KR20160115733A - Magnetic sensor - Google Patents

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KR20160115733A
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히데토 안도
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알프스 덴키 가부시키가이샤
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Abstract

The present invention provides a magnetic sensor with improved hysteresis The magnetic sensor (S) comprises a plurality of soft magnetic parts (12) arranged along a magnetism detecting part (10) so as to form a magnetic path of an external magnetic field. Two neighboring soft magnetic parts (12A, 12B) of the plurality of soft magnetic parts (12) extend along the magnetic detecting part (10) in a strip shape, and when seen in a plan view, a pair of a second magnetic field transmitting portion (12c) of the soft magnetic part (12A) and a first magnetic field transmitting portion (12e) of the soft magnetic part (12B) are disposed to face each other, with a magnetism detecting portion (D) of the magnetic detecting part (10) being disposed therebetween in a Y1-Y2 direction so as to allow an external magnetic field to travel therebetween. In addition, magnetism detecting portion (D) is spaced apart from both directions of a leading end (12c2) of the second magnetic field transmitting portion (12c) of the soft magnetic part (12A) and a leading end (12e2) of the first magnetic field transmitting portion (12e) of the soft magnetic part (12B) in an X1-X2 direction.

Description

자기 센서{MAGNETIC SENSOR}MAGNETIC SENSOR

본 발명은, 자기 저항 효과 소자를 갖는 자기 센서에 관한 것이다.The present invention relates to a magnetic sensor having a magnetoresistance effect element.

자기 저항 효과 소자를 갖는 자기 센서는, 예를 들어, 휴대 전화 등의 휴대 기기에 장착되는 지자기 (地磁氣) 를 검지하는 지자기 센서로서 사용될 수 있다.The magnetic sensor having the magneto-resistance effect element can be used as a geomagnetic sensor for detecting geomagnetism mounted on a portable device such as a cellular phone.

예를 들어, 특허문헌 1 에 개시되는 자기 센서는, 자기 저항 효과를 갖는 소자부에 연자성체에 의해 외부 자계를 유도하는 구성을 갖고 있다.For example, the magnetic sensor disclosed in Patent Document 1 has a configuration in which an external magnetic field is induced by a soft magnetic material element in an element portion having a magnetoresistive effect.

일본 공개특허공보 2013-160639호Japanese Laid-Open Patent Publication No. 2013-160639

그러나, 이와 같은 자기 센서에서는, 보자력을 초과하는 외부 자계가 연자성체에 작용함으로써, 외부 자계의 작용 후의 잔류 자화 상태 (외부 자계를 제거한 후의 자화 상태) 가 초기의 자화 상태로부터 변동해 버리는 경우가 있다. 그 때문에, 연자성체 자체에 의해 발생하는 자계도 변동하고, 이 변동이 소자부에 검지되어 자기 센서의 출력의 히스테리시스로서 나타나는 경우가 있었다.However, in such a magnetic sensor, there is a case where an external magnetic field exceeding the coercive force acts on the soft magnetic material element, so that the residual magnetization state after the action of the external magnetic field (the magnetization state after removing the external magnetic field) fluctuates from the initial magnetization state . For this reason, the magnetic field generated by the soft magnetic material element itself also fluctuates, and this fluctuation is detected by the element portion and appears as a hysteresis of the output of the magnetic sensor.

그래서 본 발명은, 상기 종래의 과제를 해결하기 위한 것으로, 히스테리시스를 개선한 자기 센서를 제공하는 것을 목적으로 한다.SUMMARY OF THE INVENTION It is an object of the present invention to provide a magnetic sensor with improved hysteresis.

본 발명은, 상기 목적을 달성하기 위해서, 평면에서 볼 때 띠형상으로 연장되고, 폭 방향의 감도축을 갖는 자기 검지 부분이 형성된 자기 검지체와, 외부 자계의 자로 (磁路) 를 형성하도록 상기 자기 검지체를 따라 나열된 연자성 재료로 이루어지는 복수의 자로 형성체를 갖고, 상기 복수의 자로 형성체 중 이웃하는 2 개의 자로 형성체가, 상기 자기 검지체를 따라 띠형상으로 연장됨과 함께 평면에서 볼 때 상기 자기 검지 부분을 상기 폭 방향 사이에 두고, 서로의 사이를 상기 외부 자계가 진행 가능하게 대향하여 배치되는 1 쌍의 자계 전달 부분을 갖고, 상기 자기 검지 부분이, 상기 1 쌍의 자계 전달 부분의 각각의 선단 중 일방 또는 양방과 상기 자기 검지체의 연장 방향으로 간격을 두고 배치되어 있는 것을 특징으로 하는 자기 센서이다.In order to achieve the above-described object, the present invention provides a magnetic sensor comprising: a magnetic detection body having a magnetic detection portion extending in a strip shape in a plan view and having a sensitivity axis in a width direction; And a plurality of magnetoresistive elements made of a soft magnetic material arranged along the sensing element, wherein two adjacent magnetoresistive elements of the plurality of magnetoresistive elements extend in a strip shape along the magnetic sensing element, And a pair of magnetic field transmission parts disposed so that the external magnetic field progressively opposes each other with a magnetic detection part therebetween in the width direction, and wherein the magnetic detection part comprises a pair of magnetic field transmission parts And the magnetic sensors are spaced apart from each other in the extending direction of the magnetic detecting element.

본 발명에 의하면, 외부 자계의 자로를 형성하도록 자기 검지체를 따라 연자성 재료로 이루어지는 복수의 자로 형성체가 나열되어 있다. 이들 복수의 자로 형성체 중 이웃하는 2 개의 자로 형성체가, 자기 검지체를 따라 띠형상으로 연장됨과 함께 평면에서 볼 때 자기 검지체의 자기 검지 부분을 폭 방향 사이에 두고, 서로의 사이를 외부 자계가 진행 가능하게 대향하여 배치되는 1 쌍의 자계 전달 부분을 갖고 있다. 그리고, 자기 검지 부분이, 1 쌍의 자계 전달 부분의 각각의 선단 중 일방 또는 양방과 상기 자기 검지체의 연장 방향으로 간격을 두고 배치되어 있다. 이로써, 1 쌍의 자계 전달 부분은, 띠형상으로 연장되어 있으므로 형상 자기 이방성에 의해 선단에 자극이 나타나고, 이 선단으로부터 멀어짐에 따라 자계의 방향이 연장 방향을 따르도록 변화되어, 요컨대, 자계에 있어서의 연장 방향과 직교하는 성분이 작아지고 또한 연장 방향과 평행한 성분이 커진다. 그 때문에, 1 쌍의 자계 전달 부분의 선단으로부터 떨어져 자기 검지 부분을 배치함으로써, 자로 형성체에 잔류 자화가 발생한 경우에도, 자기 검지 부분에 의해 검지되는 당해 잔류 자화에 의한 자계에 대해 당해 자기 검지 부분의 감도 축 방향의 성분을 보다 작게 할 수 있고, 잔류 자화의 변화의 영향을 저감시킬 수 있다.According to the present invention, a plurality of magnetoresistive elements made of a soft magnetic material are arranged along a magnetic detection body so as to form a magnetic path of an external magnetic field. The two adjacent magnetizable bodies of the plurality of magnetically formed bodies extend in the form of a belt along the magnetic gap and the magnetism detecting portions of the magnetic gap are arranged in the width direction as viewed in a plan view, And a pair of magnetic field transmission parts disposed so as to be opposed to each other in a progressive manner. The magnetic detecting portion is disposed at a distance from one or both of the leading ends of the pair of magnetic field transmitting portions in the extending direction of the magnetic detecting element. As a result, since the pair of magnetic field transmitting portions extend in a strip shape, a magnetic pole appears at the tip due to shape magnetic anisotropy, and the direction of the magnetic field changes along the extending direction as the magnetic field moves away from this tip, The component orthogonal to the extending direction of the elastic member becomes smaller and the component parallel to the extending direction becomes larger. Therefore, even when residual magnetization occurs in the magnetic path formation body by disposing the magnetic detection portion away from the tip of the pair of magnetic field transmission portions, the magnetic detection portion, which is detected by the magnetic detection portion, The component in the sensitivity axis direction of the permanent magnet can be made smaller, and the influence of the change in the residual magnetization can be reduced.

또, 본 발명에서는, 상기 자기 검지 부분이, 상기 1 쌍의 자계 전달 부분의 각각의 연장 방향 중앙 부분 중 일방 또는 양방과 상기 폭 방향에 대향하여 배치되어 있는 것이 바람직하다. 이로써, 자기 검지 부분이, 1 쌍의 자계 전달 부분의 선단으로부터 보다 멀어져 그 연장 방향 중앙 위치 부근에 배치되므로, 자기 검지 부분에 의해 검지되는 자로 형성체의 잔류 자화에 의한 자계에 대해 당해 자기 검지 부분의 감도 축 방향의 성분을 더욱 작게 할 수 있어, 잔류 자화의 변화의 영향을 더욱 저감시킬 수 있다.In the present invention, it is preferable that the magnetic detecting portion is arranged to face one or both of the extending direction central portions of the pair of magnetic field transmitting portions in the width direction. As a result, since the magnetic detecting portion is further away from the tip end of the pair of magnetic field transmitting portions and disposed near the center position in the extending direction thereof, the magnetic detecting portion The component in the direction of the sensitivity axis of the permanent magnet can be further reduced, and the influence of the change in the residual magnetization can be further reduced.

또, 본 발명에서는, 상기 이웃하는 2 개의 자로 형성체의 각각이, 상기 자기 검지체와 교차하여 상기 폭 방향으로 연장되는 교차 부분과, 상기 교차 부분에 있어서의 상기 폭 방향의 일단부로부터 상기 자기 검지체를 따라 띠형상으로 연장되는 제 1 자계 전달 부분과, 상기 교차 부분에 있어서의 상기 폭 방향의 타단부로부터 상기 자기 검지체를 따라 상기 제 1 자계 전달 부분과 반대 방향으로 띠형상으로 연장되는 제 2 자계 전달 부분을 갖고, 상기 이웃하는 2 개의 자로 형성체 중 일방의 자로 형성체의 상기 제 2 자계 전달 부분과 타방의 자로 형성체의 상기 제 1 자계 전달 부분으로, 상기 1 쌍의 자계 전달 부분을 구성하는 것이 바람직하다.In the present invention, it is preferable that each of the two neighboring two-shaped bodies has a crossing portion that intersects with the magnetic detection body and extends in the width direction, and a crossing portion that extends from one end of the crossing portion in the width direction, A first magnetic field transmission portion extending in a strip shape along the detection body and a second magnetic field transmission portion extending in a strip shape in a direction opposite to the first magnetic field transmission portion along the magnetic detection body from the other end portion in the width direction at the intersection portion Wherein the first magnetic field transmission portion has a second magnetic field transmission portion and the first magnetic field transmission portion of the second magnetic field transmission portion and the second magnetic field transmission portion of the other one of the two- It is preferable to constitute a part.

또, 본 발명에서는, 상기 이웃하는 2 개의 자로 형성체 중 일방의 자로 형성체의 상기 제 2 자계 전달 부분이 그 상기 제 1 자계 전달 부분보다 길게 형성되어 있는 것이 바람직하다. In the present invention, it is preferable that the second magnetic-field transmission portion of one of the two magnetic-field-formed bodies adjacent to each other is longer than the first magnetic-field transmission portion.

또, 본 발명에서는, 상기 이웃하는 2 개의 자로 형성체 중 타방의 자로 형성체의 상기 제 1 자계 전달 부분이 그 상기 제 2 자계 전달 부분보다 길게 형성되어 있는 것이 바람직하다.In the present invention, it is preferable that the first magnetic field transmission portion of the other of the two adjacent magnetic conductor structures is formed longer than the second magnetic field transmission portion.

또, 본 발명에서는, 상기 이웃하는 2 개의 자로 형성체 중 일방 또는 양방에 있어서의 두께가 3 ㎛ 이상인 것이 바람직하다.Further, in the present invention, it is preferable that the thickness of one or both of the neighboring two-shaped bodies is 3 mu m or more.

본 발명에 의하면, 히스테리시스를 개선할 수 있다.According to the present invention, hysteresis can be improved.

도 1 은, 본 발명의 일 실시형태에 관련된 자기 센서의 개략도 (평면도) 이다.
도 2 는, 도 1 의 자기 센서가 갖는 제 1 자기 저항 효과 소자 및 제 4 자기 저항 효과 소자의 일부를 확대하여 나타낸 자기 센서의 부분 확대 평면도이다.
도 3 은, 도 2 의 A-A 선을 따라 절단하여 화살표 방향에서 본 자기 센서의 부분 확대 단면도이다.
도 4 는, 도 2 의 B-B 선을 따라 절단하여 화살표 방향에서 본 자기 센서의 부분 확대 단면도이다.
도 5 는, 도 1 의 자기 센서가 갖는 제 2 자기 저항 효과 소자 및 제 3 자기 저항 효과 소자의 일부를 확대하여 나타낸 자기 센서의 부분 확대 평면도이다.
도 6 은, 본 발명의 비교예에 관련된 자기 센서가 갖는 제 1 자기 저항 효과 소자 및 제 4 자기 저항 효과 소자의 일부를 확대하여 나타낸 자기 센서의 부분 확대 평면도이다.
도 7 은, 본 발명의 비교예에 관련된 자기 센서가 갖는 제 2 자기 저항 효과 소자 및 제 3 자기 저항 효과 소자의 일부를 확대하여 나타낸 자기 센서의 부분 확대 평면도이다.
도 8 은, 막대 자석에 의해 발생되는 자계 (자력선) 를 모식적으로 나타내는 도면이다.
도 9 는, 본 발명의 실시예 1, 2 의 자기 센서가 갖는 자기 저항 효과 소자의 부분 확대 평면도이다.
도 10 은, 본 발명의 실시예 3 의 자기 센서가 갖는 자기 저항 효과 소자의 부분 확대 평면도이다.
도 11 은, 본 발명의 비교예의 자기 센서가 갖는 자기 저항 효과 소자의 부분 확대 평면도이다.
도 12 는, 실시예 및 비교예의 히스테리시스량을 나타내는 그래프이다.1 is a schematic view (plan view) of a magnetic sensor according to an embodiment of the present invention.
FIG. 2 is a partially enlarged plan view of a magnetic sensor in which a part of the first magnetoresistive element and the fourth magnetoresistive element of the magnetic sensor of FIG. 1 are enlarged.
3 is a partial enlarged cross-sectional view of the magnetic sensor taken along the line AA in FIG. 2 and viewed in the direction of the arrow.
Fig. 4 is a partially enlarged cross-sectional view of the magnetic sensor taken along the line BB in Fig. 2 and viewed in the direction of the arrow.
FIG. 5 is a partially enlarged plan view of a magnetic sensor in which a part of the second magnetoresistive element and the third magnetoresistive element of the magnetic sensor of FIG. 1 are enlarged.
6 is a partially enlarged plan view of a magnetic sensor in which a part of the first magnetoresistive element and the fourth magnetoresistive element included in the magnetic sensor according to the comparative example of the present invention is enlarged.
7 is a partially enlarged plan view of a magnetic sensor in which a part of the second magnetoresistive element and the third magnetoresistive element of the magnetic sensor according to the comparative example of the present invention are enlarged.
8 is a diagram schematically showing a magnetic field (magnetic force line) generated by a bar magnet.
9 is a partially enlarged plan view of a magneto-resistance effect element included in the magnetic sensors of Examples 1 and 2 of the present invention.
10 is a partially enlarged plan view of a magneto-resistance effect element of a magnetic sensor according to a third embodiment of the present invention.
11 is a partially enlarged plan view of a magnetoresistance effect element of a magnetic sensor according to a comparative example of the present invention.
12 is a graph showing hysteresis amounts of Examples and Comparative Examples.

이하에, 본 발명의 일 실시형태에 관련된 자기 센서에 대해, 도 1 ∼ 도 7 을 참조하여 설명한다.Hereinafter, a magnetic sensor according to an embodiment of the present invention will be described with reference to Figs. 1 to 7. Fig.

도 1 은, 본 발명의 일 실시형태에 관련된 자기 센서의 개략도 (평면도) 이다. 도 2 는, 도 1 의 자기 센서가 갖는 제 1 자기 저항 효과 소자 및 제 4 자기 저항 효과 소자의 일부를 확대하여 나타낸 자기 센서의 부분 확대 평면도이다. 도 3 은, 도 2 의 A-A 선을 따라 절단하여 화살표 방향에서 본 자기 센서의 부분 확대 단면도이다. 도 4 는, 도 2 의 B-B 선을 따라 절단하여 화살표 방향에서 본 자기 센서의 부분 확대 단면도이다. 도 5 는, 도 1 의 자기 센서가 갖는 제 2 자기 저항 효과 소자 및 제 3 자기 저항 효과 소자의 일부를 확대하여 나타낸 자기 센서의 부분 확대 평면도이다. 도 6 은, 본 발명의 비교예에 관련된 자기 센서가 갖는 제 1 자기 저항 효과 소자 및 제 4 자기 저항 효과 소자의 일부를 확대하여 나타낸 자기 센서의 부분 확대 평면도이다. 도 7 은, 본 발명의 비교예에 관련된 자기 센서가 갖는 제 2 자기 저항 효과 소자 및 제 3 자기 저항 효과 소자의 일부를 확대하여 나타낸 자기 센서의 부분 확대 평면도이다. 도 8 은, 막대 자석에 의해 발생되는 자계 (자력선) 를 모식적으로 나타내는 도면이다.1 is a schematic view (plan view) of a magnetic sensor according to an embodiment of the present invention. FIG. 2 is a partially enlarged plan view of a magnetic sensor in which a part of the first magnetoresistive element and the fourth magnetoresistive element of the magnetic sensor of FIG. 1 are enlarged. 3 is a partially enlarged cross-sectional view of the magnetic sensor taken along the line A-A in Fig. 2 and viewed in the direction of the arrow. 4 is a partially enlarged cross-sectional view of the magnetic sensor taken along the line B-B in Fig. 2 and viewed in the direction of the arrow. FIG. 5 is a partially enlarged plan view of a magnetic sensor in which a part of the second magnetoresistive element and the third magnetoresistive element of the magnetic sensor of FIG. 1 are enlarged. 6 is a partially enlarged plan view of a magnetic sensor in which a part of the first magnetoresistive element and the fourth magnetoresistive element included in the magnetic sensor according to the comparative example of the present invention is enlarged. 7 is a partially enlarged plan view of a magnetic sensor in which a part of the second magnetoresistive element and the third magnetoresistive element of the magnetic sensor according to the comparative example of the present invention are enlarged. 8 is a diagram schematically showing a magnetic field (magnetic force line) generated by a bar magnet.

각 도면에 나타내는 X1-X2 방향, 및 Y1-Y2 방향은 일 평면 내에서 직교하는 2 방향을 나타내고, Z 방향은 상기 일 평면에 대해 직교하는 방향을 나타내고 있다.The X1-X2 direction and the Y1-Y2 direction shown in each figure represent two directions orthogonal to each other in one plane, and the Z direction shows a direction orthogonal to the one plane.

본 실시형태에 있어서의 자기 센서 (S) 는, 자기 저항 효과 소자를 갖고 있고, 예를 들어, 휴대 전화 등의 휴대 기기에 탑재되는 지자기 센서로서 구성된다.The magnetic sensor S in the present embodiment has a magnetoresistance effect element and is configured as a geomagnetic sensor mounted on a portable device such as a cellular phone.

자기 센서 (S) 는, 도 1 에 나타내는 바와 같이, 사각형상의 자기 저항 효과 소자의 형성 영역 (K) 을 갖고 있다. 이 형성 영역 (K) 에는, 그 중심 (Kc) 으로부터 X1-X2 방향 및 Y1-Y2 방향으로 분할된 4 개의 영역 부분이 형성되어 있다. 이들 4 개의 영역 부분 내에는, 제 1 자기 저항 효과 소자 (1), 제 2 자기 저항 효과 소자 (2), 제 3 자기 저항 효과 소자 (3), 제 4 자기 저항 효과 소자 (4) 가 형성되어 있다. 도 1 에서는, 각 영역 부분에 대해, 자기 저항 효과 소자 (1 ∼ 4) 의 형상을 생략하여 도시하고 있다.As shown in Fig. 1, the magnetic sensor S has a region K for forming a rectangular magnetoresistive effect element. In this formation region K, four region portions divided from the center Kc in the X1-X2 direction and the Y1-Y2 direction are formed. The first magnetoresistance effect element 1, the second magnetoresistance effect element 2, the third magnetoresistance effect element 3 and the fourth magnetoresistance effect element 4 are formed in these four region portions have. In Fig. 1, the shapes of the magnetoresistance effect elements 1 to 4 are omitted for each region.

제 1 자기 저항 효과 소자 (1) 및 제 3 자기 저항 효과 소자 (3) 는, 입력 단자 (5) 에 접속되어 있다. 또, 제 2 자기 저항 효과 소자 (2) 및 제 4 자기 저항 효과 소자 (4) 는, 접지 단자 (6) 에 접속되어 있다. 또, 제 1 자기 저항 효과 소자 (1) 와 제 2 자기 저항 효과 소자 (2) 사이에는, 제 1 출력 단자 (7) 가 접속되어 있다. 또, 제 3 자기 저항 효과 소자 (3) 와 제 4 자기 저항 효과 소자 (4) 사이에는, 제 2 출력 단자 (8) 가 접속되어 있다. 이와 같이 제 1 자기 저항 효과 소자 (1), 제 2 자기 저항 효과 소자 (2), 제 3 자기 저항 효과 소자 (3) 및 제 4 자기 저항 효과 소자 (4) 에 의해 브릿지 회로가 구성되어 있다.The first magnetoresistance effect element 1 and the third magnetoresistance effect element 3 are connected to the input terminal 5. The second magnetoresistance effect element 2 and the fourth magnetoresistance effect element 4 are connected to the ground terminal 6. A first output terminal 7 is connected between the first magneto resistive element 1 and the second magneto resistive element 2. A second output terminal 8 is connected between the third magneto resistive element 3 and the fourth magneto resistive element 4. Thus, the bridge circuit is constituted by the first magnetoresistive element 1, the second magnetoresistive element 2, the third magnetoresistive element 3 and the fourth magnetoresistive element 4.

제 1 자기 저항 효과 소자 (1) 는, 도 2 에 나타내는 바와 같이, 자기 검지체 (10) 와, 자기 검지체 (10) 와 비접촉으로 배치된 복수의 자로 형성체로서의 연자성체 (12) 를 구비하고 있다. 또한, 제 4 자기 저항 효과 소자 (4) 에 대해서도, 도 2 에 나타내는 구성을 갖고 있다.2, the first magnetoresistive element 1 is provided with a magnetic sensing element 10 and a soft magnetic material element 12 as a plurality of magnetoresistive elements disposed in non-contact with the magnetic sensing element 10 . The fourth magnetoresistance effect element 4 also has the structure shown in Fig.

자기 검지체 (10) 는, 복수의 소자부 (11) 와, 복수의 전극부 (16) 와, 복수의 접속부 (17) 를 갖고 있다. 자기 검지체 (10) 는, 복수의 소자부 (11) 의 단부가 접속부 (17) 에 의해 접속됨으로써 서로 줄지어 띠형상으로 형성되어 있다. 본 실시형태의 자기 검지체 (10) 는, 평면에서 볼 때 미앤더 형상 (주름진 형상) 으로 형성되어 있다.The magnetic detecting body 10 has a plurality of element portions 11, a plurality of electrode portions 16, and a plurality of connecting portions 17. The magnetic detecting element 10 is formed in a strip shape by being connected to each other by connecting ends of a plurality of element parts 11 by a connecting part 17. [ The magnetic detecting member 10 of the present embodiment is formed in a meander shape (corrugated shape) when viewed in plan view.

복수의 소자부 (11) 는, 도 3 에 나타내는 바와 같이, 각각이 X1-X2 방향으로 직선 띠형상으로 연장되어 형성되어 있고, Y1-Y2 방향으로 간격을 두고 서로 평행하게 배치되어 있다. 각 소자부 (11) 의 폭 치수 (Y1-Y2 방향에 대한 치수) 는 0.5 ∼ 5 ㎛ 정도, 각 소자부 (11) 의 길이 치수 (X1-X2 방향에 대한 치수) 는 2 ∼ 300 ㎛ 정도이고, 각 소자부 (11) 의 어스펙트비 (길이 치수/폭 치수) 는 4 ∼ 600 정도로 되어 있다.As shown in Fig. 3, each of the plurality of element portions 11 is formed so as to extend in the form of a straight strip in the X1-X2 direction, and are arranged parallel to each other with intervals in the Y1-Y2 direction. The width dimension (dimension in the Y1-Y2 direction) of each element section 11 is about 0.5 to 5 mu m and the length dimension (dimension in the X1-X2 direction) of each element section 11 is about 2 to 300 mu m , And the aspect ratio (length dimension / width dimension) of each element section 11 is about 4 to 600.

각 소자부 (11) 는, 도 3 에 나타내는 바와 같이, 기판 (15) 표면의 절연 하지(下地)층 (19) 상에 형성된다.As shown in Fig. 3, each element section 11 is formed on an insulating underlying layer 19 on the surface of the substrate 15. [

각 소자부 (11) 는, 예를 들어, 도 3 하방으로부터 순서대로 적층된 비자성 하지층 (60), 고정 자성층 (61), 비자성 재료층 (62), 프리 자성층 (63) 및 보호층 (64) 을 갖고 있다. 각 소자부 (11) 를 구성하는 이들 각 층 (60 ∼ 64) 은, 예를 들어, 절연 하지층 (19) 상에 스퍼터링에 의해 순차 성막되어 적층된다.Each of the element portions 11 includes a nonmagnetic underlayer 60, a fixed magnetic layer 61, a nonmagnetic material layer 62, a free magnetic layer 63, and a protective layer 63 which are stacked in this order from the bottom of FIG. (64). These layers 60 to 64 constituting each element portion 11 are sequentially deposited and stacked on the insulating underlayer 19, for example, by sputtering.

고정 자성층 (61) 은, 제 1 자성층 (61a) 및 제 2 자성층 (61b) 과, 이들 제 1 자성층 (61a) 및 제 2 자성층 (61b) 사이에 개재되는 비자성 중간층 (61c) 의 적층 페리 구조를 갖고 있다. 제 1 자성층 (61a) 및 제 2 자성층 (61b) 은, CoFe 합금 (코발트-철 합금) 등의 연자성 재료로 형성되어 있다. 비자성 중간층 (61c) 은 Ru (루테늄) 등이다. 비자성 재료층 (62) 은 Cu (구리) 등의 비자성 재료로 형성되어 있다. 프리 자성층 (63) 은, NiFe 합금 (니켈-철 합금) 등의 연자성 재료로 형성되어 있다. 보호층 (64) 은 Ta (탄탈) 등으로 형성되어 있다.The fixed magnetic layer 61 includes a laminated ferrite structure of a first magnetic layer 61a and a second magnetic layer 61b and a nonmagnetic intermediate layer 61c interposed between the first magnetic layer 61a and the second magnetic layer 61b . The first magnetic layer 61a and the second magnetic layer 61b are formed of a soft magnetic material such as a CoFe alloy (cobalt-iron alloy). The non-magnetic intermediate layer 61c is Ru (ruthenium) or the like. The nonmagnetic material layer 62 is formed of a non-magnetic material such as Cu (copper). The free magnetic layer 63 is formed of a soft magnetic material such as a NiFe alloy (nickel-iron alloy). The protective layer 64 is formed of Ta (tantalum) or the like.

본 실시형태에서는, 고정 자성층 (61) 을 적층 페리 구조로 하여, 제 1 자성층 (61a) 과 제 2 자성층 (61b) 이 반 (反) 평행하게 자화 고정된 셀프 핀 고정형 (型) 을 채용하고 있다. 이 셀프 핀 고정형에서는, 반강자성층을 사용하지 않고, 따라서 자장 중 열 처리를 실시하지 않고 고정 자성층 (61) 을 구성하는 제 1 자성층 (61a) 과 제 2 자성층 (61b) 을 자화 고정시키고 있다. 또한, 제 1 자성층 (61a) 과 제 2 자성층 (61b) 의 자화 고정력은, 외부 자계가 작용했을 때에도 자화 요동이 발생하지 않을 정도의 크기이면 충분하다.In the present embodiment, the self-pinned type mold in which the first magnetic layer 61a and the second magnetic layer 61b are magnetized and fixed in parallel is adopted as the fixed magnetic layer 61 as a laminated ferrite structure . In this self-fin pinned type, the first magnetic layer 61a and the second magnetic layer 61b constituting the pinned magnetic layer 61 are magnetized and fixed without using the antiferromagnetic layer and thus without performing the heat treatment in the magnetic field. It is sufficient that the magnitude of the magnetizing force of the first magnetic layer 61a and the second magnetic layer 61b is such a magnitude that magnetization fluctuation does not occur even when an external magnetic field is applied.

물론, 상기 서술한 소자부 (11) 의 구조는 일례로서, 소자부 (11) 에 다른 구조를 채용해도 된다. 예를 들어, 반강자성층, 고정 자성층, 비자성층, 프리 자성층 및 보호층의 순서로 적층된 적층 구조를 갖는 구성으로 할 수도 있다. 이러한 구성에서는, 반강자성층과 고정 자성층 사이에서 교환 결합 자계 (Hex) 를 발생시켜 고정 자성층의 자화 방향을 고정시키는 것이 가능하다. 또, 아래로부터 프리 자성층 (63), 비자성 재료층 (62), 고정 자성층 (61), 및 보호층 (64) 의 순서로 적층된 적층 구조로 되어도 된다. 또 고정 자성층 (61) 은, 제 1 자성층 (61a) 과 제 2 자성층 (61b) 의 자화의 크기가 동일하여 자화 방향이 반평행인 구성으로 할 수 있다.Of course, the structure of the element portion 11 described above is merely an example, and the element portion 11 may adopt another structure. For example, a structure having a stacked structure in which an antiferromagnetic layer, a fixed magnetic layer, a nonmagnetic layer, a free magnetic layer, and a protective layer are stacked in this order may be used. In this configuration, it is possible to generate an exchange coupling magnetic field (Hex) between the antiferromagnetic layer and the pinned magnetic layer to fix the magnetization direction of the pinned magnetic layer. The laminated structure may be a laminated structure in which the free magnetic layer 63, the nonmagnetic material layer 62, the fixed magnetic layer 61, and the protective layer 64 are laminated in this order from below. The fixed magnetic layer 61 may have a configuration in which the first magnetic layer 61a and the second magnetic layer 61b have the same magnetization size and the magnetization direction is antiparallel.

각 소자부 (11) 를 구성하는 제 2 자성층 (61b) 의 고정 자화 방향 (P；감도 축 방향) 은 Y2 방향 (즉, 소자부 (11) 의 폭 방향) 이다 (도 2, 도 3 참조). 이 고정 자화 방향 (P) 이 고정 자성층 (61) 의 고정 자화 방향이다.The magnetization direction P of the second magnetic layer 61b constituting each element portion 11 is the Y2 direction (that is, the width direction of the element portion 11) (see Figs. 2 and 3) . This fixed magnetization direction P is the fixed magnetization direction of the fixed magnetic layer 61.

복수의 전극부 (16) 는, 도 2 에 나타내는 바와 같이, 일부가 각 소자부 (11) 에 접하여 X1-X2 방향으로 간격 (T1) 을 두고 배치되어 있다.As shown in Fig. 2, the plurality of electrode portions 16 are arranged so that a part thereof is in contact with the respective element portions 11 with an interval T1 in the X1-X2 direction.

도 3 에 나타내는 바와 같이, 상기 일부의 전극부 (16) 의 형성 위치에서는, 보호층 (64) 의 일부가 깎여져 있고, 그것에 의해 형성된 오목부 (64a) 상에 상기 일부의 전극부 (16) 가 형성되어 있다.3, a portion of the protective layer 64 is cut at a position where the electrode part 16 is formed, and a part of the electrode part 16 is formed on the concave part 64a formed by the part. Respectively.

전극부 (16) 는, 소자부 (11) (보호층 (64)) 보다 전기 저항값이 낮은 비자성 도전 재료로 형성되어 있다. 전극부 (16) 는, 재질을 특별히 한정하는 것은 아니지만, Al, Cu, Ti, Cr 등의 비자성 도전 재료의 단층 혹은 적층 구조로 형성된다. 예를 들어, 전극부 (16) 는 Cu 와 Al 의 적층 구조로 형성된다. 또한, 상기 서술한 복수의 접속부 (17) 도 전극부 (16) 와 동일하게 형성된다.The electrode portion 16 is formed of a nonmagnetic conductive material having a lower electric resistance value than the element portion 11 (protective layer 64). Although the material of the electrode portion 16 is not particularly limited, it is formed of a single layer or a laminated structure of a nonmagnetic conductive material such as Al, Cu, Ti, or Cr. For example, the electrode portion 16 is formed of a laminated structure of Cu and Al. Also, the plurality of connection portions 17 described above are formed in the same manner as the electrode portions 16.

도 2 에 나타내는 바와 같이, 각 전극부 (16) 의 폭 치수 (Y1-Y2 에 대한 치수) 는 각 소자부 (11) 의 폭 치수보다 크게 형성되어 있고, 이로써 전극부 (16) 의 전기 저항을 보다 작게 할 수 있으며, 또 각 전극부 (16) 를 각 소자부 (11) 상에 형성할 때의 위치 맞춤의 마진을 넓게 취하는 것이 가능하다.2, the width dimension (the dimension with respect to Y1-Y2) of each electrode section 16 is formed to be larger than the width dimension of each element section 11, whereby the electrical resistance of the electrode section 16 And it is possible to obtain a wider margin of alignment when each electrode section 16 is formed on each element section 11.

또한 상기한 바와 같은 보호층 (64) 의 일부의 깍아냄 처리는, 예를 들어 에칭에 의해 실시할 수 있다. 보호층 (64) 의 일부를 깍아내는 처리는, 특히 보호층 (64) 표면의 산화층을 깍아내기 위한 것으로, 이로써 소자부 (11) 와 전극부 (16) 간의 도통성을 양호하게 할 수 있다.Further, the above-described shattering treatment of the protective layer 64 can be performed, for example, by etching. The process of scraping off a part of the protective layer 64 is particularly for scraping off the oxide layer on the surface of the protective layer 64. This makes it possible to improve the continuity between the element part 11 and the electrode part 16.

또 에칭 등에 의해 보호층 (64) 의 표면을 깎을 때, 도 3 에 나타내는 바와 같이 보호층 (64) 의 일부가 남도록 제어하는 것이 바람직하다. 이로써 프리 자성층 (63) 은 에칭의 영향을 받지 않아 깎이지 않는다.When the surface of the protective layer 64 is removed by etching or the like, it is preferable to control so that a part of the protective layer 64 remains as shown in Fig. Thereby, the free magnetic layer 63 is not affected by etching and is not scraped.

자기 검지체 (10) 는, 평면에서 볼 때 소자부 (11) 와 소자부 (11) 에 중첩된 전극부 (16) 가 X1-X2 방향으로 교대로 나열된다. 즉, 자기 검지체 (10) 는, 소자부 (11) 에 있어서의 전극부 (16) 가 중첩되어 있지 않은 부분과 전극부 (16) 가 중첩된 부분이 교대로 나열되어 있다. 자기 검지체 (10) 에서는, 소자부 (11) 에 있어서의 전극부 (16) 가 중첩되어 있지 않은 부분 (후술하는 갭 (G) 의 지점) 이 자기 검지 부분 (D) 으로서 기능한다. 상세한 것에 대해서는 후술한다.The magnetic detecting element 10 has the element portion 11 and the electrode portions 16 superimposed on the element portion 11 alternately arranged in the X1-X2 direction in a plan view. That is, the magnetic detecting body 10 is alternately arranged in such a manner that a portion of the element portion 11 where the electrode portion 16 is not overlapped and a portion where the electrode portion 16 is overlapped are alternately arranged. The magnetic detection body 10 functions as the magnetic detection portion D where a portion of the element portion 11 in which the electrode portion 16 is not overlapped (a gap G described later) Details will be described later.

복수의 연자성체 (12) 는, 도 2 에 나타내는 바와 같이, 소자부 (11) (즉, 자기 검지체 (10)) 를 따라 X1-X2 방향으로 나열하여 배치되어 있다. 각 연자성체 (12) 는 NiFe, CoFe, CoFeSiB 나 CoZrNb 등으로 형성된다.The plurality of soft magnetic material elements 12 are arranged in the X1-X2 direction along the element portion 11 (i.e., the magnetic detection element 10) as shown in Fig. Each soft magnetic material element 12 is formed of NiFe, CoFe, CoFeSiB, CoZrNb, or the like.

도 2 에 있어서 X1-X2 방향에서 이웃하는 2 개의 연자성체 (12) 중, X1 측에 배치된 연자성체 (12) 를 제 1 연자성체 (12A), X2 측에 배치된 연자성체 (12) 를 제 2 연자성체 (12B) 라고 정의한다. 도 2 에는, 1 세트의 연자성체 (12) 에만 부호 12A, 12B 를 붙였다. 또한, 연자성체 (12B) 의 우측으로 1 개 옆의 연자성체 (12) 및 우측으로 두 개 옆의 연자성체 (12) 에 주목하여 이들 이웃하는 2 개의 연자성체 (12) 를 페어라고 생각하면, 이들 중 좌측이 연자성체 (12A) 가 되고, 우측이 연자성체 (12B) 가 된다. X1-X2 방향으로 간격을 두고 나열된 복수의 연자성체 (12) 는, 가장 X1 측으로부터 2 개씩 페어가 되어 각각이 연자성체 (12A), 연자성체 (12B) 가 되도록 형성되어 있다.2, the soft magnetic material element 12 disposed on the X1 side is referred to as a first soft magnetic material element 12A, and the soft magnetic material element 12 disposed on the X2 side, among the two soft magnetic material elements 12 adjacent to each other in the X1- Is defined as a second soft magnetic material element 12B. In Fig. 2, only one set of soft magnetic material elements 12 are designated by reference numerals 12A and 12B. Considering the soft magnetic material elements 12 on one side and the soft magnetic material elements 12 on the right side to the right of the soft magnetic material element 12B and considering these two neighboring soft magnetic material elements 12 as a pair, Of these, the left side becomes the soft magnetic material element 12A and the right side becomes the soft magnetic material element 12B. A plurality of soft magnetic material elements 12 arranged at intervals in the X1-X2 direction are paired from the innermost X1 side to form soft magnetic material elements 12A and soft magnetic material elements 12B, respectively.

제 1 연자성체 (12A) 는, 자기 검지체 (10) 와 교차하여 Y1-Y2 방향으로 연장되는 교차 부분 (12a) 과, 교차 부분 (12a) 의 Y2 측단부 (즉, 자기 검지체 (10) 의 폭 방향의 일단부) 로부터 X1 방향으로 연장되고, 평면에서 볼 때 소자부 (11) 의 Y2 측에 배치되는 제 1 자계 전달 부분 (12b) 과, 교차 부분 (12a) 의 Y1 측단부 (즉, 자기 검지체 (10) 의 폭 방향의 타단부) 로부터 X2 방향으로 연장되고, 평면에서 볼 때 소자부 (11) 의 Y1 측에 배치되는 제 2 자계 전달 부분 (12c) 을 가지고 구성된다. 제 1 연자성체 (12A) 는, 평면에서 볼 때, 크랭크 형상으로 굴곡된 띠형상으로 형성되어 있다.The first soft magnetic material element 12A has a crossing portion 12a intersecting the magnetic detecting element 10 and extending in the Y1-Y2 direction and a Y2 side end portion of the crossing portion 12a A first magnetic field transmission portion 12b extending in the X1 direction from the Y1 side portion of the cross section 12a and a Y1 side end portion of the cross section 12a And a second magnetic field transmission portion 12c extending in the X2 direction from the other end in the width direction of the magnetic detection body 10 and disposed on the Y1 side of the element portion 11 as viewed in a plan view. The first soft magnetic material elements 12A are formed in a band shape bent in the form of a crank when viewed in a plan view.

제 2 연자성체 (12B) 는, 자기 검지체 (10) 와 교차하여 Y1-Y2 방향으로 연장되는 교차 부분 (12d) 과, 교차 부분 (12d) 의 Y2 측단부 (즉, 자기 검지체 (10) 의 폭 방향의 일단부) 로부터 X1 방향으로 연장되고, 평면에서 볼 때 소자부 (11) 의 Y2 측에 배치되는 제 1 자계 전달 부분 (12e) 과, 교차 부분 (12d) 의 Y1 측단부 (즉, 자기 검지체 (10) 의 폭 방향의 타단부) 로부터 X2 방향으로 연장되고, 평면에서 볼 때 소자부 (11) 의 Y1 측에 배치되는 제 2 자계 전달 부분 (12f) 을 가지고 구성된다. 제 2 연자성체 (12B) 는, 평면에서 볼 때, 크랭크 형상으로 굴곡된 띠형상으로 형성되어 있다.The second soft magnetic material element 12B has a crossing portion 12d which intersects the magnetic detecting element 10 and extends in the Y1-Y2 direction and a Y2 side end portion of the crossing portion 12d A first magnetic field transmission portion 12e extending in the X1 direction from the Y1 side portion of the crossing portion 12d and extending in the X1 direction from the Y1 side of the crossing portion 12d, And a second magnetic field transmission portion 12f extending in the X2 direction from the other end in the width direction of the magnetic detection body 10 and disposed on the Y1 side of the element portion 11 as seen in plan view. The second soft magnetic material elements 12B are formed in a band shape bent in a crank shape when viewed from above.

제 1 연자성체 (12A) 의 교차 부분 (12a) 및 제 2 연자성체 (12B) 의 교차 부분 (12d) 은, 각 전극부 (16) 와 Z 방향으로 이간되어 (도 3) 전극부 (16) 와 평면에서 볼 때 교차하도록 (도 2) 배치된다. 교차 부분 (12a, 12d) 과 전극부 (16) 사이에는 절연층 (25) 이 개재되고, 교차 부분 (12a, 12d) 과 전극부 (16) 는 전기적으로 비접촉으로 되어 있다.The intersection 12a of the first soft magnetic material element 12A and the intersection 12d of the second soft magnetic material element 12B are separated from each other in the Z direction (Fig. 3) (Fig. 2) in plan view. An insulating layer 25 is interposed between the intersecting portions 12a and 12d and the electrode portion 16 and the intersecting portions 12a and 12d and the electrode portion 16 are electrically noncontact.

제 1 연자성체 (12A) 는, 제 2 자계 전달 부분 (12c) 의 X1-X2 방향의 길이 (L12c) 가 제 1 자계 전달 부분 (12b) 의 X1-X2 방향의 길이 (L12b) 보다 길어지도록 형성되어 있다. 제 2 연자성체 (12B) 는, 제 1 자계 전달 부분 (12e) 의 X1-X2 방향의 길이 (L12e) 가 제 2 자계 전달 부분 (12f) 의 X1-X2 방향의 길이 (L12f) 보다 길어지도록 형성되어 있다.The first soft magnetic material element 12A is formed such that the length L12c in the X1-X2 direction of the second magnetic field transmission portion 12c is longer than the length L12b in the X1-X2 direction of the first magnetic field transmission portion 12b . The second soft magnetic material element 12B is formed such that the length L12e of the first magnetic field transmission portion 12e in the X1-X2 direction is longer than the length L12f of the second magnetic field transmission portion 12f in the X1- .

본 실시형태에 있어서, 제 1 연자성체 (12A) 는, 제 1 자계 전달 부분 (12b) 의 길이 (L12b) 가 4.5 ㎛ 가 되고, 제 2 자계 전달 부분 (12c) 의 길이 (L12c) 가 10.4 ㎛ 가 되도록 형성되고, 교차 부분 (12a), 제 1 자계 전달 부분 (12b) 및 제 2 자계 전달 부분 (12c) 모두 폭이 2.0 ㎛ 가 되도록 형성되어 있다. 또, 제 2 연자성체 (12B) 는, 제 1 자계 전달 부분 (12e) 의 길이 (L12e) 가 10.4 ㎛ 가 되고, 제 2 자계 전달 부분 (12f) 의 길이 (L12f) 가 4.5 ㎛ 가 되도록 형성되고, 교차 부분 (12d), 제 1 자계 전달 부분 (12e) 및 제 2 자계 전달 부분 (12f) 모두 폭이 2.0 ㎛ 가 되도록 형성되어 있다.The length L12b of the first magnetic field transmission portion 12b is 4.5 mu m and the length L12c of the second magnetic field transmission portion 12c is 10.4 mu m And the crossing portion 12a, the first magnetic field transmitting portion 12b and the second magnetic field transmitting portion 12c are both formed to have a width of 2.0 占 퐉. The second soft magnetic material element 12B is formed such that the length L12e of the first magnetic field transmission portion 12e is 10.4 占 퐉 and the length L12f of the second magnetic field transmission portion 12f is 4.5 占 퐉 The intersecting portion 12d, the first magnetic field transmitting portion 12e, and the second magnetic field transmitting portion 12f are both formed to have a width of 2.0 占 퐉.

도 2 에서 부호를 붙인 이웃하는 2 개의 제 1 연자성체 (12A) 및 제 2 연자성체 (12B) 를 대표로서 주목하면, 제 1 연자성체 (12A) 가 갖는 제 2 자계 전달 부분 (12c) 의 연장 방향 중앙 위치 (12cc) 를 포함하는 중앙 부분 (12c1) 과, 제 2 연자성체 (12B) 가 갖는 제 1 자계 전달 부분 (12e) 의 연장 방향 중앙 위치 (12ec) 를 포함하는 중앙 부분 (12e1) 이, Y1-Y2 방향으로 갭 (G) 을 개재하여 대향하고 있다.As a representative, the two first soft magnetic material elements 12A and the second soft magnetic material elements 12B, which are adjacent to each other in FIG. 2, are represented by an extension of the second magnetic field transmission portion 12c of the first soft magnetic material element 12A The central portion 12c1 including the central direction position 12cc and the central portion 12e1 including the central position 12ec in the extending direction of the first magnetic field transmission portion 12e of the second soft magnetic material body 12B And faces the gap G in the Y1-Y2 direction.

도 2 에 나타내는 바와 같이, 제 1 연자성체 (12A) 의 제 2 자계 전달 부분 (12c) 과 제 2 연자성체 (12B) 의 제 1 자계 전달 부분 (12e) 이 갭 (G) 을 개재하여 대향하는 위치 (중앙 부분 (12c1) 및 중앙 부분 (12e1) 의 대향 지점) 에는 전극부 (16) 가 배치되어 있지 않다. 즉, 평면에서 볼 때, 전극부 (16) 간의 간격 (T1) 의 위치에, 갭 (G) 이 위치하고 있다. 이 갭 (G) 의 지점에, 자기 검지체 (10) 의 소자부 (11) 에 있어서의 전극부 (16) 가 중첩되어 있지 않은 부분 (즉, 자기 검지 부분 (D)) 이 배치된다.The second magnetic field transmission portion 12c of the first soft magnetic material element 12A and the first magnetic field transmission portion 12e of the second soft magnetic material element 12B are opposed to each other with the gap G interposed therebetween The electrode portions 16 are not disposed at the positions (opposite positions of the center portion 12c1 and the center portion 12e1). That is, the gap G is located at the position of the interval T1 between the electrode portions 16 in a plan view. A portion of the element portion 11 of the magnetic detection body 10 where the electrode portion 16 is not overlapped (i.e., the magnetic detection portion D) is disposed at the position of the gap G.

이 자기 검지 부분 (D) 은, 제 1 연자성체 (12A) 의 제 2 자계 전달 부분 (12c) 과 제 2 연자성체 (12B) 의 제 1 자계 전달 부분 (12e) 에 평면에서 볼 때 Y1-Y2 방향 사이에 두고 배치되어 있다. 또, 자기 검지 부분 (D) 은, 제 1 연자성체 (12A) 의 제 2 자계 전달 부분 (12c) 의 선단 (12c2) 에 대해 X1 방향으로 Ta (Ta ＞ 0) 만큼 간격을 두고 배치되고, 또한, 제 2 연자성체 (12B) 의 제 1 자계 전달 부분 (12e) 의 선단 (12e2) 에 대해 X2 방향으로 Tb (Tb ＞ 0) 만큼 간격을 두고 배치되어 있다.This magnetic detection portion D is formed by connecting the second magnetic field transmission portion 12c of the first soft magnetic material element 12A and the first magnetic field transmission portion 12e of the second soft magnetic material element 12B to Y1- Direction. The magnetic detecting portion D is disposed at an interval of Ta (Ta> 0) in the X1 direction with respect to the tip end 12c2 of the second magnetic field transmitting portion 12c of the first soft magnetic material element 12A, And Tb (Tb> 0) in the X2 direction with respect to the tip 12e2 of the first magnetic field transmission portion 12e of the second soft magnetic material body 12B.

본 실시형태에 있어서, 제 1 연자성체 (12A) 및 제 2 연자성체 (12B) 는, Ta = Tb = 3.45 ㎛ 가 되도록 배치되어 있다.In the present embodiment, the first soft magnetic material elements 12A and the second soft magnetic material elements 12B are arranged so that Ta = Tb = 3.45 mu m.

도 2 에 나타내는 바와 같이, 외부 자계 (H1) 가 X2 방향을 향하여 작용했을 때, 외부 자계 (H1) 는, 각 연자성체 (12) 내, 및 연자성체 (12A, 12B) 사이를 통과하는 화살표의 자로 (M1) 를 진행한다. 이 때, 도 4 에 나타내는 바와 같이, 소자부 (11) 에 대해 제 1 연자성체 (12A) 의 제 2 자계 전달 부분 (12c) 으로부터 제 2 연자성체 (12B) 의 제 1 자계 전달 부분 (12e) 과의 사이에서, Y2 방향에 대한 외부 자계 (H2) 가 새어, 이 외부 자계 (H2) 가 소자부 (11) 에 작용한다. 즉, 제 1 연자성체 (12A) 의 제 2 자계 전달 부분 (12c) 과 제 2 연자성체 (12B) 의 제 1 자계 전달 부분 (12e) 으로 1 쌍의 자계 전달 부분을 구성한다.As shown in Fig. 2, when the external magnetic field H1 acts toward the X2 direction, the external magnetic field H1 is reflected by the arrows passing through the respective soft magnetic material elements 12 and between the soft magnetic material elements 12A and 12B And proceeds to the magnetic path M1. 4, the first magnetic field transmitting portion 12e of the second soft magnetic material element 12B is moved from the second magnetic field transmitting portion 12c of the first soft magnetic material element 12A to the element portion 11, An external magnetic field H2 leaks in the Y2 direction and this external magnetic field H2 acts on the element portion 11. [ That is, the first magnetic field transmitting portion 12c of the first soft magnetic material element 12A and the first magnetic field transmitting portion 12e of the second soft magnetic material element 12B constitute a pair of magnetic field transmitting portions.

이와 같이 제 1 자기 저항 효과 소자 (1) 및 제 4 자기 저항 효과 소자 (4) 에서는, X2 방향의 외부 자계 (H1) 가 연자성체 (12) 에 의해 진행 방향이 Y2 방향으로 변환되어 소자부 (11) 에 작용한다.As described above, in the first magnetoresistance effect element 1 and the fourth magnetoresistance effect element 4, the external magnetic field H1 in the X2 direction is converted by the soft magnetic material element 12 in the Y2 direction into the element portion ( 11).

소자부 (11) 에서는, 전극부 (16) 가 중첩된 부분에 있어서 소자부 (11) 보다 우선적으로 전극부 (16) 에 전류가 흐르고, 이 부분에서는 소자부 (11) 로서의 감도를 갖지 않는다. 이로써, 소자부 (11) 에 있어서의 전극부 (16) 가 중첩되어 있지 않은 부분인 자기 검지 부분 (D) 만 자기 저항 효과 소자로서 기능한다.The current flows through the electrode section 16 prior to the element section 11 in the element section 11 where the electrode section 16 is overlapped and does not have sensitivity as the element section 11 in this section. As a result, only the magnetic detection portion D, which is a portion of the element portion 11 where the electrode portion 16 is not overlapped, functions as a magnetoresistance effect element.

그리고, 각 소자부 (11) 의 감도 축 방향 (P) 은 Y2 방향이다. 또 프리 자성층 (63) 의 자화 방향은 소자부 (11) 의 형상 이방성에 의해 X1-X2 방향이다. 각 소자부 (11) 에 Y2 방향의 외부 자계 (H2) 가 작용함으로써 프리 자성층 (63) 의 자화 방향은 Y2 방향을 향한다. 이 결과, 고정 자성층 (61) 의 자화 방향과 프리 자성층 (63) 의 자화 방향이 동 방향이 되어, 자기 검지 부분 (D) 의 전기 저항값은 작아진다.The sensitivity axis direction P of each element portion 11 is the Y2 direction. The magnetization direction of the free magnetic layer 63 is in the X1-X2 direction due to the shape anisotropy of the element portion 11. The magnetization direction of the free magnetic layer 63 is directed to the Y2 direction by an external magnetic field H2 in the Y2 direction acting on each element portion 11. [ As a result, the magnetization direction of the pinned magnetic layer 61 and the magnetization direction of the free magnetic layer 63 are in the same direction, and the electric resistance value of the magnetic detection portion D becomes small.

도 5 는, 본 실시형태에 있어서의 제 2 자기 저항 효과 소자 (2) 및 제 3 자기 저항 효과 소자 (3) 의 부분 확대 평면도이다.5 is a partially enlarged plan view of the second magneto resistive element 2 and the third magneto resistive element 3 in this embodiment.

도 5 에 나타내는 제 2 자기 저항 효과 소자 (2) 는, 도 5 에 나타내는 바와 같이, 자기 검지체 (10) 와, 자기 검지체 (10) 와 비접촉으로 배치된 복수의 자로 형성체로서의 연자성체 (14) 를 구비하고 있다. 또한, 제 3 자기 저항 효과 소자 (3) 에 대해서도, 도 5 에 나타내는 구성을 갖고 있다.5, the second magnetoresistive element 2 shown in Fig. 5 includes a magnetic sensing element 10 and a soft magnetic material element 10 as a plurality of magnetoresistive elements arranged in non-contact with the magnetic sensing element 10 14). The third magnetoresistance effect element 3 also has the structure shown in Fig.

제 2 자기 저항 효과 소자 (2) 는, 도 2 에 나타내는 제 1 자기 저항 효과 소자 (1) 에 있어서 복수의 연자성체 (12) 대신에, 복수의 연자성체 (14) 를 갖는 것 이외에는 동일한 구성을 갖고 있다. 즉, 도 5 에 나타내는 제 2 자기 저항 효과 소자 (2) 와 도 2 에 나타내는 제 1 자기 저항 효과 소자 (1) 사이에서 자기 검지체 (10) (소자부 (11) 및 전극부 (16)) 의 구성에 차이는 없다.The second magnetoresistive element 2 has the same configuration except that the first magnetoresistive element 1 has a plurality of soft magnetic bodies 14 instead of the plurality of soft magnetic bodies 12 I have. That is, the magnetic detecting element 10 (the element portion 11 and the electrode portion 16) is arranged between the second magneto resistive element 2 shown in Fig. 5 and the first magneto resistive element 1 shown in Fig. There is no difference in the configuration.

복수의 연자성체 (14) 는, 도 5 에 나타내는 바와 같이, 소자부 (11) (즉, 자기 검지체 (10)) 를 따라 X1-X2 방향으로 나열하여 배치되어 있다. 각 연자성체 (14) 는 NiFe, CoFe, CoFeSiB 나 CoZrNb 등으로 형성된다.As shown in Fig. 5, the plurality of soft magnetic material elements 14 are arranged in the X1-X2 direction along the element portion 11 (i.e., the magnetic detection element 10). Each soft magnetic material element 14 is formed of NiFe, CoFe, CoFeSiB, CoZrNb, or the like.

도 5 에 있어서 X1-X2 방향에서 이웃하는 2 개의 연자성체 (14) 중, X1 측에 배치된 연자성체 (14) 를 제 3 연자성체 (14C), X2 측에 배치된 연자성체 (14) 를 제 4 연자성체 (14D) 라고 정의한다. 도 5 에는, 1 세트의 연자성체 (14) 에만 부호 14C, 14D 를 붙였다. 또한, 연자성체 (14D) 의 우측으로 1 개 옆의 연자성체 (14) 및 우측으로 두 개 옆의 연자성체 (14) 에 주목하여 이들 이웃하는 2 개의 연자성체 (14) 를 페어라고 생각하면, 이들 중 좌측이 연자성체 (14C) 가 되고, 우측이 연자성체 (14D) 가 된다. X1-X2 방향으로 간격을 두고 나열된 복수의 연자성체 (14) 는, 가장 X1 측으로부터 2 개씩 페어가 되어 각각이 연자성체 (14C), 연자성체 (14D) 가 되도록 형성되어 있다.5, the soft magnetic material element 14 disposed on the X1 side is referred to as a third soft magnetic material element 14C and the soft magnetic material element 14 disposed on the X2 side among the two soft magnetic material elements 14 adjacent to each other in the X1- Is defined as a fourth soft magnetic material element 14D. In Fig. 5, only one set of the soft magnetic material elements 14 is labeled 14C and 14D. Considering the soft magnetic material elements 14 on one side and the soft magnetic material elements 14 on the right side to the right of the soft magnetic material element 14D and considering these two neighboring soft magnetic material elements 14 as a pair, The left side becomes the soft magnetic material element 14C and the right side becomes the soft magnetic material element 14D. A plurality of soft magnetic material elements 14 arranged at intervals in the X1-X2 direction are paired from the most X1 side to form soft magnetic material elements 14C and soft magnetic material elements 14D, respectively.

제 3 연자성체 (14C) 는, 자기 검지체 (10) 와 교차하여 Y1-Y2 방향으로 연장되는 교차 부분 (14a) 과, 교차 부분 (14a) 의 Y1 측단부 (즉, 자기 검지체 (10) 의 폭 방향의 일단부) 로부터 X1 방향으로 연장되고, 평면에서 볼 때 소자부 (11) 의 Y1 측에 배치되는 제 1 자계 전달 부분 (14b) 과, 교차 부분 (14a) 의 Y2 측단부 (즉, 자기 검지체 (10) 의 폭 방향의 타단부) 로부터 X2 방향으로 연장되고, 평면에서 볼 때 소자부 (11) 의 Y2 측에 배치되는 제 2 자계 전달 부분 (14c) 을 가지고 구성된다. 제 3 연자성체 (14C) 는, 평면에서 볼 때, 크랭크 형상으로 굴곡된 띠형상으로 형성되어 있다.The third soft magnetic material element 14C has a crossing portion 14a intersecting the magnetic detecting element 10 and extending in the Y1-Y2 direction and a Y1 side end portion of the crossing portion 14a A first magnetic field transmitting portion 14b which extends from the first magnetic-field transmitting portion 14a in the width direction of the element portion 11 in the X1 direction and is arranged on the Y1 side of the element portion 11 as viewed in a plan view, And a second magnetic field transmission portion 14c extending in the X2 direction from the other end in the width direction of the magnetic detection body 10 and disposed on the Y2 side of the element portion 11 as seen in a plan view. The third soft magnetic material element 14C is formed in a band shape bent in the form of a crank when seen in plan view.

제 4 연자성체 (14D) 는, 자기 검지체 (10) 와 교차하여 Y1-Y2 방향으로 연장되는 교차 부분 (14d) 과, 교차 부분 (14d) 의 Y1 측단부 (즉, 자기 검지체 (10) 의 폭 방향의 일단부) 로부터 X1 방향으로 연장되고, 평면에서 볼 때 소자부 (11) 의 Y1 측에 배치되는 제 1 자계 전달 부분 (14e) 과, 교차 부분 (14d) 의 Y2 측단부 (즉, 자기 검지체 (10) 의 폭 방향의 타단부) 로부터 X2 방향으로 연장되고 평면에서 볼 때 소자부 (11) 의 Y2 측에 배치되는 제 2 자계 전달 부분 (14f) 을 가지고 구성된다. 제 4 연자성체 (14D) 는, 평면에서 볼 때, 크랭크 형상으로 굴곡된 띠형상으로 형성되어 있다.The fourth soft magnetic material element 14D includes an intersection portion 14d which intersects the magnetic detection body 10 and extends in the Y1-Y2 direction and a Y1 side end portion of the intersection portion 14d The first magnetic field transmitting portion 14e extending from the first magnetic-field transmitting portion 14e in the Y1-side direction of the element portion 11 in the X1 direction from the Y1-side end portion of the cross portion 14d And the second magnetic field transmission portion 14f extending in the X2 direction from the other end in the width direction of the magnetic detection body 10 and disposed on the Y2 side of the element portion 11 as seen in plan view. The fourth soft magnetic material element 14D is formed in a band shape bent in a crank shape when viewed from the top.

본 실시형태에 있어서, 도 5 에 나타내는 복수의 연자성체 (14) (제 3 연자성체 (14C), 제 4 연자성체 (14D)) 는, 각각에 대응하는 연자성체 (12) (도 2 의 제 1 연자성체 (12A), 제 2 연자성체 (12B)) 를 상하 방향 (Y1-Y2 방향) 으로 반전시킨 형상과 동일하다.In the present embodiment, the plurality of soft magnetic material elements 14 (the third soft magnetic material element 14C and the fourth soft magnetic material element 14D) shown in Fig. 5 correspond to the soft magnetic material elements 12 1 soft magnetic material element 12A and second soft magnetic material element 12B) in the vertical direction (Y1-Y2 direction).

제 3 연자성체 (14C) 의 교차 부분 (14a) 및 제 4 연자성체 (14D) 의 교차 부분 (14d) 은, 각 전극부 (16) 와 Z 방향으로 이간되어 전극부 (16) 와 평면에서 볼 때 교차하도록 배치된다. 교차 부분 (14a, 14d) 과 전극부 (16) 사이에는 절연층 (25) 이 개재되고, 교차 부분 (14a, 14d) 과 전극부 (16) 는 전기적으로 비접촉으로 되어 있다.The intersection portion 14a of the third soft magnetic material element 14C and the intersection portion 14d of the fourth soft magnetic material element 14D are separated from each other in the Z direction by the electrode portions 16, . An insulating layer 25 is interposed between the intersecting portions 14a and 14d and the electrode portion 16 and the intersecting portions 14a and 14d and the electrode portion 16 are electrically noncontact.

제 3 연자성체 (14C) 는, 제 2 자계 전달 부분 (14c) 의 X1-X2 방향의 길이 (L14c) 가 제 1 자계 전달 부분 (14b) 의 X1-X2 방향의 길이 (L14b) 보다 길어지도록 형성되어 있다. 제 4 연자성체 (14D) 는, 제 1 자계 전달 부분 (14e) 의 X1-X2 방향의 길이 (L14e) 가 제 2 자계 전달 부분 (14f) 의 X1-X2 방향의 길이 (L14f) 보다 길어지도록 형성되어 있다.The third soft magnetic material element 14C is formed such that the length L14c in the X1-X2 direction of the second magnetic field transmission portion 14c is longer than the length L14b in the X1-X2 direction of the first magnetic field transmission portion 14b . The fourth soft magnetic material element 14D is formed such that the length L14e of the first magnetic field transmission portion 14e in the X1-X2 direction is longer than the length L14f of the second magnetic field transmission portion 14f in the X1- .

본 실시형태에 있어서, 제 3 연자성체 (14C) 는, 제 1 자계 전달 부분 (14b) 의 길이 (L14b) 가 4.5 ㎛ 가 되고, 제 2 자계 전달 부분 (14c) 의 길이 (L14c) 가 10.4 ㎛ 가 되도록 형성되고, 교차 부분 (14a), 제 1 자계 전달 부분 (14b) 및 제 2 자계 전달 부분 (14c) 모두 폭이 2.0 ㎛ 가 되도록 형성되어 있다. 또, 제 4 연자성체 (14D) 는, 제 1 자계 전달 부분 (14e) 의 길이 (L14e) 가 10.4 ㎛ 가 되고, 제 2 자계 전달 부분 (14f) 의 길이 (L14f) 가 4.5 ㎛ 가 되도록 형성되고, 교차 부분 (14d), 제 1 자계 전달 부분 (14e) 및 제 2 자계 전달 부분 (14f) 모두 폭이 2.0 ㎛ 가 되도록 형성되어 있다.The third soft magnetic material element 14C is formed such that the length L14b of the first magnetic field transmitting portion 14b is 4.5 占 퐉 and the length L14c of the second magnetic field transmitting portion 14c is 10.4 占 퐉 And the intersecting portion 14a, the first magnetic field transmitting portion 14b and the second magnetic field transmitting portion 14c are both formed to have a width of 2.0 占 퐉. The fourth soft magnetic material element 14D is formed such that the length L14e of the first magnetic field transmission portion 14e is 10.4 占 퐉 and the length L14f of the second magnetic field transmission portion 14f is 4.5 占 퐉 The intersection portion 14d, the first magnetic field transmission portion 14e and the second magnetic field transmission portion 14f are both formed to have a width of 2.0 占 퐉.

도 5 에서 부호를 붙인 이웃하는 2 개의 제 3 연자성체 (14C) 와 제 4 연자성체 (14D) 를 대표로서 주목하면, 제 3 연자성체 (14C) 가 갖는 제 2 자계 전달 부분 (14c) 의 연장 방향 중앙 위치 (14cc) 를 포함하는 중앙 부분 (14c1) 과, 제 4 연자성체 (14D) 가 갖는 제 1 자계 전달 부분 (14e) 의 연장 방향 중앙 위치 (14ec) 를 포함하는 중앙 부분 (14e1) 이, Y1-Y2 방향으로 갭 (G) 을 개재하여 대향하고 있다.As a representative, two adjacent third soft magnetic material elements 14C and fourth soft magnetic material elements 14D, which are labeled in Fig. 5, representatively, the extension of the second magnetic field transmission portion 14c of the third soft magnetic material element 14C The center portion 14c1 including the direction central position 14cc and the center portion 14e1 including the center position 14ec in the extending direction of the first magnetic field transmission portion 14e of the fourth soft magnetic material element 14D And faces the gap G in the Y1-Y2 direction.

도 5 에 나타내는 바와 같이, 제 3 연자성체 (14C) 의 제 2 자계 전달 부분 (14c) 과, 제 4 연자성체 (14D) 의 제 1 자계 전달 부분 (14e) 이 갭 (G) 을 개재하여 대향하는 위치 (중앙 부분 (14c1) 및 중앙 부분 (14e1) 의 대향 지점) 에는 전극부 (16) 가 배치되어 있지 않다. 즉, 평면에서 볼 때, 전극부 (16) 간의 간격 (T1) 의 위치에 상기 갭 (G) 이 위치하고 있다. 이 갭 (G) 의 지점에, 자기 검지체 (10) 의 소자부 (11) 에 있어서의 전극부 (16) 가 중첩되어 있지 않은 부분 (즉, 자기 검지 부분 (D)) 이 배치된다.The second magnetic field transmission portion 14c of the third soft magnetic material element 14C and the first magnetic field transmission portion 14e of the fourth soft magnetic material element 14D are opposed to each other with the gap G interposed therebetween, The electrode portion 16 is not disposed at the position (the opposite position of the center portion 14c1 and the center portion 14e1). That is, the gap G is located at the position of the interval T1 between the electrode portions 16 in a plan view. A portion of the element portion 11 of the magnetic detection body 10 where the electrode portion 16 is not overlapped (i.e., the magnetic detection portion D) is disposed at the position of the gap G.

이 자기 검지 부분 (D) 은, 제 3 연자성체 (14C) 의 제 2 자계 전달 부분 (14c) 과 제 4 연자성체 (14D) 의 제 1 자계 전달 부분 (14e) 에 평면에서 볼 때 Y1-Y2 방향 사이에 두고 배치되어 있다. 또, 자기 검지 부분 (D) 은, 제 3 연자성체 (14C) 의 제 2 자계 전달 부분 (14c) 의 선단 (14c2) 에 대해 X1 방향으로 Tc (Tc ＞ 0) 만큼 간격을 두고 배치되고, 또한, 제 4 연자성체 (14D) 의 제 1 자계 전달 부분 (14e) 의 선단 (14e2) 에 대해 X2 방향으로 Td (Td ＞ 0) 만큼 간격을 두고 배치되어 있다.This magnetic detection portion D is formed by connecting the second magnetic field transmission portion 14c of the third soft magnetic material element 14C and the first magnetic field transmission portion 14e of the fourth soft magnetic material element 14D to Y1- Direction. The magnetic detection portion D is disposed at an interval of Tc (Tc> 0) in the X1 direction with respect to the tip end 14c2 of the second magnetic field transmission portion 14c of the third soft magnetic material element 14C, And Td (Td> 0) in the X2 direction with respect to the tip 14e2 of the first magnetic field transmission portion 14e of the fourth soft magnetic material element 14D.

본 실시형태에 있어서, 제 3 연자성체 (14C) 및 제 4 연자성체 (14D) 는, Tc = Td = 3.45 ㎛ 가 되도록 배치되어 있다.In the present embodiment, the third soft magnetic material element 14C and the fourth soft magnetic material element 14D are arranged so that Tc = Td = 3.45 mu m.

도 5 에 나타내는 바와 같이, 외부 자계 (H1) 가 X2 방향을 향하여 작용했을 때, 외부 자계 (H1) 는, 각 연자성체 (14) 내, 및 연자성체 (14C, 14D) 사이를 통과하는 화살표의 자로 (M2) 를 진행한다. 이 때, 소자부 (11) 에 대해 제 3 연자성체 (14C) 의 제 2 자계 전달 부분 (14c) 으로부터 제 4 연자성체 (14D) 의 제 1 자계 전달 부분 (14e) 과의 사이에서, Y1 방향에 대한 외부 자계 (H3) 가 새고, 이 외부 자계 (H3) 가 소자부 (11) 에 작용한다. 즉, 제 3 연자성체 (14C) 의 제 2 자계 전달 부분 (14c) 과 제 4 연자성체 (14D) 의 제 1 자계 전달 부분 (14e) 으로 1 쌍의 자계 전달 부분을 구성한다.As shown in Fig. 5, when the external magnetic field H1 acts toward the X2 direction, the external magnetic field H1 is shifted in the directions of arrows passing through the respective soft magnetic material elements 14 and between the soft magnetic material elements 14C and 14D And proceeds to the magnetic path M2. At this time, between the element portion 11 and the second magnetic field transmission portion 14c of the third soft magnetic material element 14C and the first magnetic field transmission portion 14e of the fourth soft magnetic material element 14D, And the external magnetic field H3 acts on the element portion 11. The external magnetic field H3 acts on the element portion 11 as shown in Fig. That is, the second magnetic field transmission portion 14c of the third soft magnetic material element 14C and the first magnetic field transmission portion 14e of the fourth soft magnetic material element 14D constitute a pair of magnetic field transmission portions.

이와 같이 제 2 자기 저항 효과 소자 (2) 및 제 3 자기 저항 효과 소자 (3)에서는, X2 방향의 외부 자계 (H1) 가 연자성체 (14) 에 의해 진행 방향이 Y1 방향으로 변환되어 소자부 (11) 에 작용한다.As described above, in the second magnetoresistive element 2 and the third magnetoresistive element 3, the external magnetic field H1 in the X2 direction is converted by the soft magnetic material element 14 in the Y1 direction, 11).

소자부 (11) 에서는, 전극부 (16) 가 중첩된 부분에 있어서 소자부 (11) 보다 우선적으로 전극부 (16) 에 전류가 흐르고, 이 부분에서는 소자부 (11) 로서의 감도를 갖지 않는다. 이로써, 소자부 (11) 에 있어서의 전극부 (16) 가 중첩되어 있지 않은 부분인 자기 검지 부분 (D) 만 자기 저항 효과 소자로서 기능한다.The current flows through the electrode section 16 prior to the element section 11 in the element section 11 where the electrode section 16 is overlapped and does not have sensitivity as the element section 11 in this section. As a result, only the magnetic detection portion D, which is a portion of the element portion 11 where the electrode portion 16 is not overlapped, functions as a magnetoresistance effect element.

그리고, 각 소자부 (11) 의 감도 축 방향 (P) 은 Y2 방향이다. 또 프리 자성층 (63) 의 자화 방향은 소자부 (11) 의 형상 이방성에 의해 X1-X2 방향이다. 그리고, 각 소자부 (11) 에 Y1 방향의 외부 자계 (H3) 가 작용함으로써 프리 자성층 (63) 의 자화 방향은 Y1 방향을 향한다. 이 결과, 고정 자성층 (61) 의 자화 방향과 프리 자성층 (63) 의 자화 방향이 반대 방향이 되어, 자기 검지 부분 (D) 의 전기 저항값은 커진다.The sensitivity axis direction P of each element portion 11 is the Y2 direction. The magnetization direction of the free magnetic layer 63 is in the X1-X2 direction due to the shape anisotropy of the element portion 11. Then, the external magnetic field H3 in the Y1 direction acts on each element portion 11, so that the magnetization direction of the free magnetic layer 63 is directed in the Y1 direction. As a result, the magnetization direction of the fixed magnetic layer 61 and the magnetization direction of the free magnetic layer 63 are opposite to each other, and the electric resistance value of the magnetic detection portion D becomes large.

이와 같이, 자기 센서 (S) 에 X2 방향의 외부 자계 (H1) 가 작용하면, 제 1 자기 저항 효과 소자 (1) 및 제 4 자기 저항 효과 소자 (4) 의 전기 저항값이 작아지고, 제 2 자기 저항 효과 소자 (2) 및 제 3 자기 저항 효과 소자 (3) 의 전기 저항값은 커져, 도 1 에 나타내는 브릿지 회로에 의해 차동 출력을 얻을 수 있다.When the external magnetic field H1 in the X2 direction acts on the magnetic sensor S as described above, the electric resistance value of the first magnetoresistance effect element 1 and the fourth magnetoresistance effect element 4 becomes small, The electric resistance value of the magnetoresistance effect element 2 and the third magnetoresistance effect element 3 becomes large, and the differential output can be obtained by the bridge circuit shown in Fig.

여기서 비교예의 자기 센서에 대해 설명한다. 도 6, 도 7 은, 비교예의 자기 센서이다. 도 6 에는 제 1 자기 저항 효과 소자 및 제 4 자기 저항 효과 소자를 나타낸다. 도 7 에는 제 2 자기 저항 효과 소자 및 제 3 자기 저항 효과 소자를 나타낸다. 도 6, 도 7 에 나타내는 자기 검지체 (10) 의 구조는 도 2, 도 3 과 동일하다.Here, the magnetic sensor of the comparative example will be described. 6 and 7 are magnetic sensors of a comparative example. 6 shows the first magnetoresistive element and the fourth magnetoresistive element. 7 shows the second magnetoresistance effect element and the third magnetoresistance effect element. The structure of the magnetic detecting body 10 shown in Figs. 6 and 7 is the same as Figs. 2 and 3.

비교예의 자기 센서가 갖는 복수의 연자성체 (72, 74) 는, 상기 서술한 실시형태의 복수의 연자성체 (12, 14) 와 동일한 구성을 갖고 있다.The plurality of soft magnetic material elements 72 and 74 of the magnetic sensor of the comparative example have the same configuration as the plurality of soft magnetic material elements 12 and 14 of the above-described embodiment.

즉, 복수의 연자성체 (72) 는, 도 6 에 나타내는 바와 같이, 소자부 (11) (즉, 자기 검지체 (10)) 를 따라 X1-X2 방향으로 나열하여 배치되어 있다. 각 연자성체 (72) 는 NiFe, CoFe, CoFeSiB 나 CoZrNb 등으로 형성된다. 복수의 연자성체 (74) 에 대해서도 동일하다.That is, the plurality of soft magnetic material elements 72 are arranged in the X1-X2 direction along the element portion 11 (i.e., the magnetic detection element 10) as shown in Fig. Each soft magnetic material element 72 is formed of NiFe, CoFe, CoFeSiB, CoZrNb, or the like. The same applies to the plurality of soft magnetic material elements 74.

도 6 에 있어서 X1-X2 방향에서 이웃하는 2 개의 연자성체 (72) 중, X1 측에 배치된 연자성체 (72) 를 제 1 연자성체 (72A), X2 측에 배치된 연자성체 (72) 를 제 2 연자성체 (72B) 라고 정의한다. 도 6 에는, 1 세트의 연자성체 (72) 에만 부호 (72A, 72B) 를 붙였다. 또한, 연자성체 (72B) 의 우측으로 1 개 옆의 연자성체 (72) 및 우측으로 두 개 옆의 연자성체 (72) 에 주목하여 이들 이웃하는 2 개의 연자성체 (72) 를 페어라고 생각하면, 이들 중 좌측이 연자성체 (72A) 가 되고, 우측이 연자성체 (72B) 가 된다. X1-X2 방향으로 간격을 두고 나열된 복수의 연자성체 (72) 는, 가장 X1 측으로부터 2 개씩 페어가 되어 각각이 연자성체 (72A), 연자성체 (72B) 가 되도록 형성되어 있다.6, the soft magnetic material element 72 disposed on the X1 side is referred to as a first soft magnetic material element 72A and the soft magnetic material element 72 disposed on the X2 side is referred to as a first soft magnetic material element 72A, Is defined as a second soft magnetic material element 72B. In Fig. 6, only the set of soft magnetic material elements 72 are labeled with symbols 72A and 72B. Considering the soft magnetic material element 72 on one side and the soft magnetic material element 72 on the right side to the right of the soft magnetic material element 72B and considering these two neighboring soft magnetic material elements 72 as a pair, The left side becomes the soft magnetic material element 72A and the right side becomes the soft magnetic material element 72B. A plurality of soft magnetic material elements 72 arranged at intervals in the X1-X2 direction are formed so as to become pairs of two soft magnetic material elements 72A and soft magnetic material elements 72B from the most X1 side, respectively.

제 1 연자성체 (72A) 는, 자기 검지체 (10) 와 교차하여 Y1-Y2 방향으로 연장되는 교차 부분 (72a) 과, 교차 부분 (72a) 의 Y2 측단부 (즉, 자기 검지체 (10) 의 폭 방향의 일단부) 로부터 X1 방향으로 연장되고, 평면에서 볼 때 소자부 (11) 의 Y2 측에 배치되는 제 1 자계 전달 부분 (72b) 과, 교차 부분 (72a) 의 Y1 측단부 (즉, 자기 검지체 (10) 의 폭 방향의 타단부) 로부터 X2 방향으로 연장되고, 평면에서 볼 때 소자부 (11) 의 Y1 측에 배치되는 제 2 자계 전달 부분 (72c) 을 가지고 구성된다. 제 1 연자성체 (72A) 는, 평면에서 볼 때, 크랭크 형상으로 굴곡된 띠형상으로 형성되어 있다.The first soft magnetic material element 72A has a crossing portion 72a intersecting the magnetic detecting body 10 and extending in the Y1-Y2 direction and a Y2 side end portion of the crossing portion 72a A first magnetic field transmission portion 72b extending in the X1 direction from the Y1 side portion of the intersection portion 72a and extending in the X1 direction from the Y1 side of the element portion 11 And a second magnetic field transmission portion 72c extending in the X2 direction from the other end in the width direction of the magnetic detection body 10 and disposed on the Y1 side of the element portion 11 as seen in plan view. The first soft magnetic material element 72A is formed in a band shape bent in a crank shape when viewed in plan view.

제 2 연자성체 (72B) 는, 자기 검지체 (10) 와 교차하여 Y1-Y2 방향으로 연장되는 교차 부분 (72d) 과, 교차 부분 (72d) 의 Y2 측단부 (즉, 자기 검지체 (10) 의 폭 방향의 일단부) 로부터 X1 방향으로 연장되고, 평면에서 볼 때 소자부 (11) 의 Y2 측에 배치되는 제 1 자계 전달 부분 (72e) 과, 교차 부분 (12d) 의 Y1 측단부 (즉, 자기 검지체 (10) 의 폭 방향의 타단부) 로부터 X2 방향으로 연장되고, 평면에서 볼 때 소자부 (11) 의 Y1 측에 배치되는 제 2 자계 전달 부분 (72f) 을 가지고 구성된다. 제 2 연자성체 (72B) 는, 평면에서 볼 때, 크랭크 형상으로 굴곡된 띠형상으로 형성되어 있다.The second soft magnetic material element 72B has an intersection portion 72d that intersects with the magnetic detection body 10 and extends in the Y1-Y2 direction and a Y2 side end portion of the intersection portion 72d A first magnetic field transmitting portion 72e extending from the first magnetic field transmitting portion 72e in the Y1 direction of the element portion 11 in the X1 direction from the Y1 side end portion of the intersection portion 12d And a second magnetic field transmission portion 72f extending in the X2 direction from the other end in the width direction of the magnetic detection body 10 and disposed on the Y1 side of the element portion 11 as seen in plan view. The second soft magnetic material element 72B is formed into a band shape bent in a crank shape when viewed in a plan view.

도 7 에 나타내는 복수의 연자성체 (74) (제 3 연자성체 (74C), 제 4 연자성체 (74D)) 는, 각각에 대응하는 연자성체 (72) (도 6 의 제 1 연자성체 (72A), 제 2 연자성체 (72B)) 를 상하 방향 (Y1-Y2 방향) 으로 반전시킨 형상과 동일하므로, 설명을 생략한다.The plurality of soft magnetic material elements 74 (the third soft magnetic material element 74C and the fourth soft magnetic material element 74D) shown in Fig. 7 are respectively provided with the soft magnetic material elements 72 (the first soft magnetic material elements 72A, , And the second soft magnetic material element 72B) are inverted in the vertical direction (Y1-Y2 direction), and the description is omitted.

도 6 의 비교예의 제 1 자기 저항 효과 소자 및 제 4 자기 저항 효과 소자에 있어서 도 2 에 나타내는 본 실시형태의 제 1 자기 저항 효과 소자 및 제 4 자기 저항 효과 소자와 상이한 점은, 자기 검지체 (10) 의 자기 검지 부분 (D) (소자부 (11) 에 있어서의 전극부 (16) 가 중첩되어 있지 않은 부분) 과 제 1 연자성체 (72A) 의 제 2 자계 전달 부분 (72c) 및 제 2 연자성체 (72B) 의 제 1 자계 전달 부분 (72e) 의 위치 관계이다.The first magneto resistive element and the fourth magneto resistive element of the comparative example of Fig. 6 differ from the first magneto resistive element and the fourth magneto resistive element of this embodiment shown in Fig. 2 in the magnetic sensing element And the second magnetic field transmitting portion 72c of the first soft magnetic material element 72A and the second magnetic field transmitting portion 72c of the second soft magnetic material element 72A (portion where the electrode portion 16 of the element portion 11 is not overlapped) And the positional relationship of the first magnetic field transmission portion 72e of the soft magnetic material element 72B.

구체적으로는, 도 2 에 나타내는 본 실시형태에서는, 자기 검지 부분 (D) 이, 제 1 연자성체 (12A) 의 제 2 자계 전달 부분 (72c) 과 제 2 연자성체 (12B) 의 제 1 자계 전달 부분 (72e) 사이에 끼워져 배치됨과 함께, 자기 검지 부분 (D) 이, 제 1 연자성체 (12A) 의 제 2 자계 전달 부분 (12c) 의 선단 (12c2) 에 대해 X1 방향으로 간격 (Ta) 을 두고 배치되고 또한 제 2 연자성체 (12B) 의 제 1 자계 전달 부분 (12e) 의 선단 (12e2) 에 대해 X2 방향으로 간격 (Tb) 을 두고 배치되어 있다.More specifically, in the present embodiment shown in Fig. 2, the magnetic detection portion D is disposed between the second magnetic field transmission portion 72c of the first soft magnetic material element 12A and the first magnetic field transmission portion 12B of the second soft magnetic material element 12B The magnetic detecting portion D is sandwiched between the portion 72e and the gap Ta in the X1 direction with respect to the tip end 12c2 of the second magnetic field transmitting portion 12c of the first soft magnetic material element 12A And is disposed at an interval Tb in the X2 direction with respect to the tip end 12e2 of the first magnetic field transmission portion 12e of the second soft magnetic material element 12B.

한편, 비교예에서는, 자기 검지 부분 (D) 이, 제 1 연자성체 (72A) 의 제 2 자계 전달 부분 (72c) 과 제 2 연자성체 (72B) 의 제 1 자계 전달 부분 (72e) 사이에 끼워져 배치되는 점은 동일하지만, 자기 검지 부분 (D) 이, 제 1 연자성체 (72A) 의 제 2 자계 전달 부분 (72c) 의 선단 (72c2) 과 Y1-Y2 방향에 대향하여 배치되고 (즉, 선단 (72c2) 에 대해 X1 방향이 아니라, 반대의 X2 방향으로 간격을 두고 있다) 또한 제 2 연자성체 (72B) 의 제 1 자계 전달 부분 (72e) 의 선단 (72e2) 과 Y1-Y2 방향에 대향하여 배치되어 있다 (즉, X2 방향이 아니라, 반대의 X1 방향으로 간격을 두고 있다).On the other hand, in the comparative example, the magnetic detecting portion D is sandwiched between the second magnetic field transmitting portion 72c of the first soft magnetic material element 72A and the first magnetic field transmitting portion 72e of the second soft magnetic material element 72B But the magnetic detection portion D is disposed opposite to the Y1-Y2 direction with the tip 72c2 of the second magnetic field transmission portion 72c of the first soft magnetic material element 72A (i.e., The first magnetic field transmitting portion 72e of the second soft magnetic material element 72B is spaced apart from the first magnetic field transmitting portion 72e of the second soft magnetic material element 72B in the Y1-Y2 direction (That is, not in the X2 direction but in the opposite X1 direction).

여기서, 도 8 에, 막대 자석에 의해 발생되는 자계 방향 (자력선) 을 모식적으로 나타낸다. 도 8 에 나타내는 바와 같이 막대 자석은 길이 방향 양 단부에 자극이 발생하여 평면에서 볼 때 장변 (도 8 의 X1-X2 방향으로 연장되는 변) 을 보면, 양단에 가까울수록 자계 방향이 장변과 직교하는 방향 (Y1-Y2 방향) 을 향하고, 양단으로부터 멀어져 장변의 길이 방향 중앙에 가까워질수록 자계 방향이 장변과 평행하게 가까워진다. 즉, 장척 형상의 자성체에 있어서는, 형상 자기 이방성에 의해 길이 방향 단부에 자극이 발생하기 쉽고, 이 자극이 발생한 단부로부터 길이 방향 중앙 쪽으로 멀어짐으로써 자성체로부터 발생하는 자계에 있어서의 길이 방향과 직교하는 성분이 비교적 작아지고 또한 길이 방향과 평행한 성분이 비교적 커진다.Here, FIG. 8 schematically shows a magnetic field direction (magnetic force line) generated by the bar magnet. As shown in Fig. 8, in the bar magnet, magnetic poles are generated at both ends in the longitudinal direction, and when viewing the long side (the side extending in the X1-X2 direction in Fig. 8) as viewed from the plane, Direction (Y1-Y2 direction) and away from both ends and approaching the center in the longitudinal direction of the long side, the magnetic field direction approaches parallel to the long side. That is, in the elongated magnetic body, a magnetic pole is likely to be generated at the end portion in the longitudinal direction due to the shape magnetic anisotropy, and is moved away from the end portion where the magnetic pole is generated toward the longitudinal center direction, thereby generating a component orthogonal to the longitudinal direction Becomes relatively small and the component parallel to the longitudinal direction becomes relatively large.

그리고, 도 6 에 나타내는 바와 같이, 비교예에 있어서, 외부 자계 (H1) 가 X2 방향을 향하여 작용했을 때, 외부 자계 (H1) 는, 연자성체 (72) 내, 및 연자성체 (72A, 72B) 사이를 통과하는 화살표의 자로 (M3) 를 진행한다. 이 때, 소자부 (11) 에 대해 제 1 연자성체 (72A) 의 제 2 자계 전달 부분 (72c) 으로부터 제 2 연자성체 (72B) 의 제 1 자계 전달 부분 (72e) 과의 사이에서, Y2 방향에 대한 외부 자계 (H2) 가 새고, 이 외부 자계 (H2) 가 소자부 (11) 에 작용한다.6, in the comparative example, when the external magnetic field H1 acts toward the X2 direction, the external magnetic field H1 is generated in the soft magnetic material element 72 and the soft magnetic material elements 72A and 72B, And proceeds through the magnetic path M3 of the arrow passing between the magnetic poles. At this time, between the second magnetic field transmission portion 72c of the first soft magnetic material element 72A and the first magnetic field transmission portion 72e of the second soft magnetic material element 72B, The external magnetic field H2 leaks to the element portion 11 and the external magnetic field H2 acts on the element portion 11. [

그 후, 외부 자계 (H1) 가 제거되어 복수의 연자성체 (72) 에 잔류 자화가 발생한 경우, 형상 자기 이방성에 의해 제 1 연자성체 (72A) 의 제 2 자계 전달 부분 (72c) 의 선단 (72c2) 및 제 2 연자성체 (72B) 의 제 1 자계 전달 부분 (72e) 의 선단 (72e2) 에 자극이 나타난다. 그리고, 자기 검지 부분 (D) 이, 이들 선단 (72c2) 및 선단 (72e2) 과 Y1-Y2 방향에 대향하여 배치되어 있으므로, 자기 검지 부분 (D) 에 대해, 잔류 자화에 의한 자계에 있어서의 Y1-Y2 방향의 성분이 비교적 커지고 또한 X1-X2 방향의 성분이 비교적 작아지고, 그 때문에, 자기 검지 부분 (D) 에 의해 잔류 자화에 의한 자계 (자기) 가 검지되기 쉬워진다. 이로써, 히스테리시스의 문제가 발생한다.Thereafter, when the external magnetic field H1 is removed and residual magnetization is generated in the plurality of soft magnetic material elements 72, the shape of the magnetic soft material 72 is changed by the shape magnetic anisotropy so that the tip end 72c2 of the second magnetic field transmitting portion 72c of the first soft magnetic material element 72A And the tip 72e2 of the first magnetic field transmission portion 72e of the second soft magnetic material element 72B. Since the magnetic detection portion D is disposed opposite to the Y1-Y2 direction with the tip end 72c2 and the tip end 72e2 of the magnetic detection portion D, The component in the -Y2 direction becomes relatively large and the component in the direction of X1-X2 becomes relatively small. Therefore, the magnetic field (magnetism) due to the residual magnetization is easily detected by the magnetic detection portion D As a result, a problem of hysteresis occurs.

이에 대하여 본 실시형태에서는, 자기 검지 부분 (D) 이, 제 1 연자성체 (12A) 의 제 2 자계 전달 부분 (12c) 의 선단 (12c2) 과 X1 방향으로 Ta (Ta ＞ 0) 만큼 간격을 두고 배치되고, 또한, 제 2 연자성체 (12B) 의 제 1 자계 전달 부분 (12e) 의 선단 (12e2) 과 X2 방향으로 Tb (Tb ＞ 0) 만큼 간격을 두고 배치되어 있으므로, 자기 검지 부분 (D) 에 대해, 잔류 자화에 의한 자계에 있어서의 Y1-Y2 방향의 성분이 비교적 작아지고 또한 X1-X2 방향의 성분이 비교적 커지기 때문에, 자기 검지 부분에 의해 잔류 자화에 의한 자계 (자기) 가 검지되기 어려워진다. 이로써, 히스테리시스의 문제를 개선할 수 있다. 또한, 도 7 의 비교예의 제 2 자기 저항 효과 소자 및 제 3 자기 저항 효과 소자에 있어서 도 5 에 나타내는 본 실시형태의 제 2 자기 저항 효과 소자 및 제 3 자기 저항 효과 소자와 상이한 점에 대해서도 동일하므로 설명은 생략한다.On the other hand, in the present embodiment, the magnetic detecting portion D is spaced apart from the tip 12c2 of the second magnetic field transmitting portion 12c of the first soft magnetic material element 12A by Ta (Ta> 0) in the X1 direction And is arranged at a distance of Tb (Tb> 0) in the X2 direction from the tip end 12e2 of the first magnetic field transmission portion 12e of the second soft magnetic material element 12B, (Magnetic) due to the residual magnetization is hard to be detected by the magnetic detecting portion because the component in the Y1-Y2 direction in the magnetic field due to the residual magnetization becomes relatively small and the component in the X1-X2 direction becomes relatively large Loses. As a result, the problem of hysteresis can be improved. The second magneto-resistance effect element and the third magneto-resistance effect element of the comparative example of Fig. 7 are the same as those of the second magneto resistive element and the third magneto resistive element of the present embodiment shown in Fig. 5 The description is omitted.

이상으로부터, 본 실시형태에 의하면, 외부 자계의 자로를 형성하도록 자기 검지체 (10) 를 따라 나열된 복수의 연자성체 (12) 중 이웃하는 2 개의 연자성체 (12A, 12B) 가, 자기 검지체 (10) 를 따라 띠형상으로 연장됨과 함께 평면에서 볼 때 자기 검지체 (10) 의 자기 검지 부분 (D) 을 Y1-Y2 방향 사이에 두고, 서로의 사이를 외부 자계가 진행 가능하게 대향하여 배치되어 쌍을 이루는 연자성체 (12A) 의 제 2 자계 전달 부분 (12c) 및 연자성체 (12B) 의 제 1 자계 전달 부분 (12e) (즉, 1 쌍의 자계 전달 부분) 을 갖고 있다. 그리고, 자기 검지 부분 (D) 이, 연자성체 (12A) 의 제 2 자계 전달 부분 (12c) 의 선단 (12c2) 및 연자성체 (12B) 의 제 1 자계 전달 부분 (12e) 의 선단 (12e2) 의 양방과 X1-X2 방향으로 간격을 두고 배치되어 있다. 이로써, 쌍을 이루는 연자성체 (12A) 의 제 2 자계 전달 부분 (12c) 및 연자성체 (12B) 의 제 1 자계 전달 부분 (12e) 은, 띠형상으로 연장되어 있으므로 형상 자기 이방성에 의해 선단 (12c2) 및 선단 (12e2) 에 자극이 나타나고, 이들 선단 (12c2) 및 선단 (12e2) 으로부터 멀어짐에 따라 자계의 방향이 X1-X2 방향을 따르도록 변화되어, 요컨대, 자계에 있어서의 X1-X2 방향 (연장 방향) 으로 직교하는 성분이 작아지고 또한 X1-X2 방향으로 평행한 성분이 커진다. 그 때문에, 이들 선단 (12c2) 및 선단 (12e2) 으로부터 떨어져 자기 검지 부분 (D) 을 배치함으로써, 연자성체 (12) 에 잔류 자화가 발생한 경우에도, 자기 검지 부분 (D) 에 의해 검지되는 연자성체 (12A, 12B) 의 잔류 자화에 의한 자계에 대해 당해 자기 검지 부분 (D) 의 감도 축 방향 (Y1-Y2 방향) 의 성분을 보다 작게 할 수 있다. 복수의 연자성체 (14) 에 대해서도 동일하다. 이 점에서, 잔류 자화의 변화의 영향을 저감시킬 수 있다.As described above, according to the present embodiment, two adjacent soft magnetic material elements 12A and 12B among a plurality of soft magnetic material elements 12 arranged along the magnetic detecting element 10 to form a magnetic path of an external magnetic field, 10 and a magnetic detection part D of the magnetic detecting body 10 is disposed between the Y1 and Y2 directions so as to face the external magnetic field so as to be able to advance with respect to each other The second magnetic field transmission portion 12c of the soft magnetic material element 12A and the first magnetic field transmission portion 12e of the soft magnetic material element 12B (i.e., a pair of magnetic field transmission portions). The magnetic detection portion D is located on the tip 12c2 of the second magnetic field transmission portion 12c of the soft magnetic material element 12A and the tip 12c2 of the tip 12e2 of the first magnetic field transmission portion 12e of the soft magnetic material element 12B And are spaced apart from each other in the X1-X2 direction. As a result, the second magnetic field transmission portion 12c of the soft magnetic material element 12A and the first magnetic field transmission portion 12e of the soft magnetic material element 12B of the pair are extended in a strip shape, The direction of the magnetic field changes along the X1-X2 direction as the magnetic poles become distant from the tip ends 12c2 and 12e2. That is, the magnetic field changes in the X1-X2 direction The extending direction) becomes smaller and the component parallel to the X1-X2 direction becomes larger. Therefore, even when residual magnetization is generated in the soft magnetic material element 12 by disposing the magnetic detection portion D away from the front end 12c2 and the tip end 12e2 of the soft magnetic body 12, The components in the sensitivity axis direction (Y1-Y2 direction) of the magnetic detection portion D can be made smaller with respect to the magnetic field due to the residual magnetization of the magnetic detection portions 12A and 12B. The same applies to a plurality of soft magnetic material elements 14. In this respect, the influence of the change in the residual magnetization can be reduced.

또, 본 실시형태에 의하면, 자기 검지 부분 (D) 이, 1 쌍의 자계 전달 부분인 연자성체 (12A) 의 제 2 자계 전달 부분 (12c) 및 연자성체 (12B) 의 제 1 자계 전달 부분 (12e) 의 각각의 연장 방향 중앙 부분의 양방과 Y1-Y2 방향에 대향하여 배치되어 있다. 이로써, 자기 검지 부분 (D) 이, 선단 (12c2) 및 선단 (12e2) 으로부터 보다 멀어져 그 연장 방향 중앙 위치 부근에 배치되므로, 자기 검지 부분 (D) 에 의해 검지되는 연자성체 (12A, 12B) 의 잔류 자화에 의한 자계에 대해 당해 자기 검지 부분 (D) 의 감도 축 방향의 성분을 더욱 작게 할 수 있다. 복수의 연자성체 (14) 에 대해서도 동일하다. 이 점에서, 잔류 자화의 변화의 영향을 더욱 저감시킬 수 있다.According to the present embodiment, the magnetic detection portion D is formed by the second magnetic field transmission portion 12c of the soft magnetic material element 12A and the first magnetic field transmission portion 12B of the soft magnetic material element 12B, 12e and the Y1-Y2 direction, respectively. As a result, since the magnetic detection portion D is located farther from the tip end 12c2 and the tip end 12e2 and is disposed in the vicinity of the central position in the extending direction of the soft magnetic body portions 12A and 12B detected by the magnetic detection portion D The component in the sensitivity axis direction of the magnetic detection portion D can be further reduced with respect to the magnetic field by the residual magnetization. The same applies to a plurality of soft magnetic material elements 14. In this respect, the influence of the change in the residual magnetization can be further reduced.

또, 본 실시형태에서는, 이웃하는 2 개의 연자성체 (12A, 12B) 의 각각이, 자기 검지체 (10) 와 교차하여 Y1-Y2 방향으로 연장되는 교차 부분 (12a, 12d) 과, 교차 부분 (12a, 12d) 에 있어서의 Y2 측단부로부터 X1 방향을 따라 띠형상으로 연장되는 제 1 자계 전달 부분 (12b, 12e) 과, 교차 부분 (12a, 12d) 에 있어서의 Y1 측단부로부터 X2 방향을 따라 띠형상으로 연장되는 제 2 자계 전달 부분 (12c, 12f) 을 갖고 있다. 그리고, 이웃하는 2 개의 연자성체 (12A, 12B) 중 일방의 연자성체 (12A) 의 제 2 자계 전달 부분 (12c) 과 타방의 연자성체 (12B) 의 제 1 자계 전달 부분 (12e) 으로 1 쌍의 자계 전달 부분을 구성하고 있다. 복수의 연자성체 (14) 에 대해서도 동일하다.In this embodiment, each of two adjacent soft magnetic material elements 12A and 12B includes intersecting portions 12a and 12d extending in the Y1-Y2 direction and intersecting the magnetic detecting body 10, 12d extending in the X1 direction from the Y2 side end in the X1 direction and the first magnetic field transmission portions 12b, 12e extending in the X2 direction from the Y1 side end in the intersection portions 12a, And second magnetic field transmission parts 12c and 12f extending in a strip shape. The first magnetic field transmitting portion 12e of the soft magnetic material body 12A and the second magnetic field transmitting portion 12c of the one soft magnetic material element 12A among the two neighboring soft magnetic material elements 12A and 12B, And a magnetic field transmission portion of the magnetic field. The same applies to a plurality of soft magnetic material elements 14.

또, 본 실시형태에서는, 이웃하는 2 개의 연자성체 (12A, 12B) 중 일방의 연자성체 (12A) 의 제 2 자계 전달 부분 (12c) 이 그 제 1 자계 전달 부분 (12b) 보다 길게 형성되고, 타방의 연자성체 (12B) 의 제 1 자계 전달 부분 (12e) 이 그 제 2 자계 전달 부분 (12f) 보다 길게 형성되어 있다. 이로써, 연자성체 (12A, 12B) 에 대해, 형상 자기 이방성을 유지한 채로, 일방의 연자성체 (12A) 의 제 2 자계 전달 부분 (12c) 및 타방의 연자성체 (12B) 의 제 1 자계 전달 부분 (12e) 으로부터 새는 자계의 영향을 저감시켰다. 복수의 연자성체 (14) 에 대해서도 동일하다.In the present embodiment, the second magnetic field transmission portion 12c of one of the two soft magnetic material elements 12A and 12B adjacent to each other is formed longer than the first magnetic field transmission portion 12b, The first magnetic field transmission portion 12e of the other soft magnetic material body 12B is formed longer than the second magnetic field transmission portion 12f. This allows the second magnetic field transmission portion 12c of the one soft magnetic body 12A and the first magnetic field transmission portion 12B of the other soft magnetic body 12B of the other soft magnetic body 12B, The influence of the magnetic field leaking from the magnetic pole 12e is reduced. The same applies to a plurality of soft magnetic material elements 14.

이상에 의해, 본 실시형태에서는, 비교예에 나타나는 종래의 구성에 비해 히스테리시스를 효과적으로 개선할 수 있다.As described above, in this embodiment, hysteresis can be effectively improved as compared with the conventional configuration shown in the comparative example.

이상, 본 발명에 대해, 바람직한 실시형태를 들어 설명했지만, 본 발명의 자기 센서는 상기 실시형태의 구성에 한정되는 것은 아니다.Although the preferred embodiments of the present invention have been described above, the magnetic sensor of the present invention is not limited to the configurations of the above embodiments.

예를 들어, 상기 서술한 실시형태에서는, 자기 검지 부분 (D) 이, 제 1 연자성체 (12A) 의 제 2 자계 전달 부분 (12c) 의 선단 (12c2) 과 X1 방향으로 Ta (Ta ＞ 0) 만큼 간격을 두고 배치되고, 또한, 제 2 연자성체 (12B) 의 제 1 자계 전달 부분 (12e) 의 선단 (12e2) 과 X2 방향으로 Tb (Tb ＞ 0) 만큼 간격을 두고 배치되어 있는 구성이었지만, 이것에 한정되는 것은 아니다. 자기 검지 부분 (D) 이, 상기 선단 (12c2) 과만 X1 방향으로 간격을 두고 배치되고, 선단 (12e2) 과 Y1-Y2 방향에 대향하여 배치된 (즉, X2 방향으로 간격을 두고 있지 않은) 구성이어도 된다. 또는, 이것과는 반대로, 자기 검지 부분 (D) 이, 상기 선단 (12e2) 과만 X2 방향으로 간격을 두고 배치되고, 선단 (12c2) 과 Y1-Y2 방향에 대향하여 배치된 (즉, X1 방향으로 간격을 두고 있지 않은) 구성이어도 된다. 자기 검지 부분 (D) 과 제 3 연자성체 (14C) 및 제 4 연자성체 (14D) 의 위치 관계에 대해서도 동일하다.For example, in the above-described embodiment, the magnetic detection portion D is disposed between the tip 12c2 of the second magnetic field transmission portion 12c of the first soft magnetic material element 12A and Ta (Ta> 0) in the X1 direction, And is disposed at an interval of Tb (Tb > 0) in the X2 direction from the tip 12e2 of the first magnetic field transmission portion 12e of the second soft magnetic material element 12B. However, It is not limited thereto. The magnetic detection portion D is arranged only in the X1 direction with respect to the tip end 12c2 and is arranged so as to face the tip 12e2 in the Y1-Y2 direction (that is, not spaced in the X2 direction) . Alternatively, in contrast to this, the magnetic detection portion D is disposed only in the X2 direction with the tip end 12e2, and is arranged so as to face the tip 12c2 in the Y1-Y2 direction But not spaced). The same is true of the positional relationship between the magnetic detection portion D, the third soft magnetic material element 14C and the fourth soft magnetic material element 14D.

또, 상기 서술한 실시형태에서는, 연자성체 (12) 의 제 1 자계 전달 부분과 제 2 자계 전달 부분은 길이가 상이한 구성이었지만, 이들 제 1 자계 전달 부분과 제 2 자계 전달 부분의 길이를 동일하게 해도 된다. 연자성체 (14) 에 대해서도 동일하다.Although the first magnetic field transmission portion and the second magnetic field transmission portion of the soft magnetic material element 12 have different lengths in the above-described embodiment, the lengths of the first magnetic field transmission portion and the second magnetic field transmission portion are set to be the same You can. The same applies to the soft magnetic material element 14.

또, 상기 서술한 실시형태에서는, 복수의 연자성체 (12) (및 연자성체 (14)) 가, 가장 X1 측으로부터 2 개씩 페어가 되어 각각이 연자성체 (12A, 12B) (또는, 연자성체 (14C, 14D)) 가 되도록 형성되고, 이들 페어의 일방의 연자성체 (12A) 의 제 2 자계 전달 부분 (12c) 과 타방의 연자성체 (12B) 의 제 1 자계 전달 부분 (12e) 사이에 자기 검지 부분 (D) 이 형성되어 있는 것이었지만, 이것에 한정되는 것은 아니다. 이 타방의 연자성체 (12B) 는, 그 X2 측의 연자성체 (12) 와의 관계에서 일방의 연자성체 (12A) 가 되고, 그 X2 측의 연자성체 (12) 가 타방의 연자성체 (12B) 가 되어, 이들을 페어로 하여 일방의 연자성체 (12A) 의 제 2 자계 전달 부분 (12c) 과 타방의 연자성체 (12B) 의 제 1 자계 전달 부분 (12e) 사이에 자기 검지 부분 (D) 이 형성되어 있는 것이어도 된다. 연자성체 (14) 에 대해서도 동일하다.In the embodiment described above, a plurality of soft magnetic material elements 12 (and soft magnetic material elements 14) are paired from the innermost X1 side to form soft magnetic material elements 12A and 12B (or soft magnetic material elements 14C, and 14D). Between the second magnetic field transmission portion 12c of one soft magnetic body 12A and the first magnetic field transmission portion 12e of the other soft magnetic body 12B of these pairs, The portion D is formed, but the present invention is not limited to this. The other soft magnetic material element 12B becomes one soft magnetic material element 12A in relation to the soft magnetic material element 12 on the X2 side and the soft magnetic material element 12 on the X2 side becomes the other soft magnetic material element 12B Magnetic detection portion D is formed between the second magnetic field transmission portion 12c of one soft magnetic material element 12A and the first magnetic field transmission portion 12e of the other soft magnetic material element 12B in pairs It may be. The same applies to the soft magnetic material element 14.

실시예Example

도 9 ∼ 도 11 에 나타내는 본 발명의 실시예 및 비교예를 이용하여, 자기 검지 부분 (D) 과, 복수의 연자성체의 위치 관계, 및, 연자성체의 형상을 변화시켰을 때의 히스테리시스량 (중점 편차) 을 구하였다.9 to 11, the positional relationship between the magnetic detection portion D and the plurality of soft magnetic material elements and the hysteresis amount when the shape of the soft magnetic material element is changed Respectively.

도 9 ∼ 도 11 은, 본 발명의 실시예 및 비교예에 있어서의 자기 저항 효과 소자의 부분 확대 평면도이다.Figs. 9 to 11 are partially enlarged plan views of magnetoresistance effect elements in Examples and Comparative Examples of the present invention. Fig.

실시예 1 에서는, 도 9 에 나타내는 바와 같이, 제 1 연자성체 (12A) 의 제 2 자계 전달 부분 (12c) 의 길이 (L12c) 를, 제 1 자계 전달 부분 (12b) 의 길이 (L12b) 보다 길게 하고, 또한, 제 2 연자성체 (12B) 의 제 1 자계 전달 부분 (12e) 의 길이 (L12e) 를, 제 2 자계 전달 부분 (12f) 의 길이 (L12f) 보다 길게 하였다. 구체적으로는, 제 1 연자성체 (12A) 는, 제 1 자계 전달 부분 (12b) 의 길이 (L12b) 가 5.0 ㎛ 가 되고, 제 2 자계 전달 부분 (12c) 의 길이 (L12c) 가 10.4 ㎛ 가 되도록 형성하고, 교차 부분 (12a), 제 1 자계 전달 부분 (12b) 및 제 2 자계 전달 부분 (12c) 모두 폭이 2.0 ㎛ 가 되도록 형성하고 있다. 또, 제 2 연자성체 (12B) 는, 제 1 자계 전달 부분 (12e) 의 길이 (L12e) 가 10.4 ㎛ 가 되고, 제 2 자계 전달 부분 (12f) 의 길이 (L12f) 가 5.0 ㎛ 가 되도록 형성하고, 교차 부분 (12d), 제 1 자계 전달 부분 (12e) 및 제 2 자계 전달 부분 (12f) 모두 폭이 2.0 ㎛ 가 되도록 형성하고 있다. 길이 (L12b) 와 길이 (L12f) 는 동일하고, 길이 (L12c) 와 길이 (L12e) 는 동일하다. 제 1 연자성체 (12A) 및 제 2 연자성체 (12B) 의 두께는 3 ㎛ 로 했다. 또, 제 1 연자성체 (12A) 의 제 2 자계 전달 부분 (12c) 의 선단 (12c2) 으로부터 자기 검지 부분 (D) 까지의 X1 방향의 거리 (Ta) 를 3.45 ㎛ 로 하고, 제 2 연자성체 (12B) 의 제 1 자계 전달 부분 (12e) 의 선단 (12e2) 으로부터 자기 검지 부분 (D) 까지의 X2 방향의 거리 (Tb) 를 3.45 ㎛ 로 하였다. 전극부 (16) 사이의 간격 (T1) 을 2.5 ㎛ 로 하였다.9, the length L12c of the second magnetic field transmission portion 12c of the first soft magnetic material element 12A is set longer than the length L12b of the first magnetic field transmission portion 12b And the length L12e of the first magnetic field transmission portion 12e of the second soft magnetic material element 12B is made longer than the length L12f of the second magnetic field transmission portion 12f. Specifically, the first soft magnetic material element 12A is formed such that the length L12b of the first magnetic-field transmission portion 12b is 5.0 占 퐉 and the length L12c of the second magnetic-field transmission portion 12c is 10.4 占 퐉 And the crossing portion 12a, the first magnetic field transmitting portion 12b and the second magnetic field transmitting portion 12c are both formed to have a width of 2.0 占 퐉. The second soft magnetic material element 12B is formed such that the length L12e of the first magnetic field transmission portion 12e is 10.4 占 퐉 and the length L12f of the second magnetic field transmission portion 12f is 5.0 占 퐉 The intersecting portion 12d, the first magnetic field transmitting portion 12e, and the second magnetic field transmitting portion 12f are both formed to have a width of 2.0 占 퐉. The length L12b and the length L12f are the same, and the length L12c and the length L12e are the same. The first soft magnetic material element 12A and the second soft magnetic material element 12B have a thickness of 3 mu m. The distance Ta in the X1 direction from the tip end 12c2 of the second magnetic field transmission portion 12c of the first soft magnetic material element 12A to the magnetic detection portion D is set to 3.45 占 퐉 and the second soft magnetic material element The distance Tb in the X2 direction from the tip end 12e2 of the first magnetic field transmission portion 12e of the magnetic field detection portion 12B to the magnetic detection portion D is set to 3.45 mu m. And the interval T1 between the electrode portions 16 was 2.5 占 퐉.

실시예 2 에서는, 평면에서 볼 때의 형상을 실시예 1 과 동일하게 하고 (도 9), 제 1 연자성체 (12A) 및 제 2 연자성체 (12B) 의 두께를 2 ㎛ 로 하였다.In the second embodiment, the shape of the first soft magnetic material elements 12A and the second soft magnetic material elements 12B is set to 2 mu m in the same manner as in the first embodiment (Fig. 9).

실시예 3 에서는, 도 10 에 나타내는 바와 같이, 제 1 연자성체 (12A) 의 제 1 자계 전달 부분 (12b) 의 길이 (L12b) 와 제 2 자계 전달 부분 (12c) 의 길이 (L12c) 를 동일한 길이로 하고, 또한, 제 2 연자성체 (12B) 의 제 1 자계 전달 부분 (12e) 의 길이 (L12e) 와 제 2 자계 전달 부분 (12f) 의 길이 (L12f) 를 동일한 길이로 하였다. 구체적으로는, 제 1 연자성체 (12A) 는, 제 1 자계 전달 부분 (12b) 의 길이 (L12b) 및 제 2 자계 전달 부분 (12c) 의 길이 (L12c) 가 모두 8.4 ㎛ 가 되도록 형성하고, 교차 부분 (12a), 제 1 자계 전달 부분 (12b) 및 제 2 자계 전달 부분 (12c) 모두 폭이 2.0 ㎛ 가 되도록 형성하고 있다. 또, 제 2 연자성체 (12B) 는, 제 1 자계 전달 부분 (12e) 의 길이 (L12e) 및 제 2 자계 전달 부분 (12f) 의 길이 (L12f) 가 모두 8.4 ㎛ 가 되도록 형성하고, 교차 부분 (12d), 제 1 자계 전달 부분 (12e) 및 제 2 자계 전달 부분 (12f) 모두 폭이 2.0 ㎛ 가 되도록 형성하고 있다. 길이 (L12b, L12c, L12e, L12f) 는 모두 동일한 길이이다. 제 1 연자성체 (12A) 및 제 2 연자성체 (12B) 의 두께는 2 ㎛ 로 했다. 또, 제 1 연자성체 (12A) 의 제 2 자계 전달 부분 (12c) 의 선단 (12c2) 으로부터 자기 검지 부분 (D) 까지의 X1 방향의 거리 (Ta) 를 2.45 ㎛ 로 하고, 제 2 연자성체 (12B) 의 제 1 자계 전달 부분 (12e) 의 선단 (12e2) 으로부터 자기 검지 부분 (D) 까지의 X2 방향의 거리 (Tb) 를 2.45 ㎛ 로 하였다. 전극부 (16) 사이의 간격 (T1) 을 2.5 ㎛ 로 하였다.10, the length L12b of the first magnetic field transmitting portion 12b and the length L12c of the second magnetic field transmitting portion 12c of the first soft magnetic material element 12A are set to be equal to each other And the length L12e of the first magnetic field transmitting portion 12e and the length L12f of the second magnetic field transmitting portion 12f of the second soft magnetic material element 12B are set to the same length. Specifically, the first soft magnetic material element 12A is formed such that the length L12b of the first magnetic field transmission portion 12b and the length L12c of the second magnetic field transmission portion 12c are both 8.4 占 퐉, The portion 12a, the first magnetic field transmission portion 12b, and the second magnetic field transmission portion 12c are both formed to have a width of 2.0 占 퐉. The second soft magnetic material elements 12B are formed so that the length L12e of the first magnetic field transmission portion 12e and the length L12f of the second magnetic field transmission portion 12f are both 8.4 占 퐉, 12d, the first magnetic field transmission portion 12e, and the second magnetic field transmission portion 12f are both formed to have a width of 2.0 占 퐉. The lengths L12b, L12c, L12e, and L12f are all the same length. The thicknesses of the first soft magnetic material element 12A and the second soft magnetic material element 12B were set to 2 mu m. The distance Ta in the X1 direction from the tip end 12c2 of the second magnetic field transmitting portion 12c of the first soft magnetic material element 12A to the magnetic detecting portion D is set to 2.45 占 퐉 and the second soft magnetic material element The distance Tb in the X2 direction from the tip end 12e2 of the first magnetic field transmission portion 12e of the first magnetic field transmission portion 12B to the magnetic detection portion D is set to 2.45 mu m. And the interval T1 between the electrode portions 16 was 2.5 占 퐉.

비교예에서는, 도 11 에 나타내는 바와 같이, 제 1 연자성체 (72A) 의 제 1 자계 전달 부분 (72b) 의 길이 (L72b) 와 제 2 자계 전달 부분 (72c) 의 길이 (L72c) 를 동일한 길이로 하고, 또한, 제 2 연자성체 (72B) 의 제 1 자계 전달 부분 (72e) 의 길이 (L72e) 와 제 2 자계 전달 부분 (72f) 의 길이 (L72f) 를 동일한 길이로 하였다. 제 1 연자성체 (72A) 의 평면에서 볼 때의 형상은, 도 10 에 나타내는 실시예 3 의 제 1 연자성체 (12A) 와 동일하고, 제 2 연자성체 (72B) 의 형상은, 도 10 에 나타내는 실시예 3 의 제 2 연자성체 (12B) 와 동일하다. 길이 (L72b, L72c, L72e, L72f) 는 모두 동일한 길이이다. 제 1 연자성체 (72A) 및 제 2 연자성체 (72B) 의 두께는 2 ㎛ 로 하였다. 또, 제 1 연자성체 (72A) 의 제 2 자계 전달 부분 (72c) 의 선단 (72c2) 과 자기 검지 부분 (D) 이 Y1-Y2 방향에 대향하고, 제 2 연자성체 (72B) 의 제 1 자계 전달 부분 (72e) 의 선단 (72e2) 과 자기 검지 부분 (D) 도 Y1-Y2 방향에 대향하여 배치하였다. 바꾸어 말하면, 제 1 연자성체 (72A) 의 제 2 자계 전달 부분 (72c) 의 선단 (72c2) 으로부터 자기 검지 부분 (D) 까지의 X1 방향의 거리 (Ta) 를 -0.5 ㎛ 로 하고, 제 2 연자성체 (72B) 의 제 1 자계 전달 부분 (72e) 의 선단 (72e2) 으로부터 자기 검지 부분 (D) 까지의 X2 방향의 거리 (Tb) 를 -0.5 ㎛ 로 하였다. 전극부 (16) 사이의 간격 (T1) 을 2.5 ㎛ 로 하였다.11, the length L72b of the first magnetic field transmitting portion 72b and the length L72c of the second magnetic field transmitting portion 72c of the first soft magnetic material element 72A are set to be equal to each other And the length L72e of the first magnetic field transmission portion 72e and the length L72f of the second magnetic field transmission portion 72f of the second soft magnetic material element 72B are set to the same length. The shape of the first soft magnetic material element 72A is the same as that of the first soft magnetic material element 12A of the third embodiment shown in Fig. 10 and the shape of the second soft magnetic material element 72B is the same as that of the first soft magnetic material element 72A shown in Fig. Is the same as the second soft magnetic material element 12B of the third embodiment. The lengths L72b, L72c, L72e, and L72f are all the same length. The thicknesses of the first soft magnetic material element 72A and the second soft magnetic material element 72B were 2 mu m. The tip end 72c2 of the second magnetic field transmission portion 72c of the first soft magnetic material element 72A and the magnetic detection portion D face the Y1-Y2 direction and the first soft magnetic material 72B The leading end 72e2 of the transmitting portion 72e and the magnetic detecting portion D are also disposed opposite to each other in the Y1-Y2 direction. In other words, the distance Ta in the X1 direction from the tip end 72c2 of the second magnetic field transmission portion 72c of the first soft magnetic material element 72A to the magnetic detection portion D is -0.5 占 퐉, The distance Tb in the X2 direction from the tip end 72e2 of the first magnetic field transmission portion 72e of the magnetic body 72B to the magnetic detection portion D was set to -0.5 mu m. And the interval T1 between the electrode portions 16 was 2.5 占 퐉.

실시예 1 ∼ 3 의 연자성체 (12) 및 비교예의 연자성체 (72) 의 Y1-Y2 방향 길이는 동일하게 설정되어 있다.The lengths of the soft magnetic material elements 12 of the first to third embodiments and the soft magnetic material element 72 of the comparative example in the Y1-Y2 direction are set to be the same.

실험에서는, 각 실시예의 자기 센서 및 비교예의 자기 센서의 샘플을 3 개씩 제조하고, 각각의 자기 센서에, 동일한 크기의 X1-X2 방향을 향한 외부 자계를 작용시켜, 히스테리시스 루프를 얻어 그 때의 히스테리시스량 (외부 자계를 부여하고 있지 않을 때의 제로점으로부터의 편차량) 을 측정하였다. 그 실험 결과의 그래프를 도 12 에 나타낸다.In the experiment, three samples of the magnetic sensor of each embodiment and the magnetic sensor of the comparative example were produced, and an external magnetic field directed in the X1-X2 direction of the same size was applied to each magnetic sensor to obtain a hysteresis loop, (Deviation amount from zero point when no external magnetic field is applied) was measured. A graph of the experimental results is shown in Fig.

도 12 에 있어서, 히스테리시스량은 모두 0 (mG) 에 가까운 편이 바람직하다.In Fig. 12, it is preferable that the hysteresis amount is close to 0 (mG).

도 12 의 실험 결과에 나타내는 바와 같이, 모두 각 실시예 1 ∼ 3 쪽이 비교예에 비해 히스테리시스를 개선할 수 있던 것을 알 수 있었다.As shown in the experimental results of FIG. 12, it was found that the hysteresis of each of Examples 1 to 3 was improved compared with Comparative Examples.

본 발명에 관련된 자기 센서는, 예를 들어, 휴대 전화 등의 휴대 기기에 장착되는 지자기를 검지하는 지자기 센서로서 바람직하게 사용될 수 있다.The magnetic sensor according to the present invention can be preferably used as a geomagnetic sensor for detecting geomagnetism mounted on a portable device such as a cellular phone.

1 ∼ 4 : 자기 저항 효과 소자
10 : 자기 검지체
11 : 소자부
12 : 연자성체 (자로 형성체)
12A : 제 1 연자성체
12a : 교차 부분
12b : 제 1 자계 전달 부분
12c : 제 2 자계 전달 부분 (1 쌍의 자계 전달 부분의 일방)
12c2 : 선단
12B : 제 2 연자성체
12d : 교차 부분
12e : 제 1 자계 전달 부분 (1 쌍의 자계 전달 부분의 타방)
12e2 : 선단
12f : 제 2 자계 전달 부분
14 : 연자성체 (자로 형성체)
14C : 제 3 연자성체
14a : 교차 부분
14b : 제 1 자계 전달 부분
14c : 제 2 자계 전달 부분 (1 쌍의 자계 전달 부분의 일방)
14c2 : 선단
14D : 제 4 연자성체
14d : 교차 부분
14e : 제 1 자계 전달 부분 (1 쌍의 자계 전달 부분의 타방)
14e2 : 선단
14f : 제 2 자계 전달 부분
60 : 비자성 하지층
61 : 고정 자성층
62 : 비자성 재료층
63 : 프리 자성층
64 : 보호층
D : 자기 검지 부분
G : 갭
H1 ∼ H3 : 외부 자계
M1 ∼ M3 : 자로
S : 자기 센서1 to 4: magnetoresistance effect element
10:
11:
12: soft magnetic body (magnetic body formed body)
12A: first soft magnetic material element
12a:
12b: a first magnetic field transmission portion
12c: a second magnetic field transmission portion (one of the pair of magnetic field transmission portions)
12c2: Fleet
12B: second soft magnetic material
12d:
12e: first magnetic field transmission portion (the other of the pair of magnetic field transmission portions)
12e2: Fleet
12f: second magnetic field transmission portion
14: soft magnetic material body (magnetic body formed body)
14C: third soft magnetic material
14a:
14b: first magnetic field transfer portion
14c: a second magnetic field transmission portion (one of the pair of magnetic field transmission portions)
14c2: Fleet
14D: fourth soft magnetic material
14d: intersection portion
14e: a first magnetic field transmission portion (the other of the pair of magnetic field transmission portions)
14e2: Fleet
14f: second magnetic field transmission portion
60: Non-magnetic layer
61: stationary magnetic layer
62: nonmagnetic material layer
63: free magnetic layer
64: protective layer
D: magnetic detection part
G: gap
H1 ~ H3: External magnetic field
M1 to M3:
S: magnetic sensor

Claims (6)

평면에서 볼 때 띠형상으로 연장되고, 폭 방향의 감도축을 갖는 자기 검지 부분이 형성된 자기 검지체와,
외부 자계의 자로를 형성하도록 상기 자기 검지체를 따라 나열된 연자성 재료로 이루어지는 복수의 자로 형성체를 갖고,
상기 복수의 자로 형성체 중 이웃하는 2 개의 자로 형성체가, 상기 자기 검지체를 따라 띠형상으로 연장됨과 함께 평면에서 볼 때 상기 자기 검지 부분을 상기 폭 방향 사이에 두고, 서로의 사이를 상기 외부 자계가 진행 가능하게 대향하여 배치되는 1 쌍의 자계 전달 부분을 갖고,
상기 자기 검지 부분이, 상기 1 쌍의 자계 전달 부분의 각각의 선단 중 일방 또는 양방과 상기 자기 검지체의 연장 방향으로 간격을 두고 배치되어 있는 것을 특징으로 하는 자기 센서.A magnetic detecting member which extends in a strip shape in a plan view and has a magnetic detection portion having a sensitivity axis in the width direction,
A plurality of magnetoresistive elements made of a soft magnetic material arranged along the magnetic gap so as to form a magnetic path of an external magnetic field,
Wherein two adjacent magnetizable bodies of the plurality of magnetically-formed bodies extend in a belt-like shape along the magnetic gap, and the magnetism detecting portion is disposed between the magnetism detecting portions when seen in a plan view, And a pair of magnetic field transmission parts arranged so as to be able to move forward,
Wherein the magnetic detecting portion is disposed at a distance from one or both of the leading ends of the pair of magnetic field transmitting portions in the extending direction of the magnetic detecting body. 제 1 항에 있어서,
상기 자기 검지 부분이, 상기 1 쌍의 자계 전달 부분의 각각의 연장 방향 중앙 부분 중 일방 또는 양방과 상기 폭 방향에 대향하여 배치되어 있는 것을 특징으로 하는 자기 센서.The method according to claim 1,
Wherein the magnetic detecting portion is arranged to face one or both of the extending direction central portions of the pair of magnetic field transmitting portions in the width direction. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
상기 이웃하는 2 개의 자로 형성체의 각각이, 상기 자기 검지체와 교차하여 상기 폭 방향으로 연장되는 교차 부분과, 상기 교차 부분에 있어서의 상기 폭 방향의 일단부로부터 상기 자기 검지체를 따라 띠형상으로 연장되는 제 1 자계 전달 부분과, 상기 교차 부분에 있어서의 상기 폭 방향의 타단부로부터 상기 자기 검지체를 따라 상기 제 1 자계 전달 부분과 반대 방향으로 띠형상으로 연장되는 제 2 자계 전달 부분을 갖고,
상기 이웃하는 2 개의 자로 형성체 중 일방의 자로 형성체의 상기 제 2 자계 전달 부분과 타방의 자로 형성체의 상기 제 1 자계 전달 부분으로, 상기 1 쌍의 자계 전달 부분을 구성하는 것을 특징으로 하는 자기 센서.3. The method according to claim 1 or 2,
Wherein each of the two neighboring two-shaped bodies has an intersection portion that intersects with the magnetic detection body and extends in the width direction and a belt-like shape along the magnetic detection body from one end portion in the width direction of the intersection portion And a second magnetic field transmission portion extending from the other end in the width direction of the cross portion along the magnetic detection element in a strip shape in a direction opposite to the first magnetic field transmission portion, Have,
And the pair of magnetic field transmission portions constitute the first magnetic field transmission portion of the second magnetic field transmission portion and the second magnetic field transmission portion of the other magnetic field transmission portion of one of the two adjacent ones of the self- Magnetic sensor. 제 3 항에 있어서,
상기 이웃하는 2 개의 자로 형성체 중 일방의 자로 형성체의 상기 제 2 자계 전달 부분이 그 상기 제 1 자계 전달 부분보다 길게 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 자기 센서.The method of claim 3,
Wherein the second magnetic field transmission portion of one of the two adjacent magnetic conductor structures is formed to be longer than the first magnetic field transmission portion. 제 3 항에 있어서,
상기 이웃하는 2 개의 자로 형성체 중 타방의 자로 형성체의 상기 제 1 자계 전달 부분이 그 상기 제 2 자계 전달 부분보다 길게 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 자기 센서.The method of claim 3,
And the first magnetic-field transmission portion of the other of the two adjacent magnetic-field-formed bodies is formed longer than the second magnetic-field transmission portion. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
상기 이웃하는 2 개의 자로 형성체 중 일방 또는 양방에 있어서의 두께가 3 ㎛ 이상인 것을 특징으로 하는 자기 센서.3. The method according to claim 1 or 2,
And the thickness of one or both of the neighboring two-shaped bodies is not less than 3 占 퐉.
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