KR20150142442A

KR20150142442A - Air floating stage

Info

Publication number: KR20150142442A
Application number: KR1020140071299A
Authority: KR
Inventors: 김태형
Original assignee: 이성 주식회사
Priority date: 2014-06-12
Filing date: 2014-06-12
Publication date: 2015-12-22

Abstract

본 발명은 평판 디스플레이(FPD : Flat Panel Display) 제조공정 등에서 기판을 부상시켜 반송하기 위하여 사용되는 에어 플로팅 스테이지에 관한 것이다.
그 구성은,
기판(10)이 올려지는 플레이트(100);
상기 플레이트(100)의 상면에 상하 관통 형성되고 플레이트(100)의 횡방향으로 상호 이격 배열되는 다수의 급기라인(110); 및
상기 플레이트(100)의 상면에 상하 관통 형성되고 플레이트(100)의 횡방향으로 상호 이격 배열되되, 상기 각 급기라인(110)과 교호(交互) 배치되도록 배열되는 다수의 배기라인(120);
을 포함하여 이루어지고,
상기 각 급기라인(110)은 상기 플레이트(100)의 종방향을 따라 배열되는 다수의 급기공(111)으로 이루어지고, 상기 각 배기라인(120)은 플레이트(100)의 종방향을 따라 배열되는 다수의 배기공(121)으로 이루어진다.
또한 상기 플레이트(100)에는 상하관통 형성된 넷 이상의 암나사부(130)가 형성되며, 상기 플레이트(100) 하부에는 상기 암나사부(130)에 체결되도록 상단부에 수나사부(140)를 갖으며 상기 플레이트(100)를 받치는 넷 이상의 레벨링유닛(200)이 형성되며,
상기 레벨링유닛(200)의 내부에는 레벨링유닛(200)의 상측과 외측을 상호 연결하는 통기구(220)가 형성된 것을 특징으로 한다.
이와 같은 구성에 의하면,
상기 플레이트(100) 양측단부의 급기라인(110a)의 급기량을 증가시킴으로써, 부상된 기판(10)의 양측단부가 하방으로 휘어지는 것을 방지하는 효과가 있다.
또한 암나사부(130)의 상단부로 유입된 공기가 레벨링유닛(200)에 형성된 통기구(220)를 통하여 배출됨으로써 플레이트(100) 상부로 공급된 공기의 와류가 방지되고, 이에 따라 공기의 흐름이 안정화되어 플레이트(100)에서 부상된 기판(10)이 일정한 수평도를 유지할 수 있는 효과가 있다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an air floating stage used for floating a substrate in a flat panel display (FPD) manufacturing process or the like.
In the configuration,
A plate 100 on which the substrate 10 is lifted;
A plurality of supply lines 110 formed vertically through the upper surface of the plate 100 and spaced apart from each other in the transverse direction of the plate 100; And
A plurality of exhaust lines 120 vertically arranged on the upper surface of the plate 100 and arranged to be spaced apart from each other in the transverse direction of the plate 100 and arranged alternately with the respective supply lines 110;
, &Lt; / RTI >
Each of the air supply lines 110 includes a plurality of air supply holes 111 arranged along the longitudinal direction of the plate 100 and each of the air discharge lines 120 is arranged along the longitudinal direction of the plate 100 And a plurality of exhaust holes 121.
In addition, four or more internally threaded portions 130 formed through the plate 100 are formed on the plate 100. A lower portion of the plate 100 has a male screw portion 140 at an upper end thereof to be fastened to the female screw portion 130, The leveling unit 200 supports at least four leveling units 200,
The leveling unit 200 has a ventilation hole 220 for interconnecting the upper and the outer sides of the leveling unit 200.
According to this configuration,
Increasing the amount of supply of the air supply lines 110a at both ends of the plate 100 has the effect of preventing both side ends of the floated substrate 10 from being bent downward.
The air introduced into the upper end of the female screw 130 is discharged through the vent hole 220 formed in the leveling unit 200 so that the air supplied to the upper portion of the plate 100 is prevented from swirling, So that the substrate 10 lifted from the plate 100 can maintain a constant horizontal level.

Description

[0001] AIR FLOATING STAGE [0002]

본 발명은 에어 플로팅 스테이지에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 평판 디스플레이(FPD : Flat Panel Display) 제조공정 등에서 기판을 부상시켜 반송하기 위하여 사용되는 에어 플로팅 스테이지에 관한 것이다.
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an air floating stage, and more particularly, to an air floating stage used for floating a substrate in a flat panel display (FPD) manufacturing process or the like.

에어 플로팅 스테이지에 관한 기술로는 [대한민국 등록특허공보 제10-1179736호(2012.09.04.공고, 이하 '선행기술'이라고 함) "개선된 부상 스테이지 및 이를 구비한 기판 부상 유닛 및 코팅장치"]가 제시되어 있다.As an art relating to the air floating stage, an improved float stage and a substrate floating unit and a coating apparatus having the improved float stage (hereinafter referred to as "Prior Art" in Korean Patent Registration No. 10-1179736 .

상기 선행기술은The prior art

"로딩 영역, 코팅 영역, 및 언로딩 영역의 하부에 제공되며, 각각 복수의 제 1 내지 제 3 에어 분출구 및 복수의 제 1 내지 제 3 에어 흡입구가 형성된 플레이트;A plate provided at a lower portion of the loading region, the coating region, and the unloading region, each plate having a plurality of first to third air ejecting openings and a plurality of first to third air inlets, respectively;

상기 플레이트가 고정 장착되는 베이스 부재;A base member to which the plate is fixedly mounted;

상기 복수의 제 1 내지 제 3 에어 분출구와 연결되는 에어 공급로;An air supply passage connected to the plurality of first to third air outlets;

상기 에어 공급로와 연결되는 에어 공급 장치;An air supply device connected to the air supply path;

상기 복수의 제 2 에어 흡입구와 연결되는 에어 흡입로; 및An air intake path connected to the plurality of second air intake ports; And

상기 에어 흡입로와 연결되는 진공 펌핑 장치를 포함하고,And a vacuum pumping device connected to the air suction path,

상기 에어 공급 장치는 제 1 피팅 부재에 의해 상기 에어 공급로와 연결되고, 상기 에어 공급로는 복수의 제 2 피팅 부재에 의해 상기 복수의 제 1 내지 제 3 에어 분출구와 각각 연결되며,Wherein the air supply device is connected to the air supply path by a first fitting member and the air supply path is connected to the plurality of first to third air ejection ports by a plurality of second fitting members,

상기 진공 펌핑 장치는 제 3 피팅 부재에 의해 상기 에어 흡입로와 연결되고, 상기 에어 흡입로는 복수의 제 4 피팅 부재에 의해 상기 복수의 제 1 내지 제 3 에어 흡입구와 각각 연결되는 기판 부상 유닛"에 관한 것으로서,Wherein the vacuum pumping device is connected to the air intake path by a third fitting member, and the air intake path is connected to the plurality of first to third air intake ports by a plurality of fourth fitting members, respectively, , &Lt; / RTI &

부상 스테이지의 진동이 방지되고, 부상 스테이지의 높이 조절이 불필요하도록 한 기술이다.
The vibration of the floating stage is prevented, and the height of the floating stage is not required to be adjusted.

한편, 상기 선행기술을 포함한 일반적인 에어 플로팅 스테이지는, 상기 기판(10)과 상기 플레이트(100) 사이의 공간부(S)로 유입된 공기가 신속하게 배기되지 못할 경우, 상기 공간부(S)로 유입된 공기가 와류(渦流)를 일으켜 플레이트(100)의 상면에 불안정한 공기 흐름을 발생시키게 되어 기판(10)의 수평도 유지가 곤란하게 된다.In the conventional air floating stage including the prior art, when the air introduced into the space S between the substrate 10 and the plate 100 can not be quickly exhausted, The inflow air generates eddy currents, which causes unstable airflow on the upper surface of the plate 100, which makes it difficult to maintain the horizontalness of the substrate 10.

따라서 와류를 방지하기 위하여, 일반적으로 도 1 및 도 2에 도시된 바와 같이, 공기가 분출되는 다수의 급기구(311) 및 공기가 배기되는 다수의 배기구(321)가 플레이트(100)의 전반에 걸쳐 상호 교호(交互) 배치되도록 배열된다.1 and 2, a plurality of air supply devices 311 through which air is blown and a plurality of air exhaust ports 321 through which air is exhausted are provided in the first half of the plate 100, (Alternate) over the other.

그리고 다수의 급기구(311)가 플레이트의 종방향을 따라 배열되어 각 급기라인(310)을 이루며, 상기 급기라인(310)은 다수의 배기구(321)가 플레이트의 종방향을 따라 배열되어 각 배기라인(320)을 이루게 된다.A plurality of air supply units 311 are arranged along the longitudinal direction of the plate to form respective air supply lines 310. The air supply lines 310 are arranged such that a plurality of air outlets 321 are arranged along the longitudinal direction of the plate, Line 320 as shown in FIG.

즉, 상기 급기구(311) 및 배기구(321)를 통해 일정한 양의 공기가 분출 및 배기 되어 기판(10)을 일정한 높이로 부상시키게 된다.
That is, a certain amount of air is blown and discharged through the air supply mechanism 311 and the air outlet 321 to raise the substrate 10 to a certain height.

그런데 상기와 같은 구성은 플레이트의 양측이 개방되어 있는 구성이다.However, the above-described configuration has a configuration in which both sides of the plate are opened.

따라서 도 1에 도시된 바와 같이, 플레이트(300)의 양단부에 배치된 급기라인(310a)은 나머지 비(非)단부측 급기라인(310)과 달리, 분출된 공기가 플레이트(300)의 측방으로 다량 손실되는 문제가 있다.1, unlike the remaining non-end side air supply lines 310, the air supply lines 310a disposed at both ends of the plate 300 are arranged such that the ejected air is directed to the side of the plate 300 There is a problem of mass loss.

즉, 기판(10)의 양측단부는 기판(10)의 양측단부를 제외한 나머지 부분에 비해, 공급받는 공기량이 줄어들기 때문에, 결국 부상력이 감소 되어, 기판(10)의 양측단부가 하방으로 휘어지는 문제가 발생하게 된다.
In other words, since both side ends of the substrate 10 are less in amount of air supplied than the remaining portions except for the both side ends of the substrate 10, the lifting force is eventually decreased and both ends of the substrate 10 are bent downward A problem occurs.

한편, 상기 선행기술의 배경기술 및 도면에는 부상 스테이지의 높이 조정을 위하여 플레이트의 다수의 높이 조정 부재가 설치된 구성이 개시된다.On the other hand, the background art and drawings of the prior art disclose a structure in which a plurality of height adjustment members of a plate are provided for height adjustment of a floatation stage.

이러한 높이 조정 부재를 구비한 종래의 부상 스테이지는 '도 1'에 도시된 바와 같이,A conventional floating stage having such a height adjusting member, as shown in FIG. 1,

상하 관통 형성된 급기구(311) 및 배기구(321), 그리고 상하 관통 형성된 암나사부(330)를 갖는 플레이트(300); 및A plate 300 having upper and lower feed mechanisms 311 and 321, and a female threaded portion 330 formed through the upper and lower ends; And

상단부에 수나사부(410)를 갖고, 상기 암나사부(330)에 체결되어 상기 플레이트(300)를 받치는 레벨링유닛(400);을 포함하여 이루어져,And a leveling unit 400 having a male screw portion 410 at an upper end thereof and coupled to the female screw portion 330 to support the plate 300,

상기 레벨링유닛(400)을 회전시킴으로써 상기 플레이트(300)의 높이를 조정할 수 있도록 구성된다.
And the height of the plate 300 can be adjusted by rotating the leveling unit 400.

그런데 이와 같은 구조의 부상 스테이지에 의하면 암나사부(330)의 상단부에 수나사부(410)의 승강 동작을 위한 공간(340)이 마련되어야 하는데, 종래의 부상 스테이지는 이 공간(340)에 급기구(310)를 통해 플레이트(300) 상부로 공급된 공기가 유입되어 와류를 일으키게 됨으로써 공기의 흐름이 불안정해지게 되고, 이에 따라 플레이트(300)에서 부상(浮上)된 기판(10)이 일정한 수평도를 유지하지 못하게 됨으로써, 높은 정밀도가 요구되는 평판 디스플레이의 제조공정에 사용하기에는 적합하지 못한 문제가 있다.
However, according to the floating stage having such a structure, a space 340 for lifting and lowering the male screw portion 410 must be provided at the upper end of the female screw portion 330. In the conventional floating stage, The air supplied to the upper portion of the plate 300 flows into the upper portion of the plate 300 through the upper and lower plates 310 and 310 to generate a vortex so that the flow of air becomes unstable. It is not suitable for use in a manufacturing process of a flat panel display requiring high precision.

본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로서,SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made to solve the above problems,

플레이트 양측단부 급기라인의 급기량을 증가시킴으로써, 부상된 기판의 양측단부가 하방으로 휘어지는 것을 방지하도록 한 에어 플로팅 스테이지를 제공하는 것을 목적으로 한다.It is an object of the present invention to provide an air floating stage in which both side ends of a floating substrate are prevented from being bent downward by increasing the amount of supply of both end feed lines of the plate.

또한 플레이트 상부로 공급된 공기의 흐름이 안정화되도록 함으로써, 플레이트에서 부상된 기판이 일정한 수평도를 유지할 수 있도록 한 에어 플로팅 스테이지를 제공하는 것을 목적으로 한다.
It is another object of the present invention to provide an air floating stage in which a substrate floated on a plate can maintain a constant horizontal level by stabilizing the flow of air supplied to an upper portion of the plate.

상기와 같은 과제를 해결하기 위하여 본 발명에 의한 에어 플로팅 스테이지는,
According to an aspect of the present invention, there is provided an air floating stage,

기판이 올려지는 플레이트;A plate on which the substrate is raised;

상기 플레이트의 상면에 상하 관통 형성되고 플레이트의 횡방향으로 상호 이격 배열되는 다수의 급기라인; 및A plurality of supply lines vertically arranged on an upper surface of the plate and spaced apart from each other in the transverse direction of the plate; And

상기 플레이트의 상면에 상하 관통 형성되고 플레이트의 횡방향으로 상호 이격 배열되되, 상기 각 급기라인과 교호(交互) 배치되도록 배열되는 다수의 배기라인;A plurality of exhaust lines arranged vertically through the upper surface of the plate and arranged to be alternately arranged in the transverse direction of the plates and alternately with the respective supply lines;

을 포함하여 이루어지고,
, &Lt; / RTI >

상기 각 급기라인은 상기 플레이트의 종방향을 따라 배열되는 다수의 급기공으로 이루어지고, 상기 각 배기라인은 플레이트의 종방향을 따라 배열되는 다수의 배기공으로 이루어지며,
Wherein each of the air supply lines comprises a plurality of air supply holes arranged along a longitudinal direction of the plate, each of the air supply lines is composed of a plurality of air discharge holes arranged along the longitudinal direction of the plate,

상기 급기라인 중 상기 플레이트 양단부에 위치한 급기라인은 비(非)단부측 급기라인보다 큰 급기량을 갖도록 이루어진다.
And the air supply line located at both ends of the plate among the air supply lines is made to have a larger air supply amount than the non-end side air supply line.

그리고 상기 플레이트에는 상하관통 형성된 넷 이상의 암나사부가 형성되며,At least four internally threaded portions formed vertically through the plate are formed,

상기 플레이트 하부에는 상기 암나사부에 체결되도록 상단부에 수나사부를 갖으며 상기 플레이트를 받치는 넷 이상의 레벨링유닛이 형성되며,
At least four leveling units are formed at the lower portion of the plate to have a male screw portion at an upper end to be fastened to the female screw portion and support the plate,

상기 레벨링유닛의 내부에는 레벨링유닛의 상측과 외측을 상호 연결하는 통기구가 형성된다.
Inside the leveling unit, a vent hole for interconnecting the upper side and the outer side of the leveling unit is formed.

본 발명에 의한 에어 플로팅 스테이지는,In the air floating stage according to the present invention,

플레이트 양측단부 급기라인의 급기량을 증가시킴으로써, 부상된 기판의 양측단부가 하방으로 휘어지는 것을 방지하는 효과가 있다.By increasing the supply amount of the both-end-side supply line of the plate, it is possible to prevent both side ends of the floated substrate from being bent downward.

또한 암나사부의 상단부로 유입된 공기가 레벨링유닛에 형성된 통기구를 통하여 배출됨으로써, 플레이트 상부로 공급된 공기의 와류가 방지되고, 이에 따라 공기의 흐름이 안정화되어 플레이트에서 부상된 기판이 일정한 수평도를 유지할 수 있는 효과가 있다.
Further, since the air introduced into the upper end of the female screw portion is discharged through the vent hole formed in the leveling unit, the vortex of the air supplied to the upper portion of the plate is prevented, so that the flow of air is stabilized, There is an effect that can be.

도 1은 종래 플로팅 스테이지의 개략적인 단면도.
도 2는 종래 플로팅 스테이지이 개략적인 사시도
도 3은 본 발명의 실시예에 의한 에어 플로팅 스테이지의 사시도.
도 4는 본 발명의 실시예에 의한 에어 플로팅 스테이지의 개략적인 단면도.
도 5는 본 발명의 다른 실시예.1 is a schematic cross-sectional view of a conventional floating stage;
2 is a schematic view of a conventional floating stage,
3 is a perspective view of an air floating stage according to an embodiment of the present invention;
4 is a schematic cross-sectional view of an air-floating stage according to an embodiment of the present invention.
5 is another embodiment of the present invention.

이하 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 상세하게 설명한다.Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

도 3 및 도 4에 도시된 바와 같이, 본 발명의 실시예에 의한 에어 플로팅 스테이지는 크게 플레이트(100) 및 레벨링유닛(200)으로 이루어진다.
3 and 4, the air floating stage according to the embodiment of the present invention mainly comprises a plate 100 and a leveling unit 200.

각 구성에 대해 살펴보면,
Looking at each configuration,

플레이트(100)는,The plate (100)

도 3 및 도 4에 도시된 바와 같이, 상면이 평탄한 판 형태로 이루어져, 기판(10)이 올려지는 것으로, 그 상면에 상하 관통 형성되고 플레이트(100)의 횡(橫)방향으로 상호 이격 배열되는 다수의 급기라인(110) 및 플레이트(100)의 상면에 상하 관통 형성되고 플레이트(100)의 횡방향으로 상호 이격 배열되되, 상기 각 급기라인(110)과 교호 배치되도록 배열되는 다수의 배기라인(120)으로 이루어진다.
As shown in FIGS. 3 and 4, the upper surface of the substrate 100 is formed in a flat plate shape, and the substrate 10 is lifted and vertically passed through the upper surface of the substrate 10 and spaced apart from each other in the transverse direction of the plate 100 A plurality of exhaust lines 110 and a plurality of exhaust lines 110 arranged vertically through the upper surface of the plate 100 and spaced from each other in the transverse direction of the plate 100 and arranged alternately with the respective supply lines 110, 120).

그리고 상기 각 급기라인(110)은 상기 플레이트(100)의 종(縱)방향을 따라 배열되는 다수의 급기공(111)으로 이루어지고, 상기 각 배기라인(120)은 플레이트(100)의 종방향을 따라 배열되는 다수의 배기공(121)으로 이루어진다.
Each of the air supply lines 110 is composed of a plurality of air supply holes 111 arranged along the longitudinal direction of the plate 100, And a plurality of exhaust holes 121 arranged along the exhaust port.

또한 도시되지는 않았지만, 플레이트(100)의 하측에는 각 급기공(111)와 연결되어 플레이트(100)의 상측으로 공기를 분사하기 위한 별도의 공기압축장치 및 급기 매니폴드(manifold)와, 각 배기공(121)와 연결되어 플레이트(100)의 상측에 공급된 공기를 플레이트(100)의 하측으로 배기하기 위한 별도의 공기흡입장치 및 배기 매니폴드 등이 설치될 수 있을 것이다.
Although not shown, separate air compressing devices and an air supply manifold for blowing air to the upper side of the plate 100 are connected to the air supply holes 111 at the lower side of the plate 100, A separate air suction device and an exhaust manifold for exhausting the air supplied to the upper side of the plate 100 to the lower side of the plate 100 may be installed.

그리고 도 3에 도시된 바와 같이, 상기 플레이트(100) 양단부에 위치한 급기라인(110a)에 배열된 각 급기공(111a)의 간격(D)은 비(非)단부측의 급기라인(110)에 배열된 각 급기공(111)의 간격(D1)보다 그 간격이 좁도록 형성된다.3, the distance D between the air supply holes 111a arranged in the air supply line 110a located at the both ends of the plate 100 is set to be shorter than the distance D between the air supply lines 110 on the non- Are formed so as to be narrower than the interval (D1) of the arrayed feed pores (111).

따라서 상기 플레이트(100) 양단부에 위치한 급기라인(110a)에 배열된 급기공(111a)의 개수는 비단부측의 급기라인(110)에 배열된 급기공(111)의 개수보다 많도록 형성된다.
The number of the supply holes 111a arranged in the supply line 110a at both ends of the plate 100 is larger than the number of the supply holes 111 arranged in the supply line 110 at the non-end side.

이때 상기 플레이트(100) 양단부에 위치한 급기라인(110a)에 배열된 급기공(111a)의 개수는, 상기 플레이트(100)의 측방으로 손실되는 급기량 만큼을 더 분출할 수 있을 정도에서 결정되는 것이 바람직하다.
At this time, the number of the supply holes 111a arranged in the supply line 110a located at both ends of the plate 100 is determined to such an extent that the supply amount lost to the side of the plate 100 can be further discharged desirable.

상기와 같은 구성에 의하면,According to the above configuration,

도 4에 도시된 바와 같이, 상기 플레이트(100) 양단부에 위치한 급기라인(110a)에서 분출되는 공기는 플레이트(100)의 측방으로 다량 손실된다.As shown in FIG. 4, air ejected from the air supply line 110a located at both ends of the plate 100 is largely lost to the side of the plate 100. As shown in FIG.

하지만 플레이트(100) 양단부에 위치한 급기라인(110a)에 배열된 급기공(111a)의 개수는 비단부측 급기라인(110)에 배열된 급기공(111)의 개수보다 많도록 형성되어 있기 때문에, 플레이트(100)의 측방으로 손실되는 급기량 만큼의 공기를 기판(10)을 향해 더 분출할 수 있다.
However, since the number of the supply holes 111a arranged in the supply line 110a located at both ends of the plate 100 is larger than the number of the supply holes 111 arranged in the non-supply side supply line 110, It is possible to further eject air toward the substrate 10 as much as the amount of air supplied to the side of the air conditioner 100 is lost.

따라서 상기 플레이트(100)의 상면에서 부상된 기판(10)은 양측단부를 포함한 모든 부분에 전체적으로 일정한 양의 공기가 공급되어, 기판(10)의 양측단부가 하방으로 휘어지는 것을 방지하는 효과가 있다.
Therefore, the substrate 10 lifted from the upper surface of the plate 100 is supplied with a predetermined amount of air to all the portions including both side ends thereof, thereby preventing both side ends of the substrate 10 from being bent downward.

한편, 도 5에 도시된 바와 같이, 상기 플레이트(100) 양단부에 위치한 급기라인(110a)에 배열된 급기공(111a)의 형상은 다양한 형상으로 이루어질 수 있다.5, the air holes 111a arranged in the air supply line 110a at both ends of the plate 100 may have various shapes.

다시 말해서, 상기 플레이트(100) 양단부에 배열된 급기공(111a)의 형상은 플레이트(100)의 측방으로 손실되는 급기량 만큼을 기판(10)을 향해 더 분출할 수 있는 범위 내에서, 도 5a에서 처럼, 장공(長空)(112a) 등과 같은 형상으로 이루어질 수 있다.In other words, the shape of the air supply holes 111a arranged at both ends of the plate 100 can be changed in the range in which the amount of air supplied to the side of the plate 100 can be further ejected toward the substrate 10, Like a long hole 112a, as shown in FIG.

또한 도 5b에서 처럼, 상기 플레이트(100) 양단부에 배열된 급기공(111a)의 형상은 급기공(111a)이 2열로 배열되는 구조 등과 같이 다양한 형상으로 이루어질 수 있다.
Also, as shown in FIG. 5B, the shape of the feed holes 111a arranged at both ends of the plate 100 may be various shapes such as a structure in which the feed holes 111a are arranged in two rows.

그리고 상기 플레이트(100)에는 상하 관통 형성된 넷 이상의 암나사부(130)가 형성되는데, 도 3 및 도 4에 도시된 바와 같이 플레이트(100)의 각 모서리 부분을 포함하도록 넷 이상이 형성되는 것이 바람직하다.
As shown in FIG. 3 and FIG. 4, it is preferable that at least four or more internal threaded portions 130 are formed on the plate 100 so as to include the corner portions of the plate 100 .

레벨링유닛(200)은,
The leveling unit (200)

도 4에 도시된 바와 같이,As shown in Figure 4,

상기 암나사부(130)에 체결되는 것으로, 원기둥 형태로 이루어지며, 상단부에 형성된 수나사부(210)를 갖는다.And has a male threaded portion 210 formed at an upper end thereof. The male threaded portion 210 is formed in a cylindrical shape and is fastened to the female threaded portion 130.

레벨링유닛(200)은 넷 이상이 구비되되, 각각 상기 암나사부(130)에 각 수나사부(130)가 체결됨으로써, 플레이트(100)를 받치게 된다.The leveling unit 200 is provided with four or more teeth, and each male screw part 130 is fastened to the female screw part 130 to support the plate 100.

이에 의하여, 사용자는 각 레벨링유닛(200)을 회전시킴으로써 플레이트(100)의 높낮이 및 수평도를 조절할 수 있다.
Thus, the user can adjust the height and the horizontality of the plate 100 by rotating each leveling unit 200.

도시된 바와 같이 플레이트(100)와 레벨링유닛(200)이 결합된 상태에서, 암나사부(130)의 상단부에는 수나사부(210)의 승강 동작을 위한 공간부(140)가 마련되고, 레벨링유닛(200)의 내부에는 레벨링유닛(200)의 상측과 외측을 상호 연결하는 통기구(220)가 형성된다.A space portion 140 for lifting and lowering the male screw portion 210 is provided at the upper end of the female screw portion 130 in a state where the plate 100 and the leveling unit 200 are coupled to each other, 200 have a ventilation hole 220 for interconnecting the upper and the outer sides of the leveling unit 200.

이 통기구(220)는 급기구(110)를 통해 플레이트(100)의 상부에서 상기 공간부(140)로 유입된 공기가 플레이트(100)의 하측으로 배기될 수 있도록 함으로써, 플레이트(100)에서 부상된 기판(10)이 일정한 수평도를 유지할 수 있게 한다.
The ventilation holes 220 allow the air introduced from the upper portion of the plate 100 to the space portion 140 to be exhausted to the lower side of the plate 100 through the air supply mechanism 110, Thereby enabling the substrate 10 to maintain a constant horizontal level.

부연하면, 상기 공간부(140)로 유입된 공기가 신속하게 배기되지 못할 경우, 공간부(140)로 유입된 공기가 와류(渦流)을 일으켜 플레이트(100)의 상면에 불안정한 공기 흐름을 발생시키게 되어 기판(10)의 수평도 유지가 곤란하게 된다.In other words, if the air introduced into the space portion 140 can not be quickly exhausted, the air introduced into the space portion 140 generates a vortex flow to generate an unstable air flow on the upper surface of the plate 100 And it becomes difficult to maintain the horizontal position of the substrate 10.

그런데 본 발명의 레벨링유닛(200)에 의하면, 상기 공간부(140)로 유입된 공기가 상기 통기구(220)를 통하여 신속하게 배기될 수 있음으로써, 플레이트(100) 상부로 공급된 공기의 흐름이 안정화되어 플레이트(100)에서 부상된 기판(10)이 일정한 수평도를 유지할 수 있는 것이다.According to the leveling unit 200 of the present invention, since the air introduced into the space 140 can be quickly exhausted through the air vent 220, the flow of air supplied to the upper portion of the plate 100 The substrate 10 which has been stabilized and floated on the plate 100 can maintain a constant horizontal level.

상기 통기구(220)에는 공간부(140)로 유입된 공기의 더욱 신속한 배출을 위하여, 배기구(120)와 마찬가지로 별도의 공기흡입장치 및 배기 매니폴드 등이 설치될 수 있을 것이다.
A separate air suction device and an exhaust manifold may be installed in the air vent 220 in order to discharge the air introduced into the space 140 more quickly.

한편, 레벨링유닛(200)의 상면에는 통기구(220)와 연결되는 공구삽입홈(230)이 형성된다.On the upper surface of the leveling unit 200, a tool insertion groove 230 connected to the vent hole 220 is formed.

이 공구삽입홈(230)은 육각형의 홈으로 이루어져 있는데, 이에 따라 사용자는 육각 렌치(wrench)를 이용하여 플레이트(100)의 상측에서 레벨링유닛(200)을 회전시켜 플레이트(100)의 높낮이 및 수평도를 조절할 수 있게 된다.
The tool insertion groove 230 is formed in a hexagonal groove so that the user rotates the leveling unit 200 on the upper side of the plate 100 by using a wrench so that the height and horizontal It is possible to adjust the degree of the display.

이상에서 본 발명을 설명함에 있어 첨부된 도면을 참조하여 특정 형상과 구조를 갖는 "에어 플로팅 스테이지"를 위주로 설명하였으나 본 발명은 당업자에 의하여 다양한 변형 및 변경이 가능하고, 이러한 변형 및 변경은 본 발명의 보호범위에 속하는 것으로 해석되어야 한다.
While the present invention has been described in connection with what is presently considered to be the most practical and preferred embodiments, it is to be understood that the invention is not limited to the disclosed embodiments, but, on the contrary, The present invention is not limited thereto.

10 ; 기판
100 ; 플레이트
110, 110a ; 급기라인
111, 111a ; 급기공
112a ; 장공
120 ; 120a ; 배기라인
121, 121a ; 급기공
130 ; 암나사부
140 ; 공간부
200 ; 레벨링유닛
210 ; 수나사부
220 ; 통기구
230 ; 공구삽입홈10; Board
100; plate
110, 110a; Supply line
111, 111a; Grade
112a; Long hole
120; 120a; Exhaust line
121, 121a; Grade
130; Female thread
140; Space portion
200; Leveling unit
210; Male threads
220; Vent
230; Tool insert groove

Claims

A plate 100 on which the substrate 10 is lifted;
A plurality of supply lines 110 formed vertically through the upper surface of the plate 100 and spaced apart from each other in the transverse direction of the plate 100; And
A plurality of exhaust lines 120 vertically arranged on the upper surface of the plate 100 and arranged to be spaced apart from each other in the transverse direction of the plate 100 and arranged alternately with the respective supply lines 110;
, &Lt; / RTI >

Each of the air supply lines 110 includes a plurality of air supply holes 111 arranged along the longitudinal direction of the plate 100 and each of the air discharge lines 120 is arranged along the longitudinal direction of the plate 100 And a plurality of exhaust holes 121,

Wherein the air supply line (110a) located at both ends of the plate (100) of the air supply line (110) has a larger air supply amount than the non-end side air supply line (110).

The method according to claim 1,
Each of the air supply holes 111a arranged in the air supply line 110a located at both ends of the plate 100 is narrower than each of the air supply holes 111 arranged in the air supply line 110 on the non- And the air-floating stage.

The method according to claim 1,
Four or more internally threaded portions 130 are formed in the plate 100 and a male screw portion 140 is formed at an upper end of the plate 100 to be fastened to the female threaded portion 130, 0.0 > 200 < / RTI >
Is formed on the surface of the air-floating stage.

The method of claim 3,
Wherein the leveling unit (200) is provided with a ventilation hole (220) for interconnecting the upper side and the outer side of the leveling unit (200).

5. The method of claim 4,
Wherein an upper surface of the leveling unit (200) is formed with a tool insertion groove (230) connected to the vent hole (220).