KR20160070494A - Deposition drum system to prevent sagging of substrate for superconducting coated conductor - Google Patents

Deposition drum system to prevent sagging of substrate for superconducting coated conductor Download PDF

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Abstract

A technical subject of the present invention is to provide a deposition drum for preventing a supper-conductive wire material from sagging and a deposition apparatus including the same. The deposition drum includes a drum body around which a supper-conductive wire material is wound; and an elastic member coupled to an end of the super-conductive wire material to provide elasticity to the drum body such that the super-conductive wire material is tightly wound around the drum body. Thus, a degree of tight closing of the super-conductive wire material to the drum body is controlled by the elastic member including in the drum so that the super-conductive wire material is prevented from sagging. Accordingly, the supper-conductive wire material is prevented from being damaged due to the sagging of the super-conductive wire material. In addition, one super-conductive wire material is stacked on another super-conductive wire material so that the super-conductive wire material may be smoothly deposited.

Description

처짐이 방지되는 초전도 선재 증착용 드럼 및 드럼을 포함하는 증착장치 {Deposition drum system to prevent sagging of substrate for superconducting coated conductor}BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a deposition system including a superconducting wire,

본 발명은 처짐이 방지되는 초전도 선재 증착용 드럼 및 드럼을 포함하는 증착장치로, 더욱 상세하게는, 초전도 선재용 기판을 드럼에 감은 후 고온에서의 초전도층의 증착을 위해 온도를 올리거나 내릴 때, 또는 고온을 유지하고 있는 동안 기판의 온도와 드럼의 온도 차이에 의해 발생하는 열팽창에 의해 초전도 선재가 드럼으로부터 처짐을 방지되는 초전도 선재 증착용 드럼 및 드럼을 포함하는 증착장치에 관한 것이다.The present invention relates to a deposition apparatus including a drum and a drum for superconducting wire roughening which are prevented from sagging, and more particularly, to a deposition apparatus which comprises a substrate for superconducting wire wound around a drum and then raising or lowering the temperature for deposition of the superconducting layer at a high temperature , Or a superconducting wire rod expansion drum and a drum, wherein the superconducting wire rod is prevented from sagging due to thermal expansion caused by a temperature difference between the substrate and the drum while maintaining a high temperature.

고온초전도체를 이용한 초전도 응용기술의 실용화에 대한 기대가 높아지면서 고온초전도 선재 개발 연구가 세계적으로 활발하게 이루어지고 있다. 고온초전도 개발에 관해서는 한국에서 개발된 EDDC(Evaporation using Drum in Dual Chamber) 방식이 있는데 이에 관한 종래기술로는 '대한민국특허청 공개특허 제10-2008-0082265호 초전도 테이프 선재의 연속 제조장치'와, '대한민국특허청 공개특허 제10-2011-0039049호 테이프 기판의 박막 형성장치' 등이 있다. As the expectation for practical application of superconducting application technology using high temperature superconductor is increasing, researches on the development of high temperature superconducting wire have been actively carried out in the world. As for the development of high-temperature superconductors, there is an EDDC (Evaporation using Drum in Dual Chamber) system developed in Korea. As a conventional technology related thereto, Korean Patent Application No. 10-2008-0082265, Korean Patent Unexamined Patent Publication No. 10-2011-0039049 A thin film forming apparatus of a tape substrate ".

이와 같은 종래기술들은 초전도 테이프 선재를 연속으로 증착하기 위해 챔버 내에 드럼을 설치하고, 드럼에 초전도 선재를 권선한 후 초전도 선재의 기판 표면에 초전도 물질을 증착하는 방식을 사용한다.Such conventional techniques use a method in which a drum is installed in a chamber for continuously depositing a superconducting tape wire, a superconducting wire is wound on a drum, and a superconducting material is deposited on the surface of the superconducting wire.

EDDC 방식은 듀얼 챔버 내에 드럼을 설치하고, 초전도 물질이 증착될 초전도 선재 기판을 드럼에 권선하고, 초전도 선재 기판이 권선되며 가열된 상태의 드럼을 회전시킨 후 회전하는 드럼 방향으로 원하는 초전도 물질을 하나 또는 복수 개를 동시에 증발시켜 초전도 선재 기판의 표면에 초전도 물질이 증착되도록 하는 방식이다.In the EDDC method, a drum is installed in a dual chamber, a superconducting wire substrate on which a superconducting material is deposited is wound on a drum, a superconducting wire substrate is wound, a drum in a heated state is rotated, Or a plurality of the superconducting wires are evaporated at the same time to deposit a superconducting material on the surface of the superconducting wire substrate.

드럼에 감은 초전도 선재용 기판에 초전도 물질의 증착을 위해 온도를 올리거나 내릴 때, 또는 고온을 유지하고 있는 동안 기판의 온도가 높고 드럼의 온도가 낮을 경우가 발생한다. 이 경우 열팽창 차이에 의해 초전도 선재가 드럼으로부터 처짐이 발생할 수 있으며, 기판의 온도가 낮고 드럼의 온도가 높을 때는 반대로 드럼의 열팽창 때문에 드럼에 밀착한 초전도 선재의 길이방향으로 지나치게 큰 인장응력을 받게 될 수 있다. 이 경우 처짐이 발생한 초전도 선재는 주위의 다른 초전도 선재에 적층되어 초전도 물질의 균일한 증착을 방해하거나, 회전 중 초전도 선재의 처짐은 드럼 주변의 장치와의 접촉에 의해 초전도 선재의 증착 표면에 손상을 일으킬 수 있다. The temperature of the substrate is raised and the temperature of the drum is lowered during raising or lowering the temperature for deposition of the superconducting material on the substrate for the superconducting wire wound on the drum or while maintaining the high temperature. In this case, the superconducting wire may be deflected from the drum due to the difference in thermal expansion. When the temperature of the substrate is low and the temperature of the drum is high, the superconducting wire closely adheres to the drum due to thermal expansion of the drum. . In this case, the defective superconducting wire is laminated on other superconducting wire to prevent uniform deposition of the superconducting material, or the deflection of the superconducting wire during rotation may damage the surface of the superconducting wire by the contact with the device around the drum. Can cause.

이와 같이 초전도 선재끼리의 적층을 방지하기 위해 드럼에 일정 간격 홈을 형성하며, 홈마다 초전도 선재를 권선하여 각 초전도 선재끼리 서로 적층되는 것을 방지하는 기술도 존재한다. 하지만 이와 같이 드럼에 홈을 형성할 경우 홈의 주위에 배치된 초전도 선재의 영역에는 증착이 이루어지지 않아 초전도 물질이 균일하게 증착된 초전도 선재를 얻을 수 없다는 문제점이 있다.In order to prevent stacking of the superconducting wires, there is also a technique of forming a constant interval groove in the drum and winding the superconducting wires for each groove to prevent the superconducting wires from being stacked on each other. However, when grooves are formed in the drum as described above, there is a problem in that superconducting wires having uniformly deposited superconducting materials can not be obtained because evaporation is not performed in regions of the superconducting wires disposed around the grooves.

따라서 본 발명의 목적은, 초전도 선재 단부에 결합된 탄성부재를 통해 초전도 선재가 드럼본체에 밀착되는 정도를 조절하여 처짐이 방지되는 초전도 선재 증착용 드럼 및 드럼을 포함하는 증착장치를 제공하는 것이다. 즉, 드럼의 온도가 드럼에 감긴 초전도 선재의 온도보다 낮으면 초전도 선재의 열팽창이 드럼의 열팽창보다 커져 초전도 선재가 드럼으로부터 처짐이 발생하게 된다. 이때 초전도 선재 단부에 결합된 탄성부재가 열팽창 차이에 의해 늘어난 초전도 선재를 당겨줌으로써 드럼에 밀착시킬 수 있다. 이 장치는 또한 반대로 드럼의 온도가 드럼에 감긴 초전도 선재의 온도보다 높아서 초전도 선재의 길이방향으로 지나치게 큰 인장응력이 걸릴 때는 탄성부재가 늘어나면서 인장응력을 완화가능한 처짐이 방지되는 초전도 선재 증착용 드럼 및 드럼을 포함하는 증착장치를 제공하는 것이다.SUMMARY OF THE INVENTION Accordingly, it is an object of the present invention to provide a deposition apparatus including a superconducting wire drum and a drum, wherein the superconducting wire rod is prevented from sagging by adjusting the degree to which the superconducting wire is closely attached to the drum body through the elastic member coupled to the end of the superconducting wire. That is, if the temperature of the drum is lower than the temperature of the superconducting wire wound on the drum, the thermal expansion of the superconducting wire becomes larger than the thermal expansion of the drum, causing the superconducting wire to slacken from the drum. At this time, the elastic member coupled to the end of the superconducting wire can be brought into close contact with the drum by pulling the superconducting wire which is stretched due to the difference in thermal expansion. The apparatus also has a reverse superconducting wire drum, in which the temperature of the drum is higher than the temperature of the superconducting wire wound around the drum, so that when the tensile stress is applied in the longitudinal direction of the superconducting wire, the elastic member is stretched, And a drum.

상기한 목적은, 초전도 선재가 권선되는 드럼본체와; 상기 초전도 선재의 단부에 결합되어 상기 초전도선재가 상기 드럼본체에 밀착 권선되도록 탄성을 부여하는 탄성부재를 포함하는 것을 특징으로 하는 처짐이 방지되는 초전도 선재 증착용 드럼에 의해 달성된다.The above-described object is achieved by a spinning machine comprising: a drum body to which superconducting wires are wound; And an elastic member coupled to an end of the superconducting wire to apply elasticity to the superconducting wire so as to be closely wound around the drum body.

여기서, 상기 드럼본체는 상기 초전도 선재가 삽입되는 삽입공을 더 포함하며, 상기 탄성부재는 상기 드럼본체 내부에 배치되어 상기 삽입공 내부로 삽입되는 상기 초전도 선재의 단부와 결합되는 것이 바람직하며, 상기 삽입공은 상기 드럼본체의 두께에 대해 지름으로부터 경사지게 형성되는 이 바람직하다. 탄성부재가 비교적 열을 적게 받는 드럼의 내부에 위치하여 탄성부재의 온도가 드럼표면 온도보다 낮게 유지할 수 있으므로 탄성부재의 탄성력은 그대로 유지할 수 있다.Preferably, the drum main body further includes an insertion hole into which the superconducting wire is inserted, and the elastic member is coupled to an end of the superconducting wire inserted into the insertion hole, It is preferable that the insertion hole is formed to be inclined from the diameter with respect to the thickness of the drum body. The elastic member is located inside the drum receiving relatively less heat so that the temperature of the elastic member can be kept lower than the surface temperature of the drum, so that the elastic force of the elastic member can be maintained.

또한, 상기 탄성부재를 상기 드럼본체 내부에 고정지지하는 지지부재를 더 포함하며, 상기 탄성부재는 상기 초전도 선재를 탄성적으로 권선가능하도록 스프링을 더 포함하는 것이 바람직하고, 상기 탄성부재는 상기 초전도 선재의 양단부에 결합되도록 한 쌍으로 형성되는 것이 바람직하다.The elastic member may further include a spring for elastically winding the superconducting wire. The elastic member may include a spring for elastically supporting the superconducting wire, And it is preferably formed in a pair so as to be coupled to both ends of the wire rod.

상기한 또 다른 목적은, 챔버와; 상기 챔버 내에 설치되며 상기 초전도 선재가 권선되는 드럼본체와, 상기 초전도 선재의 단부에 결합되어 상기 초전도선재가 상기 드럼본체에 밀착되도록 탄성적으로 권선하는 권선부재를 가지는 드럼과; 상기 드럼의 하부에 형성되어 초전도 물질을 상기 초전도 선재 방향으로 증발시키는 증착부와; 상기 드럼의 상부에 형성되어 상기 드럼을 가열하는 가열부를 포함하는 것을 특징으로 하는 처짐이 방지되는 초전도 선재 증착용 드럼을 포함하는 증착장치에 의해서도 달성된다.Yet another object of the present invention is to provide a plasma processing apparatus comprising: a chamber; A drum having a drum body installed in the chamber and wound with the superconducting wire, and a winding member coupled to an end of the superconducting wire to elastically wind the superconducting wire so that the superconducting wire closely contacts the drum body; A deposition unit formed at a lower portion of the drum to evaporate the superconducting material toward the superconducting wire; And a heating unit formed on the drum to heat the drum. The present invention is also achieved by a deposition apparatus including a superconducting wire material deposition drum which is prevented from sagging.

상술한 본 발명의 구성에 따르면, 드럼에 포함된 탄성부재에 의해 초전도 선재가 드럼본체에 밀착되는 정도가 조절되어 초전도 선재의 처짐이 방지되며, 이를 통해 초전도 선재의 처짐에 따라 드럼 주변의 장치와의 접촉에 의해 초전도 선재의 증착 표면이 손상되거나 초전도 선재가 다른 초전도 선재에 적층되어 초전도 선재 표면에 원활한 증착이 이루어지지 않는 것을 방지되는 효과를 제공한다.According to the structure of the present invention, the degree of tight contact of the superconducting wire to the drum body by the elastic member included in the drum is controlled to prevent sagging of the superconducting wire, and through the deflection of the superconducting wire, It is possible to prevent the deposition surface of the superconducting wire from being damaged due to the contact between the superconducting wire and the superconducting wire, and to prevent the superconducting wire from being deposited on the other superconducting wire to prevent smooth deposition on the surface of the superconducting wire.

도 1은 본 발명의 실시예에 따른 증착장치의 측면도이고,
도 2는 본 발명의 실시예에 따른 드럼의 사시도이고,
도 3은 도 2의 단면도이다.1 is a side view of a deposition apparatus according to an embodiment of the present invention,
2 is a perspective view of a drum according to an embodiment of the present invention,
3 is a cross-sectional view of Fig.

이하 도면을 참조하여 본 발명의 실시예에 따른 초전도 선재의 처짐 방지용 드럼 및 드럼을 포함하는 증착장치(10)를 상세히 설명한다.Hereinafter, a deposition apparatus 10 including a drum and a drum for preventing sag of a superconducting tape according to an embodiment of the present invention will be described in detail with reference to the drawings.

도 1에 도시된 바와 같이 증착장치(10)는 챔버(100), 드럼(300), 증착부(500) 및 가열부(700)를 포함한다.As shown in FIG. 1, the deposition apparatus 10 includes a chamber 100, a drum 300, a deposition unit 500, and a heating unit 700.

챔버(100)는 초전도 선재 기판(1)에 초전도 물질(3)을 증착하기 위해 공간을 제공하며, 상부에 반응챔버(110)와 하부에 증발챔버(130)로 나뉘어진다. 반응챔버(110)에서는 산소가스 분위기 하에서 드럼(300)이 회전하게 되고, 증발챔버(130)에서는 증착부(500)가 배치되어 초전도 선재(1)를 형성시킬 수 있는 초전도 물질(3)을 드럼 방향으로 분사하게 된다. 이와 같이 반응챔버(110)와 증발챔버(130)는 중간에 형성된 플레이트(150)에 의해 구획되며, 반응챔버(110)는 산소 분압에 의한 저진공영역이고 증발챔버(130)는 고진공영역이 된다.The chamber 100 provides space for depositing the superconducting material 3 on the superconducting wire substrate 1 and is divided into a reaction chamber 110 on the upper side and a vaporization chamber 130 on the lower side. In the reaction chamber 110, the drum 300 is rotated in an oxygen gas atmosphere. In the evaporation chamber 130, the evaporation unit 500 is disposed to separate the superconducting material 3, which can form the superconducting wire 1, Direction. The reaction chamber 110 and the evaporation chamber 130 are partitioned by a plate 150 formed in the middle of the reaction chamber 110 and the evaporation chamber 130. The reaction chamber 110 is a low vacuum region due to oxygen partial pressure and the evaporation chamber 130 is a high vacuum region .

드럼(300)의 하부에 형성되는 증착부(500)는 드럼(300)의 하부에 구비되어 드럼에 권선된 초전도 선재 기판(1)에 초전도 물질(3)을 증착하는 역할을 한다. 여기서 초전도 물질(3)은 사마듐(Sm), 바륨(Ba), 구리(Cu), 세슘(Ce), 이트륨(Y) 등이 원자증기 형태로 공급된다.The deposition unit 500 formed at the lower part of the drum 300 serves to deposit the superconducting material 3 on the superconducting wire substrate 1 provided on the lower part of the drum 300 and wound on the drum. Here, the superconducting material 3 is supplied with atomic steam such as Sm, Ba, Cu, Ce, Y and the like.

드럼(300)의 상부에 배치되는 가열부(700)는 드럼(300)을 둘러싸도록 배치된다. 이러한 가열부(700)는 드럼(300)을 일정한 온도로 가열함으로써, 초전도 선재 기판(1)에 초전도 물질(3)의 증착을 용이하게 하는 역할을 한다.The heating unit 700 disposed on the top of the drum 300 is disposed to surround the drum 300. The heating unit 700 serves to facilitate the deposition of the superconducting material 3 on the superconducting wire substrate 1 by heating the drum 300 to a predetermined temperature.

증착부(500) 및 가열부(700)의 사이에 배치되는 드럼(300)은 드럼본체(310)와 탄성부재(330)로 이루어진다.The drum 300 disposed between the deposition unit 500 and the heating unit 700 includes a drum body 310 and an elastic member 330.

드럼본체(310)는 내부가 비어있는 원통 형상으로 외부에는 초전도 물질(3)이 증착되는 초전도 선재 기판(1)이 권선된다. 드럼본체(310)에서 초전도 선재 기판(1)의 양단부가 배치되는 영역에는 각각 삽입공(311)이 형성된다. 삽입공(311)은 드럼본체(310)의 외주면에 배치된 초전도 선재 기판(1)의 단부가 드럼본체(310) 내부에 삽입가능하도록 초전도선재 기판(1)의 폭과 같거나 폭보다 넓게 형성된다. 또한 삽입공(311)은 드럼본체(310) 내부로 삽입되는 초전도 선재 기판(1)의 단부가 꺾임에 의해 절단되지 않도록 드럼본체(310)의 두께에 대해 드럼본체(310)의 지름으로부터 경사지게 형성되는 것이 바람직하다.The drum body 310 is wound with a superconducting wire rod substrate 1 having a cylindrical shape with an empty interior and a superconducting material 3 deposited on the outside. In the drum body 310, insertion holes 311 are formed in regions where both ends of the superconducting wire rod substrate 1 are arranged. The insertion hole 311 is formed to be wider than or equal to the width of the superconducting wire rod substrate 1 so that the end portion of the superconducting wire rod substrate 1 disposed on the outer peripheral surface of the drum body 310 can be inserted into the drum body 310 do. The insertion hole 311 is formed to be inclined from the diameter of the drum body 310 with respect to the thickness of the drum body 310 so that the end of the superconducting wire rod substrate 1 inserted into the drum body 310 is not cut by bending .

초전도 선재 기판(1)의 각 단부에는 한 쌍의 탄성부재(330)가 각각 결합된다. 탄성부재(330)는 드럼본체(310)에 권선되는 초전도 선재 기판(1)이 처지지 않고 드럼본체(310)에 밀착 권선되도록 탄성을 부여하는 역할을 한다. 즉 초전도 선재 기판(1)이 드럼본체(310)에서 처지게 되면 탄성부재(330)에 의해 초전도 선재 기판(1)의 단부를 당겨 초전도선재(1)가 드럼본체(310)에 밀착되도록 하며, 반대로 초전도 선재 기판(1)이 드럼본체(310)에 심하게 밀착되어 길이방향으로 지나치게 큰 응력을 받아 끊어질 우려가 있는 경우 초전도 선재 기판(1)을 느슨하게 풀어주는 역할을 한다.A pair of elastic members 330 are coupled to the ends of the superconducting wire rod substrate 1, respectively. The elastic member 330 serves to provide elasticity so that the superconducting wire substrate 1 to be wound around the drum body 310 is not wound but tightly wound around the drum body 310. That is, when the superconducting wire rod substrate 1 is sagged from the drum body 310, the ends of the superconducting wire rod substrate 1 are pulled by the elastic member 330 to bring the superconducting wire rod 1 into close contact with the drum body 310, On the other hand, when the superconducting wire rod substrate 1 is closely attached to the drum body 310 and there is a fear that the superconducting wire rod substrate 1 is excessively stressed in the longitudinal direction, the superconducting wire rod substrate 1 loosens.

이와 같이 초전도 선재 기판(1)을 타이트하게 당기거나 느슨하게 풀어주는 역할이 가능하도록 탄성부재(330)는 스프링을 더 포함하며, 경우에 따라서 고무줄 등과 같은 탄성재료를 더 포함할 수도 있다.The elastic member 330 may further include a spring to elastically pull or loosen the superconducting wire rod substrate 1. The elastic member 330 may further include an elastic material such as a rubber band.

탄성부재(330)는 드럼본체(310) 내부에 배치되는 지지부재(350)에 의해 드럼본체(310) 내부에 고정지지된다. 경우에 따라서 별도의 지지부재(350) 없이 탄성부재(330) 자체를 드럼본체(310) 내에 용접, 납땜 등을 이용하여 고정시킬 수도 있다.The elastic member 330 is fixedly supported in the drum body 310 by a support member 350 disposed inside the drum body 310. The elastic member 330 itself may be fixed to the drum body 310 by welding, soldering or the like without using a separate supporting member 350 as the case may be.

이와 같은 본 발명의 드럼(300)은 내부에 형성된 탄성부재(330)에 의해 드럼본체(310)에 권선된 초전도 선재 기판(1)의 권선 정도를 조절 가능하다. 즉, 초전도 선재 기판(1)이 드럼본체(310)에 처지도록 권선될 경우 탄성부재(330)에 의해 드럼본체(310)에 밀착 권선되도록 하며, 초전도 선재 기판(1)이 너무 타이트하게 권선되어 길이방향으롤 지나치게 큰 응력을 받을 경우 초전도 선재 기판(1)을 적당히 풀어주는 역할을 한다. 이와 같이 초전도 선재 기판(1)의 권선 정도를 조절하게 되면 초전도 선재 기판(1)의 처짐에 의해 드럼(300) 주변 장치와의 접촉에 의해 초전도 선재 기판(1)이 손상되거나, 다른 초전도 선재 기판(1)에 적층되어 다른 초전도 선재 기판(1)의 표면에 초전도 물질(3)이 증착되지 않는 문제점을 방지할 수 있다. The drum 300 of the present invention can control the degree of winding of the superconducting wire substrate 1 wound around the drum body 310 by the elastic member 330 formed therein. That is, when the superconducting wire rod substrate 1 is wound so as to fall on the drum body 310, the superconducting wire rod substrate 1 is tightly wound around the drum body 310 by the elastic member 330, When the stress in the longitudinal direction is excessively large, the superconducting wire rod 1 is properly released. If the degree of winding of the superconducting wire rod substrate 1 is adjusted as described above, the superconducting wire rod substrate 1 may be damaged by contact with the peripheral device of the drum 300 due to deflection of the superconducting wire rod substrate 1, It is possible to prevent the superconducting material 3 from being deposited on the surface of another superconducting wire rod substrate 1 which is laminated on the superconducting wire rod 1.

1: 초전도 선재 기판 3: 초전도 물질
10: 증착장치 100: 챔버
110: 반응챔버 130: 증발챔버
150: 플레이트 300: 드럼
310: 드럼본체 311: 삽입공
330: 탄성부재 350: 지지부재
500: 증착부 700: 가열부1: superconducting wire rod substrate 3: superconducting material
10: Deposition apparatus 100: chamber
110: reaction chamber 130: evaporation chamber
150: Plate 300: Drum
310: drum body 311: insertion hole
330: elastic member 350: supporting member
500: evaporation part 700: heating part

Claims (7)

처짐이 방지되는 초전도 선재 증착용 드럼에 있어서,
상기 초전도 선재가 권선되는 드럼본체와;
상기 초전도 선재의 단부에 결합되어 상기 초전도선재가 상기 드럼본체에 밀착 권선되도록 탄성을 부여하는 탄성부재를 포함하는 것을 특징으로 하는 처짐이 방지되는 초전도 선재 증착용 드럼.1. A superconducting wire extender drum for preventing sagging,
A drum body on which the superconducting wire is wound;
And an elastic member coupled to an end of the superconducting wire to apply elasticity to the superconducting wire so that the superconducting wire is tightly wound around the drum body. 제 1항에 있어서,
상기 드럼본체는 상기 초전도 선재가 삽입되는 삽입공을 더 포함하며,
상기 탄성부재는 상기 드럼본체 내부에 배치되어 상기 삽입공 내부로 삽입되는 상기 초전도 선재의 단부와 결합되는 것을 특징으로 하는 처짐이 방지되는 초전도 선재 증착용 드럼.The method according to claim 1,
Wherein the drum body further includes an insertion hole into which the superconducting wire is inserted,
Wherein the elastic member is coupled to an end of the superconducting wire inserted into the insertion hole and disposed inside the drum body. 제 2항에 있어서,
상기 삽입공은 상기 드럼본체의 두께에 대해 지름으로부터 경사지게 형성되는 것을 특징으로 하는 처짐이 방지되는 초전도 선재 증착용 드럼.3. The method of claim 2,
Wherein the inserting hole is formed to be inclined from a diameter with respect to a thickness of the drum body. 제 2항에 있어서,
상기 탄성부재를 상기 드럼본체 내부에 고정지지하는 지지부재를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 처짐이 방지되는 초전도 선재 증착용 드럼.3. The method of claim 2,
Further comprising a support member for fixing and supporting the elastic member inside the drum body. 제 1항에 있어서,
상기 탄성부재는 상기 초전도 선재를 탄성적으로 권선가능하도록 스프링을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 처짐이 방지되는 초전도 선재 증착용 드럼.The method according to claim 1,
Wherein the elastic member further comprises a spring to elastically wind the superconducting wire. 제 1항에 있어서,
상기 탄성부재는 상기 초전도 선재의 양단부에 결합되도록 한 쌍으로 형성되는 것을 특징으로 하는 처짐이 방지되는 초전도 선재 증착용 드럼.The method according to claim 1,
Wherein the elastic member is formed in a pair so as to be coupled to both ends of the superconducting wire. 처짐이 방지되는 초전도 선재 증착용 드럼을 포함하는 증착장치에 있어서,
챔버와;
상기 챔버 내에 설치되며 상기 초전도 선재가 권선되는 드럼본체와, 상기 초전도 선재의 단부에 결합되어 상기 초전도선재가 상기 드럼본체에 밀착되도록 탄성적으로 권선하는 권선부재를 가지는 드럼과;
상기 드럼의 하부에 형성되어 초전도 물질을 상기 초전도 선재 방향으로 증발시키는 증착부와;
상기 드럼의 상부에 형성되어 상기 드럼을 가열하는 가열부를 포함하는 것을 특징으로 하는 처짐이 방지되는 초전도 선재 증착용 드럼을 포함하는 증착장치.
A deposition apparatus including a superconducting wire rod expansion drum in which deflection is prevented,
A chamber;
A drum having a drum body installed in the chamber and wound with the superconducting wire, and a winding member coupled to an end of the superconducting wire to elastically wind the superconducting wire so that the superconducting wire closely contacts the drum body;
A deposition unit formed at a lower portion of the drum to evaporate the superconducting material toward the superconducting wire;
And a heating unit formed on the drum to heat the drum. The deposition apparatus of claim 1,
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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WO2021221238A1 (en) * 2020-04-29 2021-11-04 한국전기연구원 Apparatus and method for manufacturing high temperature superconductor

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