KR20170009765A - 액량 검출 유닛 - Google Patents

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Abstract

본 발명은, 투광성을 갖는 액체여도, 투과형 센서를 이용하여 액체의 잔량을 검출하는 것을 목적으로 한다.
액량 검출 유닛(1)은, 필러를 포함하지 않는 투명한 액체 수지(L3)를 저류하는 탱크(2)와, 투과형 센서(3, 4)를 구비한다. 투과형 센서는, 측정광을 투광하는 투광부(30, 40)와, 측정광을 수광하는 수광부(31, 41)와, 수광부가 측정광을 수광하는지 여부에 따라 액체 수지가 소정량 이하가 된 것을 판단하는 판단부(5)를 갖는다. 투광부와 수광부는 직선 상에 대향 배치된다. 판단부는, 액체 수지와 공기에 의해 굴절 또는 반사되는 측정광을 수광부가 수광하는지 여부에 따라 액체 수지의 액량을 검출한다.

Description

액량 검출 유닛{DETECTION UNIT FOR LIQUID QUANTITY}
본 발명은, 용기 내에 저류된 액체의 액량을 검출하는 액량 검출 유닛에 관한 것으로, 특히, 웨이퍼에 도포되는 액체 수지의 액량을 검출하는 액량 검출 유닛에 관한 것이다.
용기 내의 액량을 검출하는 액량 검출 유닛으로서, 정전 용량형 센서를 이용한 것이 존재한다(예컨대, 특허문헌 1 또는 특허문헌 2 참조). 특허문헌 1에 기재된 액량 검출 유닛에서는, 용기의 하단부 근방에 센서가 설치되어 있고, 센서는 공기와 액체의 유전율의 차로부터 용기 내의 액체의 유무를 검출한다. 특허문헌 2에 기재된 액량 검출 유닛에서는, 용기 내의 액체에 센서를 직접 침지시켜, 센서의 침지 깊이에 따라 변화되는 정전 용량의 값으로부터 액량을 검출한다.
[특허문헌 1] 일본 특허 공개 2012-083245호 공보 [특허문헌 2] 일본 특허 공개 평성 제5-118894호 공보
그런데, 정전 용량형 센서의 경우, 액체의 종류(물질)가 변하면 정전 용량(유전율)이 변해 버리기 때문에, 적절히 액체를 검출할 수 없다고 하는 문제점이 있다. 그래서, 투과형(광학식) 센서를 이용하여 액체를 검출하는 경우도 생각할 수 있다. 투과형 센서는, 투광부와 수광부를 수평 방향으로 대향 배치하고, 투광부로부터의 측정광을 수광부가 수광하는지 여부에 따라 액량을 검출한다. 예컨대, 액면이 센서보다 높은 위치에 있는 경우는, 측정광이 액체에 의해 차단되는 한편, 액면이 센서보다 낮은 위치에 있는 경우는, 측정광은 차단되지 않고 수광부에 도달한다.
그러나, 검출 대상이 되는 액체가 투광성을 갖는 경우, 상기한 투과형 센서에서는, 액면이 센서보다 높은 위치에 있어도, 측정광은 차단되지 않고 액체를 투과해 버린다. 이 때문에, 액면에 관계없이 수광부가 측정광을 수광해 버려, 적절히 액면을 검출할 수 없다고 하는 문제가 있었다.
본 발명은 이러한 점을 감안하여 이루어진 것으로, 투광성을 갖는 액체여도, 투과형 센서를 이용하여 액체의 잔량을 검출할 수 있는 액량 검출 유닛을 제공하는 것을 목적으로 한다.
본 발명에 따른 액량 검출 유닛은, 투과형 센서를 이용하여 투명 용기에 저류된 투명 액체의 액량을 검출하는 액량 검출 유닛으로서, 투과형 센서는, 측정광을 투광하는 투광부와, 투광부가 투광하는 측정광을 수광하는 수광부와, 수광부가 측정광을 수광하는지 여부에 따라 투명 액체가 소정량 이하가 된 것을 판단하는 판단부를 구비하고, 투광부와 수광부를 직선 상에 배치시켜, 투명 액체와 공기에 의해 측정광이 굴절 및 반사되어 수광부가 측정광을 수광하는지 여부에 따라 투명 액체가 소정량 이하가 된 것을 판단부가 판단하는 것을 특징으로 한다.
이 구성에 따르면, 투광부로부터 투광되는 측정광이 투명 액체와 공기와의 경계에서 굴절 및 반사된다. 그리고, 굴절 및 반사된 측정광을 수광부가 수광하는지 여부에 따라 투명 액체의 잔량을 검출할 수 있다. 이와 같이, 투명 액체여도, 투과형 센서를 이용하여 액체의 잔량을 검출할 수 있다.
본 발명에 따른 상기 액량 검출 유닛은, 투광부와 수광부를 연결하는 직선이 투명 액체의 액면에 대하여 비스듬히 경사져 있고, 투명 액체의 액면에서 측정광이 굴절 및 반사되어 수광부가 측정광을 수광하는지 여부에 따라 투명 액체가 소정량 이하가 된 것을 판단부가 판단한다.
또한, 본 발명에 따른 상기 액량 검출 유닛은, 투명 용기 내에 간격을 두고 원통을 2개 세우게 하여, 2개의 원통에 투광부와 수광부를 따로따로 설치하게 하고, 투광부와 수광부를 연결하는 직선은 2개의 원통의 중심을 어긋나게 하여 배치시키고, 원통의 내측과 외측이 되는 공기와 투명 액체에 의해 측정광이 굴절 및 반사되어 수광부가 측정광을 수광하는지 여부에 따라 투명 액체가 소정량 이하가 된 것을 판단부가 판단한다.
본 발명에 따르면, 측정광의 굴절 및 반사를 이용함으로써, 투광성을 갖는 액체여도, 투과형 센서를 이용하여 액체의 잔량을 검출할 수 있다.
도 1은 본 실시형태에 따른 액량 검출 유닛의 단면 모식도이다.
도 2는 종래의 액량 검출 유닛을 이용하여, 필러를 포함하는 액체 수지를 검출하는 경우의 모식도이다.
도 3은 종래의 액량 검출 유닛을 이용하여, 필러를 포함하지 않는 투명한 액체 수지를 검출하는 경우의 모식도이다.
도 4는 비교예에 따른 액량 검출 유닛의 상면 모식도이다.
도 5는 본 실시형태에 따른 액량 검출 유닛의 상면 모식도이다.
도 6은 본 실시형태에 따른 액량 검출 유닛의 액량 검출의 상태를 나타낸 도면이다.
이하, 첨부 도면을 참조하여, 본 실시형태에 따른 액량 검출 유닛 및 종래의 액량 검출 유닛에 대해서 설명한다. 도 1은 본 실시형태에 따른 액량 검출 유닛의 단면 모식도이다. 도 1A는 액량 검출 유닛의 종단면도를 나타내고, 도 1B는 액량 검출 유닛의 횡단면도를 나타내고 있다. 도 2는 종래의 액량 검출 유닛을 이용하여, 필러를 포함하는 액체 수지를 검출하는 경우의 모식도이다. 도 3은 종래의 액량 검출 유닛을 이용하여, 필러를 포함하지 않는 투명한 액체 수지를 검출하는 경우의 모식도이다. 또한, 본 실시형태에 따른 액량 검출 유닛은, 이하에 나타내는 구성에 한정되지 않고, 적절하게 변경이 가능하다. 또한, 도 1B에 대해서는 설명의 편의상, 서브 탱크 및 제2 센서를 생략하고 있다.
도 1에 도시된 바와 같이, 본 실시형태에 따른 액량 검출 유닛(1)은, 탱크(2) 내에 저류된 액체(L)의 액량을 검출하도록 구성되어 있다. 액량 검출 유닛(1)은, 액체(L)를 저류하는 탱크(2)와, 탱크(2) 내의 액체(L)의 액면을 검출하는 제1 센서(3) 및 제2 센서(4)를 포함하여 구성된다.
탱크(2)는, 플라스틱 수지 등으로 형성되는 투명 용기이고, 상자형의 메인 탱크(20)와, 메인 탱크(20)의 바닥면에 연결되는 서브 탱크(21)를 갖고 있다. 메인 탱크(20)의 상면에는, 액체(L)를 투입하는 액체 투입구(22)가 설치되어 있다. 서브 탱크(21)는, 메인 탱크(20)의 바닥면으로부터 아래쪽으로 돌출 형성되어 있고, 메인 탱크(20)에 비하여 작은 용적을 갖고 있다. 서브 탱크(21)의 하단에는, 액체를 송출하기 위한 액체 송출구(23)가 설치되어 있다.
메인 탱크(20) 내에는, 상면으로부터 아래쪽으로 연장되는 2개의 원통부(24)가 수평 방향으로 간격을 두고 세워져 있다. 원통부(24)의 상단은, 메인 탱크(20)의 상면으로부터 돌출되어 개방되어 있다. 한편, 원통부(24)의 하단은 폐쇄되어 있고, 메인 탱크(20)의 바닥면보다 위쪽에 위치되어 있다. 이에 따라, 원통부(24) 내에 대한 액체(L)의 침입이 방지되고 있다.
제1 센서(3) 및 제2 센서(4)는, 투과형 센서이며, 투광부(30, 40)로부터 투광되는 측정광을 각각 수광부(31, 41)에서 수광하도록 구성되어 있다. 또한, 제1 센서(3) 및 제2 센서(4)는, 수광부(31, 41)가 측정광을 수광하는지 여부에 따라 액체(L)의 유무를 판단하는 판단부(5)를 구비하고 있다.
구체적으로는, 제1 센서(3)에 있어서 판단부(5)는, 투광부(30)로부터의 측정광을 수광부(31)가 수광하지 않으면 액체(L)가 있다고 판단하고, 수광부(31)가 측정광을 수광하면 액체(L)가 없다고 판단한다. 한편, 제2 센서(4)에 있어서 판단부(5)는, 투광부(40)로부터의 측정광을 수광부(41)가 수광하면 액체(L)가 있다고 판단하고, 수광부(41)가 측정광을 수광하지 않으면 액체(L)가 없다고 판단한다. 또한, 상세한 내용은 후술하지만, 제1 센서(3) 및 제2 센서(4)는, 액체와 공기의 굴절률의 차이에 의해 굴절 또는 반사되는 측정광을 수광하는지 여부에 따라, 액체가 소정량 이하가 된 것을 검출한다.
제1 센서(3)는, 메인 탱크(20) 내에 설치되고, 메인 탱크(20) 내에서의 액체(L)의 액량을 검출한다. 보다 구체적으로는, 투광부(30)와 수광부(31)가 원통부(24) 내의 하단부에 각각 따로따로 설치되고, 투광부(30)와 수광부(31)가 직선 상에 위치되도록 대향 배치된다. 또한, 상면에서 보아, 투광부(30)와 수광부(31)를 연결하는 직선이 2개의 원통부(24)의 중심(을 연결하는 직선)으로부터 어긋나 있다.
제2 센서(4)는, 서브 탱크(21)의 외측에 설치되고, 서브 탱크(21) 내에서의 액체(L)의 액량을 검출한다. 보다 구체적으로는, 서브 탱크(21)의 측면 외측에 투광부(40)와 수광부(41)가 서브 탱크(21)를 사이에 두고 대향 배치된다. 또한, 투광부(40)와 수광부(41)를 연결하는 직선이 액체(L)의 액면에 대하여 비스듬히 경사져 있다. 도 1에서는, 투광부(40)에 대하여 수광부(41)가 하측에 위치되어 있다.
이와 같이 구성되는 액량 검출 유닛(1)에서는, 액체 투입구(22)로부터 액체(L)가 투입되고, 소정량의 액체(L)가 탱크(2) 내에 저류된다. 그리고, 액체(L)가 사용되는 경우에는, 액체 송출구(23)로부터 액체(L)가 송출됨으로써, 액체(L)의 액면이 서서히 내려가게 된다. 메인 탱크(20) 내에서 액면이 소정 높이까지 내려가면, 제1 센서(3)에 의해 액체(L)가 소정량 이하가 된 것이 검출된다. 액면이 더 내려가고, 서브 탱크(21) 내에서 액면이 소정 높이가 되면, 이번에는 제2 센서(4)에 의해 액체(L)가 소정량 이하가 된 것이 검출된다. 제1 센서(3) 및 제2 센서(4)에 의해 액체(L)가 소정량 이하가 된 것이 검출되면, 외부의 모니터나 버저 등의 통지 수단(모두 도시하지 않음)에 의해 액체(L)의 부족이 통지되고, 오퍼레이터에 대하여 액체(L)의 보충이 재촉된다.
그런데, 본 실시형태에 따른 액량 검출 유닛(1)의 적용 분야로서, 예컨대, 반도체 제조 장치를 들 수 있다. 반도체 제조 장치의 분야에서는, 실리콘 등의 잉곳을 슬라이스하여 소정 두께의 웨이퍼를 형성할 때에 웨이퍼의 요철면이 연삭 가공된다. 이 경우, 웨이퍼의 요철면에 액체 수지를 도포하여 요철면이 평탄하게 고르게 된다.
이러한 연삭 가공에 이용되는 액체 수지는, 웨이퍼의 두께 정밀도를 높이기 위해서, 경화 후에 소정의 경도가 필요로 되고 있다. 그래서, 액체 수지에는 충전제로서 필러가 소정의 비율로 혼합되어 있다. 필러를 포함하는 액체 수지는, 불투명하며, 차광성을 갖고 있다. 이 때문에, 종래의 액량 검출 유닛에서는, 투과형(광학식) 센서를 이용하여 액체 수지의 액량을 검출하고 있었다.
도 2에 도시된 바와 같이, 액량 검출 유닛(6)에서는, 필러를 포함하는 액체 수지(L2)가 저류된 용기(60)의 외측에, 투과형 센서(61)가 설치되어 있다. 투과형 센서(61)는, 용기(60)를 좌우에서 끼우도록 투광부(62)와 수광부(63)를 대향 배치하여 구성된다. 도 2A에 도시된 바와 같이, 액체 수지(L2)의 액면이 투과형 센서(61)보다 높은 위치에 있으면, 투광부(62)로부터 투광되는 측정광이 불투명 액체 수지(L2)에 의해 난반사되기 때문에, 수광부(63)에서는 측정광을 수광할 수 없다. 이 경우, 액량 검출 유닛(6)은, 액체 수지(L2)가 소정량으로 존재한다고 판단한다.
또한, 도 2B에 도시된 바와 같이, 액체 수지(L2)의 액면이 투과형 센서(61)보다 낮은 위치에 있으면, 투광부(62)로부터 투광되는 측정광은 액체 수지(L2)에 의해 차단되지 않고 수광부(63)에 도달한다. 이 경우, 액량 검출 유닛(6)은, 액체 수지(L2)가 소정량 이하가 되었다고 판단한다. 이와 같이, 수광부(63)가 측정광을 수광하는지 여부에 따라 액체 수지(L2)가 소정량 이하가 된 것을 검출할 수 있다.
또한, 상기한 바와 같이 필러를 포함하는 액체 수지가 이용되는 한편, 경화 후의 경도가 너무 높으면, 연삭 가공시에 연삭 지석의 자국, 소위 쏘 마크(saw mark)가 형성되어 버린다고 하는 문제가 있다. 또한, 경화 후의 수지를 웨이퍼로부터 잡아당겨 벗길 때에 웨이퍼가 깨지기 쉽게 되어 버린다고 하는 문제도 있다. 이 때문에, 액체 수지에 어느 정도의 탄력성을 갖게 하고 싶다고 하는 요망도 있어, 최근에는, 필러를 포함하지 않는 액체 수지를 이용하는 경우가 늘어나고 있다. 필러를 포함하지 않는 액체 수지에 따르면, 연삭 가공시에 쏘 마크가 형성되는 것을 방지함과 더불어, 경화 후의 수지가 박리하기 쉬워진다고 하는 효과가 있다.
여기서, 필러를 포함하지 않는 액체 수지를 종래의 액량 검출 유닛으로 검출하는 경우에 대해서 설명한다. 도 3에 도시된 바와 같이, 필러를 포함하지 않는 액체 수지(L3)는 투명하고, 액체 수지(L3)의 액면이 투과형 센서(61)보다 높은 위치에 있어도, 측정광은 투명한 액체 수지(L3)를 투과하여 수광부(63)에 도달한다(도 3A 참조). 또한, 액체 수지(L3)의 액면이 투과형 센서(61)보다 낮은 위치에 있는 경우라도, 측정광은 액체 수지(L3)에 의해 차단되지 않고 수광부(63)에 도달한다(도 3B 참조). 이와 같이, 필러를 포함하지 않는 투명한 액체 수지(L3)에서는, 액면의 높이에 상관없이 수광부(63)가 측정광을 수광해 버리기 때문에, 액량을 적절히 검출할 수 없다.
그래서, 본 발명자는, 액체와 공기의 굴절률의 차이, 또는 액체와 용기의 굴절률의 차이에 착안하여 본 발명에 상도하였다. 즉, 본 발명의 골자는, 굴절 또는 반사된 측정광을 수광부가 수광하는지 여부에 따라 액체의 유무를 검출하는 것이다. 이에 따라, 통상은 필러를 포함하는 액체 수지(차광성을 갖는 불투명한 액체)밖에 검출할 수 없는 투과형 센서를 이용하여, 필러를 포함하지 않는 액체 수지(투명 액체)의 액량을 검출하는 것이 가능하게 되어 있다.
다음에, 도 4 내지 도 6을 참조하여, 본 실시형태에 따른 액량 검출 유닛에 의한 액량 검출에 대해서 설명한다. 도 4는 비교예에 따른 액량 검출 유닛의 상면 모식도이다. 도 5는 본 실시형태에 따른 액량 검출 유닛의 상면 모식도이다. 도 4A 및 도 5A는 액면이 제1 센서보다 높은 위치에 있는 상태를 나타내고, 도 4B 및 도 5B는 탱크 내에 액체가 없거나 또는 액면이 제1 센서보다 낮은 위치에 있는 상태를 나타내고 있다. 또한, 도 4에 도시된 비교예는, 상면에서 본 제1 센서의 위치만이 본 실시형태와 차이가 나고 있다. 이 때문에, 동일 명칭의 구성에 대해서는 동일한 부호를 나타내고, 그 설명을 생략한다. 도 6은 본 실시형태에 따른 액량 검출 유닛의 액량 검출의 상태를 나타낸 도면이다. 도 6A는 액면이 제1 센서보다 낮은 위치에 있는 상태를 나타내고, 도 6B는 액면이 제2 센서의 투광부와 수광부 사이의 위치에 있는 상태를 나타내고 있다. 또한, 이하의 설명에 있어서는, 액체로서 투명 액체(필러를 포함하지 않는 액체 수지)가 이용되는 것으로 한다.
우선, 비교예에 대해서 설명한다. 도 4에 도시된 바와 같이 비교예에서는, 상면에서 보아, 제1 센서(3)의 투광부(30)와 수광부(31)가 각각 원통부(24) 내에 설치되고, 2개의 원통부(24)의 중심을 연결하는 직선 상에 배치되어 있다. 필러를 포함하지 않는 투명한 액체 수지(L3)의 액면이 제1 센서(3)보다 높은 위치에 있는 경우, 도 4A에 도시된 바와 같이, 투광부(30)로부터 투광되는 측정광은, 원통부(24)의 측면을 관통하여 액체 수지(L3) 내를 투과한다. 이 때, 원통부(24)와 액체 수지(L3)의 경계면에 대하여 측정광이 직교하도록 입사되기 때문에, 측정광은 굴절되지 않고 똑바로 수광부(31)에 도달한다. 이 경우, 판단부(5)는, 수광부(31)가 측정광을 수광한 것을 인식하여 액체 수지(L3)가 소정량 이하가 되었다고 잘못 판단해 버린다.
한편, 액체 수지(L3)의 액면이 제1 센서(3)보다 낮은 위치에 있는 경우, 도 4B에 도시된 바와 같이, 투광부(30)로부터의 측정광은 액체 수지(L3)에 의해 차단되지 않고 수광부(31)에 도달한다. 이 때 판단부(5)는, 액체 수지(L3)가 소정량 이하가 되었다고 판단한다. 이와 같이, 비교예에서는, 투과형 센서를 이용하여 투명한 액체 수지(L3)를 적절히 검출할 수 없다.
이것에 대하여 본 실시형태에서는, 도 5에 도시된 바와 같이, 투광부(30)와 수광부(31)를 연결하는 직선이 2개의 원통부(24)의 중심을 연결하는 직선으로부터 어긋나 있다. 이 때문에, 액체 수지(L3)의 액면이 제1 센서(3)보다 높은 위치에 있는 경우, 도 5A에 도시된 바와 같이, 투광부(30)로부터 투광되는 측정광은 원통부(24)를 투과하여 원통부(24)의 측면으로부터 액체 수지(L3) 내로 들어간다.
이 때, 원통부(24)와 액체 수지(L3)의 경계면에 대하여 측정광이 직교하는 방향이 아니라 소정의 각도를 이루며 입사된다. 또한, 원통부(24)와 액체 수지(L3)의 굴절률의 차이에도 기인하여, 측정광은 원통부(24)와 액체 수지(L3)의 경계면에서 굴절되어 수광부(31)를 향하는 방향과는 상이한 방향으로 진행한다. 이 결과, 수광부(31)측에서는 측정광이 수광되지 않고, 판단부(5)는, 액체 수지(L3)가 소정량보다 많이 존재한다고 판단할 수 있다.
한편, 액체 수지(L3)의 액면이 제1 센서(3)보다 낮은 위치에 있는 경우(도 6A 참조), 도 5B에 도시된 바와 같이, 원통부(24)를 투과하는 측정광은 굴절되지 않고 수광부(31)에 도달한다. 판단부(5)는, 수광부(31)가 측정광을 수광한 것을 인식하여 액체 수지(L3)가 소정량 이하가 되었다고 판단할 수 있다. 이와 같이, 제1 센서(3)에서는, 원통부(24)의 중심에 대하여 투광부(30) 및 수광부(31)를 어긋나게 하여 배치하고, 측정광을 굴절시킴으로써, 필러를 포함하지 않는 액체 수지(L3)(투명 액체)여도, 투과형 센서(제1 센서(3))를 이용하여 액량을 검출할 수 있다.
또한, 도 6에 도시된 바와 같이, 본 실시형태에서는, 메인 탱크(20) 내의 액량을 검출하는 제1 센서(3) 외에, 서브 탱크(21) 내의 액량을 검출하는 제2 센서(4)가 설치되어 있다. 제1 센서(3) 및 제2 센서(4)를 이용하여 액체 수지(L3)의 액량을 검출함으로써, 오퍼레이터에 대하여 2단계로 액체 수지(L3)의 부족을 통지할 수 있다. 이 결과, 보다 확실하게 오퍼레이터에 대하여 액체 수지(L3)의 보급을 재촉할 수 있다. 이하, 제2 센서(4)에 의한 액량 검출에 대해서 설명한다.
도 6A에 도시된 바와 같이, 액체 수지(L3)의 액면이 제2 센서(4)(투광부(40))보다 높은 위치에 있는 경우, 투광부(40)로부터 투광되는 측정광은 서브 탱크(21) 및 액체 수지(L3)를 투과하여 직접 수광부(41)에 입사된다. 판단부(5)에서는, 수광부(41)가 측정광을 수광했다고 인식하고, 액체 수지(L3)가 소정량보다 많이 존재한다고 판단한다.
액체 수지(L3)의 액면이 내려가고, 도 6B에 도시된 바와 같이, 액면이 투광부(40)와 수광부(41) 사이의 높이에 위치하고 있는 경우, 투광부(40)로부터 투광되는 측정광은, 서브 탱크(21)의 측벽을 투과한 후, 일부가 서브 탱크(21) 내의 공기와 액체 수지(L3)와의 경계면(액면)에서 반사됨과 더불어, 일부는 공기와 액체 수지(L3)의 경계면에서 굴절되어 액체 수지(L3)를 투과한다. 이 때문에, 측정광이 수광부(41)에 도달하는 일이 없어, 판단부(5)에서는, 수광부(41)가 측정광을 수광하지 않는다고 인식하고, 액체 수지(L3)가 소정량 이하가 되었다고 판단한다.
이와 같이, 제2 센서(4)에서는, 투광부(40)와 수광부(41)를 연결하는 직선을 액면에 대하여 경사지게 하고, 공기와 액체 수지(L3)의 굴절률의 차이를 이용함으로써, 필러를 포함하지 않는 액체 수지(L3)(투명 액체)여도, 투과형 센서(제2 센서(4))를 이용하여 액량을 검출할 수 있다.
또한, 본 발명은 상기 실시형태에 한정되지 않고, 여러 가지 변경하여 실시하는 것이 가능하다. 상기 실시형태에 있어서, 첨부 도면에 도시되어 있는 크기나 형상 등에 대해서는, 이것에 한정되지 않고, 본 발명의 효과를 발휘하는 범위 내에서 적절하게 변경하는 것이 가능하다. 그 밖에, 본 발명의 목적 범위를 일탈하지 않는 한 적절하게 변경하여 실시하는 것이 가능하다.
예컨대, 상기한 실시형태에서는, 투명 액체로서 필러를 포함하지 않는 액체 수지(L3)를 예를 들었지만, 이 구성에 한정되지 않는다. 투명 액체는, 어떠한 액체라도 적용 가능하다.
또한, 상기한 실시형태에서는, 제2 센서(4)에 있어서, 투광부(40)에 대하여 수광부(41)가 하측에 위치되는 구성으로 하였지만, 이 구성에 한정되지 않는다. 투광부(40)에 대하여 수광부(41)가 상측에 위치되어도 좋다.
또한, 상기한 실시형태에서는, 필러를 포함하지 않는 투명한 액체 수지(L3)를 액량 검출 유닛(1)에 의해 검출하는 구성으로 하였지만, 이 구성에 한정되지 않는다. 본 실시형태에 따른 액량 검출 유닛(1)으로, 필러를 포함하는 차광성의 액체 수지를 검출하여도 좋다. 예컨대, 제1 센서(3)에서는, 액체 수지에 의해 측정광이 차광됨으로써, 액체 수지가 소정량 존재하는 것을 검출할 수 있다. 한편, 액면이 제1 센서(3)보다 내려가 있으면, 액체 수지에 의해 차단되지 않고 수광부(31)가 측정광을 수광할 수 있기 때문에, 액체 수지가 소정량 이하가 된 것을 검출할 수 있다. 또한, 제2 센서(4)에서는, 판단부(5)의 판단을 상기한 실시형태와 반대로 하고, 투광부(40)로부터의 측정광이 액체 수지에 의해 차광됨으로써, 액체 수지가 소정량 존재하는 것을 판단부(5)가 판단하게 할 수 있다. 한편, 액면이 수광부(41)보다 낮은 위치에 있는 경우, 투광부(40)로부터의 측정광이 액체 수지에 의해 차단되지 않고 수광부(41)에 도달한다. 이에 따라, 판단부(5)는, 액체 수지가 소정량 이하가 되었다고 판단할 수 있다.
이상 설명한 바와 같이, 본 발명은, 투광성을 갖는 액체여도, 투과형 센서를 이용하여 액체의 잔량을 검출할 수 있다고 하는 효과를 가지며, 특히, 웨이퍼에 도포되는 액체 수지의 액량을 검출하는 액량 검출 유닛에 유용하다.
1 : 액량 검출 유닛
2 : 탱크(투명 용기)
24 : 원통부(원통)
3 : 제1 센서(투과형 센서)
4 : 제2 센서(투과형 센서)
5 : 판단부
30, 40 : 투광부
31, 41 : 수광부
L : 액체(투명 액체)
L3 : 액체 수지(투명 액체)

Claims (3)

  1. 투과형 센서를 이용하여 투명 용기에 저류된 투명 액체의 액량을 검출하는 액량 검출 유닛으로서,
    상기 투과형 센서는, 측정광을 투광하는 투광부와, 상기 투광부가 투광하는 상기 측정광을 수광하는 수광부와, 상기 수광부가 상기 측정광을 수광하는지 여부에 따라 투명 액체가 미리 정해진 양 이하가 된 것을 판단하는 판단부를 구비하고,
    투광부와 상기 수광부를 직선 상에 배치시키고, 투명 액체와 공기에 의해 상기 측정광이 굴절 및 반사되어 상기 수광부가 상기 측정광을 수광하는지 여부에 따라 투명 액체가 미리 정해진 양 이하가 된 것을 상기 판단부가 판단하는 것을 특징으로 하는 것인 액량 검출 유닛.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 투광부와 상기 수광부를 연결하는 직선이 투명 액체의 액면에 대하여 비스듬히 경사져 있고,
    상기 투명 액체의 액면에서 상기 측정광이 굴절 및 반사되어 상기 수광부가 상기 측정광을 수광하는지 여부에 따라 투명 액체가 미리 정해진 양 이하가 된 것을 상기 판단부가 판단하는 것인 액량 검출 유닛.
  3. 제1항에 있어서,
    투명 용기 내에 간격을 두고 원통을 2개 세우게 하여, 상기 2개의 원통에 상기 투광부와 상기 수광부를 따로따로 설치하게 하고,
    상기 투광부와 상기 수광부를 연결하는 직선은 상기 2개의 원통의 중심을 어긋나게 하여 배치시키고,
    상기 원통의 내측과 외측이 되는 공기와 투명 액체에 의해 상기 측정광이 굴절 및 반사되어 상기 수광부가 상기 측정광을 수광하는지 여부에 따라 투명 액체가 미리 정해진 양 이하가 된 것을 상기 판단부가 판단하는 것인 액량 검출 유닛.
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