KR20160103030A - A process for die bonding in electronic products - Google Patents
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Abstract
댐-필 방법 및 프린팅 방법을 포함하여, 메모리 카드와 같은 전자 제품에서의 다이 본딩 방법이 제공된다. 댐-필 방법은 댐 재료 및 필 재료를 이용하고, 프린팅 방법은 프린팅된 스틸 스텐실 및 페이스트 재료를 이용한다.A method of die bonding in an electronic product such as a memory card is provided, including a dam-fill method and a printing method. The dam-fill method uses dam material and fill material, and the printing method uses printed steel stencil and paste material.
Description
본 발명은 전자 제품에서의 다이 본딩 방법에 관한 것이고, 특히 내장형 멀티 미디어 카드와 같은 메모리 카드에서의 다이 본딩 방법에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a die bonding method in an electronic product, and more particularly to a die bonding method in a memory card such as a built-in multimedia card.
메모리 카드와 같은 전자 제품은 높은 회전율 겪으며, 내장형 멀티 미디어 카드 (간략하게 "eMMC")를 예시로 들면, eMMC는 단시간 내 시장에 품격 있는 고급의 모바일 디자인으로의 수월한 길을 위한 주된 사양 중 하나인 내장형 메모리를 위한 멀티 미디어 카드로부터 확장된 것이다. eMMC 개발의 현재 트렌드는 공간 절약, 최소화 및 멀티-기능화의 목적을 위해 컨트롤러 다이가 기판으로 및 메모리 다이 아래로 이동하는 것이고, 이는 모 메모리 다이가 컨트롤러 다이 또는 다른 유사한 부품의 상부에 미리 부착되어야 한다는 것을 의미한다.Electronics, such as memory cards, are experiencing high turnover rates and exemplifying an embedded multimedia card (briefly "eMMC"), eMMC is one of the main specifications for a straightforward path to elegant, high-quality mobile design in a short- It is extended from the multimedia card for built-in memory. The current trend in eMMC development is that the controller die is moved to the substrate and down the memory die for the purpose of space saving, minimization and multi-functionalization, which means that the mother memory die must be pre-attached to the top of the controller die or other similar part .
이 변화에 대한 기존의 해결책은 메모리 다이를 부착하는 데 FOD (필름 오버 다이(film over die))를 사용하는 것이다. FOD 재료의 이런 종류에 대한 상용 제품은 이미 있다. 그러나, 만약 메모리 디바이스에 대한 트렌드 중 하나인, 컨트롤러 다이 및 메모리 다이가 더 커진다면, 기판 및 메모리 다이 모두 매우 얇고 큰 응력을 견딜 수 없기 때문에 심각한 휨(warpage) 문제가 생길 것이다. 한편, FOD에 대한 비용은 많은 메모리 디바이스 플레이어에게 용인될 수 없게 매우 높다. 개발이 시도되었다. 대안적인 해결책 1은 하단 메모리 다이를 기판에 본딩하는 데 스페이서 다이를 사용하고 그 후에 표준 스택 다이 본딩, 와이어 본딩 및 몰딩을 하는 것이다. 이 해결책은 FOD보다 저렴하지만, 와이어 본딩 동안 다이 크랙의 위험이 높고 수득률이 꽤 낮다. 대안적인 해결책 2는 컨트롤러 다이 및(또는) 다른 유사한 부품을 몰딩하는 데 표준 몰딩 방법을 사용하고 그 후에 표준 스택 다이 본딩, 와이어 본딩 및 몰딩을 하는 것이다. 상기 대안적인 해결책 모두에서, 보통 여분의 필름 재료가 총 재료 비용을 증가시키는 메모리 다이에 부착되어야 하고, 보통 필름과 몰딩 컴파운드 사이의 접착은 매우 제한적이다. 따라서, 상기 대안적인 해결책 모두 다이 크랙 문제, 층간 박리, 높은 휨 또는 낮은 수득율 때문에 그리 긍정적으로 보여지지 않았다.The existing solution to this change is to use FOD (film over die) to attach the memory die. There is already a commercial product for this kind of FOD material. However, if the controller die and the memory die, which is one of the trends for the memory device, are larger, there will be a serious warpage problem because both the substrate and the memory die are very thin and can not withstand large stresses. On the other hand, the cost for FOD is so high that it can not be tolerated by many memory device players. Development was attempted. An alternative solution 1 is to use a spacer die to bond the bottom memory die to the substrate, followed by standard stack die bonding, wire bonding and molding. While this solution is cheaper than FOD, the risk of die cracks during wire bonding is high and the yields are quite low. An alternative solution 2 is to use a standard molding method to mold the controller die and / or other similar parts and then to standard stack die bonding, wire bonding and molding. In both of these alternative solutions, the extra film material usually has to be attached to the memory die, which increases the total material cost, and adhesion between the film and the molding compound is usually very limited. Thus, none of these alternative solutions have been shown to be very positive due to die cracking problems, delamination, high warpage or low yields.
댐 및 필 재료는 접착제 분야에서 공지되고 얼마 동안은 전자 제품 패키징에서 또한 적용되었다. 그러나 종래 기술에서, 댐 및 필 재료는 단지 안에 있는 부품들을 보호하기 위하여 패키징에 사용되었다. 패키징에 사용될 수 있을 뿐만 아니라 다이 부품과 같이, 전자 제품에서 부품을 직접 본딩하는 데 추가로 사용될 수도 있는 댐 및 필 재료를 개발하는 것은 지금까지 시도되지 않았다.Dams and fill materials are known in the adhesive arts and have also been applied for some time in electronics packaging. However, in the prior art, dams and fill materials were used in packaging to protect the components in the complex. It has not been attempted to develop dams and fill materials that can be used for packaging as well as dies, which may additionally be used to directly bond parts in electronics, such as die parts.
전자 제품, 특히 메모리 카드에서 다이 패키징에 대한 현재 기술 트렌드를 고려하면, 본 발명의 한 목적은 쉽고 저비용의 다이 본딩 방법을 제공하고, 휨, 낮은 수득율 및 고비용과 같은 기존의 해결책에서의 문제를 해결하는 것이다. 놀랍게도, 본 발명자는 댐 재료 및 필 재료 이용에 의한 방법 (간략하게 D-F 방법) 및 특정 개구 세트가 있는 프린팅된 스틸 스텐실 및 페이스트 재료 이용에 의한 프린팅 방법 (간략하게 프린팅 방법)이 다이 본딩에서 FOD 또는 다른 대안적인 해결책을 사용하는 동안 종종 일어나는 휨 및 다이 크랙 문제를 해결할 수 있다는 것을 발견하였다. 두 방법 모두 다이 본딩에서 좋은 접착 및 낮은 응력/스트립 휨을 달성하고, 이들은 큰 컨트롤러 다이 및 초박형 메모리 다이에 적합한 쉽고 저비용인 방법이다. 일부 경우에서, 추가적인 필름 또는 다이 부착 재료는 메모리 다이를 부착하는 데 필요하지 않다.Considering the current technical trends for die packaging in electronics, particularly memory cards, one object of the present invention is to provide an easy and inexpensive method of die bonding and to solve problems in existing solutions such as warp, low yield and high cost . Surprisingly, the present inventors have found that the printing method (simple printing method) by using the dam material and the method by using the fill material (briefly DF method) and the printing steel stencil and paste material with the specific opening set It is possible to solve the warping and die cracking problems that often arise while using other alternative solutions. Both methods achieve good adhesion and low stress / strip bending in die bonding, which is an easy and inexpensive method suitable for large controller die and ultra thin memory die. In some cases, additional film or die attach material is not required to attach the memory die.
본 발명의 한 측면에서, D-F 방법은 제공되고, 상기 다이 본딩 D-F 방법은 하기 단계를 포함한다:In one aspect of the invention, a D-F method is provided, and the die bonding D-F method comprises the steps of:
1) 댐 재료가 기판 상 하나 이상의 제1 다이 주위로 분배되는 단계;1) the dam material is distributed around the at least one first die on the substrate;
2) 필 재료가 댐 재료에 의해 한정된 영역으로 분배되고, 임의적으로 기판은 그 동안 가열되는 단계;2) the fill material is dispensed into the region defined by the dam material, and optionally the substrate is heated during this time;
3) 임의적으로, 필 재료가 부분적으로 경화되는 단계;3) Optionally, the fill material is partially cured;
4) 제2 다이가 필 재료 위로 본딩되는 단계; 및4) the second die is bonded onto the fill material; And
5) 댐 및 필 재료가 완전히 경화되는 단계.5) Steps in which the dam and fill material are fully cured.
D-F 방법에서, 필 재료는 분배 후 매우 짧은 시간 안에 기판, 와이어, 다이 및 다른 부품을 따라 쉽게 흐르고 완전히 도포되도록 할 수 있는 매우 낮은 점도 및 매우 좋은 유동성을 갖는 반면에, 댐 재료는 분배 후 본래의 형상을 유지하도록 돕는 표준 DA (다이 부착(Die Attachment)) 페이스트와 유사하지만 상대적으로 큰 점도 및 큰 T.I.를 갖는다.In the DF method, the fill material has a very low viscosity and very good flowability that can easily flow and fully coat the substrate, wire, die and other parts within a very short time after dispensing, while the dam material has an inherent Similar to a standard DA (Die Attachment) paste that helps maintain shape, but has a relatively large viscosity and a large TI.
본 발명의 또 다른 측면에서, 프린팅 방법이 제공되고, 상기 프린팅 방법은 하기 단계를 포함한다:In another aspect of the invention, a printing method is provided, the printing method comprising the steps of:
1) 특정 개구 세트가 있는 프린팅된 스틸 스텐실이 기판 상 하나 이상의 제1 다이를 덮는 데 사용되는 단계;1) a printed steel stencil with a particular set of apertures is used to cover one or more first die on a substrate;
2) 상기 하나 이상의 제1 다이를 덮기 위하여, 페이스트 재료가 개구로 프린팅되는 단계;2) printing the paste material with an opening to cover the at least one first die;
3) 임의적으로, 페이스트 재료가 부분적으로 경화되는 단계;3) optionally, the paste material is partially cured;
4) 제2 다이가 페이스트 재료 위로 본딩되는 단계; 및4) the second die is bonded onto the paste material; And
5) 페이스트 재료가 완전하게 경화되는 단계.5) the step in which the paste material is completely cured.
프린팅 방법은 D-F 방법보다 심지어 더 쉽고 매우 높은 UPH (시간 당 유닛)를 제공한다.The printing method is even easier than the D-F method and provides a very high UPH (unit per hour).
본 발명은 D-F 방법 또는 프린팅 방법으로부터 제조된 내장형 멀티 미디어 카드와 같은, 메모리 카드를 또한 제공한다.The present invention also provides a memory card, such as a built-in multimedia card made from a D-F method or a printing method.
본원에서 기재되는 도면은 단지 설명을 위한 것이며 어떠한 방식에서도 본 개시의 범위를 제한하려는 의도는 아니다.
도 1a 및 1b는 eMMC 패키지의 전통적인 배치를 보여주는 개략도이고,
도 2는 eMMC 패키지의 변경된 배치를 보여주는 개략도이고,
도 3은 D-F 방법에서의 단계를 보여주는 흐름도이고,
도 4는 프린팅 방법에서의 단계를 보여주는 흐름도이다.The drawings described herein are for illustrative purposes only and are not intended to limit the scope of the disclosure in any way.
Figures 1A and 1B are schematic diagrams showing a conventional arrangement of an eMMC package,
Figure 2 is a schematic diagram showing a modified arrangement of the eMMC package,
Figure 3 is a flow chart showing the steps in the DF method,
4 is a flow chart showing the steps in the printing method.
달리 정의되지 않는 한, 본원에서 사용되는 모든 기술적 및 과학적 용어는 흔히 본 발명이 속하는 기술분야에서 당업자에 의해 이해되는 것과 동일한 의미를 갖는다. 상충되는 경우, 정의를 포함한 본 명세서가 좌우할 것이다. 명시적으로 언급되는 것을 제외하고, 상표는 대문자로 표시된다. 달리 언급되지 않는 한, 모든 퍼센트, 부, 비 등은 중량 기준이다.Unless otherwise defined, all technical and scientific terms used herein have the same meaning as commonly understood by one of ordinary skill in the art to which this invention belongs. In case of conflict, the present specification, including definitions, will control. Except as expressly stated, trademarks are shown in capital letters. Unless otherwise stated, all percentages, parts, and percentages are by weight.
양, 농도, 또는 다른 값 또는 파라미터가 범위, 바람직한 범위 또는 바람직한 상한값 및 바람직한 하한값의 열거로서 주어지는 경우, 범위가 별도로 개시되는 지에 상관없이 임의의 한 쌍의 임의의 위쪽 범위 한계치 또는 바람직한 값 및 임의의 아래쪽 범위 한계치 또는 바람직한 값으로 형성된 모든 범위를 구체적으로 개시하는 것으로 이해되어야 한다. 명세서에서 수치 범위를 인용하는 경우, 달리 언급되지 않는다면, 그 범위는 그 종점, 및 상기 범위 내의 모든 정수 및 분수를 포함하고자 하는 것이다. 본 발명의 범주는 범위를 한정할 때 언급되는 특정한 값들에 제한되는 것으로 의도되는 것은 아니다.Where an amount, concentration, or other value or parameter is given as an enumeration of ranges, preferred ranges, or preferred upper and lower preferred values, it is understood that any range of any upper range limit or desired value and any It should be understood that the lower range limits or all ranges formed by the preferred values are specifically disclosed. Where a numerical range is recited in the specification, unless stated otherwise, the range is intended to include its endpoints, and all integers and fractions within the range. The scope of the present invention is not intended to be limited to the specific values that are mentioned when limiting the scope.
용어 "약"이 범위의 값 또는 종점을 설명하는 데 사용될 때, 그 개시 내용은 언급되는 특정한 값 또는 종점을 포함하는 것으로 이해되어야 한다.When the term "about" is used to describe a value or an endpoint of a range, the disclosure should be understood to include the particular value or endpoint that is referred to.
본 명세서에 사용되는 바와 같이, 용어 "구성하다", "구성하는", "함유하다", "함유하는", "갖는다", "갖는", "포함하다" 또는 "포함하는", 또는 이들의 임의의 다른 변형은 배타적이지 않은 포함을 포괄하고자 한다. 예를 들어, 요소들의 목록을 포함하는 조성물, 공정, 방법, 용품, 또는 장치는 반드시 그러한 요소만으로 제한되지는 않고, 명확하게 열거되지 않거나 이러한 조성물, 공정, 방법, 용품, 또는 장치에 내재적인 다른 요소를 포함할 수 있다. 더욱이, 명백히 반대로 기술되지 않는다면, "또는"은 포괄적인 "또는"을 말하며, 배타적인 "또는"을 말하는 것은 아니다. 예를 들어, 조건 A "또는" B는 하기 중 어느 하나에 의해 만족된다: A는 참 (또는 존재함)이고 B는 거짓 (또는 존재하지 않음), A는 거짓 (또는 존재하지 않음)이고 B는 참 (또는 존재함), A 및 B 모두가 참 (또는 존재함).As used herein, the terms "comprise," "comprise," "contain," "contain," "having," "having," "includes, Any other variation is intended to cover an inclusion which is not exclusive. For example, a composition, process, method, article, or apparatus that comprises a list of elements is not necessarily limited to such elements, but may be any element that is not explicitly listed or inherent to such composition, process, method, Element. Moreover, unless expressly stated to the contrary, "or" does not mean " comprehensive "or" For example, the condition A or B is satisfied by either: A is true (or exists), B is false (or not present), A is false (or nonexistent) Is true (or present), and A and B are both true (or present).
또한, 본 발명의 요소 또는 성분 앞의 부정 관사 "하나" 및 "한"은 요소 또는 성분의 경우 (즉, 발생)의 수에 관해서는 비제한적인 것으로 의도된다. 따라서, "하나" 및 "한"은 하나 또는 적어도 하나를 포함하는 것으로 파악되어야 하며, 당해 요소 또는 성분의 단수형은 그 수가 명백하게 단수임을 의미하는 것이 아니라면 복수형도 포함한다.In addition, the indefinite articles "a" and "an" preceding an element or component of the invention are intended to be non-limiting with respect to the number of elements or components (ie, occurrences). Accordingly, "one" and "an" should be understood to include one or at least one, and the singular forms of the elements or components include plural forms unless the number clearly indicates singular.
본원에서 재료, 방법 및 실시예는 단지 예시적인 것이며, 명시적으로 언급되는 것을 제외하고, 제한할 의도는 아니다. 비록 본원에서 기재되는 것과 유사 또는 동등한 방법 및 재료가 본 발명의 실시 또는 시험에 사용될 수 있지만, 적합한 방법 및 재료는 본원에서 기재된다.The materials, methods, and examples in this application are by way of example only and are not intended to be limiting, except as expressly stated. Although methods and materials similar or equivalent to those described herein can be used in the practice or testing of the present invention, suitable methods and materials are described herein.
본 발명은 본원에서 이하에 상세히 기재된다.The present invention is described in detail herein below.
D-F 방법D-F method
D-F 방법에서, 댐 재료는 염기성 수지, 에폭시 하드너, 경화제, 필러 및 다른 첨가제를 포함하며, 여기서 염기성 수지는 에폭시 수지, BMI 수지 및 비닐 수지로 이루어진 군에서 선택되는 하나 이상의 것이다.In the D-F method, the dam material includes a basic resin, an epoxy hardener, a hardener, a filler and other additives, wherein the basic resin is at least one selected from the group consisting of an epoxy resin, a BMI resin and a vinyl resin.
폴리에폭시드로도 공지된, 에폭시 수지는 비스페놀-A 에폭시, CTBN 개질 에폭시 등과 같은 에폭시드 기를 함유하는 반응성 예비중합체 및 중합체의 한 부류이다. 에폭시 수지는 촉매 단일 중합을 통해 이들 스스로와 또는 다관능성 아민, 산 (및 산 무수물), 페놀, 알콜 및 티올을 포함하는 다양한 공반응물과 반응 (가교)될 수 있다. 이러한 공반응물은 종종 에폭시 하드너로 지칭된다.Epoxy resins, also known as polyepoxides, are a class of reactive prepolymers and polymers containing epoxide groups such as bisphenol-A epoxy, CTBN modified epoxy, and the like. Epoxy resins can be reacted (crosslinked) with various self-reactants including themselves or with multifunctional amines, acids (and acid anhydrides), phenols, alcohols and thiols through catalytic single polymerization. These co-reactants are often referred to as epoxy hardners.
비스말레이미드 수지의 준말인, BMI 수지는 링커 (상기 링크는 예를 들어 알킬렌 기임)를 통하여 질소 원자에 의해 연결된 두 말레이미드 기가 있는 화합물의 한 부류이다. 폴리-(옥시테트라-메틸렌)-디-(2-말레이미도아세테이트)는 이러한 종류의 BMI 수지이다.BMI resin, the abbreviation of bismaleimide resin, is a class of compounds having a maleimide group linked by a nitrogen atom through a linker (the link is, for example, an alkylene group). Poly- (oxytetra-methylene) -di- (2-maleimidoacetate) is a BMI resin of this kind.
비닐 수지는 페녹시에틸 아크릴레이트 및 폴리 부타디엔과 같은 비닐 기를 함유하는 단량체, 예비중합체 또는 중합체의 한 부류이다.Vinyl resins are a class of monomers, prepolymers or polymers containing vinyl groups such as phenoxyethyl acrylate and polybutadiene.
에폭시 하드너는 상기 에폭시 수지에 대해 설명된 것과 같이, 다관능성 아민, 산 (및 산 무수물), 페놀, 알콜 및 티올을 포함하는, 에폭시 수지와 반응하는 다양한 공반응물을 포함한다.Epoxy harders include various co-reactants that react with epoxy resins, including polyfunctional amines, acids (and acid anhydrides), phenols, alcohols, and thiols, as described for the epoxy resins above.
에폭시 하드너와 마찬가지로, 경화제는 또 다른 기판을 강화(harden) 또는 경화(cure)시키는 데 돕는 성분이다. 예를 들어, 퍼옥시드는 일반적으로 비닐 수지에 대하여 뿐만 아니라 BMI 수지에 대한 경화제이다.Like the epoxy hardener, the curing agent is a component that helps harden or cure another substrate. For example, peroxides are generally curing agents for BMI resins as well as for vinyl resins.
필러는 보통 점도, T.I., 내부 강도 및 열 팽창 계수와 같은 이의 성질을 개선하도록, 매트릭스 재료에 첨가된 미립자 물질이다. 실리카 및 알루미나는 전형적인 필러이다.The filler is a particulate material added to the matrix material to improve its properties such as viscosity, TI, internal strength and coefficient of thermal expansion. Silica and alumina are typical fillers.
염기성 수지 외에, 에폭시 하드너, 경화제 및 필러, 일부 다른 화학약품은 접착 강도를 개선하도록, T.I.를 조절하도록, 혼화성을 개선하도록 하는 등으로 제형으로 첨가된다. 이러한 화학약품은 첨가제, 예를 들어 실란으로 분류된다.In addition to basic resins, epoxy hardeners, hardeners and fillers, and some other chemicals are added in formulations to improve adhesion, to control T.I., to improve miscibility, and the like. These chemicals are classified as additives, for example, silanes.
댐 재료에서 이러한 성분에 특별한 제한은 없고, 분배 후 본래의 형상을 유지하도록 돕기 위하여 댐 재료가 상대적으로 큰 점도 및 큰 T.I.를 갖는 한 당업자에 의해 선택된 임의의 보통의 및 종래의 성분일 수 있다. 예를 들어, 염기성 수지는 에폭시 수지, BMI 수지 및 비닐 수지를 동시에 포함할 수 있고, 에폭시 하드너는 에폭시 수지를 경화할 수 있고, 경화제는 BMI 및 비닐 수지를 경화할 수 있고, 필러는 T.I.를 조절하고 강도 등을 개선하는 데 사용된다. 또한, 첨가제는 접착력, 유동성을 증가시키고 T.I.를 조절하도록 포함되었다. 특히, 댐 재료는 댐 재료의 총 중량을 기준으로 및 각각의 성분의 합이 100 %가 되도록, 에폭시 수지 0-20 %, 바람직하게 4-8 %, BMI 수지 0-30 %, 바람직하게 20-28 %, 비닐 수지 0-30 %, 바람직하게 14-20 %, 에폭시 하드너 0-5 %, 바람직하게 0.2-1.0 %, 경화제 0-5 %, 바람직하게 0.2-1.2 %, 필러 30-80 %, 바람직하게 40-60 % 및 다른 첨가제 0-5 %, 바람직하게 0.5-2.0 %를 포함한다.No particular limitation is imposed on these components in the dam material, and it may be any ordinary and conventional component selected by a person skilled in the art as long as the dam material has a relatively large viscosity and a large T.I. to help maintain the original shape after dispensing. For example, a basic resin may simultaneously contain an epoxy resin, a BMI resin, and a vinyl resin, an epoxy hardener may cure the epoxy resin, a hardener may cure the BMI and the vinyl resin, and a filler may control the TI And to improve strength and the like. In addition, the additives were included to increase the adhesion, flowability and control T.I. In particular, the dam material comprises 0 to 20%, preferably 4 to 8%, preferably 0 to 30%, preferably 20 to 20%, of BMI resin, based on the total weight of the dam material and such that the sum of the respective components is 100% 0 to 5%, preferably 0.2 to 1.0%, curing agent 0 to 5%, preferably 0.2 to 1.2%, filler 30 to 80%, epoxy resin 0 to 30% Preferably 40-60%, and the other additives 0-5%, preferably 0.5-2.0%.
D-F 방법에서, 5 rpm에 25 ℃에서 댐 재료의 점도가 5,000-500,000 mPa·s의 범위 내, 바람직하게 40,000-50,000 mPa·s의 범위 내이고, 댐 재료의 요변성 지수 (T.I.)는 1.0 초과, 바람직하게 4.0-6.0이다.In the DF method, the viscosity of the dam material at 25 ° C at 5 rpm is in the range of 5,000-500,000 mPa · s, preferably in the range of 40,000-50,000 mPa · s, and the thixotropic index (TI) of the dam material exceeds 1.0 , Preferably 4.0 to 6.0.
추가로, D-F 방법에서, 필 재료는 염기성 수지, 에폭시 하드너, 경화제, 필러 및 다른 첨가제를 포함하며, 여기서, 염기성 수지는 에폭시 수지, BMI 수지 및 비닐 수지로 이루어진 군에서 선택되는 하나 이상의 것이다. 이러한 성분의 정의는 댐 재료에 대하여 제공된 것과 동일하다. 예를 들어, 에폭시 수지는 비스페놀-A 에폭시 및 비스페놀-F 에폭시로부터 선택될 수 있다.Further, in the D-F method, the fill material includes a basic resin, an epoxy hardener, a curing agent, a filler and other additives, wherein the basic resin is at least one selected from the group consisting of an epoxy resin, a BMI resin and a vinyl resin. The definition of these components is the same as that provided for the dam material. For example, the epoxy resin may be selected from bisphenol-A epoxy and bisphenol-F epoxy.
필 재료에서 이러한 성분에 특별한 제한은 없고, 필 재료가 분배 후 매우 짧은 시간 안에 기판, 와이어, 다이 및 다른 부품을 따라 쉽게 흐르고 완전히 도포되도록 할 수 있는 매우 낮은 점도 및 매우 좋은 유동성을 갖는 한 당업자에 의해 선택된 임의의 보통의 및 종래의 성분일 수 있다. 예를 들어, 염기성 수지는 에폭시 수지, BMI 수지 및 비닐 수지를 동시에 포함할 수 있고, 에폭시 하드너는 에폭시 수지를 경화할 수 있고, 경화제는 BMI 수지 및 비닐 수지를 경화할 수 있고, 필러는 T.I.를 조절하고 강도 등을 개선하는 데 사용된다. 또한, 첨가제는 접착력, 유출 방지를 증가시키고 T.I.를 조절하도록 포함되었다. 특히, 필 재료는 필 재료의 총 중량을 기준으로 및 각각의 성분의 합이 100 %가 되도록, 에폭시 수지 0-30 %, 바람직하게 8-16 %, BMI 수지 0-40 %, 바람직하게 25-30 %, 비닐 수지 0-40 %, 바람직하게 6-16 %, 에폭시 하드너 0-5 %, 바람직하게 0.2-1.2 %, 경화제 0-5 %, 바람직하게 0.6-1.0 %, 필러 0-70 %, 바람직하게 45-50 % 및 다른 첨가제 0-5 %, 바람직하게 0.8-1.5 %를 포함한다.There is no particular limitation to these components in the fill material, and the skilled artisan will appreciate that the fill material can have a very low viscosity and very good flowability that can easily flow and fully coat the substrate, wire, die and other parts within a very short time after dispensing Lt; RTI ID = 0.0 > and / or < / RTI > For example, a basic resin may simultaneously contain an epoxy resin, a BMI resin, and a vinyl resin, an epoxy hardener may cure an epoxy resin, a hardener may cure a BMI resin and a vinyl resin, It is used to adjust and improve strength and so on. In addition, the additive was included to increase adhesion, to prevent spillage and to control T.I. In particular, the fill material comprises 0-30% epoxy resin, preferably 8-16%, BMI resin 0-40%, preferably 25-40% epoxy resin, based on the total weight of the fill material and 100% 0-40%, preferably 6-16%, epoxy hardener 0-5%, preferably 0.2-1.2%, curing agent 0-5%, preferably 0.6-1.0%, filler 0-70% Preferably 45-50%, and the other additives 0-5%, preferably 0.8-1.5%.
바람직하게, 25 ℃에서 필 재료의 점도는 50,000 mPa·s 미만의 범위 내, 보다 바람직하게 10,000 mPa·s 미만이고, 필 재료의 T.I는 3.0 미만, 보다 바람직하게 1.5 미만이다.Preferably, the viscosity of the fill material at 25 占 폚 is in the range of less than 50,000 mPa 占 퐏, more preferably less than 10,000 mPa 占 퐏, and the TI of the fill material is less than 3.0, more preferably less than 1.5.
D-F 방법의 실시양태에서, 제1 다이는 컨트롤러 다이이고, 제2 다이는 메모리 다이이다. 본 발명의 의미 내의 용어 "제1 다이" 및 "제2 다이"는 상이한 단계에서 사용된 다이를 구별하도록 사용되고, "제1 다이" 및 "제2 다이"의 유형에 구체적인 제한은 없는 것으로 해석되어야 할 것이며, 이는 메모리 카드에서 사용되는 흔한 다이의 유형뿐만 아니라, 수동 부품 예를 들어 전기용량, 저항, 인덕턴스 및 다른 기능성 다이, 예를 들어 RF-관련 다이, 시큐리티 다이(security die), 센서 다이, 파워 다이, 디지털 시그널 프로세서 다이, 로직 다이, 송수신기 다이 등도 포함한다.In an embodiment of the D-F method, the first die is a controller die and the second die is a memory die. The terms "first die" and "second die" within the meaning of the present invention are used to distinguish the die used in the different steps and should not be construed as being limited to any particular type of "first die & Which may include not only the type of common die used in a memory card but also other components such as passive components such as capacitance, resistance, inductance and other functional dies such as RF-related dies, security dies, sensor dies, Power die, digital signal processor die, logic die, transceiver die, and the like.
단계 2)에서의 D-F 방법의 바람직한 실시양태에서, 기판은 필 재료의 흐름 및 도포 범위를 개선하기 위하여 약간 가열된다.In a preferred embodiment of the D-F method in step 2), the substrate is slightly heated to improve the flow and coverage of the fill material.
D-F 방법의 바람직한 실시양태에서, 경화는 UV 또는 가열을 통해 수행된다.In a preferred embodiment of the D-F process, the curing is carried out via UV or heating.
D-F 방법의 바람직한 실시양태에서, 댐 재료에 의해 한정된 영역은 제2 다이의 면적의 약 70 % -100 %, 바람직하게 90 %의 면적을 갖는다.In a preferred embodiment of the D-F method, the area defined by the dam material has an area of about 70% -100%, preferably 90% of the area of the second die.
프린팅 방법Printing method
프린팅 방법의 한 실시양태에서, 페이스트 재료는 염기성 수지, 에폭시 하드너, 경화제, 필러 및 다른 첨가제를 포함하며, 여기서, 염기성 수지는 에폭시 수지, BMI 수지 및 비닐 수지로 이루어진 군에서 선택되는 하나 이상의 것이다. 이러한 성분의 정의는 댐 재료에 대하여 제공된 것과 동일하다. 예를 들어, 에폭시 수지는 비스페놀-A 에폭시 및 비스페놀-F 에폭시로부터 선택될 수 있다.In one embodiment of the printing method, the paste material comprises a basic resin, an epoxy hardener, a curing agent, a filler and other additives, wherein the basic resin is at least one selected from the group consisting of an epoxy resin, a BMI resin and a vinyl resin. The definition of these components is the same as that provided for the dam material. For example, the epoxy resin may be selected from bisphenol-A epoxy and bisphenol-F epoxy.
페이스트 재료에서 이러한 성분에 특별한 제한은 없고, 페이스트 재료가 25 ℃에서 1,000-500,000 mPa·s의 범위 내의 점도, 1.0 초과의 T.I.를 갖는 한 당업자에 의해 선택된 임의의 보통의 및 종래의 성분일 수 있다. 예를 들어, 염기성 수지는 에폭시 수지, BMI 수지 및 비닐 수지를 동시에 포함할 수 있고, 에폭시 하드너는 에폭시 수지를 경화할 수 있고, 경화제는 BMI 및 비닐 수지를 경화할 수 있고, 필러는 T.I.를 조절하고 강도 등을 개선하는 데 사용된다. 또한, 첨가제는 접착력을 증가시키고 T.I. 등을 조절하도록 포함되었다. 특히, 페이스트 재료는 페이스트 재료의 총 중량을 기준으로 및 각각의 성분의 합이 100 %가 되도록, 에폭시 수지 0-30 %, 바람직하게 5-10 %, BMI 수지 0-30 %, 바람직하게 20-30 %, 비닐 수지 0-30 %, 바람직하게 15-28 %, 에폭시 하드너 0-6 %, 바람직하게 0.2-1.5 %, 경화제 0-5 %, 바람직하게 0.2-1.0 %, 필러 30-70 %, 바람직하게 30-55 % 및 다른 첨가제 0-5 %, 바람직하게 1.0-1.5 %를 포함한다.There is no particular limitation on these ingredients in the paste material, and the paste material may be any ordinary and conventional ingredient selected by those skilled in the art having a viscosity in the range of 1,000-500,000 mPa.s at 25 DEG C and a TI in excess of 1.0 . For example, a basic resin may simultaneously contain an epoxy resin, a BMI resin, and a vinyl resin, an epoxy hardener may cure the epoxy resin, a hardener may cure the BMI and the vinyl resin, and a filler may control the TI And to improve strength and the like. In addition, the additive increases the adhesive strength and T.I. And so on. In particular, the paste material comprises 0 to 30%, preferably 5 to 10%, preferably 0 to 30%, preferably 20 to 20%, of BMI resin, based on the total weight of the paste material and such that the sum of the respective components is 100% 0 to 6%, preferably 0.2 to 1.5%, curing agent 0 to 5%, preferably 0.2 to 1.0%, filler 30 to 70%, epoxy resin 0 to 30%, vinyl resin 0 to 30%, preferably 15 to 28% Preferably 30-55% and the other additives 0-5%, preferably 1.0-1.5%.
프린팅 방법에서, 25 ℃에서 페이스트 재료의 점도는 1,000-500,000 mPa·s의 범위 내, 바람직하게 15,000-50,000 mPa·s의 범위 내이고, 페이스트 재료의 T.I.는 1.0 초과, 바람직하게 1.5-3.0이다.In the printing process, the viscosity of the paste material at 25 占 폚 is in the range of 1,000-500,000 mPa 占 퐏, preferably in the range of 15,000-50,000 mPa 占 퐏, and the TI of the paste material is more than 1.0, preferably 1.5-3.0.
프린팅 방법의 실시양태에서, 단계 1) 이전에, 댐 재료는 임의적으로 기판 상 상기 하나 이상의 제1 다이 주위로 분배될 수 있다. 상기 댐 재료는 D-F 방법에서 적용된 댐 재료와 동일하고, 댐 재료에 대한 논의는 여기서 생략된다.In an embodiment of the printing method, prior to step 1), the dam material may optionally be distributed around the at least one first die on the substrate. The dam material is the same as the dam material applied in the D-F method, and a discussion of the dam material is omitted here.
프린팅 방법의 실시양태에서, 제1 다이는 컨트롤러 다이이고, 제2 다이는 메모리 다이이다. 본 발명의 의미 내의 용어 "제1 다이" 및 "제2 다이"는 상이한 단계에서 사용된 다이를 구별하도록 사용되고, "제1 다이" 및 "제2 다이"의 유형에 구체적인 제한은 없는 것으로 해석되어야 할 것이며, 이는 메모리 카드에서 사용되는 흔한 다이의 유형뿐만 아니라, 수동 부품 예를 들어 전기용량, 저항, 인덕턴스 및 다른 기능성 다이, 예를 들어 RF-관련 다이, 시큐리티 다이, 센서 다이, 파워 다이, 디지털 시그널 프로세서 다이, 로직 다이, 송수신기 다이 등도 포함한다.In an embodiment of the printing method, the first die is a controller die and the second die is a memory die. The terms "first die" and "second die" within the meaning of the present invention are used to distinguish the die used in the different steps and should not be construed as being limited to any particular type of "first die & Which may include not only the type of common die used in a memory card but also other components such as passive components such as capacitance, resistance, inductance and other functional dies such as RF-related dies, security dies, sensor dies, Signal processor die, logic die, transceiver die, and the like.
프린팅 방법의 실시양태에서, 경화는 UV 또는 가열을 통해 수행된다.In an embodiment of the printing process, the curing is carried out by UV or heating.
실시예Example
본 발명은 하기 실시예 및 도면을 첨부하여 더 자세히 설명될 것이다.The present invention will be described in further detail with reference to the following examples and drawings.
Ⅰ. 시험 방법Ⅰ. Test Methods
점도Viscosity
댐 재료, 필 재료 및 페이스트 재료에 대한 점도를 5 rpm에 25 ℃에서, 브룩필드(Brookfield)에 의해 공급된, 브룩필드 모델 HBDV-III (CP-51)로 측정하였다.Viscosities for dam, fill and paste materials were measured with a Brookfield model HBDV-III (CP-51) supplied by Brookfield at 25 rpm at 5 rpm.
T.IT.I. . (. ( 요변성Thixotropy 지수) Indices)
댐 재료, 필 재료 및 페이스트 재료에 대한 T.I. 값을 하기 식을 기초로 하여 산출하였다.T.I. for dam material, fill material and paste material. Was calculated on the basis of the following formula.
TI = (0.5 rpm에서의 점도) / (5.0 rpm에서의 점도)TI = (viscosity at 0.5 rpm) / (viscosity at 5.0 rpm)
0.5 rpm 및 5.0 rpm에서의 점도를 25 ℃에서, 브룩필드 코포레이션(Brookfield Corporation)에 의해 공급된, 브룩필드 모델 HBDV-III (CP-51)로 측정하였다.Viscosities at 0.5 rpm and 5.0 rpm were measured at 25 占 폚 with Brookfield model HBDV-III (CP-51) supplied by Brookfield Corporation.
DSCDSC (시차 주사 열량계) 측정 (Differential scanning calorimeter) measurement
댐 재료, 필 재료 및 페이스트 재료의 경화 반응 프로파일을 퍼킨-엘머 인크.(Perkin-Elmer Inc.)에 의해 공급된, 퍼킨-엘머 시차 주사 열량계 (DSC-7)를 사용하여 재료를 관통하는 열 흐름의 측정에 의해 온도의 함수로서 얻었다. 온도 범위는 10 ℃/min의 온도 상승 속도에서 25 ℃ 내지 300 ℃이었다.The cure reaction profile of the dam, fill and paste materials was measured using a Perkin-Elmer differential scanning calorimeter (DSC-7) supplied by Perkin-Elmer Inc., As a function of temperature. The temperature range was 25 占 폚 to 300 占 폚 at a temperature rising rate of 10 占 폚 / min.
다이die 전단 강도 Shear strength
정의: 균일한 방향에서 다이 및 기판 사이의 본드를 끊는 데 필요한 접선력의 값Definition: The value of the tangential force required to break the bond between the die and the substrate in a uniform direction
다이 전단 시험기는 다게(Dage)에 의해 공급된, 다게 4000이었다.The die shear tester was 4000, supplied by Dage.
BLTBLT (본드 (bond 선 두께Line thickness ))
정의: (니콘 코포레이션(Nikon Corporation)에 의해 공급된) 니콘 현미경 MM-40으로 측정된 접착 층의 두께.Definition: The thickness of the adhesive layer measured with a Nikon microscope MM-40 (supplied by Nikon Corporation).
스트립 휨 (Strip bending ( ㎛로㎛ 기록됨) Recorded)
수평면 상에 대상을 놓고, (사이버 테크놀러지스(Cyber Technologies)에 의해 공급된) 사이버 스캔 레이저 프로파일로미터 밴티지(VANTAGE)-2로 휨의 최고점 및 최저점 간의 차이를 측정하여 스트립 휨을 측정하였다.The strip warpage was measured by placing the object on a horizontal plane and measuring the difference between the maximum and minimum points of deflection with a Vantage-2 cyber scan laser profile (supplied by Cyber Technologies).
Ⅱ. 재료Ⅱ. material
SR 495B: 사토머(Sartomer)에 의해 공급된, 이소데실SR 495B: The isodecyl, as supplied by Sartomer,
아크릴레이트 단량체 Acrylate monomer
SR 610: 사토머에 의해 공급된, 폴리(에틸렌 글리콜) SR 610: The poly (ethylene glycol) < RTI ID = 0.0 >
디아크릴레이트 Diacrylate
RAS-1: 헨켈(Henkel)에 의해 공급된, 관능화된 에폭RAS-1: The functionalized epoxies supplied by Henkel
시 수지 City Resin
에폰(EPON) 수지 58005: 헥시온(Hexion)에 의해 공급된,EPON resin 58005 supplied by Hexion,
CTBN 개질 에폭시 수지 CTBN modified epoxy resin
아트(Art) 수지 UN 9200: 네가미 케미칼(Negami Chemical)에 의Art resin UN 9200: Negami Chemical Co., Ltd.
해 공급된, 폴리우레탄 개질 아크릴레이트 The polyurethane modified acrylate
SRM-1: 헨켈에 의해 공급된, BMI 수지SRM-1: BMI resin supplied by Henkel
리콘(Ricon) 131 MA10: 사토머에 의해 공급된, 말레산무수물 부타디Ricon 131 MA10: The maleic anhydride < RTI ID = 0.0 > butadiene <
엔 공중합체 Ene copolymer
촉매 313 B: 헨켈에 의해 공급된, N,N'-(4-메틸-Catalyst 313 B: N, N ' - (4-methyl-
1,3-페닐렌)디(피롤리딘-1-카르복스아미드), 1,3-phenylene) di (pyrrolidine-1-carboxamide),
에폭시 하드너 Epoxy hardener
디쿠밀 퍼옥시드: 악조 노벨(Akzo Nobel)에Dicumyl peroxide: At Akzo Nobel
의해 공급된, 퍼옥시드 The peroxides
Z 6040: 다우 코닝(Dow Corning)에 의해 공급된, Z 6040: Dow Corning, supplied by Dow Corning,
3(-글리시드옥시프로필)트리메톡시실란 3 (- glycidoxypropyl) trimethoxysilane
Z 6030: 다우 코닝에 의해 공급된,Z 6030: Supplied by Dow Corning,
트리메톡시실릴프로필 메타크릴레이트 Trimethoxysilylpropyl methacrylate
BYK-333: BYK 케미(BYK Chemie)에 의해 공급된,BYK-333: Supplied by BYK Chemie,
규소 기재 중합체 The silicon-based polymer
폼블린(Fomblin) T4 솔베이 솔렉시스(Solvay Solexis)에 의해Fomblin T4 By Solvay Solexis
공급된, 2-옥시란메탄올, The supplied 2-oxirane methanol,
환원된 중합 산화된 테트라플루오로에틸렌의 Of the reduced polymerized and oxidized tetrafluoroethylene
환원된 Me 에스테르가 있는 중합체 Polymer with reduced Me ester
다우 코닝 안티폼 1400: 다우 코닝에 의해 공급된, 실리콘 컴파운드Dow Corning Anti-Foam 1400: a silicone compound supplied by Dow Corning
AO-802: 아드마테크(Admatechs)에 의해 공급된,AO-802: Supplied by Admatechs,
알루미나 Alumina
XG-1270: 젤레스트(Gelest)에 의해 공급된, 실리카XG-1270: The silica, supplied by Gelest,
SE6100 아드마테크 컴퍼니 리미티드SE6100 Admatech Company Limited
(Admatechs company limited)에 의해 공급된, (Supplied by Admatechs company limited)
평균 입자 크기 1.8 ㎛인 구형 실리카 Spherical silica having an average particle size of 1.8 탆
SE1050 아드마테크 컴퍼니 리미티드에 의해 공급된,SE1050 Supplied by Admatech Company Limited,
평균 입자 크기 0.8 ㎛인 구형 실리카 Spherical silica having an average particle size of 0.8 탆
실시예 1Example 1
필 재료 1의 제조Preparation of fill material 1
SR 495 B (비닐 수지) 8.81 g, RAS-1 (에폭시 수지) 8.33 g, SRM-1 (BMI 수지) 25.60 g, 리콘 131 MA10 (비닐 수지) 5.12 g, Z6040 (첨가제) 0.48 g, Z6030 (첨가제) 0.36 g, BYK-333 (첨가제) 0.36 g, 촉매 313B (에폭시 하드너) 0.24 g, 디쿠밀 퍼옥시드 (경화제) 0.71 g 및 AO-802 (필러) 50.00 g을 함께 혼합하여 필 재료를 제조하였다. 5 rpm에서 필 재료의 점도는 3992 mPa·s로 측정되었고, 0.5 rpm에서 이의 점도는 4643 mPa·s로 측정되었으므로, 필 재료 1의 T.I.는 1.163이었다. 필 재료 1에 대한 DSC 피크와 관련된 데이터를 표 1에 기록하였다., 8.60 g of SR 495 B (vinyl resin), 8.33 g of RAS-1 (epoxy resin), 25.60 g of SRM-1 (BMI resin), 5.12 g of Ricon 131 MA10 (vinyl resin), 0.48 g of Z6040 (additive) 0.36 g of BYK-333 (additive), 0.24 g of catalyst 313B (epoxy hardener), 0.71 g of dicumyl peroxide (curing agent) and 50.00 g of AO-802 (filler) were mixed together to prepare a fill material. The viscosity of the fill material at 5 rpm was measured at 3992 mPa · s and the viscosity at 0.5 rpm was measured at 4643 mPa · s, so that TI of fill material 1 was 1.163. Data relating to DSC peaks for fill material 1 are reported in Table 1.
실시예 2Example 2
필 재료 2의 제조Preparation of fill material 2
필 재료 2에서의 각각의 성분의 양을 표 1에 나타난 데이터에 따라 변경한 것을 제외하고, 필 재료 1과 동일한 방법으로 필 재료 2를 제조하였다.Peel Material 2 was prepared in the same manner as Peel Material 1, except that the amount of each component in Peel Material 2 was changed according to the data shown in Table 1.
실시예 3Example 3
필 재료 3의 제조Production of fill material 3
필 재료 3에서의 각각의 성분의 양을 표 1에 나타난 데이터에 따라 변경한 것을 제외하고, 필 재료 1과 동일한 방법으로 필 재료 3을 제조하였다.Peel Material 3 was prepared in the same manner as Peel Material 1, except that the amount of each component in Peel Material 3 was changed according to the data shown in Table 1.
<표 1><Table 1>
실시예 1-3에서의 필 재료의 조성The composition of the fill material in Examples 1-3
실시예 4Example 4
댐 재료 4의 제조Manufacture of dam material 4
SR 610 (비닐 수지) 7.64 g, 에폰 수지 58005 (에폭시 수지) 6.11 g, 아트 수지 UN 9200 (비닐 수지) 1.53 g, SRM-1 (BMI 수지) 23.45 g, 리콘 131 MA10 (비닐 수지) 9.27 g, 촉매 313B (에폭시 하드너) 0.24 g, 디쿠밀 퍼옥시드 (경화제) 0.22 g, 다우 코닝 안티폼 1400 (첨가제) 0.33 g, Z6040 (첨가제) 0.44 g, Z6030 (첨가제) 0.33 g 및 XG-1270 (필러) 50.70 g을 함께 혼합하여 댐 재료 4를 제조하였다. 5 rpm에서 댐 재료의 점도는 44370 mPa·s로 측정되었고, 0.5 rpm에서 이의 점도는 164400 mPa·s로 측정되었으므로, 댐 재료 4의 T.I.는 3.705이었다. 댐 재료 4에 대한 DSC 피크와 관련된 데이터를 표 2에 기록하였다., 6.64 g of Epon resin 58005 (epoxy resin), 1.53 g of Art resin UN 9200 (vinyl resin), 23.45 g of SRM-1 (BMI resin), 9.27 g of Ricon 131 MA10 (vinyl resin) 0.34 g of Z6040 (additive), 0.33 g of Z6030 (additive), 0.33 g of Z6040 (additive) and 0.33 g of XG-1270 (filler) were added to a solution of 0.24 g of catalyst 313B (epoxy hardener), 0.22 g of dicumyl peroxide (curing agent), 0.33 g of Dow Corning anti- And 50.70 g were mixed together to prepare a dam material 4. The viscosity of the dam material at 5 rpm was measured at 44370 mPa · s and its viscosity at 0.5 rpm was measured at 164400 mPa · s, so that the TI of the dam material 4 was 3.705. Data relating to the DSC peak for dam material 4 are reported in Table 2.
실시예 5Example 5
댐 재료 5의 제조Manufacture of dam material 5
댐 재료 5에서의 각각의 성분의 양을 표 2에 나타난 데이터에 따라 변경한 것을 제외하고, 댐 재료 4와 동일한 방법으로 댐 재료 5를 제조하였다.The dam material 5 was prepared in the same manner as the dam material 4, except that the amount of each component in the dam material 5 was changed in accordance with the data shown in Table 2.
실시예 6Example 6
댐 재료 6의 제조Manufacture of dam material 6
댐 재료 6에서의 각각의 성분의 양을 표 2에 나타난 데이터에 따라 변경한 것을 제외하고, 댐 재료 4와 동일한 방법으로 댐 재료 6을 제조하였다.The dam material 6 was prepared in the same manner as the dam material 4, except that the amount of each component in the dam material 6 was changed in accordance with the data shown in Table 2.
<표 2><Table 2>
실시예 4-6에서의 댐 재료의 조성The composition of the dam material in Examples 4-6
실시예 7Example 7
페이스트 재료 7의 제조Production of paste material 7
SR 495B (비닐 수지) 5.46 g, 에폰 수지 58005 (에폭시 수지) 6.12 g, 아트 수지 UN 9200 (비닐 수지) 1.95 g, SRM-1 (BMI 수지) 23.48 g, 리콘 131 MA10 (비닐 수지) 10.92 g, 폼블린 T4 (첨가제) 0.27 g, Z6040 (첨가제) 0.44 g, Z6030 (첨가제) 0.33 g, 촉매 313B (에폭시 하드너) 0.24 g, 디쿠밀 퍼옥시드 (경화제) 0.44 g, 및 SE 6100 (필러) 43.80 g 및 AO-802 (필러) 6.55 g을 함께 혼합하여 페이스트 재료 7을 제조하였다. 5 rpm에서 페이스트 재료의 점도는 21990 mPa·s로 측정되었고, 0.5 rpm에서 이의 점도는 45420 mPa·s로 측정되었으므로, 페이스트 재료 7의 T.I.는 2.065이었다. 페이스트 재료 7에 대한 DSC 피크와 관련된 데이터를 표 3에 기록하였다.1.96 g of AR 495B (vinyl resin), 6.12 g of Epon resin 58005 (epoxy resin), 1.95 g of Art resin UN 9200 (vinyl resin), 23.48 g of SRM-1 (BMI resin), 10.92 g of Ricon 131 MA10 0.27 g of Pombulin T4 (additive), 0.44 g of Z6040 (additive), 0.33 g of Z6030 (additive), 0.24 g of catalyst 313B (epoxy hardener), 0.44 g of dicumyl peroxide (curing agent) and 43.80 g And 6.55 g of AO-802 (filler) were mixed together to prepare paste material 7. The viscosity of the paste material at 5 rpm was measured at 21990 mPa · s and its viscosity at 0.5 rpm was measured at 45420 mPa · s, so the TI of paste material 7 was 2.065. Data relating to DSC peaks for paste material 7 are reported in Table 3. < tb > < TABLE >
실시예 8Example 8
페이스트 재료 8의 제조Production of paste material 8
페이스트 재료 8에서의 각각의 성분의 양을 표 3에 나타난 데이터에 따라 변경한 것을 제외하고, 페이스트 재료 7과 동일한 방법으로 페이스트 재료 8을 제조하였다.Paste material 8 was prepared in the same manner as paste material 7 except that the amount of each component in paste material 8 was changed in accordance with the data shown in Table 3. [
<표 3><Table 3>
실시예 7-8에서의 페이스트 재료의 조성The composition of the paste material in Examples 7-8
성능 실시예 9Performance Example 9
D-F 방법에 따라 형성된 다이 본딩Die bonding formed according to D-F method
열세 개 그룹의 다이 본딩 시험을 D-F 방법에 따라 수행하였다. 그룹 #1을 예로 들면, 댐 재료 4를 먼저 컨트롤러 다이 주위로 분배하였고, 이의 점도 (44370 mPa·s)는 표준 다이 본딩의 점도 (약 10000 mPa·s)보다 컸고, 따라서 본래의 형태를 유지할 수 있었다. 프레임 분배 패턴이 있는 댐 재료의 노즐 크기 (내부 직경)는 0.30 mm이었다. 댐 재료를 분배하도록, 기압은 0.34 MPa이었고, 분배 속도는 9 mm/s이었으며, 분배 높이는 0.08 mm이었다. 스테이지 온도는 25 ℃이었다. 필 재료는 BGA 기판에서 매우 좋은 유동성을 가질 수 있는, 매우 낮은 점도 및 T.I.를 가졌다. 메이즈 v2 분배 패턴이 있는 필 재료의 노즐 크기는 0.50 mm이었다. 필 재료를 분배하도록, 기압은 0.12 MPa이었고, 분배 속도는 37.5 mm/s이었으며, 분배 높이는 0.14 mm이었다. 흐름 및 도포 범위가 개선되도록 기판을 약간 가열하였다. 스테이지 온도는 65 ℃이었다. 필 재료를 충전하고 완전한 도포 후, 점착성의 표면을 형성하도록 필 재료를 예비-가열하였다. 이어서, 그 위로 메모리 다이를 부착하였다. 본드 힘은 200 g이었고 본드 시간은 1000 ms이었다. 부분적으로 경화된 재료를 이어서 완전한 경화를 위해 오븐에 넣었다. 경화 후, 다이 본드 결과는 표 4에 나타나며, 즉, BLT가 80 ㎛이었고, 실온에서 접착력이 4.3 kgf/mm2이었고, 스트립 휨은 50 ㎛이었다. 대응되는 공정 파라미터를 표 4에 나타난 파라미터에 따라 변경한 것을 제외하고, 다른 열두 개 그룹을 그룹 #1과 동일한 방식으로 수행하였다.The die bonding test of thirteen groups was carried out according to the DF method. Taking Group # 1 as an example, the dam material 4 was first distributed around the controller die and its viscosity (44370 mPa.s) was greater than the viscosity of the standard die bonding (about 10000 mPa.s) there was. The nozzle size (inner diameter) of the dam material with the frame distribution pattern was 0.30 mm. To distribute the dam material, the atmospheric pressure was 0.34 MPa, the dispense velocity was 9 mm / s, and the dispense height was 0.08 mm. The stage temperature was 25 占 폚. The fill material had a very low viscosity and TI that could have very good fluidity on the BGA substrate. The nozzle size of the fill material with the Maize v2 distribution pattern was 0.50 mm. To dispense the fill material, the air pressure was 0.12 MPa, the dispense rate was 37.5 mm / s, and the dispense height was 0.14 mm. The substrate was slightly heated to improve flow and coverage. The stage temperature was 65 占 폚. After filling the fill material and complete application, the fill material was pre-heated to form a sticky surface. The memory die was then attached over it. The bond force was 200 g and the bond time was 1000 ms. The partially cured material was then placed in an oven for complete curing. After curing, the die bond results are shown in Table 4, i.e., the BLT was 80 占 퐉, the adhesive strength at room temperature was 4.3 kgf / mm 2 , and the strip warpage was 50 占 퐉. Other twelve groups were performed in the same manner as group # 1, except that the corresponding process parameters were changed according to the parameters shown in Table 4.
<표 4><Table 4>
표 4로부터, D-F 방법의 성능이 BLT, 실온에서 접착력 및 스트립 휨에 관하여 우수하다는 것을 분명히 알 수 있었다. BLT는 80 내지 200 ㎛의 범위 내와 같이, 본 발명의 D-F 방법에 따라 제어가능하다는 것이 증명되었다. 본 발명의 D-F 방법에 따른 실온에서 접착력은 3.9 kgf/mm2 이상이고, 이는 종래 기술에서의 약 2.5 kgf/mm2의 평균 값보다 훨씬 크다. 한편으로 본 발명의 방법에 따른 휨이 육안으로 보이지 않고, 다른 한편으로는 100 ㎛보다 큰 종래 기술에서의 평균 값보다 낫다는 것을 의미하는, 100 ㎛보다 훨씬 적기 때문에 스트립 휨은 훨씬 좋다.From Table 4 it can be clearly seen that the performance of the DF method is excellent for BLT, adhesive strength and strip bending at room temperature. It has been demonstrated that BLT is controllable according to the DF method of the present invention, such as in the range of 80 to 200 mu m. The adhesion at room temperature according to the DF method of the present invention is greater than 3.9 kgf / mm 2 , which is much greater than the average value of about 2.5 kgf / mm 2 in the prior art. Strip warpage is much better, on the one hand, since the warpage according to the method of the invention is much less than 100 μm, which means that it is better than the average value in the prior art, which is not visible to the naked eye and on the other hand is greater than 100 μm.
성능 실시예 10Performance Example 10
프린팅 방법에 따라 형성된 다이 본딩Die bonding formed according to the printing method
여덟 개 그룹의 다이 본딩 시험을 프린팅 방법에 따라 수행하였다. 그룹 #1을 예로 들면, 특정 개구 세트가 있는 두께 125 ㎛를 갖는 프린팅된 스틸 스텐실을 기판 상 컨트롤러 다이를 덮기 위하여 사용하였고, 이어서 컨트롤러 다이를 덮기 위하여 페이스트 재료 7을 개구로 프린팅하였다. 스퀴지(squeegee) 압력은 10 mm/sec의 스퀴지 속도 및 0.5 mm/sec의 분리 속도에서 1 kg이었다. 페이스트 재료를 부분적으로 경화하였다. 이어서, 메모리 다이를 페이스트 재료 위로 부착하였다. 본드 힘은 200 g이었고, 본드 시간은 1000 ms이었다. 부분적으로 경화된 재료를 이어서 완전한 경화를 위해 오븐에 넣었다. 경화 후, 다이 본드 결과는 표 5에 나타나며, 즉, BLT가 100 ㎛이었고, 실온에서 접착력이 4.3 kgf/mm2이었고, 스트립 휨은 50 ㎛이었다. 대응되는 공정 파라미터를 표 5에 나타난 파라미터에 따라 변경한 것을 제외하고, 다른 일곱 개 그룹을 그룹 #1과 동일한 방식으로 수행하였다.Eight groups of die bonding tests were performed according to the printing method. Taking Group # 1 as an example, a printed steel stencil having a thickness of 125 [mu] m with a certain set of apertures was used to cover the controller die on the substrate and then the paste material 7 was printed open to cover the controller die. The squeegee pressure was 1 kg at a squeegee speed of 10 mm / sec and a separation speed of 0.5 mm / sec. The paste material was partially cured. The memory die was then attached over the paste material. The bond force was 200 g and the bond time was 1000 ms. The partially cured material was then placed in an oven for complete curing. After curing, the die bond results are shown in Table 5, i.e., the BLT was 100 占 퐉, the adhesive strength at room temperature was 4.3 kgf / mm 2 , and the strip warpage was 50 占 퐉. Seven other groups were performed in the same manner as group # 1 except that the corresponding process parameters were changed according to the parameters shown in Table 5.
<표 5><Table 5>
표 5로부터, 프린팅 방법의 성능이 BLT, 실온에서 접착력 및 스트립 휨에 관하여 우수하다는 것을 분명히 알 수 있었다. BLT는 80 내지 100 ㎛의 범위 내와 같이, 본 발명의 프린팅 방법에 따라 제어가능하다는 것이 증명되었다. 본 발명의 프린팅 방법에 따른 실온에서 접착력은 4.06 kgf/mm2 이상이고, 이는 종래 기술에서의 약 2.5 kgf/mm2의 평균 값보다 훨씬 크다. 한편으로 본 발명의 방법에 따른 휨이 육안으로 보이지 않고, 다른 한편으로는 100 ㎛보다 큰 종래 기술에서의 평균 값보다 낫다는 것을 의미하는, 100 ㎛보다 훨씬 적기 때문에 스트립 휨은 훨씬 좋다.From Table 5 it can clearly be seen that the performance of the printing method is excellent with respect to adhesion and strip bending at room temperature, BLT. It has been demonstrated that BLT is controllable according to the printing method of the present invention, such as in the range of 80 to 100 mu m. The adhesion at room temperature according to the printing method of the present invention is at least 4.06 kgf / mm 2 , which is much greater than the average value of about 2.5 kgf / mm 2 in the prior art. Strip warpage is much better, on the one hand, since the warpage according to the method of the invention is much less than 100 μm, which means that it is better than the average value in the prior art, which is not visible to the naked eye and on the other hand is greater than 100 μm.
본 개시가 다양한 실시양태에 관하여 명세서에서 기재되고, 도면으로 설명되었지만, 이는 당업자에 의해 청구범위에서 정의된 본 개시의 범주를 벗어나지 않고 다양한 변경이 이루어질 수 있으며 등가물이 그 요소를 치환할 수 있음이 이해될 것이다. 게다가, 다양한 실시양태들 사이의 특징, 요소 및(또는) 기능의 혼합과 일치가 본원에서 명확히 고려되어, 달리 기재되지 않는 한, 당업자는 본 개시로부터 일 실시양태의 특징, 요소 및(또는) 기능이 적절하게 또 다른 실시양태에 포함될 수 있는 것을 이해할 것이다. 게다가, 본 발명의 기본적인 범주를 벗어나지 않고 본 개시의 내용에 특정 상황 또는 재료를 채택하기 위해 많은 변경이 이루어질 수 있다. 따라서, 본 개시는 본 개시를 실행하기 위한 최적 모드로서 본원에서 고려된, 도면에 설명되고 명세서에 기재된 특정 실시양태에 한정되지 않고, 본 개시는 상기 기재와 첨부된 청구범위 내에 포함되는 임의의 실시양태를 포함하는 것으로 의도된다.Although this disclosure has been described in the specification and described with reference to various embodiments, it will be understood by those skilled in the art that various changes may be made and equivalents may be substituted for elements thereof without departing from the scope of the present disclosure as defined in the claims It will be understood. Further, unless the context clearly indicates that the various aspects, elements, and / or functions of the various embodiments are expressly contemplated and contemplated herein, one of ordinary skill in the art will readily appreciate from the disclosure that the features, elements, and / May be properly included in yet another embodiment. In addition, many modifications may be made to adapt a particular situation or material to the teachings of the disclosure without departing from the essential scope thereof. Accordingly, the present disclosure is not intended to be limited to the particular embodiments described in the drawings and described herein as the best mode contemplated for carrying out this disclosure, and this disclosure is not intended to limit the scope of the present invention to any implementation And are intended to include embodiments.
Claims (14)
2) 필 재료가 댐 재료에 의해 한정된 영역으로 분배되고, 임의적으로 기판은 그 동안 가열되는 단계;
3) 임의적으로, 필 재료가 부분적으로 경화되는 단계;
4) 제2 다이가 필 재료 위로 본딩되는 단계;
5) 댐 및 필 재료가 완전히 경화되는 단계
를 포함하는 것을 특징으로 하는, 댐 재료 및 필 재료를 이용하는 다이 본딩 방법.1) the dam material is distributed around the at least one first die on the substrate;
2) the fill material is dispensed into the region defined by the dam material, and optionally the substrate is heated during this time;
3) Optionally, the fill material is partially cured;
4) the second die is bonded onto the fill material;
5) Steps in which the dam and fill material are fully cured
Wherein the die material and the fill material are used.
2) 상기 하나 이상의 제1 다이를 덮기 위하여, 페이스트 재료가 개구로 프린팅되는 단계;
3) 임의적으로, 페이스트 재료가 부분적으로 경화되는 단계;
4) 제2 다이가 페이스트 재료 위로 본딩되는 단계; 및
5) 페이스트 재료가 완전하게 경화되는 단계
를 포함하는 것을 특징으로 하는, 프린팅된 스틸 스텐실 및 페이스트 재료를 이용하는 다이 본딩용 프린팅 방법.1) a printed steel stencil with a particular set of apertures is used to cover one or more first die on a substrate;
2) printing the paste material with an opening to cover the at least one first die;
3) optionally, the paste material is partially cured;
4) the second die is bonded onto the paste material; And
5) step in which the paste material is completely cured
Wherein the printed stencil and paste material comprises a printed stencil and a paste material.
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