KR20160017325A - 표시 장치의 제조 장치 및 표시 장치의 제조 방법 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 표시 장치의 제조 장치 및 표시 장치의 제조 방법을 개시한다. 본 발명은, 표시부가 형성된 기판이 안착되는 안착부와, 상기 표시부로부터 이격되어 배치되며, 플라즈마를 상기 기판에 분사하는 플라즈마 분사부와, 상기 기판 상에 배치되어 상기 표시부을 가리는 마스크를 포함하고, 상기 마스크는, 상기 표시부에 대응되는 바디부와, 상기 바디부의 끝단에 상기 기판으로 돌출되도록 형성되는 돌출부를 구비한다.

Description

표시 장치의 제조 장치 및 표시 장치의 제조 방법{Apparatus for manufacturing display apparatus and method of manufacturing display apparatus}
본 발명의 실시예들은 장치 및 방법에 관한 것으로서, 더 상세하게는 표시 장치의 제조 장치 및 표시 장치의 제조 방법에 관한 것이다.
이동성을 기반으로 하는 전자 기기가 폭 넓게 사용되고 있다. 이동용 전자 기기로는 모바일 폰과 같은 소형 전자 기기 이외에도 최근 들어 태블릿 PC가 널리 사용되고 있다.
이와 같은 이동형 전자 기기는 다양한 기능을 지원하기 위하여, 이미지 또는 영상과 같은 시각 정보를 사용자에게 제공하기 위하여 표시 장치를 포함한다. 최근, 표시 장치를 구동하기 위한 기타 부품들이 소형화됨에 따라, 표시 장치가 전자 기기에서 차지하는 비중이 점차 증가하고 있는 추세이다.
이러한 표시 장치는 다양한 구조로 형성될 수 있다. 이때, 표시 장치는 기판과 표시부, 표시부를 밀봉하는 봉지 기판을 구비하고, 봉지 기판과 기판 사이를 실링하는 실링제를 구비할 수 있다. 이때, 실링제의 접착력에 따라서 봉지 기판과 기판의 접착력이 좌우될 수 있다.
본 발명의 실시예들은 표시 장치의 제조 장치 및 표시 장치의 제조 방법을 제공한다.
본 발명의 일 실시예는 표시부가 형성된 기판이 안착되는 안착부와, 상기 표시부로부터 이격되어 배치되며, 플라즈마를 상기 기판에 분사하는 플라즈마 분사부와, 상기 기판 상에 배치되어 상기 표시부을 가리는 마스크를 포함하고, 상기 마스크는, 상기 표시부에 대응되는 바디부와, 상기 바디부의 끝단에 상기 기판으로 돌출되도록 형성되는 돌출부를 구비하는 표시 장치의 제조 장치를 개시한다.
본 실시예에 있어서, 상기 돌출부는 상기 바디부의 테두리를 감싸도록 설치될 수 있다.
본 실시예에 있어서, 상기 돌출부는 상기 바디부로부터 경사지게 형성될 수 있다.
본 실시예에 있어서, 상기 돌출부는 상기 바디부로부터 상기 기판 측으로 갈수록 상기 바디부로부터 멀어지도록 경사지게 형성될 수 있다.
본 실시예에 있어서, 상기 돌출부는 상기 바디부에 착탈 가능하도록 결합할 수 있다.
본 실시예에 있어서, 상기 돌출부는 유연한 재질로 형성될 수 있다.
본 실시예에 있어서, 상기 돌출부의 표면은 불소 코팅될 수 있다.
본 실시예에 있어서, 상기 안착부, 상기 플라즈마 분사부 및 상기 마스크가 내부에 배치되는 챔버를 더 포함할 수 있다.
본 실시예에 있어서, 상기 챔버에 연결되어 상기 챔버 내부 압력을 제어하는 압력조절유닛을 더 포함할 수 있다.
본 실시예에 있어서, 상기 기판과 상기 마스크의 위치를 측정하는 위치측정부를 더 포함할 수 있다.
본 발명의 다른 실시예는 표시 영역 상에 표시부를 형성한 기판을 챔버 내부로 장입시키는 단계와, 상기 표시 영역 상에 마스크를 배치한 후 플라즈마를 분사하여 상기 기판의 비표시 영역을 에칭하는 단계를 포함하고, 상기 플라즈마는 상기 기판과 상기 마스크 사이로의 진입이 차단되는 표시 장치의 제조 방법을 개시한다.
본 실시예에 있어서, 상기 마스크는, 상기 표시 영역 상에 배치되는 바디부와, 상기 바디부로부터 상기 기판 측으로 도출되도록 형성되어 상기 플라즈마가 상기 기판과 상기 바디부 사이의 공간으로 진입하는 것을 차단하는 돌출부를 구비할 수 있다.
본 실시예에 있어서, 상기 돌출부는 유연한 재질로 형성될 수 있다.
본 실시예에 있어서, 상기 마스크와 상기 기판을 얼라인하는 단계를 더 포함할 수 있다.
본 실시예에 있어서, 상기 비표시 영역을 에싱하는 단계는 진공 상태에서 진행될 수 있다.
본 실시예에 있어서, 상기 표시 영역에 대향 전극을 형성하는 단계를 더 포함할 수 있다.
본 발명의 실시예들에 관한 표시 장치의 제조 장치 및 제조 방법은 암점 및 명점을 최소화할 수 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 표시 장치의 제조 장치를 통하여 제조된 표시 장치를 보여주는 단면도이다.
도 2는 도 1에 도시된 표시 영역의 일부를 보여주는 단면도이다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 표시 장치의 제조 장치를 보여주는 개념도이다.
도 4는 도 3에 도시된 A 부분을 확대하여 보여주는 단면도이다.
도 5는 도 4에 도시된 돌출부의 다양한 실시예를 보여주는 단면도이다.
본 발명은 다양한 변환을 가할 수 있고 여러 가지 실시예를 가질 수 있는 바, 특정 실시예들을 도면에 예시하고 상세한 설명에 상세하게 설명하고자 한다. 본 발명의 효과 및 특징, 그리고 그것들을 달성하는 방법은 도면과 함께 상세하게 후술되어 있는 실시예들을 참조하면 명확해질 것이다. 그러나 본 발명은 이하에서 개시되는 실시예들에 한정되는 것이 아니라 다양한 형태로 구현될 수 있다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예들을 상세히 설명하기로 하며, 도면을 참조하여 설명할 때 동일하거나 대응하는 구성 요소는 동일한 도면부호를 부여하고 이에 대한 중복되는 설명은 생략하기로 한다.
이하의 실시예에서, 제1, 제2 등의 용어는 한정적인 의미가 아니라 하나의 구성 요소를 다른 구성 요소와 구별하는 목적으로 사용되었다.
이하의 실시예에서, 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다.
이하의 실시예에서, 포함하다 또는 가지다 등의 용어는 명세서상에 기재된 특징, 또는 구성요소가 존재함을 의미하는 것이고, 하나 이상의 다른 특징들 또는 구성요소가 부가될 가능성을 미리 배제하는 것은 아니다.
이하의 실시예에서, 막, 영역, 구성 요소 등의 부분이 다른 부분 위에 또는 상에 있다고 할 때, 다른 부분의 바로 위에 있는 경우뿐만 아니라, 그 중간에 다른 막, 영역, 구성 요소 등이 개재되어 있는 경우도 포함한다.
도면에서는 설명의 편의를 위하여 구성 요소들이 그 크기가 과장 또는 축소될 수 있다. 예컨대, 도면에서 나타난 각 구성의 크기 및 두께는 설명의 편의를 위해 임의로 나타내었으므로, 본 발명이 반드시 도시된 바에 한정되지 않는다.
이하의 실시예에서, x축, y축 및 z축은 직교 좌표계 상의 세 축으로 한정되지 않고, 이를 포함하는 넓은 의미로 해석될 수 있다. 예를 들어, x축, y축 및 z축은 서로 직교할 수도 있지만, 서로 직교하지 않는 서로 다른 방향을 지칭할 수도 있다.
어떤 실시예가 달리 구현 가능한 경우에 특정한 공정 순서는 설명되는 순서와 다르게 수행될 수도 있다. 예를 들어, 연속하여 설명되는 두 공정이 실질적으로 동시에 수행될 수도 있고, 설명되는 순서와 반대의 순서로 진행될 수 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 표시 장치의 제조 장치를 통하여 제조된 표시 장치를 보여주는 단면도이다. 도 2는 도 1에 도시된 표시 영역의 일부를 보여주는 단면도이다.
도 1 및 도 2를 참고하면, 표시 장치(100)는 기판(110) 및 표시부(E)를 포함할 수 있다. 또한, 표시 장치(100)는 표시부(E)의 상부에 형성되는 봉지 기판(112)을 포함할 수 있다. 이때, 봉지 기판(112)은 일반적인 표시 장치에 사용되는 것과 동일 또는 유사하므로 상세한 설명은 생략하기로 한다.
표시 장치(100)는 기판(111)과 봉지 기판(112) 상에 형성되는 실링제(113)를 포함할 수 있다. 이때, 실링제(113)는 기판(111)과 봉지 기판(112)을 부착하여 표시부(E)를 밀봉시키는 일반적인 실링제와 동일 또는 유사하므로 상세한 설명은 생략하기로 한다.
표시 장치(100)는 기판(111)과 봉지 기판(112) 사이에 배치되는 게터(114)를 포함할 수 있다. 이때, 게터(114)는 일반적으로 수분이나 산소를 흡수하는 물질과 동일 또는 유사하므로 상세한 설명은 생략하기로 한다.
상기와 같은 표시 장치(100)는 표시부(E)가 형성되는 표시 영역(DA)과 표시부(E)가 형성되지 않는 비표시 영역(NDA)으로 구분될 수 있다.
한편, 기판(110) 상에 표시부(E)가 형성될 수 있다. 이때, 표시부(E)는 박막 트랜지스터(TFT) 이 구비되고, 이들을 덮도록 패시베이션막(170)이 형성되며, 이 패시베이션막(170) 상에 유기 발광 소자(180)가 형성될 수 있다.
이때, 기판(110)은 유리 재질을 사용할 수 있는 데, 반드시 이에 한정되지 않으며, 플라스틱재를 사용할 수도 있으며, SUS, Ti과 같은 금속재를 사용할 수도 있다. 또한, 기판(110)는 폴리이미드(PI, Polyimide)를 사용할 수 있다. 이하에서는 설명의 편의를 위하여 기판(110)이 유리 재질로 형성되는 경우를 중심으로 상세히 설명하기로 한다.
기판(110)의 상면에는 유기화합물 및/또는 무기화합물로 이루어진 버퍼층(120)이 더 형성되는 데, SiOx(x≥1), SiNx(x≥1)로 형성될 수 있다.
이 버퍼층(120) 상에 소정의 패턴으로 배열된 활성층(130)이 형성된 후, 활성층(130)이 게이트 절연층(140)에 의해 매립된다. 활성층(130)은 소스 영역(131)과 드레인 영역(133)을 갖고, 그 사이에 채널 영역(132)을 더 포함한다.
이러한 활성층(130)은 다양한 물질을 함유하도록 형성될 수 있다. 예를 들면, 활성층(130)은 비정질 실리콘 또는 결정질 실리콘과 같은 무기 반도체 물질을 함유할 수 있다. 다른 예로서 활성층(130)은 산화물 반도체를 함유할 수 있다. 또 다른 예로서, 활성층(130)은 유기 반도체 물질을 함유할 수 있다. 다만, 이하에서는 설명의 편의를 위하여 활성층(130)이 비정질 실리콘으로 형성되는 경우를 중심으로 상세히 설명하기로 한다.
이러한 활성층(130)은 버퍼층(120) 상에 비정질 실리콘막을 형성한 후, 이를 결정화하여 다결정질 실리콘막으로 형성하고, 이 다결정질 실리콘막을 패터닝하여 형성할 수 있다. 상기 활성층(130)은 구동 TFT(미도시), 스위칭 TFT(미도시) 등 TFT 종류에 따라, 그 소스 영역(131) 및 드레인 영역(133)이 불순물에 의해 도핑된다.
게이트 절연층(140)의 상면에는 활성층(130)과 대응되는 게이트 전극(150)과 이를 매립하는 층간 절연층(160)이 형성된다.
그리고, 층간 절연층(160)과 게이트 절연층(140)에 콘택홀(H1)을 형성한 후, 층간 절연층(160) 상에 소스 전극(171) 및 드레인 전극(172)을 각각 소스 영역(131) 및 드레인 영역(133)에 콘택되도록 형성한다.
이렇게 형성된 상기 박막 트랜지스터의 상부로는 패시베이션막(170)이 형성되고, 이 패시베이션막(170) 상부에 유기 발광 소자(OLED)의 화소 전극(181)이 형성된다. 이 화소 전극(181)은 패시베이션막(170)에 형성된 비아 홀(H2)에 의해 TFT의 드레인 전극(172)에 콘택된다. 상기 패시베이션막(170)은 무기물 및/또는 유기물, 단층 또는 2개층 이상으로 형성될 수 있는 데, 하부 막의 굴곡에 관계없이 상면이 평탄하게 되도록 평탄화막으로 형성될 수도 있는 반면, 하부에 위치한 막의 굴곡을 따라 굴곡이 가도록 형성될 수 있다. 그리고, 이 패시베이션막(170)은, 공진 효과를 달성할 수 있도록 투명 절연체로 형성되는 것이 바람직하다.
패시베이션막(170) 상에 화소 전극(181)을 형성한 후에는 이 화소 전극(181) 및 패시베이션막(170)을 덮도록 화소 정의막(190)이 유기물 및/또는 무기물에 의해 형성되고, 화소 전극(181)이 노출되도록 개구된다.
그리고, 적어도 상기 화소 전극(181) 상에 중간층(182) 및 대향 전극(183)이 형성된다.
화소 전극(181)은 애노드 전극의 기능을 하고, 대향 전극(183)은 캐소오드 전극의 기능을 하는 데, 물론, 이들 화소 전극(181)과 대향 전극(183)의 극성은 반대로 되어도 무방하다.
화소 전극(181)과 대향 전극(183)은 상기 중간층(182)에 의해 서로 절연되어 있으며, 중간층(182)에 서로 다른 극성의 전압을 가해 유기 발광층에서 발광이 이뤄지도록 한다.
중간층(182)은 유기 발광층을 구비할 수 있다. 선택적인 다른 예로서, 중간층(182)은 유기 발광층(organic emission layer)을 구비하고, 그 외에 정공 주입층(HIL:hole injection layer), 정공 수송층(hole transport layer), 전자 수송층(electron transport layer) 및 전자 주입층(electron injection layer) 중 적어도 하나를 더 구비할 수 있다.
한편, 하나의 단위 화소(P)는 복수의 부화소(R,G,B)로 이루어지는데, 복수의 부화소(R,G,B)는 다양한 색의 빛을 방출할 수 있다. 예를 들면 복수의 부화소(R,G,B)는 각각 적색, 녹색 및 청색의 빛을 방출하는 부화소(R,G,B)를 구비할 수 있고, 적색, 녹색, 청색 및 백색의 빛을 방출하는 부화소(미표기)를 구비할 수 있다.
상기와 같은 복수의 부화소(R,G,B)는 각각 다양한 색의 빛을 방출하는 유기 발광층을 구비하는 중간층(182)을 구비할 수 있다. 예를 들면 복수의 부화소(R,G,B)는 각각 적색, 녹색 및 청색의 빛을 방출하는 유기 발광층을 구비하는 중간층(182)을 포함한다.
이하에서는 표시 장치의 제조 장치(미도시) 및 상기 표시 장치의 제조 장치를 통하여 표시 장치(100)를 제조하는 방법에 대해서 상세히 설명하기로 한다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 표시 장치의 제조 장치를 보여주는 개념도이다. 도 4는 도 3에 도시된 A 부분을 확대하여 보여주는 단면도이다. 도 5는 도 4에 도시된 돌출부의 다양한 실시예를 보여주는 단면도이다.
도 3 내지 도 5를 참고하면, 표시 장치의 제조 장치(200)는 챔버(210), 안착부(230), 플라즈마 분사부(240), 마스크(250), 마스크고정부(260), 압력조절유닛(270) 및 위치측정부(280)를 포함할 수 있다.
챔버(210)는 내부에 공간이 형성되며, 개구부(210a)가 형성될 수 있다. 이때, 개구부(210a)에는 도어(220)가 설치되어 개구부(210a)를 개폐할 수 있다.
안착부(230)는 기판(111)이 장입되어 안착될 수 있다. 이때, 안착부(230)는 스테이지 형태로 형성되어 기판(111)의 위치를 조절할 수 있다. 또한, 안착부(230)는 승하강 가능하도록 챔버(210) 내부에 설치될 수 있다.
플라즈마 분사부(240)는 마스크(250) 및 기판(111) 상에 플라즈마 가스(G)를 분사할 수 있다. 이때, 플라즈마 분사부(240)는 외부로부터 가스를 공급받아 전류를 인가함으로써 플라즈마 상태로 여기시켜 플라즈마 가스(G)를 생성하여 챔버(210) 내부로 공급할 수 있다. 특히 플라즈마 분사부(240)는 기판(111)의 테두리 영역으로 플라즈마 가스(G)를 분사할 수 있다.
플라즈마 분사부(240)는 가스를 공급하는 가스공급부(241)를 구비할 수 있다. 이때, 가스는 NF3 또는 CF3 등과 같은 F기가 있는 물질, N2 및 O2를 포함할 수 있다. 플라즈마 분사부(240)는 가스공급부(241)와 챔버(210)에 연결되어 가스를 안내하는 가스안내부(242)를 구비할 수 있다.
플라즈마 분사부(240)는 가스안내부(242)에 설치되어 가스안내부(242) 통과하는 가스에 전류를 인가하여 플라즈마 상태로 여기시켜 플라즈마 가스(G)를 생성하는 플라즈마 생성부(243)를 구비할 수 있다. 이때, 플라즈마 생성부(243)는 일반적으로 플라즈마를 형성하는 서로 상이한 극성을 갖는 한쌍의 전극으로 형성될 수 있다.
한편, 마스크(250)는 기판(111) 상에 형성될 수 있다. 이때, 마스크(250)는 기판(111)의 표시 영역(DA)을 차폐하는 바디부(251)를 구비할 수 있다. 또한, 마스크(250)는 바디부(251)의 끝단으로부터 표시 장치(100)로 돌출되도록 형성되는 돌출부(252)를 구비할 수 있다.
상기와 같은 돌출부(252)는 기판(111)과 바디부(251) 사이의 공간으로 플라즈마 가스(G)가 유입되는 것을 방지할 수 있다. 특히 돌출부(252)는 바디부(251)의 테두리를 둘러싸도록 설치될 수 있다. 이때, 돌출부(252)는 에칭이 필요한 부분에만 형성될 수 있다. 구체적으로 기판(111)의 제1 측면만 에칭이 필요한 경우에는 돌출부(252)는 기판(111)의 제1 측면과 대응되는 바디부(251)의 제1 측면에만 형성될 수 있다. 또한, 기판(111)의 제2 측면만 에칭이 필요한 경우 돌출부(252)는 기판(111)의 제2 측면과 대응되는 바디부(251)의 제2 측면만 형성될 수 있다. 이때, 제1 측면과 제2 측면은 서로 직교할 수 있다.
상기와 같은 돌출부(252)는 경사지게 형성될 수 있다. 구체적으로 돌출부(252)의 경사는 바디부(251)로부터 기판(111) 측으로 갈수록 바디부(251)로부터 돌출부(252)가 멀어지도록 형성될 수 있다. 즉, 돌출부(252)는 경사지게 형성됨으로써 플라즈마 가스(G)를 기판(111)의 표시 영역(DA)으로부터 멀어지도록 안내할 수 있다.
돌출부(252)는 다양한 형상으로 형성될 수 있다. 예를 들면, 돌출부(252)는 단면이 사각형으로 형성될 수 있다. 또한, 돌출부(252)는 단면이 삼각형, 타원형, 원형 등으로 형성될 수 있다. 뿐만 이나라 돌출부(252)는 역삼각형으로 형성되는 것도 가능하다. 다만, 이하에서는 설명의 편의를 위하여 돌출부(252)는 단면이 사각형인 경우를 중심으로 상세히 설명하기로 한다.(도 5 참고)
돌출부(252)는 바디부(251)와 일체로 형성되거나 바디부(251)에 착탈 가능하도록 설치될 수 있다. 이때, 돌출부(252)가 바디부(251)에 착탈 가능하도록 설치되는 경우 돌출부(252) 또는 바디부(251) 중 하나에는 삽입홈(251a)이 형성되고, 돌출부(252) 또는 바디부(251) 중 다른 하나에는 삽입홈(251a)에 삽입되는 삽입돌기(252a)를 구비할 수 있다. 다만, 이하에서는 설명의 편의를 위하여 삽입홈(251a)은 바디부(251)에 형성되고, 삽입돌기(252a)는 돌출부(252)에 형성되는 경우를 중심으로 상세히 설명하기로 한다.
상기와 같은 돌출부(252)는 바디부(251)와 상이한 재질로 형성될 수 있다. 특히 돌출부(252)는 유연한(Flexible)하면서 플라즈마 가스(G)에 의한 식각이 거의 없는 재질로 형성될 수 있다. 예를 들면, 돌출부(252)는 테프론(Teflon), 피크 등과 같은 합성수지 재질로 형성될 수 있다. 이때, 돌출부(252)의 표면에는 불소 코팅을 수행하여 장시간 사용시에도 기판(111)과 접착력을 일정하게 유지시킬 수 있다.
한편, 마스크고정부(260)는 마스크(250)를 고정시킬 수 있다. 이때, 마스크고정부(260)는 마스크(250)와 연결되어 고정될 수 있으며, 마스크(250)를 파지하거나 클램핑하는 것도 가능하다. 다만, 이하에서는 설명의 편의를 위하여 마스크고정부(260)가 마스크(250)를 단순히 고정하는 프레임인 경우를 중심으로 상세히 설명하기로 한다.
압력조절유닛(270)은 챔버(210)에 연결되어 챔버(210) 내부의 압력을 조절할 수 있다. 이때, 압력조절유닛(270)은 챔버(210)에 연결되는 배출배관(271) 및 배출배관(271)에 설치되는 진공펌프(272)를 구비할 수 있다.
위치측정부(280)는 마스크(250)와 기판(111)의 위치를 측정할 수 있다. 이때, 위치측정부(280)는 카메라를 구비할 수 있으며, 촬영된 마스크(250)와 기판(111)의 위치를 촬영할 수 있다. 특히 위치측정부(280)는 마스크(250)에 형성된 얼라인 마크와 기판(111)에 형성된 얼라인 마크를 촬영할 수 있다.
표시 장치의 제조 장치(200)는 상기의 구성 이외에도 제어부(290)를 더 포함할 수 있다. 이때, 제어부(290)는 퍼스널 컴퓨터, 노트북, 휴대폰 등과 같은 휴대용 단말기 등을 구비할 수 있다.
상기와 같은 제어부(290)는 안착부(230), 플라즈마 분사부(240), 마스크고정부(260) 및 압력조절유닛(270) 중 적어도 하나를 제어할 수 있다. 또한, 제어부(290)는 위치측정부(280)로부터 측정된 마스크(250)의 위치 및 기판(111)의 위치를 판별할 수 있으며, 이를 근거로 마스크(250)와 기판(111) 사이의 정렬 여부를 판별할 수 있다.
한편, 상기와 같은 표시 장치의 제조 장치(200)를 통하여 표시 장치(100)를 제조하는 방법을 살펴보면, 우선 기판(111) 상에 박막 트랜지스터(TFT)를 형성한 후 패시베이션막(170)을 형성할 수 있다. 이후 패시베이션막(170)에 비아 홀(H2)을 형성한 후 패시베이션막(170) 상에 화소 전극(181)을 형성할 수 있다. 또한, 화소 전극(181) 상에 화소 정의막(190)을 형성한 후 화소 정의막(190) 상의 개구부에 유기 발광층을 구비하는 중간층(182)을 증착할 수 있다. 이때, 중간층(182)은 다양한 방법에 의하여 형성될 수 있으며, 특히 작업 시간 및 작업 비용 등을 고려하여 유기물을 증발시키는 방법을 사용할 수 있다.
상기와 같이 중간층(182)을 형성하는 경우 중간층(182)을 공간에 분사하여 화소 정의막(190) 상의 증착하므로 중간층(182) 중 적어도 하나의 물질은 기판(111)의 표시 영역(DA) 이외에 비표시 영역(NDA)에도 증착될 수 있다.
이후 기판(111)의 비표시 영역 상에는 실링제(113)와 게터(114)가 형성될 수 있다. 이때, 실링제(113)는 봉지기판(112)을 기판(111)에 부착시키는 일반적인 실링제와 동일 또는 유사하므로 상세한 설명은 생략하기로 한다. 또한, 게터(114)는 일반적으로 산소나 수분 등을 흡수하도록 일반적인 표시 장치에 사용하는 재질과 동일 또는 유사하므로 상세한 설명은 생략하기로 한다.
상기와 같이 실링제(113)와 게터(114)가 기판(111)의 비표시 영역(NDA)에 도포되는 경우 비표시 영역(NDA) 상에 증착된 중간층(182) 중 적어도 하나의 물질로 인하여 접착력이 저하될 수 있다. 따라서 이를 해결하기 위하여 중간층(182)을 형성한 후 또는 중간층(182) 상에 대향 전극(183)을 형성한 후 표시 장치의 제조 장치(200)를 통하여 비표시 영역(NDA) 상의 중간층(182) 중 적어도 하나의 물질을 제거할 수 있다. 다만, 이하에서는 설명의 편의를 위하여 표시 장치의 제조 장치(200)를 통하여 비표시 영역(NDA)을 에칭하는 공정은 대향 전극(183)을 형성한 후 수행되는 경우를 중심으로 상세히 설명하기로 한다.
구체적으로 중간층(182) 상에 대향 전극(183)을 형성한 후 기판(111)을 챔버(210) 내부로 장입시킬 수 있다. 이때, 대향 전극(183)은 기판(111)의 표시 영역(DA)에만 형성될 수 있다.
이후 위치측정부(280)는 마스크(250)의 얼라인 마크 및 기판(111)의 얼라인 마크를 촬영하여 제어부(290)로 전송할 수 있다. 제어부(290)는 촬영된 이미지를 근거로 기판(111)과 마스크(250)의 위치를 판별한 후 마스크(250)와 기판(111)의 위치가 대응되도록 안착부(230) 및 마스크고정부(260) 중 적어도 하나를 제어할 수 있다. 이때, 안착부(230)에는 상기에서 설명한 바와 같이 스테이지를 구비하여 3방향으로 기판(111)을 이동시킬 수 있다.
상기와 같이 마스크(250)와 기판(111)의 위치가 정렬된 것으로 판단되면, 제어부(290)는 플라즈마 분사부(240)를 통하여 기판(111)의 테두리 부분에 플라즈마 가스(G)를 공급할 수 있다. 이때, 플라즈마 가스(G)는 바디부(251)와 돌출부(252)의 연결부위 측으로 분사될 수 있다.
상기와 같은 플라즈마 가스(G)는 바디부(251)와 돌출부(252)의 외면을 따라 비표시 영역(NDA)으로 안내될 수 있다. 이때, 플라즈마 가스(G)는 비표시 영역(NDA) 상에 증착된 중간층(182) 중 적어도 하나의 물질을 에칭하여 제거할 수 있다. 또한, 플라즈마 가스(G)가 분사되는 경우 압력조절유닛(270)은 챔버(210) 내부의 기체를 외부로 배출시킬 수 있다.
상기와 같은 경우 돌출부(252)는 플라즈마 가스(G)가 기판(111)과 바디부(251) 사이로 진입하는 것을 방지할 수 있다. 구체적으로 돌출부(252)는 바디부(251)로부터 기판(111) 측으로 돌출되도록 형성됨으로써 바디부(251)와 기판(111) 사이의 갭을 차단시킬 수 있다. 따라서 플라즈마 가스(G)는 바디부(251)와 돌출부(252)의 외면을 따라 비표시 영역(NDA)으로 이동하고 표시 영역(DA)으로는 진입하지 않을 수 있다. 이때, 중간층(182) 및 대향 전극(183)은 플라즈마 가스(G)에 의하여 손상되지 않을 수 있다.
특히 상기와 같은 경우 플라즈마 가스(G)가 기판(111)과 바디부(251) 사이로 진입하는 경우 기판(111) 상에 형성되어 있는 대향 전극(183) 및 중간층(182) 중 적어도 하나를 훼손시킬 수 있다. 플라즈마 가스(G)는 중간층(182)을 손상시킴으로써 암점이나 명점의 불량을 발생시킬 수 있다. 이때, 돌출부(252)는 플라즈마 가스(G)를 바디부(251)와 기판(111) 사이로 진입하는 것을 원천적으로 차단함으로써 플라즈마 가스(G)가 대향 전극 및 중간층(182) 중 적어도 하나를 훼손시키는 것을 방지할 수 있다.
상기의 과정이 완료되면, 기판(111)을 챔버(210) 외부로 인출할 수 있다. 이때, 인출하는 방법은 로봇암, 컨베이어 등을 통하여 수행될 수 있다.
따라서 표시 장치의 제조 장치(200) 및 제조 방법은 플라즈마 가스(G)를 통하여 비표시 영역(NDA)을 에칭하는 경우 플라즈마 가스(G)가 표시 영역으로 침투하여 중간층(182) 및 대향 전극(183) 중 적어도 하나를 손상시키는 것을 방지시킬 수 있다.
특히 표시 장치의 제조 장치(200) 및 제조 방법은 플라즈마 에칭 시 중간층(182) 및 대향 전극(183)의 손상으로 인한 명점이나 암점이 발생하는 것을 방지함으로써 불량률을 최소화할 수 있다.
이와 같이 본 발명은 도면에 도시된 일 실시예를 참고로 하여 설명하였으나 이는 예시적인 것에 불과하며 당해 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 실시예의 변형이 가능하다는 점을 이해할 것이다. 따라서, 본 발명의 진정한 기술적 보호 범위는 첨부된 특허청구범위의 기술적 사상에 의하여 정해져야 할 것이다.
200: 표시 장치의 제조 장치
210a: 개구부
210: 챔버
220: 도어
230: 안착부
240: 플라즈마 분사부
241: 가스공급부
242: 가스안내부
243: 플라즈마 생성부
250: 마스크
251: 바디부
251a: 삽입홈
252: 돌출부
252a: 삽입돌기
260: 마스크고정부
270: 압력조절유닛
271: 배출배관
272: 설치되는 진공펌프
280: 위치측정부
290: 제어부

Claims (16)

  1. 표시부가 형성된 기판이 안착되는 안착부;
    상기 표시부로부터 이격되어 배치되며, 플라즈마를 상기 기판에 분사하는 플라즈마 분사부; 및
    상기 기판 상에 배치되어 상기 표시부을 가리는 마스크;를 포함하고,
    상기 마스크는,
    상기 표시부에 대응되는 바디부; 및
    상기 바디부의 끝단에 상기 기판으로 돌출되도록 형성되는 돌출부;를 구비하는 표시 장치의 제조 장치.
  2. 제1 항에 있어서,
    상기 돌출부는 상기 바디부의 테두리를 감싸도록 설치되는 표시 장치의 제조 장치.
  3. 제 1 항에 있어서,
    상기 돌출부는 상기 바디부로부터 경사지게 형성되는 표시 장치의 제조 장치.
  4. 제 3 항에 있어서,
    상기 돌출부는 상기 바디부로부터 상기 기판 측으로 갈수록 상기 바디부로부터 멀어지도록 경사지게 형성되는 표시 장치의 제조 장치.
  5. 제 1 항에 있어서,
    상기 돌출부는 상기 바디부에 착탈 가능하도록 결합하는 표시 장치의 제조 장치.
  6. 제 1 항에 있어서,
    상기 돌출부는 유연한 재질로 형성되는 표시 장치의 제조 장치.
  7. 제1 항에 있어서,
    상기 돌출부의 표면은 불소 코팅된 표시 장치의 제조 장치.
  8. 제 1 항에 있어서,
    상기 안착부, 상기 플라즈마 분사부 및 상기 마스크가 내부에 배치되는 챔버;를 더 포함하는 표시 장치의 제조 장치.
  9. 제 8 항에 있어서,
    상기 챔버에 연결되어 상기 챔버 내부 압력을 제어하는 압력조절유닛;을 더 포함하는 표시 장치의 제조 장치.
  10. 제 8 항에 있어서,
    상기 기판과 상기 마스크의 위치를 측정하는 위치측정부;를 더 포함하는 표시 장치의 제조 장치.
  11. 표시 영역 상에 표시부를 형성한 기판을 챔버 내부로 장입시키는 단계; 및
    상기 표시 영역 상에 마스크를 배치한 후 플라즈마를 분사하여 상기 기판의 비표시 영역을 에칭하는 단계;를 포함하고,
    상기 플라즈마는 상기 기판과 상기 마스크 사이로의 진입이 차단되는 표시 장치의 제조 방법.
  12. 제 11 항에 있어서,
    상기 마스크는,
    상기 표시 영역 상에 배치되는 바디부; 및
    상기 바디부로부터 상기 기판 측으로 도출되도록 형성되어 상기 플라즈마가 상기 기판과 상기 바디부 사이의 공간으로 진입하는 것을 차단하는 돌출부;를 구비하는 표시 장치의 제조 방법.
  13. 제 12 항에 있어서,
    상기 돌출부는 유연한 재질로 형성되는 표시 장치의 제조 방법.
  14. 제 11 항에 있어서,
    상기 마스크와 상기 기판을 얼라인하는 단계;를 더 포함하는 표시 장치의 제조 방법.
  15. 제 11 항에 있어서,
    상기 비표시 영역을 에싱하는 단계는 진공 상태에서 진행되는 표시 장치의 제조 방법.
  16. 제 11 항에 있어서,
    상기 표시 영역에 대향 전극을 형성하는 단계;를 더 포함하는 표시 장치의 제조 방법.
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