JP2016186457A - A magnetic sensor - Google Patents

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佑貴 今井
Yuki Imai
佑貴 今井
安藤 秀人
Hideto Ando
秀人 安藤
雅史 金子
Masafumi Kaneko
雅史 金子
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アルプス電気株式会社
Alps Electric Co Ltd
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a magnetic sensor with improved hysteresis.SOLUTION: A magnetic sensor S has a plurality of soft magnetic materials 12 arranged along a magnetic sensor 10 for forming a magnetic path of an external magnetic field. Among the plurality of soft magnetic materials 12, two adjacent soft magnetic materials 12A and 12B extend in the band-like shape along the magnetic sensor 10, have a magnetic sensing portion D of the magnetic sensor 10 held therebetween in a Y1-Y2 direction in the plan view, and have a first magnetic field crossover part 12e of the soft magnetic material 12B and a second magnetic field crossover part 12c of the soft magnetic material 12A, which constitute a pair and are disposed facing each other so that the external magnetic field can travel therebetween. The magnetic sensing portion D is disposed apart in an X1-X2 direction from both an end 12c2 of the second magnetic field crossover part 12c of the soft magnetic material 12A and an end 12e2 of the first magnetic field crossover part 12e of the soft magnetic material 12B.SELECTED DRAWING: Figure 2

Description

本発明は、磁気抵抗効果素子を有する磁気センサに関する。 The present invention relates to a magnetic sensor having a magnetoresistive element.

磁気抵抗効果素子を有する磁気センサは、例えば、携帯電話等の携帯機器に組み込まれる地磁気を検知する地磁気センサとして使用されうる。 A magnetic sensor having a magnetoresistive element, for example, can be used as a geomagnetic sensor that detects geomagnetism to be incorporated into portable devices such as mobile phones.

例えば、特許文献1に開示される磁気センサは、磁気抵抗効果を有する素子部に軟磁性体によって外部磁界を導く構成を有している。 For example, a magnetic sensor disclosed in Patent Document 1 has a structure that guides an external magnetic field of a soft magnetic body element having a magnetoresistance effect.

特開2013−160639号公報 JP 2013-160639 JP

しかしながら、このような磁気センサでは、保磁力を超える外部磁界が軟磁性体に作用することによって、外部磁界の作用後の残留磁化状態(外部磁界を取り除いたあとの磁化状態)が初期の磁化状態から変動してしまうことがある。 However, in such a magnetic sensor, by the external magnetic field exceeding the coercive magnetic force acts on the soft magnetic material, the initial magnetization state (magnetization state after removing the external magnetic field) the residual magnetization state after the action of an external magnetic field. sometimes it fluctuates from. そのため、軟磁性体自身により生じる磁界も変動し、この変動が素子部に検知されて磁気センサの出力のヒステリシスとして現れることがあった。 Therefore, the magnetic field also variations caused by the soft magnetic body itself, this variation was sometimes appears as hysteresis in the output of the magnetic sensor is detected by the element.

そこで本発明は、上記従来の課題を解決するためのものであり、ヒステリシスを改善した磁気センサを提供することを目的とする。 The present invention is intended to solve the conventional problems, and an object thereof is to provide a magnetic sensor with improved hysteresis.

本発明は、上記目的を達成するために、平面視で帯状に延在し、幅方向の感度軸を有する磁気検知部分が設けられた磁気検知体と、外部磁界の磁路を形成するように前記磁気検知体に沿って並べられた軟磁性材料からなる複数の磁路形成体とを有し、前記複数の磁路形成体のうちの隣り合う2つの磁路形成体が、前記磁気検知体に沿って帯状に延在するとともに平面視で前記磁気検知部分を前記幅方向に挟み、互いの間を前記外部磁界が進行可能に対向して配置される一対の磁界渡し部分を有し、前記磁気検知部分が、前記一対の磁界渡し部分のそれぞれの先端のうちの一方又は両方と前記磁気検知体の延在方向に間隔をあけて配置されていることを特徴とする磁気センサである。 The present invention, in order to achieve the above object, extends in a band shape in plan view, and a magnetic sensing element in which the magnetic sensing part is provided with a sensitivity axis in the width direction, so as to form a magnetic path of the external magnetic field wherein a plurality of magnetic path forming member made of a soft magnetic material which are arranged along a magnetic sensing element, two magnetic path forming body adjacent of the plurality of magnetic path forming body, the magnetic sensing member along in a plan view as well as extending strip sandwiched the magnetic detection portion in the width direction, a pair of magnetic field passing portion in which the external magnetic field between them are arranged to face each other can proceed, the magnetic detection portion, a magnetic sensor, characterized by being arranged at a respective distance in the extending direction of one or both said magnetic sensing element of the tips of the pair of magnetic field spanning portions.

本発明によれば、外部磁界の磁路を形成するように磁気検知体に沿って軟磁性材料からなる複数の磁路形成体が並べられている。 According to the present invention, a plurality of magnetic path forming member made of a soft magnetic material along the magnetic detection element so as to form a magnetic path of the external magnetic field are arranged. これら複数の磁路形成体のうちの隣り合う2つの磁路形成体が、磁気検知体に沿って帯状に延在するとともに平面視で磁気検知体の磁気検知部分を幅方向に挟み、互いの間を外部磁界が進行可能に対向して配置される一対の磁界渡し部分を有している。 Two magnetic path forming body adjacent one of the plurality of magnetic path forming body sandwiching the magnetic detection portion of the magnetic sensing member in the width direction in a plan view as well as extending in a band shape along the magnetic sensing element, the mutual external magnetic field has a pair of magnetic field spanning portions disposed opposite to be traveling between. そして、磁気検知部分が、一対の磁界渡し部分のそれぞれの先端のうちの一方又は両方と前記磁気検知体の延在方向に間隔をあけて配置されている。 The magnetic detection portion is disposed at a respective interval in the extending direction of one or both said magnetic sensing element of the tips of the pair of magnetic field spanning portions. これにより、一対の磁界渡し部分は、帯状に延在していることから形状磁気異方性により先端に磁極が現れ、この先端から離れるにしたがって磁界の向きが延在方向に沿うように変化し、つまり、磁界における延在方向に直交する成分が小さくなりかつ延在方向に平行な成分が大きくなる。 Accordingly, the pair of the magnetic field passing portions appear pole tip by shape anisotropy since extending in a band shape, the orientation of the magnetic field is changed along the extending direction with distance from the tip , i.e., component perpendicular to the extending direction of the magnetic field becomes and component parallel to the extending direction is larger reduced. そのため、一対の磁界渡し部分の先端から離れて磁気検知部分を配置することで、磁路形成体に残留磁化が生じた場合であっても、磁気検知部分によって検知される当該残留磁化による磁界について当該磁気検知部分の感度軸方向の成分をより小さくすることができ、残留磁化の変化の影響を低減することができる。 Therefore, by disposing the magnetic detection portion apart from the tip of the pair of the magnetic field passing portion, even when the residual magnetization occurs in the magnetic path forming member, the magnetic field due to the residual magnetization is detected by the magnetic detection portion it is possible to further reduce the sensitivity axis direction component of the magnetic sensing part, it is possible to reduce the influence of change of residual magnetization.

また、本発明では、前記磁気検知部分が、前記一対の磁界渡し部分のそれぞれの延在方向中央部分のうちの一方又は両方と前記幅方向に対向して配置されていることが好ましい。 In the present invention, the magnetic detection portion, it is preferred that either or both the opposite in the width direction are disposed within the respective extending direction central portion of said pair of magnetic field spanning portions. これにより、磁気検知部分が、一対の磁界渡し部分の先端からより離れてその延在方向中央位置付近に配置されるので、磁気検知部分によって検知される磁路形成体の残留磁化による磁界について当該磁気検知部分の感度軸方向の成分をさらに小さくすることができ、残留磁化の変化の影響をさらに低減することができる。 Thus, the magnetic detection part, since it is located near the extending direction center position further from the tip of the pair of the magnetic field passing portion, the the magnetic field due to residual magnetization of the magnetic path forming member to be detected by the magnetic detection portion it is possible to further reduce the sensitivity axis direction component of the magnetic sensing part, it is possible to further reduce the effects of changes in the residual magnetization.

また、本発明では、前記隣り合う2つの磁路形成体のそれぞれが、前記磁気検知体と交差して前記幅方向に延在する交差部分と、前記交差部分における前記幅方向の一端部から前記磁気検知体に沿って帯状に延在する第1磁界渡し部分と、前記交差部分における前記幅方向の他端部から前記磁気検知体に沿って前記第1磁界渡し部分と反対方向に帯状に延在する第2磁界渡し部分と、を有し、前記隣り合う2つの磁路形成体のうちの一方の磁路形成体の前記第2磁界渡し部分と他方の磁路形成体の前記第1磁界渡し部分とで、前記一対の磁界渡し部分を構成することが好ましい。 In the present invention, each of the two magnetic path forming member, wherein the adjacent, and intersection extending in the width direction intersecting the magnetic sensing element, wherein the one end of the width direction of the intersection a first magnetic field passing portion extending in a band shape along the magnetic sensing element, extending in a band shape in the direction opposite to the first magnetic field passing portion from the other end of the width direction of the intersection along said magnetic sensing element and a second magnetic field passing portion standing, the one of the second magnetic field passing portion and the first magnetic field of the other magnetic path forming member forming a magnetic circuit of the two magnetic path forming member, wherein the adjacent in the pass portion, it is preferable to construct the pair of magnetic field spanning portions.

また、本発明では、前記隣り合う2つの磁路形成体のうちの一方の磁路形成体の前記第2磁界渡し部分がその前記第1磁界渡し部分より長く形成されていることが好ましい。 Further, in the present invention, it is preferable that one the second magnetic field spanning portions of the magnetic path forming member of the two magnetic path forming member, wherein adjacent is longer than forming the first magnetic field spanning portions.

また、本発明では、前記隣り合う2つの磁路形成体のうちの他方の磁路形成体の前記第1磁界渡し部分がその前記第2磁界渡し部分より長く形成されていることが好ましい。 In the present invention, it is preferable that the other of said first magnetic field spanning portions of the magnetic path forming member of the two magnetic path forming member, wherein adjacent is longer than forming the second magnetic field spanning portions.

また、本発明では、前記隣り合う2つの磁路形成体のうちの一方又は両方における厚さが、3μm以上であることが好ましい。 In the present invention, the thickness of one or both of the two magnetic path forming member, wherein the adjacent, is preferably 3μm or more.

本発明によれば、ヒステリシスを改善することができる。 According to the present invention, it is possible to improve the hysteresis.

本発明の一実施形態に係る磁気センサの概略図(平面図)である。 It is a schematic view of a magnetic sensor according to an embodiment of the present invention (plan view). 図1の磁気センサが有する第1の磁気抵抗効果素子及び第4の磁気抵抗効果素子の一部を拡大して示した磁気センサの部分拡大平面図である。 It is a partially enlarged plan view of a magnetic sensor showing an enlarged portion of the first magnetoresistive element and the fourth magnetoresistive element having the magnetic sensor of FIG. 図2のA−A線に沿って切断し矢印方向から見た磁気センサの部分拡大断面図である。 Taken along the line A-A of FIG. 2 is a partially enlarged cross-sectional view of a magnetic sensor as viewed from an arrow direction. 図2のB−B線に沿って切断し矢印方向から見た磁気センサの部分拡大断面図である。 Taken along the line B-B in FIG. 2 is a partially enlarged cross-sectional view of a magnetic sensor as viewed from an arrow direction. 図1の磁気センサが有する第2の磁気抵抗効果素子及び第3の磁気抵抗効果素子の一部を拡大して示した磁気センサの部分拡大平面図である。 It is a partially enlarged plan view of a magnetic sensor showing an enlarged portion of the second magnetoresistive element and the third magnetoresistive element having the magnetic sensor of FIG. 本発明の比較例に係る磁気センサが有する第1の磁気抵抗効果素子及び第4磁気抵抗効果素子の一部を拡大して示した磁気センサの部分拡大平面図である。 It is a partially enlarged plan view of a magnetic sensor showing an enlarged portion of the first magnetoresistive element and the fourth magnetoresistive element having the magnetic sensor according to a comparative example of the present invention. 本発明の比較例に係る磁気センサが有する第2の磁気抵抗効果素子及び第3磁気抵抗効果素子の一部を拡大して示した磁気センサの部分拡大平面図である。 It is a partially enlarged plan view of a magnetic sensor showing an enlarged portion of the second magnetoresistive element and the third magnetoresistive element having the magnetic sensor according to a comparative example of the present invention. 棒磁石によって生じる磁界(磁力線)を模式的に示す図である。 A magnetic field (magnetic field lines) generated by the bar magnet is a diagram schematically illustrating. 本発明の実施例1、2の磁気センサが有する磁気抵抗効果素子の部分拡大平面図である。 It is a partially enlarged plan view of the magnetoresistive element having the magnetic sensor of Example 1 of the present invention. 本発明の実施例3の磁気センサが有する磁気抵抗効果素子の部分拡大平面図である。 It is a partially enlarged plan view of the magnetoresistive element having the magnetic sensor of Example 3 of the present invention. 本発明の比較例の磁気センサが有する磁気抵抗効果素子の部分拡大平面図である。 It is a partially enlarged plan view of the magnetoresistive element having the magnetic sensor of the comparative example of the present invention. 実施例及び比較例のヒステリシス量を示すグラフである。 Is a graph showing the hysteresis of the examples and comparative examples.

以下に、本発明の一実施形態に係る磁気センサについて、図1〜図7を参照して説明する。 Hereinafter, the magnetic sensor according to an embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS.

図1は、本発明の一実施形態に係る磁気センサの概略図(平面図)である。 Figure 1 is a schematic view of a magnetic sensor according to an embodiment of the present invention (plan view). 図2は、図1の磁気センサが有する第1の磁気抵抗効果素子及び第4の磁気抵抗効果素子の一部を拡大して示した磁気センサの部分拡大平面図である。 Figure 2 is a partially enlarged plan view of a magnetic sensor showing an enlarged portion of the first magnetoresistive element and the fourth magnetoresistive element having the magnetic sensor of FIG. 図3は、図2のA−A線に沿って切断し矢印方向から見た磁気センサの部分拡大断面図である。 Figure 3 is a partially enlarged sectional view of a magnetic sensor as viewed from an arrow direction taken along the line A-A of FIG. 図4は、図2のB−B線に沿って切断し矢印方向から見た磁気センサの部分拡大断面図である。 Figure 4 is a partially enlarged sectional view of a magnetic sensor as viewed from an arrow direction taken along the line B-B of FIG. 図5は、図1の磁気センサが有する第2の磁気抵抗効果素子及び第3の磁気抵抗効果素子の一部を拡大して示した磁気センサの部分拡大平面図である。 Figure 5 is a partially enlarged plan view of a magnetic sensor showing an enlarged portion of the second magnetoresistive element and the third magnetoresistive element having the magnetic sensor of FIG. 図6は、本発明の比較例に係る磁気センサが有する第1の磁気抵抗効果素子及び第4磁気抵抗効果素子の一部を拡大して示した磁気センサの部分拡大平面図である。 Figure 6 is a partially enlarged plan view of a magnetic sensor showing an enlarged portion of the first magnetoresistive element and the fourth magnetoresistive element having the magnetic sensor according to a comparative example of the present invention. 図7は、本発明の比較例に係る磁気センサが有する第2の磁気抵抗効果素子及び第3磁気抵抗効果素子の一部を拡大して示した磁気センサの部分拡大平面図である。 Figure 7 is a partially enlarged plan view of a magnetic sensor showing an enlarged portion of the second magnetoresistive element and the third magnetoresistive element having the magnetic sensor according to a comparative example of the present invention. 図8は、棒磁石によって生じる磁界(磁力線)を模式的に示す図である。 Figure 8 is a diagram schematically showing a magnetic field (magnetic field lines) generated by the bar magnet.

各図に示すX1−X2方向、及びY1−Y2方向は一平面内にて直交する2方向を示し、Z方向は前記一平面に対して直交する方向を示している。 X1-X2 direction shown in the figures, and Y1-Y2 direction indicates the two orthogonal directions in a single plane, Z-direction indicates a direction perpendicular to said one plane.

本実施形態における磁気センサSは、磁気抵抗効果素子を有しており、例えば、携帯電話等の携帯機器に搭載される地磁気センサとして構成される。 Magnetic sensor S of the present embodiment has a magneto-resistive element, for example, configured as a geomagnetic sensor mounted in a portable device such as a cellular phone.

磁気センサSは、図1に示すように、矩形状の磁気抵抗効果素子の形成領域Kを有している。 The magnetic sensor S, as shown in FIG. 1, has a formation region K of the rectangular magnetoresistive elements. この形成領域Kには、その中心KcからX1−X2方向及びY1−Y2方向に分割された4つの領域部分が設けられている。 The formation region K, 4 one area portion divided from the center Kc in the X1-X2 direction and Y1-Y2 direction is provided. これら4つの領域部分内には、第1の磁気抵抗効果素子1、第2の磁気抵抗効果素子2、第3の磁気抵抗効果素子3、第4の磁気抵抗効果素子4が形成されている。 These four areas within the portion, a first magnetoresistance effect element 1, the second magnetoresistance effect element 2, a third magnetoresistive element 3, fourth magnetoresistive element 4 is formed. 図1では、各領域部分について、磁気抵抗効果素子1〜4の形状を省略して図示している。 In Figure 1, for each area portion, it is omitted shape of the magnetoresistive element 1-4.

第1の磁気抵抗効果素子1及び第3の磁気抵抗効果素子3は、入力端子5に接続されている。 First magnetoresistive element 1 and the third magnetoresistive element 3 is connected to the input terminal 5. また、第2の磁気抵抗効果素子2及び第4の磁気抵抗効果素子4は、接地端子6に接続されている。 The second magnetoresistance effect element 2 and the fourth magnetoresistive element 4 is connected to the ground terminal 6. また、第1の磁気抵抗効果素子1と第2の磁気抵抗効果素子2との間には、第1の出力端子7が接続されている。 The first magnetoresistance effect element 1 between the second magnetoresistance effect element 2, a first output terminal 7 is connected. また、第3の磁気抵抗効果素子3と第4の磁気抵抗効果素子4との間には、第2の出力端子8が接続されている。 Further, a third magnetoresistive element 3 between the fourth magnetoresistive element 4, the second output terminal 8 is connected. このように第1の磁気抵抗効果素子1、第2の磁気抵抗効果素子2、第3の磁気抵抗効果素子3及び第4の磁気抵抗効果素子4によりブリッジ回路が構成されている。 Bridge circuit is formed by such a first magnetoresistive element 1, the second magnetoresistance effect element 2, a third magnetoresistive element 3 and the fourth magnetoresistive element 4.

第1の磁気抵抗効果素子1は、図2に示すように、磁気検知体10と、磁気検知体10と非接触に配置された複数の磁路形成体としての軟磁性体12と、を備えている。 First magnetoresistive element 1, as shown in FIG. 2, includes a magnetic sensing element 10, a soft magnetic body 12 as a plurality of magnetic path forming body disposed in non-contact with the magnetic sensing element 10, the ing. なお、第4の磁気抵抗効果素子4についても、図2に示す構成を有している。 Here, also for the fourth magnetoresistive element 4 has a structure shown in FIG.

磁気検知体10は、複数の素子部11と、複数の電極部16と、複数の接続部17と、を有している。 Magnetic detection member 10 includes a plurality of element portions 11, a plurality of electrode portions 16, a plurality of connecting portions 17, the. 磁気検知体10は、複数の素子部11の端部が接続部17によって接続されることにより互いに連なって帯状に形成されている。 Magnetic sensing element 10 is formed in a band shape continuous to each other by the ends of the plurality of elements 11 are connected by a connecting portion 17. 本実施形態の磁気検知体10は、平面視でミアンダ形状(蛇腹形状)に形成されている。 Magnetic detection element 10 of the present embodiment is formed in a meandering shape (bellows shape) in plan view.

複数の素子部11は、図3に示すように、それぞれがX1−X2方向に直線帯状に延在して形成されており、Y1−Y2方向に間隔をあけて互いに平行に配置されている。 A plurality of element portions 11, as shown in FIG. 3, are each formed to extend in a linear strip in the X1-X2 direction, parallel to each other at intervals in Y1-Y2 direction. 各素子部11の幅寸法(Y1−Y2方向への寸法)は、0.5〜5μm程度、各素子部11の長さ寸法(X1−X2方向への寸法)は、2〜300μm程度であり、各素子部11のアスペクト比(長さ寸法/幅寸法)は、4〜600程度となっている。 The width of each element 11 (dimension in the Y1-Y2 direction) is about 0.5 to 5 [mu] m, (the dimensions of the X1-X2 direction) length of the element portion 11 is located at approximately 2~300μm , the aspect ratio of each element portion 11 (length / width) is of the order of 4-600.

各素子部11は、図3に示すように、基板15表面の絶縁下地層19上に形成される。 Each element 11, as shown in FIG. 3, is formed on the insulating base layer 19 of the substrate 15 surface.

各素子部11は、例えば、図3下方から順に積層された非磁性下地層60、固定磁性層61、非磁性材料層62、フリー磁性層63及び保護層64を有している。 Each element 11 has, for example, non-magnetic undercoat layer 60 laminated from Figure 3 below in this order, the fixed magnetic layer 61, a nonmagnetic material layer 62, a free magnetic layer 63 and protective layer 64. 各素子部11を構成するこれら各層60〜64は、例えば、絶縁下地層19上にスパッタリングにて順次成膜されて積層される。 These layers 60-64 which constitute each element 11, for example, are laminated are sequentially deposited by sputtering on the insulating base layer 19.

固定磁性層61は、第1磁性層61a及び第2磁性層61bと、これら第1磁性層61a及び第2磁性層61b間に介在する非磁性中間層61cとの積層フェリ構造を有している。 Fixed magnetic layer 61 includes a first magnetic layer 61a and the second magnetic layer 61b, a laminated ferrimagnetic structure of the non-magnetic intermediate layer 61c interposed between the first magnetic layer 61a and the second magnetic layer 61b . 第1磁性層61a及び第2磁性層61bは、CoFe合金(コバルト−鉄合金)などの軟磁性材料で形成されている。 The first magnetic layer 61a and the second magnetic layer 61b is, CoFe alloy - is formed of a soft magnetic material such as a (cobalt-iron alloy). 非磁性中間層61c、はRu(ルテニウム)等である。 A nonmagnetic intermediate layer 61c, is like Ru (ruthenium). 非磁性材料層62はCu(銅)などの非磁性材料で形成されている。 Nonmagnetic material layer 62 is formed of a non-magnetic material such as Cu (copper). フリー磁性層63は、NiFe合金(ニッケル−鉄合金)などの軟磁性材料で形成されている。 The free magnetic layer 63, NiFe alloy - is formed of a soft magnetic material such as (a nickel-iron alloy). 保護層64はTa(タンタル)などで形成されている。 Protective layer 64 is formed like Ta (tantalum).

本実施形態では、固定磁性層61を積層フェリ構造として、第1磁性層61aと第2磁性層61bとが反平行に磁化固定されたセルフピン止め型を採用している。 In the present embodiment, the fixed magnetic layer 61 as a laminated ferrimagnetic structure, the first magnetic layer 61a and the second magnetic layer 61b is adopted self-pinned type which is antiparallel to the magnetization fixed. このセルフピン止め型では、反強磁性層を用いず、よって磁場中熱処理を施すことなく固定磁性層61を構成する第1磁性層61aと第2磁性層61bとを磁化固定している。 In the self-pinned type, without an antiferromagnetic layer, thus the first magnetic layer 61a and the second magnetic layer 61b constituting the pinned magnetic layer 61 without performing a heat treatment in a magnetic field are fixed magnetization. なお、第1磁性層61aと第2磁性層61bとの磁化固定力は、外部磁界が作用したときでも磁化揺らぎが生じない程度の大きさであれば足りる。 Incidentally, magnetization fixing force between the first magnetic layer 61a and the second magnetic layer 61b is sufficient if the size that even magnetization fluctuation does not occur when an external magnetic field is applied.

もちろん、上述した素子部11の構造は一例であって、素子部11に他の構造を採用してもよい。 Of course, the structure of the element portion 11 described above is an example, may employ other structures in the element portion 11. 例えば、反強磁性層、固定磁性層、非磁性層、フリー磁性層及び保護層の順に積層された積層構造を有する構成とすることもできる。 For example, an antiferromagnetic layer, a pinned magnetic layer, nonmagnetic layer, can be configured to have a laminated structure are laminated in this order of the free magnetic layer and a protective layer. かかる構成では、反強磁性層と固定磁性層との間で交換結合磁界(Hex)を生じさせて固定磁性層の磁化方向を固定することが可能である。 In such a configuration, it is possible to fix the magnetization direction of the antiferromagnetic layer and the pinned magnetic layer by causing an exchange coupling magnetic field (Hex) between the fixed magnetic layer. また、下からフリー磁性層63、非磁性材料層62、固定磁性層61、及び保護層64の順に積層された積層構造とされてもよい。 Further, the free magnetic layer 63 from the bottom, the non-magnetic material layer 62, a pinned magnetic layer 61, and may be the order stacked the layered structure of the protective layer 64. また固定磁性層61は、第1磁性層61aと第2磁性層61bとの磁化の大きさが同じで磁化方向が反平行である構成にできる。 The fixed magnetic layer 61 may be a configuration with a size of the same magnetization direction of the magnetization of the first magnetic layer 61a and the second magnetic layer 61b are antiparallel.

各素子部11を構成する第2磁性層61bの固定磁化方向(P;感度軸方向)はY2方向(即ち、素子部11の幅方向)である(図2、図3参照)。 The fixed magnetization direction of the second magnetic layer 61b constituting each element 11 (P; sensitivity axis direction) is the Y2 direction (i.e., the width direction of the element portion 11) (see FIGS. 2 and 3). この固定磁化方向(P)が固定磁性層61の固定磁化方向である。 The fixed magnetization direction (P) is a fixed magnetization direction of the pinned magnetic layer 61.

複数の電極部16は、図2に示すように、一部が各素子部11に接してX1−X2方向に間隔T1を空けて配置されている。 A plurality of electrodes 16, as shown in FIG. 2, part of which is arranged at a X1-X2 direction in the interval T1 in contact with the element 11.

図3に示すように、上記一部の電極部16の形成位置では、保護層64の一部が削られており、それにより形成された凹み部64a上に上記一部の電極部16が形成されている。 As shown in FIG. 3, the formation position of the part of the electrode portion 16, and partly cut of the protective layer 64, the above portion of the electrode portion 16 on the recessed portion 64a formed thereby formed It is.

電極部16は、素子部11(保護層64)よりも電気抵抗値の低い非磁性導電材料で形成されている。 Electrode portion 16 is formed of a nonmagnetic conductive material having low electric resistance than the element 11 (the protective layer 64). 電極部16は、材質を特に限定するものでないが、Al、Cu、Ti、Cr等の非磁性導電材料の単層あるいは積層構造で形成される。 Electrode portion 16 is not particularly limited to the material, Al, Cu, Ti, is formed by a single layer or a laminated structure of a nonmagnetic conductive material such as Cr. 例えば、電極部16はCuとAlとの積層構造で形成される。 For example, the electrode unit 16 is formed of a stacked structure of Cu and Al. なお、上述した複数の接続部17も、電極部16と同様に形成される。 The plurality of connection portions 17 described above are also formed in the same manner as the electrode portion 16.

図2に示すように、各電極部16の幅寸法(Y1−Y2への寸法)は各素子部11の幅寸法よりも大きく形成されており、これにより電極部16の電気抵抗をより小さくでき、また各電極部16を各素子部11上に形成する際の位置合わせのマージンを広くとることが可能である。 As shown in FIG. 2, the width of the electrode portions 16 (the dimensions of the Y1-Y2) is larger than the width dimension of each element 11, thereby can further reduce the electrical resistance of the electrode portions 16 and it is possible to widen the margin for alignment in forming the respective electrode portions 16 on the respective element units 11.

なお上記したような保護層64の一部の削り取り処理は、例えばエッチングにて行うことができる。 Incidentally some of scraping process of the protective layer 64 as described above can be performed, for example, by etching. 保護層64の一部を削り取る処理は、特に保護層64表面の酸化層を削り取るためのものであり、これにより素子部11と電極部16間の導通性を良好にできる。 Processing scraping a part of the protective layer 64 is for particular scrape an oxide layer of the protective layer 64 surface, thereby the continuity between the device 11 and the electrode portion 16 satisfactorily.

またエッチング等により保護層64の表面を削る際、図3に示すように保護層64の一部が残るように制御することが好ましい。 Also when cutting the surface of the protective layer 64 by etching or the like, it is preferable to control so as to leave a portion of the protective layer 64 as shown in FIG. これによりフリー磁性層63はエッチングの影響を受けず削られない。 Thus the free magnetic layer 63 is not cut unaffected by the etching.

磁気検知体10は、平面視で素子部11と素子部11に重ねられた電極部16とがX1−X2方向に交互に並ぶ。 Magnetic detection member 10 includes an electrode portion 16 superimposed on the element 11 and the element 11 in a plan view are alternately arranged in the X1-X2 direction. 即ち、磁気検知体10は、素子部11における電極部16が重ねられていない部分と電極部16が重ねられた部分とが交互に並んでいる。 That is, the magnetic sensing element 10 includes an electrode portion 16 is not overlapped portion and the electrode portion 16 are stacked portion of the element portion 11 are alternately arranged. 磁気検知体10では、素子部11における電極部16が重ねられていない部分(後述するギャップGの箇所)が磁気検知部分Dとして機能する。 In the magnetic sensing element 10, a portion not electrode portions 16 are overlapped in the element unit 11 (portions of which will be described later gap G) functions as a magnetic detection portion D. 詳細については後述する。 It will be described in detail later.

複数の軟磁性体12は、図2に示すように、素子部11(即ち、磁気検知体10)に沿ってX1−X2方向に並べて配置されている。 A plurality of soft magnetic material 12, as shown in FIG. 2, element 11 (i.e., the magnetic detection element 10) are arranged side by side in the X1-X2 direction along the. 各軟磁性体12はNiFe、CoFe、CoFeSiBやCoZrNb等で形成される。 Each soft magnetic body 12 are NiFe, CoFe, is formed by CoFeSiB and CoZrNb, and the like.

図2においてX1−X2方向にて隣り合う2つの軟磁性体12のうち、X1側に配置された軟磁性体12を第1の軟磁性体12A、X2側に配置された軟磁性体12を第2の軟磁性体12Bと定義する。 Of the two soft magnetic bodies 12 adjacent in the X1-X2 direction in FIG. 2, the soft magnetic body 12 disposed on the X1 side first soft magnetic body 12A, located on the X2 side the soft magnetic body 12 It is defined as a second soft magnetic body 12B. 図2には、一組の軟磁性体12にのみ符号12A,12Bを付した。 In FIG. 2, denoted by reference numeral 12A, 12B only to a set of soft magnetic material 12. なお、軟磁性体12Bの一つ右隣の軟磁性体12及び二つ右隣の軟磁性体12に着目してこれら隣り合う2つの軟磁性体12をペアと考えれば、これらうちの左側が軟磁性体12Aとなり、右側が軟磁性体12Bとなる。 Incidentally, considering the two soft magnetic bodies 12 which they are adjacent to each other focusing on soft magnetic body 12 and the soft magnetic body 12 of the two right next to one right adjacent soft magnetic body 12B paired, the left of these next soft magnetic material 12A, the right is the soft magnetic body 12B. X1−X2方向に間隔をあけて並べられた複数の軟磁性体12は、最もX1側から2つずつペアとなってそれぞれが軟磁性体12A、軟磁性体12Bとなるように設けられている。 A plurality of soft magnetic material 12 which are arranged at intervals in the X1-X2 direction are each a two by two pair from the most X1 side is provided so as to be soft magnetic body 12A, a soft magnetic body 12B .

第1の軟磁性体12Aは、磁気検知体10と交差してY1−Y2方向に延在する交差部分12aと、交差部分12aのY2側端部(即ち、磁気検知体10の幅方向の一端部)からX1方向に延出し、平面視にて素子部11のY2側に配置される第1磁界渡し部分12bと、交差部分12aのY1側端部(即ち、磁気検知体10の幅方向の他端部)からX2方向に延出し、平面視にて素子部11のY1側に配置される第2磁界渡し部分12cと、を有して構成される。 The first soft magnetic body 12A has a cross section 12a extending to intersect with the magnetic sensing elements 10 in direction Y1-Y2, Y2 end of the intersection 12a (i.e., the width direction of the magnetic detection element 10 at one end extending from parts) in the X1 direction, a first magnetic field spanning portions 12b disposed on the Y2 side of the element portion 11 in a plan view, Y1 side end portion of the crossing portion 12a (i.e., the width direction of the magnetic detection element 10 extending in the X2 direction from the other end), and has a second magnetic field spanning portions 12c disposed on the Y1 side of the element portion 11 in plan view, a. 第1の軟磁性体12Aは、平面視で、クランク形状に屈曲された帯状に形成されている。 The first soft magnetic body 12A is a plan view, and is formed in a strip which is bent in a crank shape.

第2の軟磁性体12Bは、磁気検知体10と交差してY1−Y2方向に延在する交差部分12dと、交差部分12dのY2側端部(即ち、磁気検知体10の幅方向の一端部)からX1方向に延出し、平面視にて素子部11のY2側に配置される第1磁界渡し部分12eと、交差部分12dのY1側端部(即ち、磁気検知体10の幅方向の他端部)からX2方向に延出し、平面視にて素子部11のY1側に配置される第2磁界渡し部分12fと、を有して構成される。 Second soft magnetic body 12B has a cross section 12d extending to intersect with the magnetic sensing elements 10 in direction Y1-Y2, Y2 end of the intersection 12d (i.e., in the width direction of the magnetic detection element 10 at one end extending from parts) in the X1 direction, a first magnetic field spanning portions 12e disposed on the Y2 side of the element portion 11 in a plan view, Y1 side end portion of the crossing portion 12d (i.e., in the width direction of the magnetic detection element 10 extending in the X2 direction from the other end), and has a second magnetic field spanning portions 12f disposed Y1 side of the element portion 11 in plan view, a. 第2の軟磁性体12Bは、平面視で、クランク形状に屈曲された帯状に形成されている。 Second soft magnetic body 12B is a plan view, and is formed in a strip which is bent in a crank shape.

第1の軟磁性体12Aの交差部分12a及び第2の軟磁性体12Bの交差部分12dは、各電極部16とZ方向に離間して(図3)電極部16と平面視で交差する(図2)ように配置される。 Intersection 12d of the first intersection 12a of the soft magnetic body 12A and the second soft magnetic body 12B intersect at spaced apart on the electrode portions 16 and the Z-direction (Fig. 3) the electrode portion 16 in plan view ( Figure 2) is arranged to. 交差部分12a、12dと電極部16との間には絶縁層25が介在し、交差部分12a、12dと電極部16とは電気的に非接触となっている。 Intersections 12a, interposed insulating layer 25 between the 12d and the electrode portion 16, the intersection 12a, the 12d and the electrode portion 16 has an electric non-contact.

第1の軟磁性体12Aは、第2磁界渡し部分12cのX1−X2方向の長さL12cが第1磁界渡し部分12bのX1−X2方向の長さL12bより長くなるように形成されている。 The first soft magnetic body 12A is, X1-X2 direction of the length L12c of the second magnetic field spanning portions 12c are formed to be longer than the X1-X2 direction of the length L12b of the first magnetic field spanning portions 12b. 第2の軟磁性体12Bは、第1磁界渡し部分12eのX1−X2方向の長さL12eが第2磁界渡し部分12fのX1−X2方向の長さL12fより長くなるように形成されている。 Second soft magnetic body 12B is, X1-X2 direction of the length L12e of the first magnetic field passing portion 12e is formed to be longer than the X1-X2 direction of the length L12f of the second magnetic field spanning portions 12f.

本実施形態において、第1の軟磁性体12Aは、第1磁界渡し部分12bの長さL12bが4.5μmとなり、第2磁界渡し部分12cの長さL12cが10.4μmとなるように形成され、交差部分12a、第1磁界渡し部分12b及び第2磁界渡し部分12cのいずれも幅が2.0μmとなるように形成されている。 In the present embodiment, the first soft magnetic body 12A, the length of the first magnetic field spanning portions 12b L12b is formed so as to 4.5μm, and the length L12c of the second magnetic field spanning portions 12c becomes 10.4μm , intersections 12a, both the width of the first magnetic field passing portion 12b and the second magnetic field spanning portions 12c are formed so as to be 2.0 .mu.m. また、第2の軟磁性体12Bは、第1磁界渡し部分12eの長さL12eが10.4μmとなり、第2磁界渡し部分12fの長さL12fが4.5μmとなるように形成され、交差部分12d、第1磁界渡し部分12e及び第2磁界渡し部分12fのいずれも幅が2.0μmとなるように形成されている。 The second soft magnetic body 12B has a length L12e is 10.4μm next first field spanning portions 12e, the length of the second magnetic field spanning portions 12f L12f is formed to be 4.5 [mu] m, intersection 12d, both the width of the first magnetic field passing portion 12e and second magnetic field spanning portions 12f are formed to be 2.0 .mu.m.

図2で符号を付した隣り合う2つの第1の軟磁性体12A及び第2の軟磁性体12Bを代表として着目すると、第1の軟磁性体12Aが有する第2磁界渡し部分12cの延在方向中央位置12ccを含む中央部分12c1と、第2の軟磁性体12Bが有する第1磁界渡し部分12eの延在方向中央位置12ecを含む中央部分12e1とが、Y1−Y2方向にギャップGを介して対向している。 Focusing the two first soft magnetic body 12A and the second soft magnetic body 12B which in FIG. 2 adjacent denoted by reference numeral as representative, extending the second magnetic field spanning portions 12c having the first soft magnetic body 12A a central portion 12c1 comprising direction central position 12 cc, and the central portion 12e1 including the extending direction center position 12ec of the first magnetic field passing portion 12e having the second soft magnetic body 12B is, through the gap G to the Y1-Y2 direction It is opposed Te.

図2に示すように、第1の軟磁性体12Aの第2磁界渡し部分12cと、第2の軟磁性体12Bの第1磁界渡し部分12eとがギャップGを介して対向する位置(中央部分12c1及び中央部分12e1の対向箇所)には電極部16が配置されていない。 As shown in FIG. 2, the second magnetic field spanning portions 12c and the position (central portion and a first magnetic field spanning portions 12e are opposed via a gap G of the second soft magnetic body 12B of the first soft magnetic body 12A 12c1 and the electrode portion 16 is not disposed on the opposite positions) of the central portion 12e1. 即ち、平面視にて、電極部16間の間隔T1の位置に、ギャップGが位置している。 That is, in plan view, the position of the interval T1 between the electrode portion 16, the gap G is located. このギャップGの箇所に、磁気検知体10の素子部11における電極部16が重ねられていない部分(即ち、磁気検知部分D)が配置される。 The position of the gap G, the portion not electrode portions 16 are overlapped in the element portion 11 of the magnetic detection element 10 (i.e., the magnetic detection part D) are arranged.

この磁気検知部分Dは、第1の軟磁性体12Aの第2磁界渡し部分12cと第2の軟磁性体12Bの第1磁界渡し部分12eとに平面視でY1−Y2方向に挟まれて配置されている。 The magnetic detection portion D, the second magnetic field spanning portions 12c and sandwiched Y1-Y2 direction in a plan view and a first magnetic field spanning portions 12e of the second soft magnetic body 12B disposed in the first soft magnetic body 12A It is. また、磁気検知部分Dは、第1の軟磁性体12Aの第2磁界渡し部分12cの先端12c2に対しX1向きにTa(Ta>0)だけ間隔をあけて配置され、かつ、第2の軟磁性体12Bの第1磁界渡し部分12eの先端12e2に対してX2向きにTb(Tb>0)だけ間隔をあけて配置されている。 The magnetic detection portion D are spaced apart by Ta (Ta> 0) with respect to the distal end 12c2 of the second magnetic field passing portion 12c of the first soft magnetic body 12A in the X1 direction, and a second soft They are spaced apart by Tb (Tb> 0) to the X2 direction relative to the tip 12e2 of the first magnetic field passing portion 12e of the magnetic body 12B.

本実施形態において、第1の軟磁性体12A及び第2の軟磁性体12Bは、Ta=Tb=3.45μmとなるように配置されている。 In the present embodiment, the first soft magnetic body 12A and the second soft magnetic body 12B is disposed so that Ta = Tb = 3.45μm.

図2に示すように、外部磁界H1がX2方向に向けて作用したとき、外部磁界H1は、各軟磁性体12内、及び軟磁性体12A,12B間を通る矢印の磁路M1を進む。 As shown in FIG. 2, when the external magnetic field H1 is acted toward the X2 direction, the external magnetic field H1 is proceeds the soft magnetic body 12. Particularly, and the soft magnetic body 12A, the magnetic path M1 arrows passing between 12B. このとき、図4に示すように、素子部11に対して第1の軟磁性体12Aの第2磁界渡し部分12cから第2の軟磁性体12Bの第1磁界渡し部分12eとの間で、Y2方向への外部磁界H2が漏れ、この外部磁界H2が素子部11に作用する。 At this time, as shown in FIG. 4, between the second magnetic field passing portion 12c of the first soft magnetic body 12A with respect to the element 11 of the first magnetic field passing portion 12e of the second soft magnetic body 12B, external magnetic field H2 is leakage of the Y2 direction, the external magnetic field H2 is applied to the element 11. 即ち、第1の軟磁性体12Aの第2磁界渡し部分12cと第2の軟磁性体12Bの第1磁界渡し部分12eとで一対の磁界渡し部分を構成する。 In other words, they constitute a pair of magnetic field passing portion by the first magnetic field passing portion 12e of the second magnetic field spanning portions 12c and the second soft magnetic body 12B of the first soft magnetic body 12A.

このように第1の磁気抵抗効果素子1及び第4の磁気抵抗効果素子4では、X2方向の外部磁界H1が軟磁性体12により進行方向がY2方向に変換されて素子部11に作用する。 Thus, in the first magnetoresistance effect element 1 and the fourth magnetoresistive element 4, X2 direction of the external magnetic field H1 is exerted on the element 11 is converted in the traveling direction Y2 direction by the soft magnetic body 12.

素子部11では、電極部16が重ねられた部分において素子部11よりも優先的に電極部16に電流が流れ、この部分では素子部11としての感度をもたない。 In the element unit 11, preferentially current flows through the electrode portion 16 than the element 11 in the portion where the electrode portions 16 are stacked, no sensitivity as element 11 in this portion. これにより、素子部11における電極部16が重ねられてない部分である磁気検知部分Dのみ磁気抵抗効果素子として機能する。 Thus, functions as a magnetic resistance effect element only the magnetic sensing portion D is a portion which is not overlapped the electrode portion 16 of the element 11.

そして、各素子部11の感度軸方向(P)は、Y2方向である。 Then, the sensitivity axis of the element portion 11 (P) is a Y2 direction. またフリー磁性層63の磁化方向は素子部11の形状異方性によりX1−X2方向である。 The magnetization direction of the free magnetic layer 63 is the X1-X2 direction by the shape anisotropy of the element portion 11. 各素子部11にY2方向の外部磁界H2が作用することでフリー磁性層63の磁化方向はY2方向を向く。 The magnetization direction of the free magnetic layer 63 by the external magnetic field H2 in the Y2 direction to the respective element units 11 acts on faces Y2 direction. この結果、固定磁性層61の磁化方向とフリー磁性層63の磁化方向が同方向となり、磁気検知部分Dの電気抵抗値は小さくなる。 As a result, the magnetization directions of the free magnetic layer 63 of the fixed magnetic layer 61 becomes the same direction, the electric resistance of the magnetic detection portion D is small.

図5は、本実施形態における第2の磁気抵抗効果素子2及び第3の磁気抵抗効果素子3の部分拡大平面図である。 Figure 5 is a partially enlarged plan view of a second magnetoresistive element 2 and the third magnetoresistive element 3 in this embodiment.

図5に示す第2の磁気抵抗効果素子2は、図5に示すように、磁気検知体10と、磁気検知体10と非接触に配置された複数の磁路形成体としての軟磁性体14と、を備えている。 Magnetoresistive element 2 a second as shown in FIG. 5, as shown in FIG. 5, the magnetic sensing element 10, a soft magnetic material 14 as a plurality of magnetic path forming body disposed in non-contact with the magnetic detection element 10 It has a, and. なお、第3の磁気抵抗効果素子3についても、図5に示す構成を有している。 Here, also for the third magnetoresistance effect element 3, it has a configuration shown in FIG.

第2の磁気抵抗効果素子2は、図2に示す第1の磁気抵抗効果素子1において複数の軟磁性体12に代えて、複数の軟磁性体14を有する以外は同一の構成を有している。 The second magnetoresistance effect element 2, instead of the plurality of soft magnetic material 12 in the first magnetoresistance effect element 1 shown in FIG. 2, except having a plurality of soft magnetic material 14 have the same configuration there. 即ち、図5に示す第2の磁気抵抗効果素子2と図2に示す第1の磁気抵抗効果素子1との間で磁気検知体10(素子部11及び電極部16)の構成に違いはない。 That is, there is no difference in the configuration of the magnetic detection element 10 (element 11 and the electrode portions 16) between the first magnetoresistance effect element 1 shown in the second magnetoresistance effect element 2 and 2 shown in FIG. 5 .

複数の軟磁性体14は、図5に示すように、素子部11(即ち、磁気検知体10)に沿ってX1−X2方向に並べて配置されている。 A plurality of soft magnetic material 14, as shown in FIG. 5, element 11 (i.e., the magnetic detection element 10) are arranged side by side in the X1-X2 direction along the. 各軟磁性体14はNiFe、CoFe、CoFeSiBやCoZrNb等で形成される。 Each soft magnetic bodies 14 are formed by NiFe, CoFe, CoFeSiB and CoZrNb, and the like.

図5においてX1−X2方向にて隣り合う2つの軟磁性体14のうち、X1側に配置された軟磁性体14を第3の軟磁性体14C、X2側に配置された軟磁性体14を第4の軟磁性体14Dと定義する。 Of X1-X2 adjacent at the direction of two soft magnetic bodies 14 in FIG. 5, the soft magnetic body 14 disposed on the X1 side third soft magnetic body 14C, X2 arranged soft magnetic material on the side 14 It is defined as a fourth soft magnetic body 14D. 図5には、一組の軟磁性体14にのみ符号14C、14Dを付した。 FIG 5, reference numeral 14C only to a set of soft magnetic bodies 14, denoted by 14D. なお、軟磁性体14Dの一つ右隣の軟磁性体14及び二つ右隣の軟磁性体14に着目してこれら隣り合う2つの軟磁性体14をペアと考えれば、これらうちの左側が軟磁性体14Cとなり、右側が軟磁性体14Dとなる。 Incidentally, given the soft magnetic body 14 and two right of focusing on the soft magnetic material 14 of two of these adjacent soft magnetic member 14 of one right adjacent soft magnetic material 14D and the pair, the left of these next soft magnetic material 14C, right becomes soft magnetic material 14D. X1−X2方向に間隔をあけて並べられた複数の軟磁性体14は、最もX1側から2つずつペアとなってそれぞれが軟磁性体14C、軟磁性体14Dとなるように設けられている。 X1-X2 direction a plurality of soft magnetic ordered at intervals in body 14 are each a two by two pair from the most X1 side is provided so as to be soft magnetic body 14C, a soft magnetic material 14D .

第3の軟磁性体14Cは、磁気検知体10と交差してY1−Y2方向に延在する交差部分14aと、交差部分14aのY1側端部(即ち、磁気検知体10の幅方向の一端部)からX1方向に延出し、平面視にて素子部11のY1側に配置される第1磁界渡し部分14bと、交差部分14aのY2側端部(即ち、磁気検知体10の幅方向の他端部)からX2方向に延出し平面視にて素子部11のY2側に配置される第2磁界渡し部分14cと、を有して構成される。 The third soft magnetic body 14C has a cross section 14a extending to intersect with the magnetic sensing elements 10 in direction Y1-Y2, Y1-side end portion of the crossing portion 14a (i.e., the width direction of the magnetic detection element 10 at one end extending from parts) in the X1 direction, a first magnetic field spanning portions 14b disposed on the Y1 side of the element portion 11 in a plan view, Y2 end of the intersection 14a (i.e., the width direction of the magnetic detection element 10 configured to have a second magnetic field spanning portions 14c disposed on the Y2 side of the element portion 11 in extending out plan view in the X2 direction from the other end), a. 第3の軟磁性体14Cは、平面視で、クランク形状に屈曲された帯状に形成されている。 The third soft magnetic body 14C is a plan view, and is formed in a strip which is bent in a crank shape.

第4の軟磁性体14Dは、磁気検知体10と交差してY1−Y2方向に延在する交差部分14dと、交差部分14dのY1側端部(即ち、磁気検知体10の幅方向の一端部)からX1方向に延出し、平面視にて素子部11のY1側に配置される第1磁界渡し部分14eと、交差部分14dのY2側端部(即ち、磁気検知体10の幅方向の他端部)からX2方向に延出し平面視にて素子部11のY2側に配置される第2磁界渡し部分14fと、を有して構成される。 The fourth soft magnetic body 14D has a cross section 14d extending to intersect with the magnetic sensing elements 10 in direction Y1-Y2, Y1-side end portion of the crossing portion 14d (i.e., in the width direction of the magnetic detection element 10 at one end extending from parts) in the X1 direction, a first magnetic field spanning portions 14e disposed on the Y1 side of the element portion 11 in a plan view, Y2 end of the intersection 14d (i.e., in the width direction of the magnetic detection element 10 configured to have a second magnetic field spanning portions 14f which is arranged on the Y2 side of the element portion 11 in extending out plan view in the X2 direction from the other end), a. 第4の軟磁性体14Dは、平面視で、クランク形状に屈曲された帯状に形成されている。 The fourth soft magnetic body 14D is a plan view, and is formed in a strip which is bent in a crank shape.

本実施形態において、図5に示す複数の軟磁性体14(第3の軟磁性体14C、第4の軟磁性体14D)は、それぞれに対応する軟磁性体12(図2の第1の軟磁性体12A、第2の軟磁性体12B)を上下方向(Y1−Y2方向)に反転させた形状と同一である。 In the present embodiment, a plurality of soft magnetic material 14 (third soft magnetic body 14C, a fourth soft magnetic body 14D) shown in FIG. 5, the soft magnetic body 12 corresponding to the respective (first soft in Figure 2 magnetic 12A, is identical to the shape obtained by inverting the second soft magnetic member 12B) in the vertical direction (Y1-Y2 direction).

第3の軟磁性体14Cの交差部分14a及び第4の軟磁性体14Dの交差部分14dは、各電極部16とZ方向に離間して電極部16と平面視で交差するように配置される。 Intersection 14d of the third soft magnetic member 14C intersection 14a and a fourth soft magnetic body 14D is arranged so as to intersect with the electrode portion 16 in plan view at a distance from each other in each of the electrode portions 16 and the Z-direction . 交差部分14a、14dと電極部16との間には絶縁層25が介在し、交差部分14a、14dと電極部16とは電気的に非接触となっている。 Intersections 14a, interposed insulating layer 25 between the 14d and the electrode portion 16, the intersection 14a, the 14d and the electrode portion 16 has an electric non-contact.

第3の軟磁性体14Cは、第2磁界渡し部分14cのX1−X2方向の長さL14cが第1磁界渡し部分14bのX1−X2方向の長さL14bより長くなるように形成されている。 The third soft magnetic body 14C is formed as the X1-X2 direction of the length L14c of the second magnetic field spanning portions 14c is longer than the X1-X2 direction of the length L14b of the first magnetic field spanning portions 14b. 第4の軟磁性体14Dは、第1磁界渡し部分14eのX1−X2方向の長さL14eが第2磁界渡し部分14fのX1−X2方向の長さL14fより長くなるように形成されている。 The fourth soft magnetic body. 14D, the X1-X2 direction of the length L14e of the first magnetic field passing portion 14e is formed to be longer than the X1-X2 direction of the length L14f of the second magnetic field spanning portions 14f.

本実施形態において、第3の軟磁性体14Cは、第1磁界渡し部分14bの長さL14bが4.5μmとなり、第2磁界渡し部分14cの長さL14cが10.4μmとなるように形成され、交差部分14a、第1磁界渡し部分14b及び第2磁界渡し部分14cのいずれも幅が2.0μmとなるように形成されている。 In this embodiment, the third soft magnetic body 14C, the length of the first magnetic field spanning portions 14b L14b is formed so as to 4.5μm, and the length L14c of the second magnetic field spanning portions 14c becomes 10.4μm , intersections 14a, both the width of the first magnetic field passing portion 14b and the second magnetic field spanning portions 14c are formed so as to be 2.0 .mu.m. また、第4の軟磁性体14Dは、第1磁界渡し部分14eの長さL14eが10.4μmとなり、第2磁界渡し部分14fの長さL14fが4.5μmとなるように形成され、交差部分14d、第1磁界渡し部分14e及び第2磁界渡し部分14fのいずれも幅が2.0μmとなるように形成されている。 The fourth soft magnetic body 14D has a length L14e is 10.4μm next first field spanning portions 14e, the length of the second magnetic field spanning portions 14f L14f is formed to be 4.5 [mu] m, intersection 14d, both the width of the first magnetic field passing portion 14e and second magnetic field spanning portions 14f are formed to be 2.0 .mu.m.

図5で符号を付した隣り合う2つの第3の軟磁性体14Cと第4の軟磁性体14Dを代表として着目すると、第3の軟磁性体14Cが有する第2磁界渡し部分14cの延在方向中央位置14ccを含む中央部分14c1と、第4の軟磁性体14Dが有する第1磁界渡し部分14eの延在方向中央位置14ecを含む中央部分14e1とが、Y1−Y2方向にギャップGを介して対向している。 Focusing third soft magnetic material two adjacent by symbol 14C and the fourth soft magnetic body 14D as represented by FIG. 5, extending in the second magnetic field spanning portions 14c having a third soft magnetic body 14C a central portion 14c1 comprising direction central position 14 cc, and the central portion 14e1 including the first magnetic field passing portion 14e of the extending direction center position 14ec having a fourth soft magnetic body 14D is, through the gap G to the Y1-Y2 direction It is opposed Te.

図5に示すように、第3の軟磁性体14Cの第2磁界渡し部分14cと、第4の軟磁性体14Dの第1磁界渡し部分14eとがギャップGを介して対向する位置(中央部分14c1及び中央部分14e1の対向箇所)には電極部16が配置されていない。 As shown in FIG. 5, the second magnetic field spanning portions 14c and the position (central portion and a first magnetic field spanning portions 14e are opposed via a gap G of the fourth soft magnetic body 14D of the third soft magnetic body 14C 14c1 and the electrode portion 16 is not disposed on the opposite positions) of the central portion 14e1. 即ち、平面視にて、電極部16間の間隔T1の位置に、前記ギャップGが位置している。 That is, in plan view, the position of the interval T1 between the electrode portion 16, the gap G is located. このギャップGの箇所に、磁気検知体10の素子部11における電極部16が重ねられていない部分(即ち、磁気検知部分D)が配置される。 The position of the gap G, the portion not electrode portions 16 are overlapped in the element portion 11 of the magnetic detection element 10 (i.e., the magnetic detection part D) are arranged.

この磁気検知部分Dは、第3の軟磁性体14Cの第2磁界渡し部分14cと第4の軟磁性体14Dの第1磁界渡し部分14eとに平面視でY1−Y2方向に挟まれて配置されている。 The magnetic detection portion D, the second magnetic field spanning portions 14c and sandwiched Y1-Y2 direction in a plan view and a first magnetic field spanning portions 14e of the fourth soft magnetic body 14D arrangement of the third soft magnetic body 14C It is. また、磁気検知部分Dは、第3の軟磁性体14Cの第2磁界渡し部分14cの先端14c2に対してX1向きにTc(Tc>0)だけ間隔をあけて配置され、かつ、第4の軟磁性体14Dの第1磁界渡し部分14eの先端14e2に対してX2向きにTd(Td>0)だけ間隔をあけて配置されている。 The magnetic detection portion D are spaced apart by Tc (Tc> 0) in the X1 direction relative to the tip 14c2 of the second magnetic field passing portion 14c of the third soft magnetic body 14C, and the fourth only Td (Td> 0) X2 direction to the leading end 14e2 of the first magnetic field passing portion 14e of the soft magnetic material 14D are spaced apart.

本実施形態において、第3の軟磁性体14C及び第4の軟磁性体14Dは、Tc=Td=3.45μmとなるように配置されている。 In this embodiment, the third soft magnetic body 14C and a fourth soft magnetic body 14D is arranged such that Tc = Td = 3.45μm.

図5に示すように、外部磁界H1がX2方向に向けて作用したとき、外部磁界H1は、各軟磁性体14内、及び軟磁性体14C,14D間を通る矢印の磁路M2を進む。 As shown in FIG. 5, when the external magnetic field H1 is acted toward the X2 direction, the external magnetic field H1 is the soft magnetic bodies within 14, and soft magnetic material 14C, a magnetic path M2 arrows passing between 14D proceeds. このとき、素子部11に対して第3の軟磁性体14Cの第2磁界渡し部分14cから第4の軟磁性体14Dの第1磁界渡し部分14eとの間で、Y1方向への外部磁界H3が漏れ、この外部磁界H3が素子部11に作用する。 In this case, between the second magnetic field passing portion 14c of the third soft magnetic body 14C with respect to the element 11 of the first magnetic field passing portion 14e of the fourth soft magnetic body 14D, the external magnetic field H3 of the Y1 direction leaks, the external magnetic field and H3 acts on element 11. 即ち、第3の軟磁性体14Cの第2磁界渡し部分14cと第4の軟磁性体14Dの第1磁界渡し部分14eとで一対の磁界渡し部分を構成する。 In other words, they constitute a pair of magnetic field passing portion by the first magnetic field passing portion 14e of the second magnetic field spanning portions 14c and the fourth soft magnetic body 14D of the third soft magnetic body 14C.

このように第2の磁気抵抗効果素子2及び第3の磁気抵抗効果素子3では、X2方向の外部磁界H1が軟磁性体14により進行方向がY1方向に変換されて素子部11に作用する。 In this manner, the second magnetoresistance effect element 2 and the third magnetoresistive element 3, X2 direction of the external magnetic field H1 is exerted on the element 11 is converted in the traveling direction Y1 direction by soft magnetic bodies 14.

素子部11では、電極部16が重ねられた部分において素子部11よりも優先的に電極部16に電流が流れ、この部分では素子部11としての感度をもたない。 In the element unit 11, preferentially current flows through the electrode portion 16 than the element 11 in the portion where the electrode portions 16 are stacked, no sensitivity as element 11 in this portion. これにより、素子部11における電極部16が重ねられてない部分である磁気検知部分Dのみ磁気抵抗効果素子として機能する。 Thus, functions as a magnetic resistance effect element only the magnetic sensing portion D is a portion which is not overlapped the electrode portion 16 of the element 11.

そして、各素子部11の感度軸方向(P)は、Y2方向である。 Then, the sensitivity axis of the element portion 11 (P) is a Y2 direction. またフリー磁性層63の磁化方向は素子部11の形状異方性によりX1−X2方向である。 The magnetization direction of the free magnetic layer 63 is the X1-X2 direction by the shape anisotropy of the element portion 11. そして、各素子部11にY1方向の外部磁界H3が作用することでフリー磁性層63の磁化方向はY1方向を向く。 Then, the magnetization direction of the free magnetic layer 63 by an external magnetic field H3 in the Y1 direction to each element 11 acts on faces Y1 direction. この結果、固定磁性層61の磁化方向とフリー磁性層63の磁化方向が反対方向となり、磁気検知部分Dの電気抵抗値は大きくなる。 As a result, the magnetization directions of the free magnetic layer 63 of the fixed magnetic layer 61 becomes opposite direction, the electric resistance of the magnetic detection portion D becomes larger.

このように、磁気センサSにX2方向の外部磁界H1が作用すると、第1の磁気抵抗効果素子1及び第4の磁気抵抗効果素子4の電気抵抗値が小さくなり、第2の磁気抵抗効果素子2及び第3の磁気抵抗効果素子3の電気抵抗値は大きくなり、図1に示すブリッジ回路により差動出力を得ることができる。 Thus, the X2 direction of the external magnetic field H1 is acting on the magnetic sensor S, the electrical resistance of the first magnetoresistive element 1 and the fourth magnetoresistive element 4 is reduced, the second magnetoresistance effect element electric resistance of the second and third magnetoresistance effect element 3 is increased, it is possible to obtain a differential output by the bridge circuit shown in FIG.

ここで比較例の磁気センサついて説明する。 Here with the magnetic sensor of the comparative example will be described. 図6、図7は、比較例の磁気センサである。 6, FIG. 7 is a magnetic sensor of the comparative example. 図6には第1の磁気抵抗効果素子及び第4の磁気抵抗効果素子を示す。 FIG. 6 shows a first magnetoresistive element and the fourth magnetoresistive element. 図7には第2の磁気抵抗効果素子及び第3の磁気抵抗効果素子を示す。 The Figure 7 shows a second magnetoresistive element and the third magnetoresistive element. 図6、図7に示す磁気検知体10の構造は図2、図3と同じである。 6, the structure of the magnetic sensing element 10 shown in FIG. 7 2, is the same as FIG.

比較例の磁気センサが有する複数の軟磁性体72、74は、上述した実施形態の複数の軟磁性体12、14と同様の構成を有している。 A plurality of soft magnetic material 72, 74 having the magnetic sensor of the comparative example has the same configuration as the plurality of soft magnetic material 12, 14 of the embodiments described above.

即ち、複数の軟磁性体72は、図6に示すように、素子部11(即ち、磁気検知体10)に沿ってX1−X2方向に並べて配置されている。 That is, a plurality of soft magnetic material 72, as shown in FIG. 6, element 11 (i.e., the magnetic detection element 10) are arranged side by side in the X1-X2 direction along the. 各軟磁性体72はNiFe、CoFe、CoFeSiBやCoZrNb等で形成される。 Each soft magnetic 72 NiFe, CoFe, is formed by CoFeSiB and CoZrNb, and the like. 複数の軟磁性体74についても同様である。 The same applies to the plurality of soft magnetic material 74.

図6においてX1−X2方向にて隣り合う2つの軟磁性体72のうち、X1側に配置された軟磁性体72を第1の軟磁性体72A、X2側に配置された軟磁性体72を第2の軟磁性体72Bと定義する。 Of the two soft magnetic material 72 adjacent in the X1-X2 direction in FIG. 6, the soft magnetic body 72 disposed on the X1 side first soft magnetic body 72A, located on the X2 side the soft magnetic body 72 It is defined as a second soft magnetic body 72B. 図6には、一組の軟磁性体72にのみ符号72A,72Bを付した。 Figure 6 is denoted by reference numeral 72A, 72B only to a set of soft magnetic material 72. なお、軟磁性体72Bの一つ右隣の軟磁性体72及び二つ右隣の軟磁性体72に着目してこれら隣り合う2つの軟磁性体72をペアと考えれば、これらうちの左側が軟磁性体72Aとなり、右側が軟磁性体72Bとなる。 Incidentally, considering the two soft magnetic material 72 adjacent these by focusing on the soft magnetic material 72 and the two right soft magnetic body 72 of a single right adjacent soft magnetic material 72B paired, the left of these next soft magnetic material 72A, the right is the soft magnetic body 72B. X1−X2方向に間隔をあけて並べられた複数の軟磁性体72は、最もX1側から2つずつペアとなってそれぞれが軟磁性体72A、軟磁性体72Bとなるように設けられている。 X1-X2 direction a plurality of soft magnetic ordered at intervals in body 72 are each a two by two pair from the most X1 side is provided so as to be soft magnetic body 72A, and the soft magnetic body 72B .

第1の軟磁性体72Aは、磁気検知体10と交差してY1−Y2方向に延在する交差部分72aと、交差部分72aのY2側端部(即ち、磁気検知体10の幅方向の一端部)からX1方向に延出し、平面視にて素子部11のY2側に配置される第1磁界渡し部分72bと、交差部分72aのY1側端部(即ち、磁気検知体10の幅方向の他端部)からX2方向に延出し、平面視にて素子部11のY1側に配置される第2磁界渡し部分72cと、を有して構成される。 The first soft magnetic body 72A has a cross section 72a extending to intersect with the magnetic sensing elements 10 in direction Y1-Y2, Y2 end of the intersection 72a (i.e., the width direction of the magnetic detection element 10 at one end extending from parts) in the X1 direction, a first magnetic field spanning portions 72b disposed on the Y2 side of the element portion 11 in a plan view, Y1 side end portion of the crossing portion 72a (i.e., the width direction of the magnetic detection element 10 extending in the X2 direction from the other end), and has a second magnetic field spanning portions 72c disposed on the Y1 side of the element portion 11 in plan view, a. 第1の軟磁性体72Aは、平面視で、クランク形状に屈曲された帯状に形成されている。 The first soft magnetic body 72A is a plan view, and is formed in a strip which is bent in a crank shape.

第2の軟磁性体72Bは、磁気検知体10と交差してY1−Y2方向に延在する交差部分72dと、交差部分72dのY2側端部(即ち、磁気検知体10の幅方向の一端部)からX1方向に延出し、平面視にて素子部11のY2側に配置される第1磁界渡し部分72eと、交差部分12dのY1側端部(即ち、磁気検知体10の幅方向の他端部)からX2方向に延出し、平面視にて素子部11のY1側に配置される第2磁界渡し部分72fと、を有して構成される。 Second soft magnetic body 72B has a cross section 72d extending to intersect with the magnetic sensing elements 10 in direction Y1-Y2, Y2 end of the intersection 72d (i.e., in the width direction of the magnetic detection element 10 at one end extending from parts) in the X1 direction, a first magnetic field spanning portions 72e disposed on the Y2 side of the element portion 11 in a plan view, Y1 side end portion of the crossing portion 12d (i.e., in the width direction of the magnetic detection element 10 extending in the X2 direction from the other end), and has a second magnetic field spanning portions 72f disposed Y1 side of the element portion 11 in plan view, a. 第2の軟磁性体72Bは、平面視で、クランク形状に屈曲された帯状に形成されている。 Second soft magnetic body 72B is a plan view, and is formed in a strip which is bent in a crank shape.

図7に示す複数の軟磁性体74(第3の軟磁性体74C、第4の軟磁性体74D)は、それぞれに対応する軟磁性体72(図6の第1の軟磁性体72A、第2の軟磁性体72B)を上下方向(Y1−Y2方向)に反転させた形状と同一であるので、説明を省略する。 A plurality of soft magnetic material 74 shown in FIG. 7 (third soft magnetic body 74C, a fourth soft magnetic body 74D), the first soft magnetic body 72A of the soft magnetic body 72 (FIG. 6 corresponding to each of the since the second soft magnetic material 72B) identical to the inverted shape in the vertical direction (Y1-Y2 direction), the description thereof is omitted.

図6の比較例の第1の磁気抵抗効果素子及び第4の磁気抵抗効果素子において図2に示す本実施形態の第1の磁気抵抗効果素子及び第4の磁気抵抗効果素子と異なる点は、磁気検知体10の磁気検知部分D(素子部11における電極部16が重ねられてない部分)と、第1の軟磁性体72Aの第2磁界渡し部分72c及び第2の軟磁性体72Bの第1磁界渡し部分72eとの位置関係である。 Comparative Example The first magnetoresistance effect element and a first magnetoresistive element and the fourth magnetoresistive element differs from the embodiment shown in FIG. 2 in the fourth magnetoresistive element of Figure 6, a magnetic detection portion D of the magnetic detection element 10 (the portion not electrode portions 16 are overlapped in the element portion 11), the second magnetic field spanning portions 72c and the second soft magnetic material elements 72B of the first soft magnetic body 72A first 1, which is the positional relationship between the magnetic field passing portion 72e.

具体的には、図2に示す本実施形態では、磁気検知部分Dが、第1の軟磁性体12Aの第2磁界渡し部分72cと第2の軟磁性体12Bの第1磁界渡し部分72eとの間に挟まれて配置されるとともに、磁気検知部分Dが、第1の軟磁性体12Aの第2磁界渡し部分12cの先端12c2に対してX1向きに間隔Taをあけて配置されかつ第2の軟磁性体12Bの第1磁界渡し部分12eの先端12e2に対してX2向きに間隔Tbをあけて配置されている。 Specifically, in the present embodiment shown in FIG. 2, the magnetic detection portion D has a first magnetic field spanning portions 72e of the second magnetic field spanning portions 72c and the second soft magnetic body 12B of the first soft magnetic body 12A together are arranged pinched between the magnetic sensing portion D is spaced Ta in respect to the distal end 12 c 2 X1 direction of the second magnetic field passing portion 12c of the first soft magnetic body 12A and the second against the leading end 12e2 of the first magnetic field passing portion 12e of the soft magnetic body 12B are arranged at intervals Tb in the X2 direction.

一方、比較例では、磁気検知部分Dが、第1の軟磁性体72Aの第2磁界渡し部分72cと第2の軟磁性体72Bの第1磁界渡し部分72eとの間に挟まれて配置される点は同じであるが、磁気検知部分Dが、第1の軟磁性体72Aの第2磁界渡し部分72cの先端72c2とY1−Y2方向に対向して配置され(即ち、先端72c2に対してX1向きではなく、反対のX2向きに間隔をあけている)かつ第2の軟磁性体72Bの第1磁界渡し部分72eの先端72e2とY1−Y2方向に対向して配置されている(即ち、X2向きではなく、反対のX1向きに間隔をあけている)。 On the other hand, in the comparative example, the magnetic detection portion D is disposed sandwiched between the first magnetic field passing portion 72e of the second magnetic field spanning portions 72c and the second soft magnetic body 72B of the first soft magnetic body 72A Although that point is the same, the magnetic detection portion D is positioned to face the second magnetic field passing portion 72c of the tip 72c2 and Y1-Y2 direction of the first soft magnetic body 72A (i.e., relative to the tip 72c2 rather than X1 direction, and is opposed to the first magnetic field passing portion 72e of the front end 72e2 and Y1-Y2 direction opposite that spaced X2 direction) and the second soft magnetic body 72B (i.e., rather than the X2 direction, they are spaced apart in the opposite direction X1).

ここで、図8に、棒磁石によって生じる磁界方向(磁力線)を模式的に示す。 Here, FIG. 8 shows a magnetic field direction (magnetic field lines) generated by the bar magnet schematically. 図8に示すように棒磁石は長手方向両端部に磁極が生じ、平面視長辺(図8のX1−X2方向に延びる辺)を見ると、両端に近いほど磁界方向が長辺と直交する方向(Y1−Y2方向)に向き、両端からはなれて長辺の長手方向中央に近づくほど磁界方向が長辺と平行に近づく。 Bar magnet as shown in FIG. 8 occurs poles at both end portions in the longitudinal direction, when viewed in plan view long side (X1-X2 direction extending sides of FIG. 8), as the magnetic field direction is perpendicular to the long side close to the opposite ends orientation direction (Y1-Y2 direction), the magnetic field direction closer to the longitudinal center of the long side away from the ends closer parallel to the long sides. 即ち、長尺形状の磁性体においては、形状磁気異方性により長手方向端部に磁極が生じやすく、この磁極が生じた端部から長手方向中央寄りに離れることで磁性体から生じる磁界における長手方向に直交する成分が比較的小さくなりかつ長手方向に平行な成分が比較的大きくなる。 That is, in the magnetic body of elongate shape, the shape anisotropy tends to occur pole ends in the longitudinal direction, longitudinal in the magnetic field generated from the magnetic body at a leaving longitudinally inboard from the end where the magnetic poles generated relatively small becomes and component parallel to the longitudinal direction component perpendicular to the direction becomes relatively large.

そして、図6に示すように、比較例において、外部磁界H1がX2方向に向けて作用したとき、外部磁界H1は、軟磁性体72内、及び軟磁性体72A,72B間を通る矢印の磁路M3を進む。 Then, as shown in FIG. 6, in the comparative example, when the external magnetic field H1 is acted toward the X2 direction, the external magnetic field H1 is magnetic arrows through soft magnetic material within 72, and the soft magnetic body 72A, the inter-72B the road M3 advance. このとき、素子部11に対して第1の軟磁性体72Aの第2磁界渡し部分72cから第2の軟磁性体72Bの第1磁界渡し部分72eとの間で、Y2方向への外部磁界H2が漏れ、この外部磁界H2が素子部11に作用する。 In this case, between the second magnetic field passing portion 72c of the first soft magnetic body 72A with respect to the element 11 of the first magnetic field passing portion 72e of the second soft magnetic member 72B, the external magnetic field H2 in the Y2 direction leaks, the external magnetic field H2 is applied to the element 11.

そのあと、外部磁界H1が取り除かれて複数の軟磁性体72に残留磁化が生じた場合、形状磁気異方性により第1の軟磁性体72Aの第2磁界渡し部分72cの先端72c2及び第2の軟磁性体72Bの第1磁界渡し部分72eの先端72e2に磁極が現れる。 Then, if the residual magnetization is removed the external magnetic field H1 is a plurality of soft magnetic material 72 has occurred, the tip of the second magnetic field passing portion 72c of the first soft magnetic body 72A by the shape anisotropy 72c2 and the second the first magnetic pole in the magnetic field passing portion 72e of the front end 72e2 of the soft magnetic body 72B appears. そして、磁気検知部分Dが、これら先端72c2及び先端72e2とY1−Y2方向に対向して配置されているので、磁気検知部分Dに対して、残留磁化による磁界におけるY1−Y2方向の成分が比較的大きくなりかつX1−X2方向の成分が比較的小さくなり、そのため、磁気検知部分Dによって残留磁化による磁界(磁気)が検知されやすくなる。 The magnetic detection portion D is so disposed to face these tip 72c2 and tip 72e2 and the Y1-Y2 direction, relative to the magnetic detection portion D, the Y1-Y2 direction component in the magnetic field due to residual magnetization comparison target increases and and X1-X2 direction of the component is relatively small, therefore, become the magnetic field due to residual magnetization by the magnetic sensing portion D (magnetic) is easily detected. これにより、ヒステリシスの問題が生じる。 As a result, the hysteresis of the problems.

これに対して本実施形態では、磁気検知部分Dが、第1の軟磁性体12Aの第2磁界渡し部分12cの先端12c2とX1方向にTa(Ta>0)だけ間隔をあけて配置され、かつ、第2の軟磁性体12Bの第1磁界渡し部分12eの先端12e2とX2方向にTb(Tb>0)だけ間隔をあけて配置されているので、磁気検知部分Dに対して、残留磁化による磁界におけるY1−Y2方向の成分が比較的小さくなりかつX1−X2方向の成分が比較的大きくなるため、磁気検知部分によって残留磁化による磁界(磁気)が検知されにくくなる。 In contrast, in this embodiment, the magnetic detecting portion D is disposed spaced apart by Ta (Ta> 0) to the second magnetic field passing portion 12c of the tip 12c2 and X1 direction of the first soft magnetic body 12A, and, because it is spaced apart by Tb (Tb> 0) to the first magnetic field passing portion 12e of the front end 12e2 and X2 direction of the second soft magnetic body 12B, the magnetic detection part D, the residual magnetization since the Y1-Y2 direction component becomes relatively small and the X1-X2 direction of the component in the magnetic field is relatively large due to become the magnetic field due to residual magnetization by the magnetic sensing portion (magnetic) is hardly detected. これにより、ヒステリシスの問題を改善できる。 This makes it possible to improve the hysteresis of the problem. なお、図7の比較例の第2の磁気抵抗効果素子及び第3の磁気抵抗効果素子において図5に示す本実施形態の第2の磁気抵抗効果素子及び第3の磁気抵抗効果素子と異なる点についても同様であるので説明は省略する。 Note that differs from the second magnetoresistance effect element and the third magnetic second magnetoresistive element of the present embodiment shown in FIG. 5 in the resistive element and the third magnetoresistive element of the comparative example of FIG. 7 since the same is true explanation is omitted.

以上より、本実施形態によれば、外部磁界の磁路を形成するように磁気検知体10に沿って並べられた複数の軟磁性体12のうちの隣り合う2つの軟磁性体12A、12Bが、磁気検知体10に沿って帯状に延在するとともに平面視で磁気検知体10の磁気検知部分DをY1−Y2方向に挟み、互いの間を外部磁界が進行可能に対向して配置されて対をなす軟磁性体12Aの第2磁界渡し部分12c及び軟磁性体12Bの第1磁界渡し部分12e(即ち、一対の磁界渡し部分)を有している。 From the above, according to this embodiment, the two soft magnetic material 12A adjacent of the plurality of soft magnetic material 12 which are arranged along a magnetic sensing element 10 to form a magnetic path of the external magnetic field, 12B is the magnetic detection portion D of the magnetic sensing element 10 in plan view as well as extending in a band shape along the magnetic sensing element 10 sandwiched Y1-Y2 direction, it is disposed between the mutual external magnetic field opposite to be advanced and a first magnetic field spanning portions 12e of the second magnetic field spanning portions 12c and soft magnetic material 12B of the soft magnetic body 12A paired (i.e., a pair of magnetic field passing portion). そして、磁気検知部分Dが、軟磁性体12Aの第2磁界渡し部分12cの先端12c2及び軟磁性体12Bの第1磁界渡し部分12eの先端12e2の両方とX1−X2方向に間隔をあけて配置されている。 The magnetic detection portion D is spaced both the X1-X2 direction of the distal end 12e2 of the first magnetic field passing portion 12e of the second magnetic field passing portion 12c of the tip 12c2 and the soft magnetic body 12B of the soft magnetic body 12A disposed It is. これにより、対をなす軟磁性体12Aの第2磁界渡し部分12c及び軟磁性体12Bの第1磁界渡し部分12eは、帯状に延在していることから形状磁気異方性により先端12c2及び先端12e2に磁極が現れ、これら先端12c2及び先端12e2から離れるにしたがって磁界の向きがX1−X2方向に沿うように変化し、つまり、磁界におけるX1−X2方向(延在方向)に直交する成分が小さくなりかつX1−X2方向に平行な成分が大きくなる。 Thus, the first magnetic field passing portion 12e of the second magnetic field spanning portions 12c and soft magnetic material 12B of the soft magnetic body 12A of the pair has a tip 12c2 and tip the shape anisotropy since extending the strip 12e2 appear pole, the direction of the magnetic field varies along the X1-X2 direction with distance from these front end 12c2 and tip 12e2, that is, component perpendicular to the X1-X2 direction in the magnetic field (the extending direction) is small Narikatsu X1-X2 direction component parallel increases. そのため、これら先端12c2及び先端12e2から離れて磁気検知部分Dを配置することで、軟磁性体12に残留磁化が生じた場合であっても、磁気検知部分Dによって検知される軟磁性体12A、12Bの残留磁化による磁界について当該磁気検知部分Dの感度軸方向(Y1−Y2方向)の成分をより小さくすることができる。 Therefore, apart from these tip 12c2 and tip 12e2 by arranging the magnetic detection portion D, even when the residual magnetization in the soft magnetic body 12 occurs, the soft magnetic body 12A to be detected by the magnetic detection portion D, components for the magnetic field due to residual magnetization of 12B the magnetic detection portion D of the sensitivity axis direction (Y1-Y2 direction) can be further reduced. 複数の軟磁性体14についても同様である。 The same applies to the plurality of soft magnetic material 14. このことから、残留磁化の変化の影響を低減することができる。 Therefore, it is possible to reduce the influence of change of residual magnetization.

また、本実施形態によれば、磁気検知部分Dが、一対の磁界渡し部分である軟磁性体12Aの第2磁界渡し部分12c及び軟磁性体12Bの第1磁界渡し部分12eのそれぞれの延在方向中央部分の両方とY1−Y2方向に対向して配置されている。 Further, according to this embodiment, the magnetic detecting portion D, respectively of the extension of the first magnetic field passing portion 12e of the second magnetic field spanning portions 12c and soft magnetic material 12B of the soft magnetic body 12A is a pair of magnetic field spanning portions It is disposed opposite to both the Y1-Y2 direction of the center section. これにより、磁気検知部分Dが、先端12c2及び先端12e2からより離れてその延在方向中央位置付近に配置されるので、磁気検知部分Dによって検知される軟磁性体12A、12Bの残留磁化による磁界について当該磁気検知部分Dの感度軸方向の成分をさらに小さくすることができる。 Thus, the magnetic detection portion D is so disposed near more apart the extending direction central position from the tip 12c2 and tip 12e2, soft body 12A to be detected by the magnetic detection portion D, the magnetic field due to residual magnetization of 12B the sensitivity axis direction component of the magnetic sensing part D can be further reduced for. 複数の軟磁性体14についても同様である。 The same applies to the plurality of soft magnetic material 14. このことから、残留磁化の変化の影響をさらに低減することができる。 Therefore, it is possible to further reduce the effects of changes in the residual magnetization.

また、本実施形態では、隣り合う2つの軟磁性体12A、12Bのそれぞれが、磁気検知体10と交差してY1−Y2方向に延在する交差部分12a、12dと、交差部分12a、12dにおけるY2側端部からX1方向に沿って帯状に延在する第1磁界渡し部分12b、12eと、交差部分12a、12dにおけるY1側端部からX2方向に沿って帯状に延在する第2磁界渡し部分12c、12fと、を有している。 Further, in the present embodiment, the two soft magnetic material 12A adjacent, 12B respectively are cross section 12a that extends in direction Y1-Y2 intersect the magnetic sensing element 10, and 12d, intersection 12a, the 12d first magnetic field passing portion 12b which extends in a band shape along the Y2 side end portion in the X1 direction, 12e and the second magnetic field passing extending in a strip along the intersection 12a, the Y1 end of 12d in the X2 direction portion 12c, has a 12f, a. そして、隣り合う2つの軟磁性体12A、12Bのうちの一方の軟磁性体12Aの第2磁界渡し部分12cと他方の軟磁性体12Bの第1磁界渡し部分12eとで、一対の磁界渡し部分を構成している。 Then, in the first magnetic field passing portion 12e of the second magnetic field spanning portions 12c and the other soft magnetic material 12B of one of the soft magnetic body 12A of the two soft magnetic material 12A, 12B adjacent pair of the magnetic field passing portion constitute a. 複数の軟磁性体14についても同様である。 The same applies to the plurality of soft magnetic material 14.

また、本実施形態では、隣り合う2つの軟磁性体12A、12Bのうちの一方の軟磁性体12Aの第2磁界渡し部分12cがその第1磁界渡し部分12bより長く形成され、他方の軟磁性体12Bの第1磁界渡し部分12eがその第2磁界渡し部分12fより長く形成されている。 Further, in the present embodiment, the two soft magnetic material adjacent 12A, second magnetic field spanning portions 12c of one of the soft magnetic body 12A of the 12B is formed longer than the first magnetic field passing portion 12b, the other soft first magnetic field spanning portions 12e of the body 12B is formed longer than the second magnetic field spanning portions 12f. これにより、軟磁性体12A、12Bについて、形状磁気異方性を維持したまま、一方の軟磁性体12Aの第2磁界渡し部分12c及び他方の軟磁性体12Bの第1磁界渡し部分12eから漏れる磁界の影響を低減した。 Thus, the soft magnetic body 12A, the 12B, while maintaining the shape magnetic anisotropy, leaking from the first magnetic field passing portion 12e of the second magnetic field spanning portions 12c and the other soft magnetic material 12B of one of the soft magnetic body 12A It was to reduce the influence of the magnetic field. 複数の軟磁性体14についても同様である。 The same applies to the plurality of soft magnetic material 14.

以上により、本実施形態では、比較例に示される従来の構成に比べてヒステリシスを効果的に改善することができる。 Thus, in the present embodiment, it is possible to effectively improve the hysteresis as compared with the conventional structure shown in Comparative Example.

以上、本発明について、好ましい実施形態を挙げて説明したが、本発明の磁気センサは上記実施形態の構成に限定されるものではない。 While the invention has been described by way of preferred embodiments, the magnetic sensor of the present invention is not limited to the configuration of the above embodiment.

例えば、上述した実施形態では、磁気検知部分Dが、第1の軟磁性体12Aの第2磁界渡し部分12cの先端12c2とX1向きにTa(Ta>0)だけ間隔をあけて配置され、かつ、第2の軟磁性体12Bの第1磁界渡し部分12eの先端12e2とX2向きにTb(Tb>0)だけ間隔をあけて配置されている構成であったが、これに限定されるものではない。 For example, in the above embodiment, the magnetic detecting portion D is disposed spaced apart by Ta (Ta> 0) to the tip 12c2 and X1 direction of the second magnetic field passing portion 12c of the first soft magnetic body 12A, and , second Tb (Tb> 0) to the tip 12e2 and X2 directions of the first magnetic field passing portion 12e of the soft magnetic body 12B has been a configuration in which only are spaced, limited to this Absent. 磁気検知部分Dが、上記先端12c2とのみX1向きに間隔をあけて配置され、先端12e2とY1−Y2方向に対向して配置(即ち、X2向きに間隔をあけていない)された構成であってもよい。 Magnetic detection portion D is spaced only X1 direction and the distal end 12 c 2, disposed opposite the tip 12e2 and the Y1-Y2 direction a in (i.e., opened non apart X2 direction) configurations it may be. または、これとは逆に、磁気検知部分Dが、上記先端12e2とのみX2向きに間隔をあけて配置され、先端12c2とY1−Y2方向に対向して配置(即ち、X1向きに間隔をあけていない)された構成であってもよい。 Or, on the contrary, opened magnetic detection portion D is spaced only X2 direction with the leading end 12e2, disposed opposite the tip 12c2 and the Y1-Y2 direction (i.e., the interval X1 direction it may be a have not) have been constructed. 磁気検知部分Dと、第3の軟磁性体14C及び第4の軟磁性体14Dとの位置関係についても同様である。 A magnetic sensing portion D, is the same positional relationship between the third soft magnetic material elements 14C, and fourth soft magnetic body 14D.

また、上述した実施形態では、軟磁性体12の第1磁界渡し部分と第2磁界渡し部分とは長さが異なる構成であったが、これら第1磁界渡し部分と第2磁界渡し部分との長さを同一にしてもよい。 Further, in the above embodiment, although the first magnetic field passing portion and a second magnetic field spanning portions of the soft magnetic body 12 was different overall length, with these first magnetic field passing portion and a second magnetic field spanning portions it may be the length of the same. 軟磁性体14についても同様である。 The same applies to the soft magnetic body 14.

また、上述した実施形態では、複数の軟磁性体12(及び軟磁性体14)が、最もX1側から2つずつペアとなってそれぞれが軟磁性体12A、12B(又は、軟磁性体14C、14D)となるように設けられ、これらペアの一方の軟磁性体12Aの第2磁界渡し部分12cと他方の軟磁性体12Bの第1磁界渡し部分12eとの間に磁気検知部分Dが設けられているものであったが、これに限定されるものではない。 Further, in the embodiment described above, a plurality of soft magnetic material 12 (and the soft magnetic body 14), most two by two from the X1 side, respectively paired with soft magnetic body 12A, 12B (or, soft magnetic material 14C, It provided so as to 14D), magnetic detection portion D is provided between the first magnetic field passing portion 12e of the second magnetic field spanning portions 12c and the other soft magnetic material 12B of one of the soft magnetic body 12A of the pair It was those which, but not limited thereto. この他方の軟磁性体12Bは、そのX2側の軟磁性体12との関係で一方の軟磁性体12Aとなり、そのX2側の軟磁性体12が他方の軟磁性体12Bとなって、これらをペアとして一方の軟磁性体12Aの第2磁界渡し部分12cと他方の軟磁性体12Bの第1磁界渡し部分12eとの間に磁気検知部分Dが設けられているものであってもよい。 The other soft magnetic body 12B, one of the soft magnetic body 12A next in relation to the soft magnetic body 12 of the X2 side, become soft magnetic material 12 of the X2 side to the other of the soft magnetic body 12B, these or may be a magnetic sensing portion D is provided between the first magnetic field passing portion 12e of the second magnetic field spanning portions 12c and the other soft magnetic material 12B of one of the soft magnetic body 12A as a pair. 軟磁性体14についても同様である。 The same applies to the soft magnetic body 14.

図9〜図11に示す本発明の実施例及び比較例を用い、磁気検知部分Dと、複数の軟磁性体との位置関係、及び、軟磁性体の形状を変化させたときのヒステリシス量(中点ずれ)を求めた。 Using Examples and Comparative Examples of the present invention shown in FIGS. 9 to 11, positional relationship between the magnetic detection portion D, a plurality of soft magnetic material, and the hysteresis amount at the time of changing the shape of the soft magnetic body ( to determine the mid-point shift).

図9〜図11は、本発明の実施例及び比較例における磁気抵抗効果素子の部分拡大平面図である。 9 to 11 are partial enlarged plan view of the magnetoresistive element in the examples and comparative examples of the present invention.

実施例1では、図9に示すように、第1の軟磁性体12Aの第2磁界渡し部分12cの長さL12cを、第1磁界渡し部分12bの長さL12bより長くし、かつ、第2の軟磁性体12Bの第1磁界渡し部分12eの長さL12eを、第2磁界渡し部分12fの長さL12fより長くした。 In Example 1, as shown in FIG. 9, the length L12c of the second magnetic field passing portion 12c of the first soft magnetic body 12A, longer than the length L12b of the first magnetic field passing portion 12b, and a second of the first magnetic field passing portion 12e of the soft magnetic body 12B length L12e, it was longer than the length L12f of the second magnetic field spanning portions 12f. 具体的には、第1の軟磁性体12Aは、第1磁界渡し部分12bの長さL12bが5.0μmとなり、第2磁界渡し部分12cの長さL12cが10.4μmとなるように形成し、交差部分12a、第1磁界渡し部分12b及び第2磁界渡し部分12cのいずれも幅が2.0μmとなるように形成している。 Specifically, the first soft magnetic body 12A, the length L12b is 5.0μm next first field spanning portions 12b, the length of the second magnetic field spanning portions 12c L12c is formed so as to 10.4μm , intersections 12a, both the width of the first magnetic field passing portion 12b and the second magnetic field spanning portions 12c are formed to have a 2.0 .mu.m. また、第2の軟磁性体12Bは、第1磁界渡し部分12eの長さL12eが10.4μmとなり、第2磁界渡し部分12fの長さL12fが5.0μmとなるように形成し、交差部分12d、第1磁界渡し部分12e及び第2磁界渡し部分12fのいずれも幅が2.0μmとなるように形成している。 The second soft magnetic body 12B has a length L12e is 10.4μm next first field spanning portions 12e, the length of the second magnetic field spanning portions 12f L12f is formed to have a 5.0 .mu.m, intersection 12d, both the width of the first magnetic field passing portion 12e and second magnetic field spanning portions 12f are formed to have a 2.0 .mu.m. 長さL12bと長さL12fとは同じであり、長さL12cと長さL12eとは同じである。 Is the same as the length L12b and length L12f, it is the same as the length L12c and length L12e. 第1の軟磁性体12A及び第2の軟磁性体12Bの厚さは、3μmとした。 The thickness of the first soft magnetic body 12A and the second soft magnetic body 12B is set to 3 [mu] m. また、第1の軟磁性体12Aの第2磁界渡し部分12cの先端12c2から磁気検知部分DまでのX1向きの距離Taを3.45μmとし、第2の軟磁性体12Bの第1磁界渡し部分12eの先端12e2から磁気検知部分DまでのX2向きの距離Tbを3.45μmとした。 Furthermore, the X1 direction of the distance Ta from the tip 12c2 to magnetic detection portion D of the second magnetic field passing portion 12c of the first soft magnetic body 12A and 3.45Myuemu, first magnetic field spanning portions of the second soft magnetic body 12B the X2 direction of the distance Tb to the magnetic sensing portion D was 3.45μm from 12e of tip 12e2. 電極部16間の間隔T1を2.5μmとした。 The interval T1 between the electrode portion 16 was set to 2.5 [mu] m.

実施例2では、平面視形状を実施例1と同一にし(図9)、第1の軟磁性体12A及び第2の軟磁性体12Bの厚さを、2μmとした。 In Example 2, the planar shape in the same manner as in Example 1 (FIG. 9), the thickness of the first soft magnetic body 12A and the second soft magnetic body 12B, and a 2 [mu] m.

実施例3では、図10に示すように、第1の軟磁性体12Aの第1磁界渡し部分12bの長さL12bと第2磁界渡し部分12cの長さL12cとを同じ長さにし、かつ、第2の軟磁性体12Bの第1磁界渡し部分12eの長さL12eと第2磁界渡し部分12fの長さL12fとを同じ長さとした。 In Example 3, as shown in FIG. 10, and the length L12b of the first magnetic field passing portion 12b of the first soft magnetic body 12A and a length L12c of the second magnetic field spanning portions 12c of equal length, and, length L12e of the first magnetic field passing portion 12e of the second soft magnetic body 12B and the length L12f of the second magnetic field spanning portions 12f and the same length. 具体的には、第1の軟磁性体12Aは、第1磁界渡し部分12bの長さL12b及び第2磁界渡し部分12cの長さL12cが共に8.4μmとなるように形成し、交差部分12a、第1磁界渡し部分12b及び第2磁界渡し部分12cのいずれも幅が2.0μmとなるように形成している。 Specifically, the first soft magnetic body 12A, the length of the length L12b and second magnetic field spanning portions 12c of the first magnetic field spanning portions 12b L12c is formed so both become 8.4 .mu.m, intersection 12a both the width of the first magnetic field passing portion 12b and the second magnetic field spanning portions 12c are formed to have a 2.0 .mu.m. また、第2の軟磁性体12Bは、第1磁界渡し部分12eの長さL12e及び第2磁界渡し部分12fの長さL12fが共に8.4μmとなるように形成し、交差部分12d、第1磁界渡し部分12e及び第2磁界渡し部分12fのいずれも幅が2.0μmとなるように形成している。 The second soft magnetic body 12B, the length of the length L12e and second magnetic field spanning portions 12f of the first magnetic field spanning portions 12e L12f is formed such both become 8.4 .mu.m, intersection 12d, first both the width of the magnetic field passing portion 12e and second magnetic field spanning portions 12f are formed to have a 2.0 .mu.m. 長さL12b、L12c、L12e、L12fは全て同じ長さである。 Length L12b, L12c, L12e, L12f are all the same length. 第1の軟磁性体12A及び第2の軟磁性体12Bの厚さは、2μmとした。 The thickness of the first soft magnetic body 12A and the second soft magnetic body 12B is set to 2 [mu] m. また、第1の軟磁性体12Aの第2磁界渡し部分12cの先端12c2から磁気検知部分DまでのX1向きの距離Taを2.45μmとし、第2の軟磁性体12Bの第1磁界渡し部分12eの先端12e2から磁気検知部分DまでのX2向きの距離Tbを2.45μmとした。 Furthermore, the X1 direction of the distance Ta from the tip 12c2 to magnetic detection portion D of the second magnetic field passing portion 12c of the first soft magnetic body 12A and 2.45Myuemu, first magnetic field spanning portions of the second soft magnetic body 12B the X2 direction of the distance Tb to the magnetic sensing portion D was 2.45μm from 12e of tip 12e2. 電極部16間の間隔T1を2.5μmとした。 The interval T1 between the electrode portion 16 was set to 2.5 [mu] m.

比較例では、図11に示すように、第1の軟磁性体72Aの第1磁界渡し部分72bの長さL72bと第2磁界渡し部分72cの長さL72cとを同じ長さにし、かつ、第2の軟磁性体72Bの第1磁界渡し部分72eの長さL72eと第2磁界渡し部分72fの長さL72fとを同じ長さとした。 In the comparative example, as shown in FIG. 11, and the length L72b of the first magnetic field passing portion 72b of the first soft magnetic body 72A and a length L72c of the second magnetic field spanning portions 72c of equal length, and, the the length of the first magnetic field passing portion 72e of the second soft magnetic body 72B L72e and the length L72f of the second magnetic field spanning portions 72f and the same length. 第1の軟磁性体72Aの平面視形状は、図10に示す実施例3の第1の軟磁性体12Aと同一であり、第2の軟磁性体72Bの形状は、図10に示す実施例3の第2の軟磁性体12Bと同一である。 Plan view shape of the first soft magnetic body 72A is identical to the first soft magnetic body 12A of the third embodiment shown in FIG. 10, the shape of the second soft magnetic body 72B is in the Figure 10 example the second soft magnetic material 3 12B and are the same. 長さL72b、L72c、L72e、L72fは全て同じ長さである。 Length L72b, L72c, L72e, L72f are all the same length. 第1の軟磁性体72A及び第2の軟磁性体72Bの厚さは、2μmとした。 The thickness of the first soft magnetic body 72A and the second soft magnetic body 72B was set to 2 [mu] m. また、第1の軟磁性体72Aの第2磁界渡し部分72cの先端72c2と磁気検知部分DがY1−Y2方向に対向し、第2の軟磁性体72Bの第1磁界渡し部分72eの先端72e2と磁気検知部分DもY1−Y2方向に対向して配置した。 The end 72c2 and magnetic detection portion D of the second magnetic field passing portion 72c of the first soft magnetic body 72A faces the Y1-Y2 direction, the leading end of the first magnetic field passing portion 72e of the second soft magnetic body 72B 72E2 a magnetic sensing portion D is also arranged to face the Y1-Y2 direction. 換言すると、第1の軟磁性体72Aの第2磁界渡し部分72cの先端72c2から磁気検知部分DまでのX1向きの距離Taを−0.5μmとし、第2の軟磁性体72Bの第1磁界渡し部分72eの先端72e2から磁気検知部分DまでのX2向きの距離Tbを−0.5μmとした。 In other words, the X1 direction of the distance Ta from the tip 72c2 to magnetic detection portion D of the second magnetic field passing portion 72c of the first soft magnetic body 72A and -0.5, first field of the second soft magnetic body 72B the X2 direction distance Tb from the tip 72e2 of the transfer portion 72e to the magnetic sensing portion D was -0.5. 電極部16間の間隔T1を2.5μmとした。 The interval T1 between the electrode portion 16 was set to 2.5 [mu] m.

実施例1〜3の軟磁性体12及び比較例の軟磁性体72のY1−Y2方向長さは同一に設定してある。 Y1-Y2 direction length of the soft magnetic body 12 and Comparative Examples of the soft magnetic body 72 of Examples 1-3 are set to the same.

実験では、各実施例の磁気センサ及び比較例の磁気センサのサンプルを3つずつ作成し、それぞれの磁気センサに、同じ大きさのX1−X2方向を向く外部磁界を作用させ、ヒステリシスループを得てその際のヒステリシス量(外部磁界を与えていないときのゼロ点からのずれ量)を測定した。 In the experiment, to create a sample of the magnetic sensor of the magnetic sensor and the comparative examples of Examples triplicate, each of the magnetic sensors, by the action of an external magnetic field oriented in the X1-X2 direction of the same size, to obtain a hysteresis loop hysteresis amount at that time Te (the amount of shift from the zero point when not applying an external magnetic field) were measured. その実験結果のグラフを図12に示す。 A graph of experimental results shown in FIG. 12.

図12において、ヒステリシス量はいずれも0(mG)に近いほうが好ましい。 12, the hysteresis amount is preferably closer to either 0 (mG).

図12の実験結果に示すように、いずれも各実施例1〜3のほうが比較例に比べてヒステリシスを改善できたことがわかった。 As shown in the experimental results of FIG. 12, it was found to be better in each Examples 1 to 3 could be improved hysteresis as compared with the comparative example.

本発明に係る磁気センサは、例えば、携帯電話等の携帯機器に組み込まれる地磁気を検知する地磁気センサとして好適に使用されうる。 The magnetic sensor according to the present invention, for example, be suitably used as a geomagnetic sensor for detecting geomagnetism incorporated into portable devices such as mobile phones.

1〜4 磁気抵抗効果素子 10 磁気検知体 11 素子部 12 軟磁性体(磁路形成体) 1-4 magnetoresistive element 10 magnetic detector 11 element portion 12 a soft magnetic material (magnetic path forming member)
12A 第1の軟磁性体 12a 交差部分 12b 第1磁界渡し部分 12c 第2磁界渡し部分(一対の磁界渡し部分の一方) 12A first soft magnetic body 12a intersection 12b first magnetic field spanning portions 12c second magnetic field spanning portions (one of a pair of magnetic field passing portion)
12c2 先端 12B 第2の軟磁性体 12d 交差部分 12e 第1磁界渡し部分(一対の磁界渡し部分の他方) 12c2 tip 12B second soft magnetic material elements 12d intersection 12e first magnetic field spanning portions (the other of the pair of the magnetic field passing portion)
12e2 先端 12f 第2磁界渡し部分 14 軟磁性体(磁路形成体) 12e2 tip 12f second magnetic field spanning portions 14 a soft magnetic material (magnetic path forming member)
14C 第3の軟磁性体 14a 交差部分 14b 第1磁界渡し部分 14c 第2磁界渡し部分(一対の磁界渡し部分の一方) 14C a third soft magnetic body 14a intersection 14b first magnetic field spanning portions 14c second magnetic field spanning portions (one of a pair of magnetic field passing portion)
14c2 先端 14D 第4の軟磁性体 14d 交差部分 14e 第1磁界渡し部分(一対の磁界渡し部分の他方) 14c2 tip 14D fourth soft magnetic body 14d intersection 14e first magnetic field spanning portions (the other of the pair of the magnetic field passing portion)
14e2 先端 14f 第2磁界渡し部分 60 非磁性下地層 61 固定磁性層 62 非磁性材料層 63 フリー磁性層 64 保護層 D 磁気検知部分 G ギャップ H1〜H3 外部磁界 M1〜M3 磁路 S 磁気センサ 14e2 tip 14f second magnetic field spanning portions 60 nonmagnetic underlayer 61 fixed magnetic layer 62 a non-magnetic material layer 63 free magnetic layer 64 protective layer D magnetic detection portion G gap H1~H3 external magnetic field M1~M3 path S magnetic sensor

Claims (6)

  1. 平面視で帯状に延在し、幅方向の感度軸を有する磁気検知部分が設けられた磁気検知体と、 It extends in a band shape in plan view, and a magnetic sensing element in which the magnetic sensing part is provided with a sensitivity axis in the width direction,
    外部磁界の磁路を形成するように前記磁気検知体に沿って並べられた軟磁性材料からなる複数の磁路形成体とを有し、 And a plurality of magnetic path forming member made of a soft magnetic material are arranged along said magnetic sensing element so as to form a magnetic path of the external magnetic field,
    前記複数の磁路形成体のうちの隣り合う2つの磁路形成体が、前記磁気検知体に沿って帯状に延在するとともに平面視で前記磁気検知部分を前記幅方向に挟み、互いの間を前記外部磁界が進行可能に対向して配置される一対の磁界渡し部分を有し、 Said two magnetic path forming body adjacent of the plurality of magnetic path forming body sandwiching the magnetic detection portion in plan view as well as extending in a band shape along the magnetic sensing element in the width direction, between each other the a pair of magnetic field passing portion in which the external magnetic field is arranged opposite to be advanced,
    前記磁気検知部分が、前記一対の磁界渡し部分のそれぞれの先端のうちの一方又は両方と前記磁気検知体の延在方向に間隔をあけて配置されていることを特徴とする磁気センサ。 A magnetic sensor in which the magnetic detection portion, characterized in that it is arranged at a respective distance in the extending direction of one or both said magnetic sensing element of the tips of the pair of magnetic field spanning portions.
  2. 前記磁気検知部分が、前記一対の磁界渡し部分のそれぞれの延在方向中央部分のうちの一方又は両方と前記幅方向に対向して配置されていることを特徴とする請求項1に記載の磁気センサ。 The magnetic detection portion, a magnetic according to claim 1, characterized in that one or both the opposite in the width direction are disposed within the respective extending direction central portion of said pair of magnetic field spanning portions sensor.
  3. 前記隣り合う2つの磁路形成体のそれぞれが、前記磁気検知体と交差して前記幅方向に延在する交差部分と、前記交差部分における前記幅方向の一端部から前記磁気検知体に沿って帯状に延在する第1磁界渡し部分と、前記交差部分における前記幅方向の他端部から前記磁気検知体に沿って前記第1磁界渡し部分と反対方向に帯状に延在する第2磁界渡し部分と、を有し、 Each of the two magnetic path forming member, wherein the adjacent, and intersection extending in the width direction intersecting the magnetic sensing element along said magnetic sensing element from one end of the width direction of the intersection first magnetic field passing portion and a second magnetic field passing extending in strip shape in the direction opposite to the first magnetic field passing portion from the other end of the width direction of the intersection along said magnetic sensing element that extends in a strip has a part, the,
    前記隣り合う2つの磁路形成体のうちの一方の磁路形成体の前記第2磁界渡し部分と他方の磁路形成体の前記第1磁界渡し部分とで、前記一対の磁界渡し部分を構成することを特徴とする請求項1又は2に記載の磁気センサ。 In the second magnetic field passing portion and the first magnetic field spanning portions of the other magnetic path forming member of one of the magnetic path forming member of the two magnetic path forming member, wherein the adjacent structure of said pair of magnetic field spanning portions the magnetic sensor according to claim 1 or 2, characterized in that.
  4. 前記隣り合う2つの磁路形成体のうちの一方の磁路形成体の前記第2磁界渡し部分がその前記第1磁界渡し部分より長く形成されていることを特徴とする請求項3に記載の磁気センサ。 According to claim 3, wherein the second magnetic field spanning portions of one of the magnetic path forming member of the two magnetic path forming member, wherein adjacent is longer than forming the first magnetic field spanning portions a magnetic sensor.
  5. 前記隣り合う2つの磁路形成体のうちの他方の磁路形成体の前記第1磁界渡し部分がその前記第2磁界渡し部分より長く形成されていることを特徴とする請求項3又は4に記載の磁気センサ。 To claim 3 or 4, characterized in that the other of said first magnetic field spanning portions of the magnetic path forming member of the two magnetic path forming member, wherein adjacent is longer than forming the second magnetic field spanning portions the magnetic sensor as claimed.
  6. 前記隣り合う2つの磁路形成体のうちの一方又は両方における厚さが、3μm以上であることを特徴とする請求項1〜4のいずれか一項に記載の磁気センサ。 The magnetic sensor according to claim 1, characterized in that one or thickness in both of the two magnetic path forming member, wherein adjacent is 3μm or more.
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