KR20160069075A - 증착용 마스크 프레임 조립체 및 그 제조 방법 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 증착용 마스크 프레임 조립체 및 그 제조방법을 개시한다. 프레임과 일면이 상기 프레임과 접하고 타면이 기판과 마주보도록 설치되는 증착용 마스크를 구비하는 증착용 마스크 프레임 조립체 있어서, 상기 증착용 마스크는, 증착물질이 제1 홀을 통과하여, 상기 기판에 상기 증착물질이 증착영역을 형성할 수 있는 증착패턴부 및 상기 증착패턴부의 외측에 연장되며, 제2 홀에 보강부재가 채워지는 리브부를 포함하는 증착용 마스크 프레임 조립체를 제공한다.

Description

증착용 마스크 프레임 조립체 및 그 제조 방법 {Mask frame assembly for deposition, manufacturing method of the same}
본 발명의 실시예들은 증착용 마스크 프레임 조립체 및 그 제조 방법에 관한 것이다.
일반적으로 평탄 디스크플레이 중의 하나인 유기 발광 표시 장치는 능동 발광형 표시 소자로서 시야각이 넓고 콘트라스트가 우수할 뿐만 아니라 저전압으로 구동이 가능하며, 경량의 박형이면서 응답 속도가 빠르다는 장점을 가지고 있어서 차세대 표시 소자로서 주목을 받고 있다.
이러한 발광 소자는 발광층을 형성하는 물질에 따라 무기 발광 소자와 유기 발광 소자로 구분되는데, 유기 발광 소자는 무기 발광 소자에 비해 휘도, 응답속도 등의 특성이 우수하고, 컬러 디스플레이가 가능하다는 장점을 가지고 있어 최근 그 개발이 활발하게 진행되고 있다.
유기 발광 표시 장치는 유기막 및/또는 전극을 진공 증착법에 의해 형성한다. 그러나 유기 발광 표시 장치가 점차 고해상도화 함에 따라 증착 공정시 사용되는 마스크의 오픈슬릿(open slit)의 폭이 점점 좁아지고 있으며 그 산포 또한 점점 더 감소될 것이 요구되어지고 있다.
또한, 고해상도 유기 발광 표시 장치를 제작하기 위해서는 쉐도우 현상(shadow effect)을 줄이거나 없애는 것이 필요하다. 그에 따라, 기판과 마스크를 밀착시킨 상태에서 증착 공정을 진행하고 있으며, 기판과 마스크의 밀착도를 향상시키기 위한 기술의 개발이 대두되고 있다.
전술한 배경기술은 발명자가 본 발명의 도출을 위해 보유하고 있었거나, 본 발명의 도출 과정에서 습득한 기술 정보로서, 반드시 본 발명의 출원 전에 일반 공중에게 공개된 공지기술이라 할 수는 없다.
본 발명의 실시예들은 증착용 마스크 프레임 조립체 및 그 제조방법을 제공한다.
본 발명의 일 측면은, 프레임과 일면이 상기 프레임과 접하고 타면이 기판과 마주보도록 설치되는 증착용 마스크를 구비하는 증착용 마스크 프레임 조립체 있어서, 상기 증착용 마스크는, 증착물질이 제1 홀을 통과하여, 상기 기판에 상기 증착물질이 증착영역을 형성할 수 있는 증착패턴부 및 상기 증착패턴부의 외측에 연장되며, 제2 홀에 보강부재가 채워지는 리브부를 포함하는, 증착용 마스크 프레임 조립체를 제공한다.
또한, 상기 제1 홀 및 상기 제2 홀은 전주 도금법 및 무전해 도금법 중 적어도 하나의 방법으로 동시에 형성될 수 있다.
또한, 상기 제1 홀 및 상기 제2 홀은 상기 증착용 마스크의 길이방향의 단면적의 크기가 같게 형성될 수 있다.
또한, 상기 보강부재는 전주 도금법 및 무전해 도금법 중 적어도 하나의 방법으로 상기 제2 홀에 주입될 수 있다.
또한, 상기 보강부재는 철, 니켈, 구리, 주석, 금, 스테인리스스틸(SUS), 인바 합금(Invar alloy),인코넬 합금(Inconel alloy), 코바 합금(Covar alloy), 철 합금, 니켈 합금 중 적어도 하나 이상를 포함할 수 있다.
또한, 상기 보강부재는 비자성을 가질 수 있다.
또한, 상기 보강부재의 두께는 상기 증착용 마스크의 두께보다 크게 형성될 수 있다.
또한, 상기 보강부재는 상기 기판과 마주보는 상기 증착용 마스크의 표면에서 돌출되지 않도록 형성될 수 있다.
본 발명의 다른 측면은, 증착용 마스크의 전면에 증착영역을 정의하는 증착패턴부를 형성하는 제1 홀과 상기 증착패턴부의 외측에 연장된 리브부에 형성된 제2 홀을 형성하는 단계와, 상기 제2 홀에 보강부재를 주입하여 상기 증착용 마스크의 상기 증착패턴부와 상기 리브부를 구획하는 단계 및 개구가 형성된 프레임에 상기 증착용 마스크를 설치하는 단계를 포함하는, 증착용 마스크 프레임 조립체 제조방법을 제공한다.
또한, 상기 제1 홀 및 상기 제2 홀은 전주 도금법 및 무전해 도금법 중 적어도 하나의 방법으로 동시에 형성될 수 있다.
또한, 상기 제1 홀 및 상기 제2 홀은 상기 증착용 마스크의 길이방향의 단면적의 크기가 같게 형성될 수 있다.
또한, 상기 보강부재는 전주 도금법 및 무전해 도금법 중 적어도 하나의 방법으로 상기 제2 홀에 주입될 수 있다.
또한, 상기 보강부재는 철, 니켈, 구리, 주석, 금, 스테인리스스틸(SUS), 인바 합금(Invar alloy),인코넬 합금(Inconel alloy), 코바 합금(Kovar alloy), 철 합금, 니켈 합금 중 적어도 하나 이상를 포함할 수 있다.
또한, 상기 보강부재는 비자성을 가질 수 있다.
전술한 것 외의 다른 측면, 특징, 이점이 이하의 도면, 특허청구범위 및 발명의 상세한 설명으로부터 명확해질 것이다.
본 발명의 실시예들에 따르면 증착용 마스크 프레임 조립체 및 그 제조 방법은 증착용 마스크와 기판의 밀착성을 향상시켜 기판에 증착물질을 정밀하게 증착할 수 있다.
도 1는 본 발명의 일 실시예에 따른 증착용 마스크 프레임 조립체를 보여주는 사시도이다.
도 2는 보강부재가 주입 되기 전의 증착용 마스크를 보여주는 평면도이다.
도 3은 보강부재가 주입된 증착용 마스크를 보여주는 평면도이다.
도 4는 도 3의 Ⅳ-Ⅳ을 따라 취한 단면도이다.
도 5는 도 3의 Ⅴ-Ⅴ를 따라 취한 단면도이다.
도 6 및 도 7은 본 발명의 다른 실시예에 따른 증착용 마스크를 보여주는 단면도이다.
도 8은 도 1에 도시된 증착용 마스크 프레임 조립체를 이용하여 제조되는 유기 발광 표시 장치를 보여주는 도면이다.
본 발명은 다양한 변환을 가할 수 있고 여러 가지 실시예를 가질 수 있는 바, 특정 실시예들을 도면에 예시하고 상세한 설명에 상세하게 설명하고자 한다. 본 발명의 효과 및 특징, 그리고 그것들을 달성하는 방법은 도면과 함께 상세하게 후술되어 있는 실시예들을 참조하면 명확해질 것이다. 그러나 본 발명은 이하에서 개시되는 실시예들에 한정되는 것이 아니라 다양한 형태로 구현될 수 있다. 이하의 실시예에서, 제1, 제2 등의 용어는 한정적인 의미가 아니라 하나의 구성 요소를 다른 구성 요소와 구별하는 목적으로 사용되었다. 또한, 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 또한, 포함하다 또는 가지다 등의 용어는 명세서상에 기재된 특징, 또는 구성요소가 존재함을 의미하는 것이고, 하나 이상의 다른 특징들 또는 구성요소가 부가될 가능성을 미리 배제하는 것은 아니다.
또한, 도면에서는 설명의 편의를 위하여 구성 요소들이 그 크기가 과장 또는 축소될 수 있다. 예컨대, 도면에서 나타난 각 구성의 크기 및 두께는 설명의 편의를 위해 임의로 나타내었으므로, 본 발명이 반드시 도시된 바에 한정되지 않는다. 또한, 어떤 실시예가 달리 구현 가능한 경우에 특정한 공정 순서는 설명되는 순서와 다르게 수행될 수도 있다. 예를 들어, 연속하여 설명되는 두 공정이 실질적으로 동시에 수행될 수도 있고, 설명되는 순서와 반대의 순서로 진행될 수 있다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예들을 상세히 설명하기로 하며, 도면을 참조하여 설명할 때 동일하거나 대응하는 구성 요소는 동일한 도면부호를 부여하고 이에 대한 중복되는 설명은 생략하기로 한다.
도 1는 본 발명의 일 실시예에 따른 증착용 마스크 프레임 조립체(10)를 보여주는 사시도이다.
도 1을 참조하면, 증착용 마스크 프레임 조립체(10)는 증착용 마스크(100)와 프레임(200)을 구비할 수 있다. 또한, 증착용 마스크 프레임 조립체(10)는 용접부(103)를 구비하여 증착용 마스크(100)를 프레임(200)에 고정시킬 수 있다.
증착용 마스크(100)는 복수의 증착 패턴부(101)와 증착 패턴부(A, 101)를 연결하는 리브부(R, 102) 를 구비할 수 있다.
증착 패턴부(101)는 프레임(200)의 개구부(205)에 대응하도록 배치되며, 증착용 마스크(100)를 관통하는 복수의 제1 홀(110)을 포함한다. 복수의 제1 홀(110)이 증착 패턴부(101)를 형성할 수 있다. 증착 공정시에, 제1 홀(110)을 통과한 증착물질은 기판(미도시)에 증착되어 기판에 증착영역이 정의될 수 있다.
증착 패턴부(101)는 복수 개의 도트(dot)형태를 가지는 제1 홀(110)이 마스킹 패턴을 형성하는 것으로 도시되어 있다. 다만, 본 발명은 이에 한정되지 않으며 본 발명의 기술분야의 통상의 기술자라면 다양한 변형예가 가능함을 알 것이다. 즉, 증착 패턴부(101)는 전면 개방된 상태를 유지하는 마스킹 패턴이 구비되거나 스트라이프 형상의 마스킹 패턴이 구비될 수 있다. 도 1 에 도시된 증착 패턴부(101)의 개수나 배치 위치, 형상은 일 예시로서, 본 발명은 이에 제한 되지 않는다. 이하에서는 설명의 편의를 위해서 증착용 마스크(100)는 5개의 증착 패턴부(101)를 구비하고, 증착 패턴부(101)는 25개의 제1 홀(110)을 구비한 경우를 중심으로 설명하기로 한다.
증착용 마스크(100)는 하나의 큰 부재로 형성되어 프레임(200)에 결합될 수 있다. 또한, 증착용 마스크(100)의 자중을 분할하기 위해 다수개의 스틱형 마스크로 형성될 수 있다. 다만 이하에서는 설명의 편의를 위해서 스틱 형태의 증착용 마스크(100)를 중심으로 설명하기로 한다.
리브부(102)는 증착 패턴부(101)에 연결되어 증착 패턴부(101)를 지지할 수 있다. 리브부(102)는 어느 하나의 증착 패턴부와 이와 이웃하는 다른 증착 패턴부 사이에 배치되어 증착 패턴부(101)를 연결한다. 또한, 리브부(102)는 프레임(200)의 각 지지부에 연결되는 서포터(미도시)에 지지되어 증착용 마스크(100)의 자중을 효과적으로 분산 할 수 있다.
도 2는 보강부재(125)가 주입 되기 전의 증착용 마스크(100)를 보여주는 평면도이고, 도 3은 보강부재(125)가 주입된 증착용 마스크(100)를 보여주는 평면도이다. 도 4는 도 3의 Ⅳ-Ⅳ을 따라 취한 단면도이고, 도 5는 도 3의 Ⅴ-Ⅴ를 따라 취한 단면도이다. 이하 도면부호 A는 증착 패턴부(101)가 배치되는 위치를 나타내고, 도면부호 R은 리브부(102)가 배치되는 위치를 나타낸다.
도 2 내지 도 5를 참조하면, 증착용 마스크(100)의 전면에 제1 홀(110) 및 제2 홀(120)을 형성될 수 있다. 제2 홀(120)에 보강부재(125)를 주입하여 증착 패턴부(101)와 리브부(102)를 구획할 수 있다. 보강부재(125)의 유무에 의해서 증착 패턴부(101)와 리브부(102)가 구별된다. 제1 홀(110)은 증착 패턴부(101)에 형성되고, 제2 홀(120)은 리브부(102)에 형성될 수 있다.
증착용 마스크(100)의 전면에 걸쳐 상기 패턴 홀을 형성할 수 있다. 제1 홀(110) 및 제2 홀(120)과 같은 패턴 홀을 전기 도금법과 무전해 도금법으로 형성될 수 있다. 상세히, 베이스 기판(미도시) 상에 포토 레지스터(photo resist, PR)를 도포하고, 포토 마스크(photo mask)로 노광 및 현상 공정을 수행한다. 포토 레지스터 층에는 패턴이 형성되고 포토 레지스터 패턴 사이에는 현상공정으로 인해 홈이 생성된다. 전주 도금법이나 무전해 도금법으로 홈을 채우고, 포토 레지스터 패턴을 제거하면 증착용 마스크(100) 전면에 걸쳐서 패턴 홀, 즉 제1 홀(110) 및 제2 홀(120)이 동시에 형성될 수 있다. 즉, 포토 레지스터 패턴이 제거된 위치에 제1 홀(110) 및 제2 홀(120)이 형성된다.
제1 홀(110) 및 제2 홀(120)은 증착용 마스크(100) 전면에 걸쳐서 동일한 크기로 형성될 수 있다. 제1 홀(110)의 개구의 크기와 제2 홀(120)의 개구의 크기를 동일하게 형성할 수 있다.(도 2 참조) 제1 홀(110)과 제2 홀(120)의 증착용 마스크(100)의 길이방향의 단면적의 크기가 실질적으로 동일하게 형성할 수 있다.(도 4 및 도 5 참조) 제1 홀(110) 및 제2 홀(120)의 크기를 동일하게 형성하면, 증착용 마스크(100)의 전체에 걸쳐 성분비가 균일하게 형성될 수 있다.
제2 홀(120)에는 보강부재(125)가 주입될 수 있다. 보강부재(125)는 리브부(102)에 형성된 제2 홀(120)에 주입되어 증착용 마스크(100)의 강성(rigidity)을 향상시킬수 있다. 증착용 마스크(100)가 프레임(200)에서 설치되면 증착용 마스크(100)의 자중에 의해서 증착용 마스크(100)의 처짐이 발생한다. 이로 인해, 증착 공정시 기판(미도시)과 증착용 마스크(100) 사이에 간극이 형성되어 증착의 정밀도가 저하될 수 있다.
보강부재(125)가 제2 홀(120)에 주입되면, 보강부재(125)가 제2 홀(120)의 내벽과 결합하여 리브부(102)의 강성을 향상시킬수 있다. 보강부재(125)가 제2 홀(120)에 주입되면, 증착용 마스크(100)는 기판에 증착영역을 정의하는 증착 패턴부(101)와 기판에 비증착영역을 정의하는 리브부(102)로 구획될 수 있다.
보강부재(125)는 전주 공정 또는 무전해 도금 공정으로 제2 홀(120)에 주입될 수 있다. 보강부재(125)는 철, 니켈, 구리, 주석, 금, 스테인리스스틸(SUS), 인바 합금(Invar alloy),인코넬 합금(Inconel alloy), 코바 합금(Kovar alloy), 철 합금, 니켈 합금 중 적어도 하나 이상를 포함할 수 있다. 또한, 보강부재(125)는 이에 한정되지 않으며 전주 공정 또는 무전해 도금 공정을 적용할 수 있는 다양한 재료로 사용될 수 있다.
보강부재(125)는 페이스트(paste) 타입의 재료로 형성되어 제2 홀(120)에 주입될 수 있다. 보강부재(125)가 제2 홀(120)에 채워진 후, 굳어져서 증착용 마스크(100)의 강성이 증가될 수 있다. 이때, 보강부재(125)는 합성수지, 엑폭시, 레진등으로 형성될 수 있다.
보강부재(125)는 비자성체로 형성될 수 있다. 증착용 마스크(100)는 정전척(미도시)과 같은 자기력을 이용한 장치로 기판(기판)과 조립될 수 있다. 기판과 증착용 마스크(100) 사이의 들뜸이나 휨을 방지하기 위해서 기판과 증착용 마스크(100) 작용하는 자기력이 균일하게 형성되어야 한다.
보강부재(125)가 비자성체로 형성되면 기판과 증착용 마스크(100) 사이에 작용하는 자기력이 균일하게 형성될 수 있다. 증착용 마스크(100)는 전체에 걸쳐 패턴홀, 즉 제1 홀(110) 및 제2 홀(120)이 형성된다. 제1 홀(110) 및 제2 홀(120)의 크기는 실질적으로 동일하게 형성된다. 즉, 전주 도금법 또는 무전해 도금법으로 형성되는 제1 홀(110) 및 제2 홀(120)은 증착용 마스크(100) 전면에 걸쳐 균일하게 배치된다. 증착용 마스크(100)에서 자기력의 영향을 받는 부분이 반복적인 패턴을 형성하므로, 자기력은 균일하게 증착용 마스크(100)에 작용할 수 있다.
다시 도 1을 참조하면, 프레임(200)은 증착용 마스크(100)와 결합하여 증착용 마스크(100)가 지지될 수 있다. 프레임(200)은 증착물질이 통과할 수 있는 개구부(205)와 개구부(205)의 외측에 형성되는 지지부를 구비할 수 있다. 프레임(200)은 금속 또는 합성수지 등으로 제조될 수 있으며, 사각 형상으로 하나 이상의 개구부(205)를 갖도록 형성되어 있으나, 일 실시의 사상은 이에 제한되지 아니하며, 원형 또는 육각형 등의 다양한 형태로 형성될 수 있다.
복수의 지지부은 X 방향을 따라 서로 마주보며, Y 방향을 따라 나란하게 배치된 제1 지지부(201) 및 제2 지지부(202)와, Y 방향을 따라 서로 마주보며, X 방향을 따라 나란하게 배치된 제3 지지부(203) 및 제4 지지부(204)를 포함한다. 제1 지지부(201), 제2 지지부(202), 제3 지지부(203) 및 제4 지지부(204)는 서로 연결된 사각틀이다.
도 6 및 도 7은 본 발명의 다른 실시예에 따른 증착용 마스크(100a)를 보여주는 단면도이다. 도 6 및 도 7을 참조하여, 보강부재(125a)의 두께가 강화된 증착용 마스크(100a)를 검토하면 다음과 같다.
보강부재(125a)의 두께(T2)는 증착용 마스크(100a) 두께(T1)보다 두껍게 형성될 수 있다. 보강부재(125)는 삽입부(126a)와 돌출부(126b)로 구비될 수 있다. 삽입부(126a)는 제2 홀(120a)이 형성하는 내부 부피에 보강부재(125a)가 채워져서 형성된다. 돌출부(126b)는 삽입부(126a)의 어느 하나의 단부에서 돌출되어 형성될 수 있다. 삽입부(126a)는 상기 서술한 일 실시예에 따른 증착용 마스크 프레임 조립체(10)의 보강부재(125)와 동일 또는 거의 유사한바 이에 대한 설명은 생략하기로 한다.
돌출부(126b)는 기판과 마주보는 증착용 마스크(100a)의 표면에서 돌출되지 않도록 기판의 반대편에 배치된다. 증착용 마스크(100a)의 일면은 기판과 접하고, 타면에 돌출부(126b)가 돌출되도록 형성된다. 증착용 마스크 프레임 조립체가 증착챔버에 위치 시에 돌출부(126b)는 증착원(미도시)에 인접하게 배치될 수 있다.
증착 공정시에 기판에 발생하는 쉐도우 효과를 최소화 하기 위해서 증착용 마스크(100a)와 기판 사이의 간극을 줄여야 한다. 따라서, 기판과 증착용 마스크(100a) 사이의 간극을 최소화 하기 위해서, 돌출부(126b)는 기판과 접촉하는 증착용 마스크(100a)의 반대면에 형성된다.
돌출부(126b)는 증착용 마스크(100a)의 강도를 향상시킬 수 있다. 보강부재(125a)의 두께(T2)는 돌출부(126b)로 인해 증착용 마스크(100a)의 두께(T1)보다 크게 형성될 수 있다. 돌출부(126b)는 증착용 마스크(100a)를 지지하여 강도를 더욱 향상시킬 수 있다.
돌출부(126b)는 삽입부(126a)와 이웃하는 삽입부(126a)를 연결하여 삽입부(126a)의 강성을 향상시킬 수 있다. 보강부재(125a)로 인해 증착용 마스크(100a)의 강성이 증가하면, 프레임(200)에 증착용 마스크(100a)를 고정시에 발생하는 증착용 마스크(100a)의 처짐을 최소화 할 수 있다. 즉, 증착용 마스크(100a)와 기판 사이의 간극을 최소화 하여 증착공정의 정확도를 향상시킬 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따른 증착용 마스크 프레임 조립체(10) 제조방법을 검토하면 다음과 같다.
증착용 마스크 프레임 조립체의 제조방법은 증착용 마스크(100) 전면에 제1 홀(110) 및 제2 홀(120)을 형성하는 단계;와 제2 홀(120)에 보강부재(125)를 주입하는 단계; 및 프레임에 증착용 마스크(100)를 설치하는 단계;를 포함할 수 있다.
제1 홀(110) 및 제2 홀(120)은 전주 도금법 또는 무전해 도금법으로 형성될 수 있다. 증착용 마스크(100) 전면에 걸쳐 제1 홀(110) 및 제2 홀(120)이 반복적인 패턴을 형성하기 위해서 제1 홀(110)과 제2 홀(120)은 동일한 크기로 형성될 수 있다.
보강부재(125)는 전주 도금법 및 무전해 도금법 중 적어도 하나의 방법으로 제2 홀(120)에 주입될 수 있다. 보강부재(125)는 철, 니켈, 구리, 주석, 금, 스테인리스스틸(SUS), 인바 합금(Invar alloy),인코넬 합금(Inconel alloy), 코바 합금(Kovar alloy), 철 합금, 니켈 합금 중 적어도 하나 이상를 포함할 수 있다. 또한, 보강부재(125)는 이에 한정되지 않으며 전주 공정 또는 무전해 도금 공정을 적용할 수 있는 다양한 재료로 사용될 수 있다.
보강부재(125)는 페이스트(paste) 타입의 재료로 형성되어 제2 홀(120)에 주입될 수 있다. 보강부재(125)가 제2 홀(120)에 채워진 후, 굳어져서 증착용 마스크(100)의 강성이 증가될 수 있다. 이때, 보강부재(125)는 합성수지, 엑폭시, 레진등으로 형성될 수 있다.
보강부재(125)는 비자성체로 형성될 수 있다. 증착용 마스크(100)는 정전척(미도시)과 같은 자기력을 이용한 장치로 기판(기판)에 고정될 수 있다. 기판과 증착용 마스크(100) 사이의 들뜸이나 휨을 방지하기 위해서 기판과 증착용 마스크(100) 작용하는 자기력이 균일하게 형성되어야 한다.
보강부재(125)가 비자성체로 형성되면 기판과 증착용 마스크(100) 사이에 작용하는 자기력이 균일하게 형성될 수 있다. 증착용 마스크(100)는 전체에 걸쳐 제1 홀(110) 및 제2 홀(120)을 크기는 실질적으로 동일하게 형성된다. 즉, 전주 도금법 또는 무전해 도금법으로 형성되는 제1 홀(110) 및 제2 홀(120)은 증착용 마스크(100) 전면에 걸쳐 균일하게 배치된다. 증착용 마스크(100)에서 자기력의 영향을 받는 부분이 반복적인 패턴을 형성하므로, 자기력은 균일하게 증착용 마스크(100)에 작용할 수 있다.
증착용 마스크(100)는 용접으로 프레임(200)에 고정될 수 있다. 이때, 증착용 마스크(100)는 어느 하나의 방향으로 인장된 후, 용접되어 증착용 마스크(100)의 처짐을 최소화 할 수 있다.
일반적인 전주공정(Electro-forming)으로 증착용 마스크를 제작시에는 모재를 용융시킨후, 용융된 모재를 유동시킨다. 전기 도금법 또는 무전해 도금법으로 모재를 용융시킨후, 증착물질이 통과하는 패턴을 제외한 부분에 용융된 모재를 채워서 증착용 마스크를 제작한다.
증착용 마스크에서 패턴이 형성된 부분과 비패턴이 형성된 부분은 부피 다르게 형성된다. 이에 따라 증착용 마스크의 성분비는 각 위치에 따라 다르게 형성될 수 있다. 패턴이 형성된 부분과 패턴이 형성되지 않은 부분의 부피차이로 인해서, 용융된 모재가 흐르는 속도 증착용 마스크 전체에 균일하지 않을 수 있다. 또한, 용융된 모재의 전류밀도가 차이가 발생하거나, 외부와의 접촉 면적이 달라 용융된 모재가 경화되는 속도가 다를 수 있다.
증착용 마스크의 위치에 따라 성분비가 차이나면, 위치에 따라 강도가 다르게 형성될 수 있다. 증착용 마스크를 인장 용접시에 변형 및 파손이 발생할 수 있다. 또한, 증착용 마스크의 위치에 따라 성분비가 차이로 인해 증착용 마스크의 두께가 일정하지 않게 형성될 수 있다.
증착용 마스크의 성분비 차이는 증착용 마스크에 작용하는 자기력의 불균일을 초래할 수 있다. 증착용 마스크는 정전척 등의 자력을 이용하여, 증착용 마스크의 위치를 이동 또는 고정할 수 있다.
특히, 자력을 이용하여 증착용 마스크와 기판을 고정 시에, 성분비 차이에 의해 작용하는 자기력의 세기가 증착용 마스크의 위치에 따라 다르게 작용하여 기판과 증착용 마스크 사이에 틈이 생성될 수 있다.
증착용 마스크 프레임 조립체(10)는 증착용 마스크(100) 전면에 반복적인 패턴홀을 형성하여 성분비를 균일하게 형성할 수 있다. 증착 패턴부(101)에서의 성분비를 균일하게 형성하여 기판과 증착용 마스크(100) 사이의 간극을 최소화 할 수 있다.
고해상도의 표시장치를 제작하기 위해서, 증착용 마스크는 증착물질을 정밀하게 기판에 증착시켜야 한다. 쉐도우 효과를 줄이기 위해서 증착용 마스크의 두께를 최소화 해야 한다. 특히, 패턴이 형성된 증착패턴의 두께를 최소화 하여야 하는데 이로 인해, 증착용 마스크를 인장 용접시에 증착용 마스크의 변형이 발생할 수 있다.
증착용 마스크 프레임 조립체(10)는 제2 홀(120)에 보강부재(125)를 주입하여 증착용 마스크(100)의 강성을 향상시킬 수 있다. 보강부재(125)는 전기 도금법 또는 무전해 도금법을 이용하여 제2 홀(120)에 정밀하게 주입될 수 있다.
증착용 마스크 프레임 조립체(10)의 보강부재(125a)의 두께는 증착용 마스크(100a)의 두께보다 두껍게 형성하여 증착용 마스크(100a)의 강도를 향상시킬 수 있다.
도 8은 도 1에 도시된 증착용 마스크 프레임 조립체(10)에 의해 제조된 디스플레이 장치를 보여주는 단면도이다.
도 8을 참고하면, 표시 장치(300)는 기판(310) 및 표시부(미표기)를 포함할 수 있다. 또한, 표시 장치(300)는 상기 표시부의 상부에 형성되는 박막 봉지층(E) 또는 봉지 기판(미도시)을 포함할 수 있다. 이때, 상기 봉지 기판은 일반적인 디스플레이 장치에 사용되는 것과 동일 또는 유사하므로 상세한 설명은 생략하기로 한다. 또한, 이하에서는 설명의 편의를 위하여 표시 장치(300)가 박막 봉지층(E)을 포함하는 경우를 중심으로 상세히 설명하기로 한다.
기판(310) 상에 상기 표시부가 형성될 수 있다. 이때, 상기 표시부는 박막 트랜지스터(TFT) 이 구비되고, 이들을 덮도록 패시베이션막(370)이 형성되며, 이 패시베이션막(370) 상에 유기 발광 소자(380)가 형성될 수 있다.
이때, 기판(310)은 유리 재질을 사용할 수 있는 데, 반드시 이에 한정되지 않으며, 플라스틱재를 사용할 수도 있으며, SUS, Ti과 같은 금속재를 사용할 수도 있다. 또한, 기판(310)은 폴리이미드(PI, Polyimide)를 사용할 수 있다. 이하에서는 설명의 편의를 위하여 기판(310)이 유리 재질로 형성되는 경우를 중심으로 상세히 설명하기로 한다.
기판(310)의 상면에는 유기화합물 및/또는 무기화합물로 이루어진 버퍼층(320)이 더 형성되는 데, SiOx(x≥1), SiNx(x≥1)로 형성될 수 있다.
이 버퍼층(320) 상에 소정의 패턴으로 배열된 활성층(330)이 형성된 후, 활성층(330)이 게이트 절연층(340)에 의해 매립된다. 활성층(330)은 소스 영역(331)과 드레인 영역(333)을 갖고, 그 사이에 채널 영역(332)을 더 포함한다.
이러한 활성층(330)은 다양한 물질을 함유하도록 형성될 수 있다. 예를 들면, 활성층(330)은 비정질 실리콘 또는 결정질 실리콘과 같은 무기 반도체 물질을 함유할 수 있다. 다른 예로서 활성층(330)은 산화물 반도체를 함유할 수 있다. 또 다른 예로서, 활성층(330)은 유기 반도체 물질을 함유할 수 있다. 다만, 이하에서는 설명의 편의를 위하여 활성층(330)이 비정질 실리콘으로 형성되는 경우를 중심으로 상세히 설명하기로 한다.
이러한 활성층(330)은 버퍼층(320) 상에 비정질 실리콘막을 형성한 후, 이를 결정화하여 다결정질 실리콘막으로 형성하고, 이 다결정질 실리콘막을 패터닝하여 형성할 수 있다. 상기 활성층(330)은 구동 TFT(미도시), 스위칭 TFT(미도시) 등 TFT 종류에 따라, 그 소스 영역(331) 및 드레인 영역(333)이 불순물에 의해 도핑된다.
게이트 절연층(340)의 상면에는 활성층(330)과 대응되는 게이트 전극(350)과 이를 매립하는 층간 절연층(360)이 형성된다.
그리고, 층간 절연층(360)과 게이트 절연층(340)에 콘택홀(H1)을 형성한 후, 층간 절연층(360) 상에 소스 전극(371) 및 드레인 전극(372)을 각각 소스 영역(331) 및 드레인 영역(333)에 콘택되도록 형성한다.
이렇게 형성된 상기 박막 트랜지스터의 상부로는 패시베이션막(370)이 형성되고, 이 패시베이션막(370) 상부에 유기 발광 소자(OLED)의 화소 전극(381)이 형성된다. 이 화소 전극(381)은 패시베이션막(370)에 형성된 비아 홀(H2)에 의해 TFT의 드레인 전극(372)에 콘택된다. 상기 패시베이션막(370)은 무기물 및/또는 유기물, 단층 또는 2개층 이상으로 형성될 수 있는 데, 하부 막의 굴곡에 관계없이 상면이 평탄하게 되도록 평탄화막으로 형성될 수도 있는 반면, 하부에 위치한 막의 굴곡을 따라 굴곡이 가도록 형성될 수 있다. 그리고, 이 패시베이션막(370)은, 공진 효과를 달성할 수 있도록 투명 절연체로 형성되는 것이 바람직하다.
패시베이션막(370) 상에 화소 전극(381)을 형성한 후에는 이 화소 전극(381) 및 패시베이션막(370)을 덮도록 화소 정의막(390)이 유기물 및/또는 무기물에 의해 형성되고, 화소 전극(381)이 노출되도록 개구된다.
그리고, 적어도 상기 화소 전극(381) 상에 중간층(382) 및 대향 전극(383)이 형성된다.
화소 전극(381)은 애노드 전극의 기능을 하고, 대향 전극(383)은 캐소오드 전극의 기능을 하는 데, 물론, 이들 화소 전극(381)과 대향 전극(383)의 극성은 반대로 되어도 무방하다.
화소 전극(381)과 대향 전극(383)은 상기 중간층(382)에 의해 서로 절연되어 있으며, 중간층(382)에 서로 다른 극성의 전압을 가해 유기 발광층에서 발광이 이뤄지도록 한다.
중간층(382)은 유기 발광층을 구비할 수 있다. 선택적인 다른 예로서, 중간층(382)은 유기 발광층(organic emission layer)을 구비하고, 그 외에 정공 주입층(HIL:hole injection layer), 정공 수송층(hole transport layer), 전자 수송층(electron transport layer) 및 전자 주입층(electron injection layer) 중 적어도 하나를 더 구비할 수 있다.
한편, 하나의 단위 화소(P)는 복수의 부화소(R,G,B)로 이루어지는데, 복수의 부화소(R,G,B)는 다양한 색의 빛을 방출할 수 있다. 예를 들면 복수의 부화소(R,G,B)는 각각 적색, 녹색 및 청색의 빛을 방출하는 부화소(R,G,B)를 구비할 수 있고, 적색, 녹색, 청색 및 백색의 빛을 방출하는 부화소(미표기)를 구비할 수 있다.
한편, 상기와 같은 박막 봉지층(E)은 복수의 무기층들을 포함하거나, 무기층 및 유기층을 포함할 수 있다.
박막 봉지층(E)의 상기 유기층은 고분자로 형성되며, 바람직하게는 폴리에틸렌테레프탈레이트, 폴리이미드, 폴라카보네이트, 에폭시, 폴리에틸렌 및 폴리아크릴레이트 중 어느 하나로 형성되는 단일막 또는 적층막일 수 있다. 더욱 바람직하게는, 상기 유기층은 폴리아크릴레이트로 형성될 수 있으며, 구체적으로는 디아크릴레이트계 모노머와 트리아크릴레이트계 모노머를 포함하는 모노머 조성물이 고분자화된 것을 포함할 수 있다. 상기 모노머 조성물에 모노아크릴레이트계 모노머가 더 포함될 수 있다. 또한, 상기 모노머 조성물에 TPO와 같은 공지의 광개시제가 더욱 포함될 수 있으나 이에 한정되는 것은 아니다.
박막 봉지층(E)의 상기 무기층은 금속 산화물 또는 금속 질화물을 포함하는 단일막 또는 적층막일 수 있다. 구체적으로, 상기 무기층은 SiNx, Al2O3, SiO2, TiO2 중 어느 하나를 포함할 수 있다.
박막 봉지층(E) 중 외부로 노출된 최상층은 유기 발광 소자에 대한 투습을 방지하기 위하여 무기층으로 형성될 수 있다.
박막 봉지층(E)은 적어도 2개의 무기층 사이에 적어도 하나의 유기층이 삽입된 샌드위치 구조를 적어도 하나 포함할 수 있다. 다른 예로서, 박막 봉지층(E)은 적어도 2개의 유기층 사이에 적어도 하나의 무기층이 삽입된 샌드위치 구조를 적어도 하나 포함할 수 있다. 또 다른 예로서, 박막 봉지층(E)은 적어도 2개의 무기층 사이에 적어도 하나의 유기층이 삽입된 샌드위치 구조 및 적어도 2개의 유기층 사이에 적어도 하나의 무기층이 삽입된 샌드위치 구조를 포함할 수도 있다.
박막 봉지층(E)은 유기 발광 소자(OLED)의 상부로부터 순차적으로 제 1 무기층, 제 1 유기층, 제 2 무기층을 포함할 수 있다.
다른 예로서, 박막 봉지층(E)은 유기 발광 소자(OLED)의 상부로부터 순차적으로 제 1 무기층, 제 1 유기층, 제 2 무기층, 제 2 유기층, 제 3 무기층을 포함할 수 있다.
또 다른 예로서, 박막 봉지층(E)은 상기 유기 발광 소자(OLED)의 상부로부터 순차적으로 제 1 무기층, 제 1 유기층, 제 2 무기층, 상기 제 2 유기층, 제 3 무기층, 제 3 유기층, 제 4 무기층을 포함할 수 있다.
유기 발광 소자(OLED)와 제 1 무기층 사이에 LiF를 포함하는 할로겐화 금속층이 추가로 포함될 수 있다. 상기 할로겐화 금속층은 제 1 무기층을 스퍼터링 방식으로 형성할 때 상기 유기 발광 소자(OLED)가 손상되는 것을 방지할 수 있다.
제 1 유기층은 제 2 무기층 보다 면적이 좁게 할 수 있으며, 상기 제 2 유기층도 제 3 무기층 보다 면적이 좁을 수 있다.
이와 같이 본 발명은 도면에 도시된 일 실시예를 참고로 하여 설명하였으나 이는 예시적인 것에 불과하며 당해 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 실시예의 변형이 가능하다는 점을 이해할 것이다. 따라서, 본 발명의 진정한 기술적 보호 범위는 첨부된 특허청구범위의 기술적 사상에 의하여 정해져야 할 것이다.
10: 증착용 마스크 프레임 조립체
100: 증착용 마스크
101: 증착 패턴부
102: 리브부
103: 용접부
110: 제1 홀
120: 제2 홀
125: 보강부재

Claims (14)

  1. 프레임과 일면이 상기 프레임과 접하고 타면이 기판과 마주보도록 설치되는 증착용 마스크를 구비하는 증착용 마스크 프레임 조립체 있어서,
    상기 증착용 마스크는,
    증착물질이 제1 홀을 통과하여, 상기 기판에 상기 증착물질이 증착영역을 형성할 수 있는 증착패턴부; 및
    상기 증착패턴부의 외측에 연장되며, 제2 홀에 보강부재가 채워지는 리브부;를 포함하는, 증착용 마스크 프레임 조립체.
  2. 제1 항에 있어서,
    상기 제1 홀 및 상기 제2 홀은 전주 도금법 및 무전해 도금법 중 적어도 하나의 방법으로 동시에 형성되는, 증착용 마스크 프레임 조립체.
  3. 제1 항에 있어서,
    상기 제1 홀 및 상기 제2 홀은 상기 증착용 마스크의 길이방향의 단면적의 크기가 같은, 증착용 마스크 프레임 조립체.
  4. 제1 항에 있어서,
    상기 보강부재는 전주 도금법 및 무전해 도금법 중 적어도 하나의 방법으로 상기 제2 홀에 주입되는, 증착용 마스크 프레임 조립체.
  5. 제4 항에 있어서,
    상기 보강부재는 철, 니켈, 구리, 주석, 금, 스테인리스스틸(SUS), 인바 합금(Invar alloy),인코넬 합금(Inconel alloy), 코바 합금(Covar alloy), 철 합금, 니켈 합금 중 적어도 하나 이상를 포함하는, 증착용 마스크 프레임 조립체.
  6. 제1 항에 있어서,
    상기 보강부재는 비자성을 가지는, 증착용 마스크 프레임 조립체.
  7. 제1 항에 있어서,
    상기 보강부재의 두께는 상기 증착용 마스크의 두께보다 크게 형성되는, 증착용 마스크 프레임 조립체.
  8. 제6 항에 있어서,
    상기 보강부재는 상기 기판과 마주보는 상기 증착용 마스크의 표면에서 돌출되지 않도록 형성되는, 증착용 마스크 프레임 조립체.
  9. 증착용 마스크의 전면에 증착영역을 정의하는 증착패턴부를 형성하는 제1 홀과 상기 증착패턴부의 외측에 연장된 리브부에 형성된 제2 홀을 형성하는 단계;
    상기 제2 홀에 보강부재를 주입하여 상기 증착용 마스크의 상기 증착패턴부와 상기 리브부를 구획하는 단계; 및
    개구가 형성된 프레임에 상기 증착용 마스크를 설치하는 단계;를 포함하는, 증착용 마스크 프레임 조립체 제조방법.
  10. 제9 항에 있어서,
    상기 제1 홀 및 상기 제2 홀은 전주 도금법 및 무전해 도금법 중 적어도 하나의 방법으로 동시에 형성되는, 증착용 마스크 프레임 조립체.
  11. 제9 항에 있어서,
    상기 제1 홀 및 상기 제2 홀은 상기 증착용 마스크의 길이방향의 단면적의 크기가 같은, 증착용 마스크 프레임 조립체 제조방법.
  12. 제9 항에 있어서,
    상기 보강부재는 전주 도금법 및 무전해 도금법 중 적어도 하나의 방법으로 상기 제2 홀에 주입되는, 증착용 마스크 프레임 조립체 제조방법.
  13. 제12 항에 있어서,
    상기 보강부재는 철, 니켈, 구리, 주석, 금, 스테인리스스틸(SUS), 인바 합금(Invar alloy),인코넬 합금(Inconel alloy), 코바 합금(Kovar alloy), 철 합금, 니켈 합금 중 적어도 하나 이상를 포함하는, 증착용 마스크 프레임 조립체 제조방법.
  14. 제9 항에 있어서,
    상기 보강부재는 비자성을 가지는, 증착용 마스크 프레임 조립체 제조방법.
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Cited By (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20190012721A (ko) 2017-07-28 2019-02-11 주식회사 선익시스템 박막 증착용 마스크 제조 방법 및 이를 통해 제작된 증착 마스크
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KR20190058982A (ko) 2017-11-22 2019-05-30 주식회사 선익시스템 박막 증착용 마스크 제조 방법 및 이를 통해 제작된 박막 증착용 마스크
CN111384311A (zh) * 2018-12-28 2020-07-07 乐金显示有限公司 用于显示器的掩模
CN112725728A (zh) * 2020-12-17 2021-04-30 合肥维信诺科技有限公司 一种掩膜版

Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2007039777A (ja) * 2005-08-05 2007-02-15 Tohoku Pioneer Corp 成膜用マスク、自発光パネルの製造方法、および自発光パネル

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2007039777A (ja) * 2005-08-05 2007-02-15 Tohoku Pioneer Corp 成膜用マスク、自発光パネルの製造方法、および自発光パネル

Cited By (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20190012721A (ko) 2017-07-28 2019-02-11 주식회사 선익시스템 박막 증착용 마스크 제조 방법 및 이를 통해 제작된 증착 마스크
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KR20190058982A (ko) 2017-11-22 2019-05-30 주식회사 선익시스템 박막 증착용 마스크 제조 방법 및 이를 통해 제작된 박막 증착용 마스크
CN111384311A (zh) * 2018-12-28 2020-07-07 乐金显示有限公司 用于显示器的掩模
CN111384311B (zh) * 2018-12-28 2023-09-08 乐金显示有限公司 用于显示器的掩模
CN112725728A (zh) * 2020-12-17 2021-04-30 合肥维信诺科技有限公司 一种掩膜版

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