KR20160101862A

KR20160101862A - 열식 플로센서

Info

Publication number: KR20160101862A
Application number: KR1020160017200A
Authority: KR
Inventors: 도시노리 구라타; 가츠야 모로즈미
Original assignee: 에스엠시 가부시키가이샤
Priority date: 2015-02-18
Filing date: 2016-02-15
Publication date: 2016-08-26
Also published as: CN105890686B; CN105890686A; KR102559872B1; DE102016102294A1; TW201636582A; JP6172475B2; TWI680279B; JP2016151491A; US20160238421A1; US10254141B2

Abstract

열식 플로센서(10)를 구성하는 검출부(14)에는, 측정용 유로(26)가 형성된다. 이 측정용 유로(26)의 유체 유동방향 상류측에는 온도센서(30)가 배치되고, 하류측에는 히터(32)가 배치된다. 나아가서, 온도센서(30)와 히터(32)의 사이에는, 열전달 방지벽(40)이 설치된다. 또, 온도센서(30)와 히터(32)의 사이에 또한 열전달 방지벽(40)의 하류측에, 오리피스(42) 등의 정류수단을 설치하는 것이 바람직하다.

Description

열식 플로센서 {THERMAL TYPE FLOW SENSOR}

본 발명은, 유체가 유동하는 유로의 상류측에 배치된 온도센서와 하류측에 배치된 발열체를 가지는 열식 플로센서에 관한 것이다.

열식 플로센서(thermal flow sensor)에는, 유체가 유동하는 유로의 상류측에 온도센서가 배치됨과 함께, 하류측에 히터(발열체)가 배치된다. 그리고, 상기 히터에 의해서 유체를 가열하는 한편, 온도센서로 측정된 유체의 온도에 근거하여, 상기 유체의 유속 내지 유량을 검출한다.

이런 종류의 열식 플로센서는, 유로가 수평방향을 따라서 연장하도록 몸체 등에 장착되어, 그 상태로 사용된다. 이 때문에, 유체는 수평방향을 따라서 유동한다.

수평방향으로는 설치공간이 협소할 때 등, 경우에 따라서는, 열식 플로센서를, 유로가 연직방향을 따라서 연장하는 자세로 이용할 수 없을 수도 있다. 그렇지만, 위쪽에 온도센서, 아래쪽에 히터가 위치했을 때에는, 아래쪽에서 가열되어 온도가 상승한 유체가 유로 내에서 상승하는 것에 수반하여 대류가 생긴다. 이때, 온도가 상승한 유체가 온도센서에 접촉하면, 상기 온도센서는, 유체의 온도를 함께검출해 버린다. 그 결과, 유체의 유속 내지 유량의 검출 정밀도가 저하되는 문제가 야기된다.

따라서, 일본 실용신안공개 실개평6-80130호 공보에 있어서, 몸체가 수직방향을 따라서 연장할 경우에 1쌍의 온도센서가 수평으로 배열되는 매스 플로 미터(mass flow meter)가 제안되었다.

일본 실용신안공개 실개평6-80130호 공보에 기재된 매스 플로 미터는, 몸체가 수직방향을 따라서 연장하는 자세가 될 때 사용할 수 있는 것이고, 몸체가 수평방향을 따라서 연장하는 자세가 될 때는 사용할 수 없다. 이 자세로는, 매스 플로 미터의 유로 내에서 상기한 대류가 발생하기 때문이다.

즉, 종래기술에 따른 매스 플로 미터는, 사용할 때의 자세가 제한되어 버린다는 문제가 표면화되고 있다.

본 발명의 주된 목적은, 유로 내를 유동하는 유체의 유속 내지 유량을, 자세에 관련없이 정확하게 평가하는 것이 가능한 열식 플로센서를 제공하는 것에 있다.

본 발명의 일 실시형태에 의하면, 유체가 유동하는 유로의 상류측에 배치된 온도센서와, 하류측에 배치된 발열체를 가지는 열식 플로센서에 있어서,

상기 온도센서와 상기 발열체와의 사이에, 상기 발열체가 발생시킨 열에 의해서 온도가 상승한 상기 유체가 상기 온도센서에 접촉하는 것을 방지하기 위한 열전달 방지벽이 설치되어 있는 열식 플로센서가 제공된다.

고온의 유체는 저온의 유체에 비해 비중이 작다. 이 때문에, 유로가 연직방향을 따른 자세이고 또한 온도센서가 연직상방, 발열체가 연바로 아래방에 위치하는 경우, 발열체에 의해서 가열되어 온도가 상승한 유체는, 온도센서 쪽을 향하여 상승하기 쉽다. 즉, 대류가 일어나기 쉽다.

여기서, 본 발명에 있어서는, 상기된 바와 같이, 온도센서와 발열체와의 사이에 열전달 방지벽이 설치되어 있다. 이 열전달 방지벽에 의해서, 상승한 유체가 온도센서에 접촉하는 것이 방지된다. 또, 발열체로부터의 복사열이 차단된다. 이러한 이유로, 온도센서가, 상기 온도센서에 접촉하는 가열 전의 유체의 온도 이외의 온도를 검출하는 것이 회피된다.

요컨대, 이 경우, 온도센서는, 발열체에 의해서 가열되기 전의 유체의 온도를 정확하게 검출하는 것이 용이하다. 따라서, 열식 플로센서의 자세에 관련없이, 유체의 유속 내지 유량을 높은 정밀도로 검출할 수 있다. 즉, 열식 플로센서의 자세가 제한되지 않는다.

그리고, 이 경우, 온도센서와 발열체를 동일축선 상에 배치할 수 있으므로, 열식 플로센서를 소형으로 구성할 수 있다.

또한, 경우에 따라서는, 유체가 열전달 방지벽의 영향을 받아 난류가 될 가능성이 있다. 이 우려를 불식시키기 위해서, 온도센서와 발열체와의 사이에 또한 열전달 방지벽의 하류에, 유체의 기류를 정류시키는 정류수단을 마련하는 것이 바람바로 아래다. 이것에 의해 유체가 층류로 되어, 유체가 하류의 발열체 측으로 원활히 유동하게 된다. 따라서, 상승한 유체가 온도센서에 접촉하는 것이 한층 유효하게 방지된다. 즉, 유속 내지 유량의 검출 정밀도가 한층 향상한다.

정류수단의 적절한 구체적인 예로서는 오리피스를 들 수 있다. 이 경우, 유로의 일부를 좁히면 된다.

정류수단은, 통기구멍이 형성된 통기체일 수도 있다. 이 경우의 구체적인 예로서는, 다공질체, 메시(mesh) 또는 하니콤(honeycomb) 구조체를 들 수 있다.

또, 열전달 방지벽의, 유로의 연장방향에 대해서 직교하는 폭방향 치수를, 온도센서의, 유로의 연장방향에 대해서 직교하는 폭방향 치수의 2배 이상으로 설정하는 것이 바람바로 아래다. 이것에 의해, 상승한 유체가 온도센서에 접촉하는 것을 한층 유효하게 방지할 수 있음과 함께, 발열체로부터의 복사열을 한층 유효하게 차단할 수 있기 때문이다. 즉, 온도센서에 의한 유체의 온도 검출의 정밀도가 한층 향상한다.

본 발명에 따르면, 온도센서와 발열체와의 사이에 열전달 방지벽을 설치하도록 하고 있으므로, 발열체에 의해서 온도가 상승한 유체로 발생한 대류가 온도센서에 접촉하는 것이 방지될 수 있다. 이 때문에, 온도센서가, 발열체에 의해서 가열되기 전의 유체의 온도를 정확하게 검출할 수 있다.

즉, 이 경우, 열식 플로센서의 자세에 관계없이, 유체의 유속 내지 유량을 높은 정밀도로 검출할 수 있다. 따라서, 열식 플로센서를 사용함에 있어서, 그 자세가 제한되지 않게 된다.

이 효과는, 온도센서와 발열체와의 사이에 또한 열전달 방지벽의 하류에, 유체의 기류를 정류시키는 정류수단을 설치할 때 한층 현저해진다.

본 발명의 상기된 그리고 또 다른 목적들, 특징들 및 장점들은, 본 발명의 바람직한 실시형태들이 예시적인 실시예에 의해 도시되는 첨부 도면들과 함께 취해질 때 이어지는 설명으로부터 더욱 명확해질 것이다.

도 1은, 본 발명의 실시형태에 따른 열식 플로센서의 측면 일부 단면도이다.
도 2는, 도 1의 열식 플로센서에 있어서의 측정용 유로의 모식적 정면도이다.
도 3은, 오리피스가 형성되어 있지 않은 열식 플로센서에 있어서의 측정용 유로의 모식적 정면도이다.
도 4는, 열전달 방지벽만을 설치하였을 때에 온도센서로 측정된 유체의 온도의 변동폭과, 열전달 방지벽 및 오리피스를 설치하였을 때에 온도센서로 측정된 유체의 온도의 변동폭을 함께 나타낸 그래프이다.
도 5는, 정류수단으로서 통기체를 이용한 열식 플로센서에 있어서의 측정용 유로의 모식적 정면도이다.
도 6은, 도 1 및 도 2와는 상이한 형상의 열전달 방지벽의 평면도이다.
도 7은, 도 1, 도 2 및 도 6과는 상이한 형상의 열전달 방지벽의 평면도이다.
도 8은, 도 1, 도 2, 도 6 및 도 7과는 상이한 형상의 열전달 방지벽의 평면도이다.
도 9는, 도 1, 도 2, 및 도 6 내지 도 8과는 상이한 형상의 열전달 방지벽의 평면도이다.
도 10은, 도 1, 도 2, 및 도 6 내지 도 9와는 상이한 형상의 열전달 방지벽의 평면도이다.
도 11은, 도 1, 도 2, 및 도 6 내지 도 10과는 상이한 형상의 열전달 방지벽의 평면도이다.

이하, 본 발명에 따른 열식 플로센서에 대해 적절한 실시형태를 들어 첨부의 도면을 참조해 상세하게 설명한다.

도 1은, 본 실시형태에 따른 열식 플로센서(10)의 측면 일부 단면도이다. 이 열식 플로센서(10)는, 몸체(12)와, 상기 몸체(12)에 유지되는 검출부(14)를 가진다.

몸체(12)에 대해 개략적으로 설명하면, 상기 몸체(12)는, 메인유로(16)가 형성됨과 함께 양단이 개구된 중공체로 이루어지고, 대략 직육면체 형상을 이룬다. 또한, 메인유로(16)에는, 관 이음부재를 통하여 관 부재(모두 도시하지 않음)가 접속된다.

도 1로부터 알 수 있는 바와 같이, 본 실시형태에서는, 메인유로(16)가 연직방향을 따라서 연장된다. 유체는, 연직상방으로부터 연바로 아래방을 향하여 메인유로(16) 내에서 유동한다. 즉, 연직상방이 유체의 유동방향 상류측, 연바로 아래방이 유동방향 하류측이다.

관 부재에는, 메인유로(16)에 연통하는 공급로(18) 및 복귀로(20)가 형성되어 있다. 이 경우, 공급로(18)가 상류측, 복귀로(20)가 하류측에 위치한다.

몸체(12)의 일 측면에는, 오목부(22)가 형성되어 있다. 검출부(14)의 일부는, 이 오목부(22)에 진입되어 있다. 그리고, 검출부(14)를 구성하는 하면 커버(24)가 오목부(22)의 바닥 벽에 맞닿는다. 여기서, 상기 하면 커버(24)에는, 공급로(18) 및 복귀로(20)의 각각에 개별적으로 연통하는 측정용 유로(26)가 형성되어 있다. 또한, 하면 커버(24)에는, 측정용 유로(26)를 둘러싸도록 밀봉부재(28)가 설치되어 있어, 이 밀봉부재(28)에 의해 몸체(12)와 검출부(14)와의 사이의 밀봉이 이루어진다.

측정용 유로(26)에는, 온도센서(30) 및 히터(32)(발열체)가 상류측으로부터 하류측을 향해 이 순서대로 배치되어 있다. 즉, 온도센서(30)가 상류측, 히터(32)가 하류측에 위치한다. 이들 온도센서(30) 및 히터(32)는, 하면 커버(24)에 지지된 센서 베이스(34)에 설치되고, 이것에 의해, 소정 개소에 위치결정되어 고정되어 있다.

온도센서(30) 및 히터(32)는, 동일축선 상에 위치하고 있다(도 2 참조). 따라서, 측정용 유로(26)를 큰 폭으로 할 필요가 없기 때문에, 검출부(14)를 대형화할 필요도 없다.

센서 베이스(34)는 센서 기판(36)을 지지하고 있고, 한편, 검출부(14)에 설치된 커넥터부(38)에는 도시하지 않은 제어회로가 전기적으로 접속된다. 센서 기판(36)을 통하여 제어회로로부터의 지령신호가 히터(32)에 전달됨과 함께, 온도센서(30)로부터의 신호가 제어회로에 전달된다.

도 1 및 도 2에 도시된 바와 같이, 온도센서(30)와 히터(32)와의 사이에는, 열전달 방지벽(40)이 설치된다. 열전달 방지벽(40)은, 온도센서(30)의 바로 아래에 위치하고, 다시 말해서, 히터(32)에 비해 온도센서(30)에 근접하고 있다.

온도센서(30) 및 열전달 방지벽(40)의, 측정용 유로(26)의 연장방향인 X방향(이 경우, 연직방향)과 직교하는 Y방향을 폭방향으로 하면, 열전달 방지벽(40)의 폭방향 치수 W1는, 온도센서(30)의 폭방향 치수 W2에 비해 큰 것이 바람바로 아래다. 더욱 상세하게는, W1이 W2의 2배 이상인 것이 바람바로 아래다.

또한, 열전달 방지벽(40)은, 측정용 유로(26)의 내벽으로부터 이격되어 있다. 즉, 열전달 방지벽(40)과 측정용 유로(26)의 내벽과의 사이에는, 유체가 충분히 유동 가능한 간극이 형성되어 있다. 결국, 열전달 방지벽(40)을 설치한 것에 의해 유체의 측정용 유로(26) 내에서의 유동을 방해하지는 않는다.

도 2에 도시된 바와 같이, 측정용 유로(26)는, 온도센서(30)와 히터(32)의 사이에서 또한 열전달 방지벽(40)의 하류측에서 좁혀진다. 즉, 측정용 유로(26)에는 오리피스(42)가 형성되어 있다. 후술하는 바와 같이, 오리피스(42)는, 측정용 유로(26) 내를 유동하는 유체의 기류를 정류시키는 정류수단으로서 기능한다.

검출부(14)를 구성하는 상면 커버(44)에는, 도시하지 않은 표시부가 설치된다. 검출부(14)에 의해서 측정된 유속 내지 유량은 표시부에 표시된다.

본 실시형태에 따른 열식 플로센서(10)는, 기본적으로는 이상과 같이 구성되는 것이며, 다음에 그 작용효과에 대해 설명한다.

상기된 바와 같이, 본 실시형태의 경우, 열식 플로센서(10)는, 몸체(12)의 메인유로(16)에 관 부재가 접속되고, 또한 메인유로(16) 및 측정용 유로(26)가 연직방향을 따라서 연장하는 자세로 사용된다. 이때, 온도센서(30)가 연직상방(상류측)이 되고, 히터(32)가 연바로 아래방(하류측)이 된다. 동시에, 메인유로(16)와 측정용 유로(26)에 연통하는 공급로(18)가 연직상방(상류측), 복귀로(20)가 연바로 아래방(하류측)이 된다.

이 상태로, 제어회로의 제어작용 하에 "히터(32)를 발열시킨다"는 지령신호가 발신된다. 히터(32)는, 센서 기판(36)을 통하여 이 지령신호를 수신하여 발열한다.

관 부재에 유체(예를 들면, 소정의 압축기체)가 도입되면, 상기 유체가 메인유로(16)에 유동한다. 메인유로(16)에서 유동하는 유체의 일부는, 공급로(18)에 의해서 분기되고, 상기 공급로(18)를 통하여 측정용 유로(26)에 도입된다. 그리고, 측정용 유로(26) 내의 유체의 온도가 온도센서(30)에 의해서 측정된다. 측정 결과는, 신호로서 제어회로에 송신된다.

측정용 유로(26) 내의 유체는, 열전달 방지벽(40)과 측정용 유로(26)의 내벽과의 사이의 간극을 통과하여 더욱 하류측으로 유동하고, 히터(32)에 접촉된다. 히터(32)가 미리 발열하고 있으므로, 유체는 상기 히터(32)에 의해서 가열된다. 분산된 열량의 변화를 측정함으로써, 제어회로는 유체의 유속 내지 유량이 변화한 것을 검출할 수 있다.

히터(32)에 접촉한 유체는, 상기 히터(32)로부터 열이 전달됨에 따라 온도가 상승한다. 한편, 히터(32)보다 상류측의 유체는 아직 가열되지 않았기 때문에, 비교적 저온이다. 즉, 측정용 유로(26) 내에서는, 히터(32) 근방의 유체(가열된 유체)와, 히터(32)보다도 상류의 유체와의 사이에 온도차가 생긴다. 고온의 유체는 저온의 유체에 비해 비중이 작기 때문에 비교적 상승하기 쉽다. 이 때문에, 가열된 유체가 상류측의 온도센서(30)를 향해 상승하는 흐름, 다시 말해서, 대류가 발생한다.

여기서, 본 실시형태에서는, 온도센서(30)의 바로 아래에 열전달 방지벽(40)을 설치하고 있다. 상승하는 가열된 유체는, 이 열전달 방지벽(40)에 접촉한다. 이 때문에, 가열된 유체가 온도센서(30)에 접촉하는 것이 회피된다. 따라서, 온도센서(30)가 가열된 유체의 온도를 함께 검출하는 것도 회피된다. 물론, 히터(32)로부터의 복사열도 열전달 방지벽(40)에 의해서 차단된다.

또한, 열전달 방지벽(40)의 폭방향 치수 W1을, 온도센서(30)의 폭방향 치수 W2의 2배 이상으로 하면, 가열된 유체가 온도센서(30)에 접촉하는 것이나, 히터(32)로부터의 복사열이 온도센서(30)에 도달하는 것을 한층 유효하게 방지할 수 있다.

즉, 이 경우, 온도센서(30)에는, 공급로(18)로부터 도입된 가열 전의 유체가 접촉한다. 또, 히터(32)로부터의 복사열이 온도센서(30)에 전달되는 것도 회피된다. 이상과 같은 이유로, 온도센서(30)는, 가열 전의 유체의 온도를 정확하게 측정할 수 있다. 그 결과, 유체의 유속 내지 유량을 높은 정밀도로 검출할 수 있다.

정류수단을 설치하지 않은 때에는, 열전달 방지벽(40)을 설치한 것에 수반하여, 경우에 따라서는, 도 3에 도시된 바와 같이 측정용 유로(26) 내에서 카르만 와류(Karman vortex)(난류)가 발생할 가능성이 있다. 그렇지만, 본 실시형태에서는, 측정용 유로(26)에 오리피스(42)를 설치하고 있다. 이 때문에, 도 2에 도시된 바와 같이 유체의 기류가 정류된다. 즉, 층류가 형성된다. 따라서, 난류가 발생할 우려가 불식되어, 유체가 원활하게 복귀로(20) 측을 향해 유동한다. 이러한 것도, 온도센서(30)의 정확한 온도 측정, 나아가서는 유체의 유속 내지 유량의 높은 정밀도의 검출에 기여한다.

표 1에, 열전달 방지벽(40) 및 오리피스(42)의 쌍방을 설치하지 않은 모델 1, 오리피스(42)만을 설치한 모델 2, 열전달 방지벽(40) 및 오리피스(42)의 쌍방을 설치한 모델 3의 각각에 있어서, 온도센서(30)에 전달된 열을 온도로서 나타낸다. 이 표 1로부터, 열전달 방지벽(40)을 설치하는 것에 의해서, 온도센서(30)에 열이 전달되는 것을 현저하게 억제할 수 있다는 것이 명백하다.

또, 열전달 방지벽(40)만을 설치한 경우(도 3 참조)와, 열전달 방지벽(40) 및 오리피스(42)의 쌍방을 설치한 경우(도 2 참조)의 각각에서의, 온도센서(30)에 의해서 측정된 온도의 변동폭을 도 4에 나타낸다. 이 도 4로부터, 오리피스(42)를 형성함으로써 유체 온도의 변동폭이 한층 작아지는 것, 다시 말해서, 유체의 온도가 한층 안정되는 것을 알았다. 이것은, 오리피스(42)를 형성함으로써 측정용 유로(26) 내의 유체의 기류가 정류되어 난류가 되는 것이 회피되고, 층류로서 유동하기 때문이다.

이상과 같이, 측정용 유로(26) 내에 열전달 방지벽(40) 및 오리피스(42)의 쌍방을 마련한 본 실시형태에 의하면, 메인유로(16) 및 측정용 유로(26)가 연직방향을 따라서 연장하고, 또한 온도센서(30) 및 히터(32)를 동일축선 상에 배치한 경우에도, 유체의 유속 내지 유량을 높은 정밀도로 평가할 수 있다. 즉, 열식 플로센서(10)가 대형화되는 것을 회피하면서, 유체의 유속 내지 유량의 검출 정밀도의 향상을 도모할 수 있다.

작업자는, 표시부에 표시된 유속 내지 유량을 관찰함으로써, 해당 유속 내지 유량을 인식하는 것이 가능하다.

또한, 메인유로(16) 및 측정용 유로(26)가 수평방향을 따라 연장하는 자세로 열식 플로센서(10)을 사용하여도 좋다. 이 경우에는 대류가 일어나기 어렵기 때문에, 유체의 유속 내지 유량을 더욱 높은 정밀도로 측정하는 것이 가능하다.

이와 같이, 열식 플로센서(10)는, 메인유로(16) 및 측정용 유로(26)가 연직방향을 따라서 연장하는 자세로 하든지, 또는, 메인유로(16) 및 측정용 유로(26)가 수평방향을 따라서 연장하는 자세로 하든지에 관계없이, 유체의 유속 내지 유량을 높은 정밀도로 측정할 수 있다. 따라서, 설치 스페이스가 넓고 좁음에 따라 열식 플로센서(10)의 자세를 선택하는 것이 가능해진다.

가열된 유체는, 복귀로(20)를 경유해 메인유로(16)로 복귀하고, 나아가서, 관 부재를 통하여 열식 플로센서(10)의 외부로 배출된다.

본 발명은, 상기한 실시형태로 특히 한정되는 것은 아니고, 본 발명의 주된 취지를 일탈하지 않는 범위에서 여러 가지의 변경이 가능하다.

예를 들면, 온도센서(30)에 의해서 측정되는 온도의 변동폭이 작고, 실용상 지장이 없을 때에는, 오리피스(42)를 설치하지 않고 열식 플로센서(10)를 구성하도록 하여도 좋다.

또, 정류수단은 오리피스(42)로 한정되는 것은 아니다. 예를 들면, 도 5에 도시된 바와 같이, 통기구멍(46)이 형성된 통기체(48)를 온도센서(30)와 히터(32)와의 사이에 배치하도록 하여도 좋다. 이러한 통기체(48)의 구체적인 예로서는, 다공질 부재, 메시 또는 하니콤 구조체 등을 들 수 있다.

또한, 열전달 방지벽(40)은, 평판 형상의 것으로 한정되지 않는다. 예를 들면, 도 6에 도시된 바와 같이, 온도센서(30)를 둘러싸는 포위부(50)가 설치된 열전달 방지벽(52)이라도 좋다. 이 경우, 가열된 유체가 온도센서(30)에 한층 접촉하기 어려워짐과 함께, 온도센서(30)가 히터(32)의 복사열의 영향을 받기 한층 어려워진다는 이점이 있다.

또는, 도 7에 도시된 바와 같이 평면에서 볼 때 삼각 형상의 열전달 방지벽(54)이라도 좋다. 이 경우, 저변이 온도센서(30)에 임하도록 해도 좋고, 정점이 온도센서(30)에 임하도록 하여도 좋다. 또한, 도 8에 도시된 바와 같이 평면에서 볼 때 사다리꼴 형상의 열전달 방지벽(56)이라도 좋다. 이 경우에는, 하변이 온도센서(30)에 임하도록 해도 좋고, 외관이 온도센서(30)에 임하도록 하여도 좋다.

또, 도 9에 도시된 바와 같이 평면에서 볼 때 정사각 형상의 열전달 방지벽(58)이라도 좋고, 도 10에 도시된 바와 같이 평면에서 볼 때 육각 형상의 열전달 방지벽(60)이라도 좋다. 도 11에 도시된 바와 같이, 평면에서 볼 때 트랙 형상을 이루는 열전달 방지벽(62)을 채용할 수도 있다.

10: 열식 플로센서(thermal flow sensor)
12: 몸체
14: 검출부
16: 메인유로
18: 공급로
20: 복귀로
26: 측정용 유로
30: 온도센서
32: 히터
40, 52, 54, 56, 58, 60, 62: 열전달 방지벽
42: 오리피스
46: 통기구멍
48: 통기체(ventilating element)
50: 포위부(surounding portion)

Claims

유체가 유동하는 유로(26)의 상류측에 배치된 온도센서(30)와, 하류측에 배치된 발열체(32)를 가지는 열식 플로센서(10)에 있어서,
상기 온도센서(30)와 상기 발열체(32)와의 사이에, 상기 발열체(32)가 발생시킨 열에 의해서 온도가 상승한 상기 유체가 상기 온도센서(30)에 접촉하는 것을 방지하기 위한 열전달 방지벽(40)이 설치되어 있는 것을 특징으로 하는 열식 플로센서(10).
청구항 1에 있어서,
상기 온도센서(30)와 상기 발열체(32)와의 사이에 또한 상기 열전달 방지벽(40)의 하류에, 상기 유체의 기류를 정류시키는 정류수단이 설치되어 있는 것을 특징으로 하는 열식 플로센서(10).
청구항 2에 있어서,
상기 정류수단은 오리피스(42)인 것을 특징으로 하는 열식 플로센서(10).
청구항 2에 있어서,
상기 정류수단은 통기구멍(46)이 형성된 통기체(48)인 것을 특징으로 하는 열식 플로센서(10).
청구항 4에 있어서,
상기 통기체(48)는, 다공질 부재, 메시 또는 하니콤을 포함하는 구조체인 것을 특징으로 하는 열식 플로센서(10).
청구항 1에 있어서,
상기 열전달 방지벽(40)의, 상기 유로(26)의 연장방향에 대해서 직교하는 폭방향 치수(W1)는, 상기 온도센서(30)의, 상기 유로(26)의 연장방향에 대해서 직교하는 폭방향 치수(W2)의 2배 이상인 것을 특징으로 하는 열식 플로센서(10).
청구항 1에 있어서,
상기 열전달 방지벽(52)은 상기 온도센서(30)를 둘러싸는 포위부(50)를 포함하는 것을 특징으로 하는 열식 플로센서(10).