KR20170003586U - 클러스터형 기판처리장치 - Google Patents

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KR20170003586U KR2020160001888U KR20160001888U KR20170003586U KR 20170003586 U KR20170003586 U KR 20170003586U KR 2020160001888 U KR2020160001888 U KR 2020160001888U KR 20160001888 U KR20160001888 U KR 20160001888U KR 20170003586 U KR20170003586 U KR 20170003586U
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황철주
강태훈
김영록
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주성엔지니어링(주)
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Abstract

클러스터형 기판처리장치가 개시된다. 본 고안의 실시예에 따른 클러스터형 기판처리장치는, 이송챔버에 로봇이 설치되고, 로봇의 엔드 이펙터(End Effector)에 2장의 기판이 탑재 지지되어 공정챔버로 이송되며, 기판이 출입하는 이송챔버의 기판출입구는 1개 형성된다. 그러면, 로봇의 제1암(Arm)과 엔드 이펙터의 연결 부위인 제2암이 이송챔버의 기판출입구를 통과할 수 있으므로, 엔드 이펙터가 길이방향으로 최대한 많이 공정챔버의 내부에 유입될 수 있다. 그러면, 엔드 이펙터의 길이를 상대적으로 짧게 형성할 수 있으므로, 원가가 절감되는 효과가 있을 수 있다.

Description

클러스터형 기판처리장치 {CLUSTER TYPE SUBSTRATE PROCESSING APPARATUS}
본 고안은 클러스터(Cluster)형 기판처리장치에 관한 것이다.
반도체 소자, 평판 디스플레이 또는 박막형 태양전지(Solar Cell) 등을 제조하기 위해서는 기판의 표면에 특정물질을 증착하여 박막을 형성하는 증착공정, 감광성 물질을 이용하여 형성된 박막 중 선택된 영역을 노출시키거나 은폐시키는 포토공정, 선택된 박막을 제거하여 패턴을 형성하는 식각공정 등을 수행한다.
상기 각 단위공정들은 각 단위공정에 적합하도록 최적으로 설계된 각각의 기판처리장치에서 수행된다.
클러스터(Cluster)형 기판처리장치는 각 단위공정을 수행하는 각 기판처리장치를 공간적으로 인접되게 설치하여, 각 기판처리장치로 기판을 이송하는 시간을 최소화함으로써, 생산성을 향상시킨 기판처리장치이다.
일반적으로, 클러스터형 기판처리장치는 기판을 이송하기 위한 로봇이 설치된 이송챔버와 상기 이송챔버의 외면을 감싸는 형태로 설치된 복수의 공정챔버를 가진다.
그리고, 상기 이송챔버와 상기 공정챔버 간에 기판을 반입하거나 반출할 수 있도록, 상호 대향하는 상기 이송챔버의 면과 상기 공정챔버의 면에는 상호 대응되게 기판출입구가 각각 형성된다. 이때, 공정챔버가 2개의 구역으로 구획되어 2장의 기판을 한번에 처리할 수 있는 경우, 1대의 로봇으로 한 번에 2장의 기판을 반입하거나 반출하기 위하여, 상기 이송챔버 및 상기 공정챔버에는 각각 2개의 기판출입구가 형성된다.
그러면, 로봇의 제1암(Arm)과 기판이 탑재 지지되는 엔드 이펙터(End Effector)의 연결 부위인 제2암이 상기 이송챔버의 상기 기판출입구와 상기 기판출입구 사이의 부위에 걸리게 되므로, 상기 엔드 이펙터가 길이방향으로 상기 공정챔버의 내부에 최대한 유입되지 못한다.
그러면, 기판이 탑재 지지되는 상기 엔드 이펙터의 길이를 길게 형성하여야 하므로, 원가가 상승하는 단점이 있다.
클러스터형 기판처리장치과 관련한 선행기술은 미국등록특허공보 제8,060,252호(2011.11.15) 등에 개시되어 있다.
본 고안의 목적은 상기와 같은 종래 기술의 모든 문제점들을 해결할 수 있는 클러스터형 기판처리장치를 제공하는 것일 수 있다.
본 고안의 다른 목적은 기판을 이송하기 위한 로봇이 설치된 이송챔버의 기판출입구를 로봇의 엔드 이펙터(End Effector)가 통과할 수 있도록 구성하여 엔드 이펙터의 길이를 짧게 형성할 수 있는 클러스터형 기판처리장치를 제공하는 것일 수 있다.
상기 목적을 달성하기 위한 본 실시예에 따른 클러스터형 기판처리장치는, 기판을 이송하기 위한 로봇이 설치된 이송챔버, 상기 이송챔버의 외측에 복수개 설치되며 기판이 반입되어 처리되는 공정챔버를 포함하는 클러스터형 기판처리장치로서, 상호 대향하는 상기 이송챔버의 면과 상기 공정챔버의 면에는 기판이 출입하는 기판출입구가 형성되고, 상기 공정챔버의 상기 기판출입구는 구획된 2개로 형성되고, 상기 이송챔버의 상기 기판출입구는 상기 공정챔버의 2개의 상기 기판출입구와 대응되는 1개로 형성되며, 상호 대향하는 상기 이송챔버의 면과 각 상기 공정챔버의 면 사이에는 상기 기판출입구를 개폐하는 개폐판이 설치될 수 있다.
또한, 본 실시예에 따른 클러스터형 기판처리장치는, 기판을 이송하기 위한 로봇이 설치된 이송챔버, 상기 이송챔버의 외측에 복수개 설치되며 기판이 반입되어 처리되는 공정챔버를 포함하는 클러스터형 기판처리장치로서, 상호 대향하는 상기 이송챔버의 면과 상기 공정챔버의 면에는 기판이 출입하는 기판출입구가 형성되고, 상기 공정챔버의 상기 기판출입구는 구획된 2개로 형성되고, 상기 이송챔버의 상기 기판출입구는 상기 공정챔버의 2개의 상기 기판출입구와 대응되는 1개로 형성되며, 상호 공정챔버와 상기 이송챔버 중, 적어도 한 곳에는 상기 기판출입구를 개폐하는 개폐판이 설치될 수 있다.
본 고안의 실시예에 따른 클러스터형 기판처리장치는, 이송챔버에 로봇이 설치되고, 로봇의 엔드 이펙터(End Effector)에 2장의 기판이 탑재 지지되어 공정챔버로 이송되며, 기판이 출입하는 이송챔버의 기판출입구는 1개 형성된다. 그러면, 로봇의 제1암(Arm)과 엔드 이펙터의 연결 부위인 제2암이 이송챔버의 기판출입구를 통과할 수 있으므로, 엔드 이펙터가 길이방향으로 최대한 많이 공정챔버의 내부에 유입될 수 있다. 그러면, 엔드 이펙터의 길이를 상대적으로 짧게 형성할 수 있으므로, 원가가 절감되는 효과가 있을 수 있다.
도 1은 본 고안의 일 실시예에 따른 클러스터형 기판처리장치의 평면도.
도 2는 도 1의 요부 절개 사시도.
도 3은 도 2의 분해 사시도.
도 4는 도 2의 평면도.
도 5는 도 2 및 도 3에 도시된 공정챔버측을 개폐하는 개폐판을 다른 방향에서 본 사시도.
도 6은 본 고안의 다른 실시예에 따른 클러스터형 기판처리장치의 요부 절개 사시도.
도 7은 도 6의 평면도.
본 명세서에서 각 도면의 구성요소들에 참조번호를 부가함에 있어서 동일한 구성 요소들에 한해서는 비록 다른 도면상에 표시되더라도 가능한 한 동일한 번호를 가지도록 하고 있음에 유의하여야 한다.
한편, 본 명세서에서 서술되는 용어의 의미는 다음과 같이 이해되어야 할 것이다.
단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 정의하지 않는 한 복수의 표현을 포함하는 것으로 이해되어야 하고, "제1", "제2" 등의 용어는 하나의 구성요소를 다른 구성요소로부터 구별하기 위한 것으로, 이들 용어들에 의해 권리범위가 한정되어서는 아니 된다.
"포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 하나 또는 그 이상의 다른 특징이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.
"적어도 하나"의 용어는 하나 이상의 관련 항목으로부터 제시 가능한 모든 조합을 포함하는 것으로 이해되어야 한다. 예를 들어, "제1항목, 제2항목 및 제3항목 중에서 적어도 하나"의 의미는 제1항목, 제2항목 또는 제3항목 각각 뿐만 아니라 제1항목, 제2항목 및 제3항목 중에서 2개 이상으로부터 제시될 수 있는 모든 항목의 조합을 의미한다.
"및/또는"의 용어는 하나 이상의 관련 항목으로부터 제시 가능한 모든 조합을 포함하는 것으로 이해되어야 한다. 예를 들어, "제1항목, 제2항목 및/또는 제3항목"의 의미는 제1항목, 제2항목 또는 제3항목뿐만 아니라 제1항목, 제2항목 또는 제3항목들 중 2개 이상으로부터 제시될 수 있는 모든 항목의 조합을 의미한다.
어떤 구성요소가 다른 구성요소에 "연결된다 또는 설치된다"고 언급된 때에는, 그 다른 구성요소에 직접적으로 연결 또는 설치될 수도 있지만, 중간에 다른 구성요소가 존재할 수도 있다고 이해되어야 할 것이다. 반면에, 어떤 구성요소가 다른 구성요소에 "직접 연결된다 또는 설치된다"라고 언급된 때에는 중간에 다른 구성요소가 존재하지 않는 것으로 이해되어야 할 것이다. 한편, 구성요소들 간의 관계를 설명하는 다른 표현들, 즉 "∼사이에"와 "바로 ∼사이에" 또는 "∼에 이웃하는"과 "∼에 직접 이웃하는" 등도 마찬가지로 해석되어야 한다.
이하에서는, 본 고안의 실시예들에 따른 클러스터형 기판처리장치에 대하여 첨부된 도면을 참조하여 상세히 설명한다.
도 1은 본 고안의 일 실시예에 따른 클러스터형 기판처리장치의 평면도이고, 도 2는 도 1의 요부 절개 사시도이며, 도 3은 도 2의 분해 사시도이고, 도 4는 도 2의 평면도이다.
도시된 바와 같이, 본 고안의 일 실시예에 따른 클러스터형 기판처리장치는 기판을 이송하기 위한 로봇(10)이 설치된 이송챔버(110)와 이송챔버(110)의 외면을 감싸는 형태로 설치된 복수의 공정챔버(130)를 포함할 수 있다.
이송챔버(110)의 일측에는 로드락챔버(170)가 설치될 수 있고, 로드락챔버(170)의 일측에는 카세트(20)가 보관되는 적재부(30)가 설치될 수 있다. 카세트(20)에는 기판이 적재 저장되며, 적재부(30)에는 카세트(20)를 이송하기 위한 로봇(40)이 설치될 수 있다. 즉, 로봇(40)은 적재부(30)의 카세트(20)를 로드락챔버(170)로 이송하거나, 로드락챔버(170)의 카세트(20)를 적재부(30)로 이송할 수 있다.
그리하여, 적재부(30)의 카세트(20)가 로드락챔버(170)로 반입되면, 이송챔버(110)의 로봇(10)은 카세트(20)로부터 기판을 반출하여 공정챔버(130)로 반입하거나, 처리가 완료된 공정챔버(130)의 기판을 반출하여 카세트(20)로 반입할 수 있다.
이송챔버(110)와 공정챔버(130) 간에 기판을 반입 및 반출할 수 있도록, 상호 대향하는 이송챔버(110)의 면 및 각 공정챔버(130)의 면에는 상호 대응되게 기판출입구(111, 131)가 형성될 수 있다. 그리고, 이송챔버(110)의 기판출입구(111)와 공정챔버(130)의 기판출입구(131)는 개폐판(151)에 의하여 개폐될 수 있다.
개폐판(151)은 상호 대향하는 이송챔버(110)의 면과 각 공정챔버(130)의 면 사이에 설치된 하우징(155)의 내부에 설치되어 기판출입구(111, 131)를 개폐할 수 있다.
그런데, 하우징(155)이 이송챔버(110)와 공정챔버(130) 사이에 설치되므로, 이송챔버(110)와 공정챔버(130) 간에 기판을 반입 및 반출할 수 있기 위해서는, 이송챔버(110)와 대향하는 하우징(155)의 면은 이송챔버(110)의 기판출입구(111)와 연통되어야 하고, 공정챔버(130)와 대향하는 하우징(155)의 면은 공정챔버(130)의 기판출입구(131)와 연통되어야 한다. 이를 위하여, 이송챔버(110)와 대향하는 하우징(1550)의 면 및 공정챔버(130)와 대향하는 하우징(155)의 면에는 이송챔버(110)의 기판출입구(111) 및 공정챔버(130)의 기판출입구(131)와 각각 대응되게 형성되어 각각 연통되는 제1연통공(155a)(도 3 참조) 및 제2연통공(155b)(도 3 참조)이 형성될 수 있다.
그리고, 개폐판(151)은 제1연통공(155a) 및 제2연통공(155b)을 각각 개폐하여 이송챔버(110)의 기판출입구(111) 및 공정챔버(130)의 기판출입구(131)를 개폐할 수 있다.
도 2 및 도 3에는 개폐판(151)이 2개 설치되어 어느 하나의 개폐판(151a)은 제1연통공(155a)을 개폐하고, 다른 하나의 개폐판(151b)은 제2연통공(155b)을 개폐하는 것을 예로 들어 도시하였으나, 개폐판(151)이 하나만 설치되어 제1연통공(155a) 및 제2연통공(155b)을 동시에 개폐할 수도 있다.
그리고, 개폐판(151)은 미닫이 형태로 동작하거나, 여닫이 형태로 동작할 수 있다.
이송챔버(110)의 기판을 공정챔버(130)로 이송한 다음, 공정챔버(130)에서 기판의 처리에 필요한 공정을 수행한다. 그런데, 기판의 처리공정 중에는 파티클이 발생하므로, 공정챔버(130)를 정기적으로 세척하여야 한다.
본 고안의 일 실시예에 따른 클러스터형 기판처리장치는 공정챔버(130)에서 기판의 처리에 필요한 공정을 수행하거나, 공정챔버(130)를 세척할 때, 개폐판(151a)(151b)이 하우징(155)의 제1연통공(155a) 및 제2연통공(155b)을 각각 폐쇄한다. 그러면, 공정챔버(130)가 이송챔버(110)와 분리된 환경에서 작업을 수행하므로, 공정의 신뢰성이 향상될 수 있다.
공정챔버(130)가 2개의 구역으로 구획되어 2장의 기판을 한번에 처리할 수 있는 경우, 생산성을 향상시키기 위하여, 이송챔버(110)에 로봇(10)을 1대 설치하고, 1대의 로봇(10)으로 2장의 기판을 동시에 이송할 수 있다. 이때, 카세트(20)의 내부는 좌우가 구획되어 좌측 부위 및 우측 부위에 각각 기판이 상하로 적층된 형태로 저장될 수 있다. 그리고, 기판은 로봇(10)의 엔드 이펙터(15)의 양단부측에 각각 탑재 지지될 수 있다.
본 고안의 실시예에 따른 클러스터형 기판처리장치는 기판이 탑재 지지되는 로봇(10)의 엔드 이펙터(End Effector)(15)의 길이를 짧게 형성할 수 있다.
상세히 설명하면, 이송챔버(110)의 기판출입구(111)는 1개로 형성될 수 있고, 공정챔버(130)의 기판출입구(131)는 상호 구획된 2개로 형성될 수 있다. 그리고, 1개로 형성된 이송챔버(110)의 기판출입구(111)는 2개로 형성된 고정챔버(130)의 기판출입구(131)와 대응되게 형성될 수 있다. 이때, 제1연통공(155a)은 이송챔버(110)의 기판출입구(111)과 대응되게 형성되고, 제2연통공(155b)은 공정챔버(130)의 기판출입구(131)와 대응되게 형성됨은 당연하다.
그러면, 도 4에 도시된 바와 같이, 로봇(10)의 엔드 이펙터(15)에 기판을 탑재하여 이송챔버(110)에서 공정챔버(130)로 반입할 때, 로봇(10)의 제1암(Arm)(11)과 엔드 이펙터(15)의 연결 부위인 제2암(13)이 이송챔버(110)의 기판출입구(111) 및 제1연통공(155a)에 걸리지 않으므로, 제2암(13)가 제2연통공(155b)이 형성된 하우징(155)의 면까지 접근할 수 있다. 그러면, 엔드 이펙터(15)가 길이방향으로 최대한 많이 공정챔버(130)에 유입될 수 있으므로, 엔드 이펙터(15)의 길이를 상대적으로 짧게 형성할 수 있다.
개폐판(151)에 대하여 도 2, 도 3 및 도 5를 참조하여 설명한다. 도 5는 도 2 및 도 3에 도시된 공정챔버측을 개폐하는 개폐판을 다른 방향에서 본 사시도이다.
도시된 바와 같이, 제2연통공(155b)을 개폐하는 개폐판(151b)의 부위 중, 제2연통공(155b)을 향하는 개폐판(151b)의 면에는 실링부재(153)가 설치될 수 있다. 이때, 실링부재(153)는, 개폐판(151b)이 제2연통공(155b)을 폐쇄하였을 때, 제2연통공(155b)의 외측의 하우징(155)의 면에 접촉되어 제2연통공(155b)을 감싸는 형태로 설치되는 것이 바람직하다.
그리고, 실링부재(153)는 도 5의 (a)에 도시된 바와 같이, 2개 설치되어 2개의 제2연통공(155b)을 각각 감싸는 형태로 설치될 수 있고, 도 5의 (b)에 도시된 바와 같이, 1개 설치되어 2개의 제2연통공(155b)을 전부 감싸는 형태로 설치될 수도 있다.
실링부재(153)가 2개 설치된 경우, 문제가 발생한 실링부재(153)만 교체하면 되므로 원가가 절감될 수 있다.
도 6은 본 고안의 다른 실시예에 따른 클러스터형 기판처리장치의 요부 절개 사시도이고, 도 7은 도 6의 평면도로서, 도 1 내지 도 5와의 차이점만을 설명한다.
도시된 바와 같이, 본 고안의 다른 실시예에 따른 클러스터형 기판처리장치는 상호 대향하는 이송챔버(210)의 면과 각 공정챔버(230)의 면이 직접 접촉할 수 있다. 그러면, 로봇(10)의 제2암(13)가 이송챔버(210)의 기판출입구(211)의 내부에 위치될 수 있으므로, 엔드 이펙터(15)가 길이방향으로 공정챔버(230)의 내부에 최대한 많이 유입될 수 있다.
그리고, 개폐판(251)은 이송챔버(210) 및 공정챔버(230) 중, 적어도 한 곳에 설치되어 이송챔버(210)의 기판출입구(211) 및 공정챔버(230)의 기판출입구(231)를 개폐할 수 있다. 이때, 공정챔버(230)의 기판출입구(231)를 개폐하는 개폐판(251b)에는, 개폐판(251b)이 공정챔버(230)의 기판출입구(231)를 폐쇄하였을 때, 공정챔버(230)의 기판출입구(231) 외측의 공정챔버(210)의 면과 접촉하여 공정챔버(230)의 기판출입구(231)를 감싸는 실링부재(253)가 설치될 수 있다.
그리고, 실링부재(253)는 1개 설치되어 공정챔버(230)의 2개의 기판출입구(231) 전부를 감쌀 수 있다. 도시되지는 않았으나, 실링부재(253)는 2개 설치되어 공정챔버(230)의 2개의 기판출입구(231)를 각각 감쌀 수도 있다.
공정챔버(230)를 세척가스로 세척할 때에는, 세척가스 등을 포함하는 이물질이 공정챔버(230)의 기판출입구(231)측에 부착되어 쌓일 수 있다. 그러면, 이송챔버(210)와 공정챔버(230) 간에 기판을 이송할 때, 이물질이 박리되어 기판에 부착될 수 있으므로, 기판이 손상될 수 있다.
본 고안의 다른 실시예에 따른 클러스터형 기판처리장치는 공정챔버(230)가 이송챔버(210)와 분리된 환경에서 작업을 수행할 수 있는 효과 이외에, 기판이 이물질에 의하여 손상되는 것을 방지할 수 있다.
상세히 설명하면, 공정챔버(230)를 세척할 때, 공정챔버(230)의 내부에 설치된 개폐판(251b)이 기판출입구(231)를 덮으면서 기판출입구(231)를 폐쇄한다. 그러면, 기판출입구(231)측 공정챔버(230)의 내면이 개폐판(251b)의 테두리부측에 의하여 덮혀서 보호되므로, 기판출입구(231)측에 이물질이 부착되어 쌓이는 것이 방지된다. 이로 인해, 이송챔버(210)와 공정챔버(230) 간에 기판을 이송할 때, 이물질이 기판에 부착되는 것이 방지되므로, 기판이 손상되는 것을 방지할 수 있다.
본 실시예들에 따른 클러스터형 기판처리장치는, 로봇의 제1암(11)과 기판이 탑재 지지되는 엔드 이펙터(15)의 연결 부위인 제2암(13)이 이송챔버(110, 210)의 기판출입구(111, 211)를 통과할 수 있으므로, 엔드 이펙터(15)가 길이방향으로 최대한 많이 공정챔버(130, 230)의 내부에 유입될 수 있다. 그러면, 엔드 이펙터(15)의 길이를 상대적으로 짧게 형성할 수 있으므로, 원가가 절감된다.
이상에서 설명한 본 고안은 전술한 실시예 및 첨부된 도면에 한정되는 것이 아니고, 본 고안의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위 내에서 여러 가지 치환, 변형 및 변경이 가능하다는 것은 본 고안이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 있어 명백할 것이다. 그러므로, 본 고안의 범위는 후술하는 특허청구범위에 의하여 나타내어지며, 특허청구범위의 의미 및 범위 그리고 그 등가 개념으로부터 도출되는 모든 변경 또는 변형된 형태가 본 고안의 범위에 포함되는 것으로 해석되어야 한다.
110: 이송챔버
130: 공정챔버
111, 131: 기판출입구
151: 개폐판
155: 하우징

Claims (7)

  1. 기판을 이송하기 위한 로봇이 설치된 이송챔버, 상기 이송챔버의 외측에 복수개 설치되며 기판이 반입되어 처리되는 공정챔버를 포함하는 클러스터형 기판처리장치로서,
    상호 대향하는 상기 이송챔버의 면과 상기 공정챔버의 면에는 기판이 출입하는 기판출입구가 형성되고,
    상기 공정챔버의 상기 기판출입구는 구획된 2개로 형성되고, 상기 이송챔버의 상기 기판출입구는 상기 공정챔버의 2개의 상기 기판출입구와 대응되는 1개로 형성되며,
    상호 대향하는 상기 이송챔버의 면과 각 상기 공정챔버의 면 사이에는 상기 기판출입구를 개폐하는 개폐판이 설치된 것을 특징으로 하는 클러스터형 기판처리장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 이송챔버와 각 상기 공정챔버 사이에는 상기 개폐판이 설치되는 하우징이 설치되고,
    상기 이송챔버와 대향하는 상기 하우징의 면 및 상기 공정챔버와 대향하는 상기 하우징의 면에는 상기 이송챔버의 상기 기판출입구 및 상기 공정챔버의 상기 기판출입구와 각각 대응되게 형성되어 연통된 제1연통공 및 제2연통공이 각각 형성되며,
    상기 개폐판은 상기 제1연통공 및 상기 제2연통공을 개폐하는 것을 특징으로 하는 클러스터형 기판처리장치.
  3. 제2항에 있어서,
    상기 제2연통공을 향하는 상기 개폐판의 면에는, 상기 개폐판이 상기 제2연통공을 폐쇄하였을 때, 상기 제2연통공 외측의 상기 하우징의 면과 접촉하여 상기 제2연통공을 감싸는 실링부재가 설치된 것을 특징으로 하는 클러스터형 기판처리장치.
  4. 제3항에 있어서,
    상기 실링부재는 2개 설치되어 2개의 상기 제2연통공을 각각 감싸거나, 1개 설치되어 2개의 상기 제2연통공을 감싸는 것을 특징으로 하는 클러스터형 기판처리장치.
  5. 기판을 이송하기 위한 로봇이 설치된 이송챔버, 상기 이송챔버의 외측에 복수개 설치되며 기판이 반입되어 처리되는 공정챔버를 포함하는 클러스터형 기판처리장치로서,
    상호 대향하는 상기 이송챔버의 면과 상기 공정챔버의 면에는 기판이 출입하는 기판출입구가 형성되고,
    상기 공정챔버의 상기 기판출입구는 구획된 2개로 형성되고, 상기 이송챔버의 상기 기판출입구는 상기 공정챔버의 2개의 상기 기판출입구와 대응되는 1개로 형성되며,
    상호 공정챔버와 상기 이송챔버 중, 적어도 한 곳에는 상기 기판출입구를 개폐하는 개폐판이 설치된 것을 특징으로 하는 클러스터형 기판처리장치.
  6. 제5항에 있어서,
    상기 공정챔버의 상기 기판출입구를 개폐하는 상기 개폐판에는, 상기 개폐판이 상기 공정챔버의 상기 기판출입구를 폐쇄하였을 때, 상기 공정챔버의 상기 기판출입구 외측의 상기 공정챔버의 면과 접촉하여 상기 공정챔버의 상기 기판출입구를 감싸는 실링부재가 설치된 것을 특징으로 하는 클러스터형 기판처리장치.
  7. 제6항에 있어서,
    상기 실링부재는 2개 설치되어 상기 공정챔버의 2개의 상기 기판출입구를 각각 감싸거나, 1개 설치되어 상기 공정챔버의 2개의 상기 기판출입구를 감싸는 것을 특징으로 하는 클러스터형 기판처리장치.
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