KR20170076160A - 플렉서블 기판 처리장치 및 이의 공정방법 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 플렉서블 기판을 공정 처리하는 플렉서블 기판 처리장치 및 이의 공정방법에 관한 것이다. 본 발명에 따른 플렉서블 기판이 인출입 되며 플렉서블 기판을 공정 처리하는 공정 공간을 형성하는 챔버, 챔버 내부에 배치되는 전극부 및 플렉서블 기판이 전극부 상에 배치되어 공정이 이루어질 때 플렉서블 기판을 전극부에 밀착 지지시키는 밀착유닛을 포함하는 것을 특징으로 한다. 이에 의하여, 전극부에 대해 플렉서블 기판을 밀착 지지시키기 위해 밀착유닛을 배치 및 작동하여 플렉서블 기판의 공정 효율을 향상시킬 수 있다.

Description

플렉서블 기판 처리장치 및 이의 공정방법{APPARATUS FOR PROCESSING FLEXIBLE SUBSTRATE AND PROCESSING METHOD THEREOF}
본 발명은 플렉서블 기판 처리장치 및 이의 공정방법에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 플렉서블 기판을 공정 처리하는 플렉서블 기판 처리장치 및 이의 공정방법에 관한 것이다.
기판은 전자부품 등에 베이스로 많이 사용되며, 특히 최근 들어서는 디스플레이 장치로 많이 사용되고 있다. 이러한 디스플레이용으로 사용되는 기판은 소비자의 요구에 부응하여 점점 더 그 크기가 증가하고 있는 추세이다.
여기서, 디스플레이용 기판은 액정표시패널 또는 OLED용으로 사용됨과 함께 자유롭게 휠 수 있는, 즉 유연성이 있는 플렉서블 기판으로 발전하기 시작했다.
한편, 플렉서블 기판은 기판공급롤과 기판회수롤에 풀림과 감김 과정을 통해서 공정 처리가 이루어지는 챔버 내외부로 인출입 되며, 이에 따라 챔버에서 에칭 등과 같은 처리 공정 수행이 된다.
그런데, 종래의 플렉서블 기판 처리 공정은 기판공급롤과 기판회수롤 사이에서 플렉서블 기판이 풀림 및 감김 될 때 플렉서블 기판의 끊어짐을 방지하기 위해 일정 이하의 장력을 유지해야 한다. 또한, 플렉서블 기판에 대한 에칭 등과 같은 처리 공정 시 표면 온도 상승 및 진공 분위기 특성에 의해 플렉서블 기판의 들뜸 현상이 발생할 수 있다.
이렇게 종래의 플렉서블 기판 처리 공정 중 플렉서블 기판의 일정 이하의 장력을 유지 또는 플렉서블 기판의 표면 온도 상승과 진공 분위기 특성에 따라 실제적인 플렉서블 처리 공정이 이루어질 때 플렉서블 기판과 전극의 사이에 이격이 발생하여 기판 처리 공정의 불량이 발생될 수 있는 문제점이 있다.
대한민국 공개특허공보 제10-2013-0015068; 플렉시블 디스플레이 장치의 제조 장비 및 제조 방법
본 발명의 목적은 플렉서블 기판 처리 공정 시 플렉서블 기판과 전극 사이에 밀착력을 향상시키기 위해 구조가 개선된 플렉서블 기판 처리장치 및 이의 공정방법을 제공하는 것이다.
상기 과제의 해결 수단은, 본 발명에 따라 플렉서블 기판이 인출입 되며 상기 플렉서블 기판을 공정 처리하는 공정 공간을 형성하는 챔버와, 상기 챔버 내부에 배치되는 전극부와, 상기 플렉서블 기판이 상기 전극부 상에 배치되어 공정이 이루어질 때 상기 플렉서블 기판을 상기 전극부에 밀착 지지시키는 밀착유닛을 포함하는 것을 특징으로 하는 플렉서블 기판 처리장치에 의해 이루어진다.
여기서, 상기 밀착유닛은 상기 챔버에 대해 상기 플렉서블 기판의 인출입 방향을 따라 상기 플렉서블 기판의 양측면 및 상기 플렉서블 기판의 인출입 방향의 가로 방향으로 양측면 중 어느 하나를 밀착하여 상기 전극부에 상기 플렉서블 기판을 밀착 지지시키는 것이 바람직하다.
상기 전극부는 판재 형상으로 마련되며 상기 밀착유닛은 상기 플렉서블 기판의 인출입 방향을 따라 상기 플렉서블 기판의 양측면 일부 영역을 밀착하여 상기 전극부의 판면에 상기 플렉서블 기판을 밀착 지지시킬 수 있다.
상기 전극부는 일정 곡률을 갖는 형상으로 마련되며 상기 밀착유닛은 플렉서블 기판의 인출입 방향의 가로 방향으로 상기 플렉서블 기판의 양측면 일부 영역을 밀착하여 상기 전극부의 곡면에 상기 플렉서블 기판을 밀착 지지시킬 수 있다.
상기 플렉서블 기판 처리장치는 상기 챔버 내부에 인입되는 상기 플렉서블 기판에 대해 상기 플렉서블 기판이 상기 전극부에 인접하여 공정 처리되는 공정위치와, 상기 공정위치로부터 이격되어 상기 플렉서블 기판이 상기 챔버 외부로 이송되는 이송위치 사이에서 상기 플렉서블 기판을 왕복 이동시키는 가이드 롤러유닛을 더 포함할 수 있다.
상기 밀착유닛은 상기 가이드 롤러유닛의 왕복 이동에 연동하여 상기 전극부에 대해 상기 공정위치와 상기 이송위치 사이에서 왕복 이동되는 것이 바람직하다.
한편, 상기 과제의 해결 수단은, 본 발명에 따라 상기 플렉서블 기판이 인출입 되는 챔버와, 상기 챔버 내부에 배치되는 전극부와, 상기 전극부에 대해 상기 플렉서블 기판을 밀착 지지시키는 밀착유닛을 갖는 플렉서블 기판 처리장치를 포함하고, (a) 상기 챔버 내부에 상기 플렉서블 기판을 인입하여 상기 전극부에 인접하는 공정위치로 상기 플렉서블 기판을 안내하는 단계와, (b) 상기 공정위치에 배치된 상기 플렉서블 기판의 양측면 일부를 상기 밀착유닛으로 밀착하여 상기 전극부 상에 상기 플렉서블 기판을 밀착 지지시키는 단계와, (c) 상기 플렉서블 기판을 공정 처리한 후 상기 전극부에 대해 상기 플렉서블 기판이 이격된 이송위치로 안내하는 단계와, (d) 상기 이송위치로 안내된 상기 플렉서블 기판을 상기 챔버 외부로 인출하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 플렉서블 기판 처리장치의 공정방법에 의해서도 이루어진다.
여기서, 상기 (b) 단계는 상기 챔버에 대해 상기 플렉서블 기판의 인출입 방향을 따라 상기 플렉서블 기판의 양측면 및 상기 플렉서블 기판의 인출입 방향의 가로 방향으로 양측면 중 어느 하나를 밀착하여 상기 전극부에 상기 플렉서블 기판을 밀착 지지시키는 것이 바람직하다.
상기 전극부는 판재 형상으로 마련되며 상기 (b) 단계는 상기 플렉서블 기판의 인출입 방향을 따라 상기 플렉서블 기판의 양측면 일부 영역을 밀착하여 상기 전극부의 판면에 밀착 지지시킬 수 있다.
상기 전극부는 일정 곡률을 갖는 형상으로 마련되며 상기 (b) 단계는 플렉서블 기판의 인출입 방향의 가로 방향으로 상기 플렉서블 기판의 양측면 일부 영역을 밀착하여 상기 전극부의 곡면에 밀착 지지시킬 수 있다.
상기 밀착유닛은 상기 플렉서블 기판이 (a) 단계에서의 공정위치와 상기 (c) 단계에서의 상기 이송위치로 왕복 이동될 때, 상기 플렉서블 기판의 왕복 이동에 연동하여 상기 플렉서블 기판을 상기 전극부에 밀착 지지시키는 밀착위치와 상기 플렉서블 기판에 대해 이격되는 밀착 해제위치 사이에서 왕복 이동하는 것이 바람직하다.
기타 실시 예들의 구체적인 사항들은 상세한 설명 및 도면들에 포함되어 있다.
본 발명에 따른 플렉서블 기판 처리장치 및 이의 공정방법의 효과는 전극부에 대해 플렉서블 기판을 밀착 지지시키기 위해 밀착유닛을 배치 및 작동하여 플렉서블 기판의 공정 효율을 향상시킬 수 있다.
도 1은 본 발명의 실시 예에 따른 플렉서블 기판 처리장치의 제 1작동 구성도,
도 2는 본 발명의 실시 예에 따른 플렉서블 기판 처리장치의 제 2작동 단면도,
도 3은 본 발명의 제 1실시 예에 따른 도 1에 도시된 밀착유닛의 작동 평면도,
도 4는 도 3에 도시된 밀착유닛의 작동 측면도,
도 5는 본 발명의 제 2실시 예에 따른 플렉서블 기판 처리장치의 밀착유닛의 작동 평면도,
도 6은 도 5에 도시된 밀착유닛의 작동 측면도,
도 7은 본 발명의 실시 예에 따른 플렉서블 기판 처리장치의 공정방법 흐름도이다.
이하, 본 발명의 실시 예들에 따른 플렉서블 기판 처리장치와 이의 공정방법에 대해 첨부된 도면을 참조하여 상세히 설명한다.
설명하기에 앞서, 본 발명의 제 1 및 제 2실시 예에 따른 플렉서블 기판 처리장치 및 이의 공정방법은 동일한 구성 명칭에 대해서 동일한 도면 부호로 기재하였음을 미리 밝혀둔다.
그리고, 본 발명의 실시 예들에 따른 플렉서블 기판 처리장치에 의해 처리되는 플렉서블 기판은 높은 공정 온도에서 잘 견뎌내고 낮은 열팽창계수(CTE; Coefficient of Thermal Expansion), 우수한 내화학성 및 낮은 제조 원가를 가질 수 있는 소재로 FRP(Fiber Reinforced Plastic), PET(Poly-Ethylene Terephthalate), PEN(Poly-Ethylene Naphthalate), PC(Polycarbonate), PES(Poly-Ether Sulphone), AryLite, COC(Cyclic Olefin Copolymer) 등이 사용될 수 있다.
이러한 플렉서블 기판은 박막 트랜지스터의 형성을 위해 이미 소정의 패턴이 형성된 상태에서 소정의 패턴을 식각하거나, 소정의 패턴 위에 막을 증착하기 위해 롤(Roll) 형태로 감겨져 제공될 수 있다. 그리고, 롤 형태의 기판에는 기판 표면에 형성된 패턴을 보호하기 위한 배리어 필름(Barrier Film)이 합착된 상태로 제공될 수 있다.
도 1은 본 발명의 실시 예에 따른 플렉서블 기판 처리장치의 제 1작동 구성도이고, 도 2는 본 발명의 실시 예에 따른 플렉서블 기판 처리장치의 제 2작동 단면도이다.
도 1 및 도 2에 도시된 바와 같이, 본 발명의 실시 예들에 따른 플렉서블 기판 처리장치(10)는 챔버(100), 전극부(230) 및 밀착유닛(900)을 포함한다. 또한, 본 발명의 실시 예들에 따른 플렉서블 기판 처리장치(10)는 기판처리유닛(200), 가스공급유닛(300) 및 가이드 롤러유닛(600), 기판공급유닛(700) 및 기판회수유닛(800)을 더 포함한다. 여기서, 전극부(230)는 후술할 기판처리유닛(200)의 하위 구성요소이다.
챔버(100)는 플렉서블 기판(S)의 기판 처리를 위해 공정가스가 공급되는 공정 공간을 형성함과 함께 플렉서블 기판(S)을 공급 및 회수하도록 마련된다. 본 발명의 일 실시 예로서, 챔버(100)는 제 1챔버(110), 제 2챔버(130) 및 버퍼챔버(150)를 포함한다.
제 1챔버(110)는 플렉서블 기판(S)을 공정 처리하도록 마련된다. 제 1챔버(110)에는 기판처리유닛(200)과 가이드 롤러유닛(600)이 배치되고 플렉서블 기판(S)을 처리하는 공정가스가 공급된다. 제 1챔버(110)에는 플렉서블 기판(S)이 인출입 되는 인출입로가 형성된다.
제 2챔버(130)는 제 1챔버(110)의 내부 압력 보다 상대적으로 고압을 형성한다. 여기서, 제 2챔버(130)의 내부 압력은 제 1챔버(110)의 내부 압력 보다 상대적으로 고압으로 유지됨에 따라 플렉서블 기판(S)의 공정 처리 중에 발생하는 제 1챔버(110)로부터의 파티클 또는 폐가스가 제 2챔버(130)로 유입되는 것을 저지할 수 있다.
버퍼챔버(150)는 제 1챔버(110)와 제 2챔버(130) 사이에 배치된다. 버퍼챔버(150)에는 퍼지가스가 주입됨에 따라 제 1챔버(110) 보다 상대적으로 고압 상태를 유지할 수 있다. 이렇게 버퍼챔버(150)의 내부 압력이 제 1챔버(110)의 내부 압력 보다 상대적으로 고압을 유지함에 따라 제 1챔버(110)로부터의 파티클 또는 폐가스 등이 유입되는 것을 차단, 특히 제 2챔버(130)에 대한 에어 커튼의 기능을 수행할 수 있다.
기판처리유닛(200)은 스테이지(210), 공정영역(220), 전극부(230), 가열부(250) 및 냉각부(260)를 포함한다.
스테이지(210)는 공정 처리되는 플렉서블 기판(S)이 안착되도록 마련된다. 실질적으로 본 발명의 스테이지(210)에는 본 발명의 스테이지(210)에는 플렉서블 기판(S)이 공정위치에 위치되도록 안착된다. 공정영역(220)은 스테이지(210)가 수용되는 제 1챔버(110) 내부에 형성된다. 공정영역(220)에는 가스공급유닛(300)으로부터 제공된 공정가스가 공급된다.
전극부(230)는 플라즈마를 발생시키기 위한 RF 전원이 인가될 수 있다. 여기서, 전극부(230)는 실시 예들에 따라 평판 형상으로 마련될 수 있고, 곡률 형상(도 5 및 도 6 참조)을 가질 수 있다.
가열부(250)와 냉각부(260)는 스테이지(210)에 배치된다. 가열부(250)는 플렉서블 기판(S)의 에칭 또는 증착의 처리 공정 효율을 향상시키기 위하여 스테이지(210)를 가열한다. 반면, 냉각부(260)는 플라즈마를 이용한 플렉서블 기판(S)의 공정 처리 시 온도가 상승되는 플렉서블 기판(S)의 온도를 하강시키기 위해 사용된다.
다음으로 가이드 롤러유닛(600)은 챔버(100) 내부에 인입되는 플렉서블 기판(S)에 대해 플렉서블 기판(S)이 전극부(230)에 인접하여 공정 처리되는 공정위치와 공정위치로부터 이격되어 플렉서블 기판(S)이 챔버(100) 외부로 이송되는 이송위치 사이에서 왕복 이동한다. 상세하게 가이드 롤러유닛(600)은 제 1챔버(110) 내외부로 플렉서블 기판(S)이 인출입 되도록 공정위치와 이송위치 사이에서 왕복 이동된다.
기판공급유닛(700)은 드럼 형상으로 마련되어 기판처리유닛(200)으로 공급되는 플렉서블 기판(S)을 공급한다. 즉, 기판공급유닛(700)은 회전 운동하면서 플렉서블 기판(S)의 풀림에 의해 플렉서블 기판(S)을 기판처리유닛(200)으로 공급한다. 이때, 기판공급유닛(700)은 플렉서블 기판(S)으로부터 박리된 배리어 필름(B)을 회수함과 함께 플렉서블 기판(S)을 기판처리유닛(200)으로 공급한다.
한편, 기판회수유닛(800)은 드럼 형상으로 마련되어 기판처리유닛(200)으로부터 회수되는 플렉서블 기판(S)을 회수한다. 즉, 기판회수유닛(800)은 회전 운동하면서 플렉서블 기판(S)의 감김에 의해 플렉서블 기판(S)을 회수한다. 이때, 기판회수유닛(800)은 공정 처리된 플렉서블 기판(S) 보호를 위해 배리어 필름(B)을 공급함과 함께 플렉서블 기판(S)을 회수한다.
다음으로 도 3은 본 발명의 제 1실시 예에 따른 도 1에 도시된 밀착유닛의 작동 평면도, 도 4는 도 3에 도시된 밀착유닛의 작동 측면도, 도 5는 본 발명의 제 2실시 예에 따른 플렉서블 기판 처리장치의 밀착유닛의 작동 평면도, 도 6은 도 5에 도시된 밀착유닛의 작동 측면도이다.
도 3 내지 도 6에 도시된 바와 같이, 밀착유닛(900)은 밀착부(910) 및 구동부(930)를 포함한다. 밀착유닛(900)은 전극부(230) 상에 플렉서블 기판(S)이 배치될 때 플렉서블 기판(S)의 일부 영역을 전극부(230)로 밀착하여 전극부(230)에 플렉서블 기판(S)을 밀착 지지시킨다. 상세하게 밀착유닛(900)은 기판공급유닛(700)과 기판회수유닛(800) 사이에서의 플렉서블 기판(S)의 장력 또는 챔버(100) 내부의 진공 분위기와 표면 온도 상승에 따라 전극부(230)에 밀착되지 못하는 플렉서블 기판(S)을 전극부(230)에 밀착 지지한다.
밀착부(910)는 플렉서블 기판(S)의 일부 영역을 프레스 하도록 판재 형상으로 마련되나, 전극부(230)에 플렉서블 기판(S)을 밀착 지지시킬 수 있는 곡률 형상 등 다양한 형상으로 마련될 수 있다. 구동부(930)는 밀착부(910)와 가이드 롤러유닛(600) 사이에 배치되어 밀착부(910)에 구동력을 제공한다. 실질적으로 밀착유닛(900)은 가이드 롤러유닛(600)에 연동하여 왕복 이동된다. 즉, 구동부(930)는 밀착부(910)와 가이드 롤러유닛(600)을 상호 연결하여 가이드 롤러유닛(600)의 왕복 이동력을 밀착부(910)에 제공한다.
본 발명의 일 실시 예들로서, 밀착유닛(900)은 챔버(100)에 대해 플렉서블 기판(S)의 인출입 방향을 따라 플렉서블 기판(S)의 양측면 및 플렉서블 기판(S)의 인출입 방향의 가로 방향으로 양측면 중 어느 하나를 프레스 하여 전극부(230)에 플렉서블 기판(S)을 밀착 지지시킨다.
도 3 및 도 4에 도시된 바와 같이, 본 발명의 제 1실시 예의 밀착유닛(900)은 챔버(100)에 대해 플렉서블 기판(S)의 인출입 방향을 따라 플렉서블 기판(S)의 양측면을 프레스 하여 플렉서블 기판(S)을 전극부(230)에 밀착 지지시킨다. 밀착유닛(900)은 플렉서블 기판(S)의 양측면인 사이드의 일부 영역을 프레스 하여 전극부(230)에 밀착 지지시킨다. 이때, 본 발명의 제 1실시 예의 밀착유닛(900)은 판재 형상으로 마련된 전극부(230)에 대응되어 전극부(230)와 플렉서블 기판(S)의 밀착력을 향상시키도록 플렉서블 기판(S)의 사이드의 일부 영역을 프레스 하는 것이 바람직하다.
한편, 도 5 및 도 6에 도시된 바와 같이, 본 발명의 제 2실시 예의 밀착유닛(900)은 챔버(100)에 대해 플렉서블 기판(S)의 인출입 방향에 대해 가로 방향으로 플렉서블 기판(S)의 양측면 일부 영역을 프레스 한다. 본 발명의 제 2실시 예의 밀착유닛(900)은 패턴이 형성되지 않는 플렉서블 기판(S)의 양측면 일부 영역을 프레스 한다. 이때, 전극부(230)는 일정 곡률 형상을 갖도록 마련된다. 전극부(230)가 일정 곡률 형상을 가지면, 본 발명의 제 2실시 예와 같이 밀착유닛(900)이 플렉서블 기판(S)의 인출입 방향에 대해 가로 방향으로 프레스 할 때 전극부(230)와 플렉서블 기판(S)의 밀착력이 향상되는 이점이 있다.
도 7은 본 발명의 실시 예에 따른 플렉서블 기판 처리장치의 공정방법 흐름도이다.
이러한 구성에 의해 본 발명의 실시 예들에 따른 플렉서블 기판 처리장치(10)의 공정방법은 다음과 같다.
우선, 챔버(100) 내부에 플렉서블 기판(S)을 인입하여 전극부(230)에 인접하는 공정위치로 플렉서블 기판(S)을 안내한다(S100). 공정위치에 배치된 플렉서블 기판(S)의 양측면 일부를 밀착유닛(900)으로 프레스 하여 전극부(230) 상에 플렉서블 기판(S)을 밀착 지지시킨다(S300). 이때, S300 단계는 제 1실시 예에서 밀착유닛(900)은 플렉서블 기판(S)의 인출입 방향을 따라 플렉서블 기판(S)의 양측면 일부를 프레스 하고, 제 2실시 예에서 밀착유닛(900)은 플렉서블 기판(S)의 인출입 방향에 대해 가로 방향으로 플렉서블 기판(S)의 양측면 일부를 프레스 한다.
플렉서블 기판(S)의 공정 처리한 후 전극부(230)에 대해 플렉서블 기판(S)이 이격된 이송위치로 안내한다(S500). 여기서, S100 내지 S500 단계의 공정에서 밀착유닛(900)은 가이드 롤러유닛(600)의 왕복 이동에 연동하여 플렉서블 기판(S)을 전극부(230)에 밀착 지지시키는 밀착위치와 플렉서블 기판(S)에 대해 이격되는 밀착 해제위치 사이에서 왕복 이동된다. S500 단계에서 이송위치로 안내된 플렉서블 기판(S)을 챔버(100) 외부로 인출한다(S700).
S100 내지 S700 단계는 기판공급유닛(700)에 감긴 플렉서블 기판(S)이 기판회수유닛(800)에 회수될 때까지 반복적으로 수행된다.
이에, 전극부에 대해 플렉서블 기판을 밀착 지지시키기 위해 플렉서블 기판을 프레스 하는 밀착유닛을 배치 및 작동하여 플렉서블 기판의 공정 효율을 향상시킬 수 있다.
이상 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시 예들을 설명하였지만, 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자는 본 발명의 그 기술적 사상이나 필수적인 특징들이 변경되지 않고서 다른 구체적인 형태로 실시될 수 있다는 것으로 이해할 수 있을 것이다. 그러므로, 이상에서 기술한 실시 예들은 모든 면에서 예시적인 것이며 한정적이 아닌 것으로 이해해야만 한다. 본 발명의 범위는 상기 상세한 설명보다는 후술하는 특허청구범위에 의하여 나타내어지며, 특허청구범위의 의미 및 범위 그리고 그 균등개념으로부터 도출되는 모든 변경 또는 변형된 형태가 본 발명의 범위에 포함되는 것으로 해석되어야 한다.
10: 플렉서블 기판 처리장치 100: 챔버
230: 전극부 600: 가이드 롤러유닛
900: 밀착유닛

Claims (11)

  1. 플렉서블 기판이 인출입 되며, 상기 플렉서블 기판을 공정 처리하는 공정 공간을 형성하는 챔버와;
    상기 챔버 내부에 배치되는 전극부와;
    상기 플렉서블 기판이 상기 전극부 상에 배치되어 공정이 이루어질 때, 상기 플렉서블 기판을 상기 전극부에 밀착 지지시키는 밀착유닛을 포함하는 것을 특징으로 하는 플렉서블 기판 처리장치.
  2. 제 1항에 있어서,
    상기 밀착유닛은 상기 챔버에 대해 상기 플렉서블 기판의 인출입 방향을 따라 상기 플렉서블 기판의 양측면 및 상기 플렉서블 기판의 인출입 방향의 가로 방향으로 양측면 중 어느 하나를 상기 전극부에 밀착하여, 상기 플렉서블 기판을 상기 전극부에 밀착 지지시키는 것을 특징으로 하는 플렉서블 기판 처리장치.
  3. 제 2항에 있어서,
    상기 전극부는 판재 형상으로 마련되며, 상기 밀착유닛은 상기 플렉서블 기판의 인출입 방향을 따라 상기 플렉서블 기판의 양측면 일부 영역을 밀착하여 상기 전극부의 판면에 상기 플렉서블 기판을 밀착 지지시키는 것을 특징으로 하는 플렉서블 기판 처리장치.
  4. 제 2항에 있어서,
    상기 전극부는 일정 곡률을 갖는 형상으로 마련되며, 상기 밀착유닛은 플렉서블 기판의 인출입 방향의 가로 방향으로 상기 플렉서블 기판의 양측면 일부 영역을 밀착하여 상기 전극부의 곡면에 상기 플렉서블 기판을 밀착 지지시키는 것을 특징으로 하는 플렉서블 기판 처리장치.
  5. 제 1항 또는 제 2항에 있어서,
    상기 플렉서블 기판 처리장치는,
    상기 챔버 내부에 인입되는 상기 플렉서블 기판에 대해 상기 플렉서블 기판이 상기 전극부에 인접하여 공정 처리되는 공정위치와, 상기 공정위치로부터 이격되어 상기 플렉서블 기판이 상기 챔버 외부로 이송되는 이송위치 사이에서 상기 플렉서블 기판을 왕복 이동시키는 가이드 롤러유닛을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 플렉서블 기판 처리장치.
  6. 제 5항에 있어서,
    상기 밀착유닛은 상기 가이드 롤러유닛의 왕복 이동에 연동하여, 상기 전극부에 대해 상기 공정위치와 상기 이송위치 사이에서 왕복 이동되는 것을 특징으로 하는 플렉서블 기판 처리장치.
  7. 상기 플렉서블 기판이 인출입 되는 챔버와, 상기 챔버 내부에 배치되는 전극부와, 상기 전극부에 대해 상기 플렉서블 기판을 밀착 지지시키는 밀착유닛을 갖는 플렉서블 기판 처리장치를 포함하고,
    (a) 상기 챔버 내부에 상기 플렉서블 기판을 인입하여, 상기 전극부에 인접하는 공정위치로 상기 플렉서블 기판을 안내하는 단계와;
    (b) 상기 공정위치에 배치된 상기 플렉서블 기판의 양측면 일부를 상기 밀착유닛으로 프레스 하여, 상기 전극부 상에 상기 플렉서블 기판을 밀착 지지시키는 단계와;
    (c) 상기 플렉서블 기판을 공정 처리한 후, 상기 전극부에 대해 상기 플렉서블 기판이 이격된 이송위치로 안내하는 단계와;
    (d) 상기 이송위치로 안내된 상기 플렉서블 기판을 상기 챔버 외부로 인출하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 플렉서블 기판 처리장치의 공정방법.
  8. 제 7항에 있어서,
    상기 (b) 단계는 상기 챔버에 대해 상기 플렉서블 기판의 인출입 방향을 따라 상기 플렉서블 기판의 양측면 및 상기 플렉서블 기판의 인출입 방향의 가로 방향으로 양측면 중 어느 하나를 프레스 하여, 상기 전극부에 상기 플렉서블 기판을 밀착 지지시키는 것을 특징으로 하는 플렉서블 기판 처리장치의 공정방법.
  9. 제 8항에 있어서,
    상기 전극부는 판재 형상으로 마련되며, 상기 (b) 단계는 상기 플렉서블 기판의 인출입 방향을 따라 상기 플렉서블 기판의 양측면 일부 영역을 밀착하여 상기 전극부의 판면에 밀착 지지시키는 것을 특징으로 하는 플렉서블 기판 처리장치의 공정방법.
  10. 제 8항에 있어서,
    상기 전극부는 일정 곡률을 갖는 형상으로 마련되며, 상기 (b) 단계는 플렉서블 기판의 인출입 방향의 가로 방향으로 상기 플렉서블 기판의 양측면 일부 영역을 밀착하여 상기 전극부의 곡면에 밀착 지지시키는 것을 특징으로 하는 플렉서블 기판 처리장치의 공정방법.
  11. 제 7항에 있어서,
    상기 밀착유닛은 상기 플렉서블 기판이 (a) 단계에서의 공정위치와 상기 (c) 단계에서의 상기 이송위치로 왕복 이동될 때, 상기 플렉서블 기판의 왕복 이동에 연동하여 상기 플렉서블 기판을 상기 전극부에 밀착 지지시키는 밀착위치와 상기 플렉서블 기판에 대해 이격되는 밀착 해제위치 사이에서 왕복 이동하는 것을 특징으로 하는 플렉서블 기판 처리장치의 공정방법.
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