KR20170069018A - 신축성 전자 소자 및 그 제작 방법 - Google Patents

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Abstract

신축성 전자 소자는 플렉서블 기판; 상기 플렉서블 기판 상에 형성되고, 반복된 원형 구조를 갖는 전도성 섬유 패턴; 및 상기 전도성 섬유 패턴에 부착된 그래핀 소재를 포함한다.

Description

신축성 전자 소자 및 그 제작 방법{STRETCHABLE ELECTRONIC DEVICE AND METHOD OF FABRICATING THE SAME}
본 발명은 전자 소자 및 그 제조 방법에 관한 것으로, 보다 상세히는 전도성 섬유 패턴을 이용한 신축성 전자 소자 및 그 제작 방법에 관한 것이다.
섬유를 기반으로 하는 전자 소자는 자유롭게 당기거나 구부리는 것이 가능하다. 특히, 섬유는 연신과 직조 가능성, 넓은 표면적, 표면처리의 다양성, 복합재료 구성의 용이성과 같은 다양한 장점을 갖고 있으므로, 전자 소자에 적용될 가능성이 높다. 그러나, 이와 관련된 기술은 아직 개념적인 수준에 머무르고 있다.
대부분의 섬유는 고분자 물질로 구성되는데, 고분자 물질은 대부분 낮은 전기 전도도를 가지는 물질이다. 따라서, 통상적으로 섬유는 전기적 절연체로 이용되며, 전도성 재료로는 사용되기에는 부적합한 면이 있다.
종래에는 이러한 문제점을 극복하기 위하여, 섬유를 구성하고 있는 고분자 물질에 전기적인 전도 특성을 가지는 금속 물질을 첨가하여, 전기 전도성을 지닌 섬유 패턴을 제조한다.
그러나, 이러한 방식으로 제조된 전도성 섬유 또는 직물은 뛰어난 전도성을 갖는 반면, 기계적인 신축성이 약하다는 단점이 있다. 따라서, 섬유나 직물을 전자 소자에 직접 이용하거나, 전자 기기들을 상호 연결시키는 연결부재로 이용하는데 어려움이 있다.
본 발명의 실시예는 전도성 및 신축성이 뛰어난 전도성 섬유 패턴을 이용한 신축성 전자 소자 및 그 제조 방법을 제공한다.
본 발명의 일 실시예에 따른 신축성 전자 소자는 플렉서블 기판; 상기 플렉서블 기판 상에 형성되고, 반복된 원형 구조를 갖는 전도성 섬유 패턴; 및 상기 전도성 섬유 패턴에 부착된 그래핀 소재를 포함한다.
본 발명의 일 실시예에 따른 신축성 전자 소자의 제작 방법은 고분자 물질과 금속 소재가 분산된 혼합 용액을 제조하는 단계; 상기 혼합 용액을 전기 방사하여, 반복된 원형 구조를 갖는 전도성 섬유 패턴을 형성하는 단계; 및 상기 전도성 섬유 패턴을 열처리하는 단계를 포함한다.
근접장 전기방사 공정을 이용하여 스프링 구조의 전도성 섬유 패턴을 형성하므로, 스프링 구조의 전도성 섬유 패턴을 형성할 수 있다. 스프링 구조의 전도성 섬유 패턴은 자유롭게 구부러지거나 신장될 수 있으며 형태가 변형되더라도 전도성 섬유가 끊어지지 않고 고유의 특성을 유지할 수 있으므로, 이를 이용하여 스트레쳐블 전자 소자를 제작할 수 있다. 예를 들어, 인터커넥션(inter-connection) 전극 구조를 제작하거나, 헬멧이나 손목 등과 같이 일정한 곡률을 가지는 표면에 부착하는 부착형 연성 전자 소자를 제작할 수 있다. 또는, 팔꿈치를 접거나 피는 경우와 같이 두 개의 전극 사이의 거리가 가변되는 영역에 부착하는 부착형 연성 전자 소자를 제작할 수 있다.
또한, 그래핀이 고르게 분산된 용액에 스프링 구조를 갖는 전도성 섬유 패턴을 딥핑함으로써, 전도성 섬유 패턴의 표면에 그래핀 소재를 균일하게 부착할 수 있다. 이와 같이, 생-화학 물질에 대한 검출 특성을 갖는 그래핀 소재를 전도성 섬유 패턴에 부착함으로써, 전도성 섬유와 그래핀의 혼합구조를 제작할 수 있으며, 이를 이용하여 생-화학 센서와 같은 전자 소자를 제작할 수 있다.
도 1a 및 도 1b는 본 발명의 일 실시예에 따른 신축성 전자 소자의 구조를 나타낸 도면이다.
도 2a 내지 도 2c는 본 발명의 일 실시예에 따른 신축성 전자 소자의 구조를 설명하기 위한 도면이다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 전기방사(electro-spinning: ES) 방식으로 섬유 패턴을 형성하는 방법을 나타낸 모식도이다.
도 4a 및 도 4b는 본 발명의 일 실시예에 따른 근접장 전기방사 (near-field electro-spinning: NFES) 방식으로 섬유 패턴을 형성하는 방법을 설명하기 위한 모식도이다.
도 5a 내지 도 5e는 본 발명의 일 실시예에 따른 플렉서블 전자 소자의 제작 공정을 나타내는 제작공정도이다.
도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 신축성 전자 소자 제작 방법을 이용하여 실제로 제작된 실버 와이어와 그래핀 입자 혼성구조의 전자 현미경 사진이다.
도 7은 알루미늄 기판 위에 제작된 섬유 패턴의 실제 사진이다.
이하에서는, 본 발명의 가장 바람직한 실시예가 설명된다. 도면에 있어서, 두께와 간격은 설명의 편의를 위하여 표현된 것이며, 실제 물리적 두께에 비해 과장되어 도시될 수 있다. 본 발명을 설명함에 있어서, 본 발명의 요지와 무관한 공지의 구성은 생략될 수 있다. 각 도면의 구성요소들에 참조 번호를 부가함에 있어서, 동일한 구성 요소들에 한해서는 비록 다른 도면상에 표시되더라도 가능한 한 동일한 번호를 가지도록 하고 있음에 유의하여야 한다.
도 1a 및 도 1b는 본 발명의 일 실시예에 따른 신축성 전자 소자의 구조를 나타낸 도면이다. 도 1a 및 도 1b를 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 신축성 전자 소자(100)는 기판(10), 기판(10) 상에 형성된 전극 패턴(11) 및 전극 패턴(11) 상에 형성된 전도성 섬유 패턴(12)을 포함한다.
기판(10)은 고무 기판 등과 같은 플렉서블 기판일 수 있다. 전극 패턴(11)은 금속 등의 도전막으로 형성되며, 소정 거리 이격된 복수의 전극막들을 포함할 수 있다. 예를 들어, 전극 패턴(11)은 센서의 센싱 전극일 수 있다. 전도성 섬유 패턴(12)은 전극 패턴(11)과 전기적으로 연결되며, 얽힌(tangled) 구조를 가질 수 있다. 여기서, 얽힌 구조는 그물, 거미줄, 실-타래 등과 같이 무정형의 중첩 구조가 반복된 것이거나, 스프링 구조, 나선 구조 등과 같이 원형(circle)의 중첩 구조가 반복된 것일 수 있다.
전술한 바와 같은 구조에 따르면, 전극 패턴(11)에 포함된 복수의 전극막들은 전도성 섬유 패턴(12)에 의해 상호 전기적으로 연결된다. 또한, 기판(10)을 신장시켜 복수의 전극막들 간의 거리가 증가되거나 기판(10)이 휘어지는 경우에도, 전도성 섬유 패턴(12)은 구조적 특성상 전기적 연결을 유지한 상태로 신장될 수 있다. 즉, 기판(10)이 신장되면 전도성 섬유 패턴(12)의 중첩 구조가 펼쳐지고, 전도성 섬유 패턴(12)의 연결 상태는 그대로 유지하므로, 복수의 전극막들 또한 전기적 연결을 유지할 수 있다.
도 2a 내지 도 2c는 본 발명의 일 실시예에 따른 신축성 전자 소자의 구조를 설명하기 위한 도면으로서, 그래핀 소재가 부착된 혼성 구조의 전도성 섬유 패턴을 나타낸다.
도 2a를 참조하면, 전도성 섬유 패턴은 나노 와이어(21)의 구조를 가질 수 있다. 나노 와이어(21)에 제1 그래핀 소재(22A)와 제2 그래핀 소재(22B)가 부착되며, 제1 그래핀 소재(22A)와 제2 그래핀 소재(22B)는 이격되어 위치될 수 있다. 여기서, 나노 와이어(21)는 전하를 전달할 수 있는 소재로 형성되며, 전도성을 갖는다. 따라서, 제1 그래핀 소재(22A)와 제2 그래핀 소재(22B)는 상호 이격되어 위치되더라도, 나노 와이어(21)에 의해 전기적으로 연결될 수 있다. 즉, 제1 그래핀 소재(22A)를 통해 전류를 흘리면, 전기적 신호의 단절없이 나노 와이어(21)를 통해 제2 그래핀 소재(22B)로 전류가 흐르게 된다. 예를 들어, 나노 와이어(21)는 실버 와이어(Ag wire)일 수 있고, 제1 및 제2 그래핀 소재(22A, 22B)는 그래핀 플레이크(graphene flake)일 수 있다.
도 2b를 참조하면, 제1 길이(L1)를 갖는 기판(20) 상에 나노 와이어(21) 및 복수의 그래핀 소재(22A, 22B)가 형성된다. 예를 들어, 실버 와이어와 그래핀 플레이크가 혼합된 용액을 전기 방사 방식으로 기판(20)에 프린트함으로써, 라인 형태를 갖는 전극 구조를 형성한다. 여기서, 나노 와이어(21)는 복수의 절편들이 중첩되어 배치된 얽힌 구조를 가지며, 복수의 그래핀 소재(22A, 22B) 또한 중첩되어 배치될 수 있다.
도 2c를 참조하면, 기판(20)이 제2 길이(L2)로 신장됨에 따라 제1 그래핀 소재들(22A)과 제2 그래핀 소재들(22B)이 상호 이격된다. 이때, 복수의 나노 절편들도 신장된 기판(20)에 따라 위치가 변동되지만, 여전히 중첩된 구조를 갖는다. 즉, 기판(20)이 신장됨에 따라 중첩된 영역이 감소되기는 하지만, 여전히 중첩된 구조를 유지하므로 상호 이격된 제1 그래핀 소재들(22A)과 제2 그래핀 소재들(22B)을 전기적으로 연결시킬 수 있다.
전술한 바와 같은 구조를 응용하면, 하부는 나노 와이어(21)와 전도성 고분자로 채워지고, 상부는 생-화학 물질 검출용 그래핀 소재가 부착된 혼성 구조를 구현할 수 있다. 여기서, 하부의 나노 와이어(21)가 센싱 전극일 수 있으며, 이를 이용하여 생화학 검출소자(sensor)를 제작할 수 있다. 따라서, 구부리거나 신장시켜도 전기적인 특성이 변하지 않는 스트레쳐블(stretchable) 검출소자를 제작할 수 있다.
참고로, 본 도면에서는 혼재되어 있는 그래핀 플레이크를 구별하기 위해 설명의 편의상 제1 그래핀 소재들(22A)과 제2 그래핀 소재들(22A)로 명명하였으며, 본 발명이 이에 한정되는 것은 아니다. 또한, 실버 와이어가 앞서 설명한 원형의 중첩 구조를 갖는 것도 가능하다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 전기방사(electro-spinning: ES) 방식으로 섬유 패턴을 형성하는 방법을 나타낸 모식도이다.
전기방사 공정은 고분자 용액 또는 고분자 용융체를 정전기력으로 방사하여 수십에서 수백 나노 크기의 선폭을 갖는 미세 패턴을 형성하는 기술로서, 수 kV 이상의 고전압에 의한 정전기력을 이용하여 미세 패턴을 방사한다. 이하, 도면을 참조하여 전기방사 방식으로 섬유 패턴을 제작하는 방법에 대해 설명하도록 한다.
도 3을 참조하면, 전기방사 장비는 노즐(nozzle; 31), 시린지(syringe; 32), 시린지 펌프(syringe pump; 33) 및 전원(power supply; 34)을 포함한다. 먼저, 소정의 점도, 예를 들어, 3 내지 90 cps의 점도 값을 갖는 고분자 물질과 전도성 금속 구조물을 혼합한 용액을 시린지(32) 내부에 저장한다. 이어서, 시린지 펌프(33)로 시린지(32) 내부에 일정한 압력을 가하여 노즐(31)을 통해 용액을 밀어낸다. 이를 통해, 노즐(31)의 끝단에 액적이 형성되며, 표면 장력에 의해 액적 형태가 유지된다. 이어서, 고전압 전력 공급 장치(power supply)로 노즐(31)에 전압을 인가하고, 기판(40)을 접지시킨다. 외부에서 가해진 전기장이 특정 임계값, 예를 들어, 액적의 형태를 그대로 유지하고자 하는 표면장력에 비해 큰 값을 갖게 되면, 노즐(31)로부터 미세한 전도성 섬유 패턴(conductive fiber pattern; 50)이 형성되어 역삼각형 형태로 기판(40)의 표면에 낙하한다. 이때, 노즐(31) 끝에서부터 분사된 전도성 섬유 패턴(50)은 노즐(31)에 가해진 전압에 대한 정전기 반발에 의하여 분사와 동시에 기판(40)에 부착된다. 여기서, 노즐(31)은 금속 재질로 제작될 수 있고, 시린지(32)는 노즐(31)로부터 홀(hole) 당 0.01 내지 0.1 ㎖/h의 속도로 용액을 밀어낸다. 이를 통해, 실-타래가 얽혀있는 것 같은 불규칙한 형태의 섬유 패턴을 형성할 수 있다.
도 4a 및 도 4b는 본 발명의 일 실시예에 따른 근접장 전기방사 (near-field electro-spinning: NFES) 방법을 사용하여 프리 스탠딩(free-standing) 구조의 섬유 패턴을 형성하는 방법을 설명하기 위한 모식도이다. 이하, 도면을 참조하여, 노즐(31)과 기판(40) 간의 거리에 따라 섬유 패턴의 형태를 조절하는 방법을 설명한다.
먼저, 고분자 물질과 전도성 금속 소재를 혼합하여 혼합 용액을 제조한다. 여기서, 고분자 물질은 폴리비닐 알코올(Poly Vinyl Alcohol; PVA), 폴리우레탄(Poly Urethane; PU), 폴리이미드(Poly Imide; PI), 폴리에틸렌 옥사이드(Polyethylene Oxide PEO), 폴리비닐 피놀리딘(Polyvinylpyrrolidone; PVP), 폴리스틸렌(Polystyrene; PS) 폴리아크릴로나이트릴(Polyacrylonitrile; PAN) 중 어느 하나일 수 있다. 또한, 금속 소재는 금속 파티클, 금속 와이어 또는 금속 플레이크 형태를 가질 수 있다. 또한, 금속 소재는 은(Ag), 구리(Cu), 금(Au), 백금(Pt), 몰리브덴(Mo), 텅스텐(W), 니켈(Ni), 크롬(Cr) 중 어느 하나일 수 있다.
이어서, 시린지에 저장된 혼합 용액이 노즐(31)로부터 액적 형태로 압출되며, 노즐(31)과 기판(40) 사이에 인가된 수직 방향의 전압이 액적의 표면 장력에 비해 커지면, 전도성 섬유 패턴(50)이 방사된다. 이때, 일직선 형태의 제트(jet) 흐름으로 섬유 패턴이 방사되는데, 액적이 수평 방향으로 퍼지려는 힘과 수직방향의 인가전압이 평형을 이루게 되면, 소용돌이 형태, 나선 형태, 스프링 형태 등과 같이 반복적인 원형(circle) 구조를 갖는 전도성 섬유 패턴(50)이 방사된다. 이어서, 전도성 섬유 패턴(50)을 열처리한다. 이를 통해, 전도성 섬유 패턴(50) 내에 포함된 고분자 성분을 제거할 수 있다.
여기서, 원형으로 분사되는 전도성 섬유 패턴(50)의 곡률 반경은 노즐(31)과 기판(40) 간의 거리에 따라 조절할 수 있다. 도 4a와 같이 노즐(31)과 기판(40) 간의 거리가 상대적으로 먼 경우, 곡률 반경이 증가하게 되어 섬유 패턴이 기판(40) 전체적으로 불규칙하게 방사될 수 있다. 따라서, 섬유 패턴의 형태 및 형성되는 위치를 제어하는데 어려움이 있다. 도 4b와 같이 노즐(31)과 기판(40) 간의 거리가 상대적으로 가까운 경우, 곡률 반경이 감소하게 되어 규칙적인 형태의 섬유 패턴을 원하는 위치에 형성할 수 있다. 특히, 노즐(31)과 기판(40) 사이의 거리를 1 내지 5mm로 조절하는 경우, 직선 형태의 제트 흐름을 이용하여 상대적으로 작은 곡률 반경을 가지면서 노즐(31)로부터 원형으로 방출되는 전도성 섬유 패턴(50)을 형성할 수 있다.
이와 같이, 노즐(31)과 기판(40) 간의 거리를 5nm 이하로 조절함으로써, 반복적인 원형 구조를 갖는 섬유 패턴을 특정 위치에 제작할 수 있다. 또한, 이를 전자 소자의 제작에 응용하여, 기판(40) 상에 전극 패턴을 미리 형성하고, 전극 패턴 상에만 스프링 형태의 섬유 패턴을 형성함으로써, 섬유 패턴이 생성된 전극 부위에만 선택적으로 전류를 유입하여 전자 소자를 구동할 수 있다.
이 밖에도 인가된 전압의 크기, 용액의 점도, 노즐(31)의 X-Y-Z 방향으로의 이동 속도, 용액이 토출되는 노즐(31)의 홀 크기 등을 조절함으로써 전도성 섬유 패턴(50)의 형태 및 선폭을 조절할 수 있다. 특히, 선폭을 수 내지 수십 um 이내로 조절하는 것도 가능하다. 예를 들어, 고분자 용액이 10 내지 50 cps 사이의 점도를 갖는 경우, 도 3a와 같이 기판(40) 표면에 3차원 매트(mat) 형태를 갖는 섬유 패턴이 형성된다. 이러한 매트 패턴은 양쪽으로 잡아당겨도 끊어지지 않고 연속적인 형태를 갖는다.
도 5a 내지 도 5e는 본 발명의 일 실시예에 따른 플렉서블 전자 소자의 제작 공정을 나타내는 제작공정도이다. 이하, 도면을 참조하여, 실버 와이어와 그래핀 시트 혼성구조를 갖는 플렉서블 전자 소자의 제조 방법에 대해 설명하도록 한다.
도 5a를 참조하면, 임시 기판(70) 상에 반복된 원형 구조를 갖는 전도성 섬유 패턴(80)을 형성한다. 예를 들어, 고분자 용액과 실버 와이어가 균일하게 분산된 혼합 용액을 제조한다. 이어서, 시린지 내에 혼합 용액을 저장한 후, 시린지 펌프를 이용하여 노즐(61)로부터 전도성 섬유 패턴(80)을 방사한다. 이때, 노즐(61)과 임시 기판(70) 간의 거리를 5nm 이하로 조절하여, 반복된 원형 구조를 갖는 전도성 섬유 패턴(80)을 형성할 수 있다. 또한, 임시 기판(70)은 알루미늄 포일일 수 있고, 알루미늄 포일을 50 내지 100mm의 간격(D)으로 접은 상태에서 전도성 섬유 패턴(80)을 형성할 수 있다.
도 5b를 참조하면, 플렉서블 기판(90) 상에 전극 패턴(92)을 형성한다. 여기서, 전극 패턴(92)은 소정 거리 이격된 복수의 전극들을 포함할 수 있다. 또한, 플렉서블 기판(90)은 제1 길이(L1)를 갖는 고무 기판일 수 있다.
도 5c를 참조하면, 플렉서블 기판(90)을 제2 길이(L2)로 신장시킨 후, 임시 기판(70) 상에 형성된 전도성 섬유 패턴(80)을 플렉서블 기판(90)에 전사한다.
도 5d를 참조하면, 플렉서블 기판(90)의 전극 패턴(92) 상에 전도성 섬유 패턴(80)이 부착된다. 이때, 신장시킨 플렉서블 기판(90)이 제1 길이(L1)로 복원되면, 전도성 섬유 패턴(80)의 반복 구조의 주기가 짧아진다.
참고로, 본 도면에는 도시되지 않았으나, 전도성 섬유 패턴(80)을 열처리할 수 있다. 또한, 전도성 섬유 패턴(80)을 그래핀 분산 용액에 딥핑하여 전도성 섬유 패턴(80)에 그래핀 소자를 부착시킬 수 있다. 예를 들어, 전기 방사 방식으로 형성된 전도성 섬유 패턴(80)을 열처리한 후에 플렉서블 기판(90)으로 전사하고, 기판(90)에 전사된 전도성 섬유 패턴(80)에 그래핀 소재를 부착시킬 수 있다.
전술한 바와 같은 방법을 통해, 자유롭게 구부리거나 신장시킬 수 있는 인터커넥션(inter-connection) 전극 구조를 제작할 수 있으며, 이를 이용하여 스트레쳐블(stretchable) 전자 소자를 제작할 수 있다. 특히, 그래핀 소재는 생화학 물질에 대해 검출 특성을 가지므로, 센싱 전극 패턴이 형성된 플렉서블 기판 상에 전도성 섬유 패턴(80) 및 그래핀 소재를 형성함으로써, 전도성 금속-섬유와 그래핀 혼성(hybrid) 구조를 갖는 스트레쳐블 생화학 센서를 제작할 수 있다.
도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 신축성 전자 소자 제작 방법을 이용하여 실제로 제작된 실버 와이어와 그래핀 입자 혼성구조의 전자 현미경 사진이다.
도 6을 참조하면, 하부에는 실버 와이어가 위치되고 상부에는 얇은 종이 형태의 그래핀 시트가 위치된다. 따라서, 상부의 그래핀 시트가 하부의 실버 와이어의 표면을 전체적으로 덮으면서 전기적으로 연결된 것을 확인할 수 있다.
도 7은 알루미늄 기판 위에 제작된 섬유 패턴의 실제 사진이다. 도 7을 참조하면, 알루미늄 포일 상에 전기방사된 전도성 섬유 패턴을 확인할 수 있다.
본 발명의 기술 사상은 상기 바람직한 실시예들에 따라 구체적으로 기록되었으나, 상기한 실시예는 그 설명을 위한 것이며 그 제한을 위한 것이 아님을 주의하여야 한다. 또한, 본 발명의 기술 분야의 통상의 전문가라면 본 발명의 기술 사상 범위 내에서 다양한 실시예가 가능함을 이해할 수 있을 것이다.
10: 기판 11: 전극 패턴
12: 전도성 섬유 패턴 20: 기판
21: 실버 와이어 22A, 22B: 그래핀 소재
31: 노즐 32: 시린지
33: 시린지 펌프 34: 전원
40: 기판 50: 전도성 섬유 패턴
61: 노즐 70: 임시 기판
80: 전도성 섬유 패턴 90: 플렉서블 기판
92: 전극 패턴

Claims (10)

  1. 플렉서블 기판;
    상기 플렉서블 기판 상에 형성되고, 반복된 원형 구조를 갖는 전도성 섬유 패턴; 및
    상기 전도성 섬유 패턴에 부착된 그래핀 소재
    를 포함하는 신축성 전자 소자.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 플렉서블 기판 상에 형성되고, 상기 전도성 섬유 패턴과 전기적으로 연결된 전극 패턴
    을 더 포함하는 신축성 전자 소자.
  3. 제1항에 있어서,
    상기 신축성 전자 소자는 생화학 센서인
    신축성 전자 소자.
  4. 제1항에 있어서,
    상기 전도성 섬유 패턴은 고분자 물질 및 금속 소재를 포함한
    신축성 전자 소자.
  5. 제4항에 있어서,
    상기 금속 소재는 은(Ag), 구리(Cu), 금(Au), 백금(Pt), 몰리브덴(Mo), 텅스텐(W), 니켈(Ni), 크롬(Cr) 중 어느 하나인
    신축성 전자 소자.
  6. 제4항에 있어서,
    상기 고분자 물질은 폴리비닐 알코올(Poly Vinyl Alcohol; PVA), 폴리우레탄(Poly Urethane; PU), 폴리이미드(Poly Imide; PI), 폴리에틸렌 옥사이드(Polyethylene Oxide PEO), 폴리비닐 피놀리딘(Polyvinylpyrrolidone; PVP), 폴리스틸렌(Polystyrene; PS) 폴리아크릴로나이트릴(Polyacrylonitrile; PAN) 중 어느 하나인
    신축성 전자 소자.
  7. 고분자 물질과 금속 소재가 분산된 혼합 용액을 제조하는 단계;
    상기 혼합 용액을 전기 방사하여, 반복된 원형 구조를 갖는 전도성 섬유 패턴을 형성하는 단계;
    상기 전도성 섬유 패턴을 열처리하는 단계; 및
    상기 전도성 섬유 패턴을 그래핀 분산 용액에 딥핑하여, 상기 전도성 섬유 패턴의 표면에 그래핀 소재를 부착하는 단계
    를 포함하는 신축성 전자 소자의 제작 방법.
  8. 제7항에 있어서,
    상기 전도성 섬유 패턴을 형성하는 단계는 전기방사 장비의 노즐과 기판 간의 거리를 1 내지 5mm로 조절하는
    신축성 전자 소자의 제작 방법.
  9. 제7항에 있어서,
    상기 전도성 섬유 패턴을 플렉서블 기판에 전사하는 단계
    를 더 포함하는 신축성 전자 소자의 제작 방법.
  10. 제9항에 있어서,
    상기 플렉서블 기판을 신장시킨 상태에서 상기 전도성 섬유 패턴을 전사하는
    신축성 전자 소자의 제작 방법.
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