KR20160082302A - Single fire detector of complex type - Google Patents
Single fire detector of complex type Download PDFInfo
- Publication number
- KR20160082302A KR20160082302A KR1020140193445A KR20140193445A KR20160082302A KR 20160082302 A KR20160082302 A KR 20160082302A KR 1020140193445 A KR1020140193445 A KR 1020140193445A KR 20140193445 A KR20140193445 A KR 20140193445A KR 20160082302 A KR20160082302 A KR 20160082302A
- Authority
- KR
- South Korea
- Prior art keywords
- sensor
- thin film
- tin oxide
- indium tin
- fire
- Prior art date
Links
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims abstract description 44
- 239000010409 thin film Substances 0.000 claims abstract description 37
- AMGQUBHHOARCQH-UHFFFAOYSA-N indium;oxotin Chemical compound [In].[Sn]=O AMGQUBHHOARCQH-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 28
- 239000000779 smoke Substances 0.000 claims abstract description 22
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 18
- 238000000034 method Methods 0.000 claims abstract description 16
- 238000007650 screen-printing Methods 0.000 claims abstract description 7
- MYMOFIZGZYHOMD-UHFFFAOYSA-N Dioxygen Chemical compound O=O MYMOFIZGZYHOMD-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 6
- 229910001882 dioxygen Inorganic materials 0.000 claims description 6
- 229910006404 SnO 2 Inorganic materials 0.000 claims description 4
- 230000008859 change Effects 0.000 claims description 4
- LNNWKAUHKIHCKO-UHFFFAOYSA-N dioxotin;oxo(oxoindiganyloxy)indigane Chemical compound O=[Sn]=O.O=[In]O[In]=O LNNWKAUHKIHCKO-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- 238000007639 printing Methods 0.000 claims description 3
- 239000007787 solid Substances 0.000 claims description 3
- 238000004506 ultrasonic cleaning Methods 0.000 claims description 3
- 238000001179 sorption measurement Methods 0.000 claims description 2
- 230000002265 prevention Effects 0.000 abstract description 5
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 abstract description 3
- 230000009977 dual effect Effects 0.000 abstract 1
- 239000002360 explosive Substances 0.000 abstract 1
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 13
- 239000002131 composite material Substances 0.000 description 12
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 description 8
- 239000000463 material Substances 0.000 description 6
- VNWKTOKETHGBQD-UHFFFAOYSA-N methane Chemical compound C VNWKTOKETHGBQD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 230000008569 process Effects 0.000 description 6
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 5
- 239000011230 binding agent Substances 0.000 description 4
- 238000002347 injection Methods 0.000 description 4
- 239000007924 injection Substances 0.000 description 4
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 4
- 239000010453 quartz Substances 0.000 description 4
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N silicon dioxide Inorganic materials O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 230000000638 stimulation Effects 0.000 description 4
- CSCPPACGZOOCGX-UHFFFAOYSA-N Acetone Chemical compound CC(C)=O CSCPPACGZOOCGX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- KFZMGEQAYNKOFK-UHFFFAOYSA-N Isopropanol Chemical compound CC(C)O KFZMGEQAYNKOFK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- OKKJLVBELUTLKV-UHFFFAOYSA-N Methanol Chemical compound OC OKKJLVBELUTLKV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 3
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 3
- 238000004880 explosion Methods 0.000 description 3
- 238000000445 field-emission scanning electron microscopy Methods 0.000 description 3
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 3
- 238000011084 recovery Methods 0.000 description 3
- 238000005229 chemical vapour deposition Methods 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 238000010304 firing Methods 0.000 description 2
- 239000003574 free electron Substances 0.000 description 2
- 229910044991 metal oxide Inorganic materials 0.000 description 2
- 150000004706 metal oxides Chemical class 0.000 description 2
- 238000005036 potential barrier Methods 0.000 description 2
- 238000006467 substitution reaction Methods 0.000 description 2
- 206010000369 Accident Diseases 0.000 description 1
- 239000001856 Ethyl cellulose Substances 0.000 description 1
- ZZSNKZQZMQGXPY-UHFFFAOYSA-N Ethyl cellulose Chemical compound CCOCC1OC(OC)C(OCC)C(OCC)C1OC1C(O)C(O)C(OC)C(CO)O1 ZZSNKZQZMQGXPY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000010521 absorption reaction Methods 0.000 description 1
- WUOACPNHFRMFPN-UHFFFAOYSA-N alpha-terpineol Chemical compound CC1=CCC(C(C)(C)O)CC1 WUOACPNHFRMFPN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000008901 benefit Effects 0.000 description 1
- 235000009508 confectionery Nutrition 0.000 description 1
- 238000011109 contamination Methods 0.000 description 1
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 1
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 1
- 239000008367 deionised water Substances 0.000 description 1
- 229910021641 deionized water Inorganic materials 0.000 description 1
- SQIFACVGCPWBQZ-UHFFFAOYSA-N delta-terpineol Natural products CC(C)(O)C1CCC(=C)CC1 SQIFACVGCPWBQZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000013461 design Methods 0.000 description 1
- 238000000313 electron-beam-induced deposition Methods 0.000 description 1
- 229920001249 ethyl cellulose Polymers 0.000 description 1
- 235000019325 ethyl cellulose Nutrition 0.000 description 1
- 238000007733 ion plating Methods 0.000 description 1
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 239000002105 nanoparticle Substances 0.000 description 1
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 1
- 230000003647 oxidation Effects 0.000 description 1
- 238000007254 oxidation reaction Methods 0.000 description 1
- 239000000843 powder Substances 0.000 description 1
- 230000035484 reaction time Effects 0.000 description 1
- 238000011160 research Methods 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
- 239000000243 solution Substances 0.000 description 1
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 1
- 229940116411 terpineol Drugs 0.000 description 1
- 238000000427 thin-film deposition Methods 0.000 description 1
- 238000002834 transmittance Methods 0.000 description 1
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Chemical compound O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G08—SIGNALLING
- G08B—SIGNALLING OR CALLING SYSTEMS; ORDER TELEGRAPHS; ALARM SYSTEMS
- G08B17/00—Fire alarms; Alarms responsive to explosion
- G08B17/10—Actuation by presence of smoke or gases, e.g. automatic alarm devices for analysing flowing fluid materials by the use of optical means
-
- G—PHYSICS
- G08—SIGNALLING
- G08B—SIGNALLING OR CALLING SYSTEMS; ORDER TELEGRAPHS; ALARM SYSTEMS
- G08B17/00—Fire alarms; Alarms responsive to explosion
- G08B17/12—Actuation by presence of radiation or particles, e.g. of infrared radiation or of ions
Landscapes
- Business, Economics & Management (AREA)
- Emergency Management (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Fire-Detection Mechanisms (AREA)
Abstract
Description
본 발명은 복합형 단일 화재감지 센서에 관한 것이다. 보다 상세하게는 온도, 자외광선 및 인화성 가스를 하나의 센서로 동시에 감지하여 특히 폭발형 착화 화재를 신속하고 정확하게 감지할 수 있는 복합형 단일 화재감지 센서에 관한 것이다.The present invention relates to a hybrid type single fire detection sensor. More particularly, the present invention relates to a combined single fire detection sensor capable of simultaneously detecting temperature, ultraviolet ray, and flammable gas with a single sensor, and detecting explosion type ignition fire quickly and accurately.
화재감지센서를 포함하는 화재감지기는 화재시 발생하는 열, 연기, 불꽃 등을 검출하여 화재가 발생하였음을 외부에 알리는 장치이다. 화재감지기는 측정원리에 따라 열감지기, 연기감지기, 불꽃감지기 등으로 분류할 수 있다.A fire detector including a fire detection sensor detects heat, smoke, and flame generated during a fire and informs the outside that a fire has occurred. Fire detectors can be classified into heat detectors, smoke detectors, flame detectors, etc. according to the measurement principle.
열감지기는 써미스터(Thermistor) 또는 열전대(Thermocouple)와 같은 열감지센서를 이용하여 열 또는 온도를 감지하여 화재 발생을 알리는 방식이다.The heat sensor uses a heat sensor such as a thermistor or a thermocouple to detect heat or temperature and notify the occurrence of a fire.
연기감지기는 연기 입자를 포함한 기체를 빛이 통과할 때 발생하는 빛의 흡수 또는 산란과 같은 광학적 현상과 연기 농도의 상관관계를 이용하여 화재시 발생하는 연기를 감지하는 방식이다.The smoke detector is a method of detecting smoke occurring in a fire by using a correlation between an optical phenomenon such as absorption or scattering of light generated when light passes through a gas including smoke particles and smoke density.
불꽃감지기는 화재에 의해 발생한 불꽃으로부터 방출되는 빛에 포함된 적외선이나 자외선을 감지하는 방식이다.Flame detectors detect infrared or ultraviolet rays contained in light emitted from a fire caused by a fire.
화재는 막대한 재산과 인명손실을 동반하는 재난으로, 이를 초기에 경고하여 손실을 줄이려는 노력은 경제적, 사회적으로 매우 중요하다. 그 중에서도 화재에 의해 발생하는 다중신호(열, 연기, 불꽃)를 여러 개의 센서를 이용하여 감지하고 이를 종합하여 화재경보의 신뢰성을 높이려는 시도가 있었다.Fire is a disaster accompanied by tremendous wealth and loss of life, and early efforts to alleviate losses by warning them are very important both economically and socially. Among them, there have been attempts to increase the reliability of fire alarm by detecting and collecting multiple signals (heat, smoke, flame) generated by a fire using a plurality of sensors.
이러한 시도가 이루어진 이유는 단일신호에 의한 화재감지에 한계가 존재하기 때문이다. 예컨대 열감지방식은 화재발생의 유형상 밀폐된 공간에서는 발화후 주변으로 확산되는 경우가 아니면 유효한 방식이 아니고, 연기감지기도 발화시 특정 기체의 농도 변화가 감지되는 경우만 유효하며, 불꽃감지기는 주변의 조명이나 환경에 따라 제한적으로 작동하는 경우가 발생하므로 여러 가지 신호를 종합하여 화재발생 경보를 하는 것이 정보의 신뢰성 확보 차원에서 중요하다.The reason for this attempt is that there is a limit to fire detection by a single signal. For example, the thermal sensing method is not effective unless it is diffused to the surroundings after the ignition in a closed space due to the type of fire occurrence, and the smoke detector is effective only when a change in concentration of a specific gas is detected at the time of ignition. It is important to ensure the reliability of information by combining fire alarms with various signals.
선행기술문헌 : KR공개특허공보 제2007-0119593호(2007.12.20.공개)Prior Art Document KR Patent Publication No. 2007-0119593 (published on December 20, 2007)
본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위해 안출된 것으로, 특히 복수개의 신호를 단일한 센서를 이용하여 동시에 신속하고 정확하게 측정할 수 있는 화재감지센서를 제공하는 데 그 목적이 있다.It is an object of the present invention to provide a fire detection sensor capable of rapidly and accurately measuring a plurality of signals simultaneously using a single sensor.
본 발명에서는 대기 중에서 장시간 사용하여도 산화, 오염 등에 대한 내성이 크고, 경제적으로도 장점을 갖고 있는 금속산화물 재료를 이용한 센서를 제안한다.The present invention proposes a sensor using a metal oxide material that is resistant to oxidation, contamination, and the like even when used for a long time in the atmosphere, and has an economical advantage.
금속산화물 재료를 이용하여 센서를 제작하는 방법도 종래의 고가의 진공 장비를 이용한 반도체 박막증착 공정의 이용을 지양하고, 저가의 유리기판 등에 직접 인쇄하는 인쇄공정을 이용하여 센서를 제작한다. A method of manufacturing a sensor using a metal oxide material also avoids the use of a conventional semiconductor thin film deposition process using expensive vacuum equipment, and a sensor is manufactured using a printing process that directly prints on a low-cost glass substrate.
센서 재료로서는 인듐-주석-산화물을 이용하고, 기판으로는 유리기판을 이용하며, 저가의 센서를 대량 생산할 수 있는 기술적 기반을 확보하기 위하여, 유리기판 상에 인듐 주석 산화물을 직접 인쇄 후 후처리 공정을 통하여 센서를 제작하는 방법을 제안한다. In order to secure a technological basis for mass production of low cost sensors using indium-tin-oxide as a sensor material and a glass substrate as a substrate, indium tin oxide is directly printed on a glass substrate, The proposed method is shown in Fig.
제작한 센서는 자외광에 대한 검출 성능과 인화성 가스 및 연기에 대한 검출 성능 온도 변화에 대한 검출 성능을 동시에 보유하여, 단 하나의 센서로 화재에 의해서 발생하는 모든 신호를 종래의 기술보다 조기에 검지하여 화재 발생 경보뿐만 아니라 폭발형 화재의 발생 위험에 대한 사전 경고까지 가능한 성능을 갖는 센서를 제안한다.The sensor has both detection performance against ultraviolet light and detection performance against temperature change of flammable gas and smoke. It is possible to detect all signals generated by fire with a single sensor more quickly than conventional technology. In this paper, we propose a sensor which can detect not only fire alarm but also warning about explosion type fire.
상기 목적을 달성하기 위해 안출된 본 발명에 따른 복합형 단일 화재감지 센서는 기판; 기판 상에 형성되는 인듐 주석 산화물(ITO) 박막; 및 인듐 주석 산화물 박막의 양측 단부에 구비되어 인듐 주석 산화물 박막에 전류를 인가하는 전극을 포함하며, 인듐 주석 산화물 박막의 고체 표면의 산소 기체 흡착정도에 따른 전기전도도 변화를 이용하여 연기, 자외광선, 온도를 포함한 다중신호를 하나의 센서로 동시에 감지한다.According to an aspect of the present invention, there is provided a composite single fire detection sensor comprising: a substrate; An indium tin oxide (ITO) thin film formed on a substrate; And an electrode which is provided at both ends of the indium tin oxide thin film and applies an electric current to the indium tin oxide thin film, wherein the electric conductivity of the indium tin oxide thin film is changed according to the degree of oxygen gas adsorption on the solid surface, It simultaneously detects multiple signals including temperature with one sensor.
또한, 인듐 주석 산화물 박막은 전극과의 연결부위보다 넓은 면적으로 형성되어 면저항을 이용하지 않고 선저항을 이용할 수 있다.In addition, the indium tin oxide thin film is formed to have a larger area than the connection area with the electrode, so that the line resistance can be used without using the sheet resistance.
또한, 인듐 주석 산화물 박막은 인듐 주석 산화물 나노분말을 In2O3 : SnO2 = 90:10의 중량비로 페이스트 형태로 만들어 기판 상면에 스크린 인쇄법으로 인쇄하고 초음파 세척한 후 소성하여 형성될 수 있다.The indium tin oxide thin film may be formed by forming indium tin oxide nano powder in paste form at a weight ratio of In 2 O 3 : SnO 2 = 90: 10, printing on the upper surface of the substrate by screen printing, ultrasonic cleaning, and firing .
본 발명에 의하면 화재에 의해서 발생하는 모든 동반현상, 즉 온도, 자외광, 연기뿐만 아니라, 화재 위험 증가와 관련된 신호를 조기 검지할 수 있는 단일 센서를 구현하며, 금속산화물 감지재와 인쇄공학 기술을 적용하여 소형, 저가 화재감지기의 구현이 가능할 뿐만 아니라, 안전 방재 분야의 설계기술 선도가 가능한 효과가 있다.According to the present invention, a single sensor capable of early detection of a signal related to an increase in fire risk as well as temperature, ultraviolet light, and smoke as well as all accompanying phenomena caused by a fire can be realized, It is possible to realize a small and low cost fire detector and it is possible to lead the design technology in the field of safety disaster prevention.
도 1은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 복합형 단일 화재감지 센서를 포함하는 감지시스템의 구성도,
도 2는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 복합형 단일 화재감지 센서의 개념도,
도 3은 스크린 인쇄된 인듐 주석 산화물 박막에 대한 FE-SEM 사진,
도 4는 복합형 단일 화재감지 센서에 의한 실온에서의 가연성 연기 센서 특성을 나타내는 그래프,
도 5는 본 발명에 따른 복합형 단일 화재감지 센서의 자외선 센서 특성을 나타내는 그래프,
도 6은 본 발명에 따른 복합형 단일 화재감지 센서의 온도 센서의 특성을 나타내는 그래프,
도 7은 본 발명에 따른 복합형 단일 화재감지 센서의 동시 검출 센서 특성을 나타내는 그래프이다.BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS FIG. 1 is a block diagram of a sensing system including a hybrid type single fire detection sensor according to a preferred embodiment of the present invention;
FIG. 2 is a conceptual view of a combined single fire detection sensor according to a preferred embodiment of the present invention,
3 is an FE-SEM photograph of a screen-printed indium tin oxide thin film,
FIG. 4 is a graph showing characteristics of a flammable smoke sensor at room temperature by a composite single fire detection sensor,
FIG. 5 is a graph showing characteristics of an ultraviolet sensor of a combined single fire detection sensor according to the present invention,
FIG. 6 is a graph showing the characteristics of the temperature sensor of the composite type single fire detection sensor according to the present invention,
FIG. 7 is a graph showing the characteristics of the simultaneous detection sensor of the hybrid type single fire detection sensor according to the present invention.
이하, 본 발명의 바람직한 실시예를 첨부된 도면들을 참조하여 상세히 설명한다. 우선 각 도면의 구성 요소들에 참조 부호를 부가함에 있어서, 동일한 구성 요소들에 대해서는 비록 다른 도면상에 표시되더라도 가능한 한 동일한 부호를 가지도록 하고 있음에 유의해야 한다. 또한, 본 발명을 설명함에 있어, 관련된 공지 구성 또는 기능에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 흐릴 수 있다고 판단되는 경우에는 그 상세한 설명은 생략한다. 또한, 이하에서 본 발명의 바람직한 실시예를 설명할 것이나, 본 발명의 기술적 사상은 이에 한정하거나 제한되지 않고 당업자에 의해 변형되어 다양하게 실시될 수 있음은 물론이다.Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. In the drawings, the same reference numerals are used to designate the same or similar components throughout the drawings. In the following description of the present invention, a detailed description of known functions and configurations incorporated herein will be omitted when it may make the subject matter of the present invention rather unclear. In addition, the preferred embodiments of the present invention will be described below, but it is needless to say that the technical idea of the present invention is not limited thereto and can be variously modified by those skilled in the art.
도 1은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 복합형 단일 화재감지 센서를 포함하는 감지시스템의 구성도이다.1 is a configuration diagram of a sensing system including a hybrid type single fire detection sensor according to a preferred embodiment of the present invention.
도 1을 참조하면, 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 복합형 단일 화재감지 센서를 포함하는 감지시스템은 감지센서(1), 증폭회로(2), 컨트롤부(3), LED 경보(4), 경보스피커(5), 유무선 송신모듈(6), 및 방재센터 신고부(7)를 포함하여 이루어진다.Referring to FIG. 1, a sensing system including a combined single fire sensor according to a preferred embodiment of the present invention includes a
감지센서(1)는 화재시 발생하는 연기, 화염, 열을 검출하여 화재가 발생하였음을 외부에 알린다. 이를 위해 감지센서(1)는 특정 환경에서 전기적 신호를 발생시킨다. The detection sensor (1) detects smoke, flame, and heat generated during a fire and informs the outside that a fire has occurred. To this end, the
발생된 전기적 신호는 증폭회로(2)에서 증폭되고, 증폭된 신호의 크기가 기 설정된 값을 초과할 경우 컨트롤부(3)에서 화재가 발생한 것으로 인식하고 외부로 및, 소리 등의 형태로 화재발생경보를 발생시키게 된다. 화재발생경보가 발생되면 유무선 송신모듈(6)에 의해 방재센터 신고부(7)가 방화위치를 송신하므로 초동 진화가 가능하다.The generated electrical signal is amplified by the amplifying
도 2는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 복합형 단일 화재감지 센서의 개념도이다.2 is a conceptual view of a combined single fire detection sensor according to a preferred embodiment of the present invention.
도 2를 참조하면, 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 복합형 단일 화재감지 센서(11)는 기판(12), 인듐 주석 산화물 박막(13)(이하, ITO 박막), 전극(14a, 14b)을 포함한다.2, the composite single
기판(12)은 ITO 박막(13)을 스크린 인쇄법에 의해 형성하기 위한 받침판 역할을 하는 것으로, 스크린 인쇄가 가능한 평판이라면 어떠한 재질이라도 가능하지만, ITO 박막(13)이 대략 200℃에서 소결이 이루어지므로 이러한 열에 충분히 견딜 수 있는 재질인 것이 바람직하다.The
ITO 박막(13)은 기판(12) 상에 형성된다. ITO 박막(13)은 화재에 의해 발생되는 연기, 화염, 온도를 검출하는 역할을 하며, 인듐 주석 산화물 나노분말을 In2O3 : SnO2 = 90:10의 중량비로 페이스트 형태로 만들어 기판(12) 상면에 스크린 인쇄법으로 인쇄하고 초음파 세척한 후 소성하여 형성될 수 있다.An ITO
인듐 주석 산화물(Indium Tin Oxide, ITO)은 In2O3 에 SnO2 를 고용시켜 제조한 재료로, In2O3 의 결정구조에서 In 자리에 Sn 이 치환 고용된 형태이다. 인듐 주석 산화물은 가시광선 영역에서는 투과 특성이 우수하고 큰 밴드갭을 가지며, 자외선 영역은 흡수가 가능한 광특성 뿐만 아니라, 상온에서 안정한 물질로서 투명하면서 전기전도성이 우수한 특성을 갖는다.Indium tin oxide (Indium Tin Oxide, ITO) is in the form of the Sn to In place in the crystal structure of a material prepared by employing a SnO 2 to In 2 O 3, In 2 O 3 is substituted employed. The indium tin oxide has a characteristic of being transparent at a room temperature and having excellent electric conductivity as well as a light characteristic which is excellent in transmittance characteristic in a visible light region, has a large band gap and absorbs an ultraviolet ray region.
일반적으로 ITO 박막은 대부분 진공에서 ITO 타겟을 사용하는 스퍼터링, 이온 플레이팅(Ion Plating), 전자빔 증착, CVD(Chemical Vapor Depostion) 등에 의해 제조되고 있다. 이러한 공법은 모두 고가의 장비를 필요로 하고 대면적화가 용이하지 못한 한계가 있다.In general, ITO thin films are mostly manufactured by sputtering, ion plating, electron beam deposition, CVD (Chemical Vapor Deposition) using ITO target in vacuum. These methods all require expensive equipment and are not easy to large-scale.
본 발명에서는 스크린 인쇄법에 의해 ITO 박막을 형성함으로써 저비용으로 제조가 가능하고 대면적화가 용이하다.In the present invention, the ITO thin film is formed by the screen printing method, which makes it possible to manufacture the ITO thin film at a low cost and to easily increase the area.
전극(14a, 14b)은 ITO 박막(13)의 양측 단부에 구비되어 ITO 박막(13)에 전류를 인가한다.Electrodes 14a and 14b are provided on both sides of the ITO
이때, ITO 박막(13)은 전극(14a, 14b)과의 연결부위보다 넓은 면적으로 형성되어 면저항을 이용하는 대신 선저항을 이용하는 것이 바람직하다. 도 2를 참조하면, ITO 박막(13)이 사탕과 같은 패턴으로 형성되어 있는데, 이는 기존의 면저항을 이용하는 센서와 달리, 센서의 감지를 위해 넓은 면적을 활용하고 전극 연결부분은 선저항을 이용할 수 있도록 함으로써 센서를 포함한 검출회로의 구조를 간소화할 수 있도록 한다.At this time, it is preferable that the ITO
본 발명에 따른 복합형 단일 화재감지 센서의 제조방법에 관한 바람직한 실시예는 다음과 같다.A preferred embodiment of a method for manufacturing a composite single fire detection sensor according to the present invention is as follows.
먼저, 입도 30~50nm의 인듐 주석 산화물 파우더와 유기바인더를 1:1 비율로 혼합하여 인듐 주석 산화물 페이스트를 제조한다. 이때, 유기바인더로는 에틸 셀룰로즈(Ethyl Cellulose)와 터피네올(terpineol)을 1:19의 중량비로 혼합한 유기용액이 사용될 수 있다.First, an indium tin oxide powder having a particle size of 30 to 50 nm and an organic binder are mixed at a ratio of 1: 1 to prepare an indium tin oxide paste. As the organic binder, an organic solution prepared by mixing ethyl cellulose and terpineol in a weight ratio of 1:19 may be used.
이어서, 제조된 인듐 주석 산화물 페이스트를 세척된 석영기판 상에 구형파 패턴을 갖는 띠 형태로 스크린 인쇄한다. 이때, 석영기판은 메탄올, 아세톤, 이소프로필 알코올, 그리고 초순수물(Deionized Water) 순으로 대략 15분씩 초음파 세척한다.Then, the indium tin oxide paste thus produced is screen-printed on a cleaned quartz substrate in the form of a strip having a rectangular wave pattern. At this time, the quartz substrate is ultrasonically cleaned in the order of methanol, acetone, isopropyl alcohol, and deionized water for approximately 15 minutes.
이어서, 석영기판 상에 스크린 인쇄된 인듐 주석 산화물 박막에 포함된 유기바인더를 제거하기 위해 200℃에서 1시간 동안 소성한다. 이때, 소성온도를 200℃로 잡은 것은 종래의 연구에서 유기바인더가 180℃에서 제거되는 것으로 알려져 있으며, 소성시간을 1시간으로 한 것은 가장 낮은 저항값의 박막을 얻을 수 있기 때문이다.Then, the organic binder contained in the indium tin oxide thin film screen-printed on the quartz substrate is fired at 200 DEG C for 1 hour. At this time, it is known that the baking temperature is set at 200 ° C because the organic binder is removed at 180 ° C in the conventional research, and the baking time of 1 hour is because the thin film having the lowest resistance value can be obtained.
이와 같이 제조된 복합형 단일 화재감지 센서의 동작특성에 대한 측정과 분석을 실시하였다.The operating characteristics of the combined single fire sensor were measured and analyzed.
동작특성을 측정하기 전에 스크린 인쇄된 인듐 주석 산화물 박막에 대해 FE-SEM을 이용화여 형상 특성 분석을 실시하였다.Before measuring the operating characteristics, the screen-printed indium tin oxide thin films were analyzed by FE-SEM.
도 3은 스크린 인쇄된 인듐 주석 산화물 박막에 대한 FE-SEM 사진이다.3 is an FE-SEM photograph of a screen-printed indium tin oxide thin film.
도 3(a)는 박막의 표면 형상, 도 3(b)는 박막의 단면형상, 도 3(c)은 센서의 사진을 나타낸다.Fig. 3 (a) shows the surface shape of the thin film, Fig. 3 (b) shows the cross-sectional shape of the thin film, and Fig. 3 (c) shows the photograph of the sensor.
도 3(a)를 참조하면, 스크린 인쇄된 인듐 주석 산화물 박막은 대략 평균 50nm의 직경을 갖는 입자로 균일하게 이루어져 있음을 확인할 수 있다.Referring to FIG. 3 (a), it is confirmed that the screen-printed indium tin oxide thin film is uniformly composed of particles having an average diameter of 50 nm.
도 3(b)를 참조하면, 두께 5㎛로 비교적 균일한 표면을 가지고 있음을 알 수 잇다.Referring to Fig. 3 (b), it can be seen that the surface has a relatively uniform surface with a thickness of 5 탆.
도 3(c)를 참조하면, 30mm×30mm 사이즈의 석영기판 상에 20mm×20mm 크기의 센서 박막이 형성되어 있음을 확인할 수 있다.Referring to FIG. 3 (c), it can be seen that a sensor thin film of 20 mm × 20 mm size is formed on a quartz substrate of 30 mm × 30 mm size.
본 발명에 따른 복합형 단일 화재감지 센서는 고체 표면과 기체 반응에 따른 전기전도도 변화를 이용한다. 실온상태에서의 인듐 주석 산화물 박막 센서에 산소기체가 흡착되념 전위장벽이 형성되어 자유전자가 산소기체에 포획되어 전기전도도가 낮아진다.The composite single fire detection sensor according to the present invention utilizes the change of electric conductivity according to a gas reaction on a solid surface. Oxygen gas is adsorbed on the indium tin oxide thin film sensor at room temperature. A potential barrier is formed, and the free electrons are trapped in the oxygen gas and the electric conductivity is lowered.
하지만, 연기, 자외광선, 온도와 같은 외부자극은 산소기체를 산화시키거나 제거하게 되고, 산소기체에 포획되었던 자유전자는 전위장벽이 낮아져 전기전도도가 커지게 되는 것이다.However, external stimuli such as smoke, ultraviolet rays, and temperature oxidize or remove oxygen gas, and the free electrons trapped in oxygen gas have a low electric potential barrier, thereby increasing electrical conductivity.
본 발명에 따른 복합형 단일 화재감지 센서는 나노 크기의 입자로 이루어진 균일한 표면에 의해 넓은 표면적을 가지므로 검출하고자 하는 가스 형태의 연기, 자외광, 온도를 검출하기에 용이하고, 전류가 통전될 전도의 얇은 두께를 가지므로 신속한 반응시간을 확보할 수 있다.Since the composite single fire detection sensor according to the present invention has a large surface area due to a uniform surface composed of nano-sized particles, it is easy to detect smoke, ultraviolet light, and temperature of gas to be detected, Since it has a thin thickness of conduction, rapid reaction time can be secured.
도 4는 복합형 단일 화재감지 센서에 의한 실온에서의 가연성 연기 센서 특성을 나타내는 그래프로, 메탄 가스를 주입하여 연기센서의 특성을 알아보았다.FIG. 4 is a graph showing characteristics of a flammable smoke sensor at room temperature by a hybrid type single fire detection sensor, and characteristics of a smoke sensor were examined by injecting methane gas.
메탄가스를 100초씩 100ppm 주입하는 과정을 200초마다 반복하면서 센서의 감도, 반응속도와 회복속도를 측정한 것이다. 도 4에 도시된 바와 같이 센서의 감도는 1에서 가스주입 후 0.9990의 감도변화를 관찰하였다. 또한, 시작 지점의 스테이지까지 회복이 되는 특성이 관찰되었다. 이는 본 발명에 의한 복합형 단일 화재감지 센서가 실온에서도 가스센서로서 동작 가능한 특성이 있음을 입증한다.The sensitivity, reaction rate and recovery rate of the sensor were measured while injecting 100 ppm of methane gas every 100 seconds repeated every 200 seconds. As shown in FIG. 4, the sensitivity of the sensor was changed from 1 to 0.9990 after gas injection. In addition, a recovery characteristic was observed up to the stage of the starting point. This proves that the composite single fire detection sensor according to the present invention has characteristics that can operate as a gas sensor even at room temperature.
센서의 감도(Sensitivity) S = R(injection) / R0 로 나타낼 수 있다. 여기서, R(injection)은 외부자극에 의한 센서의 저항값이고, R0는 외부자극이 없는 상태에서의 센서의 저항값을 나타낸다.The sensitivity of the sensor can be expressed as S = R (injection) / R 0 . Here, R (injection) is the resistance value of the sensor due to the external stimulus, and R 0 is the resistance value of the sensor without the external stimulus.
도 5는 본 발명에 따른 복합형 단일 화재감지 센서의 자외선 센서 특성을 나타내는 그래프로서, 280 nm파장의 0.8 uA/cm2 의 광을 100초씩 주입하는 과정을 200초 마다 반복하면서 센서의 반응 속도와 회복속도를 측정하였다. 도 5에 도시 된 바와 같이 센서의 감도는 1에서 자외광 주입 후 0.993의 감도 변화를 관찰하였으며, 이는 센서의 반응과 회복이 가능하고 실온에서의 자외광 동작이 가능한 특성을 가지고 있음을 입증한다.FIG. 5 is a graph showing the characteristics of an ultraviolet sensor of a composite type single fire detection sensor according to the present invention. The process of injecting light of 0.8 uA / cm 2 at 280 nm wavelength for 100 seconds is repeated every 200 seconds, Recovery rate was measured. As shown in FIG. 5, the sensitivity of the sensor was changed from 0.99 to 0.993 after the injection of the ultraviolet light, which proves that the sensor is capable of reacting and recovering and operating at room temperature under ultraviolet light.
도 6은 본 발명에 따른 복합형 단일 화재감지 센서의 온도 센서의 특성을 나타내는 그래프로서, 실온에서 350℃ 까지 온도를 변화시키는 과정에서 달라지는 센서 감도를 측정하였다. 도 6에 도시 되어 있는 바와 같이 50℃에서부터 센서의 감도가 변화하면서 80℃에서 급격하게 변하는 것을 보여주며, 350℃에서는 최대 0.88의 감도 변화를 관찰하였다. 이는 본 발명에 의한 복합형 단일 화재감지 센서가 온도에 따른 동작이 가능한 센서 특성을 가지고 있음을 입증한다. FIG. 6 is a graph showing the characteristics of a temperature sensor of the hybrid type single fire detection sensor according to the present invention. The sensitivity of the sensor is varied in a process of varying the temperature from room temperature to 350.degree. As shown in FIG. 6, the sensitivity of the sensor changes sharply at 80 ° C. from 50 ° C., and the sensitivity of 0.88 at 350 ° C. is observed. This proves that the composite single fire detection sensor according to the present invention has a sensor characteristic capable of operating according to the temperature.
본 발명에 따른 복합형 단일 화재감지 센서의 동시 검출에 대한 특성을 확인하였다.The characteristics of simultaneous detection of the hybrid type single fire detection sensor according to the present invention were confirmed.
도 7은 본 발명에 따른 복합형 단일 화재감지 센서의 동시 검출 센서 특성을 나타내는 그래프로써, 자외광과 가스를 동시에 주입하였을 경우 센서의 특성을 나타내었다. FIG. 7 is a graph showing the characteristics of the simultaneous detection sensor of the combined type single fire detection sensor according to the present invention, and shows characteristics of the sensor when ultraviolet light and gas are simultaneously injected.
메탄가스를 100초씩 100ppm 주입 후에, 자외광은 280 nm파장의 0.8 uA/cm2 의 광을 100초씩 주입하는 과정의 센서 특성을 측정하였다. 도 7(a)는 가스와 자외선의 외부 자극에 의해 감도가 변화는 두 번의 자극반응을 확인하였다. 도 7(b)에서는 도7(a)에 도시되어있는 신호를 미분증폭기를 이용하여 증폭된 신호를 보여주는 그래프로써, 도 7(a)에 도시되어있는 두 번의 자극신호와는 달리 4번의 자극신호를 확인하였다. 이와 같이 증가된 자극 신호는 다른 자극에 의한 다른 신호들이 동시에 검출되어 형성된 신호패턴으로 인하여, 변곡점들이 증가하여 미분 증폭기에서 자극신호가 증가한 것이다. After injecting 100 ppm of methane gas for 100 seconds, the characteristic of ultraviolet light was measured in the process of injecting light of 0.8 uA / cm 2 at a wavelength of 280 nm for 100 seconds. FIG. 7 (a) shows two stimulation reactions in which sensitivity changes due to external stimuli of gas and ultraviolet rays. 7 (b) is a graph showing signals amplified by using a differential amplifier in the signal shown in FIG. 7 (a). Unlike the two stimulation signals shown in FIG. 7 (a) Respectively. The increased stimulation signal is a signal pattern formed by simultaneously detecting other signals due to different stimuli, resulting in an increase of the inflection points and an increase of the stimulation signal in the differential amplifier.
본 발명에 따른 복합형 단일 화재감지 센서는 화재방재가 필요한 산업에서 사용할 경우 저비용으로 대량 생산이 가능하며, 단일 센서로써 화재에서 발생할 수 있는 연기, 화염으로 인한 자외광 그리고 온도의 증가를 실온에서 동시에 감지할 수 있다. The combined type single fire detection sensor according to the present invention can be mass-produced at a low cost when used in an industry requiring fire prevention, and it is possible to increase the amount of ultraviolet light and temperature due to smoke, flame, Can be detected.
본 발명에 따른 복합형 단일 화재감지 센서에 의하면, 연기와 온도로 한정되어왔던 복합형 센서를 화염 검출이 첨가된 다중 복합 화재 검출 센서로 높은 신뢰성을 확보할 수 있게 되며, 해양강국으로서 대표적인 해양플랜트에서 폭발형 화재 사고에 신뢰성이 확보된 복합형 화재감시 센서를 적용 할 수 있을 뿐만 아니라, 종래의 고가의 장비가 필요했던 방법보다 간단한 공정과 저비용으로 용이하게 제조할 수 있어 센싱 성능을 대폭 향상 시킬 수 있다. According to the composite single fire detection sensor according to the present invention, a composite type sensor, which has been limited to smoke and temperature, can be secured with high reliability as a multi-complex fire detection sensor added with flame detection, and a marine power plant It is possible to apply a hybrid fire detection sensor with reliable reliability in an explosion type fire accident, and it is possible to manufacture the fire detection sensor in a simpler process and at a lower cost than conventional methods requiring expensive equipment, thereby greatly improving the sensing performance .
이상의 설명은 본 발명의 기술 사상을 예시적으로 설명한 것에 불과한 것으로서, 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 본 발명의 본질적인 특성에서 벗어나지 않는 범위 내에서 다양한 수정, 변경 및 치환이 가능할 것이다. 따라서, 본 발명에 개시된 실시예 및 첨부된 도면들은 본 발명의 기술 사상을 한정하기 위한 것이 아니라 설명하기 위한 것이고, 이러한 실시예 및 첨부된 도면에 의하여 본 발명의 기술 사상의 범위가 한정되는 것은 아니다. 본 발명의 보호 범위는 아래의 청구범위에 의하여 해석되어야 하며, 그와 동등한 범위 내에 있는 모든 기술 사상은 본 발명의 권리범위에 포함되는 것으로 해석되어야 할 것이다.It will be apparent to those skilled in the art that various modifications, substitutions and substitutions are possible, without departing from the scope and spirit of the invention as disclosed in the accompanying claims. will be. Therefore, the embodiments disclosed in the present invention and the accompanying drawings are intended to illustrate and not to limit the technical spirit of the present invention, and the scope of the technical idea of the present invention is not limited by these embodiments and the accompanying drawings . The scope of protection of the present invention should be construed according to the following claims, and all technical ideas within the scope of equivalents should be construed as falling within the scope of the present invention.
1 - 감지센서
2 - 증폭회로
3 - 컨트롤부
4 - LED 경보
5 - 경보 스피커
6 - 유무선 송신모듈
7 - 방재센터 신고부
11 - 복합형 단일 화재감지 센서
12 - 기판
13 - 인듐 주석 산화물 박막
14a, 14b - 전극1 - Detection sensor 2 - Amplifier circuit
3 - Control part 4 - LED alarm
5 - Alarm speaker 6 - Wired / wireless transmission module
7 - Disaster prevention center reporting section 11 - Combined single fire detection sensor
12 - substrate 13 - indium tin oxide thin film
14a, 14b-electrode
Claims (3)
기판 상에 형성되는 인듐 주석 산화물(ITO) 박막; 및
인듐 주석 산화물 박막의 양측 단부에 구비되어 인듐 주석 산화물 박막에 전류를 인가하는 전극
을 포함하며, 인듐 주석 산화물 박막의 고체 표면의 산소 기체 흡착정도에 따른 전기전도도 변화를 이용하여 연기, 자외광선, 온도를 포함한 다중신호를 하나의 센서로 동시에 감지하는 복합형 단일 화재감지 센서.Board;
An indium tin oxide (ITO) thin film formed on a substrate; And
An electrode provided on both ends of the indium tin oxide thin film to apply current to the indium tin oxide thin film
A single type of single sensor for sensing a multiple signals including smoke, ultraviolet ray, and temperature simultaneously using a single sensor using the change in electrical conductivity according to the degree of adsorption of oxygen gas on the solid surface of the indium tin oxide thin film.
인듐 주석 산화물 박막은 전극과의 연결부위보다 넓은 면적으로 형성되어 면저항을 이용하지 않고 선저항을 이용하는 복합형 단일 화재감지 센서.The method according to claim 1,
Indium tin oxide thin film is formed in a wider area than the connection area with the electrodes, and uses line resistance without using sheet resistance.
인듐 주석 산화물 박막은 인듐 주석 산화물 나노분말을 In2O3 : SnO2 = 90:10의 중량비로 페이스트 형태로 만들어 기판 상면에 스크린 인쇄법으로 인쇄하고 초음파 세척한 후 소성하여 형성되는 복합형 단일 화재감지 센서.
The method according to claim 1,
The indium tin oxide thin film was prepared by forming indium tin oxide nano powder in paste form at a weight ratio of In 2 O 3 : SnO 2 = 90: 10, printing on the top surface of the substrate by screen printing, ultrasonic cleaning, Detection sensor.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1020140193445A KR101665828B1 (en) | 2014-12-30 | 2014-12-30 | Single fire detector of complex type |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1020140193445A KR101665828B1 (en) | 2014-12-30 | 2014-12-30 | Single fire detector of complex type |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
KR20160082302A true KR20160082302A (en) | 2016-07-08 |
KR101665828B1 KR101665828B1 (en) | 2016-10-12 |
Family
ID=56504247
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
KR1020140193445A KR101665828B1 (en) | 2014-12-30 | 2014-12-30 | Single fire detector of complex type |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
KR (1) | KR101665828B1 (en) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR20200140545A (en) * | 2019-06-07 | 2020-12-16 | 한국해양대학교 산학협력단 | Manufacturing Method of Integrated Fire Sensor Capable Of Simultaneous Detection Of Arc Light And Temperature, And Device Of The Same |
KR20230122456A (en) * | 2022-02-14 | 2023-08-22 | 서울과학기술대학교 산학협력단 | Smart monitoring system using multi-mode ultrasonic sensor |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR101889505B1 (en) | 2017-04-03 | 2018-08-17 | 이도희 | Fire Detection Device for Offshore Plant |
Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR20010056905A (en) * | 1999-12-17 | 2001-07-04 | 이덕동 | Thick film gas sensor array for detecting exlposive gases with high selectivity and its fabricating method |
KR20120098361A (en) * | 2011-02-28 | 2012-09-05 | 성균관대학교산학협력단 | Ultraviolet detector with metal oxide nanostructures and fire monitoring apparatus using ultraviolet detector with metal oxide nanostructures |
-
2014
- 2014-12-30 KR KR1020140193445A patent/KR101665828B1/en active IP Right Grant
Patent Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR20010056905A (en) * | 1999-12-17 | 2001-07-04 | 이덕동 | Thick film gas sensor array for detecting exlposive gases with high selectivity and its fabricating method |
KR20120098361A (en) * | 2011-02-28 | 2012-09-05 | 성균관대학교산학협력단 | Ultraviolet detector with metal oxide nanostructures and fire monitoring apparatus using ultraviolet detector with metal oxide nanostructures |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR20200140545A (en) * | 2019-06-07 | 2020-12-16 | 한국해양대학교 산학협력단 | Manufacturing Method of Integrated Fire Sensor Capable Of Simultaneous Detection Of Arc Light And Temperature, And Device Of The Same |
KR20230122456A (en) * | 2022-02-14 | 2023-08-22 | 서울과학기술대학교 산학협력단 | Smart monitoring system using multi-mode ultrasonic sensor |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
KR101665828B1 (en) | 2016-10-12 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5838347B2 (en) | Infrared flame detector | |
KR101665828B1 (en) | Single fire detector of complex type | |
US5629474A (en) | Production of a sensor for carbon monoxide or water vapor including a semi conductor metallic oxide, catalyst, and rheological agent | |
CN108352101A (en) | Alarm glass panel assembly | |
CN104807855A (en) | Micro-electromechanical gas sensing device | |
CN106198648B (en) | Preparation method of room temperature hydrogen sensor | |
US8921791B2 (en) | Infrared ray sensor, infrared ray detection device, and electronic apparatus | |
KR101489891B1 (en) | Marine HNS spill detector using Indium-tin-oxide film sensor | |
Hayashi et al. | Smoldering fire detection using low-power capacitive MEMS hydrogen sensor for future fire alarm | |
KR102378133B1 (en) | A semiconductor gas sensor | |
KR20160149935A (en) | Extinguishing gas leakage detecting sensor and a method of manufacturing, and the leak detection method using a gas detecting sensor | |
CN109478356A (en) | Alarm glass panel assembly | |
CN108352102A (en) | Alarm glass panel assembly | |
Samotaev et al. | Detection of smokeless pyrolysis of organic materials by metal oxide gas sensor | |
KR102245624B1 (en) | Manufacturing Method of Integrated Fire Sensor Capable Of Simultaneous Detection Of Arc Light And Temperature, And Device Of The Same | |
KR20130039862A (en) | Gas sensor, method of making and using the same | |
CN113049634B (en) | Miniature gas sensor based on heat effect | |
EP3818362B1 (en) | Gas sensor | |
CN108663406A (en) | A kind of application of light excitation air-sensitive sensing testing system | |
CN203870018U (en) | Detecting device for various kinds of gas | |
Koo et al. | UV Light and Gas Sensing Properties of Hybrid Sensor Based on Indium-Tin-Oxide Nanocrystals | |
TWI601850B (en) | Magnesium oxide thin film hydrogen sensor | |
Guarnieri et al. | MEMS system for fire detection in the forest | |
CN203931082U (en) | intelligent fire alarm device | |
Minska et al. | DETERMINING THE INFLUENCE OF RELATIVE HUMIDITY ON THE WORKING PARAMETERS OF A GAS SENSOR BASED ON ZINC OXIDE. |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A201 | Request for examination | ||
E902 | Notification of reason for refusal | ||
E701 | Decision to grant or registration of patent right | ||
GRNT | Written decision to grant | ||
FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20191001 Year of fee payment: 4 |