KR20170034319A - Coating apparatus - Google Patents

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가부시키가이샤 스크린 홀딩스
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Abstract

The present invention realizes a function of adjusting tension provided to a base material in a coating apparatus which applies a coating solution on a surface of the base material while transferring the sheet type base material. A pair of tension providing means (9L, 9R) providing tension to each of both ends (Ls, Rs) of the base material (S) in a width direction (Dw) of the sheet type base material (S) transferred in a length direction are formed. The respective tension providing means sandwiches the base material with first rollers (91L, 91R) being in contact with one-sided main surface (Sa) of the base material (S) and second rollers (92L, 92R) being in contact with the other-sided main surface of the base material (S), and surfaces of at least one of the first rollers and the second rollers move in a moving direction having a directional component directed toward an outside from a center of the base material (S). The tension in the width direction is adjusted by a pressure applied between the first rollers and the second rollers.

Description

도공 장치{COATING APPARATUS}COATING APPARATUS

본 발명은, 시트상의 기재를 반송하면서 그 표면에 도포액을 도포하는 도공 장치에 관한 것으로, 특히 기재에 장력을 부여하기 위한 기구에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a coating apparatus for applying a coating liquid to a surface of a sheet-like substrate while conveying the same, and more particularly to a mechanism for applying a tension to a substrate.

장척 시트상의 기재를 반송하면서 그 표면에 도포액을 도포하는 기술에 있어서는, 기재를 몇 개의 롤러에 걸친 상태에서 기재의 길이 방향을 따라 반송하는 것이 일반적이다. 그러나, 기재의 표면에 도포액이 도포되는 형편상, 예를 들어 미경화의 도포액에 다른 부재를 접촉시킬 수 없는 것 등, 기재에 대한 롤러의 맞닿음 위치가 제한되는 경우가 있다. 그 때문에, 기재의 지지가 불충분해져 기재의 느슨해짐이 발생하는 경우가 있다.In the technique of applying a coating liquid to the surface of a long-sheet sheet while conveying the base material, it is common to carry the substrate along the lengthwise direction of the base material while covering the several rollers. However, there is a case where the abutment position of the roller relative to the substrate is limited, for example, the other liquid can not be brought into contact with the uncured liquid, for example, for the reason that the liquid is applied to the surface of the substrate. As a result, the support of the substrate becomes insufficient and loosening of the substrate may occur.

이 문제에 대응하기 위해서, 예를 들어 특허문헌 1 에 기재된 기술에서는, 기재 (박) 에 페이스트를 양면 동시에 도공하는 경우에 있어서, 반송 방향에 있어서의 기재의 양단부 (兩端部) 를 협지 (挾持) 하는 롤러 (텐션 롤러) 의 쌍이 반송 방향을 따라 복수 형성된다. 그리고, 기재의 반송 방향에 직교하는 폭 방향에 대하여 롤러의 회전축이 갖는 경사가, 반송 방향을 따라 조금씩 커지도록 그것들 텐션 롤러가 배치됨으로써, 기재가 폭 방향으로 연장되고, 기재에 대하여 폭 방향의 장력이 부여되어 느슨해짐이 억제된다.In order to cope with this problem, for example, in the technique described in Patent Document 1, when a paste is applied to both sides of a substrate at the same time, both ends of the substrate are sandwiched (Tension roller) are formed along the conveying direction. By arranging the tension rollers such that the inclination of the rotation axis of the roller in the width direction perpendicular to the conveying direction of the base material is gradually increased along the conveying direction, the base material extends in the width direction, So that looseness is suppressed.

일본 공개특허공보 2008-284528호 (예를 들어 도 4)Japanese Patent Laid-Open Publication No. 2008-284528 (for example, Fig. 4)

폭 방향에 대한 경사가 큰 회전축을 갖는 롤러를 기재에 맞닿게 하는 것은, 특히 얇거나 또는 부드러운 기재에 있어서 주름을 발생시키는 원인이 된다. 또한, 여러 가지 재질이나 두께의 기재에 대응하기 위해서도, 기재에 부여하는 장력을 조정하는 기능이 구비되는 것이 보다 바람직하다. 그러나, 상기 종래 기술에서는, 기재에 부여되는 장력의 크기가 텐션 롤러의 배치에 따라 결정된다. 요컨대, 상기 기술은 장력을 용이하게 조정할 수 있는 구성으로 되어 있지 않다. 그 때문에, 상기 과제를 해결하는 것에는 이르지 않았다.The roller having a rotation axis with a large inclination with respect to the width direction is brought into contact with the substrate, which causes wrinkles to be generated particularly on a thin or soft substrate. It is more preferable to provide a function of adjusting the tension applied to the substrate so as to correspond to substrates of various materials and thicknesses. However, in the above-mentioned prior art, the magnitude of the tension applied to the base material is determined by the arrangement of the tension roller. In short, the above-described technique is not configured to easily adjust the tension. Therefore, it is not yet possible to solve the above problems.

본 발명은 상기 과제를 감안하여 이루어진 것으로, 시트상의 기재를 반송하면서 그 표면에 도포액을 도포하는 도공 장치에 있어서, 기재에 부여하는 장력을 조정하는 기능을 실현할 수 있는 기술을 제공하는 것을 목적으로 한다.SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made in view of the above problems, and it is an object of the present invention to provide a technique capable of realizing a function of adjusting a tension applied to a base material in a coating apparatus for applying a coating liquid to a surface of a sheet- do.

본 발명에 관련된 도공 장치의 일 양태는, 상기 목적을 달성하기 위해서, 장척 시트상의 기재를 상기 기재의 길이 방향으로 반송하는 반송 수단과, 반송되는 상기 기재의 주면 (主面) 에 대향 배치된 노즐로부터 도포액을 토출하여 상기 기재에 상기 도포액을 도포하는 도포 수단과, 상기 길이 방향에 직교하는 상기 기재의 폭 방향에 있어서의 상기 기재의 양단부 각각에 대응하여 형성되고, 상기 기재에 상기 폭 방향의 장력을 부여하는 1 쌍의 장력 부여 수단과, 상기 장력 부여 수단을 제어하여 상기 장력을 증감시키는 장력 제어 수단을 구비하고, 상기 장력 부여 수단의 각각은 상기 기재의 일방 주면에 맞닿는 제 1 롤러와 상기 기재의 타방 주면에 맞닿는 제 2 롤러로 상기 기재를 협지하고, 상기 제 1 롤러 및 상기 제 2 롤러 중 적어도 일방의 표면이, 상기 기재와 맞닿는 부위에 있어서, 상기 반송 방향을 따른 방향 성분과 상기 폭 방향에 평행하고 상기 기재의 중앙부로부터 외측을 향하는 방향 성분을 갖는 이동 방향으로 이동하고, 상기 장력 제어 수단은, 상기 제 1 롤러와 상기 제 2 롤러 사이에 인가되는 가압력을 변화시킨다.In order to attain the above object, one embodiment of the coating apparatus according to the present invention is a coating apparatus comprising conveying means for conveying a base material on a long sheet in the longitudinal direction of the base material, a nozzle arranged opposite to the main surface of the substrate to be conveyed, A coating means for coating the coating liquid on the base material by discharging a coating liquid from the base material in the widthwise direction of the base material; And a tension control means for controlling the tension applying means to increase or decrease the tension, wherein each of the tension applying means includes a first roller contacting the one main surface of the substrate, Wherein the surface of at least one of the first roller and the second roller is sandwiched between a first roller and a second roller, Wherein the tension control means moves in a moving direction having a direction component along the conveying direction and a direction component parallel to the width direction and outwardly from the center portion of the base member at a position in contact with the base material, And the pressing force applied between the first roller and the second roller.

이와 같이 구성된 발명에서는, 특허문헌 1 에 기재된 회전축을 기울인 텐션 롤러와 동일하게, 기재의 양단부를 각각 협지하는 1 쌍의 장력 부여 수단이, 기재를 폭 방향으로 연장시키도록 외측을 향하게 하여 끌어당김으로써, 기재에 폭 방향의 장력이 부여된다. 또한 본 발명에서는, 기재를 협지하는 제 1 롤러와 제 2 롤러 사이의 가압력을 장력 제어 수단에 의해 조정함으로써, 기재에 부여되는 장력을 변화시키는 것이 가능하게 되어 있다.In the invention constituted as described above, a pair of tension applying means for holding the both ends of the base material, respectively, pulls the base material outward so as to extend in the width direction, like the tension roller that tilts the rotation shaft described in Patent Document 1 , A tensile force in the width direction is imparted to the substrate. Further, in the present invention, it is possible to change the tension applied to the substrate by adjusting the pressing force between the first roller and the second roller holding the base material by the tension control means.

보다 상세하게는, 기재와 맞닿는 표면의 이동 방향이 기재의 반송 방향에 대하여 경사를 갖는 롤러 (제 1 롤러 또는 제 2 롤러) 의 표면이 기재에 대하여 어느 정도의 미끄러짐을 가지면서 회전함으로써, 기재에 폭 방향의 장력을 부여하면서 반송 방향으로 이동시킬 수 있다. 제 1 롤러와 제 2 롤러 사이의 가압력을 바꿈으로써 이 미끄러짐량이 변화되므로, 결과적으로 기재에 부여되는 장력을 변화시키는 것이 가능해진다.More specifically, the surface of the roller (the first roller or the second roller) having a slope with respect to the conveying direction of the substrate rotates with a certain degree of sliding with respect to the substrate, It is possible to move in the carrying direction while imparting tension in the width direction. The slip amount is changed by changing the pressing force between the first roller and the second roller, and consequently, the tension imparted to the base material can be changed.

이상과 같이, 본 발명에 의하면, 반송되는 기재의 단부를 제 1 롤러와 제 2 롤러로 협지하는 장력 부여 수단을 기재의 양단부 각각에 대응하여 형성하고, 각각의 장력 부여 수단에 있어서 제 1 롤러와 제 2 롤러의 가압력을 변화시킴으로써, 기재에 부여되는 폭 방향의 장력을 조정하는 것이 가능해진다.As described above, according to the present invention, the tension applying means for holding the end portion of the substrate to be conveyed by the first roller and the second roller is formed corresponding to each of both end portions of the substrate, and in each of the tension applying means, By changing the pressing force of the second roller, it is possible to adjust the tension in the width direction applied to the substrate.

도 1a 는 본 발명에 관련된 도공 장치의 일 실시형태의 개략 구성을 나타내는 도면이다.
도 1b 는 도 1a 의 부분 확대도이다.
도 2a 는 장력 조정 유닛의 주요 구성의 배치를 나타내는 사시도이다.
도 2b 는 장력 조정 유닛의 주요 구성의 상면도이다.
도 3 은 사행 롤러에 의한 기재에 대한 장력 부여의 원리를 나타내는 도면이다.
도 4a, 도 4b 는 좌측 유닛의 구성을 보다 상세하게 나타내는 도면이다.
도 5a, 도 5b 는 롤러쌍에 있어서의 회전축의 방향을 나타내는 도면이다.
도 6a, 도 6b 는 위치 검출부의 구성예를 나타내는 도면이다.
도 7 은 이 실시형태에 있어서의 장력 조정 처리를 나타내는 플로차트이다.
도 8 은 기재의 단부 위치가 변동되는 여러 가지 케이스를 나타내는 도면이다.
BRIEF DESCRIPTION OF DRAWINGS FIG. 1A is a view showing a schematic structure of a coating apparatus according to an embodiment of the present invention; FIG.
FIG. 1B is a partial enlarged view of FIG. 1A. FIG.
2A is a perspective view showing the arrangement of main components of the tension adjusting unit.
2B is a top view of the main configuration of the tension adjusting unit.
Fig. 3 is a view showing the principle of imparting a tension to a base material by a meandering roller. Fig.
4A and 4B are views showing the configuration of the left unit in more detail.
5A and 5B are views showing the directions of the rotation axes of the pair of rollers.
6A and 6B are diagrams showing a configuration example of the position detecting section.
Fig. 7 is a flowchart showing a tension adjusting process in this embodiment.
8 is a view showing various cases in which the position of the end portion of the substrate varies.

도 1a 는 본 발명에 관련된 도공 장치의 일 실시형태의 개략 구성을 나타내는 도면이고, 도 1b 는 그 부분 확대도이다. 도 1a 에 나타내는 바와 같이, 이 도공 장치 (100) 는, 롤·투·롤 방식으로 반송되는 시트상의 기재 (S) 에 대하여 페이스트상 도포액을 도포하는 장치이고, 예를 들어 리튬 이온 이차 전지의 전지용 전극의 제조에 적용 가능한 것이다. 이하의 각 도면에 있어서의 방향을 통일적으로 나타내기 위해서, 도 1a 에 나타내는 바와 같이 XYZ 직교 좌표계를 설정한다. 여기서 XY 평면은 수평면이고, Z 축은 연직축을 나타낸다. 보다 상세하게는, (-Z) 방향이 연직 하향 방향을 나타낸다.Fig. 1A is a diagram showing a schematic configuration of an embodiment of a coating apparatus according to the present invention, and Fig. 1B is a partially enlarged view thereof. As shown in Fig. 1A, the coating apparatus 100 is a device for applying a paste-like coating liquid to a sheet-like base material S conveyed in a roll-to-roll manner. For example, And is applicable to the production of battery electrodes. An XYZ orthogonal coordinate system is set as shown in Fig. 1A in order to unify the directions in the following drawings. Here, the XY plane is a horizontal plane, and the Z axis represents a vertical axis. More specifically, the (-Z) direction indicates a vertically downward direction.

이 도공 장치 (100) 는, 도포해야 할 도포액을 내부에 저류하는 탱크 (1) 와, 그 탱크 (1) 로부터 공급되는 도포액을 토출하는 노즐 (51, 52) 을 구비하고 있다. 탱크 (1) 와 노즐 (51, 52) 사이에 형성된 송액계 (2) 에 의해, 탱크 (1) 내의 도포액이 노즐 (51, 52) 을 향하여 송출되고, 노즐 (51, 52) 의 선단에 형성된 슬릿상의 토출구로부터 토출된다. 또한, 이 도공 장치 (100) 는, 장치 전체의 동작을 제어하는 제어 유닛 (3) 을 구비하고 있다.This coating apparatus 100 has a tank 1 for storing a coating liquid to be coated therein and nozzles 51 and 52 for discharging a coating liquid supplied from the tank 1. The coating liquid The coating liquid in the tank 1 is fed toward the nozzles 51 and 52 by the liquid delivery system 2 formed between the tank 1 and the nozzles 51 and 52 and is supplied to the tip of the nozzles 51 and 52 And is discharged from the discharge port of the formed slit. The coating apparatus 100 also includes a control unit 3 for controlling the operation of the entire apparatus.

송액계 (2) 는, 탱크 (1) 의 출력부에서 분기되는 배관 (21, 22) 을 구비한다. 배관 (21) 은 탱크 (1) 와 노즐 (51) 사이를 접속하고, 그 배관 (21) 의 도중에는, 도포액을 유통시키기 위한 펌프 (23) 가 개재 삽입된다. 또한, 배관 (22) 은 탱크 (1) 와 노즐 (52) 사이를 접속하고, 그 배관 (22) 의 도중에는, 도포액을 유통시키는 펌프 (24) 가 개재 삽입된다. 펌프 (23, 24) 는, 고점도의 도포액을 안정된 유량으로 송출할 수 있는 것이 바람직하다. 이러한 펌프로는 예를 들어 나사 펌프를 사용할 수 있고, 예를 들어 1 축 나사 펌프의 일종인 모노 펌프를 바람직하게 적용할 수 있다. 펌프 (23, 24) 의 동작은 제어 유닛 (3) 에 의해 제어되고 있다. 제어 유닛 (3) 은, 펌프 (23, 24) 를 제어하여 탱크 (1) 로부터 노즐 (51, 52) 에 송출되는 도포액의 유량을 개별로 조절한다.The delivery system 2 has piping 21, 22 branched at the output of the tank 1. The piping 21 connects between the tank 1 and the nozzle 51 and a pump 23 for circulating the coating liquid is interposed in the middle of the piping 21. The piping 22 connects between the tank 1 and the nozzle 52. A pump 24 for circulating the coating liquid is interposed in the middle of the piping 22. It is preferable that the pumps 23 and 24 are capable of delivering a coating liquid having a high viscosity at a stable flow rate. As such a pump, for example, a screw pump can be used and, for example, a mono pump, which is a kind of a single screw screw pump, can be preferably applied. The operation of the pumps 23 and 24 is controlled by the control unit 3. The control unit 3 controls the pumps 23 and 24 to separately adjust the flow rate of the coating liquid sent from the tank 1 to the nozzles 51 and 52. [

도공 장치 (100) 는, 도포액이 도포되는 기재 (S) 를 반송하는 반송 유닛 (7) 을 구비하고 있다. 반송 유닛 (7) 에서는, 롤상으로 권회된 장척 시트상의 기재 (S) 가 공급 롤러 (71) 에 세트됨과 함께, 롤로부터 인출된 기재 (S) 의 일단부가 권취 롤러 (72) 에 권회되어 있다. 권취 롤러 (72) 가 도면의 화살표 Dr 방향으로 회전함으로써, 공급 롤러 (71) 로부터 조출 (繰出) 된 기재 (S) 가 그 길이 방향을 따라 화살표 Ds 방향으로 반송되고, 권취 롤러 (72) 에 의해 권취된다. 이렇게 하여 공급 롤러 (71) 및 권취 롤러 (72) 에 걸쳐진 기재 (S) 의 반송 경로 상에, 텐션 롤러 (73) 및 지지 롤러 (74) 가 형성되어 있다. 즉, 공급 롤러 (71) 로부터 인출된 기재 (S) 는 텐션 롤러 (73) 및 지지 롤러 (74) 의 표면에 걸어 감겨져 있고, 지지 롤러 (74) 의 표면을 통과한 기재 (S) 가 권취 롤러 (72) 에 의해 권취된다.The coating apparatus 100 includes a transport unit 7 for transporting a substrate S onto which a coating liquid is applied. In the transport unit 7, a long-sheet-like base material S wound on a roll is set on the feed roller 71 and one end of the base material S pulled out of the roll is wound around the take-up roller 72. The substrate S fed out from the feed roller 71 is conveyed in the direction of arrow Ds along its longitudinal direction by the rotation of the take-up roller 72 in the direction of the arrow Dr in the figure, Is wound. A tension roller 73 and a supporting roller 74 are formed on the conveying path of the base material S across the feeding roller 71 and the winding roller 72 in this way. That is, the base material S drawn out from the supply roller 71 is wound around the surface of the tension roller 73 and the support roller 74, and the base material S, which has passed the surface of the support roller 74, (Not shown).

텐션 롤러 (73) 는, 반송 경로를 따라 반송되는 기재 (S) 에 대하여, 반송 방향에 대한 일정한 장력을 부여한다. 이것에 의해, 반송 경로에 있어서의 기재 (S) 의 느슨해짐이 방지되고, 기재 (S) 가 안정된 자세로 반송된다. 즉, 반송 경로에 배치되는 롤러 사이에 있어서는, 기재 (S) 는 대략 평탄한 자세를 유지하여 반송된다. 지지 롤러 (74) 에 걸어 감김으로써 기재 (S) 의 반송 방향이 수평 방향으로 바뀌고, 지지 롤러 (74) 로부터 권취 롤러 (72) 까지의 사이에서 기재 (S) 는 대략 수평 자세로 되어 있다. 이 때의 기재 (S) 의 반송 방향 (Ds) 은 (+Y) 방향과 대략 일치한다.The tension roller 73 applies a constant tension to the substrate S conveyed along the conveying path in the conveying direction. As a result, the base material S is prevented from loosening in the conveying path, and the base material S is conveyed in a stable posture. That is, between the rollers disposed on the conveying path, the base material S is conveyed while maintaining a substantially flat posture. The substrate S is shifted in the horizontal direction by being wrapped around the support roller 74 and the base material S is in a substantially horizontal position between the support roller 74 and the winding roller 72. [ The carrying direction Ds of the substrate S at this time is substantially coincident with the (+ Y) direction.

요컨대, 반송 유닛 (7) 은, 도포 대상물인 기재 (S) 를 적절한 자세로 유지하는 수단으로서의 기능 및 이것을 반송하는 수단으로서의 기능을 갖는다. 반송 유닛 (7) 은 추가로, 제어 유닛 (3) 으로부터의 제어 지령에 따라, 권취 롤러 (72) 를 소정의 회전 속도로 회전시키는 롤러 구동 기구 (75) 를 갖고 있다. 공급 롤러 (71), 텐션 롤러 (73) 및 지지 롤러 (74) 는 구동 기구를 갖지 않는 종동 롤러이다. 그러나, 이들의 적어도 일방은, 순조로운 반송을 가능하게 하기 위해서, 적절한 구동원이 접속된 구동 롤러이어도 된다.In short, the transfer unit 7 has a function as a means for holding the base material S, which is an object to be coated, in a proper posture and a function as a means for transferring the function. The conveying unit 7 further includes a roller driving mechanism 75 for rotating the winding roller 72 at a predetermined rotational speed in response to a control command from the control unit 3. [ The feed roller 71, the tension roller 73, and the support roller 74 are driven rollers having no drive mechanism. However, at least one of them may be a drive roller to which an appropriate drive source is connected in order to enable smooth conveyance.

이와 같이 반송 유닛 (7) 에 의해 지지·반송되는 기재 (S) 중, 지지 롤러 (74) 로부터 송출되어 수평 자세가 된 부분을 상하로부터 끼우도록, 노즐 (51, 52) 이 배치되어 있다. 보다 상세하게는, 도 1b 에 나타내는 바와 같이, 노즐 (51) 은 수평 자세로 반송되는 기재 (S) 의 상방에, 토출구를 기재 (S) 의 일방 주면인 상면 (Sa) 에 소정의 갭을 사이에 두고 근접 대향시켜 배치된다. 또한, 노즐 (52) 은, 수평 자세로 반송되는 기재 (S) 의 하방에, 토출구를 기재 (S) 의 타방 주면인 하면 (Sb) 에 소정의 갭을 사이에 두고 근접 대향시켜 배치된다.The nozzles 51 and 52 are arranged so as to sandwich the portion of the base material S supported and conveyed by the conveyance unit 7 from the support roller 74 and made horizontal. More specifically, as shown in Fig. 1B, the nozzle 51 is provided above the substrate S to be transported in a horizontal posture, with a discharge gap between the upper surface Sa as one main surface of the substrate S, And are disposed in close proximity to each other. The nozzle 52 is arranged below the base material S to be conveyed in the horizontal posture and in such a manner that the discharge port is close to the bottom surface Sb which is the other main surface of the base material S with a predetermined gap therebetween.

노즐 (51, 52) 로부터 토출되는 도포액이 기재 (S) 의 표면에 도포된다. 기재 (S) 가 화살표 (Ds) 방향으로 반송됨으로써, 노즐 (51, 52) 을 기재 (S) 에 대하여 상대적으로 주사 이동시키면서 도포액을 기재 (S) 에 도포할 수 있다. 반송 방향 (Ds) 에 있어서의 노즐 (51, 52) 의 위치가 대략 동일하면, 기재 (S) 의 양면에 대하여 대략 동시에 도포가 실시되게 된다. 기재 (S) 의 양면에 도포를 실시하기 위해서, 노즐 (51, 52) 은, 롤러 등의 백업 부재에 의한 백업을 받지 않는, 이른바 오프롤 상태의 기재 (S) 에 대향 배치된다. 또, 노즐 (51, 52) 의 배치 형성 위치에 대해서는, 반송 방향 (Ds) 에 있어서의 동일 위치에 한정되지 않는다. 예를 들어, 기재 (S) 의 상면 (Sa) 에 도포액을 도포하는 노즐 (51) 은, 지지 롤러 (74) 에 걸어 감긴 기재 (S) 에 대향하도록 배치되어도 된다.The coating liquid discharged from the nozzles 51 and 52 is applied to the surface of the base material S. [ The substrate S is transported in the direction of arrow Ds so that the coating liquid can be applied to the substrate S while the nozzles 51 and 52 are scanned relative to the substrate S. [ If the positions of the nozzles 51 and 52 in the carrying direction Ds are substantially the same, both sides of the substrate S are coated substantially simultaneously. The nozzles 51 and 52 are opposed to the so-called off-roll substrate S, which is not backed up by a backup member such as a roller, in order to apply the coating on both sides of the substrate S. The arrangement positions of the nozzles 51 and 52 are not limited to the same position in the carrying direction Ds. For example, the nozzle 51 for applying the coating liquid to the upper surface Sa of the base material S may be arranged to face the base material S wrapped around the support roller 74.

노즐 (51, 52) 의 각각은, 기재 (S) 의 표면에 대향하는 면에, 기재 (S) 의 폭 방향, 즉 기재 (S) 의 길이 방향 (반송 방향 (Ds)) 에 직교하는 방향을 따라 연장되는 슬릿상의 개구를 갖고 있다. 그 개구로부터 일정량으로 연속적으로 도포액이 토출됨으로써, 기재 (S) 의 양면 (상면 (Sa), 하면 (Sb)) 에 도포액에 의한 대략 평탄한 도공막 (Fa, Fb) 이 형성된다.Each of the nozzles 51 and 52 has a direction perpendicular to the width direction of the base material S, that is, the longitudinal direction of the base material S (the transport direction Ds) And has an opening on the slit extending along the axis. The coating liquid is continuously discharged from the openings in a predetermined amount to form substantially flat coating films Fa and Fb on the both surfaces (the upper surface Sa and the lower surface Sb) of the substrate S by the coating liquid.

여기서 예를 들어, 집전체로서 기능하는 금속 등의 도전체 시트를 기재 (S) 로서 사용하고, 또한 도포액으로서 활물질 재료를 포함하는 페이스트를 사용하면, 집전체층의 표면에 활물질층을 적층하여 이루어지는 전지용 전극을 제조하는 것이 가능하다. 이러한 도포액은 일반적으로 비교적 고점도이고, 예를 들어 전단 속도 10 s-1 에 있어서의 점도가 3 ㎩·s 내지 30 ㎩·s 정도인 것을 사용할 수 있다. 또한, 기재 (S) 로는, 예를 들어 수지 시트의 표면에 금속 박막이 형성된 것이어도 된다.Here, for example, when a conductive sheet such as a metal functioning as a current collector is used as the substrate S and a paste containing an active material is used as a coating liquid, an active material layer is laminated on the surface of the current collector layer It is possible to manufacture an electrode for a battery. Such a coating liquid generally has a relatively high viscosity, for example, a viscosity of about 3 Pa · s to 30 Pa · s at a shear rate of 10 s -1 can be used. As the base material S, for example, a thin metal film may be formed on the surface of the resin sheet.

또한, 반송 유닛 (7) 에 의한 기재 (S) 의 반송 방향에 있어서, 노즐 (51, 52) 과의 대향 위치보다 하류측이고 권취 롤러 (72) 보다 상류측의 위치에, 경화 유닛 (8) 이 형성되어 있다. 경화 유닛 (8) 은, 그 내부에 통과 이송되는 기재 (S) 에 도포된 도포액에 대하여 예를 들어 건조 공기, 열풍 또는 적외선 등을 공급함으로써, 도포액의 용매 성분의 휘발을 촉진하고, 도포액을 건조 경화시킨다. 도포액이 특정한 전자파에 감응하여 경화되는 재료를 포함하는 것인 경우에는, 당해 전자파를 도포액에 조사하도록 구성되어도 된다. 기재 (S) 의 반송 경로를 따른 경화 유닛 (8) 의 길이는, 도포액의 경화 시간에 대응한다.The curing unit 8 is disposed at a position downstream of the position opposed to the nozzles 51 and 52 and upstream of the winding roller 72 in the conveying direction of the substrate S by the conveying unit 7, Respectively. The curing unit 8 promotes the volatilization of the solvent component of the coating liquid by supplying, for example, dry air, hot air, infrared rays, or the like to the coating liquid applied to the substrate S which is transported through the inside thereof, The solution is dried and cured. In the case where the coating liquid contains a material which is cured by being sensitive to a specific electromagnetic wave, the electromagnetic wave may be irradiated to the coating liquid. The length of the hardening unit 8 along the conveying path of the substrate S corresponds to the hardening time of the coating liquid.

또한, 반송 유닛 (7) 에 의한 기재 (S) 의 반송 방향에 있어서, 노즐 (51, 52) 보다 하류측이고 경화 유닛 (8) 보다 상류측의 위치에, 장력 조정 유닛 (9) 이 형성되어 있다. 장력 조정 유닛 (9) 은, 반송 유닛 (7) 에 의해 반송되는 기재 (S) 에 대하여 폭 방향에 대한 장력을 부여하는 것이다. 오프롤 상태에서 노즐 (51, 52) 과의 대향 위치를 통과하는 기재 (S) 에 있어서는, 특히 폭 방향의 휨이 발생하기 쉽고, 노즐 (51, 52) 과 접촉하거나 갭이 변동되거나 함으로써, 안정된 도포를 실시할 수 없게 될 우려가 있다. 장력 조정 유닛 (9) 은, 기재 (S) 의 폭 방향에 있어서의 양단부를 지지하면서 외방향으로 끌어당김으로써, 기재 (S) 에 폭 방향에 대한 장력을 부여한다. 이하, 장력 조정 유닛 (9) 의 구성 및 동작에 대해서 설명한다.A tension adjusting unit 9 is formed at a position on the downstream side of the nozzles 51 and 52 and upstream of the curing unit 8 in the transport direction of the substrate S by the transport unit 7 have. The tension adjusting unit 9 imparts tension to the base material S conveyed by the conveying unit 7 in the width direction. In the substrate S passing through the position opposed to the nozzles 51 and 52 in the off-roll state, warpage particularly in the width direction tends to easily occur and contact with the nozzles 51 and 52 or the gap changes, There is a possibility that the application can not be performed. The tension adjusting unit 9 applies tension to the base material S in the width direction by pulling the base material S in the outward direction while supporting both ends in the width direction of the base material S. [ The configuration and operation of the tension adjusting unit 9 will be described below.

도 2a 및 도 2b 는 장력 조정 유닛의 개략 구성을 나타내는 도면이다. 보다 상세하게는, 도 2a 는 장력 조정 유닛 (9) 의 주요 구성의 배치를 나타내는 사시도이고, 도 2b 는 그 상면도이다. 장력 조정 유닛 (9) 은, 기재 (S) 중 그 반송 방향 (Ds) 하류측을 향하여 우측의 단부 (Rs) 의 근방에 형성된 우측 유닛 (9R) 과, 좌측의 단부 (Ls) 의 근방에 형성된 좌측 유닛 (9L) 을 갖고 있다. 이들 우측 유닛 (9R) 과 좌측 유닛 (9L) 은, 양자 사이에서 좌우 대칭인 형상으로 되어 있는 점을 제외하고, 기본적인 구성은 공통이다.2A and 2B are views showing a schematic configuration of a tension adjusting unit. More specifically, FIG. 2A is a perspective view showing the arrangement of the main configuration of the tension adjusting unit 9, and FIG. 2B is a top view thereof. The tension adjusting unit 9 includes a right unit 9R formed in the vicinity of the right end Rs of the base S toward the downstream side in the carrying direction Ds thereof and a right unit 9R formed in the vicinity of the left end Ls And a left unit 9L. The basic configuration is common, except that the right unit 9R and the left unit 9L are symmetrical between the right and left units 9R and 9L.

우측 유닛 (9R) 은, 기재 (S) 의 길이 방향에 직교하는 폭 방향 (Dw) 에 있어서의 기재 (S) 의 우측 단부 (Rs) 의 근방에서 기재 (S) 를 협지하는 1 쌍의 롤러 (91R, 92R) 와, 우측 단부 (Rs) 의 폭 방향 (Dw) 에 있어서의 위치를 검출하는 위치 검출부 (93R) 를 구비하고 있다. 동일하게, 좌측 유닛 (9L) 은, 폭 방향 (Dw) 에 있어서의 기재 (S) 의 좌측 단부 (Ls) 의 근방에서 기재 (S) 를 협지하는 1 쌍의 롤러 (91L, 92L) 와, 좌측 단부 (Ls) 의 폭 방향 (Dw) 에 있어서의 위치를 검출하는 위치 검출부 (93L) 를 구비하고 있다. 롤러 (91L, 92L, 91R, 92R) 는, 기재 (S) 에 도포액에 의해 형성되는 도공막 (Fa, Fb) 보다 폭 방향 (Dw) 에 있어서의 외측에서 기재 (S) 의 표면에 맞닿는다. 따라서, 롤러 (91L, 92L, 91R, 92R) 가 미건조의 도공막 (Fa, Fb) 에 닿는 경우는 없다.The right unit 9R includes a pair of rollers (not shown) for holding the base material S in the vicinity of the right end Rs of the base material S in the width direction Dw perpendicular to the longitudinal direction of the base material S 91R and 92R and a position detection part 93R for detecting the position in the width direction Dw of the right end Rs. Similarly, the left unit 9L includes a pair of rollers 91L and 92L for holding the base material S in the vicinity of the left end Ls of the base material S in the width direction Dw, And a position detecting portion 93L for detecting the position in the width direction Dw of the end portion Ls. The rollers 91L, 92L, 91R and 92R abut on the surface of the substrate S from the outside in the width direction Dw than the coating films Fa and Fb formed by the coating liquid on the base material S . Therefore, the rollers 91L, 92L, 91R, and 92R do not contact the uncoated coating films Fa and Fb.

도 2b 에 나타내는 바와 같이, 롤러 (91L, 91R) 는, 일점쇄선으로 나타내는 회전축이 폭 방향 (Dw) 에 대하여 약간 기운 사행 롤러로 되어 있다. 구체적으로는, 폭 방향 (Dw) 에 있어서의 기재 (S) 의 외측 (단부측) 으로부터 내측 (중앙부측) 을 향하여, 롤러 (91L, 91R) 의 회전축은 반송 방향 (Ds) 에 대하여 전진하고 있다. 이것에 의해, 이하에 설명하는 바와 같이, 기재 (S) 에 대하여 폭 방향 (Dw) 의 장력이 부여된다.As shown in Fig. 2B, the rollers 91L and 91R are formed by a serpentine roller whose rotation axis indicated by a dashed line slightly inclines with respect to the width direction Dw. Specifically, the rotation axis of the rollers 91L and 91R is advanced with respect to the transport direction Ds from the outside (the end side) to the inside (the center side) of the base material S in the width direction Dw . As a result, a tensile force in the width direction Dw is applied to the base material S, as described below.

도 3 은 사행 롤러에 의한 기재에 대한 장력 부여의 원리를 나타내는 도면이다. 좌측 유닛 (9L) 의 롤러 (91L) 는, 기재 (S) 의 좌측 단부 (Ls) 근처에서 상면 (Sa) 에 맞닿아 있다. 한편, 우측 유닛 (9R) 의 롤러 (91R) 는, 기재 (S) 의 우측 단부 (Rs) 근처에서 상면 (Sa) 에 맞닿아 있다. 이하에서는, 롤러 (91L, 91R) 의 표면 중 기재 (S) 와 접하는 영역을 각각 부호 911L, 911R 에 의해 나타낸다. 또한 롤러 (91L, 91R) 각각의 회전축을 부호 AL, AR 에 의해 나타낸다.Fig. 3 is a view showing the principle of imparting a tension to a base material by a meandering roller. Fig. The roller 91L of the left unit 9L is in contact with the upper surface Sa near the left end Ls of the base material S. [ On the other hand, the roller 91R of the right unit 9R is in contact with the upper surface Sa near the right end Rs of the base S. Hereinafter, regions of the surfaces of the rollers 91L and 91R in contact with the substrate S are indicated by reference numerals 911L and 911R, respectively. Further, the rotation axes of the rollers 91L and 91R are denoted by symbols AL and AR, respectively.

기재 (S) 의 반송과 함께 롤러 (91L) 가 회전할 때, 롤러 (91L) 의 표면 중 기재 (S) 와 접하는 영역 (911L) 의 이동 방향 (D1) 은, 기재 (S) 의 반송 방향 (Ds) 에 평행한 방향 성분 (D2) 과, 폭 방향 (Dw) 에 있어서 기재 (S) 의 중앙부로부터 좌측 단부 (Ls) 를 향하는 방향 성분 (D3) 을 갖는다. 이것에 의해, 기재 (S) 의 좌측 단부 (Ls) 는 기재 (S) 의 중앙부로부터 외측을 향하는 방향의 힘을 롤러 (91L) 로부터 받는다. 한편, 롤러 (91R) 의 표면 중 기재 (S) 와 접하는 영역 (911R) 의 이동 방향 (D4) 은, 기재 (S) 의 반송 방향 (Ds) 에 평행한 방향 성분 (D5) 과, 폭 방향 (Dw) 에 있어서 기재 (S) 의 중앙부로부터 우측 단부 (Rs) 를 향하는 방향 성분 (D6) 을 갖는다. 이것에 의해, 기재 (S) 의 우측 단부 (Rs) 는 기재 (S) 의 중앙부로부터 외측을 향하는 방향의 힘을 롤러 (91R) 로부터 받는다.The moving direction D1 of the region 911L in contact with the base material S in the surface of the roller 91L is shifted in the conveying direction of the base material S Directional component D2 parallel to the substrate S and a direction component D3 directed from the center of the substrate S toward the left end Ls in the width direction Dw. Thus, the left end Ls of the base S receives a force from the roller 91L in the direction from the center of the base S to the outside. On the other hand, the moving direction D4 of the region 911R in contact with the base material S in the surface of the roller 91R is a direction component D5 parallel to the carrying direction Ds of the base material S, Dw has a direction component D6 from the center portion of the base material S toward the right end portion Rs. Thus, the right end Rs of the base S receives a force from the roller 91R in the direction from the center of the base S to the outside.

이렇게 해서 기재 (S) 의 양단부 (Ls, Rs) 가 각각 기재 (S) 의 폭 방향 (Dw) 에 있어서의 외측을 향하는 힘을 받음으로써, 기재 (S) 에 대하여 폭 방향 (Dw) 의 장력이 발생한다. 기재 (S) 의 양단부는 각각 롤러 (91L, 91R) 에 의해 폭 방향 (Dw) 에 있어서 외방향으로 끌어당기게 되기 때문에, 느슨해짐의 발생이 억제된다.Thus, when the both ends Ls and Rs of the substrate S are respectively subjected to a force directed to the outside in the width direction Dw of the base material S, the tensile force in the width direction Dw relative to the base material S Occurs. Both ends of the substrate S are pulled outward in the width direction Dw by the rollers 91L and 91R, respectively, so that the occurrence of loosening is suppressed.

폭 방향 (Dw) 에 대한 롤러 (91L, 91R) 의 회전축 (AL, AR) 의 경사의 크기는, 0 보다 큰 범위에서 가능한 한 작은 것이 바람직하다. 이 경사가 클수록 폭 방향 (Dw) 에 대한 강한 장력을 발생시킬 수 있다. 단, 경사가 지나치게 크면, 반송 방향 (Ds) 으로 반송되는 기재 (S) 에 대하여 강한 비틀림이 가해짐으로써, 기재 (S) 에 주름이나 기복이 발생하거나, 반송 중인 기재 (S) 가 폭 방향 (Dw) 으로 사행되거나 하는 원인이 된다.It is preferable that the magnitude of the inclination of the rotary axes AL and AR of the rollers 91L and 91R with respect to the width direction Dw is as small as possible within a range larger than zero. The greater the inclination, the stronger the tension in the width direction Dw can be generated. However, if the inclination is excessively large, strong torsion is applied to the substrate S conveyed in the conveying direction Ds, so that wrinkles or undulations may occur in the substrate S, Dw).

또한, 기재 (S) 의 두께나 표면 상태에 따라 폭 방향 (Dw) 에 대한 적절한 장력을 안정적으로 부여하기 위해서, 기재 (S) 에 부여되는 장력의 크기를 가감하는 것이 필요하게 되는 경우도 있다. 그래서, 이 실시형태의 장력 조정 유닛 (9) 은, 좌측 유닛 (9L) 및 우측 유닛 (9R) 에 형성되는 롤러쌍에 의해 형성되는 맞닿음 닙의 닙압을 변화시킬 수 있도록 구성되어 있다. 기재 (S) 에 대하여 큰 장력을 발생시킬 수 있고, 또한 장력의 크기를 조정할 수 있도록 하기 위해서이다.It may also be necessary to increase or decrease the magnitude of the tension applied to the base material S in order to stably apply appropriate tension to the width direction Dw depending on the thickness and surface state of the base material S. [ Thus, the tension adjusting unit 9 of this embodiment is configured to change the nip pressure of the contact nip formed by the pair of rollers formed in the left unit 9L and the right unit 9R. A large tensile force can be generated with respect to the base material S and the magnitude of the tension can be adjusted.

도 4a 및 도 4b 는 좌측 유닛의 구성을 보다 상세하게 나타내는 도면이다. 도 4a 에 나타내는 바와 같이, 좌측 유닛 (9L) 에서는, 1 쌍의 롤러 (91L, 92L) 가 롤러 지지부 (94) 에 의해 지지되어 있다. 보다 구체적으로는, 하측의 롤러 (92L) 는, 롤러 지지부 (94) 의 베이스 부재 (941) 로부터 수평 방향으로 연장되는 지축 (支軸) (942) 에 의해 자유롭게 회전할 수 있도록 지지되어 있다. 롤러 (92L) 는 구동원에 접속되어 있지 않고 자유 회전한다.4A and 4B are views showing the configuration of the left unit in more detail. As shown in Fig. 4A, in the left unit 9L, a pair of rollers 91L and 92L are supported by a roller support portion 94. Fig. More specifically, the lower roller 92L is supported so as to freely rotate by a support shaft 942 extending in the horizontal direction from the base member 941 of the roller support portion 94. [ The roller 92L is free to rotate without being connected to the driving source.

한편, 상측의 롤러 (91L) 는, 연직 방향 (Z 방향) 으로 소정의 가동 범위 내에서 이동 가능하게 지지되어 있다. 즉, 베이스 부재 (941) 의 측면에 연직 방향 (Z 방향) 으로 연장되는 가이드 레일 (943) 이 형성되어 있고, 가이드 레일 (943) 에는 슬라이더 (944) 가 걸어 맞춰져, 연직 방향으로 자유롭게 이동할 수 있도록 되어 있다. 슬라이더 (944) 에는 모터 (945) 가 그 회전축을 수평 방향으로 하여 장착되어 있고, 그 회전축에 롤러 (91L) 가 장착되어 있다. 또한, 슬라이더 (944) 에는 에어 실린더 (946) 가 연결되어 있고, 에어 실린더 (946) 는 제어 유닛 (3) 에 의해 제어되는 레귤레이터 (947) 에 접속되어 있다.On the other hand, the upper roller 91L is movably supported in the vertical direction (Z direction) within a predetermined movable range. That is, a guide rail 943 extending in the vertical direction (Z direction) is formed on the side surface of the base member 941, and a slider 944 is engaged with the guide rail 943 so that the guide rail 943 can freely move in the vertical direction . A motor 945 is mounted on the slider 944 with the rotation axis of the motor 945 in a horizontal direction, and a roller 91L is mounted on the rotation axis of the motor 945. [ An air cylinder 946 is connected to the slider 944 and the air cylinder 946 is connected to a regulator 947 controlled by the control unit 3. [

제어 유닛 (3) 으로부터의 제어 지령에 따라 레귤레이터 (947) 가 작동함으로써, 에어 실린더 (946) 가 슬라이더 (944) 를 상하 방향으로 이동시킨다. 이것에 따라, 슬라이더 (944) 에 지지된 롤러 (91L) 가 연직 방향, 즉 하측의 롤러 (92L) 에 대하여 접근·이간되는 방향으로 이동한다.The regulator 947 is operated in accordance with the control command from the control unit 3 so that the air cylinder 946 moves the slider 944 in the up and down direction. Accordingly, the roller 91L supported by the slider 944 moves in the vertical direction, that is, in the direction in which the roller 91L approaches and separates from the lower roller 92L.

도 4b 는 롤러 (91L, 92L) 의 내부 구조를 나타내는 단면도이다. 상측의 롤러 (91L) 는, 금속제 또는 경질 수지제이며 실질적으로 강체 (剛體) 라고 간주할 수 있는 원통 부재 (912) 의 표면을, 예를 들어 수지 고무와 같은 탄성 부재에 의한 표면층 (913) 으로 덮은 구조를 갖고 있다. 따라서, 롤러 (91L) 의 표면은 외부로부터의 가압에 대하여 탄성 변형된다. 한편, 하측의 롤러 (92L) 는, 내부, 표면 모두 금속제 또는 경질 수지제의 원통상 부재이고, 외부로부터의 가압에 대하여 실질적으로 변형되지 않는다.Fig. 4B is a sectional view showing the internal structure of the rollers 91L and 92L. The roller 91R on the upper side is made of a metal or hard resin and the surface of the cylindrical member 912 which can be regarded as a substantially rigid body is covered with a surface layer 913 made of an elastic member such as resin rubber And has a covered structure. Therefore, the surface of the roller 91L is elastically deformed against external pressure. On the other hand, the lower roller 92L is a cylindrical member made of metal or a hard resin both inside and on the surface, and is not substantially deformed against external pressure.

에어 실린더 (946) 의 작동에 의해 슬라이더 (944) 가 하방으로 이동함으로써, 롤러 (91L) 가 롤러 (92L) 와 맞닿아 표면층 (913) 이 탄성 변형된다. 양 롤러의 사이에 맞닿음 닙 (N) 이 형성되고, 그 닙 (N) 에 있어서 롤러 (91L, 92L) 에 의해 기재 (S) 가 협지된다. 에어 실린더 (946) 에 의한 롤러 (91L) 의 롤러 (92L) 에 대한 가압력은, 레귤레이터 (947) 에 의해 조정되고 있다. 이것에 의해 맞닿음 닙 (N) 에 있어서의 닙압이 소정값으로 제어된다. 제어 유닛 (3) 이 레귤레이터 (947) 를 제어함으로써, 맞닿음 닙 (N) 에 있어서의 가압력을 조정하여 닙압을 제어하는 것이 가능해진다.The operation of the air cylinder 946 moves the slider 944 downward so that the roller 91L abuts against the roller 92L and the surface layer 913 is elastically deformed. An abutment nip N is formed between both rollers and the base material S is sandwiched by the rollers 91L and 92L in the nip N thereof. The pressing force of the roller 91L by the air cylinder 946 against the roller 92L is adjusted by the regulator 947. [ As a result, the nip pressure at the abutting nip N is controlled to a predetermined value. The control unit 3 controls the regulator 947 to adjust the pressing force at the abutting nip N to control the nip pressure.

가압력의 증감에 따라 상측의 롤러 (91L) 는 상하동되지만, 하측의 롤러 (92L) 는 회전축의 위치가 고정되고, 또한 탄성 변형되지 않는다. 이 때문에, 가압력이 증감될 때라도 하측의 롤러 (92L) 의 상단 위치는 변동되지 않고, 기재 (S) 의 수평 자세는 유지되어 있다.As the pressing force is increased or decreased, the upper roller 91L is moved up and down. However, the position of the rotation shaft of the lower roller 92L is fixed and is not elastically deformed. Therefore, even when the pressing force is increased or decreased, the upper end position of the lower roller 92L is not changed, and the horizontal posture of the base material S is maintained.

권취 롤러 (72) 의 회전 구동과 동조하여 모터 (945) 가 작동함으로써 롤러 (91L) 가 회전한다. 모터 (945) 의 회전 속도는, 제어 유닛 (3) 에 의해, 롤러 (91L) 중 기재 (S) 의 상면 (Sa) 에 맞닿는 표면 영역 (911L) (도 3) 의 반송 방향 (Ds) 에 대한 이동 속도가 기재 (S) 의 반송 속도와 동일해지도록 제어된다. 이와 같이 롤러 (91L) 가 모터 (945) 에 의해 회전 구동됨으로써, 기재 (S) 의 반송 방향 (Ds) 에 대한 반송을 방해하지 않고 기재 (S) 에 대하여 폭 방향 (Dw) 의 장력을 발생시킬 수 있다.The motor 945 is operated in synchronization with the rotation drive of the winding roller 72 to rotate the roller 91L. The rotational speed of the motor 945 is controlled by the control unit 3 in the conveying direction Ds of the surface area 911L (Fig. 3) of the roller 91L abutting on the upper surface Sa of the base material S The transport speed is controlled to be equal to the transport speed of the substrate S. The roller 91L is rotationally driven by the motor 945 to generate the tension in the width direction Dw with respect to the base material S without interfering with the conveyance of the base material S in the conveying direction Ds .

롤러 (91L) 는 구동원을 가지지 않는 종동 롤러이어도 된다. 단, 텐션 롤러 (73) 의 부하가 되어 반송 방향 (Ds) 에 있어서의 기재 (S) 의 (특히 장력 조정 유닛 (9) 보다 하류측에서의) 장력에 미치는 영향을 경감시키기 위한 조치가, 더욱 필요해지는 경우가 발생할 수 있다. 또한, 구동원이 하측의 롤러 (92L) 에 접속된 구성이어도 된다.The roller 91L may be a driven roller having no drive source. However, a measure for reducing the influence of the load on the tension roller 73 on the tension of the base material S (in particular, on the downstream side of the tension adjusting unit 9) in the carrying direction Ds is further required Can occur. Further, the driving source may be connected to the lower roller 92L.

도 5a 및 도 5b 는 롤러쌍에 있어서의 회전축의 방향을 나타내는 도면이다. 기재 (S) 를 협지하는 롤러쌍 (91L, 92L) 의 회전축에 대해서는, 적어도 일방을 폭 방향에 대하여 기울게 함으로써, 기재 (S) 에 대하여 폭 방향 (Dw) 에 있어서의 외방향의 힘을 발생시킬 수 있다. 따라서, 이들 롤러 (91L, 92L) 는 도 5a 에 단일의 일점쇄선으로 나타내는 바와 같이 서로 평행한 회전축을 갖고 있어도 되고, 또한 도 5b 에 일점쇄선 및 이점쇄선으로 나타내는 바와 같이, 서로의 회전축이 조금 상이해도 된다. 예를 들어, 하측의 롤러 (92L) 에 대해서는, 이점쇄선으로 나타내는 바와 같이 그 회전축을 폭 방향 (Dw) 과 일치시키도록 해도 된다.5A and 5B are views showing the directions of the rotation axes of the pair of rollers. At least one of the pair of rollers 91L and 92L holding the base S is inclined with respect to the width direction to generate an outward force in the width direction Dw with respect to the base material S . Therefore, these rollers 91L and 92L may have rotation shafts parallel to each other as indicated by a single dash-dotted line in Fig. 5A. Further, as shown by the one-dot chain line and the two-dot chain line in Fig. 5B, You can. For example, with respect to the lower roller 92L, the rotation axis may be made to coincide with the width direction Dw as indicated by the chain double-dashed line.

표면이 탄성 재료로 형성되고, 기재 (S) 와의 사이에 발생하는 마찰력이 보다 큰 상측의 롤러 (91L) 의 회전축을 폭 방향 (Dw) 에 대하여 기울게 함으로써, 폭 방향 (Dw) 에 대한 장력을 보다 효율적으로 발생시킬 수 있다. 이것에 의해, 회전축의 경사를 작게 억제할 수 있고, 기재 (S) 에 주는 데미지를 경감시키는 것도 가능해진다.The tension on the width direction Dw can be obtained by making the rotation axis of the roller 91L on the upper side more inclined with respect to the width direction Dw than when the surface is made of an elastic material and the frictional force generated between the upper surface side roller 91L and the base material S is larger. Can be efficiently generated. As a result, it is possible to suppress the inclination of the rotation axis to be small and to reduce the damage to the substrate S.

도시 및 상세한 설명을 생략하지만, 우측 유닛 (9R) 도 상기한 좌측 유닛 (9L) 과 동일한 구조를 갖고 있다. 그 형상은 기재 (S) 의 폭 방향 (Dw) 에 있어서의 중심을 통과하고 기재 (S) 에 수직인 YZ 평면을 대칭면으로 하여, 좌측 유닛 (9L) 과는 대칭으로 되어 있다. 기재 (S) 의 양단부 각각에 대응하여 좌측 유닛 (9L) 및 우측 유닛 (9R) 이 형성됨으로써, 기재 (S) 를 양측으로부터 폭 방향 (Dw) 의 외방향으로 끌어당길 수 있고, 기재 (S) 에 대하여 폭 방향 (Dw) 의 장력을 부여할 수 있다.Although the illustration and the detailed description are omitted, the right unit 9R has the same structure as the left unit 9L. The shape is symmetrical to the left unit 9L with the YZ plane passing through the center in the width direction Dw of the substrate S and perpendicular to the base S as a symmetrical plane. The base unit S can be pulled out from both sides in the outward direction of the width direction Dw by forming the left unit 9L and the right unit 9R corresponding to both ends of the base material S, The tensile force in the width direction Dw can be given.

본원 발명자의 실험에 의하면, 맞닿음 닙 (N) 에 있어서의 가압력이 클수록, 기재 (S) 를 외방향으로 끌어당기는 작용이 강해지는 것이 확인되었다. 따라서 예를 들어 좌우 유닛 사이에서 맞닿음 닙 (N) 에 있어서의 가압력이 상이할 때, 기재 (S) 는 가압력이 강한 측으로 폭 방향 (Dw) 으로 변위되어 간다. 기재 (S) 에 대하여 롤러 (91L, 92L) (또는 롤러 (91R, 92R)) 가 어느 정도의 미끄러짐을 일으킴으로써 기재 (S) 가 전체로서 반송 방향 (Ds) 으로 이동한다. 맞닿음 닙 (N) 에 있어서의 가압력이 커질수록 미끄러짐량이 작아지고, 결과적으로 기재 (S) 를 폭 방향 (Dw) 으로 변위시키는 힘이 커진다고 생각된다.According to the experiment of the inventor of the present invention, it was confirmed that the larger the pressing force in the contact nip N, the stronger the pulling action of the base S in the outward direction becomes. Therefore, for example, when the pressing force in the contact nip N is different between the left and right units, the base material S is displaced in the width direction Dw to the side where the pressing force is strong. The rollers 91L and 92L (or the rollers 91R and 92R) cause a certain degree of slippage with respect to the base material S so that the base material S as a whole moves in the carrying direction Ds. The greater the pressing force at the abutting nip N, the smaller the slip amount, and consequently the greater the force for displacing the base material S in the width direction Dw.

따라서, 맞닿음 닙 (N) 에 있어서의 가압력을 변경 가능하게 함으로써, 기재 (S) 에 부여되는 폭 방향 (Dw) 의 장력을 증감시킬 수 있다. 특히 좌우 유닛 (9L, 9R) 사이에서 독립적으로 변경할 수 있도록 하면, 기재 (S) 에 대하여 폭 방향 (Dw) 의 적정한 장력을 부여하면서, 폭 방향 (Dw) 에 있어서의 기재 (S) 의 위치 조정을 실시하는 것도 가능해진다. 이것을 가능하게 하기 위한 구성 및 처리에 대해서, 도 6a, 도 6b 및 도 7 을 참조하면서 설명한다.Therefore, by making the pressing force in the abutting nip N changeable, the tensile force in the width direction Dw given to the base material S can be increased or decreased. It is possible to adjust the position of the base material S in the width direction Dw while giving proper tensile force in the width direction Dw to the base material S while independently changing between the left and right units 9L and 9R Can be performed. The configuration and processing for enabling this will be described with reference to Figs. 6A, 6B, and 7. Fig.

도 6a 및 도 6b 는 위치 검출부의 구성을 나타내는 도면이다. 보다 상세하게는, 도 6a 는 이 실시형태에 있어서의 위치 검출부의 구성을 나타내고, 도 6b 는 위치 검출부의 다른 구성예를 나타낸다. 이 실시형태의 위치 검출부 (93L) 는, 도 6a 에 나타내는 바와 같이, 하우징 (931) 내에서 복수의 투광기 (932) 와 수광기 (933) 가 대향 배치된 구조를 갖고 있다. 우측 유닛 (9R) 의 위치 검출부 (93R) 의 구조도 동일하다.6A and 6B are diagrams showing the configuration of the position detecting section. More specifically, Fig. 6A shows the configuration of the position detection section in this embodiment, and Fig. 6B shows another configuration example of the position detection section. 6A, the position detecting section 93L of this embodiment has a structure in which a plurality of light projectors 932 and a light receiver 933 are opposed to each other in a housing 931. [ The structure of the position detecting section 93R of the right side unit 9R is also the same.

폭 방향 (Dw) 을 따라 복수 배열된 투광기 (932) 로부터 출사되는 광은, 투광기 (932) 에 대응하여 폭 방향 (Dw) 을 따라 복수 배열된 수광기 (933) 에 의해 수광된다. 투광기 (932) 와 수광기 (933) 사이에 차폐물이 없으면 투광기 (932) 로부터 출사되는 광은 그대로 수광기 (933) 에 입사한다. 한편, 차폐물 (기재 (S)) 이 있는 위치에서는 수광기 (933) 에 입사해야 할 광이 차단된다. 제어 유닛 (3) 은, 수광기 (933) 에 있어서의 수광 상태에 대응하여 출력되는 출력 신호로부터, 기재 (S) 의 단부 위치를 검출할 수 있다.Light emitted from a plurality of light emitters 932 arranged along the width direction Dw is received by a plurality of light receivers 933 arranged along the width direction Dw corresponding to the light emitter 932. [ If there is no shield between the light emitter 932 and the light receiver 933, the light emitted from the light emitter 932 directly enters the light receiver 933. On the other hand, the light to be incident on the light receiver 933 is blocked at the position where the shield (substrate S) is present. The control unit 3 can detect the end position of the base material S from the output signal output corresponding to the light receiving state in the light receiver 933. [

또한, 도 6b 에 나타내는 위치 검출부 (93A) 와 같이, 하우징 (936) 에 광원과 수광기가 일체가 된 반사형 포토 센서 (937) 가 복수 배열된 구성이어도 된다. 이러한 구성에서는, 기재 (S) 로부터의 반사광의 반사형 포토 센서 (937) 에 대한 입사 유무에 의해, 기재 (S) 의 단부 위치를 검출할 수 있다.Further, as in the case of the position detecting section 93A shown in Fig. 6B, a plurality of reflection type photo sensors 937 in which a light source and a light receiving device are integrated in the housing 936 may be arranged. In such a configuration, the end position of the base material S can be detected by the presence or absence of incidence of the reflected light from the base material S on the reflection type photosensor 937.

도 7 은 이 실시형태에 있어서의 장력 조정 처리를 나타내는 플로차트이다. 제어 유닛 (3) 은, 미리 작성된 제어 프로그램을 실행하여 장치 각 부를 제어함으로써 각종 동작을 실행 가능하다. 여기에 설명하는 장력 조정 처리도 그 하나이다. 이 장력 조정 처리는, 좌측 유닛 (9L) 및 우측 유닛 (9R) 에 대하여 개별로 실행된다. 여기서는 좌측 유닛 (9L) 을 사용한 처리에 대해서 설명하지만, 우측 유닛 (9R) 에 대한 처리도 동일한 처리 플로에 의해 실시된다. 장력 조정 처리는, 권취 롤러 (72) 의 회전에 의해 기재 (S) 가 반송되어 노즐 (51, 52) 로부터의 도포액의 도포가 실행되는 동안, 계속적으로 실행된다.Fig. 7 is a flowchart showing a tension adjusting process in this embodiment. The control unit 3 can execute various operations by executing control programs previously prepared and controlling each unit of the apparatus. One of the tension adjustment processes described here is one of them. This tension adjustment processing is performed individually for the left unit 9L and the right unit 9R. Although the process using the left unit 9L is described here, the process for the right unit 9R is also performed by the same process flow. The tension adjustment processing is continuously executed while the substrate S is conveyed by the rotation of the take-up roller 72 and the coating liquid is applied from the nozzles 51 and 52.

장력 조정 처리에서는, 기재 (S) 의 좌측 단부 (Ls) 의 위치가 위치 검출부 (93L) 에 의해 검출된다 (스텝 S101). 제어 유닛 (3) 은, 검출된 기재 (S) 의 단부 위치를 미리 설정되어 있는 적정 위치와 비교하고, 적정한 범위를 초과하는 위치 어긋남의 유무를 판정한다 (스텝 S102). 위치 어긋남이 검출된 경우에는 (스텝 S102 에 있어서 YES), 검출된 위치 어긋남량에 따라, 롤러 (91L, 92L) 사이의 가압력의 보정량이 산출된다 (스텝 S103). 그리고, 산출된 보정량만큼 가압력을 변경한다는 취지의 제어 지령이 제어 유닛 (3) 으로부터 레귤레이터 (947) 에 부여되고, 레귤레이터 (947) 가 에어 실린더 (946) 를 제어하여, 롤러 (92L) 에 대한 롤러 (91L) 의 가압력이 변경된다 (스텝 S104).In the tension adjustment processing, the position of the left end portion Ls of the base material S is detected by the position detection portion 93L (step S101). The control unit 3 compares the detected end position of the base material S with a predetermined proper position, and determines whether there is a positional deviation exceeding an appropriate range (step S102). When the positional deviation is detected (YES in step S102), the correction amount of the pressing force between the rollers 91L and 92L is calculated in accordance with the detected positional displacement amount (step S103). A control command indicating that the pressing force is to be changed by the calculated correction amount is given to the regulator 947 from the control unit 3 and the regulator 947 controls the air cylinder 946 to rotate the roller 92L against the roller 92L, The pressing force of the pressing member 91L is changed (step S104).

가압력이 증가하는 변경이 실시된 경우, 기재 (S) 의 좌측 단부 (Ls) 가 폭 방향 (Dw) 의 외측을 향하여 변위되고 위치 어긋남이 해소됨과 함께, 폭 방향 (Dw) 에 있어서 기재 (S) 에 부여되는 장력이 증대한다. 가압력이 감소하는 변경이 실시된 경우, 기재 (S) 의 좌측 단부 (Ls) 가 폭 방향 (Dw) 의 내측을 향하여 변위되고, 폭 방향 (Dw) 에 있어서 기재 (S) 에 부여되는 장력도 작아진다.The left end Ls of the base material S is displaced toward the outside of the width direction Dw and the positional deviation is eliminated and the substrate S is moved in the width direction Dw, The tensile force exerted on the elastic member is increased. The left end Ls of the base material S is displaced toward the inside of the width direction Dw and the tension applied to the base material S in the width direction Dw is also small Loses.

위치 어긋남이 검출되지 않은 경우에는 (스텝 S102 에 있어서 NO), 스텝 S103, S104 는 스킵된다. 도포가 종료될 때까지 동안, 상기 처리가 계속됨으로써 (스텝 S105), 기재 (S) 에 대하여 폭 방향 (Dw) 에 대한 안정된 장력을 부여할 수 있다.When the positional deviation is not detected (NO in step S102), steps S103 and S104 are skipped. The process is continued until the coating is completed (step S105), so that a stable tension can be imparted to the base material S in the width direction Dw.

위치 어긋남의 보정에 관해서는, 검출된 위치 어긋남량에 소정의 서보 게인을 곱한 값을 가압력의 보정량으로 하는 서보 제어에 의해 실시되어도 된다. 단, 기재 (S) 의 반송 방향 (Ds) 에 있어서 롤러쌍 (91L, 92L) 과 위치 검출부 (93L) 의 배치 형성 위치가 상이하다. 이 때문에, 롤러쌍 (91L, 92L) 의 작동에 의한 위치 어긋남 보정이 실행되고 나서, 이것에 따른 기재 (S) 의 단부 위치의 변화가 위치 검출부 (93L) 에 의해 검출될 때까지 동안에는 일정한 시간 지연이 있다. 이 시간 지연에 기인하여 제어가 불안정해지는 것을 회피할 필요가 있다.The correction of the positional deviation may be performed by servo control in which a value obtained by multiplying the detected positional shift amount by a predetermined servo gain is used as a correction amount of the pressing force. However, the arrangement positions of the roller pair 91L, 92L and the position detecting portion 93L are different in the carrying direction Ds of the base material S. For this reason, after the positional deviation correction by the operation of the roller pair 91L, 92L is carried out, there is a certain time delay until the position detection portion 93L detects the change of the end position of the substrate S in accordance therewith . It is necessary to avoid unstable control due to this time delay.

좌측 유닛 (9L) 및 우측 유닛 (9R) 이 각각 독립적으로 상기와 같이 제어됨으로써, 폭 방향 (Dw) 에 있어서의 기재 (S) 의 위치 및 장력이 일정하게 유지된다. 즉, 본 실시형태는, 기재 (S) 의 폭 방향 (Dw) 에 있어서의 위치를 일정하게 유지하여 기재 (S) 의 사행을 억제하는 기능과, 기재 (S) 에 부여되는 폭 방향 (Dw) 의 장력을 일정하게 유지하여 기재 (S) 의 느슨해짐을 억제하고 기재 (S) 를 평탄한 자세로 유지하는 기능을 겸비하고 있다. 이하, 그 이유에 대해서 설명한다.By controlling the left unit 9L and the right unit 9R independently as described above, the position and tensile force of the base material S in the width direction Dw are kept constant. That is, the present embodiment has a function of suppressing the skew of the base material S by keeping the position of the base material S in the width direction Dw constant, and a function of suppressing the skewing of the base material S in the width direction Dw, To keep the tension of the base material S constant, thereby suppressing the slackness of the base material S and keeping the base material S in a flat posture. Hereinafter, the reason will be described.

도 8 은 기재의 단부 위치가 변동되는 여러 가지 케이스를 나타내는 도면이다. 도면에 있어서 파선은 기재 (S) 가 폭 방향 (Dw) 에 있어서 적정한 위치에 있을 때의 양단부 (Ls, Rs) 각각의 위치를 나타내고 있다. 기재 (S) 에 부여되는 장력이 부족할 때, 도면에 「케이스 1」로서 나타내는 바와 같이, 기재 (S) 의 폭 방향에 있어서의 중앙부가 하방으로 휘고, 양단부 (Ls, Rs) 는 적정 위치보다 내측으로 어긋난다. 이 때, 좌측 유닛 (9L) 은 기재 (S) 의 좌측 단부 (Ls) 를, 우측 유닛 (9R) 은 기재 (S) 의 우측 단부 (Rs) 를, 각각 외측으로 변위시키도록 작동한다. 그 때문에, 기재 (S) 에 부여되는 장력이 증대되고 휨이 해소된다.8 is a view showing various cases in which the position of the end portion of the substrate varies. In the drawing, the broken lines indicate the positions of the both ends Ls and Rs when the base material S is in the proper position in the width direction Dw. When the tension imparted to the base material S is insufficient, the central portion in the width direction of the base material S is bent downward and the both end portions Ls and Rs are bent inward . At this time, the left unit 9L operates to displace the left end Ls of the base material S and the right unit 9R shifts the right end Rs of the base material S outwardly, respectively. As a result, the tensile force applied to the base material S is increased and the warpage is eliminated.

한편, 적정한 장력이 부여되어 있어도 기재 (S) 가 사행하고 있는 경우, 「케이스 2」로서 나타내는 바와 같이, 기재 (S) 의 양단부 (Ls, Rs) 가 동 방향의 위치 어긋남을 발생시킨다. 이 케이스에서는, 좌측 유닛 (9L) 은 롤러쌍 (91L, 92L) 사이의 가압력을 증가시킴으로써 기재 (S) 의 좌측 단부 (Ls) 를 외측 (도면에 있어서 좌측) 으로 변위시킨다. 한편, 우측 유닛 (9R) 은 롤러쌍 (91R, 92R) 사이의 가압력을 감소시킴으로써 기재 (S) 의 우측 단부 (Rs) 를 내측 (도면에 있어서 좌측) 으로 변위시킨다. 이것에 의해, 기재 (S) 의 위치는 적정 위치에 가까워진다. 기재 (S) 가 적정 위치보다 좌측으로 어긋난 경우도 동일하다.On the other hand, in the case where the substrate S meanders even if a proper tensile force is applied, both end portions Ls and Rs of the base material S are displaced in the same direction as indicated by " Case 2 ". In this case, the left unit 9L increases the pressing force between the pair of rollers 91L and 92L, thereby displacing the left end Ls of the base S to the outside (left side in the figure). On the other hand, the right unit 9R displaces the right end Rs of the base S to the inside (left side in the figure) by reducing the pressing force between the roller pair 91R and 92R. As a result, the position of the base material S is close to the proper position. The same applies to the case where the substrate S is displaced to the left from the proper position.

또한, 「케이스 3」으로서 나타내는 바와 같이, 기재의 휨과 사행이 동시에 발생하는 케이스가 있다. 이 케이스에서는, 기재 (S) 의 좌측 단부 (Ls) 에 있어서 검출되는 위치 어긋남량 (ΔL) 의 크기와 기재 (S) 의 우측 단부 (Rs) 에 있어서 검출되는 위치 어긋남량 (ΔR) 의 크기가 상이하다. 가압력의 보정량이 위치 어긋남량의 크기에 따라 설정되기 때문에, 보정량에도 좌우의 차가 발생하고, 기재 (S) 는 보정량의 차에 따른 장력의 증가를 받으면서, 전체로서는 보정량이 큰 쪽으로 변위된다. 그 결과, 기재 (S) 의 휨과 사행에 의한 위치 어긋남이 함께 보정된다. 기재 (S) 의 일방 단부가 적정 위치보다 외측으로 어긋나 있는 경우도 동일하다.In addition, as indicated by " Case 3 ", there is a case where warpage and skew of the base material occur at the same time. In this case, the size of the positional shift amount? L detected at the left end Ls of the base material S and the size of the positional shift amount? R detected at the right end Rs of the base material S It is different. Since the correction amount of the pressing force is set in accordance with the magnitude of the position displacement amount, the difference in the right and left is also generated in the correction amount, and the base material S is displaced toward the larger correction amount as a whole while receiving the increase of the tension in accordance with the difference in correction amount. As a result, the warpage of the base material S and the positional deviation due to meandering are corrected together. The same applies to the case where one end of the substrate S is shifted to the outside than the proper position.

그 밖에, 예를 들어 부품의 치수 편차 등의 원인에 의해 좌측 유닛 (9L) 과 우측 유닛 (9R) 사이에서 가압력에 편차가 발생하는 경우도 있을 수 있다. 이러한 가압력의 좌우차는 기재 (S) 에 대하여 새롭게 사행을 발생시키는 원인이 된다. 좌우 유닛 사이에서 독립된 조정을 가능하게 함으로써, 이러한 원인에 의한 사행의 발생을 억제하는 것이 가능하게 된다.In addition, there may be a case where a difference in pressing force occurs between the left-side unit 9L and the right-side unit 9R due to, for example, the dimensional deviation of the components. This right-left difference in the pressing force causes a new skew to the base material S. [ The independent adjustment between the left and right units is enabled, thereby making it possible to suppress occurrence of meandering caused by such a cause.

이상과 같이, 이 실시형태에서는, 기재 (S) 의 폭 방향 (Dw) 에 대하여 회전축을 약간 기울게 한 롤러 (91L, 91R) 가 기재 (S) 에 맞닿는다. 그리고, 그 롤러 (91L, 91R) 중 기재 (S) 의 표면에 맞닿는 영역 (911L, 911R) 이, 폭 방향 (Dw) 에 있어서의 기재 (S) 의 외측을 향하는 성분을 포함하는 방향으로 이동한다. 이것에 의해, 기재 (S) 단부에 대하여 외측을 향하여 끌어당기는 힘이 발생하고, 기재 (S) 에 폭 방향 (Dw) 의 장력이 부여된다. 기재 (S) 를 협지하는 롤러쌍에 있어서의 가압력을 증감시켜 기재 (S) 를 외방향으로 끌어당기는 힘을 조정함으로써, 기재 (S) 에 부여되는 장력의 크기를 제어하는 것이 가능하다.As described above, in this embodiment, the rollers 91L and 91R having the rotation axis slightly inclined with respect to the width direction Dw of the base material S come into contact with the base material S. The regions 911L and 911R of the rollers 91L and 91R which contact the surface of the base material S move in the direction including the component toward the outside of the base material S in the width direction Dw . As a result, a pulling force is exerted toward the outer side of the base S, and a tensile force in the width direction Dw is applied to the base material S. It is possible to control the magnitude of the tension imparted to the base material S by adjusting the force for pulling the base material S outwardly by increasing or decreasing the pressing force on the pair of rollers holding the base material S. [

가압력의 증감에 의해 장력을 조정할 수 있기 때문에, 롤러 회전축의 경사를 작게 억제하는 것이 가능하다. 이것에 의해, 롤러에 의한 비틀림이 가해지는 것에 기인하는 기재 (S) 에 대한 데미지를 경감시킬 수 있다.Since the tension can be adjusted by increasing or decreasing the pressing force, it is possible to suppress the inclination of the roller rotation shaft to be small. This makes it possible to reduce the damage to the base material S caused by twisting by the roller.

또한, 롤러쌍에 있어서의 가압력이, 좌측 유닛 (9L) 과 우측 유닛 (9R) 에서 개별로 조정 가능하다. 이 때문에, 본 실시형태는, 기재 (S) 에 부여되는 장력을 조정할 뿐만 아니라, 반송되는 기재 (S) 가 폭 방향 (Dw) 으로 변위되는 사행을 보정하는 기능도 갖고 있다.Further, the pressing force in the pair of rollers can be individually adjusted in the left unit 9L and the right unit 9R. Therefore, the present embodiment has a function of not only adjusting the tension applied to the base material S but also correcting the skew in which the substrate S to be conveyed is displaced in the width direction Dw.

이렇게 하여 기재 (S) 에 대하여 폭 방향 (Dw) 에 있어서의 장력 및 위치가 조정됨으로써, 기재 (S) 가 안정된 자세로 노즐 (51, 52) 과의 대향 위치를 통과하게 된다. 이 때문에, 이 실시형태의 도공 장치 (100) 에서는, 노즐 (51, 52) 로부터 토출되는 도포액에 의해 기재 (S) 표면에 형성되는 도공막의 품질을 양호하고 또한 안정적으로 유지할 수 있다.Thus, the tension and the position of the base S in the width direction Dw are adjusted with respect to the base material S, so that the base material S passes through the position opposite to the nozzles 51 and 52 in a stable posture. Therefore, in the coating apparatus 100 of this embodiment, the quality of the coating film formed on the surface of the base material S can be maintained satisfactorily and stably by the coating liquid discharged from the nozzles 51 and 52.

특히, 기재 (S) 의 양면에 도공막 (Fa, Fb) 이 형성되는 장치에 있어서는, 기재 (S) 의 중앙부를 지지하는 것이 어려운 경우가 있다. 본 실시형태에서는, 기재 (S) 의 단부를 협지하면서 폭 방향 (Dw) 에 대한 장력을 부여할 수 있다. 그 때문에, 기재 (S) 의 중앙부를 지지할 수 없는 경우라도, 기재 (S) 의 자세를 안정적으로 유지하면서 양면에 대한 도포를 실행할 수 있다.Particularly, in the apparatus in which the coating films Fa and Fb are formed on both surfaces of the substrate S, it is sometimes difficult to support the center portion of the substrate S. In the present embodiment, it is possible to impart a tension to the width direction Dw while sandwiching the end portion of the base material S. Therefore, even when the central portion of the base material S can not be supported, both surfaces can be coated while maintaining the posture of the base material S stably.

이상 설명한 바와 같이, 상기 실시형태에 있어서는, 반송 유닛 (7) 이 본 발명의 「반송 수단」으로서 기능하고 있다. 그리고, 공급 롤러 (71), 권취 롤러 (72), 지지 롤러 (74) 등이 본 발명의 「반송 롤러」에 상당하고 있다. 또한, 탱크 (1), 송액계 (2), 노즐 (51, 52) 이 일체로서 본 발명의 「도포 수단」으로서 기능하고 있다.As described above, in the above embodiment, the transport unit 7 functions as the " transport means " of the present invention. The feed roller 71, the take-up roller 72, the support roller 74, and the like correspond to the "feed roller" of the present invention. In addition, the tank 1, the liquid delivery system 2, and the nozzles 51 and 52 function integrally as the "application means" of the present invention.

또한, 상기 실시형태에서는, 장력 조정 유닛 (9) 의 좌측 유닛 (9L), 우측 유닛 (9R) 이 본 발명의 「장력 부여 수단」으로서 기능하고 있다. 그리고, 롤러 (91L, 91R) 가 본 발명의 「제 1 롤러」로서, 또한 롤러 (92L, 92R) 가 본 발명의 「제 2 롤러」로서 기능하고 있다. 또한, 제어 유닛 (3) 이 본 발명의 「장력 제어 수단」으로서, 위치 검출부 (93L, 93R) 가 본 발명의 「위치 검출 수단」으로서 각각 기능하고 있다.In the above embodiment, the left unit 9L and the right unit 9R of the tension adjusting unit 9 function as "tension applying means" of the present invention. The rollers 91L and 91R function as the " first roller " of the present invention, and the rollers 92L and 92R function as the " second roller " The control unit 3 functions as "tension control means" of the present invention, and the position detecting portions 93L, 93R function as "position detecting means" of the present invention.

또, 본 발명은 상기한 실시형태에 한정되는 것이 아니라, 그 취지를 일탈하지 않는 한 상기 서술한 것 이외에 여러 가지 변경을 실시하는 것이 가능하다. 예를 들어, 상기 실시형태의 도공 장치 (100) 는, 기재 (S) 의 양면에 노즐 (51, 52) 을 대향시켜 도포액을 토출시키고, 기재의 양면에 도공막을 형성하는 장치이다. 그러나, 기재의 편면에만 도포를 실시하는 장치에 대해서도, 본 발명을 적용하는 것이 가능하다.The present invention is not limited to the above-described embodiments, and various modifications other than the above-described ones can be made without departing from the spirit of the present invention. For example, the coating apparatus 100 of the above embodiment is an apparatus for discharging a coating liquid by opposing the nozzles 51 and 52 to both surfaces of the base material S, and forming a coating film on both surfaces of the base material. However, the present invention can also be applied to an apparatus for applying only one side of a substrate.

또한, 상기 실시형태에서는 기재 (S) 의 반송 방향 (Ds) 에 있어서 노즐 (51, 52) 보다 하류측 위치에 있어서 기재 (S) 가 장력 조정 유닛 (9) 에 의해 지지되어 있다. 그러나, 노즐 (51, 52) 과의 대향 위치를 통과하는 기재 (S) 에 적절한 장력을 부여한다는 관점에서는, 기재 (S) 가 협지되는 위치는, 반송 방향 (Ds) 에 있어서 노즐 (51, 52) 과 동 위치 또는 이것보다 상류측 위치이어도 된다. 특히, 노즐 (51, 52) 보다 상류측 위치에서 기재 (S) 를 롤러에 의해 협지하는 경우, 미도포의 기재 (S) 에 대해서는 롤러의 맞닿음 위치에 대해서 제약이 적기 때문에, 효과적인 장력의 부여가 가능하다. 도공막이 형성된 기재 (S) 는 질량의 증가에 따라 하방으로 휘기 쉬워진다. 그래서, 본 실시형태와 같이 노즐 (51, 52) 보다 하류측에 장력 조정 유닛 (9) 을 형성하는 것이, 기재 (S) 의 자세를 유지하는 효과를 높게 하는 데에 있어서 유효해진다.In the embodiment described above, the base material S is supported by the tension adjusting unit 9 at a position downstream of the nozzles 51 and 52 in the transport direction Ds of the base material S. However, from the viewpoint of imparting an appropriate tension to the base material S passing through the position opposed to the nozzles 51 and 52, the position where the base material S is held is determined by the positions of the nozzles 51 and 52 in the carrying direction Ds Or a position upstream of the same. Particularly, when the base material S is sandwiched by the rollers at the position upstream of the nozzles 51 and 52, since there is little restriction on the abutment position of the roller with respect to the base material S which is not yet applied, Is possible. The base material S on which the coating film is formed is liable to warp downward as the mass increases. Therefore, it is effective to increase the effect of maintaining the posture of the base material S by forming the tension adjusting unit 9 on the downstream side of the nozzles 51 and 52 as in the present embodiment.

또한, 상기 실시형태의 장력 조정 유닛 (9) 은, 기재 (S) 에 부여되는 폭 방향 (Dw) 의 장력과 동 방향에 있어서의 기재 (S) 의 위치를 조정하기 위해서, 좌측 유닛 (9L) 과 우측 유닛 (9R) 이 독립적으로 동작하는 구성으로 되어 있다. 한편, 단지 장력을 조정한다는 목적이면, 양 유닛이 동일한 움직임을 하는 제어가 실시되어도 된다. 또한, 단일의 제어 알고리즘으로 양 유닛을 연동시킴으로써, 장력 및 위치 조정이 실시되도록 해도 된다.The tension adjusting unit 9 of the above embodiment is arranged so that the tension of the left unit 9L is adjusted in order to adjust the position of the base S in the same direction as the tensile force in the width direction Dw given to the base material S. [ And the right unit 9R operate independently of each other. On the other hand, if the purpose is simply to adjust the tension, control may be performed such that both units perform the same movement. Further, tension and position adjustment may be performed by interlocking both units with a single control algorithm.

또한, 상기 실시형태에서는, 수평 자세로 반송되는 기재 (S) 의 반송 경로를 따라 노즐 (51, 52), 장력 조정 유닛 (9) 이 배치되어 있다. 그러나, 기재 (S) 의 반송 방향은 수평 방향에 한정되지 않고, 예를 들어 연직 방향 상향, 경사 상방향, 연직 방향 하향 또는 경사 하방향으로 반송되는 기재 (S) 에 대하여, 본 발명의 「장력 부여 수단」이 배치되어도 된다.In the above embodiment, the nozzles 51 and 52 and the tension adjusting unit 9 are arranged along the conveying path of the substrate S conveyed in the horizontal posture. However, the conveying direction of the substrate S is not limited to the horizontal direction. For example, the substrate S conveyed in the upward direction, the upward direction, the downward direction or the downward direction of the vertical direction, Quot; or " granting means "

또, 상기 실시형태의 위치 검출부 (93L, 93R) 는 광학적 수단에 의해 기재 (S) 의 단부 위치를 검출하는 것이다. 그러나, 본 발명의 「위치 검출 수단」은 이러한 광학적인 검출 원리에 의한 것에 한정되지 않는다. 예를 들어 기재의 단부에 기계적으로 접촉하여 그 위치를 검출하는 것이어도 된다. 또한 카메라 등으로 촬상된 화상을 사용하여 위치 검출을 실시하는 구성이어도 된다.The position detecting portions 93L and 93R of the above embodiments detect the end position of the base material S by optical means. However, the " position detection means " of the present invention is not limited to this optical detection principle. For example, the position may be detected by mechanically contacting the end of the substrate. Alternatively, the position detection may be performed using an image captured by a camera or the like.

또한, 상기 실시형태는, 집전체로서 기능하는 장척 시트상의 기재 (S) 에 활물질 재료를 포함하는 도포액을 도포하여 전지용 전극을 제조하는 장치이다. 그러나, 본 발명의 적용 대상이 되는 기재 및 도포액의 재료는 임의이다.The above embodiment is an apparatus for producing a battery electrode by applying a coating liquid containing an active material to a substrate S on a long sheet serving as a current collector. However, the substrate to which the present invention is applied and the material of the coating liquid are optional.

이상, 구체적인 실시형태를 예시하여 설명한 바와 같이, 본 발명에 있어서는, 예를 들어 제 1 롤러 및 제 2 롤러는, 반송 방향에 있어서 노즐보다 하류 위치에서, 기재 중 도포액이 도포된 영역보다 외측에서 기재를 협지하도록 구성되어도 된다. 이러한 구성에 의하면, 도포액이 도포되어 무거워진 기재에 대하여 장력을 부여함으로써 기재의 휨을 억제할 수 있다. 또한 제 1 및 제 2 롤러가 도포 직후의 도포액에 닿는 것을 방지할 수 있다.As described above, in the present invention, for example, the first roller and the second roller are located at a position downstream of the nozzle in the carrying direction, outside the area coated with the coating liquid in the substrate And the substrate may be sandwiched. According to such a configuration, it is possible to suppress the warping of the base material by applying a tensile force to the base material which has been coated with the coating liquid and becomes heavy. It is also possible to prevent the first and second rollers from contacting the coating liquid immediately after the application.

또한 예를 들어, 장력 제어 수단은, 제 1 롤러와 제 2 롤러 사이의 가압력을, 1 쌍의 장력 부여 수단 사이에서 서로 독립적으로 조정 가능하도록 구성되어도 된다. 이러한 구성에 의하면, 1 쌍의 장력 부여 수단 사이에서 제 1 롤러와 제 2 롤러 사이의 가압력을 서로 상이하게 함으로써, 기재를 폭 방향으로 변위시키는 것이 가능하다. 이것에 의해, 기재가 폭 방향으로 변위되는 사행을 보정하는 것이 가능하다.For example, the tension control means may be configured so that the pressing force between the first roller and the second roller can be independently adjusted between the pair of tension applying means. With this configuration, it is possible to displace the substrate in the width direction by making the pressing forces between the first roller and the second roller different from each other between the pair of tension applying means. Thereby, it is possible to correct the meander in which the base material is displaced in the width direction.

또한 예를 들어, 제 1 롤러 및 제 2 롤러의 적어도 일방의 표면이, 탄성 재료에 의해 형성되어 있어도 된다. 이러한 구성에 의하면, 가압력에 의해서 롤러 표면이 탄성 변형됨으로써 형성되는 닙에 의해 기재를 확실히 협지하면서 장력을 부여할 수 있다. 또한, 가압력의 변화가 탄성 변형량의 변화가 되어 나타나므로, 가압력의 변화를 장력의 변화에 확실히 반영시킬 수 있다.Further, for example, at least one surface of the first roller and the second roller may be formed of an elastic material. According to this structure, the nip formed by the elastic deformation of the roller surface by the pressing force can secure the tension while holding the base surely. Further, since the change in the pressing force appears as a change in the amount of elastic deformation, the change in the pressing force can be reliably reflected in the change in the tension.

또한 예를 들어, 제 1 롤러와 제 2 롤러가 서로 평행한 회전축을 갖는 구성이어도 된다. 이러한 구성에 의하면, 제 1 롤러와 제 2 롤러 사이에서 형성되는 닙에 있어서 기재에 비틀림이 가해지는 것이 방지된다. 따라서, 협지에 기인하는 기재의 데미지를 억제할 수 있다.For example, the first roller and the second roller may have a rotation axis parallel to each other. With this configuration, it is prevented that the substrate is twisted in the nip formed between the first roller and the second roller. Therefore, it is possible to suppress the damage of the substrate caused by the nipping.

또한 예를 들어, 본 발명의 도공 장치는, 기재의 반송 경로에 있어서, 폭 방향에 있어서의 기재의 양단부 각각의 위치를 검출하는 위치 검출 수단을 구비하고, 장력 제어 수단은, 위치 검출 수단에 의한 검출 결과에 기초하여 장력 부여 수단을 제어하도록 구성되어도 된다. 이러한 구성에 의하면, 기재의 휨이나 위치 어긋남의 발생량에 따라 적절한 장력을 기재에 부여하는 것이 가능하게 된다.Further, for example, the coating apparatus of the present invention includes position detecting means for detecting the position of each of both ends of the base material in the width direction in the transport path of the base material, and the tension controlling means includes: And the tension applying means may be controlled based on the detection result. According to this configuration, appropriate tension can be given to the substrate in accordance with the amount of occurrence of the warpage or positional deviation of the base material.

또한 예를 들어, 기재의 일방 주면측 및 타방 주면측의 각각에 대하여 노즐이 대향 배치된 구성이어도 된다. 이러한 구성에 의하면, 기재의 양 주면에 도포액을 도포하는 것이 가능하다. 이 경우, 기재의 양면을 개방한 상태에서 기재를 유지할 필요가 있고, 이러한 용도에 본 발명은 특히 효과적인 기능을 제공할 수 있다.Further, for example, the nozzles may be arranged so as to face each other on one main surface side and the other main surface side of the substrate. According to this configuration, it is possible to apply the coating liquid to both main surfaces of the substrate. In this case, it is necessary to keep the substrate in a state in which both surfaces of the substrate are opened, and in this application, the present invention can provide particularly effective functions.

또한 예를 들어, 반송 수단은, 기재를 대략 수평 자세로 반송하는 구성이어도 된다. 이러한 구성에 있어서, 기재의 양단부를 롤러로 협지하면서 폭 방향의 장력을 부여할 수 있는 본 발명은, 기재의 휨을 억제하여 자세를 안정적으로 유지하는 데에 큰 효과를 발휘한다.Further, for example, the conveying means may be configured to convey the substrate in a substantially horizontal posture. In this configuration, the present invention capable of imparting tension in the width direction while sandwiching the both ends of the base material with the rollers has a great effect of suppressing the warp of the base material and stably maintaining the posture.

또한 예를 들어, 반송 수단은, 복수의 반송 롤러 사이에 기재를 걸쳐 반송하는 구성이어도 된다. 이 경우, 도포 수단 및 장력 부여 수단이, 반송 롤러 사이의 기재의 반송 경로를 따라 배치되어도 된다. 이러한 구성에서는, 반송 롤러 사이에서는 기재가 롤러에 의한 백업을 받지 않는, 이른바 오프롤 상태로 반송된다. 그 때문에, 기재의 휨이 발생하기 쉽다. 이러한 구성에 본 발명을 적용함으로써, 기재에 장력을 부여하여 휨을 억제하는 것이 가능해진다. 특히, 오프롤 상태의 기재에 대하여 도포가 실시되는 구성에 있어서는, 자세가 안정적으로 유지된 기재에 대하여 안정적으로 도포를 실시하는 것이 가능해진다.Further, for example, the conveying means may be configured to convey the base material between a plurality of conveying rollers. In this case, the applying means and the tension applying means may be arranged along the conveying path of the substrate between the conveying rollers. In this configuration, between the transport rollers, the substrate is transported in a so-called off-roll state in which the substrate is not backed up by the rollers. As a result, the substrate tends to be warped. By applying the present invention to such a structure, it is possible to impart tension to the substrate to suppress warping. Particularly, in the configuration in which coating is performed on the base material in the off-roll state, it is possible to stably apply the base material on which the posture is stably maintained.

본 발명은, 장척 시트상의 기재를 반송하면서 그 표면에 도포액을 도포하는 도공 장치 전반에 적용 가능하다.The present invention is applicable to the entire coating apparatus for coating a coating liquid on the surface of a substrate on a long sheet.

1 : 탱크 (도포 수단)
2 : 송액계 (도포 수단)
3 : 제어 유닛 (장력 제어 수단)
7 : 반송 유닛 (반송 수단)
9 : 장력 조정 유닛 (장력 부여 수단)
9L : 좌측 유닛 (장력 부여 수단)
9R : 우측 유닛 (장력 부여 수단)
51, 52 : 노즐 (노즐, 도포 수단)
71 : 공급 롤러 (반송 롤러)
72 : 권취 롤러 (반송 롤러)
74 : 지지 롤러 (반송 롤러)
91L, 91R : 제 1 롤러
92L, 92R : 제 2 롤러
93L, 93R : 위치 검출부 (위치 검출 수단)
Fa, Fb : 도공막
S : 기재
1: tank (application means)
2: liquid delivery system (application means)
3: control unit (tension control means)
7: Transfer unit (transfer means)
9: tension adjusting unit (tension applying means)
9L: Left unit (tension applying means)
9R: Right unit (tension applying means)
51, 52: nozzle (nozzle, applying means)
71: Feed roller (convey roller)
72: take-up roller (conveying roller)
74: Support roller (conveying roller)
91L, 91R: first roller
92L, 92R: the second roller
93L, 93R: position detecting section (position detecting means)
Fa, Fb: Coating film
S: substrate

Claims (10)

장척 시트상의 기재를 상기 기재의 길이 방향으로 반송하는 반송 수단과,
반송되는 상기 기재의 주면에 대향 배치된 노즐로부터 도포액을 토출하여 상기 기재에 상기 도포액을 도포하는 도포 수단과,
상기 길이 방향에 직교하는 상기 기재의 폭 방향에 있어서의 상기 기재의 양단부 각각에 대응하여 형성되고, 상기 기재에 상기 폭 방향의 장력을 부여하는 1 쌍의 장력 부여 수단과,
상기 장력 부여 수단을 제어하여 상기 장력을 증감시키는 장력 제어 수단을 구비하고,
상기 장력 부여 수단의 각각은 상기 기재의 일방 주면에 맞닿는 제 1 롤러와 상기 기재의 타방 주면에 맞닿는 제 2 롤러로 상기 기재를 협지하고, 상기 제 1 롤러 및 상기 제 2 롤러 중 적어도 일방의 표면이, 상기 기재와 맞닿는 부위에 있어서, 상기 반송 방향을 따른 방향 성분과 상기 폭 방향에 평행하고 상기 기재의 중앙부로부터 외측을 향하는 방향 성분을 갖는 이동 방향으로 이동하고,
상기 장력 제어 수단은, 상기 제 1 롤러와 상기 제 2 롤러 사이에 인가되는 가압력을 변화시키는 도공 장치.
Conveying means for conveying the base material on the elongate sheet in the longitudinal direction of the base material,
A coating means for applying the coating liquid to the substrate by discharging the coating liquid from a nozzle arranged opposite to the main surface of the substrate to be transported,
A pair of tension applying means formed corresponding to each of both ends of the base material in the width direction of the base material perpendicular to the longitudinal direction and imparting a tension in the width direction to the base material;
And tension control means for controlling the tension applying means to increase or decrease the tension,
Wherein each of the tension applying means sandwiches the base material with a first roller abutting one main surface of the base material and a second roller abutting to the other main surface of the base material and at least one surface of the first roller and the second roller , Moving in a moving direction having a direction component along the carrying direction and a direction component parallel to the width direction and outwardly from the center of the substrate,
Wherein the tension control means changes the pressing force applied between the first roller and the second roller.
제 1 항에 있어서,
상기 제 1 롤러 및 상기 제 2 롤러는, 상기 반송 방향에 있어서 상기 노즐보다 하류 위치에서, 상기 기재 중 상기 도포액이 도포된 영역보다 외측에서 상기 기재를 협지하는 도공 장치.
The method according to claim 1,
Wherein the first roller and the second roller sandwich the base material outside a region of the base material coated with the coating liquid at a position downstream of the nozzle in the conveying direction.
제 1 항에 있어서,
상기 장력 제어 수단은, 상기 제 1 롤러와 상기 제 2 롤러 사이의 가압력을, 상기 1 쌍의 장력 부여 수단 사이에서 서로 독립적으로 조정 가능한 도공 장치.
The method according to claim 1,
Wherein the tension control means adjusts the pressing force between the first roller and the second roller independently of each other between the pair of tension applying means.
제 1 항에 있어서,
상기 제 1 롤러 및 상기 제 2 롤러의 적어도 일방의 표면이, 탄성 재료에 의해 형성되어 있는 도공 장치.
The method according to claim 1,
Wherein at least one surface of the first roller and the second roller is formed of an elastic material.
제 1 항에 있어서,
상기 제 1 롤러와 상기 제 2 롤러가 서로 평행한 회전축을 갖는 도공 장치.
The method according to claim 1,
Wherein the first roller and the second roller have a rotation axis parallel to each other.
제 1 항에 있어서,
상기 기재의 반송 경로에 있어서, 상기 폭 방향에 있어서의 상기 기재의 양단부 각각의 위치를 검출하는 위치 검출 수단을 구비하고,
상기 장력 제어 수단은, 상기 위치 검출 수단에 의한 검출 결과에 기초하여 상기 장력 부여 수단을 제어하는 도공 장치.
The method according to claim 1,
And position detecting means for detecting positions of the both ends of the base material in the width direction in the conveyance path of the base material,
Wherein the tension control means controls the tension applying means based on the detection result by the position detection means.
제 1 항에 있어서,
상기 기재의 상기 일방 주면측 및 상기 타방 주면측의 각각에 대하여 상기 노즐이 대향 배치된 도공 장치.
The method according to claim 1,
Wherein the nozzles are opposed to the one main surface side and the other main surface side of the base material, respectively.
제 1 항에 있어서,
상기 반송 수단은, 상기 기재를 대략 수평 자세로 반송하는 도공 장치.
The method according to claim 1,
Wherein said conveying means conveys said substrate in a substantially horizontal posture.
제 1 항 내지 제 8 항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 반송 수단은, 복수의 반송 롤러 사이에 상기 기재를 걸쳐 상기 기재를 반송하는 도공 장치.
9. The method according to any one of claims 1 to 8,
Wherein said conveying means conveys said substrate across said substrate between a plurality of conveying rollers.
제 9 항에 있어서,
상기 도포 수단 및 상기 장력 부여 수단이, 상기 반송 롤러 사이의 상기 기재의 반송 경로를 따라 배치되는 도공 장치.
10. The method of claim 9,
Wherein said applying means and said tension applying means are disposed along a conveying path of said substrate between said conveying rollers.
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