KR20170061321A

KR20170061321A - Rotation shaft module and apparatus for deposition including the same

Info

Publication number: KR20170061321A
Application number: KR1020150166183A
Authority: KR
Inventors: 김준승
Original assignee: 주식회사 선익시스템
Priority date: 2015-11-26
Filing date: 2015-11-26
Publication date: 2017-06-05

Abstract

본 발명의 일 측면에 따르면, 일단이 측단에서 시작되어 내부에서 길이 방향으로 연장된 후 타단이 타측까지 연장되는 유체관로가 형성되는 샤프트와; 상기 샤프트가 관통하여 상기 유체관로의 일단이 내부에 위치하도록 관통부가 형성되고, 외측에서 상기 관통부까지 유체이동로가 형성되며, 상기 샤프트가 상기 관통부에 삽입되어 회전가능하게 결합되는 밀봉슬리브와; 상기 샤프트의 외면 및 상기 관통부의 내면 중 어느 하나 이상에 상기 샤프트의 외주를 따라 함입되어 상기 유체관로의 일단과 상기 유체이동로를 연통시키는 연결홈부와; 상기 연결홈부가 밀봉되도록 상기 연결홈부의 상부 및 하부에 상기 샤프트의 외면과 상기 관통부의 내면 사이에 개재되는 실링(sealing) 부재와; 상기 실링 부재의 외측에, 상기 샤프트의 외면 및 상기 관통부의 내면 중 어느 하나 이상에 상기 샤프트의 외주를 따라 함입되어 형성되는 배기홈부와; 상기 배기홈부에 연통되며, 기체가 유입되는 기체주입구; 및 상기 배기홈부에 연통되며, 상기 기체가 유출되는 기체배출구를 포함하는, 회전샤프트 모듈 및 이를 포함하는 증착장치를 제공한다.According to an aspect of the present invention, there is provided a fluid supply device comprising: a shaft having a first end formed in a side end and extending in the longitudinal direction of the first end and a second end extending to the other end; Wherein the fluid passage is formed from the outside to the penetrating portion, the shaft is inserted into the penetrating portion and rotatably engaged with the shaft, ; A coupling groove portion that is embedded in the outer surface of the shaft and on the inner surface of the penetrating portion along the outer periphery of the shaft to communicate the fluid passage with one end of the fluid passage; A sealing member interposed between the outer surface of the shaft and the inner surface of the through-hole at upper and lower portions of the connection groove to seal the connection groove; An exhaust groove formed on the outer side of the sealing member so as to be embedded along the outer periphery of the shaft on the outer surface of the shaft and the inner surface of the penetrating portion; A gas inlet communicating with the exhaust groove and through which gas flows; And a gas outlet communicating with the exhaust groove and through which the gas flows, and a deposition apparatus including the same.

Description

TECHNICAL FIELD [0001] The present invention relates to a rotary shaft module and a deposition apparatus including the rotary shaft module.

본 발명은 회전샤프트 모듈 및 이를 포함하는 증착장치에 관한 것이다. 보다 상세하게는, 회전샤프트 모듈의 밀봉슬리브와 샤프트 사이로 유출되는 냉매를 제거하여 냉매가 외부로 누설되는 것을 방지할 수 있는 회전샤프트 모듈 및 이를 포함하는 증착장치에 관한 것이다.The present invention relates to a rotary shaft module and a deposition apparatus including the same. And more particularly, to a rotary shaft module capable of preventing a refrigerant from leaking to the outside by removing a refrigerant flowing out between a sealing sleeve and a shaft of a rotary shaft module, and a deposition apparatus including the rotary shaft module.

유기 전계 발광소자(Organic Light Emitting Diodes: OLED)는 형광성 유기화합물에 전류가 흐르면 빛을 내는 전계 발광현상을 이용하는 스스로 빛을 내는 자발광소자로서, 비발광소자에 빛을 가하기 위한 백라이트가 필요하지 않기 때문에 경량이고 박형의 평판표시장치를 제조할 수 있다.BACKGROUND ART Organic light emitting diodes (OLEDs) are self-light emitting devices that emit light by using an electroluminescent phenomenon that emits light when a current flows through a fluorescent organic compound. A backlight for applying light to a non- Therefore, a lightweight thin flat panel display device can be manufactured.

유기 전계 발광 소자는, 애노드 및 캐소드 전극을 제외한 나머지 구성층인 정공주입층, 정공수송층, 발광층, 전자수송층 및 전자주입층 등이 유기 박막으로 되어 있고, 이러한 유기 박막은 진공열증착방법으로 기판 상에 증착된다.The organic electroluminescent device comprises an organic thin film such as a hole injecting layer, a hole transporting layer, a light emitting layer, an electron transporting layer, and an electron injecting layer which are the remaining constituent layers except for the anode and the cathode. / RTI >

진공열증착방법은 진공챔버 내에 기판을 배치하고, 일정 패턴이 형성된 쉐도우 마스크(shadow mask)를 기판에 정렬시킨 후, 증발물질이 담겨 있는 증발원에 열을 가하여 증발원에서 승화되는 증발물질을 기판 상에 증착하는 방식으로 이루어진다.In the vacuum thermal deposition method, a substrate is disposed in a vacuum chamber, a shadow mask having a predetermined pattern is aligned on a substrate, heat is applied to an evaporation source containing the evaporation material, Evaporation.

그러나, 진공챔버 내의 진공 분위기 내에서 증발원의 가열에 의한 증착공정을 수행하는 과정에서 증발원의 복사열이 쉐도우 마스크, 기판, 기판 지지 장치 등에 전달되어 온도가 상승하게 된다. 이러한 온도 상승은 쉐도우 마스크, 기판, 기판 지지 장치 등의 열팽창을 유발하고, 이러한 열팽창은 정밀한 패턴의 증착을 방해하는 요소가 된다.However, in the process of performing the deposition process by heating the evaporation source in the vacuum atmosphere in the vacuum chamber, the radiation heat of the evaporation source is transmitted to the shadow mask, the substrate, the substrate support device, This increase in temperature causes thermal expansion of the shadow mask, the substrate, the substrate support apparatus, and the like, and this thermal expansion becomes an element that hinders deposition of a precise pattern.

따라서, 증발원의 가열에 의한 증착공정을 수행하는 과정에서 진공챔버 내의 쉐도우 마스크, 기판 등에 대한 냉각이 필요하다.Accordingly, it is necessary to cool the shadow mask, the substrate, and the like in the vacuum chamber during the deposition process by heating the evaporation source.

진공챔버 내의 쉐도우 마스크, 기판 등에 대한 냉각을 수행하기 위해서는 진공챔버 내부와 외부 사이에 냉매를 지속적으로 순환시켜야 하는데, 진공챔버의 진공분위기 유지로 인해 냉매 순환구조를 구성하는데 어려움이 있다.In order to perform cooling for a shadow mask, a substrate, and the like in a vacuum chamber, the coolant must be continuously circulated between the inside and the outside of the vacuum chamber. However, it is difficult to form a coolant circulation structure due to the vacuum atmosphere of the vacuum chamber.

이러한 문제를 해결하기 위해 본 출원인은 샤프트 내부에 형성되어 있는 유로를 통하여 냉매를 순환시켜 진공챔버 내의 쉐도우 마스크, 기판의 온도상승을 억제할 수 있는 회전샤프트 모듈에 대해 특허출원 한 바 있다(대한민국 제10-2013-0045688호).In order to solve such a problem, the present applicant has applied a patent for a rotating shaft module capable of suppressing the temperature rise of the shadow mask and the substrate in the vacuum chamber by circulating the refrigerant through the flow path formed inside the shaft 10-2013-0045688).

도 1을 참조하면, 상기 회전샤프트 모듈의 경우 밀봉슬리브(1)와 샤프트(3) 사이의 틈으로 냉매가 유출되어 외부로 누설되는 경우가 있었다. 이와 같이 냉매가 누설되는 경우 회전샤프트 모듈의 주변 구성이 오염되며, 오염된 구성으로 인해 장비 전체를 교체해야 하는 문제가 발생하였다. 따라서, 밀봉슬리브(1)와 샤프트(3) 사이로 유출되는 냉매를 제거하여 냉매가 외부로 누설되는 것을 방지할 필요가 있었다.Referring to FIG. 1, in the case of the rotary shaft module, the refrigerant may leak into the gap between the sealing sleeve 1 and the shaft 3 to leak to the outside. When the refrigerant leaks as described above, the peripheral structure of the rotating shaft module is contaminated, and the entire equipment has to be replaced due to the contaminated structure. Therefore, it is necessary to remove the refrigerant flowing out between the sealing sleeve 1 and the shaft 3 to prevent the refrigerant from leaking to the outside.

대한민국 특허출원 제10-2013-0045688호Korean Patent Application No. 10-2013-0045688

본 발명은 회전샤프트 모듈의 밀봉슬리브와 샤프트 사이로 유출되는 냉매를 제거하여 냉매가 외부로 누설되는 것을 방지할 수 있는 회전샤프트 모듈 및 이를 포함하는 증착장치에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a rotary shaft module capable of preventing refrigerant from leaking to the outside by removing refrigerant flowing out between a sealing sleeve and a shaft of a rotary shaft module, and a deposition apparatus including the rotary shaft module.

본 발명의 일 측면에 따르면, 일단이 측단에서 시작되어 내부에서 길이 방향으로 연장된 후 타단이 타측까지 연장되는 유체관로가 형성되는 샤프트와; 상기 샤프트가 관통하여 상기 유체관로의 일단이 내부에 위치하도록 관통부가 형성되고, 외측에서 상기 관통부까지 유체이동로가 형성되며, 상기 샤프트가 상기 관통부에 삽입되어 회전가능하게 결합되는 밀봉슬리브와; 상기 샤프트의 외면 및 상기 관통부의 내면 중 어느 하나 이상에 상기 샤프트의 외주를 따라 함입되어 상기 유체관로의 일단과 상기 유체이동로를 연통시키는 연결홈부와; 상기 연결홈부가 밀봉되도록 상기 연결홈부의 상부 및 하부에 상기 샤프트의 외면과 상기 관통부의 내면 사이에 개재되는 실링(sealing) 부재와; 상기 실링 부재의 외측에, 상기 샤프트의 외면 및 상기 관통부의 내면 중 어느 하나 이상에 상기 샤프트의 외주를 따라 함입되어 형성되는 배기홈부와; 상기 배기홈부에 연통되며, 기체가 유입되는 기체주입구; 및 상기 배기홈부에 연통되며, 상기 기체가 유출되는 기체배출구를 포함하는, 회전샤프트 모듈을 제공한다.According to an aspect of the present invention, there is provided a fluid supply device comprising: a shaft having a first end formed in a side end and extending in the longitudinal direction of the first end and a second end extending to the other end; Wherein the fluid passage is formed from the outside to the penetrating portion, the shaft is inserted into the penetrating portion and rotatably engaged with the shaft, ; A coupling groove portion that is embedded in the outer surface of the shaft and on the inner surface of the penetrating portion along the outer periphery of the shaft to communicate the fluid passage with one end of the fluid passage; A sealing member interposed between the outer surface of the shaft and the inner surface of the through-hole at upper and lower portions of the connection groove to seal the connection groove; An exhaust groove formed on the outer side of the sealing member so as to be embedded along the outer periphery of the shaft on the outer surface of the shaft and the inner surface of the penetrating portion; A gas inlet communicating with the exhaust groove and through which gas flows; And a gas outlet communicating with the exhaust groove and through which the gas flows out.

상기 배기홈부는, 상기 실링 부재의 최외측에 형성될 수 있다.The exhaust groove may be formed on the outermost side of the sealing member.

상기 밀봉슬리브에 결합되며, 기체배출구로부터 배출되는 유체를 감지하기 위한 센서를 더 포함할 수 있다.And a sensor coupled to the sealing sleeve for sensing fluid discharged from the gas outlet.

상기 연결홈부는, 상기 샤프트의 외주를 따라 함입되어 형성되는 고리 형상의 제1 고리홈과; 상기 제1 고리홈과 이격되며, 상기 샤프트의 외주를 따라 함입되어 형성되는 고리 형상의 제2 고리홈을 포함하고, 상기 유체관로는 일단이 상기 제1 고리홈과 연통되는 유입관로와; 일단이 상기 제2 고리홈과 연통되는 유출관로를 포함하며, 상기 유체이동로는, 상기 제1 고리홈과 연통되는 유입이동로와; 상기 제2 고리홈과 연통되는 유출이동로를 포함할 수 있다.The connection groove portion includes an annular first annular groove formed to be embedded along an outer periphery of the shaft; An annular second annular groove formed to be embedded along the outer periphery of the shaft and spaced apart from the first annular groove and having an end connected to the first annular groove; And an outflow conduit whose one end communicates with the second annular groove, wherein the fluid moving path includes: an inflow path communicating with the first annular groove; And an outflow path communicating with the second annular groove.

본 발명의 다른 측면에 따르면, 증발물질을 증발시켜 기판에 박막을 형성하는 증착장치로서, 상기 기판이 내부에 안착되는 진공챔버와; 상기 진공챔버에 결합되는 상기 회전샤프트 모듈을 포함하는, 증착장치를 제공한다.According to another aspect of the present invention, there is provided a deposition apparatus for evaporating a vapor material to form a thin film on a substrate, the apparatus comprising: a vacuum chamber in which the substrate is placed; And the rotary shaft module coupled to the vacuum chamber.

본 발명은 회전샤프트 모듈의 밀봉슬리브와 샤프트 사이로 유출되는 냉매를 제거하여 냉매가 외부로 누설되는 것을 방지할 수 있다.The present invention can prevent the refrigerant from leaking to the outside by removing the refrigerant flowing out between the sealing sleeve and the shaft of the rotating shaft module.

도 1은 종래 기술에 따른 회전샤프트 모듈의 개략도이다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 회전샤프트 모듈의 개략도이다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 회전샤프트 모듈의 샤프트를 설명하기 위한 단면도이다.
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 회전샤프트 모듈의 밀봉슬리브를 설명하기 위한 단면도이다.
도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 회전샤프트 모듈을 구비하는 증착장치의 개략도이다.1 is a schematic view of a rotary shaft module according to the prior art;
2 is a schematic diagram of a rotating shaft module according to an embodiment of the present invention.
3 is a cross-sectional view illustrating a shaft of a rotary shaft module according to an embodiment of the present invention.
4 is a cross-sectional view illustrating a sealing sleeve of a rotating shaft module according to an embodiment of the present invention.
5 is a schematic view of a deposition apparatus having a rotary shaft module according to an embodiment of the present invention.

본 발명은 다양한 변환을 가할 수 있고 여러 가지 실시예를 가질 수 있는 바, 특정 실시예들을 도면에 예시하고 상세한 설명에 상세하게 설명하고자 한다. 그러나, 이는 본 발명을 특정한 실시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변환, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다. 본 발명을 설명함에 있어서 관련된 공지 기술에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 흐릴 수 있다고 판단되는 경우 그 상세한 설명을 생략한다.BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS The present invention is capable of various modifications and various embodiments, and specific embodiments are illustrated in the drawings and described in detail in the detailed description. It is to be understood, however, that the invention is not to be limited to the specific embodiments, but includes all modifications, equivalents, and alternatives falling within the spirit and scope of the invention. DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Hereinafter, the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

이하, 본 발명에 따른 회전샤프트 모듈 및 이를 포함하는 증착장치를 첨부한 도면을 참조하여 상세히 설명하기로 하며, 첨부한 도면을 참조하여 설명함에 있어서, 동일하거나 대응하는 구성 요소는 동일한 도면번호를 부여하고 이에 대한 중복되는 설명은 생략하기로 한다.
DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENT Hereinafter, a rotary shaft module according to the present invention and a deposition apparatus including the same will be described in detail with reference to the accompanying drawings. In the following description, the same or corresponding components are denoted by the same reference numerals And redundant explanations thereof will be omitted.

도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 회전샤프트 모듈의 개략도이고, 도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 회전샤프트 모듈의 샤프트를 설명하기 위한 단면도이며, 도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 회전샤프트 모듈의 밀봉슬리브를 설명하기 위한 단면도이다.FIG. 2 is a schematic view of a rotary shaft module according to an embodiment of the present invention, FIG. 3 is a cross-sectional view illustrating a shaft of a rotary shaft module according to an embodiment of the present invention, Sectional view for explaining the sealing sleeve of the rotating shaft module according to the present invention.

도 2 내지 도 4에는, 회전샤프트 모듈(10), 샤프트(12), 제1 고리홈(14), 제2 고리홈(16), 고리홈부(18), 유입관로(20), 유출관로(22), 유체관로(24), 관통부(26), 유입 이동로(28), 유출 이동로(30), 유체이동로(32), 밀봉슬리브(34), 실링 부재(36), 함입부(38), 연결홈부(39), 배기홈부(40), 기체주입구(42), 기체배출구(44), 센서(46)가 도시되어 있다.2 to 4 show the rotary shaft module 10, the shaft 12, the first annular groove 14, the second annular groove 16, the annular groove 18, the inflow conduit 20, 22, the fluid passage 24, the penetrating portion 26, the inflow path 28, the outflow path 30, the fluid path 32, the sealing sleeve 34, the sealing member 36, A connecting groove portion 39, an exhaust groove portion 40, a gas inlet port 42, a gas outlet port 44, and a sensor 46 are shown.

본 실시예에 따른 회전샤프트 모듈(10)은, 일단이 측단에서 시작되어 내부에서 길이 방향으로 연장된 후 타단이 타측까지 연장되는 유체관로(24)가 형성되는 샤프트(12)와; 샤프트(12)가 관통하여 유체관로(24)의 일단이 내부에 위치하도록 관통부(26)가 형성되고, 외측에서 관통부(26)까지 유체이동로(32)가 형성되며, 샤프트(12)가 관통부(26)에 삽입되어 회전가능하게 결합되는 밀봉슬리브(34)와; 샤프트(12)의 외면 및 관통부(26)의 내면 중 어느 하나 이상에 샤프트(12)의 외주를 따라 함입되어 유체관로(24)의 일단과 유체이동로(32)를 연통시키는 연결홈부(39)와; 연결홈부(39)가 밀봉되도록 연결홈부(39)의 상부 및 하부에 샤프트(12)의 외면과 관통부(26)의 내면 사이에 개재되는 실링(sealing) 부재(36)와; 실링 부재(36)의 외측에, 샤프트(12)의 외면 및 관통부(26)의 내면 중 어느 하나 이상에 샤프트(12)의 외주를 따라 함입되어 형성되는 배기홈부(40)와; 배기홈부(40)에 연통되며, 기체가 유입되는 기체주입구(42); 및 배기홈부(40)에 연통되며, 기체가 유출되는 기체배출구(44)를 포함하여, 회전샤프트 모듈(10)의 밀봉슬리브(34)와 샤프트(12) 사이로 누설되는 냉매를 제거할 수 있다.The rotary shaft module 10 according to the present embodiment includes a shaft 12 having one end formed at a side end and extending in the longitudinal direction inside and then forming a fluid conduit 24 extending from the other end to the other end; A through hole 26 is formed so that the shaft 12 penetrates and one end of the fluid duct 24 is positioned inside and a fluid path 32 is formed from the outside to the penetrating hole 26, A sealing sleeve 34 which is inserted into and rotatably engaged with the penetration portion 26; A connecting groove portion 39 (not shown) which is embedded in the outer surface of the shaft 12 and on the inner surface of the through portion 26 along the outer periphery of the shaft 12 to communicate the fluid path 32 with one end of the fluid path 24, )Wow; A sealing member 36 interposed between the outer surface of the shaft 12 and the inner surface of the through portion 26 at the upper and lower portions of the connection groove portion 39 so as to seal the connection groove portion 39; An exhaust groove portion 40 formed on the outer side of the sealing member 36 so as to be embedded along the outer periphery of the shaft 12 on at least one of the outer surface of the shaft 12 and the inner surface of the penetration portion 26; A gas inlet (42) communicating with the exhaust groove (40) and through which gas flows; And the gas outlet port 44 communicating with the exhaust groove 40 and through which the gas flows out to remove the refrigerant leaked between the sealing sleeve 34 of the rotary shaft module 10 and the shaft 12. [

본 실시예에 따른 회전샤프트 모듈(10)은 반도체 소자, 디스플레이 소자 등에 대한 가공이 이루어지는 챔버에 관통하여 배치될 수 있다. 일 예로서, 도 5에 도시된 바와 같이, 기판(52)에 대한 유기물 증착을 수행하기 위한 진공챔버(48)를 관통하여 설치될 수 있다. 진공챔버(48)에 설치되는 회전 샤프트(12) 모듈은 기판(52)을 회전시키면서 증발원(54)에서 증발되어 분출되는 유기물의 증발입자가 기판(52)에 균일하게 증착되도록 한다. 그리고, 진공챔버(48) 내의 진공 분위기 내에서 증발원(54)의 가열에 의한 증착공정을 수행하는 과정에서 증발원(54)의 복사열이 쉐도우 마스크(shadow mask), 기판(52), 기판 지지 장치 등에 전달되어 온도가 상승될 수 있는데, 회전샤프트 모듈(10)의 내부에 형성되어 있는 유로를 통하여 냉매를 순환시켜 이러한 온도상승을 억제할 수 있으며, 회전샤프트 모듈(10)에 형성되어 있는 배기홈부(40)에 기체를 주입함으로써 누설되는 냉매를 제거할 수 있다.The rotary shaft module 10 according to the present embodiment may be disposed through a chamber in which processing is performed for semiconductor devices, display devices, and the like. As an example, it may be installed through a vacuum chamber 48 for performing organic deposition on the substrate 52, as shown in FIG. The rotating shaft 12 module installed in the vacuum chamber 48 allows the evaporation particles of the organic material evaporated by the evaporation source 54 to be uniformly deposited on the substrate 52 while rotating the substrate 52. In the course of performing the deposition process by heating the evaporation source 54 in a vacuum atmosphere in the vacuum chamber 48, the radiant heat of the evaporation source 54 is transmitted to the shadow mask, the substrate 52, The temperature rise can be suppressed by circulating the refrigerant through the flow passage formed inside the rotary shaft module 10 and the temperature of the exhaust groove portion 40, the refrigerant leaked can be removed.

이하에서는 회전샤프트 모듈(10)의 각 구성에 대하여 자세히 살펴보기로 한다.Hereinafter, each configuration of the rotary shaft module 10 will be described in detail.

샤프트(12)의 내부에는 유체관로(24)가 형성될 수 있는데, 도 2에 도시된 바와 같이, 유체관로(24)의 일단은 샤프트(12)의 일측단에서 시작되며, 유체관로(24)는 샤프트(12)의 내부를 길이 방향을 따라 연장된 후 유체관로(24)의 타단은 샤프트(12)의 타측까지 연장된다. 본 실시예에서는 유체관로(24)의 타단이 샤프트(12)의 단부를 관통하도록 형성한 형태를 제시하고 있으나, 샤프트(12)의 타측단을 관통하도록 형성되는 경우도 가능하다. 이에 따라 유체관로(24)의 일단과 타단은 서로 이격되어 있다.2, one end of the fluid conduit 24 starts at one end of the shaft 12 and the other end of the fluid conduit 24 is connected to the fluid conduit 24, Extends along the longitudinal direction inside the shaft 12, and the other end of the fluid conduit 24 extends to the other side of the shaft 12. In this embodiment, the other end of the fluid conduit 24 is formed so as to pass through the end of the shaft 12, but it may be formed to penetrate through the other end of the shaft 12. Accordingly, one end and the other end of the fluid conduit 24 are spaced apart from each other.

샤프트(12)는 상술한 바와 같이 챔버를 관통하여 배치되며, 벨트, 기어, 모터 등의 구동부(미도시)에 의해 회전될 수 있다.The shaft 12 is disposed through the chamber as described above, and can be rotated by a driving unit (not shown) such as a belt, a gear, and a motor.

밀봉슬리브(34)에는, 샤프트(12)가 관통하여 유체관로(24)의 일단이 내부에 위치하도록 관통부(26)가 형성되고, 외측에서 관통부(26)까지 유체이동로(32)가 형성된다. 샤프트(12)는 밀봉슬리브(34)가 고정된 상태에서 관통부(26)에 삽입되어 밀봉슬리브(34)에 대해 회전하도록 결합된다.A penetration portion 26 is formed in the sealing sleeve 34 such that the shaft 12 penetrates and one end of the fluid conduit 24 is positioned inside and the fluid passage 32 extends from the outside to the penetration portion 26 . The shaft 12 is inserted into the penetrating portion 26 with the sealing sleeve 34 fixed and engaged to rotate about the sealing sleeve 34.

밀봉슬리브(34)에 형성되는 유체이동로(32)를 통해 유체가 유입되거나 유출된다. 유체는 냉매일 수 있으며, 유체이동로(32)를 통해 유입된 유체는 샤프트(12)의 유체관로(24)의 일단을 통해 유입된 후 유체관로(24)의 타단을 통해 유출된다. 한편, 유체관로(24)의 타단을 통해 유입되는 유체는 유체관로(24)의 일단을 거쳐 유체이동로(32)를 통해 밀봉슬리브(34)의 외측으로 유출될 수 있다.The fluid flows in or flows out through the fluid path 32 formed in the sealing sleeve 34. The fluid may be a refrigerant and the fluid introduced through the fluid path 32 flows through one end of the fluid path 24 of the shaft 12 and then flows out through the other end of the fluid path 24. On the other hand, the fluid introduced through the other end of the fluid conduit 24 may flow out of the sealing sleeve 34 through the fluid path 32 via one end of the fluid conduit 24.

연결홈부(39)는, 샤프트(12)의 외면 및 관통부(26)의 내면 중 어느 하나 이상에 샤프트(12)의 외주를 따라 함입되어 유체관로(24)의 일단과 유체이동로(32)를 연통시킨다. 밀봉슬리브(34)에 대해 회전이 일어나는 샤프트(12)의 유체관로(24)와 밀봉슬리브(34)의 유체이동로(32)를 서로 연통시키기 위해서는 서로 연결해주는 일정 공간이 필요한데 연결홈부(39)가 이러한 공간을 제공한다.The connection groove portion 39 is embedded in the outer periphery of the shaft 12 on at least one of the outer surface of the shaft 12 and the inner surface of the penetration portion 26 so as to be connected to one end of the fluid conduit 24 and the fluid path 32, . A certain space for connecting the fluid channel 24 of the shaft 12 to the sealing sleeve 34 and the fluid channel 32 of the sealing sleeve 34 is required. Provides this space.

연결홈부(39)는, 샤프트(12)의 유체관로(24)의 일단을 거치도록 샤프트(12)의 외주를 따라 고리 형상으로 함입되는 홈을 형성하거나, 샤프트(12)의 유체관로(24)의 일단과 연통되도록 관통부(26)의 내벽에 샤프트(12)의 외주를 따라 홈을 형성하는 것도 가능하다. 또한, 연결홈부(39)는 샤프트(12)의 유체관로(24)의 일단과 연통되도록 샤프트(12)의 외주 및 관통부(26)의 내벽에 각각 형성되는 것도 가능하다.The connection groove portion 39 may be formed in the form of an annular recessed groove along the outer periphery of the shaft 12 so as to pass through one end of the fluid conduit 24 of the shaft 12, It is also possible to form a groove along the outer periphery of the shaft 12 on the inner wall of the penetration portion 26 so as to communicate with one end of the shaft 12. The connection groove portion 39 may be formed on the outer circumference of the shaft 12 and on the inner wall of the penetration portion 26 so as to communicate with one end of the fluid conduit 24 of the shaft 12.

본 실시예에서는, 도 2 내지 도 4에 도시된 바와 같이, 샤프트(12)의 유체관로(24)의 일단을 거치도록 샤프트(12)의 외주에 샤프트(12)의 외주를 따라 고리 형상의 고리홈부(18)를 형성하고, 그에 상응하여 관통부(26)의 내벽에서도 고리 형상의 함입부(38)를 형성한 형태를 제시한다. 이에 따라 샤프트(12)가 밀봉슬리브(34)에 대해 회전이 일어나더라도 샤프트(12)의 유체관로(24)의 일단이 고리홈부(18) 및 함입부(38)가 형성하는 연결홈부(39)와 항상 연통되어 있어 유체의 유출입이 가능하게 되는 것이다. 예컨데, 밀봉슬리브(34)에 형성되는 유체이동로(32)를 통해 유체가 유입되면 유체가 1차적으로 고리홈부(18)와 함입부(38)가 형성하는 연결홈부(39)에 유입되고, 연결홈부(39)의 유체는 유체관로(24)의 일단을 통해 유입되는 유체는 유체관로(24)의 일단을 거쳐 연결홈부(39)에 유입되고, 연결홈부(39)의 유체는 유체이동로(32)를 통해 밀봉슬리브(34)의 외측으로 유출될 수 있다.2 to 4, an annular ring (not shown) is formed along the outer periphery of the shaft 12 at the outer periphery of the shaft 12 so as to pass through one end of the fluid conduit 24 of the shaft 12, A groove portion 18 is formed and an annular recessed portion 38 is formed in the inner wall of the penetrating portion 26 corresponding thereto. Even if the shaft 12 is rotated relative to the sealing sleeve 34, one end of the fluid conduit 24 of the shaft 12 is connected to the connection groove 39 formed by the ring groove portion 18 and the recessed portion 38, So that fluid can flow in and out. For example, when the fluid flows through the fluid path 32 formed in the sealing sleeve 34, the fluid primarily flows into the connection groove 39 formed by the ring groove portion 18 and the recessed portion 38, The fluid in the connection groove portion 39 flows into the connection groove portion 39 through one end of the fluid conduit 24 through the one end of the fluid conduit 24, (32) to the outside of the sealing sleeve (34).

실링 부재(36)는, 연결홈부(39)에 의해 형성되는 공간을 밀봉하기 위한 것으로 연결홈부(39)에 유입된 유체가 외부로 유출되는 것을 방지한다. 실링 부재(36)는 밀봉슬리브(34)에 대해 샤프트(12)가 회전하더라도 연결홈부(39)를 밀봉시킬 수 있어야 한다. 이러한 실링 부재(36)로는 자성유체실링(magnetic fluid sealing) 부재 등의 공지의 기술이 이용될 수 있다.The sealing member 36 seals a space formed by the connection groove 39 and prevents the fluid introduced into the connection groove 39 from flowing out to the outside. The sealing member 36 should be able to seal the connection groove 39 even if the shaft 12 rotates with respect to the sealing sleeve 34. [ As the sealing member 36, a known technique such as a magnetic fluid sealing member can be used.

밀봉슬리브(34)의 유체이동로(32)에는 유체를 유입하거나 유출시키기 위한 호스(hose)가 결합될 수 있는데, 밀봉슬리브(34)가 고정된 상태에서 샤프트(12)의 회전이 일어나기 때문에 샤프트(12)가 회전하더라도 호스의 꼬임이 발생하지 않고, 샤프트(12)를 통해 유체를 이동시킬 수 있다.The hose for introducing or discharging the fluid may be coupled to the fluid path 32 of the sealing sleeve 34. Since the rotation of the shaft 12 occurs in a state where the sealing sleeve 34 is fixed, It is possible to move the fluid through the shaft 12 without causing the twist of the hose.

배기홈부(40)는, 실링 부재(36)의 외측에, 샤프트(12)의 외면 및 관통부(26)의 내면 중 어느 하나 이상에 샤프트(12)의 외주를 따라 함입되어 형성되어, 후술할 기체주입구(42)와 기체배출구(44)를 연통시킨다.The exhaust groove portion 40 is formed on the outer side of the sealing member 36 so as to be embedded along the outer periphery of the shaft 12 on at least one of the outer surface of the shaft 12 and the inner surface of the penetration portion 26, And the gas inlet 42 and the gas outlet 44 are communicated with each other.

본 실시예에서 ‘실링 부재(36)의 외측’이라 함은, 도면상 실링 부재(36)를 기준으로 상측, 하측을 의미한다. 즉, 본 실시예에서 배기홈부(40)는 실링 부재(36)를 기준으로 실링 부재(36)의 하측 및 상측에 형성될 수 있다. 다만, 본 실시예와 달리 실링 부재(36)의 하측 또는 상측 중 어느 일측에 형성되는 것도 가능하다.The "outer side of the sealing member 36" in this embodiment means the upper side and the lower side with respect to the sealing member 36 in the figure. That is, in this embodiment, the exhaust groove 40 may be formed on the lower side and the upper side of the sealing member 36 with respect to the sealing member 36. However, unlike the present embodiment, it may be formed on either side of the lower side or the upper side of the sealing member 36.

기체주입구(42)는 배기홈부(40)에 연통되어 기체가 유입되며, 기체배출구(44)는 배기홈부(40)에 연통되어 기체주입구(42)로부터 유입된 기체가 외부로 유출되도록 한다. 즉, 배기홈부(40)에 의해 기체주입구(42)가 기체배출구(44)가 연통되며, 기체주입구(42)를 통해 유입된 기체가 배기홈부(40)를 유동하여 기체배출구(44)를 통해 외부로 유출되는 것이다.The gas inlet 42 communicates with the exhaust groove 40 to allow the gas to flow into the gas exhaust port 44 and the gas exhaust port 44 to communicate with the exhaust groove 40 to allow the gas introduced from the gas inlet 42 to flow out. That is, the gas inlet port 42 communicates with the gas outlet port 44 by the exhaust groove section 40 and the gas introduced through the gas inlet port 42 flows through the exhaust groove section 40 and flows through the gas outlet port 44 It will leak to the outside.

예컨데, 사용에 의해 실링 부재(36)의 기밀력이 상실된 경우 밀봉슬리브(34)의 유체이동로(32)로부터 유출된 유체가 밀봉슬리브(34) 외부로 누설될 수 있는데, 외부로 누설된 유체는 회전샤프트 모듈(10)의 주변 구성을 오염시킬 수 있다. 본 실시예에 따른 회전샤프트 모듈(10)은 배기홈부(40), 기체주입구(42), 기체배출구(44)를 이용하여 밀봉슬리브(34)와 샤프트(12) 사이로 누설되는 유체를 제거할 수 있다.For example, when the sealing member 36 is lost in airtightness by use, the fluid flowing out of the fluid path 32 of the sealing sleeve 34 may leak out of the sealing sleeve 34, May contaminate the peripheral configuration of the rotating shaft module 10. [ The rotary shaft module 10 according to the present embodiment can remove the fluid leaking between the sealing sleeve 34 and the shaft 12 by using the exhaust groove 40, the gas inlet 42 and the gas outlet 44 have.

구체적으로, 실링 부재(36)가 기밀력을 상실하면 연결홈부(39)를 이동하던 유체가 유출될 수 있으며, 유체가 유출된 경우 누설된 유체는 배기홈부(40)로 유입되어 배기홈부(40) 내부공간에 머무르게 된다. 이때, 기체주입구(42)를 통해 기체를 주입하면 주입된 기체가 배기홈부(40)를 유동하면서 배기홈부(40)에 머무르는 유체를 기체배출구(44)를 통해 외부로 배출시키는데, 이와 같은 방식에 의해 연결홈부(39)로부터 유출된 유체를 제거하여 외부로 누설된 유체가 증착장비를 오염시키는 것을 방지하는 것이다.When the sealing member 36 loses its airtightness, the fluid that has been moving through the connection groove 39 may flow out. When the fluid flows out, the fluid leaking into the exhaust groove 40 flows into the exhaust groove 40 ). At this time, when the gas is injected through the gas inlet 42, the injected gas flows through the exhaust groove 40, and the fluid staying in the exhaust groove 40 is discharged to the outside through the gas outlet 44. In this way, Thereby preventing fluid leaking out from the connection groove portion 39 to contaminate the deposition equipment.

또한, 기체배출구(44)를 통해 외부로 배출되는 유체가 증가하는 경우, 사용자는 실링 부재(36)의 기밀력이 다한 것으로 보아 실링 부재(36)의 교체시기를 판단할 수 있다.In addition, when the amount of the fluid discharged to the outside through the gas discharge port 44 increases, the user can determine the replacement time of the sealing member 36 because the sealing force of the sealing member 36 is exhausted.

한편, 본 실시예에 따른 회전샤프트 모듈(10)의 배기홈부(40)는 실링 부재(36)의 최외측에 형성될 수 있다. 본 실시예에서 ‘실링 부재(36)의 최외측’이라 함은, 실링 부재(36)가 복수 개로 구비되는 경우 복수 개의 실링 부재(36) 중 최상측에 구비되는 실링 부재(36)의 상측 및 최하측에 구비되는 실링 부재(36)의 하측을 의미한다.Meanwhile, the exhaust groove 40 of the rotary shaft module 10 according to the present embodiment may be formed on the outermost side of the sealing member 36. The outermost side of the sealing member 36 in this embodiment means that the upper side of the sealing member 36 provided on the uppermost one of the plurality of sealing members 36 when the sealing members 36 are provided in plural, Means the lower side of the sealing member 36 provided at the lowermost side.

또한, 본 실시예에 따른 회전샤프트 모듈(10)은 밀봉슬리브(34)에 결합되며, 기체배출구(44)로부터 배출되는 유체를 감지하기 위한 센서(46)를 더 포함할 수 있다. 기체배출구(44) 외부로 배출되는 유체의 양을 시각적으로 판단하여 실링 부재(36)의 교체 시기를 판단하는 것과 달리, 본 실시예에서는, 도 2 내지 도 4에 도시된 바와 같이, 센서(46)가 밀봉슬리브(34)의 외측에 기체배출구(44)에 인접하도록 결합되어, 기체배출구(44)를 통해 배출되는 유체를 감지한다. 사용자는 센서(46)를 통해 감지된 유체의 양을 측정함으로써 실링 부재(36)의 마모 정도를 파악하여 실링 부재(36)의 교체시기를 판단할 수 있다. 즉, 센서(46)를 통해 감지된 유체의 양이 증가하면 실링 부재(36)가 기밀력을 상실한 것으로 판단하여 실링 부재(36)의 교체시기를 가늠할 수 있는 것이다. 이러한 센서(46)로는 수분을 전기적으로 검출하기 위한 수분 센서(46) 등의 공지의 기술이 이용될 수 있다.
The rotary shaft module 10 according to the present embodiment may further include a sensor 46 coupled to the sealing sleeve 34 for sensing the fluid discharged from the gas outlet 44. 2 to 4, the sensor 46 (see FIG. 2) is different from the sensor 46 in that the replacement time of the sealing member 36 is determined by visually determining the amount of fluid discharged to the outside of the gas outlet 44 Is coupled to the outside of the sealing sleeve 34 so as to be adjacent to the gas discharge port 44 to sense the fluid discharged through the gas discharge port 44. The user can determine the replacement time of the sealing member 36 by measuring the amount of the fluid sensed through the sensor 46 and determining the degree of wear of the sealing member 36. [ That is, when the amount of the fluid sensed through the sensor 46 increases, it is determined that the sealing member 36 has lost the sealing force, and the replacement time of the sealing member 36 can be determined. As such a sensor 46, a known technique such as a moisture sensor 46 for electrically detecting moisture can be used.

이하에서는 유체의 순환구조 및 누설된 유체의 배출구조를 구성한 회전샤프트 모듈(10)에 대해 자세히 살펴보기로 한다.Hereinafter, the rotating shaft module 10 constituting the circulating structure of the fluid and the discharged fluid discharging structure will be described in detail.

샤프트(12)의 외주를 따라 형성되는 고리홈부(18)는, 도 2에 도시된 바와 같이, 샤프트(12)의 외주를 따라 함입되어 형성되는 고리 형상의 제1 고리홈(14) 및 제1 고리홈(14)과 이격되며 샤프트(12)의 외주를 따라 함입되어 형성되는 고리 형상의 제2 고리홈(16)을 포함할 수 있다. 제1 고리홈(14)은 유체가 유입되는 연결홈부(39)를 구성하고, 제2 고리홈(16)은 유체가 유출되는 연결홈부(39)를 구성한다.2, the annular groove 18 formed along the outer periphery of the shaft 12 has an annular first annular groove 14 formed to be embedded along the outer periphery of the shaft 12, And an annular second annular groove 16 spaced apart from the annular groove 14 and formed to be embedded along the outer periphery of the shaft 12. The first annular groove 14 constitutes a connection groove portion 39 into which the fluid flows and the second annular groove 16 constitutes a connection groove portion 39 through which the fluid flows out.

이에 따라, 샤프트(12)의 유체관로(24)는, 일단이 상기 제1 고리홈(14)과 연통되는 유입관로(20) 및 일단이 제2 고리홈(16)과 연통되는 유출관로(22)를 포함하며, 유체이동로(32)는, 제1 고리홈(14)과 연통되는 유입이동로 및 제2 고리홈(16)과 연통되는 유출이동로를 포함한다.The fluid channel 24 of the shaft 12 has an inlet pipe 20 one end of which communicates with the first annular groove 14 and an outlet pipe 22 whose one end is in communication with the second annular groove 16 , And the fluid path (32) includes an inflow path communicating with the first annular groove (14) and an outflow path communicating with the second annular groove (16).

한편, 제1 고리홈(14) 및 제2 고리홈(16)에 상응한 위치의 관통부(26)의 내벽에도 고리형상의 함입부(38)를 형성하였다. 이에 따라 제1 고리홈(14)과 이에 대응하는 함입부(38)가 유체가 유입되는 연결홈부(39)를 구성하고, 제2 고리홈(16)과 이에 대응하는 함입부(38)가 유체의 유출을 위한 연결홈부(39)를 구성하게 된다.On the other hand, an annular recessed portion 38 is also formed on the inner wall of the penetrating portion 26 corresponding to the first annular groove 14 and the second annular groove 16. The first annular groove 14 and the corresponding depressed portion 38 constitute a connection groove portion 39 into which the fluid flows and the second annular groove 16 and the corresponding depressed portion 38 constitute a fluid Thereby forming a connection groove 39 for the outflow of the liquid.

도 2를 참조하면, 밀봉슬리브(34)의 유입이동로를 통해 유체가 유입되면, 유체는 제1 고리홈(14)과 이에 대응하는 함입부(38)가 형성하는 연결홈부(39)에 유입되고, 연결홈부(39)의 유체는 연결홈부(39)와 연통되어 있는 유입관로(20)를 통해 샤프트(12)의 단부에서 유출된다. 샤프트(12)가 회전하더라도 연결홈부(39)와 유입관로(20)의 일단은 항상 연통되어 있기 때문에 유체가 이동될 수 있다.Referring to FIG. 2, when a fluid flows into the sealing sleeve 34 through the inflow path, the fluid enters the connection groove 39 formed by the first annular groove 14 and the corresponding depression 38, And the fluid in the connection groove portion 39 flows out from the end of the shaft 12 through the inflow conduit 20 communicating with the connection groove portion 39. Even if the shaft 12 rotates, since one end of the connection groove 39 and one end of the inflow conduit 20 are always communicated, the fluid can be moved.

그리고, 샤프트(12)의 타단에서 유출된 유체는 챔버 내에서 본래 기능을 수행하고, 샤프트(12)의 유출관로(22)의 타단을 통해 다시 제2 고리홈(16)과 이에 대응하는 함입부(38)가 형성하는 연결홈부(39)로 유입된다. 연결홈부(39)로 유입된 유체는 연결홈부(39)와 연통되어 있는 유출이동로를 통해 밀봉슬리브(34)의 외측으로 유출된다. 이때도 마찬가지로, 샤프트(12)가 회전하더라도 연결홈부(39)와 유출관로(22)의 일단은 항상 연통되어 있기 때문에 유체가 이동될 수 있다.The fluid discharged from the other end of the shaft 12 performs its function in the chamber and flows through the other end of the outflow conduit 22 of the shaft 12 to the second annular groove 16 and the corresponding recess (39) formed by the connecting member (38). The fluid introduced into the connection groove portion 39 flows out to the outside of the sealing sleeve 34 through the outflow path communicated with the connection groove portion 39. At this time as well, even if the shaft 12 rotates, since one end of the connection groove portion 39 and one end of the outflow conduit 22 are always communicated, the fluid can be moved.

상기와 같은 방식으로 유체를 회전샤프트 모듈(10)을 통해 챔버 내로 지속적으로 유입시킨 후 다시 챔버 밖으로 유출시켜 유체의 순환구조를 구성할 수 있다.The fluid can be continuously introduced into the chamber through the rotary shaft module 10 and then discharged out of the chamber in the same manner as described above to form the circulation structure of the fluid.

한편, 실링 부재(36)의 최외측에는 배기홈부(40)가 형성될 수 있다. 구체적으로, 배기홈부(40)는 샤프트(12)의 외면 및 관통부(26)의 내면 중 어느 하나 이상에 샤프트(12)의 외주를 따라 함입되어 고리형상으로 형성될 수 있으며, 배기홈부(40)에 상응한 위치의 관통부(26)의 내벽에도 고리형상의 함입부(38)가 형성될 수 있다.On the other hand, an exhaust groove 40 may be formed on the outermost side of the sealing member 36. Specifically, the exhaust groove 40 may be annularly formed along the outer periphery of the shaft 12 on at least one of the outer surface of the shaft 12 and the inner surface of the penetration portion 26, and the exhaust groove 40 An annular recessed portion 38 may be formed on the inner wall of the penetrating portion 26 at a position corresponding to the recessed portion.

실링 부재(36)가 기밀력을 상실하는 경우 연결홈부(39)를 이동하는 유체가 실링 부재(36) 외부로 유출될 수 있는데, 연결홈부(39)로부터 유출된 유체는 배기홈부(40)에 머무르게 되며, 기체주입구(42)를 통해 주입된 기체가 배기홈부(40)의 유체와 함께 유동하면서 유체를 기체배출구(44)를 통해 외부로 배출시킴으로써 연결홈부(39)로부터 유출된 유체를 제거할 수 있다.The fluid flowing out of the connection groove portion 39 can be discharged to the outside of the sealing groove 36. The fluid flowing out of the connection groove portion 39 can be discharged to the outside of the sealing member 36 when the sealing member 36 loses airtightness. The gas injected through the gas inlet 42 flows together with the fluid in the exhaust groove 40 and the fluid is discharged to the outside through the gas outlet 44 to remove the fluid flowing out of the connection groove 39 .

또한, 기체배출구(44)에 유체를 감지하기 위한 센서(46)가 구비되어, 사용자가 배출되는 유체의 양을 측정하여 실링 부재(36)의 교체시기를 판단할 수 있다.
In addition, a sensor 46 for sensing the fluid may be provided in the gas discharge port 44 to measure the amount of the fluid discharged by the user, thereby determining the replacement time of the sealing member 36.

도 5는 본 실시예에 따른 회전샤프트 모듈(10)을 구비하는 증착장치에 대한 도면으로서, 상술한 회전샤프트 모듈(10)이 구비된 증착장치에 관한 도면이다.5 is a view of a deposition apparatus having a rotary shaft module 10 according to the present embodiment, which is a view of a deposition apparatus provided with the rotary shaft module 10 described above.

본 실시예에 따른 증착장치는, 상술한 회전샤프트 모듈(10)을 구비하여 구성된다. 즉, 기판(52)이 내부에 안착되는 진공챔버(48)와; 진공챔버(48)에 결합되는 상술한 회전샤프트 모듈(10)을 포함한다.The deposition apparatus according to the present embodiment includes the above-described rotary shaft module 10. A vacuum chamber 48 in which the substrate 52 is seated; And a rotary shaft module 10 described above coupled to the vacuum chamber 48.

이하에서는 상술한 회전샤프트 모듈(10)에 대한 자세한 설명은 생략하고 회전샤프트 모듈(10)과 진공챔버(48)와의 결합을 중심으로 설명하기로 한다.Hereinafter, the detailed description of the rotary shaft module 10 will be omitted, and the description will be made mainly of the coupling between the rotary shaft module 10 and the vacuum chamber 48. [

진공챔버(48)의 내부는 증발입자의 증착을 위하여 진공 분위기가 형성되며, 기판(52)은 진공챔버(48)의 상부에 위치한 냉각플레이트(56)에 의해 냉각될 수 있다. 진공챔버(48)의 바닥쪽에는 기판(52)의 저면에 대향하여 증발원(54)이 배치될 수 있다.The inside of the vacuum chamber 48 is formed with a vacuum atmosphere for evaporation of evaporated particles and the substrate 52 can be cooled by the cooling plate 56 located above the vacuum chamber 48. An evaporation source 54 may be disposed on the bottom side of the vacuum chamber 48 so as to face the bottom surface of the substrate 52.

샤프트(12)는 진공챔버(48)의 상단을 관통하여 수직으로 배치될 수 있다. 밀봉슬리브(34)는 진공챔버(48)의 외측으로 돌출된 샤프트(12)의 단부에 배치되어 고정구에 의해 고정될 수 있다. 진공챔버(48)의 외측으로 돌출된 샤프트(12)의 단부에는 샤프트(12)를 회전시키기 위한 벨트, 기어, 모터 등의 구동부(미도시)가 결합될 수 잇다.The shaft 12 may be disposed vertically through the upper end of the vacuum chamber 48. The sealing sleeve 34 may be disposed at the end of the shaft 12 protruding outward of the vacuum chamber 48 and fixed by a fastener. A driving unit (not shown) such as a belt, a gear, and a motor for rotating the shaft 12 may be coupled to the end of the shaft 12 protruding outside the vacuum chamber 48.

진공챔버(48)의 내측으로 돌출된 샤프트(12)의 단부에는 기판(52)을 냉각하기 위한 냉각플레이트(56)가 샤프트(12)에 횡방향으로 결합될 수 있다. 냉각플레이트(56)는 샤프트(12)의 회전에 따라 같이 회전될 수 있도록 샤프트(12)의 단부에 고정될 수 있다. 냉각플레이트(56)에는 냉매가 이동되는 냉각유로(50)가 형성되는데, 이러한 냉각유로(50)는 샤프트(12)의 유체관로(24)의 탄단과 연결되어 유체관로(24)를 통해 냉매가 유입되거나 유출된다.
A cooling plate 56 for cooling the substrate 52 may be laterally coupled to the shaft 12 at an end of the shaft 12 protruding inward of the vacuum chamber 48. The cooling plate 56 can be fixed to the end of the shaft 12 so that it can rotate together with the rotation of the shaft 12. A cooling channel 50 is formed in the cooling plate 56. The cooling channel 50 is connected to the tip of the fluid channel 24 of the shaft 12 so that the coolant flows through the fluid channel 24 In or out.

이상에서 설명한 회전샤프트 모듈 및 이를 포함하는 증착장치는 회전샤프트 모듈의 밀봉슬리브와 샤프트 사이로 유출되는 냉매를 제거하여 냉매가 외부로 누설되는 것을 방지할 수 있다.
The rotary shaft module and the deposition apparatus including the rotary shaft module described above can prevent the refrigerant from leaking to the outside by removing the refrigerant flowing out between the sealing sleeve and the shaft of the rotary shaft module.

상기에는 본 발명의 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 하기의 특허 청구의 범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 쉽게 이해할 수 있을 것이다.It will be apparent to those skilled in the art that various modifications and variations can be made in the present invention without departing from the spirit and scope of the invention as defined in the appended claims. And changes may be made without departing from the spirit and scope of the invention.

10: 회전샤프트 모듈 12: 샤프트
14: 제1 고리홈 16: 제2 고리홈
18: 고리홈부 20: 유입관로
22: 유출관로 24: 유체관로
26: 관통부 28: 유입 이동로
30: 유출 이동로 32: 유체이동로
34: 밀봉슬리브 36: 실링(sealing) 부재
38: 함입부 39: 연결홈부
40: 배기홈부 42: 기체주입구
44: 기체배출구 46: 센서
48: 진공챔버 50: 냉각유로
52: 기판 54: 증발원
56: 냉각플레이트10: rotating shaft module 12: shaft
14: first ring groove 16: second ring groove
18: ring groove 20: inlet pipe
22: outflow conduit 24: fluid conduit
26: penetrating part 28: inflow path
30: outflow path 32: fluid pathway
34: sealing sleeve 36: sealing member
38: penetration part 39: connection groove
40: exhaust groove portion 42: gas inlet
44: gas outlet port 46: sensor
48: vacuum chamber 50: cooling channel
52: substrate 54: evaporation source
56: cooling plate

Claims

A shaft having a first end extending in the longitudinal direction inside and a second end extending from the first end to the second end;
Wherein the fluid passage is formed from the outside to the penetrating portion, the shaft is inserted into the penetrating portion and rotatably engaged with the shaft, ;
A coupling groove portion that is embedded in the outer surface of the shaft and on the inner surface of the penetrating portion along the outer periphery of the shaft to communicate the fluid passage with one end of the fluid passage;
A sealing member interposed between the outer surface of the shaft and the inner surface of the through-hole at upper and lower portions of the connection groove to seal the connection groove;
An exhaust groove formed on the outer side of the sealing member so as to be embedded along the outer periphery of the shaft on the outer surface of the shaft and the inner surface of the penetrating portion;
A gas inlet communicating with the exhaust groove and through which gas flows; And
And a gas outlet communicating with the exhaust groove and through which the gas flows out.

The method according to claim 1,
And the exhaust groove portion is formed at the outermost side of the sealing member.

The method according to claim 1,
And a sensor coupled to the sealing sleeve for sensing fluid exiting the gas outlet.

The method according to claim 1,
The connecting groove portion
An annular first annular groove formed to be embedded along the outer periphery of the shaft;
And a second annular groove spaced apart from the first annular groove and formed to be embedded along the outer periphery of the shaft,
Wherein the fluid channel comprises:
An inlet pipe having one end communicating with the first annular groove;
And an outflow conduit having one end communicating with the second annular groove,
The fluid passage may include:
An inflow path communicating with the first annular groove;
And an outflow path communicated with the second annular groove.

A vapor deposition apparatus for vaporizing a vaporized material to form a thin film on a substrate,
A vacuum chamber in which the substrate is seated;
And a rotating shaft module according to any one of claims 1 to 4 coupled to the vacuum chamber.