KR20170077044A - Resin composition - Google Patents

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아지노모토 가부시키가이샤
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Abstract

[과제] 절연층 표면의 조도를 낮게 할 수 있어, 조화 처리후의 절연층과 도체층의 필 강도, 도금 잠입 깊이, 부품 매립성, 및 난연성이 양호한 수지 조성물; 당해 수지 조성물을 함유하는, 시트상 적층 재료, 당해 수지 조성물의 경화물에 의해 형성된 절연층을 포함하는 프린트 배선판, 및 반도체 장치의 제공.
[해결 수단] (A) 에폭시 수지, (B) 경화제, (C) 불소 원자 함유 알콕시실란 화합물, 및 (D) 무기 충전재를 함유하는 수지 조성물이다.
[PROBLEMS] To provide a resin composition which can lower the surface roughness of the insulating layer and is excellent in the peel strength of the insulating layer and the conductor layer after the roughening treatment, the plating infiltration depth, the parts filling property, and the flame retardancy; A printed wiring board comprising the resin composition and a sheet-like laminate material, an insulating layer formed by the cured product of the resin composition, and a semiconductor device.
[Solution] A resin composition containing (A) an epoxy resin, (B) a curing agent, (C) a fluorine atom-containing alkoxysilane compound, and (D) an inorganic filler.

Description

수지 조성물{RESIN COMPOSITION}Resin composition {RESIN COMPOSITION}

본 발명은 수지 조성물에 관한 것이다. 또한, 당해 수지 조성물을 함유하는, 시트상 적층 재료, 당해 수지 조성물의 경화물에 의해 형성된 절연층을 포함하는 프린트 배선판, 및 반도체 장치에 관한 것이다. The present invention relates to a resin composition. The present invention also relates to a printed wiring board comprising a sheet-like laminated material containing the resin composition, an insulating layer formed by the cured product of the resin composition, and a semiconductor device.

프린트 배선판의 제조 기술로서는, 내층 기판 위에 절연층과 도체층을 교대로 적층하는 빌드업 방식에 의한 제조 방법이 알려져 있다. 절연층은, 일반적으로, 수지 조성물을 경화시킴으로써 형성된다. As a manufacturing technique of a printed wiring board, there is known a manufacturing method by a build-up method in which an insulating layer and a conductor layer are alternately laminated on an inner layer substrate. The insulating layer is generally formed by curing the resin composition.

예를 들면, 특허문헌 1에는, 에폭시 수지, 경화제 및 알콕시실란 화합물로 표면 처리된 무기 충전재를 함유하는 수지 조성물로서, 당해 무기 충전재의 평균 입자 직경이 0.01㎛ 내지 5㎛이고, 수지 조성물 중의 불휘발 성분을 100질량%로 한 경우, 당해 무기 충전재의 함유량이 30질량% 내지 90질량%인 수지 조성물이 개시되어 있다.For example, Patent Document 1 discloses a resin composition containing an inorganic filler surface-treated with an epoxy resin, a curing agent and an alkoxysilane compound, wherein the inorganic filler has an average particle diameter of 0.01 탆 to 5 탆, And the content of the inorganic filler is 30% by mass to 90% by mass when the component is 100% by mass.

또한, 특허문헌 2에는, 에폭시 수지, 경화제 및 무기 충전재를 함유하는 수지 조성물로서, 당해 무기 충전재가 아미노알킬실란으로 표면 처리되어 있고, 수지 조성물 중의 불휘발 성분을 100질량%로 한 경우, 당해 무기 충전재의 함유량이 55 내지 90질량%인 수지 조성물이 개시되어 있다. Patent Document 2 discloses a resin composition containing an epoxy resin, a curing agent and an inorganic filler, wherein when the inorganic filler is surface-treated with aminoalkylsilane and the nonvolatile component in the resin composition is 100 mass% And a filler content of 55 to 90 mass%.

일본 공개특허공보 제2014-12763호Japanese Laid-Open Patent Publication No. 2014-12763 일본 공개특허공보 제2014-28880호Japanese Laid-Open Patent Publication No. 2014-28880

최근, 전자 기기의 소형화, 고성능화가 진행되어, 프린트 배선판에 있어서는, 빌드업층이 복층화되어, 미세 배선화 및 고밀도화가 요망되고 있다. 인용문헌 1 및 인용문헌 2에 개시되어 있는 수지 조성물을 사용함으로써, 습식 조화 공정에 있어서 절연층 표면의 산술 평균 거칠기를 낮게 할 수 있어, 충분한 필 강도를 갖는 도체층을 형성할 수 있지만, 도금 잠입(plating diving) 깊이, 부품 매립성, 및 난연성 등에 관해서, 더욱 고성능화가 요망되고 있다. 2. Description of the Related Art In recent years, miniaturization and high performance of electronic devices have progressed, and in a printed wiring board, buildup layers are layered, and micro wiring and high density are demanded. The use of the resin composition disclosed in the reference 1 and the reference 2 can reduce the arithmetic average roughness of the surface of the insulating layer in the wet roughening step and can form a conductor layer having sufficient fill strength, (plating diving) depth, component landfillability, flame retardancy, and the like.

본 발명의 과제는, 절연층 표면의 조도를 낮게 할 수 있어, 조화 처리후의 절연층과 도체층의 필 강도, 도금 잠입 깊이, 부품 매립성, 및 난연성이 양호한 수지 조성물; 당해 수지 조성물을 함유하는, 시트상 적층 재료, 당해 수지 조성물의 경화물에 의해 형성된 절연층을 포함하는 프린트 배선판, 및 반도체 장치를 제공하는 것에 있다. Disclosure of the Invention Problems to be Solved by the Invention A resin composition which can lower the roughness of the surface of an insulating layer and is excellent in peel strength, depth of plating penetration, parts filling property, and flame retardancy of an insulating layer and a conductor layer after roughening treatment; A printed wiring board comprising a sheet-like laminate material containing the resin composition, an insulating layer formed of a cured product of the resin composition, and a semiconductor device.

본 발명자들은 상기의 과제에 관해서 예의 검토한 결과, 불소 원자 함유 알콕시실란 화합물을 사용함으로써 상기 과제를 해결할 수 있는 것을 밝혀내고, 본 발명을 완성시키기에 이르렀다. DISCLOSURE OF THE INVENTION The present inventors have intensively studied the above problems and found that the above problems can be solved by using a fluorine atom-containing alkoxysilane compound, and the present invention has been accomplished.

즉, 본 발명은 이하의 내용을 포함한다. That is, the present invention includes the following contents.

[1] (A) 에폭시 수지, (B) 경화제, (C) 불소 원자 함유 알콕시실란 화합물, 및 (D) 무기 충전재를 함유하는 수지 조성물. [1] A resin composition comprising (A) an epoxy resin, (B) a curing agent, (C) a fluorine atom-containing alkoxysilane compound, and (D) an inorganic filler.

[2] (D) 성분의 함유량이, 수지 조성물 중의 불휘발 성분을 100질량%로 한 경우, 60질량% 이상인, [1]에 기재된 수지 조성물. [2] The resin composition according to [1], wherein the content of the component (D) is 60% by mass or more based on 100% by mass of the nonvolatile component in the resin composition.

[3] (D) 성분의 평균 입자 직경이, 0.01㎛ 내지 2㎛인, [1] 또는 [2]에 기재된 수지 조성물. [3] The resin composition according to [1] or [2], wherein the component (D) has an average particle diameter of 0.01 탆 to 2 탆.

[4] (D) 성분이, 실리카 또는 알루미나인, [1] 내지 [3] 중의 어느 하나에 기재된 수지 조성물. [4] The resin composition according to any one of [1] to [3], wherein the component (D) is silica or alumina.

[5] (C) 성분 1분자 중의 불소 원자의 수가, 1 내지 10인, [1] 내지 [4] 중의 어느 하나에 기재된 수지 조성물. [5] The resin composition according to any one of [1] to [4], wherein the number of fluorine atoms in one molecule of the component (C) is 1 to 10.

[6] (C) 성분 1분자 중의 알콕시기의 수가, 1 내지 5인, [1] 내지 [5] 중의 어느 하나에 기재된 수지 조성물. [6] The resin composition according to any one of [1] to [5], wherein the number of alkoxy groups in one molecule of the component (C) is 1 to 5.

[7] (C) 성분이, 3,3,3-트리플루오로프로필트리메톡시실란인, [1] 내지 [6] 중의 어느 하나에 기재된 수지 조성물. [7] The resin composition according to any one of [1] to [6], wherein the component (C) is 3,3,3-trifluoropropyltrimethoxysilane.

[8] (D) 성분이 (C) 성분으로 표면 처리되어 있는, [1] 내지 [7] 중의 어느 하나에 기재된 수지 조성물. [8] The resin composition according to any one of [1] to [7], wherein the component (D) is surface-treated with the component (C).

[9] 프린트 배선판의 절연층 형성용인, [1] 내지 [8] 중의 어느 하나에 기재된 수지 조성물. [9] The resin composition according to any one of [1] to [8], which is used for forming an insulating layer of a printed wiring board.

[10] 프린트 배선판의 빌드업층용인, [1] 내지 [9] 중의 어느 하나에 기재된 수지 조성물. [10] The resin composition according to any one of [1] to [9], which is used for a buildup layer of a printed wiring board.

[11] [1] 내지 [10] 중의 어느 하나에 기재된 수지 조성물을 함유하는, 시트상 적층 재료. [11] A sheet-like laminated material containing the resin composition according to any one of [1] to [10].

[12] [1] 내지 [10] 중의 어느 하나에 기재된 수지 조성물로 형성된 수지 조성물층을 포함하는, 시트상 적층 재료. [12] A sheet-stacked material comprising a resin composition layer formed from the resin composition according to any one of [1] to [10].

[13] 수지 조성물층의 두께가 10㎛ 이하인, [12]에 기재된 시트상 적층 재료. [13] The sheet-laminated material according to [12], wherein the thickness of the resin composition layer is 10 μm or less.

[14] [1] 내지 [10] 중의 어느 하나에 기재된 수지 조성물의 경화물에 의해 형성된 절연층을 포함하는, 프린트 배선판. [14] A printed wiring board comprising an insulating layer formed by a cured product of the resin composition according to any one of [1] to [10].

[15] [14]에 기재된 프린트 배선판을 포함하는, 반도체 장치. [15] A semiconductor device comprising the printed wiring board according to [14].

본 발명에 의하면, 절연층 표면의 조도를 낮게 할 수 있어, 조화 처리후의 절연층과 도체층의 필 강도, 도금 잠입 깊이, 부품 매립성, 및 난연성이 양호한 수지 조성물; 당해 수지 조성물을 함유하는, 시트상 적층 재료, 당해 수지 조성물의 경화물에 의해 형성된 절연층을 포함하는 프린트 배선판, 및 반도체 장치를 제공할 수 있게 되었다. According to the present invention, it is possible to lower the roughness of the surface of the insulating layer, and to provide a resin composition having satisfactory peel strength, depth of plating penetration, parts embedding property, and flame retardancy of the insulating layer and conductor layer after roughening treatment; It has become possible to provide a printed wiring board comprising a sheet-like laminate material containing the resin composition, an insulating layer formed by the cured product of the resin composition, and a semiconductor device.

도 1은 부품 가부착 내층 기판의 단면의 일례를 도시한 모식도이다. 1 is a schematic diagram showing an example of a cross-section of an inner substrate with an attached part.

이하, 본 발명의 수지 조성물, 당해 수지 조성물을 함유하는, 시트상 적층 재료, 프린트 배선판, 및 반도체 장치에 관해서 상세하게 설명한다. Hereinafter, the resin composition of the present invention, the sheet-like laminated material containing the resin composition, the printed wiring board, and the semiconductor device will be described in detail.

[수지 조성물][Resin composition]

본 발명의 수지 조성물은, (A) 에폭시 수지, (B) 경화제, (C) 불소 원자 함유 알콕시실란 화합물, 및 (D) 무기 충전재를 함유한다. The resin composition of the present invention contains (A) an epoxy resin, (B) a curing agent, (C) a fluorine atom-containing alkoxysilane compound, and (D) an inorganic filler.

이하, 본 발명의 수지 조성물에 함유되는 각 성분에 관해서 상세하게 설명한다.Hereinafter, each component contained in the resin composition of the present invention will be described in detail.

<(A) 에폭시 수지>&Lt; (A) Epoxy resin >

에폭시 수지로서는, 예를 들면, 비스페놀 A형 에폭시 수지, 비스페놀 F형 에폭시 수지, 비스페놀 S형 에폭시 수지, 비스페놀 AF형 에폭시 수지, 디사이클로펜타디엔형 에폭시 수지, 트리스페놀형 에폭시 수지, 나프톨노볼락형 에폭시 수지, 페놀노볼락형 에폭시 수지, tert-부틸-카테콜형 에폭시 수지, 나프탈렌형 에폭시 수지, 나프톨형 에폭시 수지, 안트라센형 에폭시 수지, 글리시딜아민형 에폭시 수지, 글리시딜에스테르형 에폭시 수지, 크레졸노볼락형 에폭시 수지, 비페닐형 에폭시 수지, 선상 지방족 에폭시 수지, 부타디엔 구조를 갖는 에폭시 수지, 지환식 에폭시 수지, 복소환식 에폭시 수지, 스피로환 함유 에폭시 수지, 사이클로헥산디메탄올형 에폭시 수지, 나프틸렌에테르형 에폭시 수지, 트리메틸올형 에폭시 수지, 테트라페닐에탄형 에폭시 수지, 비크실레놀형 에폭시 수지 등을 들 수 있다. 에폭시 수지는 1종 단독으로 사용해도 좋고, 2종 이상을 조합하여 사용해도 좋다. (A) 성분은 비스페놀 A형 에폭시 수지, 비스페놀 F형 에폭시 수지, 및 비페닐형 에폭시 수지로부터 선택되는 1종 이상인 것이 바람직하다. Examples of the epoxy resin include bisphenol A epoxy resin, bisphenol F epoxy resin, bisphenol S epoxy resin, bisphenol AF epoxy resin, dicyclopentadiene epoxy resin, trisphenol epoxy resin, naphthol novolak type epoxy resin, Epoxy resin, phenol novolak type epoxy resin, tert-butyl-catechol type epoxy resin, naphthalene type epoxy resin, naphthol type epoxy resin, anthracene type epoxy resin, glycidylamine type epoxy resin, glycidyl ester type epoxy resin, Cresol novolak type epoxy resins, biphenyl type epoxy resins, linear aliphatic epoxy resins, epoxy resins having a butadiene structure, alicyclic epoxy resins, heterocyclic epoxy resins, spirocyclic epoxy resins, cyclohexanedimethanol type epoxy resins, Tylene ether type epoxy resin, trimethylol type epoxy resin, tetraphenyl ethane type epoxy resin , The beak nolhyeong silane, an epoxy resin or the like. The epoxy resin may be used singly or in combination of two or more kinds. The component (A) is preferably at least one selected from bisphenol A type epoxy resin, bisphenol F type epoxy resin, and biphenyl type epoxy resin.

에폭시 수지는, 1분자 중에 2개 이상의 에폭시기를 갖는 에폭시 수지를 함유하는 것이 바람직하다. 에폭시 수지의 불휘발 성분을 100질량%로 한 경우에, 적어도 50질량% 이상은 1분자 중에 2개 이상의 에폭시기를 갖는 에폭시 수지인 것이 바람직하다. 이 중에서도, 1분자 중에 2개 이상의 에폭시기를 가지며, 온도 20℃에서 액상인 에폭시 수지(이하「액상 에폭시 수지」라고 한다.)와, 1분자 중에 3개 이상의 에폭시기를 가지며, 온도 20℃에서 고체상인 에폭시 수지(이하「고체상 에폭시 수지」라고 한다.)를 함유하는 것이 바람직하다. 에폭시 수지로서, 액상 에폭시 수지와 고체상 에폭시 수지를 병용함으로써, 우수한 가요성을 갖는 수지 조성물이 얻어진다. 또한, 수지 조성물의 경화물의 파단 강도도 향상된다. The epoxy resin preferably contains an epoxy resin having two or more epoxy groups in one molecule. When the nonvolatile component of the epoxy resin is 100% by mass, it is preferable that at least 50% by mass or more of the epoxy resin is an epoxy resin having two or more epoxy groups in one molecule. Among them, epoxy resins having two or more epoxy groups in one molecule and having a liquid phase at 20 占 폚 (hereinafter referred to as &quot; liquid epoxy resin &quot;) and three or more epoxy groups in one molecule, It is preferable to contain an epoxy resin (hereinafter referred to as &quot; solid epoxy resin &quot;). When a liquid epoxy resin and a solid epoxy resin are used in combination as the epoxy resin, a resin composition having excellent flexibility can be obtained. Further, the fracture strength of the cured product of the resin composition is also improved.

액상 에폭시 수지로서는, 비스페놀 A형 에폭시 수지, 비스페놀 F형 에폭시 수지, 비스페놀 AF형 에폭시 수지, 나프탈렌형 에폭시 수지, 글리시딜에스테르형 에폭시 수지, 글리시딜아민형 에폭시 수지, 페놀노볼락형 에폭시 수지, 에스테르 골격을 갖는 지환식 에폭시 수지, 사이클로헥산디메탄올형 에폭시 수지, 글리시딜아민형 에폭시 수지, 및 부타디엔 구조를 갖는 에폭시 수지가 바람직하며, 글리시딜아민형 에폭시 수지, 비스페놀 A형 에폭시 수지, 비스페놀 F형 에폭시 수지, 비스페놀 AF형 에폭시 수지 및 나프탈렌형 에폭시 수지가 보다 바람직하다. 액상 에폭시 수지의 구체예로서는, DIC(주) 제조의「HP4032」,「HP4032D」,「HP4032SS」(나프탈렌형 에폭시 수지), 미쯔비시가가쿠(주) 제조의「828US」,「jER828EL」(비스페놀 A형 에폭시 수지), 「jER807」(비스페놀 F형 에폭시 수지),「jER152」(페놀노볼락형 에폭시 수지), 「630」,「630LSD」(글리시딜아민형 에폭시 수지), 신닛테츠스미킨가가쿠(주) 제조의「ZX1059」(비스페놀 A형 에폭시 수지와 비스페놀 F형 에폭시 수지의 혼합품), 나가세켐텍스(주) 제조의「EX-721」(글리시딜에스테르형 에폭시 수지), (주)다이셀 제조의「세록사이드 2021P」(에스테르 골격을 갖는 지환식 에폭시 수지), 「PB-3600」(부타디엔 구조를 갖는 에폭시 수지), 신닛테츠가가쿠(주) 제조의「ZX1658」,「ZX1658GS」(액상 1,4-글리시딜사이클로헥산), 미쯔비시가가쿠(주) 제조의「630LSD」(글리시딜아민형 에폭시 수지) 등을 들 수 있다. 이들은 1종 단독으로 사용해도 좋고, 2종 이상을 조합하여 사용해도 좋다. Examples of the liquid epoxy resin include bisphenol A type epoxy resin, bisphenol F type epoxy resin, bisphenol AF type epoxy resin, naphthalene type epoxy resin, glycidyl ester type epoxy resin, glycidylamine type epoxy resin, phenol novolak type epoxy resin , An alicyclic epoxy resin having an ester skeleton, a cyclohexanedimethanol type epoxy resin, a glycidylamine type epoxy resin, and an epoxy resin having a butadiene structure are preferable, and a glycidylamine type epoxy resin, a bisphenol A type epoxy resin , Bisphenol F type epoxy resin, bisphenol AF type epoxy resin and naphthalene type epoxy resin are more preferable. Specific examples of the liquid epoxy resin include "HP4032", "HP4032D", "HP4032SS" (naphthalene type epoxy resin), "828US" and "jER828EL" (bisphenol A type epoxy resin manufactured by Mitsubishi Kagaku Co., (Epoxy resin), "jER807" (bisphenol F type epoxy resin), "jER152" (phenol novolak type epoxy resin), "630", "630LSD" (glycidyl amine type epoxy resin), Shinnitetsu Sumikin EX-721 &quot; (glycidyl ester type epoxy resin) manufactured by Nagase Chemtex Co., Ltd., and ZX1059 (a mixture of bisphenol A type epoxy resin and bisphenol F type epoxy resin) (Cycloaliphatic epoxy resin having an ester skeleton), &quot; PB-3600 &quot; (epoxy resin having a butadiene structure), &quot; ZX1658 &quot;, &quot; ZX1658GS &quot; (Liquid 1,4-glycidylcyclohexane), 630LSD (glycidylamine type, manufactured by Mitsubishi Chemical Corporation) Epoxy resin) and the like. These may be used singly or in combination of two or more kinds.

고체상 에폭시 수지로서는, 나프탈렌형 4관능 에폭시 수지, 크레졸노볼락형 에폭시 수지, 디사이클로펜타디엔형 에폭시 수지, 트리스페놀형 에폭시 수지, 나프톨형 에폭시 수지, 비페닐형 에폭시 수지, 나프틸렌에테르형 에폭시 수지, 안트라센형 에폭시 수지, 비스페놀 A형 에폭시 수지, 테트라페닐에탄형 에폭시 수지가 바람직하며, 나프탈렌형 4관능 에폭시 수지, 나프톨형 에폭시 수지, 및 비페닐형 에폭시 수지가 보다 바람직하다. 고체상 에폭시 수지의 구체예로서는, DIC(주) 제조의「HP4032H」(나프탈렌형 에폭시 수지), 「HP-4700」,「HP-4710」(나프탈렌형 4관능 에폭시 수지), 「N-690」(크레졸노볼락형 에폭시 수지),「N-695」(크레졸노볼락형 에폭시 수지),「HP-7200」(디사이클로펜타디엔형 에폭시 수지),「HP-7200HH」,「HP-7200H」,「EXA-7311」,「EXA-7311-G3」,「EXA-7311-G4」,「EXA-7311-G4S」,「HP6000」(나프틸렌에테르형 에폭시 수지), 니혼가야쿠(주) 제조의「EPPN-502H」(트리스페놀형 에폭시 수지), 「NC7000L」(나프톨노볼락형 에폭시 수지),「NC3000H」,「NC3000」,「NC3000L」,「NC3100」(비페닐형 에폭시 수지), 신닛테츠스미킨가가쿠(주) 제조의「ESN475V」(나프탈렌형 에폭시 수지), 「ESN485」(나프톨노볼락형 에폭시 수지), 미쯔비시가가쿠(주) 제조의「YX4000H」,「YL6121」(비페닐형 에폭시 수지),「YX4000HK」(비크실레놀형 에폭시 수지),「YX8800」(안트라센형 에폭시 수지), 오사카가스케미칼(주) 제조의「PG-100」,「CG-500」, 미쯔비시가가쿠(주) 제조의「YL7760」(비스페놀 AF형 에폭시 수지),「YL7800」(플루오렌형 에폭시 수지), 미쯔비시가가쿠(주) 제조의「jER1010」(고체상 비스페놀 A형 에폭시 수지),「jER1031S」(테트라페닐에탄형 에폭시 수지) 등을 들 수 있다. 이들은 1종 단독으로 사용해도 좋고, 2종 이상을 조합하여 사용해도 좋다. Examples of the solid epoxy resin include naphthalene type tetrafunctional epoxy resins, cresol novolak type epoxy resins, dicyclopentadiene type epoxy resins, trisphenol type epoxy resins, naphthol type epoxy resins, biphenyl type epoxy resins, naphthylene ether type epoxy resins , An anthracene epoxy resin, a bisphenol A epoxy resin and a tetraphenyl ethane epoxy resin are preferable, and a naphthalene type tetrafunctional epoxy resin, a naphthol type epoxy resin and a biphenyl type epoxy resin are more preferable. Specific examples of the solid epoxy resin include HP4032H (naphthalene type epoxy resin), HP-4700, HP-4710 (naphthalene type tetrafunctional epoxy resin), N-690 HP-7200H "," HP-7200H "," EXA (epoxy resin) ", EXA-7311-G4 "," EXA-7311-G4S "," HP6000 "(naphthylene ether type epoxy resin)," EPPN Quot; NC3000H &quot;, &quot; NC3000L &quot;, &quot; NC3100 &quot; (biphenyl type epoxy resin), Shinnitetsu Sumikin "ESN475V" (naphthalene type epoxy resin), "ESN485" (naphthol novolak type epoxy resin), "YX4000H" and "YL6121" (biphenyl type epoxy resin) manufactured by Mitsubishi Kagaku Co., , "YX4000HK" (VIK "PG-100", "CG-500" manufactured by Osaka Gas Chemical Co., Ltd., "YL7760" (bisphenol AF manufactured by Mitsubishi Chemical Corp.) (Solid epoxy resin), "YL7800" (fluorene type epoxy resin), "jER1010" (solid bisphenol A type epoxy resin) manufactured by Mitsubishi Chemical Corporation, "jER1031S" (tetraphenyl ethane type epoxy resin) . These may be used singly or in combination of two or more kinds.

에폭시 수지로서, 액상 에폭시 수지와 고체상 에폭시 수지를 병용하는 경우, 이들의 양비(액상 에폭시 수지:고체상 에폭시 수지)는, 질량비로, 1:0.1 내지 1:15의 범위가 바람직하다. 액상 에폭시 수지와 고체상 에폭시 수지의 양비를 이러한 범위로 함으로써, i) 수지 시트의 형태로 사용하는 경우에 적당한 점착성이 초래된다, ii) 수지 시트의 형태로 사용하는 경우에 충분한 가요성이 얻어져, 취급성이 향상된다, 및 iii) 충분한 파단 강도를 갖는 경화물을 얻을 수 있는 등의 효과가 얻어진다. 상기 i) 내지 iii)의 효과의 관점에서, 액상 에폭시 수지와 고체상 에폭시 수지의 양비(액상 에폭시 수지:고체상 에폭시 수지)는, 질량비로, 1:0.3 내지 1:10의 범위가 보다 바람직하며, 1:0.6 내지 1:8의 범위가 더욱 바람직하다. When a liquid epoxy resin and a solid epoxy resin are used in combination as the epoxy resin, their ratio (liquid epoxy resin: solid epoxy resin) is preferably in the range of 1: 0.1 to 1:15 in terms of the mass ratio. By setting the proportions of the liquid epoxy resin and the solid epoxy resin in this range, suitable adhesiveness is obtained when i) is used in the form of a resin sheet, ii) sufficient flexibility is obtained in the case of using in the form of a resin sheet, The handling property is improved, and (iii) a cured product having sufficient breaking strength can be obtained. From the viewpoint of the effects of i) to iii), the ratio of the liquid epoxy resin to the solid epoxy resin (liquid epoxy resin: solid epoxy resin) is more preferably in the range of 1: 0.3 to 1:10, : 0.6 to 1: 8 is more preferable.

수지 조성물 중의 에폭시 수지의 함유량은, 양호한 기계 강도, 절연 신뢰성을 나타내는 절연층을 얻는 관점에서, 바람직하게는 1질량% 이상, 보다 바람직하게는 2질량% 이상, 더욱 바람직하게는 3질량% 이상이다. 에폭시 수지의 함유량의 상한은, 본 발명의 효과가 나타나는 한에 있어서 특별히 한정되지 않지만, 바람직하게는 50질량% 이하, 보다 바람직하게는 30질량% 이하, 더욱 바람직하게는 20질량% 이하이다. The content of the epoxy resin in the resin composition is preferably 1% by mass or more, more preferably 2% by mass or more, still more preferably 3% by mass or more from the viewpoint of obtaining an insulating layer showing good mechanical strength and insulation reliability . The upper limit of the content of the epoxy resin is not particularly limited insofar as the effect of the present invention is exhibited, but is preferably 50 mass% or less, more preferably 30 mass% or less, further preferably 20 mass% or less.

또한, 본 발명에 있어서, 수지 조성물 중의 각 성분의 함유량은, 별도 명시가 없는 한, 수지 조성물 중의 불휘발 성분을 100질량%로 했을 때의 값이다. In the present invention, the content of each component in the resin composition is a value obtained by assuming that the nonvolatile component in the resin composition is 100% by mass, unless otherwise specified.

에폭시 수지의 에폭시 당량은, 바람직하게는 50 내지 5000, 보다 바람직하게는 50 내지 3000, 더욱 바람직하게는 80 내지 2000, 더욱 보다 바람직하게는 110 내지 1000이다. 이 범위가 됨으로써, 경화물의 가교 밀도가 충분해져 표면 거칠기가 작은 절연층을 초래할 수 있다. 또한, 에폭시 당량은, JIS K7236에 따라 측정할 수 있고, 1당량의 에폭시기를 함유하는 수지의 질량이다. The epoxy equivalent of the epoxy resin is preferably 50 to 5000, more preferably 50 to 3000, still more preferably 80 to 2000, still more preferably 110 to 1000. With this range, the cross-linking density of the cured product becomes sufficient, and an insulating layer having a small surface roughness may result. The epoxy equivalent can be measured in accordance with JIS K7236, and is the mass of the resin containing one equivalent of an epoxy group.

에폭시 수지의 중량 평균 분자량은, 바람직하게는 100 내지 5000, 보다 바람직하게는 250 내지 3000, 더욱 바람직하게는 400 내지 1500이다. 여기서, 에폭시 수지의 중량 평균 분자량은, 겔 침투 크로마토그래피(GPC)법에 의해 측정되는 폴리스티렌 환산의 중량 평균 분자량이다. The weight average molecular weight of the epoxy resin is preferably 100 to 5000, more preferably 250 to 3000, and still more preferably 400 to 1500. Here, the weight average molecular weight of the epoxy resin is a weight average molecular weight in terms of polystyrene measured by a gel permeation chromatography (GPC) method.

<(B) 경화제><(B) Hardener>

경화제로서는, 에폭시 수지를 경화하는 기능을 갖는 한 특별히 한정되지 않으며, 예를 들면, 페놀계 경화제, 나프톨계 경화제, 활성 에스테르계 경화제, 벤조옥사진계 경화제, 시아네이트에스테르계 경화제, 및 카르보디이미드계 경화제 등을 들 수 있다. 경화제는 1종 단독으로 사용해도 좋고, 또는 2종 이상을 병용해도 좋다. (B) 성분은, 페놀계 경화제, 나프톨계 경화제, 활성 에스테르계 경화제 및 시아네이트에스테르계 경화제로부터 선택되는 1종 이상인 것이 바람직하다. The curing agent is not particularly limited as long as it has a function of curing an epoxy resin, and examples thereof include phenol-based curing agents, naphthol-based curing agents, active ester-based curing agents, benzoxazine- based curing agents, cyanate ester- And a hardening agent. The curing agent may be used singly or in combination of two or more kinds. The component (B) is preferably at least one selected from phenol-based curing agents, naphthol-based curing agents, active ester-based curing agents and cyanate ester-based curing agents.

페놀계 경화제 및 나프톨계 경화제로서는, 내열성 및 내수성의 관점에서, 노볼락 구조를 갖는 페놀계 경화제, 또는 노볼락 구조를 갖는 나프톨계 경화제가 바람직하다. 또한, 도체층과의 밀착성의 관점에서, 함질소 페놀계 경화제가 바람직하며, 트리아진 골격 함유 페놀계 경화제가 보다 바람직하다. 이 중에서도, 내열성, 내수성, 및 도체층과의 밀착성을 고도로 만족시키는 관점에서, 트리아진 골격 함유 페놀노볼락 경화제가 바람직하다. As the phenol-based curing agent and naphthol-based curing agent, a phenol-based curing agent having a novolak structure or a naphthol-based curing agent having a novolak structure is preferable from the viewpoints of heat resistance and water resistance. From the viewpoint of adhesion with the conductor layer, a nitrogen-containing phenol-based curing agent is preferable, and a phenazine-based curing agent containing a triazine skeleton is more preferable. Of these, a phenazine novolac curing agent containing a triazine skeleton is preferable from the viewpoint of highly satisfying heat resistance, water resistance, and adhesiveness to a conductor layer.

페놀계 경화제 및 나프톨계 경화제의 구체예로서는, 예를 들면, 메이와가세이(주) 제조의「MEH-7700」,「MEH-7810」,「MEH-7851」, 니혼가야쿠(주) 제조의「NHN」,「CBN」,「GPH」, 신닛테츠스미킨(주) 제조의「SN170」,「SN180」,「SN190」,「SN475」,「SN485」,「SN495」,「SN375」,「SN395」, DIC(주) 제조의「TD-2090」,「LA-7052」,「LA-7054」,「LA-1356」,「LA-3018-50P」,「EXB-9500」등을 들 수 있다. Specific examples of the phenol-based curing agent and naphthol-based curing agent include "MEH-7700", "MEH-7810", "MEH-7851" manufactured by Meiwa Kasei Co., "SN170", "SN180", "SN190", "SN475", "SN485", "SN495", "SN375", "SN375", and "SN375" manufactured by Shinnetsu Tetsu Sumikin Co., LA-7054 "," LA-1356 "," LA-3018-50P ", and" EXB-9500 "manufactured by DIC Corporation have.

도체층과의 밀착성이 우수한 절연층을 얻는 관점에서는, 활성 에스테르계 경화제도 바람직하다. 활성 에스테르계 경화제로서는, 특별히 제한은 없지만, 일반적으로 페놀에스테르류, 티오페놀에스테르류, N-하이드록시아민에스테르류, 복소환 하이드록시 화합물의 에스테르류 등의, 반응 활성이 높은 에스테르기를 1분자 중에 2개 이상 갖는 화합물이 바람직하게 사용된다. 당해 활성 에스테르계 경화제는, 카복실산 화합물 및/또는 티오카복실산 화합물과 하이드록시 화합물 및/또는 티올 화합물과의 축합 반응에 의해 얻어지는 것이 바람직하다. 특히 내열성 향상의 관점에서, 카복실산 화합물과 하이드록시 화합물로부터 얻어지는 활성 에스테르계 경화제가 바람직하며, 카복실산 화합물과 페놀 화합물 및/또는 나프톨 화합물로부터 얻어지는 활성 에스테르계 경화제가 보다 바람직하다. 카복실산 화합물로서는, 예를 들면 벤조산, 아세트산, 석신산, 말레산, 이타콘산, 프탈산, 이소프탈산, 테레프탈산, 피로멜리트산 등을 들 수 있다. 페놀 화합물 또는 나프톨 화합물로서는, 예를 들면, 하이드로퀴논, 레조르신, 비스페놀 A, 비스페놀 F, 비스페놀 S, 페놀프탈린, 메틸화비스페놀 A, 메틸화비스페놀 F, 메틸화비스페놀 S, 페놀, o-크레졸, m-크레졸, p-크레졸, 카테콜, α-나프톨, β-나프톨, 1,5-디하이드록시나프탈렌, 1,6-디하이드록시나프탈렌, 2,6-디하이드록시나프탈렌, 디하이드록시벤조페논, 트리하이드록시벤조페논, 테트라하이드록시벤조페논, 플로로글루신, 벤젠트리올, 디사이클로펜타디엔형 디페놀 화합물, 페놀노볼락 등을 들 수 있다. 여기서,「디사이클로펜타디엔형 디페놀 화합물」이란, 디사이클로펜타디엔 1분자에 페놀 2분자가 축합하여 얻어지는 디페놀 화합물을 말한다. From the viewpoint of obtaining an insulating layer having excellent adhesion with a conductor layer, an active ester-based curing agent is also preferable. The active ester-based curing agent is not particularly limited, but generally, an ester group having a high reaction activity such as phenol esters, thiophenol esters, N-hydroxyamine esters, and esters of a heterocyclic hydroxy compound, A compound having two or more is preferably used. The active ester-based curing agent is preferably obtained by a condensation reaction of a carboxylic acid compound and / or a thiocarboxylic acid compound with a hydroxy compound and / or a thiol compound. From the viewpoint of heat resistance improvement, an active ester type curing agent obtained from a carboxylic acid compound and a hydroxy compound is preferable, and an active ester type curing agent obtained from a carboxylic acid compound and a phenol compound and / or a naphthol compound is more preferable. Examples of the carboxylic acid compound include benzoic acid, acetic acid, succinic acid, maleic acid, itaconic acid, phthalic acid, isophthalic acid, terephthalic acid and pyromellitic acid. Examples of the phenol compound or naphthol compound include hydroquinone, resorcin, bisphenol A, bisphenol F, bisphenol S, phenolphthalein, methylated bisphenol A, methylated bisphenol F, methylated bisphenol S, phenol, o- Cresol, catechol, alpha -naphthol, beta -naphthol, 1,5-dihydroxynaphthalene, 1,6-dihydroxynaphthalene, 2,6-dihydroxynaphthalene, dihydroxybenzophenone, Trihydroxybenzophenone, tetrahydroxybenzophenone, fluoroglucine, benzene triol, dicyclopentadiene type diphenol compounds, phenol novolak, and the like. Here, the "dicyclopentadiene type diphenol compound" refers to a diphenol compound obtained by condensing two molecules of phenol in one dicyclopentadiene molecule.

구체적으로는, 디사이클로펜타디엔형 디페놀 구조를 함유하는 활성 에스테르 화합물, 나프탈렌 구조를 함유하는 활성 에스테르 화합물, 페놀노볼락의 아세틸화물을 함유하는 활성 에스테르 화합물, 페놀노볼락의 벤조일화물을 함유하는 활성 에스테르 화합물이 바람직하며, 이 중에서도 나프탈렌 구조를 함유하는 활성 에스테르 화합물, 디사이클로펜타디엔형 디페놀 구조를 함유하는 활성 에스테르 화합물이 보다 바람직하다. 「디사이클로펜타디엔형 디페놀 구조」란, 페닐렌-디사이클로펜틸렌-페닐렌으로 이루어지는 2가의 구조 단위를 나타낸다. Specifically, there can be mentioned an active ester compound containing a dicyclopentadiene type diphenol structure, an active ester compound containing a naphthalene structure, an active ester compound containing an acetylated product of phenol novolac, an ester compound containing a phenol novolak benzoylate Of these, active ester compounds containing a naphthalene structure and active ester compounds containing a dicyclopentadiene-type diphenol structure are more preferred. The "dicyclopentadiene type diphenol structure" refers to a divalent structural unit comprising phenylene-dicyclopentylene-phenylene.

활성 에스테르계 경화제의 시판품으로서는, 디사이클로펜타디엔형 디페놀 구조를 함유하는 활성 에스테르 화합물로서, 「EXB9451」,「EXB9460」,「EXB9460S」,「HPC-8000-65T」,「HPC-8000H-65TM」,「EXB-8000L-65TM」(DIC(주) 제조), 나프탈렌 구조를 함유하는 활성 에스테르 화합물로서「EXB9416-70BK」(DIC(주) 제조), 페놀노볼락의 아세틸화물을 함유하는 활성 에스테르 화합물로서「DC808」(미쯔비시가가쿠(주) 제조), 페놀노볼락의 벤조일화물을 함유하는 활성 에스테르 화합물로서「YLH1026」(미쯔비시가가쿠(주) 제조), 페놀노볼락의 아세틸화물인 활성 에스테르계 경화제로서「DC808」(미쯔비시가가쿠(주) 제조), 페놀노볼락의 벤조일화물인 활성 에스테르계 경화제로서「YLH1026」(미쯔비시가가쿠(주) 제조),「YLH1030」(미쯔비시가가쿠(주) 제조),「YLH1048」(미쯔비시가가쿠(주) 제조) 등을 들 수 있다. EXB9451 "," EXB9460 "," EXB9460S "," HPC-8000-65T "," HPC-8000H-65TM "as active ester compounds containing a dicyclopentadiene type diphenol structure as commercial products of active ester- EXB9416-70BK "(manufactured by DIC Corporation) as an active ester compound containing a naphthalene structure, an active ester containing an acetylated product of phenol novolac (manufactured by DIC Corporation)," EXB-8000L-65TM " YLH1026 &quot; (manufactured by Mitsubishi Chemical) as an active ester compound containing a benzoylate of phenol novolac, an active ester which is an acetylated product of phenol novolac (manufactured by Mitsubishi Chemical Co., Ltd.) YLH1026 &quot; (manufactured by Mitsubishi Chemical Corp.), and &quot; YLH1030 &quot; (manufactured by Mitsubishi Chemical Corp.) as a curing agent for the epoxy resin (trade name: DC808 manufactured by Mitsubishi Chemical Corp.) ), &Quot; YLH1048 &quot; (manufactured by Mitsubishi Kagaku Co., Division), and the like.

벤조옥사진계 경화제의 구체예로서는, 쇼와코훈시(주) 제조의「HFB2006M」, 시코쿠가세이고교(주) 제조의「P-d」,「F-a」를 들 수 있다. Specific examples of the benzoxazine type curing agent include "HFB2006M" manufactured by Shawako Co., Ltd., "P-d" and "F-a" manufactured by Shikoku Kasei Corporation.

시아네이트에스테르계 경화제로서는, 예를 들면, 비스페놀 A 디시아네이트, 폴리페놀시아네이트, 올리고(3-메틸렌-1,5-페닐렌시아네이트), 4,4'-메틸렌비스(2,6-디메틸페닐시아네이트), 4,4'-에틸리덴디페닐디시아네이트, 헥사플루오로비스페놀 A 디시아네이트, 2,2-비스(4-시아네이트)페닐프로판, 1,1-비스(4-시아네이트페닐메탄), 비스(4-시아네이트-3,5-디메틸페닐)메탄, 1,3-비스(4-시아네이트페닐-1-(메틸에틸리덴))벤젠, 비스(4-시아네이트페닐)티오에테르, 및 비스(4-시아네이트페닐)에테르 등의 2관능 시아네이트 수지, 페놀노볼락 및 크레졸노볼락 등으로부터 유도되는 다관능 시아네이트 수지, 이들 시아네이트 수지가 일부 트리아진화된 프레폴리머 등을 들 수 있다. 시아네이트에스테르계 경화제의 구체예로서는, 론자재팬(주) 제조의「PT30」및「PT60」(모두 페놀노볼락형 다관능 시아네이트에스테르 수지),「BA230」,「BA230S75」(비스페놀 A 디시아네이트의 일부 또는 전부가 트리아진화되어 삼량체가 된 프레폴리머) 등을 들 수 있다. Examples of the cyanate ester curing agent include bisphenol A dicyanate, polyphenol cyanate, oligo (3-methylene-1,5-phenylene cyanate), 4,4'- Dimethylphenyl cyanate), 4,4'-ethylidenediphenyl dicyanate, hexafluorobisphenol A dicyanate, 2,2-bis (4-cyanate) phenylpropane, 1,1- Cyanate phenylmethane), bis (4-cyanate-3,5-dimethylphenyl) methane, 1,3-bis Bifunctional cyanate resins derived from phenolic novolacs and cresol novolacs such as bis (4-cyanophenyl) thioether and bis (4-cyanate phenyl) ether, and polyfunctional cyanate resins derived from these cyanate resins, And prepolymers. Specific examples of the cyanate ester curing agent include &quot; PT30 &quot; and &quot; PT60 &quot; (all phenol novolak type polyfunctional cyanate ester resins), &quot; BA230 &quot;, &quot; BA230S75 &quot; (bisphenol A dicyanate Or a prepolymer in which a part or all of the triazine is trimellated), and the like.

카르보디이미드계 경화제의 구체예로서는, 닛세이보케미칼(주) 제조의「V-03」,「V-07」등을 들 수 있다. Specific examples of the carbodiimide-based curing agent include "V-03" and "V-07" manufactured by Nissui Chemical Industries, Ltd.

에폭시 수지와 경화제의 양비는, [에폭시 수지의 에폭시기의 합계수]:[경화제의 반응기의 합계수]의 비율로, 1:0.01 내지 1:2의 범위가 바람직하며, 1:0.015 내지 1:1.5가 보다 바람직하며, 1:0.02 내지 1:1이 더욱 바람직하다. 여기서, 경화제의 반응기란, 활성 수산기, 활성 에스테르기 등이며, 경화제의 종류에 따라 상이하다. 또한, 에폭시 수지의 에폭시기의 합계수란, 각 에폭시 수지의 고형분 질량을 에폭시 당량으로 나눈 값을 모든 에폭시 수지에 관해서 합계한 값이며, 경화제의 반응기의 합계수란, 각 경화제의 고형분 질량을 반응기 당량으로 나눈 값을 모든 경화제에 관해서 합계한 값이다. 에폭시 수지와 경화제의 양비를 이러한 범위로 함으로써, 수지 조성물의 경화물의 내열성이 보다 향상된다. The ratio of the epoxy resin to the curing agent is preferably from 1: 0.01 to 1: 2, more preferably from 1: 0.015 to 1: 1.5, in terms of the ratio of [the total number of epoxy groups of epoxy resin]: [the total number of reactors of the curing agent] More preferably 1: 0.02 to 1: 1. Here, the reactive group of the curing agent is an active hydroxyl group, an active ester group or the like and varies depending on the kind of the curing agent. The total number of epoxy groups in the epoxy resin refers to a value obtained by dividing the solid component mass of each epoxy resin by the epoxy equivalent in terms of all epoxy resins and the total number of reactors in the curing agent means that the solid mass of each curing agent is equivalent to the reactor Of the total amount of the curing agent. By setting the ratio of the epoxy resin and the curing agent to this range, the heat resistance of the cured product of the resin composition is further improved.

일 실시형태에 있어서, 수지 조성물은, 상기하는 (A) 에폭시 수지 및 (B) 경화제를 함유한다. 수지 조성물은, (A) 에폭시 수지로서 액상 에폭시 수지와 고체상 에폭시 수지의 혼합물(액상 에폭시 수지:고체상 에폭시 수지의 질량비는 바람직하게는 1:0.1 내지 1:15, 보다 바람직하게는 1:0.3 내지 1:10, 더욱 바람직하게는 1:0.6 내지 1:8)을, (B) 경화제로서 페놀계 경화제, 나프톨계 경화제, 활성 에스테르계 경화제 및 시아네이트에스테르계 경화제로 이루어지는 그룹으로부터 선택되는 1종 이상(바람직하게는 페놀계 경화제, 나프톨계 경화제 및 활성 에스테르계 경화제로 이루어지는 그룹으로부터 선택되는 1종 이상)을, 각각 함유하는 것이 바람직하다. In one embodiment, the resin composition contains the above-mentioned (A) epoxy resin and (B) a curing agent. The resin composition preferably contains (A) a mixture of a liquid epoxy resin and a solid epoxy resin as the epoxy resin (the mass ratio of the liquid epoxy resin: solid epoxy resin is preferably from 1: 0.1 to 1:15, more preferably from 1: 0.3 to 1 (B) at least one member selected from the group consisting of a phenol-based curing agent, a naphthol-based curing agent, an active ester-based curing agent and a cyanate ester-based curing agent as the curing agent Preferably one or more selected from the group consisting of a phenol-based curing agent, a naphthol-based curing agent and an active ester-based curing agent).

수지 조성물 중의 경화제의 함유량은 특별히 한정되지 않지만, 바람직하게는 30질량% 이하, 보다 바람직하게는 25질량% 이하, 더욱 바람직하게는 20질량% 이하, 더욱 보다 바람직하게는 10질량% 이하이다. 또한, 하한은 특별히 제한은 없지만 0.5질량% 이상이 바람직하다. The content of the curing agent in the resin composition is not particularly limited, but is preferably 30 mass% or less, more preferably 25 mass% or less, further preferably 20 mass% or less, further preferably 10 mass% or less. The lower limit is not particularly limited, but is preferably 0.5% by mass or more.

<(C) 불소 원자 함유 알콕시실란 화합물>&Lt; (C) Fluorine atom-containing alkoxysilane compound >

본 발명의 수지 조성물은, (C) 성분을 함유한다. 본 발명자들의 예의 연구의 결과, (C) 성분을 함유함으로써, 절연층 표면의 조도를 낮게 할 수 있어, 충분한 필 강도를 갖는 도체층을 형성할 수 있는 동시에, 도금 잠입 깊이, 부품 매립성, 및 난연성이 양호해지는 것을 밝혀내었다. (C) 성분은 화학적으로 안정적이다. 이로 인해, 산화제(디스미어액)에 대한 내성이 높고, 조도 및 도금 잠입 깊이를 낮게 할 수 있고, 이것에 따라 필 강도를 향상시킬 수 있다. 또한, (C) 성분은 난연성이기 때문에, 후술하는 난연제를 함유하지 않아도 난연성을 부여할 수 있다. The resin composition of the present invention contains component (C). As a result of studies by the inventors of the present invention, it has been found that by containing the component (C), the surface roughness of the insulating layer can be lowered and a conductor layer having sufficient fill strength can be formed. And the flame retardancy is improved. The component (C) is chemically stable. As a result, the resistance to the oxidizing agent (desmear liquid) is high, and the illuminance and the plating immersion depth can be reduced, thereby improving the peel strength. Further, since the component (C) is flame retardant, flame retardancy can be imparted even if the flame retardant described later is not contained.

(C) 성분은, 조화 처리에 사용하는 산화제에 대한 내성 및 도금 잠입 깊이를 낮게 하는 관점에서, (C) 성분 1분자 중의 불소 원자수가 1 내지 10이 바람직하며, 불소 원자수가 1 내지 5가 보다 바람직하며, 불소 원자수가 1 내지 3이 더욱 바람직하다. The component (C) preferably has 1 to 10 fluorine atoms in one molecule of the component (C) and has a fluorine atom number of 1 to 5, more preferably 1 to 5, in view of lowering the resistance to the oxidizing agent used in the roughening treatment and the plating- More preferably 1 to 3 fluorine atoms.

(C) 성분은, 조화 처리에 사용하는 산화제에 대한 내성 및 도금 잠입 깊이를 낮게 하는 관점에서 불화 알킬기를 갖는 것이 바람직하며, 불화 알킬기는, 말단에 불소 원자를 갖는 것이 바람직하다. 불화 알킬기는, 탄소 원자수 1 내지 20의 불화 알킬기가 바람직하며, 탄소 원자수 1 내지 10의 불화 알킬기가 보다 바람직하며, 탄소 원자수 1 내지 6의 불화 알킬기가 더욱 바람직하다. 이러한 불화 알킬기로서는, 예를 들면 -CF3, -CH2CF3, -CF2CF3, -CH2CH2CF3, -CH(CF3)2, -CH2CH2CH2CF3, -CH2CH(CF3)2, -C(CF3)3 등을 들 수 있고, -CH2CH2CF3가 바람직하다. The component (C) preferably has an alkyl fluoride group from the viewpoint of lowering the resistance to the oxidizing agent used in the roughening treatment and the plating immersion depth, and the fluorinated alkyl group preferably has a fluorine atom at the terminal. The fluorinated alkyl group is preferably a fluorinated alkyl group having 1 to 20 carbon atoms, more preferably a fluorinated alkyl group having 1 to 10 carbon atoms, and more preferably a fluorinated alkyl group having 1 to 6 carbon atoms. Examples of such fluorinated alkyl groups include -CF 3 , -CH 2 CF 3 , -CF 2 CF 3 , -CH 2 CH 2 CF 3 , -CH (CF 3 ) 2 , -CH 2 CH 2 CH 2 CF 3 , a -CH 2 CH (CF 3) 2 , and the like -C (CF 3) 3, -CH 2 CH 2 CF 3 is preferred.

또한, (C) 성분은, 반응성 향상의 관점에서, (C) 성분 1분자 중의 알콕시기의 수가 1 내지 5가 바람직하며, 알콕시기의 수가 1 내지 3이 보다 바람직하며, 알콕시기의 수가 2 내지 3이 더욱 바람직하다. From the viewpoint of improving the reactivity, the component (C) preferably has 1 to 5 alkoxy groups in one molecule of the component (C), more preferably 1 to 3 alkoxy groups, 3 is more preferable.

(C) 성분에 있어서의 알콕시기로서는, 반응성 향상의 관점에서, 탄소 원자수 1 내지 20의 알콕시기가 바람직하며, 탄소 원자수 1 내지 10의 알콕시기가 보다 바람직하며, 탄소 원자수 1 내지 6의 알콕시기가 더욱 바람직하다. 이러한 알콕시기로서는, 예를 들면, 메톡시기, 에톡시기, 프로필옥시기, 이소프로필옥시기, 부톡시기, s-부톡시기, 이소부톡시기, t-부톡시기, 펜틸옥시기, 헥실옥시기, 헵틸옥시기, 옥틸옥시기, 노닐옥시기, 및 데실옥시기를 들 수 있고, 메톡시기가 바람직하다. The alkoxy group in the component (C) is preferably an alkoxy group having 1 to 20 carbon atoms, more preferably an alkoxy group having 1 to 10 carbon atoms, and an alkoxy group having 1 to 6 carbon atoms Is more preferable. Examples of such alkoxy groups include methoxy, ethoxy, propyloxy, isopropyloxy, butoxy, s-butoxy, isobutoxy, An octyloxy group, a nonyloxy group, and a decyloxy group, and a methoxy group is preferable.

알콕시기는 치환기를 가지고 있어도 좋다. 치환기로서는, 특별히 제한은 없으며, 예를 들면, 할로겐 원자, -OH, -O-C1-6 알킬기, -N(C1-6 알킬기)2, C1-6 알킬기, C6-10 아릴기, -NH2, -CN, -C(O)O-C1-6 알킬기, -COOH, -C(O)H, -NO2 등을 들 수 있다. The alkoxy group may have a substituent. As a substituent, it is not particularly limited, for example, a halogen atom, -OH, -OC 1-6 alkyl, -N (C 1-6 alkyl) 2, C 1-6 alkyl, C 6-10 aryl, - NH 2 , -CN, -C (O) OC 1-6 alkyl group, -COOH, -C (O) H, -NO 2 and the like.

여기서,「Cp-q」(p 및 q는 양의 정수이고, p<q를 충족시킨다.)라는 용어는, 이 용어의 직후에 기재된 유기기의 탄소 원자수가 p 내지 q인 것을 나타낸다. 예를 들면,「C1-6 알킬기」라는 표현은, 탄소 원자수 1 내지 6의 알킬기를 나타낸다. Here, the term &quot; C pq &quot; (p and q are positive integers and p &lt; q is satisfied) indicates that the number of carbon atoms of the organic group described immediately after this term is p to q. For example, the expression &quot; C 1-6 alkyl group &quot; represents an alkyl group having 1 to 6 carbon atoms.

상기의 치환기는, 또한 치환기(이하,「이차 치환기」라고 하는 경우가 있다.)를 가지고 있어도 좋다. 이차 치환기로서는, 특별히 기재가 없는 한, 상기의 치환기와 동일한 것을 사용하면 좋다. The above substituent may also have a substituent (hereinafter sometimes referred to as &quot; secondary substituent &quot;). As the secondary substituent, the same substituents as those described above may be used, unless otherwise specified.

(C) 성분의 분자량으로서는, 상용성 향상이라는 관점에서, 50 내지 2000이 바람직하며, 75 내지 100이 보다 바람직하며, 100 내지 500이 더욱 바람직하다. The molecular weight of the component (C) is preferably from 50 to 2000, more preferably from 75 to 100, and still more preferably from 100 to 500, from the viewpoint of improving the compatibility.

이들 중에서도, (C) 성분으로서는, 3,3,3-트리플루오로프로필트리메톡시실란, 퍼플루오로(폴리)에테르기 함유 알콕시실란 화합물 등을 들 수 있다. 이들은 1종 단독으로 사용해도 좋고, 2종 이상을 조합하여 사용해도 좋다. 이 중에서도, (C) 성분으로서는, 3,3,3-트리플루오로프로필트리메톡시실란이 바람직하다. (C) 성분은 시판품을 사용해도 좋고, 예를 들면, 신에츠가가쿠고교(주) 제조「KBM-7103」,「오프툴 DSX」 등을 들 수 있다. Among them, examples of the component (C) include 3,3,3-trifluoropropyltrimethoxysilane, and a perfluoro (poly) ether group-containing alkoxysilane compound. These may be used singly or in combination of two or more kinds. Among them, 3,3,3-trifluoropropyltrimethoxysilane is preferable as the component (C). As the component (C), a commercially available product may be used, and for example, "KBM-7103" manufactured by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. and "Off-tool DSX"

본 발명의 수지 조성물 중에 함유되는 (C) 성분의 형태는 특별히 한정되지 않지만, 하기 (i) 내지 (iii)의 형태로 수지 조성물 중에 함유하는 것이 바람직하며, (i) 또는 (iii)의 형태로 수지 조성물 중에 함유하는 것이 보다 바람직하며, (i)의 형태로 수지 조성물 중에 함유하는 것이 더욱 바람직하다. 즉, (C) 성분은, (D) 성분의 표면 처리제로서 수지 조성물 중에 함유하는 것이 바람직하다. The form of the component (C) contained in the resin composition of the present invention is not particularly limited, but is preferably contained in the resin composition in the form of the following (i) to (iii) More preferably contained in the resin composition, more preferably in the form of (i). That is, the component (C) is preferably contained in the resin composition as the surface treating agent for the component (D).

(i) (C) 성분이 (D) 성분의 표면 처리제로서 함유(i) the component (C) is contained as the surface treatment agent of the component (D)

(ii) (C) 성분 단독으로 수지 조성물 중에 함유(ii) the component (C) is contained alone in the resin composition

(iii) (C) 성분이 (D) 성분의 표면 처리제로서 함유하고 있는 동시에, (C) 성분 단독으로 수지 조성물 중에 함유(iii) the component (C) is contained as the surface treating agent of the component (D), and the component (C)

「(C) 성분이 (D) 성분의 표면 처리제로서 함유」란, (D) 성분이 (C) 성분으로 표면 처리되어 있는 것을 나타낸다. 이 경우, (C) 성분은 통상, (D) 성분의 표면에 있다. 또한,「(C) 성분 단독으로 수지 조성물 중에 함유」란, (C) 성분이 (D) 성분의 표면 처리제로서 함유하고 있지 않은 것을 나타낸다. 또한, (C) 성분이 (D) 성분의 표면 처리제로서 함유하고 있지 않는 경우에는, (D) 성분은 수지 조성물 중에 유리하고 있어, 절연층 표면의 저조도화에 유효하다. The phrase "the component (C) contains the component (D) as a surface treatment agent" means that the component (D) is surface-treated with the component (C). In this case, the component (C) is usually present on the surface of the component (D). Incidentally, "(C) component alone in resin composition" means that component (C) is not contained as the surface treatment agent of component (D). When the component (C) is not contained as the surface treatment agent for the component (D), the component (D) is advantageous in the resin composition and is effective for lowering the surface of the insulating layer.

(C) 성분의 함유량은, (C) 성분 단독으로 수지 조성물 중에 함유하는 경우, 0.1질량% 이상이 바람직하며, 0.15질량% 이상이 보다 바람직하며, 0.2질량% 이상이 더욱 바람직하다. 상한은 특별히 한정되지 않지만, 10질량% 이하가 바람직하며, 8질량% 이하가 보다 바람직하며, 6질량% 이하가 더욱 바람직하다. When the component (C) is contained in the resin composition alone, the content of the component (C) is preferably 0.1% by mass or more, more preferably 0.15% by mass or more, and still more preferably 0.2% by mass or more. The upper limit is not particularly limited, but is preferably 10% by mass or less, more preferably 8% by mass or less, and further preferably 6% by mass or less.

(C) 성분을 (D) 성분의 표면 처리제로서 함유시키는 경우, (C) 성분에 의한 표면 처리의 정도는, 절연층 표면의 조도 및 도금 잠입 깊이를 낮게 하는 관점에서, (D) 성분 100질량부에 대해, 0.2질량부 내지 5질량부의 (C) 성분으로 표면 처리되어 있는 것이 바람직하며, 0.3질량부 내지 3질량부의 (C) 성분으로 표면 처리되어 있는 것이 보다 바람직하며, 0.5질량부 내지 2.5질량부의 (C) 성분으로 표면 처리되어 있는 것이 더욱 바람직하다. When the component (C) is contained as the surface treatment agent of the component (D), the degree of surface treatment with the component (C) is preferably from 100 parts by mass to 100 parts by mass from the viewpoint of lowering the surface roughness of the insulating layer, Is preferably surface-treated with 0.2 to 5 parts by mass of the component (C), more preferably 0.3 to 3 parts by mass of the component (C), more preferably 0.5 to 2.5 parts by mass And more preferably the surface treated with the component (C) in the mass part.

<(D) 무기 충전재><(D) Inorganic filler>

무기 충전재의 재료는 특별히 한정되지 않지만, 예를 들면, 실리카, 알루미나, 유리, 코디에라이트, 실리콘 산화물, 황산바륨, 탄산바륨, 활석, 점토, 운모 분말, 산화아연, 하이드로탈사이트, 베마이트, 수산화알루미늄, 수산화마그네슘, 탄산칼슘, 탄산마그네슘, 산화마그네슘, 질화붕소, 질화알루미늄, 질화망간, 붕산알루미늄, 탄산스트론튬, 티탄산스트론튬, 티탄산칼슘, 티탄산마그네슘, 티탄산비스무스, 산화티탄, 산화지르코늄, 티탄산바륨, 티탄산지르콘산바륨, 지르콘산바륨, 지르콘산칼슘, 인산지르코늄, 및 인산텅스텐산지르코늄 등을 들 수 있다. 이들 중에서도 실리카, 알루미나가 특히 적합하다. 또한 실리카로서는 구형 실리카가 바람직하다. 무기 충전재는 1종 단독으로 사용해도 좋고, 2종 이상을 조합하여 사용해도 좋다. The material of the inorganic filler is not particularly limited and may be, for example, silica, alumina, glass, cordierite, silicon oxide, barium sulfate, barium carbonate, talc, clay, mica powder, zinc oxide, hydrotalcite, Aluminum hydroxide, aluminum hydroxide, magnesium hydroxide, magnesium carbonate, magnesium oxide, boron nitride, aluminum nitride, manganese nitride, aluminum borate, strontium carbonate, strontium titanate, calcium titanate, magnesium titanate, bismuth titanate, titanium oxide, zirconium oxide, , Barium titanate zirconate, barium zirconate, calcium zirconate, zirconium phosphate, and zirconium tungstate phosphate. Of these, silica and alumina are particularly suitable. As the silica, spherical silica is preferable. The inorganic fillers may be used singly or in combination of two or more kinds.

무기 충전재의 평균 입자 직경은 특별히 한정되지 않지만, 표면 거칠기가 작은 절연층을 얻는 관점이나 미세 배선 형성성 향상의 과점에서, 바람직하게는 2㎛ 이하, 보다 바람직하게는 1.5㎛ 이하, 더욱 바람직하게는 1㎛ 이하이다. 당해 평균 입자 직경의 하한은, 특별히 한정되지 않지만, 바람직하게는 0.01㎛ 이상, 보다 바람직하게는 0.1㎛ 이상, 더욱 바람직하게는 0.3㎛ 이상이다. 이러한 평균 입자 직경을 갖는 무기 충전재의 시판품으로서는, 예를 들면, (주)아도마텍스 제조「YC100C」,「YA050C」,「YA050C-MJE」,「YA010C」, 덴키가가쿠고교(주) 제조「UFP-30」, (주)토쿠야마 제조「씰필 NSS-3N」,「씰필 NSS-4N」,「씰필 NSS-5N」, (주)아도마텍스 제조 「SO-C4」,「SO-C2」,「SO-C1」등을 들 수 있다. The average particle diameter of the inorganic filler is not particularly limited, but is preferably 2 탆 or less, more preferably 1.5 탆 or less in view of obtaining an insulating layer having a small surface roughness and improvement in fine wiring formation property, 1 mu m or less. The lower limit of the average particle diameter is not particularly limited, but is preferably 0.01 占 퐉 or more, more preferably 0.1 占 퐉 or more, and still more preferably 0.3 占 퐉 or more. Examples of commercially available inorganic fillers having such an average particle diameter include "YC100C", "YA050C", "YA050C-MJE", "YA010C" manufactured by Adomex Corporation, "YA010C" manufactured by Denki Kagaku Kogyo Co., 4 "," Seal Pill NSS-5N "," SO-C4 "and" SO-C2 "manufactured by Adomex Co., , &Quot; SO-C1 &quot;, and the like.

무기 충전재의 평균 입자 직경은 미(Mie) 산란 이론에 기초하는 레이저 회절·산란법에 의해 측정할 수 있다. 구체적으로는 레이저 회절 산란식 입도 분포 측정 장치에 의해, 무기 충전재의 입도 분포를 체적 기준으로 작성하고, 그 메디안 직경을 평균 입자 직경으로 함으로써 측정할 수 있다. 측정 샘플은, 무기 충전재를 초음파에 의해 수중에 분산시킨 것을 바람직하게 사용할 수 있다. 레이저 회절 산란식 입도 분포 측정 장치로서는, (주)호리바세사쿠쇼 제조「LA-500」등을 사용할 수 있다. The average particle diameter of the inorganic filler can be measured by a laser diffraction / scattering method based on the Mie scattering theory. Specifically, the particle size distribution of the inorganic filler can be measured with a laser diffraction scattering type particle size distribution measuring apparatus, and the median diameter is determined as the average particle diameter. The measurement sample can be preferably those in which an inorganic filler is dispersed in water by ultrasonic waves. As the laser diffraction scattering type particle size distribution measuring apparatus, "LA-500" manufactured by Horiba Seisakusho Co., Ltd. and the like can be used.

무기 충전재는, 표면 처리제로 표면 처리되어 있는 것이 바람직하다. 표면 처리제로서는, (C) 성분, 및 (C) 성분 이외의 표면 처리제(이하,「기타 표면 처리제」라고도 한다)를 들 수 있다. 무기 충전재는, (C) 성분으로 표면 처리되어 있어도 좋고, 기타 표면 처리제로 표면 처리되어 있어도 좋다. 내습성 및 분산성을 높이고, 및 절연층 표면의 조도 및 도금 잠입 깊이를 낮게 하는 관점에서, (C) 성분으로 표면 처리되어 있는 것이 바람직하며, (C) 성분에 더하여 기타 표면 처리제로 표면 처리되어 있어도 좋다. The inorganic filler is preferably surface-treated with a surface treatment agent. As the surface treatment agent, there may be mentioned a surface treatment agent (hereinafter also referred to as "other surface treatment agent") other than the component (C) and the component (C). The inorganic filler may be surface-treated with the component (C), or may be surface-treated with other surface-treating agent. It is preferable that the surface treatment is performed with the component (C) in view of increasing the moisture resistance and dispersibility and lowering the roughness of the surface of the insulating layer and the depth of penetration of the plating. In addition to the component (C) There may be.

기타 표면 처리제로서는, 예를 들면 아미노실란계 커플링제, 에폭시실란계 커플링제, 머캅토실란계 커플링제, 알콕시실란계 화합물, 오르가노실라잔 화합물, 티타네이트계 커플링제 등을 들 수 있다. 이들은 1종 단독으로 사용해도 좋고, 2종 이상을 조합하여 사용해도 좋다. 이러한 기타 표면 처리제의 시판품으로서는, 예를 들면, 신에츠가가쿠고교(주) 제조「KBM-403」(3-글리시독시프로필트리메톡시실란), 신에츠가가쿠고교(주) 제조「KBM-803」(3-머캅토프로필트리메톡시실란), 신에츠가가쿠고교(주) 제조「KBE-903」(3-아미노프로필트리에톡시실란), 신에츠가가쿠고교(주) 제조「KBM-573」(N-페닐-3-아미노프로필트리메톡시실란), 신에츠가가쿠고교(주) 제조「SZ-31」(헥사메틸디실라잔), 신에츠가가쿠고교(주) 제조「KBM-103」(페닐트리메톡시실란), 신에츠가가쿠고교(주) 제조「KBM-4803」(장쇄 에폭시형 실란 커플링제) 등을 들 수 있다. Examples of other surface treating agents include amino silane coupling agents, epoxy silane coupling agents, mercaptosilane coupling agents, alkoxysilane compounds, organosilazane compounds and titanate coupling agents. These may be used singly or in combination of two or more kinds. Examples of commercially available products of such other surface treatment agents include "KBM-403" (3-glycidoxypropyltrimethoxysilane) manufactured by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd., "KBM-803 KBE-903 "(3-aminopropyltriethoxysilane) manufactured by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.," KBM-573 "manufactured by Shin-Etsu Chemical Co., (N-phenyl-3-aminopropyltrimethoxysilane), "SZ-31" (hexamethyldisilazane) manufactured by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd., "KBM-103" Phenyltrimethoxysilane), KBM-4803 (long-chain epoxy type silane coupling agent) manufactured by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd., and the like.

표면 처리제에 의한 표면 처리의 정도는, 무기 충전재의 단위 표면적당 카본량에 의해 평가할 수 있다. 무기 충전재의 단위 표면적당 카본량은, 무기 충전재의 분산성 향상의 관점에서, 0.05㎎/㎡ 이상이 바람직하며, 0.1㎎/㎡ 이상이 보다 바람직하며, 0.2㎎/㎡ 이상이 더욱 바람직하다. 한편, 수지 바니쉬의 용융 점도나 시트 형태에서의 용융 점도의 상승을 방지하는 관점에서, 1㎎/㎡ 이하가 바람직하며, 0.8㎎/㎡ 이하가 보다 바람직하며, 0.5㎎/㎡ 이하가 더욱 바람직하다. 무기 충전재의 단위 표면적당 카본량은, 후술하는 <단위 표면적당 카본량의 산출>에 기재된 방법에 따라 측정할 수 있다. The degree of the surface treatment by the surface treatment agent can be evaluated by the amount of carbon per unit surface area of the inorganic filler. The carbon content per unit surface area of the inorganic filler is preferably 0.05 mg / m 2 or more, more preferably 0.1 mg / m 2 or more, and still more preferably 0.2 mg / m 2 or more from the viewpoint of improving the dispersibility of the inorganic filler. On the other hand, it is preferably 1 mg / m 2 or less, more preferably 0.8 mg / m 2 or less, still more preferably 0.5 mg / m 2 or less from the viewpoint of preventing the melt viscosity of the resin varnish or the melt viscosity in the sheet form from rising . The amount of carbon per unit surface area of the inorganic filler can be measured according to the method described in &quot; Calculation of carbon amount per unit surface area &quot;

수지 조성물 중의 무기 충전재의 함유량은, 열팽창율이 낮은 절연층을 얻는 관점에서, 바람직하게는 60질량% 이상, 보다 바람직하게는 65질량% 이상, 더욱 바람직하게는 70질량% 이상이다. 수지 조성물 중의 무기 충전재의 함유량의 상한은, 절연층의 기계 강도의 관점에서, 바람직하게는 95질량% 이하, 보다 바람직하게는 90질량% 이하, 더욱 바람직하게는 85질량% 이하이다. (D) 성분이 (C) 성분으로 표면 처리되어 있는 경우, 상기 무기 충전재의 함유량은 (C) 성분을 함유한 함유량이다. The content of the inorganic filler in the resin composition is preferably 60% by mass or more, more preferably 65% by mass or more, and even more preferably 70% by mass or more from the viewpoint of obtaining an insulating layer having a low thermal expansion coefficient. The upper limit of the content of the inorganic filler in the resin composition is preferably 95% by mass or less, more preferably 90% by mass or less, still more preferably 85% by mass or less from the viewpoint of the mechanical strength of the insulating layer. When the component (D) is surface-treated with the component (C), the content of the inorganic filler is the content containing the component (C).

<(E) 열가소성 수지>&Lt; (E) Thermoplastic resin >

본 발명의 수지 조성물은, (A) 내지 (D) 성분 외에 (E) 열가소성 수지를 함유하고 있어도 좋다. The resin composition of the present invention may contain (E) a thermoplastic resin in addition to the components (A) to (D).

열가소성 수지로서는, 예를 들면, 페녹시 수지, 폴리비닐아세탈 수지, 폴리올레핀 수지, 폴리부타디엔 수지, 폴리이미드 수지, 폴리아미드이미드 수지, 폴리에테르이미드 수지, 폴리설폰 수지, 폴리에테르설폰 수지, 폴리페닐렌에테르 수지, 폴리카보네이트 수지, 폴리에테르에테르케톤 수지, 폴리에스테르 수지를 들 수 있고, 페녹시 수지가 바람직하다. 열가소성 수지는 1종 단독으로 사용해도 좋고, 또는 2종 이상을 조합하여 사용해도 좋다. Examples of the thermoplastic resin include thermoplastic resins such as phenoxy resin, polyvinyl acetal resin, polyolefin resin, polybutadiene resin, polyimide resin, polyamideimide resin, polyetherimide resin, polysulfone resin, polyether sulfone resin, Ether resins, polycarbonate resins, polyether ether ketone resins, and polyester resins. Phenoxy resins are preferred. The thermoplastic resin may be used singly or in combination of two or more kinds.

열가소성 수지의 폴리스티렌 환산의 중량 평균 분자량은 8,000 내지 70,000의 범위가 바람직하며, 10,000 내지 60,000의 범위가 보다 바람직하며, 20,000 내지 60,000의 범위가 더욱 바람직하다. 열가소성 수지의 폴리스티렌 환산의 중량 평균 분자량은, 겔 침투 크로마토그래피(GPC)법으로 측정된다. 구체적으로는, 열가소성 수지의 폴리스티렌 환산의 중량 평균 분자량은, 측정 장치로서 (주)시마즈세사쿠쇼 제조 LC-9A/RID-6A를, 칼럼으로서 쇼와덴코(주) 제조 Shodex K-800P/K-804L/K-804L을, 이동상으로서 클로로포름 등을 사용하여, 칼럼 온도를 40℃에서 측정하여, 표준 폴리스티렌의 검량선을 사용하여 산출할 수 있다. The weight average molecular weight of the thermoplastic resin in terms of polystyrene is preferably in the range of 8,000 to 70,000, more preferably in the range of 10,000 to 60,000, and still more preferably in the range of 20,000 to 60,000. The weight average molecular weight of the thermoplastic resin in terms of polystyrene is measured by a gel permeation chromatography (GPC) method. Specifically, the weight average molecular weight of the thermoplastic resin in terms of polystyrene was measured using LC-9A / RID-6A manufactured by Shimadzu Corporation as a measuring device and Shodex K-800P / K (manufactured by Showa Denko K.K. -804L / K-804L as a mobile phase, chloroform at a column temperature of 40 占 폚, and using a standard polystyrene calibration curve.

페녹시 수지로서는, 예를 들면, 비스페놀 A 골격, 비스페놀 F 골격, 비스페놀 S 골격, 비스페놀아세트페논 골격, 노볼락 골격, 비페닐 골격, 플루오렌 골격, 디사이클로펜타디엔 골격, 노르보르넨 골격, 나프탈렌 골격, 안트라센 골격, 아다만탄 골격, 테르펜 골격, 및 트리메틸사이클로헥산 골격으로 이루어지는 그룹으로부터 선택되는 1종 이상의 골격을 갖는 페녹시 수지를 들 수 있다. 페녹시 수지의 말단은, 페놀성 수산기, 에폭시기 등의 어느 관능기라도 좋다. 페녹시 수지는 1종 단독으로 사용해도 좋고, 2종 이상을 조합하여 사용해도 좋다. 페녹시 수지의 구체예로서는, 미쯔비시가가쿠(주) 제조의「1256」및「4250」(모두 비스페놀 A 골격 함유 페녹시 수지),「YX8100BH30」(비스페놀 S 골격 함유 페녹시 수지), 및 「YX6954BH30」(비스페놀아세트페논 골격 함유 페녹시 수지)를 들 수 있고, 그 외에도, 신닛테츠스미킨가가쿠(주) 제조의「FX280」및「FX293」, 미쯔비시가가쿠(주) 제조의「YX6954BH30」,「YX7553BH30」,「YL7769BH30」,「YL6794BH30」,「YL7213BH30」,「YL7290BH30」및「YL7482BH30」등을 들 수 있다. Examples of the phenoxy resin include bisphenol A skeleton, bisphenol F skeleton, bisphenol S skeleton, bisphenol acetophenone skeleton, novolac skeleton, biphenyl skeleton, fluorene skeleton, dicyclopentadiene skeleton, norbornene skeleton, A phenoxy resin having at least one skeleton selected from the group consisting of a skeleton, an anthracene skeleton, an adamantane skeleton, a terpene skeleton, and a trimethyl cyclohexane skeleton. The terminal of the phenoxy resin may be any functional group such as a phenolic hydroxyl group or an epoxy group. The phenoxy resin may be used singly or in combination of two or more kinds. Specific examples of the phenoxy resin include "1256" and "4250" (both phenol resins containing a bisphenol A skeleton), "YX8100BH30" (phenoxy resin containing a bisphenol S skeleton), and "YX6954BH30" (Phenoxy resin containing a bisphenylacetophenone skeleton). In addition, "FX280" and "FX293" manufactured by Shinnitetsu Sumikin Kagaku Co., Ltd., "YX6954BH30" and "YX7553BH30" manufactured by Mitsubishi Kagaku Co., , "YL7769BH30", "YL6794BH30", "YL7213BH30", "YL7290BH30", and "YL7482BH30"

폴리비닐아세탈 수지로서는, 예를 들면, 폴리비닐포르말 수지, 폴리비닐부티랄 수지를 들 수 있고, 폴리비닐부티랄 수지가 바람직하다. 폴리비닐아세탈 수지의 구체예로서는, 예를 들면, 덴키가가쿠고교(주) 제조의「덴카부티랄 4000-2」,「덴카부티랄 5000-A」,「덴카부티랄 6000-C」,「덴카부티랄 6000-EP」, 세키스이가가쿠고교(주) 제조의 에스렉 BH 시리즈, BX 시리즈(예를 들면 BX-5Z), KS 시리즈(예를 들면 KS-1), BL 시리즈, BM 시리즈 등을 들 수 있다. Examples of the polyvinyl acetal resin include a polyvinyl formal resin and a polyvinyl butyral resin, and a polyvinyl butyral resin is preferable. Specific examples of the polyvinyl acetal resin include "DENKA BUTYLAL 4000-2", "DENKA BUTYLAL 5000-A", "DENKA BUTYLAL 6000-C" and "DENKA BUTYLAL 6000-C" manufactured by Denki Kagaku Kogyo Co., (Eg, BX-5Z), KS series (eg KS-1), BL series, BM series, etc., manufactured by Sekisui Chemical Co., .

폴리이미드 수지의 구체예로서는, 신니혼리카(주) 제조의「리카코트 SN20」및「리카코트 PN20」을 들 수 있다. 폴리이미드 수지의 구체예로서는 또한, 2관능성 하이드록실기 말단 폴리부타디엔, 디이소시아네이트 화합물 및 4염기산 무수물을 반응시켜 얻어지는 선상 폴리이미드(일본 공개특허공보 제2006-37083호에 기재된 폴리이미드), 폴리실록산 골격 함유 폴리이미드(일본 공개특허공보 제2002-12667호 및 일본 공개특허공보 제2000-319386호 등에 기재된 폴리이미드) 등의 변성 폴리이미드를 들 수 있다. Specific examples of the polyimide resin include "Rika Coat SN20" and "Rika Coat PN20" manufactured by Shin-Nihon Rika K.K. Specific examples of the polyimide resin include linear polyimide (polyimide described in JP-A No. 2006-37083) obtained by reacting bifunctional hydroxyl-terminated polybutadiene, diisocyanate compound and tetrabasic acid anhydride, polysiloxane And modified polyimides such as skeleton-containing polyimide (Japanese Unexamined Patent Application Publication No. 2002-12667 and Japanese Unexamined Patent Publication No. 2000-319386, etc.).

폴리아미드이미드 수지의 구체예로서는, 토요보세키(주) 제조의「바이로맥스 HR11NN」및「바이로맥스 HR16NN」을 들 수 있다. 폴리아미드이미드 수지의 구체예로서는 또한, 히타치가세이고교(주) 제조의「KS9100」,「KS9300」(폴리실록신 골격 함유 폴리아미드이미드) 등의 변성 폴리아미드이미드를 들 수 있다. Specific examples of the polyamide-imide resin include "Viromax HR11NN" and "Viromax HR16NN" manufactured by Toyobo Co., Ltd. Specific examples of the polyamide-imide resin include modified polyamideimides such as "KS9100" and "KS9300" (polysiloxane skeleton-containing polyamideimide) manufactured by Hitachi Chemical Co., Ltd.

폴리에테르설폰 수지의 구체예로서는, 스미토모가가쿠(주) 제조의「PES5003P」등을 들 수 있다. Specific examples of the polyether sulfone resin include "PES 5003P" manufactured by Sumitomo Chemical Co., Ltd., and the like.

폴리페닐렌에테르 수지의 구체예로서는, 미쯔비시가스가가쿠(주) 제조의 올리고페닐렌에테르·스티렌 수지「OPE-2St 1200」등을 들 수 있다. Specific examples of the polyphenylene ether resin include an oligophenylene ether styrene resin "OPE-2St 1200" manufactured by Mitsubishi Gas Kagaku Co., Ltd., and the like.

폴리설폰 수지의 구체예로서는, 솔베이어드밴스트폴리머즈(주) 제조의 폴리설폰「P1700」,「P3500」등을 들 수 있다. Specific examples of the polysulfone resin include polysulfone "P1700" and "P3500" manufactured by Solvay Advanced Polymers Co., Ltd.

이 중에서도, 열가소성 수지로서는, 페녹시 수지, 폴리비닐아세탈 수지가 바람직하다. 따라서 적합한 일 실시형태에 있어서, 열가소성 수지는, 페녹시 수지 및 폴리비닐아세탈 수지로 이루어지는 그룹으로부터 선택되는 1종 이상을 함유한다. Among them, a phenoxy resin and a polyvinyl acetal resin are preferable as the thermoplastic resin. Accordingly, in a preferred embodiment, the thermoplastic resin contains at least one member selected from the group consisting of a phenoxy resin and a polyvinyl acetal resin.

수지 조성물이 열가소성 수지를 함유하는 경우, 열가소성 수지의 함유량은, 바람직하게는 0.5질량% 내지 10질량%, 보다 바람직하게는 0.6질량% 내지 5질량%, 더욱 바람직하게는 0.7질량% 내지 3질량%이다. When the resin composition contains a thermoplastic resin, the content of the thermoplastic resin is preferably 0.5% by mass to 10% by mass, more preferably 0.6% by mass to 5% by mass, still more preferably 0.7% by mass to 3% to be.

<(F) 경화 촉진제><(F) Curing accelerator>

본 발명의 수지 조성물은, (A) 내지 (D) 성분 외에 (F) 경화 촉진제를 함유하고 있어도 좋다. The resin composition of the present invention may contain a curing accelerator (F) in addition to the components (A) to (D).

경화 촉진제로서는, 예를 들면, 인계 경화 촉진제, 아민계 경화 촉진제, 이미다졸계 경화 촉진제, 구아니딘계 경화 촉진제, 금속계 경화 촉진제 등을 들 수 있고, 인계 경화 촉진제, 아민계 경화 촉진제, 이미다졸계 경화 촉진제, 금속계 경화 촉진제가 바람직하며, 아민계 경화 촉진제, 이미다졸계 경화 촉진제, 금속계 경화 촉진제가 보다 바람직하다. 경화 촉진제는, 1종 단독으로 사용해도 좋고, 2종 이상을 조합하여 사용해도 좋다. Examples of the curing accelerator include phosphorus hardening accelerators, amine hardening accelerators, imidazole hardening accelerators, guanidine hardening accelerators and metal hardening accelerators. Phosphorus hardening accelerators, amine hardening accelerators, imidazole hardening accelerators, Accelerators and metal curing accelerators are preferable, and amine curing accelerators, imidazole curing accelerators and metal curing accelerators are more preferable. The curing accelerator may be used singly or in combination of two or more kinds.

인계 경화 촉진제로서는, 예를 들면, 트리페닐포스핀, 포스포늄보레이트 화합물, 테트라페닐포스포늄테트라페닐보레이트, n-부틸포스포늄테트라페닐보레이트, 테트라부틸포스포늄데칸산염, (4-메틸페닐)트리페닐포스포늄티오시아네이트, 테트라페닐포스포늄티오시아네이트, 부틸트리페닐포스포늄티오시아네이트 등을 들 수 있고, 트리페닐포스핀, 테트라부틸포스포늄데칸산염이 바람직하다. Examples of phosphorus hardening accelerators include triphenylphosphine, phosphonium borate compounds, tetraphenylphosphonium tetraphenylborate, n-butylphosphonium tetraphenylborate, tetrabutylphosphonium decanoate, (4-methylphenyl) triphenyl Phosphonium thiocyanate, tetraphenylphosphonium thiocyanate, butyltriphenylphosphonium thiocyanate, and the like, and triphenylphosphine and tetrabutylphosphonium decanoate are preferable.

아민계 경화 촉진제로서는, 예를 들면, 트리에틸아민, 트리부틸아민 등의 트리알킬아민, 4-디메틸아미노피리딘, 벤질디메틸아민, 2,4,6-트리스(디메틸아미노메틸)페놀, 1,8-디아자비사이클로(5,4,0)-운데센 등을 들 수 있고, 4-디메틸아미노피리딘, 1,8-디아자비사이클로(5,4,0)-운데센이 바람직하다. Examples of the amine-based curing accelerator include trialkylamines such as triethylamine and tributylamine, 4-dimethylaminopyridine, benzyldimethylamine, 2,4,6-tris (dimethylaminomethyl) -Diazabicyclo (5,4,0) undecene, and 4-dimethylaminopyridine and 1,8-diazabicyclo (5,4,0) -undecene are preferred.

이미다졸계 경화 촉진제로서는, 예를 들면, 2-메틸이미다졸, 2-운데실이미다졸, 2-헵타데실이미다졸, 1,2-디메틸이미다졸, 2-에틸-4-메틸이미다졸, 1,2-디메틸이미다졸, 2-에틸-4-메틸이미다졸, 2-페닐이미다졸, 2-페닐-4-메틸이미다졸, 1-벤질-2-메틸이미다졸, 1-벤질-2-페닐이미다졸, 1-시아노에틸-2-메틸이미다졸, 1-시아노에틸-2-운데실이미다졸, 1-시아노에틸-2-에틸-4-메틸이미다졸, 1-시아노에틸-2-페닐이미다졸, 1-시아노에틸-2-운데실이미다졸륨트리메리테이트, 1-시아노에틸-2-페닐이미다졸륨트리메리테이트, 2,4-디아미노-6-[2'-메틸이미다졸릴-(1')]-에틸-s-트리아진, 2,4-디아미노-6-[2'-운데실이미다졸릴-(1')]-에틸-s-트리아진, 2,4-디아미노-6-[2'-에틸-4'-메틸이미다졸릴-(1')]-에틸-s-트리아진, 2,4-디아미노-6-[2'-메틸이미다졸릴-(1')]-에틸-s-트리아진이소시아눌산 부가물, 2-페닐이미다졸이소시아눌산 부가물, 2-페닐-4,5-디하이드록시메틸이미다졸, 2-페닐-4-메틸-5-하이드록시메틸이미다졸, 2,3-디하이드로-1H-피롤로[1,2-a]벤즈이미다졸, 1-도데실-2-메틸-3-벤질이미다졸륨클로라이드, 2-메틸이미다졸린, 2-페닐이미다졸린 등의 이미다졸 화합물 및 이미다졸 화합물과 에폭시 수지의 어덕트체를 들 수 있고, 2-에틸-4-메틸이미다졸, 1-벤질-2-페닐이미다졸이 바람직하다. Examples of the imidazole-based curing accelerator include 2-methylimidazole, 2-undecylimidazole, 2-heptadecylimidazole, 1,2-dimethylimidazole, Imidazole, 1,2-dimethylimidazole, 2-ethyl-4-methylimidazole, 2-phenylimidazole, 2-phenyl- Benzyl-2-phenylimidazole, 1-cyanoethyl-2-methylimidazole, 1-cyanoethyl-2-undecylimidazole, 1-cyanoethyl- 4-methylimidazole, 1-cyanoethyl-2-phenylimidazole, 1-cyanoethyl-2-undecylimidazolium trimellitate, 1-cyanoethyl- Trimellitate, 2,4-diamino-6- [2'-methylimidazolyl- (1 ')] -ethyl-s-triazine, 2,4- diamino-6- [ Imidazolyl- (1 ')] - ethyl-s-triazine, 2,4-diamino-6- [2'-ethyl-4'-methylimidazolyl- Triazine, 2,4-diamino-6- [2'-methylimidazolyl- (1 ')] - ethyl- , 2-phenylimidazole isocyanuric acid adduct, 2-phenyl-4,5-dihydroxymethylimidazole, 2-phenyl-4-methyl-5-hydroxymethylimidazole, 2,3- Dihydro-1H-pyrrolo [1,2-a] benzimidazole, 1-dodecyl-2-methyl-3-benzylimidazolium chloride, 2-methylimidazoline and 2-phenylimidazoline An imidazole compound, and an adduct of an imidazole compound and an epoxy resin, and 2-ethyl-4-methylimidazole and 1-benzyl-2-phenylimidazole are preferable.

이미다졸계 경화 촉진제로서는, 시판품을 사용해도 좋고, 예를 들면, 미쯔비시가가쿠(주) 제조의「P200-H50」등을 들 수 있다. As the imidazole-based curing accelerator, a commercially available product may be used, and for example, "P200-H50" manufactured by Mitsubishi Kagaku Co., Ltd. and the like can be mentioned.

구아니딘계 경화 촉진제로서는, 예를 들면, 디시안디아미드, 1-메틸구아니딘, 1-에틸구아니딘, 1-사이클로헥실구아니딘, 1-페닐구아니딘, 1-(o-톨릴)구아니딘, 디메틸구아니딘, 디페닐구아니딘, 트리메틸구아니딘, 테트라메틸구아니딘, 펜타메틸구아니딘, 1,5,7-트리아자비사이클로[4.4.0]데카-5-엔, 7-메틸-1,5,7-트리아자비사이클로[4.4.0]데카-5-엔, 1-메틸비구아니드, 1-에틸비구아니드, 1-n-부틸비구아니드, 1-n-옥타데실비구아니드, 1,1-디메틸비구아니드, 1,1-디에틸비구아니드, 1-사이클로헥실비구아니드, 1-알릴비구아니드, 1-페닐비구아니드, 1-(o-톨릴)비구아니드 등을 들 수 있고, 디시안디아미드, 1,5,7-트리아자비사이클로[4.4.0]데카-5-엔이 바람직하다. Examples of the guanidine curing accelerator include dicyandiamide, 1-methylguanidine, 1-ethylguanidine, 1-cyclohexylguanidine, 1-phenylguanidine, 1- (o-tolyl) guanidine, dimethylguanidine, , Trimethylguanidine, tetramethylguanidine, pentamethylguanidine, 1,5,7-triazabicyclo [4.4.0] deca-5-ene, 7-methyl-1,5,7-triazabicyclo [ 1-n-butylbiguanide, 1-n-octadecylbiguanide, 1,1-dimethylbiguanide, 1, 1-cyclohexylbiguanide, 1-allylbiguanide, 1-phenylbiguanide, 1- (o-tolyl) biguanide, and the like, and dicyandiamide, 1,5,7-triazabicyclo [4.4.0] deca-5-ene is preferred.

금속계 경화 촉진제로서는, 예를 들면, 코발트, 구리, 아연, 철, 니켈, 망간, 주석 등의 금속의, 유기 금속 착제 또는 유기 금속염을 들 수 있다. 유기 금속 착체의 구체예로서는, 코발트(II)아세틸아세토네이트, 코발트(III)아세틸아세토네이트 등의 유기 코발트 착체, 구리(II)아세틸아세토네이트 등의 유기 구리 착체, 아연(II)아세틸아세토네이트 등의 유기 아연 착체, 철(III)아세틸아세토네이트 등의 유기 철 착체, 니켈(II)아세틸아세토네이트 등의 유기 니켈 착체, 망간(II)아세틸아세토네이트 등의 유기 망간 착체 등을 들 수 있다. 유기 금속염으로서는, 예를 들면, 옥틸산아연, 옥틸산주석, 나프텐산아연, 나프텐산코발트, 스테아르산주석, 스테아르산아연 등을 들 수 있다. Examples of the metal-based curing accelerator include organic metal complexes or organic metal salts of metals such as cobalt, copper, zinc, iron, nickel, manganese and tin. Specific examples of the organometallic complexes include organic cobalt complexes such as cobalt (II) acetylacetonate and cobalt (III) acetylacetonate, organic copper complexes such as copper (II) acetylacetonate, zinc An organic iron complex such as an organic zinc complex and iron (III) acetylacetonate, an organic nickel complex such as nickel (II) acetylacetonate, and an organic manganese complex such as manganese (II) acetylacetonate. Examples of the organic metal salt include zinc octylate, tin octylate, zinc naphthenate, cobalt naphthenate, tin stearate and zinc stearate.

수지 조성물 중의 경화 촉진제의 함유량은 특별히 한정되지 않지만, 에폭시 수지와 경화제의 불휘발 성분을 100질량%로 했을 때, 0.01질량% 내지 9질량%가 바람직하다. Although the content of the curing accelerator in the resin composition is not particularly limited, it is preferably 0.01% by mass to 9% by mass based on 100% by mass of the nonvolatile component of the epoxy resin and the curing agent.

<(G) 난연제><(G) Flame Retardant>

본 발명의 수지 조성물은, 난연제를 함유하고 있지 않아도 난연성이 우수하지만, (G) 난연제를 함유하고 있어도 좋다. 난연제로서는, 예를 들면, 유기 인계 난연제, 유기계 질소 함유 인 화합물, 질소 화합물, 금속 수산화물 등을 들 수 있다. 난연제는 1종 단독으로 사용해도 좋고, 또는 2종 이상을 병용해도 좋다. The resin composition of the present invention is excellent in flame retardancy even if it does not contain a flame retardant, but may contain a flame retardant (G). Examples of the flame retardant include organic phosphorus flame retardants, organic nitrogen-containing phosphorus compounds, nitrogen compounds, metal hydroxides, and the like. The flame retardant may be used alone, or two or more flame retardants may be used in combination.

난연제로서는, 시판품을 사용해도 좋고, 예를 들면, 산코(주) 제조의「HCA-HQ」, 오하치가가쿠고교(주) 제조의「PX-200」등을 들 수 있다. As the flame retardant, a commercially available product may be used, for example, "HCA-HQ" manufactured by Sanko Co., Ltd., "PX-200" manufactured by Ohachi Kagaku Kogyo Co.,

수지 조성물이 난연제를 함유하는 경우, 난연제의 함유량은 특별히 한정되지 않지만, 바람직하게는 0.5질량% 내지 20질량%, 보다 바람직하게는 0.5질량% 내지 15질량%, 더욱 바람직하게는 0.5질량% 내지 10질량%가 더욱 바람직하다. When the resin composition contains a flame retardant, the content of the flame retardant is not particularly limited, but is preferably 0.5% by mass to 20% by mass, more preferably 0.5% by mass to 15% by mass, further preferably 0.5% by mass to 10% % By mass is more preferable.

<(H) 유기 충전재><(H) Organic filler>

수지 조성물은, 연신을 향상시키는 관점에서, (H) 유기 충전재를 함유해도 좋다. 유기 충전재로서는, 프린트 배선판의 절연층을 형성할 때에 사용할 수 있는 임의의 유기 충전재를 사용하면 좋으며, 예를 들면, 고무 입자, 폴리아미드 미립자, 실리콘 입자 등을 들 수 있다. The resin composition may contain (H) an organic filler in order to improve stretching. As the organic filler, any organic filler that can be used in forming the insulating layer of the printed wiring board may be used, and examples thereof include rubber particles, polyamide fine particles, and silicon particles.

고무 입자로서는, 시판품을 사용해도 좋고, 예를 들면, 다우·케미칼니혼(주) 제조「EXL2655」, 간츠가세이(주) 제조「AC3816N」등을 들 수 있다. As the rubber particles, a commercially available product may be used, for example, "EXL2655" manufactured by Dow Chemical Co., Ltd., "AC3816N" manufactured by Gansu Kasei Co., Ltd., and the like.

수지 조성물이 유기 충전재를 함유하는 경우, 유기 충전재의 함유량은, 바람직하게는 0.1질량% 내지 20질량%, 보다 바람직하게는 0.2질량% 내지 10질량%, 더욱 바람직하게는 0.3질량% 내지 5질량%, 또는 0.5질량% 내지 3질량%이다. When the resin composition contains an organic filler, the content of the organic filler is preferably 0.1% by mass to 20% by mass, more preferably 0.2% by mass to 10% by mass, still more preferably 0.3% by mass to 5% , Or 0.5% by mass to 3% by mass.

<(I) 임의의 첨가제>&Lt; (I) Optional additives >

수지 조성물은, 추가로 필요에 따라, 기타 첨가제를 함유하고 있어도 좋고, 이러한 기타 첨가제로서는, 예를 들면, 유기 구리 화합물, 유기 아연 화합물 및 유기 코발트 화합물 등의 유기 금속 화합물, 및 증점제, 소포제, 레벨링제, 밀착성 부여제, 및 착색제 등의 수지 첨가제 등을 들 수 있다. The resin composition may further contain other additives as required. Examples of such other additives include organic metal compounds such as organic copper compounds, organic zinc compounds and organic cobalt compounds, and thickeners, defoaming agents, leveling agents An adhesion promoter, and a resin additive such as a colorant.

또한, 수지 조성물은, 플렉시블한 프린트 배선판을 제조하는 관점에서, 분자 내에 폴리부타디엔 구조, 우레탄 구조, 이미드 구조, 및 분자 말단에 페놀 구조를 갖는 폴리이미드 수지를 추가로 함유시키는 것이 바람직하다. 당해 폴리이미드 수지를 함유하는 경우, 함유량은 바람직하게는 10질량% 내지 85질량%, 보다 바람직하게는 15질량% 내지 50질량%, 더욱 바람직하게는 20질량% 내지 30질량%이다. From the viewpoint of producing a flexible printed wiring board, it is preferable that the resin composition further contains a polybutadiene structure, a urethane structure, an imide structure, and a polyimide resin having a phenol structure at the molecular terminals in the molecule. When the polyimide resin is contained, the content is preferably 10% by mass to 85% by mass, more preferably 15% by mass to 50% by mass, and still more preferably 20% by mass to 30% by mass.

당해 폴리이미드의 상세는, 국제공개 제2008/153208호의 기재를 참작할 수 있으며, 이 내용은 본 명세서에 포함된다. The details of the polyimide may be taken into account in the description of WO 2008/153208, the contents of which are incorporated herein.

본 발명의 수지 조성물은, 열경화물의 표면의 조도, 필 강도, 도금 잠입 깊이, 부품 매립성, 및 난연성이 양호한 절연층을 초래한다. 따라서 본 발명의 수지 조성물은, 프린트 배선판의 절연층을 형성하기 위한 수지 조성물(프린트 배선판의 절연층용 수지 조성물)로서 적합하게 사용할 수 있고, 프린트 배선판의 층간 절연층을 형성하기 위한 수지 조성물(프린트 배선판의 층간 절연층용 수지 조성물)로서 보다 적합하게 사용할 수 있다. 또한, 본 발명의 수지 조성물은, 부품 매립성이 양호한 절연층을 초래하기 때문에, 프린트 배선판이 부품 내장 회로판인 경우에도 적합하게 사용할 수 있다. INDUSTRIAL APPLICABILITY The resin composition of the present invention results in an insulating layer having good surface roughness, fill strength, plating immersion depth, parts embedding property, and flame retardancy of the thermosetting resin. Therefore, the resin composition of the present invention can be suitably used as a resin composition (resin composition for an insulating layer of a printed wiring board) for forming an insulating layer of a printed wiring board, and can be used as a resin composition for forming an interlayer insulating layer of a printed wiring board (For example, a resin composition for an interlaminar insulating layer). Further, the resin composition of the present invention can be suitably used even in the case where the printed wiring board is a component built-in circuit board, because it results in an insulating layer having a good part filling property.

[시트상 적층 재료][Sheet-like laminated material]

본 발명의 수지 조성물은, 바니쉬 상태로 도포하여 사용할 수도 있지만, 공업적으로는 일반적으로, 당해 수지 조성물을 함유하는 시트상 적층 재료의 형태로 사용하는 것이 적합하다. The resin composition of the present invention can be applied in the form of a varnish, and is industrially generally used in the form of a sheet-like laminate material containing the resin composition.

시트상 적층 재료로서는, 이하에 나타내는 수지 시트, 프리프레그가 바람직하다. As the sheet-like laminated material, the following resin sheet and prepreg are preferable.

일 실시형태에 있어서, 수지 시트는, 지지체와, 당해 지지체와 접합하고 있는 수지 조성물층을 포함하여 이루어지며, 수지 조성물층이 본 발명의 수지 조성물로 형성된다. In one embodiment, the resin sheet comprises a support and a resin composition layer bonded to the support, wherein the resin composition layer is formed from the resin composition of the present invention.

수지 조성물층의 두께는, 바람직하게는 900㎛ 이하, 보다 바람직하게는 800㎛ 이하, 더욱 바람직하게는 700㎛ 이하, 더욱 보다 바람직하게는 600㎛ 이하이다. 특히 본 발명은 도금 잠입 깊이를 작게 억제할 수 있기 때문에, 30㎛ 이하가 바람직하며, 20㎛ 이하가 보다 바람직하며, 10㎛ 이하가 더욱 바람직하다. 수지 조성물층의 두께의 하한은, 특별히 한정되지 않지만, 통상, 1㎛ 이상, 1.5㎛ 이상, 2㎛ 이상 등으로 할 수 있다. The thickness of the resin composition layer is preferably 900 占 퐉 or less, more preferably 800 占 퐉 or less, further preferably 700 占 퐉 or less, and still more preferably 600 占 퐉 or less. Particularly, in the present invention, it is preferable that the depth is less than 30 占 퐉, more preferably not more than 20 占 퐉, and further preferably not more than 10 占 퐉. The lower limit of the thickness of the resin composition layer is not particularly limited, but may be usually 1 占 퐉 or more, 1.5 占 퐉 or more, 2 占 퐉 or more, and the like.

지지체로서는, 예를 들면, 플라스틱 재료로 이루어지는 필름, 금속박, 이형지를 들 수 있고, 플라스틱 재료로 이루어지는 필름, 금속박이 바람직하다. As the support, for example, a film made of a plastic material, a metal foil and a release paper can be mentioned, and a film or a metal foil made of a plastic material is preferable.

지지체로서 플라스틱 재료로 이루어지는 필름을 사용하는 경우, 플라스틱 재료로서는, 예를 들면, 폴리에틸렌테레프탈레이트(이하,「PET」라고 약칭하는 경우가 있다.), 폴리에틸렌나프탈레이트(이하「PEN」이라고 약칭하는 경우가 있다.) 등의 폴리에스테르, 폴리카보네이트(이하「PC」라고 약칭하는 경우가 있다.), 폴리메틸메타크릴레이트(PMMA) 등의 아크릴, 환상 폴리올레핀, 트리아세틸셀룰로스(TAC), 폴리에테르설파이드(PES), 폴리에테르케톤, 폴리이미드 등을 들 수 있다. 이 중에서도, 폴리에틸렌테레프탈레이트, 폴리에틸렌나프탈레이트가 바람직하며, 염가의 폴리에틸렌테레프탈레이트가 특히 바람직하다. In the case of using a film made of a plastic material as a support, examples of the plastic material include polyethylene terephthalate (hereinafter abbreviated as "PET"), polyethylene naphthalate (hereinafter abbreviated as "PEN" (Hereinafter sometimes abbreviated as "PC") and polymethyl methacrylate (PMMA), cyclic polyolefins, triacetyl cellulose (TAC), polyether sulfide (PES), polyether ketone, polyimide and the like. Of these, polyethylene terephthalate and polyethylene naphthalate are preferable, and inexpensive polyethylene terephthalate is particularly preferable.

지지체로서 금속박을 사용하는 경우, 금속박으로서는, 예를 들면, 구리박, 알루미늄박 등을 들 수 있고, 구리박이 바람직하다. 구리박으로서는, 구리의 단금속으로 이루어지는 박을 사용해도 좋고, 구리와 다른 금속(예를 들면, 주석, 크롬, 은, 마그네슘, 니켈, 지르코늄, 규소, 티탄 등)과의 합금으로 이루어지는 박을 사용해도 좋다. In the case of using a metal foil as a support, examples of the metal foil include copper foil and aluminum foil, and copper foil is preferable. As the copper foil, a foil made of a single metal of copper may be used, or a foil made of an alloy of copper and another metal (for example, tin, chromium, silver, magnesium, nickel, zirconium, It is also good.

지지체는 수지 조성물층과 접합하는 면에 매트 처리, 코로나 처리를 가하고 있어도 좋다. The support may be subjected to a mat treatment or a corona treatment on the surface to be bonded to the resin composition layer.

또한, 지지체로서는, 수지 조성물층과 접합하는 면에 이형층을 갖는 이형층 부착 지지체를 사용해도 좋다. 이형층 부착 지지체의 이형층에 사용하는 이형제로서는, 예를 들면, 알키드 수지, 폴리올레핀 수지, 우레탄 수지, 및 실리콘 수지로 이루어지는 그룹으로부터 선택되는 1종 이상의 이형제를 들 수 있다. 이형층 부착 지지체는, 시판품을 사용해도 좋고, 예를 들면, 알키드 수지계 이형제를 주성분으로 하는 이형층을 갖는 PET 필름인, 린텍(주) 제조의「SK-1」,「AL-5」,「AL-7」, 토레(주) 제조「루미라 T6AM」등을 들 수 있다. As the support, a support having a release layer having a release layer on the surface to be bonded to the resin composition layer may be used. Examples of the release agent used for the release layer of the release layer-adhered support include at least one release agent selected from the group consisting of an alkyd resin, a polyolefin resin, a urethane resin, and a silicone resin. The release layer-adhered support may be a commercially available product, and examples thereof include "SK-1", "AL-5" and "AL-5", each of which is a PET film having a release layer composed mainly of an alkyd resin- AL-7 &quot; manufactured by Toray Industries, Inc., and &quot; LUMIRA T6AM &quot;

지지체의 두께로서는, 특별히 한정되지 않지만, 5㎛ 내지 75㎛의 범위가 바람직하며, 10㎛ 내지 60㎛의 범위가 보다 바람직하다. 또한, 이형층 부착 지지체를 사용하는 경우, 이형층 부착 지지체 전체의 두께가 상기 범위인 것이 바람직하다.The thickness of the support is not particularly limited, but is preferably in the range of 5 탆 to 75 탆, more preferably in the range of 10 탆 to 60 탆. When a release layer-adhered support is used, it is preferable that the thickness of the entirety of the release layer-adhered support is in the above range.

수지 시트는, 예를 들면, 유기 용제에 수지 조성물을 용해한 수지 바니쉬를 조제하고, 이 수지 바니쉬를, 다이코터 등을 사용하여 지지체 위에 도포하고, 다시 건조시켜 수지 조성물층을 형성시킴으로써 제조할 수 있다. The resin sheet can be produced, for example, by preparing a resin varnish obtained by dissolving a resin composition in an organic solvent, coating the resin varnish on a support using a die coater or the like, and drying the resin varnish again to form a resin composition layer .

유기 용제로서는, 예를 들면, 아세톤, 메틸에틸케톤(MEK) 및 사이클로헥산온 등의 케톤류, 아세트산에틸, 아세트산부틸, 셀로솔브아세테이트, 프로필렌글리콜모노메틸에테르아세테이트 및 카르비톨아세테이트 등의 아세트산에스테르류, 셀로솔브 및 부틸카르비톨 등의 카르비톨류, 톨루엔 및 크실렌 등의 방향족 탄화수소류, 디메틸포름아미드, 디메틸아세트아미드(DMAc) 및 N-메틸피롤리돈 등의 아미드계 용매 등을 들 수 있다. 유기 용제는 1종 단독으로 사용해도 좋고, 2종 이상을 조합하여 사용해도 좋다. Examples of the organic solvent include ketones such as acetone, methyl ethyl ketone (MEK) and cyclohexanone, acetic acid esters such as ethyl acetate, butyl acetate, cellosolve acetate, propylene glycol monomethyl ether acetate and carbitol acetate, Carbitol such as cellosolve and butyl carbitol, aromatic hydrocarbons such as toluene and xylene, and amide solvents such as dimethylformamide, dimethylacetamide (DMAc) and N-methylpyrrolidone. The organic solvent may be used singly or in combination of two or more kinds.

건조는, 가열, 열풍 분사 등의 공지의 방법에 의해 실시하면 좋다. 건조 조건은 특별히 한정되지 않지만, 수지 조성물층 중의 유기 용제의 함유량이 10질량% 이하, 바람직하게는 5질량% 이하가 되도록 건조시킨다. 수지 바니쉬 중의 유기 용제의 비점에 따라서도 상이하지만, 예를 들면 30질량% 내지 60질량%의 유기 용제를 함유하는 수지 바니쉬를 사용하는 경우, 50℃ 내지 150℃에서 3분간 내지 10분간 건조시킴으로써, 수지 조성물층을 형성할 수 있다. Drying may be carried out by a known method such as heating, hot air blowing, or the like. The drying conditions are not particularly limited, but the drying is carried out so that the content of the organic solvent in the resin composition layer is 10 mass% or less, preferably 5 mass% or less. When a resin varnish containing, for example, 30% by mass to 60% by mass of an organic solvent is used, it is dried at 50 ° C to 150 ° C for 3 minutes to 10 minutes, A resin composition layer can be formed.

수지 시트에 있어서, 수지 조성물층의 지지체와 접합하고 있지 않은 면(즉, 지지체와는 반대측의 면)에는, 지지체에 준한 보호 필름을 추가로 적층할 수 있다. 보호 필름의 두께는, 특별히 한정되는 것은 아니지만, 예를 들면, 1㎛ 내지 40㎛이다. 보호 필름을 적층함으로써, 수지 조성물층의 표면으로의 먼지 등의 부착이나 흠집을 방지할 수 있다. 수지 시트는 롤상으로 감아 보존하는 것이 가능하다. 수지 시트가 보호 필름을 갖는 경우, 보호 필름을 박리함으로써 사용 가능해진다. In the resin sheet, a protective film according to the support may be further laminated on the surface of the resin composition layer not bonded to the support (i.e., the surface opposite to the support). The thickness of the protective film is not particularly limited, but is, for example, 1 m to 40 m. By laminating a protective film, it is possible to prevent adhesion and scratching of dust or the like to the surface of the resin composition layer. The resin sheet can be rolled up and stored. When the resin sheet has a protective film, it can be used by peeling the protective film.

일 실시형태에 있어서, 프리프레그는 시트상 섬유 기재에 본 발명의 수지 조성물을 함침시켜 형성된다. In one embodiment, the prepreg is formed by impregnating a sheet-like fibrous substrate with the resin composition of the present invention.

프리프레그에 사용하는 시트상 섬유 기재는 특별히 한정되지 않으며, 글래스 크로스, 아라미드 부직포, 액정 중합체 부직포 등의 프리프레그용 기재로서 상용되고 있는 것을 사용할 수 있다. 프린트 배선판의 박형화의 관점에서, 시트상 섬유 기재의 두께는, 바람직하게는 900㎛ 이하이고, 보다 바람직하게는 800㎛ 이하, 더욱 바람직하게는 700㎛ 이하, 더욱 보다 바람직하게는 600㎛ 이하이다. 특히 본 발명은 도금 잠입 깊이를 작게 억제할 수 있기 때문에, 30㎛ 이하가 바람직하며, 20㎛ 이하가 보다 바람직하며, 10㎛ 이하가 더욱 바람직하다. 시트상 섬유 기재의 두께의 하한은 특별히 한정되지 않지만, 통상, 1㎛ 이상, 1.5㎛ 이상, 2㎛ 이상 등으로 할 수 있다. The sheet-like fibrous substrate used in the prepreg is not particularly limited, and those commonly used as prepreg substrates such as glass cloth, aramid nonwoven fabric, and liquid crystal polymer nonwoven fabric can be used. From the viewpoint of reducing the thickness of the printed wiring board, the thickness of the sheet-like fibrous base material is preferably 900 占 퐉 or less, more preferably 800 占 퐉 or less, further preferably 700 占 퐉 or less, still more preferably 600 占 퐉 or less. Particularly, in the present invention, it is preferable that the depth is less than 30 占 퐉, more preferably not more than 20 占 퐉, and further preferably not more than 10 占 퐉. The lower limit of the thickness of the sheet-like fibrous base material is not particularly limited, but may be usually 1 占 퐉 or more, 1.5 占 퐉 or more, 2 占 퐉 or more, or the like.

프리프레그는 핫멜트법, 솔벤트법 등의 공지의 방법에 의해 제조할 수 있다. The prepreg can be produced by a known method such as a hot melt method or a solvent method.

프리프레그의 두께는, 상기의 수지 시트에 있어서의 수지 조성물층과 같은 범위로 할 수 있다. The thickness of the prepreg can be the same as that of the resin composition layer in the above resin sheet.

시트상 적층 재료에 있어서의 수지 조성물층(프리프레그의 경우는 시트상 섬유 기재에 함침된 수지 조성물)의 최저 용융 점도는, 양호한 부품 매립성을 얻는 관점에서, 바람직하게는 12000poise(1200Pa·s) 이하, 보다 바람직하게는 10000poise(1000Pa·s) 이하, 더욱 바람직하게는 8000poise(800Pa·s) 이하, 5000poise(500Pa·s) 이하, 또는 4000poise(400Pa·s) 이하이다. 당해 최저 용융 점도의 하한은, 수지 조성물층이 얇아도 두께를 안정적으로 유지한다는 관점에서, 100poise(10Pa·s) 이상이 바람직하며, 200poise(20Pa·s) 이상이 보다 바람직하며, 250poise(25Pa·s) 이상이 더욱 바람직하다. The minimum melt viscosity of the resin composition layer in the sheet-like laminated material (in the case of the prepreg, the resin composition impregnated into the sheet-like fiber substrate) is preferably 12000 poise (1200 Pa · s) More preferably not more than 10000 poise (1000 Pa · s), even more preferably not more than 8000 poise (800 Pa · s), not more than 5000 poise (500 Pa · s), or not more than 4000 poise (400 Pa · s). The lower limit of the lowest melt viscosity is preferably 100 poise (10 Pa · s) or higher, more preferably 200 poise (20 Pa · s) or higher, and more preferably 250 poise (25 Pa · s) s) or more is more preferable.

수지 조성물층의 최저 용융 점도란, 수지 조성물층의 수지가 용융되었을 때에 수지 조성물층이 나타내는 최저 점도를 말한다. 상세하게는, 일정한 승온 속도로 수지 조성물층을 가열하여 수지를 용융시키면, 초기 단계는 용융 점도가 온도 상승과 함께 저하되고, 그 후, 어느 정도를 초과하면 온도 상승과 함께 용융 점도가 상승된다. 최저 용융 점도란, 이러한 극소점의 용융 점도를 말한다. 수지 조성물층의 최저 용융 점도는, 동적 점탄성법에 의해 측정할 수 있고, 예를 들면, 후술하는 <수지 조성물층의 최저 용융 점도의 측정>에 기재된 방법에 따라 측정할 수 있다. The lowest melt viscosity of the resin composition layer means the lowest viscosity exhibited by the resin composition layer when the resin of the resin composition layer is melted. Specifically, when the resin composition is heated by heating at a constant heating rate to melt the resin, the melt viscosity of the resin is lowered along with the temperature rise in the initial stage, and thereafter, the melt viscosity increases with the temperature rise. The lowest melt viscosity refers to the melt viscosity of such a minimum point. The minimum melt viscosity of the resin composition layer can be measured by a dynamic viscoelasticity method and can be measured, for example, by the method described in &quot; Measurement of Minimum Melting Viscosity of Resin Composition Layer &quot;

본 발명의 수지 조성물(또는 수지 조성물층)의 경화물(예를 들면 수지 조성물을 190℃에서 90분간 열경화)은, 난연성이 우수하다는 특성을 나타낸다. 당해 난연성은, UL-94V의 규격에 기초한 V-0 또는 그것보다 우수한 것이 바람직하다. 난연성의 평가는, 후술하는 <난연성의 평가>에 기재된 방법에 따라 측정할 수 있다.The cured product of the resin composition (or the resin composition layer) of the present invention (for example, thermosetting the resin composition at 190 캜 for 90 minutes) exhibits excellent flame retardancy. The flame retardancy is preferably V-0 based on the UL-94V standard or better. The evaluation of the flame retardancy can be carried out according to the method described in &quot; evaluation of flame retardancy &quot;

[프린트 배선판][Printed circuit board]

본 발명의 프린트 배선판은, 본 발명의 수지 조성물의 경화물에 의해 형성된 절연층을 포함한다. The printed wiring board of the present invention includes an insulating layer formed by a cured product of the resin composition of the present invention.

예를 들면, 본 발명의 프린트 배선판은, 상기의 수지 시트를 사용하여, 하기 (I) 및 (II)의 공정을 포함하는 방법에 의해 제조할 수 있다. For example, the printed wiring board of the present invention can be produced by a method including the following steps (I) and (II) using the above resin sheet.

(I) 내층 기판 위에, 수지 시트를, 당해 수지 시트의 수지 조성물층이 내층 기판과 접합하도록 적층하는 공정(I) Step of laminating a resin sheet on the inner layer substrate and the resin composition layer of the resin sheet to be bonded to the inner layer substrate

(II) 수지 조성물층을 열경화하여 절연층을 형성하는 공정(II) a step of thermally curing the resin composition layer to form an insulating layer

공정 (I)에서 사용하는「내층 기판」이란, 주로, 유리 에폭시 기판, 금속 기판, 폴리에스테르 기판, 폴리이미드 기판, BT 레진 기판, 열경화형 폴리페닐렌에테르 기판 등의 기판, 또는 당해 기판의 편면 또는 양면에 패턴 가공된 도체층(회로)이 형성된 회로 기판을 말한다. 또한 프린트 배선판을 제조할 때에, 추가로 절연층 및/또는 도체층이 형성되어야 하는 중간 제조물의 내층 회로 기판도 본 발명에서 말하는「내층 기판」에 포함된다. 프린트 배선판이 부품 내장 회로판인 경우, 부품을 내장한 내층 기판을 사용하면 좋다(도체층은 배선층이라고도 한다). The term &quot; inner layer substrate &quot; used in the step (I) mainly refers to a substrate such as a glass epoxy substrate, a metal substrate, a polyester substrate, a polyimide substrate, a BT resin substrate, a thermosetting polyphenylene ether substrate, Or circuit boards (circuits) patterned on both sides are formed. Further, when manufacturing a printed wiring board, an inner layer circuit board of an intermediate product in which an insulating layer and / or a conductor layer is to be formed is also included in the &quot; inner layer board &quot; When the printed wiring board is a component built-in circuit board, an inner-layer board containing the components may be used (the conductor layer is also referred to as a wiring layer).

내층 기판과 수지 시트의 적층은, 예를 들면, 지지체측에서 수지 시트를 내층 기판에 가열 압착함으로써 수행할 수 있다. 수지 시트를 내층 기판에 가열 압착하는 부재(이하「가열 압착 부재」라고도 한다.)로서는, 예를 들면, 가열된 금속판(SUS 경판 등) 또는 금속 롤(SUS 롤) 등을 들 수 있다. 또한, 가열 압착 부재를 수지 시트에 직접 프레스하지 않고, 내층 기판의 표면 요철에 수지 시트가 충분히 추수(追隨)하도록, 내열 고무 등의 탄성재를 개재하여 프레스하는 것이 바람직하다.The lamination of the inner layer substrate and the resin sheet can be performed, for example, by heating and pressing the resin sheet to the inner layer substrate on the support side. Examples of the member for heating and pressing the resin sheet to the inner layer substrate (hereinafter also referred to as &quot; hot pressing member &quot;) include a heated metal plate (SUS hard plate) or a metal roll (SUS roll). It is also preferable to press the heat-press member through an elastic material such as heat-resistant rubber so that the resin sheet is sufficiently harvested on the surface unevenness of the inner layer substrate without directly pressing the heat-press member on the resin sheet.

내층 기판과 수지 시트의 적층은, 진공 라미네이트법에 의해 실시하면 좋다. 진공 라미네이트법에 있어서, 가열 압착 온도는, 바람직하게는 60℃ 내지 160℃, 보다 바람직하게는 80℃ 내지 140℃의 범위이고, 가열 압착 압력은, 바람직하게는 0.098MPa 내지 1.77MPa, 보다 바람직하게는 0.29MPa 내지 1.47MPa의 범위이고, 가열 압착 시간은, 바람직하게는 20초간 내지 400초간, 보다 바람직하게는 30초간 내지 300초간의 범위이다. 적층은, 바람직하게는 압력 26.7hPa 이하의 감압 조건하에서 실시한다.The lamination of the inner layer substrate and the resin sheet may be performed by a vacuum lamination method. In the vacuum laminating method, the heat-pressing temperature is preferably in the range of 60 占 폚 to 160 占 폚, more preferably 80 占 폚 to 140 占 폚, the heat pressing pressure is preferably 0.098 MPa to 1.77 MPa, Is in the range of 0.29 MPa to 1.47 MPa, and the heat pressing time is preferably in the range of 20 seconds to 400 seconds, more preferably 30 seconds to 300 seconds. The lamination is preferably performed under a reduced pressure of 26.7 hPa or less.

적층은 시판 진공 라미네이터에 의해 수행할 수 있다. 시판 진공 라미네이터로서는, 예를 들면, (주)메이키세사쿠쇼 제조의 진공 가압식 라미네이터, 니치고·모튼(주) 제조의 배큠어플리케이터 등을 들 수 있다. The lamination can be performed by a commercial vacuum laminator. As a commercially available vacuum laminator, for example, a vacuum pressurized laminator manufactured by Meikishesakusho Co., Ltd., a vacuum applicator manufactured by Nichigo Morton Co., Ltd., and the like can be given.

적층후에, 상압하(대기압하), 예를 들면, 가열 압착 부재를 지지체측에서 프레스함으로써, 적층된 수지 시트의 평활화 처리를 수행해도 좋다. 평활화 처리의 프레스 조건은, 상기 적층의 가열 압착 조건과 같은 조건으로 할 수 있다. 평활화 처리는, 시판 라미네이터에 의해 수행할 수 있다. 또한, 적층과 평활화 처리는, 상기의 시판 진공 라미네이터를 사용하여 연속적으로 수행해도 좋다. After lamination, the laminated resin sheet may be subjected to a smoothing treatment under atmospheric pressure (at atmospheric pressure), for example, by pressing the hot press member on the support side. The pressing condition of the smoothing treatment can be set to the same conditions as the hot pressing conditions of the lamination. The smoothing process can be performed by a commercial laminator. The lamination and smoothing may be performed continuously using the commercial vacuum laminator.

지지체는, 공정 (I)과 공정 (II) 사이에 제거해도 좋고, 공정 (II) 뒤에 제거해도 좋다. The support may be removed between the step (I) and the step (II), or may be removed after the step (II).

공정 (II)에 있어서, 수지 조성물층을 열경화하여 절연층을 형성한다. In the step (II), the resin composition layer is thermally cured to form an insulating layer.

수지 조성물층의 열경화 조건은 특별히 한정되지 않으며, 프린트 배선판의 절연층을 형성할 때에 통상 채용되는 조건을 사용하면 좋다. The thermosetting conditions of the resin composition layer are not particularly limited, and conditions that are generally employed when forming the insulating layer of the printed wiring board may be used.

예를 들면, 수지 조성물층의 열경화 조건은, 수지 조성물의 종류 등에 따라서도 상이하지만, 경화 온도는 120℃ 내지 240℃의 범위(바람직하게는 150℃ 내지 220℃의 범위, 보다 바람직하게는 170℃ 내지 200℃의 범위), 경화 시간은 5분간 내지 120분간의 범위(바람직하게는 10분간 내지 100분간, 보다 바람직하게는 15분간 내지 90분간)로 할 수 있다. For example, the thermosetting condition of the resin composition layer varies depending on the kind of the resin composition and the like, but the curing temperature is in the range of 120 캜 to 240 캜 (preferably in the range of 150 캜 to 220 캜, more preferably 170 ° C to 200 ° C), and the curing time is in the range of 5 minutes to 120 minutes (preferably 10 minutes to 100 minutes, more preferably 15 minutes to 90 minutes).

수지 조성물층을 열경화시키기 전에, 수지 조성물층을 경화 온도보다도 낮은 온도로 예비 가열해도 좋다. 예를 들면, 수지 조성물층을 열경화시키기에 앞서, 50℃ 이상 120℃ 미만(바람직하게는 60℃ 이상 110℃ 이하, 보다 바람직하게는 70℃ 이상 100℃ 이하)의 온도로, 수지 조성물층을 5분간 이상(바람직하게는 5분간 내지 150분간, 보다 바람직하게는 15분간 내지 120분간) 예비 가열해도 좋다. The resin composition layer may be preheated to a temperature lower than the curing temperature before thermosetting the resin composition layer. For example, before the resin composition layer is thermally cured, the resin composition layer is heated at a temperature of 50 ° C or more and less than 120 ° C (preferably 60 ° C or more and 110 ° C or less, more preferably 70 ° C or more and 100 ° C or less) It may be preheated for 5 minutes or more (preferably 5 minutes to 150 minutes, more preferably 15 minutes to 120 minutes).

프린트 배선판을 제조할 때에는, (III) 절연층에 구멍을 뚫는 공정, (IV) 절연층을 조화 처리하는 공정, (V) 도체층을 형성하는 공정을 추가로 실시해도 좋다. 이들 공정 (III) 내지 (V)은, 프린트 배선판의 제조에 사용되는, 당업자에게 공지된 각종 방법에 따라 실시하면 좋다. 또한, 지지체를 공정 (II) 후에 제거하는 경우, 당해 지지체의 제거는, 공정 (II)과 공정 (III) 사이, 공정 (III)과 공정 (IV) 사이, 또는 공정 (IV)과 공정 (V) 사이에 실시하면 좋다. In the production of the printed wiring board, (III) a step of punching the insulating layer, (IV) a step of roughening the insulating layer, and (V) a step of forming a conductor layer may be further carried out. These steps (III) to (V) may be carried out according to various methods known to those skilled in the art, which are used in the production of printed wiring boards. When the support is removed after the step (II), the removal of the support is carried out between the step (II) and the step (III), between the step (III) and the step (IV) ).

공정 (III)은, 절연층에 구멍을 뚫는 공정이며, 이것에 의해 절연층에 비아홀, 스루홀 등의 홀을 형성할 수 있다. 공정 (III)은, 절연층의 형성에 사용한 수지 조성물의 조성 등에 따라, 예를 들면, 드릴, 레이저, 플라즈마 등을 사용하여 실시하면 좋다. 홀의 치수나 형상은, 프린트 배선판의 디자인에 따라 적절히 결정하면 좋다. The step (III) is a step of making holes in the insulating layer, whereby holes such as via holes and through holes can be formed in the insulating layer. The step (III) may be carried out using, for example, a drill, a laser or a plasma, depending on the composition of the resin composition used for forming the insulating layer. The dimensions and shape of the holes may be suitably determined in accordance with the design of the printed wiring board.

공정 (IV)은, 절연층을 조화 처리하는 공정이다. 조화 처리의 수순, 조건은 특별히 한정되지 않으며, 프린트 배선판의 절연층을 형성할 때에 통상 사용되는 공지의 수순, 조건을 채용할 수 있다. 예를 들면, 팽윤액에 의한 팽윤 처리, 산화제에 의한 조화 처리, 중화액에 의한 중화 처리를 이 순으로 실시하여 절연층을 조화 처리할 수 있다. 팽윤액으로서는 특별히 한정되지 않지만, 알칼리 용액, 계면 활성제 용액 등을 들 수 있고, 바람직하게는 알칼리 용액이며, 당해 알칼리 용액으로서는, 수산화나트륨 용액, 수산화칼륨 용액이 보다 바람직하다. 시판되고 있는 팽윤액으로서는, 예를 들면, 아토텍재팬(주) 제조의「스웰링·딥·세큐리간스 P」,「스웰링·딥·세큐리간스 SBU」등을 들 수 있다. 팽윤액에 의한 팽윤 처리는, 특별히 한정되지 않지만, 예를 들면, 30℃ 내지 90℃의 팽윤액에 절연층을 1분간 내지 20분간 침지함으로써 수행할 수 있다. 절연층의 수지의 팽윤을 적절한 레벨로 억제하는 관점에서, 40℃ 내지 80℃의 팽윤액에 경화체를 5분간 내지 15분간 침지시키는 것이 바람직하다. 산화제(조화액)로서는, 특별히 한정되지 않지만, 예를 들면, 수산화나트륨의 수용액에 과망간산칼륨이나 과망간산나트륨을 용해한 알칼리성 과망간산 용액을 들 수 있다. 알칼리성 과망간산 용액 등의 산화제에 의한 조화 처리는, 60℃ 내지 80℃로 가열한 산화제 용액에 절연층을 10분간 내지 30분간 침지시켜 수행하는 것이 바람직하다. 또한, 알칼리성 과망간산 용액에 있어서의 과망간산염의 농도는 5질량% 내지 10질량%가 바람직하다. 시판되고 있는 산화제로서는, 예를 들면, 아토텍재팬(주) 제조의「콘센트레이트·콤팩트 CP」,「콘센트레이트·콤팩트 P」,「도징솔류션·세큐리간트 P」등의 알칼리성 과망간산 용액을 들 수 있다. 또한, 중화액으로서는, 산성의 수용액이 바람직하며, 시판품으로서는, 예를 들면, 아토텍재팬(주) 제조의「리덕션솔류션·세큐리간트 P」를 들 수 있다. 중화액에 의한 처리는, 산화제에 의한 조화 처리가 이루어진 처리면을 30℃ 내지 80℃의 중화액에 5분간 내지 30분간 침지시킴으로써 수행할 수 있다. 작업성 등의 점에서, 산화제에 의한 조화 처리가 이루어진 대상물을, 40℃ 내지 70℃의 중화액에 5분간 내지 20분간 침지하는 방법이 바람직하다. Step (IV) is a step of roughening the insulating layer. The procedure and condition of the roughening treatment are not particularly limited, and a well-known procedure and conditions usually used in forming the insulating layer of the printed wiring board can be adopted. For example, the swelling treatment with a swelling liquid, the coarsening treatment with an oxidizing agent, and the neutralization treatment with a neutralizing liquid can be carried out in this order to roughen the insulating layer. The swelling liquid is not particularly limited, but an alkaline solution, a surfactant solution and the like can be mentioned, and an alkaline solution is preferable, and a sodium hydroxide solution and a potassium hydroxide solution are more preferable as the alkaline solution. Examples of swelling solutions that are commercially available include Swelling Dip Sicergans P, Swelling Dip Sicuregans SBU manufactured by Atotech Japan Co., Ltd., and the like. The swelling treatment by the swelling liquid is not particularly limited, and can be carried out, for example, by immersing the insulating layer in a swelling solution at 30 캜 to 90 캜 for 1 minute to 20 minutes. From the viewpoint of suppressing the swelling of the resin in the insulating layer to an appropriate level, it is preferable to immerse the cured body in a swelling liquid at 40 占 폚 to 80 占 폚 for 5 minutes to 15 minutes. The oxidizing agent (conditioning solution) is not particularly limited, and for example, an alkaline permanganic acid solution obtained by dissolving potassium permanganate or sodium permanganate in an aqueous solution of sodium hydroxide can be mentioned. The roughening treatment with an oxidizing agent such as an alkaline permanganic acid solution is preferably carried out by immersing the insulating layer in an oxidizing agent solution heated at 60 ° C to 80 ° C for 10 minutes to 30 minutes. The concentration of the permanganate in the alkaline permanganic acid solution is preferably 5% by mass to 10% by mass. Examples of commercially available oxidizing agents include alkaline permanganic acid solutions such as "Concentrate Compact CP", "Concentrate Compact P" and "Dozing Solution · Sicery Gant P" manufactured by Atotech Japan Co., . As the neutralization solution, an acidic aqueous solution is preferable, and as a commercially available product, for example, "Reduction Solution · Sucrygant P" manufactured by Atotech Japan Co., Ltd. may be mentioned. The treatment with the neutralizing liquid can be carried out by immersing the treated surface subjected to the roughening treatment with the oxidizing agent in a neutralizing solution at 30 ° C to 80 ° C for 5 minutes to 30 minutes. From the standpoint of workability and the like, it is preferable to immerse the object subjected to the roughening treatment with an oxidizing agent in a neutralizing solution at 40 to 70 캜 for 5 to 20 minutes.

공정 (V)은 도체층을 형성하는 공정이다. Step (V) is a step of forming a conductor layer.

도체층에 사용하는 도체 재료는 특별히 한정되지 않는다. 적합한 실시형태에서는, 도체층은, 금, 백금, 팔라듐, 은, 구리, 알루미늄, 코발트, 크롬, 아연, 니켈, 티탄, 텅스텐, 철, 주석 및 인듐으로 이루어지는 그룹으로부터 선택되는 1종 이상의 금속을 함유한다. 도체층은, 단금속층이라도 합금층이라도 좋고, 합금층으로서는, 예를 들면, 상기의 그룹으로부터 선택되는 2종 이상의 금속의 합금(예를 들면, 니켈·크롬 합금, 구리·니켈 합금 및 구리·티탄 합금)으로 형성된 층을 들 수 있다. 이 중에서도, 도체층 형성의 범용성, 비용, 패터닝의 용이성 등의 관점에서, 크롬, 니켈, 티탄, 알루미늄, 아연, 금, 팔라듐, 은 또는 구리의 단금속층, 또는 니켈·크롬 합금, 구리·니켈 합금, 구리·티탄 합금의 합금층이 바람직하며, 크롬, 니켈, 티탄, 알루미늄, 아연, 금, 팔라듐, 은 또는 구리의 단금속층, 또는 니켈·크롬 합금의 합금층이 보다 바람직하며, 구리의 단금속층이 더욱 바람직하다.The conductor material used for the conductor layer is not particularly limited. In a preferred embodiment, the conductor layer contains at least one metal selected from the group consisting of gold, platinum, palladium, silver, copper, aluminum, cobalt, chromium, zinc, nickel, titanium, tungsten, do. The conductor layer may be a single metal layer or an alloy layer. Examples of the alloy layer include alloys of two or more metals selected from the above-mentioned group (for example, nickel-chromium alloy, copper-nickel alloy, Alloy). Among them, a single metal layer of chromium, nickel, titanium, aluminum, zinc, gold, palladium, silver or copper, or a nickel-chromium alloy, a copper-nickel alloy And an alloy layer of a copper-titanium alloy is preferable and a single metal layer of chromium, nickel, titanium, aluminum, zinc, gold, palladium, silver or copper or an alloy layer of a nickel- chromium alloy is more preferable, Is more preferable.

도체층은, 단층 구조라도, 상이한 종류의 금속 또는 합금으로 이루어지는 단금속층 또는 합금층이 2층 이상 적층된 복층 구조라도 좋다. 도체층이 복층 구조인 경우, 절연층과 접하는 층은, 크롬, 아연 또는 티탄의 단금속층, 또는 니켈·크롬 합금의 합금층인 것이 바람직하다. The conductor layer may have a single-layer structure or a multi-layer structure in which two or more single-metal layers or alloy layers made of different kinds of metals or alloys are stacked. When the conductor layer has a multilayer structure, the layer in contact with the insulating layer is preferably a single metal layer of chromium, zinc or titanium, or an alloy layer of a nickel-chromium alloy.

도체층의 두께는, 원하는 프린트 배선판의 디자인에 따르지만, 일반적으로 3 내지 35㎛, 바람직하게는 5 내지 30㎛이다. The thickness of the conductor layer depends on the design of the desired printed wiring board, but is generally from 3 to 35 mu m, preferably from 5 to 30 mu m.

일 실시형태에 있어서, 도체층은, 도금에 의해 형성하면 좋다. 예를 들면, 세미어디티브법, 풀어디티브법 등의 종래 공지의 기술에 의해 절연층의 표면에 도금하여, 원하는 배선 패턴을 갖는 도체층을 형성할 수 있다. 이하, 도체층을 세미어디티브법에 의해 형성하는 예를 나타낸다. In one embodiment, the conductor layer may be formed by plating. For example, a conductor layer having a desired wiring pattern can be formed by plating the surface of the insulating layer by a conventionally known technique such as a semi-custom method or a pull-on-wet method. Hereinafter, an example in which the conductor layer is formed by the semi-

우선, 절연층의 표면에, 무전해 도금에 의해 도금 시드층을 형성한다. 이어서, 형성된 도금 시드층 위에, 원하는 배선 패턴에 대응하여 도금 시드층의 일부를 노출시키는 마스크 패턴을 형성한다. 노출된 도금 시드층 위에, 전해 도금에 의해 금속층을 형성한 후, 마스크 패턴을 제거한다. 그 후, 불필요한 도금 시드층을 에칭 등에 의해 제거하여, 원하는 배선 패턴을 갖는 도체층을 형성할 수 있다. First, a plating seed layer is formed on the surface of the insulating layer by electroless plating. Subsequently, a mask pattern is formed on the formed plating seed layer to expose a part of the plating seed layer corresponding to the desired wiring pattern. A metal layer is formed on the exposed plating seed layer by electrolytic plating, and then the mask pattern is removed. Thereafter, an unnecessary plating seed layer is removed by etching or the like, and a conductor layer having a desired wiring pattern can be formed.

본 발명의 수지 조성물은, 부품 매립성이 양호한 절연층을 초래하기 때문에, 프린트 배선판이 부품 내장 회로판인 경우에도 적합하게 사용할 수 있다. The resin composition of the present invention can be suitably used even in the case where the printed wiring board is a component built-in circuit board, because it results in an insulating layer having a good part embedding property.

이러한 부품 내장 회로판의 제조 방법으로서는, As such a method for manufacturing the component built-in circuit board,

(i) 대향하는 제1 및 제2 주면을 가지며, 당해 제1 및 제2 주면 사이를 관통하는 캐비티가 형성된 내층 기판과, 내층 기판의 제2 주면과 접합하고 있는 가부착 재료와, 내층 기판의 캐비티의 내부에 있어서 가부착 재료에 의해 가부착된 부품을 포함하는, 부품 가부착 내층 기판을 준비하는 공정,(i) an inner layer substrate having opposing first and second main surfaces, the inner layer substrate having a cavity formed therebetween, and a bonding material bonded to a second major surface of the inner layer substrate, A step of preparing an inner layer substrate to which the component is attached, the inner layer substrate including a component adhered to the inner surface of the cavity by a bonding material,

(ii) 본 발명의 수지 시트를, 수지 조성물층이 내층 기판의 제1 주면과 접합하도록 적층하는 공정,(ii) a step of laminating the resin sheet of the present invention such that the resin composition layer is bonded to the first main surface of the inner layer substrate,

(iii) 내층 기판의 제2 주면으로부터 가부착 재료를 박리하는 공정,(iii) a step of peeling the attachment material from the second main surface of the inner layer substrate,

(iv) 수지 시트를, 수지 조성물층이 내층 기판의 제2 주면과 접합하도록 적층하는 공정, 및(iv) laminating the resin sheet so that the resin composition layer is bonded to the second main surface of the inner layer substrate, and

(v) 수지 조성물층을 열경화하는 공정, 을 포함한다. (v) thermally curing the resin composition layer.

도 1에 일례를 도시하는 바와 같이, 부품 가부착 내층 기판(100)(「캐비티 기판」이라고도 한다)은, 대향하는 제1 및 제2 주면(11, 12)을 가지며, 당해 제1 및 제2 주면 사이를 관통하는 캐비티(1a)가 형성된 내층 기판(1)과, 내층 기판(1)의 제2 주면(12)과 접합하고 있는 가부착 재료(2)와, 내층 기판(1)의 캐비티(1a)의 내부에 있어서 가부착 재료(2)에 의해 가부착된 부품(3)을 포함한다. 내층 기판(1)은, 비아 배선, 표면 배선 등의 회로 배선(4)을 구비하고 있어도 좋다. As shown in Fig. 1, an inner-layer substrate 100 (also referred to as a &quot; cavity substrate &quot;) having parts has first and second opposed main surfaces 11 and 12, An inner layer substrate 1 on which a cavity 1a penetrating between main surfaces is formed, a bonding material 2 bonded to the second main surface 12 of the inner layer substrate 1, (1a, 1b) includes a part (3) attached by a bonding material (2). The inner layer substrate 1 may be provided with circuit wiring 4 such as via wiring, surface wiring, and the like.

내층 기판에 형성되는 캐비티는, 내층 기판의 특성을 고려하여, 예를 들면, 드릴, 레이저, 플라즈마, 에칭 매체 등을 사용하는 공지의 방법에 의해 형성할 수 있다. 캐비티는 소정의 간격을 두고 복수 형성되어 있어도 좋고, 캐비티의 개구 형상은 특별히 한정되지 않으며, 직사각형, 원형, 대략 직사각형, 대략 원형 등의 임의의 형상으로 하면 좋다. The cavity formed in the inner layer substrate can be formed by a known method using, for example, a drill, a laser, a plasma, an etching medium or the like in consideration of the characteristics of the inner layer substrate. A plurality of cavities may be formed at predetermined intervals, and the shape of the opening of the cavity is not particularly limited, and may be any shape such as a rectangle, a circle, a substantially rectangular shape, and a substantially circular shape.

가부착 재료로서는, 부품을 가부착하기에 충분한 점착성을 나타내는 점착면을 갖는 한 특별히 제한되지 않으며, 부품 내장 회로판의 제조시에 종래 공지된 임의의 가부착 재료를 사용하면 좋다. 가부착 재료로서는, 예를 들면, (주)아리사와세사쿠쇼 제조의 PFDKE-1525TT(점착제 부여 폴리이미드 필름), 후루가와덴키고교(주) 제조의 UC 시리즈(웨이퍼 다이싱용 UV 테이프)를 들 수 있다. Is not particularly limited as long as it has an adhesive surface exhibiting sufficient tackiness for attaching the component, and any conventionally known adhesive material may be used in manufacturing the component built-in circuit board. Examples of the adhesive material include PFDKE-1525TT (a pressure-sensitive adhesive-imparted polyimide film) manufactured by ARISA and CERASAKO Co., Ltd. and UC series (UV tape for wafer dicing) manufactured by FURUKAWA DENKI KOGYO Co., .

부품은 캐비티를 개재하여 노출된 가부착 재료의 점착면에 가부착된다. 부품으로서는, 원하는 특성에 따라 적절한 전기 부품을 선택하면 좋으며, 예를 들면, 콘덴서, 인덕터, 저항, 적층 세라믹 콘덴서 등의 수동 부품, 반도체 베어칩 등의 능동 부품을 들 수 있다. 모든 캐비티에 동일한 부품을 사용해도 좋고, 캐비티별로 상이한 부품을 사용해도 좋다. The component is attached to the adhesive surface of the exposed adhesive material exposed through the cavity. As the component, an appropriate electric component may be selected according to a desired characteristic. For example, the component may be a passive component such as a capacitor, an inductor, a resistor, a multilayer ceramic capacitor, or an active component such as a semiconductor bare chip. The same parts may be used for all the cavities, or different parts may be used for each cavity.

공정 (ii)는 본 발명의 수지 시트를, 수지 조성물층이 내층 기판의 제1 주면과 접합하도록 적층하는 공정이다. 제1 주면과 수지 시트의 적층 조건은, 상기한 공정 (I)의 조건과 같으며, 바람직한 범위도 같다. Step (ii) is a step of laminating the resin sheet of the present invention so that the resin composition layer is bonded to the first main surface of the inner layer substrate. The lamination conditions of the first main surface and the resin sheet are the same as those of the above-mentioned step (I), and the preferable range is also the same.

내층 기판의 제1 주면에 수지 조성물층을 적층후, 수지 조성물층을 열경화시켜도 좋다. 수지 조성물층을 열경화하는 조건은, 상기한 공정 (II)의 조건과 같으며, 바람직한 범위도 같다. The resin composition layer may be laminated on the first main surface of the inner layer substrate, and then the resin composition layer may be thermally cured. The conditions for thermally curing the resin composition layer are the same as those of the above-mentioned step (II), and the preferable range is also the same.

공정 (iii)은, 내층 기판의 제2 주면으로부터 가부착 재료를 박리하는 공정이다. 가부착 재료의 박리는, 가부착 재료의 종류에 따라, 종래 공지의 방법에 따라 수행하면 좋다. Step (iii) is a step of peeling the attachment material from the second main surface of the inner layer substrate. The peeling of the attachment material may be carried out according to a conventionally known method depending on the kind of the attachment material.

공정 (iv)은 수지 시트를, 수지 조성물층이 내층 기판의 제2 주면과 접합하도록 적층하는 공정이다. 제2 주면과 수지 시트의 적층 조건은, 상기한 공정 (I)의 조건과 같으며, 바람직한 범위도 같다. 공정 (iv)에 있어서의 수지 조성물층은, 공정 (ii)에 있어서의 수지 조성물층과 동일한 수지 조성물층이라도 좋고, 상이한 수지 조성물층이라도 좋다. Step (iv) is a step of laminating the resin sheet so that the resin composition layer is bonded to the second main surface of the inner layer substrate. The lamination conditions of the second main surface and the resin sheet are the same as those of the above-mentioned step (I), and the preferable range is also the same. The resin composition layer in the step (iv) may be the same resin composition layer as the resin composition layer in the step (ii) or may be a different resin composition layer.

공정 (v)는 수지 조성물층을 열경화하는 공정이다. 수지 조성물층을 열경화하는 조건은, 상기한 공정 (II)의 조건과 같으며, 바람직한 범위도 같다. Step (v) is a step of thermally curing the resin composition layer. The conditions for thermally curing the resin composition layer are the same as those of the above-mentioned step (II), and the preferable range is also the same.

부품 내장 회로판의 제조 방법으로서는, 또한, 절연층에 구멍을 뚫는 공정(천공 공정), 절연층의 표면을 조화 처리하는 공정, 조화된 절연층 표면에 도체층을 형성하는 공정을 추가로 포함해도 좋다. 이들 공정은 상기한 바와 같다. The manufacturing method of the component built-in circuit board may further include a step of piercing the insulating layer (perforating step), a step of roughening the surface of the insulating layer, and a step of forming a conductive layer on the surface of the roughened insulating layer . These processes are as described above.

본 발명의 프린트 배선판은, 본 발명의 수지 시트의 수지 조성물층의 경화물인 절연층과, 절연층에 매립된 매립형 배선층을 구비하는 형태라도 좋다. The printed wiring board of the present invention may be provided with an insulating layer which is a cured product of the resin composition layer of the resin sheet of the present invention and a buried wiring layer embedded in the insulating layer.

이러한 프린트 배선판의 제조 방법으로서는, As a method for producing such a printed wiring board,

(1) 내층 기판과, 당해 기재의 적어도 한쪽 면에 설치된 배선층을 갖는 배선층 부착 기재를 준비하는 공정,(1) a step of preparing an inner layer substrate and a wiring layer-attached substrate having a wiring layer provided on at least one side of the substrate,

(2) 본 발명의 수지 시트를, 배선층이 수지 조성물층에 매립되도록, 배선층 부착 기재 위에 적층하고, 열경화시켜 절연층을 형성하는 공정,(2) a step of laminating the resin sheet of the present invention on a substrate with a wiring layer so that the wiring layer is embedded in the resin composition layer, and thermally curing the resin sheet to form an insulating layer;

(3) 배선층을 층간 접속하는 공정, 및(3) a step of interconnecting the wiring layers, and

(4) 기재를 제거하는 공정, 을 포함한다. (4) removing the substrate.

이 제조 방법에서 사용하는 내층 기판의 양면에는, 구리박 등으로 이루어지는 금속층을 갖는 것이 바람직하며, 금속층은 2층 이상의 금속층이 적층되어 있는 구성인 것이 보다 바람직하다. 공정 (1)의 상세는, 내층 기판 위에 드라이 필름(감광성 레지스트 필름)을 적층하고, 포토마스크를 사용하여 소정의 조건으로 노광, 현상하여 패턴 드라이 필름을 형성한다. 현상한 패턴 드라이 필름을 도금 마스크로 하여 전계 도금법에 의해 배선층을 형성한 후, 패턴 드라이 필름을 박리한다. It is preferable that the inner layer substrate used in this manufacturing method has a metal layer made of copper foil or the like on both sides thereof, and more preferably two or more metal layers are laminated on the metal layer. The details of the step (1) are as follows. A dry film (photosensitive resist film) is laminated on an inner layer substrate, and exposed and developed under a predetermined condition using a photomask to form a patterned dry film. Using the developed pattern dry film as a plating mask, an interconnection layer is formed by an electric field plating method, and then the pattern dry film is peeled off.

내층 기판과 드라이 필름의 적층 조건은, 상기한 공정 (II)의 조건과 같으며, 바람직한 범위도 같다. The lamination conditions of the inner layer substrate and the dry film are the same as those of the above-mentioned process (II), and the preferable range is also the same.

드라이 필름을 내층 기판 위에 적층후, 드라이 필름에 대해 원하는 패턴을 형성하기 위해 포토마스크를 사용하여 소정의 조건으로 노광, 현상을 수행한다. After the dry film is laminated on the inner layer substrate, exposure and development are performed under a predetermined condition using a photomask to form a desired pattern on the dry film.

배선층의 라인(회로폭)/스페이스(회로간의 폭) 비는 특별히 제한되지 않지만, 바람직하게는 20/20㎛ 이하(즉 피치가 40㎛ 이하), 보다 바람직하게는 18/18㎛ 이하(피치 36㎛ 이하), 더욱 바람직하게는 15/15㎛ 이하(피치 30㎛ 이하)이다. 배선층의 라인/스페이스비의 하한은 특별히 제한되지 않지만, 바람직하게는 0.5/0.5㎛ 이상, 보다 바람직하게는 1/1㎛ 이상이다. 피치는 배선층 전체에 걸쳐 동일할 필요는 없다. The ratio of the line (circuit width) / space (width between circuits) of the wiring layer is not particularly limited, but is preferably 20/20 m or less (i.e., pitch is 40 m or less), more preferably 18 / Mu m or less), and more preferably 15/15 mu m or less (pitch is 30 mu m or less). The lower limit of the line / space ratio of the wiring layer is not particularly limited, but is preferably 0.5 / 0.5 占 퐉 or more, and more preferably 1/1 占 퐉 or more. The pitch does not have to be the same throughout the wiring layer.

드라이 필름의 패턴을 형성후, 배선층을 형성하고, 드라이 필름을 박리한다. 여기서, 배선층의 형성은, 원하는 패턴을 형성한 드라이 필름을 도금 마스크로서 사용하고, 도금법에 의해 실시할 수 있다. After the pattern of the dry film is formed, a wiring layer is formed and the dry film is peeled off. Here, the wiring layer can be formed by a plating method using a dry film having a desired pattern formed thereon as a plating mask.

배선층에 사용하는 도체 재료는 특별히 한정되지 않는다. 적합한 실시형태에서는, 배선층은, 금, 백금, 팔라듐, 은, 구리, 알루미늄, 코발트, 크롬, 아연, 니켈, 티탄, 텅스텐, 철, 주석 및 인듐으로 이루어지는 그룹으로부터 선택되는 1종 이상의 금속을 함유한다. 배선층은 단금속층이라도 합금층이라도 좋고, 합금층으로서는, 예를 들면, 상기의 그룹으로부터 선택되는 2종 이상의 금속의 합금(예를 들면, 니켈·크롬 합금, 구리·니켈 합금 및 구리·티탄 합금)으로 형성된 것을 들 수 있다. The conductor material used for the wiring layer is not particularly limited. In a preferred embodiment, the wiring layer contains at least one metal selected from the group consisting of gold, platinum, palladium, silver, copper, aluminum, cobalt, chromium, zinc, nickel, titanium, tungsten, iron, tin and indium . The wiring layer may be a single metal layer or an alloy layer. Examples of the alloy layer include alloys of two or more metals (for example, nickel-chromium alloy, copper-nickel alloy and copper-titanium alloy) .

배선층의 두께는, 원하는 프린트 배선판의 디자인에 따라서도 다르지만, 바람직하게는 3㎛ 내지 35㎛, 보다 바람직하게는 5㎛ 내지 30㎛, 더욱 바람직하게는 10㎛ 내지 20㎛, 또는 15㎛이다. The thickness of the wiring layer varies depending on the design of the desired printed wiring board, but is preferably 3 mu m to 35 mu m, more preferably 5 mu m to 30 mu m, further preferably 10 mu m to 20 mu m, or 15 mu m.

배선층을 형성후, 드라이 필름을 박리한다. 드라이 필름의 박리는, 공지의 방법에 의해 실시할 수 있다. 필요에 따라, 불필요한 배선 패턴을 에칭 등에 의해 제거하여, 원하는 배선 패턴을 형성할 수도 있다. After forming the wiring layer, the dry film is peeled off. The delamination of the dry film can be carried out by a known method. If desired, an unnecessary wiring pattern may be removed by etching or the like to form a desired wiring pattern.

공정 (2)는, 수지 시트를, 배선층이 수지 조성물층에 매립되도록, 배선층 부착 기재 위에 적층하고, 열경화시켜 절연층을 형성하는 공정이다. 배선층 부착 기재와 수지 시트의 적층 조건은, 상기한 공정 (II)의 조건과 같으며, 바람직한 범위도 같다. Step (2) is a step of laminating the resin sheet on the substrate with the wiring layer so that the wiring layer is embedded in the resin composition layer, and thermally curing to form the insulating layer. The lamination conditions of the wiring layer-adhered base material and the resin sheet are the same as those in the above-mentioned step (II), and the preferable range is also the same.

공정 (3)은, 배선층을 층간 접속할 수 있으면 특별히 한정되지 않지만, 절연층에 비아홀을 형성하고, 도체층을 형성하는 공정, 및 절연층을 연마 또는 연삭하여, 배선층을 노출시키는 공정의 적어도 어느 하나의 공정인 것이 바람직하다. 절연층에 비아홀을 형성하고, 도체층을 형성하는 공정은 상기한 바와 같다. The step (3) is not particularly limited as long as the interconnection layers can be interlayer-connected. However, the step (3) may include a step of forming a via hole in the insulating layer to form a conductor layer, and a step of polishing or grinding the insulating layer to expose the interconnection layer . The steps of forming a via hole in the insulating layer and forming the conductor layer are as described above.

절연층의 연마 방법 또는 연삭 방법으로서는, 프린트 배선층을 노출시킬 수 있고, 연마 또는 연삭면이 수평하면 특별히 한정되지 않으며, 종래 공지된 연마 방법 또는 연삭 방법을 적용할 수 있으며, 예를 들면, 화학 기계 연마 장치에 의한 화학 기계 연마 방법, 버프 등의 기계 연마 방법, 숫돌 회전에 의한 평면 연삭 방법 등을 들 수 있다. As the polishing method or the grinding method of the insulating layer, it is possible to expose the printed wiring layer, and if the polishing or grinding surface is horizontal, a conventionally known polishing method or a grinding method can be applied. For example, A chemical mechanical polishing method using a polishing apparatus, a mechanical polishing method such as a buff, and a planar grinding method using a grinding wheel.

공정 (4)는, 내층 기판을 제거하고, 본 발명의 프린트 배선판을 형성하는 공정이다. 내층 기판의 제거 방법은 특별히 한정되지 않는다. 적합한 일 실시형태는, 내층 기판 위에 갖는 금속층의 계면에서 프린트 배선판으로부터 내층 기판을 박리하고, 금속층을 예를 들면 염화구리 수용액 등으로 에칭 제거한다. Step (4) is a step of removing the inner layer substrate and forming the printed wiring board of the present invention. The method of removing the inner layer substrate is not particularly limited. In a preferred embodiment, the inner layer substrate is peeled from the printed wiring board at the interface of the metal layer on the inner layer substrate, and the metal layer is removed by etching with, for example, a copper chloride aqueous solution.

다른 실시형태에 있어서, 본 발명의 프린트 배선판은, 상기의 프리프레그를 사용하여 제조할 수 있다. 제조 방법은 기본적으로 수지 시트를 사용하는 경우와 같다. In another embodiment, the printed wiring board of the present invention can be produced by using the above prepreg. The manufacturing method is basically the same as the case of using a resin sheet.

본 발명의 프린트 배선판은, 본 발명의 수지 조성물의 경화물에 의해 형성된 절연층을 포함한다. 이로 인해, 부품 매립성이 우수하다는 특성을 나타낸다. 즉, 본 발명의 시트상 적층 재료를 사용하여 제조되는 부품 내장 회로판은, 모든 캐비티에 있어서, 부품의 외주부가 수지 조성물로 피복되어 있는 구성으로 할 수 있다. 부품 매립성의 평가는, 후술하는 <부품 매립성의 평가>에 기재된 방법에 따라 측정할 수 있다. The printed wiring board of the present invention includes an insulating layer formed by a cured product of the resin composition of the present invention. As a result, it shows a characteristic of being excellent in part embedding property. That is, in the component built-in circuit board manufactured by using the sheet-like laminated material of the present invention, in all the cavities, the outer peripheral portion of the component may be covered with the resin composition. The evaluation of the part embeddability can be carried out according to the method described in < Evaluation of part embeddability > described later.

본 발명의 프린트 배선판은, 본 발명의 수지 조성물의 경화물에 의해 형성된 절연층을 포함하기 때문에 조도를 낮게 할 수 있다. 구체적으로는, 조화 처리후의 절연층 표면의 산술 평균 거칠기(Ra) 및 자승 평균 평방근 거칠기(Rq)는 양호한 결과를 나타낸다. 당해 산술 평균 거칠기(Ra)는, 바람직하게는 500㎚ 이하, 보다 바람직하게는 450㎚ 이하, 더욱 바람직하게는 400㎚ 이하이다. 하한에 관해서는 특별히 한정되지 않지만, 100㎚ 이하로 할 수 있다. 절연층 표면의 자승 평균 평방근 거칠기(Rq)는, 바람직하게는 600㎚ 이하, 보다 바람직하게는 550㎚ 이하, 더욱 바람직하게는 530㎚ 이하이다. 하한에 관해서는 특별히 한정되지 않지만, 100㎚ 이상으로 할 수 있다. 산술 평균 거칠기(Ra) 및 자승 평균 평방근 거칠기(Rq)의 평가는, 시판되고 있는 비접촉형 표면 거칠기계를 사용하여 측정할 수 있고, 예를 들면, 후술하는(산술 평균 거칠기(Ra), 자승 평균 평방근 거칠기(Rq)의 측정)에 기재된 방법에 따라 측정할 수 있다. Since the printed wiring board of the present invention includes the insulating layer formed by the cured product of the resin composition of the present invention, the illuminance can be lowered. Specifically, the arithmetic mean roughness (Ra) and the square root mean square roughness (Rq) of the surface of the insulating layer after the roughening treatment show good results. The arithmetic mean roughness (Ra) is preferably 500 nm or less, more preferably 450 nm or less, and further preferably 400 nm or less. The lower limit is not particularly limited, but may be 100 nm or less. The square root mean square roughness (Rq) of the surface of the insulating layer is preferably 600 nm or less, more preferably 550 nm or less, and further preferably 530 nm or less. The lower limit is not particularly limited, but may be 100 nm or more. The evaluation of the arithmetic mean roughness Ra and the square root mean square roughness Rq can be performed using a commercially available non-contact surface roughing machine. For example, the arithmetic mean roughness Ra, Measurement of surface roughness (Rq)).

본 발명의 프린트 배선판은, 본 발명의 수지 조성물의 경화물에 의해 형성된 절연층을 포함한다. 이로 인해, 조화 처리후의 절연층과 도체층의 필 강도(박리 강도)는, 양호한 결과를 나타낸다. 당해 필 강도는, 바람직하게는 0.3kgf/㎝ 이상, 보다 바람직하게는 0.40kgf/㎝ 이상, 더욱 바람직하게는 0.45kgf/㎝ 이상이다. 상한은 특별히 한정되지 않지만, 1.2kgf/㎝ 이하, 0.9kgf/㎝ 이하 등으로 할 수 있다. 본 발명에 있어서는, 조화 처리후의 절연층의 산술 평균 거칠기(Ra) 및 자승 평균 평방근 거칠기(Rq)가 낮음에도 불구하고, 이와 같이 높은 필 강도를 나타내는 도체층을 형성할 수 있기 때문에, 프린트 배선판의 미세 배선화에 현저하게 기여하는 것이다. 필 강도의 평가는, 후술하는 (필 강도의 측정)에 기재된 방법에 따라 측정할 수 있다. The printed wiring board of the present invention includes an insulating layer formed by a cured product of the resin composition of the present invention. As a result, the peel strength (peel strength) between the insulating layer and the conductor layer after the roughening treatment shows good results. The fill strength is preferably 0.3 kgf / cm or more, more preferably 0.40 kgf / cm or more, and still more preferably 0.45 kgf / cm or more. The upper limit is not particularly limited, but may be 1.2 kgf / cm or less, 0.9 kgf / cm or less, and the like. In the present invention, since the conductor layer exhibiting such a high fill strength can be formed despite the low arithmetic mean roughness (Ra) and square root mean square roughness (Rq) of the insulating layer after the roughening treatment, Thereby significantly contributing to the fine wiring. The evaluation of the peel strength can be carried out according to the method described later (measurement of the peel strength).

본 발명의 수지 조성물(또는 수지 조성물층)에 의해 형성된 절연층은, 양호한 도금 잠입 깊이를 나타낸다. 당해 도금 잠입 깊이는, 바람직하게는 3.0㎛ 이하, 더욱 바람직하게는 2.5㎛ 이하, 보다 바람직하게는 2.0㎛ 이하이다. 하한은 특별히 한정되지 않지만, 0.1㎛ 이상 등으로 할 수 있다. 일 실시형태로서, 본 발명에 있어서는, 도금 잠입 깊이가 낮기 때문에, 두께가 10㎛ 이하인 수지 조성물층을 사용하여 제조된 절연층이라도 절연성을 가지며, 이것에 의해 프린트 배선판의 미세 배선화 및 박막화에 현저하게 기여한다. 도금 잠입 깊이의 평가는, 후술하는 (도금 잠입 깊이의 측정)에 기재된 방법에 따라 측정할 수 있다. The insulating layer formed by the resin composition (or resin composition layer) of the present invention exhibits a good plating penetration depth. The plating penetration depth is preferably 3.0 占 퐉 or less, more preferably 2.5 占 퐉 or less, and more preferably 2.0 占 퐉 or less. The lower limit is not particularly limited, but may be 0.1 탆 or more. In an embodiment of the present invention, since the depth of plating is low, even an insulating layer made of a resin composition layer having a thickness of 10 m or less has insulation property, thereby remarkably reducing the wiring and thinning of the printed wiring board Contributing. The plating penetration depth can be evaluated according to the method described later (measurement of plating penetration depth).

[반도체 장치][Semiconductor device]

본 발명의 반도체 장치는, 본 발명의 프린트 배선판을 포함한다. 본 발명의 반도체 장치는, 본 발명의 프린트 배선판을 사용하여 제조할 수 있다. The semiconductor device of the present invention includes the printed wiring board of the present invention. The semiconductor device of the present invention can be manufactured by using the printed wiring board of the present invention.

반도체 장치로서는, 전기 제품(예를 들면, 컴퓨터, 휴대전화, 디지털 카메라 및 텔레비전 등) 및 탈것(예를 들면, 자동이륜차, 자동차, 전차, 선박 및 항공기 등) 등에 제공되는 각종 반도체 장치를 들 수 있다. Examples of the semiconductor device include various semiconductor devices provided in an electric product (such as a computer, a mobile phone, a digital camera and a television) and a vehicle (such as a motorcycle, a car, a train, have.

본 발명의 반도체 장치는, 프린트 배선판의 도통 개소에, 부품(반도체 칩)을 실장함으로써 제조할 수 있다. 「도통 개소」란, 「프린트 배선판에 있어서의 전기 신호를 주는 개소」로서, 그 장소는 표면이라도, 매립된 개소라도 어느 것이라도 상관없다. 또한, 반도체 칩은 반도체를 재료로 하는 전기 회로 소자이면 특별히 한정되지 않는다. The semiconductor device of the present invention can be manufactured by mounting a component (semiconductor chip) to a conductive portion of a printed wiring board. The &quot; conduction point &quot; is a &quot; point giving electrical signals in the printed wiring board &quot;, and the position may be a surface or a buried point. The semiconductor chip is not particularly limited as long as it is an electric circuit element made of a semiconductor material.

본 발명의 반도체 장치를 제조할 때의 반도체 칩의 실장 방법은, 반도체 칩이 유효하게 기능하기만 하면, 특별히 한정되지 않지만, 구체적으로는, 와이어 본딩 실장 방법, 플립칩 실장 방법, 범프리스 빌드업층(BBUL)에 의한 실장 방법, 이방성 도전 필름(ACF)에 의한 실장 방법, 비도전성 필름(NCF)에 의한 실장 방법, 등을 들 수 있다. 여기서,「범프리스 빌드업층(BBUL)에 의한 실장 방법」이란,「반도체 칩을 프린트 배선판의 오목부에 직접 매립하고, 반도체 칩과 프린트 배선판 위의 배선을 접속시키는 실장 방법」이다. The method of mounting the semiconductor chip when manufacturing the semiconductor device of the present invention is not particularly limited as long as the semiconductor chip effectively functions. Specifically, the semiconductor chip mounting method, the flip chip mounting method, the bump- (BBUL), a mounting method using an anisotropic conductive film (ACF), a mounting method using a non-conductive film (NCF), and the like. Here, the "mounting method using the bumpless buildup layer (BBUL)" is a "mounting method in which the semiconductor chip is directly buried in the concave portion of the printed wiring board and the semiconductor chip is connected to the wiring on the printed wiring board".

[실시예][Example]

이하, 본 발명을 실시예에 의해 구체적으로 설명하지만, 본 발명은 이들 실시예로 한정되는 것은 아니다. 또한, 이하의 기재에 있어서「부」및「%」는, 별도 명시가 없는 한, 각각「질량부」및「질량%」를 의미한다. Hereinafter, the present invention will be described concretely with reference to examples, but the present invention is not limited to these examples. In the following description, &quot; part &quot; and &quot;% &quot; mean &quot; part by mass &quot; and &quot;% by mass &quot;, respectively, unless otherwise specified.

<단위 표면적당 카본량의 산출><Calculation of carbon amount per unit surface area>

하기의 각 무기 충전재의 3g을 각각 시료로서 사용하였다. 시료와 30g의 MEK(메틸에틸케톤)를 원심 분리기의 원심관에 넣고, 교반하여 고형분을 현탁시키고, 500W의 초음파를 25℃에서 5분간 조사하였다. 그 후, 원심 분리에 의해 고액 분리하고, 상청액 20g을 제거하였다. 또한, 20g의 MEK를 채우고, 교반하여 고형분을 현탁시켜, 500W의 초음파를 25℃에서 5분간 조사하였다. 그 후, 원심 분리에 의해 고액 분리하고, 상청액 26g을 제거하였다. 나머지 현탁액을 160℃에서 30분간 건조시켰다. 이 건조 시료 0.3g을 측정용 도가니에 정확하게 칭량하여 담고, 다시 측정용 도가니에 조연제(텅스텐 3.0g 및 주석 0.3g)를 넣었다. 측정용 도가니를 카본 분석계((주)호리바세사쿠쇼 제조「EMIA-321V2」)에 세트하고, 카본량을 측정하였다. 카본량의 측정값을, 사용한 무기 충전제의 비표면적으로 나눔으로써, 단위 표면적당 카본량을 산출하였다. 3 g each of the following inorganic fillers was used as a sample. The sample and 30 g of MEK (methyl ethyl ketone) were placed in a centrifuge tube of a centrifugal separator and stirred to suspend the solid content, and ultrasonic waves of 500 W were irradiated at 25 캜 for 5 minutes. Thereafter, solid-liquid separation was carried out by centrifugation, and 20 g of the supernatant was removed. Further, 20 g of MEK was filled and stirred to suspend the solid content, and ultrasonic waves of 500 W were irradiated at 25 캜 for 5 minutes. Thereafter, solid-liquid separation was carried out by centrifugation, and 26 g of the supernatant was removed. The remaining suspension was dried at 160 DEG C for 30 minutes. 0.3 g of the dried sample was precisely weighed and placed in a crucible for measurement. Then, a baking agent (3.0 g of tungsten and 0.3 g of tin) was added to the crucible for measurement. The crucible for measurement was set in a carbon analyzer (&quot; EMIA-321V2 &quot;, manufactured by Horiba Seisakusho Co., Ltd.) and the amount of carbon was measured. The carbon amount per unit surface area was calculated by dividing the measured value of the amount of carbon by the specific surface area of the inorganic filler used.

<사용한 무기 충전재><Used inorganic filler>

무기 충전재 1: 구형 실리카((주)아도마텍스 제조「SO-C4」를 헥사메틸디실라잔으로 표면 처리한 것, 메이커 기재의 평균 입자 직경 약 1㎛) 100부에 대해, 3,3,3-트리플루오로프로필트리메톡시실란(신에츠가가쿠고교(주) 제조, KBM-7103) 1부로 표면 처리한 것. 단위 표면적당 카본량은 0.25㎎/㎡이었다. Inorganic filler 1: 100 parts of spherical silica ("SO-C4" manufactured by Adomex Co., Ltd., surface treatment with hexamethyldisilazane, average particle size of about 1 μm on a maker base) And surface-treated with 1 part of 3-trifluoropropyltrimethoxysilane (KBM-7103, Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.). The amount of carbon per unit surface area was 0.25 mg / m 2.

무기 충전재 2: 구형 실리카((주)아도마텍스 제조「SO-C1」을 헥사메틸디실라잔으로 표면 처리한 것, 메이커 기재 평균 입자 직경 약 0.3㎛) 100부에 대해, 3,3,3-트리플루오로프로필트리메톡시실란(신에츠가가쿠고교(주) 제조, KBM-7103) 2부로 표면 처리한 것. 단위 표면적당 카본량은 0.16㎎/㎡이었다. Inorganic filler 2: 100 parts of spherical silica ("SO-C1" manufactured by Adomex Co., Ltd., surface treatment with hexamethyldisilazane, average particle size of about 0.3 μm on a maker base) - Surface treated with 2 parts of trifluoropropyltrimethoxysilane (KBM-7103, Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.). The amount of carbon per unit surface area was 0.16 mg / m 2.

무기 충전재 3: 구형 알루미나(덴카(주) 제조「DAW-01」, 메이커 기재 평균 입자 직경 약 1.5㎛) 100부에 대해, 3,3,3-트리플루오로프로필트리메톡시실란(신에츠가가쿠고교(주) 제조, KBM-7103) 1부로 표면 처리한 것. 단위 표면적당 카본량은 0.12㎎/㎡이었다. Inorganic filler 3: 100 parts of spherical alumina ("DAW-01" manufactured by DENKA CO., LTD., Manufacturer base average particle diameter: about 1.5 μm), 3,3,3-trifluoropropyltrimethoxysilane (KBM-7103, manufactured by Kogyo Co., Ltd.). The amount of carbon per unit surface area was 0.12 mg / m 2.

무기 충전재 4: 구형 실리카((주)아도마텍스 제조「SO-C4」를 헥사메틸디실라잔으로 표면 처리한 것, 메이커 기재 평균 입자 직경 약 1㎛) 100부에 대해, 3-글리시독시프로필트리메톡시실란(신에츠가가쿠고교(주) 제조, 「KBM-403」) 1부로 표면 처리한 것. 단위 표면적당 카본량은 0.31㎎/㎡이었다. Inorganic filler 4: 100 parts of spherical silica ("SO-C4" manufactured by Adomex Co., Ltd., surface treatment with hexamethyldisilazane, average particle size of about 1 μm on a maker base) And surface-treated with 1 part of propyltrimethoxysilane (KBM-403, manufactured by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.). The amount of carbon per unit surface area was 0.31 mg / m 2.

무기 충전재 5: 구형 실리카((주)아도마텍스 제조「SO-C1」을 헥사메틸디실라잔으로 표면 처리한 것, 메이커 기재 평균 입자 직경 약 0.3㎛) 100부에 대해, 3-아미노프로필트리메톡시실란(신에츠가가쿠고교(주) 제조, 「KBM-903」) 2부로 표면 처리한 것. 단위 표면적당 카본량은 0.23㎎/㎡이었다. Inorganic filler 5: 100 parts of spherical silica ("SO-C1" manufactured by Adomex Co., Ltd., surface treatment with hexamethyldisilazane, average particle size of about 0.3 μm on a maker base) And surface-treated with 2 parts of methoxysilane (KBM-903, manufactured by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.). The amount of carbon per unit surface area was 0.23 mg / m 2.

무기 충전재 6: 구형 알루미나(덴카(주) 제조「DAW-01」, 메이커 기재 평균 입자 직경 약 1.5㎛) 100부에 대해, 아세트알콕시알루미늄디이소프로필레이트(아지노모토파인테크노(주) 제조,「프렌악토 AL-M」) 1부로 표면 처리한 것. 단위 표면적당 카본량은 0.15㎎/㎡이었다. Inorganic filler 6: 100 parts of spherical alumina ("DAW-01" manufactured by Denka Co., Ltd., manufacturer base average particle diameter: about 1.5 μm) was added with acetalkoxy aluminum diisopropylate (manufactured by Ajinomoto Fine Techno Co., Quot; AKTO AL-M &quot;). The amount of carbon per unit surface area was 0.15 mg / m 2.

무기 충전재 7: 구형 실리카((주)아도마텍스 제조 「SO-C4」를 헥사메틸디실라잔으로 표면 처리한 것, 메이커 기재 평균 입자 직경 약 1㎛) 100부에 대해, 페닐트리메톡시실란(신에츠가가쿠고교(주) 제조, KBM-103) 1부로 표면 처리한 것. 단위 표면적당 카본량은 0.30㎎/㎡이었다. Inorganic filler 7: 100 parts of spherical silica (manufactured by Adomex Co., Ltd., "SO-C4" surface-treated with hexamethyldisilazane, and having an average particle diameter of about 1 μm on a maker base) (KBM-103, manufactured by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.). The amount of carbon per unit surface area was 0.30 mg / m 2.

[수지 시트의 제작][Production of Resin Sheet]

이하의 수순에 의해 조제한 수지 바니쉬(수지 조성물)를 사용하여, 실시예 및 비교예의 수지 시트를 제작하였다. Using the resin varnish (resin composition) prepared in the following procedure, resin sheets of Examples and Comparative Examples were prepared.

<수지 바니쉬 1의 조제><Preparation of resin varnish 1>

비스페놀형 액상 에폭시 수지(신닛테츠스미킨가가쿠(주) 제조「ZX1059」, 에폭시 당량 약 169, 비스페놀 A형과 비스페놀 F형의 1:1 혼합품) 4부, 비크실레놀형 에폭시 수지(미쯔비시가가쿠(주) 제조「YX4000HK」, 에폭시 당량 약 185) 6부, 비페닐형 에폭시 수지(니혼가야쿠(주) 제조「NC3000L」, 에폭시 당량 약 272) 20부를, 솔벤트나프타 15부 및 사이클로헥산온 10부의 혼합 용매에 교반하면서 가열 용해시켰다. 실온으로까지 냉각시킨 후, 거기에, 트리아진 골격 함유 크레졸노볼락계 경화제(DIC(주) 제조「LA-3018-50P」, 수산기 당량 약 151, 고형분 50%의 2-메톡시프로판올 용액) 8부, 트리아진 골격 함유 페놀노볼락계 경화제(DIC(주) 제조「LA-7054」, 수산기 당량 약 125, 고형분 60%의 MEK 용액) 4부, 나프톨계 경화제(신닛테츠스미킨가가쿠(주) 제조「SN-495V」, 수산기 당량 약 231, 고형분 60%의 MEK 용액) 10부, 아민계 경화 촉진제(4-디메틸아미노피리딘(DMAP), 고형분 5질량%의 MEK 용액) 1부, 고무 입자(다우·케미칼니혼(주) 제조, EXL2655) 2부, 무기 충전재 1을 190부 혼합하고, 고속 회전 믹서로 균일하게 분산시킨 후에, 카트리지 필터(ROKITECHNO 제조「SHP050」)로 여과하여, 수지 바니쉬 1을 조제하였다. , 4 parts of a bisphenol type liquid epoxy resin ("ZX1059" manufactured by Shinnitetsu Sumikin Kagaku Co., Ltd., an epoxy equivalent weight of about 169, and a 1: 1 mixture of bisphenol A type and bisphenol F type), 4 parts of a biscylenol type epoxy resin (Manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd., epoxy equivalent weight: about 272) in an amount of 15 parts by weight of solvent naphtha and 10 parts by weight of cyclohexanone 10 (trade name: "YX4000HK" In a mixed solvent while stirring. After cooling to room temperature, a triazine skeleton-containing cresol novolac curing agent ("LA-3018-50P" manufactured by DIC Corporation, hydroxyl group equivalent of about 151, 2-methoxypropanol solution of 50% , 4 parts of phenol novolak type curing agent ("LA-7054" manufactured by DIC Corporation, hydroxyl equivalent weight of about 125, solid content of 60%), 4 parts of triazine skeleton-containing phenol novolak type curing agent (Nippon Tetsu Sumikin Kagaku Co., 1 part of amine curing accelerator (4-dimethylaminopyridine (DMAP), 5% by mass of solid content of MEK solution), 10 parts of rubber particles (&quot; SN-495V &quot;, hydroxyl group equivalent of about 231, (EXL2655, manufactured by Dow Chemical Co., Ltd.) and 190 parts of inorganic filler 1 were mixed and uniformly dispersed with a high-speed rotary mixer, followed by filtration with a cartridge filter (SHP050, manufactured by ROKITECHNO) Lt; / RTI &gt;

<수지 바니쉬 2의 조제>&Lt; Preparation of resin varnish 2 >

사이클로헥산디메탄올형 액상 에폭시 수지(신닛테츠스미킨가가쿠(주) 제조「ZX1658GS」, 에폭시 당량 약 135) 4부, 비스페놀 AF형 에폭시 수지(미쯔비시가가쿠(주) 제조「YL7760」, 에폭시 당량 약 238) 15부, 나프탈렌형 에폭시 수지(신닛테츠스미킨가가쿠(주) 제조「ESN475V」, 에폭시 당량 약 330) 15부, 및 페녹시 수지(미쯔비시가가쿠(주) 제조「YX7553BH30」, 고형분 30질량%의 사이클로헥산온:메틸에틸케톤(MEK)의 1:1 용액) 10부를, 솔벤트나프타 15부 및 사이클로헥산온 5부의 혼합 용매에 교반하면서 가열 용해시켰다. 실온으로까지 냉각시킨 후, 거기에, 트리아진 골격 함유 크레졸노볼락계 경화제(DIC(주) 제조「LA-3018-50P」, 수산기 당량 약 151, 고형분 50%의 2-메톡시프로판올 용액) 8부, 활성 에스테르계 경화제(DIC(주) 제조「EXB-8000L-65M」, 활성기 당량 약 220, 불휘발 성분 65질량%의 MEK 용액) 12부, 아민계 경화 촉진제(4-디메틸아미노피리딘(DMAP), 고형분 5질량%의 MEK 용액) 1.5부, 무기 충전재 2를 125부 혼합하고, 고속 회전 믹서로 균일하게 분산시킨 후에, 카트리지 필터(ROKITECHNO 제조「SHP030」)로 여과하여, 수지 바니쉬 2를 조제하였다. 4 parts of cyclohexane dimethanol type liquid epoxy resin ("ZX1658GS" manufactured by Shinnitetsu Sumikin Kagaku Co., Ltd., epoxy equivalent weight: about 135), 4 parts of bisphenol AF type epoxy resin ("YL7760" manufactured by Mitsubishi Chemical Corporation, 15 parts of a naphthalene type epoxy resin ("ESN475V" manufactured by Shinnitetsu Sumikin Kagaku Co., Ltd., epoxy equivalent weight 330), 15 parts of a phenoxy resin ("YX7553BH30" manufactured by Mitsubishi Chemical Corporation, (1: 1 solution of cyclohexanone: methyl ethyl ketone (MEK)) in 10 parts of a solvent mixture of 15 parts of solvent naphtha and 5 parts of cyclohexanone while stirring. After cooling to room temperature, a triazine skeleton-containing cresol novolac curing agent ("LA-3018-50P" manufactured by DIC Corporation, hydroxyl group equivalent of about 151, 2-methoxypropanol solution of 50% , 12 parts of an active ester curing agent ("EXB-8000L-65M" manufactured by DIC Corporation, active group equivalent of about 220, and a nonvolatile component of 65% by mass of MEK solution), 12 parts of amine curing accelerator (4-dimethylaminopyridine ), 1.5 parts of a solid content of 5% by mass (MEK solution) and 125 parts of inorganic filler 2 were uniformly dispersed with a high-speed rotary mixer and then filtered through a cartridge filter (SHP030, manufactured by ROKITECHNO) to prepare resin varnish 2 Respectively.

<수지 바니쉬 3의 조제><Preparation of resin varnish 3>

하기와 같이 조제한 (i) 성분을 50부, 나프틸렌에테르형 에폭시 수지(DIC(주) 제조「EXA-7311-G4」, 에폭시 당량 약 213) 2부, 비스페놀 AF형 에폭시 수지(미쯔비시가가쿠(주) 제조「YL7760」, 에폭시 당량 약 238) 4부, 및 난연제(오하치가가쿠고교(주) 제조「PX-200」) 2부를, 솔벤트나프타 10부 및 사이클로헥산온 5부의 혼합 용매에 교반하면서 가열 용해시켰다. 거기에, 활성 에스테르계 경화제(DIC(주) 제조「EXB-8000L-65M」, 활성기 당량 약 220, 불휘발 성분 65질량%의 MEK 용액) 2부, 이미다졸계 경화 촉진제(시코쿠가세이고교(주) 제조「1B2PZ」1-벤질-2-페닐이미다졸, 고형분 5%의 MEK 용액) 1부, 및 무기 충전재 3을 125부 혼합하고, 고속 회전 믹서로 균일하게 분산시켜, 카트리지 필터(ROKITECHNO제「SHP050」)로 여과하여, 수지 바니쉬 3을 제작하였다. , 50 parts of the component (i) prepared as described below, 2 parts of naphthylene ether type epoxy resin ("EXA-7311-G4" manufactured by DIC Corporation, epoxy equivalent weight of about 213), bisphenol AF type epoxy resin 4 parts of a flame retardant ("YL7760" manufactured by Nippon Shokubai Co., Ltd., epoxy equivalent: about 238) and 2 parts of a flame retardant ("PX-200" manufactured by Ohashi Chemical Industry Co., Ltd.) were mixed with 10 parts of solvent naphtha and 5 parts of cyclohexanone And dissolved by heating. 2 parts of an active ester type curing agent ("EXB-8000L-65M" manufactured by DIC Corporation, an activating group equivalent of about 220, and a nonvolatile component of 65 mass% of MEK solution), 2 parts of an imidazole type curing accelerator 1 part of 1B2PZ "1-benzyl-2-phenylimidazole, MEK solution of solid content 5%) and 125 parts of inorganic filler 3 were uniformly dispersed in a high-speed rotary mixer, and the mixture was filtered through a cartridge filter ROKITECHNO Ltd., &quot; SHP050 &quot;) to prepare a resin varnish 3.

((i) 성분의 조제)(Preparation of (i) component)

반응 용기에 G-3000(2관능성 하이드록실기 말단 폴리부타디엔, 수 평균 분자량=5047(GPC법), 하이드록실기 당량=1798g/eq, 고형분 100질량%. 니혼소다(주) 제조) 50g과, 솔벤트나프타(방향족 탄화수소계 혼합 용매: 이데미츠세키유가가쿠(주) 제조「이프졸 150」) 23.5g, 디부틸주석라우레이트 0.005g을 혼합하고 균일하게 용해시켰다. 균일해진 시점에서 50℃로 승온시키고, 다시 교반하면서, 톨루엔-2,4-디이소시아네이트(이소시아네이트기 당량=87.08g/eq.) 4.8g을 첨가하여 약 3시간 반응을 수행하였다. 이어서, 이 반응물을 실온까지 냉각시킨 후, 여기에 벤조페논테트라카복실산 2무수물(산무수물 당량=161.1g/eq.) 8.96g과, 트리에틸렌디아민 0.07g과, 에틸디글리콜아세테이트((주) 다이셀 제조) 40.4g을 첨가하고, 교반하면서 130℃까지 승온시키고, 약 4시간 반응을 수행하였다. FT-IR에 의해 2250㎝-1의 NCO 피크의 소실을 확인하였다. NCO 피크 소실의 확인으로 반응의 종점으로 간주하고, 반응물을 실온까지 강온시킨 후 100메쉬의 여포로 여과하여, 이미드 골격, 우레탄 골격, 부타디엔 골격을 갖는 고분자 수지((i) 성분)를 얻었다. 이 고분자 수지((i) 성분)의 분석 결과는 이하와 같다. 50 g of G-3000 (bifunctional hydroxyl group terminated polybutadiene, number average molecular weight = 5047 (GPC method), hydroxyl group equivalent = 1798 g / eq, solid content of 100% by mass, manufactured by Nippon Soda Co., Ltd.) , 23.5 g of solvent naphtha ("Ipe Sol 150" manufactured by Idemitsu Sekiyu Kagaku Co., Ltd.) and 0.005 g of dibutyltin laurate were mixed and uniformly dissolved. After the temperature became uniform, the temperature was raised to 50 占 폚, and 4.8 g of toluene-2,4-diisocyanate (isocyanate group equivalent = 87.08 g / eq.) Was added while stirring again to carry out the reaction for about 3 hours. Subsequently, the reaction product was cooled to room temperature, and then 8.96 g of benzophenone tetracarboxylic acid dianhydride (acid anhydride equivalent = 161.1 g / eq.), 0.07 g of triethylenediamine, 0.09 g of ethyldiglycol acetate Cell preparation) was added, the temperature was raised to 130 캜 with stirring, and the reaction was carried out for about 4 hours. The disappearance of the NCO peak at 2250 cm -1 was confirmed by FT-IR. The reaction product was cooled to room temperature and then filtered through a 100-mesh follicle to obtain a polymer resin (component (i)) having an imide skeleton, a urethane skeleton, and a butadiene skeleton. The analysis results of this polymer resin (component (i)) are as follows.

점도: 7.5Pa·s(25℃, E형 점도계)Viscosity: 7.5 Pa · s (25 ° C, E type viscometer)

산가: 16.9㎎KOH/gAcid value: 16.9 mg KOH / g

고형분: 50질량%Solid content: 50 mass%

수 평균 분자량: 13723Number average molecular weight: 13723

유리 전이 온도: -10℃Glass transition temperature: -10 ° C

폴리부타디엔 구조 부분의 함유율: 50/(50+4.8+8.96)×100=78.4질량%Content ratio of polybutadiene structural part: 50 / (50 + 4.8 + 8.96) x 100 = 78.4 mass%

<수지 바니쉬 4의 조제><Preparation of resin varnish 4>

수지 바니쉬 1의 조제에 있어서, 무기 충전재 1 190부를, 무기 충전재 4 190부로 바꾸고, 또한 솔벤트나프타 15부를 20부로 바꾸었다. 이상의 사항 이외에는 수지 바니쉬 1의 조제와 같이 하여 수지 바니쉬 4를 조제하였다. In the preparation of resin varnish 1, 190 parts of inorganic filler 1 was changed to 190 parts of inorganic filler 4, and 15 parts of solvent naphtha was changed to 20 parts. Resin varnish 4 was prepared in the same manner as resin varnish 1 except for the above.

<수지 바니쉬 5의 조제><Preparation of resin varnish 5>

수지 바니쉬 2의 조제에 있어서, 무기 충전재 2 125부를, 무기 충전재 5 125부로 바꾸고, 또한 솔벤트나프타 15부를 20부로 바꾸었다. 이상의 사항 이외에는 수지 바니쉬 2의 조제와 같이 하여 수지 바니쉬 5를 조제하였다. In the preparation of resin varnish 2, 125 parts of inorganic filler 2 was changed to 125 parts of inorganic filler 5, and 15 parts of solvent naphtha was changed to 20 parts. Resin varnish 5 was prepared in the same manner as resin varnish 2 except for the above.

<수지 바니쉬 6의 조제><Preparation of resin varnish 6>

수지 바니쉬 3의 조제에 있어서, 무기 충전재 3 125부를, 무기 충전재 6 125부로 바꾸었다. 이상의 사항 이외에는 수지 바니쉬 3의 조제와 같이 하여 수지 바니쉬 6을 조제하였다. In the preparation of the resin varnish 3, 125 parts of the inorganic filler 3 was changed to 125 parts of the inorganic filler 6. Resin varnish 6 was prepared in the same manner as resin varnish 3 except for the above.

<수지 바니쉬 7의 조제><Preparation of resin varnish 7>

수지 바니쉬 1의 조제에 있어서, 무기 충전재 1 190부를, 무기 충전재 7 190부로 바꾸었다. 이상의 사항 이외에는 수지 바니쉬 1의 조제와 같이 하여 수지 바니쉬 7을 조제하였다. In the preparation of the resin varnish 1, 190 parts of the inorganic filler 1 was changed to 190 parts of the inorganic filler 7. Resin varnish 7 was prepared in the same manner as resin varnish 1 except for the above.

각 수지 바니쉬의 제작에 사용한 재료와 그 배합량(불휘발 성분의 질량부)을 하기 표에 기재하였다. 액상 에폭시 수지와 (C) 무기 충전재의 불휘발 성분 중의 함유량(질량%)도 함께 기재하였다. The materials used for the production of each resin varnish and the amount thereof (parts by mass of the nonvolatile component) are shown in the following table. (% By mass) in the non-volatile components of the liquid epoxy resin and the inorganic filler (C) are also shown.

Figure pat00001
Figure pat00001

<실시예 1 내지 3 및 비교예 1 내지 4: 수지 시트의 제작>&Lt; Examples 1 to 3 and Comparative Examples 1 to 4: Production of resin sheet >

지지체로서, 알키드 수지계 이형제(린텍(주) 제조「AL-5」)로 이형 처리한 PET 필름(토레(주) 제조「루미라 T6AM」, 두께 38㎛, 연화점 130℃,「이형 PET」)을 준비하였다. (Lumirra T6AM manufactured by Toray Co., Ltd., thickness 38 탆, softening point 130 캜, "release PET") which had been subjected to release treatment with an alkyd resin releasing agent (AL-5, Prepared.

각 수지 바니쉬를 이형 PET 위에, 건조후의 수지 조성물층의 두께가 25㎛가 되도록, 다이 코터로 균일하게 도포하고, 80℃에서부터 110℃로 4분간 건조시킴으로써, 이형 PET 위에 수지 조성물층을 얻었다. 이어서, 수지 조성물층의 이형 PET와 접합하고 있지 않은 면에, 보호 필름으로서 폴리프로필렌 필름(오우시에프텍스(주) 제조「알팬 MA-430」, 두께 20㎛)을, 수지 조성물층과 접합하도록 적층하였다. 이것에 의해, 이형 PET, 수지 조성물층, 및 보호 필름의 순으로 이루어지는 수지 시트를 얻었다. Each of the resin varnishes was uniformly coated on the release PET with a die coater so that the thickness of the resin composition layer after drying was 25 占 퐉 and dried at 80 占 폚 to 110 占 폚 for 4 minutes to obtain a resin composition layer on the releasing PET. Subsequently, a polypropylene film ("ALPAN MA-430" manufactured by OUFAFEX Co., Ltd., thickness 20 μm) was laminated as a protective film on the surface of the resin composition layer not bonded to the mold releasing PET to laminate with the resin composition layer Respectively. As a result, a resin sheet comprising the release PET, the resin composition layer, and the protective film in this order was obtained.

<수지 조성물층의 최저 용융 점도의 측정>&Lt; Measurement of Minimum Melting Viscosity of Resin Composition Layer >

이형 PET로부터 수지 조성물층만을 박리하고, 금형으로 압축함으로써 측정용 펠렛(직경 18㎜, 1.2g 내지 1.3g)을 제작하였다. 측정용 펠렛을 사용하고, 동적 점탄성 측정 장치((주)유·비·엠사「Rheosol-G3000」)를 사용하여, 시료 수지 조성물층 1g에 관해서, 직경 18㎜의 패러랠 플레이트를 사용하여, 개시 온도 60℃에서 200℃까지 승온 속도 5℃/분으로 승온시켜, 측정 온도 간격 2.5℃, 진동수 1Hz, 탄성 1deg의 측정 조건으로 동적 점탄성율을 측정하고, 최저 용융 점도(poise)를 산출하고, 결과를 하기 표에 기재하였다. Only the resin composition layer was peeled off from the mold releasing PET and compressed by a mold to prepare pellets for measurement (diameter 18 mm, 1.2 g to 1.3 g). Using a paralle plate having a diameter of 18 mm, 1 g of the sample resin composition layer was measured with a dynamic viscoelasticity measuring apparatus ("Rheosol-G3000" available from Yu-Bi Co., Ltd.) The temperature was raised from 60 ° C to 200 ° C at a heating rate of 5 ° C / min. The dynamic viscoelasticity was measured under measurement conditions of a measurement temperature interval of 2.5 ° C, a frequency of 1Hz and an elasticity of 1deg, and the lowest melt viscosity poise was calculated. Are shown in the following table.

<부품 매립성의 평가>&Lt; Evaluation of Part Fillability &

실시예 및 비교예에서 제작한 수지 시트를 사용하여, 이하의 수순에 따라 부품 가부착 회로 기판을 제작하고 부품 매립성을 평가하였다. Using the resin sheets prepared in the examples and the comparative examples, a component-adhered circuit board was manufactured in accordance with the following procedure, and the component's landability was evaluated.

(1) 부품 가부착 회로 기판(캐비티 기판)의 준비(1) Preparation of circuit board (cavity substrate) with components attached

유리포 기재 BT 레진 양면 동장 적층판(구리박의 두께 18㎛, 기판 두께 0.15㎜, 미쯔비시가스가가쿠(주) 제조「HL832NSF LCA」) 255㎜×340㎜ 사이즈의 전면에, 0.7㎜×1.1㎜의 캐비티를 3㎜ 피치로 형성하였다. 이어서, 양면을 마이크로에칭제(멕(주) 제조「CZ8100」)로 1㎛ 에칭하여 구리 표면의 조화 처리를 수행하고, 다시 방청 처리(멕(주) 제조「CL8300」)를 가하고 180℃에서 30분간 건조시켰다. On a glass forging substrate BT resin double-sided copper-clad laminate (thickness of copper foil of 18 탆, substrate thickness of 0.15 mm, "HL832NSF LCA" manufactured by Mitsubishi Gas Kagaku Co., Ltd.) of 255 mm x 340 mm, The cavity was formed at a pitch of 3 mm. Then, the surface of the copper surface was subjected to a roughening treatment, followed by rust-proofing treatment (&quot; CL8300 &quot;, manufactured by MEC Corporation) Lt; / RTI &gt;

(2) 부품 가부착 회로 기판의 제작(2) Fabrication of circuit board with components attached

(1)에서 얻어진 기판의 편면에, 25㎛ 두께의 점착제 부착 폴리이미드 필름(폴리이미드 38㎛ 두께, (주)아리마세사쿠쇼 제조,「PFDKE-1525TT」)을 배치식 진공 가압 라미네이터(니치고·모튼(주) 제조 2스테이지 빌드업 라미네이터「CVP700」)를 사용하여, 점착제가 기판과 접합하도록 배치하고, 편면에 적층하였다. 적층은, 30초간 감압하여 기압을 13hPa 이하로 한 후, 80℃, 압력 0.74MPa로 30초간 압착시킴으로써 실시하였다. 이어서, 적층 세라믹 콘덴서 부품(1005=1×0.5㎜ 사이즈, 두께 0.14㎜)을 캐비티 내에 1개씩 가부착하고, 부품 가부착 회로 기판(캐비티 기판)을 제작하였다. (Polyimide 38 占 퐉 thickness, "PFDKE-1525TT", manufactured by Arima Seisakusho Co., Ltd.) with a thickness of 25 占 퐉 was placed on one surface of the substrate obtained in the above-mentioned (1) by using a batch type vacuum laminator A two-stage build-up laminator &quot; CVP700 &quot; manufactured by Morton Co., Ltd.), and the pressure-sensitive adhesive was laminated on one side. The lamination was carried out by reducing the pressure for 30 seconds to bring the air pressure to 13 hPa or less, followed by compression at 80 DEG C and a pressure of 0.74 MPa for 30 seconds. Subsequently, a multilayer ceramic capacitor component (1005 = 1 x 0.5 mm in size, 0.14 mm in thickness) was attached one by one in the cavity to manufacture a component circuit board (cavity substrate).

(3) 부품 매립성의 평가 시험(3) Evaluation test of the parts filling property

배치식 진공 가압 라미네이터(니치고·모튼(주) 제조 2스테이지 빌드업 라미네이터「CVP700」)를 사용하여, 실시예 및 비교예에서 제작한 수지 시트로부터 보호 필름을 박리하여 노출시킨 수지 조성물층과, (2)에서 제작한 부품 가부착 회로 기판(캐비티 기판)의 점착제 부착 폴리이미드 필름 배치면과는 반대측의 면을, 접합하도록 적층하였다. 적층은, 30초간 감압하여 기압을 13hPa 이하로 한 후, 120℃, 압력 0.74MPa로 30초간 압착시킴으로써 실시하였다. 이어서, 적층된 수지 시트를, 대기압하, 120℃, 압력 0.5MPa로 60초간 열프레스하여 평활화하였다. 실온으로까지 냉각시킨 부품 가부착 회로 기판으로부터 점착제 부착 폴리이미드 필름을 박리함으로써 평가용 기판 A를 제작하였다. 평가용 기판 A의 폴리이미드 필름을 박리한 면으로부터, 캐비티 내의 수지 흐름을 광학 현미경(150배)으로 관찰하여(10개의 캐비티에 관해서 수행하였다), 하기 기준에 의해 부품 매립성을 평가하고, 결과를 하기 표에 기재하였다. A resin composition layer in which protective films were peeled and exposed from resin sheets prepared in Examples and Comparative Examples using a batch type vacuum pressure laminator (CVP700, 2 stage build-up laminator manufactured by Nichigo Morton Co., Ltd.) (2) were stacked so that the surface of the mounting circuit board (cavity substrate) opposite to the adhesive-attached polyimide film placement surface was bonded. The lamination was carried out by reducing the pressure for 30 seconds to bring the air pressure to 13 hPa or less, followed by compression at 120 DEG C and a pressure of 0.74 MPa for 30 seconds. Subsequently, the laminated resin sheet was subjected to heat pressing under atmospheric pressure at 120 DEG C and a pressure of 0.5 MPa for 60 seconds to be smoothed. The parts cooled to room temperature were peeled off the adhesive-coated polyimide film from the adhesive circuit board to prepare the evaluation board A for evaluation. From the surface of the evaluation substrate A on which the polyimide film was peeled off, the resin flow in the cavity was observed with an optical microscope (150 times) (10 cavities were performed) Are shown in the following table.

(평가 기준)(Evaluation standard)

○: 모든 캐비티에 있어서, 적층 세라믹 콘덴서 부품의 외주부가 수지로 피복되어 있다. A: In all the cavities, the outer peripheral portion of the multilayer ceramic capacitor component is covered with resin.

×: 캐비티의 1개라도, 보이드가 발생하고 있거나 또는 적층 세라믹 콘덴서 부품의 외주부에 수지가 매립되어 있지 않은 것이 있다. C: Even one of the cavities may be voided or the resin may not be embedded in the outer peripheral portion of the multilayer ceramic capacitor component.

라고 판단하였다. .

<도금 도체층의 박리 강도(필 강도), 조도(산술 평균 거칠기(Ra), 자승 평균 평방근 거칠기(Rq), 및 도금 잠입 깊이의 평가>&Lt; Evaluation of Peel Strength (Peel Strength), Roughness (Arithmetic Mean Roughness (Ra), Square Average Square Root Roughness (Rq)

실시예 및 비교예에서 제작한 수지 시트를 사용하여, 이하의 수순에 따라 측정용 기판 B, C를 제작하고, 필 강도, 조도 및 도금 잠입 깊이를 평가하였다. Using the resin sheets prepared in Examples and Comparative Examples, substrates for measurement B and C were manufactured according to the following procedure, and the peel strength, roughness and plating penetration depth were evaluated.

(1) 적층판의 하지 처리(1) Foundation treatment of laminates

유리포 기재 에폭시 수지 양면 동장 적층판(구리박의 깊이 18㎛, 기판 두께 0.3㎜, 마츠시타덴코(주) 제조 R5715ES)의 양면을 멕(주) 제조 조화 처리제(CZ8100)에 의해 1㎛, 에칭하여 구리 표면의 조화 처리를 수행하였다. Both surfaces of a glass cloth base epoxy resin double-sided copper-clad laminate (copper foil depth 18 탆, substrate thickness 0.3 mm, R5715ES manufactured by Matsushita Electric Industrial Co., Ltd.) were etched with a co-treatment agent (CZ8100) Surface roughening treatment was carried out.

(2) 수지 시트의 라미네이트(2) Laminate of resin sheet

실시예 및 비교예에서 제작한 수지 시트로부터 보호 필름을 박리하여 노출시킨 수지 조성물층을, 배치식 진공 가압 라미네이터(니치고·모튼(주) 제조 2스테이지 빌드업 라미네이터「CVP700」)를 사용하여, 수지 조성물층이 기판과 접합하도록, 기판 양면에 적층하였다. 적층은, 30초간 감압하여 기압을 13hPa 이하로 한 후, 120℃, 압력 0.74MPa로 30초간 압착시킴으로써 실시하였다. 이어서, 적층된 수지 시트를, 대기압하, 120℃, 압력 0.5MPa로 60초간 열프레스하여 평활화하였다.The resin composition layer in which the protective film was peeled from the resin sheet prepared in the examples and the comparative example and exposed was then laminated using a batch type vacuum laminator (CVP700, 2 stage build-up laminator manufactured by Nichigo Morton Co., Ltd.) The resin composition layer was laminated on both sides of the substrate so as to be bonded to the substrate. The lamination was carried out by reducing the pressure for 30 seconds to bring the air pressure to 13 hPa or less, followed by compression at 120 DEG C and a pressure of 0.74 MPa for 30 seconds. Subsequently, the laminated resin sheet was subjected to heat pressing under atmospheric pressure at 120 DEG C and a pressure of 0.5 MPa for 60 seconds to be smoothed.

(3) 수지 조성물층의 열경화(3) Thermal curing of the resin composition layer

수지 시트의 적층후, 수지 조성물층을 열경화(100℃에서 30분간, 이어서 175℃에서 30분간)시켜, 기판의 양면에 절연층을 형성하였다. 그 후, 실시예 1, 2 및 비교예 1, 2, 4에 관해서는, 지지체인 이형 PET가 부착된 상태로 수지 조성물층을 열경화시켰다. 실시예 3 및 비교예 3에 관해서는, 지지체인 이형 PET를 박리한 후에 수지 조성물층을 열경화시켰다. After laminating the resin sheets, the resin composition layer was thermally cured (at 100 占 폚 for 30 minutes and then at 175 占 폚 for 30 minutes) to form an insulating layer on both sides of the substrate. Thereafter, for Examples 1 and 2 and Comparative Examples 1, 2 and 4, the resin composition layer was heat-cured in the state that the releasing PET as a support was adhered. As for Example 3 and Comparative Example 3, the release layer PET was peeled off and the resin composition layer was thermally cured.

(4) 조화 처리(4) Harmonization processing

절연층을 형성한 적층판을, 팽윤액인, 아토텍재팬(주)의 디에틸렌글리콜모노부틸에테르 함유 스웰링·딥·세큐리간스 P(글리콜에테르류, 수산화나트륨의 수용액)에, 60℃에서 5분간 침지하였다. 다음에 조화액으로서, 아토텍재팬(주)의 콘센트레이트·콤팩트 P(KMnO4: 60g/L, NaOH: 40g/L의 수용액)에, 80℃에서 15분간 침지하였다(실시예 2, 비교예 2는, 80℃에서 20분간 침지하였다). 마지막에 중화액으로서 아토텍재팬(주)의 리덕션솔류신·세큐리간트 P(황산의 수용액)에 40℃에서 5분간 침지하였다. 80℃에서 30분 건조후, 이 기판을 평가용 기판 B로 하였다. The laminate having the insulating layer formed thereon was immersed in a Swelling Dip Sekurigans P (glycol ether, an aqueous solution of sodium hydroxide) containing diethylene glycol monobutyl ether of Atotech Japan Co., Ltd., which is a swelling liquid, at 60 ° C And immersed for 5 minutes. Subsequently, the solution was immersed in a Concentrate Compact P (KMnO 4 : 60 g / L, NaOH: 40 g / L aqueous solution) of Atotech Japan Co., Ltd. for 15 minutes at 80 캜 as a roughening solution (Example 2, 2 was immersed at 80 DEG C for 20 minutes). Finally, the solution was immersed in a Reducing Soluble Sucrine · Sucuregent P (aqueous solution of sulfuric acid) of Atotech Japan Co., Ltd. at 40 ° C for 5 minutes as a neutralizing solution. After drying at 80 DEG C for 30 minutes, this substrate was used as evaluation substrate B.

(5) 세미어디티브 공법에 의한 도금(5) Plating by semi-permanent method

(4)에서 제작한 평가용 기판 B를, PdCl2를 함유하는 무전해 도금용 용액에 40℃에서 5분간 침지하고, 다음에 무전해 구리 도금액에 25℃에서 20분간 침지하였다. 150℃에서 30분간 가열하고, 어닐 처리를 수행한 후에, 에칭 레지스트를 형성하고, 에칭에 의한 패턴 형성 후에, 황산구리 전해 도금을 수행하여, 30㎛ 두께의 도체층을 형성하였다. 다음에, 어닐 처리를 190℃에서 60분간 수행하여 얻어진 기판을 평가용 기판 C로 하였다. The evaluation substrate B prepared in (4) was immersed in a solution for electroless plating containing PdCl 2 at 40 ° C for 5 minutes and then immersed in electroless copper plating solution at 25 ° C for 20 minutes. After heating at 150 占 폚 for 30 minutes to carry out an annealing process, an etching resist was formed, and after forming a pattern by etching, copper sulfate electroplating was performed to form a conductor layer having a thickness of 30 占 퐉. Next, the substrate obtained by performing annealing at 190 캜 for 60 minutes was used as evaluation substrate C.

(산술 평균 거칠기(Ra), 자승 평균 평방근 거칠기(Rq)의 측정)(Measurement of arithmetic mean roughness (Ra), square root mean square roughness (Rq)) [

평가용 기판 B를, 비접촉형 표면 거칠기계(비코인스트루먼트사 제조 WYKO NT3300)를 사용하여, VSI 콘택트 모드, 50배 렌즈에 의해 측정 범위를 121㎛×92㎛로 하여 얻어지는 수치에 의해 Ra값, Rq값을 구하였다. 각각 10점의 평균값을 산출하고, 결과를 하기 표에 기재하였다. The evaluation board B was evaluated by using a non-contact surface roughness machine (WYKO NT3300, manufactured by Vico Instruments Inc.), the Ra value, Rq Respectively. The average value of 10 points was calculated, and the results are shown in the following table.

(필 강도의 측정)(Measurement of Peel Strength)

평가용 기판 C의 도체층에, 폭 10㎜, 길이 100㎜의 부분 노치를 넣고, 이의 일단을 박리하여 집게((주)티·에스·이, 오토콤형 시험기 AC-50C-SL)로 집어, 실온(25℃)에서, 50㎜/분의 속도로 수직 방향으로 35㎜를 잡아 뗐을 때의 하중(kgf/㎝(N/㎝))을 측정하고, 결과를 하기 표에 기재하였다. A partial notch having a width of 10 mm and a length of 100 mm was placed in the conductor layer of the evaluation substrate C and one end of the notch was peeled off and picked up with a gripper (T. S .; autocompar tester AC-50C-SL) The load (kgf / cm (N / cm)) at the time of holding 35 mm in the vertical direction at a rate of 50 mm / min at room temperature (25 ° C) was measured.

(도금 잠입 깊이의 측정)(Measurement of plating penetration depth)

평가용 기판 C에 관해서, FIB-SEM 복합 장치(SII 나노테크놀로지(주) 제조「SMI3050SE」)를 사용하여, 단면 관찰을 수행하였다. 상세하게는, 평가용 기판 C의 표면에 수직 방향에 있어서의 단면을 FIB(집속 이온 빔)에 의해 깍아 내고, 도금과 조화 경화체(절연층)의 계면 근방의 단면 SEM 화상(관찰폭 7.5㎛, 관찰 배율×36000)을 취득하였다. 각 샘플에 관해서, 무작위로 선택한 10개소의 단면 SEM 화상을 취득하고, 구리 도금 깊이의 최대값(㎛)을 측정하였다. The substrate for evaluation C was subjected to cross-sectional observation using an FIB-SEM composite device ("SMI3050SE" manufactured by SII Nanotechnology Co., Ltd.). In detail, a cross section in the direction perpendicular to the surface of the evaluation substrate C was cut out by a FIB (focused ion beam), and a cross-sectional SEM image (observation width 7.5 mu m, Observation magnification x 36000) was obtained. Regarding each sample, 10 cross-sectional SEM images were randomly selected, and the maximum value (탆) of the copper plating depth was measured.

<난연성의 평가>&Lt; Evaluation of flame retardancy &

(1) 수지 시트의 라미네이트(1) Laminate of resin sheet

실시예 및 비교예에서 제작한 수지 시트로부터 보호 필름을 박리하여 노출시킨 수지 조성물층을, 배치식 진공 가압 라미네이터(니치고·모튼(주) 제조 2스테이지 빌드업 라미네이터「CVP700」)를 사용하여, 수지 조성물층이 적층판(구리박 없음, 기판 두께 0.2㎜, 히타치가세이(주) 제조 679FG)과 접합하도록, 적층판 양면에 적층하였다. 적층은, 30초간 감압하여 기압을 13hPa 이하로 한 후, 100℃, 압력 0.74MPa로 30초간 압착시킴으로써 실시하였다. 이어서, 적층된 수지 시트를, 대기압하, 120℃, 압력 0.5MPa로 60초간 열프레스하여 평활화하였다. The resin composition layer in which the protective film was peeled from the resin sheet prepared in the examples and the comparative example and exposed was then laminated using a batch type vacuum laminator (CVP700, 2 stage build-up laminator manufactured by Nichigo Morton Co., Ltd.) The resin composition layer was laminated on both sides of the laminate so that the resin composition layer was bonded to the laminate (no copper foil, substrate thickness 0.2 mm, 679FG manufactured by Hitachi Chemical Co., Ltd.). The lamination was carried out by reducing the pressure for 30 seconds to bring the air pressure to 13 hPa or less, followed by compression at 100 deg. C and a pressure of 0.74 MPa for 30 seconds. Subsequently, the laminated resin sheet was subjected to heat pressing under atmospheric pressure at 120 DEG C and a pressure of 0.5 MPa for 60 seconds to be smoothed.

(2) 수지 조성물층의 경화(2) Curing of the resin composition layer

수지 시트의 적층후, 지지체인 이형 PET를 박리하고, 수지 조성물층을 열경화(190℃에서 90분간)시켜, 적층판의 양면에 경화물을 형성하였다. After the lamination of the resin sheets, the releasing PET, which is a support, was peeled off and the resin composition layer was thermally cured (at 190 캜 for 90 minutes) to form a cured product on both sides of the laminate.

(3) 난연 시험(3) Flame retardancy test

UL-94V의 규격에 따라 실시하였다. 얻어진 적층체(두께 약 380㎛)를 12.7㎜×127㎜의 크기, 엣지가 1.27㎜가 되도록 절단하며, 70±1℃ 오븐 중에서 168시간 처리후, 데시케이터로 4시간 이상 방랭하여, 시험편을 얻었다. UL-94V. The resulting laminate (thickness of about 380 탆) was cut to have a size of 12.7 mm × 127 mm and an edge of 1.27 mm, treated in an oven at 70 ± 1 ° C. for 168 hours, and then cooled with a desiccator for at least 4 hours. .

버너를, 얻어진 시험편 바로 아래로 이동시켜, 불꽃을 시험편의 하단 중앙에 10초간 접염(接炎)하고, 그 후의 연소 시간을 계측하였다. 다시 10초간 접염하고, 그 후의 연소 시간을 계측하였다. 이들을 5회 반복하고, 이하의 기준에 기초하여 평가하였다. The burner was moved right under the obtained test piece, and the flame was brought into contact with the lower center of the test piece for 10 seconds, and the burning time thereafter was measured. Again for 10 seconds, and the subsequent burning time was measured. These were repeated five times and evaluated based on the following criteria.

(평가 기준)(Evaluation standard)

V-0: 연소물의 낙하, 시험편의 전소가 없으며, 시험편의 연소 시간이 50초 이하V-0: No drop of combustible material, no burning of test specimen, and burning time of test specimen of 50 seconds or less

V-1: 연소물의 낙하, 시험편의 전소가 없으며, 시험편의 연소 시간이 50초를 초과 250초 이하V-1: No drop of combustible material, no burning of test specimen, and burning time of test specimen exceeding 50 sec.

Not: 연소물의 낙하, 시험편의 전소, 또는 시험편의 연소 시간이 250초를 초과한다.Note: Burning drops, burning of test specimens, or burning times of specimens exceed 250 s.

Figure pat00002
Figure pat00002

(C) 성분을 함유하는 수지 조성물을 사용한 실시예 1 내지 3은, 부품 매립성, 산술 평균 거칠기(Ra), 자승 평균 평방근 거칠기(Rq), 필 강도, 도금 잠입 깊이, 및 난연성이 우수한 것을 알 수 있다. Examples 1 to 3 using the resin composition containing the component (C) were found to have excellent parts embeddability, arithmetic mean roughness (Ra), square root mean square roughness (Rq), fill strength, plating penetration depth, .

(C) 성분 대신 에폭시실란계 커플링제(KBM-403)를 사용한 비교예 1은, 실시예 1 내지 3과 비교하여 응집되기 쉬우며, 그 결과, 최저 용융 점도가 높아짐으로써 부품 매립성이 떨어지고, 또한, 산술 평균 거칠기(Ra), 자승 평균 평방근 거칠기(Rq), 도금 잠입 깊이, 및 난연성도 떨어지는 것을 알 수 있다. Comparative Example 1 using an epoxy silane coupling agent (KBM-403) instead of the component (C) tends to aggregate as compared with Examples 1 to 3, and as a result, the lowest melt viscosity is lowered, In addition, it can be seen that the arithmetic mean roughness (Ra), square root mean square roughness (Rq), plating penetration depth, and flame retardancy are also inferior.

(C) 성분 대신 아미노실란계 커플링제(KBM-903)를 사용한 비교예 2는, 아미노기가 (A) 성분 등의 수지와 커플링함으로써 도금 잠입 깊이가 낮아지지만, 최저 용융 점도가 높아지기 때문에 부품 매립성이 떨어지는 것을 알 수 있다. 또한, 실시예 1 내지 3과 비교하여 난연성도 떨어지는 것을 알 수 있다. (KBM-903) was used instead of the component (C), coupling depth of the amino group with a resin such as the component (A) lowered the plating immersion depth. However, since the lowest melt viscosity was high, It can be seen that the sex is falling. In addition, it can be seen that the flame retardancy is lower than those of Examples 1 to 3.

(C) 성분 대신 알루미늄계 커플링제(프렌악트 AL-M)를 사용한 비교예 3은, 최저 용융 점도가 낮기 때문에 부품 매립성이 양호하지만, 산술 평균 거칠기(Ra), 자승 평균 평방근 거칠기(Rq), 도금 잠입 깊이, 및 난연성이 떨어지는 것을 알 수 있다. Comparative Example 3 using an aluminum-based coupling agent (Prenalact AL-M) instead of the component (C) had a low minimum melt viscosity and therefore good component embeddability. However, the arithmetic average roughness (Ra) , The penetration depth of plating, and the flame retardancy are inferior.

(C) 성분 대신 실란 화합물(KBM-103)을 사용한 비교예 4에 관해서, 실란 화합물은 반응기를 갖지 않기 때문에, (A) 성분 등의 수지와 커플링시키지 않고, 도금 잠입 깊이가 높아지는 것을 알 수 있다. 또한, 실시예 1 내지 3과 비교하여 산술 평균 거칠기(Ra), 자승 평균 평방근 거칠기(Rq), 도금 잠입 깊이, 및 난연성도 떨어지는 것을 알 수 있다. With respect to Comparative Example 4 in which the silane compound (KBM-103) was used in place of the component (C), the silane compound had no reactor and therefore the depth of plating penetration was increased without coupling with a resin such as the component (A) have. Also, it can be seen that the arithmetic mean roughness (Ra), square root mean square roughness (Rq), plating penetration depth, and flame retardancy are lower than those of Examples 1 to 3.

100 부품 가부착 내층 기판(캐비티 기판)
1 내층 기판
1a 캐비티
11 제1 주면
12 제2 주면
2 가부착 재료
3 부품
4 회로 배선
100 parts are attached Inner layer substrate (cavity substrate)
1 inner layer substrate
1a cavity
11 First week
12 Second week
Two-valent attachment material
3 parts
4 circuit wiring

Claims (15)

(A) 에폭시 수지, (B) 경화제, (C) 불소 원자 함유 알콕시실란 화합물, 및 (D) 무기 충전재를 함유하는 수지 조성물. (A) an epoxy resin, (B) a curing agent, (C) a fluorine atom-containing alkoxysilane compound, and (D) an inorganic filler. 제1항에 있어서, (D) 성분의 함유량이, 수지 조성물 중의 불휘발 성분을 100질량%로 한 경우, 60질량% 이상인, 수지 조성물. The resin composition according to claim 1, wherein the content of the component (D) is 60% by mass or more when the content of the nonvolatile component in the resin composition is 100% by mass. 제1항에 있어서, (D) 성분의 평균 입자 직경이, 0.01㎛ 내지 2㎛인, 수지 조성물. The resin composition according to claim 1, wherein the component (D) has an average particle diameter of 0.01 탆 to 2 탆. 제1항에 있어서, (D) 성분이, 실리카 또는 알루미나인, 수지 조성물. The resin composition according to claim 1, wherein the component (D) is silica or alumina. 제1항에 있어서, (C) 성분 1분자 중의 불소 원자의 수가, 1 내지 10인, 수지 조성물. The resin composition according to claim 1, wherein the number of fluorine atoms in one molecule of the component (C) is 1 to 10. 제1항에 있어서, (C) 성분 1분자 중의 알콕시기의 수가, 1 내지 5인, 수지 조성물. The resin composition according to claim 1, wherein the number of alkoxy groups in one molecule of the component (C) is 1 to 5. 제1항에 있어서, (C) 성분이, 3,3,3-트리플루오로프로필트리메톡시실란인, 수지 조성물. The resin composition according to claim 1, wherein the component (C) is 3,3,3-trifluoropropyltrimethoxysilane. 제1항에 있어서, (D) 성분이 (C) 성분으로 표면 처리되어 있는, 수지 조성물. The resin composition according to claim 1, wherein component (D) is surface-treated with component (C). 제1항에 있어서, 프린트 배선판의 절연층 형성용인, 수지 조성물. The resin composition according to claim 1, which is used for forming an insulating layer of a printed wiring board. 제1항에 있어서, 프린트 배선판의 빌드업층용인, 수지 조성물. The resin composition according to claim 1, which is for a build-up layer of a printed wiring board. 제1항 내지 제10항 중의 어느 한 항에 기재된 수지 조성물을 함유하는, 시트상 적층 재료. A sheet-like laminated material containing the resin composition according to any one of claims 1 to 10. 제1항 내지 제10항 중의 어느 한 항에 기재된 수지 조성물로 형성된 수지 조성물층을 포함하는, 시트상 적층 재료. A sheet-stacked material comprising a resin composition layer formed from the resin composition according to any one of claims 1 to 10. 제12항에 있어서, 수지 조성물층의 두께가 10㎛ 이하인, 시트상 적층 재료.The sheet-on-laminate material according to claim 12, wherein the thickness of the resin composition layer is 10 占 퐉 or less. 제1항 내지 제10항 중의 어느 한 항에 기재된 수지 조성물의 경화물에 의해 형성된 절연층을 포함하는, 프린트 배선판. A printed wiring board comprising an insulating layer formed by a cured product of the resin composition according to any one of claims 1 to 10. 제14항에 기재된 프린트 배선판을 포함하는, 반도체 장치.
A semiconductor device comprising the printed wiring board according to claim 14.
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