KR20170031965A - 디스플레이 기판 제조용 경화장치 - Google Patents

디스플레이 기판 제조용 경화장치 Download PDF

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Abstract

본 발명의 실시예에 따른 디스플레이 기판 제조용 경화장치는 제 1기판이 내부로 반입되어 지지되는 제 1압착 플레이트와 상기 제 1압착 플레이트 하부에 위치하며 상기 제 1압착 플레이트를 승강하는 제 1승강부재를 구비하는 제 1경화 챔버와 상기 제 1경화 챔버 상부에 적재되며, 제 2기판이 내부로 반입되어 지지되는 제 2압착 플레이트와 상기 제 2압착 플레이트 하부에 위치하며 상기 제 2압착 플레이트를 승강하는 제 2승강부재를 구비하는 제 2경화 챔버를 포함하고, 이러한 본 발명의 실시예에 따른 디스플레이 기판 제조용 경화장치는 다수의 경화 챔버를 복층으로 적층 설치하고, 각각의 경화 챔버에서 동시에 또는 개별적으로 다수의 기판의 실이 가열 압착으로 경화되도록 함으로써 대규모의 기판 경화 작업이 효율적으로 이루어지도록 하고, 기판 경화를 위한 압착 플레이트의 동작에 의한 승강부재의 손상을 방지할 수 있으며, 또한 경화 챔버 내부의 분위기를 고온으로 유지하여 기판의 경화 공정이 보다 효과적이고, 신속하게 이루어지도록 하는 효과가 있다.

Description

디스플레이 기판 제조용 경화장치{HARDENING APPARATUS FOR MANUFACTURING DISPLAY PANEL}
본 발명은 디스플레이 기판 제조용 경화장치에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 두 기판의 합착을 위하여 두 기판 사이에 도포된 실(seal)을 경화하기 위한 디스플레이 기판 제조용 경화장치에 관한 것이다.
일반적으로 디스플레이 기판은 LCD, OLED, PDP 등과 같은 평판 디스플레이 기판을 일컫는다. 이러한 디스플레이 기판은 통상적으로 사전 공정으로 제조된 두 개의 기판을 서로 합착시킴으로써 완성된다. 예를 들어 LCD 기판의 경우 하나의 기판은 컬러 필터 기판이고, 다른 하나의 기판은 어레이 기판일 수 있다.
따라서 디스플레이 기판의 제조 시에 두 개의 기판을 합착하는 합착 공정이 필요하다. 합착 공정은 두 기판중의 어느 하나의 기판 표면에 실(Seal)을 도포하고, 그 위에 다른 기판을 정렬한 후 합착하는 공정이다. 그리고 이 합착 공정 이후에는 실을 경화하는 경화공정이 진행된다.
경화공정은 기판에 열과 압력을 가하여 실이 경화되도록 하는 공정이다. 이러한 경화공정에 사용되는 종래의 경화장치로는 한국공개특허 제 1994-0011986 호가 있다. 종래의 경화장치는 다수 매의 합착된 기판을 한꺼번에 적재하여 경화한다.
한국공개특허 제 1994-0011986 호, "액정표시소자의 가압경화 장치"
본 발명은 다수개의 기판을 동시에 가압 경화할 수 있도록 하는 디스플레이 기판 제조용 경화장치를 제공하기 위한 것이다.
본 발명은 다수개의 기판에 대한 경화 공정이 개별적으로 제어되면서 가압 경화되도록 하는 디스플레이 기판 제조용 경화장치를 제공하기 위한 것이다.
본 발명의 다른 목적은 기판의 경화 시에 외부에서 공급된 열풍에 의하여 온도 분위기가 유지된 상태에서 기판이 경화되도록 하는 디스플레이 기판 제조용 경화장치를 제공하기 위한 것이다.
본 발명에 따른 디스플레이 기판 제조용 경화장치는 제 1기판이 내부로 반입되어 지지되는 제 1압착 플레이트와 상기 제 1압착 플레이트의 일측에 위치하며 상기 제 1압착 플레이트를 승강시키는 제 1승강부재를 구비하는 제 1경화 챔버;와 상기 제 1경화 챔버 상부에 적치되며 제 2기판이 내부로 반입되어 지지되는 제 2압착 플레이트와 상기 제 2압착 플레이트의 일측에 위치하며 상기 제 2압착 플레이트를 승강하는 제 2승강부재를 구비하는 제 2경화 챔버를 구비한다.
상기 제 1승강부재는 상기 제 1압착 플레이트의 일측에 구비되며 상기 제 1압착 플레이트를 동작시키기 위하여 외부에서 공급된 압력으로 팽창하는 적어도 하나 이상의 다이아프램을 포함할 수 있다.
상기 제 2승강부재는 상기 제 1압착 플레이트의 일측에 구비되며 상기 제 2압착 플레이트를 동작시키기 위하여 외부에서 공급된 압력으로 팽창하는 적어도 하나 이상의 다이아프램을 포함할 수 있다.상기 제 1경화 챔버 내부에는 상기 제 1압착 플레이트가 상기 제 1경화 챔버 내부에서 승강하는 것을 가이드하는 가이드부와 상기 제 1압착 플레이트의 하강 위치를 제한하는 스토퍼를 구비할 수 있다.
상기 제 2경화 챔버 내부에는 상기 제 2압착 플레이트가 상기 제 2경화 챔버 내부에서 승강하는 것을 가이드 하는 가이드부와 상기 제 2압착 플레이트의 하강 위치를 제한하는 스토퍼를 구비할 수 있다.
상기 제 1압착 플레이트와 상기 제 2압착 플레이트에는 히터가 구비될 수 있다.
상기 제 1경화 챔버의 상부벽과 상기 제 2경화 챔버의 상부벽에는 히터가 구비될 수 있다.
상기 제 1경화 챔버의 내측 바닥에는 상기 제 1압착 플레이트를 관통하는 다수개의 지지핀이 구비될 수 있다.
상기 제 2경화 챔버의 내측 바닥에는 상기 제 2압착 플레이트를 각각 관통하는 다수개의 지지핀이 구비될 수 있다.
상기 제 1경화 챔버와 상기 제 2경화 챔버의 내부로 가열된 공기를 제공하는 열풍 공급부를 구비할 수 있다.
상기 제 1경화 챔버와 상기 제 2경화 챔버 내부로 상기 기판을 입출하기 위하여 상기 기판을 전후와 상하로 이송하는 기판 이송장치를 구비할 수 있다.
상기 제 1압착 플레이트와 상기 제 2압착 플레이트의 상부면에는 탄성패드가 구비될 수 있다.
상기 제 1경화 챔버와 상기 제 2경화 챔버의 천정면에는 탄성패드가 구비될 수 있다.
본 발명에 따른 디스플레이 기판 제조용 경화장치는 내부로 기판이 입출되는 경화 챔버, 상기 경화 챔버 내부에 설치되어 외부에서 공급된 기판이 내부로 반입되어 지지되는 압착 플레이트, 상기 압착 플레이트 일측에 위치하며 상기 압착 플레이트를 승강시키는 승강부재, 상기 경화 챔버 내부로 열기를 공급하는 열풍 공급부를 포함한다.
상기 경화 챔버 내부에는 상기 압착 플레이트가 상기 경화 챔버 내부에서 승강하는 것을 가이드 하는 가이드부와 상기 압착 플레이트의 하강 위치를 제한하는 스토퍼를 구비할 수 있다.
상기 압착 플레이트에는 히터가 구비될 수 있다.
상기 경화 챔버의 상부벽에는 히터가 구비될 수 있다.
상기 경화 챔버의 내측 바닥에는 상기 압착 플레이트를 각각 관통하는 다수개의 지지핀이 구비될 수 있다.
상기 승강부재는 적어도 하나 이상의 다이아프램을 포함할 수 있다.
상기 경화 챔버의 일측에는 상기 경화 챔버 내부로 기판을 입출하기 위하여 전후와 상하로 이동하는 기판 이송장치를 구비할 수 있다.
상기 압착 플레이트의 상부면과 상기 경화 챔버의 내측 천정면에는 탄성패드가 구비될 수 있다.
본 발명의 실시예에 따른 디스플레이 기판 제조용 경화장치는 다수의 경화 챔버를 복층으로 적층 설치하고, 각각의 경화 챔버에서 동시에 또는 개별적으로 다수의 기판의 실이 가열 압착으로 경화되도록 함으로써 대규모의 기판 경화 작업이 효율적으로 이루어지도록 하고, 기판 경화를 위한 압착 플레이트의 동작에 의한 승강부재의 손상을 방지할 수 있으며, 또한 경화 챔버 내부의 온도 분위기를 적절하게 유지하여 기판의 경화 공정이 보다 효과적이고, 신속하게 이루어지도록 하는 효과가 있다.
도 1은 본 발명의 실시예에 따른 디스플레이 기판 제조용 경화장치를 도시한 도면이다.
도 2는 본 발명의 실시예에 따른 디스플레이 기판 제조용 경화장치의 제 1경화 챔버와 제 2경화 챔버가 적층된 상태를 도시한 도면이다.
도 3은 본 발명의 실시예에 따른 디스플레이 기판 제조용 경화장치의 단부 요부를 확대 도시한 도면이다.
도 4는 본 발명의 실시예에 따른 디스플레이 기판 제조용 경화장치의 스토퍼에 대한 하나의 실시예를 도시한 도면이다.
도 5는 본 발명의 실시예에 따른 디스플레이 기판 제조용 경화장치의 내부를 평면으로 도시한 도면이다.
도 6은 본 발명의 실시예에 따른 디스플레이 기판 제조용 경화장치의 기판 압착 전 상태를 설명하기 위한 도면이다.
도 7은 본 발명의 실시예에 따른 디스플레이 기판 제조용 경화장치의 기판 압착 상태를 설명하기 위한 도면이다.
이하에서는 본 발명에 따른 디스플레이 기판 제조용 경화장치에 대한 실시예를 도면을 참조하여 설명하도록 한다. 본 발명은 이하에서 개시되는 실시예에 한정되는 것이 아니라 다양한 형태로 구현될 수 있으며, 단지 이하에서 설명되는 실시예는 본 발명의 개시가 완전하도록 하며, 통상의 지식을 가진 자에게 발명의 범주를 알려주기 위한 것이다.
도 1은 본 발명의 실시예에 따른 디스플레이 기판 제조용 경화장치를 도시한 도면이다.
도 1에 도시된 바와 같이 본 발명의 실시예에 따른 디스플레이 기판 제조용 경화장치는 상하로 적층된 복수개의 경화 챔버(100)(200)를 구비한다. 이 경화 챔버(100)(200)의 적층 숫자는 다양하게 변형 실시 가능하다. 필요한 경우 한 개에서 수십개의 경화 챔버(100)(200)를 상하로 적응할 수 있고, 또는 좌우로 다수의 적층된 경화 챔버(100)(200)를 배치할 수 있다.
그리고 이 각각의 경화 챔버(100)(200)는 각각의 경화 챔버(100)(200)에서 개별적으로 동작하는 게이트 밸브(120)(220)를 구비한다. 각각의 경화 챔버(100)(200)의 게이트 밸브(120)(220) 전방에는 각각의 경화 챔버(100)(200) 내부로 기판(10)을 입출하기 위한 기판 이송장치(800)가 구비된다.
본 발명의 실시예에서 기판 이송장치(800)는 상하로 동력을 제공하는 승강벨트(820)를 포함하고, 승강축(830)에 축 결합되어 승강벨트(820)에 의하여 상하로 이동하는 로봇암(810)을 구비한다.
그리고 로봇암(810)에 의하여 이송되는 기판(10)은 두 개의 기판이 합착되어 가경화가 이루어진 디스플레이 패널이다. 이 두 개의 기판은 예를 들어 LCD 기판의 경우 하나의 기판은 컬러 필터 기판이고, 다른 하나의 기판은 어레이 기판이 될 수 있다. 또는 어느 하나의 기판이 터치 패널이고, 다른 하나의 기판이 디스플레이 패널일 수 있고, 또는 어느 하나의 기판이 OLED TFT 기판일 수 있고, 다른 하나가 편광 기판 또는 봉지 기판일 수 있다.
즉, 본 발명의 실시예에 따른 경화장치는 모든 평판 디스플레이 장치에서 두 개의 기판이나 필름을 합착한 후 경화하기 위하여 사용될 수 있다.
경화 챔버(100)(200)의 인근에는 각각의 경화 챔버(100)(200)로 열풍을 공급하는 열풍 공급부(400)와 이 열풍 공급부(400)에서 제공되는 열풍을 각각의 경화 챔버(100)(200)로 안내하는 열풍 공급관(410)이 구비된다. 이 열풍 공급부(400)는 경화 챔버(100)(200)의 내부 온도에 따라 각각의 경화 챔버(100)(200)에 온도 조절된 열풍을 제공할 수 있고, 또는 모든 경화챔버(100)(200)에 균일한 온도의 열풍을 공급할 수 있도록 제어부(600)에 의하여 동작이 제어될 수 있다.
이 열풍 공급부(400)는 상온 이상의 온도로 미리 가열된 공기를 각각의 경화 챔버(100)(200) 내부에 공급하여 경화 챔버(100)(200) 내부가 기판(10) 경화 공정 사이에 외부 공기가 유입되거나, 경화 챔버(100)(200) 벽체를 통한 열전달로 경화 챔버(100)(200) 내부의 온도가 낮아지는 것을 최소화 한다. 즉, 열풍 공급부(400)는 공정 온도를 최적 상태로 유지시켜 기판(10)의 경화 공정 시간(TACT TIME)을 최대한 단축하는 효과가 있다. 이러한 열풍 공급부(400)는 히터 등과 같이 전기적으로 동작하는 장치와 히터 등에 의하여 가열된 공기를 송풍하는 송풍기를 포함할 수 있다.
그리고 경화 챔버(100)(200)의 인근에는 경화 챔버(100)(200)의 내부로 압력을 제공하는 압력 공급부(500)가 구비된다. 압력 공급부(500)는 공압이나 유압을 제공하는 장치일 수 있다. 이 압력 공급부(500)에서 압력 공급관(510)을 거쳐서 제공되는 압력은 각각의 경화 챔버(100)(200) 내부에 평면상에서 행렬로 배치되어 설치된 도 2에 도시된 다수개의 승강부재(180)(280)를 동작시킨다. 이 압력 공급부(500)는 제어부(600)에 의하여 제어되어 각 경화 챔버(100)(200) 내부의 승강부재(180)(280)를 개별적으로 또는 전체적으로 압력을 제공할 수 있다.
그리고 본 발명의 실시예에 따른 디스플레이 기판 제조용 경화장치의 제어부(600)는 기판 이송장치(800), 열풍 공급부(400), 압력 공급부(500) 그리고 각각의 경화 챔버(100)(200)의 게이트 밸브(120)(220)와 도 2에 도시된 승강부재(180)(280) 그리고 히터(110)(210)의 동작을 각각 개별적으로 제어할 수 있다.
이하에서는 경화 챔버(100)(200)의 구성에 대하여 보다 구체적으로 설명한다. 도 2는 본 발명의 실시예에 따른 디스플레이 기판 제조용 경화장치의 제 1경화 챔버와 제 2경화 챔버가 적층된 상태를 도시한 도면이다.
도 2에서는 두 개의 경화 챔버가 적층된 상태를 예시적으로 나타내고 있는데, 실시예의 이해가 보다 용이하게 이루어지도록 도 2에서 하부에 위치한 경화 챔버를 제 1경화 챔버(100)라고 하고, 제 1경화 챔버(100) 상부에 적층된 경화 챔버를 제 2경화 챔버(200)라고 하기로 한다.
제 1경화 챔버(100)는 제 1경화 챔버 (100) 내부에 위치한 제 1압착 플레이트(140)를 구비한다. 제 1압착 플레이트(140)의 모서리 부분은 제 1경화 챔버(100) 내부에 상하 방향으로 설치된 가이드부(150)에 의하여 지지되어 제 1압착 플레이트(140)가 상하로 이동 가능하게 한다. 그리고 이 가이드부(150)의 하측부인 제 1압착 플레이트(140)의 하부에는 제 1압착 플레이트(140)의 하강 위치를 제한하기 위한 스토퍼(160)가 설치된다.
도 4는 본 발명의 실시예에 따른 디스플레이 기판 제조용 경화장치의 가이드부와 스토퍼에 대한 하나의 실시예를 도시한 도면이다.
도 4에 도시된 바와 같이 가이드부(150)는 원기둥 형상으로 형성되어 있다. 하지만 다른 실시예로 가이드부(150)는 다각형 형태의 기둥으로 형성할 수 있다. 다각형 형태의 기둥으로 가이드부(150)를 실시하면 제 1압착 플레이트(140)의 승하강 동작시 제 1압착 플레이트(140)가 미세하게 위치가 뒤틀리는 것을 최소화할 수 있다.
그리고 스토퍼(160)는 제 1압착 플레이트(140)가 지나치게 하강하여 후술한 제 1승강부재(180)를 제 1압착 플레이트(140)가 불필요하게 가압하여 손상시키는 것을 방지하고, 또한 제 1압착 플레이트(140)의 상승 폭이 최소화되어 승강 동작이 보다 효율적으로 이루어지도록 한다.
그리고 제 1경화 챔버(100)의 바닥에서 상부로 연장되어 제 1압착 플레이트(140)를 관통하는 다수개의 지지핀(170)이 설치된다. 이 지지핀(170)들 사이에는 다수개의 제 1승강부재(180)가 설치된다. 제 1승강부재(180)는 압력 공급부(500)의 압력이 최종적으로 전달되는 몸체(181)와 이 몸체(181)에 결합되어 공급된 압력으로 팽창하는 다이아프램을 포함한다. 또한 제 1승강부재(180)는 피스톤과 같은 기구적인 구조물로 실시될 수 있다.
그리고 제 1승강부재(180)는 복수개가 복수층으로 구비되어 하부층의 승강부재는 제 1압착 플레이트(140)를 승강시키는 기능을 하도록 하고, 상부층의 승강부재는 가압력을 제공하는 기능을 하도록 실시할 수 있다. 그리고 제 1승강부재(180)의 숫자와 배치는 다양하게 실시할 수 있다.
계속해서 제 1경화 챔버(100)의 전방으로는 전술한 게이트 밸브(120)가 구비되고, 후방으로는 열풍 공급관(410)이 연결된 열풍 유입구(130)가 형성된다. 제 1경화 챔버(100)의 상부 천정의 상부벽에는 상부 히터(110)가 매설되어 있고, 제 1압착 플레이트(140)에는 하부 히터(141)가 매설되어 있다.
그리고 제 1경화 챔버(100)의 천정면과 제 1압착 플레이트(140)의 상부면 각각에는 제 2기판(12)의 안정적인 가압이 가능하도록 하는 탄성 패드(300)가 설치될 수 있다. 도 3은 본 발명의 실시예에 따른 디스플레이 기판 제조용 경화장치의 단부 요부에 탄성패드가 설치된 상태를 도시한 확대도이다.
도 3에 도시된 바와 같이 탄성 패드(300)는 가압에 의하여 제 1기판(11)의 표면 손상이 최소화 되도록 하는 기능을 하며, 폴리머 계열의 고온에서 견딜 수 있는 재질로 마련될 수 있다. 또는 탄성 패드(300)는 제 1압착 플레이트(140)에 테프론 코팅으로 실시하여 열에 의하여 기판이 제 1압착 플레이트(140)에 융융되어 들러붙는 것을 최소화 한다.
다음으로 제 2경화 챔버(200)는 제 2압착 플레이트(240)를 구비한다. 제 2압착 플레이트(240)의 모서리 부분은 제 2경화 챔버(200) 내부에 상하 방향으로 설치된 가이드부(250)에 의하여 상하로 이동 가능하게 지지되어 있다. 그리고 이 가이드부(250)의 하측부인 제 2압착 플레이트(240)의 하부에는 제 2압착 플레이트(240)의 하강 위치를 제한하기 위한 스토퍼(260)가 설치된다. 이 가이드부(250)와 스토퍼(260)에 대한 실시예는 제 1경화 챔버(100)에 설치된 가이드부(150)과 스토퍼(160)와 동일하게 실시할 수 있다.
그리고 제 2경화 챔버(200)의 바닥에서 상부로 연장되어 제 2압착 플레이트(240)를 관통하는 다수개의 지지핀(270)이 구비되고, 이 지지핀(270)들 사이에는 다수개의 제 2승강부재(280)가 설치된다. 제 2승강부재(280)는 압력 공급부(500)의 압력이 최종적으로 전달되는 몸체(281)와 이 몸체(281)에 결합되어 공급된 압력으로 팽창하는 다이아프램(282)을 포함한다. 이 제 2승강부재(280)은 제 1승강부재(180)와 동일하게 실시 될 수 있다. 제 2경화 챔버(200)의 전방으로는 전술한 게이트 밸브(120)가 구비되고, 후방으로는 열풍 유입관(410)과 연결된 열풍 유입구(230)가 형성된다.
제 2경화 챔버(200)의 천정 상부벽에는 상부 히터(210)가 매설되어 있고, 제 2압착 플레이트(240)에는 하부 히터(241)가 매설되어 있다. 그리고 제 2경화 챔버(200)의 천정면과 제 2압착 플레이트(240)의 상부면 각각에는 제 2기판(12)의 안정적인 가압이 가능하도록 하는 탄성패드(300)가 설치될 수 있다. 이 탄성패드(300)는 도 3의 도시된 구성을 참조할 수 있다.
한편, 전술한 승강부재(180)(280)는 도시된 바와 같이 다이아프램(182)(282)으로 동력을 전달할 수 있으나, 다른 실시예로 피스톤 장치 또는 전기적으로 동작하는 모터와 이 모터와 연결된 기구장치들에 의하여 승하강 동력을 제공하는 장치로 실시될 수 있다. 또한, 이 승강부재(180)(280)는 하나의 경화 챔버(100)(200)에 한 개가 설치될 수도 있지만, 다수개의 인접하게 설치될 수 있다.
도 5는 본 발명의 실시예에 따른 디스플레이 기판 제조용 경화장치의 내부를 평면으로 도시한 도면이다. 본 실시예에서 승강부재(180)(280)의 설치 상태는 도 5에 도시된 바와 같이 다수개의 승강부재(180)(280)가 인접하여 배치되어 있고, 이 각각의 승강부재(180)(280)가 동시에 동작함으로써 압착 플레이트가 승강 또는 하강하게 된다.
이하에서는 전술한 바와 같이 구성된 본 발명의 실시예에 따른 디스플레이 기판 제조용 경화장치의 작용과 효과에 대하여 설명하기로 한다.
도 6은 본 발명의 실시예에 따른 디스플레이 기판 제조용 경화장치의 기판 압착 전 상태를 설명하기 위한 도면이고, 도 7은 본 발명의 실시예에 따른 디스플레이 기판 제조용 경화장치의 기판 압착 상태를 설명하기 위한 도면이다. 도 6과 도 7에서 경화 챔버는 제 2경화챔버를 예를 하여 동작을 설명하고 있다.
도 6에 도시된 바와 같이 경화 챔버(200)의 게이트 밸브(220)가 열리면 기판(12)은 기판 이송장치(800)에 의하여 경화 챔버(200) 내부로 반입된다. 이때 경화 챔버(200) 내부는 열풍 공급부(400)에 의하여 공급된 열풍에 의하여 내부 온도가 상온 이상 대략 30 ~ 150℃ 정도의 온도 분위기를 유지한다.
그리고 기판 이송장치(800)가 기판(12)을 지지핀(270)에 안착하면, 다음으로 기판 이송장치(800)는 경화 챔버(200) 외부로 나가고, 게이트 밸브(120)는 닫힌다. 이후 기판(12)에 대한 경화가 시작된다. 그러나 실제 기판(12)에 대한 경화는 기판(12)이 경화 챔버(200) 내부로 반입되는 순간부터 이루어진다. 즉, 경화 챔버(200) 내부의 분위기 온도에 의하여 이미 경화가 진행된다.
다음으로 도 7에 도시된 바와 같이 기판(12)이 지지핀(270)에 지지되면 압착 플레이트(240)가 상승한다. 압착 플레이트(240)는 하부 히터(141)에 의하여 상당한 온도로 이미 가열된 상태다. 대략적으로 압착 플레이트(240)는 60 ~ 200℃ 내외의 온도로 가열된 상태가 될 수 있다.
그리고 상승한 압착 플레이트(240)는 기판(10)을 들어 올려 경화 챔버(200) 내부의 천정면으로 기판(12)을 밀어올리고, 최종적으로 기판(12)은 압착 플레이트(240)와 천정면 사이에서 가압된다. 이때 천정면의 온도도 60 ~ 200℃로 가열된 상태가 될 수 있다. 그리고 가압력은 0.01 ~ 0.6 Mpa 정도로 실시될 수 있다.
이러한 동작에 의하여 기판(12)에 도포된 실은 경화되고, 두 기판(12)은 완전한 합착이 이루어지게 된다. 그리고 이들 기판(12)의 합착이 이루어지면 압착 플레이트(240)는 다시 하강하고, 기판(12)은 지지핀(270)에 안착된다. 이때 압착 플레이트(240)는 스토퍼(160)에 의하여 그 하강 행정이 제한된다. 따라서 가열된 압착 플레이트(240)가 승강부재(280)의 다이아프램(282)을 지나치게 가압하는 상태가 발생하는 것을 방지하여 승강부재(280)의 손상을 최소화시킨다.
이후 게이트 밸브(220)가 열려서 기판 이송장치(800)가 경화 챔버(200) 내부로 반입되어 기판(12)을 지지핀(270)으로부터 들어 올려서 경화 챔버(200) 외부로 이송한다.
한편, 이러한 디스플레이 기판 제조용 경화장치의 경화 챔버(200)는 복수개로 마련될 수 있다. 따라서 동시에 수 ~ 수십 개의 기판들에 대하여 각각의 개별 경화 챔버들이 개별적으로 제어되어 기판에 대한 경화를 수행할 수 있다.
이상에서 설명한 바와 같은 본 발명의 실시예에 따른 디스플레이 기판 제조용 경화장치는 다수의 경화 챔버를 복층으로 적층 설치하고, 각각의 경화 챔버에서 동시에 또는 개별적으로 다수의 기판의 실이 가열 압착으로 경화되도록 함으로써 대규모의 기판 경화 작업이 효율적으로 이루어지도록 하고, 기판 경화를 위한 압착 플레이트의 동작에 의한 승강부재의 손상을 방지할 수 있으며, 또한 경화 챔버 내부의 분위기를 고온으로 유지하여 기판의 경화 공정이 보다 효과적이고, 신속하게 이루어지도록 하는 효과가 있다.
앞에서 설명되고, 도면에 도시된 본 발명의 실시예는, 본 발명의 기술적 사상을 한정하는 것으로 해석되어서는 안 된다. 본 발명의 보호범위는 청구범위에 기재된 사항에 의하여만 제한되고, 본 발명의 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자는 본 발명의 기술적 사상을 다양한 형태로 개량 변경하는 것이 가능하다. 따라서 이러한 개량 및 변경은 통상의 지식을 가진 자에게 자명한 것인 한 본 발명의 보호범위에 속하게 될 것이다.
10, 11, 12...기판
100...제 1경화 챔버
200...제 2경화 챔버
300...탄성패드
400...열풍 공급부
500...압력 공급부
600...제어부
800...기판 이송장치

Claims (21)

  1. 제 1기판이 내부로 반입되어 지지되는 제 1압착 플레이트와 상기 제 1압착 플레이트의 일측에 위치하며 상기 제 1압착 플레이트를 승강시키는 제 1승강부재를 구비하는 제 1경화 챔버;와
    상기 제 1경화 챔버 상부에 적치되며 제 2기판이 내부로 반입되어 지지되는 제 2압착 플레이트와 상기 제 2압착 플레이트의 일측에 위치하며 상기 제 2압착 플레이트를 승강하는 제 2승강부재를 구비하는 제 2경화 챔버를 구비하는 디스플레이 기판 제조용 경화장치.
  2. 제 1항에 있어서, 상기 제 1승강부재는 상기 제 1압착 플레이트의 일측에 구비되며 상기 제 1압착 플레이트를 동작시키기 위하여 외부에서 공급된 압력으로 팽창하는 적어도 하나 이상의 다이아프램을 포함하는 디스플레이 기판 제조용 경화장치.
  3. 제 1항에 있어서, 상기 제 2승강부재는 상기 제 1압착 플레이트의 일측에 구비되며 상기 제 2압착 플레이트를 동작시키기 위하여 외부에서 공급된 압력으로 팽창하는 적어도 하나 이상의 다이아프램을 포함하는 디스플레이 기판 제조용 경화장치.
  4. 제 1항에 있어서, 상기 제 1경화 챔버 내부에는 상기 제 1압착 플레이트가 상기 제 1경화 챔버 내부에서 승강하는 것을 가이드하는 가이드부와 상기 제 1압착 플레이트의 하강 위치를 제한하는 스토퍼를 구비하는 디스플레이 기판 제조용 경화장치.
  5. 제 1항에 있어서, 상기 제 2경화 챔버 내부에는 상기 제 2압착 플레이트가 상기 제 2경화 챔버 내부에서 승강하는 것을 가이드 하는 가이드부와 상기 제 2압착 플레이트의 하강 위치를 제한하는 스토퍼를 구비하는 디스플레이 기판 제조용 경화장치.
  6. 제 1항에 있어서, 상기 제 1압착 플레이트와 상기 제 2압착 플레이트에는 히터가 구비된 디스플레이 기판 제조용 경화장치.
  7. 제 1항에 있어서, 상기 제 1경화 챔버의 상부벽과 상기 제 2경화 챔버의 상부벽에는 히터가 구비된 디스플레이기판 제조용 경화장치.
  8. 제 1항에 있어서, 상기 제 1경화 챔버의 내측 바닥에는 상기 제 1압착 플레이트를 관통하는 다수개의 지지핀이 구비된 디스플레이 기판 제조용 경화장치.
  9. 제 1항에 있어서, 상기 제 2경화 챔버의 내측 바닥에는 상기 제 2압착 플레이트를 각각 관통하는 다수개의 지지핀이 구비된 디스플레이 기판 제조용 경화장치.
  10. 제 1항에 있어서, 상기 제 1경화 챔버와 상기 제 2경화 챔버의 내부로 가열된 공기를 제공하는 열풍 공급부를 구비하는 디스플레이 기판 제조용 경화장치.
  11. 제 1항에 있어서, 상기 제 1경화 챔버와 상기 제 2경화 챔버 내부로 상기 기판을 입출하기 위하여 상기 기판을 전후와 상하로 이송하는 기판 이송장치를 구비하는 디스플레이 기판 제조용 경화장치.
  12. 제 1항에 있어서, 상기 제 1압착 플레이트와 상기 제 2압착 플레이트의 상부면에는 탄성패드가 구비된 디스플레이 기판 제조용 경화장치.
  13. 제 1항에 있어서, 상기 제 1경화 챔버와 상기 제 2경화 챔버의 천정면에는 탄성패드가 구비된 디스플레이 기판 제조용 경화장치.
  14. 내부로 기판이 입출되는 경화 챔버;
    상기 경화 챔버 내부에 설치되어 외부에서 공급된 기판이 내부로 반입되어 지지되는 압착 플레이트;
    상기 압착 플레이트 일측에 위치하며 상기 압착 플레이트를 승강시키는 승강부재;
    상기 경화 챔버 내부로 열기를 공급하는 열풍 공급부를 포함하는 디스플레이 기판 제조용 경화장치.
  15. 제 14항에 있어서, 상기 경화 챔버 내부에는 상기 압착 플레이트가 상기 경화 챔버 내부에서 승강하는 것을 가이드 하는 가이드부와 상기 압착 플레이트의 하강 위치를 제한하는 스토퍼를 구비하는 디스플레이 기판 제조용 경화장치.
  16. 제 14항에 있어서, 상기 압착 플레이트에는 히터가 구비된 디스플레이 기판 제조용 경화장치.
  17. 제 14항에 있어서, 상기 경화 챔버의 상부벽에는 히터가 구비된 디스플레이기판 제조용 경화장치.
  18. 제 14항에 있어서, 상기 경화 챔버의 내측 바닥에는 상기 압착 플레이트를 각각 관통하는 다수개의 지지핀이 구비된 디스플레이 기판 제조용 경화장치.
  19. 제 14항에 있어서, 상기 승강부재는 적어도 하나 이상의 다이아프램을 포함하는 디스플레이 기판 제조용 경화장치.
  20. 제 14항에 있어서, 상기 경화 챔버의 일측에는 상기 경화 챔버 내부로 기판을 입출하기 위하여 전후와 상하로 이동하는 기판 이송장치를 구비하는 디스플레이 기판 제조용 경화장치.
  21. 제 14항에 있어서, 상기 압착 플레이트의 상부면과 상기 경화 챔버의 내측 천정면에는 탄성패드가 구비된 디스플레이 기판 제조용 경화장치.
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