KR20150139268A - Method for manufacturing laminated inductor - Google Patents

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KR20150139268A
KR20150139268A KR1020140067637A KR20140067637A KR20150139268A KR 20150139268 A KR20150139268 A KR 20150139268A KR 1020140067637 A KR1020140067637 A KR 1020140067637A KR 20140067637 A KR20140067637 A KR 20140067637A KR 20150139268 A KR20150139268 A KR 20150139268A
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magnetic
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김진성
조정호
권재현
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삼성전기주식회사
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Abstract

According to an embodiment of the present invention, a method for manufacturing a laminated inductor comprises the following steps of: forming an internal electrode on a plurality of magnetic layers having ferrite; laminating the magnetic layers to form a magnetic body; sintering the magnetic body; cooling the magnetic body in a fluid to form a gap between the internal electrode and the magnetic body; heat treating the magnetic body having the gap between the internal electrode and the magnetic body; and forming external electrodes on both sections of the magnetic body.

Description

적층형 인덕터의 제조방법{Method for manufacturing laminated inductor}[0001] The present invention relates to a method of manufacturing a laminated inductor,

본 발명은 적층형 인덕터의 제조방법에 관한 것이다.
The present invention relates to a method of manufacturing a multilayer inductor.

인덕터는 저항 및 커패시터와 더불어 전자 회로를 이루는 중요한 수동 소자 중 하나로서, 노이즈를 제거하거나 LC 공진 회로를 이루는 부품 등에 사용될 수 있다.
An inductor is one of the important passive components of an electronic circuit together with a resistor and a capacitor, and can be used for components that remove noise or form an LC resonance circuit.

이러한 인덕터는 그 구조에 따라 권선형 또는 박막형 인덕터와, 적층형 인덕터 등 여러 가지로 분류할 수 있다.
Such an inductor can be classified into various types such as a wound-type or thin-film type inductor and a stacked-type inductor according to its structure.

상기 권선형 또는 박막형 인덕터는 세라믹 코어에 코일을 감거나 박막 도금을 하거나 노광(Photolithography) 공법을 실시하고 양단에 전극을 형성하여 제조될 수 있다.
The wound or thin film type inductor can be manufactured by winding a coil on a ceramic core, performing thin film plating, or performing a photolithography method and forming electrodes at both ends.

상기 적층형 인덕터는 자성체 또는 유전체 등의 세라믹으로 이루어진 복수의 시트에 내부 전극 패턴을 노광(Photolithography) 공법 또는 인쇄한 후 두께 방향을 따라 적층하여 제조될 수 있다.The multilayer inductor may be manufactured by photolithography or printing an internal electrode pattern on a plurality of sheets of ceramic such as a magnetic material or a dielectric, and then laminating the internal electrode patterns along the thickness direction.

특히, 이러한 적층형 인덕터는 상기 권선형 인덕터에 비해 소형화 및 두께를 낮출 수 있는 장점이 있으며 직류저항에도 유리한 점이 있어서 소형화 및 고전류화가 필요한 전원 회로 등에 많이 사용될 수 있다.
Particularly, such a multilayer inductor has advantages in that it can be downsized and thickness can be reduced as compared with the above-mentioned wound type inductor, and it is also advantageous in DC resistance, so that it can be widely used in a power supply circuit requiring miniaturization and high current.

상기 적층형 인덕터의 소형화는 꾸준히 요구되고 있으며, 신호손실을 최소화하고, 사용전류의 증가를 위해서는 낮은 직류저항 특성이 중요하다.The miniaturization of the multilayer inductor is required constantly, and the low DC resistance characteristic is important for minimizing the signal loss and increasing the used current.

따라서, 최근 적층형 인덕터의 소형화 및 낮은 직류저항의 구현을 위해서 페라이트 자성체 본체의 내부 응력 완화에 대한 신규 요소 기술 개발이 필요한 상황이다.Therefore, in order to miniaturize the multilayer inductor and realize low DC resistance, it is necessary to develop new element technology for internal stress relaxation of the ferrite magnetic body.

내부 응력 발생은 내부 전극과 자성체 본체의 열팽창 계수의 차이 때문에 발생하며, 소성 과정에서 접촉하는 계면에 응력이 집중되는 것으로 보고되고 있다.It is reported that internal stress generation occurs due to the difference in thermal expansion coefficient between the internal electrode and the magnetic body body, and stress is concentrated on the interface at the time of firing.

이러한 내부 응력의 완화를 위해서는 내부 전극과 자성체 본체 사이의 계면에 공극(air gap)을 형성하는 것이 가장 효과적인 방법으로 알려져 있으며, 공극의 형성에 대한 다양한 연구가 활발히 진행되고 있다.
In order to alleviate the internal stress, it is known that forming an air gap at the interface between the internal electrode and the magnetic body body is the most effective method, and various researches on the formation of the air gap have been actively conducted.

하기 특허문헌 1은 수지 입자를 포함한 내부 전극을 적용하여 공극을 형성하는 기술에 관한 것이다.
The following Patent Document 1 relates to a technique of forming a gap by applying an internal electrode including resin particles.

일본특허공개번호 제2005-167108호Japanese Patent Application Laid-Open No. 2005-167108

본 발명의 일 실시 형태의 목적은 자성체 본체의 내부에 응력을 감소시켜, 임피턴스 용량 특성을 개선하는 적층형 인덕터의 제조방법을 제공하는 것이다.
An object of an embodiment of the present invention is to provide a method of manufacturing a multilayer inductor that reduces stress in the inside of a magnetic body body and improves an impedance capacity characteristic.

본 발명의 일 실시형태의 적층형 인덕터의 제조방법은 페라이트를 포함하는 복수의 자성체 층 상에 내부 전극을 형성하는 단계; 상기 자성체 층을 적층하여 자성체 본체를 형성하는 단계; 상기 자성체 본체를 소성하는 단계; 상기 내부 전극과 상기 자성체 본체 사이에 공극을 형성하도록 상기 자성체 본체를 유체 내에서 냉각하는 단계; 상기 공극이 형성된 자성체 본체를 열처리하는 단계; 및 상기 자성체 본체의 양 단면에 외부 전극을 형성하는 단계; 를 포함할 수 있다.A method of manufacturing a multilayer inductor according to an embodiment of the present invention includes: forming internal electrodes on a plurality of magnetic material layers including ferrite; Forming a magnetic body body by laminating the magnetic body layers; Firing the magnetic body body; Cooling the magnetic body body in the fluid to form a gap between the internal electrode and the magnetic body body; Heat treating the magnetic body body having the voids formed thereon; And forming external electrodes on both end faces of the magnetic body body; . ≪ / RTI >

본 발명의 일 실시형태는, 상기 내부 전극은 은(Ag)을 포함하는 도전성 페이스트를 도포하여 형성할 수 있다.In one embodiment of the present invention, the internal electrode may be formed by applying a conductive paste containing silver (Ag).

상기 소성하는 단계에서 소성 온도는 800℃ 내지 1050℃일 수 있다.The firing temperature in the firing step may be 800 ° C to 1050 ° C.

성가 냉각하는 단계는 소성 후 상기 자성체 본체를 수중에서 급속하게 냉각하는 것을 특징으로 할 수 있다.The step of cooling the magnetic body may be characterized by rapidly cooling the magnetic body body in water after firing.

상기 냉각하는 단계는 상기 내부 전극과 상기 자성체 층의 냉각속도의 차이를 이용하여 상기 공극을 형성할 수 있다.The cooling step may form the gap using a difference in cooling rate between the internal electrode and the magnetic material layer.

상기 내부 전극의 열팽창 계수는 상기 자성체 층의 열팽창 계수보다 높을 수 있다.The thermal expansion coefficient of the internal electrode may be higher than the thermal expansion coefficient of the magnetic layer.

상기 열처리하는 단계에서 열처리 온도는 600℃ 내지 650℃일 수 있다.
In the heat treatment step, the heat treatment temperature may be 600 to 650 ° C.

본 발명의 일 실시 예에 따르면, 소성 후 자성체 본체를 유체 내에서의 냉각으로 내부 전극과 자성체 본체 사이에 공극이 형성되도록 하여 자성체 본체의 내부 응력을 완화하고, 급랭으로 인하여 자성체 본체 내부에 남아있는 잔류 응력을 열처리로 해소함으로써 직류 저항의 특성 열화가 없이 인덕턴스를 향상시킬 수 있는 효과가 있다.
According to an embodiment of the present invention, after the firing, the magnetic body is cooled in the fluid to form a gap between the internal electrode and the magnetic body body to relax the internal stress of the magnetic body body, The residual stress is eliminated by the heat treatment, and the inductance can be improved without deteriorating the characteristic of the direct current resistance.

도 1은 본 발명의 일 실시 형태에 따른 인덕터를 나타내는 사시도이다.
도 2는 본 발명의 일 실시 형태에 따른 인덕터를 개략적으로 도시한 단면도이다.
도 3은 도 2의 A부를 확대한 단면도이다.
도 4는 본 발명의 일 실시 형태에 따른 적층형 인덕터의 제조단계를 도시한 계략도이다.
도 5는 본 발명의 적층 인덕터의 인덕턴스 특성을 열처리 공정에 따라 나타낸 그래프이다.
도 6은 본 발명의 적층 인덕터의 직류저항 특성을 열처리 공정에 따라 나타낸 그래프이다.
1 is a perspective view showing an inductor according to an embodiment of the present invention.
2 is a cross-sectional view schematically showing an inductor according to an embodiment of the present invention.
3 is an enlarged cross-sectional view of part A of Fig.
4 is a schematic view showing steps of manufacturing a multilayer inductor according to an embodiment of the present invention.
5 is a graph showing the inductance characteristics of the laminated inductor according to the present invention in a heat treatment process.
6 is a graph showing a DC resistance characteristic of a laminated inductor according to the present invention in a heat treatment process.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시 형태들을 설명한다.Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described with reference to the accompanying drawings.

그러나, 본 발명의 실시 형태는 당해 기술 분야에서 평균적인 지식을 가진 자에게 본 발명을 더욱 완전하게 설명하기 위해서 제공되는 것이다.However, embodiments of the present invention are provided to more fully describe the present invention to those skilled in the art.

도면에서 요소들의 형상 및 크기 등은 보다 명확한 설명을 위해 과장될 수 있다.The shape and size of elements in the drawings may be exaggerated for clarity.

또한, 각 실시예의 도면에 나타난 동일한 사상의 범위 내의 기능이 동일한 구성 요소는 동일한 참조 부호를 사용하여 설명한다.In the drawings, like reference numerals are used to designate like elements that are functionally equivalent to the same reference numerals in the drawings.

덧붙여, 명세서 전체에서 어떤 구성요소를 '포함'한다는 것은 특별히 반대되는 기재가 없는 한 다른 구성요소를 제외하는 것이 아니라 다른 구성요소를 더 포함할 수 있다는 것을 의미한다.
In addition, to include an element throughout the specification does not exclude other elements unless specifically stated otherwise, but may include other elements.

본 실시 형태에서는 설명의 편의를 위해 자성체 본체의 길이 방향으로 외부전극이 형성되는 면을 양 단면으로 설정하고, 이와 수직으로 교차되는 면을 양 측면으로 설정하고, 자성체 본체의 두께 방향의 면을 상하면으로 정의하여 함께 설명하기로 한다.
In the present embodiment, for convenience of explanation, the surface on which the external electrodes are formed in the longitudinal direction of the magnetic body is set to have both end surfaces, the surface perpendicularly intersecting is set as both sides, and the surface in the thickness direction of the magnetic body Will be described together.

도 1은 본 발명의 일 실시 형태에 따른 적층형 인덕터를 나타낸 사시도 이고, 도 2는 본 발명의 일 실시 형태에 따른 적층형 인덕터를 개략적으로 도시한 단면도이다.
FIG. 1 is a perspective view showing a multilayer inductor according to an embodiment of the present invention, and FIG. 2 is a cross-sectional view schematically showing a multilayer inductor according to an embodiment of the present invention.

도 1 및 도 2를 참조하면, 본 발명의 일 실시형태에 따른 적층형 인덕터(1)는 페라이트를 포함하는 자성체 층(11)을 적층하여 형성된 자성체 본체(10), 자성체 본체(10)의 양 단면에 형성된 외부전극(14) 및 자성체 본체(10) 내부에 코일 형상으로 형성된 내부 전극(12)을 포함한다.
1 and 2, a multilayer inductor 1 according to an embodiment of the present invention includes a magnetic body 10 formed by laminating a magnetic layer 11 including ferrite, And an internal electrode 12 formed in the shape of a coil in the magnetic body 10.

자성체 본체(10)는 내부 전극이 형성된 자성체 층(11)을 두께 방향으로 적층하여 형성될 수 있다. 상기 자성체 본체(10)는 소성 공정을 거치게 되며, 소성 후에는 자성체 층(11) 사이의 경계는 실질적으로 구분되기 어려울 수 있다. The magnetic body 10 may be formed by laminating a magnetic layer 11 on which internal electrodes are formed in the thickness direction. The magnetic body 10 is subjected to a sintering process and after the sintering, the boundary between the magnetic substance layers 11 may be substantially indistinguishable.

이러한 자성체 본체(10)의 형상, 치수 및 자성체 층(11)의 적층 수가 본 실시 형태에 도시된 것으로 한정되는 것은 아니다.The shape and dimensions of the magnetic body 10 and the number of layers of the magnetic layer 11 are not limited to those shown in this embodiment.

또한, 상기 자성체 본체(10)는 상기 내부 전극(12)과 상기 자성체 층(11) 사이에 공극(air gap)(13)을 포함할 수 있다.
The magnetic material body 10 may include an air gap 13 between the internal electrode 12 and the magnetic material layer 11.

도 3을 참조하면, 내부 전극(12)과 자성체 층(11) 사이의 계면에 공극(13)이 형성된다.
3, an air gap 13 is formed at an interface between the internal electrode 12 and the magnetic material layer 11.

도 4는 본 발명의 일 실시 형태에 따른 적층형 인덕터의 제조단계를 도시한 계략도이다.4 is a schematic view showing steps of manufacturing a multilayer inductor according to an embodiment of the present invention.

도 4를 참조하면, 본 일 실시 형태에 따른 적층형 인덕터의 제조단계는 페라이트를 포함하는 복수의 자성체 층 상에 내부 전극을 형성하는 단계(S 10); 상기 자성체 층을 적층하여 자성체 본체를 형성하는 단계(S 20); 상기 자성체 본체를 소성하는 단계(S 30); 상기 내부 전극과 상기 자성체 층 사이에 공극을 형성하도록 상기 자성체 본체를 유체 내에서 냉각하는 단계(S 40); 상기 공극이 형성된 자성체 본체를 열처리하는 단계(S 50); 및 상기 자성체 본체의 양 단면에 외부 전극을 형성하는 단계(S 60); 를 포함할 수 있다.
Referring to FIG. 4, the step of fabricating the multilayer inductor according to the present embodiment includes the steps of: (S 10) forming internal electrodes on a plurality of magnetic material layers including ferrite; Forming a magnetic body body by laminating the magnetic body layers (S 20); Firing the magnetic body body (S30); (S 40) cooling the magnetic body body in the fluid to form a gap between the internal electrode and the magnetic body layer; A step (S50) of heat treating the magnetic body body having the voids formed therein; And forming external electrodes on both end faces of the magnetic body body (S60); . ≪ / RTI >

먼저 페라이트를 포함하는 복수의 자성체 층을 마련한다.First, a plurality of magnetic substance layers including ferrite are provided.

본 발명의 자성체 층은 그 적층되는 층수의 제한이 없으며, 적층형 인덕터의 사용 목적에 따라 상기 자성체 층의 전체 적층 수를 결정할 수 있다.
The number of layers of the magnetic layer of the present invention is not limited, and the total number of layers of the magnetic layer can be determined according to the intended use of the layered inductor.

상기 내부 전극을 형성하는 단계(S 10)는 상기 자성체 층 상에 내부 전극을 형성한다.The step of forming the internal electrode (S 10) forms an internal electrode on the magnetic material layer.

상기 내부 전극은 전기 전도성이 우수한 재료를 사용하여 형성할 수 있으며, 예를 들어 은(Ag) 또는 구리(Cu)와 같은 도전성 재료 또는 이들의 합금을 포함하여 형성할 수 있으나, 이에 한정되는 것은 아니다.The internal electrode may be formed using a material having excellent electrical conductivity. For example, the internal electrode may be formed of a conductive material such as silver (Ag) or copper (Cu), or an alloy thereof, but is not limited thereto .

예를 들어, 상기 내부 전극은 인쇄, 도포, 증착, 노광 및 박막 도금 등의 방법 중 하나를 이용하여 형성할 수 있으나, 이에 한정되는 것은 아니다.For example, the internal electrodes may be formed by any one of printing, coating, deposition, exposure, and thin-film plating, but the present invention is not limited thereto.

다만, 자성체 층 상에 은(Ag)을 포함하는 도전성 페이스트를 도포하여 내부 전극을 형성할 수 있다.
However, the internal electrode can be formed by applying a conductive paste containing silver (Ag) on the magnetic material layer.

상기 자성체 본체를 형성하는 단계(S 20)는 상기 자성체 층을 적층하고 가압하여 자성체 본체를 형성한다.The step (S20) of forming the magnetic body main body forms the magnetic body body by stacking and pressing the magnetic body layers.

이때, 상기 자성체 본체의 상부 또는 하부 면에 적어도 하나의 상부 또는 하부 커버층을 적층하거나 또는 자성체 층과 동일한 재료로 이루어진 페이스트를 일정 두께로 인쇄하여 상부 또는 하부 커버층을 각각 형성할 수 있다.
At this time, at least one upper or lower cover layer may be laminated on the upper or lower surface of the magnetic body, or a paste made of the same material as the magnetic layer may be printed with a certain thickness to form the upper or lower cover layer.

상기 자성체 본체를 소성하는 단계(S 30)는 800℃ 내지 1050℃ 범위의 온도에서 수행할 수 있다.The step (S30) of firing the magnetic body may be performed at a temperature ranging from 800 ° C to 1050 ° C.

소성 후에는 상기 자성체 본체에서 복수 개의 자성체 층이 소결된 상태로써, 인접하는 자성체 층 사이의 경계는 실질적으로 구분할 수 없을 정도로 일체화되어 있을 수 있다.
After firing, the plurality of magnetic material layers in the magnetic material body may be sintered so that the boundaries between adjacent magnetic material layers can be integrated so as not to be substantially distinguishable.

상기 냉각하는 단계(S 40)는 상기 내부 전극과 상기 자성체 층 사이에 공극을 형성한다.The cooling step (S40) forms a gap between the internal electrode and the magnetic material layer.

소성 후 고온의 상기 자성체 본체를 유체 내에서 급속하게 냉각하는 급랭 처리를 적용하였으며, 급랭 처리에 의해 상기 내부 전극과 상기 자성체 층의 계면에 공극이 형성된다.A quenching treatment for rapidly cooling the high-temperature magnetic substance body in the fluid after firing is applied, and voids are formed at the interface between the internal electrode and the magnetic substance layer by quenching treatment.

상기 급랭 처리에 사용하는 유체는 물, 빙수, 소금물 또는 기름 등의 액체 중 하나일 수 있으나, 이에 한정되는 것은 아니다.The fluid used for the quenching treatment may be one of liquid such as water, ice water, brine or oil, but is not limited thereto.

다만, 상기 급랭 처리는 소성 후 상기 자성체 본체를 수중에서 급속하게 냉각하는 것일 수 있다.However, the quenching treatment may be such that the magnetic body body is rapidly cooled in water after firing.

소성이 완료된 시점인 약 900℃에서 바로 급랭 처리를 수행하여 100℃/sec 이상의 냉각 속도로 자성체의 온도를 하강시킬 수 있다.
The quenching treatment may be performed immediately at about 900 ° C, which is the completion of the calcination, so that the temperature of the magnetic body can be lowered at a cooling rate of 100 ° C / sec or more.

상기 내부전극에 포함되는 은(Ag)의 열팽창 계수는 19.6 ppm/℃ 이며, 상기 자성체층에 포함되는 페라이트의 열팽창 계수는 10.1 ppm/℃ 이다. 즉, 상기 내부 전극의 열팽창 계수는 상기 자성체 층의 열팽창 계수보다 높을 수 있다.The thermal expansion coefficient of silver (Ag) included in the internal electrode is 19.6 ppm / 占 폚, and the coefficient of thermal expansion of the ferrite included in the magnetic layer is 10.1 ppm / 占 폚. That is, the thermal expansion coefficient of the internal electrode may be higher than the thermal expansion coefficient of the magnetic layer.

소성 후 냉각 시, 상기 내부 전극과 상기 자성체 층은 각각의 열팽창계수가 다르므로, 열팽창계수의 차이, 즉 수축율의 차이가 발생할 수 있다.During cooling after firing, since the internal electrode and the magnetic material layer have different thermal expansion coefficients, a difference in thermal expansion coefficient, that is, a difference in shrinkage ratio may occur.

이때, 소성 후 상기 자성체 본 체를 유체 내에서 급속하게 냉각하여 냉각시간을 단축할 수 있다.At this time, after firing, the magnetic body may be rapidly cooled in the fluid to shorten the cooling time.

상기 냉각 시간을 단축함으로써, 수축속도를 제어하여 구조적으로 불안정한 부분인 상기 내부 전극과 상기 자성체 층의 결합면 또는 상기 내부 전극의 상면 및 하면에 형성된 자성체 영역에 공극을 형성시킬 수 있다.By shortening the cooling time, it is possible to control the shrinkage speed to form a gap in the magnetic substance region formed on the coupling surface of the internal electrode and the magnetic substance layer, which are structurally unstable, or on the upper and lower surfaces of the internal electrode.

상기 공극이 형성됨으로써 상기 내부 전극과 상기 자성체 층 계면에 내부 응력이 완화되어 적층형 인덕터의 특성 향상에 기여할 수 있다.
By forming the voids, the internal stress is relaxed at the interface between the internal electrode and the magnetic material layer, thereby contributing to the improvement of the characteristics of the multilayer inductor.

상기 열처리하는 단계(S 50)는 급랭 처리 후 상기 공극이 형성된 자성체 본체를 열처리한다.The step of heat-treating (S50) heat-treats the magnetic body body having the gap formed therein after quenching treatment.

상기 열처리하는 단계는 600℃ 내지 700℃ 범위의 열처리 온도에서 2시간 동안 열처리를 수행할 수 있다. The heat treatment may be performed at a heat treatment temperature ranging from 600 ° C to 700 ° C for 2 hours.

상기 열처리 온도가 600℃ 이하일 경우, 상기 자성체 본체 내 응력 개선이 느려지거나 약화될 수 있다. 또한, 상기 열처리 온도가 700℃ 이상일 경우, 상기 자성체 본체의 내부 결정구조에 영향을 미쳐 특성 저하를 일으킬 수 있다.If the heat treatment temperature is 600 ° C or less, the improvement in the stress in the magnetic body may be slowed down or weakened. In addition, when the heat treatment temperature is 700 ° C or higher, the internal crystal structure of the magnetic body may be affected and the characteristics may deteriorate.

내부 응력은 자성체 본체와 내부 전극 계면의 열팽창 계수의 차이로 인한 응력 및 자성체 본체 내 석출물로 인한 응력을 포함할 수 있다.The internal stress may include stress due to the difference in thermal expansion coefficient between the magnetic body and the internal electrode interface and stress due to the precipitate in the magnetic body.

상기 급랭 처리로 인하여 형성된 공극에 의해 상기 자성체 본체와 상기 내부 전극 계면의 열팽창 계수의 차이로 인한 응력을 개선할 수 있으나, 상기 급랭 처리의 빠른 냉각 속도로 인하여 상기 공극 주위의 상기 자성체 층의 페라이트 입자 사이에 구리가 석출될 수 있으며, 상기 자성체 본체 내의 석출물로 인한 응력이 존재할 수 있다.The stress due to the difference in thermal expansion coefficient between the magnetic body main body and the internal electrode interface can be improved by the gap formed due to the quenching process. However, due to the rapid cooling rate of the quenching process, the ferrite particles Copper may be precipitated, and stress due to the precipitates in the magnetic body may exist.

상기 자성체 층에 석출된 구리로 인하여 상기 자성체 본체는 구조적으로 불안정한 상태가 되며, 내부 응력이 존재할 수 있다. 상기 내부 응력은 적층형 인덕터의 임피던스 특성 저하의 원인이 될 수 있다.Due to the copper deposited on the magnetic layer, the magnetic body becomes structurally unstable and internal stress may exist. The internal stress may cause a decrease in the impedance characteristic of the multilayer inductor.

상기 급랭 처리 후 자성체 본체를 열처리함으로써, 상기 급랭 처리로 인한 상기 자성체 본체의 불안정한 구조를 안정적으로 개선할 수 있으며, 상기 자성체 본체의 내부에 남아있는 상기 내부 응력을 해소하게 되어 적층형 인덕터의 전기적 특성을 향상시킬 수 있다.
The unstable structure of the magnetic body body due to the quenching treatment can be stably improved by heat treatment of the magnetic body body after the quenching treatment and the internal stress remaining in the inside of the magnetic body body is removed, Can be improved.

도 5는 본 발명의 일 실시형태에 따른 적층형 인덕터의 인덕턴스 (Inductance; Ls)의 특성을 열처리 공정에 따라 나타낸 그래프이고, 도 6은 본 발명의 일 실시형태에 따른 적층형 인덕터의 직류저항 (DC Resistance; Rdc)의 특성을 열처리 공정에 따라 나타낸 그래프이다.
FIG. 5 is a graph showing the characteristics of inductance (Ls) of a multilayer inductor according to an embodiment of the present invention in a heat treatment process. FIG. 6 is a graph showing a DC resistance ; Rdc) according to the heat treatment process.

도 5 및 도 6을 참조하면, 소성 후의 상기 자성체 본체를 급랭 처리 및 열처리를 진행한 경우 서냉 또는 급랭을 진행한 것보다 인덕턴스 상승 효과가 있는 것으로 확인되었으며, 특히 직류 저항의 경우 특성 열화가 거의 없는 것으로 확인되었다.5 and 6, it was confirmed that when the quenching treatment and the heat treatment were performed on the magnetic body after firing, the effect of increasing the inductance was found to be higher than that in the case of slow cooling or quenching. Particularly, Respectively.

즉, 본 실시 형태와 같이, 상기 급랭 처리는 상기 내부전극과 상기 자성체 층 사이에 상기 공극이 형성되도록 하며, 상기 공극이 형성된 적층형 인덕터는 자성체 본체의 내부 응력을 완화시키고, 상기 열처리는 상기 급랭 처리로 인한 상기 자성체 본체의 불안정한 구조 및 상기 자성체 본체의 내부에 잔류 응력을 해소시켜 적층형 인덕터의 전기적 특성을 개선하는 효과를 기대할 수 있다.
That is, as in the present embodiment, the quenching treatment causes the gap to be formed between the internal electrode and the magnetic material layer, the multilayer inductor having the gap formed therein relaxes the internal stress of the magnetic material body, The unstable structure of the magnetic body main body and the residual stress inside the magnetic body main body are solved to improve the electrical characteristics of the multilayer inductor.

상기 외부 전극을 형성하는 단계(S 60)는 상기 자성체 본체의 양 단면에 외부 전극을 형성한다.The step (S60) of forming the external electrodes forms external electrodes on both end surfaces of the magnetic body body.

상기 외부전극은 전기 전도성이 우수한 재료를 사용하여 형성할 수 있으며, 예를 들어 은(Ag) 또는 구리(Cu)와 같은 도전성 재료 또는 이들의 합금을 포함하여 형성할 수 있으나, 이에 한정되는 것은 아니다.The external electrode may be formed using a material having excellent electrical conductivity. For example, the external electrode may be formed of a conductive material such as silver (Ag) or copper (Cu), or an alloy thereof, but is not limited thereto .

또한, 상기 외부 전극의 표면에서 필요 시 니켈(Ni) 또는 주석(Sn)을 도금 처리하여 도금층을 더 형성할 수 있다.Further, nickel (Ni) or tin (Sn) may be plated on the surface of the external electrode if necessary to further form a plating layer.

상기 외부전극은 통상적인 방법으로 형성할 수 있으며, 예를 들어 후막 인쇄, 도포, 증착 및 스퍼터링 등의 방법 중 하나를 이용하여 형성할 수 있으나, 이에 한정되는 것은 아니다.
The external electrode may be formed by a conventional method, for example, by using one of methods such as thick film printing, coating, deposition, and sputtering, but is not limited thereto.

본 발명은 상술한 실시형태 및 첨부된 도면에 의해 한정되는 것이 아니며 첨부된 청구범위에 의해 한정하고자 한다.The present invention is not limited to the above-described embodiment and the accompanying drawings, but is intended to be limited by the appended claims.

따라서, 청구범위에 기재된 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위 내에서 당 기술분야의 통상의 지식을 가진 자에 의해 다양한 형태의 치환, 변형 및 변경이 가능할 것이며, 이 또한 본 발명의 범위에 속한다고 할 것이다.
It will be apparent to those skilled in the art that various changes in form and details may be made therein without departing from the spirit and scope of the invention as defined by the appended claims. something to do.

1: 적층형 인덕터 10: 자성체 본체
11: 자성체 층 12: 내부 전극
13: 공극(air gap) 14: 외부 전극
1: Multilayer type inductor 10: Magnetic body body
11: magnetic substance layer 12: internal electrode
13: air gap 14: external electrode

Claims (7)

페라이트를 포함하는 복수의 자성체 층 상에 내부 전극을 형성하는 단계;
상기 자성체 층을 적층하여 자성체 본체를 형성하는 단계;
상기 자성체 본체를 소성하는 단계;
상기 내부 전극과 상기 자성체 층 사이에 공극을 형성하도록 상기 자성체 본체를 유체 내에서 냉각하는 단계;
상기 공극이 형성된 자성체 본체를 열처리하는 단계; 및
상기 자성체 본체의 양 단면에 외부 전극을 형성하는 단계; 를 포함하는 적층형 인덕터의 제조방법.
Forming internal electrodes on a plurality of magnetic substance layers including ferrite;
Forming a magnetic body body by laminating the magnetic body layers;
Firing the magnetic body body;
Cooling the magnetic body body in the fluid to form a gap between the internal electrode and the magnetic body layer;
Heat treating the magnetic body body having the voids formed thereon; And
Forming external electrodes on both end faces of the magnetic body body; Wherein the inductance of the inductor is greater than the inductance of the inductor.
제1항에 있어서,
상기 내부 전극은 은(Ag)을 포함하는 도전성 페이스트를 도포하여 형성하는 적층형 인덕터의 제조방법.
The method according to claim 1,
Wherein the internal electrode is formed by applying a conductive paste containing silver (Ag).
제1항에 있어서,
상기 소성하는 단계에서 소성 온도는 800℃ 내지 1050℃인 적층형 인덕터의 제조방법.
The method according to claim 1,
And the firing temperature in the firing step is 800 ° C to 1050 ° C.
제1항에 있어서,
상기 냉각하는 단계는 소성 후 상기 자성체 본체를 수중에서 급속하게 냉각하는 것을 특징으로 하는 적층형 인덕터의 제조방법.
The method according to claim 1,
Wherein the cooling step rapidly cools the magnetic body body in water after firing.
제1항에 있어서,
상기 냉각하는 단계는 상기 내부 전극과 상기 자성체 층의 냉각 속도의 차이를 이용하여 상기 공극을 형성하는 적층형 인덕터의 제조방법.
The method according to claim 1,
Wherein the cooling step forms the gap using a difference in cooling rate between the internal electrode and the magnetic material layer.
제1항에 있어서,
상기 내부 전극의 열팽창 계수는 상기 자성체 층의 열팽창 계수보다 높은 적층형 인덕터의 제조방법.
The method according to claim 1,
Wherein the thermal expansion coefficient of the internal electrode is higher than the thermal expansion coefficient of the magnetic layer.
제1항에 있어서,
상기 열처리하는 단계에서 열처리 온도는 600℃ 내지 650℃인 적층형 인덕터의 제조방법.
The method according to claim 1,
Wherein the heat treatment temperature in the heat treatment step is 600 ° C to 650 ° C.
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