KR20160088109A - 정전 구동 스위치 - Google Patents

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Abstract

정전 구동 스위치에 있어서, 상기 스위치의 동작을 제어하기 위한 제어 신호가 입력되는 게이트 전극; 전원전압 또는 그라운드 전압이 인가되는 소오스 플레이트; 상기 소오스 플레이트와 연결되어 상기 소오스 플레이트의 하부에 구비된 적어도 하나의 소오스 접점; 및 상기 소오스 플레이트에 정전기력이 가해질 때 상기 소오스 접점과 접촉하게 되는 드레인 전극;을 포함하되, 상기 소오스 플레이트는, 본체; 상기 본체에 연결되고, 탄성을 갖는 적어도 하나의 제 1 탄성지지부; 및 상기 본체 내부에 형성되고, 탄성을 갖는 적어도 하나의 제 2 탄성지지부;를 포함하는 것을 특징으로 하는 정전 구동 스위치가 개시된다.
정전 구동 스위치에 따르면, 두 개의 판 사이의 간격을 감소시킴과 동시에 판 면적을 증가시킬 수 있어 정전기력을 증가시킬 수 있다.

Description

정전 구동 스위치{ELECTROSTATIC SWITCH}
본 발명은 정전 구동 스위치에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 멤즈(MEMS)를 이용한 기계식 정전 구동 스위치에 관한 것이다.
정전 구동 방식 스위치의 높은 신뢰성을 위해서는 상판(Upper Plate)과 하판(Lower Plate)의 안정적인 접촉을 구현함으로써 접촉저항을 낮춰야 한다. 이러한 안정적인 접촉을 위해서는 큰 정전기력(Electrostatic Force)이 필요로 한다.
일반적으로 정전기력은 [수학식 1]과 같이 산출될 수 있다.
Figure pat00001
(여기서, g는 두개의 판 사이 간격, A는 판의 면적을 나타낸다.)
즉, 정전기력을 증가시키기 위해서는 상판과 하판 사이의 간격을 최소화하거나, 면적을 최대화할 필요가 있다.
일본공개특허공보 제2004-200151(접점 개폐기 및 접점 개폐기를 구비한 장치, 이하 '종래 발명')에는 2개의 탄성지지부(12, 14)를 구비한 접점 개폐기가 개시되어 있다.
그러나, 종래 발명의 경우, 제 2 탄성지지부(14)가 가동기판(10)에서 가동전극(13) 사이를 분리하는 형태로 구성되어 있다. 즉 종래 발명의 경우, 가동 전극(13)의 면적을 넓게 할 경우 가동 전극(13)에서 휘어짐이 발생할 가능성이 있어, 넓은 면적에서의 정전기력을 얻는 것에는 어려움이 예상된다.
본 발명은 전술한 바와 같은 기술적 과제를 해결하는 데 목적이 있는 발명으로서, 두 개의 판 사이의 간격을 감소시킴과 동시에 판 면적을 증가시킬 수 있어 정전기력을 증가시킬 수 있는 정전 구동 스위치를 제공하는 것에 그 목적이 있다.
본 발명의 바람직한 일실시예에 따른 정전 구동 스위치는, 상기 스위치의 동작을 제어하기 위한 제어 신호가 입력되는 게이트 전극; 전원전압 또는 그라운드 전압이 인가되는 소오스 플레이트; 상기 소오스 플레이트와 연결되어 상기 소오스 플레이트의 하부에 구비된 적어도 하나의 소오스 접점; 및 상기 소오스 플레이트에 정전기력이 가해질 때 상기 소오스 접점과 접촉하게 되는 드레인 전극;을 포함한다.
구체적으로 상기 소오스 플레이트는, 본체; 상기 본체에 연결되고, 탄성을 갖는 적어도 하나의 제 1 탄성지지부; 및 상기 본체 내부에 형성되고, 탄성을 갖는 적어도 하나의 제 2 탄성지지부;를 포함하는 것을 특징으로 한다.
아울러, 상기 제 2 탄성지지부는, 상기 본체 내부의 일부를 절개하고, 절개된 부분의 사이에 형성된 것이 바람직하다. 또한, 상기 소오스 접점은, 하나의 제 2 탄성지지부와 다른 하나의 제 2 탄성지지부 사이의 하부에 형성된 것이 바람직하다. 바람직하게는 상기 소오스 접점이 위치한 상기 절개된 부분 사이의 폭이, 상기 하나의 제 2 탄성지지부와 상기 다른 하나의 제 2 탄성지지부의 폭보다 더 넓은 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 하나의 제 2 탄성지지부와 다른 하나의 제 2 탄성지지부는, 상기 소오스 접점을 중심으로 꺾여진 형상인 것을 특징으로 한다. 아울러, 상기 드레인 전극은, 상기 소오스 플레이트에 정전기력이 가해질 때, 상기 소오스 접점과 접촉하는 부분들을 서로 연결한 형상으로 형성된 것이 바람직하다. 또한, 상기 소오스 플레이트에 정전기력이 가해질 때, 1차적으로 상기 제 1 탄성지지부가 기울기를 갖게 되고, 2차적으로 상기 제 2 탄성지지부가 기울기를 갖게 되는 것을 특징으로 한다.
아울러, 본 발명의 정전 구동 스위치는, 상기 게이트 전극의 하부에 형성된 제 1 절연층; 및 상기 게이트 전극과 상기 드레인 전극 사이에 형성된 제 2 절연층;을 더 포함하는 것을 특징으로 한다. 또한, 상기 소오스 접점은 다수이되, 상기 다수의 소오스 접점은, 무게 중심이 상기 본체의 중심인 다각형으로 그룹화할 수 있다.
상술한 본 발명의 바람직한 일실시예에 따른 정전 구동 스위치를 다른 관점에서 설명하면 다음과 같다. 즉 본 발명의 정전 구동 스위치는, 상기 정전 구동 스위치에 정전기력이 가해질 때 움직이는 가동 플레이트; 상기 가동 플레이트와 연결되어 상기 가동 플레이트의 하부에 구비된 적어도 하나의 가동 접점; 및 상기 정전 구동 스위치에 정전기력이 가해질 때 상기 가동 접점과 접촉하는 고정 접점;을 포함하되, 상기 가동 플레이트는, 내부의 일부가 절개된 본체;를 포함하는 것을 특징으로 한다.
구체적으로, 상기 가동 플레이트는, 상기 절개된 부분의 사이에 형성되되, 탄성을 갖는 적어도 하나의 제 2 탄성지지부;를 포함하는 것이 바람직하다. 상기 가동 접점은, 하나의 제 2 탄성지지부와 다른 하나의 제 2 탄성지지부 사이의 하부에 형성된다. 또한, 상기 하나의 제 2 탄성지지부와 다른 하나의 제 2 탄성지지부는, 상기 가동 접점을 중심으로 꺾여진 형상인 것을 특징으로 한다.
아울러, 상기 가동 접점이 위치한 상기 절개된 부분 사이의 폭이, 상기 하나의 제 2 탄성지지부와 상기 다른 하나의 제 2 탄성지지부의 폭보다 더 넓은 것을 특징으로 한다. 또한, 상기 가동 플레이트는, 상기 본체와 연결되고, 탄성을 갖는 적어도 하나의 제 1 탄성지지부;를 더 포함하는 것이 바람직하다. 바람직하게는 상기 가동 플레이트에 정전기력이 가해질 때, 1차적으로 상기 제 1 탄성지지부가 기울기를 갖게 되고, 2차적으로 상기 제 2 탄성지지부가 기울기를 갖게 된다.
또한, 상기 고정 접점은, 상기 가동 플레이트에 정전기력이 가해질 때, 상기 가동 접점과 접촉하는 부분들을 서로 연결한 형상으로 형성된 것을 특징으로 한다. 아울러, 상기 가동 접점은 다수이되, 상기 다수의 가동 접점은, 무게 중심이 상기 본체의 중심인 다각형으로 그룹화할 수 있다.
본 발명의 정전 구동 스위치에 따르면, 두 개의 판 사이의 간격을 감소시킴과 동시에 판 면적을 증가시킬 수 있어 정전기력을 증가시킬 수 있다.
도 1은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 정전 구동 스위치의 분해사시도.
도 2의 (a) 및 (b)는 각각 정전기력의 인가 전후의 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 정전 구동 스위치의 단면도.
도 3의 (a) 및 (b)는 각각 본 발명의 정전 구동 스위치와 제 2 탄성지지부가 구비되지 않은 정전 구동 스위치의 이동거리의 시뮬레이션 결과.
도 4는 본 발명의 정전 구동 스위치와 제 2 탄성지지부가 구비되지 않은 정전 구동 스위치의 게이트 전압에 따른 접촉힘 시뮬레이션 결과.
도 5는 본 발명의 정전 구동 스위치와 제 2 탄성지지부가 구비되지 않은 정전 구동 스위치의 게이트 전압에 따른 접촉 저항의 측정 결과.
도 6의 (a) 및 (b)는 각각 본 발명의 정전 구동 스위치와 제 2 탄성지지부가 구비되지 않은 정전 구동 스위치의 균일한 접촉 여부를 테스트하기 위한 샘플.
도 7의 (a) 및 (b)는 각각 본 발명의 본 발명의 정전 구동 스위치와 제 2 탄성지지부가 구비되지 않은 정전 구동 스위치의 게이트 전압에 따른 각 드레인 전극이 전류 세기.
이하, 첨부된 도면을 참조하면서 본 발명의 실시예에 따른 정전 구동 스위치에 대해 상세히 설명하기로 한다.
본 발명의 하기의 실시예는 본 발명을 구체화하기 위한 것일 뿐 본 발명의 권리 범위를 제한하거나 한정하는 것이 아님은 물론이다. 본 발명의 상세한 설명 및 실시예로부터 본 발명이 속하는 기술 분야의 전문가가 용이하게 유추할 수 있는 것은 본 발명의 권리 범위에 속하는 것으로 해석된다.
먼저, 도 1은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 정전 구동 스위치(100)의 분해사시도를 나타낸다. 또한, 도 2의 (a) 및 (b)는 각각 정전기력의 인가 전후의 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 정전 구동 스위치(100)의 단면도를 나타낸다.
본 발명의 바람직한 실시예에 따른 정전 구동 스위치(100)는 멤즈(MEMS) 소자를 이용하여 구현될 수 있다.
도 1, 도 2의 (a) 및 (b)로부터 알 수 있는 바와 같이, 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 정전 구동 스위치(100)는, 기판(110), 제 1 절연층(120), 게이트 전극(130), 제 2 절연층(140), 드레인 전극(150), 소오스 접점(160) 및 소오스 플레이트(170)를 포함한다.
도 1, 도 2의 (a) 및 (b)에서, 게이트 전극(130), 드레인 전극(150) 및 소오스 플레이트(170)에 전기 신호의 입출력을 위한 단자(Terminal) 또는 패드(PAD)는 생략되어 도시되었다.
게이트 전극(130)은 정전 구동 스위치(100)의 동작을 제어하기 위한 제어 신호가 입력되고, 소오스 플레이트(170)는 전원전압 또는 그라운드 전압이 인가된다. 소오스 접점(160)은, 소오스 플레이트(170)와 연결되되 소오스 플레이트(170)의 하부에 구비되는 것이 바람직하다. 또한, 드레인 전극(150)은 소오스 플레이트(170)에 정전기력이 가해질 때 소오스 접점(160)과 접촉하게 된다.
소오스 플레이트(170)는, 본체(171), 적어도 하나의 제 1 탄성지지부(172), 적어도 하나의 제 2 탄성지지부(173), 적어도 하나의 앵커(Anchor, 174)를 포함한다.
제 1 탄성지지부(172)는 본체(171) 및 앵커(174) 사이를 연결하며, 탄성을 갖는 것이 바람직하다. 본 발명의 제 1 탄성지지부(172)는 한번 꺾여진 구조에 의해 보다 큰 탄성력을 기대할 수 있다.
아울러, 제 2 탄성지지부(173)는, 본체(171) 내부에 형성되고, 탄성을 갖는 것을 특징으로 한다. 소오스 플레이트(170)에 정전기력이 가해질 때, 1차적으로 제 1 탄성지지부(172)가 꺾이어져 기울기를 갖게 되어 소오스 플레이트(170)가 하부로 이동하게 되고, 2차적으로 제 2 탄성지지부(173)가 꺾이어져 기울기를 갖게 되어 다시 소오스 플레이트(170)가 하부로 이동하게 된다. .
또한, 소오스 플레이트(170)의 하부에는 적어도 하나의 소오스 접점(160)이 구비된다.
구체적으로, 제 2 탄성지지부(173)는, 본체(171) 내부의 일부를 절개하고, 그 절개된 부분의 사이에 형성되는 것이 바람직하다. 이때 소오스 접점(160)은, 하나의 제 2 탄성지지부(173)와 다른 하나의 제 2 탄성지지부(173) 사이의 하부에 형성된 것을 특징으로 한다.
아울러, 소오스 접점(160)이 위치한 절개된 부분의 사이의 폭이, 소오스 접점(160) 양측면의 하나의 제 2 탄성지지부(173)와 다른 하나의 제 2 탄성지지부(173)의 폭보다 더 넓은 것이 바람직하다. 더욱 바람직하게는 소오스 접점(160)이 위치한 절개된 부분은, 곡선, 예를 들면 원형으로 처리된 것을 특징으로 한다.
또한, 소오스 접점(160) 양측면에 위치한 하나의 제 2 탄성지지부(173)와 다른 하나의 제 2 탄성지지부(173)는, 소오스 접점(160)을 중심으로 꺾여진 형상인 것이 바람직하다. 즉, 소오스 접점(160) 양측면에 위치한 하나의 제 2 탄성지지부(173)와 다른 하나의 제 2 탄성지지부(173)가 소오스 접점(160)을 중심으로 둔각 또는 예각을 이루는 것이 바람직하다. 이러한 소오스 접점(160)을 중심을 양측면의 제 2 탄성지지부(173)가 수평을 이루는 것에 비해 꺾여진 구조에 의해 보다 큰 탄성력을 기대할 수 있다. 또한, 소오스 접점(160) 양측면에 위치한 하나의 제 2 탄성지지부(173)와 다른 하나의 제 2 탄성지지부(173)는, 소오스 접점(160)을 중심으로 대칭을 이루는 것을 특징으로 한다.
다수의 소오스 접점(160)은, 무게 중심이 본체(171)의 중심인 다각형으로 그룹화할 수 있다. 예를 들면, 도 1의 정전 구동 스위치(100)의 경우, 삼각형을 구성하는 내부의 3개의 소오스 접점(160)과 육각형을 이루는 외부의 6개의 소오스 접점(160)으로 그룹화될 수 있고, 각각은 정삼각형 및 정육각형으로 그 무게 중심이 본체(171)의 중심과 일치하게 된다. 이러한 구조에 의해 넓은 면적의 본체(171)에 대해 전체적으로 균일한 정전기력을 유지할 수 있게 된다.
본 발명의 드레인 전극(150)은, 소오스 플레이트(170)에 정전기력이 가해질 때, 소오스 접점(160)과 접촉하는 부분들을 서로 연결한 형상으로 형성된 것이 바람직하다. 즉, 드레인 전극(150)은, 소오스 플레이트(170)에 정전기력이 가해질 때, 소오스 접점(160)과 접촉하는 부분들에만 형성된 것이 아니라, 소오스 접점(160)과 접촉하는 부분들 사이를 연결하는 연결 부위에도 형성된 것을 특징으로한다.
아울러, 제 1 절연층(120)은 게이트 전극(130)의 하부에 형성되고, 제 2 절연층(140)은 게이트 전극(130)과 드레인 전극(150) 사이에 형성되는 것이 바람직하다. 제 1 절연층(120) 및 제 2 절연층(140)은, 전기적 절연뿐만 아니라, 열흡수원(Heat Sink)로서의 역할도 수행한다.
본 발명의 드레인 전극(150)은 상판인 소오스 플레이트(170)에 연결된 소오스 접점(160)과의 접점으로 정전기력 인가시 움직이지 않는 접점이므로 고정 접점이라 할 수 있다. 또한, 소오스 플레이트(170) 및 소오스 접점(160)은 각각 정전기력이 인가될 때 움직이므로, 가동 플레이트 및 가동 접점이라 할 수 있을 것이다.
하기에 본 발명의 정전 구동 스위치(100)의 스위칭 동작에 대해 구체적으로 설명하기로 하자.
게이트 전극(130)으로 입력되는 전압을 증가시키게 되면, 전원전압 또는 접지(Ground)로 설정되어 있는 소오스 플레이트(170)에 정전기력이 가해지게 되고, 이로 인해 제 1 탄성지지부(172)가 움직이게 되고, 소오스 접점(160)과 드레인 전극(150)의 접촉이 일어나게 된다. 아울러, 소오스 접점(160)과 드레인 전극(150)의 접촉 이후에도, 본체(171)가 제 2 탄성지지부(173)에 의해 아래로 더욱 이동하게 되어 하부 제 2 절연층(140)과의 간격이 더욱 좁아져서, 정전기력을 증가시킬 수 있다.
도 3의 (a) 및 (b)는 각각, 본 발명의 정전 구동 스위치(100)와 제 2 탄성지지부가 구비되지 않은 정전 구동 스위치의 이동거리의 시뮬레이션 결과이다. 도 3의 (a) 및 (b)로부터 알 수 있는 바와 같이 본 발명의 정전 구동 스위치(100)가 제 2 탄성지지부(173)가 구비되지 않은 정전 구동 스위치에 비해 이동거리(Displacement)가 긴, 즉 본체(171)가 더욱 아래로 내려간 것을 확인할 수 있다.
도 4는 본 발명의 정전 구동 스위치(100)와 제 2 탄성지지부(173)가 구비되지 않은 정전 구동 스위치의 게이트 전압에 따른 접촉힘 시뮬레이션 결과이다. 도 4로부터 알 수 있는 바와 같이, 본 발명의 정전 구동 스위치(100)가 제 2 탄성지지부(173)가 구비되지 않은 정전 구동 스위치에 비해 더욱 큰 접촉힘(Contact Force)을 나타내는 것을 알 수 있다.
즉, 도 3의 (a) 및 (b), 그리고 도 4로부터 본 발명의 정전 구동 스위치(100)가 본체(171)와 제 2 절연층(140) 사이의 간격이 줄어, 더욱 큰 정전기력을 발생하게 되고, 이에 따라 접촉힘이 커져 안정적인 접촉을 기대할 수 있음을 알 수 있다.
도 5는 본 발명의 정전 구동 스위치(100)와 제 제 2 탄성지지부(173)가 구비되지 않은 정전 구동 스위치의 게이트 전압에 따른 접촉 저항(Contact Force)의 측정 결과이다. 도 5로부터 알 수 있는 바와 같이, 본 발명의 정전 구동 스위치(100)가 제 2 탄성지지부(173)가 구비되지 않은 정전 구동 스위치에 비해 안정적인 접촉이 일어나며, 그에 따라 낮은 접촉 저항을 가지게 되는 것을 알 수 있다.
도 6의 (a) 및 (b)는 각각, 본 발명의 정전 구동 스위치(100)와 제 2 탄성지지부(173)가 구비되지 않은 정전 구동 스위치의 균일한 접촉 여부를 테스트하기 위한 샘플이다. 균일한 접촉 여부를 테스트하기 위해 정전 구동 스위치의 드레인 전극(150)은 다수로 분리되었다.
도 7의 (a) 및 (b)는 각각, 도 6의 샘플에 의해 본 발명의 본 발명의 정전 구동 스위치(100)와 제 2 탄성지지부(173)가 구비되지 않은 정전 구동 스위치의 게이트 전압에 따른 각 드레인 전극 단자(151, 152, 153)이 전류 세기를 측정한 결과를 각각 나타낸다. 도 7의 (a)로부터 알 수 있는 바와 같이 본 발명의 정전 구동 스위치(100)는 게이트 전압에 따라 각 드레인 전극 단자(151, 152, 153)의 전류 세기의 편차가 작은 것을 알 수 있다. 반면, 도 7의 (b)로부터 알 수 있는 바와 같이 제 2 탄성지지부(173)가 구비되지 않은 정전 구동 스위치의 경우, 게이트 전압에 따라 각 드레인 전극 단자(151, 152, 153)의 전류 세기의 편차가 큰 것을 알 수 있다. 즉, 본 발명의 정전 구동 스위치(100)는, 본체(171)의 면적을 크게 하면서도, 본체(171) 내부에서 균일한 접촉이 이루어지고 있음을 알 수 있다.
상술한 바와 같이, 본 발명의 정전 구동 스위치(100)에 따르면, 두 개의 판 사이의 간격을 감소시킴과 동시에 판 면적을 증가시킬 수 있어 정전기력을 증가시킬 수 있다. 즉, 본 발명에 따르면, 넓은 본체(171)의 면적에 대해서도 균일한 접촉에 의한 균일한 정전기력이 발생할 뿐만 아니라, 보다 본체(171)가 아래로 이동 가능하여 간격을 줄일 수 있음을 알 수 있다.
100 : 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 정전 구동 스위치
110 : 기판 120 : 제 1 절연층
130 : 게이트 전극 140 : 제 2 절연층
150 : 드레인 전극 160 : 소오스 접점
170 : 소오스 플레이트 171 : 본체
172 : 제 1 탄성지지부 173 : 제 2 탄성지지부
174 : 앵커

Claims (17)

  1. 정전 구동 스위치에 있어서,
    상기 스위치의 동작을 제어하기 위한 제어 신호가 입력되는 게이트 전극;
    전원전압 또는 그라운드 전압이 인가되는 소오스 플레이트;
    상기 소오스 플레이트와 연결되어 상기 소오스 플레이트의 하부에 구비된 적어도 하나의 소오스 접점; 및
    상기 소오스 플레이트에 정전기력이 가해질 때 상기 소오스 접점과 접촉하게 되는 드레인 전극;을 포함하되,
    상기 소오스 플레이트는,
    본체;
    상기 본체에 연결되고, 탄성을 갖는 적어도 하나의 제 1 탄성지지부; 및
    상기 본체 내부에 형성되고, 탄성을 갖는 적어도 하나의 제 2 탄성지지부;를 포함하는 것을 특징으로 하는 정전 구동 스위치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 제 2 탄성지지부는,
    상기 본체 내부의 일부를 절개하고, 절개된 부분의 사이에 형성되고,
    상기 소오스 접점은,
    하나의 제 2 탄성지지부와 다른 하나의 제 2 탄성지지부 사이의 하부에 형성된 것을 특징으로 하는 정전 구동 스위치.
  3. 제2항에 있어서,
    상기 소오스 접점이 위치한 상기 절개된 부분 사이의 폭이, 상기 하나의 제 2 탄성지지부와 상기 다른 하나의 제 2 탄성지지부의 폭보다 더 넓은 것을 특징으로 하는 정전 구동 스위치.
  4. 제2항에 있어서,
    상기 하나의 제 2 탄성지지부와 다른 하나의 제 2 탄성지지부는,
    상기 소오스 접점을 중심으로 꺾여진 형상인 것을 특징으로 하는 정전 구동 스위치.
  5. 제1항 또는 제2항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 드레인 전극은,
    상기 소오스 플레이트에 정전기력이 가해질 때, 상기 소오스 접점과 접촉하는 부분들을 서로 연결한 형상으로 형성된 것을 특징으로 하는 정전 구동 스위치.
  6. 제1항 또는 제2항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 소오스 플레이트에 정전기력이 가해질 때,
    1차적으로 상기 제 1 탄성지지부가 기울기를 갖게 되고, 2차적으로 상기 제 2 탄성지지부가 기울기를 갖게 되는 것을 특징으로 하는 정전 구동 스위치.
  7. 제1항 또는 제2항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 정전 구동 스위치는,
    상기 게이트 전극의 하부에 형성된 제 1 절연층;을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 정전 구동 스위치.
  8. 제1항 또는 제2항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 정전 구동 스위치는,
    상기 게이트 전극과 상기 드레인 전극 사이에 형성된 제 2 절연층;을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 정전 구동 스위치.
  9. 제1항 또는 제2항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 소오스 접점은 다수이되,
    상기 다수의 소오스 접점은, 무게 중심이 상기 본체의 중심인 다각형으로 그룹화할 수 있는 것을 특징으로 하는 정전 구동 스위치.
  10. 정전 구동 스위치에 있어서,
    상기 정전 구동 스위치에 정전기력이 가해질 때 움직이는 가동 플레이트;
    상기 가동 플레이트와 연결되어 상기 가동 플레이트의 하부에 구비된 적어도 하나의 가동 접점; 및
    상기 정전 구동 스위치에 정전기력이 가해질 때 상기 가동 접점과 접촉하는 고정 접점;을 포함하되,
    상기 가동 플레이트는,
    내부의 일부가 절개된 본체;를 포함하는 것을 특징으로 하는 정전 구동 스위치.
  11. 제10항에 있어서,
    상기 가동 플레이트는,
    상기 절개된 부분의 사이에 형성되되, 탄성을 갖는 적어도 하나의 제 2 탄성지지부;를 포함하는 것을 특징으로 하는 정전 구동 스위치.
  12. 제11항에 있어서,
    상기 가동 접점은,
    하나의 제 2 탄성지지부와 다른 하나의 제 2 탄성지지부 사이의 하부에 형성되되,
    상기 하나의 제 2 탄성지지부와 다른 하나의 제 2 탄성지지부는,
    상기 가동 접점을 중심으로 꺾여진 형상인 것을 특징으로 하는 정전 구동 스위치.
  13. 제12항에 있어서,
    상기 가동 접점이 위치한 상기 절개된 부분 사이의 폭이, 상기 하나의 제 2 탄성지지부와 상기 다른 하나의 제 2 탄성지지부의 폭보다 더 넓은 것을 특징으로 하는 정전 구동 스위치.
  14. 제11항에 있어서,
    상기 가동 플레이트는,
    상기 본체와 연결되고, 탄성을 갖는 적어도 하나의 제 1 탄성지지부;를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 정전 구동 스위치.
  15. 제14항에 있어서,
    상기 가동 플레이트에 정전기력이 가해질 때,
    1차적으로 상기 제 1 탄성지지부가 기울기를 갖게 되고, 2차적으로 상기 제 2 탄성지지부가 기울기를 갖게 되는 것을 특징으로 하는 정전 구동 스위치.
  16. 제10항에 있어서,
    상기 고정 접점은,
    상기 가동 플레이트에 정전기력이 가해질 때, 상기 가동 접점과 접촉하는 부분들을 서로 연결한 형상으로 형성된 것을 특징으로 하는 정전 구동 스위치.
  17. 제10항에 있어서,
    상기 가동 접점은 다수이되,
    상기 다수의 가동 접점은, 무게 중심이 상기 본체의 중심인 다각형으로 그룹화할 수 있는 것을 특징으로 하는 정전 구동 스위치.
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