KR20160027393A - 개선된 부상 방식의 기판 코팅 장치, 코팅 시스템, 및 코팅 방법 - Google Patents

개선된 부상 방식의 기판 코팅 장치, 코팅 시스템, 및 코팅 방법 Download PDF

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Abstract

본 발명은 개선된 부상 방식의 기판 코팅 장치, 코팅 시스템, 및 코팅 방법을 개시한다.
본 발명의 일 실시예에 따른 부상 방식의 기판 코팅 장치는 기판을 부상 방식으로 지지하는 스테이지; 상기 스테이지 상에서 상기 기판을 부상 방식으로 이송하는 기판 이송 장치; 상기 스테이지 상에 제공되며, 상기 기판 상에 코팅액을 도포하기 위한 노즐 장치; 및 상기 기판의 상부에 에어 커튼을 제공하도록 상기 노즐 장치의 전단에 제공되는 에어 공급 장치를 포함하는 것을 특징으로 한다.

Description

개선된 부상 방식의 기판 코팅 장치, 코팅 시스템, 및 코팅 방법{Improved Floating-Type Coating Apparatus, System, and Method of Substrate}
본 발명은 PDP 패널, LCD 패널, 및 유기 발광소자(OLED) 등과 같은 평판 패널 디스플레이(FPD)의 제조에 사용되는 개선된 부상 방식의 기판 코팅 장치, 코팅 시스템, 및 코팅 방법에 관한 것이다.
좀 더 구체적으로, 본 발명은 부상 방식의 기판 코팅 장치에서 노즐 장치의 후단에 에어 커튼을 발생하는 에어 공급 장치를 제공하고, 또한 코팅액이 건조된 상태의 기판의 도포 높이를 측정하기 위한 검사 장치의 전단 및 후단에 에어 커튼을 발생하는 제 2 에어 공급 장치를 제공함으로써, 스테이지에서 제공되는 에어 부상력에 의한 기판의 전단 및 후단의 들림 현상이 방지되고, 그에 따라 기판이 일정 높이를 정밀하게 유지하면서 이송되어 도액의 코팅 정밀도 및 검사 정밀도가 현저하게 향상되며, 최종 제품의 불량 발생 가능성이 크게 감소되고, 기판 및/또는 노즐 장치의 손상 또는 파손 발생 가능성이 제거되며, 에어 흡입 장치의 사용 가능성을 배제할 수 있어서 전체 장치의 구성이 단순화되어 제조 비용이 감소될 수 있는 개선된 부상 방식의 기판 코팅 장치, 코팅 시스템, 및 코팅 방법에 관한 것이다.
일반적으로 FPD를 제조하기 위해서는 글래스 기판(이하 "기판"이라 합니다) 상에 코팅액의 도포가 요구되며, 이를 위해 노즐 디스펜서(nozzle dispenser) 또는 슬릿 다이(이하 통칭하여 "노즐 장치"라 합니다)를 구비한 코팅 장치가 사용된다. 이러한 코팅 장치는 기판을 스테이지 상에 위치시킨 후 갠트리(gantry)에 부착된 노즐 장치를 수평방향으로 이동시키면서 다양한 코팅액의 도포 동작을 수행한다. 이러한 코팅액의 도포 동작의 예로는, LCD 패널을 제조하는 경우 LCD 패널 기판 상에 포토레지스트(photoresist: PR), 블랙 매트릭스(Black Matrix: B.M), 컬럼 스페이스(column space: C.S) 등을 형성하기 위해 코팅액을 도포할 수 있다. 또한, PDP 패널을 제조하는 경우 PDP 패널 기판 상에 상유전체, 하유전체, 격벽을 형성하기 위해 코팅액을 도포할 수 있다.
최근에는 상술한 바와 같이 코팅액을 도포하기 위한 장치의 하나로 에어의 분사 또는 분사 및 흡인을 통해 기판을 부상시켜 이송하면서 기판의 표면에 코팅액을 도포하는 부상 방식의 기판 이송 장치 및 코팅 장치가 사용되고 있다.
도 1a는 종래 기술에 따른 부상 방식의 기판 이송 장치 및 이를 구비한 코팅 장치의 사시도를 개략적으로 도시한 도면이고, 도 1b는 도 1a에 도시된 종래 기술에 따른 부상 방식의 기판 이송 장치 및 이를 구비한 코팅 장치의 정면도를 개략적으로 도시한 도면이며, 도 1c는 종래 기술에 따른 부상 방식의 기판 이송 장치의 로딩 영역, 코팅 영역, 및 언로딩 영역에서의 에어 분출구 및 에어 흡입구의 배열 패턴의 일부를 도시한 도면이다. 이러한 도 1a 내지 도 1c에 도시된 종래 기술에 따른 부상 방식의 기판 이송 장치 및 이를 구비한 코팅 장치는 예를 들어 2006년 3월 20일자에 도쿄 엘렉트론 주식회사에 의해 "도포방법 및 도포장치"라는 발명의 명칭으로 일본 특허출원 제 2006-76815호로 출원되어, 2007년 10월 4일자에 공개된 일본 특허출원공개번호 특개 2007-252971호에 상세히 개시되어 있다.
다시 도 1a 내지 도 1c를 참조하면, 종래 기술에 따른 코팅 장치(40)는 부상 방식의 기판 이송 장치(84)를 구비한다. 기판(G)은 예를 들어 이송 암(transfer arm: 미도시)에 의해 스테이지(76)의 로딩 영역(도 1b의 M1 영역)상으로 이송된다. 그 후, 스테이지(76)의 로딩 영역(M1 영역)의 하부에 제공되는 리프트 장치(미도시)에 의해 복수의 리프트핀(lift pin: 86)이 상승하여 기판(G)을 지지한다. 그 후, 복수의 리프트핀(86)이 하강하면 기판(G)은 한 쌍의 리니어 모션 가이드(96) 상에서 이동가능한 한 쌍의 슬라이더(98)에 제공되는 지지부(102) 상의 흡착 패드(104) 상에 진공 흡착 방식으로 장착된다. 로딩 영역(M1 영역) 상에는 복수의 에어 분출구(88)만이 제공된다. 로딩 영역(M1 영역) 상에서 자중(self-weight)에 의해 아래로 휘어진 기판(G)은 에어 분출구(88)를 통해 분출되는 에어에 의해 대략 250 내지 350㎛ 범위의 부상 높이(Ha)로 부상한 상태에서 부상 방식의 기판 이송 장치(84)에 의해 제 1 인터페이스 영역(M2 영역)을 거쳐 코팅 영역(도 1b에 도시된 M3 영역) 상으로(즉, X 방향으로) 이송된다. 제 1 인터페이스 영역(M2 영역) 내에는 진공 펌핑 장치(미도시)와 연결된 에어 흡입구(90)가 부분적으로 설치되어 있다. 기판(G)이 제 1 인터페이스 영역(M2 영역)으로 진입하면, 에어 분출구(88)의 분출력이 에어 흡입구(90)의 흡입력에 의해 일부 상쇄되어 기판(G)은 그 부상 높이가 점차 낮아지면서 코팅 영역(M3영역)으로 진입한다. 코팅 영역(M3 영역)에서는 에어 흡입구(90)의 수가 제 1 인터페이스 영역(M2 영역)에 비해 더 많이 제공되어 기판(G)이 대략 50㎛의 코팅 높이(Hb)로 부상한 상태를 유지하면서 X축 방향으로 이송한다. 이러한 코팅 영역(M3 영역)에서는 노즐 장치(78)가 코팅액(R: 예를 들어 레지스트액)을 공급관(94)을 통해 공급받아 기판(G) 상에 도포한다.
그 후, 코팅액이 도포된 기판(G)은 제 2 인터페이스 영역(M4 영역)으로 이송된다. 제 2 인터페이스 영역(M4 영역)은 제 1 인터페이스 영역(M2 영역)과 마찬가지로 진공 펌핑 장치(미도시)와 연결된 에어 흡입구(90)가 부분적으로 설치되어 있다(도 1a 참조). 기판(G)이 제 2 인터페이스 영역(M4 영역)으로 진입하면, 에어 분출구(88)의 분출력이 에어 흡입구(90)의 흡입력에 의해 일부만 상쇄되어 기판(G)은 그 부상 높이가 점차 높아진다. 그 후, 기판(G)은 언로딩 영역(M5 영역)으로 진입하고, 언로딩 영역(M5 영역)은 로딩 영역(M1 영역)과 마찬가지로 복수의 에어 분출구(88)만이 제공된다. 따라서, 기판(G)은 언로딩 영역(M5 영역)에 제공된 복수의 에어 분출구(88)를 통해 분출되는 에어에 의해 대략 250 내지 350㎛ 범위의 부상 높이(Hc)로 부상한 상태에서 기판(G)은 흡착 패드(104)로부터 제공되는 진공 흡착이 해제된다. 그 후, 언로딩 영역(M5 영역)의 스테이지(76) 하부에 제공되는 리프팅 장치(미도시)에 의해 복수의 리프트핀(86)이 상승하여 기판(G)을 상승시킨 후, 로봇 암(미도시)에 의해 다음 공정 위치로 이송된다.
한편, 노즐 장치(78)가 기판(G) 상에 코팅액을 도포한 후에는 도 1b에 도시된 바와 같이 노즐 장치(78)를 세정하여야 한다. 이를 위해 코팅 장치(40)와는 별도로 제공되며, 상하 방향(즉, Z 방향), 좌우 방향(즉, X 방향) 및 전후 방향(즉, Y 방향)으로 이동 가능한 노즐 리프레시(refresh) 부재(21)가 노즐 장치(78)의 하부로 이송되어 세정이 행해진다. 노즐 리프레시 부재는 노즐 장치(78)가 코팅액을 매회 도포한 후 노즐 장치(78)를 세정하기 위한 프라이밍 장치(미도시) 및 노즐 장치(78)가 예를 들어 코팅액을 20회 도포한 후 노즐 장치(78)를 세정하기 위한 노즐 세정 부재(미도시)를 포함한다.
상술한 종래 기술에 따른 부상 방식의 기판 코팅 장치(40)에서는, 기판(G)을 부상 방식으로 이동시킨다는 점에서 코팅액의 도포 동작이 신속하게 이루어지는 등의 장점이 달성된다.
그러나, 상술한 종래 기술에 따른 부상 방식의 기판 이송 장치(84) 및 이를 구비한 코팅 장치(40)에서는, 복수의 에어 분출구(88) 및 복수의 에어 흡입구(90)가 사용되므로 기판(G)이 스테이지(76) 상에서 부상 방식으로 이송될 때 일정한 높이를 유지하는 것이 용이하지 않다.
좀 더 구체적으로, 도 1d는 종래 기술에 따른 부상 방식의 코팅 장치의 정면도 및 일부 확대도를 개략적으로 도시한 도면이고, 도 1e는 종래 기술에 따른 부상 방식의 코팅 장치의 상면도를 개략적으로 도시한 도면이며, 도 1f는 종래 기술에 따른 부상 방식의 코팅 장치에 의해 코팅액이 도포된 기판의 상태를 도시한 도면이다.
먼저, 도 1d 내지 도 1f를 도 1a 내지 도 1c와 함께 참조하면, 종래 기술에 따른 부상 방식의 코팅 장치(40)에서는, 기판 이송 장치(84)에 의해 기판(G)이 스테이지(76) 상에서 복수의 에어 분출구(88)의 에어 분출력과 복수의 에어 흡입구(90)의 에어 흡입력 간의 차이에 의해 코팅 영역(M3 영역)으로 이송될 때, 기판(G)의 전단부(FE: front edge) 및 후단부(BE: back edge)가 상방향으로 들림 현상이 발생한다. 이러한 들림 현상에 의해 기판(G)은 전단부(FE) 및 후단부(BE)의 상방향 휘어짐이 발생하여, 스테이지(76) 상에서 이송되는 기판(G)의 이송 높이 및 도포 높이 변동의 원인이 된다. 그에 따라, 코팅 영역(M3 영역)에서 노즐 장치(78)에 의해 코팅액이 도포될 때 기판(G)의 전단부(FE) 및 후단부(BE) 상에서는 코팅액의 코팅 높이가 불균일하게 도포될 수 있다. 여기서, 도 1d 내지 도 1f에 도시된 기판(G)의 전단부(FE) 및 후단부(BE)의 상방향 휨 상태는 설명의 편의를 위해 과장되게 도시된 것으로, 실제로는 기판(G)의 전단부(FE) 및 후단부(BE) 사이의 중앙 부분에 비해 수십 미크론(㎛) 정도의 상방향 휨 상태를 갖는다는 점에 유의하여야 한다.
좀 더 구체적으로, 도 1f를 참조하면, 종래 기술에 따른 부상 방식의 코팅 장치(40)에서는, 기판(G)의 전단부(FE) 및 후단부(BE)의 들림 현상에 의해 코팅액(R)은 기판(G)의 전단부(FE) 및 후단부(BE) 상에서 중앙 부분에 비해 더 높은 상태로 도포될 뿐만 아니라, 기판(G)의 전단부(FE) 및 후단부(BE)의 휨 부분에서 코팅액(R) 자체도 불균일한 높이로 도포된다.
한편, 도 1g는 종래 기술에 따른 부상 방식의 코팅 시스템의 정면도를 개략적으로 도시한 도면이다.
도 1g를 도 1a 내지 도 1f와 함께 참조하면, 종래 기술에 따른 부상 방식의 코팅 시스템(100)은 스테이지(76) 상에서 코팅 장치(40)의 후단에 제공되는 건조 장치(80), 및 스테이지(76) 상에서 건조 장치(80)의 후단에 제공되는 검사 장치(82)를 추가로 포함한다.
상술한 종래 기술에 따른 부상 방식의 코팅 시스템(100)에서는, 기판(G)이 스테이지(76) 상에서 건조 장치(80) 및 검사 장치(82)의 하부를 통과하여 이송되는 동안, 종래 기술에 따른 부상 방식의 코팅 장치(40)의 경우와 마찬가지로 기판(G)의 전단부(FE) 및 후단부(BE)에서의 상방향 들림 현상 및 그에 따른 전단부(FE) 및 후단부(BE)의 상방향 휘어짐이 계속 발생한다. 그에 따라, 기판(G)이 건조 장치(80)를 통과하는 동안 기판(G) 상에 도포된 코팅액(R)의 건조 조건이 기판(G)의 전단부(FE), 후단부(BE), 및 그 사이의 중앙 부분에서 서로 상이하게 되어 균일한 건조가 이루어지기 어렵다.
또한, 기판(G)이 검사 장치(82)를 통과하는 동안 기판(G)의 전단부(FE) 및 후단부(BE)에서의 상방향 들림 현상 및 그에 따른 전단부(FE) 및 후단부(BE)의 상방향 휘어짐의 발생에 의해, 검사 장치(82)에 의한 기판(G) 상에서 건조된 코팅액(R)의 높이 측정이 정밀하게 이루어지기 어렵다.
상술한 바와 같이, 종래 기술에 따른 부상 방식의 코팅 장치(40) 및 부상 방식의 코팅 시스템(100)에서는, 기판(G)의 전단부(FE), 후단부(BE), 및 그 사이의 중앙 부분에서 코팅액(R)이 균일한 도포 조건 및 균일한 건조 조건으로 도포 및 건조되기 어려울 뿐만 아니라, 검사 장치(82)에 의한 코팅액(R)의 겅밀한 높이 측정이 어려우며, 그에 따라 최종 제품의 불량이 발생할 가능성이 높아진다.
또한, 종래 기술에 따른 부상 방식의 코팅 장치(40) 및 부상 방식의 코팅 시스템(100)에서는, 기판(G)의 전단부(FE) 및 후단부(BE)에서의 상방향 들림 현상 및 그에 따른 전단부(FE) 및 후단부(BE)의 상방향 휘어짐의 발생에 의해, 노즐 장치(78)에 의한 코팅액(R)의 도포 시 노즐 장치(78)의 코팅액 토출부(미도시)와 기판(G)의 전단부(FE) 및 후단부(BE) 간의 충돌이 발생하여 기판(G) 및/또는 노즐 장치(78)가 손상 또는 파손되는 위험성이 존재한다.
따라서, 상술한 문제점을 해결하기 위한 새로운 방안이 요구된다.
1. 일본 특허출원공개번호 특개 2007-252971호 2. 미국 특허 제7,870,946호
본 발명은 상술한 종래 기술의 문제점을 해결하기 위한 것으로, 기판 코팅 장치에서 노즐 장치의 후단에 에어 커튼을 발생하는 에어 공급 장치를 제공하고, 또한 코팅액이 건조된 상태의 기판의 도포 높이를 측정하기 위한 검사 장치의 전단 및 후단에 에어 커튼을 발생하는 제 2 에어 공급 장치를 제공함으로써, 스테이지에서 제공되는 에어 부상력에 의한 기판의 전단 및 후단의 들림 현상이 방지되고, 그에 따라 기판이 일정 높이를 정밀하게 유지하면서 이송되어 도액의 코팅 정밀도 및 검사 정밀도가 현저하게 향상되며, 최종 제품의 불량 발생 가능성이 크게 감소되고, 기판 및/또는 노즐 장치의 손상 또는 파손 발생 가능성이 제거되며, 에어 흡입 장치의 사용 가능성을 배제할 수 있어서 전체 장치의 구성이 단순화되어 제조 비용이 감소될 수 있는 개선된 부상 방식의 기판 코팅 장치, 코팅 시스템, 및 코팅 방법을 제공하기 위한 것이다.
본 발명의 제 1 특징에 따른 부상 방식의 기판 코팅 장치는 기판을 부상 방식으로 지지하는 스테이지; 상기 스테이지 상에서 상기 기판을 부상 방식으로 이송하는 기판 이송 장치; 상기 스테이지 상에 제공되며, 상기 기판 상에 코팅액을 도포하기 위한 노즐 장치; 및 상기 기판의 상부에 에어 커튼을 제공하도록 상기 노즐 장치의 전단에 제공되는 에어 공급 장치를 포함하는 것을 특징으로 한다.
본 발명의 제 2 특징에 따른 부상 방식의 기판 코팅 시스템은 기판을 부상 방식으로 지지하는 스테이지; 상기 스테이지 상에서 상기 기판을 부상 방식으로 이송하는 기판 이송 장치; 상기 스테이지 상에 제공되며, 상기 기판 상에 코팅액을 도포하기 위한 노즐 장치; 상기 기판의 상부에 제 1 에어 커튼을 제공하도록 상기 노즐 장치의 전단에 제공되는 제 1 에어 공급 장치; 상기 스테이지 상에서 상기 노즐 장치의 후단에 제공되며, 상기 코팅액이 도포된 상기 기판을 건조하기 위한 건조 장치; 상기 스테이지 상에서 상기 건조 장치의 후단에 제공되며, 상기 기판 상의 건조된 상기 코팅액의 도포 높이를 검사하기 위한 검사 장치; 및 상기 기판 상에 제 2 에어 커튼을 제공하도록 상기 검사 장치의 전단 및 후단에 각각 제공되는 한 쌍의 제 2 에어 공급 장치를 포함하는 것을 특징으로 한다.
본 발명의 제 3 특징에 따른 부상 방식의 기판 코팅 방법은 a) 기판 이송 장치에 의해 기판을 스테이지 상에 제공되는 노즐 장치의 하부를 통과하도록 부상 방식으로 이송하는 단계; b) 상기 노즐 장치의 전단에 제공되는 에어 공급 장치에 의해 상기 기판의 상부에 에어 커튼을 제공하는 단계; 및 c) 상기 노즐 장치에 의해 상기 기판 상에 코팅액을 도포하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 한다.
본 발명의 제 4 특징에 따른 부상 방식의 기판 코팅 방법은 a) 기판 이송 장치에 의해 기판을 스테이지 상에 제공되는 노즐 장치의 하부를 통과하도록 부상 방식으로 이송하는 단계; b) 상기 노즐 장치의 전단에 제공되는 제 1 에어 공급 장치에 의해 상기 기판의 상부에 제 1 에어 커튼을 제공하는 단계; c) 상기 노즐 장치에 의해 상기 기판 상에 코팅액을 도포하는 단계; d) 상기 기판 이송 장치에 의해 상기 기판을 상기 스테이지 상에서 상기 노즐 장치의 후단에 제공되는 건조 장치의 하부를 통과하도록 부상 방식으로 이송하면서 상기 건조 장치에 의해 상기 기판 상에 도포된 상기 코팅액을 건조하는 단계; e) 상기 기판 이송 장치에 의해 상기 기판을 상기 스테이지 상에서 상기 건조 장치의 후단에 제공되는 검사 장치의 하부를 통과하도록 부상 방식으로 이송하는 단계; 및 f) 상기 검사 장치의 전단 및 후단에 각각 제공되는 한 쌍의 제 2 에어 공급 장치에 의해 상기 기판의 상부에 제 2 에어 커튼을 제공하면서 상기 검사 장치에 의해 상기 기판 상에 도포된 상기 코팅액의 도포 높이를 검사하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 한다.
본 발명에 따른 개선된 부상 방식의 기판 코팅 장치, 코팅 시스템, 및 코팅 방법을 사용하면 다음과 같은 장점이 달성된다.
1. 에어 부상력에 의한 기판의 전단 및 후단의 들림 현상이 방지된다.
2. 기판이 일정 높이를 정밀하게 유지하면서 이송되어 도액의 코팅 정밀도 및 검사 정밀도가 현저하게 향상된다.
3. 최종 제품의 불량 발생 가능성이 크게 감소된다.
4. 노즐 장치와 기판 간의 충돌 발생 가능성이 최소화되므로, 기판 및/또는 노즐 장치의 손상 또는 파손 발생 가능성이 현저하게 감소된다.
5. 에어 흡입 장치의 사용 가능성을 배제할 수 있어서 전체 장치(즉, 부상 방식의 코팅 장치 및 부상 방식의 코팅 시스템)의 구성이 단순화되어 제조 비용이 감소될 수 있다.
본 발명의 추가적인 장점은 동일 또는 유사한 참조번호가 동일한 구성요소를 표시하는 첨부 도면을 참조하여 이하의 설명으로부터 명백히 이해될 수 있다.
도 1a는 종래 기술에 따른 부상 방식의 기판 이송 장치 및 이를 구비한 코팅 장치의 사시도를 개략적으로 도시한 도면이다.
도 1b는 도 1a에 도시된 종래 기술에 따른 부상 방식의 기판 이송 장치 및 이를 구비한 코팅 장치의 정면도를 개략적으로 도시한 도면이다.
도 1c는 종래 기술에 따른 부상 방식의 기판 이송 장치의 로딩 영역, 코팅 영역, 및 언로딩 영역에서의 에어 분출구 및 에어 흡입구의 배열 패턴의 일부를 도시한 도면이다.
도 1d는 종래 기술에 따른 부상 방식의 코팅 장치의 정면도 및 일부 확대도를 개략적으로 도시한 도면이다.
도 1e는 종래 기술에 따른 부상 방식의 코팅 장치의 상면도를 개략적으로 도시한 도면이다.
도 1f는 종래 기술에 따른 부상 방식의 코팅 장치에 의해 코팅액이 도포된 기판의 상태를 도시한 도면이다.
도 1g는 종래 기술에 따른 부상 방식의 코팅 시스템의 정면도를 개략적으로 도시한 도면이다.
도 2a는 본 발명의 일 실시예에 따른 부상 방식의 기판 코팅 장치의 단면도를 개략적으로 도시한 도면이다.
도 2b는 도 2a에 도시된 본 발명의 일 실시예에 따른 부상 방식의 기판 코팅 장치의 대안적인 실시예의 단면도를 개략적으로 도시한 도면이다.
도 2c는 본 발명의 일 실시예에 따른 부상 방식의 기판 코팅 장치에 의해 코팅액이 도포된 기판의 상태를 도시한 도면이다.
도 2d는 본 발명의 일 실시예에 따른 부상 방식의 기판 코팅 시스템의 단면도를 개략적으로 도시한 도면이다.
도 2e는 도 2d에 도시된 본 발명의 일 실시예에 따른 부상 방식의 기판 코팅 시스템의 대안적인 실시예의 단면도를 개략적으로 도시한 도면이다.
도 3a는 본 발명의 제 1 실시예에 따른 부상 방식의 기판 코팅 방법의 플로우차트를 도시한 도면이다.
도 3b는 본 발명의 제 2 실시예에 따른 부상 방식의 기판 코팅 방법의 플로우차트를 도시한 도면이다.
이하에서 기술하게 될 본 발명의 실시예에 따른 부상 방식의 기판 코팅 장치 및 부상 방식의 기판 코팅 시스템은 후술하는 에어 공급 장치 및 제 2 에어 공급 장치를 사용한다는 점을 제외하고는 도 1a 내지 도 1g를 참조하여 기술한 종래 기술에 따른 부상 방식의 기판 코팅 장치(40) 및 부상 방식의 기판 코팅 시스템(100)과 그 구체적인 구성 및 동작이 실질적으로 동일하다는 점에 유의하여야 한다.
이하에서 본 발명의 실시예 및 도면을 참조하여 본 발명을 상세히 설명한다.
도 2a는 본 발명의 일 실시예에 따른 부상 방식의 기판 코팅 장치의 단면도를 개략적으로 도시한 도면이고, 도 2b는 도 2a에 도시된 본 발명의 일 실시예에 따른 부상 방식의 기판 코팅 장치의 대안적인 실시예의 단면도를 개략적으로 도시한 도면이며, 도 2c는 본 발명의 일 실시예에 따른 부상 방식의 기판 코팅 장치에 의해 코팅액이 도포된 기판의 상태를 도시한 도면이다.
도 2a를 도 1a 내지 도 1c와 함께 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 부상 방식의 기판 코팅 장치(240)는 기판(G)을 부상 방식으로 지지하는 스테이지(276); 상기 스테이지(276) 상에서 상기 기판(G)을 부상 방식으로 이송하는 기판 이송 장치(84); 상기 스테이지(278) 상에 제공되며, 상기 기판(G) 상에 코팅액(R)을 도포하기 위한 노즐 장치(278); 및 상기 기판(G)의 상부에 에어 커튼(air curtain)을 제공하도록 상기 노즐 장치(278)의 전단에 제공되는 에어 공급 장치(290)를 포함한다.
또한, 도 2b를 참조하면, 본 발명의 대안적인 실시예에 따른 부상 방식의 기판 코팅 장치(240)에서는, 노즐 장치(278)의 전단에 제공되는 하나의 에어 공급 장치(290) 대신에 노즐 장치(278)의 전단 및 후단에 각각 제공되는 한 쌍의 에어 공급 장치(290a,290b)가 사용될 수 있다.
상술한 본 발명의 일 실시예 및 대안적인 실시예에 따른 부상 방식의 기판 코팅 장치(240)에 사용되는 에어 공급 장치(290) 및 한 쌍의 에어 공급 장치(290a,290b)는 각각 예를 들어 공지의 초음파 장치로 구현될 수 있다. 이러한 초음파 장치는 내부에 제공되는 초음파 진동자를 이용하여 공기를 진동시켜 일정한 압력의 에어 커튼을 생성할 수 있다. 이러한 초음파 장치 및 이를 이용한 음파 발생 및 에어 커튼 형성 프로세스는 예를 들어 미국 특허 제7,870,946호에 상세히 기술되어 있다.
이하에서는 본 발명의 일 실시예 및 대안적인 실시예에 따른 부상 방식의 기판 코팅 장치(240)를 상세히 기술한다.
다시 도 2a 및 도 2b를 도 1a 내지 도 1c와 함께 참조하면, 본 발명의 일 실시예 및 대안적인 실시예에 따른 부상 방식의 기판 코팅 장치(240)에서는, 기판(G)이 도 1a에 도시된 기판 이송 장치(84)에 의해 스테이지(276) 상에서 부상 방식으로 이송된다. 이 경우, 스테이지(276)에는 도 1c에 도시된 바와 같은 복수의 에어 분출구(88) 및 복수의 에어 흡입구(90)가 형성되어 기판(G)이 스테이지(276) 상에서 부상 방식으로 이송될 때 일정한 높이를 유지한다.
한편, 본 발명의 일 실시예 및 대안적인 실시예에 따른 부상 방식의 기판 코팅 장치(240)에서는, 기판(G)이 스테이지(276) 상에서 노즐 장치(278)의 하부를 통과하여 부상 방식으로 이송될 때, 노즐 장치(278)의 전단에 제공되는 에어 공급 장치(290)(도 2a의 실시예) 또는 노즐 장치(278)의 전단 및 후단에 각각 한 쌍의 에어 공급 장치(290a,290b)(도 2b의 실시예)에 의해 기판(G)의 상부에 제공되는 에어 커튼에 의해 기판(G)의 전단부(FE) 및 후단부(BE)에서 상방향 들림 현상의 발생이 방지되고, 그에 따라 전단부(FE) 및 후단부(BE)의 상방향 휘어짐 발생도 방지된다. 따라서, 기판(G)은 스테이지(276) 상에서 이송되는 동안 평탄한 상태를 유지할 수 있다.
상술한 바와 같이, 본 발명의 일 실시예 및 대안적인 실시예에 따른 부상 방식의 기판 코팅 장치(240)에서는, 에어 공급 장치(290) 또는 한 쌍의 에어 공급 장치(290a,290b)에 의해 기판(G)의 전단부(FE) 및 후단부(BE)의 상방향 들림 현상 및 휘어짐 발생이 방지되어 기판(G)의 전단부(FE) 및 후단부(BE)가 평평한 상태를 유지하므로, 노즐 장치(278)에 의해 기판(G) 상에 코팅액(R)을 도포할 경우 도 2c에 도시된 바와 같이 균일한 높이로 도포될 수 있다.
도 2d는 본 발명의 일 실시예에 따른 부상 방식의 기판 코팅 시스템의 단면도를 개략적으로 도시한 도면이고, 도 2e는 도 2d에 도시된 본 발명의 일 실시예에 따른 부상 방식의 기판 코팅 시스템의 대안적인 실시예의 단면도를 개략적으로 도시한 도면이다.
도 2d를 도 1a 내지 도 1g 및 도 2a 내지 도 2c와 함께 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 부상 방식의 기판 코팅 시스템(200)은 기판(G)을 부상 방식으로 지지하는 스테이지(276); 상기 스테이지(276) 상에서 상기 기판(G)을 부상 방식으로 이송하는 기판 이송 장치(84); 상기 스테이지(278) 상에 제공되며, 상기 기판(G) 상에 코팅액(R)을 도포하기 위한 노즐 장치(278); 상기 기판(G) 상에 제 1 에어 커튼(air curtain)을 제공하도록 상기 노즐 장치(278)의 전단에 제공되는 제 1 에어 공급 장치(290); 상기 스테이지(276) 상에서 상기 노즐 장치(278)의 후단에 제공되며, 상기 코팅액(R)이 도포된 상기 기판(G)을 건조하기 위한 건조 장치(280); 상기 스테이지(276) 상에서 상기 건조 장치(280)의 후단에 제공되며, 상기 기판(G) 상의 건조된 상기 코팅액(R)의 도포 높이를 검사하기 위한 검사 장치(282); 및 상기 기판(G) 상에 제 2 에어 커튼을 제공하도록 상기 검사 장치(282)의 전단 및 후단에 각각 제공되는 한 쌍의 제 2 에어 공급 장치(292a,292b)를 포함한다.
또한, 도 2e를 참조하면, 본 발명의 대안적인 실시예에 따른 부상 방식의 기판 코팅 시스템(200)에서는, 노즐 장치(278)의 전단에 제공되는 제 1 에어 공급 장치(290) 대신에 노즐 장치(278)의 전단 및 후단에 각각 제공되는 한 쌍의 제 1 에어 공급 장치(290a,290b)가 사용될 수 있다.
상술한 본 발명의 일 실시예 및 대안적인 실시예에 따른 부상 방식의 기판 코팅 시스템(240)에 사용되는 제 1 에어 공급 장치(290), 한 쌍의 제 1 에어 공급 장치(290a,290b), 및 한 쌍의 제 2 에어 공급 장치(292a,292b)는 각각 예를 들어 공지의 초음파 장치로 구현될 수 있다.
이하에서는 본 발명의 일 실시예 및 대안적인 실시예에 따른 부상 방식의 기판 코팅 시스템(200)을 상세히 기술한다.
다시 도 2d 및 도 2e를 도 1a 내지 도 1g 및 도 2a 내지 도 2c와 함께 참조하면, 본 발명의 일 실시예 및 대안적인 실시예에 따른 부상 방식의 기판 코팅 시스템(200)에서는, 기판(G)이 도 1a에 도시된 기판 이송 장치(84)에 의해 스테이지(276) 상에서 부상 방식으로 이송된다. 이 경우, 스테이지(276)에는 도 1c에 도시된 바와 같은 에어 분출구(88) 및 복수의 에어 흡입구(90)가 형성되어 기판(G)이 스테이지(276) 상에서 부상 방식으로 이송될 때 일정한 높이를 유지한다.
한편, 본 발명의 일 실시예 및 대안적인 실시예에 따른 부상 방식의 기판 코팅 시스템(200)에서는, 기판(G)이 스테이지(276) 상에서 노즐 장치(278)의 하부를 통과하여 부상 방식으로 이송될 때, 노즐 장치(278)의 전단에 제공되는 제 1 에어 공급 장치(290)(도 2d의 실시예) 또는 노즐 장치(278)의 전단 및 후단에 각각 한 쌍의 제 1 에어 공급 장치(290a,290b)(도 2e의 실시예)에 의해 기판(G)의 상부에 제공되는 제 1 에어 커튼에 의해 기판(G)의 전단부(FE) 및 후단부(BE)에서 상방향 들림 현상의 발생이 방지되고, 그에 따라 전단부(FE) 및 후단부(BE)의 상방향 휘어짐 발생도 방지된다. 따라서, 기판(G)은 스테이지(276) 상에서 이송되는 동안 평탄한 상태를 유지할 수 있다.
상술한 바와 같이, 본 발명의 일 실시예 및 대안적인 실시예에 따른 부상 방식의 기판 코팅 시스템(200)에서는, 제 1 에어 공급 장치(290) 또는 한 쌍의 제 1 에어 공급 장치(290a,290b)에 의해 기판(G)의 전단부(FE) 및 후단부(BE)의 상방향 들림 현상 및 휘어짐 발생이 방지되어 기판(G)의 전단부(FE) 및 후단부(BE)가 평평한 상태를 유지하므로, 노즐 장치(278)에 의해 기판(G) 상에 코팅액(R)을 도포할 경우 도 2c에 도시된 바와 같이 균일한 높이로 도포될 수 있다.
그 후, 기판(G)은 기판 이송 장치(84)에 의해 스테이지(276) 상에서 계속 이송되어 건조 장치(280)를 통과하는 동안 기판(G) 상에 도포된 코팅액(R)이 도 2c에 도시된 바와 같이 기판(G)의 전단부(FE), 후단부(BE), 및 그 사이의 중앙 부분에서 균일한 높이로 도포되므로 균일한 건조가 이루어질 수 있다.
또한, 기판(G)이 기판 이송 장치(84)에 의해 스테이지(276) 상에서 계속 이송되어 검사 장치(282)를 통과하는 동안, 검사 장치(282)의 전단 및 후단에 각각 제공되는 한 쌍의 제 2 에어 공급 장치(292a,292b)에 의해 기판(G)의 전단부(FE) 및 후단부(BE)의 상방향 들림 현상 및 그에 따른 전단부(FE) 및 후단부(BE)의 상방향 휘어짐 발생이 방지된다. 그에 따라, 검사 장치(282)에 의한 기판(G) 상에서 건조된 코팅액(R)의 높이 측정이 매우 정밀하게 이루어질 수 있다.
상술한 바와 같이, 본 발명의 일 실시예 및 대안적인 실시예에 따른 부상 방식의 코팅 시스템(100)에서는, 기판(G)의 전단부(FE), 후단부(BE), 및 그 사이의 중앙 부분에서 코팅액(R)이 균일한 도포 조건 및 균일한 건조 조건으로 도포 및 건조될 수 있을 뿐만 아니라, 검사 장치(282)에 의한 코팅액(R)의 겅밀한 높이 측정이 이루어질 수 있고, 그에 따라 최종 제품의 불량 발생 가능성이 크게 낮아진다.
또한, 상술한 본 발명의 실시예에 따른 부상 방식의 코팅 장치(240) 및 부상 방식의 코팅 시스템(200)에서는, 기판(G)의 전단부(FE) 및 후단부(BE)에서의 상방향 들림 현상 및 그에 따른 전단부(FE) 및 후단부(BE)의 상방향 휘어짐의 발생이 방지되므로, 노즐 장치(278)에 의한 코팅액(R)의 도포 시 노즐 장치(278)의 코팅액 토출부(미도시)와 기판(G)의 전단부(FE) 및 후단부(BE) 간의 충돌 발생 가능성이 최소화되므로, 기판(G) 및/또는 노즐 장치(78)가 손상 또는 파손될 위험성이 현저하게 감소된다.
또한, 상술한 도 2a 내지 도 2e에 도시된 본 발명의 실시예에 따른 부상 방식의 코팅 장치(240) 및 부상 방식의 코팅 시스템(200)에서는, 스테이지(276)에 도 1c에 도시된 바와 같은 복수의 에어 분출구(88)만이 사용되어 에어 분출력만 제공되는 것으로 예시적으로 도시되어 있지만, 당업자라면 스테이지(276)에 도 1c에 도시된 바와 같은 복수의 에어 분출구(88) 및 복수의 에어 흡입구(90)가 모두 사용되어 에어 분출력 및 에어 흡입력이 함께 제공될 수 있다는 것을 충분히 이해될 수 있을 것이다. 이 때, 스테이지(276)에 도 1c에 도시된 바와 같은 복수의 에어 분출구(88)만 사용되는 경우에는, 복수의 에어 흡입구(90)를 사용하지 않으므로 스테이지(276) 내에 별도의 에어 흡입 장치(미도시)를 설치할 필요가 없게 되어 부상 방식의 코팅 장치(240) 및 부상 방식의 코팅 시스템(200)의 전체 구성이 단순화되어 제조 비용이 감소될 수 있다.
도 3a는 본 발명의 제 1 실시예에 따른 부상 방식의 기판 코팅 방법의 플로우차트를 도시한 도면이다.
도 3a를 도 1a 내지 도 1c 및 도 2a 내지 도 2c와 함께 참조하면, 본 발명의 제 1 실시예에 따른 부상 방식의 기판 코팅 방법(300)은 a) 기판 이송 장치(84)에 의해 기판(G)을 스테이지(276) 상에 제공되는 노즐 장치(278)의 하부를 통과하도록 부상 방식으로 이송하는 단계(310); b) 상기 노즐 장치(278)의 전단에 제공되는 에어 공급 장치(290)에 의해 상기 기판(G)의 상부에 에어 커튼을 제공하는 단계(320); 및 c) 상기 노즐 장치(278)에 의해 상기 기판(G) 상에 코팅액(R)을 도포하는 단계(330)를 포함한다.
상술한 본 발명의 제 1 실시예에 따른 부상 방식의 기판 코팅 방법(300)에서, 상기 b) 단계는 상기 노즐 장치(278)의 전단 및 후단에 각각 제공되는 한 쌍의 에어 공급 장치(290a,290b)에 의해 상기 기판(G)의 상부에 상기 에어 커튼을 제공하는 단계로 구현될 수 있다.
또한, 본 발명의 제 1 실시예에 따른 부상 방식의 기판 코팅 방법(300)에서, 상기 에어 공급 장치(290) 또는 상기 한 쌍의 에어 공급 장치(290a,290b)는 각각 초음파 장치로 구현되고, 상기 에어 커튼은 상기 초음파 장치의 내부에 제공되는 초음파 진동자를 이용하여 공기를 진동시켜 생성될 수 있다.
도 3b는 본 발명의 제 2 실시예에 따른 부상 방식의 기판 코팅 방법의 플로우차트를 도시한 도면이다.
도 3b를 도 1a 내지 도 1g 및 도 2a 내지 도 2e와 함께 참조하면, 본 발명의 제 2 실시예에 따른 부상 방식의 기판 코팅 방법(300)은 a) 기판 이송 장치(84)에 의해 기판(G)을 스테이지(276) 상에 제공되는 노즐 장치(278)의 하부를 통과하도록 부상 방식으로 이송하는 단계(310); b) 상기 노즐 장치(278)의 전단에 제공되는 제 1 에어 공급 장치(290)에 의해 상기 기판(G)의 상부에 제 1 에어 커튼을 제공하는 단계(320); c) 상기 노즐 장치(278)에 의해 상기 기판(G) 상에 코팅액(R)을 도포하는 단계(330); d) 상기 기판 이송 장치(84)에 의해 상기 기판(G)을 상기 스테이지(276) 상에서 상기 노즐 장치(278)의 후단에 제공되는 건조 장치(280)의 하부를 통과하도록 부상 방식으로 이송하면서 상기 건조 장치(280)에 의해 상기 기판(G) 상에 도포된 상기 코팅액(R)을 건조하는 단계(340); e) 상기 기판 이송 장치(84)에 의해 상기 기판(G)을 상기 스테이지(276) 상에서 상기 건조 장치(280)의 후단에 제공되는 검사 장치(282)의 하부를 통과하도록 부상 방식으로 이송하는 단계(350); 및 f) 상기 검사 장치(282)의 전단 및 후단에 각각 제공되는 한 쌍의 제 2 에어 공급 장치(290a,290b)에 의해 상기 기판(G)의 상부에 제 2 에어 커튼을 제공하면서 상기 검사 장치(282)에 의해 상기 기판(G) 상에 도포된 상기 코팅액(R)의 도포 높이를 검사하는 단계(360)를 포함한다.
상술한 본 발명의 제 2 실시예에 따른 부상 방식의 기판 코팅 방법(300)에서, 상기 b) 단계는 상기 노즐 장치(278)의 전단 및 후단에 각각 제공되는 한 쌍의 제 1 에어 공급 장치(290a,290b)에 의해 상기 기판(G)의 상부에 상기 제 1 에어 커튼을 제공하는 단계로 구현될 수 있다.
또한, 본 발명의 제 2 실시예에 따른 부상 방식의 기판 코팅 방법(300)에서, 상기 제 1 에어 공급 장치(290) 또는 상기 한 쌍의 제 1 에어 공급 장치(290a,290b), 및 상기 한 쌍의 제 2 에어 공급 장치(290a,290b)는 각각 초음파 장치로 구현되고, 상기 제 1 에어 커튼 및 상기 제 2 에어 커튼은 각각 상기 초음파 장치의 내부에 제공되는 초음파 진동자를 이용하여 공기를 진동시켜 생성될 수 있다.
다양한 변형예가 본 발명의 범위를 벗어남이 없이 본 명세서에 기술되고 예시된 구성 및 방법으로 만들어질 수 있으므로, 상기 상세한 설명에 포함되거나 첨부 도면에 도시된 모든 사항은 예시적인 것으로 본 발명을 제한하기 위한 것이 아니다. 따라서, 본 발명의 범위는 상술한 예시적인 실시예에 의해 제한되지 않으며, 이하의 청구범위 및 그 균등물에 따라서만 정해져야 한다.
21: 노즐 리프레시 부재 40,240: 코팅 장치 79: 갠트리
76,276: 스테이지 78,278: 노즐 장치 80,280: 건조 장치
82,282: 검사 장치 84: 기판 이송 장치 86: 리프트핀
88: 에어 분출구 90: 에어 흡입구 98: 슬라이더
96: 리니어 모션 가이드 100,200: 코팅 시스템 102: 지지부
104: 흡착 패드 290,290a,290b,292,292a,292b: 에어 공급 장치

Claims (14)

  1. 부상 방식의 기판 코팅 장치에 있어서,
    기판을 부상 방식으로 지지하는 스테이지;
    상기 스테이지 상에서 상기 기판을 부상 방식으로 이송하는 기판 이송 장치;
    상기 스테이지 상에 제공되며, 상기 기판 상에 코팅액을 도포하기 위한 노즐 장치; 및
    상기 기판의 상부에 에어 커튼을 제공하도록 상기 노즐 장치의 전단에 제공되는 에어 공급 장치
    를 포함하는 부상 방식의 기판 코팅 장치.
  2. 제 1항에 있어서,
    상기 노즐 장치 대신 상기 노즐 장치의 전단 및 후단에 각각 제공되는 한 쌍의 에어 공급 장치가 사용되는 부상 방식의 기판 코팅 장치.
  3. 제 1항 또는 제 2항에 있어서,
    상기 에어 공급 장치 또는 상기 한 쌍의 에어 공급 장치는 각각 초음파 장치로 구현되는 부상 방식의 기판 코팅 장치.
  4. 제 3항에 있어서,
    상기 초음파 장치는 내부에 제공되는 초음파 진동자를 이용하여 공기를 진동시켜 일정한 압력의 상기 에어 커튼을 생성하는 부상 방식의 기판 코팅 장치.
  5. 부상 방식의 기판 코팅 시스템에 있어서,
    기판을 부상 방식으로 지지하는 스테이지;
    상기 스테이지 상에서 상기 기판을 부상 방식으로 이송하는 기판 이송 장치;
    상기 스테이지 상에 제공되며, 상기 기판 상에 코팅액을 도포하기 위한 노즐 장치;
    상기 기판의 상부에 제 1 에어 커튼을 제공하도록 상기 노즐 장치의 전단에 제공되는 제 1 에어 공급 장치;
    상기 스테이지 상에서 상기 노즐 장치의 후단에 제공되며, 상기 코팅액이 도포된 상기 기판을 건조하기 위한 건조 장치;
    상기 스테이지 상에서 상기 건조 장치의 후단에 제공되며, 상기 기판 상의 건조된 상기 코팅액의 도포 높이를 검사하기 위한 검사 장치; 및
    상기 기판 상에 제 2 에어 커튼을 제공하도록 상기 검사 장치의 전단 및 후단에 각각 제공되는 한 쌍의 제 2 에어 공급 장치
    를 포함하는 부상 방식의 기판 코팅 시스템.
  6. 제 5항에 있어서,
    상기 노즐 장치 대신 상기 노즐 장치의 전단 및 후단에 각각 제공되는 한 쌍의 제 1 에어 공급 장치가 사용되는 부상 방식의 기판 코팅 시스템.
  7. 제 5항 또는 제 6항에 있어서,
    상기 제 1 에어 공급 장치 또는 상기 제 1 한 쌍의 에어 공급 장치, 및 상기 한 쌍의 제 2 에어 공급 장치는 각각 초음파 장치로 구현되는 부상 방식의 기판 코팅 시스템.
  8. 제 7항에 있어서,
    상기 초음파 장치는 내부에 제공되는 초음파 진동자를 이용하여 공기를 진동시켜 일정한 압력의 상기 에어 커튼을 생성하는 부상 방식의 기판 코팅 시스템.
  9. 부상 방식의 기판 코팅 방법에 있어서,
    a) 기판 이송 장치에 의해 기판을 스테이지 상에 제공되는 노즐 장치의 하부를 통과하도록 부상 방식으로 이송하는 단계;
    b) 상기 노즐 장치의 전단에 제공되는 에어 공급 장치에 의해 상기 기판의 상부에 에어 커튼을 제공하는 단계; 및
    c) 상기 노즐 장치에 의해 상기 기판 상에 코팅액을 도포하는 단계
    를 포함하는 부상 방식의 기판 코팅 방법.
  10. 제 9항에 있어서,
    상기 b) 단계는 상기 노즐 장치의 전단 및 후단에 각각 제공되는 한 쌍의 에어 공급 장치에 의해 상기 기판의 상부에 상기 에어 커튼을 제공하는 단계로 구현되는 부상 방식의 기판 코팅 방법.
  11. 제 9항 또는 제 10항에 있어서,
    상기 에어 공급 장치 또는 상기 한 쌍의 에어 공급 장치는 각각 초음파 장치로 구현되고,
    상기 에어 커튼은 상기 초음파 장치의 내부에 제공되는 초음파 진동자를 이용하여 공기를 진동시켜 생성되는
    부상 방식의 기판 코팅 방법.
  12. 부상 방식의 기판 코팅 방법에 있어서,
    a) 기판 이송 장치에 의해 기판을 스테이지 상에 제공되는 노즐 장치의 하부를 통과하도록 부상 방식으로 이송하는 단계;
    b) 상기 노즐 장치의 전단에 제공되는 제 1 에어 공급 장치에 의해 상기 기판의 상부에 제 1 에어 커튼을 제공하는 단계;
    c) 상기 노즐 장치에 의해 상기 기판 상에 코팅액을 도포하는 단계;
    d) 상기 기판 이송 장치에 의해 상기 기판을 상기 스테이지 상에서 상기 노즐 장치의 후단에 제공되는 건조 장치의 하부를 통과하도록 부상 방식으로 이송하면서 상기 건조 장치에 의해 상기 기판 상에 도포된 상기 코팅액을 건조하는 단계;
    e) 상기 기판 이송 장치에 의해 상기 기판을 상기 스테이지 상에서 상기 건조 장치의 후단에 제공되는 검사 장치의 하부를 통과하도록 부상 방식으로 이송하는 단계; 및
    f) 상기 검사 장치의 전단 및 후단에 각각 제공되는 한 쌍의 제 2 에어 공급 장치에 의해 상기 기판의 상부에 제 2 에어 커튼을 제공하면서 상기 검사 장치에 의해 상기 기판 상에 도포된 상기 코팅액의 도포 높이를 검사하는 단계
    를 포함하는 부상 방식의 기판 코팅 방법.
  13. 제 12항에 있어서,
    상기 b) 단계는 상기 노즐 장치의 전단 및 후단에 각각 제공되는 한 쌍의 제 1 에어 공급 장치에 의해 상기 기판의 상부에 상기 제 1 에어 커튼을 제공하는 단계로 구현되는 부상 방식의 기판 코팅 방법.
  14. 제 12항 또는 제 13항에 있어서,
    상기 제 1 에어 공급 장치 또는 상기 한 쌍의 제 1 에어 공급 장치는 각각 초음파 장치로 구현되고,
    상기 제 1 에어 커튼 및 상기 제 2 에어 커튼은 각각 상기 초음파 장치의 내부에 제공되는 초음파 진동자를 이용하여 공기를 진동시켜 생성되는
    부상 방식의 기판 코팅 방법.
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