KR20160037502A - 투명 디스플레이 패널 및 이의 제조 방법 - Google Patents

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KR20160037502A
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Abstract

본 발명의 일 실시예에 따른 투명 디스플레이 패널은 투과영역 및 표시화소 영역을 갖는 기판을 포함한다. 표시화소영역에는 구동소자 및 다양한 배선전극이 위치한다. 투과영역에는 표시화소 영역의 배선전극으로부터 연결된 투명배선전극이 배치되어 투과영역의 투과율을 증가 시킨다.
본 발명이 일 실시예에 따른 투명 디스플레이 패널에서는 투과부의 투명배선전극을 구동소자를 구성하는 전극을 활용하여 동시에 생성하고 플라즈마 처리로 도체화하여 전기 저항을 낮추어 투명 디스플레이 패널의 전류소모량을 줄일 수 있다.

Description

투명 디스플레이 패널 및 이의 제조 방법 {TRANSPARENT DISPLAY PANEL AND MANUFACTURING METHOD OF THE SAME}
본 발명은 투명 디스플레이 패널 및 이의 제조 방법에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 투과부의 개구율을 최대화할 수 있는 투명 디스플레이 패널 및 이의 제조 방법을 제공하는 것이다.
평판 디스플레이 패널은 대형화 또는 소형화가 가능한 디스플레이 패널로서 활용 가능한 분야가 다양하여 다양한 종류의 디스플레이 패널들이 제조되고 있다.
현재까지의 평판 디스플레이 패널은 플라즈마 디스플레이 패널(Plazma Display Panel: PDP), 액정 디스플레이 패널(Liquid Crystal Display panel: LCD), 유기 발광 디스플레이 패널(Organic light emitting diode display panel: OLED)등으로 나뉠 수 있다.
근래에는 디스플레이 패널의 활용성을 더욱 확대하고자 하는 연구활동이 활발히 이루어지고 있으며 다양한 연구 활동의 한 분야로 투명 디스플레이 패널에 대한 연구 활동이 있다.
투명 디스플레이 패널은 정보를 사용자에게 디스플레이 함과 동시에 디스플레이 패널의 뒷 배경을 사용자가 인지할 수 있도록 뒷 배경으로부터의 빛을 투과시킨다.
투명 디스플레이 패널에 있어서 사용자에게 디스플레이 패널의 정보를 효율적으로 표시하는 기술과 동시에 투명 디스플레이 패널의 뒷 배경을 사용자가 손쉽게 인지할 수 있도록 하기 위한 기술이 중요하다.
일반적인 디스플레이 패널은 단위 픽셀(Pixel)을 구성하는 복수의 서브 픽셀(Sub-Pixel)을 구비하고 있으며, 각 서브 픽셀의 색상으로 픽셀의 색상을 표현하는 방식을 주로 사용하고 있으며, 복수의 픽셀의 색상 제어를 통해 디스 플레이 패널에 정보를 표시하도록 한다.
디스플레이 패널을 투명하게 하기 위한 다양한 기술 중에서 하나의 방법은 다음과 같다.
복수의 서브 픽셀을 투과부와 표시부로 나누고, 표시부에서는 서브 픽셀의 고유한 색상을 표현하도록 하고, 투과부는 디스플레이 패널의 배경을 사용자가 인지할 수 있도록 한다.
이와 같이 표시부와 투과부를 디스플레이 패널의 서브 픽셀 또는 픽셀 단위로 구성한 디스플레이 패널은 투과부와 표시부를 적절한 비율로 설정하는 것이 중요하며 개구율 또한 중요하다.
디스플레이 패널은 각 서브 픽셀을 구동하기 위한 구동회로와 구동회로와 연결된 전극 및 다양한 목적의 전극들이 존재하며 이러한 전극으로 인하여 투명 디스플레이 패널의 투과부의 개구율을 확대하는 것에 한계는 존재하게 된다.
이에, 투명 디스플레이 패널의 투과부의 개구율 및 투과영역을 최대화할 수 있는 다양한 기술들이 연구되고 있다.
[관련기술문헌]
[특허문헌]
1. 유기전계발광소자를 구비한 투명 표시장치 (특허출원번호 제 10-2012-0055429호)
투명 디스플레이 패널을 구현하기 위하여 투과영역에 투과부를 정의하는 경우 투과부의 투과율 및 투과부의 개구율을 확보하기 위하여 디스플레이 패널에 사용되는 전극들을 표시부 및 블랙 매트릭스로 가려진 비 개구영역에 형성하는 기술들이 사용되어 왔다.
블랙 매트릭스로 정의되는 비 개구영역은 디스플레이 패널의 서브 픽셀을 구동하기 위한 구동신호전극 또는 서브 픽셀을 구동하기 위한 전류를 제공하기 위한 전극등이 배치되어야 하므로, 투과부의 개구율을 증가시키는데 있어 한계가 존재한다.
이에 따라, 투과부에 투명전극을 사용하여 투명 디스플레이 패널의 개구율을 증가시키는 방법을 사용할 수 있으며, 이러한 투과부에 사용가능한 투명전극은 투명 도전성 물질이 있다.
그러나, 투명 도전성 물질등은 비교적 높은 전기저항을 가져 전류소모량을 증가시키는 문제가 있다
이에, 본 발명의 발명자들은 투과부의 전극에 투명하면서도 낮은 전기 저항을 갖는 전극을 사용하여 투명 디스플레이 패널의 투과율을 향상시키고 전류 소모량을 낮춘 투명 디스플레이 패널을 발명하였다.
본 발명의 일 실시예에 따른 해결 과제는 투명 디스플레이 패널의 투과부의 개구율을 최대화 함으로써 배경 시인성이 향상된 투명 디스플레이 패널 및 이의 제조 방법을 제공하는 것이다.
본 발명의 일 실시예에 따른 해결 과제는 투명전극의 전기 저항을 낮추어 전류 소모량이 감소된 투명 디스플레이 패널 및 이의 제조 방법을 제공하는 것이다.
본 발명의 일 실시예에 따른 해결 과제들은 이상에서 언급한 과제들로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 과제들은 아래의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.
본 발명의 일 실시예에 따른 투명배선전극을 사용함으로서 투과율을 향상시킨 투명 디스플레이 패널이 제공된다. 투과영역 및 표시화소영역을 포함하는 기판에서, 표시화소영역은 표시화소의 구동을 제어하는 구동소자와 배선전극을 포함하고, 투과영역은 배선전극과 연결된 투명배선전극을 포함한다. 투과영역에 투명배선전극을 사용함으로서 투명 디스플레이 패널의 투과율을 향상시킬 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따른 투명 디스플레이 패널의 제조 방법이 제공된다. 투과영역 및 표시화소영역이 기판상에 정의된다. 표시화소영역에 구동소자 및 구동소자와 연결된 배선전극을 형성한다. 투과영역에는 투명배선전극을 형성하고 투명배선전극을 도체화 하여 투과영역의 투과율을 향상시킴과 동시에 투명 디스플레이 패널의 전류 소모량을 줄일 수 있다.
본 발명의 실시예에 따라 투명배선전극를 구비함으로써 투명 디스플레이 패널의 투과영역의 개구율을 향상시킬 수 있는 효과가 있다.
또한, 투명배선전극을 구동소자에 포함된 전극과 동일한 단계에서 형성함으로서 공정을 단순화 할 수 있는 효과가 있다.
또한, 본 발명의 다른 실시예에 따라 투명배선전극을 플라즈마처리된 IGZO를 사용함으로서 투명 디스플레이 패널의 전류 소모량을 감소시킬 수 있는 효과가 있다.
본 발명의 효과는 이상에서 언급한 효과에 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 효과는 아래의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.
이상에서 해결하고자 하는 과제, 과제 해결 수단, 효과에 기재한 발명의 내용이 청구항의 필수적인 특징을 특정하는 것은 아니므로, 청구항의 권리범위는 발명의 내용에 기재된 사항에 의하여 제한되지 않는다.
도 1은 종래기술에서 투과영역 및 표시화소영역을 포함하는 투명 디스플레이 패널에 대한 개략적인 단면도이다.
도 2a는 본 발명의 일 실시예에 따른 투과부에 투명배선전극을 구비하여 투과부의 개구율이 향상된 투명 디스플레이 패널에 대한 개략적인 단면도이다.
도 2b 및 2c는 본 발명의 일 실시예에 따른 표시화소영역과 투과영역을 설명하기 위한 개략적인 단면도이다.
도 3a 및 3b는 본 발명의 일 실시예에 따른 적용예를 설명하기 위한 개략적인 단면도이다.
도 4a 내지 도 4f는 본 발명의 일 실시예에 따른 투명 디스플레이 패널의 제조방법을 설명하기 위한 개략적인 단면도이다.
본 발명의 이점 및 특징, 그리고 그것들을 달성하는 방법은 첨부되는 도면과 함께 상세하게 후술되어 있는 실시예들을 참조하면 명확해질 것이다. 그러나 본 발명은 이하에서 개시되는 실시예들에 한정되는 것이 아니라 서로 다른 다양한 형태로 구현될 것이며, 단지 본 실시예들은 본 발명의 개시가 완전하도록 하며, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위해 제공되는 것이며, 본 발명은 청구항의 범주에 의해 정의될 뿐이다.
본 발명의 실시예를 설명하기 위한 도면에 개시된 형상, 크기, 비율, 각도, 개수 등은 예시적인 것이므로 본 발명이 도시된 사항에 한정되는 것은 아니다. 명세서 전체에 걸쳐 동일 참조 부호는 동일 구성 요소를 지칭한다. 또한, 본 발명을 설명함에 있어서, 관련된 공지 기술에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 불필요하게 흐릴 수 있다고 판단되는 경우 그 상세한 설명은 생략한다. 본 명세서 상에서 언급된 '포함한다', '갖는다', '이루어진다' 등이 사용되는 경우 '~만'이 사용되지 않는 이상 다른 부분이 추가될 수 있다. 구성 요소를 단수로 표현한 경우에 특별히 명시적인 기재 사항이 없는 한 복수를 포함하는 경우를 포함한다.
구성 요소를 해석함에 있어서, 별도의 명시적 기재가 없더라도 오차 범위를 포함하는 것으로 해석한다.
위치 관계에 대한 설명일 경우, 예를 들어, '~상에', '~상부에', '~하부에', '~옆에' 등으로 두 부분의 위치 관계가 설명되는 경우, '바로' 또는 '직접'이 사용되지 않는 이상 두 부분 사이에 하나 이상의 다른 부분이 위치할 수도 있다.
시간 관계에 대한 설명일 경우, 예를 들어, '~후에', '~에 이어서', '~다음에', '~전에' 등으로 시간 적 선후 관계가 설명되는 경우, '바로' 또는 '직접'이 사용되지 않는 이상 연속적이지 않은 경우도 포함할 수 있다.
제1, 제2 등이 다양한 구성요소들을 서술하기 위해서 사용되나, 이들 구성요소들은 이들 용어에 의해 제한되지 않는다. 이들 용어들은 단지 하나의 구성요소를 다른 구성요소와 구별하기 위하여 사용하는 것이다. 따라서, 이하에서 언급되는 제1 구성요소는 본 발명의 기술적 사상 내에서 제2 구성요소일 수도 있다.
본 발명의 여러 실시예들의 각각 특징들이 부분적으로 또는 전체적으로 서로 결합 또는 조합 가능하고, 기술적으로 다양한 연동 및 구동이 가능하며, 각 실시예들이 서로에 대하여 독립적으로 실시 가능할 수도 있고 연관 관계로 함께 실시할 수도 있다.
이하에서는, 본 발명의 일 실시예에 따른 투과영역의 개구율이 향상된 투명 디스플레이 패널의 다양한 구성에 대해 설명한다.
투명 디스플레이 패널의 구성에 따르면 투명 디스플레이 패널에는 투과영역와 표시화소영역이 정의된다.
투과영역은 디스플레이 패널의 뒷배경을 시인할 수 있도록 빛을 투과시키기 위한 영역이며, 표시화소영역에는 다양한 정보가 표시된다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 다양한 실시예들을 상세히 설명한다.
도 1은 종래기술에서 투과영역 및 표시화소영역을 포함하는 투명 디스플레이 패널에 대한 개략적인 단면도이다.
도 1을 참조하면 투명 디스플레이 패널(100)은 기판(110) 상에 적어도 하나의 투과영역(120)과 적어도 하나의 표시화소영역(130)을 포함한다.
투명 디스플레이 패널(100)을 구현하기 위해 다양한 방법이 사용될 수 있으나, 도 1에서는 투과영역(120)을 포함하여 투명 디스플레이 패널(100)을 구현한 방법에 대하여 설명한다.
도 1은 간략히 도시되었으나, 단위 화소를 구성하는 적어도 하나의 서브 화소를 포함하며, 각 서브 화소들은 블랙매트릭스(140)으로 구분된다.
표시화소영역(130)에 포함된 서브 화소는 적색, 녹색, 파란색 또는 백색의 서브 화소(R, G, B 또는 W)일 수 있으며 각각의 서브 화소를 제어하기 위한 구성요소들이 존재하게 된다.
도 1에는 미도시하였으나, 투명 디스플레이 패널의 표시화소영역(130)을 구동하기 위한 전극 또는 배선들이 위치하게 된다.
이러한 전극 또는 배선들은 구동신호를 전달하는 하나 이상의 신호 배선일 수 있으며 또는 화소등에 전류를 공급하기 위한 전극일 수 있다.
투명 디스플레이 패널(100)에서 이러한 전극 또는 배선들은 블랙매트릭스(140)에 의해 가려져 반사광 등에 의해 사용자의 시인성을 저해하지 않도록 한다.
투과영역(120)과 표시화소영역(130)의 면적 비율은 표시화소영역(130)의 효율과 투과율등을 고려하여 조절 가능하다.
그러나, 투과영역(120)의 전체 면적, 또는 개구율은 블랙매트릭스(140)에 의해 한정될 수 밖에 없다.
도 2a는 본 발명의 일 실시예에 따른 투과부에 투명배선전극을 구비하여 투과부의 개구율이 향상된 투명 디스플레이 패널에 대한 개략적인 단면도이다.
도 2a를 참조하면 투명 디스플레이 패널(200)은 기판(210)에 투과영역(220) 및 표시화소영역(230)이 정의되어 있다.
표시화소영역(230)은 구동소자(260), Capacitor 및 구동소자(260)와 연결된 배선전극(250)을 포함한다.
투과영역(220)은 투명배선전극(240)을 포함하며, 투명배선전극(240)은 표시화소영역(230)으로 연장되어 배선전극(250)과 연결된다.
투과영역(220)은 투명배선전극(240)을 포함하여 블랙매트릭스에 의한 개구율 감소가 발생하지 않으므로 투명 디스플레이 패널(200)의 투과율은 향상된다.
도 2b 및 2c는 본 발명의 일 실시예에 따른 표시화소영역과 투과영역을 설명하기 위한 개략적인 단면도이다.
도 2b는 도 2a의 구동소자(260)에 대한 A-A' 의 개략적인 단면도이다.
도 2b를 참조하면 기판(210)은 버퍼층(211)을 포함할 수 있다.
구동소자(260)는 액티브전극(261), 도체화 액티브전극(262) 상에 소스/드레인 전극(266,267) 및 절연층(265)이 배치된다.
액트브전극(261)상에 게이트전극(264)를 포함하며 액티브전극(261)과 게이트전극(264) 사이에 게이트절연층(263)을 포함할 수 있다.
도 2b는 도 2a의 투명배선전극(240)을 포함하는 투과영역(220)의 B-B'에 따른 개략적인 단면도이다.
도 2b를 참조하면 버퍼층(211)을 포함하는 기판(210) 상에 투명배선전극(240)이 배치된다.
투명배선전극(240) 상에 절연층(265)을 포함하고 절연층(265)은 적어도 하나의 개구부(268)을 포함한다.
개구부(268)를 통하여 표시화소영역(230)으로 연장된 투명배선전극(240)은 배선전극(250)과 연결된다.
투명배선전극(240)은 구동소자(260)의 도체화 액티브전극(262)와 동일한 재질일 수 될 수 있으며, 동일한 재료인 경우 전기저항이 낮음으로 인하여 소비 전력을 저감할 수 있는 효과가 있으며, 생산 공정을 단순화 할 수 있는 장점이 있다.
투명배선전극(240) 및 도체화 액티브전극(262)은 도체화 처리된 IGZO(In, Ga, ZnO)와 같은 80%이상의 투과율을 갖는 투명한 재료일 수 있으며 이에 대한 자세한 설명은 추후에 설명하도록 한다.
배선전극(250)은 전기저항이 낮은 Mo/Al/Mo 또는 Cu/Mo/Ti 등의 재질일 수 있으며 또는 이들의 화합물일 수 있다.
도 3a 및 3b는 본 발명의 일 실시예에 따른 적용예를 설명하기 위한 개략적인 단면도이다.
도 3a는 본 발명의 예시적인 실시예가 액정표시장치에 적용된 예를 설명하기 위한 도면으로 화소의 개수 등은 개략적으로 도시하였다.
도 3a를 참조하면 기판(310)은 도광판(312)을 포함할 수 있으며 도광판(312)은 백라이트유닛(313)과 연결되어 광원을 공급하도록 한다.
기판(310)상에 배선전극(350)과 투명배선전극(340)을 포함하며 배선전극(350)과 투명배선전극(340)은 연결되어 표시화소영역(330)에 대응하는 구동소자(360)과 액정층(370)등에 전류를 공급할 수 있도록 한다.
투명배선전극(340)은 투과영역(320)과 대응하도록 포함되어 투과영역(320)의 개구율을 향상시킬 수 있도록 한다.
도 3b는 본 발명의 예시적인 실시예가 유기 발광 표시장치에 적용가능한 실시예로서 기판(310)에 정의된 투과영역(320)과 표시화소영역(330)이 제공된다.
표시화소영역(330)은 구동소자(360) 및 유기발광소자(370)를 포함한다.
구동소자(360)는 배선전극(350)과 연결되어 구동에 필요한 신호 및 전류를 공급받고 배선전극(350)은 투명영역(320)에 포함된 투명배선전극(340)과 연결된다.
도 4a 내지 도 4f는 본 발명의 일 실시예에 따른 투명 디스플레이 패널의 제조방법을 설명하기 위한 개략적인 단면도이다.
도 4a를 참조하면 기판(410)은 버퍼층(411)을 포함할 수 있다.
버퍼층(411)은 SiO2와 같은 재질일 수 있으며, 수분과 산소를 침투하는 것을 방지하도록 한다.
도 4b를 참조하면 기판(410) 상에 액티브전극(461) 및 투명배선전극(440)을 형성한다.
액티브전극(461) 및 투명배선전극(440)은 동시에 형성할 수 있으며, IGZO(In, Ga, ZnO)의 투명재질로 형성하도록 한다.
IGZO의 물질은 기본적으로 반도체의 성질을 갖고 있으므로 투명배선전극(440)은 도체화 처리가 필요하며, 이후에 상세히 설명하도록 한다.
도 4c를 참조하면 액티브전극(461) 상에 게이트절연층(463)을 형성한다.
게이트절연층(463)은 SiO2와 같은 재질로 형성 할 수 있다.
게이트전극(464)은 금속재질로 형성 할 수 있으며 Mo/Al/Mo, Cu/MoTi 등의 재질 또는 이의 화합물일 수 있다.
도 4d를 참조하면 액티브전극(461)을 플라즈마 처리로 도체화시켜 도체화 액티브전극(462)를 형성하도록 한다.
이때, 투명배선전극(440)에도 플라즈마 처리를 하며, 플라즈마 처리된 투명배선전극(440)은 도체화되어 전기 저항이 낮아지게 된다.
플라즈마 처리는 H2 또는 He 를 사용하여 처리 가능하며 플라즈마 발생 Power는 500W, 처리 시간은 30초 내지 60초로 설정될 수 있다.
도 4e를 참조하면 절연층(465)을 기판(410) 상에 형성한다.
절연층은 투명배선전극(440) 및 도체화 액티브전극(462) 상에 개구부(468)를 갖도록 한다.
도 4f를 참조하면, 표시화소영역(430)에 투명배선전극(440)과 연결된 배선전극(450)을 형성한다.
배선전극(450)은 Mo/Al/Mo, Cu/MoTi 등의 금속으로 형성하며 도체화 액트브전극(462)와 연결된 소스/드레인전극 (466,467)과 동일한 재질로 동시에 형성할 수 있다.
이와 같이 투명배선전극(440)을 플라즈마 처리된 IGZO를 사용하여 투명하면서도 전기저항이 낮은 전극으로 형성할 수 있으며, 형성단계에서도 구동소자등을 형성하는 단계에서 동시에 형상할 수 있으므로 공정을 단순화 할 수 있는 효과도 있다.
이상 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예들을 더욱 상세하게 설명하였으나, 본 발명은 반드시 이러한 실시예로 국한되는 것은 아니고, 본 발명의 기술사상을 벗어나지 않는 범위 내에서 다양하게 변형 실시될 수 있다. 따라서, 본 발명에 개시된 실시예들은 본 발명의 기술 사상을 한정하기 위한 것이 아니라 설명하기 위한 것이고, 이러한 실시예에 의하여 본 발명의 기술 사상의 범위가 한정되는 것은 아니다. 그러므로, 이상에서 기술한 실시예들은 모든 면에서 예시적인 것이며 한정적이 아닌 것으로 이해해야만 한다. 본 발명의 보호 범위는 청구범위에 의하여 해석되어야 하며, 그와 동등한 범위 내에 있는 모든 기술 사상은 본 발명의 권리범위에 포함되는 것으로 해석되어야 할 것이다.
100, 200: 투명 디스플레이 패널
110, 210, 310, 410: 기판
120, 220, 320, 420: 투과영역:
130, 230, 330, 430: 표시화소영역
140: 블랙매트릭스
240, 340, 440: 투명배선전극
250, 350, 450: 배선전극
260, 360: 구동소자
370: 표시소자

Claims (15)

  1. 적어도 하나의 투과영역 및 표시화소영역을 포함하는 기판;
    상기 표시화소영역에 포함된 적어도 하나의 구동소자;
    상기 구동소자와 연결된 배선전극 및
    상기 투과영역에 포함된 투명배선전극을 포함하고,
    상기 배선전극과 상기 투명배선전극은 연결된 것을 특징으로 하는 투명 디스플레이 패널.
  2. 제1 항에 있어서,
    상기 기판 상의 버퍼층을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 투명 디스플레이 패널.
  3. 제1 항에 있어서,
    상기 표시화소영역에 배치된 유기 발광소자를 포함하는 것을 특징으로 하는 투명 디스플레이 패널.
  4. 제1 항에 있어서,
    상기 표시화소영역에 배치된 액정층, 도광판 및 백라이트 유닛을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 투명 디스플레이 패널.
  5. 제1 항에 있어서,
    상기 기판 상의 절연층을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 투명 디스플레이 패널.
  6. 제5 항에 있어서,
    상기 투과영역에는 상기 기판으로부터 상기 투명배선전극 및 상기 절연층이 순서대로 배치된 것을 특징으로 하는 투명 디스플레이 패널.
  7. 제5 항에 있어서,
    상기 표시화소영역에는 상기 기판으로부터 상기 구동소자, 상기 절연층 및 상기 배선전극이 순서대로 배치된 것을 특징으로 하는 투명 디스플레이 패널.
  8. 제5 항에 있어서,
    상기 절연층은 적어도 하나의 개구부를 포함하고, 상기 개구부를 통하여 배선전극과 투명배선전극이 연결된 것을 특징으로 하는 투명 디스플레이 패널.
  9. 제1 항에 있어서,
    상기 구동소자는 액티브전극, 게이트전극, 절연층, 소스전극 및 드레인전극을 포함하고,
    상기 투명배선전극은 상기 구동소자의 전극 중 선택된 전극과 동일한 재질인 것을 특징으로 하는 투명 디스플레이 패널
  10. 제1 항에 있어서,
    상기 투명배선전극은 H2 또는 He 플라즈마 처리된 것을 특징으로 하는 투명 디스플레이 패널.
  11. 투과영역 및 표시화소영역이 정의된 기판을 준비하는 단계;
    상기 표시화소영역에 구동소자를 형성하는 단계;
    상기 표시화소영역에 배선전극을 형성하는 단계;
    상기 투과영역에 투명배선전극을 형성하는 단계; 및
    상기 투명배선전극을 도체화하는 단계를 포함하는 투명 디스플레이 패널 제조방법.
  12. 제11 항에 있어서,
    상기 투명배선전극을 도체화하는 단계는; 상기 투명배선전극을 H2 또는 He 플라즈마 처리하는 단계를 포함하는 투명 디스플레이 패널 제조방법.
  13. 제11 항에 있어서,
    상기 구동소자를 형성하는 단계는 액티브전극, 게이트전극, 절연층, 소스 전극, 드레인 전극 및 상기 구동소자와 연결된 배선전극을 형성하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 투명 디스플레이 패널 제조방법.
  14. 제13 항에 있어서,
    상기 투명배선전극을 형성하는 단계는 상기 구동소자를 형성하는 단계에 포함되는 것을 특징으로 하는 투명 디스플레이 패널 제조방법.
  15. 제13 항에 있어서,
    상기 구동소자를 형성하는 단계는 상기 절연층에 개구부를 형성하는 단계를 포함하고,
    상기 개구부를 통해 상기 투명배선전극과 상기 배선전극을 연결하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 투명 디스플레이 패널 제조방법.
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