있는 좌표 형태로 바꿔주며, 드라이버 소프트웨어는 컨트롤러 IC에서 송신된 디지털 신호를 받아 터치 패널이 각각의 운영 시스템에 맞게 구현되도록 제어한다. The touch screen panel consists of a touch panel, a controller IC, and driver software. The touch panel is composed of a substrate on which a transparent electrode is deposited. The touch panel detects a position where a contact occurs or a signal generation position due to a change in electric capacity, and transmits the signal to the controller IC. The controller IC converts the analog signal transmitted from the touch panel to a digital signal, The driver software receives the digital signal transmitted from the controller IC and controls the touch panel to be implemented in each operating system.

터치 패널은 그 적용 방식에 따라 인듐-틴-옥사이드(Indium-tin-oxide, ITO) 등의 투명 전극층이 코팅되어 있는 2개의 기판이 닷 스페이서(dot space)를 사이에 두고 투명 전극층이 마주보도록 합착되어 있어 상부 기판에 인가되는 압력을 인지하는 저항막 방식(Resistive Touch Type), 터치 화면 센서를 구성하는 기판의 양면에 전도성 금속을 코팅하여 투명 전극을 형성하고, 일정량의 전류를 기판 표면에 흐르게 하면 두 도체 간의 전위차를 통해서 사람의 몸에 있는 정전용량을 이하여 전류의 양이 변경된 부분을 인식하는 정전용량 방식(Capacitive Touch Type)이 대표적으로 사용되고 있다. 그 외에도 소리의 전파 특성을 이용하여 사용자 또는 펜이 접촉한 영역을 인식하는 초음파 방식(Surface Acoustic Wave Touch Type)이나, 적외선이 장애물에 부딪히면 차단되는 속성을 활용하는 적외선 방식(Infrared Touch Type) 등이 제안되었다. According to the application method of the touch panel, two substrates in which a transparent electrode layer such as indium-tin-oxide (ITO) is coated are bonded together such that a transparent electrode layer faces each other with a dot space therebetween (Resistive Touch Type) which recognizes the pressure applied to the upper substrate, a transparent electrode is formed by coating a conductive metal on both sides of a substrate constituting a touch screen sensor, and a certain amount of current is caused to flow on the surface of the substrate Capacitive touch type which recognizes a portion where the amount of electric current is changed by subtracting the capacitance in the human body through the potential difference between the two conductors is typically used. In addition, an ultrasonic method (Surface Acoustic Wave Touch Type) that recognizes a user or an area contacted by a pen using sound propagation characteristics, or an infrared touch type that uses an attribute that is blocked when an infrared ray hits an obstacle It was proposed.

한편, 터치 패널과 표시 패널의 적층(Stacked-up) 구조에 따라 터치 패널이 표시 패널을 구성하는 기판의 외측과 커버 글라스 사이에 개재되는 외장형(Add-on Type)과, 터치 패널이 표시 패널과 통합되는 내장형(Embedded Type)으로 구분될 수 있다. 내장형 터치 패널은 또한 표시 패널 상단에 터치 패널이 내장되는 온-셀(On-Cell) 타입과, 표시 패널 내부(예를 들어 하부 기판)에 터치 패널을 장착하는 인-셀(In-Cell) 타입으로 구분될 수 있다. 외장형 터치 패널에 비하여 내장형 터치 패널은 터치 센서를 위한 별도의 기판이 요구되지 않으므로 박형화, 경량화가 가능하다. 또한, 내장형은 터치 패널 표면의 광-반사가 줄어들기 때문에, 표시 소자에 필요한 전력 소모도 감소한다는 장점이 있다. On the other hand, according to the stacked-up structure of the touch panel and the display panel, an external type (Add-on Type) in which the touch panel is interposed between the outside of the substrate constituting the display panel and the cover glass, (Embedded Type). The built-in touch panel also includes an on-cell type in which a touch panel is mounted on the top of a display panel and an in-cell type in which a touch panel is mounted in a display panel (for example, . Compared to the external touch panel, the built-in touch panel does not require a separate substrate for the touch sensor, so it can be made thinner and lighter. In addition, since the built-in type reduces the light-reflection on the surface of the touch panel, the power consumption required for the display device is also reduced.

도 1은 인-셀 타입의 터치 패널이 적용된 표시장치를 개략적으로 도시한 단면도이다. 도 1에 도시한 바와 같이, 종래의 인-셀 타입의 터치 패널이 적용된 표시장치(1)는 하부 기판(11)과, 하부 기판(11)과 마주하는 상부 기판(12)과, 하부 기판(11)과 상부 기판(12) 사이에 위치하는 표시 패널(20)과, 하부 기판(11)과 표시 패널(20) 사이에 위치하는 터치 패널(30)을 포함한다. 1 is a cross-sectional view schematically showing a display device to which an in-cell type touch panel is applied. 1, a display device 1 to which a conventional in-cell type touch panel is applied includes a lower substrate 11, an upper substrate 12 facing the lower substrate 11, And a touch panel 30 positioned between the lower substrate 11 and the display panel 20. The display panel 20 includes a display panel 20,

표시 패널(20)은 이를 구동하기 위한 박막트랜지스터(Thin Film Transistor, TFT, 22)를 구비하고 있다. 박막트랜지스터(22)는 실리콘 소재에 의해 적층되는 무기 절연막을 포함하고 있으며, 이러한 무기 절연막은 고온, 예를 들어 350℃ 이상의 공정 조건에서 증착된다. 하부 기판(11)의 상면에 바로 위치하는 터치 패널(30)은 예를 들어 ITO 등과 같은 투명 금속으로 제조되는 제 1 터치 전극(32)과 제 2 터치 전극(34)을 포함하고 있다. 터치 전극(32, 34)으로 인하여 터치 패널(30)과 표시 패널(20)을 바로 합착할 수 없기 때문에, 터치 패널(30)과 표시 패널(20)의 하부에 위치하는 박막트랜지스터(22) 사이에 절연 소재의 평탄화막(36)이 개재된다. The display panel 20 includes a thin film transistor (TFT) 22 for driving the display panel 20. The thin film transistor 22 includes an inorganic insulating film laminated by a silicon material, and the inorganic insulating film is deposited at a high temperature, for example, at 350 DEG C or higher. The touch panel 30 positioned directly on the upper surface of the lower substrate 11 includes a first touch electrode 32 and a second touch electrode 34 made of a transparent metal such as ITO. Since the touch panel 30 and the display panel 20 can not be directly attached due to the touch electrodes 32 and 34, the touch panel 30 and the thin film transistors 22 located below the display panel 20 A flattening film 36 of an insulating material is interposed.

종래, 표시 패널(20)과 터치 패널(30) 사이에 위치하는 평탄화막(36)을 형성하기 위한 절연 소재로서 아크릴레이트계 수지가 일반적으로 채택되었다. 하지만, 아크릴레이트계 수지는 공정성은 양호하지만, 내열성이 취약하다. 따라서 그 상부에 위치하는 표시 패널(20)을 구성하는 박막트랜지스터(22)를 형성하기 위한 고온의 공정 조건에서 아크릴레이트계 수지로 제조되는 평탄화막(36)은 쉽게 열화된다. 평탄화막(36)이 열화됨에 따라 표시 패널(20)과 터치 패널(30)과의 계면에서 들뜸 현상이 발생하고, 평탄화막(36)에서 크랙(crack)이 발생하고, 최종적으로 제조되는 표시장치(1)에서 황변(yellow mura)이 발생하는 문제가 발생한다. Conventionally, an acrylate resin has been generally employed as an insulating material for forming the planarization film 36 located between the display panel 20 and the touch panel 30. [ However, the acrylate resin has a good processability, but is poor in heat resistance. Therefore, the flattening film 36 made of an acrylate resin easily deteriorates under high-temperature processing conditions for forming the thin film transistor 22 constituting the display panel 20 located thereon. As the flattening film 36 deteriorates, lifting occurs at the interface between the display panel 20 and the touch panel 30, cracks occur in the flattening film 36, (Yellow mura) occurs in the photoreceptor (1).

따라서 충분한 내열 특성을 확보하여 고온의 공정 조건에서도 열화되지 않으며, 특히 터치 패널과 표시 패널의 계면에서의 들뜸이나 크랙 발생을 억제하는 동시에 이들 표시 패널에 대한 접착력이 우수한 평탄화막을 개발할 필요가 있다.
Therefore, it is necessary to develop a planarizing film having excellent adhesion to these display panels while suppressing lifting and cracking at the interface between the touch panel and the display panel and ensuring sufficient heat resistance properties and not deteriorating even under high-temperature process conditions.

본 발명은 전술한 종래 기술의 문제점을 해소하기 위하여 제안된 것으로, 본 발명의 목적은 내열성이 우수하여 박막트랜지스터를 제조하기 위한 고온 공정에 의해서도 열화되지 않는 표시장치용 어레이 기판 및 이를 포함하는 표시장치를 제공하고자 하는 것이다. DISCLOSURE OF THE INVENTION The present invention has been proposed in order to solve the above problems of the prior art, and an object of the present invention is to provide an array substrate for a display device which is excellent in heat resistance and does not deteriorate even by a high temperature process for manufacturing a thin film transistor, .

본 발명의 다른 목적은 기재에 대한 접착 특성, 내-크랙 특성, 내-스크래치 특성을 가지는 표시장치용 어레이 기판 및 이를 포함하는 표시장치를 제공하고자 하는 것이다. It is another object of the present invention to provide an array substrate for a display device having a bonding property to a substrate, an anti-crack property, and an anti-scratch property, and a display device including the same.

본 발명의 다른 목적은 광 투과 특성, 우수한 정전기 배출 특성을 가지는 표시장치용 어레이 기판 및 이를 포함하는 표시장치를 제공하고자 하는 것이다.
Another object of the present invention is to provide an array substrate for a display device having a light transmitting property and an excellent electrostatic discharge characteristic, and a display device including the same.

전술한 목적을 가지는 본 발명의 일 측면에 따르면, 본 발명은 터치 패널과 표시 패널을 구성하는 박막트랜지스터 사이에 내열성이 우수한 바인더 수지에 다공성 구리 입자가 분산되어 있는 평탄화막을 가지는 표시장치용 어레이 기판 및 이를 포함하는 표시장치를 제공한다. According to an aspect of the present invention, there is provided an array substrate for a display device having a flattening film in which porous copper particles are dispersed in a binder resin having excellent heat resistance between a touch panel and thin film transistors constituting a display panel, And a display device including the same.

예시적인 실시형태에서, 상기 평탄화막과, 터치 패널 및 박막트랜지스터 사이에 각각 버퍼층이 더욱 개재될 수 있다. In an exemplary embodiment, a buffer layer may further be interposed between the planarization film and the touch panel and the thin film transistor, respectively.

상기 다공성 구리 입자는 메조포러스 구리 입자, 예를 들어 다공성 실리케이트 입자의 내벽에 함침되어 있는 메조포러스 구리 입자일 수 있다.
The porous copper particles may be mesoporous copper particles, for example, mesoporous copper particles impregnated into the inner walls of porous silicate particles.

본 발명에 따르면, 기판의 상부에 위치하는 터치 패널과 박막트랜지스터 또는 표시 패널 사이에, 내열성 바인더 수지에 다공성 구리 입자가 분산된 평탄화막이 위치하는 표시장치용 어레이 기판 및 이를 포함하는 표시장치를 제안한다. According to the present invention, there is proposed an array substrate for a display device in which a planarizing film in which porous copper particles are dispersed in a heat-resistant binder resin is disposed between a touch panel and a thin film transistor or a display panel located on an upper portion of the substrate, and a display device including the same .

본 발명의 평탄화막은 내열 특성이 우수하여, 표시 패널에 적용되는 박막트랜지스터를 제조하기 위한 고온 공정에 의하여 열화되지 않는다. The planarizing film of the present invention is excellent in heat resistance and is not deteriorated by a high-temperature process for manufacturing a thin film transistor to be applied to a display panel.

특히, 기공 구조를 채택함으로써 어레이 패널에서 발생하는 열을 터치 패널로 분산시키는 통로가 형성된다. 이에 따라 이들 패널의 열팽창계수(CTE)를 낮출 수 있어서 이들 패널에 적용되는 열적 스트레스를 비슷하게 만들어 줄 수 있다. 따라서 본 발명의 평탄화막은 고온 처리에 의해서도 기재에 대한 접착 특성이 우수하며, 내-크랙 특성 및 내-스크래치성이 우수하기 때문에, 외부의 충격이나 가혹한 공정 조건에서도 터치 패널과 표시 패널이 박리되지 않고 양호하게 합착될 수 있다. Particularly, by adopting the pore structure, a passage for dispersing the heat generated in the array panel to the touch panel is formed. Thereby lowering the coefficient of thermal expansion (CTE) of these panels, thereby making the thermal stresses applied to these panels similar. Therefore, the flattening film of the present invention is excellent in adhesion properties to a substrate even at a high temperature, and is excellent in anti-cracking property and scratch resistance, so that the touch panel and the display panel are not peeled off even under external shocks or severe process conditions They can be adhered well.

본 발명의 평탄화막은 경화 공정에 의해서도 광-투과 특성이 저하되지 않으므로, 이 평탄화막이 적용된 표시장치에서도 양호한 휘도를 얻을 수 있다. 아울러, 본 발명의 평탄화막은 저유전율 소재를 채택하여 기생 정전용량을 감소시킬 수 있으므로, 소비 전력을 감소시킬 수 있다. Since the light-transmitting property of the planarizing film of the present invention does not deteriorate even by the curing process, good luminance can be obtained even in a display device to which the planarizing film is applied. In addition, since the planarizing film of the present invention can reduce the parasitic capacitance by adopting a low dielectric constant material, power consumption can be reduced.

뿐만 아니라, 본 발명의 평탄화막은 신속하게 정전기를 감쇠할 수 있으므로, 정전기 발생에 따른 표시 패널이나 터치 패널의 구동성 저하를 방지할 수 있다.
In addition, since the planarizing film of the present invention can quickly attenuate static electricity, it is possible to prevent degradation of the driving performance of the display panel or the touch panel due to the generation of static electricity.

도 1은 종래 기술에 따라 터치 패널이 구비된 표시장치를 개략적으로 도시한 단면도이다.
도 2는 본 발명의 예시적인 실시형태에 따라 터치 패널과 표시 패널 사이에 적용되는 평탄화막의 개략적인 단면도이다.
도 3a는 본 발명의 예시적인 실시형태에 따라 메조포러스 구리 입자를 제조하기 위해 주형(template)으로 사용된 MCM-41을 제조하기 위한 과정을 개략적으로 도시한 도면이다.
도 3b는 주형으로 사용된 MCM-41로부터 메조포러스 구리 입자를 제조하기 위한 과정을 개략적으로 도시한 도면이다.
도 4는 본 발명의 예시적인 실시형태에 따라 터치 패널과 액정 표시 패널 사이에 고내열성 평탄화막이 적용된 표시장치를 개략적으로 도시한 단면도이다.
도 5는 본 발명의 예시적인 실시형태에 따라 터치 패널과 발광다이오드 표시 패널 사이에 고내열성 평탄화막이 적용된 표시장치를 개략적으로 도시한 단면도이다.
도 6a 내지 도 6f는 각각 본 발명의 예시적인 실시예에 따라 합성된 메조포러스 구리 입자에 대한 분석 결과를 도시한 것이다.
도 6a는 메조포러스 구리 입자에 대한 XRD(X-ray diffraction) 분석 결과를 도시한 그래프이고, 도 6b는 메조포러스 구리 입자에 대한 FTIR spectroscopy(푸리에 변환 자외선 분광, Fourier transform Infrared spectroscopy) 분석 결과를 도시한 그래프이다.
도 6c는 메조포러스 구리 입자에 대한 BET(Brunauer-Emmett-Teller) 분석 결과를 도시한 그래프이고, 도 6d는 메조포러스 구리 입자에 대한 NMR 스펙트럼 분석 결과를 도시한 그래프이다. 도 6c에서 A는 구리가 함침되어 있는 메조포러스 입자에 대한 분석 결과를 나타내고, B는 구리가 함침되기 전의 다공성 실리케이트에 대한 분석 결과를 나타낸다.
도 6e와 도 6f는 각각 메조포러스 구리 입자에 대한 SEM 사진과 TEM 사진이다.
도 7a는 본 발명의 예시적인 실시예에 따라 폴리실록산 수지에 메조포러스 구리 입자가 분산된 평탄화막의 접착력 테스트에 따른 패턴 사진이다.
도 7b와 7c는 각각 비교예로서 메조포러스 입자가 분산되지 않은 폴리아크릴레이트 바인더 수지와, 폴리실록산 수지만으로 구성된 평탄화막의 접착력 테스트에 따른 패턴 사진이다.
도 7d와 도 7e는 각각 비교예로서 폴리실록산 수지에 메조포러스 알루미늄 입자와 메조포러스 크롬 입자가 분산된 평탄화막의 접착력 테스트에 따른 패턴 사진이다.
도 8a는 본 발명의 예시적인 실시예에 따라 폴리실록산 수지에 메조포러스 구리 입자가 분산된 평탄화막의 크랙(crack) 특성을 분석한 사진이다.
도 8b와 8c는 각각 비교예로서 메조포러스 입자가 분산되지 않은 폴리아크릴레이트 바인더 수지와, 폴리실록산 수지만으로 구성된 평탄화 절연막의 크랙 특성을 분석한 사진이다.
도 8d와 도 8e는 각각 비교예로서 폴리실록산 수지에 메조포러스 알루미늄 입자와 메조포러스 크롬 입자가 분산된 평탄화 절연막의 크랙 특성을 분석한 사진이다.
도 9a는 본 발명의 예시적인 실시예에 따라 폴리실록산 수지에 메조포러스 구리 입자가 분산된 평탄화 절연막의 박리 강도(peel strength)를 분석한 사진이다.
도 9b와 9c는 각각 비교예로서 메조포러스 입자가 분산되지 않은 폴리아크릴레이트 바인더 수지와, 폴리실록산 수지만으로 구성된 평탄화 절연막의 박리 강도를 분석한 사진이다.
도 9d와 도 9e는 각각 비교예로서 폴리실록산 수지에 메조포러스 알루미늄 입자와 메조포러스 크롬 입자가 분산된 평탄화 절연막의 크랙 특성을 분석한 사진이다.
도 10a는 본 발명의 예시적인 실시예에 따라 폴리실록산 수지에 메조포러스 구리 입자가 분산된 평탄화 절연막의 스트레스 인가에 따른 크랙(crack) 특성을 분석한 사진이다.
도 10b와 10c는 각각 비교예로서 메조포러스 입자가 분산되지 않은 폴리아크릴레이트 바인더 수지와, 폴리실록산 수지만으로 구성된 평탄화 절연막의 스트레스 인가에 따른 크랙 특성을 분석한 사진이다.
도 10d와 도 10e는 각각 비교예로서 폴리실록산 수지에 메조포러스 알루미늄 입자와 메조포러스 크롬 입자가 분산된 평탄화 절연막의 스트레스 인가에 따른 크랙 특성을 분석한 사진이다.
1 is a cross-sectional view schematically showing a display device having a touch panel according to a related art.
2 is a schematic cross-sectional view of a planarizing film applied between a touch panel and a display panel in accordance with an exemplary embodiment of the present invention.
Figure 3a is a schematic illustration of a process for making MCM-41 used as a template for making mesoporous copper particles in accordance with an exemplary embodiment of the present invention.
3B is a schematic view illustrating a process for producing mesoporous copper particles from MCM-41 used as a mold.
4 is a cross-sectional view schematically illustrating a display device to which a high-temperature-resistant flattening film is applied between a touch panel and a liquid crystal display panel according to an exemplary embodiment of the present invention.
FIG. 5 is a cross-sectional view schematically illustrating a display device to which a high-temperature-resistant flattening film is applied between a touch panel and a light-emitting diode display panel according to an exemplary embodiment of the present invention.
FIGS. 6A to 6F show the results of analysis of synthesized mesoporous copper particles, respectively, according to an exemplary embodiment of the present invention.
FIG. 6A is a graph showing an X-ray diffraction (XRD) analysis result of mesoporous copper particles, and FIG. 6B is a graph showing FTIR spectroscopy (Fourier transform infrared spectroscopy) analysis results of mesoporous copper particles. It is a graph.
FIG. 6C is a graph showing the results of BET (Brunauer-Emmett-Teller) analysis for mesoporous copper particles, and FIG. 6D is a graph showing NMR spectrum analysis results for mesoporous copper particles. In FIG. 6C, A shows the analysis results for copper-impregnated mesoporous particles, and B shows the analysis results for the porous silicates before copper impregnation.
6E and 6F are SEM and TEM photographs of mesoporous copper particles, respectively.
FIG. 7A is a pattern photograph according to an adhesion test of a planarizing film in which mesoporous copper particles are dispersed in a polysiloxane resin according to an exemplary embodiment of the present invention. FIG.
Figs. 7B and 7C are photographs of a pattern of a polyacrylate binder resin in which mesoporous particles are not dispersed and a planarizing film composed of polysiloxane resin alone, respectively, as a comparative example.
Figs. 7D and 7E are photographs of a pattern according to an adhesion test of a planarizing film in which mesoporous aluminum particles and mesoporous chrome particles are dispersed in a polysiloxane resin as comparative examples.
FIG. 8A is a photograph of a crack characteristic of a planarizing film in which mesoporous copper particles are dispersed in a polysiloxane resin according to an exemplary embodiment of the present invention. FIG.
FIGS. 8B and 8C are photographs showing crack characteristics of a polyacrylate binder resin in which mesoporous particles are not dispersed and a planarization insulating film composed of only a polysiloxane resin, as comparative examples.
8D and 8E are photographs showing crack characteristics of a planarization insulating film in which mesoporous aluminum particles and mesoporous chromium particles are dispersed in a polysiloxane resin as comparative examples.
9A is a photograph of peel strength analysis of a planarization insulating film in which mesoporous copper particles are dispersed in a polysiloxane resin according to an exemplary embodiment of the present invention.
FIGS. 9B and 9C are photographs showing a peel strength analysis of a polyacrylate binder resin in which mesoporous particles are not dispersed and a planarization insulating film composed solely of polysiloxane resin, as comparative examples.
9D and 9E are photographs showing crack characteristics of a planarization insulating film in which mesoporous aluminum particles and mesoporous chromium particles are dispersed in a polysiloxane resin as comparative examples.
FIG. 10A is a photograph of a crack analysis characteristic of a planarization insulating film in which mesoporous copper particles are dispersed in a polysiloxane resin according to stress, according to an exemplary embodiment of the present invention. FIG.
FIGS. 10B and 10C are photographs showing crack characteristics of a polyacrylate binder resin in which mesoporous particles are not dispersed and a planarizing insulating film composed of polysiloxane resin only, according to stress, respectively, as comparative examples.
FIGS. 10D and 10E are photographs showing crack characteristics according to stress of a planarization insulating film in which mesoporous aluminum particles and mesoporous chromium particles are dispersed in a polysiloxane resin as comparative examples.

본 발명의 일 측면에 따르면, 본 발명은 기판 상에 위치하는 터치 패널과; 상기 터치 패널과 이격하여 위치하는 박막트랜지스터와; 상기 터치 패널과 상기 박막트랜지스터 사이에 개재되는 평탄화층을 포함하고, 상기 평탄화층은 바인더 수지에 분산된 다공성(porous) 구리 입자를 포함하는 표시장치용 어레이 기판을 제공한다. According to an aspect of the present invention, there is provided a touch panel including: a touch panel disposed on a substrate; A thin film transistor positioned apart from the touch panel; And a planarization layer interposed between the touch panel and the thin film transistor, wherein the planarization layer includes porous copper particles dispersed in a binder resin.

상기 터치 패널과 상기 평탄화층 사이에 위치하는 제 1 버퍼층과, 상기 평탄화층과 상기 박막트랜지스터 사이에 위치하는 제 2 버퍼층을 더욱 포함할 수 있다. A first buffer layer positioned between the touch panel and the planarization layer, and a second buffer layer positioned between the planarization layer and the thin film transistor.

상기 다공성 구리 입자는 메조포러스(mesoporous) 구리 입자를 포함할 수 있으며, 상기 바인더 수지는 폴리실록산계 수지, 폴리이미드계 수지 및 이들의 조합으로 구성되는 군에서 선택될 수 있다. The porous copper particles may include mesoporous copper particles, and the binder resin may be selected from the group consisting of a polysiloxane-based resin, a polyimide-based resin, and a combination thereof.

예를 들어, 상기 다공성 구리 입자는 상기 바인더 수지에 0.5 ~ 10 중량부의 비율로 상기 바인더 수지에 분산될 수 있고, 상기 다공성 구리 입자는 다공성 실리케이트(silicate) 입자에 함침되어 있다(impregnated).For example, the porous copper particles may be dispersed in the binder resin in a proportion of 0.5 to 10 parts by weight to the binder resin, and the porous copper particles are impregnated with porous silicate particles.

본 발명의 다른 측면에 따르면, 본 발명은 제 1 기판과; 상기 제 1 기판 상에 위치하는 터치 패널과; 상기 터치 패널과 이격하여 위치하는 표시 패널과; 상기 터치 패널과 상기 표시 패널 사이에 개재되는 평탄화층을 포함하고, 상기 평탄화층은 바인더 수지에 분산된 다공성(porous) 구리 입자를 포함하는 표시장치를 제공한다. According to another aspect of the present invention, there is provided a plasma display panel comprising: a first substrate; A touch panel positioned on the first substrate; A display panel spaced apart from the touch panel; And a planarization layer interposed between the touch panel and the display panel, wherein the planarization layer includes porous copper particles dispersed in a binder resin.

이하, 필요한 경우에 첨부하는 도면을 참조하면서 본 발명을 상세하게 설명한다. Hereinafter, the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings where necessary.

도 2는 본 발명의 예시적인 실시형태에 따라 터치 패널(TP, 도 4 참조)과 표시 패널(DP, 도 4 참조), 예를 들어 어레이 패널(AP, 도 4 참조) 사이에 적용되는 평탄화막의 개략적인 단면도이다. 평탄화막(300)은 바인더 수지(312)에 다공성(porous) 구리 입자(320)가 분산되어 있는 평탄화층(310)과, 평탄화층(310)의 하부와 상부에 각각 위치하는 제 1 버퍼층(332) 및 제 2 버퍼층(334)을 포함한다. Fig. 2 is a plan view of a planarizing film applied between a touch panel TP (see Fig. 4) and a display panel DP (see Fig. 4), for example an array panel AP (see Fig. 4), according to an exemplary embodiment of the present invention Fig. The planarization layer 300 includes a planarization layer 310 in which porous copper particles 320 are dispersed in a binder resin 312 and a first buffer layer 332 located in a lower portion and an upper portion of the planarization layer 310, And a second buffer layer 334.

하나의 예시적인 실시형태에서, 평탄화층(310)을 구성하는 바인더 수지(312)는 내열 특성이 우수한 바인더 수지를 사용할 수 있다. 일예로 바인더 수지(312)는 폴리실록산계 수지 및/또는 폴리이미드계(PI) 수지일 수 있다. 폴리실록산계 수지와 폴리이미드계 수지는 기본적으로 내열 특성이 양호하기 때문에, 고온 조건에 의해서도 열화되지 않는 이점을 갖는다. 평탄화층(310)은 제 1 버퍼층(332)을 통하여 터치 패널(TP, 도 4 참조) 상부에 코팅, 적층될 수 있다. In one exemplary embodiment, the binder resin 312 constituting the planarization layer 310 may be a binder resin having excellent heat resistance. For example, the binder resin 312 may be a polysiloxane-based resin and / or a polyimide-based (PI) resin. The polysiloxane-based resin and the polyimide-based resin basically have an advantage that they are not deteriorated even under high-temperature conditions because they have good heat-resistant properties. The planarization layer 310 may be coated and laminated on the touch panel TP (see FIG. 4) through the first buffer layer 332.

다공성 구리 입자(320)가 분산된 바인더 수지(312)로 구성되는 평탄화층(310)을 제 1 버퍼층(332) 상부에 형성하기 위해서, 바인더 수지로 경화될 수 있는 반응성 성분, 유기용매, 가교촉진제 및 기타 첨가제가 배합된 바인더 조성물을 제 1 버퍼층(332)의 상부에 코팅한 뒤, 이를 경화시킨다. In order to form the planarization layer 310 composed of the binder resin 312 in which the porous copper particles 320 are dispersed on the first buffer layer 332, a reactive component that can be cured with the binder resin, an organic solvent, And other additives are coated on the upper portion of the first buffer layer 332, and the binder composition is cured.

하나의 예시적인 실시형태에서, 바인더 수지(312)로서 폴리실록산계 수지를 얻기 위하여, 실란올기 및/또는 실록산기를 적어도 1개 갖는 실란 모노머 또는 실록산 모노머가 열 반응성 성분으로 사용될 수 있다. 이들 적절한 실란 모노머 및/또는 실록산 모노머를 열처리하면 이들 모노머 사이에서 가교결합이 형성되어 폴리실록산계 수지를 얻을 수 있다. 본 발명에 따른 실란올기를 갖는 모노머 화합물의 예로는 에틸렌계 불포화 알콕시 실란류 및 에틸렌계 불포화 아실옥시 실란류와 같이 실릴기-함유 불포화 단량체를 가수분해시켜 수득된 실란올기-함유 모노머를 들 수 있다. In one exemplary embodiment, to obtain a polysiloxane-based resin as the binder resin 312, a silane monomer or siloxane monomer having at least one silanol group and / or siloxane group may be used as a heat-reactive component. When these suitable silane monomers and / or siloxane monomers are heat-treated, cross-linking is formed between these monomers to obtain a polysiloxane-based resin. Examples of the monomer compound having a silanol group according to the present invention include silanol group-containing monomers obtained by hydrolyzing silyl group-containing unsaturated monomers such as ethylenically unsaturated alkoxysilanes and ethylenically unsaturated acyloxysilanes .

에틸렌계 불포화 알콕시 실란류 화합물의 예로는 γ-아크릴옥시프로필-트리메톡시실란, γ-아크릴옥시프로필-트리에톡시실란과 같은 아크릴레이트계 알콕시 실란, 2) γ-메타크릴옥시프로필-트리메톡시실란, γ-메타크릴옥시프로필-트리에톡시실란, γ-메타크릴옥시프로필-트리스(2-메톡시에톡시)실란과 같은 메타크릴레이트계 알콕시 실란이 있다. 한편, 에틸렌계 불포화 아실옥시실란류 화합물의 예로는 아크릴레이트계 아세톡시실란, 메타크릴레이트계 아세톡시실란 및 에틸렌계 불포화 아세톡시실란(예를 들면, 아크릴레이토프로필트리아세톡시실란, 메타크릴레이토프로필트리아세톡시실란) 등이 있다. Examples of the ethylenically unsaturated alkoxysilane compounds include acrylate-based alkoxysilanes such as? -Acryloxypropyl-trimethoxysilane and? -Acryloxypropyl-triethoxysilane, 2)? -Methacryloxypropyltrimethoxysilane Methacrylate-based alkoxysilanes such as? -Methoxypropyltrimethoxysilane,? -Methacryloxypropyltriethoxysilane,? -Methacryloxypropyl-tris (2-methoxyethoxy) silane. On the other hand, examples of the ethylenically unsaturated acyloxysilane compounds include acrylate-based acetoxysilane, methacrylate-based acetoxysilane and ethylenically-unsaturated acetoxysilane (for example, acrylatepropyltriacetoxysilane, methacrylate Propyltriacetoxysilane) and the like.

그 외에도 가수분해 등을 통하여 실란올기를 갖는 모노머를 얻을 수 있는 실릴기 함유 불포화 화합물의 예로는, 클로로디메틸비닐실란, 5-트리메틸실릴-1,3-사이클로펜타디엔, 3-트리메틸실릴알릴 알코올, 트리메틸실릴 메타크릴레이트, 1-트리메틸실릴옥시-1,3-부타디엔, 1-트리메틸실릴옥시 사이클로펜텐, 2-트리메틸실릴옥시에틸 메타크릴레이트, 2-트리메틸실릴옥시퓨란, 2-트리메틸실릴옥시프로펜, 알릴옥시-t-부틸디메틸실란 및 알릴옥시트리메틸실란, 트리메톡시 비닐실란, 트리에톡시비닐실란, 트리스(메톡시에톡시)비닐실란 같은 트리스알콕시 비닐실란이 있다. 전술한 실란올기를 갖는 단량체는 단독으로 사용할 수도 있고, 2종 이상 혼합하여 사용할 수도 있다. Examples of the silyl group-containing unsaturated compound capable of obtaining a monomer having a silanol group through hydrolysis or the like include chlorodimethylvinylsilane, 5-trimethylsilyl-1,3-cyclopentadiene, 3-trimethylsilylallyl alcohol, But are not limited to, trimethylsilyl methacrylate, 1-trimethylsilyloxy-1,3-butadiene, 1-trimethylsilyloxycyclopentene, 2-trimethylsilyloxyethyl methacrylate, 2-trimethylsilyloxyfuran, , Allyloxy-t-butyldimethylsilane, and trisalkoxyvinylsilane such as allyloxytrimethylsilane, trimethoxyvinylsilane, triethoxyvinylsilane, and tris (methoxyethoxy) vinylsilane. The above-mentioned silanol group-containing monomers may be used singly or in combination of two or more.

한편, 폴리실록산계 수지를 얻기 위한 반응성 성분으로서 실록산기를 갖는 모노머를 또한 사용할 수 있다. 이러한 실록산기를 갖는 모노머로는 선형 실록산기를 갖는 화합물, 사이클릭 실록산기를 갖는 화합물, 사면체 구조의 실록산기를 갖는 화합물 및 실세스퀴옥산 등을 사용할 수 있다. On the other hand, as the reactive component for obtaining the polysiloxane-based resin, a monomer having a siloxane group can also be used. As such a monomer having a siloxane group, a compound having a linear siloxane group, a compound having a cyclic siloxane group, a compound having a siloxane group having a tetrahedral structure, and silsesquioxane can be used.

선형 실록산기를 갖는 모노머 화합물로는 C1-C10의 알킬기 및/또는 C1-C10의 알콕시기가 4-8개 치환되어 있는 알킬실록산, 알콕시실록산, 알콕시알킬실록산, 비닐알콕시실록산, N-(2-아미노에틸)-3-아미노프로필메틸디메톡시실란, N-(2-아미노에틸)-3-아미노프로필메틸트리메톡시실란, 3-아미노프로필트리에톡시실란, 3-글리시독시프로필트리에톡시실란, 3-글리시독시프로필메틸디메톡시실란, 2-(3,4-에톡시 시클로헥실)에틸트리메톡시실란, 3-클로로프로필 메틸디메톡시실란, 3-클로로프로필 트리메톡시 실란, 3-메타아크릴옥시프로필트리메톡시실란, 3-머캅토프로필트리메톡시실란 등을 포함할 수 있으며, 이들 중에서 선택된 1종 또는 2종 이상의 혼합물을 사용할 수 있으나, 본 발명이 이에 한정되지 않는다. 예를 들어, TMOS, TEOS, MTMS, 비닐트리스(2-메톡시에톡시)-실란, N-(2-아미노에틸)-3-아미노프로필메틸디메톡시실란 등과 같이 알콕시기를 함유하는 선형 실록산기를 갖는 단량체를 단독으로 또는 2종 이상 혼합할 수 있다. A monomer compound having a linear siloxane is C 1 -C 10 alkyl and / or C 1 -C 10 alkoxy group of 4-8 is an alkyl siloxane, an alkoxy siloxane, alkoxy alkyl siloxanes, vinyl alkoxy substituted with siloxane, N- ( Aminoethyl) -3-aminopropylmethyldimethoxysilane, N- (2-aminoethyl) -3-aminopropylmethyltrimethoxysilane, 3-aminopropyltriethoxysilane, 3- glycidoxypropyl tri But are not limited to, ethoxysilane, 3-glycidoxypropylmethyldimethoxysilane, 2- (3,4-ethoxycyclohexyl) ethyltrimethoxysilane, 3-chloropropylmethyldimethoxysilane, 3-chloropropyltrimethoxysilane , 3-methacryloxypropyltrimethoxysilane, 3-mercaptopropyltrimethoxysilane, and the like, or a mixture of two or more selected from them may be used, but the present invention is not limited thereto . For example, a linear siloxane group containing an alkoxy group such as TMOS, TEOS, MTMS, vinyltris (2-methoxyethoxy) -silane, N- (2-aminoethyl) -3-aminopropylmethyldimethoxysilane, The monomers may be used singly or in combination of two or more.

한편, 사이클릭 실록산(cyclic siloxane)의 비제한적인 예로는 메틸하이드로-사이클로실록산, 헥사메틸-사이클로트리실록산, 헥사에틸-사이클로트리실록산과 같은 사이클로트리실록산; 테트라옥틸 -사이클로테트라실록산, 헥사메틸-사이클로테트라실록산, 옥타메틸- 사이클로테트라실록산과 같은 사이클로테트라실록산; 테트라- 및 펜타-메틸사이클로테트라실록산; 테트라-, 펜타-, 헥사- 및 헵타-메틸사이클로펜타실록산; 테트라-, 펜타- 및 헥사메틸-사이클로헥사실록산, 테트라에틸-사이클로테트라실록산, 및 테트라페닐 사이클로테트라실록산; 데카메틸-사이클로펜타실록산, 도데카메틸 사이클로실록산, 1,3,5,7-테트라메틸-사이클로테트라실록산, 1,3,5,7,9-펜타메틸-사이클로펜타실록산, 및 1,3,5,7,9,11-헥사메틸사이클로헥사실록산에서 선택되는 1종 또는 2종 이상의 혼합물을 특히 사용할 수 있지만, 본 발명이 이에 한정되는 것은 아니다. On the other hand, non-limiting examples of cyclic siloxane include cyclotrisiloxane such as methylhydro-cyclosiloxane, hexamethyl-cyclotrisiloxane, hexaethyl-cyclotrisiloxane; Cyclotetrasiloxanes such as tetraoctyl-cyclotetrasiloxane, hexamethyl-cyclotetrasiloxane, octamethyl-cyclotetrasiloxane; Tetra- and penta-methylcyclotetrasiloxanes; Tetra-, penta-, hexa- and hepta-methyl cyclopentasiloxanes; Tetra-, penta- and hexamethyl-cyclohexasiloxane, tetraethyl-cyclotetrasiloxane, and tetraphenylcyclotetrasiloxane; Decamethylcyclopentasiloxane, dodecamethylcyclosiloxane, 1,3,5,7-tetramethyl-cyclotetrasiloxane, 1,3,5,7,9-pentamethyl-cyclopentasiloxane, and 1,3, 5,7,9,11-hexamethylcyclohexasiloxane may be used in particular, but the present invention is not limited thereto.

또한, 사면체 실록산기를 갖는 모노머의 비제한적인 예로는 테트라키스디메틸실록시실란, 테트라키스디페닐실록시실란 및 테트라키스디에틸실록시실란 및 이들의 혼합물을 들 수 있다. Further, non-limiting examples of the monomer having a tetrahedral siloxane group include tetrakisdimethylsiloxysilane, tetrakis diphenylsiloxysilane and tetrakisdiethylsiloxysilane, and mixtures thereof.

아울러, 선형, 사이클릭 및 사면체 실록산 외에도, 예를 들어 메틸트리클로로실록산과 디메틸클로로실록산의 반응 등에 의하여 합성될 수 있는 실세스퀴옥산(silsesquioxane, SSQ)를 또한 폴리실록산을 합성하기 위한 반응성 물질로 사용할 수 있다. 실세스퀴옥산은 가교결합에 의하여 사다리(ladder) 구조 또는 cage 구조를 갖는 폴리실세스퀴옥산으로 합성될 수 있다. 예를 들어, 오르가노 트리클로로실란의 가수분해에 의하여 부분적인 cage 구조의 헵타머 형태의 실록산과, cage 구조의 헵타머 형태 및 옥타머 형태의 실록산 등이 얻어지는데, 용해도 차이를 이용하여 헵타머 형태의 실록산을 분리하고, 이를 오르가노트리알콕시실란 또는 오르가노트리클로로실란의 축합 반응에 의하여 실세스퀴옥산 단량체를 얻을 수 있다. 실세스퀴옥산은 대략 RSiO3/2 의 화학 구조(R은 수소, 탄소수 1-10의 알킬기; 탄소수 2-10의 알케닐; 페닐과 같은 아릴기; 아릴렌기)를 가질 수 있지만, 본 발명에서 사용할 수 있는 실세스퀴옥산이 이에 한정되는 것은 아니다. In addition to the linear, cyclic and tetrahedral siloxanes, silsesquioxane (SSQ), which can be synthesized by, for example, reaction of methyltrichlorosiloxane with dimethylchlorosiloxane, is also used as a reactive material for synthesizing polysiloxane . Silsesquioxane can be synthesized by crosslinking with polysilsesquioxane having a ladder structure or a cage structure. For example, by hydrolysis of organotrichlorosilane, a heptamer type siloxane having a partial cage structure, a heptamer form of a cage structure, and an octamer type siloxane can be obtained. By using the difference in solubility, Silsesquioxane monomer can be obtained by the condensation reaction of organotrialkoxysilane or organotrichlorosilane. The silsesquioxane monomer can be obtained by condensation reaction of organotrialkoxysilane or organotrichlorosilane. Silsesquioxane may have a chemical structure of approximately RSiO 3/2 (R is hydrogen, an alkyl group having 1-10 carbon atoms, an alkenyl group having 2-10 carbon atoms, an aryl group such as phenyl, an arylene group) The silsesquioxane that can be used is not limited thereto.

한편, 바인더 수지(312)로서 사용될 수 있는 폴리이미드를 합성하기 위한 반응성 물질로서는 아민 화합물과 무수화물을 포함할 수 있다. 폴리이미드는 예를 들어 방향족 폴리이미드(PI) 및 무색투명폴리이미드(Colorless Polyimide, CPI)를 포함할 수 있다. CPI는 예를 들어 PI의 주쇄 내에 트리플루오로메틸(-CF3), 술폰(-SO2), 에테르(-O-)와 같이 전기음성도가 상대적으로 강한 원소를 도입하여 π 전자의 이동을 제한하거나, 또는 벤젠이 아닌 환형 올레핀(cyclo-olefin) 구조를 도입함으로써 주쇄 내에 존재하는 π 전자의 밀도를 감소시키는 방법을 이용할 수 있다. 폴리이미드는 디아민과 이무수물(dianhydride)을 적절한 용매에 첨가하여 폴리아믹산을 합성하고, 얻어진 폴리아믹산을 적절한 이미드화 공정, 예를 들어 열적 이미드화 공정이나 촉매적/화학적 이미드화 공정을 통하여 반응시킴으로써 얻어질 수 있다. Meanwhile, the reactive material for synthesizing the polyimide that can be used as the binder resin 312 may include an amine compound and an anhydride. The polyimide may include, for example, an aromatic polyimide (PI) and a colorless polyimide (CPI). For example, the CPI introduces an element having relatively high electronegativity such as trifluoromethyl (-CF 3 ), sulfone (-SO 2 ), and ether (-O-) in the main chain of PI, A method of reducing the density of the [pi] electrons present in the main chain by introducing a cyclic olefin structure which is limited or not benzene can be used. The polyimide may be obtained by synthesizing a polyamic acid by adding a diamine and a dianhydride to an appropriate solvent, and reacting the obtained polyamic acid through a suitable imidization process, for example, a thermal imidization process or a catalytic / chemical imidization process Can be obtained.

투명성 폴리이미드(CPI)를 제조하기 위한 투명성 이무수물 및 투명성 디아민은 다음과 같은 투명성 이무수물 및 투명성 디아민을 사용할 수 있다. Transparency Dielectric and Transparent Diamine for Producing Transparent Polyimide (CPI) The following transparent dianhydrides and transparent diamines can be used.

투명성 이무수물은 4,4'-(헥사플루오로이소프로필리덴)디프탈산 무수물 (4,4'-(Hexafluoroisopropylidene)diphthalic anhydride, 6FDA), 1,2,4,5-사이클로부탄테트라카르복시산 이무수물(1,2,4,5-cyclobutane tetracarboxylic dianhydride, CBDA), 1,2,4,5-사이클로헥산테트라카르복시산 이무수물(1,2,4,5-cyclohexane tetracarboxylic dianhydride, CHDA), 4,4'-옥시디프탈산 무수물(4,4'-oxydiphthalic anhydride, ODPA), 3,3',4,4'-디페닐술폰테트라카르복시산 이무수물(3,3',4,4'-diphenylsulfone tetracarboxylic dianhydride, DSDA), 3,3',4, 4'-벤조페논테트라카르복시산 이무수물(3,3',4,4'-benzophenone tetracarboxylic dianhydride, BPDA 또는 BTDA), 2,2-Bis[4-(3,4-디카르복시페녹시)페놀]]프로판 이무수물 (2,2-Bis[4-(3,4-dicarboxyphenoxy) phenyl]propane dianhydride, BPADA) 및 이들의 조합으로 구성되는 군에서 선택될 수 있지만, 본 발명이 이에 한정되지 않는다. The transparency dianhydride can be prepared by reacting 4,4 '- (hexafluoroisopropylidene) diphthalic anhydride (4,4' - (Hexafluoroisopropylidene) diphthalic anhydride, 6FDA), 1,2,4,5-cyclobutanetetracarboxylic dianhydride 1,2,4,5-cyclobutane tetracarboxylic dianhydride (CBDA), 1,2,4,5-cyclohexane tetracarboxylic dianhydride (CHDA), 4,4'- Oxydiphthalic anhydride (ODPA), 3,3 ', 4,4'-diphenylsulfone tetracarboxylic dianhydride (DSDA), 3,3', 4,4'-diphenylsulfone tetracarboxylic dianhydride , 3,3 ', 4,4'-benzophenone tetracarboxylic dianhydride (BPDA or BTDA), 2,2-Bis [4- (3,4- Dicarboxyphenoxy) phenol]] propane dianhydride (BPADA), and combinations thereof. However, in the present invention The present invention is not limited thereto.

한편, 투명성 디아민은 4,4'-옥시디아닐린(4,4'-oxydianiline, ODA), 2,2-Bis[4-(4-아미노페녹시)페닐]프로판 (2,2-Bis[4-(4-aminophenoxy)phenyl]propane, BAPP), 2,2'-비스(트리플루오로메틸)-4,4'-바이페닐디아민 (2,2'-Bis(trifluoromethyl)-4,4'-biphenyldiamine, TFMB 또는 TFB), 4,4'-Bis(4-아미노페녹시)바이페닐 (4,4'-Bis(4-aminophenoxy)biphenyl, BAPB), 사이클로헥실디아민(cyclohexyl diamine, CHDAM), 다아미노벤젠사이나이드(diaminobenzene cyanide, DABN), 2,2-Bis[4-(4-아미노페녹시)페닐]헥사플루오로프로판(2,2-bis[4-(4-aminophenoxy)phenyl]hexafluoropropane, 6FBAPP), 비스[4-(4-아미노페녹시)페닐]설폰(Bis[4-(4-aminophenoxy)phenyl]sulfone, BAPS) 및 이들의 조합으로 구성되는 군에서 선택될 수 있지만, 본 발명이 이에 한정되지 않는다.On the other hand, the transparent diamine is 4,4'-oxydianiline (ODA), 2,2-Bis [4- (4-aminophenoxy) phenyl] propane - (4-aminophenoxy) phenyl] propane, BAPP), 2,2'-bis (trifluoromethyl) -4,4'-biphenyldiamine biphenyldiamine, TFMB or TFB), 4,4'-Bis (4-aminophenoxy) biphenyl, BAPB, cyclohexyl diamine Diaminobenzene cyanide (DABN), 2,2-bis [4- (4-aminophenoxy) phenyl] hexafluoropropane, 2,2- 6FBAPP), bis [4- (4-aminophenoxy) phenyl] sulfone, BAPS), and combinations thereof. But is not limited thereto.

바인더 수지(312)의 반응성 성분인 실란올/실록산계 모노머나, 이무수물/디아민은 바인더 수지(312)를 합성하기 위한 바인더 조성물 중에 대략 5 ~ 40 중량부, 바람직하게는 10 ~ 30 중량부의 비율로 배합될 수 있다. 본 명세서에서 달리 언급하지 않는 한, 중량부는 배합되는 성분 사이의 중량 비율을 의미한다. The silanol / siloxane monomer or the dianhydride / diamine, which is a reactive component of the binder resin 312, is used in an amount of about 5 to 40 parts by weight, preferably 10 to 30 parts by weight, in the binder composition for synthesizing the binder resin 312 ≪ / RTI > Unless otherwise stated herein, parts by weight refers to the weight ratio between the components being compounded.

바인더 수지(312)에 분산되는 다공성 구리 입자(320)는 기공 구조를 갖는 임의의 다공성 입자를 사용할 수 있다. 예를 들어 다공성 구리 입자(320)는 마이크로포러스(microporous) 구리 입자, 메조포러스(mesoporous) 구리 입자 및 매크로포러스(macroporous) 구리 입자를 포함한다. 본 명세서에서 마이크로포러스 입자는 기공의 평균 직경이 2 ㎚ 미만인 다공성 입자를 의미하고, 메조포러스 입자는 기공의 평균 직경이 2 ㎚ 이상 50 ㎚ 미만인 다공성 입자를 의미하며, 매크로포러스 입자는 기공의 평균 직경이 50 ㎚ 이상의 다공성 입자를 의미한다. 하나의 예시적인 실시형태에서, 다공성 구리 입자는 메조포러스 입자이다. 메조포러스 구리 입자는 본 발명의 평탄화층(310)의 상부에 위치하는 어레이 패널(AP, 도 4 참조)에서 발생한 열을 외부로 방출시키기에 충분한 기공 크기를 가지고 있으며, 균일한 기공 크기 및 기공 분산을 가지는 메조포러스 입자는 제조가 용이한 이점이 있다. The porous copper particles 320 dispersed in the binder resin 312 may be any porous particles having a pore structure. For example, the porous copper particles 320 include microporous copper particles, mesoporous copper particles, and macroporous copper particles. In the present specification, the microporous particles mean porous particles having an average pore diameter of less than 2 nm. The mesoporous particles mean porous particles having an average pore diameter of 2 nm or more and less than 50 nm. The macroporous particles have an average diameter Means a porous particle of 50 nm or more. In one exemplary embodiment, the porous copper particles are mesoporous particles. The mesoporous copper particles have a pore size sufficient to release heat generated from the array panel AP (see FIG. 4) located on top of the planarization layer 310 of the present invention to the outside, and the uniform pore size and pore distribution Has an advantage of being easy to manufacture.

메조포러스 구리 입자를 얻기 위하여 메조포러스 실리케이트를 주형(template)으로 사용할 수 있으며, 메조포러스 실리케이트는 다양한 방법에 의하여 합성될 수 있다. 하나의 예시적인 실시형태에서, 메조포러스 구리 입자(320)는 다공성 분자체 물질(molecular sieve materials)인 메조포러스 실리케이트를 주형(template)으로 사용하여 합성될 수 있다. 다공성 분자체 물질의 메조포러스 실리케이트는 균일한 기공 크기 및 우수한 비-표면적을 가지기 때문에, 본 발명의 다공성 구리 입자(320)의 주형으로 활용되기에 적합할 수 있다. Mesoporous silicate can be used as a template to obtain mesoporous copper particles, and mesoporous silicate can be synthesized by various methods. In one exemplary embodiment, the mesoporous copper particles 320 can be synthesized using mesoporous silicates, which are porous molecular sieve materials, as a template. The mesoporous silicate of the porous molecular sieve material may be suitable for use as a template for the porous copper particles 320 of the present invention because of its uniform pore size and excellent non-surface area.

다공성 구리 입자(320)를 합성하기 위한 주형으로 사용될 수 있는 메조포러스 실리케이트는 세틸트리메틸암모늄 브로마이드(cetyltrimethyl ammonium bromide, CTAB)와 같은 계면활성제를 구조 유도 물질(structure directing material, 구조 배향체)로 사용하고, 테트라메틸 오르쏘실리케이트(tetramethyl orthosilicate, TMOS), 테트라에틸 오르쏘실리케이트(tetraethyl orthosilicate, TEOS)나 소듐 메타실리케이트(Sodium methasilicate)를 실리카 도입 물질로 사용하는 MCM(Mobile Composition of Matter) 계열을 포함한다. 선택적으로, 플루로닉(pluronic) 형태의 계면활성제 또는 삼공중합체, 예를 들어 P123(poly(ethylene oxide)-poly(propylene oxide)-poly(ethylene) oxide; PEO-PPO-PEO)과 같은 비-이온성 삼공중합체(non-ionic triblock copolymer)를 구조 유도 물질로 사용하고, TMOS, TEOS 등을 실리카 도입 물질로 사용하는 SBA(Santa Barbara Amorphous) 계열이 메조포러스 실리케이트로 적용될 수 있다. 이들 메조포러스 실리케이트는 실리카 도입 성분, 계면활성제의 종류, 이들의 함량, 계면활성제와 실리카 도입 성분의 계면에서의 전하 밀도 등에 따라 다양한 형태의 구조를 갖는다.The mesoporous silicate that can be used as a template for synthesizing the porous copper particles 320 can be prepared by using a surfactant such as cetyltrimethyl ammonium bromide (CTAB) as a structure directing material , A mobile composition of matter (MCM) series using tetramethyl orthosilicate (TMOS), tetraethyl orthosilicate (TEOS) or sodium methasilicate as a silica introduction material . Alternatively, a non-ionic surfactant such as a pluronic surfactant or a pore polymer such as poly (ethylene oxide) -poly (ethylene oxide) -poly (ethylene oxide) PEO-PPO- SBA (Santa Barbara Amorphous) series using a non-ionic triblock copolymer as a structure-inducing material and using TMOS, TEOS as a silica-introducing material can be applied as a mesoporous silicate. These mesoporous silicates have various structures depending on the silica introduced component, the kind of the surfactant, the content thereof, the charge density at the interface between the surfactant and the silica-introduced component, and the like.

예를 들어, MCM-41과 SBA-3, SBA-15는 1차원의 나노 기공들이 규칙적으로 육방 배열을 하고 있는 형태이고, MCM-48은 두 종류의 나노 기공들이 서로 독립적으로 삼차원적으로 연결된 입방 구조(cubic Ia3d) 를 갖는다. MCM-50은 층상 구조 물질이며, SBA-1과 SBA-6 는 구형 메조포어(mesopore)가 입방 Pm3n 격자 구조를 갖고 삼차원으로 연결된 구조이고, SBA-16은 입방 Im3m 격자 구조를 갖는 삼차원 기공 물질이다. 이들 이외에도 메조포어들이 규칙적으로 배열된 구조를 갖는 SBA-계열의 물질들과 메조포어들이 불규칙적으로 연결된 구조의 KIT-1(Korea Advanced Institute of Science and Technology-1)과 MSU-X(Michigan State University-X), HMS(hexagonal mesoporous silica) 등이 알려져 있다. For example, MCM-41, SBA-3, and SBA-15 are regular hexagonal arrangements of one-dimensional nanopores, while MCM-48 is a two- Structure (cubic Ia3d). MCM-50 is a layered structure, SBA-1 and SBA-6 are spherical mesopores with three-dimensionally connected cubic Pm3n lattice structures, and SBA-16 are three-dimensional porous materials with cubic Im3m lattice structures . In addition to these, the KIT-1 (Korea Advanced Institute of Science and Technology-1) and MSU-X (Michigan State University-Institute of Science and Technology-1), a structure in which mesoporous materials are regularly arranged and SBA- X), and hexagonal mesoporous silica (HMS).

본 발명에 따라 평탄화층(310)을 구성하는 바인더 수지(312)에 분산되는 다공성 구리 입자(320)를 합성하는 과정에 대해서 MCM-41을 주형으로 사용하는 경우를 예를 들어 설명한다. 도 3a는 본 발명의 예시적인 실시형태에 따라 메조포러스 구리 입자를 제조하기 위해 주형(template)으로 사용된 MCM-41을 제조하기 위한 과정을 개략적으로 도시한 도면이다. The case where MCM-41 is used as a template for the process of synthesizing the porous copper particles 320 dispersed in the binder resin 312 constituting the planarization layer 310 will be described by way of example. Figure 3a is a schematic illustration of a process for making MCM-41 used as a template for making mesoporous copper particles in accordance with an exemplary embodiment of the present invention.

도 3a에 도시한 바와 같이, CTAB와 같은 계면활성제(322)를 구조 유도물질로 사용하고, TEOS, TMOS, 소듐 메타실리케이트, fumed silica, Ludox(예를 들어 Ludox HS40) 등의 실리카 도입 물질을 산 또는 염기 등의 촉매 하에서 수열 반응시킨다. 이 과정에서 계면활성제(322)는 미셀(micelle) 구조로 배열되는데, 미셀 구조로 배열된 계면활성제(322) 주변으로 실리카 도입 성분의 가수분해(hydrolysis) 및 응축(condensation)에 의해 형성된 실리케이트가 자가-배열(self-assembly)되어 거대 분자(supra-molecule)가 형성된다. 구체적으로, 미셀 구조로 자가-배열된 계면활성제의 표면에 위치하는 친수성 부분과 실리케이트와 같은 무기 물질이 상호작용하여 고체 분말 또는 필름 형태의 유기-무기 복합체가 형성된다. 이어서, 이 유기-무기 복합체를 500℃ 이상의 고온에서 소성(calcinations)하여 계면활성제(322) 등 유기분자를 제거하면, 메조포어(326)를 가지는 메조포러스 실리케이트(324)가 육방 배열되어 MCM-41 구조를 갖게 된다. 3A, a surfactant 322 such as CTAB is used as a structure-inducing material and a silica-introduced material such as TEOS, TMOS, sodium metasilicate, fumed silica, Ludox (for example, Ludox HS40) Or under a catalyst such as a base. In this process, the surfactant 322 is arranged in a micelle structure. The silicate formed by the hydrolysis and condensation of the silica-introduced components around the surfactant 322 arranged in a micelle structure is a self- - Self-assembled to form a supra-molecule. Specifically, an inorganic material such as a silicate interacts with a hydrophilic moiety located on the surface of a self-aligned surfactant in a micelle structure to form an organic-inorganic complex in the form of a solid powder or film. Then, the organic-inorganic hybrid material is calcined at a temperature of 500 ° C or higher to remove organic molecules such as the surfactant 322 and the mesoporous silicate 324 having mesopores 326 is arranged in hexagonal order to form MCM-41 Structure.

계속해서, 도 3b는 주형으로 사용된 MCM-41로부터 메조포러스 구리 입자를 제조하기 위한 과정을 개략적으로 도시한 도면이다. 계면활성제(322, 도 3a 참조)가 제거된 육방 배열성 메조포러스 실리케이트(324)에 구리 전구체, 예를 들어 산화구리 전구체, (CuNO3) 수화물, CuCOOH 수화물, CuCl 수화물, Cu(Ⅱ) acetylacetonate 등을 적절한 용매(예를 들어 클로로포름 등)에서 반응시키면, 구리 전구체 물질로부터 구리 입자(328)가 메조포러스 실리케이트(324)의 기공(326) 내벽에 함침(impregnation)되면서, 메조포러스 구리 입자를 얻을 수 있다. 따라서 본 발명의 예시적인 실시형태에 따르면, 다공성 구리 입자(320, 도 2 참조)는 다공성 실리케이트 입자에 함침되어(impregnated) 있을 수 있지만, 본 발명이 이에 한정되는 것은 아니다. Subsequently, FIG. 3B is a view schematically showing a process for producing mesoporous copper particles from MCM-41 used as a mold. (CuNO 3 ) hydrate, CuCOOH hydrate, CuCl hydrate, Cu (II) acetylacetonate, etc., to the hexagonal mesoporous silicate 324 from which the surfactant 322 The copper particles 328 from the copper precursor material are impregnated into the inner walls of the pores 326 of the mesoporous silicate 324 to obtain mesoporous copper particles have. Thus, according to an exemplary embodiment of the present invention, the porous copper particles 320 (see FIG. 2) may be impregnated with the porous silicate particles, but the present invention is not limited thereto.

예를 들어, 다공성 구리 입자(320)는 대략 0.5 내지 10 중량부의 비율로 바인더 수지(312)에 분산될 수 있다. 다공성 구리 입자(320)의 함량이 이보다 적으면 내열 특성 향상과 같은 물성 향상을 기대하기 어렵다. 반면, 다공성 구리 입자(320)의 함량이 이보다 많더라도 물성은 추가적으로 첨가되는 양에 비례하여 증가하지 않으며, 오히려 광-투과율이 저하될 수 있다. For example, the porous copper particles 320 may be dispersed in the binder resin 312 at a ratio of about 0.5 to 10 parts by weight. If the content of the porous copper particles 320 is less than this, improvement in physical properties such as improvement in heat resistance characteristics is difficult to expect. On the other hand, even if the content of the porous copper particles 320 is larger than that, the physical properties do not increase in proportion to the added amount, and the light-transmittance may be lowered.

한편, 바인더 조성물 중에 사용되는 용매는 특별히 제한되지 않으며, 메탄올, 에탄올 등의 알코올계 용매; 테트라하이드로퓨란, 에틸렌글리콜 모노메틸에테르, 에틸렌글리콜 모노에틸에테르, 디에틸렌글리콜 모노메틸에테르, 디에틸렌글리콜 모노에틸에테르, 디에틸렌글리콜 디메틸에테르, 디에틸렌글리콜 디에틸에테르, 디에틸렌글리콜 메틸에틸에테르, 에틸렌글리콜 디메틸에테르, 에틸렌글리콜 디에틸에테르, 에틸렌글리콜 메틸에틸에테르, 프로필렌글리콜 모노메틸에테르, 프로필렌글리콜 모노에틸에테르, 프로필렌글리콜 프로필에테르, 프로필렌글리콜 부틸에테르 등에서 1종 이상 선택되는 에테르계 용매; 에틸렌글리콜모노에틸에스테르, 락트산 메틸, 락트산 에틸, 초산메틸, 초산에틸, 초산프로필, 2-히드록시프로피온산에틸, 2-히드록시-2-메틸프로피온산메틸, 2-히드록시-2-메틸프로피온산에틸, 히드록시초산메틸, 히드록시초산에틸, 프로필렌글리콜 메틸에틸프로피오네이트, 프로필렌글리콜 에틸에테르프로피오네이트 등에서 1종 이상 선택되는 에스테르계 용매; 에틸렌글리콜 모노메틸에테르 아세테이트, 에틸렌글리콜 모노에틸에테르 아세테이트, 프로필렌글리콜 모노메틸에테르아세테이트, 프로필렌글리콜 모노에틸에테르아세테이트 중에서 1종 이상 선택되는 아세테이트계 용매; 톨루엔, 자일렌, 크레졸 등에서 1종 이상 선택되는 방향족 탄화수소계 용매; 아세톤, 메틸에틸케톤, 시클로펜탄온, 시클로헥산온, 2-헵탄온, 4-히드록시-4-메틸-2-펜탄온 중에서 1종 이상 선택되는 케톤계 용매; N-메틸피롤리돈(NMP), N-메틸아세트아미드, N,N-디메틸아세트아미드(DMAc), N-메틸포름아미드, N,N-디메틸포름아미드(DMF) 중에서 1종 이상 선택되는 아미드계 용매; γ-부티로락톤일 수 있는 락톤계 용매 및 이들의 조합을 사용할 수 있다. 이들 용매는 바인더 조성물 중에 40 ~ 100 중량부, 바람직하게는 50 ~ 90 중량부, 더욱 바람직하게는 60 ~ 80 중량부의 비율로 배합될 수 있다. On the other hand, the solvent used in the binder composition is not particularly limited, and examples thereof include alcohol solvents such as methanol and ethanol; Ethylene glycol monoethyl ether, diethylene glycol monomethyl ether, diethylene glycol monoethyl ether, diethylene glycol dimethyl ether, diethylene glycol diethyl ether, diethylene glycol methyl ethyl ether, diethylene glycol monomethyl ether, diethylene glycol monomethyl ether, Ether solvents selected from one or more selected from the group consisting of ethylene glycol dimethyl ether, ethylene glycol diethyl ether, ethylene glycol methyl ethyl ether, propylene glycol monomethyl ether, propylene glycol monoethyl ether, propylene glycol propyl ether and propylene glycol butyl ether; Propylene glycol monomethyl ether acetate, ethylene glycol monoethyl ester, methyl lactate, ethyl lactate, ethyl acetate, propyl acetate, ethyl 2-hydroxypropionate, methyl 2-hydroxy- Ester solvents selected from the group consisting of methylhydroxyacetate, ethylhydroxyacetate, propyleneglycol methylethylpropionate, propyleneglycol ethylether propionate, and the like; An acetate solvent selected from the group consisting of ethylene glycol monomethyl ether acetate, ethylene glycol monoethyl ether acetate, propylene glycol monomethyl ether acetate and propylene glycol monoethyl ether acetate; An aromatic hydrocarbon solvent selected from at least one of toluene, xylene, cresol and the like; A ketone-based solvent selected from one or more of acetone, methyl ethyl ketone, cyclopentanone, cyclohexanone, 2-heptanone, and 4-hydroxy-4-methyl-2-pentanone; An amide selected from at least one of N-methylpyrrolidone (NMP), N-methylacetamide, N, N-dimethylacetamide (DMAc), N-methylformamide and N, N-dimethylformamide Based solvent; a lactone-based solvent which can be? -butyrolactone, and a combination thereof. These solvents may be blended in the binder composition at a ratio of 40 to 100 parts by weight, preferably 50 to 90 parts by weight, more preferably 60 to 80 parts by weight.

필요한 경우에, 바인더 조성물은 기능성 첨가제를 더욱 포함할 수 있다. 기능성 첨가제는 커플링제, 계면활성제, 가교촉진제 등을 포함할 수 있다. 커플링제는 바인더 수지(312)와 기재와의 접합성을 증진시키기 위한 것으로, 실란계 커플링제, 알루미늄계 커플링제, 티타늄계 커플링제 및 지르코늄계 커플링제 중에서 적어도 1종 이상 선택될 수 있으며 특히 바람직하게는 실란계 커플링제이다. 이들 커플링제는 바인더 수지(312)의 표면 처리에 의하여 기재와의 접착력을 향상시킬 수 있다면 특별히 그 배합 비율은 한정되지 않지만, 바람직하게는 바인더 조성물 중에 1 ~ 10 중량부의 비율로 배합될 수 있다. If necessary, the binder composition may further comprise a functional additive. The functional additive may include a coupling agent, a surfactant, a crosslinking accelerator, and the like. The coupling agent is used for improving the bonding property between the binder resin 312 and the substrate, and may be selected from at least one of a silane coupling agent, an aluminum coupling agent, a titanium coupling agent, and a zirconium coupling agent, Is a silane coupling agent. These coupling agents are not particularly limited so long as they can improve the adhesion to the substrate by the surface treatment of the binder resin (312), but may be blended in a proportion of preferably 1 to 10 parts by weight in the binder composition.

아울러, 열 반응성 성분의 분산을 유도하기 위한 계면활성제는 음이온성 계면활성제, 양이온성 계면활성제, 양쪽성 계면활성제 및 비이온성 계면활성제를 사용할 수 있다. 음이온성 계면활성제로는 알킬 술폰산(술포네이트), 알킬 황산(설페이트), 아랄킬 및 알크아릴 음이온성 계면활성제, 알킬 숙신산(숙시네이트), 알킬 술포숙신산염(술포숙시네이트)을 사용할 수 있다. 특히, 알크아릴 술폰산, 알킬 황산 및 알크아릴 황산의 나트륨, 마그네슘, 암모늄 및 모노에탄올아민, 디에탄올아민 및 트리에탄올아민 염이 바람직하다. 계면활성제의 함량은 사용되는 용매의 종류, 반응성 성분의 함량 등에 따라 달라질 수 있지만, 그 함량은 대략 바인더 조성물 중에 0.01 ~ 1.0 중량부로 포함될 수 있다. In addition, anionic surfactant, cationic surfactant, amphoteric surfactant, and nonionic surfactant may be used as the surfactant for inducing dispersion of the thermoreactive component. Examples of the anionic surfactant include alkylsulfonic acid (sulfonate), alkylsulfuric acid (sulfate), aralkyl and alkaryl anionic surfactants, alkylsuccinic acid (succinate), and alkylsulfosuccinate (sulfosuccinate) have. Particularly preferred are sodium, magnesium, ammonium and monoethanolamine, diethanolamine and triethanolamine salts of alkarylsulfonic acid, alkylsulfuric acid and alkarylsulfuric acid. The content of the surfactant may vary depending on the type of the solvent used, the content of the reactive component, and the like, but the content thereof may be approximately 0.01 to 1.0 part by weight in the binder composition.

또한, 반응성 성분으로 사용되는 실란올/실록산 모노머 등의 가교결합을 촉진하기 위한 가교촉진제가 바인더 조성물에 사용될 수 있다. 사용될 수 있는 가교촉진제는 디메틸아닐린, 1,1'-메틸렌비스(3-메틸피페리딘)(MBMP), 디메틸벤질아민(DMBA), 트리스(디메틸아미노메틸)페놀(TDMAMP), 헥사메틸렌테트라민 및 1,6-비스-(디메틸아미노)헥산과 같은 모노에틸아민, 트리메틸아민 및 옥틸디메틸아민과 같은 3급 아민류; N-4-클로로페닐-N',N'-디메틸우레아, N-3-클로로-4-메틸페닐-N',N'-디메틸우레아, N-(2-하이드록시페닐)-N',N'-디메틸우레아와 같은 우레아 유도체; 예를 들면 이미다졸, 벤즈이미다졸, 1-메틸이미다졸, 3-메틸이미다졸, 1,2-디메틸이미다졸, 2-에틸-4-메틸이미다졸, 1-비닐이미다졸, 2-비닐이미다졸, 2-페닐이미다졸, 2-페닐-4-메틸이미다졸, 1-(2,6-디클로로벤조일)-2-페닐이미다졸 및 1-(2,4,6-트리메틸벤조일)-2-페닐이미다졸과 같은 치환되거나 치환되지 않은 비치환된 이미다졸류; 트리페닐포스핀과 같은 유기 포스핀류; 실세스퀴옥산류 등에서 선택되는 1종 또는 2종 이상의 혼합물을 사용할 수 있다. Further, a crosslinking accelerator for promoting crosslinking of the silanol / siloxane monomer or the like used as the reactive component may be used in the binder composition. Crosslinking accelerators that can be used include dimethylaniline, 1,1'-methylenebis (3-methylpiperidine) (MBMP), dimethylbenzylamine (DMBA), tris (dimethylaminomethyl) phenol (TDMAMP), hexamethylenetetramine And monoethylamine such as 1,6-bis- (dimethylamino) hexane, tertiary amines such as trimethylamine and octyldimethylamine; N ', N'-dimethylurea, N-4-methylphenyl-N', N'-dimethylurea, N- (2-hydroxyphenyl) -N ' - urea derivatives such as dimethylurea; For example, imidazole, benzimidazole, 1-methylimidazole, 3-methylimidazole, 1,2-dimethylimidazole, 2-ethyl-4-methylimidazole, , 2-phenylimidazole, 2-phenyl-4-methylimidazole, 1- (2,6-dichlorobenzoyl) -2-phenylimidazole and 1- , 6-trimethylbenzoyl) -2-phenylimidazole; substituted or unsubstituted imidazoles; Organic phosphines such as triphenylphosphine; Silsesquioxanes, and the like, or a mixture of two or more thereof.

특히, 실록산계 반응성 성분은 가교촉진제가 첨가됨에 따라 내열성이 저하될 우려가 있다. 따라서 최종적으로 제조되는 바인더 수지(312)로 구성되는 평탄화층(310)의 내열성에 영향을 주지 않는 가교촉진제를 사용하는 것이 바람직할 수 있다. 이러한 가교촉진제의 예로는 폴리실세스퀴옥산 중에서 cage 구조를 가지는 실세스퀴옥산인 폴리헤드랄 올리고메릭 실세스퀴옥산(polyhedral oligomeric silsesquioxane, POSS)이다. 가교촉진제의 함량은 바인더 조성물 중에 포함되는 사용되는 및 용매의 종류 및 함량에 따라 달라질 수 있지만, 그 함량은 대략 바인더 조성물 중에 0.01 ~ 0.1 중량부로 포함될 수 있다. Particularly, the siloxane-based reactive component may be deteriorated in heat resistance as a crosslinking accelerator is added. Therefore, it may be preferable to use a crosslinking accelerator which does not affect the heat resistance of the flattening layer 310 composed of the binder resin 312 finally produced. An example of such a crosslinking accelerator is polyhedral oligomeric silsesquioxane (POSS) which is a silsesquioxane having a cage structure among polysilsesquioxanes. The content of the crosslinking accelerator may vary depending on the type and content of the solvent and the solvent to be contained in the binder composition, but the content thereof may be approximately 0.01 to 0.1 part by weight in the binder composition.

전술한 반응성 성분, 다공성 구리 입자, 용매, 기타 첨가제 등을 함유하는 바인더 조성물을 적절한 기재에 코팅한 뒤, 이를 경화시켜 다공성 구리 입자(320)가 분산된 바인더 수지(312)로 구성되는 평탄화층(320)을 얻을 수 있다. 코팅 방법은 제한되지 않으며, 스핀 코팅, 롤 코팅, 스프레이 코팅, 바 코팅, 토출노즐식 코팅과 같은 슬릿 노즐을 이용한 슬릿 코팅 등의 방법을 이용할 수 있으며, 2가지 이상의 코팅 방법을 조합하여 코팅할 수 있다. 이때, 코팅된 막의 두께는 코팅 방법, 바인더 조성물 중의 고형분의 농도, 점도 등에 따라 달라질 수 있지만, 건조 후에 평탄화층(310)의 두께가 0.1 ~ 2.0 ㎛가 되도록 도포할 수 있다.A binder composition containing the above-described reactive component, porous copper particles, solvent, other additives, and the like is coated on a suitable substrate, and then the resultant is cured to form a planarizing layer (binder layer) 312 composed of a binder resin 312 in which porous copper particles 320 are dispersed 320 can be obtained. The coating method is not limited, and a slit coating method using a slit nozzle such as spin coating, roll coating, spray coating, bar coating, discharge nozzle coating and the like can be used, and two or more coating methods can be combined and coated have. The thickness of the coated film may vary depending on the coating method, the concentration of the solid content in the binder composition, the viscosity, and the like. However, the thickness of the flattening layer 310 may be 0.1 to 2.0 μm after drying.

구체적으로, 전술한 바인더 조성물에 대한 경화 공정을 수행하여 용매를 증발시켜, 최종적으로 기재 상에 다공성 구리 입자(320)가 분산된 바인더 수지(312)를 형성할 수 있다. 이 과정은 통상적으로 적절한 열을 가하여 용매를 휘발시키는 방법으로 이용될 수 있다. 예를 들어, 바인더 수지(312)로서 폴리실록산계 수지를 사용하고자 하는 경우, 80 ~ 120℃의 온도에서 0.1 ~ 5분 동안 예비 가열(프리 베이킹)하고, 이어서 150 ~ 400℃의 온도에서 5 ~ 200분, 바람직하게는 10 ~ 100분 동안 본 가열(포스트 베이킹)시킬 수 있다. Concretely, the curing process for the binder composition described above is performed to evaporate the solvent, and finally the binder resin 312 in which the porous copper particles 320 are dispersed can be formed on the substrate. This process can be generally used as a method of volatilizing the solvent by applying appropriate heat. For example, when a polysiloxane resin is to be used as the binder resin 312, it is preheated (prebaked) at a temperature of 80 to 120 ° C for 0.1 to 5 minutes, then at a temperature of 150 to 400 ° C for 5 to 200 (Post-baking) for 10 minutes to 10 minutes, preferably 10 to 100 minutes.

한편, 폴리이미드에 다공성 구리 입자(320)가 분산된 바인더 수지(312)를 제조하기 위하여, 전술한 아민 화합물과 무수화물 및 다공성 구리 입자(320)를 포함하는 바인더 조성물을 기재에 코팅하고, 아민 화합물과 무수화물의 반응에 의하여 얻어지는 폴리아믹산을 140 ~ 300 ℃에서 가열하는 이미드화하는 열적 이미드화 공정, 아세트산무수화물/피리딘 등의 탈수 촉매를 이용하여 화학적으로 이미드화 반응을 수행하는 화학적 이미드화 방법을 단독으로 또는 혼합하여 사용할 수 있다. On the other hand, in order to produce the binder resin 312 in which the porous copper particles 320 are dispersed in the polyimide, the binder composition comprising the amine compound, the anhydride and the porous copper particles 320 described above is coated on the substrate, An imidation thermal imidization process in which a polyamic acid obtained by reaction of a compound and an anhydride is heated at 140 to 300 ° C, a chemical imidization process in which a chemical imidization reaction is performed using a dehydration catalyst such as acetic anhydride / pyridine May be used alone or in combination.

다시 도 2로 돌아가면, 평탄화막(300)을 구성하는 평탄화층(310)의 하부와 상부에 각각 위치하는 제 1 버퍼층(332) 및 제 2 버퍼층(334)이 위치한다. 전술한 바와 같이, 평탄화층(310)에는 금속 성분인 다공성 구리 입자(320)가 바인더 수지(312)에 분산되어 있다. 평탄화층(310)을 직접 터치 패널(TP, 도 4 참조)과 어레이 패널(AP) 사이에 직접 개재되는 경우, 터치 패널과 어레이 패널을 구성하는 다수의 금속성 전극이나 배선과, 다공성 구리 입자(320) 사이에 전기적 쇼트가 발생할 수 있다. 이를 방지할 수 있도록, 평탄화층(310)의 하부와 상부에 각각 절연 물질로 제조되는 제 1 버퍼층(332) 및 제 2 버퍼층(334)이 위치한다. Referring back to FIG. 2, the first and second buffer layers 332 and 334 located at the lower and upper portions of the planarization layer 310 constituting the planarization layer 300 are located. As described above, porous copper particles 320, which are metal components, are dispersed in the binder resin 312 in the planarization layer 310. When the planarization layer 310 is directly interposed between the touch panel TP (see FIG. 4) and the array panel AP, a large number of metallic electrodes or wiring constituting the touch panel and the array panel, and a plurality of porous copper particles 320 An electrical short may occur. In order to prevent this, a first buffer layer 332 and a second buffer layer 334, which are made of an insulating material, are disposed on the lower and upper portions of the planarization layer 310, respectively.

하나의 예시적인 실시형태에서, 제 1 버퍼층(332) 및 제 2 버퍼층(334)은 무기 물질을 사용하여 적층될 수 있다. 예를 들어, 제 1 버퍼층(332) 및 제 2 버퍼층(334)은 실리콘 산화물(SiO2) 및/또는 실리콘 질화물(SiNx)을 사용하여 제조될 수 있는데, PECVD(플라즈마강화 화학기상증착) 등과 같은 방법을 사용하여 적층될 수 있다. 이 경우, 제 1 버퍼층(332) 및 제 2 버퍼층(334)은 각각 500 ~ 2000 의 두께로 적층될 수 있지만, 본 발명이 이에 한정되지 않는다. In one exemplary embodiment, the first buffer layer 332 and the second buffer layer 334 may be laminated using an inorganic material. For example, such as the first buffer layer 332 and the second buffer layer 334 is a silicon oxide (SiO 2) and / or may be prepared using silicon nitride (SiNx), PECVD (plasma enhanced chemical vapor deposition) Method. ≪ / RTI > In this case, the first buffer layer 332 and the second buffer layer 334 may each be laminated to a thickness of 500 to 2000, but the present invention is not limited thereto.

본 발명에 따라 바인더 수지(312)에 다공성 구리 입자(320)가 분산된 절연막으로서의 평탄화층(310)은 우수한 내열 특성을 보유하고 있다. 이 평탄화층(310)을 터치 패널(TP, 도 4 참조)와 표시 패널(DP, 도 4 참조)을 구성하는 어레이 패널(AP, 도 4 참조) 사이의 평탄화막(300)으로 사용하면, 어레이 패널을 구성하는 박막트랜지스터(Tr, 도 4 참조)를 제조하기 위한 350℃ 이상의 고온 공정에 의해서도 평탄화층(310)의 구조가 파괴되는 등의 열화가 일어나지 않는다. The planarization layer 310 as an insulating film in which the porous copper particles 320 are dispersed in the binder resin 312 according to the present invention has excellent heat resistance characteristics. When the planarization layer 310 is used as the planarization film 300 between the touch panel TP (see FIG. 4) and the array panel AP (see FIG. 4) constituting the display panel DP No deterioration such as destruction of the structure of the planarization layer 310 is caused by the high-temperature process at 350 DEG C or more for manufacturing the thin film transistor Tr (see Fig. 4) constituting the panel.

즉, 본 발명에 따라 제조되는 평탄화층(310)을 포함하는 평탄화막(300)은 내열 특성이 우수한 바인더 수지(310)를 채택하는 한편, 다공성 구리 입자(320)를 사용하여 열이 쉽게 배출되는 통로가 형성되므로 열 분산 특성이 양호하다. 이에 따라 평탄화막(300) 상부에 위치하는 어레이 패널(AP, 도 4 참조)와 하부에 위치하는 터치 패널(TP, 도 4 참조) 사이에 열적 스트레스가 비슷하게 된다. That is, the planarization layer 300 including the planarization layer 310 manufactured according to the present invention employs the binder resin 310 having excellent heat resistance characteristics, while using the porous copper particles 320, Since the passage is formed, the heat dispersion property is good. Accordingly, the thermal stress between the array panel AP (see FIG. 4) located on the planarizing film 300 and the touch panel TP (see FIG.

따라서 고온 조건에서도 그 상부 및 하부에 각각 위치하는 터치 패널 또는 기판과, 어레이 패널에 대한 우수한 접착력을 유지할 수 있다(도 7a 참조). 뿐만 아니라 기재와의 계면에서 들뜸이 일어나지 않으므로 크랙(crack)이 일어나지 않으며(도 8a 및 도 10a 참조), 박리 강도도 우수하다(도 9a 참조). 더욱이, 고온 처리에 의해서도 광-투과 특성이 저하되지 않기 때문에, 표시장치에 적용되어 양호한 휘도를 얻을 수 있을 뿐만 아니라, 다공성 구조의 입자(320)를 포함하고 있어 저-유전율을 도모할 수 있기 때문에 구동 전압을 낮출 수 있는 이점을 갖게 된다. 또한, 저유전율 구조의 다공성 구리 입자(320)가 분산되어 절연막으로 사용되는 평탄화층(310)의 저항을 낮출 수 있으므로 구동 과정에서 야기될 수 있는 정전기를 신속하게 감쇠시킬 수 있으므로 제품의 수율을 향상시킬 수 있다. Therefore, it is possible to maintain excellent adhesion to the touch panel or substrate and the array panel, which are located at the upper and lower portions, respectively, even under high temperature conditions (see FIG. 7A). In addition, cracking does not occur (see FIGS. 8A and 10A) because peeling does not occur at the interface with the substrate, and the peel strength is excellent (see FIG. 9A). Furthermore, since the light-transmittance property is not lowered even by the high-temperature treatment, it can be applied to a display device to obtain a satisfactory brightness, and since it includes the particles 320 having a porous structure, The driving voltage can be lowered. In addition, since the porous copper particles 320 having a low dielectric constant structure are dispersed to reduce the resistance of the planarization layer 310 used as an insulating layer, the static electricity that can be caused in the driving process can be rapidly attenuated, .

계속해서, 본 발명에 따라 다공성 구리 입자(320)가 분산된 바인더 수지(312)로 구성되는 평탄화층(310)이 적용될 수 있는 표시장치용 어레이 기판 및 표시장치에 대해서 설명한다. 도 4는 본 발명의 예시적인 실시형태에 따라 터치 패널과 액정 표시 패널 사이에 고내열성 평탄화막이 적용된 표시장치를 개략적으로 도시한 단면도이다. 본 발명의 제 2 실시형태에 따른 인-셀 터치 타입 액정 표시장치(100)는 제 1 기판(101) 상에 위치하는 터치 패널(TP)과, 터치 패널(TP) 상에 위치하는 어레이 패널(AP)을 포함하는 표시 패널(DP)을 포함한다. 표시 패널(DP)의 상단에 제 1 기판(101)과 마주하는 제 2 기판(102)이 위치하고 있으며, 제 1 기판(101)과 제 2 기판(102) 사이에 액정층(180)이 개재되어 있다. 상기 제 1 기판(101)과 제 2 기판(102)은 글라스는 물론이고 폴리이미드(PI)와 같은 플라스틱 소재로 제조될 수 있다. Subsequently, an array substrate for a display device and a display device to which a planarization layer 310 composed of a binder resin 312 in which the porous copper particles 320 are dispersed can be applied will be described. 4 is a cross-sectional view schematically illustrating a display device to which a high-temperature-resistant flattening film is applied between a touch panel and a liquid crystal display panel according to an exemplary embodiment of the present invention. The in-cell touch type liquid crystal display device 100 according to the second embodiment of the present invention includes a touch panel TP positioned on the first substrate 101 and an array panel AP). ≪ / RTI > A second substrate 102 facing the first substrate 101 is positioned at the upper end of the display panel DP and a liquid crystal layer 180 is interposed between the first substrate 101 and the second substrate 102 have. The first substrate 101 and the second substrate 102 may be made of a plastic material such as polyimide (PI) as well as glass.

상기 터치 패널(TP)은 사용자의 터치를 감지하는데, 터치 패널(TP)은 제 1 방향을 따라 배열되는 다수의 제 1 터치 전극(112)과, 상기 제 1 방향과 다른 제 2 방향을 따라 배열되는 다수의 제 2 전극(114)을 포함한다. 예를 들어, 상기 제 1 방향은 데이터 배선(미도시)과 평행하고, 상기 제 2 방향은 게이트 배선(미도시)과 평행할 수 있으나, 이에 한정되지 않는다. The touch panel TP senses a user's touch. The touch panel TP includes a plurality of first touch electrodes 112 arranged along a first direction and a plurality of first touch electrodes 112 arranged along a second direction different from the first direction. And a plurality of second electrodes 114 which are connected to the second electrodes 114. For example, the first direction may be parallel to a data line (not shown), and the second direction may be parallel to a gate line (not shown), but is not limited thereto.

상기 제 1 터치 전극(112)과 상기 제 2 터치 전극(114)은 서로 이격되어 위치한다. 예를 들어, 제 1 기판(101) 상에 제 1 방향을 따라 상기 다수의 제 1 터치 전극(112)이 서로 연결된 일체로 형성될 수 있으며, 제 2 방향을 따라 서로 이격된 섬(island) 형상의 다수의 제 2 터치 전극(114)이 형성될 수 있다. 하나의 예시적인 실시형태에서, 상기 제 1 터치 전극(112)은 송신(Tx) 전극이고, 상기 제 2 터치 전극(114)은 수신(Rx) 전극일 수 있다. The first touch electrode 112 and the second touch electrode 114 are spaced apart from each other. For example, the plurality of first touch electrodes 112 may be integrally formed on the first substrate 101 along a first direction, and may have an island shape spaced apart from each other along the second direction A plurality of second touch electrodes 114 may be formed. In one exemplary embodiment, the first touch electrode 112 may be a transmit (Tx) electrode and the second touch electrode 114 may be a receive (Rx) electrode.

도면으로 표시하지는 않았으나, 터치 패널(TP)에는 제 1 및 제 2 터치 전극(112, 114) 이외에도, 제 1 터치 전극(112)에 연결되는 송신 배선(driving line), 제 2 터치 전극(114)에 연결되는 수신 배선(sensing line), 터치 패드(미도시)가 형성된다. 터치 패드(미도시)는 다수의 송신 배선(미도시) 또는 수신 배선(미도시)와 전기적으로 연결되며, 예를 들어 이방성 도전 필름(anisotropic conductive film)인 접속 수단(미도시)를 통해 표시 패드(미도시)와 전기적으로 연결될 수 있다.The touch panel TP may include a driving line connected to the first touch electrode 112, a second touch electrode 114 connected to the first touch electrode 112, A sensing line and a touch pad (not shown) are formed. The touch pad (not shown) is electrically connected to a plurality of transmission lines (not shown) or reception lines (not shown), and is connected to a display pad (not shown) through a connection means (not shown), for example an anisotropic conductive film. (Not shown).

터치 패널(TP)의 상부에 제 1 및 제 2 터치 전극(112, 124)을 덮는 제 1 버퍼층(332)이 형성된다. 제 1 버퍼층(332)은 실리콘 산화물(SiO2) 또는 실리콘 질화물(SiNx)와 같은 무기 절연물질로 구성될 수 있다. 제 1 버퍼층(332)은 터치 패널(TP)과 평탄화층(310) 사이에 개재되어, 제 1 및 제 2 터치 전극(112, 114)과 평탄화층(310)에 분산되어 있는 다공성 구리 입자 사이의 전기적 쇼트를 방지한다. A first buffer layer 332 covering the first and second touch electrodes 112 and 124 is formed on the touch panel TP. A first buffer layer 332 may be composed of an inorganic insulating material such as silicon oxide (SiO 2) or silicon nitride (SiNx). The first buffer layer 332 is interposed between the touch panel TP and the planarization layer 310 and is disposed between the first and second touch electrodes 112 and 114 and the porous copper particles dispersed in the planarization layer 310 Prevents electrical shorts.

제 1 버퍼층(332)의 상면에 바인더 수지에 다공성 구리 입자가 분산된 평탄화층(310)이 위치한다. 예를 들어 다공성 구리 입자는 메조포러스 다공성 구리 입자이다. 평탄화층(310) 상부에 실리콘 산화물(SiO2) 또는 실리콘 질화물(SiNx)와 같은 무기 절연물질로 구성되는 제 2 버퍼층(334)이 위치하여, 평탄화막(330)에 분산되어 있는 다공성 구리 입자와, 게이트 전극(132) 및/또는 데이터 배선(170)과 같은 어레이 패널(AP)을 구성하는 다수의 전극 및 배선 사이의 전기적 쇼트를 방지한다. A planarization layer 310 in which porous copper particles are dispersed in a binder resin is disposed on the upper surface of the first buffer layer 332. For example, porous copper particles are mesoporous porous copper particles. A second buffer layer 334 composed of an inorganic insulating material such as silicon oxide (SiO 2 ) or silicon nitride (SiN x) is disposed on the planarization layer 310, and the porous copper particles dispersed in the planarization layer 330 The gate electrode 132, and / or the data line 170, which are included in the array panel AP.

제 2 버퍼층(334)의 상부에 표시 패널(DP)을 구성하는 어레이 패널(AP)이 형성된다. 상기 어레이 패널(AP)은 도시하지 않은 백라이트 유닛의 동작을 조절할 수 있도록 다수의 전극 및 배선으로 구성된다. An array panel AP constituting the display panel DP is formed on the second buffer layer 334. The array panel AP is composed of a plurality of electrodes and wires so as to control the operation of a backlight unit (not shown).

어레이 패널(AP)을 구성하는 전극 및 배선에 대해서 구체적으로 살펴본다. 제 2 버퍼층(334)의 상부에 일방향으로 다수의 게이트 배선(미도시)이 연장되어 있으며, 이러한 다수의 게이트 배선(미도시)과 교차하여 다수의 화소영역(P)을 정의하며 제 2 방향으로 다수의 데이터 배선(170)이 형성되어 있다. 게이트 배선(미도시)의 일단에 연결되어 비-표시영역에 게이트패드(미도시)가 형성되고, 데이터 배선(170)의 일단에 연결되어 비-표시영역에 데이터패드(미도시)가 형성된다. The electrodes and wiring constituting the array panel AP will be described in detail. A plurality of gate lines (not shown) extend in one direction on the upper portion of the second buffer layer 334 and intersect the plurality of gate lines (not shown) to define a plurality of pixel regions P, A plurality of data lines 170 are formed. A gate pad (not shown) is formed in the non-display region and connected to one end of the data line 170 to form a data pad (not shown) in the non-display region .

다수의 화소영역(P) 각각에는 게이트 전극(132)과, 게이트 절연막(136)과, 액티브층(142a) 오믹콘택층(142b)을 포함하는 반도체층(140)과, 소스 및 드레인 전극(152, 154)으로 이루어지는 박막트랜지스터(Tr)가 형성되어 있다. 게이트 전극(132)은 게이트 배선(미도시)에 연결되며, 제 2 버퍼층(334) 상에 형성된다. 게이트 배선(미도시)과 게이트 전극(132) 상에, 무기 절연물질, 예를 들어 실리콘 산화물 또는 실리콘 질화물일 수 있는 무기 절연물질로 이루어지는 게이트 절연막(136)이 형성된다. Each of the plurality of pixel regions P includes a semiconductor layer 140 including a gate electrode 132, a gate insulating film 136, an active layer 142a and an ohmic contact layer 142b, and source and drain electrodes 152 And 154 are formed on the substrate. The gate electrode 132 is connected to a gate wiring (not shown) and is formed on the second buffer layer 334. On the gate wiring (not shown) and the gate electrode 132, a gate insulating film 136 made of an inorganic insulating material, for example, an inorganic insulating material which may be silicon oxide or silicon nitride, is formed.

게이트 절연막(136) 상에는 순수 비정질 실리콘으로 이루어지는 액티브층(142a)과, 액티브층(142a) 상에 형성되며 액티브층(142a)의 중앙을 노출시키고 불순물 비정질 실리콘으로 이루어지는 오믹콘택층(142b)이 형성되어 있다. 액티브층(142a)과 오믹콘택층(142b)은 반도체층(140)을 이룬다.An active layer 142a made of pure amorphous silicon and an ohmic contact layer 142b formed on the active layer 142a and exposing the center of the active layer 142a and made of impurity amorphous silicon are formed on the gate insulating film 136 . The active layer 142a and the ohmic contact layer 142b constitute the semiconductor layer 140. [

반도체층(140) 상에는 서로 이격하여 액티브층(142a)의 중앙을 노출시키는 소스 전극(152)과 드레인 전극(154)이 형성되어 있다. 소스 전극(152)은 반도체층(140) 상에 위치하며 데이터 배선(170)에서 연장되며, 드레인 전극(154)은 반도체층(140) 상에서 소스 전극(152)과 이격하여 위치한다. 박막트랜지스터(Tr)는 스위칭 영역(TrA)에 위치하고 있다.A source electrode 152 and a drain electrode 154 are formed on the semiconductor layer 140 to expose the center of the active layer 142a. The source electrode 152 is located on the semiconductor layer 140 and extends in the data line 170 while the drain electrode 154 is located on the semiconductor layer 140 and away from the source electrode 152. The thin film transistor Tr is located in the switching region TrA.

또한, 게이트 절연막(136) 상에는 제 2 방향을 따라 연장되는 데이터 배선(170)이 게이트 배선(미도시)과 교차하여 형성되고 있다. 데이터 배선(170)은 화소영역(P)에 위치하는 박막트랜지스터(Tr)의 소스 전극(152)으로부터 연장된다. 한편, 도면으로 표시하지는 않았으나, 하나의 예시적인 실시형태에서, 게이트 절연막(136) 상에는 공통배선(미도시)이 데이터 배선(170)에 평행한 제 2 방향을 따라 형성되어, 게이트 배선(미도시)과 교차하고 있다. 대안적인 실시형태에서, 공통배선(미도시)은 게이트 배선(미도시)과 평행하게 게이트 배선(미도시)과 동일층에 형성될 수도 있다. On the gate insulating film 136, a data line 170 extending along the second direction is formed so as to intersect the gate line (not shown). The data line 170 extends from the source electrode 152 of the thin film transistor Tr located in the pixel region P. [ Although not shown in the figure, in one exemplary embodiment, a common wiring (not shown) is formed along the second direction parallel to the data wiring 170 on the gate insulating film 136, ). In an alternative embodiment, the common wiring (not shown) may be formed in the same layer as the gate wiring (not shown) in parallel with the gate wiring (not shown).

한편, 데이터 배선(170), 소스 전극(152), 드레인 전극(154) 및 공통배선(미도시)을 덮는 제 1 보호층(160)이 제 1 층간 절연막으로서 형성된다. 이 제 1 보호층(160)에는 박막트랜지스터(Tr)의 드레인 전극(154)을 노출시키는 드레인 콘택홀(164)이 형성되어 있다. 상기 제 1 보호층(160)은 실리콘 산화물(SiO2)이나 실리콘 질화물(SiNx)와 같은 무기 절연물질 또는 벤조사이클로부텐(benzocyclobutene)이나 포토 아크릴(photo acryl)과 같은 유기절연물질로 형성될 수 있다. 제 1 보호층(160)은 화소전극(176)을 형성하는 과정에서 오믹콘택층(142b)이 손상되는 것을 방지한다. On the other hand, the first passivation layer 160 that covers the data line 170, the source electrode 152, the drain electrode 154, and the common line (not shown) is formed as a first interlayer insulating film. A drain contact hole 164 is formed in the first passivation layer 160 to expose the drain electrode 154 of the thin film transistor Tr. The first passivation layer 160 may be formed of an inorganic insulating material such as silicon oxide (SiO 2 ) or silicon nitride (SiN x) or an organic insulating material such as benzocyclobutene or photo acryl . The first passivation layer 160 prevents the ohmic contact layer 142b from being damaged in the process of forming the pixel electrode 176. [

또한, 각각의 화소영역(P)에는 박막트랜지스터(Tr)의 드레인 전극(174)과 드레인 콘택홀(164)을 통해 접촉하여 전기적으로 연결되는 제 1 전극으로서의 화소전극(176)이 제 1 보호층(160) 상에 형성되어 있다. 화소전극(176)은 투명 도전성 물질로 이루어지며, 각각의 화소영역(P) 내에서 판 형상을 가질 수 있다. 예를 들어, 상기 투명 도전성 물질은 인듐-틴-옥사이드(indium-tin-oxide; ITO) 또는 인듐-징크-옥사이드(indium-zinc-oxide; IZO)일 수 있다. 도면으로 도시하지 않았지만, 제 1 보호층(160)의 상부의 비-표시영역에는 화소전극(176)과 동일한 투명 도전성 소재로 제조되는 게이트 패드 전극 및 데이터 패드 전극이 형성되는데, 게이트패드 전극은 게이트패드 콘택홀(미도시)을 통하여 게이트패드에 전기적으로 연결되고, 데이터패드 전극은 데이터패드 콘택홀(미도시)을 통하여 데이터패드에 전기적으로 연결된다. A pixel electrode 176 as a first electrode which is in contact with and electrically connected to the drain electrode 174 of the thin film transistor Tr through the drain contact hole 164 is formed in each pixel region P, (Not shown). The pixel electrode 176 is made of a transparent conductive material and may have a plate shape in each pixel region P. [ For example, the transparent conductive material may be indium-tin-oxide (ITO) or indium-zinc-oxide (IZO). Although not shown, a gate pad electrode and a data pad electrode made of the same transparent conductive material as the pixel electrode 176 are formed in the non-display region of the upper portion of the first passivation layer 160, And is electrically connected to the gate pad through a pad contact hole (not shown), and the data pad electrode is electrically connected to the data pad through a data pad contact hole (not shown).

화소전극(176) 상부에는 제 2 층간 절연막인 제 2 보호층(178)이 형성되어 있다. 이 제 2 보호층(178)은 실리콘 산화물(SiO2)이나 실리콘 질화물(SiNx)와 같은 무기 절연물질 또는 벤조사이클로부텐(benzocyclobutene)이나 포토 아크릴(photo acryl)과 같은 유기절연물질로 형성될 수 있다. A second passivation layer 178, which is a second interlayer insulating film, is formed on the pixel electrode 176. The second protective layer 178 may be formed of an organic insulating material such as silicon oxide (SiO 2) or silicon nitride (SiNx) and the inorganic insulating material or benzocyclobutene (benzocyclobutene) or the picture acrylate (photo acryl) of .

한편, 상기 제 2 보호층(178) 상에는 상기 판 형태의 화소전극(176)과 중첩하며 다수의 슬릿 형태의 홀(개구부, 192)을 갖는 공통전극(190)이 형성되어 있다. 화소전극(176)과 마찬가지로 제 2 전극으로서의 공통전극(190)은 인듐-틴-옥사이드(ITO) 또는 인듐-징크-옥사이드(IZO)와 같은 투명 도전성 물질로 제조될 수 있다. 공통전극(190)은 다수의 화소영역(P)이 형성된 표시영역 전면에 형성된다. 판 형태의 제 1 전극일 수 있는 화소전극(176)과 개구부(192)를 갖는 제 2 전극일 수 있는 공통전극(190) 사이에 전압이 인가되면, 프린지 필드(fringe field)가 형성되어 액정이 구동됨으로써, 투과 효율이 향상되고 고품질의 영상이 표시된다. On the other hand, a common electrode 190 having a plurality of slit-shaped holes (openings 192) is formed on the second passivation layer 178 to overlap with the plate-shaped pixel electrode 176. Like the pixel electrode 176, the common electrode 190 as the second electrode may be made of a transparent conductive material such as indium-tin-oxide (ITO) or indium-zinc-oxide (IZO). The common electrode 190 is formed on the entire surface of the display region where a plurality of pixel regions P are formed. When a voltage is applied between the pixel electrode 176, which may be a first electrode in the form of a plate, and the common electrode 190, which may be a second electrode having the opening 192, a fringe field is formed, By driving, the transmission efficiency is improved and a high-quality image is displayed.

도면으로 도시하지는 않았으나 제 2 기판(102)의 하부에는 각각의 화소영역(P)에 대응되는 개구부를 갖는 차광부재인 블랙매트릭스가 형성되고, 블랙매트릭스의 하부와 블랙매트릭스의 개구부를 통하여 노출된 제 2 기판(102)의 하부에는 컬러필터층이 형성된다. 컬러필터층(미도시)은 화소영역(P)에 대응되는 적, 녹, 청 컬러필터를 포함한다. 또한, 컬러필터층(미도시)과 액정층(180) 사이에는 컬러필터층(미도시)의 보호 및 표면을 평탄화하기 위하여 폴리이미드, 폴리아크릴레이트, 폴리우레탄 등과 같은 소재의 오버코트층(미도시)이 더 형성될 수 있다. 아울러, 도시하지는 않았으나 제 2 기판(102)의 상부에 편광판이 위치할 수 있으며, 편광판(미도시) 상부에는 광학 투명 접착제(Optically Clear Adhesive, OCA)를 통하여 커버 윈도우가 배치될 수 있다. Although not shown in the drawings, a black matrix, which is a light shielding member having openings corresponding to the respective pixel regions P, is formed under the second substrate 102, and the lower portion of the black matrix and the exposed portion of the black matrix, 2, a color filter layer is formed on the lower side of the substrate 102. The color filter layer (not shown) includes red, green, and blue color filters corresponding to the pixel regions P. An overcoat layer (not shown) of a material such as polyimide, polyacrylate, or polyurethane is formed between the color filter layer (not shown) and the liquid crystal layer 180 in order to protect the color filter layer (not shown) Can be formed. In addition, although not shown, a polarizing plate may be disposed on the second substrate 102, and a cover window may be disposed on the polarizing plate (not shown) through an optically clear adhesive (OCA).

본 발명의 제 1 실시형태에 따른 표시장치(100)는 표시 패널(DP)을 구성하는 어레이 패널(AP)과 터치 패널(TP) 사이에 고내열성 바인더 수지에 분산된 다공성 구리 입자를 갖는 평탄화층(310)이 위치한다. 따라서 어레이 패널(AP)을 구성하는 박막트랜지스터(Tr)을 제조하는 350℃ 이상의 고온 공정에 의해서도 평탄화층(310)은 열화되지 않는다. 이러한 특성으로 인하여, 어레이 패널(AP)이 최종적으로 제조된 이후에도, 평탄화층(310)은 터치 패널(TP)과 어레이 패널(AP)에 견고하게 접착되어 있으므로, 터치 패널(TP)과 어레이 패널(AP)에 대한 합착이 견고하게 유지될 수 있다. The display device 100 according to the first embodiment of the present invention includes a planarizing layer having porous copper particles dispersed in a high heat-resistant binder resin between an array panel AP constituting a display panel DP and a touch panel TP, (310). Therefore, the planarization layer 310 is not deteriorated even by the high-temperature process of 350 DEG C or more for fabricating the thin film transistor Tr constituting the array panel AP. The planarization layer 310 is firmly adhered to the touch panel TP and the array panel AP even after the array panel AP is finally manufactured so that the touch panel TP and the array panel AP) can be firmly maintained.

뿐만 아니라, 본 발명에 따른 평탄화층(310)은 고온 공정에 의해서도 그 특성을 유지할 수 있으므로, 고온 공정에 의한 크랙 발생 및/또는 박리(peeling)가 일어나지 않는다. 고온 공정에 의해서도 광-투과율이 저하되지 않으므로 양호한 휘도를 얻을 수 있고, 기공 구조를 가지는 다공성 구리 입자가 분산되어 있으므로 저-유전율을 확보할 수 있어서 구동 전압을 낮출 수 있다. 또한, 기공 구조로 인하여 소자 작동 과정에서 초래될 수 있는 정전기를 신속하게 감쇠, 제거할 수 있으므로 정전기로 인한 소자 작동의 불량이나 수율 저하를 방지할 수 있는 이점이 있다. In addition, since the planarization layer 310 according to the present invention can maintain its characteristics even by a high-temperature process, cracking and / or peeling due to a high-temperature process does not occur. Since the light-transmittance is not lowered even by the high-temperature process, good luminance can be obtained, and since the porous copper particles having the pore structure are dispersed, the low-permittivity can be ensured and the driving voltage can be lowered. In addition, since the pore structure can rapidly attenuate and remove the static electricity that may be caused in the operation of the device, it is advantageous in that defective operation of the device due to static electricity or decrease in yield can be prevented.

도 4는 표시 장치로서 액정 표시장치(100)를 표시 소자로 사용하는 인-셀 타입의 표시장치를 예시하였으나, 본 발명의 평탄화막은 유기발광다이오드를 표시 소자로 사용하는 인-셀 타입의 표시장치에도 적용될 수 있다. 도 5는 본 발명의 예시적인 제 2 실시형태에 따라 터치 패널과 발광다이오드 표시 패널 사이에 고내열성 평탄화막이 적용된 표시장치를 개략적으로 도시한 단면도이다. 본 발명의 제 2 실시형태에 따른 인-셀 터치 타입 유기발광다이오드 표시장치(200)는 기판(201) 상에 위치하는 터치 패널(TP)과, 터치 패널(TP) 상에 위치하는 어레이 패널(AP)과, 상기 어레이 패널(AP) 상의 발광다이오드(E)를 포함한다. 상기 터치 패널(TP)은 사용자의 터치를 감지하며, 상기 발광다이오드(E)는 광원의 역할을 하고, 상기 어레이 패널(AP)은 상기 발광다이오드(E)의 동작을 조절하는 역할을 한다. 상기 기판(201)은 글라스 또는 플라스틱 소재로 제조된다. FIG. 4 illustrates an in-cell type display device using a liquid crystal display device 100 as a display device as a display device. However, the planarizing film of the present invention is an in-cell type display device using an organic light emitting diode as a display device . ≪ / RTI > 5 is a cross-sectional view schematically illustrating a display device to which a high-temperature-resistant flattening film is applied between a touch panel and a light-emitting diode display panel according to a second exemplary embodiment of the present invention. The in-cell touch type organic light emitting diode display device 200 according to the second embodiment of the present invention includes a touch panel TP located on a substrate 201 and an array panel AP), and a light emitting diode (E) on the array panel (AP). The touch panel TP senses a user's touch. The light emitting diode E serves as a light source. The array panel AP controls the operation of the light emitting diode E. The substrate 201 is made of glass or a plastic material.

상기 터치 패널(TP)은 제 1 방향을 따라 배열되는 다수의 제 1 터치 전극(212)과, 상기 제 1 방향과 다른 제 2 방향을 따라 배열되는 다수의 제 2 전극(214)를 포함한다. 예를 들어, 상기 제 1 방향은 데이터 배선(미도시)과 평행하고, 상기 제 2 방향은 게이트 배선(미도시)과 평행할 수 있으나, 이에 한정되지 않는다. The touch panel TP includes a plurality of first touch electrodes 212 arranged along a first direction and a plurality of second electrodes 214 arranged along a second direction different from the first direction. For example, the first direction may be parallel to a data line (not shown), and the second direction may be parallel to a gate line (not shown), but is not limited thereto.

상기 제 1 터치 전극(212)과 상기 제 2 터치 전극(214)은 서로 이격되어 위치한다. 예를 들어, 기판(201) 상에 제 1 방향을 따라 상기 다수의 제 1 터치 전극(212)이 서로 연결된 일체로 형성될 수 있으며, 제 2 방향을 따라 서로 이격된 섬(island) 형상의 다수의 제 2 터치 전극(214)이 형성될 수 있다. 하나의 예시적인 실시형태에서, 상기 제 1 터치 전극(212)은 송신(Tx) 전극이고, 상기 제 2 터치 전극(214)은 수신(Rx) 전극일 수 있다. The first touch electrode 212 and the second touch electrode 214 are spaced apart from each other. For example, the plurality of first touch electrodes 212 may be formed integrally with each other along a first direction on a substrate 201, and a plurality of island-shaped The second touch electrode 214 may be formed. In one exemplary embodiment, the first touch electrode 212 may be a transmit (Tx) electrode and the second touch electrode 214 may be a receive (Rx) electrode.

도면으로 표시하지는 않았으나, 터치 패널(TP)에는 제 1 및 제 2 터치 전극(212, 214) 이외에도, 제 1 터치 전극(212)에 연결되는 송신 배선(driving line), 제 2 터치 전극(214)에 연결되는 수신 배선(sensing line), 터치 패드(미도시)가 형성된다. 터치 패드(미도시)는 다수의 송신 배선(미도시) 또는 수신 배선(미도시)와 전기적으로 연결되며, 예를 들어 이방성 도전 필름(anisotropic conductive film)인 접속 수단(미도시)를 통해 표시 패드(미도시)와 전기적으로 연결될 수 있다.The touch panel TP may include a driving line connected to the first touch electrode 212 and a second touch electrode 214 connected to the first touch electrode 212 and the second touch electrode 212. In addition to the first and second touch electrodes 212 and 214, A sensing line and a touch pad (not shown) are formed. The touch pad (not shown) is electrically connected to a plurality of transmission lines (not shown) or reception lines (not shown), and is connected to a display pad (not shown) through a connection means (not shown), for example an anisotropic conductive film. (Not shown).

터치 패널(TP)의 상부에 제 1 및 제 2 터치 전극(112, 124)을 덮는 제 1 버퍼층(332)이 형성된다. 제 1 버퍼층(332)은 실리콘 산화물(SiO2) 또는 실리콘 질화물(SiNx)와 같은 무기 절연물질로 구성될 수 있다. 제 1 버퍼층(332)은 터치 패널(TP)과 평탄화층(310) 사이에 개재되어, 제 1 및 제 2 터치 전극(112, 114)과 평탄화층(310)에 분산되어 있는 다공성 구리 입자 사이의 전기적 쇼트를 방지한다.A first buffer layer 332 covering the first and second touch electrodes 112 and 124 is formed on the touch panel TP. A first buffer layer 332 may be composed of an inorganic insulating material such as silicon oxide (SiO 2) or silicon nitride (SiNx). The first buffer layer 332 is interposed between the touch panel TP and the planarization layer 310 and is disposed between the first and second touch electrodes 112 and 114 and the porous copper particles dispersed in the planarization layer 310 Prevents electrical shorts.

제 1 버퍼층(332)의 상면에 바인더 수지에 다공성 구리 입자가 분산된 평탄화층(310)이 위치한다. 예를 들어 다공성 구리 입자는 메조포러스 다공성 구리 입자이다. 평탄화층(310) 상부에 실리콘 산화물(SiO2) 또는 실리콘 질화물(SiNx)와 같은 무기 절연물질로 구성되는 제 2 버퍼층(334)이 위치하여, 평탄화막(330)에 분산되어 있는 다공성 구리 입자와, 게이트 전극(232) 과 같은 어레이 패널(AP)을 구성하는 다수의 전극 및 배선 사이의 전기적 쇼트를 방지한다.A planarization layer 310 in which porous copper particles are dispersed in a binder resin is disposed on the upper surface of the first buffer layer 332. For example, porous copper particles are mesoporous porous copper particles. A second buffer layer 334 composed of an inorganic insulating material such as silicon oxide (SiO 2 ) or silicon nitride (SiN x) is disposed on the planarization layer 310, and the porous copper particles dispersed in the planarization layer 330 And the gate electrode 232, and between the wiring and the wiring.

어레이 패널(AP)은 상기 터치 패널(TP) 상부에 위치하며 발광다이오드(E)의 동작을 조절하기 위한 구동 박막트랜지스터(Tr), 스위칭 박막트랜지스터(미도시), 게이트 배선(미도시), 데이터 배선(미도시), 전원배선(미도시)을 포함한다.The array panel AP is located above the touch panel TP and includes a driving thin film transistor Tr for controlling the operation of the light emitting diode E, a switching thin film transistor (not shown), a gate wiring (not shown) Wiring (not shown), and power supply wiring (not shown).

도시하지 않았지만, 데이터 배선은 제 2 방향을 따라 연장되고 게이트 배선과 교차하여 화소영역(P)을 정의하며, 고전위 전압을 공급하는 전원 배선은 데이터 배선과 이격되어 위치한다. 상기 스위칭 박막트랜지스터는 상기 게이트 배선 및 상기 데이터 배선에 연결된다. 구동 박막트랜지스터(Tr)는 상기 스위칭 박막트랜지스터와 상기 전원 배선에 연결되며 상기 스위칭 박막트랜지스터의 작동에 의해 상기 발광다이오드(E)로 상기 전원 배선의 전압을 인가하게 된다. Although not shown, the data wiring extends along the second direction and intersects with the gate wiring to define the pixel region P, and the power supply wiring for supplying the high potential voltage is located apart from the data wiring. The switching thin film transistor is connected to the gate wiring and the data wiring. The driving thin film transistor Tr is connected to the switching thin film transistor and the power supply wiring, and the voltage of the power supply wiring is applied to the light emitting diode E by the operation of the switching thin film transistor.

상기 스위칭 박막트랜지스터와 상기 구동 박막트랜지스터(Tr) 각각은 게이트 전극(232), 게이트 절연막(236), 반도체층(240), 소스 전극(252) 및 드레인 전극(254)을 포함할 수 있다. 예를 들어, 상기 게이트 전극(232)은 평탄화층(310) 상부에 형성되는 제 2 버퍼층(334) 상에 형성된다. 게이트 절연막(236)은 상기 게이트 전극(232)을 덮으며, 상기 반도체층(240)은 상기 게이트 절연막(236) 상에서 상기 게이트 전극(232)과 중첩할 수 있다. 또한, 상기 소스 전극(252)과 상기 드레인 전극(254)은 상기 반도체층(240) 상에서 서로 이격한다.Each of the switching thin film transistor and the driving thin film transistor Tr may include a gate electrode 232, a gate insulating film 236, a semiconductor layer 240, a source electrode 252, and a drain electrode 254. For example, the gate electrode 232 is formed on the second buffer layer 334 formed on the planarization layer 310. A gate insulating layer 236 covers the gate electrode 232 and the semiconductor layer 240 can overlap the gate electrode 232 on the gate insulating layer 236. The source electrode 252 and the drain electrode 254 are spaced apart from each other on the semiconductor layer 240.

예를 들어, 상기 게이트 배선, 상기 게이트 전극(232), 상기 데이터 배선, 상기 소스 전극(252) 및 상기 드레인 전극(254)은 저-저항 금속 물질인 알루미늄, 알루미늄 합금, 구리, 구리 합금, 몰리브덴, 크롬 중 어느 하나로 이루어질 수 있다.For example, the gate line, the gate electrode 232, the data line, the source electrode 252, and the drain electrode 254 may be formed of a metal such as aluminum, aluminum alloy, copper, copper alloy, molybdenum , And chromium.

도 2에서 구동 박막트랜지스터(Tr)의 반도체층(240)은 산화물 반도체층으로 이루어지는 것으로 설명하고 있으며, 산화물 반도체 물질로 이루어지는 반도체층(240)의 보호를 위해 에치-스토퍼(242)가 형성된 구조가 도시되었다. 그러나, 상기 에치-스토퍼(242)가 생략될 수 있음은 자명하다. 또한, 도 2에 도시된 구동 박막트랜지스터(Tr)의 구조에 제한되지 않는다. 예를 들어, 산화물 반도체 물질로 이루어지는 반도체층(240) 대신에, 순수 비정질 실리콘의 액티브층과 불순물 비정질실리콘의 오믹콘택층으로 구성되는 반도체층을 포함하여 구성될 수도 있다. 또한, 폴리실리콘으로 이루어지는 반도체층을 이용하는 탑 게이트 방식의 박막트랜지스터가 포함될 수도 있다. 2, the semiconductor layer 240 of the driving thin film transistor Tr is formed of an oxide semiconductor layer. The structure in which the etch stopper 242 is formed for protecting the semiconductor layer 240 made of an oxide semiconductor material Respectively. However, it is apparent that the above-mentioned etch-stopper 242 can be omitted. It is not limited to the structure of the driving thin film transistor Tr shown in Fig. For example, instead of the semiconductor layer 240 made of an oxide semiconductor material, the semiconductor layer 240 may include a semiconductor layer composed of an active layer of pure amorphous silicon and an ohmic contact layer of impurity amorphous silicon. Further, a top gate type thin film transistor using a semiconductor layer made of polysilicon may be included.

또한, 구동 박막트랜지스터(Tr)를 덮는 제 1 보호층(260)이 형성되고, 상기 제 1 보호층(260)을 덮으며 평탄한 상면을 제공하는 제 2 보호층(262)이 형성된다. 상기 보호층(260, 262)은 구동 박막트랜지스터(Tr)의 드레인 전극(254)을 노출하는 드레인 콘택홀(264)을 포함한다. A first passivation layer 260 covering the driving thin film transistor Tr is formed and a second passivation layer 262 covering the first passivation layer 260 and providing a flat top surface is formed. The passivation layers 260 and 262 include a drain contact hole 264 exposing the drain electrode 254 of the driving thin film transistor Tr.

상기 제 1보호층(260)은 상기 반도체층(240)과의 접촉 특성 향상 등을 위해 실리콘 산화물이나 실리콘 질화물과 같은 무기 절연물질로 이루어지는데, 무기 절연물질로 이루어지는 상기 제 1 보호층(260)의 하부 구성 요소의 단차에 의해 요철 형태를 가질 수 있다. 상기 제 1 보호층(260) 상에 상기 발광다이오드(E)가 형성되면 유기 발광층(274)의 특성이 저하될 수 있다. 따라서, 상기 제 1 보호층(260) 상에 포토-아크릴(photo-acryl)과 같은 유기 절연물질로 이루어져 평탄한 상면을 갖는 상기 제 2 보호층(262)을 형성하게 된다. 그러나, 상기 제 1 보호층(260) 및 상기 제 2 보호층(262) 중 어느 하나가 생략될 수 있음은 물론이다.The first passivation layer 260 is made of an inorganic insulating material such as silicon oxide or silicon nitride for improving the contact property with the semiconductor layer 240. The first passivation layer 260 made of an inorganic insulating material, It is possible to have a concavo-convex shape by the step of the lower component of Fig. When the light emitting diode (E) is formed on the first passivation layer 260, the characteristics of the organic light emitting layer 274 may be degraded. Thus, the second passivation layer 262 having a planar upper surface is formed on the first passivation layer 260 by an organic insulating material such as photo-acryl. However, it goes without saying that either the first protective layer 260 or the second protective layer 262 may be omitted.

제 2 보호층(262) 상에는 상기 화소영역(P)에 대응하여 발광다이오드(E)가 형성된다. 상기 발광다이오드(E)는 구동 박막트랜지스터(Tr)의 드레인 전극(254)에 전기적으로 연결되는 제 1 전극(272)과, 상기 제 1 전극(272)과 마주하는 제 2 전극(276) 및 제 1 및 제 2 전극(272, 276) 사이에 위치하는 유기발광층(274)을 포함한다. 도면에서는 제 1 전극(272)이 상기 드레인 콘택홀(264)을 통해 상기 구동 박막트랜지스터(Tr)의 드레인 전극(254)과 접촉하는 것을 보이고 있으나, 별도의 연결 전극을 통해 연결될 수 있음은 물론이다.On the second passivation layer 262, a light emitting diode E is formed corresponding to the pixel region P. The light emitting diode E includes a first electrode 272 electrically connected to the drain electrode 254 of the driving thin film transistor Tr and a second electrode 276 facing the first electrode 272, 1 and the second electrode 272, 276. The first electrode 272, Although the first electrode 272 is in contact with the drain electrode 254 of the driving TFT Tr through the drain contact hole 264, the first electrode 272 may be connected through a separate connection electrode .

상기 유기발광층(274)에서 상기 제 1 전극(272)과 상기 제 2 전극(276)에 의해 주입되는 전자와 정공의 결합에 의해 빛이 발생한다. 또한, 상기 제 1 전극(272)의 가장자리에는 상기 화소영역(P)의 경계를 따라 뱅크(277)가 위치하며, 상기 제 1 전극(272) 및 상기 유기발광층(274)은 상기 뱅크(277)를 기준으로 화소영역(P) 별로 분리되어 형성된다. 한편, 상기 제 2 전극(276)은 상기 기판(201) 전체에 대응하여 형성된다.Light is generated by the combination of electrons and holes injected by the first electrode 272 and the second electrode 276 in the organic light emitting layer 274. A bank 277 is located along the boundary of the pixel region P at the edge of the first electrode 272 and the first electrode 272 and the organic light emitting layer 274 are connected to the bank 277. [ The pixel regions P are formed separately. Meanwhile, the second electrode 276 is formed corresponding to the entire substrate 201.

이때, 상기 제 1 전극(272)은 양극으로 비교적 일함수 값이 높은 물질로 이루어지며, 예를 들어, ITO, IZO와 같은 투명 도전성 물질로 이루어질 수 있다. 상기 제 2 전극(276)은 음극으로 비교적 일함수 값이 작은 물질로 이루어질 수 있다. 하나의 예시적인 실시형태에서, 유기발광층(274)에서 방출된 빛은 상기 제 1 전극(272) 및 상기 기판(201)을 통해 외부로 표시되는 하부 발광 방식일 수 있다. 이때, 광 효율을 위해 상기 제 2 전극(276)은 은(Ag), 알루미늄(Al) 또는 알루미늄-마그네슘 합금(AlMg)과 같은 반사 금속 물질로 이루어질 수 있다.At this time, the first electrode 272 is made of a material having a relatively high work function value as an anode, and may be made of a transparent conductive material such as ITO or IZO. The second electrode 276 may be made of a material having a relatively low work function value as a cathode. In one exemplary embodiment, the light emitted from the organic light emitting layer 274 may be a bottom emission scheme that is displayed externally through the first electrode 272 and the substrate 201. At this time, the second electrode 276 may be made of a reflective metal material such as silver (Ag), aluminum (Al), or aluminum-magnesium alloy (AlMg)

아울러, 도시하지는 않았으나 기판(201)과 마주하는 제 2 기판의 상부에 편광판이 위치할 수 있으며, 편광판(미도시) 상부에는 광학 투명 접착제(Optically Clear Adhesive, OCA)를 통하여 커버 윈도우가 배치될 수 있다.In addition, although not shown, a polarizer may be disposed on the second substrate facing the substrate 201, and a cover window may be disposed on the polarizer (not shown) through an optical clear adhesive (OCA) have.

본 발명의 제 2 실시형태에 따른 표시장치(200)는 어레이 패널(AP)과 터치 패널(TP) 사이에 고내열성 바인더 수지에 분산된 다공성 구리 입자를 갖는 평탄화층(310)이 위치한다. 따라서 어레이 패널(AP)을 구성하는 박막트랜지스터(Tr)을 제조하는 350℃ 이상의 고온 공정에 의해서도 평탄화층(310)은 열화되지 않는다. 이러한 특성으로 인하여, 어레이 패널(AP)이 최종적으로 제조된 이후에도, 평탄화층(310)은 터치 패널(TP)과 어레이 패널(AP)에 견고하게 접착되어 있으므로, 터치 패널(TP)과 어레이 패널(AP)에 대한 합착이 견고하게 유지될 수 있다. The display device 200 according to the second embodiment of the present invention is provided with the planarization layer 310 having the porous copper particles dispersed in the high heat-resistant binder resin between the array panel AP and the touch panel TP. Therefore, the planarization layer 310 is not deteriorated even by the high-temperature process of 350 DEG C or more for fabricating the thin film transistor Tr constituting the array panel AP. The planarization layer 310 is firmly adhered to the touch panel TP and the array panel AP even after the array panel AP is finally manufactured so that the touch panel TP and the array panel AP) can be firmly maintained.

뿐만 아니라, 본 발명에 따른 평탄화층(310)은 고온 공정에 의해서도 그 특성을 유지할 수 있으므로, 고온 공정에 의한 크랙 발생 및/또는 박리(peeling)가 일어나지 않는다. 고온 공정에 의해서도 광-투과율이 저하되지 않으므로 양호한 휘도를 얻을 수 있고, 기공 구조를 가지는 다공성 구리 입자가 분산되어 있으므로 저-유전율을 확보할 수 있어서 구동 전압을 낮출 수 있다. 또한, 기공 구조로 인하여 소자 작동 과정에서 초래될 수 있는 정전기를 신속하게 감쇠, 제거할 수 있으므로 정전기로 인한 소자 작동의 불량이나 수율 저하를 방지할 수 있는 이점이 있다.In addition, since the planarization layer 310 according to the present invention can maintain its characteristics even by a high-temperature process, cracking and / or peeling due to a high-temperature process does not occur. Since the light-transmittance is not lowered even by the high-temperature process, good luminance can be obtained, and since the porous copper particles having the pore structure are dispersed, the low-permittivity can be ensured and the driving voltage can be lowered. In addition, since the pore structure can rapidly attenuate and remove the static electricity that may be caused in the operation of the device, it is advantageous in that defective operation of the device due to static electricity or decrease in yield can be prevented.

이하, 예시적인 실시예를 통하여 본 발명을 보다 상세하게 설명한다. 하지만 본 발명이 하기 실시예에 기재된 기술사상으로 한정되는 것은 아니다. Hereinafter, the present invention will be described in more detail with reference to exemplary embodiments. However, the present invention is not limited to the technical idea described in the following embodiments.

합성예: 메조포러스 구리 입자 합성Synthetic Example: Mesoporous Copper Particle Synthesis

본 실시예서는 MCM-41 구조를 채택한 메조포러스 구리 입자를 합성하였다. 우선 메조포러스 실리케이트(Si-MCM-41)를 합성하기 위하여 소듐 메타실리케이트를 실리카 도입 물질로 사용하고, 세틸트리메틸암모늄 브로마이드(CTAB)를 계면활성제로 사용하여 수열 조건에서 합성하였다. 기공의 크기는 기 합성된 MCM-41을 테트라에틸오르쏘실리케이트(tetraethyl orthosilicate)로 처리하여 조절하였으며, 구조적 특성이나 물성은 산화구리 전구체로 소성이 되지 않는 Si-MCM-41과 처리하여 조절할 수 있다. 500℃ 이상의 온도에서 소성하여 계면활성제를 포함한 유기물질을 제거하여, 메조포러스 실리케이트를 합성하였다. 제조된 Si-MCM-41에 산화구리 전구체를 첨가하여, 산화구리 전구체가 기공 입구에 함침되어 있는 메조포러스 구리 입자를 합성하였다. This example synthesized mesoporous copper particles employing the MCM-41 structure. In order to synthesize mesoporous silicate (Si-MCM-41), sodium methasilicate was used as a silica-introducing material and cetyltrimethylammonium bromide (CTAB) was used as a surfactant. The size of the pores can be controlled by treating the synthesized MCM-41 with tetraethyl orthosilicate, and the structural properties and physical properties can be controlled by treating Si-MCM-41, which is not baked with a copper precursor . The organic material including the surfactant was removed by baking at a temperature of 500 ° C or higher to synthesize mesoporous silicate. Mesoporous copper particles were synthesized by adding a copper oxide precursor to the Si-MCM-41 thus prepared, and impregnating the copper oxide precursor into the pore openings.

합성된 메조포러스 구리 입자에 대한 분석을 수행하였다. 도 6a의 XRD 분석 결과에서 메조포러스 결정성은 2 ~ 3θ 범위에서 측정되어 육각형 구조를 확인하였다. 도 6b의 FTIR 분광 분석 결과에서 구리 이온의 종류에 따라 IR peak가 1093 ㎝-1 파장 및 988 ㎝-1 에서 존재하는 것을 알 수 있다. 한편 도 6c의 BET 분석 결과로부터 합성된 물질이 메조포러스 물질이라는 것을 알 수 있다. BET 분석과, Barrett-Joyner-Halenda(BJH) 분석과 관련한 N2 흡착 및 탈착을 이용한 다공성 입자의 분석 결과는 하기 표 1에도 표시되어 있다. Analysis of synthesized mesoporous copper particles was performed. In the XRD analysis of FIG. 6A, the mesoporous crystallinity was measured in the range of 2 to 3? To confirm the hexagonal structure. The results of the FTIR spectroscopic analysis of FIG. 6 (b) show that the IR peaks exist at 1093 cm -1 wavelength and 988 cm -1 depending on the type of copper ion. On the other hand, it can be seen from the BET analysis result of FIG. 6C that the synthesized material is a mesoporous material. The results of the analysis of the porous particles using N 2 adsorption and desorption related to the BET analysis and the Barrett-Joyner-Halenda (BJH) analysis are also shown in Table 1 below.

표 1: 메조포러스 구리 입자에 대한 BET 분석 결과Table 1: BET analysis results for mesoporous copper particles

Figure pat00001
Figure pat00001

도 6d의 NMR 분석 결과에서 구리 원자의 peak가 53 ppm 및 0 ppm이었다. 도 6e 및 도 6f의 현미경 사진에서 알 수 있는 바와 같이, 육각형 형상의 메조포러스 물질이 합성된 것을 확인하였다. In the NMR analysis of FIG. 6 (d), the peaks of the copper atoms were 53 ppm and 0 ppm. As can be seen from the micrographs of FIGS. 6E and 6F, it was confirmed that a hexagonal mesoporous material was synthesized.

실시예 1: 평탄화 절연막 제조Example 1: Planarizing insulating film fabrication

합성예에서 얻은 다공성 구리 입자가 분산된 평탄화 절연막을 제조하여, 이를 bare 글라스에 적용하였다. 폴리실록산계 바인더 수지를 제조하기 위하여 TEOS와 실세스퀴옥산이 배합된 반응성 성분 5 ~ 40 중량부, PGME(프로필렌글리콜 메틸에테르)와 NMP(N-메틸피롤리돈)이 배합된 용매 40 ~ 100 중량부, 합성예에서 얻은 메조포러스 구리 입자 0.5 ~ 10 중량부, 가교촉진제인 POSS 0.5 ~ 5 중량부, 첨가제인 계면활성제 0.5 ~ 5 중량부가 배합된 바인더 조성물을 bare 글라스에 코팅하였다. 110℃에서 120초 프리 베이킹하고, 다시 350℃에서 30분 동안 포스트 베이킹 처리하여, 메조포러스 구리 입자가 분산된 폴리실록산 바인더로 구성되는 평탄화 절연막을 bare 글라스에 2.0 ㎚의 두께로 형성하였다. A planarization insulating film in which the porous copper particles obtained in the synthesis example were dispersed was prepared and applied to a bare glass. To prepare the polysiloxane-based binder resin, 5 to 40 parts by weight of a reactive component containing TEOS and silsesquioxane, 40 to 100 parts by weight of a solvent containing PGME (propylene glycol methyl ether) and NMP (N-methylpyrrolidone) 0.5 to 10 parts by weight of the mesoporous copper particles obtained in Synthesis Examples, 0.5 to 5 parts by weight of POSS as a crosslinking accelerator, and 0.5 to 5 parts by weight of a surfactant as an additive were coated on a bare glass. Baked at 110 캜 for 120 seconds, and further post-baked at 350 캜 for 30 minutes to form a planarization insulating film made of a polysiloxane binder in which mesoporous copper particles were dispersed in a bare glass to a thickness of 2.0 nm.

비교예 1: 아크릴레이트계 수지(Over-coat)의 평탄화 절연막 제조Comparative Example 1: Flattening insulating film fabrication of acrylate resin (Over-coat)

아크릴레이트계 모노머를 사용하여 UV 경화시켜서 얻은 over-coat층을 bare 글라스에 형성하여 평탄화 절연막을 제조하였다. A planarizing insulating film was prepared by forming an over-coat layer obtained by UV curing using an acrylate-based monomer in a bare glass.

비교예 2: 다공성 입자가 없는 폴리실록산계 바인더 수지의 평탄화 절연막 제조Comparative Example 2: Planarizing insulating film fabrication of polysiloxane-based binder resin without porous particles

합성예에서 합성된 다공성 입자를 사용하지 않은 것을 제외하고 실시예 1의 절차를 반복하여 평탄화 절연막을 bare 글라스에 형성하였다.The procedure of Example 1 was repeated except that the synthesized porous particles were not used in the synthesis example to form a planarization insulating film in a bare glass.

비교예 3: 다공성 알루미늄(Al) 입자가 분산된 폴리실록산계 바인더 수지의 평탄화 절연막 제조Comparative Example 3: Planarizing insulating film production of polysiloxane-based binder resin in which porous aluminum (Al) particles were dispersed

합성예에서 합성된 메조포러스 구리 입자를 대신하여 메조포러스 알루미늄 입자를 사용한 것을 제외하고 실시예 1의 절차를 반복하여 평탄화 절연막을 bare 글라스에 형성하였다.The procedure of Example 1 was repeated except that the mesoporous aluminum particles were used instead of the mesoporous copper particles synthesized in the synthesis example to form a planarization insulating film in a bare glass.

비교예 4: 다공성 크롬(Cr) 입자가 분산된 폴리실록산계 바인더 수지의 평탄화 절연막 제조Comparative Example 4: Planarizing insulating film production of polysiloxane-based binder resin in which porous chromium (Cr) particles were dispersed

합성예에서 합성된 메조포러스 다공성 구리 입자를 대신하여 메조포러스 크롬 입자를 사용한 것을 제외하고 실시예 1의 절차를 반복하여 평탄화 절연막을 bare 글라스에 형성하였다.The procedure of Example 1 was repeated except that the mesoporous chromium particles were used instead of the mesoporous porous copper particles synthesized in the synthesis example to form a planarization insulating film in a bare glass.

실시예 2: 평탄화 절연막의 접착력 평가Example 2: Evaluation of adhesion of planarization insulating film

실시예 1 및 비교예 1-4에서 각각 제조된 평탄화 절연막에 대한 접착력을 분석하였다. 메조포러스 구리 입자가 사용된 평탄화 절연막은 기재에 대한 접착력에 아무런 문제가 없었으나(도 7a), 비교예에서 제조된 평탄화 절연막은 모두 접착력에 문제가 있었다(도 7b 내지 도 7e). 따라서 본 발명의 평탄화 절연막은 재료 공정성이 우수하여 생산 수율을 개선할 수 있으며, 생산 시간 및 제품 단가를 절감할 수 있을 것으로 평가되었다. The adhesive strength to the planarization insulating films prepared in Example 1 and Comparative Example 1-4 was analyzed. The planarizing insulating film using mesoporous copper particles had no problem with the adhesion to the substrate (Fig. 7A), but all of the planarizing insulating films prepared in the comparative example had problems in adhesion (Figs. 7B to 7E). Therefore, the planarization insulating film of the present invention is excellent in the processability of the material, and the production yield can be improved, and the production time and the product cost can be reduced.

실시예 3: 평탄화 절연막의 크랙 특성 평가Example 3: Evaluation of crack property of planarization insulating film

실시예 1 및 비교예 1-4에서 각각 제조된 절연막 형태의 평탄화 절연막에 대한 크랙 특성을 분석하였다. 메조포러스 구리 입자가 사용된 평탄화 절연막은 크랙이 발생하지 않은 반면(도 8a), 비교예에서 제조된 평탄화 절연막은 모두 크랙이 발생하였다(도 8b 내지 도 8e). 실시예 2에서와 마찬가지로, 본 발명의 평탄화 절연막은 재료 공정성이 양호하며, 생산 수율 등에서 우수할 것으로 평가되었다. The cracking characteristics of the planarizing insulating film in the form of the insulating film prepared in Example 1 and Comparative Example 1-4 were analyzed. The planarizing insulating film using mesoporous copper particles did not crack (Fig. 8A), but all the planarizing insulating films produced in the comparative example were cracked (Figs. 8B to 8E). As in Example 2, the planarizing insulating film of the present invention was evaluated to be excellent in material processability and superior in production yield and the like.

실시예 4: 평탄화 절연막의 박리 강도(peel strength) 측정Example 4 Measurement of Peel Strength of Planarizing Insulating Film

실시예 1 및 비교예 1-4에서 각각 제조된 평탄화 절연막에 대한 박리 강도를 측정하였다. 측정 모드는 정-하중 모드, 수평속도는 1,000 ㎚/sec, 수직속도는 5 ㎚/sec, 수직하중은 0.2N, Blade는 Diamond cutter 0.3 ㎜이었다. 측정 결과는 도 9a 내지 9e에 도시되어 있으며, 하기 표 2에도 표시되어 있다. 본 발명에 따라 제조된 평탄화 절연막은 열에 대한 스트레스의 민감도가 적어서, 박리 강도가 매우 우수하다는 것을 알 수 있다. The peel strengths of the planarization insulating films prepared in Example 1 and Comparative Example 1-4 were measured. The measurement mode was a constant - load mode, the horizontal velocity was 1,000 ㎚ / sec, the vertical velocity was 5 ㎚ / sec, the vertical load was 0.2 N, and the blade was a diamond cutter 0.3 ㎜. The measurement results are shown in Figs. 9A to 9E, and are also shown in Table 2 below. It can be seen that the planarizing insulating film manufactured according to the present invention has a low sensitivity to heat stress and thus has a very high peel strength.

표 2: 평탄화 절연막의 박리 강도Table 2: Peel strength of planarization insulating film

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Figure pat00002

실시예 5: 평탄화 절연막의 투과율 측정Example 5: Measurement of transmittance of a planarization insulating film

실시예 1 및 비교예 1-4에서 각각 제조된 평탄화 절연막을 장기간 고온에 방치한 뒤, 투과율을 측정하였다. 측정 결과는 하기 표 3 내지 표 7에 표시되어 있다. The planarization insulating films prepared in Example 1 and Comparative Example 1-4 were allowed to stand at a high temperature for a long period of time, and the transmittance was measured. The measurement results are shown in Tables 3 to 7 below.

이들 결과에서 알 수 있듯이, 본 발명에 따라 메조포러스 구리 입자가 분산된 평탄화 절연막은 열이 박막 내에 trap되지 않고 쉽게 배출하면서 박막 내 잔존해 있는 미-반응물과 열에 의한 반응을 최소화 할 수 있으며, 고온(350℃)공정에 따른 투과변화율 1.3%로 비교예보다 우수하였다. 얼룩 관점에서 고온 (350℃)공정에 따른 투과변화율이 3.0% 정도 변화면 투과 특성에 있어서 황변 및 황태 얼룩이 발생하는 문제점이 발생하며, 내열성이 부족하다는 것을 의미하는데, 비교예의 평탄화 절연막은 고온 공정에서 내열성이 부족하다는 것을 보여준다.As can be seen from these results, the planarization insulating film in which the mesoporous copper particles are dispersed according to the present invention can minimize the reaction of the non-reactant remaining in the thin film with heat, while easily discharging the heat without being trapped in the thin film. (350 ° C), and the permeation change rate was 1.3%. From the viewpoint of smearing, the rate of change in transmittance according to the high temperature (350 ° C) process is changed by about 3.0%. In the case of the planarized insulating film of the comparative example, It shows the lack of heat resistance.

표 3: 메조포러스 구리 입자가 분산된 평탄화 절연막의 투과율Table 3: Transmittance of planarization insulating film in which mesoporous copper particles are dispersed

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Figure pat00003

표 4: 아크릴레이트 바인더 평탄화 절연막의 투과율Table 4: Transmittance of the acrylate binder planarization insulating film

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Figure pat00004

표 5: 메조포러스 입자가 없는 평탄화 절연막의 투과율Table 5: Transmittance of planarization insulating film without mesoporous particles

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Figure pat00005

표 6: 메조포러스 알루미늄 입자가 분산된 평탄화막의 투과율Table 6: Transmittance of planarizing film in which mesoporous aluminum particles are dispersed

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Figure pat00006

표 7: 메조포러스 크롬 입자가 분산된 평탄화 절연막의 투과율Table 7: Transmittance of planarization insulating film in which mesoporous chromium particles are dispersed

Figure pat00007
Figure pat00007

실시예 6: 유전율 측정Example 6: Measurement of dielectric constant

실시예 1 및 비교예 1-4에서 각각 제조된 평탄화 절연막의 유전율을 측정하였다. Dot pattern 의 하부전극 상에 위에서 실시예 1 및 비교예 1-4에서 각각 제조된 절연막을 전면 코팅하고, Dot pattern 위로 상부전극(Al square pattern)을 증착하였다. 하부전극 측정용 tip contact 부분 insulator를 제거하고, 상/하부 전극간 유전율을 측정하였다(100kHz기준). 각각의 유전막 샘플을 제작한 후 시간차 별로 측정하였으며, 측정할 때마다 최소 5 point 이상 측정하였다. 측정값 평균 및 두께에 의한 유전율 표준편차가 표 8에 표시되어 있다. The dielectric constant of the planarization insulating film prepared in each of Example 1 and Comparative Example 1-4 was measured. The insulating film prepared in Example 1 and Comparative Example 1-4 was coated on the lower electrode of the dot pattern, and an upper electrode (Al square pattern) was deposited on the dot pattern. The tip contact portion insulator for the lower electrode measurement was removed, and the permittivity between the upper and lower electrodes was measured (based on 100 kHz). Each dielectric film sample was fabricated and measured by time difference. At least 5 points were measured at each measurement. Table 8 shows the standard deviation of the dielectric constant according to the measured value average and thickness.

본 발명에 따라 메조포러스 구리 입자가 분산된 바인더 수지로 제조된 평탄화 절연막의 경우, 입자 내 기공 크기의 영향으로 bulky한 특성을 확보하였으며, Packing density가 낮아져 유전율이 3.02 수준으로 상대적으로 낮았다. 따라서 기생전류가 발생하지 않음으로, 구동 전압을 낮출 수 있을 것으로 평가된다. In the case of the planarization insulating film made of the binder resin in which the mesoporous copper particles were dispersed according to the present invention, the bulkiness characteristic was secured by the influence of the pore size in the particle, and the packing density was lowered and the dielectric constant was relatively low at 3.02. Therefore, it is estimated that the parasitic current is not generated and the driving voltage can be lowered.

표 8: 평탄화 절연막의 유전율Table 8: Permittivity of planarization insulating film

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Figure pat00008

실시예 7: 평탄화 절연막의 정전기 감쇠 효과 측정Example 7: Measurement of electrostatic damping effect of a planarization insulating film

실시예 1 및 비교예 1-4에서 각각 제조된 평탄화 절연막의 정전기 감쇠 정도를 측정하였다. 전압을 인가한 후에 도전막에 정전기가 생성되면 전압이 상승하여 포화 전압(saturation voltage)이 생성되는데, 포화된 전압이 1/2 수준으로 감쇠되는데 소요되는 시간을 측정하였다. 코로나 방전 방식으로 일정 전압 대전 후 감쇠시간 측정(마찰 전기식, 직접 전압인가에 비해 재현성과 정밀도 우수), 감쇠시간(50%) 측정 범위는 70 ms ~ 23 hrs(0.001초 단위 표시 가능)이다(STATIC HONESTMETER, 모델명: H-0110). 측정 결과는 표 9에 표시되어 있다. The degree of static attenuation of the planarization insulating films prepared in Example 1 and Comparative Example 1-4 was measured. When static electricity is generated in the conductive film after the voltage is applied, the voltage is increased and a saturation voltage is generated. The time required for attenuation of the saturated voltage to 1/2 level is measured. The decay time (50%) is measured from 70 ms to 23 hrs (0.001 second display is possible) (STATIC HONESTMETER, model: H-0110). The measurement results are shown in Table 9.

본 발명에 따라 메조포러스 구리 입자가 분산되어 있는 절연막의 정전기 감쇠 시간은 1 sec 이내로 정전기를 신속하게 배출하였다. 하지만, 비교예에서 제조된 절연막의 정전기 감쇠 시간은 5 sec 이상으로 정전기 배출이 늦었다. 즉, 비교예의 평탄화 절연막은 정전기에 취약하여, 정전기가 발생할 경우에 Panel 구동에 문제가 발생하여 수율에 영향을 미칠 수 있을 것으로 평가되었다.According to the present invention, the electrostatic decay time of the insulating film in which the mesoporous copper particles are dispersed was rapidly discharged within 1 sec. However, the static decay time of the insulating film prepared in the comparative example was more than 5 sec, and the electrostatic discharge was delayed. That is, the planarization insulating film of the comparative example is vulnerable to static electricity, and it is evaluated that when the static electricity occurs, there arises a problem in the driving of the panel, which may affect the yield.

표 9: 평탄화 절연막의 정전기 감쇠 시간Table 9: Electrostatic decay time of the planarization insulating film

Figure pat00009
Figure pat00009

실시예 8: 하부 금속 기반 평탄화막 제조 크랙 특성 평가Example 8: Evaluation of crack property of bottom metal-based planarizing film production

글라스 기판에 금속 전극으로서 Cu를 5000 두께로 적층하고, 그 상부에 제 1 버퍼층으로 실리콘 질화물을 1000 두께로 적층하였다. 제 1 버퍼층의 상부에 실시예 1 및 비교예 1-4에서 각각 제조된 평탄화 절연막을 2-4 ㎛의 두께로 코팅, 형성한 뒤, 평탄화 절연막의 상부에 제 2 버퍼층으로 실리콘 질화물을 다시 1000 두께로 적층하였다. 제 2 버퍼층의 상부를 350℃ 이상의 고온에 방치하고, 열팽창계수의 조절 여부에 따라, 평탄화 절연막과 버퍼층 사이에서의 크랙 발생이나 들뜸 정도를 평가하였다. 본 발명에 따라 메조포러스 구리 입자가 분사된 평탄화 절연막에서는 크랙이나 들뜸 현상이 없었으나(도 10a), 비교예에서 제조된 평탄화 절연막에서 크랙이 발생한 것을 알 수 있다(도 10b 내지 도 10e). 즉, 본 발명에 따라 제조된 절연막은 고온 공정에 있어서 상층과 하층 사이의 들뜸이나 크랙을 완화시켜주는 열적 스트레스 매칭(stress matching)이 양호한 우수한 열팽창계수를 가지고 있다. Cu was deposited as a metal electrode on the glass substrate to a thickness of 5000, and silicon nitride was deposited thereon as a first buffer layer to a thickness of 1000 nm. The planarization insulating film prepared in each of Example 1 and Comparative Example 1-4 was coated on the first buffer layer to a thickness of 2-4 mu m and then silicon nitride was further deposited to a thickness of 1000 nm on the planarization insulating film as a second buffer layer . The upper portion of the second buffer layer was left at a high temperature of 350 DEG C or higher, and cracking or buckling between the planarization insulating film and the buffer layer was evaluated according to whether the thermal expansion coefficient was adjusted or not. According to the present invention, the planarization insulating film on which the mesoporous copper particles were injected did not crack or lift off (FIG. 10A), but cracks occurred in the planarization insulating film produced in the comparative example (FIGS. 10B to 10E). That is, the insulating film produced according to the present invention has an excellent thermal expansion coefficient, which is good in thermal stress matching that relaxes lifting and cracking between the upper and lower layers in a high-temperature process.

상기에서는 본 발명의 예시적인 실시형태 및 실시예에 기초하여 본 발명을 설명하였으나, 본 발명이 상기 실시형태 및 실시예에 기재된 기술사상으로 한정되지 않는다. 오히려, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 전술한 실시형태 및 실시예에 기초하여 다양한 변형과 변경을 용이하게 추고할 수 있다. 하지만, 이와 같은 변형과 변경은 모두 본 발명의 권리범위에 속한다는 사실은 첨부하는 청구의 범위를 통하여 더욱 분명해질 것이다.
Although the present invention has been described based on the exemplary embodiments and examples of the present invention, the present invention is not limited to the technical ideas described in the above embodiments and examples. On the contrary, those skilled in the art will appreciate that various modifications and changes may be made without departing from the scope of the present invention. It will be apparent, however, that such modifications and variations are all within the scope of the present invention.

100, 200: 표시장치 101, 201: 제 1 기판
102, 202: 제 2 기판 300: 평탄화막
310: 평탄화층 312: 바인더 수지
320: 다공성 구리 입자 332, 334: 버퍼층
AP: 어레이 패널 DP: 표시 패널
TP: 터치 패널 Tr: 박막트랜지스터
E: 유기발광다이오드 P: 표시 영역
100, 200: display device 101, 201: first substrate
102, 202: second substrate 300: planarization film
310: planarization layer 312: binder resin
320: porous copper particles 332, 334: buffer layer
AP: Array panel DP: Display panel
TP: touch panel Tr: thin film transistor
E: organic light emitting diode P: display area

Claims (12)

기판 상에 위치하는 터치 패널과;
상기 터치 패널과 이격하여 위치하는 박막트랜지스터와;
상기 터치 패널과 상기 박막트랜지스터 사이에 개재되는 평탄화층을 포함하고,
상기 평탄화층은 바인더 수지에 분산된 다공성(porous) 구리 입자를 포함하는 표시장치용 어레이 기판.
A touch panel positioned on the substrate;
A thin film transistor positioned apart from the touch panel;
And a planarization layer interposed between the touch panel and the thin film transistor,
Wherein the planarization layer comprises porous copper particles dispersed in a binder resin.
제 1항에 있어서,
상기 터치 패널과 상기 평탄화층 사이에 위치하는 제 1 버퍼층과, 상기 평탄화층과 상기 박막트랜지스터 사이에 위치하는 제 2 버퍼층을 더욱 포함하는 어레이 기판.
The method according to claim 1,
A first buffer layer positioned between the touch panel and the planarization layer, and a second buffer layer positioned between the planarization layer and the thin film transistor.
제 1항에 있어서,
상기 다공성 구리 입자는 메조포러스(mesoporous) 구리 입자를 포함하는 표시장치용 어레이 기판.
The method according to claim 1,
Wherein the porous copper particles comprise mesoporous copper particles.
제 1항에 있어서,
상기 바인더 수지는 폴리실록산계 수지, 폴리이미드계 수지 및 이들의 조합으로 구성되는 군에서 선택되는 표시장치용 어레이 기판.
The method according to claim 1,
Wherein the binder resin is selected from the group consisting of a polysiloxane-based resin, a polyimide-based resin, and a combination thereof.
제 1항에 있어서,
상기 다공성 구리 입자는 상기 바인더 수지에 0.5 ~ 10 중량부의 비율로 상기 바인더 수지에 분산된 표시장치용 어레이 기판.
The method according to claim 1,
Wherein the porous copper particles are dispersed in the binder resin in a proportion of 0.5 to 10 parts by weight to the binder resin.
제 1항에 있어서,
상기 다공성 구리 입자는 다공성 실리케이트(silicate) 입자에 함침되어 있는(impregnated) 표시장치용 어레이 기판.
The method according to claim 1,
Wherein the porous copper particles are impregnated with porous silicate particles.
제 1 기판과;
상기 제 1 기판 상에 위치하는 터치 패널과;
상기 터치 패널과 이격하여 위치하는 표시 패널과;
상기 터치 패널과 상기 표시 패널 사이에 개재되는 평탄화층을 포함하고,
상기 평탄화층은 바인더 수지에 분산된 다공성(porous) 구리 입자를 포함하는 표시장치.
A first substrate;
A touch panel positioned on the first substrate;
A display panel spaced apart from the touch panel;
And a planarization layer interposed between the touch panel and the display panel,
Wherein the planarizing layer comprises porous copper particles dispersed in a binder resin.
제 7항에 있어서,
상기 터치 패널과 상기 평탄화층 사이에 위치하는 제 1 버퍼층과, 상기 평탄화층과 상기 표시 패널 사이에 위치하는 제 2 버퍼층을 더욱 포함하는 표시장치.
8. The method of claim 7,
A first buffer layer positioned between the touch panel and the planarization layer, and a second buffer layer positioned between the planarization layer and the display panel.
제 7항에 있어서,
상기 다공성 구리 입자는 메조포러스(mesoporous) 구리 입자를 포함하는 표시장치.
8. The method of claim 7,
Wherein the porous copper particles comprise mesoporous copper particles.
제 7항에 있어서,
상기 바인더 수지는 폴리실록산계 수지, 폴리이미드계 수지 및 이들의 조합으로 구성되는 군에서 선택되는 표시장치.
8. The method of claim 7,
Wherein the binder resin is selected from the group consisting of a polysiloxane resin, a polyimide resin, and a combination thereof.
제 7항에 있어서,
상기 다공성 구리 입자는 상기 바인더 수지에 0.5 내지 10 중량부의 비율로 상기 바인더 수지에 분산된 표시장치.
8. The method of claim 7,
Wherein the porous copper particles are dispersed in the binder resin in a proportion of 0.5 to 10 parts by weight to the binder resin.
제 7항에 있어서,
상기 다공성 구리 입자는 다공성 실리케이트 입자에 함침되어 있는(impregnated) 표시장치.
8. The method of claim 7,
Wherein the porous copper particles are impregnated with porous silicate particles.
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Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20190046507A (en) * 2017-10-26 2019-05-07 엘지디스플레이 주식회사 Display device with integrated touch screen
KR20200045951A (en) * 2018-10-23 2020-05-06 엘지디스플레이 주식회사 Display Device
CN113130553A (en) * 2019-12-30 2021-07-16 乐金显示有限公司 Display device for preventing black matrix from being separated therefrom
US11693508B2 (en) 2020-12-31 2023-07-04 Lg Display Co., Ltd. Touch display apparatus

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20120119369A (en) * 2011-04-21 2012-10-31 엘지디스플레이 주식회사 Touch sensor in-cell type liquid crystal display device and method of fabricating the same
KR20140102356A (en) * 2013-02-12 2014-08-22 한국화학연구원 A fabrication method of metal-containg particles using ordered porous carbon templates
KR101551757B1 (en) * 2014-12-30 2015-09-10 삼성에스디아이 주식회사 Composition for forming porous heat-resistance layer, separators comprising the porous heat-resistance layer, electrochemical battery using the separator, and method for preparing the separator
KR20150124816A (en) * 2014-04-29 2015-11-06 엘지디스플레이 주식회사 Flexible display device and manufacturing method thereof

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20120119369A (en) * 2011-04-21 2012-10-31 엘지디스플레이 주식회사 Touch sensor in-cell type liquid crystal display device and method of fabricating the same
KR20140102356A (en) * 2013-02-12 2014-08-22 한국화학연구원 A fabrication method of metal-containg particles using ordered porous carbon templates
KR20150124816A (en) * 2014-04-29 2015-11-06 엘지디스플레이 주식회사 Flexible display device and manufacturing method thereof
KR101551757B1 (en) * 2014-12-30 2015-09-10 삼성에스디아이 주식회사 Composition for forming porous heat-resistance layer, separators comprising the porous heat-resistance layer, electrochemical battery using the separator, and method for preparing the separator

Cited By (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20190046507A (en) * 2017-10-26 2019-05-07 엘지디스플레이 주식회사 Display device with integrated touch screen
KR20200045951A (en) * 2018-10-23 2020-05-06 엘지디스플레이 주식회사 Display Device
US10996800B2 (en) 2018-10-23 2021-05-04 Lg Display Co., Ltd. Display device
CN113130553A (en) * 2019-12-30 2021-07-16 乐金显示有限公司 Display device for preventing black matrix from being separated therefrom
CN113130553B (en) * 2019-12-30 2024-04-05 乐金显示有限公司 Display device for preventing black matrix from being separated therefrom
US11693508B2 (en) 2020-12-31 2023-07-04 Lg Display Co., Ltd. Touch display apparatus

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