KR20160139084A - 기판 증착 챔버 - Google Patents

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KR20160139084A KR1020150072812A KR20150072812A KR20160139084A KR 20160139084 A KR20160139084 A KR 20160139084A KR 1020150072812 A KR1020150072812 A KR 1020150072812A KR 20150072812 A KR20150072812 A KR 20150072812A KR 20160139084 A KR20160139084 A KR 20160139084A
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Abstract

본 발명의 실시예에 따른 기판 증착 장치는, 기판에 유기 전계 발광 소자를 형성하기 위한 기판 증착 시스템의 기판 증착 챔버로서, 기판에 대한 증착 공정이 실행되는 공간을 제공하는 챔버 하우징; 상기 챔버 하우징 내에서 이동 가능하게 장착되어 상기 기판에 대한 증착 공정을 실행하는 증착 모듈; 및 상기 증착 모듈에 구비되는 기화기에 대해 유지보수 또는 교체가 요구되는 경우 상기 챔버 하우징의 진공 상태를 유지하도록 하면서 상기 기화기로의 접근을 가능하도록 하는 메인트부;를 포함할 수 있다. 본 발명의 실시예에 따르면, 기판을 증착시키는 증착 모듈에 구비되는 기화기를 교체 또는 유지보수할 때 메인트부에 의해서 챔버 하우징의 진공을 유지한 상태에서 목적한 작업을 수행할 수 있으며, 이에 따라 챔버 하우징 내부의 압력 변화 또는 오염 등을 방지할 수 있다.

Description

기판 증착 챔버 및 그의 기화기 교체 또는 유지보수 방법{Chamber to deposition substrate and method to change or maintenance evaporator thereof}
기판 증착 챔버 및 그의 기화기 교체 또는 유지보수 방법이 개시된다. 보다 상세하게는, 기판을 증착시키는 증착 모듈에 구비되는 기화기를 교체 또는 유지보수할 때 메인트부에 의해서 챔버 하우징의 진공을 유지한 상태에서 목적한 작업을 수행할 수 있는 기판 증착 챔버 및 그의 기화기 교체 또는 유지보수 방법이 개시된다.
유기 전계 발광소자(OLED, Organic Luminescence Emitting Device)는 형광성 유기화합물에 전류가 흐르면 빛을 내는 전계 발광 현상을 이용하여 스스로 빛을 내는 자발광소자로서, 비발광소자에 빛을 가하기 위한 백라이트가 필요하지 않기 때문에 경량이고 박형의 평판표시장치를 제조할 수 있다. 이러한 유기 전계 발광소자를 이용한 평판표시소자는 응답속도가 빠르며, 시야각이 넓어 차세대 표시장치로서 대두되고 있다.
유기 전계 발광소자는 애노드 및 캐소드 전극을 제외한 나머지 유기층인 정공주입층, 정공수송층, 발광층, 전자수송층, 전자주입층 등이 유기 박막으로 되어 있고, 이러한 유기 박막은 진공 열증착 방법으로 기판 상에 증착된다.
여기서 진공 열증착 방법에 의해 유기 박막이나 금속 박막을 형성하기 위한 장비 시스템으로는, 클러스터형 증착 시스템이 인라인 증착 시스템이 적용되고 있다.
클러스터형 증착 시스템은, 예를 들면 대한민국특허 출원번호 제10-2007-0063691호에 기재된 것처럼, 여러 유기 박막을 형성하기 위하여 복수의 진공 챔버를 클러스터형으로 만들어서 기판에 대한 유기 박막을 증착하는 방식이며 인라인 증착 시스템은 복수의 공정 챔버를 일렬로 배열한 상태에서 복수의 기판을 셔틀에 각각 장착하여 연속적으로 이송시키면서 증착 공정을 수행하는 것이다.
한편, 전술한 증착 시스템 중, 클러스터형 증착 시스템에 대해 부연하면, 클러스터형 증착 시스템은, 기판에 대한 증착이 실행되는 챔버와, 기판의 하부에서 일 방향으로 이동하며 기판에 증착을 위한 물질 예를 들면 모노머를 분사하는 분사부를 포함할 수 있다. 분사부 내에는 액체 상태의 모노머를 기화시키는 기화부가 배치될 수 있다.
그런데, 종래의 클러스터형 증착 시스템에 있어서는, 기화기를 유지보수하거나 교체해야 하는 경우 그 작업이 쉽지 않았다. 챔버는 진공 상태를 유지해야 하는데, 기화기를 교체하는 과정 중에 외부 물질이 챔버 내로 침투하여 챔버 내의 압력 상태를 변하게 하거나 또는 챔버 내를 오염시킬 우려가 있었다.
따라서, 챔버의 진공 상태를 유지하면서도 기화기를 교체 또는 유지보수할 수 있는 새로운 구조의 증착 장치의 개발이 요구되는 실정이다.
본 발명의 실시예에 따른 목적은, 기판을 증착시키는 증착 모듈에 구비되는 기화기를 교체 또는 유지보수할 때 메인트부에 의해서 챔버 하우징의 진공을 유지한 상태에서 목적한 작업을 수행할 수 있으며, 이에 따라 챔버 하우징 내부의 압력 변화 또는 오염 등을 방지할 수 있는 기판 증착 챔버 및 그의 기화기 교체 또는 유지보수 방법을 제공하는 것이다.
본 발명의 실시예에 따른 기판 증착 챔버는, 기판에 유기 전계 발광 소자를 형성하기 위한 기판 증착 시스템의 기판 증착 챔버로서, 기판에 대한 증착 공정이 실행되는 공간을 제공하는 챔버 하우징; 상기 챔버 하우징 내에서 이동 가능하게 장착되어 상기 기판에 대한 증착 공정을 실행하는 증착 모듈; 및 상기 증착 모듈에 구비되는 기화기에 대해 유지보수 또는 교체가 요구되는 경우 상기 챔버 하우징의 진공 상태를 유지하도록 하면서 상기 기화기로의 접근을 가능하도록 하는 메인트부;를 포함하며, 이러한 구성에 의해서, 기판을 증착시키는 증착 모듈에 구비되는 기화기를 교체 또는 유지보수할 때 메인트부에 의해서 챔버 하우징의 진공을 유지한 상태에서 목적한 작업을 수행할 수 있으며, 이에 따라 챔버 하우징 내부의 압력 변화 또는 오염 등을 방지할 수 있다.
일측에 따르면, 상기 증착 모듈은, 상기 기화기가 장착되며, 상기 메인트부를 향하는 일측벽에 상기 기화기로의 접근을 가능하게 하는 접근홀이 관통 형성되는 모듈 하우징; 및 상기 모듈 하우징의 상기 접근홀에 개폐 가능하게 구비되는 제1 개폐도어를 포함하고, 상기 메인트부는, 상기 챔버 하우징의 일측벽으로 마련 가능한 측벽부재; 및 상기 측벽부재에 관통 형성된 관통홀에 개폐 가능하게 구비되는 제2 개폐도어를 포함하며, 상기 제1 개폐도어 및 상기 제2 개폐도어가 마주보도록 상기 측벽부재에 대해 상기 모듈 하우징을 이동시킨 후 상기 제1 개폐도어 및 상기 제2 개폐도어를 개방하면 상기 기화기로의 접근이 가능하되 상기 챔버 하우징 내부는 진공이 유지될 수 있다.
일측에 따르면, 상기 제1 개폐도어가 배치되는 상기 모듈 하우징의 일측벽 또는 상기 제2 개폐도어가 배치되는 상기 측벽부재의 내측벽 중 어느 하나에는 상기 모듈 하우징의 일측벽 및 상기 측벽부재의 내측벽이 접근 시 벽간을 밀착시키는 실링부재가 돌출 형성될 수 있다.
일측에 따르면, 상기 모듈 하우징의 일측벽 또는 상기 측벽부재의 내측벽 중 다른 하나에는 상기 실링부재의 형상에 대응되는 홈부재가 함몰 형성될 수 있다.
일측에 따르면, 상기 실링부재는 탄성력을 갖는 러버(rubber) 재질로 마련될 수 있다.
일측에 따르면, 상기 기화기의 교체를 위해 상기 증착 모듈의 상기 모듈 하우징의 일측벽을 상기 측벽부재의 내측벽에 밀착시킨 경우 상기 측벽부재에 대한 상기 모듈 하우징의 위치가 유지되도록 상기 측벽부재에는 상기 모듈 하우징에 선택적으로 클램핑(clamping)되는 클램핑부재가 구비될 수 있다.
일측에 따르면, 상기 증착 모듈은, 상기 모듈 하우징에 구비되어 상기 기화기에 의해 기화된 유기물을 상기 기판 방향으로 분사하는 유기물 분사부재; 및 상기 유기물 분사부재를 선택적으로 개방하거나 커버하는 커버부재를 더 포함할 수 있다.
한편, 본 발명의 실시예에 따른 기판 증착 챔버의 기화기 교체 또는 유지보수 방법에 있어서, 상기 증착 모듈의 상기 모듈 하우징을 상기 메인트부의 상기 측벽부재로 접촉될 때까지 이동시켜, 상기 모듈 하우징의 상기 제1 개폐도어가 상기 측벽부재의 상기 제2 개폐도어에 대응되도록 하되 마주보는 상기 모듈 하우징의 일측벽 및 상기 측벽부재의 내측벽 사이를 밀착시키는, 증착 모듈 이동 단계; 및 상기 제1 개폐도어 및 상기 제2 개폐도어를 개방시키고 상기 모듈 하우징 내의 상기 기화기를 교체하거나 유지보수하는 단계;를 포함할 수 있다.
일측에 따르면, 상기 증착 모듈 이동 단계 시, 상기 제1 개폐도어가 배치되는 상기 모듈 하우징의 외측벽 또는 상기 제2 개폐도어가 배치되는 상기 측벽부재의 내측벽 중 어느 하나에 구비된 실링부재에 의해서 상기 모듈 하우징 및 상기 측벽부재의 밀착에 의한 상기 챔버 하우징의 내부 공간의 진공이 유지될 수 있다.
본 발명의 실시예에 따르면, 기판을 증착시키는 증착 모듈에 구비되는 기화기를 교체 또는 유지보수할 때 메인트부에 의해서 챔버 하우징의 진공을 유지한 상태에서 목적한 작업을 수행할 수 있으며, 이에 따라 챔버 하우징 내부의 압력 변화 또는 오염 등을 방지할 수 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 증착 시스템의 구성을 개략적으로 도시한 도면이다.
도 2는 도 1에 도시된 클러스터 타입의 기판 증착 챔버 내에서 증착 모듈에 의해 기판이 증착되는 것을 개략적으로 도시한 도면이다.
도 3은 도 2에 도시된 증착 모듈을 나타낸 도면이다.
도 4는 도 3의 증착 모듈이 메인트부에 결속된 상태를 도 3의 반대 방향에서 바라본 도면이다.
도 5는 도 4에 도시된 증착 모듈 및 메인트부의 결속 상태를 개략적으로 도시한 단면도이다.
도 6a 및 도 6b는 도 4에 도시된 증착 모듈을 메인트부에 고정하기 위한 클램핑부재의 동작을 도시한 도면이다.
이하, 첨부 도면을 참조하여 본 발명의 실시예에 따른 구성 및 적용에 관하여 상세히 설명한다. 이하의 설명은 특허 청구 가능한 본 발명의 여러 태양(aspects) 중 하나이며, 하기의 기술(description)은 본 발명에 대한 상세한 기술(detailed description)의 일부를 이룬다.
다만, 본 발명을 설명함에 있어서, 공지된 기능 혹은 구성에 관한 구체적인 설명은 본 발명의 요지를 명료하게 하기 위하여 생략하기로 한다.
도 1은 도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 증착 시스템의 구성을 개략적으로 도시한 도면이다.
이에 도시된 것처럼, 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 증착 시스템(100)은, 직사각 타입의 기판(W, 도 2 참조)에 유기 전계 발광 소자(OLED, Organic Luminescence Emitting Device)를 형성하기 위한 증착 시스템(100)으로서, 서로 이격되어 연속적으로 배치되는 복수 개의 트랜스퍼 모듈 챔버(10, 10a, 10b)와, 트랜스퍼 모듈 챔버(10, 10a, 10b)들 사이에 구비되어 기판(W)에 대한 버퍼링을 수행하는 버퍼 챔버(30a, 30b)들과, 각 트랜스퍼 모듈 챔버에 각각 구비되어 기판(W)에 대한 증착 공정을 실행하는 기판 증착 챔버(110, 110a, 110b)들을 포함할 수 있다.
도 1에 도시된 기판 증착 시스템(100)의 경우, 총 3개의 트랜스퍼 모듈 챔버(10, 10a, 10b)가 구비되고, 각각의 트랜스퍼 모듈 챔버(10, 10a, 10b)에 다른 증착 공정을 수행하는 기판 증착 챔버(110, 110a, 110b)들이 구비되어 있다.
예를 들면, 도 1에서 가장 좌측에 구비되는 트랜스퍼 모듈 챔버(10b)의 경우 총 2개의 기판 증착 챔버(110b)가 구비되고 아울러 마스크가 적층 보관되는 마스크 스토커(20b)가 구비되는데, 이들 기판 증착 챔버(110b)에서는 박막트랜지스터 기판 상에 유기 EL을 증착하는 공정이 이루어질 수 있다.
가운데 트랜스퍼 모듈 챔버(10a)의 경우, 총 4개의 기판 증착 챔버(110a)가 구비되는데, 이 기판 증착 챔버(110a)에서는 유기 EL이 증착된 기판 상에 무기물(inorganic)을 증착하는 공정이 이루어질 수 있다.
그리고, 가장 우측에 구비되는 트랜스퍼 모듈 챔버(10)의 경우, 총 2개의 기판 증착 챔버(110), 즉 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 증착 챔버(110)가 구비되고, 그에 인접하게 2개의 마스크 스토커(20)가 구비되어 마스크 교체가 필요한 경우 바로 기판 증착 챔버(110)에 마스크를 제공할 수 있다. 기판(W)에 대한 증착 공정을 수행하는 경우, 대략적으로 어느 정도의 증착 공정 횟수가 차면 마스크를 교체해야 하는데, 본 실시예의 경우 기판 증착 챔버(110)에 바로 인접하게 마스크를 보관한 마스크 스토커(20)가 있어서 마스크 교체를 신속하게 할 수 있다. 기판 증착 챔버(110)에서는 무기물이 증착된 기판(W) 상에 유기물, 즉 폴리머(polymer)를 증착하는 공정이 이루어질 수 있다.
여기서, 기판(W) 상에 무기물, 유기물, 무기물을 교대로 증착함으로써 기판(W)에 대한 증착 공정이 이루어질 수 있다. 다만, 유기 전계 발광 소자의 각 유기층의 필요한 증착 정밀도에 따라 각 트랜스퍼 모듈 챔버(10, 10a, 10b)에 배치되는 기판 증착 챔버(110, 110a, 110b)의 구성을 달리 할 수 있음은 당연하다.
한편, 버퍼 챔버(30a, 30b)는, 서로 인접한 트랜스퍼 모듈 챔버(10, 10a, 10b)를 연결하여 하나의 인라인(in-line) 시스템을 형성하도록 한다. 버퍼 챔버(30a, 30b)는, 도 1에 도시된 것처럼, 트랜스퍼 모듈(10, 10a, 10b) 사이에 배치되며, 기판(W)이 일시적으로 수용되어 트랜스퍼 모듈 챔버(10, 10a, 10b) 내에 구비되는 로봇암(미도시)이 기판(W)을 용이하게 이송할 수 있도록 한다.
한편, 이하에서는, 전술한 기판 증착 챔버(110, 110a, 110b) 중, 가장 우측의 트랜스퍼 모듈 챔버(10)에 배치되어 유기물을 증착하는 기판 증착 챔버(110)에 대해서 설명하기로 한다.
도 2는 도 1에 도시된 클러스터 타입의 기판 증착 챔버 내에서 증착 모듈에 의해 기판이 증착되는 것을 개략적으로 도시한 도면이고, 도 3은 도 2에 도시된 증착 모듈을 나타낸 도면이고, 도 4는 도 3의 증착 모듈이 메인트부에 결속된 상태를 도 3의 반대 방향에서 바라본 도면이며, 도 5는 도 4에 도시된 증착 모듈 및 메인트부의 결속 상태를 개략적으로 도시한 단면도이고, 도 6a 및 도 6b는 도 4에 도시된 증착 모듈을 메인트부에 고정하기 위한 클램핑부재의 동작을 도시한 도면이다.
본 발명의 일 실시예에 따른 기판 증착 시스템(100)의 기판 증착 챔버(110)는, 도 2에 도시된 것처럼, 챔버 하우징(120)과, 챔버 하우징(120) 내에서 증착 대상물인 기판(W)을 파지하는 척킹부(130)와, 챔버 하우징(120) 내에서 기판(W)의 일 방향을 따라 왕복 이동하며 기판(W)에 대한 증착 공정을 실행하는 증착 모듈(150)을 포함할 수 있다.
아울러 증착 모듈(150)에 구비되는 기화기(155, 도 5 참조)에 대해 유지보수 또는 교체가 요구되는 경우 챔버 하우징(120) 내의 진공 상태를 유지하도록 하면서 기화기(155)로의 접근을 가능하도록 하는 메인트부(160, 도 4 참조)를 포함할 수 있다.
먼저 본 실시예의 챔버 하우징(120)은, 도 2에 개략적으로 도시된 것처럼, 클러스터(cluster) 타입으로서 기판(W)의 증착을 위한 공간(120S)을 제공한다. 이러한 챔버 하우징(120)은 진공 상태를 유지함으로써 기판(W)에 대한 신뢰성 있는 공정이 진행될 수 있다.
이러한 챔버 하우징(120)의 내부 공간(120S)에는 척킹부(130)가 승강 가능하게 구비된다. 척킹부(130)가 기판(W)을 파지한 상태에서 하강하면 얼라인부(미도시)에 의해 기판(W)이 얼라인되어 챔버 하우징(120) 내에서 기판(W)은 정확한 위치에 배치될 수 있다.
아울러, 챔버 하우징(120) 내에는 후술할 증착 모듈(150)의 유기물 분사부재(156, 도 5 참조)를 통해 분사되는 유기물, 즉 모노머 중 기판(W)으로 향하지 못하고 챔버 하우징(120) 내에서 부유하는 모노머를 트래핑하는 컨파인먼트부(미도시)가 구비될 수 있다. 유기물이 기판(W)이 아닌 챔버 하우징(120) 내에 부유되는 경우 기판(W)에 대한 증착 공정의 신뢰성이 저하될 뿐만 아니라 챔버 하우징(120) 내부에 오염 문제가 발생될 수 있는데, 본 실시예의 경우 컨파인먼트부가 유기물 중 일부(증착되지 못하고 부유하는 유기물)를 트래핑할 수 있어 이러한 문제 발생을 방지할 수 있다.
한편, 본 실시예의 증착 모듈(150)은, 도 3 및 도 5에 도시된 바와 같이, 기화기(155)가 장착되는 모듈 하우징(151)과, 모듈 하우징(151)을 선형 이동시키는 이동부재(미도시)와, 기화기(155)에 의해 기화된 유기물 즉 모노머를 기판(W) 방향으로 분사하는 유기물 분사부재(156)와, 유기물 분사부재(156)의 분사구를 선택적으로 개방하거나 커버하는 커버부재(158)를 포함할 수 있다.
이러한 구성에 의해서, 도 2에 도시된 바와 같이, 증착 모듈(150)은 기판(W)의 일 방향을 따라 이동하면서 기판(W)에 유기물을 분사하여 기판(W)에 대한 증착 공정을 실행할 수 있다.
모듈 하우징(151)은, 도 3에 도시된 바와 같이, 증착 모듈(150)의 기본 틀을 형성하는 것으로서 도시하지는 않았지만 이동부재로부터 제공되는 구동력에 의해 이동 가능한 구조를 가지며, 아울러 내측에는 기판(W) 증착을 위한 다수의 구성이 장착된다.
유기물 분사부재(156)는, 도 5에 개략적으로 도시된 것처럼, 기화기(155)와 연결되어 기화기(155)로부터 기화된 모노머를 기판(W) 방향으로 분사한다. 이러한 유기물 분사부재(156)의 상부에는 개폐 가능한 커버부재(158)가 장착되어 유기물 분사부재(156)로부터 유기물을 분사하지 않는 경우 유기물 분사부재(156)의 분사구를 차단할 수 있고, 유기물을 분사하는 경우 커버부재(158)가 분사구를 개방하여 유기물이 기판(W)을 향할 수 있도록 한다.
이동부재는, 모듈 하우징(151)을 기판(W)의 일 방향 또는 타 방향으로 선형 이동시키는 구동력을 발생시킨다. 이러한 이동부재는 예를 들면 레일 형식으로 마련되어 모듈 하우징(151)의 이동이 이루어질 수 있도록 한다. 또는 컨베이어 형식으로 이동부재가 마련되어 모듈 하우징(151)의 이동이 구현될 수도 있을 것이다. 또는 모듈 하우징(151)의 이동이 진동을 최대한 배제한 상태로 선형으로 이루어지도록 이동부재가 리니어모터 구조로 마련될 수 있음은 당연하다. 다만, 이에 한정되는 것은 아니며, 전술한 것처럼 챔버 하우징(120) 내에서 모듈 하우징(151)을 원활하면서도 정확하게 이동시킬 수 있는 것이라면 이동부재의 다른 적용도 가능할 것이다.
한편, 전술한 것처럼, 증착 모듈(150)의 작동에 의해 기판(W)에 대한 증착 공정을 반복적으로 실행하게 되면, 일 구성을 교체하거나 유지보수해야 하는 경우가 발생될 수 있다. 예를 들면, 모듈 하우징(151) 내의 기화기(155)를 교체해야 하는 경우가 생기거나 유지보수해야 하는 경우가 발생될 수 있다.
다만, 기화기(155)의 교체 또는 유지보수의 경우 챔버 하우징(120)의 진공 상태를 유지하는 가운데 이루어져야 한다. 왜냐하면, 챔버 하우징(120)의 진공 상태가 이루어지지 않은 상태에서 전술한 작업이 이루어지는 경우 챔버 하우징(120) 내부가 오염될 우려가 있기 때문이다.
이에 본 실시예에서는, 챔버 하우징(120)의 진공 상태를 유지하면서 기화기(155)를 교체 또는 유지보수할 수 있도록 하는 메인트부(160)를 더 포함한다. 이러한 메인트부(160)는 전술한 증착 모듈(150)과 상호 연동되는 구조를 가짐으로써 기화기(155)의 교체 또는 유지보수 시 챔버 하우징(120)의 진공 상태를 유지할 수 있도록 한다.
이를 위해, 증착 모듈(150)의 모듈 하우징(151)의 구성에 대해 추가 설명하면, 도 3 및 도 5에 도시된 것처럼, 모듈 하우징(151)의 일측벽(152)에는 사각 형상으로 관통된 접근홀(153h)이 형성되고 이 접근홀(153h)에 제1 개폐도어(153)가 개폐 가능하게 장찰 수 있다.
그리고 모듈 하우징(151)의 일측벽(152)에는 도 3의 부분 확대도 및 도 5에 도시된 것처럼, 사각 형상의 띠 모양을 갖는 실링부재(170)가 돌출 형성된다. 다시 말해, 접근홀(153h)이 형성된 일측벽(152)에서 접근홀(153h)을 감싸는 형태로 실링부재(170)가 돌출 형성되는 것이다.
실링부재(170)는 탄성력을 갖는 러버 재질로 마련될 수 있다. 다만, 이에 한정되는 것은 아니다.
한편, 메인트부(160)는, 도 4 및 도 5에 도시된 것처럼, 챔버 하우징(120)의 일측벽으로 마련되는 측벽부재(161)와, 측벽부재(161)에 형성된 관통홀(163h)에 개폐 가능하게 장착되는 제2 개폐도어(163)를 포함할 수 있다. 여기서, 모듈 하우징(151)의 제1 개폐도어(153) 및 측벽부재(161)의 제2 개폐도어(163)는 대응되는 위치에 장착되어 모듈 하우징(151)이 측벽부재(161) 방향으로 이동하는 경우, 도 5에 도시된 것처럼, 제1 개폐도어(153) 및 제2 개폐도어(163)는 동일한 높이 선상에서 상호 마주보며 배치될 수 있다.
이러한 구성에 의해서, 모듈 하우징(151)이 측벽부재(161) 방향으로 접근하게 되면 모듈 하우징(151)이 일측벽(152)에 형성될 실링부재(170)가 측벽부재(161)의 내측벽에 접촉하게 된다. 이 때 실링부재(170)는 전술한 것처럼 러버 재질 등으로 마련되기 때문에, 도 5에 도시된 것처럼, 실링부재(170)의 단부는 측벽부재(161)의 내측벽에 긴밀하게 밀착될 수 있고 따라서 모듈 하우징(151)의 일측벽(152)과 측벽부재(161)의 내측벽의 사이 공간에서 실링부재(170)를 기준으로 실링부재(170)의 안쪽 공간(20S)과 바깥 공간(챔버 하우징(120S)가 연통되는 공간)이 완전히 구획될 수 있다.
여기서, 모듈 하우징(151)의 일측벽(152)과 측벽부재(161)의 내측벽의 사이 공간에서 실링부재(170)를 기준으로 실링부재(170)의 안쪽 공간(20S)과 바깥 공간(챔버 하우징(120S)가 연통되는 공간)의 구획을 보다 확실히 하기 위해, 측벽부재(161)의 내측벽에는 실링부재(170)의 사각 띠 형상에 대응되는 홈부재(미도시)가 함몰 형성될 수 있다. 따라서 모듈 하우징(151)이 측벽부재(161) 방향으로 이동할 때 실링부재(170)가 측벽부재(161)에 닿은 정도를 넘어서 실링부재(170)의 단부가 측벽부재(161)의 홈부재 내측으로 인입될 수 있어 공간 구획을 보다 확실히 할 수 있다.
아울러, 본 실시예의 메인트부(160)는 측벽부재(161)에 대한 모듈 하우징(151)의 위치를 보다 견고하게 유지할 수 있도록, 도 6a 및 도 6b에 도시된 바와 같이, 클램핑부재(180)를 더 포함할 수 있다.
클램핑부재(180)는, 측벽부재(161)의 양측부에 각각 마련되고, 중심부를 기준으로 회동 가능하게 장착된다. 전술한 모듈 하우징(151)의 일측벽(152)은 측벽부재(161)의 너비에 대응되는 크기를 갖는데, 모듈 하우징(151)을 측벽부재(161) 방향으로 이동시킨 후 클램핑부재(180)로 모듈 하우징(151)의 일측벽(152)을 클램핑할 수 있으며, 이로 인해 측벽부재(161)에 대한 모듈 하우징(151)의 위치를 유지할 수 있다.
이와 같이, 메인트부(160)를 이용하여 증착 모듈(150)의 모듈 하우징(151)을 고정시킨 다음 기화기(155)에 대한 교체 또는 유지보수 작업을 할 수 있는데, 전술한 것처럼, 모듈 하우징(151)의 일측벽(152)과 측벽부재(161)의 내측벽의 사이 공간에서 실링부재(170)를 기준으로 실링부재(170)의 안쪽 공간(20S)과 바깥 공간이 완전히 구획됨으로써 바깥 공간과 연통되는 챔버 하우징(120)의 내부 공간(120S)은 원래의 상태 즉 진공 상태를 유지할 수 있다.
기화기(155)의 교체 작업에 대해 설명하면, 먼저, 측벽부재(161)의 관통홀(163h)로부터 제2 개폐도어(163)를 분리시킨다. 그리고 모듈 하우징(151)의 일측벽(152)으로부터 제1 개폐도어(153)를 분리하는데 이 작업은 개방된 관통홀(163h)을 통하여 할 수 있다. 그러면, 제1 개폐도어(153) 및 제2 개폐도어(163)가 분리된 상태가 되고, 모듈 하우징(151)의 내부 공간으로 접근이 가능하게 된다.
다만, 전술한 것처럼, 모듈 하우징(151)의 일측벽(152)과 측벽부재(161)의 내측벽의 사이 공간에서 실링부재(170)를 기준으로 실링부재(170)의 안쪽 공간(20S)이 바깥 공간과 구획되기 때문에, 기화기(155)의 교체 또는 유지보수 작업을 진행하더라도 챔버 하우징(120)의 내부 공간(120S)은 진공 상태를 유지하게 된다. 기화기(155)에 대한 교체 또는 유지보수 작업을 완료한 후 다시 제1 개폐도어(153) 및 제2 개폐도어(163)를 닫으면 챔버 하우징(120) 내부 공간(120S)은 외부 공간과 구획됨으로써 증착 모듈(150)이 다른 위치로 이동되더라도 챔버 하우징(120)의 내부 공간(120S)은 진공 상태를 유지될 수 있다.
이와 같이, 본 발명의 일 실시예에 따르면, 기판(W)을 증착시키는 증착 모듈(150)에 구비되는 기화기(155)를 교체 또는 유지보수할 때 메인트부(160)에 의해서 챔버 하우징(120)의 진공을 유지한 상태에서 목적한 작업을 수행할 수 있으며, 이에 따라 챔버 하우징(120) 내부의 압력 변화 또는 오염 등을 방지할 수 있는 장점이 있다.
한편, 본 발명은 기재된 실시예에 한정되는 것이 아니고, 본 발명의 사상 및 범위를 벗어나지 않고 다양하게 수정 및 변형할 수 있음은 이 기술의 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 자명하다. 따라서 그러한 수정예 또는 변형예들은 본 발명의 특허청구범위에 속한다 하여야 할 것이다.
100 : 기판 증착 시스템
110 : 기판 증착 챔버
120 : 챔버 하우징
150 : 증착 모듈
151 : 모듈 하우징
153 : 제1 개폐도어
160 : 메인트부
163 : 제2 개폐도어
180 : 클램핑부재

Claims (9)

  1. 기판에 유기 전계 발광 소자를 형성하기 위한 기판 증착 시스템의 기판 증착 챔버에 있어서,
    기판에 대한 증착 공정이 실행되는 공간을 제공하는 챔버 하우징;
    상기 챔버 하우징 내에서 이동 가능하게 장착되어 상기 기판에 대한 증착 공정을 실행하는 증착 모듈; 및
    상기 증착 모듈에 구비되는 기화기에 대해 유지보수 또는 교체가 요구되는 경우 상기 챔버 하우징의 진공 상태를 유지하도록 하면서 상기 기화기로의 접근을 가능하도록 하는 메인트부;
    를 포함하는 기판 증착 챔버.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 증착 모듈은,
    상기 기화기가 장착되며, 상기 메인트부를 향하는 일측벽에 상기 기화기로의 접근을 가능하게 하는 접근홀이 관통 형성되는 모듈 하우징; 및
    상기 모듈 하우징의 상기 접근홀에 개폐 가능하게 구비되는 제1 개폐도어를 포함하고,
    상기 메인트부는,
    상기 챔버 하우징의 일측벽으로 마련 가능한 측벽부재; 및
    상기 측벽부재에 관통 형성된 관통홀에 개폐 가능하게 구비되는 제2 개폐도어를 포함하며,
    상기 제1 개폐도어 및 상기 제2 개폐도어가 마주보도록 상기 측벽부재에 대해 상기 모듈 하우징을 이동시킨 후 상기 제1 개폐도어 및 상기 제2 개폐도어를 개방하면 상기 기화기로의 접근이 가능하되 상기 챔버 하우징 내부는 진공이 유지되는 기판 증착 챔버.
  3. 제2항에 있어서,
    상기 제1 개폐도어가 배치되는 상기 모듈 하우징의 일측벽 또는 상기 제2 개폐도어가 배치되는 상기 측벽부재의 내측벽 중 어느 하나에는 상기 모듈 하우징의 일측벽 및 상기 측벽부재의 내측벽이 접근 시 벽간을 밀착시키는 실링부재가 돌출 형성되는 기판 증착 장치.
  4. 제3항에 있어서,
    상기 모듈 하우징의 일측벽 또는 상기 측벽부재의 내측벽 중 다른 하나에는 상기 실링부재의 형상에 대응되는 홈부재가 함몰 형성되는 기판 증착 챔버.
  5. 제3항에 있어서,
    상기 실링부재는 탄성력을 갖는 러버(rubber) 재질로 마련되는 기판 증착 챔버.
  6. 제3항에 있어서,
    상기 기화기의 교체를 위해 상기 증착 모듈의 상기 모듈 하우징의 일측벽을 상기 측벽부재의 내측벽에 밀착시킨 경우 상기 측벽부재에 대한 상기 모듈 하우징의 위치가 유지되도록 상기 측벽부재에는 상기 모듈 하우징에 선택적으로 클램핑(clamping)되는 클램핑부재가 구비되는 기판 증착 챔버.
  7. 제2항에 있어서,
    상기 증착 모듈은,
    상기 모듈 하우징에 구비되어 상기 기화기에 의해 기화된 유기물을 상기 기판 방향으로 분사하는 유기물 분사부재; 및
    상기 유기물 분사부재를 선택적으로 개방하거나 커버하는 커버부재를 더 포함하는 기판 증착 챔버.
  8. 제2항에 따른 기판 증착 챔버의 기화기 교체 또는 유지보수 방법에 있어서,
    상기 증착 모듈의 상기 모듈 하우징을 상기 메인트부의 상기 측벽부재로 접촉될 때까지 이동시켜, 상기 모듈 하우징의 상기 제1 개폐도어가 상기 측벽부재의 상기 제2 개폐도어에 대응되도록 하되 마주보는 상기 모듈 하우징의 일측벽 및 상기 측벽부재의 내측벽 사이를 밀착시키는, 증착 모듈 이동 단계; 및
    상기 제1 개폐도어 및 상기 제2 개폐도어를 개방시키고 상기 모듈 하우징 내의 상기 기화기를 교체하거나 유지보수하는 단계;
    를 포함하는 기판 증착 챔버의 기화기 교체 또는 유지보수 방법.
  9. 제8항에 있어서,
    상기 증착 모듈 이동 단계 시, 상기 제1 개폐도어가 배치되는 상기 모듈 하우징의 외측벽 또는 상기 제2 개폐도어가 배치되는 상기 측벽부재의 내측벽 중 어느 하나에 구비된 실링부재에 의해서 상기 모듈 하우징 및 상기 측벽부재의 밀착에 의한 상기 챔버 하우징의 내부 공간의 진공이 유지되는 기판 증착 챔버의 기화기 교체 또는 유지보수 방법.
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