KR20160122290A - Jig for X-ray Examination - Google Patents
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Abstract
Description
본 발명은 엑스레이 촬영용 지그에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 검사 대상물을 서로 직교하는 두 회전축을 중심으로 회전 가능하게 하여 검사 대상물의 모든 면을 촬영할 수 있는 엑스레이 촬영용 지그에 관한 것이다.
The present invention relates to an x-ray photographing jig, and more particularly to an x-ray photographing jig capable of photographing all surfaces of an object to be inspected by allowing the object to be inspected to rotate about two rotational shafts orthogonal to each other.
일반적으로, 가전제품이나 컴퓨터 등과 같은 전기전자제품의 주요부품으로 내장되는 인쇄회로기판(PCB)에는 예컨대, 반도체칩이나 저항칩과 같은 소형 전자부품이 납땜에 의해 실장된다.2. Description of the Related Art Generally, a small electronic component such as a semiconductor chip or a resistance chip is mounted on a printed circuit board (PCB) embedded as a main component of an electrical and electronic product such as a household appliance or a computer by soldering.
따라서, 이러한 인쇄회로기판은 전기전자제품 세트에 내장되는 과정에 있어서 실장된 전자부품의 납땜상태에 대한 양부를 검사하는 과정을 거치게 된다. 이와 같이 인쇄회로기판(PCB)의 납땜상태를 검사하기 위한 것으로, 최근에는 엑스레이(X-ray) 검사장치가 주로 이용되고 있다.Accordingly, the printed circuit board is subjected to a process of inspecting the soldered state of the mounted electronic component in the process of being embedded in the set of the electrical and electronic product. In order to check the soldering condition of the printed circuit board (PCB), an X-ray inspection apparatus is mainly used.
상술한 바와 같은 인쇄회로기판의 엑스레이 검사장치는 엑스레이 차폐를 위한 실내공간이 형성되도록 제작된 캐비넷의 내부에 공급되어 검사위치에 세팅되는 인쇄회로기판에 엑스레이를 조사하여 투영된 영상을 엑스레이 디텍터로 촬상하여 출력되는 영상정보를 통해 인쇄회로기판의 납땜부에 대한 납땜상태의 양부를 판정하도록 되어 있다.The above-described X-ray inspection apparatus for a printed circuit board is irradiated with X-rays onto a printed circuit board, which is supplied to the inside of a cabinet formed for forming an indoor space for shielding an X-ray and is set at an inspection position, And judges whether the soldered state of the printed circuit board to the soldered portion is positive or negative, through the image information output from the printed circuit board.
한편, 종래 인쇄회로기판의 엑스레이 검사장치는, 검사대상 인쇄회로기판이 놓이는 지그가 고정되어 있으며, 통상 검사위치에 세팅된 인쇄회로기판의 하방과 상방에 각각 엑스레이 발생기와 엑스레이 디텍터를 고정된 상태로 설치하여 납땜상태를 검사함으로써, 납땜 검사부위에 대해 입체적인 다양한 형태의 촬상 입사각을 얻기가 어려워 검사 정밀도가 저하되는 문제점이 있었으며, 특히 다층 구조를 가지는 인쇄회로기판의 내부에 형성된 납땜부는 표면에 형성된 납땜부에 의해 영상 촬상이 방해됨에 따라 기본적인 검사도 수행하기가 어려운 문제점을 가지고 있다.Meanwhile, in the conventional X-ray inspection apparatus for a printed circuit board, a jig on which a printed circuit board to be inspected is fixed, and an X-ray generator and an X-ray detector are fixed on the lower and upper sides of a printed circuit board set at a normal inspection position It is difficult to obtain various types of three-dimensional imaging angle of incidence with respect to the solder inspection region by inspecting the solder state. In particular, the soldering portion formed inside the printed circuit board having a multi- It is difficult to carry out a basic inspection because the image pickup is interrupted by the part.
도 1은 종래의 엑스레이 촬영 장치를 나타내는 도면이다.1 is a view showing a conventional X-ray imaging apparatus.
상기와 같은 문제점을 해결하기 위하여 도 1에 도시된 바와 같이 검사대상 인쇄회로기판(10)에 대해 엑스레이 발생기(30)는 고정되도록 설치하고 엑스레이 디텍터(40)를 가변 가능한 상태로 설치하여 검사 부위에 대해 다양한 촬상 입사각으로 영상정보를 얻을 수 있도록 구성함으로써 검사 부위의 입체적인 영상정보를 취득할 수 있는 인쇄회로기판의 엑스레이 검사방법 및 검사장치가 개발되었다.1, the x-ray generator 30 is fixed to the printed
그러나, 종래의 엑스레이 촬영 장치에서는 검사대상 인쇄회로기판(10)이 놓이는 지그(200가 이동 또는 회전이 불가능하기 때문에 검사대상 인쇄회로기판(10)의 모든 면을 촬영할 수 없는 문제점이 있다.
However, in the conventional X-ray photographing apparatus, there is a problem that all surfaces of the printed
본 발명은 상기한 종래의 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로서, 본 발명의 목적은 다음과 같다.SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made to overcome the above-mentioned problems, and an object of the present invention is as follows.
본 발명은 엑스레이 발생기 및 디텍터를 고정한 상태에서 검사 대상물의 모든 면을 촬영할 수 있는 엑스레이 촬영용 지그를 제공하고자 한다.An object of the present invention is to provide an x-ray photographing jig capable of photographing all surfaces of an object to be inspected while fixing the x-ray generator and the detector.
본 발명의 과제들은 이상에서 언급한 과제들로 제한되지 않으며, 언급되지 않는 또 다른 과제들은 아래의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.
The problems of the present invention are not limited to the above-mentioned problems, and other problems not mentioned can be clearly understood by those skilled in the art from the following description.
상기한 목적을 달성하기 위하여 본 발명의 일 실시예에 따른 엑스레이 촬영용 지그는 제 1 회전부 및 제 2 회전부를 포함한다.According to an aspect of the present invention, an X-ray photographing jig includes a first rotating part and a second rotating part.
상기 제 1 회전부는 설치면과 평행한 제 1 회전축을 중심으로 회전한다.The first rotating portion rotates around a first rotation axis parallel to the mounting surface.
상기 제 2 회전부는 상면에 검사 대상물이 놓이며, 상기 제 1 회전부 상에 설치되어 상기 제 1 회전부와 함께 회전하고, 상기 제 1 회전축과 수직인 제 2 회전축을 중심으로 회전한다.The second rotating part is disposed on the upper surface of the second rotating part, rotates together with the first rotating part, and rotates around a second rotating axis perpendicular to the first rotating axis.
본 실시예의 엑스레이 촬영용 지그는 상기 제 1 회전부를 회전시키는 제 1 회전구동부 및 상기 제 2 회전부를 회전시키는 제 2 회전구동부를 더 포함할 수 있다.The x-ray photographing jig of the present embodiment may further include a first rotation driving unit for rotating the first rotation unit and a second rotation driving unit for rotating the second rotation unit.
상기 제 2 회전부는 엑스레이 투과성 재질로 형성될 수 있다.The second rotating part may be formed of an X-ray transmissive material.
상기 제 1 회전부 및 상기 제 2 회전부는 360도 회전 가능하게 구성될 수 있다.The first rotating part and the second rotating part may be configured to be rotatable 360 degrees.
상기 제 1 회전부는 x축, y축, z축으로 이동 가능하게 구성될 수 있다.The first rotating unit may be configured to be movable in the x-axis, the y-axis, and the z-axis.
이를 위하여, 본 실시예의 엑스레이 촬영용 지그는 설치면에 대해 상, 하 방향으로 수직 이동하는 z 스테이지, 상기 z스테이지 상에 설치되어 상기 z스테이지에 대해 일방향으로 수평 이동하는 x스테이지 및 상기 x스테이지 상에 설치되어 상기 x스테이지의 이동 방향과 수직한 방향으로 수평이동하는 y스테이지를 더 포함할 수 있다.To this end, the x-ray photographing jig of this embodiment comprises a z-stage which vertically moves upward and downward with respect to an installation surface, an x-stage which is provided on the z-stage and moves horizontally in one direction with respect to the z- And a y stage that horizontally moves in a direction perpendicular to the movement direction of the x stage.
그리고, 상기 제 1 회전부는 상기 y스테이지 상에 설치되어 상기 y스테이지와 함께 이동할 수 있다.The first rotation unit may be installed on the y stage and move together with the y stage.
이를 위하여, 본 실시예의 엑스레이 촬영용 지그는 상기 z스테이지를 이동시키는 z축 구동부, 상기 x스테이지를 이동시키는 x축 구동부 및 상기 y스테이지를 이동시키는 y축 구동부를 더 포함할 수 있다.To this end, the x-ray photographing jig of the present embodiment may further include a z-axis driving unit for moving the z-stage, an x-axis driving unit for moving the x-stage, and a y-axis driving unit for moving the y-
상기 제 1 회전부, 상기 x스테이지, 상기 y스테이지 및 상기 z스테이지의 중앙에는 서로 연통되는 개구부가 형성될 수 있다.An opening communicating with the first rotating part, the x stage, the y stage, and the z stage may be formed at the center.
또는, 상기 제 1 회전부, 상기 제 2 회전부, 상기 x스테이지, 상기 y스테이지 및 상기 z스테이지는 투명한 재질의 플레이트 형상을 가질 수 있다.Alternatively, the first rotating portion, the second rotating portion, the x stage, the y stage, and the z stage may have a plate shape of a transparent material.
상기 제 2 이동부는 상기 제 2 이동부의 상부에 구비되어 상기 검사 대상물이 놓이는 받침부를 포함할 수 있다.
The second moving unit may include a receiving unit provided on the second moving unit to receive the inspection object.
상기와 같이 구성된 본 발명의 효과에 대하여 설명하면 다음과 같다.The effects of the present invention will be described below.
본 발명의 일 실시예에 따른 엑스레이 촬영용 지그에 의하면 검사 대상물이 놓이는 제 2 회전부가 서로 직교하는 제 1 회전축 및 제 2 회전축을 중심으로 회전하며, x축, y축, z축으로 이동함으로써 엑스레이 발생기 또는 디텍터의 이동 없이 검사 대상물의 모든 면을 촬영할 수 있는 장점이 있다.According to the x-ray photographing jig according to the embodiment of the present invention, the second rotating part on which the inspection object is placed rotates about the first rotation axis and the second rotation axis which are orthogonal to each other and moves in the x axis, the y axis and the z axis, Or all surfaces of the object to be inspected can be photographed without moving the detector.
본 발명의 효과들은 이상에서 언급한 효과들로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 효과들은 청구범위의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.
The effects of the present invention are not limited to the effects mentioned above, and other effects not mentioned can be clearly understood by those skilled in the art from the description of the claims.
아래에서 설명하는 본 출원의 바람직한 실시예의 상세한 설명뿐만 아니라 위에서 설명한 요약은 첨부된 도면과 관련해서 읽을 때에 더 잘 이해될 수 있을 것이다. 본 발명을 예시하기 위한 목적으로 도면에는 바람직한 실시예들이 도시되어 있다. 그러나, 본 출원은 도시된 정확한 배치와 수단에 한정되는 것이 아님을 이해해야 한다.
도 1은 종래의 엑스레이 촬영 장치를 나타내는 도면;
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 엑스레이 촬영용 지그를 나타내는 사시도;
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 엑스레이 촬영용 지그의 제 1 회전부가 회전한 모습을 나타내는 도면;
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 엑스레이 촬영용 지그의 제 2 회전부가 회전한 모습을 나타내는 도면;
도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 엑스레이 촬영용 지그의 z스테이지가 이동한 모습을 나타내는 도면;
도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 엑스레이 촬영용 지그의 x스테이지가 이동한 모습을 나타내는 도면; 및
도 7는 본 발명의 일 실시예에 따른 엑스레이 촬영용 지그의 y스테이지가 이동한 모습을 나타내는 도면이다.The foregoing summary, as well as the detailed description of the preferred embodiments of the present application set forth below, may be better understood when read in conjunction with the appended drawings. For the purpose of illustrating the invention, there are shown preferred embodiments in the figures. It should be understood, however, that this application is not limited to the precise arrangements and instrumentalities shown.
1 is a view showing a conventional X-ray imaging apparatus;
2 is a perspective view illustrating an X-ray photographing jig according to an embodiment of the present invention;
3 is a view illustrating a rotation of a first rotating part of an x-ray photographing jig according to an embodiment of the present invention;
4 is a view illustrating a rotation of a second rotating part of an x-ray photographing jig according to an embodiment of the present invention;
5 is a view showing a state where a z stage of an x-ray photographing jig according to an embodiment of the present invention is moved;
6 is a view showing a state where the x stage of the x-ray photographing jig according to the embodiment of the present invention is moved; And
7 is a view showing a movement of the y-stage of the x-ray photographing jig according to the embodiment of the present invention.
이하 본 발명의 실시예에 대하여 첨부한 도면을 참조하여 상세하게 설명하기로 한다. 다만, 첨부된 도면은 본 발명의 내용을 보다 쉽게 개시하기 위하여 설명되는 것일 뿐, 본 발명의 범위가 첨부된 도면의 범위로 한정되는 것이 아님은 이 기술분야의 통상의 지식을 가진 자라면 용이하게 알 수 있을 것이다. Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. It is to be understood, however, that the appended drawings illustrate the present invention in order to more easily explain the present invention, and the scope of the present invention is not limited thereto. You will know.
그리고, 본 발명의 실시예를 설명함에 있어서, 동일 기능을 갖는 구성요소에 대해서는 동일 명칭 및 동일부호를 사용할 뿐 실질적으론 종래기술의 구성요소와 완전히 동일하지 않음을 미리 밝힌다.In describing the embodiments of the present invention, it is to be noted that elements having the same function are denoted by the same names and numerals, but are substantially not identical to elements of the prior art.
또한, 본 출원에서 사용한 용어는 단지 특정한 실시예를 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 발명을 한정하려는 의도가 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 본 출원에서, "포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 명세서상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.Also, the terms used in the present application are used only to describe certain embodiments and are not intended to limit the present invention. The singular expressions include plural expressions unless the context clearly dictates otherwise. In the present application, the terms "comprises" or "having" and the like are used to specify that there is a feature, a number, a step, an operation, an element, a component or a combination thereof described in the specification, But do not preclude the presence or addition of one or more other features, integers, steps, operations, elements, components, or combinations thereof.
이하, 도면을 참조하여 본 발명의 일 실시예에 따른 엑스레이 촬영용 지그에 대하여 설명한다.Hereinafter, an X-ray photographing jig according to an embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 엑스레이 촬영용 지그를 나타내는 사시도이고, 도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 엑스레이 촬영용 지그의 제 1 회전부가 회전한 모습을 나타내는 도면이고, 도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 엑스레이 촬영용 지그의 제 2 회전부가 회전한 모습을 나타내는 도면이다.FIG. 2 is a perspective view showing a jig for taking an X-ray according to an embodiment of the present invention, FIG. 3 is a view showing a rotation of a first rotating part of an X-ray photographing jig according to an embodiment of the present invention, FIG. 5 is a view showing a rotation of a second rotating part of an x-ray photographing jig according to an embodiment of the present invention;
도 2 내지 도 4에 도시된 바와 같이, 본 발명의 일 실시예에 따른 엑스레이 촬영용 지그는 제 1 회전부(100) 및 제 2 회전부(200)를 포함한다.2 to 4, the x-ray photographing jig according to an embodiment of the present invention includes a first rotating
제 1 회전부(100)는 설치면과 평행한 제 1 회전축을 중심으로 회전한다. 그리고, 제 1 회전부(100)의 중앙에는 엑스레이가 통과할 수 있도록 개구부가 형성될 수 있다. 본 실시예에서 제 1 회전부(100)는 사가 틀 형태의 프레임이며, 제 1 회전부(100)의 내측에는 후술할 제 2 프레임이 위치할 수 있다.The
제 1 회전부(100)는 제 1 회전 구동부(120)에 의해 회전할 수 있다. 예를 들면, 제 1 회전 구동부(120)는 제 1 회전부(100)를 회전시키는 제 1 모터(122)를 포함할 수 있다.The
제 1 회전 구동부(120)는 제 1 회전부(100)를 360도 회전시킬 수 있다. 또한, 제 1 회전 구동부(120)의 제 1 모터(122)는 정방향 또는 역방향으로 회전하여 제 1 회전부(100)를 정방향 또는 역방향으로 회전시킬 수 있다.The first
제 2 회전부(200)는 사각 프레임 형상의 제 1 회전부(100)의 내측에 위치하는 사각 플레이트 형상일 수 있다. 제 2 회전부(200)의 상면에는 검사 대상물이 놓인다. 제 2 이동부는 제 2 이동부의 상부에 구비되어 검사 대상물이 놓이는 받침부(240)를 포함할 수 있다.The second
일반적으로, 검사 대상물의 상부에 엑스레이 발생기(미도시)가 위치하고 검사 대상물의 하부에 디텍터(미도시)가 위치하거나, 또는 이와 반대로 배치되기 때문에 검사 대상물이 놓이는 제 2 회전부(200)가 엑스레이 불투과성 재질로 형성된다면 검사 대상물의 결함 검사가 불가능하다.Generally, since an X-ray generator (not shown) is disposed on the upper part of the object to be inspected and a detector (not shown) is disposed on the lower part of the object to be inspected or vice versa, the second
따라서, 제 2 회전부(200)는 엑스레이 투과성 수지게열, 카본게열 등이 적용될 수 있다. 그리고, 제 2 회전부(200)에는 투명한 재질이 적용될 수 있다. 그러나, 제 2 회전부(200)의 재질은 상술하는 것에 한정되는 것이 아니며, 투명한 엑스레이 투과성 재질이라면 어떤 것이든 적용될 수 있다.Therefore, the second
제 2 회전부(200)는 제 1 회전부(100) 상에 설치되어 제 1 회전부(100)와 함께 회전하고, 제 1 회전축과 수직인 제 2 회전축을 중심으로 회전한다.The second
제 2 회전부(200)는 제 2 회전 구동부(220)에 의해 회전할 수 있다. 예를 들면, 제 2 회전 구동부(220)는 제 2 회전부(200)와 결합되어 제 2 회전축을 중심으로 회전하는 회전 샤프트(222), 회전 샤프트(222)를 회전시키는 제 2 모터(224)를 포함할 수 있다.The
제 2 샤프트는 제 1 회전부(100)의 일측으로부터 제 1 회전부(100)의 타측까지 제 2 회전부(200)를 가로지르도록 배치될 수 있다. 이로써, 제 2 회전부(200)는 제 1 회전부(100)의 회전에 따라 제 1 회전축을 중심으로 회전하는 동시에 제 2 회전축을 중심으로 회전할 수 있다. 따라서, 제 2 회전부(200) 상에 놓이는 검사 대상물은 서로 수직하게 배치되는 제 1 회전축 및 제 2 회전축, 즉 2축 회전을 할 수 있다.The second shaft may be arranged to cross the
제 2 회전 구동부(220)는 제 2 회전부(200)를 360도 회전시킬 수 있다. 또한, 제 2 회전 구동부(220)의 제 2 모터(224)는 정방향 또는 역방향으로 회전하여 제 2 회전부(200)를 정방향 또는 역방향으로 회전시킬 수 있다.The second
제 1 회전부(100) 및 제 2 회전부(200)가 상기와 같이 회전 가능하게 구성됨으로써 카메라는 검사 대상물의 전면을 촬영할 수 있다.Since the first
도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 엑스레이 촬영용 지그의 z스테이지가 이동한 모습을 나타내는 도면이고, 도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 엑스레이 촬영용 지그의 x스테이지가 이동한 모습을 나타내는 도면이고, 도 7는 본 발명의 일 실시예에 따른 엑스레이 촬영용 지그의 y스테이지가 이동한 모습을 나타내는 도면이다.FIG. 5 is a view showing a state where a z stage of an x-ray photographing jig according to an embodiment of the present invention is moved, FIG. 6 is a view showing a state where an x stage of a jig for taking an x- And FIG. 7 is a view showing a movement of the y-stage of the x-ray photographing jig according to the embodiment of the present invention.
도 5 내지 도 7에 도시된 바와 같이, 제 1 회전부(100)는 x축, y축, z축으로 이동 가능하게 구성될 수 있다.5 to 7, the first
이를 위하여, 설치면에 대해 상, 하 방향으로 수직 이동하는 z스테이지(300), z스테이지(300) 상에 설치되어 z스테이지(300)와 함께 상, 하 방향으로 이동하며 z스테이지(300)에 대해 일방향으로 수평 이동하는 x스테이지(400) 및 x스테이지(400) 상에 설치되어 x스테이지(400)의 이동 방향과 수직한 방향으로 수평이동하는 y스테이지(500)가 구비되며, 제 1 회전부(100)는 y스테이지(500) 상에 설치되어 y스테이지(500)와 함께 이동할 수 있다.To this end, a z-
이를 위하여, z스테이지(300)를 이동시키는 z축 구동부(320), x스테이지(400)를 이동시키는 x축 구동부(420) 및 y스테이지(500)를 이동시키는 y축 구동부(420)가 구비될 수 있다.To this end, a z-
z축 구동부(320)는 외주면에 나사선이 형성된 설치면에 대하여 수직 방향으로 설치된 제 1 LM가이드(322), z스테이지(300)와 결합되며 볼스크류가 내장된 제 1 LM블록(324), 제 1 LM가이드(322)를 회전시키는 z축 구동 모터(326)를 포함할 수 있다. 따라서, z축 구동 모터(326)가 제 1 LM가이드(322)를 회전시키면 볼스크류가 내장된 제 1 LM블록(324)이 제 1 LM가이드(322)를 따라 상, 하 방향으로 이동함으로써 제 1 LM블록(324)과 결합된 z스테이지(300)가 상, 하 방향으로 이동할 수 있다.The z-
x축 구동부(420)는 z스테이지(300) 상에 설치될 수 있다. 이로써, x축 구동부(420) 및 x스테이지(400)는 z스테이지(300)와 함께 상, 하 방향으로 이동할 수 있다. 그리고, x축 구동부(420)는 나사선이 형성된 제 2 LM가이드(422), x스테이지(400)와 결합되며 볼스크류가 내장된 제 2 LM블록(424), 제 2 LM가이드(422)를 회전시키는 x축 구동 모터(426)를 포함할 수 있다. 다만, x축 구동부(420)의 제 2 LM가이드(422)는 설치면에 대하여 수평 방향으로 설치될 수 있다. 따라서, x축 구동 모터(426)가 제 2 LM가이드(422)를 회전시키면 볼스크류가 내장된 제 2 LM블록(424)이 제 2 LM가이드(422)를 따라 수평 방향으로 이동함으로써 제 2 LM블록(424)과 결합된 x스테이지(400)가 수평 방향으로 이동할 수 있다.The
y축 구동부(420)는 x스테이지(400) 상에 설치될 수 있다. 이로써, y축 구동부(420) 및 y스테이지(500)는 x스테이지(400)와 함께 수평 방향으로 이동할 수 있다. 그리고, y축 구동부(420)는 나사선이 형성된 제 3 LM가이드(522), x스테이지(400)와 결합되며 볼스크류가 내장된 제 3 LM블록(524), 제 3 LM가이드(522)를 회전시키는 y축 구동 모터(526)를 포함할 수 있다. 다만, y축 구동부(420)의 제 3 LM가이드(522)는 설치면에 대하여 수평하며, 제 2 LM가이드(422)와 수직한 방향으로 설치될 수 있다. 따라서, x축 구동 모터(426)가 제 3 LM가이드(522)를 회전시키면 볼스크류가 내장된 제 3 LM블록(524)이 제 3 LM가이드(522)를 따라 이동함으로써 제 3 LM블록(524)과 결합된 y스테이지(500)가 x스테이지(400)와 수직한 방향으로 이동할 수 있다.The y-
그리고, 제 1 회전부(100)는 y스테이지(500) 상에 설치됨으로써 x스테이지(400), y스테이지(500), z스테이지(300)의 이동에 따라 함께 이동할 수 있다.The first
이로써, 제 2 회전부(200) 상에 위치한 검사 대상물은 x, y, z 3축 방향으로 이동할 수 있으며, 제 1 회전축 및 제 2 회전축을 중심으로 회전함으로써 검사 대상물의 모든 부분을 검사할 수 있다.Thus, the inspection object located on the second
여기서, x스테이지(400), y스테이지(500), z스테이지(300)의 중앙부에는 모두 개구부가 형성될 수 있다. x스테이지(400), y스테이지(500), z스테이지(300)에 형성된 개구부는 x스테이지(400), y스테이지(500)의 수평이동에도 불구하고 상시 일부가 연통될 수 있다.Here, openings may be formed in all of the x-stage 400, the y-
또는, 제 1 회전부(100), 제 2 회전부(200), x스테이지(400), y스테이지(500), z스테이지(300)는 모두 투명한 엑스레이 투과성 재질의 플레이트 형상을 가질 수 있다. 이로써, 엑스레이 발생기(미도시)에서 발생한 엑스레이가 디텍터(미도시)까지 도달할 수 있다.Alternatively, the first
이상과 같이 본 발명에 따른 바람직한 실시예를 살펴보았으며, 앞서 설명된 실시예 이외에도 본 발명이 그 취지나 범주에서 벗어남이 없이 다른 특정 형태로 구체화 될 수 있다는 사실은 해당 기술에 통상의 지식을 가진 이들에게는 자명한 것이다. 그러므로, 상술된 실시예는 제한적인 것이 아니라 예시적인 것으로 여겨져야 하고, 이에 따라 본 발명은 상술한 설명에 한정되지 않고 첨부된 청구항의 범주 및 그 동등 범위 내에서 변경될 수도 있다.
It will be apparent to those skilled in the art that the present invention can be embodied in other specific forms without departing from the spirit or scope of the invention as defined in the appended claims. It is obvious to them. Therefore, the above-described embodiments are to be considered as illustrative rather than restrictive, and the present invention is not limited to the above description, but may be modified within the scope of the appended claims and equivalents thereof.
10: 인쇄회로기판 20: 지그
30: 엑스레이 발생기 40: 디텍터
100: 제 1 회전부 120: 제 1 회전 구동부
122: 제 1 모터 200: 제 2 회전부
220: 제 2 회전 구동부 222: 회전 샤프트
224: 제 2 모터 240: 받침부
300: z스테이지 320: z축 구동부
322: 제 1 LM가이드 324: 제 1 LM블록
326: z축 구동 모터 400: x스테이지
420: x축 구동부 422: 제 2 LM가이드
424: 제 2 LM블록 426: x축 구동 모터
500: y스테이지 520: y축 구동부
522: 제 3 LM가이드 524: 제 3 LM블록
526: y축 구동 모터10: printed circuit board 20: jig
30: X-ray generator 40: detector
100: first rotating part 120: first rotation driving part
122: first motor 200: second rotating part
220: second rotation driving part 222: rotating shaft
224: second motor 240:
300: z stage 320: z axis driver
322: first LM guide 324: first LM block
326: z-axis driving motor 400: x stage
420: x-axis driving part 422: second LM guide
424: second LM block 426: x-axis drive motor
500: y stage 520: y-axis driver
522: third LM guide 524: third LM block
526: y-axis drive motor
Claims (10)
상면에 검사 대상물이 놓이며, 상기 제 1 회전부 상에 설치되어 상기 제 1 회전부와 함께 회전하고, 상기 제 1 회전축과 수직인 제 2 회전축을 중심으로 회전하는 제 2 회전부;
를 포함하는 엑스레이 촬영용 지그.A first rotating part that rotates about a first rotating shaft parallel to the mounting surface; And
A second rotating part placed on the first rotating part and rotating together with the first rotating part and rotating about a second rotating shaft which is perpendicular to the first rotating shaft;
Ray photographing jig.
상기 제 1 회전부를 회전시키는 제 1 회전구동부 및 상기 제 2 회전부를 회전시키는 제 2 회전구동부를 더 포함하는 엑스레이 촬영용 지그.The method according to claim 1,
Further comprising: a first rotation driving part for rotating the first rotation part; and a second rotation driving part for rotating the second rotation part.
상기 제 2 회전부는 엑스레이 투과성 재질로 형성되는 엑스레이 촬영용 지그.The method according to claim 1,
And the second rotating part is formed of an X-ray transmissive material.
상기 제 1 회전부 및 상기 제 2 회전부는 360도 회전 가능한 엑스레이 촬영용 지그.The method according to claim 1,
And the first rotating part and the second rotating part are rotatable 360 degrees.
상기 제 1 회전부는,
x축, y축, z축으로 이동 가능한 엑스레이 촬영용 지그.The method according to claim 1,
The first rotating part
A jig for x-ray photography that can be moved along the x, y, and z axes.
설치면에 대해 상, 하 방향으로 수직 이동하는 z 스테이지;
상기 z스테이지 상에 설치되어 상기 z스테이지에 대해 일방향으로 수평 이동하는 x스테이지; 및
상기 x스테이지 상에 설치되어 상기 x스테이지의 이동 방향과 수직한 방향으로 수평이동하는 y스테이지;
를 포함하며,
상기 제 1 회전부는 상기 y스테이지 상에 설치되어 상기 y스테이지와 함께 이동하는 엑스레이 촬영용 지그.6. The method of claim 5,
A z stage vertically moving upward and downward with respect to an installation surface;
An x stage installed on the z stage and horizontally moving in one direction with respect to the z stage; And
A y stage provided on the x stage and horizontally moving in a direction perpendicular to the moving direction of the x stage;
/ RTI >
And the first rotating part is installed on the y stage and moves together with the y stage.
상기 z스테이지를 이동시키는 z축 구동부, 상기 x스테이지를 이동시키는 x축 구동부 및 상기 y스테이지를 이동시키는 y축 구동부를 더 포함하는 엑스레이 촬영용 지그.The method according to claim 6,
Further comprising a z-axis driving unit for moving the z-stage, an x-axis driving unit for moving the x-stage, and a y-axis driving unit for moving the y-stage.
상기 제 1 회전부, 상기 x스테이지, 상기 y스테이지 및 상기 z스테이지의 중앙에는 서로 연통되는 개구부가 형성되는 엑스레이 촬영용 지그.The method according to claim 6,
And an opening portion communicating with each other is formed at the center of the first rotating portion, the x stage, the y stage, and the z stage.
상기 제 1 회전부, 상기 제 2 회전부, 상기 x스테이지, 상기 y스테이지 및 상기 z스테이지는 투명한 재질의 플레이트 형상을 가지는 엑스레이 촬영용 지그.The method according to claim 6,
Wherein the first rotating portion, the second rotating portion, the x stage, the y stage, and the z stage have a plate shape of a transparent material.
상기 제 2 이동부는.
상기 제 2 이동부의 상부에 구비되어 상기 검사 대상물이 놓이는 받침부를 포함하는 엑스레이 촬영용 지그.The method according to claim 1,
The second moving unit includes:
And a support portion provided on an upper portion of the second moving portion and on which the inspection object is placed.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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- 2015-04-13 KR KR1020150051560A patent/KR101693614B1/en active IP Right Grant
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