KR20160109484A

KR20160109484A - Transfer carrier, transfer apparatus and base part

Info

Publication number: KR20160109484A
Application number: KR1020150033949A
Authority: KR
Inventors: 하루키 나카지마; 요시타카 타케우치
Original assignee: 가부시키가이샤 어드밴티스트
Priority date: 2015-03-11
Filing date: 2015-03-11
Publication date: 2016-09-21

Abstract

The present invention provides an apparatus which accurately transfers a device to be tested between a user tray and a test tray, and loads the device to be tested on the user tray and the test tray. The present invention provides a retransfer carrier, a retransfer apparatus, and a base part. The retransfer carrier, which loads and carries the device, comprises: a device loading unit loading the device; a first wheel unit coming in contact with a first surface of a guide regulating an orbit around which the corresponding retransfer carrier is moved; and a second wheel unit coming in contact with a second surface of the guide. The retransfer carrier, with the first wheel unit and the second wheel unit, has the base part having the device loading unit mounted thereon.

Description

TRANSFER CARRIER, TRANSFER APPARATUS AND BASE PART BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention [0001]

본 발명은, 반송 캐리어, 반송 장치, 및 베이스부에 관한 것이다.
The present invention relates to a carrier carrier, a carrier apparatus, and a base unit.

종래, 반도체 디바이스 등의 피시험 디바이스(DUT) 성능 및 기능을, 시험 장치를 이용하여 시험하고 있었다. 이러한 시험 장치는, 반송 장치를 이용하여, 유저 트레이에 수용된 시험 전의 피시험 디바이스를 테스트 트레이에 옮겨 싣고, 해당 테스트 트레이를 시험 장치 내에서 반송하여 시험을 실행하고, 시험 후의 피시험 디바이스를 테스트 트레이로부터 유저 트레이에 다시 옮겨 싣는 것이 알려져 있었다(예를 들면, 특허 문헌 1 참조).
Conventionally, the DUT performance and function of a semiconductor device or the like has been tested using a test apparatus. Such a testing apparatus transfers a device under test stored in a user tray to a test tray, carries the test tray in a test apparatus to perform a test, and transfers the tested device to a test tray (For example, refer to Patent Document 1).

국제 공개 2008/041334호International Publication No. 2008/041334

그러나, 피시험 디바이스의 크기는 다종 다양하므로, 유저 트레이에 수용되는 피시험 디바이스간의 간격(피치)도 다양하며, 테스트 트레이의 피치와 상이한 피치가 되는 경우가 많다. 즉, 반송 장치는, 유저 트레이 및 테스트 트레이에 상이한 피치로 수용되는 피시험 디바이스를, 해당 유저 트레이 및 테스트 트레이의 사이에 정확하게 옮겨 실어야 했다. 또한, 이러한 반송 장치는, 보다 많은 피시험 디바이스를 옮겨 싣고 시험을 실행하기 위하여, 안정적으로 동작하면서, 내구성이 좋은 장수명의 장치인 것이 요구되었다.
However, since the size of the device under test varies in many cases, the spacing (pitch) between the devices under test accommodated in the user tray also varies, and often becomes a pitch different from the pitch of the test tray. That is, the conveying device had to accurately transfer the test device accommodated in the user tray and the test tray at different pitches between the user tray and the test tray. In addition, such a conveying apparatus is required to be a long-life apparatus having stable durability and being operated stably in order to transfer more test devices and carry out tests.

본 발명의 제1 태양에 있어서는, 디바이스를 탑재하여 운반하는 반송 캐리어로서, 디바이스를 탑재하는 디바이스 탑재부와, 해당 반송 캐리어를 이동시키는 궤도를 규정하는 가이드의 제1 면에 당접하는 제1 차륜부와, 가이드의 제2 면에 당접하는 제2 차륜부를 구비하는 반송 캐리어, 반송 장치, 및 베이스부를 제공한다.
According to a first aspect of the present invention, there is provided a carrier for loading and carrying a device, comprising: a device mounting portion for mounting a device; a first wheel portion contacting a first surface of a guide defining a track for moving the carrier, And a second wheel portion that is in contact with a second surface of the guide, a carrier device, and a base portion.

또한, 상기의 발명의 개요는, 본 발명의 필요한 모든 특징을 열거한 것은 아니다. 또한, 이들 특징군의 서브 콤비네이션도 발명이 될 수 있다.
The above summary of the invention does not list all necessary features of the present invention. Further, subcombinations of these characteristic groups can also be invented.

도 1은 본 실시형태에 따른 시험 장치(100) 및 반송 장치(200)를, 테스트 트레이(110) 및 유저 트레이(210)와 함께 나타낸다.
도 2는 본 실시형태에 따른 반송 장치(200)의 개략 구성을 나타낸다.
도 3은 본 실시형태에 따른 본체부(220)의 내부의 개략 구성을 나타낸다.
도 4는 본 실시형태에 따른 반송 캐리어(20)의 개략 구성을, 제1 판부(310) 및 제2 판부(320)와 함께 나타낸다.
도 5는 본 실시형태에 따른 반송 캐리어(20)의 사시도의 제1 예를 나타낸다.
도 6은 본 실시형태에 따른 반송 캐리어(20)의 사시도의 제2 예를 나타낸다.
도 7은 본 실시형태에 따른 반송 장치(200)의 동작 플로우의 제1 예를 나타낸다.
도 8은 본 실시형태에 따른 반송 장치(200)의 동작 플로우의 제2 예를 나타낸다.1 shows a test apparatus 100 and a conveyance apparatus 200 according to the present embodiment together with a test tray 110 and a user tray 210. Fig.
Fig. 2 shows a schematic configuration of the transport apparatus 200 according to the present embodiment.
3 shows a schematic structure of the inside of the main body 220 according to the present embodiment.
4 schematically shows the structure of the carrier carrier 20 according to the present embodiment along with the first plate portion 310 and the second plate portion 320. As shown in Fig.
5 shows a first example of a perspective view of the carrier 20 according to the present embodiment.
6 shows a second example of a perspective view of the carrier 20 according to the present embodiment.
Fig. 7 shows a first example of the operational flow of the transport apparatus 200 according to the present embodiment.
Fig. 8 shows a second example of the operation flow of the transport apparatus 200 according to the present embodiment.

이하, 발명의 실시의 형태에 의해 본 발명을 설명하지만, 이하의 실시형태는 특허 청구의 범위에 따른 발명을 한정하는 것은 아니다. 또한, 실시형태 중에서 설명되고 있는 특징의 모든 조합이 발명의 해결 수단에 필수라고는 할 수 없다.
Hereinafter, the present invention will be described with reference to the embodiments of the invention, but the following embodiments do not limit the invention according to the claims. It should be noted that not all combinations of the features described in the embodiments are essential to the solution of the invention.

도 1은, 본 실시형태에 따른 시험 장치(100) 및 반송 장치(200)를, 테스트 트레이(110) 및 유저 트레이(210)와 함께 나타낸다. 시험 장치(100)는, 테스트 트레이(110)에 탑재된 피시험 디바이스(10)를 시험한다. 시험 장치(100)는, 1 또는 복수의 피시험 디바이스(10)를 탑재한 테스트 트레이(110)를, 장치 내부에 반입하고, 해당 피시험 디바이스(10)와 전기적으로 접속하여 시험을 실행한다. 시험 장치(100)는, 시험의 실행 후, 테스트 트레이(110)를 반출하고, 다음 시험을 실행하기 위하여, 다음 테스트 트레이(110)를 반입한다.
1 shows a test apparatus 100 and a conveyance apparatus 200 according to the present embodiment together with a test tray 110 and a user tray 210. Fig. The test apparatus 100 tests the device under test 10 mounted on the test tray 110. The test apparatus 100 carries the test tray 110 carrying one or a plurality of devices under test 10 into the device and electrically connects the device under test 10 to perform the test. The test apparatus 100 takes out the test tray 110 after execution of the test, and brings the next test tray 110 in order to execute the next test.

시험 장치(100)는, 아날로그 회로, 디지털 회로, 메모리, 시스템·온·칩(SOC) 등의 피시험 디바이스(10)를 시험한다. 여기서, 피시험 디바이스(10)를, DUT(Device Under Test) 또는 간단히 디바이스라고 표현하는 경우가 있는데, 특별한 제한이 없는 한, 이들 표현이 나타내는 내용은 대략 동일하다. 시험 장치(100)는, 피시험 디바이스(10)를 시험하기 위한 시험 패턴에 기초한 시험신호를 피시험 디바이스(10)에 입력하고, 시험신호에 따라 피시험 디바이스(10)가 출력하는 출력신호에 기초하여 피시험 디바이스(10)의 양부를 판정한다.
The test apparatus 100 tests a device under test 10 such as an analog circuit, a digital circuit, a memory, and a system on chip (SOC). Here, the device under test 10 may be referred to as a device under test (DUT) or simply as a device, and unless otherwise specified, the contents represented by these expressions are substantially the same. The test apparatus 100 inputs a test signal based on a test pattern for testing the device under test 10 into the device under test 10 and outputs the test signal to the device under test 10 based on the test signal And determines the part of the device under test 10 on the basis of the test result.

반송 장치(200)는, 시험 장치(100)가 이용하는 테스트 트레이(110)에 피시험 디바이스(10)를 탑재한다. 반송 장치(200)는, 유저 트레이(210)에 탑재된 하나 또는 복수의 피시험 디바이스(10)를 취출하여, 테스트 트레이(110)에 탑재한다. 또한, 반송 장치(200)는, 시험 장치(100)가 시험을 실행한 후의 테스트 트레이(110)에 탑재된 피시험 디바이스(10)를, 유저 트레이(210)에 탑재한다.
The transport apparatus 200 mounts the device under test 10 on a test tray 110 used by the test apparatus 100. The transport apparatus 200 takes out one or a plurality of devices under test 10 mounted on the user tray 210 and mounts them on the test tray 110. The transport apparatus 200 mounts the device under test 10 mounted on the test tray 110 after the test apparatus 100 has performed the test on the user tray 210. [

반송 장치(200)는, 미리 정해진 수의 디바이스마다, 테스트 트레이(110) 및 유저 트레이(210)간의 옮겨 싣기를 실행할 수도 있다. 반송 장치(200)는, 유저 트레이(210)의 1행 또는 1열에 포함되는 디바이스의 수마다(즉, 행 또는 열마다), 옮겨 싣기를 실행하는 것이 바람직하다. 본 실시예에 있어서, 반송 장치(200)가 유저 트레이(210)의 1행에 포함되는 디바이스의 수마다(즉, 행마다) 옮겨 싣기를 실행하는 예를 설명한다.
The transport apparatus 200 may carry out the transfer between the test tray 110 and the user tray 210 for each predetermined number of devices. The transport apparatus 200 preferably carries out the transfer every number of devices included in one row or one column of the user tray 210 (i.e., every row or column). In this embodiment, an example is described in which the transport apparatus 200 carries out the shifting every number of devices included in one row of the user tray 210 (i.e., every row).

여기서, 유저 트레이(210)는, 디바이스의 수용, 이동, 보호, 보존, 관리 등의 목적으로, 유저의 설계, 사양 등에 따라 형성되고, 예를 들면, 행방향 및 열방향으로 복수의 디바이스가 배치된다. 또한, 테스트 트레이(110)는, 시험 장치(100)의 내부에 있어서, 피시험 디바이스(10)의 반송의 목적으로 형성되고, 예를 들면, 행방향 및 열방향으로 복수의 디바이스가 배치된다. 이와 같이, 테스트 트레이(110) 및 유저 트레이(210)는, 피시험 디바이스(10)를 탑재하지만, 상이한 목적으로 형성되므로, 해당 피시험 디바이스(10)를 배치하는 행방향 및 열방향의 간격(피치)이 대략 동일하게 되는 경우는 거의 없다.
Here, the user tray 210 is formed in accordance with the design, specifications, and the like of the user for the purpose of accommodating, moving, protecting, storing, and managing the devices. For example, do. The test tray 110 is formed in the test apparatus 100 for the purpose of transporting the device under test 10 and a plurality of devices are arranged in the row direction and the column direction, for example. As described above, the test tray 110 and the user tray 210 are mounted with the device under test 10 but are formed for different purposes. Therefore, the spacing between the row and column directions in which the devices under test 10 are arranged Pitch) are hardly equal.

또한, 피시험 디바이스(10)의 크기는, 대략 동일한 기능을 갖는 디바이스여도, 다양한 크기로 형성되는 경우가 있으며, 유저 트레이(210) 상의 배치는 대략 동일하게 되지는 않는다. 따라서, 반송 장치(200)는, 예를 들면, 행방향에 있어서, 유저 트레이(210)에 미리 정해진 제1 간격으로 수용된 복수의 피시험 디바이스(10)를, 미리 정해진 제2 간격으로 해당 복수의 피시험 디바이스(10)를 수용하는 테스트 트레이(110)에 옮겨 싣게 된다. 즉, 반송 장치(200)는, 테스트 트레이(110) 및 유저 트레이(210)의 사이에 있어서, 피시험 디바이스(10)의 간격의 피치 변환을 하면서 옮겨 싣기를 실행하게 된다.
In addition, the device under test 10 may be formed in various sizes, even a device having substantially the same function, and the arrangement on the user tray 210 is not substantially the same. Therefore, the transport apparatus 200 can transport a plurality of devices under test 10 held at predetermined first intervals to the user tray 210, for example, in the row direction at a predetermined second interval, And transferred to a test tray 110 that accommodates the device under test 10. That is, the transport apparatus 200 carries out the transfer while pitch-changing the interval of the devices under test 10 between the test tray 110 and the user tray 210.

도 2는, 본 실시형태에 따른 반송 장치(200)의 개략 구성을 나타낸다. 도 2는, 테스트 트레이(110) 및 유저 트레이(210)의 행방향을 X축방향으로 하고, 열방향을 Y축방향으로 한 예를 나타낸다. 반송 장치(200)는, 본체부(220)와 이송 장치(230)와 제1 이동부(240)와 제2 이동부(250)를 구비한다.
Fig. 2 shows a schematic configuration of the transport apparatus 200 according to the present embodiment. 2 shows an example in which the row direction of the test tray 110 and the user tray 210 is the X axis direction and the column direction is the Y axis direction. The transport apparatus 200 includes a main body 220, a transport apparatus 230, a first moving unit 240, and a second moving unit 250.

본체부(220)는, 행방향으로 나열된 복수의 피시험 디바이스(10)의 피치를, 미리 정해진 피치로 변환한다. 본체부(220)는, 예를 들면, 유저 트레이(210)의 미리 정해진 제1 간격으로 행방향으로 나열된 복수의 피시험 디바이스(10)를, 테스트 트레이(110)의 행방향에 있어서의 미리 정해진 제2 간격으로 나열한다. 또한, 본체부(220)는, 테스트 트레이(110)의 미리 정해진 제2 간격으로 행방향으로 나열된 복수의 피시험 디바이스(10)를, 유저 트레이(210)의 행방향에 있어서의 미리 정해진 제1 간격으로 나열한다. 본체부(220)는, 반송 캐리어(20)를 가진다.
The body portion 220 converts the pitches of the plurality of devices under test 10 arranged in the row direction into a predetermined pitch. The main body 220 is configured to hold a plurality of test devices 10 arranged in the row direction at a predetermined first interval of the user tray 210 in a predetermined direction in the row direction of the test tray 110 They are listed in the second interval. The main body 220 is configured to connect a plurality of devices under test 10 arranged in the row direction at a predetermined second interval of the test tray 110 to a predetermined first position in the row direction of the user tray 210 They are listed in intervals. The body portion 220 has a carrier carrier 20.

반송 캐리어(20)는, 피시험 디바이스(10)를 탑재면에 탑재하여 운반한다. 하나의 반송 캐리어(20)는, 하나의 피시험 디바이스(10)에 대응하여 본체부(220)에 복수 마련된다. 반송 캐리어(20)는, 피시험 디바이스(10)를 고정하는 로크기구와, 외부로부터 해당 로크기구를 해제하는 해제 버튼을 가진다. 반송 캐리어(20)는, 예를 들면, 해당 해제 버튼이 눌러져 피시험 디바이스(10)가 반송 캐리어(20)에 이동함으로써, 해당 피시험 디바이스(10)를 탑재하고, 해당 해제 버튼이 되돌려짐으로써 해당 피시험 디바이스(10)를 고정한다. 또한, 반송 캐리어(20)는, 해당 해제 버튼이 눌러짐으로써, 해당 피시험 디바이스(10)의 고정을 해제하고, 반송 캐리어(20)로부터 이동 가능하게 한다.
The carrier carrier 20 carries the test device 10 mounted on the mounting surface. A plurality of carrier carriers 20 are provided in the main body 220 corresponding to one test device 10. The carrier carrier 20 has a lock mechanism for fixing the device under test 10 and a release button for releasing the lock mechanism from the outside. The carrier carrier 20 is mounted on the test carrier 10 by moving the test device 10 to the carrier carrier 20 by pressing the release button and returning the release button The device under test 10 is fixed. Further, the carrier carrier 20 releases the fixation of the device under test 10 by depressing the releasing button, and makes it movable from the carrier 20.

반송 캐리어(20)는, 본체부(220) 내를 이동하여 피시험 디바이스(10)를 운반한다. 반송 캐리어(20)는, 예를 들면, 탑재면이 +Z축방향을 향한 상태로 피시험 디바이스(10)를 탑재하여 고정하고, 해당 탑재면이 -Z축방향을 향하도록 해당 피시험 디바이스(10)를 운반한다. 또한, 반송 캐리어(20)는, 탑재면이 -Z축방향을 향한 상태로 피시험 디바이스(10)를 탑재하여 고정하고, 해당 탑재면이 +Z축방향을 향하도록 해당 피시험 디바이스(10)를 운반한다.
The transport carrier 20 moves within the main body 220 to transport the device under test 10. The transport carrier 20 is mounted on the test device 10 such that the test device 10 is mounted and fixed in a state in which the mounting surface faces the + Z axis direction, and the test device 10). The transport carrier 20 is mounted on the test device 10 such that the test device 10 is mounted and fixed with the mounting surface facing the -Z axis direction, Lt; / RTI >

이송 장치(230)는, 복수의 반송 캐리어(20)를 이동시킨다. 이송 장치(230)는, 일례로서, 반송 캐리어(20)를 이동 방향을 향해 밀어넣어, 반송 캐리어(20)를 이동시킨다. 이송 장치(230)는, 본체부(220)에 복수 마련되어도 된다. 이송 장치(230) 및 반송 캐리어(20)의 동작에 대해서는 후술한다.
The transfer device 230 moves the plurality of transfer carriers 20. The conveying device 230 pushes the conveying carrier 20 toward the moving direction to move the conveying carrier 20, for example. A plurality of transfer devices 230 may be provided in the main body 220. The operation of the conveying device 230 and the conveying carrier 20 will be described later.

제1 이동부(240)는, 유저 트레이(210)와 본체부(220)의 사이에서 복수의 피시험 디바이스(10)를 이동시킨다. 제1 이동부(240)는, 예를 들면, 유저 트레이(210)로부터 복수의 피시험 디바이스(10)를 취출하고, 대응하는 복수의 반송 캐리어(20)에 이동시킨다. 제1 이동부(240)는, 복수의 흡착부를 갖고, 복수의 피시험 디바이스(10)를 흡착하여 유저 트레이(210)로부터 취출할 수도 있다. 이 경우, 복수의 흡착부는, 유저 트레이(210)의 행방향으로 나열된 복수의 피시험 디바이스(10)의 미리 정해진 제1 간격과 대략 동일한 간격으로, 제1 이동부(240)에 마련된다.
The first moving part 240 moves the plurality of devices under test 10 between the user tray 210 and the main body part 220. The first moving unit 240 takes out a plurality of devices under test 10 from the user tray 210 and moves the plurality of tested devices 10 to a corresponding plurality of carrier carriers 20, for example. The first moving part 240 may have a plurality of suction parts and may be taken out from the user tray 210 by sucking a plurality of devices under test 10. In this case, the plurality of adsorption units are provided in the first moving unit 240 at substantially the same interval as the predetermined first intervals of the plurality of devices under test 10 arranged in the row direction of the user tray 210.

또한, 제1 이동부(240)는, 반송 캐리어(20)의 해제 버튼을 누르는 누름부를 가진다. 제1 이동부(240)는, 해당 누름부를 복수 가지고, 복수의 반송 캐리어(20)의 해제 버튼을 누르면서 복수의 피시험 디바이스(10)를 해당 복수의 반송 캐리어(20)에 각각 탑재한다. 그리고, 제1 이동부(240)는, 해당 복수의 반송 캐리어(20)로부터 이간함으로써, 복수의 피시험 디바이스(10)를 해당 복수의 반송 캐리어(20)에 고정한다.
The first moving part 240 has a pressing part for pressing the release button of the carrier 20. The first moving part 240 has a plurality of pressing parts and loads the plurality of devices under test 10 on the plurality of carrier carriers 20 while pressing the release button of the plurality of carrier carriers 20. The first moving part 240 separates the plurality of test devices 10 from the plurality of conveying carriers 20, thereby fixing the plurality of devices under test 10 to the plurality of conveying carriers 20.

또한, 제1 이동부(240)는, 예를 들면, 복수의 반송 캐리어(20)로부터 복수의 피시험 디바이스(10)를 취출하여, 유저 트레이(210)에 이동시킨다. 제1 이동부(240)는, 복수의 반송 캐리어(20)의 해제 버튼을 누르면서 복수의 피시험 디바이스(10)를 해당 복수의 반송 캐리어(20)로부터 취출한다. 제1 이동부(240)는, 취출한 복수의 피시험 디바이스(10)를, 유저 트레이(210)가 대응하는 위치로 이동시켜 수용한다.
The first moving part 240 takes out a plurality of devices under test 10 from a plurality of carrier carriers 20 and moves them to the user tray 210, for example. The first moving part 240 takes out the plurality of devices under test 10 from the plurality of conveying carriers 20 while depressing the release button of the plurality of conveying carriers 20. The first moving unit 240 moves the taken-out plurality of the devices under test 10 to a position corresponding to the user tray 210 and accommodates them.

제2 이동부(250)는, 테스트 트레이(110)와 본체부(220)의 사이에서 복수의 피시험 디바이스(10)를 이동한다. 제2 이동부(250)는, 예를 들면, 복수의 반송 캐리어(20)로부터 복수의 피시험 디바이스(10)를 테스트 트레이(110)에 이동시킨다. 제2 이동부(250)는, 복수의 반송 캐리어(20)의 해제 버튼을 누르는 누름부를 복수 가진다.
The second moving unit 250 moves the plurality of devices under test 10 between the test tray 110 and the main body 220. The second moving unit 250 moves a plurality of devices under test 10 from the plurality of carrier carriers 20 to the test tray 110, for example. The second moving part 250 has a plurality of pressing parts for pressing the release button of the plurality of carrier carriers 20.

제2 이동부(250)는, 일례로서, 테스트 트레이(110)가 복수의 반송 캐리어(20)에 접한 상태 또는 근접한 상태에 있어서, 해당 테스트 트레이(110)의 -Z축방향을 향한 면측으로부터 +Z축방향으로 근접하고, 테스트 트레이(110) 너머로 복수의 반송 캐리어(20)의 해제 버튼을 누른다. 이 경우, 테스트 트레이(110)는, 제2 이동부(250)의 누름부를 통과시키는 관통구멍을 가지고, 제2 이동부(250)는, 해당 관통구멍을 통과시킨 누름부를 이용하여 해제 버튼을 누른다.
The second moving unit 250 is configured to move the test tray 110 from the surface side facing the -Z axis direction of the test tray 110 to the + Z axis direction, and pushes the release button of the plurality of conveyance carriers 20 over the test tray 110. In this case, the test tray 110 has a through hole through which the pushing portion of the second moving portion 250 passes, and the second moving portion 250 pushes the release button using the pushing portion passed through the through hole .

그리고, 제2 이동부(250)는, 테스트 트레이(110)의 이간 후, 또는 테스트 트레이(110)와 함께, 이간하고, 이에 따라, 복수의 피시험 디바이스(10)는 테스트 트레이(110)에 탑재된다. 이에 대신해, 또는 이에 더하여, 제2 이동부(250)는, 복수의 흡착부를 가질 수도 있고, 복수의 피시험 디바이스(10)를 흡착하여 복수의 반송 캐리어(20)로부터 테스트 트레이(110)에 이동시킬 수도 있다.
The second moving unit 250 moves away from the test tray 110 or with the test tray 110 so that the plurality of devices under test 10 are moved to the test tray 110 Lt; / RTI > Alternatively or additionally, the second moving unit 250 may have a plurality of adsorption units, and may move a plurality of test devices 10 from the plurality of carrier carriers 20 to the test tray 110 .

또한, 제2 이동부(250)는, 테스트 트레이(110)로부터 복수의 피시험 디바이스(10)를 복수의 반송 캐리어(20)에 이동시킨다. 제2 이동부(250)는, 일례로서, 테스트 트레이(110)가 복수의 반송 캐리어(20)에 접한 상태 또는 근접한 상태에 있어서, 해당 테스트 트레이(110)의 -Z축방향을 향한 면측으로부터 +Z축방향으로 근접하고, 테스트 트레이(110) 너머로 복수의 반송 캐리어(20)의 해제 버튼을 누른다. 그리고, 제2 이동부(250)는, 테스트 트레이(110)의 위치를 유지한 그대로 이간하고, 그 후, 테스트 트레이(110)를 이간시킨다. 즉, 반송 캐리어(20)에 피시험 디바이스(10)를 탑재시키고, 반송 캐리어(20)에 피시험 디바이스(10)를 고정시키고 나서 테스트 트레이(110)를 이간시키므로, 복수의 피시험 디바이스(10)는 복수의 반송 캐리어(20)에 탑재한 상태로 고정된다.
The second moving unit 250 moves the plurality of devices under test 10 from the test tray 110 to the plurality of carrier carriers 20. The second moving unit 250 is configured to move the test tray 110 from the surface side facing the -Z axis direction of the test tray 110 to the + Z axis direction, and pushes the release button of the plurality of conveyance carriers 20 over the test tray 110. The second moving unit 250 moves away from the test tray 110 while maintaining the position of the test tray 110, and then moves the test tray 110 apart. That is, since the DUT 10 is mounted on the carrier 20, the DUT 10 is fixed to the carrier 20, and the test tray 110 is moved away from the DUT 10, Are fixed in a state of being mounted on the plurality of carrier carriers 20.

여기서, 제2 이동부(250)가 복수의 피시험 디바이스(10)를 이동하는 경우에 있어서, 반송 장치(200)는, 복수의 반송 캐리어(20)의 X축방향의 간격을, 미리 정해진 제2 간격으로 배치한다. 이에 따라, 제2 이동부(250)는, ±Z축방향으로 이동함으로써, 테스트 트레이(110)와 본체부(220)의 사이에서 복수의 피시험 디바이스(10)를 제2 간격의 배치 그대로 이동시킬 수 있다. 또한 반송 장치(200)는, 테스트 트레이(110) 및 유저 트레이(210)를 각각 이동시키는 이동부를 추가로 구비할 수도 있다.
Here, when the second moving unit 250 moves a plurality of devices under test 10, the conveying device 200 moves the plurality of conveying carriers 20 in the X-axis direction by a predetermined amount Place them at two intervals. The second moving unit 250 moves in the ± Z axis direction to move the plurality of devices under test 10 between the test tray 110 and the main body unit 220 in the arrangement of the second gap . The transport apparatus 200 may further include a moving unit for moving the test tray 110 and the user tray 210, respectively.

도 3은, 본 실시형태에 따른 본체부(220)의 내부의 개략 구성을 나타낸다. 도 3은, 본체부(220)의 일부를 제외한 개략도이다. 즉, 도 3은, 도 2에 나타낸 본체부(220)로부터, 도면 중에서 앞쪽이 되는 판부를 제거한 상태를 나타낸다. 또한 도 3에 있어서, 도 2와 대략 동일한 요소에는 동일한 부호를 붙이고 설명을 생략한다. 본체부(220)는, 제1 판부(310)와 제1 정지부(330)와 제2 정지부(340)와 후크부(鉤部)(350)와 이송 장치(360)를 가진다.
3 shows a schematic structure of the inside of the main body 220 according to the present embodiment. 3 is a schematic view of the main body 220 except for a part thereof. 3 shows a state in which the front plate portion in the figure is removed from the body portion 220 shown in Fig. In Fig. 3, the same elements as those in Fig. 2 are denoted by the same reference numerals, and a description thereof will be omitted. The main body part 220 has a first plate part 310, a first stop part 330, a second stop part 340, a hook part 350 and a transfer device 360.

제1 판부(310)는, XZ면에 대략 평행하게 마련되고, 도 3에 있어서 제거한 앞쪽의 판부에 대향하고, 해당 2개의 판부가 반송 캐리어(20)를 끼우도록 마련된다. 제1 판부(310)는, 제1 가이드(312)와 제2 가이드(314)를 포함한다.
The first plate portion 310 is provided so as to be substantially parallel to the XZ plane and faces the front plate portion removed in Fig. 3, and the two plate portions are provided so as to sandwich the conveying carrier 20 therebetween. The first plate portion 310 includes a first guide 312 and a second guide 314.

제1 가이드(312) 및 제2 가이드(314)는, 반송 캐리어(20)를 이동시키는 궤도를 규정한다. 여기서, 반송 캐리어(20)가 이동하는 궤도는, 도 3에 있어서 직선부(B) 및 직선부(C)로 나타낸 X축방향과 평행한 2개의 직선부를 가진다. 직선부(B)는, 유저 트레이(210)의 행방향의 길이와 동일한 정도의 길이를 가지고, 직선부(C)는, 테스트 트레이(110)의 행방향의 길이와 동일한 정도의 길이를 가진다. 또한, 해당 궤도의 일부는, XZ면에 평행한 타원 또는 타원의 궤도를 가질 수도 있다.
The first guide 312 and the second guide 314 define a trajectory for moving the carrier 20. Here, the trajectory on which the carrier carrier 20 moves has two rectilinear portions parallel to the X-axis direction indicated by the straight line portion B and the straight line portion C in Fig. The straight line portion B has a length approximately equal to the length of the user tray 210 in the row direction and the straight line portion C has a length approximately equal to the length of the test tray 110 in the row direction. Further, a part of the trajectory may have an ellipse or an elliptical orbit parallel to the XZ plane.

도 3은, XZ면과 평행한 면에 있어서, +Z축방향측(상측) 및 -Z축방향측(하측)에서 X축과 대략 평행하게 연신하는 궤도와, +X축방향측(우측) 및 -X축방향측(좌측)에서 상측과 하측의 기동을 접속하는 타원의 궤도를 가지는 대략 타원형의 궤도의 예를 나타낸다. 또한, 해당 궤도는, 상측의 궤도에 있어서 직선부(B)를 포함하고, 하측의 궤도에 있어서 직선부(C)를 포함한다.
3 is a plan view showing a trajectory extending in the + Z-axis direction side (upper side) and -Z-axis direction side (lower side) substantially parallel to the X- And an oval trajectory connecting the upper side and the lower side in the -X-axis direction side (left side). The trajectory includes the straight line portion B in the upper orbit and the straight line portion C in the lower orbit.

제1 가이드(312)는, 제1 판부(310)의 표면에 형성된 단면이 오목(凹)형상인 홈부여도 된다. 이에 대신해, 제1 가이드(312)는, 제1 판부(310)의 표면에 형성된 철부일 수도 있다. 또한, 제2 가이드(314)는, 제1 판부(310)의 표면에 형성된 철부일 수도 있다. 이에 대신해, 제2 가이드(314)는, 제1 판부(310)의 표면에 형성된 단면이 오목형상인 홈부일 수도 있다. 본 실시형태에 있어서, 제1 가이드(312)가 홈부, 제2 가이드(314)가 철(凸)부인 예를 설명한다.
The first guide 312 may be a groove having a concave cross section formed on the surface of the first plate portion 310. Alternatively, the first guide 312 may be a convex portion formed on the surface of the first plate portion 310. The second guide 314 may be a convex portion formed on the surface of the first plate portion 310. Alternatively, the second guide 314 may be a groove having a concave cross section formed on the surface of the first plate portion 310. In the present embodiment, an example in which the first guide 312 is a groove portion and the second guide 314 is a convex portion will be described.

제1 정지부(330)는, 제1 가이드(312) 및 제2 가이드(314)에 의해 규정된 궤도 상의 반송 캐리어(20)의 이동을, 미리 정해진 위치에서 정지시킨다. 제1 정지부(330)는, 일례로서, +Y축방향으로 이동하여, 하나의 반송 캐리어(20)를 정지시킨다. 제1 정지부(330)는, 반송 캐리어(20)의 이동의 정지를 계속시킴으로써, 후속의 반송 캐리어(20)도 해당 정지한 반송 캐리어(20)에 접하여 정지하게 된다. 또한, 제1 정지부(330)는, -Y축방향으로 이동하여, 반송 캐리어(20)의 정지를 해제시킬 수도 있다.
The first stopper 330 stops the movement of the carrier 20 on the trajectory defined by the first guide 312 and the second guide 314 at a predetermined position. The first stopper 330 moves, for example, in the + Y axis direction to stop one transport carrier 20. The first stopper portion 330 stops the movement of the carrier carrier 20 so that the subsequent carrier carrier 20 also stops in contact with the carrier carrier 20 that has stopped. Further, the first stopper 330 may move in the -Y-axis direction to release the stopping of the carrier carrier 20. [

제1 정지부(330)는, 반송 캐리어(20)의 궤도의 직선부(B)에 있어서, 복수의 반송 캐리어(20)가 나열되도록 반송 캐리어(20)의 이동을 정지시킨다. 예를 들면, 도 3에 있어서, 반송 캐리어(20)가 제1 가이드(312) 및 제2 가이드(314)에 의해 규정된 XZ면과 대략 평행한 궤도 상을 시계방향으로 이동하는 경우, 제1 정지부(330)는, 직선부(B)의 +X축방향측의 단부에서 반송 캐리어(20)를 정지시킨다. 이에 따라, 후속의 반송 캐리어(20)도 정지하고, 복수의 반송 캐리어(20)는 직선부(B)를 따라 나열된다.
The first stopper portion 330 stops the movement of the carrier carrier 20 so that the plurality of carrier carriers 20 are arranged in the linear portion B of the track of the carrier carrier 20. 3, when the transporting carrier 20 moves clockwise on an orbit substantially parallel to the XZ plane defined by the first guide 312 and the second guide 314, The stopper 330 stops the carrier carrier 20 at the end on the + X-axis direction side of the linear portion B. Thereby, the subsequent conveying carrier 20 is also stopped, and the plurality of conveying carriers 20 are arranged along the straight line portion B.

여기서, 복수의 반송 캐리어(20)의 각각은, X축방향의 두께가 미리 정해진 제1 간격과 대략 동일해지도록 형성된다. 즉, 복수의 반송 캐리어(20)는, 미리 정해진 제1 간격(예를 들면, 유저 트레이(210)의 피시험 디바이스(10)의 행방향의 간격)과 대략 동일한 간격으로, 직선부(B)를 따라 배열된다. 이에 따라, 제1 정지부(330)가 복수의 반송 캐리어(20)를 정지시켜 직선부(B)에 배열시킨 것에 따라, 제1 이동부(240)는, 유저 트레이(210)와 본체부(220)의 사이에서 복수의 피시험 디바이스(10)를 이동시킬 수 있다.
Here, each of the plurality of carrier carriers 20 is formed such that the thickness in the X-axis direction becomes substantially equal to a predetermined first gap. That is, the plurality of conveying carriers 20 are arranged in a straight line portion B at substantially the same interval as the predetermined first interval (for example, the interval in the row direction of the device under test 210 of the user tray 210) . The first stopper 330 stops the plurality of carrier carriers 20 and arranges the plurality of carrier carriers 20 on the straight line portion B so that the first moving portion 240 moves the user tray 210 and the main body portion 220 to move the plurality of devices under test 10.

제2 정지부(340)는, 제1 정지부(330)와 마찬가지로, 제1 가이드(312) 및 제2 가이드(314)에 의해 규정된 궤도 상의 반송 캐리어(20)의 이동을, 미리 정해진 위치에서 정지시킨다. 제2 정지부(340)는, 반송 캐리어(20)이 궤도의 직선부(C)에 도달하기 전에, 해당 반송 캐리어(20)의 이동을 정지시킨다. 예를 들면, 도 3에 있어서, 제2 정지부(340)는, 반송 캐리어(20)가 직선부(C)의 +X축방향측의 단부에 도달하기 전에, 해당 반송 캐리어(20)를 정지시킨다. 이에 따라, 후속의 반송 캐리어(20)도 정지하고, 복수의 반송 캐리어(20)는 직선부(C)에 도달하기 전에 나열된다. 제2 정지부(340)는, 반송 캐리어(20)의 정지와 해제를 반복하여, 반송 캐리어(20)를 1개씩 후크부(350)로 공급한다.
The second stopping portion 340 moves the transporting carrier 20 on the trajectory specified by the first guide 312 and the second guide 314 in the same manner as the first stopping portion 330 at a predetermined position . The second stopper 340 stops the movement of the carrier carrier 20 before the carrier carrier 20 reaches the linear portion C of the track. 3, the second stopper 340 stops the conveying carrier 20 before the conveying carrier 20 reaches the end on the + X-axis direction side of the straight line portion C, for example, . Thereby, the subsequent transport carrier 20 is also stopped, and the plurality of transport carriers 20 are arranged before reaching the straight portion C. The second stopper 340 repeats stopping and releasing of the carrier 20 and supplies the carrier carriers 20 one by one to the hook 350. [

후크부(350)는, 반송 캐리어(20)와 계합하여 이동시킨다. 하나의 후크부(350)는, 하나의 반송 캐리어(20)와 계합하고, 반송 캐리어(20)의 궤도의 일부의 범위를 이동시킨다. 후크부(350)는, 이동 방향에 대하여 대략 수직방향으로 돌출하는 돌출부를 가지고, 해당 돌출부가 반송 캐리어(20)에 접하여 후크부(350)의 이동 방향을 향해 눌러, 해당 반송 캐리어(20)를 이동시킨다.
The hook portion 350 moves in engagement with the carrier 20. One hook portion 350 engages with one conveying carrier 20 and moves the range of a part of the orbit of the conveying carrier 20. The hook portion 350 has a protruding portion that protrudes in a substantially vertical direction with respect to the moving direction so that the protruding portion abuts against the carrying carrier 20 and pushes the carrying carrier 20 toward the moving direction of the hook portion 350, .

여기서, 후크부(350)는, 벨트부(352)에 복수 마련된다. 해당 벨트부(352)는, XZ평면과 대략 평행한 면에서 회전하는 제1 활차(354) 및 제2 활차(356)에 구동되고, XZ평면과 평행한 면에 있어서 미리 정해진 궤도를 그리면서 회전한다. 벨트부(352)의 궤도는, 테스트 트레이(110)의 행방향의 길이 정도의 직선 궤도를 가진다. 후크부(350)는, 벨트부(352)에 고정되어 있으므로, 벨트부(352)의 궤도와 대략 유사한 궤도로 회전한다. 즉, 후크부(350), 벨트부(352), 제1 활차(354), 및 제2 활차(356)는, 반송 캐리어(20)의 이송 장치로서 기능한다.
Here, a plurality of hook portions 350 are provided on the belt portion 352. The belt portion 352 is driven by a first pulley 354 and a second pulley 356 that rotate on a plane substantially parallel to the XZ plane and rotates while drawing a predetermined trajectory on a plane parallel to the XZ plane do. The trajectory of the belt portion 352 has a linear trajectory about the length of the test tray 110 in the row direction. Since the hook portion 350 is fixed to the belt portion 352, the hook portion 350 rotates in an orbit substantially similar to the trajectory of the belt portion 352. [ That is, the hook portion 350, the belt portion 352, the first pulley 354, and the second pulley 356 function as a conveying device of the conveying carrier 20.

도 3은, 제1 활차(354), 제2 활차(356), 및 벨트부(352)가 시계방향으로 회전하고, 이에 따라 후크부(350)도 시계방향으로 회전하는 예를 나타낸다. 후크부(350)의 궤도의 일부는, 반송 캐리어(20)의 궤도의 일부와 대략 평행해지고, 후크부(350)의 궤도의 해당 일부에 있어서, 후크부(350)는, 반송 캐리어(20)를 걸어서 이동시킨다. 또한, 후크부(350)의 궤도의 해당 일부에 있어서, 테스트 트레이(110)의 행방향의 길이 정도의 직선 궤도를 갖도록, 제1 활차(354) 및 제2 활차가 본체부(220)에 마련된다. 즉, 반송 캐리어(20)의 궤도 중, 적어도 직선부(C)의 부분에 있어서, 복수의 후크부(350)는, 복수의 반송 캐리어(20)를 각각 이동시킨다.
3 shows an example in which the first pulley 354, the second pulley 356 and the belt portion 352 are rotated in the clockwise direction so that the hook portion 350 is also rotated clockwise. A part of the trajectory of the hook portion 350 is substantially parallel to a part of the trajectory of the conveyance carrier 20 and the hook portion 350 is formed in a portion of the trajectory of the hook portion 350, . The first pulley 354 and the second pulley are provided on the main body 220 so as to have a linear trajectory about the length of the test tray 110 in the row direction in a corresponding part of the trajectory of the hook portion 350 do. That is, at least the portion of the linear portion C of the track of the carrier 20 moves the plurality of hooks 350 to move the plurality of carrier carriers 20, respectively.

여기서, 복수의 후크부(350)는, 벨트부(352)에 미리 정해진 제2 간격(예를 들면, 유저 트레이(210)의 피시험 디바이스(10)의 행방향의 간격)마다 마련된다. 따라서, 복수의 후크부(350)는, 복수의 반송 캐리어(20)를 직선부(C)를 따라 미리 정해진 제2 간격으로 배열시킨다. 이와 같이, 복수의 후크부(350)가 테스트 트레이(110)의 피시험 디바이스(10)를 수용하는 간격마다 복수의 반송 캐리어(20)를 배열하므로, 제2 이동부(250)는, 테스트 트레이(110)와 본체부(220)의 사이에서 복수의 피시험 디바이스(10)를 이동시킬 수 있다. 또한 본체부(220)는, 제2 이동부(250)가 복수의 피시험 디바이스(10)를 이동시키는 경우, 제1 활차(354) 및 제2 활차(356)의 회전을 일시적으로 정지할 수도 있다.
Here, the plurality of hook portions 350 are provided at a predetermined second interval (for example, in the row direction of the device under test 210 of the user tray 210) in the belt portion 352. Therefore, the plurality of hook portions 350 arrange the plurality of carrier carriers 20 at a predetermined second interval along the linear portion C. As described above, since the plurality of hooks 350 arrange the plurality of carrier carriers 20 at the intervals of accommodating the devices under test 10 of the test tray 110, The plurality of devices under test 10 can be moved between the body 110 and the main body 220. The body portion 220 may also temporarily stop the rotation of the first pulley 354 and the second pulley 356 when the second moving portion 250 moves the plurality of devices under test 10 have.

이상과 같이, 본 실시형태에 따른 본체부(220)는, 직선부(B)에 있어서, 복수의 피시험 디바이스(10)를 미리 정해진 제1 간격과 대략 동일한 간격으로 배열시키고, 직선부(C)에 있어서, 피시험 디바이스(10)를 미리 정해진 제2 간격과 대략 동일한 간격으로 배열시킨다. 이에 따라, 본체부(220)는, 복수의 피시험 디바이스(10)를, 직선부(B)에서 테스트 트레이(110)의 배치 피치로 배열시키고, 직선부(C)에서 유저 트레이(210)의 배치 피치로 배열시켜 피치 변환한다.
As described above, in the main body 220 according to the present embodiment, the plurality of devices under test 10 are arranged at substantially the same interval as the predetermined first interval in the linear portion B, and the straight portions C ), The devices under test 10 are arranged at substantially the same intervals as the predetermined second intervals. The main body 220 is configured such that the plurality of devices under test 10 are arranged at the arrangement pitch of the test trays 110 in the straight line portion B, And arranged in a batch pitch to perform pitch conversion.

또한, 후크부(350)는, 반송 캐리어(20)의 궤도 중, +Z축방향의 성분을 포함한 궤도의 부분에 있어서, 해당 반송 캐리어(20)를 이동시킬 수도 있다. 도 3에 있어서, 후크부(350)가, 반송 캐리어(20)의 궤도 중, 직선부(C) 및 구간(D)을 포함한 부분에 있어서, 해당 반송 캐리어(20)를 이동시키는 예를 나타낸다. 즉, 후크부(350)는, 하측의 궤도로부터 좌측의 궤도를 개재하여 상측의 궤도로 반송 캐리어(20)를 이동시킨다. 후크부(350)는, 구간(D)을 지나면, 해당 반송 캐리어(20)의 진행 방향과는 상이한 방향의 궤도를 그리면서, 반송 캐리어(20)와 이간한다.
The hook portion 350 may also move the carrier 20 in a part of the trajectory including the component in the + Z axis direction of the trajectory of the carrier 20. 3 shows an example in which the hook portion 350 moves the carrying carrier 20 in a portion including the straight line portion C and the section D in the trajectory of the carrying carrier 20. That is, the hook portion 350 moves the carrier 20 from the lower side orbit to the upper side via the left side orbit. The hook portion 350 separates from the conveying carrier 20 while drawing a trajectory in a direction different from the traveling direction of the conveying carrier 20 after passing through the section D. [

이송 장치(360)는, 이송 장치(230)와 마찬가지로, 복수의 반송 캐리어(20)를 이동시킨다. 예를 들면, 이송 장치(230)는, 후크부(350)에 의해 상측의 궤도로 이동한 복수의 반송 캐리어(20)를, 직선부(B)의 방향을 향하여 이동시킨다. 그리고, 이송 장치(360)는, 직선부(B)에 배열한 복수의 반송 캐리어(20)를, 하측의 궤도로 이동시킨다. 이송 장치(360)는, 일례로서, 압입부를 가지고, 해당 압입부를 이웃한 2개의 반송 캐리어(20)의 간극에 배치하도록 +Z축방향으로 이동시키고 나서, +X축방향으로 이동시켜 반송 캐리어(20)의 일부를 밀어넣어 이동시키고, -Z축방향, +Z축방향으로 이동시켜 원래로 되돌린다.
The conveying device 360 moves the plurality of conveying carriers 20 in the same manner as the conveying device 230. For example, the conveying device 230 moves the plurality of conveying carriers 20, which have moved to the upper orbit by the hook portion 350, toward the straight line portion B. Then, the conveying device 360 moves the plurality of conveying carriers 20 arranged on the linear portion B to the lower trajectory. The conveying device 360 has, for example, a press-in portion, moves in the + Z-axis direction so as to be disposed in the gap between two adjacent conveying carriers 20, and then moves in the + X- 20 in the direction of the -Z axis and the direction of the + Z axis to return to the original state.

또한, 이송 장치(230) 및 이송 장치(360)는, 1개의 공통의 이송 장치로서 마련될 수도 있고, 이에 대신해, 3 이상의 이송 장치가 마련될 수도 있다. 이와 같이, 본체부(220)는, 이송 장치(230), 이송 장치(360), 및 후크부(350)를 이용하여, 복수의 반송 캐리어(20)를 궤도를 따라 회전시킨다. 그리고, 본체부(220)는, 직선부(B) 및 직선부(C)에 있어서, 복수의 반송 캐리어(20)의 배열 피치를 변환시킨다.
The transporting device 230 and the transporting device 360 may be provided as one common transporting device, or alternatively, three or more transporting devices may be provided. Thus, the main body unit 220 rotates the plurality of carrier carriers 20 along the trajectory by using the transfer device 230, the transfer device 360, and the hook part 350. [ The main body portion 220 converts the arrangement pitch of the plurality of carrier carriers 20 in the linear portion B and the linear portion C,

이에 따라, 반송 장치(200)는, 유저 트레이(210)로부터 직선부(B)에 배열된 복수의 반송 캐리어(20)에 복수의 피시험 디바이스(10)를 이동시킴으로써, 직선부(C)에 있어서, 복수의 반송 캐리어(20)로부터 해당 복수의 피시험 디바이스(10)를 테스트 트레이(110)에 탑재할 수 있다. 또한, 반송 장치(200)는, 테스트 트레이(110)로부터 직선부(C)에 배열된 복수의 반송 캐리어(20)에 복수의 피시험 디바이스(10)를 이동시킴으로써, 직선부(B)에 있어서, 복수의 반송 캐리어(20)로부터 해당 복수의 피시험 디바이스(10)를 유저 트레이(210)에 탑재할 수 있다.
The conveying apparatus 200 moves the plurality of devices under test 10 to the plurality of conveying carriers 20 arranged in the straight section B from the user tray 210 so that the straight line section C So that the plurality of devices under test 10 can be mounted on the test tray 110 from the plurality of carrier carriers 20. The conveying apparatus 200 can also be configured such that a plurality of test devices 10 are moved from a test tray 110 to a plurality of conveying carriers 20 arranged in a linear section C, , The plurality of devices under test (10) can be mounted on the user tray (210) from the plurality of carrier carriers (20).

이상의 본 실시형태에 따른 반송 장치(200)는, 테스트 트레이(110) 또는 유저 트레이(210)에 행방향으로 나열된 복수의 피시험 디바이스(10)를 반송하는 것을 설명하였다. 이에 더하여, 반송 장치(200)는, 테스트 트레이(110) 및 유저 트레이(210)를, 피시험 디바이스(10)의 열방향의 각각의 배열 피치에 대응시켜, 열방향으로 각각 이동시키는 이동부를 추가로 구비할 수도 있다. 이에 따라, 반송 장치(200)는, 유저 트레이(210)의 행방향 및 열방향으로 배열된 모든 피시험 디바이스(10)를, 행마다 테스트 트레이(110)로 반송할 수 있다. 또한, 반송 장치(200)는, 테스트 트레이(110)의 행방향 및 열방향으로 배열된 모든 피시험 디바이스(10)를, 행마다 유저 트레이(210)로 반송할 수도 있다.
The transport apparatus 200 according to the present embodiment described above transports a plurality of devices under test 10 arranged in the row direction in the test tray 110 or the user tray 210. [ In addition, the conveying apparatus 200 further includes a moving unit that moves the test tray 110 and the user tray 210 in the column direction in correspondence with the respective arrangement pitches in the column direction of the device under test 10 As shown in FIG. This allows the transport apparatus 200 to transport all of the devices under test 10 arranged in the row direction and the column direction of the user tray 210 to the test tray 110 for each row. The transport apparatus 200 may also transport all of the devices under test 10 arranged in the row direction and the column direction of the test tray 110 to the user tray 210 for each row.

이상의 본 실시형태에 따른 반송 장치(200)는, 복수의 반송 캐리어(20)를 미리 정해진 궤도 상에서 이동시키고, 테스트 트레이(110) 및 유저 트레이(210)의 사이에서 피시험 디바이스(10)를 반송한다. 즉, 반송 장치(200)는, 피시험 디바이스(10)의 반송마다, 복수의 반송 캐리어(20)를 이동시킨다. 또한, 반송 장치(200)는, 해당 반송 시간을 고속화하는 목적으로, 반송 캐리어(20)의 이동속도를 보다 빠르게 하는 것이 바람직하다. 그러면, 이웃한 반송 캐리어(20)는, 보다 강한 기세로 충돌하게 되고, 시험의 반복에 수반하여, 마모 등에 의한 치수 오차가 발생하는 경우가 있다. 또한, 반송 캐리어(20)는, 경년 열화 등에 의해, 균열, 결함, 금 등이 발생하는 경우도 있어, 파괴에 도달하는 경우도 발생한다.
The transport apparatus 200 according to the present embodiment described above moves a plurality of transport carriers 20 on a predetermined trajectory and transports the device under test 10 between the test tray 110 and the user tray 210 do. That is, the transport apparatus 200 moves the plurality of transport carriers 20 every transport of the device under test 10. Further, it is preferable that the conveying apparatus 200 speeds up the moving speed of the conveying carrier 20 for the purpose of speeding up the conveying time. Then, the adjacent carrier 20 collides with stronger force, and a dimensional error due to abrasion or the like may occur in accordance with the repetition of the test. Further, cracks, defects, gold, or the like may be generated in the carrier 20 due to aged deterioration or the like, and the carrier carrier 20 may also be broken.

따라서, 본 실시형태의 반송 캐리어(20)는, 이러한 치수 오차의 발생, 및 경년 열화 등을 저감시켜, 내구성이 좋은 장수명의 반송 장치(200)를 제공한다. 도 4는, 본 실시형태에 따른 반송 캐리어(20)의 개략 구성을, 제1 판부(310) 및 제2 판부(320)와 함께 나타낸다. 또한 도 4는, 도 2에 나타낸 선분 A-A'에 있어서의 단면도의 일례이다.
Therefore, the carrier carrier 20 of the present embodiment reduces the occurrence of such dimensional errors and deterioration over the years, and provides a long-life transport apparatus 200 having excellent durability. 4 schematically shows the structure of the carrier carrier 20 according to the present embodiment along with the first plate portion 310 and the second plate portion 320. As shown in Fig. 4 is an example of a cross-sectional view taken along a line A-A 'shown in Fig.

즉, 도 4는, 본체부(220)의 YZ면에 대략 평행한 단면과, -X축방향으로 반송 캐리어(20)를 본 경우의 정면도 및 배면도를 나타낸다. 여기서, 도 2에 나타낸 본체부(220)는, +Y축방향으로 본 제2 판부(320)를 나타내고, 도 3에 나타낸 본체부(220)는, 제2 판부(320)를 생략하고 +Y축방향으로 본 제1 판부(310)를 나타내는 예이다. 또한, 하측의 궤도를 이동하는 반송 캐리어(20)의 상하는 반전하므로, 하측의 반송 캐리어(20)를 나타내는 배면도는, 정면도와 비교했을 때 상하가 반전된 도면으로 되어 있다.
4 shows a cross section substantially parallel to the YZ plane of the main body 220 and a front view and a rear view when the carrier 20 is viewed in the -X axis direction. The body portion 220 shown in FIG. 2 represents the second plate portion 320 viewed in the + Y axis direction. In the body portion 220 shown in FIG. 3, the second plate portion 320 is omitted and + Y Is an example showing the first plate portion 310 viewed in the axial direction. Since the top of the transport carrier 20 moving on the lower side trajectory is inverted, the rear view showing the lower transport carrier 20 is a top view and a reverse side as compared with the front view.

반송 캐리어(20)는, 제1 판부(310) 및 제2 판부(320)의 사이에 배치된다. 반송 캐리어(20)는, 제1 판부(310)의 제1 가이드(312) 및 제2 가이드(314)와, 제2 판부(320)의 제1 가이드(322) 및 제2 가이드(324)에 의해 규정되는 궤도를 따라 이동한다. 반송 캐리어(20)는, 디바이스 탑재부(22)와 제1 차륜부(24)와 제2 차륜부(26)와 베이스부(28)와 피치 규정 부재(30)와 피치 규정 부재(32)와 샤프트(34)와 제1 베어링부(36)와 제2 베어링부(38)와 샤프트 대향면(40)과 보강 부재(42)와 보강 부재(44)를 구비한다.
The transporting carrier 20 is disposed between the first plate portion 310 and the second plate portion 320. The carrier carrier 20 is supported by the first guide 312 and the second guide 314 of the first plate portion 310 and the first guide 322 and the second guide 324 of the second plate portion 320 Along the trajectory defined by the trajectory. The carrier 20 includes a device mounting portion 22, a first wheel portion 24, a second wheel portion 26, a base portion 28, a pitch defining member 30, a pitch defining member 32, A first bearing portion 36, a second bearing portion 38, a shaft facing surface 40, a reinforcing member 42, and a reinforcing member 44.

디바이스 탑재부(22)는, 피시험 디바이스(10)를 탑재한다. 디바이스 탑재부(22)는, 예를 들면, 반송 캐리어(20)의 이동 방향과 평행한 면에 피시험 디바이스를 탑재한다. 도 4는, X축과 대략 평행한 방향으로 이동하는 반송 캐리어(20)에 있어서, 디바이스 탑재부(22)가 XY평면과 평행한 면에 피시험 디바이스(10)를 탑재하는 예를 나타낸다. 또한, 디바이스 탑재부(22)가 피시험 디바이스(10)를 탑재하는 면을, 디바이스 탑재면으로 한다. 디바이스 탑재부(22)는, 디바이스 탑재면에 있어서, 피시험 디바이스(10)를 고정할 수도 있다.
The device mounting portion 22 mounts the device under test 10. The device mounting portion 22 mounts the device under test on a plane parallel to the moving direction of the carrier 20, for example. 4 shows an example in which the device under test 22 is mounted on a plane parallel to the XY plane in the carrier 20 moving in a direction substantially parallel to the X axis. Also, the surface on which the device under test unit 22 mounts the device under test 10 is referred to as the device mounting surface. The device mounting portion 22 may fix the device under test 10 on the device mounting surface.

제1 차륜부(24)는, 제1 가이드(312) 및 제1 가이드(322)의 제1 면에 당접한다. 제1 차륜부(24)는, 예를 들면, 피시험 디바이스(10)를 탑재하는 디바이스 탑재면과 평행한 제1 면에 당접한다. 제1 차륜부(24)는, 제1 가이드(312) 및 제1 가이드(322)의 +Z축방향을 향한 제1 면에 접한다. 제1 차륜부(24)는, 반송 캐리어(20)의 +Y축방향 측 및 -Y축방향측의 단부에 각각 마련된다. 여기서, 도 4는, 제1 가이드(312)가 제1 판부(310)에 형성된 홈이며, 제1 가이드(322)가 제2 판부(320)에 형성된 홈이며, 제1 면이 각각의 홈의 XZ면에 대략 수직면인 예를 나타낸다. 즉, 제1 차륜부(24)는, 제1 가이드(312) 및 제1 가이드(322)에 대응하여 마련된다.
The first wheel portion 24 abuts against the first surface of the first guide 312 and the first guide 322. The first wheel portion 24 abuts on the first surface parallel to the device mounting surface on which the device under test 10 is mounted, for example. The first wheel portion 24 abuts against the first surface of the first guide 312 and the first guide 322 facing the + Z axis direction. The first wheel portion 24 is provided at each end on the + Y-axis direction side and the -Y-axis direction side of the carrier 20. 4 shows that the first guide 312 is a groove formed in the first plate portion 310 and the first guide 322 is a groove formed in the second plate portion 320, An example is shown which is roughly perpendicular to the XZ plane. That is, the first wheel portion 24 is provided corresponding to the first guide 312 and the first guide 322.

제2 차륜부(26)는, 제2 가이드(314) 및 제2 가이드(324)의 제2 면에 당접한다. 제2 차륜부(26)는, 예를 들면, 디바이스 탑재면과 수직 제2 면에 당접한다. 제2 차륜부(26)는, 제2 가이드(314) 및 제2 가이드(324)의 XZ면에 평행한 제2 면에 접한다. 여기서, 도 4는, 제2 가이드(314)가 제1 판부(310)에 형성된 -Y축방향으로 연신하는 철부이며, 제2 가이드(324)가 제2 판부(320)에 형성된 +Y축방향으로 연신하는 철부이며, 제2 면이 각각의 철부의 XZ면에 대략 평행한 면인 예를 나타낸다. 즉, 제2 차륜부(26)는, 제2 가이드(314) 및 제2 가이드(324)에 대응하여 마련된다.
The second wheel portion 26 abuts against the second surface of the second guide 314 and the second guide 324. [ The second wheel portion 26 abuts, for example, the device mounting surface and the second vertical surface. The second wheel portion 26 is in contact with the second surface parallel to the XZ plane of the second guide 314 and the second guide 324. 4 shows that the second guide 314 is a convex portion extending in the -Y-axis direction formed on the first plate portion 310 and the second guide 324 is a convex portion extending in the + Y-axis direction And the second surface is a surface substantially parallel to the XZ plane of each convex portion. That is, the second wheel portion 26 is provided corresponding to the second guide 314 and the second guide 324.

제1 차륜부(24) 및 제2 차륜부(26)는, 각각 하나 또는 복수의 차륜을 가진다. 제1 차륜부(24) 및 제2 차륜부(26)의 각각은, 해당 반송 캐리어(20)의 진행 방향에 대하여 나란히 배열된 복수의 차륜을 가질 수도 있다. 제1 차륜부(24) 및 제2 차륜부(26)가 각각 가지는 해당 차륜이 회전함으로써, 반송 캐리어(20)는 이동한다. 이와 같이, 반송 캐리어(20)는, 가이드에 의해 미리 규정된 궤도를, 제1 차륜부(24) 및 제2 차륜부(26)를 이용하여 가이드의 상이한 면에 접하여 이동함으로써, 탑재한 피시험 디바이스(10)를 안정적으로 반송시킬 수 있다. 또한, 제1 차륜부(24) 및 제2 차륜부(26)는, 차륜에 대신해, 베어링, 롤러, 원반 등을 가질 수도 있다.
The first wheel portion 24 and the second wheel portion 26 each have one or a plurality of wheels. Each of the first and second wheel portions 24 and 26 may have a plurality of wheels arranged in parallel to the traveling direction of the carrier 20. [ The corresponding wheel of the first wheel portion 24 and the second wheel portion 26 rotates, so that the carrier carrier 20 moves. As described above, the carrier carrier 20 moves the trajectory specified by the guide in contact with the different surfaces of the guide by using the first and second wheel portions 24 and 26, The device 10 can be stably transported. The first wheel portion 24 and the second wheel portion 26 may have bearings, rollers, discs, etc. instead of the wheels.

제1 차륜부(24)가 가지는 차륜의 직경은, 일례로서 제2 차륜부(26)가 가지는 차륜의 직경보다 크다. 이에 따라, 직경이 큰 차륜을 가지는 제1 차륜부(24)가, 홈형상의 가이드에 감합하여 반송 캐리어(20)를 이동시키도록 기능하고, 직경이 작은 차륜을 가지는 제2 차륜부(26)가, 볼록형상의 가이드에 접하여 이동 방향을 미조정하는 보조륜으로서 기능할 수 있다. 제1 차륜부(24) 및 제2 차륜부(26)의 각각의 직경 및 회전축방향을 바꿈으로써, 차륜의 회전방향이 미묘하게 변화한 경우에, 반송 캐리어(20)의 이동 방향이 경합하여 제1 차륜부(24) 및 제2 차륜부(26)의 마모 및 피로가 발생하는 것을 저감할 수 있다.
The diameter of the wheel of the first wheel portion 24 is larger than the diameter of the wheel of the second wheel portion 26 as an example. Thus, the first wheel portion 24 having the wheel with a large diameter functions to move the carrier 20 by engaging with the groove-shaped guide, and the second wheel portion 26 having the small- Can function as a subordinate wheel that tapers to a convex-shaped guide and fine-tunes the moving direction. By changing the diameter and rotational axis direction of each of the first and second wheel portions 24 and 26, when the rotational direction of the wheel is slightly changed, the moving directions of the carrier 20 collide with each other Wear and fatigue of the first wheel portion 24 and the second wheel portion 26 can be reduced.

베이스부(28)는, 제1 차륜부(24) 및 제2 차륜부(26)가 마련된다. 또한, 베이스부(28)는, 디바이스 탑재부(22)가 장착된다. 베이스부(28)는, 경금속과 같이, 비교적 경량인 금속으로 형성될 수도 있다. 베이스부(28)는, 일례로서 알루미늄을 포함한다. 또한, 베이스부(28)는, 하나 또는 복수의 요부, 관통구멍 등을 가지고, 강도를 확보한 그대로 경량화시킬 수도 있다. 도 4의 베이스부(28)는, 하나의 요부와, 해당 요부 내에 복수의 관통구멍을 형성시킨 예를 나타낸다.
The base portion 28 is provided with a first wheel portion 24 and a second wheel portion 26. Further, the base portion 28 is mounted with the device mounting portion 22. The base portion 28 may be formed of a relatively lightweight metal, such as a light metal. The base portion 28 includes aluminum as an example. Further, the base portion 28 may have one or a plurality of recessed portions, through holes and the like, and may be lightened as it is secured. The base portion 28 in Fig. 4 shows an example in which one recess and a plurality of through holes are formed in the recess.

피치 규정 부재(30)는, 베이스부(28)에 대하여 해당 반송 캐리어(20)의 진행 방향 전측에 교환 가능하게 장착된다. 피치 규정 부재(32)는, 베이스부(28)에 대하여 해당 반송 캐리어(20)의 진행 방향 후측에 교환 가능하게 장착된다. 피치 규정 부재(30) 및 피치 규정 부재(32)는, 예를 들면, 나사 등으로 각각 베이스부(28)에 장착된다. 이에 따라, 피치 규정 부재(30) 및 피치 규정 부재(32)는, 베이스부(28)를 끼우도록 장착되고, 반송 캐리어(20)의 진행 방향에 대하여, 피치 규정 부재(30), 베이스부(28), 및 피치 규정 부재(32)의 순으로 나열된다.
The pitch defining member 30 is replaceably mounted on the front side in the traveling direction of the carrying carrier 20 with respect to the base portion 28. [ The pitch defining member 32 is replaceably mounted on the rear side in the traveling direction of the carrying carrier 20 with respect to the base portion 28. The pitch defining member 30 and the pitch defining member 32 are attached to the base portion 28 by screws or the like, respectively. The pitch defining member 30 and the pitch defining member 32 are mounted so as to sandwich the base portion 28 and are arranged in such a manner that the pitch defining member 30, 28, and the pitch defining member 32 in this order.

피치 규정 부재(30) 및 피치 규정 부재(32)는, 해당 반송 캐리어(20)의 진행 방향에 있어서의 피치를 규정한다. 예를 들면, 본체부(220)의 직선부(B)에 있어서, 복수의 반송 캐리어(20)가 배열하는 경우, 피치 규정 부재(30)는, 진행 방향 전측의 인접하는 반송 캐리어(20)의 피치 규정 부재(32)에 면에서 접한다. 이 경우, 피치 규정 부재(32)는, 진행 방향 후측의 인접하는 반송 캐리어(20)의 피치 규정 부재(30)에 면에서 접한다. 따라서, 복수의 반송 캐리어(20)의 배열 피치는, 진행 방향으로 나열된 피치 규정 부재(30), 베이스부(28), 및 피치 규정 부재(32)의 두께의 합이 된다.
The pitch defining member 30 and the pitch defining member 32 define the pitch in the traveling direction of the carrying carrier 20. For example, in the case where a plurality of carrier carriers 20 are arranged in the linear portion B of the main body 220, the pitch defining member 30 is arranged on the side of the adjacent carrier carrier 20 And is tangent to the pitch defining member 32 at the surface. In this case, the pitch defining member 32 abuts on the surface of the pitch defining member 30 of the adjacent transporting carrier 20 on the rear side in the traveling direction. Therefore, the arrangement pitch of the plurality of carrier carriers 20 is the sum of the thicknesses of the pitch defining member 30, the base portion 28, and the pitch defining member 32 arranged in the advancing direction.

따라서, 피치 규정 부재(30) 및 피치 규정 부재(32)는, 해당 두께의 합이, 유저 트레이(210)의 행방향으로 나열된 복수의 피시험 디바이스(10)의 미리 정해진 제1 간격과 대략 동일해지도록, 각각 미리 정해진 두께로 형성된다. 또한, 피시험 디바이스(10)의 형상 등에 따라, 미리 정해진 제1 간격이 복수 존재하는 경우, 해당 복수의 제1 간격에 대응하도록, 피치 규정 부재(30) 및 피치 규정 부재(32)는, 복수 형성될 수도 있다. 이에 따라, 반송 장치(200)는, 이용하는 유저 트레이(210)에 따라, 대응하는 피치 규정 부재(30) 및 피치 규정 부재(32)를 베이스부(28)에 장착함으로써, 해당 유저 트레이(210)에 탑재된 복수의 피시험 디바이스(10)를 반송시킬 수 있다.
Therefore, the pitch defining member 30 and the pitch defining member 32 are set such that the sum of the thicknesses is substantially equal to a predetermined first interval of the plurality of devices under test 10 arranged in the row direction of the user tray 210 Respectively, in the thickness direction. The pitch defining member 30 and the pitch defining member 32 are formed so as to correspond to a plurality of first intervals when a plurality of predetermined first intervals exist in accordance with the shape of the device under test 10, . Thus, the transport apparatus 200 mounts the corresponding pitch defining member 30 and the pitch defining member 32 on the base portion 28 in accordance with the user tray 210 to be used, It is possible to carry a plurality of devices under test 10 mounted on the apparatus.

또한, 피치 규정 부재(30) 및 피치 규정 부재(32)는, 베이스부(28)와 비교했을 때 단단한 재료에 의해 형성된다. 피치 규정 부재(30) 및 피치 규정 부재(32)는, 경질인 금속 또는 합금일 수도 있고, 예를 들면, 스테인리스 스틸로 형성된다. 피치 규정 부재(30) 및 피치 규정 부재(32)는, 인접하는 반송 캐리어(20)의 피치 규정부와 접촉 및 충돌하므로, 베이스부(28)와 비교했을 때 단단한 재료로 형성됨으로써, 충돌에 의한 마모, 금, 결함, 파괴 등의 발생을 저감시킬 수 있다. 또한, 반송 캐리어(20)의 일부만을 단단한 재료로 하므로, 해당 반송 캐리어(20) 전체를 단단한 재료로 형성하는 경우와 비교했을 때, 해당 반송 캐리어(20)의 중량을 저감시킬 수 있다.
In addition, the pitch defining member 30 and the pitch defining member 32 are formed of a rigid material as compared with the base portion 28. The pitch defining member 30 and the pitch defining member 32 may be a hard metal or an alloy, for example, stainless steel. The pitch defining member 30 and the pitch defining member 32 are formed of a rigid material as compared with the base portion 28 since they come into contact with and collide with the pitch defining portion of the adjacent carrier 20, It is possible to reduce the occurrence of abrasion, gold, defects, fractures, and the like. Further, since only a part of the carrier 20 is made of a rigid material, the weight of the carrier 20 can be reduced as compared with the case where the entire carrier 20 is formed of a rigid material.

또한, 반송 캐리어(20)의 진행 방향 전측의 피치 규정 부재(30)는, 후측의 피치 규정 부재(32)와 비교했을 때, 피시험 디바이스(10)와 수직 방향에 있어서의 길이가 길다. 예를 들면, 도 4의 예에 있어서, 피치 규정 부재(30)의 Z축방향의 길이는, 피치 규정 부재(32)의 Z축방향의 길이와 비교했을 때 길게 형성된다. 예를 들면, 반송 캐리어(20)의 진행 방향과 수직으로 판형상의 부재가 삽입된 경우, 해당 부재가 피치 규정 부재(30)에 접촉함으로써, 반송 캐리어(20)는 정지할 수 있다. 즉, 피치 규정 부재(30)는, 제1 정지부(330) 및/또는 제2 정지부(340)와 함께, 반송 캐리어(20)를 미리 정해진 위치에서 정지시키는 스토퍼의 기능을 가질 수 있다. 이 경우에 있어서, 피치 규정 부재(30)의 Z축방향의 길이가 길면, 제1 정지부(330) 및 제2 정지부(340)의 설계 자유도를 증가시킬 수 있다.
The pitch defining member 30 on the front side in the traveling direction of the carrier 20 has a longer length in the direction perpendicular to the device under test 10 than the pitch defining member 32 on the rear side. For example, in the example of Fig. 4, the length of the pitch defining member 30 in the Z-axis direction is longer than the length of the pitch defining member 32 in the Z-axis direction. For example, when a plate-like member is inserted perpendicular to the traveling direction of the carrier 20, the carrier 20 can be stopped by contacting the pitch-defining member 30 with the member. That is, the pitch defining member 30, together with the first stopping portion 330 and / or the second stopping portion 340, may have the function of a stopper for stopping the carrier 20 at a predetermined position. In this case, if the length of the pitch defining member 30 in the Z-axis direction is long, the degree of freedom in designing the first stopping portion 330 and the second stopping portion 340 can be increased.

샤프트(34)는, 베이스부(28)에 마련되고, 반송 캐리어(20)를 이동시키는 이송 장치와 계합한다. 여기서, 이송 장치는, 도 3에서 설명한, 후크부(350), 벨트부(352), 제1 활차(354), 및 제2 활차(356)의 조합일 수도 있다. 이에 더하여, 샤프트(34)는, 도 3에서 설명한 이송 장치(360)와 계합할 수도 있다. 또한, 본체부(220)는, 복수의 이송 장치를 구비하는 경우, 샤프트(34)와 계합하도록 형성할 수도 있다.
The shaft 34 is provided on the base portion 28 and is engaged with a conveying device for moving the conveying carrier 20. [ Here, the conveying device may be a combination of the hook portion 350, the belt portion 352, the first pulley 354, and the second pulley 356 described with reference to Fig. In addition, the shaft 34 may be engaged with the conveying device 360 described in Fig. The main body 220 may be formed to be engaged with the shaft 34 when a plurality of transfer devices are provided.

샤프트(34)는, 베이스부(28) 본체에 대하여 회전 가능하게 마련될 수도 있다. 이 경우, 베이스부(28)는, 샤프트(34)의 양단을 회전 가능하게 유지하는 제1 베어링부(36) 및 제2 베어링부(38)를 가진다. 즉, 샤프트(34)는, 후크부(350) 등의 이송 장치와 계합한 상태에 있어서도, 회전 가능하게 마련된다. 이에 따라, 예를 들면, 후크부(350)가 구간(D)과 같이 곡선을 그리는 궤도를 따라 반송 캐리어(20)를 이동시키는 경우, 반송 캐리어(20)의 이동과 함께 샤프트(34)는 회전할 수 있다. 따라서, 이송 장치가 계합한 그대로 반송 캐리어(20)를 이동시키는 경우에 있어서, 해당 반송 캐리어(20)에 가해지는 무리하거나, 쓸데없거나, 불필요한 힘 등을 해당 회전에 의해 보낼 수 있어, 반송 캐리어(20)의 수명을 장수명화할 수 있다.
The shaft 34 may be provided so as to be rotatable relative to the body of the base portion 28. [ In this case, the base portion 28 has a first bearing portion 36 and a second bearing portion 38 for rotatably holding both ends of the shaft 34. In other words, the shaft 34 is rotatably provided even in a state of being engaged with the conveying device such as the hook portion 350 or the like. Thus, for example, when the hook portion 350 moves the conveying carrier 20 along a curve in which the curved line is drawn as in the section D, the shaft 34, together with the movement of the conveying carrier 20, can do. Therefore, when the conveying carrier 20 is moved as it is engaged with the conveying device, it is possible to send force, unnecessary force, or the like which is applied to the conveying carrier 20 by the corresponding rotation, 20) can be longevity.

샤프트 대향면(40)은, 베이스부(28)에 형성되고, 샤프트(34)보다 디바이스 탑재부(22)에 가까운 측에 있어서, 제1 베어링부(36) 및 제2 베어링부(38)의 사이에서 샤프트(34)와 마주한다. 샤프트 대향면(40)은, 디바이스 탑재면과 대략 평행한 면일 수도 있다.
The shaft opposed surface 40 is formed in the base portion 28 and is located between the first bearing portion 36 and the second bearing portion 38 on the side closer to the device mounting portion 22 than the shaft 34. [ As shown in Fig. The shaft facing surface 40 may be a surface substantially parallel to the device mounting surface.

보강 부재(42) 및 보강 부재(44)는, 베이스부(28)에 형성되고, 샤프트 대향면(40)에 있어서, 해당 반송 캐리어(20)의 진행 방향 전측에 치우쳐 마련된다. 보강 부재(42) 및 보강 부재(44)는, 베이스부(28)의 강도를 보강한다. 또한, 보강 부재(42) 및 보강 부재(44)는, 반송 캐리어(20)의 중심(重心) 위치를 조정할 수도 있다. 또한, 보강 부재(42) 및 보강 부재(44)는, 진행 방향 전측에 치우쳐 형성됨으로써, 반송 캐리어(20)의 중량이 증가하지 않는 정도에 있어서, 베이스부(28)의 강도를 보강할 수 있다.
The reinforcing member 42 and the reinforcing member 44 are formed on the base portion 28 and are biased toward the forward side of the conveying carrier 20 in the shaft facing surface 40. The reinforcing member 42 and the reinforcing member 44 reinforce the strength of the base portion 28. [ The reinforcing member 42 and the reinforcing member 44 may also adjust the position of the center of gravity of the carrier 20. The reinforcing member 42 and the reinforcing member 44 are biased toward the front side in the traveling direction so that the strength of the base portion 28 can be reinforced to such an extent that the weight of the carrying carrier 20 does not increase .

샤프트 대향면(40), 보강 부재(42), 및 보강 부재(44)는, 베이스부(28)의 디바이스 탑재부(22)와는 반대측인 하면측의 면을 절삭함으로써 형성될 수도 있다. 이러한 샤프트 대향면(40), 보강 부재(42), 및 보강 부재(44)의 일례를, 도 5에 나타낸다. 도 5는, 본 실시형태에 따른 반송 캐리어(20)의 사시도의 제1 예를 나타낸다. 도 5에 있어서, 도 4와 대략 동일한 요소에는 동일한 부호를 붙이고 설명을 생략한다. 보강 부재(42) 및 보강 부재(44)는, 베이스부(28)와 일체가 되어 형성될 수도 있다.
The shaft facing surface 40, the reinforcing member 42 and the reinforcing member 44 may be formed by cutting the lower surface of the base portion 28 opposite to the device mounting portion 22. An example of the shaft opposed surface 40, the reinforcing member 42, and the reinforcing member 44 is shown in Fig. Fig. 5 shows a first example of a perspective view of the carrier 20 according to the present embodiment. In Fig. 5, elements substantially the same as those in Fig. 4 are denoted by the same reference numerals and description thereof is omitted. The reinforcing member 42 and the reinforcing member 44 may be integrally formed with the base portion 28. [

도 6은, 본 실시형태에 따른 반송 캐리어(20)의 사시도의 제2 예를 나타낸다. 도 6에 있어서, 도 4와 대략 동일한 요소에는 동일한 부호를 붙이고 설명을 생략한다. 반송 캐리어(20)는, 오목부(50)과 래치부(52)와 해제 버튼(54)을 추가로 구비한다.
6 shows a second example of a perspective view of the carrier 20 according to the present embodiment. In Fig. 6, the same elements as those in Fig. 4 are denoted by the same reference numerals, and a description thereof will be omitted. The carrying carrier 20 further includes a recess 50, a latch portion 52, and a release button 54.

오목부(50)는, 베이스부(28)에 있어서, 반송 캐리어(20)의 진행 방향에 대하여 수직 방향의 양측에 마련된다. 오목부(50)는, 베이스부(28) 본체와 비교했을 때 단단한 재료에 의해 형성된다. 오목부(50)는, 피치 규정 부재(30) 및 피치 규정 부재(32)와 동종의 재료로 형성될 수도 있다. 또한, 오목부(50)는, 베이스부(28)에 있어서, 교환 가능하게 마련될 수도 있다. 예를 들면, 반송 캐리어(20)의 진행 방향과 수직으로 판형상의 부재가 삽입된 경우, 해당 부재가 오목부(50)와 접촉함으로써, 반송 캐리어(20)는 정지할 수 있다. 즉, 오목부(50)는, 제1 정지부(330) 및/또는 제2 정지부(340)와 함께, 반송 캐리어(20)를 미리 정해진 위치에서 정지시키는 스토퍼의 기능을 가질 수 있다.
The concave portion 50 is provided on both sides of the base portion 28 in a direction perpendicular to the traveling direction of the carrier 20. The concave portion 50 is formed by a hard material as compared with the base portion 28 main body. The concave portion 50 may be formed of the same material as the pitch defining member 30 and the pitch defining member 32. [ The concave portion 50 may be provided in the base portion 28 in a replaceable manner. For example, when a plate-shaped member is inserted perpendicular to the traveling direction of the carrier 20, the carrier contacts the recess 50, so that the carrier 20 can be stopped. That is, the concave portion 50, together with the first stopper portion 330 and / or the second stopper portion 340, can have the function of a stopper for stopping the carrier carrier 20 at a predetermined position.

따라서, 피치 규정 부재(30) 및 오목부(50) 중 적어도 한쪽을 이용함으로써, 반송 캐리어(20)의 스토퍼를 마련할 수 있고, 이상과 같은 피치 규정 부재(30) 및 오목부(50)는, 제1 정지부(330) 및 제2 정지부(340)의 설계 자유도를 증가시킬 수 있다. 또한, 오목부(50)는, 단단한 재료로 형성됨으로써, 충돌에 의한 마모, 금, 결함, 파괴 등의 발생을 저감시킨다. 또한, 오목부(50)는, 교환 가능하게 형성되므로, 해당 오목부(50)에 손상 등이 발생해도, 오목부(50)를 교환하는 것만으로 반송 캐리어(20)를 재이용할 수 있다.
Therefore, by using at least one of the pitch defining member 30 and the concave portion 50, the stopper of the carrier 20 can be provided, and the pitch defining member 30 and the concave portion 50 as described above The first stopping part 330 and the second stopping part 340 can be increased. Further, the concave portion 50 is formed of a rigid material, thereby reducing the occurrence of wear due to collision, gold, defects, breakage, and the like. Since the concave portion 50 is formed to be replaceable, even if the concave portion 50 is damaged, the carrier carrier 20 can be reused by simply replacing the concave portion 50.

래치부(52)는, 피시험 디바이스(10)를 고정한다. 래치부(52)는, 예를 들면, 반송 캐리어(20)의 진행 방향에 대하여 수직 방향으로 피시험 디바이스(10)를 눌러, 해당 피시험 디바이스(10)를 고정한다. 래치부(52)는, 피시험 디바이스(10)의 양측에, 해당 피시험 디바이스(10)를 끼우도록 마련될 수도 있고, 이에 대신해, 피시험 디바이스(10)의 양측 중 어느 한쪽에 마련될 수도 있다. 도 5는, 래치부(52)가 피시험 디바이스(10)의 양측에 마련된 예를 나타낸다.
The latch portion 52 fixes the device under test 10. The latch portion 52 presses the device under test 10 in a direction perpendicular to the traveling direction of the carrier 20 to fix the device under test 10, for example. The latch portion 52 may be provided on both sides of the device under test 10 to sandwich the device under test 10 or may be provided on either side of the device under test 10 have. 5 shows an example in which the latch portions 52 are provided on both sides of the device under test 10.

해제 버튼(54)은, 눌러짐으로써, 래치부(52)의 피시험 디바이스(10)의 고정을 해제한다. 해제 버튼(54)은, 예를 들면, 제1 이동부(240)가 누름부에 의해 눌러져, 래치부(52)의 고정을 해제한다. 또한, 해제 버튼(54)은, 제2 이동부(250)가 누름부에 의해 눌러져, 래치부(52)의 고정을 해제한다.
The release button 54 releases the fixation of the device under test 10 of the latch portion 52 by depressing. For example, the release button 54 is depressed by the pushing portion of the first shifting portion 240 to release the latching portion 52 from being locked. Further, the release button 54 is pushed by the pushing portion of the second shifting portion 250 to release the latching portion 52 from being fixed.

이상의 본 실시형태에 따른 반송 캐리어(20)는, 베이스부(28)에 제1 차륜부(24) 및 제2 차륜부(26)가 마련되고, 반송 장치(200)에 마련된 가이드에 의해 규정되는 궤도를 이동한다. 그리고, 해당 베이스부(28)에 반송 캐리어(20)의 배열 피치를 규정하는 피치 규정 부재(30) 및 피치 규정 부재(32)가 장착됨으로써, 해당 궤도 내의 직선부(B)에 있어서, 복수의 반송 캐리어(20)는, 유저 트레이(210)의 피시험 디바이스(10)의 배열 피치와 대략 동일한 피치로 배열할 수 있다.
The carrier carrier 20 according to the present embodiment described above has the first wheel portion 24 and the second wheel portion 26 provided on the base portion 28 and is defined by a guide provided on the transport apparatus 200 Move the orbit. The pitch regulating member 30 and the pitch regulating member 32 that define the arrangement pitch of the carrier 20 in the base portion 28 are mounted on the straight portion B in the track, The carrier carriers 20 can be arranged at substantially the same pitch as the arrangement pitch of the devices under test 10 of the user tray 210. [

또한, 해당 베이스부(28)는, 이송 장치와 계합하는 샤프트(34)를 가지므로, 이송 장치가 반송 캐리어(20)를 이동시킬 수 있다. 특히, 샤프트(34)가 미리 정해진 제2 간격으로 나열된 후크부(350)에 계합함으로써, 해당 궤도 내의 직선부(C)에 있어서, 복수의 반송 캐리어(20)는, 테스트 트레이(110)의 피시험 디바이스(10)의 배열 피치와 대략 동일한 피치로 배열할 수 있다. 그리고, 반송 캐리어(20)는, 부분적으로 단단한 재료를 이용함으로써, 중량을 경감화시키면서, 내구성을 높일 수 있으므로, 반송 장치(200)를 내구성이 좋은 장수명의 장치로 할 수 있다.
Further, since the base portion 28 has the shaft 34 engaged with the conveying device, the conveying device can move the conveying carrier 20. Particularly, when the shaft 34 is engaged with the hook portion 350 arranged at the predetermined second interval, the plurality of conveying carriers 20 in the linear portion C in the trajectory, Can be arranged at substantially the same pitch as the arrangement pitch of the test device 10. [ Since the carrier carrier 20 uses a partially rigid material, it is possible to increase the durability while reducing the weight, so that the transfer device 200 can be made to have a long durability.

이상의 본 실시형태에 따른 반송 캐리어(20)를 이용한 반송 장치(200)의 동작을, 도 7 및 도 8을 이용하여 설명한다. 도 7은, 본 실시형태에 따른 반송 장치(200)의 동작 플로우의 제1 예를 나타낸다. 반송 장치(200)는, 도 7에 나타낸 스텝 S610에서 S640까지의 처리를 실행함으로써, 유저 트레이(210)로부터 테스트 트레이(110)에 복수의 피시험 디바이스(10)를 반송한다. 이에 따라, 시험 장치(100)는, 해당 복수의 피시험 디바이스(10)를 시험할 수 있다. 즉, 반송 장치(200)의 동작 플로우의 제1 예는, 피시험 디바이스(10)의 반입 동작의 플로우를 나타낸다.
The operation of the transport apparatus 200 using the transport carrier 20 according to the present embodiment described above will be described with reference to Figs. 7 and 8. Fig. Fig. 7 shows a first example of the operational flow of the transport apparatus 200 according to the present embodiment. The transport apparatus 200 carries out the processes from step S610 to S640 shown in Fig. 7 to transport the plurality of devices under test 10 from the user tray 210 to the test tray 110. [ Thus, the test apparatus 100 can test the plurality of devices under test 10. That is, the first example of the operation flow of the transport apparatus 200 shows the flow of the carry-in operation of the device under test 10.

우선, 반송 장치(200)는, 유저 트레이(210)에 수용된 복수의 피시험 디바이스(10)를 대응하는 복수의 반송 캐리어(20)에 탑재한다(S610). 본체부(220)는, 복수의 반송 캐리어(20)를, 직선부(B)에 있어서 유저 트레이(210)의 미리 정해진 제1 간격으로 배열시킨다. 즉, 제1 정지부(330)는, 직선부(B)의 +X축방향측의 단부에서 반송 캐리어(20)를 정지시킨다. 제1 정지부(330)는, 예를 들면, 반송 캐리어(20)의 진행 방향과 수직으로 판형상의 부재를 삽입시키고, 오목부(50)에 계합시켜 반송 캐리어(20)를 정지시킨다. 그리고, 제1 이동부(240)는, 직선부(B)에 있어서 미리 정해진 수의 반송 캐리어(20)가 배열한 것에 따라, 유저 트레이(210)로부터 복수의 반송 캐리어(20)로 복수의 피시험 디바이스(10)를 이동시킨다.
First, the transport apparatus 200 loads a plurality of devices under test 10 accommodated in the user tray 210 onto a plurality of transport carriers 20 (S610). The main body unit 220 arranges the plurality of carrier carriers 20 at a predetermined first interval of the user tray 210 in the linear portion B. That is, the first stopper 330 stops the carrier 20 at the end on the + X-axis direction side of the linear portion B. The first stopper portion 330 inserts a plate-like member perpendicularly to the traveling direction of the carrier 20 and engages the recessed portion 50 to stop the carrier carrier 20. The first moving part 240 moves the user tray 210 from the plurality of conveying carriers 20 to the plurality of conveying rollers 20 in accordance with the predetermined number of conveying carriers 20 arranged in the straight line part B, The test device 10 is moved.

이어서, 이송 장치(360)는, 피시험 디바이스(10)를 탑재한 복수의 반송 캐리어(20)를 이동시킨다(S620). 이송 장치(360)는, 예를 들면, 제1 정지부(330)가 삽입한 판형상의 부재를 원래로 되돌려 반송 캐리어(20)의 정지를 해제한 후에, 피치 규정 부재(32) 또는 샤프트(34)를 진행 방향을 향하여 누르고, 반송 캐리어(20)를 이동시킨다. 그리고, 제2 정지부(340)는, 반송 캐리어(20)가 궤도의 직선부(C)에 도달하기 전에, 해당 반송 캐리어(20)의 이동을 정지시킨다. 제2 정지부(340)는, 예를 들면, 반송 캐리어(20)의 진행 방향과 수직으로 판형상의 부재를 삽입시키고, 피치 규정 부재(30)에 접촉시켜 반송 캐리어(20)를 정지시킨다.
Subsequently, the conveying device 360 moves the plurality of conveying carriers 20 carrying the device under test 10 (S620). The transporting device 360 is a device for transporting the pitch defining member 32 or the shaft 34 (see FIG. 3) after, for example, originally returning the plate-like member inserted by the first stopping portion 330 to release the stopping of the transporting carrier 20 ) In the direction of the advancing direction, and moves the conveying carrier (20). The second stopper 340 stops the movement of the carrier carrier 20 before the carrier carrier 20 reaches the linear portion C of the track. The second stopper 340 inserts a plate-like member perpendicularly to the traveling direction of the transporting carrier 20, for example, and contacts the pitch defining member 30 to stop the transporting carrier 20.

제2 정지부(340)는, 반송 캐리어(20)의 정지와 해제를 반복하여, 피시험 디바이스(10)를 탑재한 반송 캐리어(20)를 1개씩 후크부(350)에 공급한다. 복수의 후크부(350)는, 반송 캐리어(20)와 각각 계합하여 이동시키고, 직선부(C)에 있어서, 해당 복수의 반송 캐리어(20)를 테스트 트레이(110)의 미리 정해진 제2 간격으로 배열시킨다.
The second stopping portion 340 repeats stopping and releasing of the transporting carrier 20 and supplies the transporting carriers 20 carrying the device under test 10 to the hooking portions 350 one by one. The plurality of hook portions 350 are engaged with the conveying carrier 20 to move the plurality of conveying carriers 20 in the straight portion C at a predetermined second interval of the test tray 110 .

이어서, 제2 이동부(250)는, 직선부(C)에 있어서 미리 정해진 수의 반송 캐리어(20)가 배열한 것에 따라, 복수의 반송 캐리어(20)로부터 복수의 피시험 디바이스(10)를 테스트 트레이(110)에 이동시킨다(S630). 반송 장치(200)는, 테스트 트레이(110) 및 유저 트레이(210)를, 피시험 디바이스(10)가 열방향으로 배열하는 방향으로 1열만큼 각각 이동시킨다. 그리고, 스텝 S610으로 돌아가서, 유저 트레이(210)의 다음 행에 배열하는 복수의 피시험 디바이스(10)를, 테스트 트레이(110)의 다음 행으로 이동시킨다.
Subsequently, the second moving section 250 moves the plurality of DUTs 10 from the plurality of carrier carriers 20, as a predetermined number of the carrier carriers 20 are arranged in the straight line section C, To the test tray 110 (S630). The transport apparatus 200 moves the test tray 110 and the user tray 210 by one row in the direction in which the devices under test 10 are arranged in the column direction. Then, the process returns to step S610 to move the plurality of devices under test 10 arranged in the next row of the user tray 210 to the next row of the test tray 110. [

반송 장치(200)는, 스텝 S610에서 스텝 630까지의 동작을 반복하여, 유저 트레이(210)로부터 테스트 트레이(110)로, 복수의 피시험 디바이스(10)를 1행마다 이동시킨다(S640: No). 그리고, 유저 트레이(210)로부터 테스트 트레이(110)로의 이동이 종료된 경우(S640: Yes), 반송 장치(200)는 반입 동작을 종료시킨다. 이에 따라, 시험 장치(100)는, 해당 테스트 트레이(110)에 탑재된 복수의 피시험 디바이스(10)의 시험을 개시할 수도 있다.
The transport apparatus 200 repeats the operations from step S610 to step 630 to move the plurality of devices under test 10 from the user tray 210 to the test tray 110 every one row (S640: No ). When the movement from the user tray 210 to the test tray 110 is terminated (S640: Yes), the transport apparatus 200 ends the carry-in operation. Accordingly, the test apparatus 100 may start the test of a plurality of devices under test 10 mounted on the test tray 110. [

도 8은, 본 실시형태에 따른 반송 장치(200)의 동작 플로우의 제2 예를 나타낸다. 반송 장치(200)는, 도 8에 나타낸 스텝 S660에서 S690까지의 처리를 실행함으로써, 테스트 트레이(110)로부터 유저 트레이(210)로 복수의 피시험 디바이스(10)를 반송한다. 이에 따라, 반송 장치(200)는, 예를 들면, 시험 장치(100)의 시험이 종료된 후에, 복수의 피시험 디바이스(10)를 유저 트레이(210)로 되돌릴 수 있다. 즉, 반송 장치(200)의 동작 플로우의 제2 예는, 피시험 디바이스(10)의 반출 동작의 플로우를 나타낸다.
8 shows a second example of the operational flow of the transport apparatus 200 according to the present embodiment. The transport apparatus 200 transports a plurality of devices under test 10 from the test tray 110 to the user tray 210 by performing the processes from step S660 to S690 shown in Fig. Thus, the transport apparatus 200 can return a plurality of devices under test 10 to the user tray 210 after the test of the test apparatus 100 is completed, for example. That is, the second example of the operation flow of the transport apparatus 200 shows the flow of the take-out operation of the device under test 10.

제2 이동부(250)는, 테스트 트레이(110)에 탑재된 복수의 피시험 디바이스(10)를, 복수의 반송 캐리어(20)에 이동시킨다(S660). 이어서, 복수의 후크부(350) 및 이송 장치(230)는, 복수의 반송 캐리어(20)를 이동시킨다(S670). 제1 정지부(330)는, 반송 캐리어(20)의 진행 방향과 수직으로 판형상의 부재를 삽입시키고, 오목부(50)에 계합시켜 반송 캐리어(20)를 정지시키고, 복수의 반송 캐리어(20)를, 직선부(B)에 있어서 유저 트레이(210)의 미리 정해진 제1 간격으로 배열시킨다.
The second moving unit 250 moves the plurality of devices under test 10 mounted on the test tray 110 to the plurality of carrier carriers 20 (S660). Subsequently, the plurality of hook portions 350 and the conveying device 230 move the plurality of conveying carriers 20 (S670). The first stopper portion 330 is formed by inserting a plate-shaped member perpendicular to the traveling direction of the carrier 20 and engaging the recessed portion 50 to stop the carrier carrier 20, ) Are arranged at a predetermined first interval of the user tray 210 in the linear portion B.

이어서, 제1 이동부(240)는, 복수의 반송 캐리어(20)로부터 유저 트레이(210)로 복수의 피시험 디바이스(10)를 이동시킨다(S680). 반송 장치(200)는, 스텝 S660에서 스텝 680까지의 동작을 반복하여, 테스트 트레이(110)로부터 유저 트레이(210)로, 복수의 피시험 디바이스(10)를 1행마다 이동시킨다(S690: No). 그리고, 테스트 트레이(110)로부터 유저 트레이(210)로의 이동이 종료된 경우(S690: Yes), 반송 장치(200)는, 피시험 디바이스(10)의 반출 동작을 종료시킨다.
Subsequently, the first moving unit 240 moves the plurality of devices under test 10 from the plurality of carrier carriers 20 to the user tray 210 (S680). The conveying apparatus 200 repeats the operations from step S660 to step 680 to move the plurality of devices under test 10 from the test tray 110 to the user tray 210 every one row (S690: No ). Then, when the movement from the test tray 110 to the user tray 210 is terminated (S690: Yes), the transport apparatus 200 ends the transport operation of the device under test 10.

이상과 같이, 본 실시형태에 따른 반송 장치(200)는, 피시험 디바이스(10)의 반입 동작 및 반출 동작을 실행할 수 있다. 따라서, 반송 장치(200)는, 해당 반입 동작 및 반출 동작의 양쪽 모두를 실행할 수도 있다. 즉, 하나의 반송 장치(200)가 피시험 디바이스(10)를 반입하고, 시험 장치(100)의 시험이 종료된 후에, 해당 하나의 반송 장치(200)가 피시험 디바이스(10)를 반출할 수도 있다. 또한, 복수의 반송 장치(200)가 마련되고, 복수의 반송 장치(200)가 피시험 디바이스(10)를 반입하고, 시험 장치(100)의 시험이 종료된 후에, 해당 복수의 반송 장치(200)가 피시험 디바이스(10)을 반출할 수도 있다.
As described above, the carrying apparatus 200 according to the present embodiment can carry out the carrying-in and carrying-out operations of the device under test 10. Therefore, the carrying apparatus 200 may execute both the carrying-in and carrying-out operations. That is, after one transport apparatus 200 loads the device under test 10 and the test of the test apparatus 100 is completed, the one transport apparatus 200 takes out the device under test 10 It is possible. After a plurality of transport apparatuses 200 are loaded and a plurality of transport apparatuses 200 carry the test device 10 and the test of the test apparatus 100 is completed, the plurality of transport apparatuses 200 May also take the device under test 10 out.

이에 대신해, 반입 동작을 실행하는 반송 장치(200)와, 반출 동작을 실행하는 반송 장치(200)가, 각각 마련될 수도 있다. 즉, 하나 또는 복수의 반송 장치(200)가 피시험 디바이스(10)를 반입하고, 시험 장치(100)의 시험이 종료된 후에, 반입 동작을 실행한 반송 장치(200)와는 다른 하나 또는 복수의 반송 장치(200)가 피시험 디바이스(10)를 반출할 수도 있다. 이와 같이, 반송 장치(200)는, 피시험 디바이스(10)를 수용하는 트레이의 행마다(또는 열마다), 반입 동작 및 반출 동작을 실행할 수 있으므로, 각 동작을 병렬로 실행할 수 있다. 따라서, 반송 장치(200)는, 실행해야 하는 시험, 시험 시간 등에 따라, 설치 대수 및 반송 동작을 선택할 수 있고, 시험 실행의 자유도를 향상시켜, 효율적인 시험을 실행할 수 있다.
Alternatively, the transport apparatus 200 for carrying out the carry-in operation and the transport apparatus 200 for carrying out the carry-out operation may be provided, respectively. That is, after one or a plurality of the transport apparatuses 200 carry the test device 10 and the test of the test apparatus 100 is completed, one or a plurality of transport apparatuses 200 different from the transport apparatus 200 performing the carry- The transport apparatus 200 may take out the device under test 10. [ As described above, the carrying apparatus 200 can carry out the carrying-in and carrying-out operations for each row (or row) of the trays accommodating the device under test 10, and therefore can perform each operation in parallel. Therefore, the transport apparatus 200 can select the number of assemblies and the transport operation in accordance with the test to be performed, the test time, etc., and the degree of freedom of test execution can be improved, and an efficient test can be performed.

이상의 본 실시형태의 반송 장치(200)는, 복수의 피시험 디바이스(10)를 반송하는 것을 설명하였다. 이에 대신해, 반송 장치(200)는, 피시험 디바이스(10)를 탑재하는 디바이스 유지기를, 피시험 디바이스(10)마다 반송할 수도 있다. 이 경우, 반송 캐리어(20)는, 해당 디바이스 유지기를 탑재하여 피시험 디바이스(10)마다 이동한다.
The transport apparatus 200 of the present embodiment described above transports a plurality of devices under test 10. Alternatively, the transport apparatus 200 may transport the device holding device for mounting the device under test 10 for each of the devices under test 10. In this case, the carrier carrier 20 mounts the device holder and moves for each of the devices under test 10.

이상, 본 발명을 실시의 형태를 이용하여 설명했지만, 본 발명의 기술적 범위는 상기 실시의 형태에 기재된 범위에 한정되지는 않는다. 상기 실시의 형태에, 다양한 변경 또는 개량을 가하는 것이 가능하다는 것이 당업자에게 명백하다. 이와 같은 변경 또는 개량을 가한 형태도 본 발명의 기술적 범위에 포함될 수 있는 것이, 특허 청구의 범위의 기재로부터 명백하다.
Although the present invention has been described using the embodiments, the technical scope of the present invention is not limited to the scope described in the above embodiments. It is apparent to those skilled in the art that various modifications and improvements can be added to the above embodiments. It is apparent from the description of the claims that the modified or improved mode can be included in the technical scope of the present invention.

특허 청구의 범위, 명세서, 및 도면 중에 있어서 나타낸 장치, 시스템, 프로그램, 및 방법에 있어서의 동작, 순서, 스텝, 및 단계 등의 각 처리의 실행 순서는, 특별히 「보다 전에」, 「앞서」 등으로 명시되지 않고, 또한, 전처리의 출력을 후처리에서 이용하지 않는 한, 임의의 순서로 실현할 수 있는 것에 유의해야 한다. 특허 청구의 범위, 명세서, 및 도면 중의 동작 플로우에 관하여, 편의상 「우선,」, 「이어서,」 등을 이용하여 설명했다고 하더라도, 이 순서대로 실시하는 것이 필수인 것을 의미하는 것은 아니다.
The order of execution of each process such as operation, sequence, step, and steps in the claims, specification, and apparatuses, systems, programs, and methods shown in the drawings is not particularly limited to "before", " And the output of the preprocessing can be realized in an arbitrary order unless they are used in the post-processing. Although the description of the patent claims, the specification, and the operation flow in the drawings has been made using "first", "next", and the like for convenience, it does not mean that it is necessary to carry out the steps in this order.

10: 피시험 디바이스
20: 반송 캐리어
22: 디바이스 탑재부
24: 제1 차륜부
26: 제2 차륜부
28: 베이스부
30: 피치 규정 부재
32: 피치 규정 부재
34: 샤프트
36: 제1 베어링부
38: 제2 베어링부
40: 샤프트 대향면
42: 보강 부재
44: 보강 부재
50: 오목부
52: 래치부
54: 해제 버튼
100: 시험 장치
110: 테스트 트레이
200: 반송 장치
210: 유저 트레이
220: 본체부
230: 이송 장치
240: 제1 이동부
250: 제2 이동부
310: 제1 판부
312: 제1 가이드
314: 제2 가이드
320: 제2 판부
322: 제1 가이드
324: 제2 가이드
330: 제1 정지부
340: 제2 정지부
350: 후크부
352: 벨트부
354: 제1 활차
356: 제2 활차
360: 이송 장치10: Device under test
20: Carriage carrier
22: Device mounting part
24: First wheel portion
26: Second wheel portion
28: Base portion
30: pitch regulation member
32: pitch defining member
34: Shaft
36: first bearing portion
38: second bearing part
40: shaft facing surface
42: reinforcing member
44: reinforcing member
50:
52:
54: Release button
100: Test apparatus
110: Test tray
200:
210: User tray
220:
230: Feeding device
240: first moving part
250:
310: first plate
312: First guide
314: Second Guide
320: second plate
322: First guide
324: Second Guide
330:
340:
350:
352:
354: 1st pulley
356: Second pulley
360: Feeding device

Claims

In a carrier carrying a device mounted thereon,
A device mounting section for mounting the device;
A first wheel portion contacting a first surface of a guide defining a trajectory for moving the carrier carrier; And
And a second wheel portion
.
Carrier carrier.

The method according to claim 1,
And a base portion on which the first wheel portion and the second wheel portion are provided and on which the device mounting portion is mounted,
Carrier carrier.

3. The method of claim 2,
Wherein each of the first and second wheel portions has a plurality of wheels arranged in parallel to a traveling direction of the carrier,
Carrier carrier.

3. The method of claim 2,
Wherein each of the first wheel portion and the second wheel portion is provided corresponding to each of the first guide and the second guide,
Carrier carrier.

3. The method of claim 2,
The first wheel portion abuts against the first surface parallel to the device mounting surface on which the device is mounted,
Wherein the second wheel portion is in contact with the second surface perpendicular to the device mounting surface,
Carrier carrier.

6. The method of claim 5,
The diameter of the wheel having the first wheel portion is larger than the diameter of the wheel having the second wheel portion,
Carrier carrier.

3. The method of claim 2,
Further comprising a pitch regulating member which is replaceably mounted on the front side and the rear side in the traveling direction of the carrying carrier with respect to the base portion and defines a pitch in the traveling direction of the carrying carrier,
Carrier carrier.

8. The method of claim 7,
Wherein the pitch defining member is formed by a rigid material as compared with the base portion,
Carrier carrier.

8. The method of claim 7,
The pitch defining member on the front side in the traveling direction of the carrying carrier is longer in the direction perpendicular to the device than the pitch defining member on the rear side,
Carrier carrier.

3. The method of claim 2,
And the base portion has a shaft engaged with a conveying device for moving the conveying carrier.

11. The method of claim 10,
Wherein the shaft is rotatably provided with respect to a main body of the base portion,
Carrier carrier.

11. The method of claim 10,
The base unit includes:
A first bearing portion and a second bearing portion that rotatably hold both ends of the shaft,
And a second bearing portion, which is closer to the device mounting portion than the shaft, is provided between the first bearing portion and the second bearing portion,
To have,
And a reinforcing member of the base portion is provided on the shaft opposing surface so as to be biased toward the front side in the traveling direction of the carrying carrier.
Carrier carrier.

3. The method of claim 2,
The base portion has concave portions on both sides in a direction perpendicular to the traveling direction of the carrying carrier,
Wherein the concave portion is formed by a rigid material as compared with the body of the base portion,
Carrier carrier.

A plurality of transport carriers according to any one of claims 1 to 13;
A guide defining a trajectory for moving the plurality of carrier carriers; And
And a conveying device for moving the plurality of conveying carriers
.
Conveying device.

A base part in a carrier according to any one of claims 2 to 13.