KR20160088462A - Laser induced breakdown spectroscopy device for pyro-processing monitoring - Google Patents
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Abstract
Description
본 발명은 파이로 공정 모니터링 레이저 유도파쇄 분광장치에 관한 것으로, 상세하게는 파이로 공정 물질 내 민감핵물질을 실시간 모니터링 할 수 있는 레이저 유도파쇄 분광장치에 관한 것이다.
FIELD OF THE INVENTION The present invention relates to a pyro-process monitoring laser induced fracture spectroscopy apparatus, and more particularly, to a laser induced fracture spectroscopy apparatus capable of real-time monitoring of sensitive nuclear material in pyrolytic materials.
레이저 유도파쇄 분광기술은 주 장비로써 레이저, 분광기, 그리고 광학기기로 이루어진다. LIBS라고도 하는 이 기술은 아주 미소량의 재료만으로도 원소 구성을 빠르게 측정할 수 있어 여러 산업 분야에서 사용되고 있다.Laser induced fracture spectroscopy technology consists of laser, spectroscopy, and optical instruments as main equipment. This technique, also known as LIBS, is used in many industrial applications because it can measure element composition quickly with very small amounts of material.
레이저 유도파쇄 분광기술의 원리는 레이저를 측정 시료에 직접 조사해 플라즈마를 발생시키고 이 플라즈마로부터 발생하는 발광 빛을 분광하여 시료의 구성 성분을 분석한다.The principle of laser induced fracture spectroscopy technique is to directly irradiate a laser to a measurement sample to generate a plasma, and to analyze the constituents of the sample by spectroscopically emitting light emitted from the plasma.
종래의 레이저 유도파쇄 분광기술은 주로 실험실에서 사용되어 왔다. 때문에 일본 공개특허공보 특개2004-205266호(2004.7.22.공개.)와 같이 시료를 측정하기 위해서는 시료일부를 레이저 유도파쇄 분광장치에 가져가서 분석을 해야 하는 불편함이 발생하였다. Conventional laser-induced fracture spectroscopy techniques have been used primarily in the laboratory. Therefore, in order to measure a sample as in Japanese Laid-Open Patent Publication No. 2004-205266 (published on July 22, 2004), it has been inconvenient to carry out a part of the sample to the laser induced fracture spectroscopy apparatus for analysis.
특히, 사용후핵연료를 재활용할 수 있는 파이로 공정 물질 내 민감핵물질의 경우 레이저 유도파쇄 분광장치가 구비된 실험실에 직접 가지고 가서 분석하기에는 안전상의 문제 등이 발생할 수 있다.Especially, in the case of sensitive nuclear material in the pyrolytic material which can recycle the spent nuclear fuel, there may be a safety problem in carrying it directly to a laboratory equipped with a laser induced fracture spectroscope.
이 외에도 광섬유케이블을 통해 레이저를 측정대상까지 이동시키는 경우도 있지만 이 경우도 레이저 초점거리의 한계, 광섬유케이블 손상시 유지보수의 어려움 등이 있어 불편함이 있다.
In addition, there is a case where the laser is moved to the object to be measured through the optical fiber cable. However, this case is also inconvenient because of limitations of the laser focal distance and maintenance difficulty in case of damaging the optical fiber cable.
본 발명의 실시예에 따른 파이로 공정 모니터링 레이저 유도파쇄 분광장치는 다음과 같은 해결과제를 목적으로 한다.A pyroelectric process monitoring laser induced fracture spectroscope according to an embodiment of the present invention aims to solve the following problems.
첫째, 파이로 공정 내부 측정물질을 현장에서 실시간으로 분석할 수 있는 장치를 제공하고자 한다.First, we intend to provide a device capable of real-time analysis of the internal measurement materials in the pyro-process.
둘째, 플라즈마를 원하는 위치에 안정적으로 생성하는 장치를 제공하고자 한다.Second, an apparatus for stably generating a plasma at a desired position is provided.
본 발명의 해결과제는 이상에서 언급된 것들에 한정하지 않으며, 언급되지 아니한 다른 해결과제들은 아래의 기재로부터 당해 기술분야에 있어서의 통상의 지식을 가진 자가 명확하게 이해할 수 있을 것이다.
The present invention has been made in view of the above problems, and it is an object of the present invention to at least solve the problems in the conventional arts.
본 발명의 실시예에 따른 파이로 공정 모니터링 레이저 유도파쇄 분광장치는 외부에서 입사된 레이저빔의 경로를 가이드 하는 광학가이드부 및 광학가이드부에 의하여 가이드된 레이저빔을 전해조에 수용된 측정물질로 조사되도록 유도하는 프로브부를 포함한다.
The pyrode process monitoring laser induced fracture spectroscopy apparatus according to an embodiment of the present invention includes an optical guide unit for guiding the path of a laser beam incident from the outside and a laser beam guided by the optical guide unit to be irradiated with a measurement material accommodated in the electrolyzer And a probe portion for guiding the probe.
본 발명의 실시예에 따른 파이로 공정 모니터링 레이저 유도파쇄 분광장치는 광학가이드부와 프로브부에 의하여 고온의 전해조 안에서 일어나는 측정물질의 변화를 실시간으로 관측할 수 있다.The pyroelectric process monitoring laser induced fracture spectroscope according to the embodiment of the present invention can observe the change of the measurement substance occurring in the high temperature electrolytic chamber in real time by the optical guide part and the probe part.
또한, 실시간 관측으로 인하여 사용후핵연료를 사용하는 파이로 공정 시설의 안전조치을 강화할 수 있다.In addition, real-time monitoring can enhance safety measures for pyrolysis facilities that use spent fuel.
또한, 초점렌즈를 구비하고 있어 레이저빔의 초점거리를 조절하여 원하는 위치에서 플라즈마를 안정적으로 생성할 수 있다.Further, since the focal lens is provided, the focal distance of the laser beam can be adjusted to stably generate plasma at a desired position.
본 발명의 효과는 이상에서 언급된 것들에 한정되지 않으며, 언급되지 아니한 다른 효과들은 아래의 기재로부터 당해 기술분야에 있어서의 통상의 지식을 가진 자가 명확하게 이해할 수 있을 것이다.
The effects of the present invention are not limited to those mentioned above, and other effects not mentioned can be clearly understood by those skilled in the art from the following description.
도 1은 본 발명의 실시예에 따른 파이로 공정 모니터링 레이저 유도파쇄 분광장치를 도시한 사시도이다.
도 2는 본 발명의 실시예에 따른 파이로 공정 모니터링 레이저 유도파쇄 분광장치의 광학가이드부와 프로브부를 도시한 사시도이다.
도 3은 본 발명의 실시예에 따른 파이로 공정 모니터링 레이저 유도파쇄 분광장치의 프로브부를 도시한 단면도이다.1 is a perspective view showing a pyroelectric process monitoring laser induced fracture spectroscopy apparatus according to an embodiment of the present invention.
2 is a perspective view illustrating an optical guide unit and a probe unit of a pyroelectric process monitoring laser induced fracture spectroscope according to an embodiment of the present invention.
3 is a cross-sectional view illustrating a probe unit of a pyroelectric process monitoring laser induced fracture spectroscopy apparatus according to an embodiment of the present invention.
이하 도 1, 도 2, 및 도 3을 참조하여 본 발명의 실시 예에 따른 파이로 공정 모니터링 레이저 유도파쇄 분광장치를 구체적으로 설명하겠다. 도 1은 본 발명의 실시예에 따른 파이로 공정 모니터링 레이저 유도파쇄 분광장치를 도시한 사시도이고, 도 2는 본 발명의 실시예에 따른 파이로 공정 모니터링 레이저 유도파쇄 분광장치의 광학가이드부와 프로브부를 도시한 사시도이며, 도 3은 본 발명의 실시예에 따른 파이로 공정 모니터링 레이저 유도파쇄 분광장치의 프로브부를 도시한 단면도이다.Hereinafter, with reference to FIG. 1, FIG. 2, and FIG. 3, a pyroelectric process monitoring laser induced fracture spectroscope according to an embodiment of the present invention will be described in detail. FIG. 1 is a perspective view showing a pyroelectric process monitoring laser induced fracture spectroscopy apparatus according to an embodiment of the present invention, and FIG. 2 is a schematic view showing the optical guide unit of the pyroelectric process monitoring laser induced fracture spectroscopy apparatus according to the embodiment of the present invention, FIG. 3 is a cross-sectional view illustrating a probe unit of a pyroelectric process monitoring laser induced fracture spectroscopy apparatus according to an embodiment of the present invention. Referring to FIG.
첨부한 도면은 본 발명의 사상을 쉽게 이해할 수 있도록 하기 위한 것일 뿐, 첨부된 도면에 의해 본 발명의 사항이 제한되는 것으로 해석되어서는 아니 됨을 유의해야 한다.
It is to be noted that the accompanying drawings are only for the understanding of the present invention and should not be construed as limiting the scope of the present invention.
도 1 및 도 2에 도시된 바와 같이 본 발명의 실시예에 따른 파이로 공정 모니터링 레이저 유도파쇄 분광장치는 공학가이드부(100), 프로브부(200)를 포함한다.As shown in FIGS. 1 and 2, the pyroelectric process monitoring laser induced fracture spectroscope according to the embodiment of the present invention includes an
광학가이드부(100)는 외부에서 입사되는 레이저빔(50)을 프로브부(200)로 가이드 한다. The
프로브부(200)는 광학가이드부(100)에 의하여 가이드된 상기 레이저빔(50)을 프로브부(200) 하부와 연결되어 있는 전해조(300)에 수용된 측정물질로 조사되도록 유도한다.The
측정물질은 고방사선 환경의 핫셀 내 공정장치 내부물질로 구성될 수 있어 일부를 옮기는 것은 안전상의 문제가 발생할 수 있으므로, 광학가이부(100)와 프로브부(200)를 이용하면, 측정물질 일부를 따로 옮길 필요없이 레이저빔(50)을 전해조(300)에 수용된 측정물질로 조사할 수 있어 효과적으로 측정물질을 분석할 수 있다.
Since the measurement material may be composed of the internal materials of the processing apparatus in the hot cell in a high radiation environment, it may cause a safety problem to transfer a part of the measurement material. Therefore, when the optical guiding
도 1에 도시된 바와 같이 본 발명의 다른 실시예에 따른 파이로 공정 모니터링 레이저 유도파쇄 분광장치는 하우징부(400)와 투과창(410)을 포함할 수 있다.As shown in FIG. 1, the pyroelectric process monitoring laser induced fracture spectroscopy apparatus according to another embodiment of the present invention may include a
하우징부(400)는 광학가이드부(100)와 프로브부(200)를 기밀한다.The housing part (400) hermetically seals the optical guide part (100) and the probe part (200).
투과창(410)은 레이저빔(50)이 외부로부터 광학가이드부(100)에 조사될 수 있도록 하우징부(400)에 형성된다.The
또한, 투과창(410)은 적어도 하나 이상으로 하우징부(400)에 형성될 수 있다.In addition, the
하우징부(400)의 일측은 투명한 유리나 투명한 플라스틱과 같은 투명재질부(410)로 형성하여 사용자가 외부에서 하우징부(400)의 내부를 볼 수 있게 형성할 수 있다.One side of the
또한, 투명재질부(430)에 적어도 하나 이상의 관통홀과 관통홀덮개(420)을 구비하여 하우징부(400) 내부에 있는 기기들을 사용자가 유지보수 할 수 있게 형성할 수 있다.
In addition, at least one through-hole and a through-
본 발명의 또 다른 실시예에 따른 파이로 공정 모니터링 레이저 유도파쇄 분광장치의 투과창은 레이저빔(50)이 광학가이드부에 효율적으로 입사될 수 있도록 광흡수가 적은 석영, 사파이어 등으로 형성될 수 있다.
The transmission window of the pyro-process monitoring laser induced fracture spectroscope according to another embodiment of the present invention may be formed of quartz, sapphire, or the like having low light absorption so that the
도 2에 도시된 바와 같이 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 파이로 공정 모니터링 레이저 유도파쇄 분광장치의 광학가이드부(100)는 제1반사경(110), 초점렌즈부(120)를 포함할 수 있다.2, the
제1반사경(110)은 복수 개로 형성되어 외부에서 입사된 레이저빔(50)을 반사하여 프로브부(200)까지 가이드한다.The
초점렌즈부(120)는 복수 개의 제1반사경(110)에 의하여 가이드된 레이저빔(50)을 구절시킨다.The
또한, 초점렌즈부(120)는 레이저빔(50)의 빔측상 초점위치를 가변할 수 있게 이동 가능하도록 배치된다.Further, the
때문에 전해조(300)에 수용된 측정물질에 레이저빔(50)을 조사할 경우 레이저빔(50)의 초점을 원하는 위치로 이동할 수 있어 플라즈마의 발광 빛(280)를 효율적으로 생성할 수 있다.
Therefore, when the
도 2에 도시된 바와 같이 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 파이로 공정 모니터링 레이저 유도파쇄 분광장치의 광학가이드부(100)는 빔가이드부(130), 가이드판(150), 물질수용부(140)를 더 포함할 수 있다.As shown in FIG. 2, the
빔가이드부(130)는 막대형상으로 일측 또는 상부에 복수 개의 제1반사경을(110)을 고정한다. The
가이드판(150)은 빔가이드부(130)와 초점렌즈부(120) 하부에 배치되어 빔가이드부(130)와 초점렌즈부(120)를 지지한다.The
물질수용부(140)는 가이드판(150) 상부에 배치되고 측정물질을 수용할 수 있게 형성되어 있다.The
또한, 복수 개의 제1반사경(110) 중 어느 하나는 외부로부터 입사된 레이저빔(50)이 물질수용부(140)에 수용된 측정물질에 조사되도록 배치된다.In addition, any one of the plurality of
그러므로 전해조(300)에 수용된 측정물질이 외에도 물질수용부(140)에 수용된 측정물질 또한 레이저빔(50)에 의하여 플라즈마의 발광 빛(280)을 생성할 수 있어 전해조(300)와 물질수용부(140)에 수용된 측정물질을 동시에 분석할 수 있다. Therefore, in addition to the measuring material accommodated in the
또한, 물질수용부(140)는 x축과 y축방향으로 이동될 수 있게 형성되어 물질수용부(140)에 조사되는 레이저빔(50)의 위치에 맞게 위치조정을 할 수 있다.
The
도 3에 도시된 바와 같이 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 파이로 공정 레이저 유도파쇄 분광장치의 프로브부(200)는 제1프로브홀(210), 제2프로브홀(220), 제2반사경(230)을 포함할 수 있다. As shown in FIG. 3, the
프로브부(200)는 원통형으로 형성된다.The
제1프로브홀(210)은 광학가이드부(100)에 의해 가이드된 레이저빔(50)이 프로브부(200) 내부로 유도될 수 있도록 프로브부(200) 측면에 관통 형성된다.The
제2프로브홀(220)은 제1프로브홀(210)로 유도된 레이저빔(50)이 전해조(300)에 수용된 측정물질에 조사되도록 프로브부(200) 하부로부터 전해조(300)까지 관통 형성된다.The
제2반사경(230)은 제1프로브홀(210)로 유도된 레이저빔(50)을 제2프로브홀(220)로 반사한다.The
때문에, 초점렌즈(120)를 통과한 레이저빔(50)은 제1프로브홀(210)에 의해 프로브부(200) 내부로 입사된다. 이후 레이저빔(50)은 제2반사경(230)에 의하여 제2프로브홀(220)을 통하여 전해조(300)에 수용된 측정물질을 효율적으로 조사하고 프라즈마의 발광 빛(280)을 생성한다.
Therefore, the
도 3에 도시된 바와 같이 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 파이로 공정 모니터링 레이저 유도파쇄 분광장치의 프로브부(200)는 미러(240), 광섬유케이블(250)을 더 포함할 수 있다.As shown in FIG. 3, the
미러(240)는 제2프로브홀로(220)부터 유도된 레이저빔(50)이 전해조(300)에 수용된 측정물질로 조사되어 생성된 발광 빛(280)을 반사시킨다. The
광섬유케이블(250)은 미러(240)로부터 반사된 발광 빛(280)을 수용할 수 있도록 프로브부(200)에 배치된다.The
이로 인하여 섬유케이블(250)이 발광 빛(280)을 수용하고 분광기까지 전송하면 컴퓨터가 실시간으로 효율적인 분석을 할 수 있다. Thus, when the
위와 같은 이유로, 접근이 어려운 핫셀 환경과 고온의 전해조 안에서 일어나는 핵물질변화를 실시간으로 모니터링 할 수 있어 안전조치성이 높아지고, 전해조 내 물질 농도를 컴퓨터로 실시간 모니터링 함으로써 공정 운영 상태를 효율적으로 확인할 수 있다.
For the above reasons, it is possible to monitor the change of the nuclear material in the hot cell environment which is difficult to access and the high temperature electrolytic cell in real time, so that safety measures are enhanced and the operation state of the process can be efficiently checked by monitoring the concentration of the substance in the electrolytic cell by computer .
도 3에 도시된 바와 같이 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 파이로 공정 모니터링 레이저 유도파쇄 분광장치의 미러(240)는 제1미러(260) 및 제2미러(270)를 포함할 수 있다.As shown in FIG. 3, the
때문에 제1발광 빛(281)은 제1미러(260)에 입사되고, 상기 제2미러(270)는 상기 제1미러(260)에 의하여 반사된 제2발광 빛(282)을 광섬유케이블(250)로 유도하여 효율적으로 섬유케이블(250)이 발광 빛(280)을 수용할 수 있게 한다.
The first
본 명세서에서 설명되는 실시예와 첨부된 도면은 본 발명에 포함되는 기술적 사상의 일부를 예시적으로 설명하는 것에 불과하다. 따라서 본 명세서에 개시된 실시예들은 본 발명의 기술적 사상을 한정하기 위한 것이 아니라 설명하기 위한 것이므로, 이러한 실시예에 의하여 본 발명의 기술 사상의 범위가 한정되는 것이 아님을 자명하다. 본 발명의 명세서 및 도면에 포함된 기술적 사상의 범위 내에서 당해 기술분야에 있어서의 통상의 지식을 가진 자가 용이하게 유추할 수 있는 변형 예와 구체적인 실시예는 모두 본 발명의 권리범위에 포함되는 것으로 해석되어야 할 것이다.
The embodiments and the accompanying drawings described in the present specification are merely illustrative of some of the technical ideas included in the present invention. Therefore, it is to be understood that the embodiments disclosed herein are not for purposes of limiting the technical idea of the present invention, but are intended to illustrate and not limit the scope of the technical idea of the present invention. It will be understood by those of ordinary skill in the art that various changes in form and details may be made therein without departing from the spirit and scope of the invention as defined by the appended claims and their equivalents. It should be interpreted.
50 : 레이저빔 100 : 광학가이드부
110 : 제1반사경 120 : 초점렌즈
130 : 빔가이드 140 : 물질수용부
150 : 가이드판 200 : 프로브부
210 : 제1프로브홀 220 : 제2프로브홀
230 : 제2반사경 240 : 미러
250 : 섬유케이블 260 : 제1미러
270 : 제2미러 280 : 발광 빛
281 : 제1발광 빛 282 : 제2발광 빛
300 : 전해조 400 : 하우징부
410 : 투과창 420 : 관통홀덮개
430 : 투명재질부50: laser beam 100: optical guide part
110: first reflector 120: focus lens
130: Beam guide 140:
150: guide plate 200: probe part
210: first probe hole 220: second probe hole
230: second mirror 240: mirror
250: fiber cable 260: first mirror
270: Second mirror 280: Luminescent light
281: first luminescent light 282: second luminescent light
300: electrolytic bath 400: housing part
410: transmission window 420: through hole cover
430: transparent material part
Claims (8)
상기 광학가이드부(100)에 의하여 가이드된 상기 레이저빔(50)을 전해조(300)에 수용된 측정물질로 조사되도록 유도하는 프로브부(200);
를 포함하는 파이로 공정 모니터링 레이저 유도파쇄 분광장치.
An optical guide part (100) for guiding the path of the laser beam (50) incident from the outside; And
A probe unit 200 for guiding the laser beam 50 guided by the optical guide unit 100 to be irradiated with a measurement material accommodated in the electrolytic bath 300;
A pyrochloe process monitoring laser induced fracture spectroscopy device.
외부로부터 상기 레이저빔(50)이 상기 광학가이드부(100)에 조사될 수 있도록 형성된 적어도 하나 이상의 투과창(410);
을 포함하는 파이로 공정 모니터링 레이저 유도파쇄 분광장치.
The method according to claim 1,
At least one transmission window (410) formed so that the laser beam (50) can be irradiated from the outside to the optical guide part (100);
A pyrochrome process monitoring laser induced fracture spectroscopy device.
상기 투과창(410)은 석영 또는 사파이어로 이루어진 것을 포함하는 파이로 공정 모니터링 레이저 유도파쇄 분광장치.
3. The method of claim 2,
Wherein the transmission window (410) comprises quartz or sapphire.
상기 광학가이드부(100)는
외부에서 입사된 상기 레이저빔(50)을 반사하여 상기 프로브부(200)까지 가이드하는 복수 개의 제1반사경(110); 및
상기 복수 개의 제1반사경(110)에 의하여 가이드된 상기 레이저빔(50)을 굴절시키는 초점렌즈부(120);
를 포함하고,
상기 초점렌즈부(120)는 상기 레이저빔의 빔측상 초점위치를 가변할 수 있게 이동 가능하도록 배치되는 것을 더 포함하는 파이로 공정 모니터링 레이저 유도파쇄 분광장치.
The method according to claim 1,
The optical guide part 100 includes:
A plurality of first reflectors (110) for reflecting the laser beam (50) incident from outside and guiding the laser beam (50) to the probe unit (200); And
A focus lens unit (120) for refracting the laser beam (50) guided by the plurality of first reflectors (110);
Lt; / RTI >
Wherein the focus lens unit (120) is arranged to be movable so as to be able to vary the focal position on the beam side of the laser beam.
상기 광학가이드부(100)는
상기 복수 개의 제1반사경(110)을 고정하는 빔가이드부(130);
상기 빔가이드부(130)와 상기 초점렌즈부(120) 하부에 배치되어 상기 빔가이드(130)와 상기 초점렌즈부(120)를 지지하는 가이드판(150); 및
상기 가이드판(150) 상부에 배치되어 측정물질을 수용하는 물질수용부(140);
을 더 포함하고,
상기 복수 개의 제1반사경(110) 중 어느 하나는 외부로부터 입사된 상기 레이저빔(50)이 상기 물질수용부(140)에 수용된 측정물질에 조사되도록 배치하는 파이로 공정 모니터링 레이저 유도파쇄 분광장치.
5. The method of claim 4,
The optical guide part 100 includes:
A beam guide part 130 for fixing the plurality of first reflectors 110;
A guide plate 150 disposed below the beam guide unit 130 and the focus lens unit 120 to support the beam guide 130 and the focus lens unit 120; And
A material receiving portion 140 disposed above the guide plate 150 to receive a measurement material;
Further comprising:
Wherein one of the plurality of first reflectors (110) is arranged such that the laser beam (50) incident from the outside is irradiated to a measurement material accommodated in the material accommodating part (140).
상기 프로브부(200)는 원통형으로 형성되고,
상기 프로브부(200)는
상기 광학가이드부(100)에 의해 가이드된 레이저빔(50)이 상기 프로브부(200) 내부로 유도될 수 있도록 상기 프로브부(200) 측면에 관통 형성된 제1프로브홀(210);
상기 제1프로브홀(210)로 유도된 상기 레이저빔(50)이 상기 전해조(300)에 수용된 측정물질에 조사되도록 상기 프로브부(200) 하부로부터 상기 전해조(300)까지 관통 형성된 제2프로브홀(220); 및
상기 제1프로브홀(210)로 유도된 상기 레이저빔(50)을 제2프로브홀(220)로 반사하는 제2반사경(230);
을 포함하는 파이로 공정 모니터링 레이저 유도파쇄 분광장치.
The method according to claim 1,
The probe unit 200 is formed in a cylindrical shape,
The probe unit 200 includes:
A first probe hole 210 penetrating through the side surface of the probe unit 200 so that the laser beam 50 guided by the optical guide unit 100 can be guided into the probe unit 200;
The laser beam 50 guided to the first probe hole 210 is irradiated to the measurement material accommodated in the electrolytic bath 300 through the second probe hole formed from the lower portion of the probe 200 to the electrolytic bath 300, (220); And
A second reflector 230 for reflecting the laser beam 50 guided to the first probe hole 210 to the second probe hole 220;
A pyrochrome process monitoring laser induced fracture spectroscopy device.
상기 프로브부(200)는
상기 제2프로브홀로(220)부터 유도된 상기 레이저빔(50)이 상기 전해조(300)에 수용된 측정물질로 조사되어 생성된 발광 빛(280)을 반사시키는 미러(240); 및
상기 미러(240)로부터 반사된 발광 빛(280)을 수용할 수 있도록 상기 프로브부(200)에 배치되는 광섬유케이블(250);
를 더 포함하는 파이로 공정 모니터링 레이저 유도파쇄 분광장치.
The method according to claim 6,
The probe unit 200 includes:
A mirror 240 for reflecting the emitted light 280 generated by irradiating the laser beam 50 derived from the second probe hole 220 with a measurement material accommodated in the electrolytic bath 300; And
An optical fiber cable 250 disposed on the probe unit 200 to receive the light emitted from the mirror 240;
Further comprising a pyrolytic process monitoring laser induced fracture spectroscopy device.
상기 미러(240)는 제1미러(260) 및 제2미러(270)를 포함하고,
상기 발광 빛(280)은 제1미러(260)에 입사되고, 상기 제2미러(270)는 상기 제1미러(260)에 의하여 반사된 발광 빛(280)을 상기 광섬유케이블(250)로 유도하는 파이로 공정 모니터링 레이저 유도파쇄 분광장치.8. The method of claim 7,
The mirror 240 includes a first mirror 260 and a second mirror 270,
The emitted light 280 is incident on the first mirror 260 and the second mirror 270 guides the emitted light 280 reflected by the first mirror 260 to the optical fiber cable 250. Pyro-process monitoring laser induced fracture spectroscopy device.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1020150007251A KR20160088462A (en) | 2015-01-15 | 2015-01-15 | Laser induced breakdown spectroscopy device for pyro-processing monitoring |
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|---|---|
| KR20160088462A true KR20160088462A (en) | 2016-07-26 |
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ID=56680736
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|---|---|
| KR (1) | KR20160088462A (en) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN111610179A (en) * | 2020-05-20 | 2020-09-01 | 北京科技大学 | System and method for quickly detecting components LIBS of high-temperature sample in front of furnace |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2004205266A (en) | 2002-12-24 | 2004-07-22 | Toshiba Corp | Element analysis method and apparatus |
-
2015
- 2015-01-15 KR KR1020150007251A patent/KR20160088462A/en not_active Application Discontinuation
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