KR20160004136U - Reactor of powder coating apparatus - Google Patents

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Abstract

본 고안은, 파우더 코팅 장치의 진공 챔버 내에 회전가능하게 설치되어 파우더를 코팅하기 위한 리액터로서, 내부 리액터가 삽입되는 공간을 포함하는 리액터 몸체; 및 상기 리액터 몸체로부터 분리될 수 있고 장입된 파우더가 교반되도록 하면서 박막이 코팅되도록 하는 공간을 제공하는 내부 리액터를 포함하며, 상기 리액터 몸체와 상기 내부 리액터는 서로 분리되어 탈부착이 가능하도록 구비되며, 상기 내부 리액터의 내측부에는 서로 이격되게 구비된 복수의 돌기부가 돌출되게 구비되어 있으며, 상기 돌기부와 상기 돌기부 사이의 모서리는 완만한 형태를 갖는 것을 특징으로 하는 파우더 코팅 장치의 리액터에 관한 것이다. 본 고안에 의하면, 내부 리액터와 리액터 몸체를 분리할 수 있어 클리닝 공정이 용이하고, 부품 교체 시 바꿔야 하는 부분을 줄일 수 있으며, 제품의 수득률을 증가시킬 수 있고, 클리닝 단계에서 잔여 파우더를 제거하기 쉽게 하여 차후 공정 때 발생할 수 있는 오염 문제를 억제할 수 있다.The present invention relates to a reactor for coating a powder rotatably in a vacuum chamber of a powder coating apparatus, comprising: a reactor body including a space into which an internal reactor is inserted; And an inner reactor which is detachable from the reactor body and provides a space for allowing the thin film to be coated while allowing the loaded powder to be stirred, wherein the reactor body and the inner reactor are detachably attached to each other, Wherein a plurality of protrusions provided apart from each other are protruded from the inner side of the inner reactor, and corners between the protrusions and the protrusions have a gentle shape. According to the present invention, it is possible to separate the reactor and the reactor from each other, thereby facilitating the cleaning process, reducing the portion to be changed at the time of replacing the components, increasing the yield of the product and removing the residual powder at the cleaning stage So that the contamination problems that may occur in the subsequent process can be suppressed.

Description

파우더 코팅 장치의 리액터{Reactor of powder coating apparatus}[0001] The present invention relates to a reactor of a powder coating apparatus,

본 고안은 파우더 코팅 장치의 리액터에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 내부 리액터와 리액터 몸체를 분리할 수 있어 클리닝 공정이 용이하고, 부품 교체 시 바꿔야 하는 부분을 줄일 수 있으며, 제품의 수득률을 증가시킬 수 있고, 클리닝 단계에서 잔여 파우더를 제거하기 쉽게 하여 차후 공정 때 발생할 수 있는 오염 문제를 억제할 수 있는 파우더 코팅 장치의 리액터에 관한 것이다.
The present invention relates to a reactor of a powder coating apparatus, more specifically, an internal reactor and a reactor body can be separated from each other, thereby facilitating a cleaning process, reducing a part to be changed at the time of component replacement, The present invention relates to a reactor of a powder coating apparatus which can easily remove residual powder in a cleaning step, thereby suppressing a contamination problem that may occur in a subsequent process.

파우더에 박막을 형성하기 위한 다양한 방법들이 사용되고 있다. 그 중 기상 증착 방식을 사용하는 것으로 CVD(Chemical Vapor Deposition)와 ALD(Atomic Layer Deposition) 방식이 있다. 이러한 방식으로 파우더에 박막을 형성할 때, 파우더의 표면에 고루게 박막을 증착시키기 위해서 다양한 방법들이 사용되고 있다. 그 중 대표적으로 사용되는 방식이 회전하는 리액터 내부에 파우더(피도물)를 넣고 공정을 진행하는 방식이 있다. 이러한 회전 방식 박막 공정은 표면의 고른 증착을 위해 다양한 분야에서 사용되고 있다.Various methods for forming a thin film on a powder have been used. Among them, CVD (Chemical Vapor Deposition) and ALD (Atomic Layer Deposition) are used for vapor deposition. When forming a thin film on a powder in this manner, various methods are used to deposit the thin film uniformly on the surface of the powder. Among them, a typical method is a method in which powder is put into a rotating reactor and the process is carried out. Such spinning thin film processes are used in various fields for uniform deposition of the surface.

하지만 이러한 회전 방식 박막 공정은 여러 가지 문제점을 가지고 있다. 리액터 몸체와 블레이더 부분이 일체형으로 되어 있기 때문에 블레이더 형태를 바꾸기 위해선 리액터 전체를 바꿔야 한다. 또한, 복잡한 블레이더 형태로 인해 박막 공정 후 파우더를 회수하는데 어려움이 있어 전체적인 공정 수율이 떨어지는 문제가 발생한다. 또한, 회수하지 못한 파우더가 다음 공정 시, 불순물로써 작용하여 전체적인 실험 데이터의 신뢰성이 감소하는 문제가 발생한다.
However, such a rotating thin film process has various problems. Because the reactor body and the bladder are integrated, you have to change the entire reactor to change the bladder shape. Further, due to the complicated bladder shape, it is difficult to recover the powder after the thin film process, which causes a problem that the overall process yield is inferior. In addition, the unrecovered powder may act as an impurity in the next step, thereby reducing the reliability of the overall experimental data.

대한민국 특허등록번호 제10-1452262호Korean Patent Registration No. 10-1452262

본 고안이 해결하고자 하는 과제는 내부 리액터와 리액터 몸체를 분리할 수 있어 클리닝 공정이 용이하고, 부품 교체 시 바꿔야 하는 부분을 줄일 수 있으며, 제품의 수득률을 증가시킬 수 있고, 클리닝 단계에서 잔여 파우더를 제거하기 쉽게 하여 차후 공정 때 발생할 수 있는 오염 문제를 억제할 수 있는 파우더 코팅 장치의 리액터를 제공함에 있다.
The problem to be solved by the present invention is to separate the reactor and the reactor from each other, thereby facilitating the cleaning process, reducing the parts to be changed at the time of replacing parts, increasing the yield of the product, And which can be easily removed, thereby suppressing a contamination problem that may occur in a subsequent process.

본 고안은, 파우더 코팅 장치의 진공 챔버 내에 회전가능하게 설치되어 파우더를 코팅하기 위한 리액터로서, 내부 리액터가 삽입되는 공간을 포함하는 리액터 몸체; 및 상기 리액터 몸체로부터 분리될 수 있고 장입된 파우더가 교반되도록 하면서 박막이 코팅되도록 하는 공간을 제공하는 내부 리액터를 포함하며, 상기 리액터 몸체와 상기 내부 리액터는 서로 분리되어 탈부착이 가능하도록 구비되며, 상기 내부 리액터의 내측부에는 서로 이격되게 구비된 복수의 돌기부가 돌출되게 구비되어 있으며, 상기 돌기부와 상기 돌기부 사이의 모서리는 완만한 형태를 갖는 것을 특징으로 하는 파우더 코팅 장치의 리액터를 제공한다. The present invention relates to a reactor for coating a powder rotatably in a vacuum chamber of a powder coating apparatus, comprising: a reactor body including a space into which an internal reactor is inserted; And an inner reactor which is detachable from the reactor body and provides a space for allowing the thin film to be coated while allowing the loaded powder to be stirred, wherein the reactor body and the inner reactor are detachably attached to each other, Wherein a plurality of protrusions provided apart from each other are protruded on the inner side of the inner reactor and edges between the protrusions and the protrusions have a gentle shape.

상기 내부 리액터의 외측부에는 그 길이를 따라 복수의 가이드홈이 구비될 수 있고, 상기 리액터 몸체의 내벽에는 그 길이를 따라 상기 가이드홈에 끼워지는 복수의 가이드리브가 돌출되게 구비될 수 있으며, 상기 가이드리브가 상기 가이드홈에 끼워지도록 하여 상기 내부 리액터와 상기 리액터 몸체가 결합될 수 있다.A plurality of guide grooves may be provided along the length of the inner reactor, and a plurality of guide ribs may be formed on the inner wall of the reactor body so as to protrude along the length of the guide groove. And the inner reactor and the reactor body can be engaged with each other so as to be fitted into the guide groove.

상기 돌기부와 상기 돌기부 사이의 내부 공간은 상기 내부 리액터의 길이에 수직한 단면 형태가 반원 보다는 크고 원 보다는 작은 둥근 형태를 갖는 것이 바람직하다.The inner space between the protrusions and the protrusions preferably has a cross-sectional shape perpendicular to the length of the inner reactor, which is larger than a half circle and smaller than a circle.

상기 내부 리액터의 내측부에 그 길이를 따라 4개의 돌기부가 구비될 수 있고, 상기 내부 리액터의 내측부는 길이에 수직한 단면 형태가 네잎 클로버 형태를 이루는 내부 공간을 가질 수 있으며, 상기 내부 리액터의 내측부를 정면에서 보았을 때 정면의 제1 입구부는 네잎 클로버 형태를 가질 수 있고, 상기 내부 리액터의 내측부를 배면에서 보았을 때 배면의 제2 입구부는 네잎 클로버 형태를 가질 수 있다.The inner reactor may have four protrusions along the length thereof. The inner reactor may have an inner space having a cross-sectional shape perpendicular to the length of the inner reactor in the form of four-leaf clovers, When viewed from the front, the first inlet portion of the front surface may have a four-leaf clover shape, and the second inlet portion of the rear surface may have a four-leaf clover shape when the inner portion of the inner reactor is viewed from the rear.

또한, 상기 내부 리액터의 내측부에 그 길이를 따라 4개의 돌기부가 구비될 수 있고, 상기 내부 리액터의 내측부는 길이에 수직한 단면 형태가 네잎 클로버 형태를 이루는 내부 공간을 가질 수 있으며, 상기 내부 리액터의 내측부를 정면에서 보았을 때 정면의 제1 입구부는 네잎 클로버 형태를 가질 수 있고, 상기 내부 리액터의 내측부를 배면에서 보았을 때 원형의 제2 입구부가 구비되고 상기 제2 입구부를 통해 4개의 돌기부가 돌출되게 구비된 형태가 보이는 구조를 가질 수 있다.In addition, the inner reactor may have four protrusions along the length thereof, and the inner portion of the inner reactor may have an inner space having a four-leaf clover shape in cross section perpendicular to the length, When viewed from the front, the first inlet portion of the front side can have a four-leaf clover shape. When the inner side portion of the inner reactor is viewed from the rear, a circular second inlet portion is provided, and four protrusions protrude through the second inlet portion And can have a structure in which the shape is visible.

상기 리액터 몸체는 금속 또는 금속합금 재질로 이루어질 수 있고, 상기 내부 리액터는 상기 리액터 몸체와 같은 재질이거나 내식성 및 내화학성을 갖는 테프론 재질로 이루어질 수 있다.
The reactor body may be made of a metal or a metal alloy, and the inner reactor may be made of the same material as the reactor body or made of a Teflon material having corrosion resistance and chemical resistance.

본 고안에 따르면, 내부 리액터와 리액터 몸체를 분리할 수 있어 클리닝 공정이 용이하고, 부품 교체 시 바꿔야 하는 부분을 줄일 수 있으며, 제품의 수득률을 증가시킬 수 있을 뿐만 아니라, 클리닝 단계에서 잔여 파우더를 제거하기 쉽게 하여 차후 공정 때 발생할 수 있는 오염 문제를 상당부분 해결할 수 있다.
According to the present invention, it is possible to separate the reactor and the reactor from each other, thereby facilitating the cleaning process, reducing the parts to be changed at the time of replacing the components, increasing the yield of the product and eliminating residual powder It is possible to solve a problem of contamination that may occur in a subsequent process.

도 1은 파우더 코팅 장치의 구성을 개략적으로 나타내는 개념도이다.
도 2는 파우더 코팅 장치의 일측 일부의 구성을 나타내는 구성도이다.
도 3은 리액터 몸체를 도시한 도면이다.
도 4 내지 도 6은 리액터 몸체를 보여주는 사진이다.
도 7 및 도 8은 실시예 1에 따른 내부 리액터를 도시한 사시도이다.
도 9는 실시예 1에 따른 내부 리액터의 정면도이다.
도 10은 실시예 1에 따른 내부 리액터의 배면도이다.
도 11은 리액터 몸체와 내부 리액터가 결합된 모습을 보여주는 사진이다.
도 12는 실시예 2에 따른 내부 리액터를 도시한 사시도이다.
도 13은 실시예 2에 따른 내부 리액터의 정면도이다.
도 14는 실시예 2에 따른 내부 리액터의 배면도이다.
도 15는 실시예 2에 따른 내부 리액터의 정면을 보여주는 사진이다.
도 16은 실시예 2에 따른 내부 리액터의 배면을 보여주는 사진이다.
도 17 및 도 18은 리액터 몸체와 내부 리액터가 결합된 모습을 보여주는 사진이다. 1 is a conceptual view schematically showing a configuration of a powder coating apparatus.
2 is a configuration diagram showing a configuration of a part of one side of a powder coating apparatus;
3 is a view showing a reactor body.
Figures 4 to 6 are photographs showing the reactor body.
7 and 8 are perspective views showing the internal reactor according to the first embodiment.
9 is a front view of the internal reactor according to the first embodiment.
10 is a rear view of the inner reactor according to the first embodiment.
11 is a photograph showing a state in which the reactor body and the inner reactor are combined.
12 is a perspective view showing the internal reactor according to the second embodiment.
13 is a front view of the internal reactor according to the second embodiment.
14 is a rear view of the inner reactor according to the second embodiment.
15 is a photograph showing a front view of the internal reactor according to the second embodiment.
16 is a photograph showing the back surface of the inner reactor according to the second embodiment.
17 and 18 are photographs showing a state in which the reactor body and the inner reactor are combined.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 고안에 따른 바람직한 실시예를 상세하게 설명한다. 그러나, 이하의 실시예는 이 기술분야에서 통상적인 지식을 가진 자에게 본 고안이 충분히 이해되도록 제공되는 것으로서 여러 가지 다른 형태로 변형될 수 있으며, 본 고안의 범위가 다음에 기술되는 실시예에 한정되는 것은 아니다. 도면상에서 동일 부호는 동일한 요소를 지칭한다. Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. However, it should be understood that the following embodiments are provided so that those skilled in the art can understand the present invention without departing from the scope and spirit of the present invention. It is not. Wherein like reference numerals refer to like elements throughout.

파우더 코팅 장치는 본 고안의 출원인에 의해 특허출원되어 특허 등록된 상태이다(대한민국 특허등록번호 제10-1452262호, 발명의 명칭: 파우더 코팅 장치 및 코팅방법). The powder coating apparatus is patent-pending and patent registered by the applicant of the present invention (Korean Patent Registration No. 10-1452262, entitled Powder Coating Apparatus and Coating Method).

상기 파우더 코팅 장치의 리액터는 리액터 몸체와 블레이드가 일체형으로 되어 있기 때문에 블레이드 형태를 바꾸기 위해선 리액터 전체를 바꿔야 하고, 복잡한 블레이드 형태로 인해 파우더 코팅 공정 후 파우더를 회수하는데 어려움이 있어 전체적인 공정 수율이 떨어지는 문제가 발생하며, 회수하지 못한 파우더가 다음 공정 시에 불순물로써 작용하여 전체적인 실험 데이터의 신뢰성이 감소하는 문제가 발생하였다. Since the reactors of the powder coating apparatus are integrated with the reactor body and the blades, it is necessary to change the entire reactor to change the shape of the blades, and it is difficult to recover the powder after the powder coating process due to the complicated blade shape, And the unrecovered powder acts as an impurity in the next process, thereby reducing the reliability of the entire experimental data.

본 고안은 나노 수준의 파우더에 얇은 박막을 코팅하는 파우더 코팅 장치의 리액터로서, 파우더에 얇은 코팅층을 형성할 때 발생할 수 있는 불순물을 제한하고, 사용 후 클리닝을 용이하게 하는 탈착식 리액터를 제시한다.The present invention relates to a reactor of a powder coating apparatus for coating a thin film on a nano-level powder. This reactor is designed to restrict impurities that may occur when forming a thin coating layer on a powder, and to facilitate cleaning after use.

본 고안의 바람직한 실시예에 따른 파우더 코팅 장치의 리액터는, 파우더 코팅 장치의 진공 챔버 내에 회전가능하게 설치되어 파우더를 코팅하기 위한 리액터로서, 내부 리액터가 삽입되는 공간을 포함하는 리액터 몸체; 및 상기 리액터 몸체로부터 분리될 수 있고 장입된 파우더가 교반되도록 하면서 박막이 코팅되도록 하는 공간을 제공하는 내부 리액터를 포함하며, 상기 리액터 몸체와 상기 내부 리액터는 서로 분리되어 탈부착이 가능하도록 구비되며, 상기 내부 리액터의 내측부에는 서로 이격되게 구비된 복수의 돌기부가 돌출되게 구비되어 있으며, 상기 돌기부와 상기 돌기부 사이의 모서리는 완만한 형태를 갖는다. A reactor of a powder coating apparatus according to a preferred embodiment of the present invention comprises a reactor body including a space into which an inner reactor is inserted, the reactor being rotatably installed in a vacuum chamber of a powder coating apparatus to coat the powder; And an inner reactor which is detachable from the reactor body and provides a space for allowing the thin film to be coated while allowing the loaded powder to be stirred, wherein the reactor body and the inner reactor are detachably attached to each other, A plurality of protrusions provided apart from each other protrude from the inner side of the inner reactor, and edges between the protrusions and the protrusions have a gentle shape.

상기 내부 리액터의 외측부에는 그 길이를 따라 복수의 가이드홈이 구비될 수 있고, 상기 리액터 몸체의 내벽에는 그 길이를 따라 상기 가이드홈에 끼워지는 복수의 가이드리브가 돌출되게 구비될 수 있으며, 상기 가이드리브가 상기 가이드홈에 끼워지도록 하여 상기 내부 리액터와 상기 리액터 몸체가 결합될 수 있다.A plurality of guide grooves may be provided along the length of the inner reactor, and a plurality of guide ribs may be formed on the inner wall of the reactor body so as to protrude along the length of the guide groove. And the inner reactor and the reactor body can be engaged with each other so as to be fitted into the guide groove.

상기 돌기부와 상기 돌기부 사이의 내부 공간은 상기 내부 리액터의 길이에 수직한 단면 형태가 반원 보다는 크고 원 보다는 작은 둥근 형태를 갖는 것이 바람직하다.The inner space between the protrusions and the protrusions preferably has a cross-sectional shape perpendicular to the length of the inner reactor, which is larger than a half circle and smaller than a circle.

상기 내부 리액터의 내측부에 그 길이를 따라 4개의 돌기부가 구비될 수 있고, 상기 내부 리액터의 내측부는 길이에 수직한 단면 형태가 네잎 클로버 형태를 이루는 내부 공간을 가질 수 있으며, 상기 내부 리액터의 내측부를 정면에서 보았을 때 정면의 제1 입구부는 네잎 클로버 형태를 가질 수 있고, 상기 내부 리액터의 내측부를 배면에서 보았을 때 배면의 제2 입구부는 네잎 클로버 형태를 가질 수 있다.The inner reactor may have four protrusions along the length thereof. The inner reactor may have an inner space having a cross-sectional shape perpendicular to the length of the inner reactor in the form of four-leaf clovers, When viewed from the front, the first inlet portion of the front surface may have a four-leaf clover shape, and the second inlet portion of the rear surface may have a four-leaf clover shape when the inner portion of the inner reactor is viewed from the rear.

또한, 상기 내부 리액터의 내측부에 그 길이를 따라 4개의 돌기부가 구비될 수 있고, 상기 내부 리액터의 내측부는 길이에 수직한 단면 형태가 네잎 클로버 형태를 이루는 내부 공간을 가질 수 있으며, 상기 내부 리액터의 내측부를 정면에서 보았을 때 정면의 제1 입구부는 네잎 클로버 형태를 가질 수 있고, 상기 내부 리액터의 내측부를 배면에서 보았을 때 원형의 제2 입구부가 구비되고 상기 제2 입구부를 통해 4개의 돌기부가 돌출되게 구비된 형태가 보이는 구조를 가질 수 있다.In addition, the inner reactor may have four protrusions along the length thereof, and the inner portion of the inner reactor may have an inner space having a four-leaf clover shape in cross section perpendicular to the length, When viewed from the front, the first inlet portion of the front side can have a four-leaf clover shape. When the inner side portion of the inner reactor is viewed from the rear, a circular second inlet portion is provided, and four protrusions protrude through the second inlet portion And can have a structure in which the shape is visible.

상기 리액터 몸체는 금속 또는 금속합금 재질로 이루어질 수 있고, 상기 내부 리액터는 상기 리액터 몸체와 같은 재질이거나 내식성 및 내화학성을 갖는 테프론 재질로 이루어질 수 있다.The reactor body may be made of a metal or a metal alloy, and the inner reactor may be made of the same material as the reactor body or made of a Teflon material having corrosion resistance and chemical resistance.

본 고안에 의하면, 내부 리액터와 리액터 몸체를 분리할 수 있어 클리닝 공정이 용이하고, 부품 교체 시 바꿔야 하는 부분을 줄일 수 있으며, 제품의 수득률을 증가시킬 수 있고, 클리닝 단계에서 잔여 파우더를 제거하기 쉽게 하여 차후 공정 때 발생할 수 있는 오염 문제를 억제할 수 있다. According to the present invention, it is possible to separate the reactor and the reactor from each other, thereby facilitating the cleaning process, reducing the portion to be changed at the time of replacing the components, increasing the yield of the product and removing the residual powder at the cleaning stage So that the contamination problems that may occur in the subsequent process can be suppressed.

이하에서, 본 고안의 바람직한 실시예에 따른 파우더 코팅 장치의 리액터를 더욱 구체적으로 설명한다. Hereinafter, the reactor of the powder coating apparatus according to the preferred embodiment of the present invention will be described more specifically.

도 1은 파우더 코팅 장치의 구성을 개략적으로 나타내는 개념도이고, 도 2는 파우더 코팅 장치의 일측 일부의 구성을 나타내는 구성도이다. Fig. 1 is a conceptual view schematically showing the configuration of a powder coating apparatus, and Fig. 2 is a configuration diagram showing a configuration of a part of one side of a powder coating apparatus.

도 1 내지 도 2를 참조하면, 파우더 코팅 장치는, 진공 챔버(100)와, 진공 챔버(100) 내에 회전가능하게 설치되어 파우더를 코팅하기 위한 리액터(reactor)(200)와, 리액터(200)의 회전을 제어하는 회전 유닛(300)과, 리액터(200) 내로 공정가스를 제공하기 위한 공정가스 공급유닛(400)과, 리액터(200) 주위에 설치되어 공정에 필요한 온도를 제공하기 위한 히터 유닛(500)과, 진공 챔버(100)(리액터(200)) 내부를 진공 상태로 만들거나 진공 챔버(100)로부터 공정가스를 배기시키기 위한 진공/배기 유닛(700)을 포함한다. 1 and 2, the powder coating apparatus includes a vacuum chamber 100, a reactor 200 rotatably installed in the vacuum chamber 100 to coat the powder, a reactor 200, A process gas supply unit 400 for supplying a process gas into the reactor 200 and a heater unit 400 installed around the reactor 200 for providing a temperature required for the process, And a vacuum / exhaust unit 700 for vacuuming the interior of the vacuum chamber 100 (reactor 200) or for evacuating the process gas from the vacuum chamber 100.

진공 챔버(100)는 리액터(200)의 양측을 샤프트를 통해 회전가능하게 지지하는데, 일측샤프트(즉, 공정가스 공급유닛(400) 측 샤프트)(110)와 타측샤프트(회전 유닛(300)과 연결되는 샤프트)(120)의 진공 챔버(100)의 관통부는 기밀 수단(130)에 의해 기밀하게 유지되며, 이에 따라 진공 챔버(100)가 진공 상태에 있을 때 그 진공 상태를 유지시킨다.The vacuum chamber 100 rotatably supports both sides of the reactor 200 through a shaft and includes a first shaft 110a and a second shaft 120b, The penetration of the vacuum chamber 100 of the shaft 120 to be connected is kept airtight by the hermetic means 130 and thereby maintains the vacuum state when the vacuum chamber 100 is in a vacuum state.

또한, 진공 챔버(100)의 내면에는 히터 유닛(500)에 의해 발생한 열이 외부로 발산되는 것을 방지하기 단열판(미도시)이 구비될 수 있다.An insulating plate (not shown) may be provided on the inner surface of the vacuum chamber 100 to prevent heat generated by the heater unit 500 from being radiated to the outside.

공정가스 공급유닛(400)에 연결되는 일측샤프트(110)는 공정가스 공급유닛(400)으로부터 제공되는 가스가 리액터(200)로 제공되도록 중공의 형태를 가지며, 이에 따라 일측샤프트(110)는 공급가스 유입라인으로서도 기능을 한다.One shaft 110 connected to the process gas supply unit 400 has a hollow shape so that gas provided from the process gas supply unit 400 is supplied to the reactor 200, It also functions as a gas inflow line.

또한, 진공 챔버(100)는 내부에 리액터(200)를 분리 및 조립할 수 있도록 개폐 가능한 구성을 갖고 형성된다. 예를 들면, 일측 면이 캡(cap)을 통해 개폐 가능하게 이루어진다.In addition, the vacuum chamber 100 is formed with an openable and closable configuration so that the reactor 200 can be separated and assembled therein. For example, one side is openable and closable through a cap.

회전 유닛(300)은 리액터(200)를 소정 공정 속도를 회전시키고 그 회전 속도를 제어하기 위한 것으로서, 모터 등의 회전 구동 부재(310) 및 회전 구동 부재(310)의 회전을 제어하기 위한 회전 제어 수단(320)을 포함한다. 파우더는 회전유닛(300)에 의해 회전됨과 동시에 비드에 의해 파우더 응집체들이 분산되어 효과적으로 코팅이 이루어질 수 있다.The rotation unit 300 is for rotating the reactor 200 at a predetermined process speed and controlling the rotation speed of the reactor 200. The rotation unit 300 includes a rotation driving member 310 such as a motor and a rotation control unit 330 for controlling rotation of the rotation driving member 310. [ (320). The powder is rotated by the rotation unit 300 and the powder aggregates are dispersed by the beads, so that the coating can be effectively performed.

공정가스 공급유닛(400)은 리액터(200)의 내로 공정에 필요한 공정가스, 즉 코팅 소스, 산화제 및 퍼지 가스 등을 공급하고 차단하는 것이며, 이 공정가스 공급유닛(400)의 동작은 컨트롤러(미도시)에 의해 제어된다. 공정가스 공급유닛(400)으로는 ALD(Atomic Layer Deposition), CVD(Chemical Vapor Deposition), 스퍼터(Sputter) 등에 포함되는 공지의 증착유닛에 사용되는 것을 채용할 수 있다.The process gas supply unit 400 supplies and blocks the process gases necessary for the process, that is, the coating source, the oxidizer, the purge gas, and the like into the reactor 200. The operation of the process gas supply unit 400 is controlled by a controller Lt; / RTI > As the process gas supply unit 400, those used in known deposition units included in an ALD (Atomic Layer Deposition), a CVD (Chemical Vapor Deposition), a sputter, or the like can be employed.

히터 유닛(500)은 리액터(200)에서 파우더 코팅 시 그 리액터(200)의 온도를 공정에 필요한 온도로 상승시키기 위한 것으로서, 히터(510) 및 히터(510)를 제어하는 히터 제어 수단(520)을 포함한다.The heater unit 500 is for raising the temperature of the reactor 200 to a temperature required for the process during powder coating in the reactor 200. The heater unit 500 includes a heater control unit 520 for controlling the heater 510 and the heater 510, .

진공/배기 유닛(700)은 진공 챔버(100)(리액터(200)) 내부를 진공 상태로 하며 공정가스 공급유닛(400)에 의해 제공된 공정가스를 배기시키는 역할을 한다. 진공/배기 유닛(700)은 원자층증착 동안에 항상 온(On) 상태를 유지하고 있다. 리액터(200)와 진공/배기 유닛(700) 사이에 펌핑이 이루어지는 것을 차단하기 위한 펌핑 밸브(미도시)가 구비될 수 있다. 펌핑은 펌핑 밸브의 개방(open)과 닫음(close)을 통해 제어되게 된다. The vacuum / exhaust unit 700 serves to evacuate the inside of the vacuum chamber 100 (reactor 200) and exhaust the process gas provided by the process gas supply unit 400. The vacuum / exhaust unit 700 is always kept on during atomic layer deposition. A pumping valve (not shown) may be provided to block pumping between the reactor 200 and the vacuum / exhaust unit 700. The pumping is controlled through the opening and closing of the pumping valve.

리액터(200)의 양단부(즉, 공급가스 유입부와 배출부) 각각에는 공정가스 공급유닛(400)에 의해 펄스와 퍼지 공정 시 가스의 압력으로 인해 내부의 파우더가 외부로 유출되는 것을 방지하기 위하여 필터 부재(210)가 설치될 수 있다(도 2 참조). 이에 따라 필터 부재(210)는 파우더의 유출을 막으며, 전구체와 공정가스의 흐름이 원활하도록 할 수 있다.In order to prevent the inner powder from flowing out due to the pressure of the gas during the pulse and purge process by the process gas supply unit 400 at both ends of the reactor 200 (i.e., the supply gas inlet and outlet) A filter member 210 may be provided (see Fig. 2). Accordingly, the filter member 210 prevents the powder from flowing out and allows smooth flow of the precursor and the process gas.

공정가스의 흐름에 대한 리액터(200)의 하류 면(길이방향에 대하여 직교하는 면)에는 필터 부재(210)를 통과한 공정가스를 리액터(200) 외부로 배출하기 위한 배출구(220)가 하나 이상, 바람직하게는 둘 이상 형성될 수 있다(도 2 참조).A discharge port 220 for discharging the process gas passing through the filter member 210 to the outside of the reactor 200 is provided on the downstream surface (surface orthogonal to the longitudinal direction) of the reactor 200 with respect to the flow of the process gas, , Preferably two or more (see Fig. 2).

상술한 파우더 코팅 장치를 이용하여 파우더에 박막을 코팅할 수 있는데, 원자층 증착기술을 이용하여 금속산화물 등의 박막을 코팅하는 공정 수행시 기존의 졸겔법 등의 화학적 코팅법에서는 1nm 수준의 극박막을 균일하게 코팅하기 어려우나 상술한 파우더 코팅 장치는 가능하다. 이 파우더 코팅 장치는 특정 파우더에 구애받지 않고 다양한 파우더에 적용가능한 것이 장점이다. 코팅 소스로 코팅에 필요한 다양한 소스가 사용될 수 있으며, 퍼지(Purge) 단계도 질소, 아르곤 등의 가스를 사용할 수 있다.The powder coating apparatus described above can coat a thin film on a powder. In the chemical coating method such as the sol-gel method in the process of coating a thin film of a metal oxide or the like using an atomic layer deposition technique, It is difficult to coat them uniformly, but the above-described powder coating apparatus is possible. This powder coating apparatus is advantageous in that it can be applied to various powders without depending on specific powders. As the coating source, various sources necessary for coating can be used, and the purge step can also use a gas such as nitrogen or argon.

이하에서, 본 고안의 바람직한 실시예에 따른 리액터(200)의 구성에 대하여 더욱 상세히 설명한다.Hereinafter, the configuration of the reactor 200 according to the preferred embodiment of the present invention will be described in more detail.

<실시예 1>&Lt; Example 1 >

도 3은 리액터 몸체를 도시한 도면이고, 도 4 내지 도 6은 리액터 몸체를 보여주는 사진이며, 도 7 및 도 8은 실시예 1에 따른 내부 리액터를 도시한 사시도이고, 도 9는 실시예 1에 따른 내부 리액터의 정면도이고, 도 10은 실시예 1에 따른 내부 리액터의 배면도이며, 도 11은 리액터 몸체와 내부 리액터가 결합된 모습을 보여주는 사진이다. FIG. 3 is a view showing the reactor body, FIGS. 4 to 6 are photographs showing the reactor body, FIGS. 7 and 8 are perspective views showing the internal reactor according to the first embodiment, Fig. 10 is a rear view of the inner reactor according to the first embodiment, and Fig. 11 is a photograph showing a state in which the reactor body and the inner reactor are combined. Fig.

도 3 내지 도 11을 참조하면, 리액터(200)는 리액터 몸체(230)와 내부 리액터(240)를 포함한다. 리액터 몸체(230)와 내부 리액터(240)는 서로 분리되어 탈부착이 가능하도록 구비된다. 3-11, reactor 200 includes a reactor body 230 and an inner reactor 240. The reactor body 230 and the inner reactor 240 are detachably attached to each other.

리액터 몸체(230)는 내부 리액터(240)가 삽입되는 공간을 포함하는 원통형 형태를 갖는다. 리액터 몸체(230)의 내벽(232)에는 그 길이를 따라 복수의 가이드리브(guide rib)(234)가 돌출되게 구비된다. 또한, 리액터 몸체(230) 측면(236)에는 필터 부재를 고정하기 위한 구멍(hole)(238)이 구비될 수 있다. 리액터 몸체(230)는 금속, 금속합금 등의 재질로 이루어질 수 있다. The reactor body 230 has a cylindrical shape including a space into which the internal reactor 240 is inserted. A plurality of guide ribs 234 protrude along the length of the inner wall 232 of the reactor body 230. In addition, a hole 238 for fixing the filter member may be provided on the side surface 236 of the reactor body 230. The reactor body 230 may be made of a metal, a metal alloy, or the like.

리액터 몸체(230)로부터 분리될 수 있는 내부 리액터(240)는 장입된 파우더가 교반되도록 하면서 박막이 코팅되도록 하는 공간을 제공한다. 내부 리액터(240)는 내부 공간을 갖고 교반을 위한 복수의 돌기부(244)가 구비된 내측부(242)와, 트렌치(trench) 모양의 가이드홈(248)이 구비된 외측부(246)를 포함한다. The inner reactor 240, which can be detached from the reactor body 230, provides a space for the thin film to be coated while allowing the charged powder to be stirred. The inner reactor 240 includes an inner portion 242 having an inner space and having a plurality of protrusions 244 for stirring and an outer portion 246 having a trench shaped guide groove 248.

내부 리액터(240)는 전체적으로 원통형 형태를 갖는 것이 바람직하며, 리액터 몸체(230) 내로 삽입되기 위하여 내부 리액터(240)의 외측부(246) 외형은 리액터 몸체(230)의 내부 형태와 같은 형태를 갖는 것이 바람직하며, 또한 내부 리액터(240)의 길이는 리액터 몸체(230) 내부의 길이와 같거나 약간 작게 형성하는 것이 바람직하다. 내부 리액터(240)는 리액터 몸체(230)와 같은 재질이거나, 공정가스, 즉 코팅 소스, 산화제, 퍼지 가스 등에 대한 내식성, 내화학성, 내열성이 우수한 테프론 등과 같은 재질로 이루어지는 것이 바람직하다. The inner reactor 240 preferably has a generally cylindrical shape and the outer shape of the outer portion 246 of the inner reactor 240 is the same as the inner shape of the reactor body 230 for insertion into the reactor body 230 And the length of the inner reactor 240 is preferably equal to or slightly smaller than the length of the interior of the reactor body 230. The internal reactor 240 is preferably made of the same material as the reactor body 230 or made of a material such as Teflon which is excellent in corrosion resistance, chemical resistance, and heat resistance against process gases, that is, coating source, oxidant, purge gas and the like.

내부 리액터(240)의 내측부(242)에는 복수의 돌기부(244)가 돌출되게 구비되어 있으며, 리액터(200)가 회전하는 경우에 돌기부(244)는 내부 리액터(240)의 내측부(243)에 장입된 파우더가 함께 회전되도록 하면서 교반하는 역할을 한다. 복수의 돌기부(244)는 내부 리액터(240)의 길이를 따라 서로 이격되게 구비된다. 돌기부(244)와 돌기부(244) 사이의 이격 거리는 동일한 것이 바람직하다. 내부 리액터(240)의 내측부(242)에는 4개의 돌기부(244)가 구비될 수 있다. 예컨대, 내부 리액터(240)의 내측부(242)에 제1 내지 제4 돌기부(244a 내지 244d)가 순차적으로 구비되고, 제1 돌기부(244a)와 제3 돌기부(244c)가 서로 마주하며, 제2 돌기부(244b)와 제4 돌기부(244d)가 마주하는 형태로 구비될 수 있다. 돌기부(244)와 돌기부(244) 사이의 모서리는 완만한 형태를 갖는다.A plurality of protrusions 244 protrude from the inner side 242 of the inner reactor 240. When the reactor 200 rotates, the protrusions 244 are charged into the inner side 243 of the inner reactor 240 And the powder is agitated while being rotated together. The plurality of protrusions 244 are spaced apart from each other along the length of the inner reactor 240. The distance between the protruding portion 244 and the protruding portion 244 is preferably the same. The inner portion 242 of the inner reactor 240 may be provided with four protrusions 244. For example, the first to fourth protrusions 244a to 244d are sequentially provided on the inner side 242 of the inner reactor 240, the first protrusions 244a and the third protrusions 244c face each other, And the protrusion 244b and the fourth protrusion 244d may be opposed to each other. The edge between the protrusion 244 and the protrusion 244 has a gentle shape.

내부 리액터(240)의 내측부(242)는 길이에 수직한 단면 형태가 네잎 클로버 형태를 이루는 내부 공간을 가질 수 있다. 내부 리액터(240)의 내측부(242)를 정면(앞)에서 보았을 때 정면의 제1 입구부(243a)는 네잎 클로버 형태를 가지며, 내부 리액터(240)의 내측부(242)를 배면(앞)에서 보았을 때 배면의 제2 입구부(243b)는 네잎 클로버 형태를 가질 수 있다. 돌기부(244)와 돌기부(244) 사이의 모서리는 완만한 형태를 갖는다. 더욱 구체적으로는, 돌기부(244)와 돌기부(244) 사이의 내부 공간은 내부 리액터(240)의 길이에 수직한 단면 형태가 원형에 가까운 형태(반원 보다는 크고 원 보다는 작은 둥근 형태)(242a)를 갖는 것이 바람직하다. 내부 리액터(240)의 내측부(242)에는 이러한 원형에 가까운 형태(반원 보다는 크고 원 보다는 작은 둥근 형태)(242a) 4개가 형성되어 네잎 클로버 형태를 이룬다. 돌기부(244)와 돌기부(244) 사이의 내부 공간은 원형에 가까운 형태로 형성됨으로써 내부 리액터(240) 내측부(242)의 안쪽 모서리 부분이 완만하게 되어 박막 공정 후 클리닝 공정이 용이해 질 수 있다. 돌기부(244)와 돌기부(244) 사이의 내부 공간이 모서리를 갖는 각진 형태로 이루어진다면 파우더가 돌기부 모서리에 뭉쳐 회수율이 떨어지는 문제가 있었으나, 둥근 형태로 이루어짐으로써 파우더가 돌기부 모서리에 뭉쳐 회수율이 떨어지는 문제점을 개선할 수가 있다. 내부 리액터(240)의 내측부(242)를 정면(앞)과 배면(뒤)에서 보았을 때 네잎 클로버 형태를 갖는 내부 공간이 형성됨으로써 내부 리액터(240)의 내측부(242)에 파우더를 넣기 쉬운 특성을 가질 수 있고, 내측부(242)의 입구 부분에 단차 또는 경사가 없으므로 파우더 회수가 용이할 수 있다. 제1 입구부(234a) 및 제2 입구부(243b)는 파우더에 박막을 코팅한 후에 회수율을 높이고 클리닝을 용이하게 하기 위한 형태로 만든 것이다. The inner portion 242 of the inner reactor 240 may have an inner space in the form of a four-leaf clover in cross section perpendicular to the length. The first inlet 243a on the front side of the inner reactor 242 of the inner reactor 240 has a four-leaf-clover shape and the inner side 242 of the inner reactor 240 is located on the front side The second inlet 243b of the rear surface may have a four-leaf clover shape. The edge between the protrusion 244 and the protrusion 244 has a gentle shape. More specifically, the internal space between the protrusions 244 and the protrusions 244 has a cross-sectional shape perpendicular to the length of the internal reactor 240 (a rounded shape larger than the circle and smaller than the circle) 242a . In the inner side 242 of the inner reactor 240, four such rounded shapes (larger than the semicircle and rounded than the circle) 242a are formed to form a four-leaf clover shape. The internal space between the protruding portion 244 and the protruding portion 244 is formed in a circular shape so that the inner edge portion of the inner side portion 242 of the inner reactor 240 becomes gentle and the cleaning process after the thin film processing can be facilitated. If the inner space between the protrusions 244 and the protrusions 244 is formed in an angular shape having corners, there is a problem that the powder is accumulated on the corners of the protrusions to reduce the recovery rate. However, since the powder is rounded, Can be improved. When the inner portion 242 of the inner reactor 240 is viewed from the front (front) side and the rear side (rear), an inner space having a four-leaf clover shape is formed, thereby making it easy to insert the powder into the inner portion 242 of the inner reactor 240 And since there is no step or inclination at the inlet portion of the inner side portion 242, powder recovery can be facilitated. The first inlet portion 234a and the second inlet portion 243b are formed so as to increase the recovery rate after the thin film is coated on the powder and to facilitate the cleaning.

내부 리액터(240)의 외측부(246)에는 그 길이를 따라 복수의 가이드홈(248)이 구비된다. 리액터 몸체(230)의 내벽에는 그 길이를 따라 가이드홈(248)에 끼워지는 복수의 가이드리브(234)가 돌출되게 구비된다. 가이드리브(234)와 가이드홈(248)의 수는 동일하게 구비되고, 내부 리액터(240)와 리액터 몸체(230)가 서로 결합될 때 가이드리브(234)가 가이드홈(248)은 서로 대응되게 위치된다. 가이드리브(234)는 가이드홈(248)을 따라 끼워지도록 리액터 몸체(230)의 내벽에 돌출되게 구비된다. 내부 리액터(240)의 외측부(246)에는 가이드홈(248)이 구비되고, 리액터 몸체(230)의 내벽에는 가이드리브(234)가 구비됨으로써 가이드리브(234)가 가이드홈(248)에 끼워지도록 하여 내부 리액터(240)와 리액터 몸체(230)가 서로 결합될 수 있다. A plurality of guide grooves 248 are provided along the length of the outer side portion 246 of the inner reactor 240. A plurality of guide ribs 234 are formed on the inner wall of the reactor body 230 so as to protrude from the guide groove 248 along the length thereof. The number of the guide ribs 234 and the guide grooves 248 are the same and when the inner reactor 240 and the reactor body 230 are coupled to each other, the guide ribs 234 and the guide grooves 248 correspond to each other . The guide ribs 234 protrude from the inner wall of the reactor body 230 so as to be fitted along the guide grooves 248. A guide groove 248 is formed in the outer side portion 246 of the inner reactor 240 and a guide rib 234 is provided on the inner wall of the reactor body 230 so that the guide rib 234 is inserted into the guide groove 248 So that the internal reactor 240 and the reactor body 230 can be coupled to each other.

상술한 예에서는 가이드홈(248)이 내부 리액터(240)의 외측부(246)에 구비되고 가이드리브(234)가 리액터 몸체(230)의 내벽에 구비되는 것으로 설명하였으나, 가이드홈이 리액터 몸체(230)의 내벽에 구비되고 가이드리브가 내부 리액터(240)의 외측부(246)에 구비될 수도 있다.
The guide groove 248 is provided on the outer side portion 246 of the inner reactor 240 and the guide rib 234 is provided on the inner wall of the reactor body 230. However, And a guide rib may be provided on the outer side portion 246 of the inner reactor 240. [

<실시예 2>&Lt; Example 2 >

도 3은 리액터 몸체를 도시한 도면이고, 도 4 내지 도 6은 리액터 몸체를 보여주는 사진이며, 도 12는 실시예 2에 따른 내부 리액터를 도시한 사시도이고, 도 13은 실시예 2에 따른 내부 리액터의 정면도이고, 도 14는 실시예 2에 따른 내부 리액터의 배면도이며, 도 15는 실시예 2에 따른 내부 리액터의 정면을 보여주는 사진이며, 도 16은 실시예 2에 따른 내부 리액터의 배면을 보여주는 사진이며, 도 17 및 도 18은 리액터 몸체와 내부 리액터가 결합된 모습을 보여주는 사진이다. FIG. 3 is a view showing the reactor body, FIGS. 4 to 6 are photographs showing the reactor body, FIG. 12 is a perspective view showing the internal reactor according to the second embodiment, Fig. 14 is a front view of the inner reactor according to the second embodiment, Fig. 14 is a rear view of the inner reactor according to the second embodiment, Fig. 15 is a photograph showing the front face of the inner reactor according to the second embodiment, And Fig. 17 and Fig. 18 are photographs showing a state in which the reactor body and the inner reactor are combined.

도 3 내지 도 6, 도 12 내지 도 18을 참조하면, 리액터(200)는 리액터 몸체(230)와 내부 리액터(240)를 포함한다. 리액터 몸체(230)와 내부 리액터(240)는 서로 분리되어 탈부착이 가능하도록 구비된다. 3 through 6, and 12 through 18, the reactor 200 includes a reactor body 230 and an internal reactor 240. The reactor body 230 and the inner reactor 240 are detachably attached to each other.

리액터 몸체(230)는 내부 리액터(240)가 삽입되는 공간은 포함하는 원통형 형태를 갖는다. 리액터 몸체(230)의 내벽(232)에는 그 길이를 따라 복수의 가이드리브(guide rib)(234)가 돌출되게 구비된다. 또한, 리액터 몸체(230) 측면(236)에는 필터 부재를 고정하기 위한 구멍(hole)(238)이 구비될 수 있다. 리액터 몸체(230)는 금속, 금속합금 등의 재질로 이루어질 수 있다. The reactor body 230 has a cylindrical shape including a space into which the internal reactor 240 is inserted. A plurality of guide ribs 234 protrude along the length of the inner wall 232 of the reactor body 230. In addition, a hole 238 for fixing the filter member may be provided on the side surface 236 of the reactor body 230. The reactor body 230 may be made of a metal, a metal alloy, or the like.

리액터 몸체(230)로부터 분리될 수 있는 내부 리액터(240)는 장입된 파우더가 교반되도록 하면서 박막이 코팅되도록 하는 공간을 제공한다. 내부 리액터(240)는 내부 공간을 갖고 교반을 위한 복수의 돌기부(244)가 구비된 내측부(242)와, 트렌치(trench) 모양의 가이드홈(248)이 구비된 외측부(246)를 포함한다. The inner reactor 240, which can be detached from the reactor body 230, provides a space for the thin film to be coated while allowing the charged powder to be stirred. The inner reactor 240 includes an inner portion 242 having an inner space and having a plurality of protrusions 244 for stirring and an outer portion 246 having a trench shaped guide groove 248.

내부 리액터(240)는 전체적으로 원통형 형태를 갖는 것이 바람직하며, 리액터 몸체(230) 내로 삽입되기 위하여 내부 리액터(240)의 외측부(246) 외형은 리액터 몸체(230)의 내부 형태와 같은 형태를 갖는 것이 바람직하며, 또한 내부 리액터(240)의 길이는 리액터 몸체(230) 내부의 길이와 같거나 약간 작게 형성하는 것이 바람직하다. 내부 리액터(240)는 리액터 몸체(230)와 같은 재질이거나, 공정가스, 즉 코팅 소스, 산화제, 퍼지 가스 등에 대한 내식성, 내화학성, 내열성이 우수한 테프론 등과 같은 재질로 이루어지는 것이 바람직하다. The inner reactor 240 preferably has a generally cylindrical shape and the outer shape of the outer portion 246 of the inner reactor 240 is the same as the inner shape of the reactor body 230 for insertion into the reactor body 230 And the length of the inner reactor 240 is preferably equal to or slightly smaller than the length of the interior of the reactor body 230. The internal reactor 240 is preferably made of the same material as the reactor body 230 or made of a material such as Teflon which is excellent in corrosion resistance, chemical resistance, and heat resistance against process gases, that is, coating source, oxidant, purge gas and the like.

내부 리액터(240)의 내측부(242)에는 복수의 돌기부(244)가 돌출되게 구비되어 있으며, 리액터(200)가 회전하는 경우에 돌기부(244)는 내부 리액터(240)의 내측부(243)에 장입된 파우더가 함께 회전되도록 하면서 교반하는 역할을 한다. 복수의 돌기부(244)는 내부 리액터(240)의 길이를 따라 서로 이격되게 구비된다. 돌기부(244)와 돌기부(244) 사이의 이격 거리는 동일한 것이 바람직하다. 내부 리액터(240)의 내측부(242)에는 4개의 돌기부(244)가 구비될 수 있다. 예컨대, 내부 리액터(240)의 내측부(242)에 제1 내지 제4 돌기부(244a 내지 244d)가 순차적으로 구비되고, 제1 돌기부(244a)와 제3 돌기부(244c)가 서로 마주하며, 제2 돌기부(244b)와 제4 돌기부(244d)가 마주하는 형태로 구비될 수 있다. 돌기부(244)와 돌기부(244) 사이의 모서리는 완만한 형태를 갖는다.A plurality of protrusions 244 protrude from the inner side 242 of the inner reactor 240. When the reactor 200 rotates, the protrusions 244 are charged into the inner side 243 of the inner reactor 240 And the powder is agitated while being rotated together. The plurality of protrusions 244 are spaced apart from each other along the length of the inner reactor 240. The distance between the protruding portion 244 and the protruding portion 244 is preferably the same. The inner portion 242 of the inner reactor 240 may be provided with four protrusions 244. For example, the first to fourth protrusions 244a to 244d are sequentially provided on the inner side 242 of the inner reactor 240, the first protrusions 244a and the third protrusions 244c face each other, And the protrusion 244b and the fourth protrusion 244d may be opposed to each other. The edge between the protrusion 244 and the protrusion 244 has a gentle shape.

내부 리액터(240)의 내측부(242)는 길이에 수직한 단면 형태가 네잎 클로버 형태를 이루는 내부 공간을 가질 수 있다. 내부 리액터(240)의 내측부(242)를 정면(앞)에서 보았을 때 제1 입구부(243a)는 네잎 클로버 형태의 내부 공간을 갖고, 내부 리액터(240)의 내측부(242)를 배면(뒤)에서 보았을 때 원형의 제2 입구부(243b)가 구비되고 제2 입구부(243b)를 통해 4개의 돌기부(244a 내지 244d))가 톱니바퀴 모양으로 돌출된 형태가 보이는 구조를 가질 수 있다. 정면의 제1 입구부(243a)는 네잎 클로버 형태를 가지고, 배면의 제2 입구부(243b)는 원형의 형태를 가지며, 원형의 제2 입구부(243b)는 내부 리액터(240)의 내측부(242) 내벽 가장자리로부터 내부 리액터(240)의 내측부(242) 가장자리의 중심부로 향하여 돌출되게 구비되며, 이에 따라 내부 리액터(240)의 내측부(242) 내벽 가장자리에는 제2 입구부(243b)에 의해 단턱이 형성되게 된다. 돌기부(244)와 돌기부(244) 사이의 모서리는 완만한 형태를 갖는다. 더욱 구체적으로는, 돌기부(244)와 돌기부(244) 사이의 내부 공간은 내부 리액터(240)의 길이에 수직한 단면 형태가 원형에 가까운 형태(반원 보다는 크고 원 보다는 작은 둥근 형태)(242a)를 갖는 것이 바람직하다. 내부 리액터(240)의 내측부(242)에는 이러한 원형에 가까운 형태(반원 보다는 크고 원 보다는 작은 둥근 형태)(242a) 4개가 형성되어 정면(앞)에서 보았을 때 네잎 클로버 형태를 이룬다. 돌기부(244)와 돌기부(244) 사이의 내부 공간은 원형에 가까운 형태(반원 보다는 크고 원 보다는 작은 둥근 형태)(242a)로 형성됨으로써 내부 리액터(240) 내측부(242)의 안쪽 모서리 부분이 완만하게 되어 박막 공정 후 클리닝 공정이 용이해 질 수 있다. 돌기부(244)와 돌기부(244) 사이의 내부 공간이 모서리를 갖는 각진 형태로 이루어진다면 파우더가 돌기부 모서리에 뭉쳐 회수율이 떨어지는 문제가 있었으나, 둥근 형태로 이루어짐으로써 파우더가 돌기부 모서리에 뭉쳐 회수율이 떨어지는 문제점을 개선할 수가 있다. 내부 리액터(240)의 내측부(242)를 정면(앞)에서 보았을 때 제1 입구부(243a)에 네잎 클로버 형태를 갖는 내부 공간이 형성됨으로써 내부 리액터(240)의 내측부(242)에 파우더를 넣기 쉬운 특성을 가질 수 있고, 배면(뒤)에서 보았을 때 원형의 제2 입구부(243b)가 구비되고 제2 입구부(243b)를 통해 4개의 돌기부(244a 내지 244d))가 톱니바퀴 모양으로 돌출되게 구비된 형태가 보이도록 하고 제2 입구부(243b)에 의해 단턱이 형성됨으로써 박막 공정 중에 파우더가 밑부분을 통해 새는 현상을 막아줄 수 있다. 제2 입구부(243b)는 파우더의 유출을 제한하기 위하여 내측부(242)의 직경보다 좁게 하고, 제1 입구부(243a)는 파우더에 박막을 코팅한 후에 회수율을 높이고 클리닝을 용이하게 하기 위한 형태로 만든 것이다. The inner portion 242 of the inner reactor 240 may have an inner space in the form of a four-leaf clover in cross section perpendicular to the length. The first inlet portion 243a has an inner space in the form of a four-leaf closure and the inner portion 242 of the inner reactor 240 is connected to the rear (rear) side of the inner reactor 240, It is possible to have a structure in which the circular second inlet portion 243b is provided and the four protruding portions 244a to 244d are protruded through the second inlet portion 243b in a saw-tooth shape. The second inlet portion 243b of the rear surface has a circular shape and the circular second inlet portion 243b has an inner side portion of the inner reactor 240 The inner reactor 242 of the inner reactor 240 protrudes from the inner wall edge of the inner reactor 240 toward the center of the inner edge 242 of the inner reactor 240. Accordingly, . The edge between the protrusion 244 and the protrusion 244 has a gentle shape. More specifically, the internal space between the protrusions 244 and the protrusions 244 has a cross-sectional shape perpendicular to the length of the internal reactor 240 (a rounded shape larger than the circle and smaller than the circle) 242a . The inside portion 242 of the inner reactor 240 has four round shaped portions (242a larger than a circle and smaller than a circle) formed in the shape of a four-leaf clover when viewed from the front. The inner space between the protrusions 244 and the protrusions 244 is formed in a circular shape (rounded shape larger than the circle and smaller than the circle) 242a so that the inner edge portion of the inner side portion 242 of the inner reactor 240 gently So that the cleaning process after the thin film process can be facilitated. If the inner space between the protrusions 244 and the protrusions 244 is formed in an angular shape having corners, there is a problem that the powder is accumulated on the corners of the protrusions to reduce the recovery rate. However, since the powder is rounded, Can be improved. When the inner portion 242 of the inner reactor 240 is viewed from the front, an inner space having a four-leaf clover shape is formed in the first inlet portion 243a, thereby putting the powder in the inner portion 242 of the inner reactor 240 And has a circular second inlet portion 243b when viewed from the rear side and four protruding portions 244a to 244d through the second inlet portion 243b protrude in the form of a cogwheel And a step formed by the second inlet portion 243b prevents the powder from leaking through the bottom during the thin film process. The second inlet portion 243b is formed to be narrower than the diameter of the inner side portion 242 to restrict the outflow of the powder. The first inlet portion 243a is formed to coat the thin film on the powder to increase the recovery rate, .

내부 리액터(240)의 외측부(246)에는 그 길이를 따라 복수의 가이드홈(248)이 구비된다. 리액터 몸체(230)의 내벽에는 그 길이를 따라 가이드홈(248)에 끼워지는 복수의 가이드리브(234)가 돌출되게 구비된다. 가이드리브(234)와 가이드홈(248)의 수는 동일하게 구비되고, 내부 리액터(240)와 리액터 몸체(230)가 서로 결합될 때 가이드리브(234)가 가이드홈(248)은 서로 대응되게 위치된다. 가이드리브(234)는 가이드홈(248)을 따라 끼워지도록 리액터 몸체(230)의 내벽에 돌출되게 구비된다. 내부 리액터(240)의 외측부(246)에는 가이드홈(248)이 구비되고, 리액터 몸체(230)의 내벽에는 가이드리브(234)가 구비됨으로써 가이드리브(234)가 가이드홈(248)에 끼워지도록 하여 내부 리액터(240)와 리액터 몸체(230)가 서로 결합될 수 있다. A plurality of guide grooves 248 are provided along the length of the outer side portion 246 of the inner reactor 240. A plurality of guide ribs 234 are formed on the inner wall of the reactor body 230 so as to protrude from the guide groove 248 along the length thereof. The number of the guide ribs 234 and the guide grooves 248 are the same and when the inner reactor 240 and the reactor body 230 are coupled to each other, the guide ribs 234 and the guide grooves 248 correspond to each other . The guide ribs 234 protrude from the inner wall of the reactor body 230 so as to be fitted along the guide grooves 248. A guide groove 248 is formed in the outer side portion 246 of the inner reactor 240 and a guide rib 234 is provided on the inner wall of the reactor body 230 so that the guide rib 234 is inserted into the guide groove 248 So that the internal reactor 240 and the reactor body 230 can be coupled to each other.

상술한 예에서는 가이드홈(248)이 내부 리액터(240)의 외측부(246)에 구비되고 가이드리브(234)가 리액터 몸체(230)의 내벽에 구비되는 것으로 설명하였으나, 가이드홈이 리액터 몸체(230)의 내벽에 구비되고 가이드리브가 내부 리액터(240)의 외측부(246)에 구비될 수도 있다.
The guide groove 248 is provided on the outer side portion 246 of the inner reactor 240 and the guide rib 234 is provided on the inner wall of the reactor body 230. However, And a guide rib may be provided on the outer side portion 246 of the inner reactor 240. [

이상, 본 고안의 바람직한 실시예를 들어 상세하게 설명하였으나, 본 고안은 상기 실시예에 한정되는 것은 아니며, 본 고안의 기술적 사상의 범위 내에서 당 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의하여 여러 가지 변형이 가능하다.
While the invention has been shown and described with reference to certain preferred embodiments thereof, it will be understood by those skilled in the art that various changes and modifications may be made therein without departing from the spirit and scope of the invention as defined by the appended claims. This is possible.

100: 진공 챔버 110: 일측샤프트
120: 타측샤프트 200: 리액터
210: 필터 부재 220: 배출구
230: 리액터 몸체 232: 리액터 몸체의 내벽
234: 가이드리브 236: 리액터 몸체의 측면
238: 구멍(hole) 240: 내부 리액터
242: 내부 리액터의 내측부 244: 돌기부
246: 내부 리액터의 외측부 248: 가이드홈
300: 회전 유닛 310: 회전 구동 부재
320: 회전 제어 수단 400: 공정가스 공급유닛
500: 히터 유닛 510: 히터
520: 히터 제어 수단 700: 진공/배기 유닛100: vacuum chamber 110: one shaft
120: other shaft 200: reactor
210: filter member 220: outlet
230: reactor body 232: inner wall of the reactor body
234: guide rib 236: side of reactor body
238: hole 240: internal reactor
242: Inner part of inner reactor 244:
246: outer side of inner reactor 248: guide groove
300: rotation unit 310: rotation drive member
320: rotation control means 400: process gas supply unit
500: heater unit 510: heater
520: Heater control means 700: Vacuum / exhaust unit

Claims (6)

파우더 코팅 장치의 진공 챔버 내에 회전가능하게 설치되어 파우더를 코팅하기 위한 리액터로서,
내부 리액터가 삽입되는 공간을 포함하는 리액터 몸체; 및
상기 리액터 몸체로부터 분리될 수 있고 장입된 파우더가 교반되도록 하면서 박막이 코팅되도록 하는 공간을 제공하는 내부 리액터를 포함하며,
상기 리액터 몸체와 상기 내부 리액터는 서로 분리되어 탈부착이 가능하도록 구비되며,
상기 내부 리액터의 내측부에는 서로 이격되게 구비된 복수의 돌기부가 돌출되게 구비되어 있으며,
상기 돌기부와 상기 돌기부 사이의 모서리는 완만한 형태를 갖는 것을 특징으로 하는 파우더 코팅 장치의 리액터.
1. A reactor for rotatably mounting a powder in a vacuum chamber of a powder coating apparatus,
A reactor body including a space into which an internal reactor is inserted; And
And an internal reactor capable of separating from the reactor body and providing a space for coating the thin film while stirring the charged powder,
The reactor body and the inner reactor are detachably attached to each other,
A plurality of protrusions provided to be spaced apart from each other are protruded from the inner side of the inner reactor,
And the corners between the protrusions and the protrusions have a gentle shape.
제1항에 있어서, 상기 내부 리액터의 외측부에는 그 길이를 따라 복수의 가이드홈이 구비되고,
상기 리액터 몸체의 내벽에는 그 길이를 따라 상기 가이드홈에 끼워지는 복수의 가이드리브가 돌출되게 구비되며,
상기 가이드리브가 상기 가이드홈에 끼워지도록 하여 상기 내부 리액터와 상기 리액터 몸체가 결합되는 것을 특징으로 하는 파우더 코팅 장치의 리액터.
The internal reactor as claimed in claim 1, wherein a plurality of guide grooves are provided along an outer side of the inner reactor,
A plurality of guide ribs protruding from the inner wall of the reactor body are inserted into the guide groove along the length thereof,
And the inner reactor and the reactor body are coupled with each other such that the guide rib is fitted in the guide groove.
제1항에 있어서, 상기 돌기부와 상기 돌기부 사이의 내부 공간은 상기 내부 리액터의 길이에 수직한 단면 형태가 반원 보다는 크고 원 보다는 작은 둥근 형태를 갖는 것을 특징으로 하는 파우더 코팅 장치의 리액터.
2. The reactor of claim 1, wherein the inner space between the protrusions and the protrusions has a round cross-sectional shape perpendicular to the length of the inner reactor, the cross-sectional shape being larger than a half circle and smaller than a circle.
제3항에 있어서, 상기 내부 리액터의 내측부에 그 길이를 따라 4개의 돌기부가 구비되고,
상기 내부 리액터의 내측부는 길이에 수직한 단면 형태가 네잎 클로버 형태를 이루는 내부 공간을 가지며,
상기 내부 리액터의 내측부를 정면에서 보았을 때 정면의 제1 입구부는 네잎 클로버 형태를 가지며,
상기 내부 리액터의 내측부를 배면에서 보았을 때 배면의 제2 입구부는 네잎 클로버 형태를 갖는 것을 특징으로 하는 파우더 코팅 장치의 리액터.
The internal reactor as claimed in claim 3, wherein four protrusions are provided along the length of the inner side of the inner reactor,
The inner side portion of the inner reactor has an inner space having a cross-sectional shape perpendicular to the length in the form of a four-leaf clover,
When viewed from the front, the first inlet of the inner reactor has a four-leaf clover shape,
And the second inlet of the rear surface has a four-leaf clover shape when viewed from the rear of the inner side of the inner reactor.
제3항에 있어서, 상기 내부 리액터의 내측부에 그 길이를 따라 4개의 돌기부가 구비되고,
상기 내부 리액터의 내측부는 길이에 수직한 단면 형태가 네잎 클로버 형태를 이루는 내부 공간을 가지며,
상기 내부 리액터의 내측부를 정면에서 보았을 때 정면의 제1 입구부는 네잎 클로버 형태를 가지며,
상기 내부 리액터의 내측부를 배면에서 보았을 때 원형의 제2 입구부가 구비되고 상기 제2 입구부를 통해 4개의 돌기부가 돌출되게 구비된 형태가 보이는 구조를 갖는 것을 특징으로 하는 파우더 코팅 장치의 리액터.
The internal reactor as claimed in claim 3, wherein four protrusions are provided along the length of the inner side of the inner reactor,
The inner side portion of the inner reactor has an inner space having a cross-sectional shape perpendicular to the length in the form of a four-leaf clover,
When viewed from the front, the first inlet of the inner reactor has a four-leaf clover shape,
Wherein the inner reactor has a circular second inlet portion when viewed from the rear and four protrusions protruding through the second inlet portion.
제1항에 있어서, 상기 리액터 몸체는 금속 또는 금속합금 재질로 이루어지고,
상기 내부 리액터는 상기 리액터 몸체와 같은 재질이거나 내식성 및 내화학성을 갖는 테프론 재질로 이루어진 것을 특징으로 하는 파우더 코팅 장치의 리액터.The reactor according to claim 1, wherein the reactor body is made of a metal or a metal alloy,
Wherein the inner reactor is made of a Teflon material having the same material as the reactor body or having corrosion resistance and chemical resistance.
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