KR20160106831A - Apparatus for cleaning nozzle - Google Patents

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KR20160106831A
KR20160106831A KR1020150029229A KR20150029229A KR20160106831A KR 20160106831 A KR20160106831 A KR 20160106831A KR 1020150029229 A KR1020150029229 A KR 1020150029229A KR 20150029229 A KR20150029229 A KR 20150029229A KR 20160106831 A KR20160106831 A KR 20160106831A
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nozzle
cleaning liquid
discharge port
cleaning
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KR1020150029229A
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천주홍
이광연
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주식회사 탑 엔지니어링
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Abstract

A nozzle cleaning apparatus according to an embodiment of the present invention, which is to rapidly and smoothly clean a nozzle without dismantlement, comprises: a nozzle support in which the nozzle is installed; a cleaning solution supply unit which is connected to the nozzle through a supply tube and supplies a cleaning solution to the inside of the nozzle; a container which receives the cleaning solution discharged from the outlet of the nozzle; and a blocking unit which blocks the outlet of the nozzle.

Description

노즐 청소 장치 {APPARATUS FOR CLEANING NOZZLE}[0001] APPARATUS FOR CLEANING NOZZLE [0002]

본 발명은 노즐을 자동으로 청소하는 노즐 청소 장치에 관한 것이다.The present invention relates to a nozzle cleaning apparatus for automatically cleaning a nozzle.

일반적으로, 액정 패널을 제조하는 과정에서는, 기판 사이의 간격을 유지하는 한편 기판 사이에 채워진 액정이 외부로 새는 것을 방지하기 위하여, 적어도 어느 하나의 기판에 페이스트를 소정의 패턴으로 도포한다.Generally, in the process of manufacturing a liquid crystal panel, a paste is applied to at least one of the substrates in a predetermined pattern in order to maintain the gap between the substrates and prevent the liquid crystal filled between the substrates from leaking to the outside.

기판에 페이스트 패턴을 형성하기 위하여 페이스트 디스펜서라는 장비가 사용되고 있다. 페이스트 디스펜서는, 프레임 상에 배치되며 기판을 지지하는 스테이지와, 페이스트가 수용되는 시린지 및 시린지와 연통되는 노즐을 구비하는 디스펜싱 헤드유닛과, 디스펜싱 헤드유닛을 지지하는 디스펜싱 헤드유닛 지지프레임으로 구성된다.A paste dispenser is used to form a paste pattern on a substrate. The paste dispenser includes a dispensing head unit having a stage for supporting a substrate, a stage for supporting the substrate, a syringe for receiving the paste, and a nozzle communicating with the syringe, and a dispensing head unit supporting frame for supporting the dispensing head unit .

이러한 페이스트 디스펜서는 노즐과 기판 사이의 상대 위치를 변화시켜가면서 기판 상에 페이스트 패턴을 형성한다. 즉, 페이스트 디스펜서는, 디스펜싱 헤드유닛에 장착된 노즐을 수직 방향으로 이동시켜 노즐과 기판 사이의 갭을 일정하게 조절하면서, 노즐 및/또는 기판을 수평 방향으로 이동시키고, 노즐로부터 페이스트를 토출시켜 기판 상에 페이스트 패턴을 형성한다.Such a paste dispenser forms a paste pattern on a substrate while changing a relative position between the nozzle and the substrate. That is, the paste dispenser moves the nozzle and / or the substrate in the horizontal direction while moving the nozzle mounted on the dispensing head unit in the vertical direction to uniformly adjust the gap between the nozzle and the substrate, and discharges the paste from the nozzle Thereby forming a paste pattern on the substrate.

노즐로부터 페이스트를 토출시켜 기판 상에 페이스트 패턴을 형성하는 과정에서, 노즐의 내부에 페이스트가 고착되거나 노즐의 토출구 주변에 페이스트가 부착될 수 있다. 노즐의 내부에 페이스트가 고착되거나 노즐의 토출구 주변에 페이스트가 부착되는 경우에는, 노즐의 토출구가 폐색될 수 있으며, 이에 따라, 페이스트의 토출이 원활하게 진행되지 않을 수 있다.In the process of forming the paste pattern on the substrate by discharging the paste from the nozzle, the paste may be fixed to the inside of the nozzle or the paste may be adhered around the discharge port of the nozzle. In the case where the paste is adhered to the inside of the nozzle or the paste is adhered to the periphery of the discharge port of the nozzle, the discharge port of the nozzle may be closed, so that the discharge of the paste may not proceed smoothly.

따라서, 기판 상에 페이스트 패턴을 원활하게 형성하기 위하여, 노즐을 청소하는 작업이 요구된다. 이를 위하여, 종래의 경우에는, 작업자가 노즐을 완전히 분해한 후 노즐의 부품을 수작업으로 닦으면서 노즐을 청소하였으므로, 노즐을 청소하는 과정에 많은 시간이 소요되었고, 이에 따라, 공정의 효율성이 저하되는 문제가 있다.Therefore, in order to smoothly form the paste pattern on the substrate, an operation of cleaning the nozzle is required. For this purpose, in the conventional case, since the operator cleaned the nozzle while manually cleaning the nozzle part after manually disassembling the nozzle, it took a lot of time to clean the nozzle, and thus the efficiency of the process deteriorated there is a problem.

대한민국 공개특허번호 제10-2012-0069141호Korean Patent Publication No. 10-2012-0069141

본 발명은 상기한 종래 기술의 문제점을 해결하기 위한 것으로, 본 발명의 목적은, 노즐을 분해하지 않고 신속하고 원활하게 청소할 수 있는 노즐 청소 장치를 제공하는 데에 있다.SUMMARY OF THE INVENTION It is an object of the present invention to provide a nozzle cleaning apparatus capable of quickly and smoothly cleaning a nozzle without disassembling it.

상기한 목적을 달성하기 위한 본 발명의 실시예에 따른 노즐 청소 장치는, 노즐이 장착되는 노즐 지지대와, 노즐과 공급 튜브를 통하여 연결되어 노즐의 내부로 세정액을 공급하는 세정액 공급 유닛과, 노즐의 토출구로부터 토출되는 세정액을 수용하는 용기와, 노즐의 토출구를 차단하는 차단 유닛을 포함할 수 있다.According to an aspect of the present invention, there is provided a nozzle cleaning apparatus including a nozzle support to which a nozzle is mounted, a cleaning liquid supply unit connected to the nozzle through a supply tube to supply a cleaning liquid into the nozzle, A container for containing the cleaning liquid discharged from the discharge port, and a blocking unit for blocking the discharge port of the nozzle.

차단 유닛은, 노즐의 토출구에 접촉하는 방향 및 노즐의 토출구로부터 이격되는 방향으로 이동 가능하게 설치되는 차단 부재와, 차단 부재와 연결되어 차단 부재가 노즐의 토출구를 차단하도록 차단 부재를 이동시키는 차단 부재 구동 장치를 포함할 수 있다.The blocking unit includes a blocking member movably installed in a direction to contact the ejection port of the nozzle and in a direction away from the ejection port of the nozzle, and a blocking member connected to the blocking member to move the blocking member to block the ejection port of the nozzle, And a driving device.

노즐은, 토출구를 가지는 실린더와, 실린더 내에 회전 가능하게 설치되는 이송 스크류를 포함하고, 노즐 청소 장치는, 노즐의 내부에서 세정액을 순환시키도록 이송 스크류를 회전시키는 노즐 구동 유닛을 포함할 수 있다.The nozzle may include a cylinder having a discharge port and a transporting screw rotatably installed in the cylinder, and the nozzle cleaning device may include a nozzle driving unit for rotating the transporting screw to circulate the cleaning liquid inside the nozzle.

노즐 구동 유닛은, 구동력을 발생시키는 구동 모터와, 구동 모터를 이송 스크류에 연결시키는 연결 링크를 포함하며, 연결 링크는 이송 스크류와 연결되는 제1 링크부와, 구동 모터의 구동축에 연결되는 제2 링크부와, 제1 링크부 및 제2 링크부 사이에서 제1 링크부 및 제2 링크부에 각각 회전 가능하게 연결되는 조인트부를 포함할 수 있다.The nozzle driving unit includes a driving motor for generating a driving force and a connecting link for connecting the driving motor to the feeding screw. The connecting link includes a first link portion connected to the feeding screw, and a second link portion connected to the driving shaft of the driving motor. And a joint portion rotatably connected to the first link portion and the second link portion between the first link portion and the second link portion, respectively.

세정액 공급 유닛은, 세정액이 수용되며 공급 튜브를 통하여 노즐과 연결되는 세정액 탱크와, 세정액 탱크에 설치되어 세정액 탱크 내에 수용된 세정액의 수위를 감지하는 수위 센서를 포함할 수 있다.The rinsing liquid supply unit may include a rinsing liquid tank in which the rinsing liquid is received and connected to the nozzle through the supply tube and a water level sensor installed in the rinsing liquid tank and sensing the level of the rinsing liquid contained in the rinsing liquid tank.

그리고, 노즐 청소 장치는 노즐과 공급 튜브를 통하여 연결되어 노즐의 내부로 기체를 공급하는 기체 공급 유닛을 더 포함할 수 있다.The nozzle cleaning apparatus may further include a gas supply unit connected to the nozzle through a supply tube to supply gas into the nozzle.

본 발명의 실시예에 따른 노즐 청소 장치는, 노즐을 분해하지 않고, 노즐의 내부에 세정액을 공급하여 노즐을 신속하고 원활하게 청소할 수 있으므로, 페이스트를 기판에 도포하는 공정의 효율성을 향상시킬 수 있다.The nozzle cleaning apparatus according to the embodiment of the present invention can quickly and smoothly clean the nozzle by supplying the cleaning liquid into the nozzle without disassembling the nozzle so that the efficiency of the process of applying the paste to the substrate can be improved .

또한, 본 발명의 실시예에 따른 노즐 청소 장치는, 노즐을 세정액으로 세정한 후 건조시킬 수 있으므로, 노즐을 신속하게 청소하여 사용할 수 있다.In addition, since the nozzle cleaning apparatus according to the embodiment of the present invention can clean the nozzle after it is cleaned with the cleaning liquid, the nozzle can be quickly cleaned and used.

도 1은 본 발명의 실시예에 따른 노즐 청소 장치가 도시된 개략도이다.
도 2는 본 발명의 실시예에 따른 노즐 청소 장치로 청소되는 노즐이 분해되어 도시된 개략도이다.
도 3은 본 발명의 실시예에 따른 노즐 청소 장치의 제어 블록도이다.
도 4 및 도 5는 본 발명의 실시예에 따른 노즐 청소 장치의 작동이 개략적으로 도시된 사시도이다.
도 6은 본 발명의 다른 실시예에 따른 노즐 청소 장치가 도시된 개략도이다.
도 7은 본 발명의 다른 실시예에 따른 노즐 청소 장치의 제어 블록도이다.1 is a schematic view showing a nozzle cleaning apparatus according to an embodiment of the present invention.
FIG. 2 is a schematic view illustrating a nozzle cleaned by a nozzle cleaning apparatus according to an embodiment of the present invention.
3 is a control block diagram of a nozzle cleaning apparatus according to an embodiment of the present invention.
4 and 5 are perspective views schematically illustrating the operation of the nozzle cleaning apparatus according to the embodiment of the present invention.
6 is a schematic view illustrating a nozzle cleaning apparatus according to another embodiment of the present invention.
7 is a control block diagram of a nozzle cleaning apparatus according to another embodiment of the present invention.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예에 따른 노즐 청소 장치에 대하여 설명한다.Hereinafter, a nozzle cleaning apparatus according to an embodiment of the present invention will be described with reference to the accompanying drawings.

본 발명의 실시예에 따른 노즐 청소 장치는 본 명세서의 "발명의 배경이 되는 기술" 및 "선행기술문헌"에 기재된 페이스트 디스펜서의 노즐을 청소하는 데에 사용될 수 있다. 또한, 본 발명의 실시예에 따른 노즐 청소 장치는, 상기한 페이스트 디스펜서와 독립적으로 구비될 수 있거나, 상기한 페이스트 디스펜서에 설치될 수 있다.The nozzle cleaning apparatus according to the embodiment of the present invention can be used for cleaning the nozzles of the paste dispenser described in the "Background of the Invention" and "Prior Art Document" of the present specification. Further, the nozzle cleaning apparatus according to the embodiment of the present invention may be provided independently of the paste dispenser, or may be installed in the paste dispenser.

도 1 내지 도 3에 도시된 바와 같이, 본 발명의 실시예에 따른 노즐 청소 장치는, 페이스트 디스펜서의 노즐(10)이 장착되는 노즐 지지대(20)와, 노즐 지지대(20)에 설치되어 노즐(10)을 노즐 지지대(20)에 고정시키는 고정 유닛(30)과, 노즐(10)로 세정액을 공급하는 세정액 공급 유닛(40)과, 노즐(10)의 토출구(11)로부터 세정액이 토출되도록 노즐(10)을 구동시키는 노즐 구동 유닛(50)과, 노즐(10)의 토출구(11)로부터 분사되는 세정액을 수용하는 용기(60)와, 노즐(10)의 토출구(11)를 차단하는 차단 유닛(70)과, 세정액 공급 유닛(40), 노즐 구동 유닛(50) 및 차단 유닛(70)을 제어하는 제어 유닛(80)을 포함할 수 있다.1 to 3, a nozzle cleaning apparatus according to an embodiment of the present invention includes a nozzle support 20 on which a nozzle 10 of a paste dispenser is mounted, a nozzle support 20 installed on the nozzle support 20, A cleaning liquid supply unit 40 for supplying a cleaning liquid to the nozzle 10 and a cleaning liquid supply unit 40 for supplying the cleaning liquid to the nozzle 10 so as to discharge the cleaning liquid from the discharge port 11 of the nozzle 10. [ A container 60 for accommodating the cleaning liquid jetted from the discharge port 11 of the nozzle 10 and a blocking unit 60 for blocking the discharge port 11 of the nozzle 10, A cleaning liquid supply unit 40, a nozzle driving unit 50 and a blocking unit 70. The control unit 80 controls the cleaning liquid supply unit 40, the nozzle driving unit 50,

노즐(10)은, 토출구(11)가 형성되는 관 형상의 실린더(12)와, 실린더(12) 내에 회전 가능하게 설치되는 이송 스크류(13)와, 이송 스크류(13)의 일단에 연결되며 노즐 구동 유닛(50)과 연결되는 연결 부재(14)를 포함할 수 있다.The nozzle 10 includes a tubular cylinder 12 in which a discharge port 11 is formed, a conveyance screw 13 rotatably installed in the cylinder 12, And a connecting member 14 connected to the driving unit 50.

실린더(12)의 일측에는 외부로부터 페이스트가 공급되는 입구(15)가 형성되며, 실린더(12)의 하측 끝단에는 페이스트가 토출되는 토출구(11)가 형성된다. 노즐(10)이 청소를 위해 노즐 청소 장치의 노즐 지지대(20)에 장착된 경우에, 입구(15)는 공급 튜브(41)를 통하여 세정액 공급 유닛(40)과 연결될 수 있고, 이에 따라, 토출구(11)로부터 세정액이 토출될 수 있다.An inlet 15 through which paste is supplied from the outside is formed at one side of the cylinder 12 and a discharge port 11 through which paste is discharged is formed at the lower end of the cylinder 12. [ When the nozzle 10 is mounted on the nozzle support 20 of the nozzle cleaning apparatus for cleaning, the inlet 15 can be connected to the cleaning liquid supply unit 40 through the supply tube 41, The cleaning liquid can be discharged from the cleaning liquid tank 11.

이송 스크류(13)는 복수의 나사산을 가지는 형상으로 형성되어 회전되면서 실린더(12)의 입구(15)를 통하여 공급되는 페이스트를 토출구(11)를 통하여 토출시킨다. 노즐(10)이 청소를 위해 노즐 청소 장치의 노즐 지지대(20)에 장착된 경우에, 이송 스크류(13)는 노즐 구동 유닛(50)의 작동에 의해 회전되면서, 입구(15)를 통하여 공급된 세정액을 노즐(10)의 내부에서 순환시킨다. 이러한 과정에서 세정액에 의해 노즐(10)의 내부가 세정될 수 있다.The transfer screw 13 is formed in a shape having a plurality of threads and discharges the paste supplied through the inlet 15 of the cylinder 12 through the discharge port 11 while being rotated. When the nozzle 10 is mounted on the nozzle support 20 of the nozzle cleaning apparatus for cleaning, the transporting screw 13 is rotated by the operation of the nozzle drive unit 50 and is supplied through the inlet 15 The cleaning liquid is circulated inside the nozzle 10. In this process, the inside of the nozzle 10 can be cleaned by the cleaning liquid.

연결 부재(14)는 이송 스크류(13)가 실린더(12)에 삽입된 상태에서 실린더(12)의 외부로 노출되어 이송 스크류(13)로 동력을 전달하는 역할을 한다. 연결 부재(14)는 이송 스크류(13)와 연결된 상태로 이송 스크류(13)와 함께 운반될 수 있다. 예를 들면, 연결 부재(14)는 이송 스크류(13)와 일체로 구성될 수 있다. 연결 부재(14)는 엔지니어링 플라스틱(예를 들면, PEEK)으로 이루어지는 것이 바람직하며, 이에 따라, 연결 부재(14)를 통하여 동력을 전달하는 과정에서 마찰에 의해 이물질이 발생하는 것을 최소화할 수 있다.The connecting member 14 is exposed to the outside of the cylinder 12 in a state where the conveying screw 13 is inserted into the cylinder 12 and serves to transmit power to the conveying screw 13. The connecting member 14 can be carried with the conveying screw 13 in conjunction with the conveying screw 13. For example, the connecting member 14 may be integrally formed with the conveying screw 13. [ The connecting member 14 is preferably made of engineering plastic (for example, PEEK). Accordingly, it is possible to minimize the generation of foreign matter due to friction in the process of transmitting power through the connecting member 14.

노즐 지지대(20)는 페이스트 디스펜서와 독립적으로 마련되는 장치 또는 공간에 설치될 수 있다. 다른 예로서, 노즐 지지대(20)는 페이스트 디스펜서에 설치될 수 있다. 이 경우, 노즐 지지대(20)는 디스펜싱 헤드유닛을 이동 가능하게 지지하는 디스펜싱 헤드유닛 지지프레임에 설치될 수 있다. 노즐 지지대(20)가 페이스트 디스펜서에 설치되는 경우, 작업자는 디스펜싱 헤드유닛으로부터 노즐(10)을 분리한 후 곧바로 노즐(10)을 노즐 지지대(20)에 장착하여 청소할 수 있으므로, 공정의 효율성을 향상시킬 수 있다.The nozzle support 20 may be installed in a device or space provided independently of the paste dispenser. As another example, the nozzle support 20 may be installed in a paste dispenser. In this case, the nozzle support 20 may be installed in the dispensing head unit support frame for movably supporting the dispensing head unit. When the nozzle support 20 is installed in the paste dispenser, the operator can remove the nozzle 10 from the dispensing head unit and immediately mount the nozzle 10 on the nozzle support 20 to clean the process. Can be improved.

고정 유닛(30)은 노즐(10)의 선단을 가압하여 노즐(10)을 노즐 지지대(20)에 고정시키는 래치로서 구성될 수 있다. 다만, 본 발명은 이러한 고정 유닛(30)의 구성에 한정되지 않으며, 고정 유닛(30)으로서 유압 또는 공압에 의해 작동하는 클램프를 구비한 장치 또는 전력에 의해 작동하는 솔레노이드를 구비한 장치와 같은 다양한 구성이 사용될 수 있다.The fixing unit 30 may be configured as a latch for pressing the tip of the nozzle 10 to fix the nozzle 10 to the nozzle support 20. However, the present invention is not limited to the configuration of the fixed unit 30, and may be applied to various types of apparatuses such as a device having a clamp operated by hydraulic or pneumatic pressure as the fixed unit 30, or a device equipped with a solenoid Configuration can be used.

세정액 공급 유닛(40)은, 세정액이 수용되며 공급 튜브(41)를 통하여 노즐(10)과 연결되는 세정액 탱크(42)와, 공급 튜브(41)로 세정액을 공급하거나 세정액의 공급을 차단하는 밸브(45)를 포함할 수 있다. 세정액으로서 아세톤이 사용될 수 있다.The cleaning liquid supply unit 40 includes a rinse liquid tank 42 containing a rinse liquid and connected to the nozzle 10 through a supply tube 41, a valve 42 for supplying a rinse liquid to the supply tube 41, (45). Acetone may be used as a cleaning liquid.

예를 들면, 세정액 탱크(42)는 노즐(10)에 비하여 높은 위치에 위치되어 세정액 탱크(42) 내의 세정액이 중력에 의하여 노즐(10)로 공급될 수 있다. 다른 예로서, 세정액이 세정액 탱크(42)로부터 공급 튜브(41)를 통하여 노즐(10)로 강제로 공급될 수 있도록, 세정액 탱크(42) 내의 세정액을 가압하는 수단(예를 들면, 세정액 탱크(42)와 연결된 압력 발생 장치) 또는 세정액 탱크(42) 내의 세정액을 압송하는 수단(예를 들면, 펌프)이 더 구비될 수 있다.For example, the cleaning liquid tank 42 is located at a higher position than the nozzle 10, and the cleaning liquid in the cleaning liquid tank 42 can be supplied to the nozzle 10 by gravity. As another example, means for pressurizing the cleaning liquid in the cleaning liquid tank 42 (for example, a cleaning liquid tank (not shown) for pressurizing the cleaning liquid in the cleaning liquid tank 42 so that the cleaning liquid can be forcibly supplied from the cleaning liquid tank 42 to the nozzle 10 through the supply tube 41 (For example, a pump) that pressurizes the cleaning liquid in the cleaning liquid tank 42. The pressure generating device may be a pressure generating device connected to the cleaning liquid tank 42, for example.

밸브(45)는 제어 유닛(80)에 의해 제어되는 제어 밸브로 구성되어, 공급 튜브(41)를 통하여 유동하는 세정액의 유량을 조절할 수 있다.The valve 45 is constituted by a control valve controlled by the control unit 80 so as to adjust the flow rate of the cleaning liquid flowing through the supply tube 41.

한편, 세정액 공급 유닛(40)은 세정액 탱크(42)에 설치되어 세정액 탱크(42) 내에 수용된 세정액의 수위를 감지하는 수위 센서(43)를 더 포함할 수 있다. 수위 센서(43)로는 일반적인 전자식 또는 기계식 수위 센서가 사용될 수 있다. 제어 유닛(80)은 수위 센서(43)에 의해 측정된 수위 변화로부터 세정액의 공급량을 산출할 수 있다. 따라서, 제어 유닛(80)은 노즐(10)을 청소하는 과정에서 사용되는 세정액의 공급량이 기준량 이내가 되도록 세정액 공급 유닛(40), 노즐 구동 유닛(50) 및 차단 유닛(70)을 제어할 수 있으므로, 세정액이 불필요하게 소모되는 것을 방지할 수 있다.The cleaning liquid supply unit 40 may further include a water level sensor 43 installed in the cleaning liquid tank 42 to sense the level of the cleaning liquid contained in the cleaning liquid tank 42. As the water level sensor 43, a general electronic or mechanical water level sensor can be used. The control unit 80 can calculate the supply amount of the cleaning liquid from the water level change measured by the water level sensor 43. [ The control unit 80 can control the cleaning liquid supply unit 40, the nozzle driving unit 50 and the blocking unit 70 so that the supply amount of the cleaning liquid used in the process of cleaning the nozzle 10 is within the reference amount Therefore, unnecessary consumption of the cleaning liquid can be prevented.

노즐 구동 유닛(50)은, 구동력을 발생시키는 구동 모터(51)와, 구동 모터(51)를 노즐(10)과 연결시키는 연결 링크(52)를 포함할 수 있다.The nozzle driving unit 50 may include a driving motor 51 for generating a driving force and a connecting link 52 for connecting the driving motor 51 to the nozzle 10.

구동 모터(51)는 구동 모터(51)에 연결된 구동축(미도시)을 정방향 및 역방향으로 회전 모터일 수 있다.The drive motor 51 may be a motor that rotates the drive shaft (not shown) connected to the drive motor 51 in the forward and reverse directions.

연결 링크(52)는, 노즐(10)과 연결되는 제1 링크부(521)와, 구동 모터(51)의 구동축에 연결되는 제2 링크부(522)와, 제1 링크부(521) 및 제2 링크부(522) 사이에서 제1 링크부(521) 및 제2 링크부(522)에 각각 회전 가능하게 연결되는 조인트부(523)를 포함할 수 있다. 제1 링크부(521)는 연결 부재(14)를 통하여 이송 스크류(13)와 연결될 수 있다. 이러한 연결 링크(52)는 조인트부(523)가 제1 링크부(521) 및 제2 링크부(522)에 각각 회전 가능하게 연결되는 유니버설 조인트로서 구성될 수 있다. 또한, 연결 링크(52)는 제1 링크부(521), 제2 링크부(522) 및 조인트부(523) 중 적어도 하나가 고무와 같은 탄성 재료로 이루어지는 플렉시블 커플링일 수 있다. 이에 따라, 노즐(10)의 이송 스크류(13)와 구동 모터(51)의 구동축이 서로 정렬되지 않고 노즐(10)의 이송 스크류(13)와 구동 모터(51)의 구동축 사이에 편심 및 편각이 존재하는 경우에도, 구동 모터(51)의 구동력이 연결 링크(52)를 통하여 이송 스크류(13)에 원활하게 전달될 수 있다. 또한, 노즐(10)의 이송 스크류(13)와 구동 모터(51)의 구동축이 강성의 샤프트에 의해 연결되는 경우에 발생할 수 있는 문제점인 샤프트의 휘어짐과, 샤프트의 마찰에 의한 이물질 발생을 방지할 수 있다.The connection link 52 includes a first link portion 521 connected to the nozzle 10, a second link portion 522 connected to the drive shaft of the drive motor 51, a first link portion 521, And a joint portion 523 rotatably connected to the first link portion 521 and the second link portion 522 between the second link portions 522. The first link portion 521 may be connected to the conveying screw 13 through the connecting member 14. The connecting link 52 may be configured as a universal joint in which the joint portion 523 is rotatably connected to the first link portion 521 and the second link portion 522, respectively. At least one of the first link portion 521, the second link portion 522 and the joint portion 523 may be a flexible coupling made of an elastic material such as rubber. The eccentricity and the offset angle between the feed screw 13 of the nozzle 10 and the drive shaft of the drive motor 51 are not aligned with each other and the drive shaft of the drive motor 51 is not aligned with the feed screw 13 of the nozzle 10. [ The driving force of the driving motor 51 can be smoothly transmitted to the conveying screw 13 through the connecting link 52. [ In addition, it is possible to prevent the deflection of the shaft, which is a problem that may occur when the drive shaft of the drive motor 51 is connected to the drive shaft of the nozzle 10 by a rigid shaft, and the generation of foreign matter by friction of the shaft .

용기(60)는 노즐(10)의 토출구(11) 바로 아래에 설치되어 노즐(10)의 토출구(11)를 통하여 토출되는 세정액을 수용하는 역할을 한다.The container 60 is installed just under the discharge port 11 of the nozzle 10 and serves to receive the cleaning liquid discharged through the discharge port 11 of the nozzle 10. [

차단 유닛(70)은, 노즐(10)의 토출구(11)에 접촉하는 방향 및 노즐(10)의 토출구(11)로부터 이격되는 방향으로 수평으로 이동 가능하게 설치되는 차단 부재(71)와, 차단 부재(71)와 연결되어 차단 부재(71)가 노즐(10)의 토출구(11)를 차단하도록 차단 부재(70)를 이동시키는 차단 부재 구동 장치(72)를 포함할 수 있다.The blocking unit 70 includes a blocking member 71 movably installed horizontally in a direction of contact with the ejection opening 11 of the nozzle 10 and a direction away from the ejection opening 11 of the nozzle 10, And a blocking member driving device 72 connected to the member 71 so that the blocking member 71 moves the blocking member 70 to block the ejection opening 11 of the nozzle 10. [

차단 부재(71)가 노즐(10)과 접촉할 때 노즐(10)이 손상되는 것을 방지하기 위해, 노즐(10)의 토출구(11)와 접촉하는 차단 부재(71)의 일부는 탄성 재질로 이루어지는 것이 바람직하다.A part of the blocking member 71 which contacts the discharge port 11 of the nozzle 10 is made of an elastic material so as to prevent the nozzle 10 from being damaged when the blocking member 71 contacts the nozzle 10. [ .

차단 부재 구동 장치(72)는 차단 부재(71)를 수평으로 이동시키기 위해, 예를 들면, 공압 또는 유압으로 작동되는 액추에이터, 볼 스크류 장치 또는 리니어 모터와 같은 직선 이송 기구일 수 있다.The blocking member drive device 72 may be a linear transport mechanism such as an actuator operated by pneumatic or hydraulic pressure, a ballscrew device or a linear motor, for moving the blocking member 71 horizontally.

이하, 도 4 및 도 6을 참조하여, 본 발명의 실시예에 따른 노즐 청소 장치의 작동에 대하여 설명한다.Hereinafter, the operation of the nozzle cleaning apparatus according to the embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS. 4 and 6. FIG.

먼저, 청소의 대상이 되는 노즐(10)을 페이스트 디스펜서의 디스펜싱 헤드유닛으로부터 분리한 후, 고정 유닛(30)을 사용하여 노즐 지지대(20)에 장착한다.First, after the nozzle 10 to be cleaned is separated from the dispensing head unit of the paste dispenser, the nozzle 10 is mounted to the nozzle support 20 using the fixing unit 30.

이때, 노즐(10)은 실린더(12) 및 이송 스크류(13)가 일체로 결합된 상태이며, 노즐(10)의 청소를 위해 실린더(12) 및 이송 스크류(13)가 서로로부터 분리될 필요가 없다. 그리고, 노즐(10)은 이송 스크류(13)에 연결 부재(14)가 연결된 상태로 운반될 수 있다. 한편, 노즐(10)에는 페이스트를 노즐(10)로 공급하는 시린지가 부착되어 있는데, 이 시린지는 노즐(10)이 노즐 지지대(20)에 장착되기 전에 노즐(10)로부터 제거된다.At this time, the nozzle 10 is in a state in which the cylinder 12 and the feed screw 13 are integrally joined and the cylinder 12 and the feed screw 13 need to be separated from each other in order to clean the nozzle 10 none. The nozzle 10 can be carried with the connecting member 14 connected to the feeding screw 13. The nozzle 10 is provided with a syringe for feeding the paste to the nozzle 10. The syringe is removed from the nozzle 10 before the nozzle 10 is mounted on the nozzle support 20.

노즐(10)이 노즐 지지대(20)에 장착되면, 노즐(10)의 이송 스크류(13)가 연결 부재(14) 및 연결 링크(52)를 통하여 구동 모터(51)에 연결된다. 연결 링크(52)는 플렉시블 커플링으로 이루어지므로, 노즐(10)의 이송 스크류(13)와 구동 모터(51)의 구동축이 서로 용이하게 연결될 수 있다.When the nozzle 10 is mounted on the nozzle support 20, the conveying screw 13 of the nozzle 10 is connected to the driving motor 51 through the connecting member 14 and the connecting link 52. Since the connecting link 52 is made of a flexible coupling, the driving screw 13 of the nozzle 10 and the driving shaft of the driving motor 51 can be easily connected to each other.

그리고, 노즐(10)이 공급 튜브(41)을 통하여 세정액 공급 유닛(40)의 세정액 탱크(42)와 연결될 수 있다. 공급 튜브(41)의 일단은 시린지가 노즐(10)에 연결되는 입구(15)에 연결된다.The nozzle 10 can be connected to the cleaning liquid tank 42 of the cleaning liquid supply unit 40 through the supply tube 41. One end of the supply tube 41 is connected to an inlet 15 to which the syringe is connected to the nozzle 10.

노즐(10)이 세정액 공급 유닛(40)과 연결되면, 초기에 세정액 공급 유닛(40)으로부터 노즐(10)로 소정의 양의 세정액이 공급된다. 이때, 세정액은 노즐(10)의 토출구(11)로부터 약간의 세정액이 토출될 때까지 공급된다. 이러한 초기의 세정액의 공급량은 미리 설정될 수 있으며, 제어 유닛(80)은 수위 센서(43)에 의해 감지된 수위로부터 세정액의 공급량을 산출하여 미리 설정된 초기 공급량에 맞게 세정액을 공급하도록 세정액 공급 유닛(40)을 제어할 수 있다. 따라서, 세정액이 불필요하게 낭비되는 것을 방지할 수 있다.When the nozzle 10 is connected to the cleaning liquid supply unit 40, a predetermined amount of cleaning liquid is supplied from the cleaning liquid supply unit 40 to the nozzle 10 at an initial stage. At this time, the cleaning liquid is supplied until a slight amount of cleaning liquid is discharged from the discharge port 11 of the nozzle 10. The initial supply amount of the cleaning liquid can be set in advance and the control unit 80 calculates the supply amount of the cleaning liquid from the water level sensed by the water level sensor 43 and supplies the cleaning liquid to the cleaning liquid supply unit 40 can be controlled. Therefore, the cleaning liquid can be prevented from being unnecessarily wasted.

그리고, 세정액이 노즐(10)의 토출구(11)로부터 약간의 세정액이 토출될 때까지 공급되면, 도 4에 도시된 바와 같이, 차단 부재 구동 장치(72)의 작동에 의해 차단 부재(71)가 노즐(10)의 토출구(11)와 접촉하도록 이동하여 토출구(11)를 차단한다. 이에 따라, 노즐(10)의 내부에 세정액이 정지된 상태로 존재한다.4, when the cleaning liquid is supplied from the discharge port 11 of the nozzle 10 until a slight amount of the cleaning liquid is discharged, the shutoff member 71 is operated by the operation of the shutoff- And moves so as to come into contact with the discharge port (11) of the nozzle (10) to shut off the discharge port (11). Accordingly, the cleaning liquid remains in the nozzle 10 in a stopped state.

이러한 상태에서, 아래와 같은 단계들이 열거된 순서로 또는 열거된 순서 반대로 수행될 수 있으며, 열거된 순서와 관계 없이 적어도 두 개 이상의 단계가 반복적으로 수행될 수 있다.In such a state, the following steps may be performed in the listed order or in reverse of the listed order, and at least two or more steps may be repeatedly performed regardless of the listed order.

(1) 토출구(11)가 차단된 상태에서, 이송 스크류(13)가 회전되면서 노즐(10) 내부에 세정액이 순환할 수 있다. 이때, 이송 스크류(13)는 정방향 또는 역방향으로 회전되거나 정방향 및 역방향으로 반복적으로 회전될 수 있다.(1) In a state in which the discharge port 11 is blocked, the cleaning liquid can be circulated in the nozzle 10 while the delivery screw 13 is rotated. At this time, the conveying screw 13 may be rotated forward or backward or it may be rotated repeatedly in forward and reverse directions.

(2) 차단 부재(71)가 노즐(10)로부터 이격되어 토출구(11)가 개방된 상태에서, 세정액이 세정액 공급 유닛(40)으로부터 노즐(10)로 공급되어 노즐(10)의 내부를 순환한 후 토출구(11)로부터 배출될 수 있다. 이때, 이송 스크류(13)는 회전될 수 있다. 토출구(11)로부터 배출된 세정액은 용기(60)에 담긴 후 폐기되거나 재활용될 수 있다(도 5 참조).(2) The cleaning liquid is supplied from the cleaning liquid supply unit 40 to the nozzle 10 to circulate the inside of the nozzle 10 in a state where the blocking member 71 is separated from the nozzle 10 and the discharge port 11 is opened. And then discharged from the discharge port 11. At this time, the conveying screw 13 can be rotated. The cleaning liquid discharged from the discharge port 11 may be discarded or recycled after being contained in the container 60 (see FIG. 5).

(3) 토출구(11)가 개방되고 세정액이 계속 공급되는 상태에서 이송 스크류(13)가 정지하거나 회전 및 정지 동작을 반복적으로 수행할 수 있다(도 5 참조).(3) When the discharge port 11 is opened and the cleaning liquid is continuously supplied, the conveying screw 13 can be stopped or rotated and stopped repeatedly (refer to FIG. 5).

(4) 세정액이 계속 공급되는 상태에서 토출구(11)의 개방 및 차단이 반복적으로 수행될 수 있다.(4) The opening and closing of the discharge port 11 can be repeatedly performed in a state in which the cleaning liquid is continuously supplied.

이에 따라, 세정액이 노즐(10) 내부를 순환하면서, 실린더(12)의 내면, 이송 스크류(13)의 외면, 특히, 이송 스크류(13)의 나사산들 사이의 부분을 세정한 후 이물질과 함께 외부로 배출될 수 있다.The cleaning liquid is circulated in the nozzle 10 to clean the inner surface of the cylinder 12 and the outer surface of the feed screw 13 and particularly the portion between the threads of the feed screw 13, .

상기한 바와 같은 동작이 수행된 후에는, 세정액의 공급을 차단한 상태로 토출구(11)를 개방하여, 노즐(10)로부터 세정액을 완전히 배출시킨다. 그리고, 노즐(10)을 노즐 지지대(20)에 장착하는 순서와 반대되는 순서로 노즐(10)을 노즐 지지대(20)로부터 분리한 후, 페이스트 디스펜서의 디스펜싱 헤드유닛에 장착한다.After the above operation is performed, the discharge port 11 is opened in a state in which supply of the cleaning liquid is blocked, and the cleaning liquid is completely discharged from the nozzle 10. [ The nozzle 10 is detached from the nozzle support 20 in the reverse order to the procedure for mounting the nozzle 10 to the nozzle support 20, and then mounted on the dispenser head unit of the paste dispenser.

상기한 바와 같은 본 발명의 실시예에 따른 노즐 청소 장치는, 노즐(10)을 분해하지 않고, 노즐(10)의 내부에 세정액을 공급하여 노즐(10)을 신속하고 원활하게 청소할 수 있으므로, 페이스트를 기판에 도포하는 공정의 효율성을 향상시킬 수 있다.The nozzle cleaning apparatus according to the embodiment of the present invention can quickly and smoothly clean the nozzle 10 by supplying the cleaning liquid into the nozzle 10 without disassembling the nozzle 10. Therefore, It is possible to improve the efficiency of the step of coating the substrate on the substrate.

이하, 도 6 및 도 7을 참조하여, 본 발명의 다른 실시예에 따른 노즐 청소 장치에 대하여 설명한다. 전술한 실시예에서 설명한 부분과 동일한 부분에 대해서는 동일한 도면 부호를 부여하고, 이에 대한 상세한 설명은 생략한다.Hereinafter, a nozzle cleaning apparatus according to another embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS. 6 and 7. FIG. The same reference numerals are given to the same parts as those described in the above-mentioned embodiment, and a detailed description thereof will be omitted.

도 6 및 도 7에 도시된 바와 같이, 본 발명의 다른 실시예에 따른 노즐 청소 장치는 노즐(10)과 공급 튜브(41)를 통하여 연결되어 노즐(10)로 기체를 공급하는 기체 공급 유닛(90)을 포함할 수 있다.6 and 7, a nozzle cleaning apparatus according to another embodiment of the present invention includes a gas supply unit (not shown) connected to the nozzle 10 through a supply tube 41 to supply gas to the nozzle 10 90).

기체 공급 유닛(90)은 압축기나 송풍기로 이루어질 수 있다. 기체 공급 유닛(90)에 의해 공급되는 기체는 수분이 포함되지 않은 건조 기체인 것이 바람직하다.The gas supply unit 90 may be composed of a compressor or a blower. The gas supplied by the gas supply unit 90 is preferably a dry gas free from moisture.

한편, 기체 공급 유닛(90)은 세정액 공급 유닛(40)은 하나의 공급 튜브(41)를 사용하여 노즐(10)에 연결될 수 있다. 이러한 경우, 공급 튜브(41)에는 삼방향 밸브(46)이 구비되어, 공급 튜브(41)로 세정액 및 기체 중 어느 하나만 공급할 수 있다. 밸브(46)는 제어 유닛(80)에 의해 제어되는 제어 밸브일 수 있다.On the other hand, the gas supply unit 90 can be connected to the nozzle 10 by using one supply tube 41 for the cleaning liquid supply unit 40. In this case, the supply tube 41 is provided with a three-way valve 46 so that only one of the cleaning liquid and the gas can be supplied to the supply tube 41. The valve 46 may be a control valve controlled by the control unit 80.

노즐(10) 내부에 세정액을 순환시키고 노즐(10) 내부로부터 세정액을 배출시키는 동작이 완료된 후, 기체 공급 유닛(90)은 기체를 공급 튜브(41)를 통하여 노즐(10)로 공급한다. 따라서, 노즐(10)로 공급되는 기체의 유동에 의해 노즐(10) 내부에 남아 있을 수 있는 세정액이 외부로 배출되면서, 노즐(10)의 내부가 건조될 수 있다.The gas supply unit 90 supplies the gas to the nozzle 10 through the supply tube 41 after the operation of circulating the cleaning liquid in the nozzle 10 and discharging the cleaning liquid from the inside of the nozzle 10 is completed. Therefore, the inside of the nozzle 10 can be dried while the cleaning liquid, which may remain in the nozzle 10 due to the flow of the gas supplied to the nozzle 10, is discharged to the outside.

상기한 바와 같은 본 발명의 실시예에 따른 노즐 청소 장치는, 노즐(10)을 세정액으로 세정한 후 건조시킬 수 있으므로, 노즐(10)을 신속하게 청소하여 사용할 수 있다.As described above, the nozzle cleaning apparatus according to the embodiment of the present invention can clean the nozzle 10 with the cleaning liquid and then dry the nozzle 10, so that the nozzle 10 can be quickly cleaned and used.

본 발명의 바람직한 실시예가 예시적으로 설명되었으나, 본 발명의 범위는 이와 같은 특정 실시예에 한정되지 않으며, 특허청구범위에 기재된 범주 내에서 적절하게 변경될 수 있다.Although the preferred embodiments of the present invention have been described by way of example, the scope of the present invention is not limited to these specific embodiments, and can be appropriately changed within the scope of the claims.

10: 노즐 13: 이송 스크류
20: 노즐 지지대 30: 고정 유닛
40: 세정액 공급 유닛 50: 노즐 구동 유닛
60: 용기 70: 차단 유닛
80: 제어 유닛 90: 기체 공급 유닛10: nozzle 13: feed screw
20: nozzle support 30: fixed unit
40: cleaning liquid supply unit 50: nozzle driving unit
60: container 70: blocking unit
80: control unit 90: gas supply unit

Claims (6)

노즐이 장착되는 노즐 지지대;
상기 노즐과 공급 튜브를 통하여 연결되어 상기 노즐의 내부로 세정액을 공급하는 세정액 공급 유닛;
상기 노즐의 토출구로부터 토출되는 세정액을 수용하는 용기; 및
상기 노즐의 토출구를 차단하는 차단 유닛을 포함하는 노즐 청소 장치.A nozzle support on which the nozzle is mounted;
A cleaning liquid supply unit connected to the nozzle through a supply tube to supply a cleaning liquid into the nozzle;
A container for containing a cleaning liquid discharged from a discharge port of the nozzle; And
And a blocking unit for blocking a discharge port of the nozzle. 청구항 1에 있어서,
상기 차단 유닛은,
상기 노즐의 토출구에 접촉하는 방향 및 상기 노즐의 토출구로부터 이격되는 방향으로 이동 가능하게 설치되는 차단 부재; 및
상기 차단 부재와 연결되어 상기 차단 부재가 상기 노즐의 토출구를 차단하도록 상기 차단 부재를 이동시키는 차단 부재 구동 장치를 포함하는 것을 특징으로 하는 노즐 청소 장치.The method according to claim 1,
The blocking unit includes:
A blocking member installed to be movable in a direction to contact the discharge port of the nozzle and in a direction away from the discharge port of the nozzle; And
And a blocking member driving device connected to the blocking member to move the blocking member such that the blocking member blocks the ejection port of the nozzle. 청구항 1에 있어서,
상기 노즐은, 상기 토출구를 가지는 실린더와, 상기 실린더 내에 회전 가능하게 설치되는 이송 스크류를 포함하고,
상기 노즐 청소 장치는, 상기 노즐의 내부에서 세정액을 순환시키도록 상기 이송 스크류를 회전시키는 노즐 구동 유닛을 포함하는 것을 특징으로 하는 노즐 청소 장치.The method according to claim 1,
Wherein the nozzle includes a cylinder having the discharge port and a delivery screw rotatably installed in the cylinder,
Wherein the nozzle cleaning apparatus includes a nozzle driving unit for rotating the feeding screw to circulate the cleaning liquid in the nozzle. 청구항 3에 있어서,
상기 노즐 구동 유닛은, 구동력을 발생시키는 구동 모터와, 상기 구동 모터를 상기 이송 스크류에 연결시키는 연결 링크를 포함하며,
상기 연결 링크는 상기 이송 스크류와 연결되는 제1 링크부와, 상기 구동 모터의 구동축에 연결되는 제2 링크부와, 상기 제1 링크부 및 상기 제2 링크부 사이에서 상기 제1 링크부 및 상기 제2 링크부에 각각 회전 가능하게 연결되는 조인트부를 포함하는 것을 특징으로 하는 노즐 청소 장치.The method of claim 3,
Wherein the nozzle driving unit includes a driving motor for generating a driving force and a connecting link for connecting the driving motor to the feeding screw,
Wherein the connecting link includes a first link portion connected to the conveying screw, a second link portion connected to a driving shaft of the driving motor, and a second link portion connected between the first link portion and the second link portion, And a joint portion rotatably connected to the second link portion, respectively. 청구항 1에 있어서,
상기 세정액 공급 유닛은, 세정액이 수용되며 상기 공급 튜브를 통하여 노즐과 연결되는 세정액 탱크와, 상기 세정액 탱크에 설치되어 상기 세정액 탱크 내에 수용된 세정액의 수위를 감지하는 수위 센서를 포함하는 것을 특징으로 하는 노즐 청소 장치.The method according to claim 1,
Wherein the cleaning liquid supply unit includes a cleaning liquid tank in which a cleaning liquid is received and connected to the nozzle through the supply tube and a water level sensor installed in the cleaning liquid tank and sensing a level of the cleaning liquid contained in the cleaning liquid tank, Cleaning device. 청구항 1에 있어서,
상기 노즐과 상기 공급 튜브를 통하여 연결되어 상기 노즐의 내부로 기체를 공급하는 기체 공급 유닛을 더 포함하는 노즐 청소 장치.The method according to claim 1,
And a gas supply unit connected to the nozzle through the supply tube to supply gas into the nozzle.
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