KR20160017165A - Roll to roll printing and etching system - Google Patents

Roll to roll printing and etching system Download PDF

Info

Publication number
KR20160017165A
KR20160017165A KR1020140098225A KR20140098225A KR20160017165A KR 20160017165 A KR20160017165 A KR 20160017165A KR 1020140098225 A KR1020140098225 A KR 1020140098225A KR 20140098225 A KR20140098225 A KR 20140098225A KR 20160017165 A KR20160017165 A KR 20160017165A
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
roll
web
printing
print
unwinder
Prior art date
Application number
KR1020140098225A
Other languages
Korean (ko)
Other versions
KR101598340B1 (en
Inventor
김인영
이택민
강동우
이승현
최영만
Original Assignee
한국기계연구원
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 한국기계연구원 filed Critical 한국기계연구원
Priority to KR1020140098225A priority Critical patent/KR101598340B1/en
Publication of KR20160017165A publication Critical patent/KR20160017165A/en
Application granted granted Critical
Publication of KR101598340B1 publication Critical patent/KR101598340B1/en

Links

Images

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/02Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
    • H01L21/027Making masks on semiconductor bodies for further photolithographic processing not provided for in group H01L21/18 or H01L21/34
    • H01L21/0271Making masks on semiconductor bodies for further photolithographic processing not provided for in group H01L21/18 or H01L21/34 comprising organic layers
    • H01L21/0272Making masks on semiconductor bodies for further photolithographic processing not provided for in group H01L21/18 or H01L21/34 comprising organic layers for lift-off processes

Abstract

The present invention relates to a roll to roll printing and etching system. A printing unit prints a print register on a substrate in an electronic printing method while a roll, made by winding the substrate of a web type, is mounted on a first unwinder to supply the substrate. A curing unit cures the print register. An etching unit etches the remaining region where the print register is not printed. The printing unit, the curing unit, and the etching unit are integrated to simplify complicated processes and reduce process costs through the simplified processes.

Description

롤투롤 프린트 에칭 시스템{Roll to roll printing and etching system}[0001] The present invention relates to a roll to roll printing and etching system,

본 발명은 롤투롤 프린트 에칭 시스템에 관한 것으로, 웹 형태의 기판이 감겨져 이루어진 롤이 제1언와인더에 장착되어 기판이 공급되되, 기판 상에 전자 인쇄 방식으로 프린트 레지스터를 인쇄하는 인쇄 수단과, 이를 경화시키는 경화수단과, 프린트 레지스터가 인쇄되지 않은 나머지 영역을 에칭하는 에칭 수단이 하나로 통합되어 형성됨으로써, 복잡한 공정을 단순화하고, 이를 통한 공정비용을 절감할 수 있는 롤투롤 프린트 에칭 시스템에 관한 것이다.
The present invention relates to a roll-to-roll print etching system, comprising: printing means for printing a print register on a substrate with an electronic printing method, wherein a roll formed by winding a web-shaped substrate is mounted on a first unwinder, To a roll-to-roll print etching system capable of simplifying a complicated process and reducing a process cost by integrally forming curing means for curing the same and etch means for etching remaining regions in which a print register is not printed .

기존의 전자 소자 제작 기술에서는 리소그래피(lithography) 기술이 널리 사용되어 왔다. 그런데 리소그래피 기술을 사용하여 실제 공정을 구성하자면, 진공 증착, 노광, 현상, 도금 또는 에칭 등 다양하고 복잡한 세부 공정들이 필요하여, 공정 설계 및 장치 구성이 복잡해지는 등의 문제가 있었다. 더불어 다양한 분야에서의 미세 기술의 발전으로 인하여, 굳이 포토 리소그래피가 아니고서도 다른 방식으로 집적 회로를 만들 수 있는 방법이 모색되어 왔다.Lithography techniques have been widely used in conventional electronic device fabrication techniques. However, in order to constitute an actual process using the lithography technique, various complicated processes such as vacuum deposition, exposure, development, plating or etching are required, and the process design and device configuration are complicated. In addition, due to the development of micro-technologies in various fields, a method has been sought for making an integrated circuit differently from photolithography.

전자 인쇄는 간단히 인쇄(printing) 공정을 수행함으로써 전자 소자를 제작하는 방식의 기술이다. 전자 인쇄는 앞서 설명한 포토 리소그래피 공정을 대체함으로써 포토 리소그래피 공정에 내재되어 있는 공정 복잡성을 근본적으로 제거해 줄 수 있기 때문에, 최근 다양한 분야로 적용 범위가 확대되는 등 그에 대한 연구가 활발히 이루어지고 있다. 최근 활용되고 있는 인쇄 기술로, 비접촉식 인쇄 기술로는 잉크젯, 스프레이, 슬롯다이 코팅 등이 있으며, 접촉식 인쇄 기술로는 그라비아, 그라비아 옵셋, 리버스 옵셋, 스크린 인쇄를 대표적으로 들 수 있다.Electronic printing is a technique of manufacturing an electronic device by simply performing a printing process. Since electronic printing can fundamentally eliminate the process complexity inherent in the photolithography process by replacing the photolithography process described above, researches have been actively conducted in recent years, such that the application range is expanded to various fields. Non-contact printing technologies include inkjet, spray, and slot die coating. Contact-type printing technologies include gravure, gravure offset, reverse offset, and screen printing.

한편, 최근 반도체 제작 기술에 있어서 단단한 재질의 기판이 아닌 유연한 재질의 필름 형태의 기판이 사용되는 경우가 증가하고 있다. 이러한 필름 형태의 기판을 사용할 경우 공정 속도가 증대되어 대량 양산이 가능해지는 장점이 있다. 이 때 여기에 상술한 바와 같은 전자 인쇄 기술이 결합되면 더욱 생산 효율이 증가할 수 있다는 점에서, 이러한 롤투롤(roll-to-roll) 생산 방식과 전자 인쇄 기술의 결합에 대한 연구가 매우 활발히 이루어지고 있다.On the other hand, in recent semiconductor manufacturing technology, a flexible substrate made of film rather than a rigid substrate has been used. When such a film type substrate is used, the process speed is increased and mass production is possible. The combination of the roll-to-roll production method and the electronic printing technology is very active in that the production efficiency can be further increased by combining the electronic printing technology as described above ought.

비접촉식 인쇄 기법의 경우 넓은 면적을 고르게 코팅하는 식의 인쇄를 수행하기에 적합한 반면, 미세한 패턴을 형성하기 위해서는 그라비아, 리버스 옵셋 등과 같은 접촉식 인쇄 기법이 주로 사용된다. 이러한 접촉식 인쇄 기법에서는 연속적 공정을 위해 일반적으로 롤이 많이 사용된다. 즉 롤 상에 인쇄할 패턴이 형성되고, 이 롤 상의 패턴이 기판으로 전사되어 인쇄가 이루어지도록 하는 것이다. 이러한 접촉식 인쇄 기법은 단단한 재질의 기판 또는 유연한 재질의 기판 모두에 적용할 수 있는데, 단단한 재질의 기판의 경우 롤과 스테이지 상에 놓인 기판이 접촉하게 되며, 유연한 재질의 기판의 경우 롤과 다른 롤 또는 다른 평판형 지지부에 의해 지지되는 유연 기판이 접촉하게 된다. 기판을 제외하면 전자의 경우에는 롤과 스테이지가 접촉하는 셈이 되며, 후자의 경우에는 롤과 롤 또는 롤과 평판형 지지부가 접촉하는 셈이 된다.In the non-contact type printing method, it is suitable to perform printing in which a large area is uniformly coated, whereas in the case of forming a fine pattern, contact type printing techniques such as gravure and reverse offset are mainly used. In this contact printing technique, rolls are generally used for continuous processing. That is, a pattern to be printed is formed on the roll, and the pattern on the roll is transferred to the substrate to perform printing. Such a contact printing technique can be applied to both rigid substrates and flexible substrates. In the case of a rigid substrate, the roll and the substrate placed on the stage come in contact. In the case of a flexible substrate, Or a flexible substrate supported by another plate-like support is brought into contact. In the former case, the roll and the stage contact each other. In the latter case, the roll, the roll or the roll and the plate-like support come into contact.

이와 관련된 기술로는 국내공개특허 제2011-0003444호(공개일 2011-01-12, 명칭 : 롤 인쇄 방법을 이용하여 제조된 컬러필터)가 있다.A related art is disclosed in Korean Patent Laid-Open Publication No. 2011-0003444 (published on 2011-01-12, name: color filter manufactured by roll printing method).

한편, 앞서 설명한 바와 같이, 기존에 포토 리소그래피 공정으로 기판 위에 증착된 박막을 패터닝 하는 방법은 PR 도포, 열처리, 마스크 장착, 노광, 현상, 에칭, PR제거 및 세정의 8단계를 각각 거쳐야 한다.Meanwhile, as described above, the conventional method of patterning a thin film deposited on a substrate by a photolithography process must be performed through 8 steps of PR coating, heat treatment, mask mounting, exposure, development, etching, PR removal and cleaning.

특히, 롤 형태의 연속적인 유연 기판 위에 증착되는 경우에는 기판 위에 포토레지스트를 도포하기 위해 드라이 필름 레지스트를 이용하여, 유연 기판 위에 장착하게 되는데, 상기 드라이 필름의 노광 분해능이 낮아 미세 패터닝이 힘들다는 단점이 있다. 또한, 드라이 필름의 부착 및 후공정이 연속적으로 진행되기 어렵기 때문에 공정이 더욱 복잡해지며, 이에 따른 생산비용이 높아진다는 단점이 있다.Particularly, in the case of depositing on a continuous flexible substrate in the form of a roll, it is mounted on a flexible substrate using a dry film resist for applying a photoresist on the substrate. However, since the resolution of exposure of the dry film is low, it is difficult to perform fine patterning . Further, since the process of attaching and post-drying the dry film is difficult to proceed continuously, the process becomes more complicated and the manufacturing cost is increased accordingly.

따라서 복잡한 패터닝 공정이 단순화 되면서도, 패터닝의 분해능을 향상시키고, 한 번에 박막의 패터닝이 가능한 시스템의 개발이 필요한 실정이다.
Accordingly, it is necessary to develop a system capable of improving the resolution of the patterning and patterning the thin film at a time, while simplifying the complicated patterning process.

국내공개특허 제2011-0003444호(공개일 2011.01.12, 명칭 : 롤 인쇄 방법을 이용하여 제조된 컬러필터)Korean Patent Laid-Open No. 2011-0003444 (published on January 12, 2011, name: color filter manufactured by roll printing method)

본 발명은 상기한 바와 같은 종래 기술의 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로, 본 발명의 목적은 웹 형태의 기판이 감겨져 이루어진 롤이 제1언와인더에 장착되어 기판이 공급되되, 기판 상에 전자 인쇄 방식으로 프린트 레지스터를 인쇄하는 인쇄 수단과, 이를 경화시키는 경화수단과, 프린트 레지스터가 인쇄되지 않은 나머지 영역을 에칭하는 에칭 수단이 하나로 통합되어 형성됨으로써, 복잡한 공정을 단순화하고, 이를 통한 공정비용을 절감할 수 있는 롤투롤 프린트 에칭 시스템을 제공하는 것이다.
SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made in order to solve the problems of the prior art as described above, and it is an object of the present invention to provide an apparatus and a method for supplying a substrate, The printing means for printing the print register in a printing manner, the curing means for curing the print register, and the etching means for etching the remaining region in which the print register is not printed are integrally formed to simplify the complicated process, To-roll print etching system that can reduce the cost of production.

본 발명의 롤투롤 프린트 에칭 시스템은 웹 형태의 기판이 감겨져 이루어진 롤이 장착되어 상기 웹을 공급하는 제1언와인더; 상기 제1언와인더에서 공급되며, 상측면에 도전성 막이 형성된 웹에 프린트 레지스터를 인쇄하는 인쇄수단; 상기 인쇄수단을 통과한 상기 웹 상의 프린트 레지스터를 경화시키는 경화수단; 상기 경화수단을 통과한 상기 웹 상에서 프린트 레지스터가 인쇄되지 않은 나머지 영역을 에칭하는 에칭수단; 상기 에칭수단을 통과한 웹 상의 프린트 레지스터를 제거하는 스트립수단; 상기 스트립수단을 통과한 웹을 세정하는 세정수단; 및 상기 세정수단의 후단에 배치되어, 상기 기판을 권취시키는 제1와인더; 을 포함하여 형성되는 것을 특징으로 한다.The roll-to-roll print etching system of the present invention comprises a first unwinder for loading the web with a web-shaped substrate wound thereon; Printing means supplied from the first unwinder and printing a print register on a web on which an electroconductive film is formed on an upper side; Curing means for curing the print register on the web that has passed through the printing means; Etch means for etching the remaining region where the print register is not printed on the web passing through the curing means; Strip means for removing print registers on the web that have passed through said etching means; Cleaning means for cleaning the web passing through the strip means; And a first winder disposed at a rear end of the cleaning means to wind the substrate. And the second electrode is formed.

또한, 상기 롤투롤 프린트 에칭 시스템은 상기 제1언와인더 및 제1와인더 사이에서 이송되는 상기 웹의 장력을 조절하는 장력조절부를 더 포함하여 형성될 수 있다.The roll-to-roll print etching system may further include a tension adjuster for adjusting a tension of the web transferred between the first unwinder and the first winder.

또한, 상기 장력조절부는 상기 제1언와인더 및 인쇄수단 사이에 배치되며, 상기 제1언와인더로부터 권출되는 상기 웹의 속도를 조절하는 인피더; 상기 인피더 및 인쇄수단 사이에 배치되어 상기 웹의 장력을 측정하는 장력 센서; 상기 인쇄수단 및 경화수단 사이에 배치되어 상기 웹을 촬영하는 촬영부; 상기 장력 센서 및 촬영부에 의해 측정된 결과에 따라 상기 인피더, 제1언와인더 및 제1와인더의 동작을 제어하는 제어부; 를 포함하여 형성될 수 있다.Further, the tension regulating unit is disposed between the first unwinder and the printing unit, and controls the speed of the web pulled out from the first unwinder; A tension sensor disposed between the absorber and the printing means to measure the tension of the web; A photographing unit disposed between the printing unit and the curing unit to photograph the web; A control unit for controlling operations of the infuser, the first unwinder, and the first winder according to the results measured by the tension sensor and the photographing unit; As shown in FIG.

또한, 상기 인피더는 상기 제1언와인더로부터 권출되는 웹의 양측면에 롤러 형태로 구비되며, 모터에 의해 일정 속도로 회전하여 상기 웹을 진행방향으로 밀어줄 수 있다.In addition, the inflower may be provided on both sides of the web wound from the first unwinder in a roller shape, and may be rotated at a constant speed by a motor to push the web in a traveling direction.

또한, 상기 제1언와인더 및 제1와인더는 상기 제어부에 의해 모터 토크 또는 클러치의 마찰력이 조절되어 상기 웹의 장력을 조절할 수 있다.In addition, the first unwinder and the first winder can adjust the tension of the web by controlling the motor torque or the friction force of the clutch by the control unit.

또한, 상기 촬영부는 적어도 하나 이상 구비되며, 상기 웹에 형성되어 있던 제1얼라인 마크와, 상기 인쇄수단을 거치면서 인쇄된 제2얼라인 마크를 촬영하여, 상기 제어부로 촬영된 영상을 전달할 수 있다.The photographing unit may include at least one photographing unit that photographs a first alignment mark formed on the web and a second alignment mark printed while passing through the printing unit, have.

또한, 상기 롤투롤 프린트 에칭 시스템은 상기 인쇄수단이 스크린 인쇄, 그라비아 인쇄, 그라비아 옵셋 인쇄, 리버스 옵셋 인쇄 중 선택되는 적어도 어느 한 가지 방식을 사용할 수 있다.The roll-to-roll print etching system may use at least one of the following methods: the screen printing, the gravure printing, the gravure offset printing, and the reverse offset printing.

또한, 상기 인쇄수단은 여러 가지 인쇄방식을 위한 장치가 각각 모듈화되어 복수개 구비될 수 있다.In addition, the printing means may be provided with a plurality of apparatuses for various printing methods, each of which is modularized.

또한, 상기 롤투롤 프린트 에칭 시스템은 상기 경화수단이 상기 웹 상에 인쇄된 프린트 레지스터의 물성적 특성에 따라 열경화 또는 자외선 경화가 선택적으로 가능하도록 각각 모듈화되어 복수개 구비될 수 있다.In addition, the roll-to-roll print etching system may be provided with a plurality of modules, each of which is modularized so that thermal curing or ultraviolet curing can be selectively performed according to the physical properties of the print register printed on the web.

또한, 상기 롤투롤 프린트 에칭 시스템은 상기 제1언와인더에서 공급되는 웹을 지지하는 작업대롤이 더 구비되며, 상기 인쇄수단, 경화수단, 에칭수단, 스트립수단 및 세정수단이 상기 작업대롤을 통과한 웹의 수평 진행 경로 상에 배치되되, 상기 인쇄수단 및 경화수단이 상기 웹의 상측에 배치되며, 상기 에칭수단, 스트립수단 및 세정수단이 상기 웹의 하측에 배치될 수 있다.The roll-to-roll print etching system further comprises a workpiece roll supporting the web fed from the first unwinder, wherein the printing means, the curing means, the etching means, the strip means and the cleaning means are passed through the work table roll Wherein the printing means and the curing means are disposed on the upper side of the web and the etching means, the strip means and the cleaning means are disposed on the lower side of the web.

또한, 상기 롤투롤 프린트 에칭 시스템은 연속방식 또는 스탑앤고(stop and go)방식이 적용되어 상기 웹이 상기 제1언와인더로부터 공급될 수 있다.In addition, the roll-to-roll print etching system may be a continuous method or a stop and go method so that the web may be fed from the first unwinder.

본 발명의 롤투롤 프린트 에칭 시스템의 얼라인 방법은 a) 상기 제1언와인더로부터 권출되는 상기 웹이 상기 인피더에 의해 권출 속도가 조절되는 속도 조절 단계; b) 상기 인쇄수단에 의해 인쇄된 제2얼라인 마크와, 상기 웹에 형성되어 있던 제1얼라인 마크를 상기 촬영부에서 촬영하는 촬영 단계; c) 상기 촬영부로부터 촬영된 영상을 통해, 상기 제어부에서 이웃하는 제1얼라인 마크 및 제2얼라인 마크 간의 거리와 크기를 측정하여 얼라인 정밀도를 측정하는 측정 단계; 을 포함할 수 있다.A method of aligning a roll-to-roll print etching system of the present invention comprises the steps of: a) controlling the speed of unwinding the web drawn from the first unwinder by the absorber; b) a photographing step of photographing the second alignment mark printed by the printing means and the first alignment mark formed on the web by the photographing section; c) measuring a distance and a size between adjacent first alignment marks and second alignment marks in the control unit to measure alignment accuracy through an image taken from the photographing unit; . ≪ / RTI >

또한, 상기 롤투롤 프린트 에칭 시스템의 얼라인 방법은 d) 상기 제어부에 의해 측정된 얼라인 정밀도에 따라 상기 제1와인더의 토크 값을 조절하거나, 상기 제1와인더에 형성된 클러치의 마찰력을 조절하는 피드백 단계; 를 포함할 수 있다.Also, the method of aligning the roll-to-roll print etching system may include d) adjusting the torque value of the first winder according to the alignment accuracy measured by the control unit, or adjusting the friction force of the clutch formed on the first winder A feedback step; . ≪ / RTI >

또한, 상기 롤투롤 프린트 에칭 시스템의 얼라인 방법은 상기 측정 단계에서 측정된 결과 값에 따라 상기 클리쉐용 필름의 장력을 증가시켜야 하는 경우, 상기 피드백 단계에서 상기 제1와인더의 토크 값 또는 클러치의 마찰력을 조절하여 상기 제1와인더의 회전속도를 상기 웹의 속도보다 빠르게 하면 장력이 증가될 수 있다.The method of aligning the roll-to-roll print etching system may further comprise the step of adjusting the torque value of the first winder or the torque value of the clutch in the feedback step when the tension of the cliché film is to be increased according to the result measured in the measuring step. If the rotational speed of the first winder is higher than the speed of the web by controlling the frictional force, the tension may be increased.

또한, 상기 롤투롤 프린트 에칭 시스템의 얼라인 방법은 상기 측정 단계에서 측정된 결과 값에 따라 상기 웹이 늘어났다고 판단되는 경우, 상기 인쇄수단에서 인쇄되는 패턴의 크기를 원래보다 작게 인쇄되도록 할 수 있다.
The method of aligning the roll-to-roll print etching system may cause the size of the pattern printed by the printing means to be smaller than the original size when it is determined that the web has increased in accordance with the result measured in the measuring step.

본 발명의 롤투롤 프린트 에칭 시스템은 웹 형태의 기판이 감겨져 이루어진 롤이 제1언와인더에 장착되어 기판이 공급되되, 기판 상에 전자 인쇄 방식으로 프린트 레지스터를 인쇄하는 인쇄 수단과, 이를 경화시키는 경화수단과, 프린트 레지스터가 인쇄되지 않은 나머지 영역을 에칭하는 에칭 수단이 하나로 통합되어 형성됨으로써, 복잡한 공정을 단순화하고, 이를 통한 공정비용을 절감할 수 있다는 장점이 있다.The roll-to-roll print etching system of the present invention comprises printing means for printing a print register on a substrate by an electronic printing method, in which a roll formed by winding a web-shaped substrate is mounted on a first unwinder, The curing unit and the etching unit for etching the remaining area where the print register is not printed are integrally formed to simplify the complicated process and reduce the process cost therefrom.

좀 더 자세히 설명하면, 종래에는 포토 리소그래피를 이용하여 기판에 패터닝 하기 위해서 포토레지스트(PR)를 기판에 도포한 다음, 열처리로 경화하고, 마스크를 장착하여 노광 및 현상 과정을 거친 후, 에칭과 포토레지스트 제거 과정을 거치게 된다. 특히, 롤 형태의 유연 기판 위에 증착된 박막을 패터닝 하기 위해서는 드라이 필름 레지스트를 장착해야 하므로, 공정이 더욱 복잡해지게 된다.More specifically, conventionally, a photoresist (PR) is applied to a substrate in order to pattern the substrate using photolithography, followed by curing by a heat treatment, followed by exposure and development by mounting a mask, A resist removal process is performed. In particular, in order to pattern a thin film deposited on a roll-shaped flexible substrate, a dry film resist must be mounted, which complicates the process.

이를 개선하기 위해, 본 발명은 전자 인쇄 방식으로 웹 형태의 기판에 프린트 레지스터를 인쇄할 수 있도록 함으로써, PR 도포, 열처리, 마스크 장착, 노광 및 현상 과정을 전자 인쇄 과정으로 간편하게 대체할 수 있으며, 에칭수단이 통합되어 형성됨으로써, 이후, 에칭공정이 바로 수행될 수 있어 공정시간이 크게 단축될 수 있다.In order to solve this problem, the present invention is capable of easily replacing PR coating, heat treatment, mask mounting, exposure and development processes in an electronic printing process by printing print registers on a web-shaped substrate by an electronic printing method, By this means, the etching process can be performed immediately, and the process time can be greatly shortened.

아울러, 본 발명은 프린트 레지스터 인쇄, 경화, 에칭, 프린트 레지스터 제거 및 세정의 공정이 하나의 롤로 감겨져 형성되는 웹을 통해 이루어지므로, 기판의 정밀 얼라인먼트 제어가 필요하다.In addition, since the print register printing, curing, etching, print register removal and cleaning processes are performed through a web formed by winding in one roll, precise alignment control of the substrate is required.

또한, 본 발명은 인쇄 및 경화로 인한 열변형으로, 웹이 인장 또는 수축하여 패턴 변형이 발생되고, 그 다음 레이어를 중첩 인쇄할 때에 오버레이 정밀도를 맞출 수 없게 되는 것을 방지하기 위해, 웹의 인장 및 수축 정도를 파악하고, 웹에 대한 장력조절이 적절이 이루어지도록 할 수 있어 공정 정확도를 향상시킬 수 있다.Further, in order to prevent the overlay accuracy from becoming unattainable when the web is stretched or shrunk due to thermal deformation due to printing and curing to cause pattern deformation and overlapping printing of the next layer, The degree of shrinkage can be grasped and tension control of the web can be performed appropriately, thereby improving the process accuracy.

또한, 본 발명은 스크린 인쇄, 그라비아 인쇄, 그라비아 옵셋 인쇄, 리버스 옵셋 인쇄 등의 여러 인쇄방식을 위한 인쇄수단이 각각 모듈화되어 복수개 구비됨으로써, 필요한 정밀도에 따라 선택할 수 있으며, 열경화 또는 자외선 경화 등 레지스트의 물성적 특징에 따라 경화수단이 선택될 수 있도록 서로 다른 종류의 경화수단이 모듈화되어 형성됨으로써, 일체의 장비만으로 다양한 재료를 이용한 다양한 인쇄기술을 적용하는 것이 가능하여, 공정 중간에 다른 장치로 옮겨 줄 필요가 없어 공정이 간소화될 수 있다는 장점이 있다.
Further, the present invention can be selected in accordance with the required precision by providing a plurality of printing means for various printing methods such as screen printing, gravure printing, gravure offset printing, reverse offset printing, etc., It is possible to apply various printing techniques using various materials by using only one kind of equipment, so that it is possible to transfer the different kinds of curing means to other devices in the middle of the process The process can be simplified.

도 1은 본 발명의 일실시예에 따른 롤투롤 프린트 에칭 시스템의 구성도.
도 2는 본 발명의 일실시예에 따른 롤투롤 프린트 에칭 시스템을 이용한 공정도.
도 3 내지 도 5는 본 발명에 따른 롤투롤 프린트 에칭 시스템의 다양한 실시예를 나타낸 구성도.
도 6은 본 발명에 따른 롤투롤 프린트 에칭 시스템의 얼라인 방법을 나타낸 순서도.
1 is a schematic view of a roll-to-roll print etching system according to an embodiment of the present invention;
2 is a process diagram using a roll-to-roll print etching system in accordance with an embodiment of the present invention.
Figures 3-5 illustrate various embodiments of a roll-to-roll print etching system in accordance with the present invention.
6 is a flow diagram illustrating an alignment method of a roll-to-roll print etching system in accordance with the present invention.

이하, 상술한 바와 같은 본 발명에 따른 롤투롤 프린트 에칭 시스템을 첨부된 도면을 참조로 상세히 설명한다.
Hereinafter, a roll-to-roll print etching system according to the present invention as described above will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

도 1에 도시된 바와 같이, 본 발명의 롤투롤 프린트 에칭 시스템(1)은 크게 제1언와인더(100), 인쇄수단(200), 경화수단(300), 에칭수단(400), 스트립수단(500), 세정수단(600) 및 제1와인더(110)를 포함하여 형성된다.1, the roll-to-roll print etching system 1 of the present invention mainly includes a first unwinder 100, a printing unit 200, a curing unit 300, an etching unit 400, (500), a cleaning means (600), and a first winder (110).

이 때, 본 발명의 롤투롤 프린트 에칭 시스템(1)은 전자인쇄를 위한 인쇄수단(200)과 에칭수단(400)이 통합되어 형성됨으로써, 하나의 시스템에서 유연 기판 상에 패터닝이 가능하도록 하여 공정인 간소화될 수 있다는 것이 가장 큰 특징이다.At this time, the roll-to-roll print etching system 1 of the present invention is formed by integrating the printing means 200 for electronic printing and the etching means 400, so that patterning is possible on a flexible substrate in one system, The most important feature is that it can be simplified.

먼저, 상기 제1언와인더(100)는 도시되어 있는 바와 같이 웹(2)(web) 형태의 기판이 감겨져 이루어진 롤이 장착되어, 상기 웹(2)을 권출시키며 공급하는 역할을 한다.As shown in the drawing, the first unwinder 100 is provided with a roll having a web-shaped substrate wound thereon. The first unwinder 100 rolls and feeds the web 2.

본 발명의 롤투롤 프린트 에칭 시스템(1)은 플레이트 형태의 단단한 기판에 적용하고자 하는 것이 아니라, 필름 형태의 유연한 기판(이를 일반적으로 웹(2)이라고 칭한다)에 적용하고자 하는 것이므로, 본 발명의 롤투롤 프린트 에칭 시스템(1)에서의 공정 대상 기판은 웹(2)인 것으로 한다.Since the roll-to-roll print etching system 1 of the present invention is not intended to be applied to a rigid substrate in the form of a plate but is intended to be applied to a flexible substrate in a film form (which is generally referred to as a web 2) It is assumed that the substrate to be processed in the to-roll print etching system 1 is the web 2. [

상기 인쇄수단(200)은 상기 제1언와인더(100)에서 공급되며, 상측면에 도전성 막(3)이 형성된 웹(2)에 프린트 레지스터(4)를 인쇄하는 것으로, 전자인쇄가 수행되도록 하는 것이다.The printing means 200 is provided by the first unwinder 100 and the printing resist 4 is printed on the web 2 on which the conductive film 3 is formed on the upper side so that the electronic printing is performed .

상기 경화수단(300)은 상기 인쇄수단(200)을 통과한 상기 웹(2) 상의 프린트 레지스터(4)를 경화시키는 것이다.The curing means 300 cures the print register 4 on the web 2 that has passed through the printing means 200.

즉, 본 발명의 롤투롤 프린트 에칭 시스템(1)은 종래의 포토 리소그래피에서 기판 상에 감광성 포토레지스트를 도포하고 경화시킨 다음, 마스크를 장착하여 일정 영역의 포토레지스트에만 자외선이 통과되도록 한 후, 현상과정을 통해 자외선에 노출되거나 노출되지 않은 영역을 제거하는 일련의 과정들 대신, 상기 인쇄수단(200)의 마스터롤에 형성된 패턴에 따라 상기 웹(2)에 프린트 레지스터(4)가 인쇄된 다음, 상기 경화수단(300)을 통해 상기 프린트 레지스터(4)가 경화되는 과정이 수행된다.That is, in the conventional roll-to-roll print etching system 1 of the present invention, a photosensitive photoresist is applied and cured on a substrate in a conventional photolithography process, and then a mask is attached to allow ultraviolet rays to pass through only a certain region of the photoresist, A print register 4 is printed on the web 2 in accordance with a pattern formed on the master roll of the printing means 200, instead of a series of steps of removing an area exposed or exposed to ultraviolet rays through a process, The process of curing the print register 4 through the curing unit 300 is performed.

간략히 말하면, 본 발명의 롤투롤 프린트 에칭 시스템(1)은 인쇄 및 경화 과정이 종래의 포토레지스트(PR) 도포, 경화, 마스크 장착, 노광 및 현상과정을 대체하도록 구성된다.Briefly, the roll-to-roll print etching system 1 of the present invention is configured such that the printing and curing processes replace conventional photoresist (PR) application, curing, mask mounting, exposure and development processes.

이 때, 상기 인쇄수단(200)은 스크린 인쇄, 그라비아(gravure) 인쇄, 그라비아 옵셋(gravure offset) 인쇄, 리버스 옵셋(reverse offset) 인쇄 중 선택되는 적어도 어느 한 가지 방식을 사용할 수 있다.At this time, the printing means 200 may use at least one of screen printing, gravure printing, gravure offset printing and reverse offset printing.

상기와 같은 여러 전자인쇄 방식은 필요한 정밀도에 따라 선택될 수 있다. 또한, 상기 인쇄수단(200)은 상기와 같은 여러 가지 전자인쇄 방식을 위한 장치가 각각 모듈화되어 복수개 구비될 수도 있다.The various electronic printing methods as described above can be selected according to the required precision. In addition, the printing device 200 may be provided with a plurality of devices for various electronic printing methods as described above.

예를 들어, 상기 인쇄수단(200)이 그라비아 인쇄 방식을 사용할 경우에는, 마스터롤 위에 패턴이 새겨진 블랭킷을 감고, 프린트 레지스트를 패턴 안에 채운 후, 도전성 막(3)이 형성된 웹(2) 형태의 기판에 전사시키는 방식으로 수행될 수 있다.For example, when the printing means 200 uses a gravure printing method, a blanket having a pattern formed thereon is wound on a master roll, the printing resist is filled in the pattern, And transferred to a substrate.

또한, 상기 경화수단(300)은 상기 웹(2) 상에 인쇄된 프린트 레지스터(4)의 물성적 특성에 따라 열경화 또는 자외선 경화가 선택적으로 가능하도록 각각 모듈화되어 복수개 구비될 수 있다.The curing unit 300 may be modularized so that thermal curing or ultraviolet curing can be selectively performed according to physical properties of the printed resistors 4 printed on the web 2. [

다시 말해, 상기 웹(2) 상에 인쇄된 프린트 레지스터(4)는 광경화성 레지스터일수도 있고, 열경화성 레지스터일 수도 있는데, 이와 같은 물성적 특성에 따라 경화 방식이 달라져야 한다. 즉, 상기 프린트 레지스터(4)가 광경화성 레지스터일 경우에는 IR(적외선)이나 UV(자외선) 조사부가 구비되어야 하며, 열경화성 레지스터일 경우에는 핫플레이트나 열선과 같은 직접가열부 또는 열풍건조부가 구비되어야 한다.In other words, the print register 4 printed on the web 2 may be a photocurable resistor or a thermosetting resistor, and the curing method must be changed according to such physical property. That is, when the print register 4 is a photo-curable resistor, an IR (infrared ray) or UV (ultraviolet) irradiator must be provided. In the case of a thermosetting resistor, a direct heating unit such as a hot plate or hot wire, do.

이에 따라, 본 발명의 롤투롤 프린트 에칭 시스템(1)은 IR/UV조사부, 직접가열부, 열풍건조부가 각각 모듈화되어 상기 경화수단(300)을 이루도록 형성됨으로써, 프린트 레지스터(4)의 물성적 특성에 따라 자유롭게 선택될 수 있도록 한다.Accordingly, the roll-to-roll print etching system 1 of the present invention is configured such that the IR / UV irradiation unit, the direct heating unit, and the hot air drying unit are each modularized to form the curing unit 300, So that it can be selected freely according to

이에 따라, 본 발명의 롤투롤 프린트 에칭 시스템(1)은 스크린 인쇄, 그라비아 인쇄, 그라비아 옵셋 인쇄, 리버스 옵셋 인쇄 등의 여러 인쇄방식을 위한 인쇄수단(200)이 각각 모듈화되어 복수개 구비됨으로써, 필요한 정밀도에 따라 선택할 수 있으며, 열경화 또는 자외선 경화 등 레지스트의 물성적 특징에 따라 경화수단(300)이 선택될 수 있도록 서로 다른 종류의 경화수단(300)이 모듈화되어 형성됨으로써, 일체의 장비만으로 다양한 재료를 이용한 다양한 인쇄기술을 적용하는 것이 가능하여, 공정 중간에 다른 장치로 옮겨 줄 필요가 없어 공정이 간소화될 수 있다는 장점이 있다.Accordingly, the roll-to-roll print etching system 1 of the present invention is provided with a plurality of printing means 200 for various printing methods such as screen printing, gravure printing, gravure offset printing, reverse offset printing, etc., And the curing unit 300 of different kinds is modularized so that the curing unit 300 can be selected according to the physical properties of the resist such as thermal curing or ultraviolet curing. It is possible to apply a variety of printing technologies using a printing apparatus, and there is no need to transfer the printing apparatus to another apparatus in the middle of the process, thereby simplifying the process.

한편, 상기 에칭수단(400)은 상기 경화수단(300)을 통과한 상기 웹(2) 상에서 프린트 레지스터(4)가 인쇄되지 않은 나머지 영역에 형성된 도전성 막(3)을 에칭하게 된다.On the other hand, the etching unit 400 etches the conductive film 3 formed in the remaining area where the print register 4 is not printed on the web 2 that has passed through the curing unit 300.

상기 에칭수단(400)은 식각액을 사용하는 습식 식각 방식 또는 플라즈마나 레이저를 이용하는 건식 식각 방식이 수행될 수 있도록 구성되며, 이에 한정되는 것은 아니다.The etching means 400 may be configured to perform a wet etching method using an etching solution or a dry etching method using a plasma or a laser, but is not limited thereto.

습식 식각을 사용할 경우, 식각액으로는 질산(HNO3) 용액, 인산/질산/초산의 혼합 산 용액, 과산화수소, 과염소산, 염산, 불산 및 옥살산 중 하나 또는 둘 이상 또는 이의 수용액을 사용할 수 있으며, 필요한 경우 원하는 도전성 막(3)을 식각하기 위한 첨가제 및 기타 원소를 첨가할 수 있으나 이에 한정되는 것은 아니며 일반적으로 해당도전성 막(3)의 식각 용액으로 알려진 것을 이용하여도 무방하다.If wet etching is used, the etching solution may be one or more of an aqueous solution of nitric acid (HNO 3), a mixed acid solution of phosphoric acid / nitric acid / acetic acid, hydrogen peroxide, perchloric acid, hydrochloric acid, hydrofluoric acid and oxalic acid, An additive for etching the conductive film 3 and other elements may be added. However, the present invention is not limited to this, and a known etching solution for the conductive film 3 may be used.

상기 스트립수단(500)은 상기 에칭수단(400)을 통과한 웹(2) 상의 프린트 레지스터(4)를 제거하는 것으로, 최종적으로 형성될 패턴 상측면을 덮고 있는 프린트 레지스터(4)를 별도의 식각액을 사용하여 제거할 수 있다.The stripping means 500 removes the print register 4 on the web 2 that has passed through the etching means 400 and removes the print register 4 covering the pattern side to be finally formed from the etching solution Can be removed.

상기 세정수단(600)은 상기 스트립수단(500)을 통과한 웹(2)을 세정하는 것으로, 일종의 잔여물을 제거하게 된다.The cleaning means 600 removes a kind of residue by cleaning the web 2 that has passed through the strip means 500.

도 1에 도시된 바와 같이, 본 발명의 롤투롤 프린트 에칭 시스템(1)은 상기 제1언와인더(100)에서 공급되는 웹(2)을 지지하는 작업대롤(800)이 더 구비될 수 있다.1, the roll-to-roll print etching system 1 of the present invention may further include a work table roll 800 that supports the web 2 supplied from the first unwinder 100 .

상기 작업대롤(800)은 상기 제1언와인더(100)와 상기 에칭수단(400) 사이에 구비될 수도 있으며, 상기 인쇄수단(200), 경화수단(300), 에칭수단(400), 스트립수단(500) 및 세정수단(600) 사이에 더 구비될 수도 있다.The work table roll 800 may be provided between the first unwinder 100 and the etching means 400 and may include the printing means 200, the hardening means 300, the etching means 400, May further be provided between the means (500) and the cleaning means (600).

본 발명의 롤투롤 프린트 에칭 시스템(1)은 여러 공정이 수행되지 위한 수단들이 통합적으로 형성된 것이므로, 상기 웹(2)이 각 공정을 거치는 과정에서 밑으로 쳐지거나 일정 장력이 유지되지 못하는 것을 방지하기 위해 상기 작업대롤(800)이 구비될 수 있다.Since the roll-to-roll print etching system 1 of the present invention is integrally formed with the means for performing various processes, it is possible to prevent the web 2 from being stuck to the bottom of the process, The work table roll 800 may be provided.

이 때, 상기 작업대롤(800)은 상기 웹(2)의 하측에서 지지하는 것일 수도 있으며, 상기 웹(2)의 상ㆍ하면에 접촉되어 맞물려 회전하는 한 쌍의 롤일 수도 있다.At this time, the work table roll 800 may support the lower side of the web 2, or may be a pair of rolls which are in contact with the upper and lower surfaces of the web 2 and rotate together.

특히, 본 발명의 롤투롤 프린트 에칭 시스템(1)은 상기 인쇄수단(200), 경화수단(300), 에칭수단(400) 및 세정수단(600)이 상기 작업대롤(800)을 통과한 웹(2)의 수평 진행 경로 상에 배치되되, 상기 인쇄수단(200) 및 경화수단(300)이 상기 웹(2)의 상측에 배치되며, 상기 에칭수단(400), 스트립수단(500) 및 세정수단(600)이 상기 웹(2)의 하측에 배치될 수 있다.In particular, the roll-to-roll print etching system 1 of the present invention is characterized in that the printing means 200, the curing means 300, the etching means 400 and the cleaning means 600 are connected to the web 2, the printing means 200 and the curing means 300 are disposed on the upper side of the web 2, and the etching means 400, the strip means 500, and the cleaning means 300, (600) may be disposed below the web (2).

상기 인쇄수단(200)은 상기 웹(2)의 상측에서 가압하는 방식으로 패턴전사가 이루어지기 때문에 상측에 배치되는 것이 일반적이며, 상기 경화수단(300)은 자외선 또는 적외선이 조사되는 경우 상측에서 조사되는 것이 일반적이지만, 직접가열 또는 열풍건조의 경우 측면 또는 하측면에 위치할 수도 있다.Since the printing means 200 is transferred on the upper side of the web 2, pattern transfer is generally performed on the upper side of the web 2. The curing means 300, when irradiated with ultraviolet rays or infrared rays, , But it may be located on the side surface or the lower surface in the case of direct heating or hot air drying.

따라서 필요에 따라, 상기 인쇄수단(200) 및 경화수단(300)의 위치는 얼마든지 다양하게 변경실시 가능하다.Therefore, if necessary, the positions of the printing means 200 and the curing means 300 can be variously changed.

또한, 상기 에칭수단(400), 스트립수단(500) 및 세정수단(600)은 내부에 식각액 또는 세정수 등의 용매가 용기에 수용되는 형태일 수 있어, 상기 웹(2)의 하측에 배치되는 경우가 일반적이다.The etching means 400, the strip means 500 and the cleaning means 600 may be configured such that a solvent such as an etching solution or washing water is contained in the container, The case is common.

한편, 본 발명의 롤투롤 프린트 에칭 시스템(1)은 웹(2)을 롤투롤 방식으로 공급할 때, 연속적으로 공급하는 연속방식과, 공급 및 멈춤이 반복되는 스탑앤고(stop and go) 방식 중 어느 한 방식으로 공급될 수 있다.On the other hand, the roll-to-roll print etching system 1 of the present invention can be applied to a continuous-type continuous supplying system and a stop-and-go system in which feeding and pausing are repeated Can be supplied in one way.

도 2를 참고로 ,본 발명에 따른 롤투롤 프린트 에칭 시스템(1)을 이용한 공정에 대해 설명하면,Referring to FIG. 2, a process using the roll-to-roll print etching system 1 according to the present invention will be described.

먼저, 상기 웹(2)은 상기 제1언와인더(100)로부터 상기 인쇄수단(200)으로 공급되며, 이 때, 상기 웹(2)의 상측면에는 도전성 막(3)이 형성된 상태이다.First, the web 2 is supplied from the first unwinder 100 to the printing means 200, and a conductive film 3 is formed on the upper side of the web 2 at this time.

상기 인쇄수단(200)은 마스터롤의 표면에 형성된 패턴에 따라 상기 프린트 레지스터(4)를 상기 웹(2)에 전사시킨다.The printing means 200 transfers the print register 4 onto the web 2 according to a pattern formed on the surface of the master roll.

다음, 상기 웹(2)은 상기 경화수단(300)을 통과하게 되며, 이 때, 열 또는 UV/IR을 통해 표면의 프린트 레지스터(4)가 경화된다.Next, the web 2 is passed through the curing means 300, at which time the surface print register 4 is cured via heat or UV / IR.

다음, 상기 웹(2) 상에 경화된 프린트 레지스터(4)가 형성되지 않은 나머지 영역에 위치한 도전성 막(3)이 상기 에칭수단(400)을 통과하며 제거된다.Next, the conductive film 3 located in the remaining region where the cured print register 4 is not formed on the web 2 is removed through the etching means 400.

다음, 상기 웹(2)은 상기 스트립수단(500)을 거쳐 상기 프린트 레지스터(4)가 제거되며, 마지막으로 상기 세정수단(600)을 통해 세정됨으로써 패턴 전사가 완료된다.Next, the web 2 is removed from the print register 4 via the strip unit 500, and finally, the pattern is transferred through the cleaning unit 600, thereby completing the pattern transfer.

간략히 정리하면, 본 발명은 전자 인쇄 방식으로 웹(2) 형태의 기판에 프린트 레지스터(4)를 인쇄할 수 있도록 함으로써, PR 도포, 열처리, 마스크 장착, 노광 및 현상 과정을 전자 인쇄 과정으로 간편하게 대체할 수 있으며, 에칭수단(400)이 통합되어 형성됨으로써, 이후, 에칭공정이 바로 수행될 수 있어 공정시간이 크게 단축될 수 있는 장점이 있다.
Briefly summarized, the present invention facilitates PR printing, heat treatment, mask mounting, exposure and development processes to an electronic printing process by allowing the printing register 4 to be printed on a web 2 type substrate using an electronic printing system Since the etching means 400 is integrally formed, the etching process can be performed immediately, and the process time can be greatly shortened.

한편, 본 발명의 롤투롤 프린트 에칭 시스템(1)은 상기 제1언와인더(100) 및 제1와인더(110) 사이에서 이송되는 상기 웹(2)의 장력을 조절하는 장력조절부(700)를 더 포함하여 형성될 수 있다.The roll-to-roll print etching system 1 of the present invention includes a tension controller 700 for adjusting the tension of the web 2 transferred between the first unwinder 100 and the first winder 110, ). ≪ / RTI >

일반적인 롤투롤 프린트 에칭 시스템(1)은 웹 형태의 기판을 인쇄 및 경화하게 되면, 경화시의 열로 웹이 팽창과 수축을 경험하게 되면서, 다음 레이어를 중첩 인쇄할 때에 오버레이 정밀도를 맞출 수 없게 된다.In a typical roll-to-roll print etching system 1, when a web-shaped substrate is printed and cured, the web undergoes expansion and contraction due to heat at the time of curing, so that overlay accuracy can not be achieved when superimposing the next layer.

특히, 롤투롤 프린트 에칭 시스템(1)은 롤투롤로 장력을 가해 인쇄 및 경화를 하게 되기 때문에 롤투롤 진행방향으로 늘어났다가, 식어지는 과정을 통해 다시 줄어들어 전체적으로는 웹의 진행방향으로 큰 변형이 생기게 된다.Particularly, since the roll-to-roll print etching system 1 is subjected to printing and curing by applying a tensile force to the roll-to-roll printing, the roll-to-roll printing etching system 1 is stretched in the roll-to-roll direction and then reduced again through the cooling process, .

따라서 본 발명의 롤투롤 프린트 에칭 시스템(1)은 정밀한 중첩인쇄를 위해, 상기 장력조절부(700)를 통해 웹의 장력을 조절하여 늘어난 정도를 조절함으로써, 정밀한 중첩인쇄가 가능하도록 한다.Therefore, the roll-to-roll print etching system 1 of the present invention adjusts the degree of tension of the web by adjusting the tensile force of the web through the tension adjuster 700 for accurate superimposed printing, thereby enabling precise superimposed printing.

다시 설명하면, 본 발명의 롤투롤 프린트 에칭 시스템(1)은 제1언와인더(100) 및 제1와인더(110)에서 서로 잡아당기는 힘으로 인해 상기 웹(2)이 장력이 가해지게 되며, 당기는 곳에서 롤의 미끄러짐이 발생할 수 있을 뿐만 아니라, 상기 경화수단(300)에서 열이 가해질 경우, 상기 웹(2)이 늘어나게 되는 등, 여러 가지 요인에 의해 실제 제1와인더(110)에서 상기 웹(2)을 잡아당긴 거리, 즉, 웹(2) 이송을 위해 설정된 이송 거리 값과 실제로 상기 웹(2)이 이송된 거리 사이에는 편차가 발생될 수밖에 없다.In other words, the roll-to-roll print etching system 1 of the present invention causes the web 2 to be tensioned due to the mutual pulling force of the first unwinder 100 and the first winder 110 The web 2 is stretched when heat is applied from the curing unit 300. The first web 110 is wound on the first web 110 and the second web 110 is wound on the second web 110, A deviation is generated between the pulling distance of the web 2, that is, the distance of conveyance distance set for the conveyance of the web 2 and the distance at which the web 2 is actually conveyed.

따라서 본 발명의 롤투롤 프린트 에칭 시스템(1)은 웹(2) 위치제어를 위한 정밀 얼라인이 필요하며, 이를 위해 상기 장력조절부(700)를 포함하여 형성될 수 있다.
Therefore, the roll-to-roll print etching system 1 of the present invention requires precise alignment for controlling the position of the web 2, and may be formed to include the tension adjuster 700 for this purpose.

이때, 상기 장력조절부(700)는 크게 인피더(710), 장력 센서(720), 촬영부(730) 및 제어부(740)를 포함하여 형성될 수 있다.The tension controller 700 may include a scaler 710, a tension sensor 720, a photographing unit 730, and a controller 740.

상기 인피더(710)는 상기 제1언와인더(100) 및 인쇄수단(200) 사이에 배치되며, 내부에 모터가 있어, 상기 제1언와인더(100)로부터 권출되는 클리쉐용 필름(F)을 밀어주며 속도를 조절할 수 있다.The absorber 710 is disposed between the first unwinder 100 and the printing means 200 and has a motor therein so that the cleansing film F ) And adjust the speed.

상기 인피더(710)는 도 3 내지 도 6에 도시된 것처럼, 상기 웹(2)의 상ㆍ하면에 배치되어 서로 맞닿아 회전하며 상기 웹(2)을 진행방향으로 밀어줄 수 있다.3 to 6, the infill 710 may be disposed on the upper and lower surfaces of the web 2, and may be rotated to abut against each other to push the web 2 in the advancing direction.

상기 장력 센서(720)는 상기 인피더(710) 및 인쇄수단(200) 사이에 배치되어 상기 웹(2)의 장력을 측정하는 것으로, 일종의 로드 셀로서, 그 형태 및 방법은 다양하게 변경실시가 가능하다.The tensile force sensor 720 is disposed between the absorber 710 and the printing means 200 to measure the tensile force of the web 2. The shape and method of the load cell 720 are variously modified It is possible.

상기 촬영부(730)는 상기 인쇄수단(200) 및 제1와인더(110) 사이에 배치되어 상기 인쇄수단(200)을 거쳐 인쇄된 제2얼라인 마크와, 기존에 상기 인쇄수단(200) 상에 인쇄되어 있던 제2얼라인 마크의 비교를 위한 촬영을 실시하며, 촬영된 영상을 상기 제어부(740)로 전달하게 된다.The photographing unit 730 includes a second alignment mark disposed between the printing unit 200 and the first winder 110 and printed through the printing unit 200, And transmits the photographed image to the control unit 740. The control unit 740 controls the display unit 740 to display the second alignment mark.

상기 촬영부(730)는 적어도 하나 이상 구비되며, 두 개 구비되어, 두 개의 얼라인 마크를 각각 촬영할 수도 있다.At least one photographing unit 730 is provided, and two photographing units 730 can photograph two alignment marks.

상기 제어부(740)는 상기 장력 센서(720) 및 촬영부(730)에 의해 측정된 결과에 따라, 상기 인피더(710), 제1언와인더(100) 및 제1와인더(110)의 동작을 제어하게 된다.
The controller 740 controls the operation of the infuser 710, the first unwinder 100 and the first winder 110 according to the results measured by the tension sensor 720 and the photographing unit 730. [ And controls the operation.

이하에서는 도 3 및 도 6을 참고로 본 발명의 롤투롤 프린트 에칭 시스템(1)의 얼라인방법에 대한 다양한 실시예에 대해 다시 설명하기로 한다.
Hereinafter, various embodiments of the aligning method of the roll-to-roll print etching system 1 of the present invention will be described again with reference to FIGS. 3 and 6. FIG.

실시예 1.Example 1.

도 3에 도시된 본 발명의 롤투롤 프린트 에칭 시스템(1)은 상기 웹(2)의 진행방향으로 제1언와인더(100)와, 인피더(710), 장력 센서(720), 인쇄수단(200), 촬영부(730), 경화수단(300), 에칭수단(400), 스트립수단(500), 세정수단(600) 및 제1와인더(110)의 순으로 배치되어 형성된다.The roll-to-roll print etching system 1 of the present invention shown in FIG. 3 comprises a first unwinder 100 in the traveling direction of the web 2, a first winder 100, a infiller 710, a tension sensor 720, The stripping unit 500, the cleaning unit 600, and the first winder 110 are disposed in this order from the bottom of the screen 200, the photographing unit 730, the curing unit 300, the etching unit 400,

상기 인피더(710)는 상기 제1언와인더(100)로부터 일정 속도로 권출되는 상기 웹(2)을 밀며, 속도를 조절한다.The infuser 710 pushes the web 2, which is unwound from the first unwinder 100 at a constant speed, and adjusts the speed.

상기 제어부(740)에서는 상기 인쇄수단(200)에서 패턴이 인쇄된 후, 상기 촬영부(730)로부터 촬영된 영상을 통해, 이웃하는 제1얼라인 마크 및 제2얼라인 마크 간의 거리와 크기를 측정하여 얼라인 정밀도를 측정하는 측정한다.The control unit 740 controls the distance and size between the neighboring first and second alignment marks through the image photographed by the photographing unit 730 after the pattern is printed by the printing unit 200 And the alignment accuracy is measured.

이후, 상기 제어부(740)는 측정된 결과에 따라 장력 값이 변하도록 상기 제1와인더(110)의 토크 값을 변화시키는 폐루프 시스템에 의해 얼라인 정밀도를 개선한다.Thereafter, the controller 740 improves the accuracy of the alignment by the closed loop system that changes the torque value of the first winder 110 so that the tension value changes according to the measured result.

도 3에 도시된 실시예를 바탕으로 본 발명의 롤투롤 프린트 에칭 시스템(1)의 얼라인 방법을 설명하면,Referring to the alignment method of the roll-to-roll printing etching system 1 of the present invention based on the embodiment shown in FIG. 3,

본 발명의 롤투롤 프린트 에칭 시스템(1)의 얼라인 방법은 a) 상기 제1언와인더(100)로부터 권출되는 상기 웹(2)이 상기 인피더(710)에 의해 권출 속도가 조절되는 속도 조절 단계(S100); b) 상기 인쇄수단(200)에 의해 인쇄된 제2얼라인 마크와, 상기 웹(2)에 형성되어 있던 제1얼라인 마크를 상기 촬영부(730)에서 촬영하는 촬영 단계(S200); c) 상기 촬영부(730)로부터 촬영된 영상을 통해, 상기 제어부(740)에서 이웃하는 제1얼라인 마크 및 제2얼라인 마크 간의 거리와 크기를 측정하여 얼라인 정밀도를 측정하는 측정 단계(S300); 를 포함한다.The method of aligning the roll-to-roll print etching system (1) of the present invention comprises the steps of: a) determining the speed at which the web (2) wound from the first unwinder (100) Adjusting step S100; b) a photographing step (S200) of photographing the second alignment mark printed by the printing means (200) and the first alignment mark formed on the web (2) by the photographing section (730); c) measuring a distance and a size between the neighboring first and second alignment marks in the control unit 740 through the image photographed by the photographing unit 730, S300); .

이후, 본 발명의 롤투롤 프린트 에칭 시스템(1)의 얼라인 방법에 의하면 d) 상기 제어부(740)에 의해 측정된 얼라인 정밀도에 따라 상기 제1와인더(110)의 토크 값을 조절되는 피드백 단계(S400)가 더 수행될 수 있다.Thereafter, according to the aligning method of the roll-to-roll printing etching system 1 of the present invention, d) the feedback value of the torque value of the first winder 110 is adjusted according to the alignment accuracy measured by the controller 740, Step S400 may be further performed.

이때, 상기 c) 단계에서 측정된 결과 값에 따라 상기 웹(2)의 장력을 증가시켜야 하는 경우에는 상기 피드백 단계(S400)에서 상기 제1와인더(110)의 토크 값 조절하여 상기 제1와인더(110)의 회전속도를 상기 웹(2)의 속도보다 빠르게 하면 장력이 증가될 수 있다.If the tension of the web 2 is to be increased according to the result measured in the step c), the torque value of the first winder 110 is adjusted in the feedback step S400, If the rotation speed of the drum 110 is higher than the speed of the web 2, the tension can be increased.

즉, 상기 인쇄수단(200)을 거친 웹(2)은 보통 열변형에 의해 줄어들게 되므로, 잡아당기는 장력의 힘을 조절하여 얼라인을 맞출 수 있으며, 이에 따라 정밀한 중첩 인쇄가 가능하도록 할 수 있다.That is, since the web 2 having passed through the printing means 200 is usually reduced by thermal deformation, the aligning force can be adjusted by adjusting the tension force of the pulling force, thereby enabling precise overlap printing.

예를 들어, PET 필름의 탄성계수는 3.3 - 4.0 Gpa 정도이므로, 300mm 폭과, 0.5mm 두께의 웹(2)에 1000N 정도 가하면 1m 당 200um 정도 늘어나므로, 상기 제어부(740)는 이와 같은 조건이 미리 입력되도록 하여, 장력 조절에 필요한 수단들로 피드백이 이루어지도록 한다.For example, since the modulus of elasticity of the PET film is about 3.3 to 4.0 Gpa, the controller 740 increases the thickness of the web 2 by 300 mm and a thickness of about 0.5 mm, So that the feedback is performed by means necessary for tension control.

하지만, 만약 열변형에 의해 상기 웹(2)이 늘어난다면, 잡아당기는 장력의 힘으로는 줄어들게 할 수 없으므로 상기 c) 단계에서 측정된 결과 값에 따라 상기 웹(2)이 늘어났다고 판단되는 경우, 상기 인쇄수단(200)에서 인쇄되는 패턴의 크기가 원래보다 작게 인쇄되도록 한다.However, if the web 2 is stretched due to thermal deformation, it can not be reduced by the tensile force. Therefore, if it is determined that the web 2 is stretched according to the resultant value measured in the step c) The size of the pattern printed by the printing means 200 is printed smaller than the original size.

즉, 상기 웹(2)이 늘어난 경우에는 늘어나는 정도를 측정하여, 1m당 100~500um 정도 약간 작게 각인하고, 이를 장력으로 맞추는 방법을 사용할 수 있다.
That is, when the web 2 is stretched, the extent to which the web 2 is stretched is measured, and the web 2 is stamped with a small size of about 100 to 500 μm per 1 m.

실시예 2.Example 2.

도 4에 도시된 본 발명의 롤투롤 프린트 에칭 시스템(1)은 상기 웹(2)의 진행방향으로 제1언와인더(100)와, 인피더(710), 장력 센서(720), 인쇄수단(200), 촬영부(730), 경화수단(300), 아웃피더(750), 에칭수단(400), 스트립수단(500), 세정수단(600) 및 제1와인더(110)의 순으로 배치되어 형성된다.The roll-to-roll print etching system 1 of the present invention shown in FIG. 4 comprises a first unwinder 100 in the direction of travel of the web 2, and an inflator 710, a tension sensor 720, The stripping means 500, the cleaning means 600 and the first winder 110 in that order from the side of the image forming unit 200, the photographing unit 730, the curing unit 300, the outfeeder 750, the etching unit 400, Respectively.

상기 아웃피더(750)는 상기 제1언와인더(100)로부터 일정 속도로 권출되어 상기 경화수단을 통과한 상기 웹(2)을 밀며, 웹(2)의 속도를 조절한다.The outfeeder 750 is wound at a constant speed from the first unwinder 100 to push the web 2 passed through the curing means and adjust the speed of the web 2.

도 4의 롤투롤 프린트 에칭 시스템(1) 동작을 설명하면, 상기 인피더(710)는 상기 제1언와인더(100)로부터 일정 속도로 권출되는 상기 웹(2)을 밀며, 속도를 조절한다.Describing the roll-to-roll print etching system 1 operation of FIG. 4, the absorber 710 pushes the web 2 unwound from the first unwinder 100 at a constant speed and adjusts the speed .

상기 제어부(740)에서는 상기 인쇄수단(200)에서 패턴이 인쇄된 후, 상기 촬영부(730)로부터 촬영된 영상을 통해, 이웃하는 제1얼라인 마크 및 제2얼라인 마크 간의 거리와 크기를 측정하여 얼라인 정밀도를 측정하는 측정한다.The control unit 740 controls the distance and size between the neighboring first and second alignment marks through the image photographed by the photographing unit 730 after the pattern is printed by the printing unit 200 And the alignment accuracy is measured.

이후, 상기 제어부(740)는 측정된 결과에 따라 장력 값이 변하도록 상기 제1와인더(110)의 클러치(111) 마찰력을 조정하여, 상기 제1와인더(110)를 상기 웹(2)보다 약간 빠르게 회전시키는 폐루프 시스템을 만들어, 얼라인 정밀도를 개선한다.The control unit 740 adjusts the friction force of the clutch 111 of the first winder 110 so that the tension value changes according to the measured result and outputs the first winder 110 to the web 2, To create a closed-loop system that rotates slightly faster, improving alignment accuracy.

상기 제어부(740)에서는 상기 인쇄수단(200)에서 패턴이 인쇄된 후, 상기 촬영부(730)로부터 촬영된 영상을 통해, 이웃하는 제1얼라인 마크 및 제2얼라인 마크 간의 거리와 크기를 측정하여 얼라인 정밀도를 측정하는 측정한다.The control unit 740 controls the distance and size between the neighboring first and second alignment marks through the image photographed by the photographing unit 730 after the pattern is printed by the printing unit 200 And the alignment accuracy is measured.

이후, 상기 제어부(740)는 측정된 결과에 따라 장력 값이 변하도록 상기 아웃피더(750)의 토크 값을 변화시키는 폐루프 시스템에 의해 얼라인 정밀도를 개선한다.
Thereafter, the control unit 740 improves the accuracy of the alignment by the closed loop system that changes the torque value of the outfeeder 750 so that the tension value changes according to the measured result.

실시예 3.Example 3.

도 5에 도시된 본 발명의 롤투롤 프린트 에칭 시스템(1)은 상기 웹(2)의 진행방향으로 제1언와인더(100)와, 인피더(710), 장력 센서(720), 인쇄수단(200), 촬영부(730), 경화수단(300), 에칭수단(400), 스트립수단(500), 세정수단(600) 및 제1와인더(110)의 순으로 배치되어 형성된다.The roll-to-roll print etching system 1 of the present invention shown in FIG. 5 includes a first unwinder 100 in the traveling direction of the web 2, a first winder 100, an infeeder 710, a tension sensor 720, The stripping unit 500, the cleaning unit 600, and the first winder 110 are disposed in this order from the bottom of the screen 200, the photographing unit 730, the curing unit 300, the etching unit 400,

이때, 상기 제1와인더(110)는 클러치(111)가 연결되어 회전되는 와인더로, 장력 조절을 위해 클러치(111)의 마찰력이 조정될 수 있다.In this case, the first winder 110 is a winder connected to the clutch 111 so that the friction force of the clutch 111 can be adjusted to adjust the tension.

도 5의 롤투롤 프린트 에칭 시스템(1) 동작을 설명하면, 상기 인피더(710)는 상기 제1언와인더(100)로부터 일정 속도로 권출되는 상기 웹(2)을 밀며, 속도를 조절한다.Describing the roll-to-roll print etching system 1 operation of FIG. 5, the absorber 710 pushes the web 2 unwound from the first unwinder 100 at a constant speed and adjusts the speed .

상기 제어부(740)에서는 상기 인쇄수단(200)에서 패턴이 인쇄된 후, 상기 촬영부(730)로부터 촬영된 영상을 통해, 이웃하는 제1얼라인 마크 및 제2얼라인 마크 간의 거리와 크기를 측정하여 얼라인 정밀도를 측정하는 측정한다.The control unit 740 controls the distance and size between the neighboring first and second alignment marks through the image photographed by the photographing unit 730 after the pattern is printed by the printing unit 200 And the alignment accuracy is measured.

이후, 상기 제어부(740)는 측정된 결과에 따라 장력 값이 변하도록 상기 제1와인더(110)의 클러치(111) 마찰력을 조정하여, 상기 제1와인더(110)를 상기 웹(2)보다 약간 빠르게 회전시키는 폐루프 시스템을 만들어, 얼라인 정밀도를 개선한다.
The control unit 740 adjusts the friction force of the clutch 111 of the first winder 110 so that the tension value changes according to the measured result and outputs the first winder 110 to the web 2, To create a closed-loop system that rotates slightly faster, improving alignment accuracy.

본 발명은 상기한 실시예에 한정되지 아니하며, 적용범위가 다양함은 물론이고, 청구범위에서 청구하는 본 발명의 요지를 벗어남이 없이 당해 본 발명이 속하는 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 누구든지 다양한 변형 실시가 가능한 것은 물론이다.
It will be understood by those skilled in the art that various changes in form and details may be made therein without departing from the spirit and scope of the invention as defined by the appended claims. It goes without saying that various modifications can be made.

1 : 롤투롤 프린트 에칭 시스템
2 : 웹
3 : 도전성 막
4 : 프린트 레지스터
100 : 제1언와인더
110 : 제1와인더 111 : 클러치
200 : 인쇄수단
300 : 경화수단
400 : 에칭수단
500 : 스트립수단
600 : 세정수단
700 : 장력조절부
710 : 인피더 720 : 장력 센서
730 : 촬영부 740 : 제어부
750 : 아웃피더
800 : 작업대롤
1: Roll to Roll Print Etching System
2: Web
3: conductive film
4: Print register
100: 1st un winder
110: first winder 111: clutch
200: printing means
300: Curing means
400: etching means
500: strip means
600: cleaning means
700:
710: Infiler 720: Tension sensor
730: photographing section 740:
750: Outfeeder
800: Work table roll

Claims (15)

웹 형태의 기판이 감겨져 이루어진 롤이 장착되어 상기 웹을 공급하는 제1언와인더;
상기 제1언와인더에서 공급되며, 상측면에 도전성 막이 형성된 웹에 프린트 레지스터를 인쇄하는 인쇄수단;
상기 인쇄수단을 통과한 상기 웹 상의 프린트 레지스터를 경화시키는 경화수단;
상기 경화수단을 통과한 상기 웹 상에서 프린트 레지스터가 인쇄되지 않은 나머지 영역을 에칭하는 에칭수단;
상기 에칭수단을 통과한 웹 상의 프린트 레지스터를 제거하는 스트립수단;
상기 스트립수단을 통과한 웹을 세정하는 세정수단; 및
상기 세정수단의 후단에 배치되어, 상기 기판을 권취시키는 제1와인더; 을 포함하여 형성되는 것을 특징으로 하는 롤투롤 프린트 에칭 시스템.
A first unwinder for supplying the web with a web-shaped substrate wound thereon;
Printing means supplied from the first unwinder and printing a print register on a web on which an electroconductive film is formed on an upper side;
Curing means for curing the print register on the web that has passed through the printing means;
Etch means for etching the remaining region where the print register is not printed on the web passing through the curing means;
Strip means for removing print registers on the web that have passed through said etching means;
Cleaning means for cleaning the web passing through the strip means; And
A first winder disposed at a rear end of the cleaning means for winding the substrate; And wherein the roll-to-roll print etch system comprises:
제 1항에 있어서,
상기 롤투롤 프린트 에칭 시스템은
상기 제1언와인더 및 제1와인더 사이에서 이송되는 상기 웹의 장력을 조절하는 장력조절부를 더 포함하여 형성되는 것을 특징으로 하는 롤투롤 프린트 에칭 시스템.
The method according to claim 1,
The roll-to-roll print etching system
And a tension regulator for regulating the tension of the web fed between the first unwinder and the first winder.
제 2항에 있어서,
상기 장력조절부는
상기 제1언와인더 및 인쇄수단 사이에 배치되며, 상기 제1언와인더로부터 권출되는 상기 웹의 속도를 조절하는 인피더;
상기 인피더 및 인쇄수단 사이에 배치되어 상기 웹의 장력을 측정하는 장력 센서;
상기 인쇄수단 및 경화수단 사이에 배치되어 상기 웹을 촬영하는 촬영부;
상기 장력 센서 및 촬영부에 의해 측정된 결과에 따라 상기 인피더, 제1언와인더 및 제1와인더의 동작을 제어하는 제어부;
를 포함하여 형성되는 것을 특징으로 하는 롤투롤 프린트 에칭 시스템.
3. The method of claim 2,
The tension adjuster
An inflator disposed between the first unwinder and the printing means, the inflator adjusting the speed of the web being unwound from the first unwinder;
A tension sensor disposed between the absorber and the printing means to measure the tension of the web;
A photographing unit disposed between the printing unit and the curing unit to photograph the web;
A control unit for controlling operations of the infuser, the first unwinder, and the first winder according to the results measured by the tension sensor and the photographing unit;
And wherein the roll-to-roll print etch system comprises:
제 3항에 있어서,
상기 인피더는
상기 제1언와인더로부터 권출되는 웹의 양측면에 롤러 형태로 구비되며, 모터에 의해 일정 속도로 회전하여 상기 웹을 진행방향으로 밀어주는 것을 특징으로 하는 롤투롤 프린트 에칭 시스템.
The method of claim 3,
The infuser
Wherein the roller is provided on both sides of the web wound from the first unwinder and is rotated at a constant speed by a motor to push the web in the advancing direction.
제 3항에 있어서,
상기 제1언와인더 및 제1와인더는
상기 제어부에 의해 모터 토크 또는 클러치의 마찰력이 조절되어 상기 웹의 장력을 조절하는 것을 특징으로 하는 롤투롤 프린트 에칭 시스템.
The method of claim 3,
The first un winder and the first winder
Wherein the motor torque or the friction force of the clutch is controlled by the control unit to adjust the tension of the web.
제 3항에 있어서,
상기 촬영부는
적어도 하나 이상 구비되며,
상기 웹에 형성되어 있던 제1얼라인 마크와, 상기 인쇄수단을 거치면서 인쇄된 제2얼라인 마크를 촬영하여, 상기 제어부로 촬영된 영상을 전달하는 것을 특징으로 하는 롤투롤 프린트 에칭 시스템.
The method of claim 3,
The photographing unit
At least one,
Wherein the first alignment mark formed on the web and the second alignment mark printed while passing through the printing means are photographed and the photographed image is transmitted to the control unit.
제 1항에 있어서,
상기 롤투롤 프린트 에칭 시스템은
상기 인쇄수단이 스크린 인쇄, 그라비아 인쇄, 그라비아 옵셋 인쇄, 리버스 옵셋 인쇄 중 선택되는 적어도 어느 한 가지 방식을 사용하는 것을 특징으로 하는 롤투롤 프린트 에칭 시스템.
The method according to claim 1,
The roll-to-roll print etching system
Wherein the printing means uses at least one of screen printing, gravure printing, gravure offset printing, and reverse offset printing.
제 7항에 있어서,
상기 인쇄수단은
여러 가지 인쇄방식을 위한 장치가 각각 모듈화되어 복수개 구비되는 것을 특징으로 하는 롤투롤 프린트 에칭 시스템.
8. The method of claim 7,
The printing means
Wherein a plurality of apparatuses for various printing methods are modularized.
제 1항에 있어서,
상기 롤투롤 프린트 에칭 시스템은
상기 경화수단이 상기 웹 상에 인쇄된 프린트 레지스터의 물성적 특성에 따라 열경화 또는 자외선 경화가 선택적으로 가능하도록 각각 모듈화되어 복수개 구비되는 것을 특징으로 하는 롤투롤 프린트 에칭 시스템.
The method according to claim 1,
The roll-to-roll print etching system
Wherein the curing unit is provided with a plurality of modules, each of which is modularized so that thermal curing or ultraviolet curing can be selectively performed according to physical properties of a print register printed on the web.
제 1항에 있어서,
상기 롤투롤 프린트 에칭 시스템은
상기 제1언와인더에서 공급되는 웹을 지지하는 작업대롤이 더 구비되며,
상기 인쇄수단, 경화수단, 에칭수단, 스트립수단 및 세정수단이 상기 작업대롤을 통과한 웹의 수평 진행 경로 상에 배치되되,
상기 인쇄수단 및 경화수단이 상기 웹의 상측에 배치되며,
상기 에칭수단, 스트립수단 및 세정수단이 상기 웹의 하측에 배치되는 것을 특징으로 하는 롤투롤 프린트 에칭 시스템.
The method according to claim 1,
The roll-to-roll print etching system
Further comprising a work table roll for supporting the web supplied from the first unwinder,
The printing means, the curing means, the etching means, the strip means and the cleaning means are arranged on the horizontal path of the web passing through the work table roll,
The printing means and the curing means are disposed on the upper side of the web,
Wherein the etching means, the strip means and the cleaning means are disposed on the underside of the web.
제 1항에 있어서,
상기 롤투롤 프린트 에칭 시스템은
연속방식 또는 스탑앤고(stop and go)방식이 적용되어 상기 웹이 상기 제1언와인더로부터 공급되는 것을 특징으로 하는 롤투롤 프린트 에칭 시스템.
The method according to claim 1,
The roll-to-roll print etching system
A continuous or a stop and go method is applied to feed the web from the first unwinder.
제 1항 내지 제 11항 중 어느 한 항에 의한 롤투롤 프린트 에칭 시스템의 얼라인 방법은
a) 상기 제1언와인더로부터 권출되는 상기 웹이 상기 인피더에 의해 권출 속도가 조절되는 속도 조절 단계;
b) 상기 인쇄수단에 의해 인쇄된 제2얼라인 마크와, 상기 웹에 형성되어 있던 제1얼라인 마크를 상기 촬영부에서 촬영하는 촬영 단계;
c) 상기 촬영부로부터 촬영된 영상을 통해, 상기 제어부에서 이웃하는 제1얼라인 마크 및 제2얼라인 마크 간의 거리와 크기를 측정하여 얼라인 정밀도를 측정하는 측정 단계; 을 포함하는 것을 특징으로 하는 롤투롤 프린트 에칭 시스템의 얼라인 방법.
The method of aligning a roll-to-roll print etching system according to any one of claims 1 to 11,
a) a rate controlling step in which the web fed from the first unwinder is controlled in the unwinding speed by the absorber;
b) a photographing step of photographing the second alignment mark printed by the printing means and the first alignment mark formed on the web by the photographing section;
c) measuring a distance and a size between adjacent first alignment marks and second alignment marks in the control unit to measure alignment accuracy through an image taken from the photographing unit; Wherein the etch amount is less than the etch depth.
제 12항에 있어서,
상기 롤투롤 프린트 에칭 시스템의 얼라인 방법은
d) 상기 제어부에 의해 측정된 얼라인 정밀도에 따라 상기 제1와인더의 토크 값을 조절하거나, 상기 제1와인더에 형성된 클러치의 마찰력을 조절하는 피드백 단계; 를 포함하는 것을 특징으로 하는 롤투롤 프린트 에칭 시스템의 얼라인 방법.
13. The method of claim 12,
The method of aligning the roll-to-roll print etching system
d) a feedback step of adjusting a torque value of the first winder according to the alignment accuracy measured by the control unit, or adjusting a frictional force of the clutch formed in the first winder; Wherein the etch rate of the roll-to-roll print etch system is greater than the etch depth of the etch mask.
제 13항에 있어서,
상기 롤투롤 프린트 에칭 시스템의 얼라인 방법은
상기 측정 단계에서 측정된 결과 값에 따라 상기 클리쉐용 필름의 장력을 증가시켜야 하는 경우,
상기 피드백 단계에서
상기 제1와인더의 토크 값 또는 클러치의 마찰력을 조절하여 상기 제1와인더의 회전속도를 상기 웹의 속도보다 빠르게 하면 장력이 증가되는 것을 특징으로 하는 롤투롤 프린트 에칭 시스템의 얼라인 방법.
14. The method of claim 13,
The method of aligning the roll-to-roll print etching system
When the tensile force of the cliché film is to be increased according to the measured value measured in the measuring step,
In the feedback step
Wherein the tension is increased when the rotational speed of the first winder is higher than the speed of the web by adjusting the torque value of the first winder or the frictional force of the clutch.
제 13항에 있어서,
상기 롤투롤 프린트 에칭 시스템의 얼라인 방법은
상기 측정 단계에서 측정된 결과 값에 따라 상기 웹이 늘어났다고 판단되는 경우,
상기 인쇄수단에서 인쇄되는 패턴의 크기를 원래보다 작게 인쇄되도록 하는 것을 특징으로 하는 롤투롤 프린트 에칭 시스템의 얼라인 방법.
14. The method of claim 13,
The method of aligning the roll-to-roll print etching system
If it is determined that the web is increased according to a result of measurement in the measurement step,
And the size of the pattern printed by the printing means is printed smaller than the original size.
KR1020140098225A 2014-07-31 2014-07-31 Roll to roll printing and etching system KR101598340B1 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020140098225A KR101598340B1 (en) 2014-07-31 2014-07-31 Roll to roll printing and etching system

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020140098225A KR101598340B1 (en) 2014-07-31 2014-07-31 Roll to roll printing and etching system

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20160017165A true KR20160017165A (en) 2016-02-16
KR101598340B1 KR101598340B1 (en) 2016-03-15

Family

ID=55447714

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020140098225A KR101598340B1 (en) 2014-07-31 2014-07-31 Roll to roll printing and etching system

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR101598340B1 (en)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20190109870A (en) * 2018-03-19 2019-09-27 건국대학교 산학협력단 Etching apparatus using roll-to-roll gravure printing method, and Etching method using the same

Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100804734B1 (en) * 2007-02-22 2008-02-19 연세대학교 산학협력단 Continuous lithography apparatus and method using ultraviolet roll nanoimprinting
WO2008146572A1 (en) * 2007-05-30 2008-12-04 Konica Minolta Holdings, Inc. Transparent conductive film pattern forming method and organic electroluminescence transparent conductive film resin substrate
KR20110003444A (en) 2010-11-30 2011-01-12 주식회사 엘지화학 Color filter manufactured by roll printing method
WO2012093627A1 (en) * 2011-01-07 2012-07-12 シャープ株式会社 Vapor deposition device and vapor deposition method
KR20140077624A (en) * 2012-12-14 2014-06-24 삼성디스플레이 주식회사 Flexible substrate for roll-to-roll manufacturing

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100804734B1 (en) * 2007-02-22 2008-02-19 연세대학교 산학협력단 Continuous lithography apparatus and method using ultraviolet roll nanoimprinting
WO2008146572A1 (en) * 2007-05-30 2008-12-04 Konica Minolta Holdings, Inc. Transparent conductive film pattern forming method and organic electroluminescence transparent conductive film resin substrate
KR20110003444A (en) 2010-11-30 2011-01-12 주식회사 엘지화학 Color filter manufactured by roll printing method
WO2012093627A1 (en) * 2011-01-07 2012-07-12 シャープ株式会社 Vapor deposition device and vapor deposition method
KR20140077624A (en) * 2012-12-14 2014-06-24 삼성디스플레이 주식회사 Flexible substrate for roll-to-roll manufacturing

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20190109870A (en) * 2018-03-19 2019-09-27 건국대학교 산학협력단 Etching apparatus using roll-to-roll gravure printing method, and Etching method using the same

Also Published As

Publication number Publication date
KR101598340B1 (en) 2016-03-15

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP5869542B2 (en) Integrated coating system
US9759999B2 (en) Imprinting apparatus and imprinting method thereof
US8739701B2 (en) Method and apparatus for thermal processing of photosensitive printing elements
JP5465489B2 (en) High-speed fine substrate alignment equipment in roll-to-roll system
TWI436404B (en) Roll mold, method for fabricating the same and method for fabricating thin film pattern using the same
KR20120002428A (en) Local site exposure apparatus and local site exposure method and storage medium
KR101579651B1 (en) Roll printing apparatus and roll printing method using the same
JP2007268714A (en) Method and equipment for printing
JP2017100367A (en) Screen mask and method for producing screen mask
KR101855844B1 (en) Roll to roll reverse offset printing apparatus and method of alignment for using the same
KR101598340B1 (en) Roll to roll printing and etching system
JP6445772B2 (en) Imprint apparatus and article manufacturing method
JP4450748B2 (en) Printing apparatus and element manufacturing method
JP5298236B2 (en) Local exposure apparatus and local exposure method
TWI677765B (en) Transfer method,and transfer apparatus
KR101445442B1 (en) Roll printing apparatus and roll printing method using the same
JP6837352B2 (en) Transfer device and transfer method
JP5168029B2 (en) Printing apparatus and printed matter manufacturing method
JP7104577B2 (en) Flattening layer forming apparatus, flattening layer manufacturing method, and article manufacturing method
KR101298103B1 (en) Apparatus and method for manufacturing fine circuit pattern and fine circuit pattern manufactured thereby
JP6521518B2 (en) Apparatus for producing conductive material / article with microstructure, and method for producing conductive material / article with microstructure
JP7076023B2 (en) Transcription method
JP2009063608A (en) Method for manufacturing color filter
CN116184767A (en) Exposure apparatus
JP2017162949A (en) Imprint apparatus, control method, and article manufacturing method

Legal Events

Date Code Title Description
GRNT Written decision to grant
FPAY Annual fee payment

Payment date: 20181211

Year of fee payment: 4

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20191210

Year of fee payment: 5