KR20150134627A - 피에조 액추에이터 구동 장치 및 그 구동 방법 - Google Patents

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KR20150134627A
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박찬우
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삼성전기주식회사
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Abstract

본 발명의 일 실시예에 따른 피에조 액추에이터 구동 장치는 고유 진동 주파수를 스윕하여, 구동 주파수를 생성하는 주파수 제어부 및 상기 구동 주파수를 피에조 액추에이터에 제공하여, 상기 구동 주파수에 따라 상기 피에조 액추에이터를 구동시키는 피에조 구동부를 포함하고, 상기 구동 주파수는, 상기 고유 진동 주파수의 ±5% 범위일 수 있다.

Description

피에조 액추에이터 구동 장치 및 그 구동 방법{DRIVING APPARATUS OF PIEZO ACTUATOR AND DRIVING METHOD THEREOF}
본 발명은 피에조 액추에이터 구동 장치 및 그 구동 방법에 관한 것이다.
햅틱 기술이란 각종 디지털 기기에 진동이나 힘, 충격을 발생시킴으로써 사용자가 촉감을 느낄 수 있도록 하는 기술을 말한다. 최근 감성 유저인터페이스 기술이 발달해 가면서 햅틱 기술은 단순한 수신 신호를 나타내는 것이 아니라, 감성을 피드백할 수 있는 방향으로 나아가고 있다.
특히 이러한 감성 유저인터페이스를 구현하기 위하여 햅틱 기술이 점차 개발되고 있다. HD(High Definition) 햅틱 기술은 다양한 주파수 대역과 풍부한 입체 진동 패턴을 통하여 사물을 실제 체감하는 것과 같은 효과를 제공한다.
이와 같은 HD 햅틱 기술의 구현에는 리니어 방식 액추에이터에 비해 응답 속도가 빠르고 소음이 적으며 높은 공진 대역폭을 가지는 피에조 방식 액추에이터가 이용되고 있다.
그러나, 피에조 액추에이터는 10V이상의 전압에서 공진 시 동작하기 때문에, 구동 신호가 정확한 고유 진동 주파수를 맞추지 못하면, 정상적으로 동작하지 않거나 동작 효율이 크게 떨어지는 특성이 있다.
따라서, 피에조 액추에이터의 정상적인 동작을 위해서는 고유 진동 주파수를 정확하게 맞추는 것이 필요하나, 고유 진동 주파수 대역이 매우 좁고, 생산 시의 고유 진동 주파수 산포가 크기 때문에 정확한 고유 진동 주파수를 맞추기가 쉽지 않다. 또한 온도 변화 및 주변 변화에 따라 피에조 액추에이터의 특성이 상이한 문제점이 있다.
한국 공개특허공보 제10-2010-0104082호
본 발명은 상기 문제점을 해결하기 위하여 이루어진 것으로, 본 발명에 따른 피에조 액추에이터 구동 장치 및 그 구동 방법은, 고유 진동 주파수를 스윕하여 구동 주파수를 생성하고, 구동 주파수에 따라 피에조 액추에이터를 구동시킴으로써 온도 및 주변 환경 조건이 변화하는 경우에도 일정한 변위 특성을 유지할 수 있다.
본 발명의 제1 기술적인 측면에 따른 피에조 액추에이터 구동 장치는, 고유 진동 주파수를 스윕하여, 구동 주파수를 생성하는 주파수 제어부 및 상기 구동 주파수를 피에조 액추에이터에 제공하여, 상기 구동 주파수에 따라 상기 피에조 액추에이터를 구동시키는 피에조 구동부를 포함하고, 상기 구동 주파수는, 상기 고유 진동 주파수의 ±5% 범위일 수 있다.
본 발명의 제2 기술적인 측면에 따른 피에조 액추에이터 구동 방법은, 고유 진동 주파수를 스윕하여 구동 주파수를 생성하는 단계, 상기 구동 주파수를 피에조 액추에이터에 제공하는 단계 및 상기 피에조 액추에이터를 상기 구동 주파수에 따라 구동시키는 단계를 포함하고, 상기 구동 주파수는 상기 고유 진동 주파수의 ±5% 범위일 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따른 피에조 액추에이터 구동 장치는, 고유 진동 주파수를 스윕하여 생성되는 구동 주파수를 이용하여 피에조 액추에이터를 구동시킴으로써, 온도 및 환경 변화에도 변위 특성을 일정하게 유지할 수 있다.
또한, 이에 따라 제품 양산 시의 양산 효율 저하를 방지할 수 있으며, 제품 신뢰성 문제를 향상시킬 수 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 피에조 액추에이터 구동 장치를 나타낸 블록도이다.
도 2는 도 1에 도시한 피에조 액추에이터 구동 장치를 보다 상세하게 나타낸 블록도이다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에서 채용되는 피에조 구동부를 보다 상세하게 나타낸 블록도이다.
도 4a는 디지털-아날로그 변환부에서 출력되는 아날로그 제어신호를 나타낸 그래프이고, 도 4b는 필터부에서 출력되는 신호를 나타낸 그래프이다.
도 5는 도 1에 도시한 피에조 액추에이터 구동 장치를 보다 상세하게 나타낸 블록도이다.
도 6은 종래 기술에 따른 피에조 액추에이터 구동 장치에 의해 피에조 액추에이터가 구동되는 경우의 변위를 나타낸 그래프이다.
도 7은 본 발명의 일 실시예에 따른 피에조 액추에이터 구동 장치에서 고유 진동 주파수를 스윕하여 출력하는 것을 나타낸 그래프이다.
도 8은 본 발명의 일 실시예에 따른 피에조 액추에이터 구동 방법을 나타낸 순서도이다.
도 9는 본 발명의 일 실시예에 따른 피에조 액추에이터 구동 방법을 나타낸 순서도이다.
후술하는 본 발명에 대한 상세한 설명은, 본 발명이 실시될 수 있는 특정 실시예를 예시로서 도시하는 첨부 도면을 참조한다. 이들 실시예는 당업자가 본 발명을 실시할 수 있기에 충분하도록 상세히 설명된다. 본 발명의 다양한 실시예는 서로 다르지만 상호 배타적일 필요는 없음이 이해되어야 한다. 예를 들어, 여기에 기재되어 있는 특정 형상, 구조 및 특성은 일 실시예에 관련하여 본 발명의 정신 및 범위를 벗어나지 않으면서 다른 실시예로 구현될 수 있다. 또한, 각각의 개시된 실시예 내의 개별 구성요소의 위치 또는 배치는 본 발명의 정신 및 범위를 벗어나지 않으면서 변경될 수 있음이 이해되어야 한다. 따라서, 후술하는 상세한 설명은 한정적인 의미로서 취하려는 것이 아니며, 본 발명의 범위는, 적절하게 설명된다면, 그 청구항들이 주장하는 것과 균등한 모든 범위와 더불어 첨부된 청구항에 의해서만 한정된다. 도면에서 유사한 참조부호는 여러 측면에 걸쳐서 동일하거나 유사한 기능을 지칭한다.
이하에서는, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자가 본 발명을 용이하게 실시할 수 있도록 하기 위하여, 본 발명의 실시예들에 관하여 첨부된 도면을 참조하여 상세히 설명하기로 한다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 피에조 액추에이터 구동 장치를 나타낸 블록도이다.
도 1을 참조하면, 본 발명에 따른 피에조 액추에이터 구동 장치는, 주파수 제어부(100) 및 피에조 구동부(200)를 포함할 수 있다.
주파수 제어부(100)는, 고유 진동 주파수를 스윕(sweep)하여 구동 주파수를 생성할 수 있다. 피에조 구동부(200)는 상기 주파수 제어부(100)와 연결될 수 있으며, 상기 구동 주파수를 제공받을 수 있다. 이때, 상기 피에조 구동부(200)는 제공받은 상기 구동 주파수에 따라 피에조 액추에이터(300)를 구동시킬 수 있다.
이때, 구동 주파수의 일 실시예로는 고유 진동 주파수의 ±5% 범위일 수 있다.
나아가, 본 발명에 따른 피에조 액추에이터 구동 장치는 주파수 제어부(100)에 구동 클록을 제공하는 클록 생성부(400)를 더 포함할 수 있다.
상기 클록 생성부(400)는, 사전에 설정된 기준 클록을 ±5% 범위로 변경하여 구동 클록을 생성할 수 있으며, 상기 구동 클록을 상기 주파수 제어부(100)에 제공할 수 있다.
상기 주파수 제어부(100)는 상기 구동 클록에 따라 상기 고유 진동 주파수를 스윕하여 구동 주파수를 생성할 수 있다.
도 2는 도 1에 도시한 피에조 액추에이터 구동 장치를 보다 상세하게 나타낸 블록도이다.
도 2를 참조하면, 주파수 제어부(100)는 제어신호 생성부(110) 및 디지털-아날로그 변환부(120)를 포함할 수 있다.
상기 제어신호 생성부(110)는 구동 주파수를 갖는 디지털 제어신호를 생성할 수 있다. 이때, 구동 주파수는 클록 생성부(400)로부터 제공받은 구동 클록에 따라 고유 진동 주파수를 스윕하여 생성될 수 있다. 상기 디지털 제어신호는 사전에 설정된 특정 비트의 디지털 제어신호일 수 있으며, 일 실시예로는 10비트의 신호일 수 있다.
디지털-아날로그 변환부(120)는 상기 제어신호 생성부(100)와 연결되어, 상기 디지털 제어신호를 제공받을 수 있다. 디지털-아날로그 변환부(120)는 제공받은 상기 디지털 제어신호를 아날로그 제어신호로 변환할 수 있다. 이때, 상기 아날로그 제어신호는 전압 신호일 수 있으며, 상기 디지털-아날로그 변환부(120)는 상기 아날로그 제어신호를 피에조 구동부(200)에 제공할 수 있다.
보다 상세하게는, 디지털-아날로그 변환부(120)는 디지털 제어신호의 디지털 레벨에 따라 전압 형태의 아날로그 제어신호를 생성한다. 구체적으로 디지털 제어신호의 디지털 레벨이 중간 레벨인 경우, 크기가 0인 아날로그 제어신호를 생성할 수 있으며, 디지털 레벨이 최소 레벨인 경우 마이너스 최대치의 아날로그 제어신호를 생성할 수 있으며, 디지털 레벨이 최대 레벨인 경우 플러스 최대치의 아날로그 제어신호를 생성할 수 있다.
예를 들어, 디지털 제어신호가 10비트의 디지털 신호이며, 디지털-아날로그 변환부(120)가 -100 내지 +100의 전압 값의 범위에서 아날로그 제어신호를 출력할 수 있다고 가정하면, 디지털-아날로그 변환부(120)는 0의 디지털 제어신호를 수신한 경우 -100의 전압 값을 가지는 아날로그 제어신호를 출력할 수 있다.
또한, 512의 디지털 제어신호를 수신한 경우 0의 전압 값을 갖는 아날로그 제어신호를 출력하며, 1023의 디지털 제어신호를 수신한 경우 +100의 전압 값을 가지는 아날로그 제어신호를 출력할 수 있다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에서 채용되는 피에조 구동부(200)를 보다 상세하게 나타낸 블록도이다.
도 3을 참조하면, 피에조 구동부(200)는 필터부(210) 및 증폭부(200)를 포함할 수 있다.
필터부(210)는 디지털-아날로그 변환부(120)와 연결되어, 디지털-아날로그 변환부(120)로부터 제공받은 아날로그 제어신호를 필터링(filtering)할 수 있다.
상기 증폭부(220)는 상기 필터부(210)와 연결되어, 상기 필터부(210)로부터 제공받은 아날로그 제어신호를 공통 전압을 기준으로 반전 및 비반전 증폭하여 제1 및 제2 구동신호를 생성할 수 있다.
보다 상세하게 설명하면, 증폭부(200)는 아날로그 제어신호를 비반전 증폭한 제1 구동신호와 반전 증폭한 제2 구동신호를 생성할 수 있다. 이후, 증폭부(200)는 제1 및 제2 구동신호 각각을 피에조 액추에이터(300)의 양 단에 인가하여 상기 피에조 액추에이터(300)를 구동시킬 수 있다. 이때, 제1 구동 신호는 피에조 구동부(200)의 제1 출력단(OUT1)에서 출력될 수 있고, 제2 구동 신호는 구동부(200)의 제2 출력단(OUT2)에서 출력될 수 있다.
즉, 피에조 구동부(200)는 아날로그 제어신호를 필터링하고, 서로 180도 위상 차가 나는 제1 및 제2 구동신호를 생성하여, 피에조 액추에이터(300)의 양단에 인가시킴으로써 피에조 액추에이터(300)를 구동시킬 수 있다.
도 4a는 디지털-아날로그 변환부(120)에서 출력되는 아날로그 제어신호를 나타낸 그래프이고, 도 4b는 필터부(210)에서 출력되는 신호를 나타낸 그래프이다.
도 3, 도 4a 및 도4b를 참조하여 설명하면, 아날로그 제어신호는 순차적으로 비트수가 증가하거나 감소하는 디지털 제어신호에 따라 사전에 설정된 범위 안에서 레벨이 계단형으로 변동되는데, 필터부(210)는 도 4a와 같은 아날로그 제어신호를 도 4b와 같이 필터링 할 수 있다.
증폭부(220)는 도 4b와 같이 필터부(210)에서 필터링된 신호를 비반전 증폭 및 반전 증폭하여 제1 구동 신호 및 제2 구동 신호를 생성하고, 이를 각각 제1 출력단(OUT1) 및 제2 출력단(OUT2)으로 출력할 수 있다.
도 5는 도 1에 도시한 피에조 액추에이터 구동 장치를 보다 상세하게 나타낸 블록도이다.
도 5를 참조하면, 본 발명에 따른 피에조 액추에이터 구동 장치는 전원 승압부(500)를 더 포함할 수 있다. 상기 전원 승압부(500)는 승압 전압을 증폭부(220)에 제공할 수 있다.
상기 전원 승압부(500)는 외부 전원으로부터 제공되는 저전압, 예를 들어 3V 내지 5V를 제공받아 고전압, 예를 들어 100V로 승압하여 증폭부(220)에 제공할 수 있다.
도 6은 종래 기술에 따른 피에조 액추에이터 구동 장치에 의해 피에조 액추에이터가 구동되는 경우의 변위를 나타낸 그래프이다.
도 6을 참조하면, 피에조 액추에이터의 변위는 225Hz에서 가장 큰 것을 알 수 있다. 이때, 상기 225Hz가 고유 진동 주파수에 해당되는 것이며, 피에조 구동부는 상기 고유 진동 주파수를 구동 주파수로 하고, 상기 구동 주파수를 갖는 구동 신호에 따라 피에조 액추에이터를 진동시킬 수 있다.
다만, 주파수가 고정된 구동 신호를 사용하는 경우, 피에조 액추에이터는 피에조 액추에이터의 외부 온도, 동작 기간 등에 따라, 특성 변화 및 열화가 발생할 수 있으며, 이에 따라 제품 신뢰성 문제를 야기시킬 수 있다.
또한, 피에조 액추에이터의 특성 편차에 따라 반드시 구동 주파수를 조절하여야 하므로 양산 효율성을 저하시킬 수 있다.
이에 반해, 본 발명에 따른 피에조 액추에이터 구동 장치는, 클록 생성부(400)로부터 제공받은 구동 클록에 따라 고유 진동 주파수를 스윕하여 생성되는 구동 주파수에 따라, 피에조 액추에이터(300)를 구동시킴으로써, 상술한 문제점을 해결할 수 있다.
보다 상세하게 설명하면, 본 발명에 따른 피에조 액추에이터 구동 장치의 구성 중 주파수 제어부(100)가 클록 생성부(400)로부터 제공받은 구동 클록에 따라, 고유 진동 주파수를 스윕하여 구동 주파수를 갖는 제어신호를 생성할 수 있다.
이때, 구동 주파수의 일 실시예는 고유 진동 주파수의 ±5% 범위일 수 있으며, 예를 들면, 고유 진동 주파수가 200Hz라고 할 때 구동 주파수는 190Hz 내지 210Hz의 범위일 수 있다. 한편, 상기 고유 진동 주파수는, 피에조 액추에이터가 최대 변위로 진동할 때의 주파수를 말한다.
즉, 주파수 제어부(100)는 상기 고유 진동 주파수의 ±5% 범위 내에서 다수의 구동 주파수를 생성할 수 있으며, 이때, 주파수 제어부(100)는 구동 주파수를 연속적, 또는 주기적으로 생성시켜 피에조 구동부(200)에 제공할 수 있다.
상기 주파수 제어부(100)는 피에조 액추에이터(300)의 특성에 맞추어 온도 편차 등에도 충분한 신뢰성을 확보할 수 있는 스윕 범위를 설정하고, 상기 스윕 범위에 따라 구동 주파수를 생성할 수 있다.
이때, 상기 스윕 범위는 클록 생성부(400)으로부터 제공되는 구동 클록에 따라 결정될 수 있다. 따라서, 클록 생성부(400)는 사전에 설정된 기준 전압을, 피에조 액추에이터(300)의 특성에 맞추어 변환함으로써 구동 클록을 생성할 수 있다.
이 경우, 각 스윕 주기별로 피에조 액추에이터(300)의 평균 변위가 동일하게 된다.
따라서, 피에조 액추에이터(300) 주변의 환경 및 온도 등의 조건이 변화하는 경우라도, 상기 고유 진동 주파수를 스윕하여 생성되는 구동 주파수에 따라 피에조 액추에이터(300)를 구동시킴으로써, 신뢰성을 확보할 수 있으며, 양산에 있어서, 효율 문제를 해결할 수 있다.
도 7은 본 발명의 일 실시예에 따른 피에조 액추에이터 구동 장치에서 고유 진동 주파수를 스윕하여 출력하는 것을 나타낸 그래프이다.
이때, 고유 진동 주파수, 즉 피에조 액추에이터가 진동 시 변위가 최대인 주파수의 일 실시예가 200Hz라면, 주파수 제어부(100)는 190Hz 내지 210Hz의 범위로 스윕된 구동 주파수를 도 7과 같이 출력할 수 있다.
기준 클록이 10HHz의 주파수 대역을 갖는다고 가정하면, 상기 클록 생성부(400)는 기준 클록을 한 주기마다 10MHz, 10.5MHz, 9.5MHz로 변경하여 구동 클록을 생성할 수 있다.
이후, 클록 생성부(400)는 상기 구동 클록을 주파수 제어부(100)에 제공할 수 있으며, 상기 주파수 제어부(100)는 상기 구동 클록에 따라, 고유 진동 주파수(200Hz)를 스윕하여 190Hz 내지 210Hz 범위 내의 구동 주파수를 생성할 수 있다.
따라서, 주파수 제어부(100)는 상기 구동 클록에 따라 고유 진동 주파수를 스윕하여 생성되는 구동 주파수를 피에조 구동부(200)에 제공할 수 있으며, 상기 피에조 구동부(200)는 상기 구동 주파수에 따라 피에조 액추에이터를 구동시킬 수 있다.
도 8은 본 발명의 일 실시예에 따른 피에조 액추에이터 구동 방법을 나타낸 순서도이다.
도 8을 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 피에조 액추에이터 구동 방법은 고유 진동 주파수를 스윕하여 구동 주파수를 생성하는 단계(S100), 상기 구동 주파수를 피에조 액추에이터(300)에 제공하는 단계(S200) 및 상기 피에조 액추에이터(300)를 상기 구동 주파수에 따라 구동시키는 단계(S300)를 포함할 수 있다. 이때, 상기 구동 주파수는 상기 고유 진동 주파수의 ±5% 범위일 수 있으며, 일 실시예로는 고유 진동 주파수가 200Hz라고 할 때 구동 주파수는 190Hz 내지 210Hz의 범위일 수 있다.
상기 구동 주파수를 생성하는 단계(S100)는 기준 클록을 변경하여 구동 클록을 생성하는 단계를 포함할 수 있으며, 구동 클록에 따라 고유 진동 주파수를 스윕하여 구동 주파수를 생성할 수 있다. 이때, 상기 구동 클록은 상기 기준 클록의 ±5% 범위일 수 있다.
도 9는 본 발명의 일 실시예에 따른 피에조 액추에이터 구동 방법을 나타낸 순서도이다.
도 9를 참조하면, 구동 주파수를 피에조 액추에이터(300)에 제공하는 단계(S200)는, 구동 주파수를 갖는 디지털 제어신호를 생성하는 단계(210), 상기 디지털 제어신호를 아날로그 제어신호로 변환하는 단계(S220), 아날로그 제어신호를 필터링하는 단계(S230), 필터링된 아날로그 제어신호를 공통 전압을 기준으로 반전 및 비반전 증폭하여 제1 및 제2 구동 신호를 생성하는 단계(S240) 및 제1 및 제2 구동 신호를 상기 피에조 액추에이터에 제공하는 단계(S250)를 포함할 수 있다.
이상에서 본 발명이 구체적인 구성요소 등과 같은 특정 사항들과 한정된 실시예 및 도면에 의해 설명되었으나, 이는 본 발명의 보다 전반적인 이해를 돕기 위해서 제공된 것일 뿐, 본 발명이 상기 실시예들에 한정되는 것은 아니며, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상적인 지식을 가진 자라면 이러한 기재로부터 다양한 수정 및 변형을 꾀할 수 있다.
따라서, 본 발명의 사상은 상기 설명된 실시예에 국한되어 정해져서는 아니 되며, 후술하는 특허청구범위뿐만 아니라 이 특허청구범위와 균등하게 또는 등가적으로 변형된 모든 것들은 본 발명의 사상의 범주에 속한다고 할 것이다.
100: 주파수 제어부
110: 제어신호 생성부
120: 디지털-아날로그 변환부
200: 피에조 구동부
210: 필터부
220: 증폭부
300: 피에조 액추에이터
400: 클록 생성부

Claims (14)

  1. 고유 진동 주파수를 스윕(sweep)하여, 구동 주파수를 생성하는 주파수 제어부; 및
    상기 구동 주파수를 피에조 액추에이터(piezo actuator)에 제공하여, 상기 구동 주파수에 따라 상기 피에조 액추에이터를 구동시키는 피에조 구동부; 를 포함하고,
    상기 구동 주파수는, 상기 고유 진동 주파수의 ±5% 범위인 피에조 액추에이터 구동 장치.
  2. 제1항에 있어서,
    기준 클록을 ±5% 범위로 변경하여 구동 클록을 생성하고, 상기 구동 클록을 상기 주파수 제어부에 제공하는 클록 생성부; 를 더 포함하는 피에조 액추에이터 구동 장치.
  3. 제2항에 있어서, 상기 주파수 제어부는,
    상기 구동 클록에 따라 상기 고유 진동 주파수를 스윕하여 상기 구동 주파수를 생성하는 피에조 액추에이터 구동 장치.
  4. 제1항에 있어서, 상기 피에조 액추에이터는,
    상기 고유 진동 주파수에서 최대 변위로 진동하는 피에조 액추에이터 구동 장치.
  5. 제1항에 있어서, 상기 주파수 제어부는,
    상기 구동 주파수를 갖는 디지털 제어신호를 생성하는 제어신호 생성부; 및
    상기 디지털 제어신호를 아날로그 제어신호로 변환하는 디지털-아날로그 변환부; 를 포함하는 피에조 액추에이터 구동 장치.
  6. 제1항에 있어서, 상기 피에조 구동부는,
    상기 아날로그 제어신호를 필터링하는 필터부; 및
    상기 필터부로부터 제공받은 아날로그 제어신호를 공통 전압을 기준으로 반전 및 비반전 증폭하여 제1 및 제2 구동 신호를 생성하는 증폭부; 를 더 포함하는 피에조 액추에이터 구동 장치.
  7. 제6항에 있어서, 상기 피에조 구동부는,
    상기 제1 및 제2 구동 신호를 상기 피에조 액추에이터의 양 단에 인가하는 피에조 액추에이터 구동 장치.
  8. 제1항에 있어서, 상기 구동 주파수는,
    190Hz 내지 210Hz의 범위를 갖는 피에조 액추에이터 구동 장치.
  9. 고유 진동 주파수를 스윕(sweep)하여 구동 주파수를 생성하는 단계;
    상기 구동 주파수를 피에조 액추에이터(piezo actuator)에 제공하는 단계; 및
    상기 피에조 액추에이터를 상기 구동 주파수에 따라 구동시키는 단계; 를 포함하고,
    상기 구동 주파수는 상기 고유 진동 주파수의 ±5% 범위인 피에조 액추에이터 구동 방법.
  10. 제9항에 있어서, 상기 구동 주파수를 생성하는 단계는,
    기준 클록을 변경하여 구동 클록을 생성하는 단계; 를 포함하고,
    상기 구동 클록에 따라 상기 고유 진동 주파수를 스윕하며, 상기 구동 클록은 상기 기준 클록의 ±5% 범위인 피에조 액추에이터 구동 방법.
  11. 제9항에 있어서, 상기 피에조 액추에이터에 제공하는 단계는,
    상기 구동 주파수를 갖는 디지털 제어신호를 생성하는 단계;
    상기 디지털 제어신호를 아날로그 제어신호로 변환하는 단계; 를 포함하는 피에조 액추에이터 구동 방법.
  12. 제11항에 있어서, 상기 피에조 액추에이터에 제공하는 단계는,
    상기 아날로그 제어신호를 필터링하는 단계;
    상기 필터링된 아날로그 제어신호를 공통 전압을 기준으로 반전 및 비반전 증폭하여 제1 및 제2 구동 신호를 생성하는 단계; 및
    상기 제1 및 제2 구동 신호를 상기 피에조 액추에이터에 제공하는 단계; 를 더 포함하는 피에조 액추에이터 구동 방법.
  13. 제9항에 있어서, 상기 피에조 액추에이터는,
    상기 고유 진동 주파수에서 최대 변위로 진동하는 피에조 액추에이터 구동 방법.
  14. 제9항에 있어서, 상기 구동 주파수는,
    190Hz 내지 210Hz의 범위를 갖는 피에조 액추에이터 구동 방법.
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