KR20150134001A - Method for controlling a process equipment - Google Patents

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KR20150134001A KR1020140060735A KR20140060735A KR20150134001A KR 20150134001 A KR20150134001 A KR 20150134001A KR 1020140060735 A KR1020140060735 A KR 1020140060735A KR 20140060735 A KR20140060735 A KR 20140060735A KR 20150134001 A KR20150134001 A KR 20150134001A
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Abstract

A method for controlling process equipment comprises the following steps of: wirelessly accessing process equipment through a web browser by using a mobile device; moving the mobile device wirelessly connected to the process equipment while being carried to a driving unit located in a blind spot and a control unit controlling the entire operation thereof, of the process equipment; and remotely operating the driving unit by using the mobile device wirelessly connected to the process equipment.

Description

공정 설비 제어 방법{METHOD FOR CONTROLLING A PROCESS EQUIPMENT}[0001] METHOD FOR CONTROLLING A PROCESS EQUIPMENT [0002]

본 발명은 공정 설비 제어 방법에 관한 것으로써, 더욱 상세하게는 반도체 소자를 제조하기 위한 공정 설비를 원격으로 구동시킬 수 있는 제어 방법에 관한 것이다. The present invention relates to a process facility control method, and more particularly, to a control method capable of remotely operating a process facility for manufacturing a semiconductor device.

일반적으로, 반도체 소자는 칩이 기판 상에 연결된 구조를 갖는 전자 부품 중의 하나이다. 상기 반도체 소자는 일 예로, 디램(DRAM), 에스램(SRAM) 등과 같은 메모리 소자를 포함할 수 있다.Generally, a semiconductor element is one of electronic components having a structure in which a chip is connected to a substrate. The semiconductor device may include, for example, a memory device such as DRAM (DRAM), SRAM (SRAM) and the like.

상기 반도체 소자는 실리콘 재질의 얇은 단결정 기판으로 이루어진 웨이퍼(wafer)를 기초로 하여 제조된다. 구체적으로, 상기 반도체 소자는 상기 웨이퍼 상에 회로 패턴이 증착 및 식각 방식을 통해 패터닝된 다수의 칩들을 형성하는 팹 공정과, 상기 팹 공정에서 형성된 칩들 각각을 기판들 각각에 전기적으로 연결시키는 본딩 공정 등을 수행하여 제조된다. The semiconductor device is fabricated on the basis of a wafer made of a thin monocrystalline substrate made of a silicon material. Specifically, the semiconductor device includes a fab process for forming a plurality of chips patterned on the wafer through a deposition and etching process, and a bonding process for electrically connecting each of the chips formed in the fab process to each of the substrates And the like.

이와 같은 공정들은 각각의 특성에 맞게 개발된 각 공정 설비에서 진행된다. 이에, 상기 공정 설비는 상기 반도체 소자의 생산성 향상을 위하여 통상적으로 자동화 시스템으로 운영되고 있다.These processes are carried out in each process equipment developed for each characteristic. Therefore, the process equipment is usually operated as an automation system to improve the productivity of the semiconductor device.

하지만, 상기 공정 설비는 최초 상기 반도체 소자의 생산 공장 내부에 설치할 때 그 자동화 동작을 설계된 내용에 따라 설정하기 위한 셋업 작업 또는 자동화 공정 도중 발생되는 고장을 수리하기 위한 유지 보수 작업 등의 수동적인 구동이 필요할 때도 있다.However, when the process equipment is initially installed in the production facility of the semiconductor device, passive operation such as a setup operation for setting the automation operation according to the designed contents or a maintenance operation for repairing a fault occurring during the automation process is performed Sometimes it is necessary.

이에, 최근 상기 반도체 소자가 대량 생산화 추세에 있음에 따라 상기 공정 설비의 사이즈도 커지고 있으므로, 상기 공정 설비를 수동 동작 시키고자 그 제어부를 조작할 경우 상기 공정 설비의 상기 제어부로부터 거리가 멀어 상기 제어부를 조작하는 작업자가 볼 수 없는 사각 지대의 구동 유닛에 대해서는 상기 제어부와 상기 사각 지대의 구동 유닛 각각에 두 명의 작업자가 위치해야 하거나, 한 명의 작업자가 이 두 위치를 번갈아 이동하면서 수동 작업을 진행해야 하는 불편함이 있다. Accordingly, since the size of the process facility is increasing as the semiconductor device is in the trend of mass production, when the control unit is manually operated to operate the process facility, the distance from the control unit of the process facility is large, , Two workers must be located in each of the control unit and the driving unit of the blind spot for the blind driving unit which can not be seen by the operator, There is an inconvenience.

대한민국 특허공개 제10-2005-0112733호 (공개일; 2005.12.01, 반도체 제조설비의 공정자동 제어방법)Korean Patent Laid-Open No. 10-2005-0112733 (published on Dec. 01, 2005, automatic control method of semiconductor manufacturing facility) 대한민국 특허공개 제10-1997-0077079호 (공개일; 1997.12.12, 반도체 공정설비의 제어장치)Korean Patent Laid-Open Publication No. 10-1997-0077079 (Publication Date: December 12, 1997, Control Apparatus for Semiconductor Process Equipment)

본 발명의 목적은 공정 설비를 원격 구동시킬 수 있는 공정 설비 제어 방법을 제공하는 것이다.An object of the present invention is to provide a process facility control method capable of remotely operating a process facility.

상술한 본 발명의 목적을 달성하기 위하여, 일 특징에 따른 공정 설비 제어 방법은 모바일 장치를 이용하여 공정 설비에 웹브라우저를 통해 무선 접속하는 단계, 상기 공정 설비에 무선 접속된 모바일 장치를 휴대한 상태로 상기 공정 설비 중 그 전체적인 동작을 제어하는 제어부와 사각 지대에 위치한 어느 한 구동 유닛으로 이동하는 단계 및 상기 어느 한 구동 유닛을 상기 공정 설비에 무선 접속된 모바일 장치를 이용하여 원격 구동시키는 단계를 포함한다.According to another aspect of the present invention, there is provided a method of controlling a process facility, comprising the steps of: wirelessly connecting to a process facility using a mobile device through a web browser; To a driving unit located in a dead zone and a control unit for controlling the entire operation of the process equipment, and remotely driving the driving unit using a mobile device wirelessly connected to the process facility do.

일 실시예에 따른 상기 무선 접속하는 단계는 상기 공정 설비에서 보안 코드를 부여하는 단계 및 상기 모바일 장치에 상기 부여된 보안 코드를 입력하여 상기 모바일 장치를 상기 공정 설비에 무선 접속하는 단계를 포함할 수 있다.The step of wirelessly connecting according to an embodiment may include a step of granting a security code in the process facility and a step of wirelessly connecting the mobile device to the process facility by inputting the security code given to the mobile device have.

일 실시예에 따른 상기 공정 설비 제어 방법은 상기 모바일 장치에 상기 부여된 보안 코드를 입력하는 단계가 진행될 때 그 전에 상기 공정 설비와 무선 접속된 다른 모바일 장치는 접속이 차단되는 것을 특징으로 할 수 있다.The process facility control method according to the embodiment may be characterized in that when the step of inputting the security code given to the mobile device is performed, the other mobile device wirelessly connected to the process facility is disconnected .

일 실시예에 따른 상기 어느 한 구동 유닛을 상기 모바일 장치를 이용하여 원격 구동시키는 단계는 상기 모바일 장치에 구동 목표값을 설정하는 단계, 상기 설정된 목표값에 따라 상기 구동 유닛을 원격 구동시키는 단계, 상기 구동된 구동 유닛이 상기 설정된 목표값에 따라 구동되었는지 확인하는 단계 및 상기 확인한 결과, 상기 구동 유닛이 상기 설정된 목표값으로 구동되지 않았을 경우에는 상기 구동 유닛을 재구동시키고, 상기 설정된 목표값으로 구동되었을경우에는 상기 공정 설비의 제어부에 이를 저장하는 단계를 포함할 수 있다. The step of remotely driving any one of the driving units according to the embodiment using the mobile device includes setting a driving target value to the mobile device, remotely driving the driving unit according to the set target value, Determining whether the driven drive unit is driven according to the set target value, and if it is determined that the driven unit is not driven to the set target value, re-driving the drive unit, And storing it in the control unit of the process facility.

이러한 공정 설비 제어 방법에 따르면, 작업자가 휴대가 간편한 모바일 장치를 이용하여 공정 설비에 웹브라우저를 통해 무선 접속한 다음, 상기 공정 설비의 제어부와 사각 지대에 위치하는 구동 유닛으로 이동한 후, 상기 구동 유닛을 상기 무선 접속한 모바일 장치를 이용하여 원격 구동시킴으로써, 한명의 작업자가 상기 공정 설비를 편리하게 수동 동작할 수 있다. 이로써, 상기 공정 설비를 수동 동작하는 작업 인원 및 작업 시간을 줄임으로써, 전체적인 공정 비용을 절감할 수 있다. According to such a process facility control method, a worker wirelessly connects to a process facility through a web browser using a mobile device that is easy to carry and then moves to a control unit of the process facility and a drive unit located in a dead zone, By remote-driving the unit using the wirelessly connected mobile device, one operator can conveniently operate the process equipment conveniently. Thus, the overall process cost can be reduced by reducing the number of workers manually operating the process facility and the working time.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 공정 설비를 제어하는 방법을 단계적으로 나타낸 순서도이다.
도 2는 도 1에 도시된 순서도를 설명하기 위하여 공정 설비를 개략적으로 나타낸 구성도이다.
도 3은 도 1에 도시된 순서도에서 모바일 장치를 공정 설비에 무선 접속하기 위하여 보안 코드가 부여되는 상태를 실제적으로 나타낸 공정 설비의 화면을 캡쳐한 그림이다.
도 4는 도 1에 도시된 순서도에서 모바일 장치를 공정 설비에 무선 접속하는 과정에서 모바일 장치의 화면을 캡쳐한 그림이다.
도 5는 도 1에 도시된 순서도에서 공정 설비를 원격 구동할 때의 모바일 장치의 화면을 캡쳐한 그림이다.FIG. 1 is a flowchart illustrating a method of controlling a process facility according to an embodiment of the present invention.
FIG. 2 is a schematic view showing a process facility for explaining the flowchart shown in FIG. 1. FIG.
FIG. 3 is a view showing a screen of a process facility that actually shows a state in which a security code is given to wirelessly connect a mobile device to a process facility in the flowchart shown in FIG. 1. FIG.
FIG. 4 is a screen capture of a mobile device in a process of wirelessly connecting a mobile device to a process facility in the flowchart shown in FIG. 1. FIG.
FIG. 5 is a view showing a screen of a mobile device when remotely driving a process facility in the flowchart shown in FIG. 1. FIG.

이하, 첨부한 도면을 참조하여 본 발명의 실시예에 따른 공정 설비 제어 방법에 대해 상세히 설명한다. 본 발명은 다양한 변경을 가할 수 있고 여러 가지 형태를 가질 수 있는 바, 특정 실시예들을 도면에 예시하고 본문에 상세하게 설명하고자 한다. 그러나, 이는 본 발명을 특정한 개시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변경, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다. 각 도면을 설명하면서 유사한 참조부호를 유사한 구성요소에 대해 사용하였다. 첨부된 도면에 있어서, 구조물들의 치수는 본 발명의 명확성을 기하기 위하여 실제보다 확대하여 도시한 것이다.Hereinafter, a process facility control method according to an embodiment of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. The present invention is capable of various modifications and various forms, and specific embodiments are illustrated in the drawings and described in detail in the text. It should be understood, however, that the invention is not intended to be limited to the particular forms disclosed, but on the contrary, is intended to cover all modifications, equivalents, and alternatives falling within the spirit and scope of the invention. Like reference numerals are used for like elements in describing each drawing. In the accompanying drawings, the dimensions of the structures are enlarged to illustrate the present invention in order to clarify the present invention.

제1, 제2 등의 용어는 다양한 구성요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 상기 구성요소들은 상기 용어들에 의해 한정되어서는 안 된다. 상기 용어들은 하나의 구성요소를 다른 구성요소로부터 구별하는 목적으로만 사용된다. 예를 들어, 본 발명의 권리 범위를 벗어나지 않으면서 제1 구성요소는 제2 구성요소로 명명될 수 있고, 유사하게 제2 구성요소도 제1 구성요소로 명명될 수 있다.The terms first, second, etc. may be used to describe various components, but the components should not be limited by the terms. The terms are used only for the purpose of distinguishing one component from another. For example, without departing from the scope of the present invention, the first component may be referred to as a second component, and similarly, the second component may also be referred to as a first component.

본 출원에서 사용한 용어는 단지 특정한 실시예를 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 발명을 한정하려는 의도가 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 본 출원에서, "포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 명세서 상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.The terminology used in this application is used only to describe a specific embodiment and is not intended to limit the invention. The singular expressions include plural expressions unless the context clearly dictates otherwise. In this application, the terms "comprises", "having", and the like are used to specify that a feature, a number, a step, an operation, an element, a part or a combination thereof is described in the specification, But do not preclude the presence or addition of one or more other features, integers, steps, operations, components, parts, or combinations thereof.

한편, 다르게 정의되지 않는 한, 기술적이거나 과학적인 용어를 포함해서 여기서 사용되는 모든 용어들은 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 일반적으로 이해되는 것과 동일한 의미를 가지고 있다. 일반적으로 사용되는 사전에 정의되어 있는 것과 같은 용어들은 관련 기술의 문맥 상 가지는 의미와 일치하는 의미를 가지는 것으로 해석되어야 하며, 본 출원에서 명백하게 정의하지 않는 한, 이상적이거나 과도하게 형식적인 의미로 해석되지 않는다.
On the other hand, unless otherwise defined, all terms used herein, including technical or scientific terms, have the same meaning as commonly understood by one of ordinary skill in the art to which this invention belongs. Terms such as those defined in commonly used dictionaries are to be interpreted as having a meaning consistent with the contextual meaning of the related art and are to be interpreted as either ideal or overly formal in the sense of the present application Do not.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 공정 설비를 제어하는 방법을 단계적으로 나타낸 순서도이고, 도 2는 도 1에 도시된 순서도를 설명하기 위하여 공정 설비를 개략적으로 나타낸 구성도이고, 도 3은 도 1에 도시된 순서도에서 모바일 장치를 공정 설비에 무선 접속하기 위하여 보안 코드가 부여되는 상태를 실제적으로 나타낸 공정 설비의 화면을 캡쳐한 그림이며, 도 4는 도 1에 도시된 순서도에서 모바일 장치를 공정 설비에 무선 접속하는 과정에서 모바일 장치의 화면을 캡쳐한 그림이며, 도 5는 도 1에 도시된 순서도에서 공정 설비를 원격 구동할 때의 모바일 장치의 화면을 캡쳐한 그림이다.FIG. 1 is a flowchart showing a method of controlling a process facility according to an embodiment of the present invention, FIG. 2 is a schematic diagram showing a process facility to explain the flowchart shown in FIG. 1, FIG. 4 is a view illustrating a screen of a process facility that actually shows a state in which a security code is given to wirelessly connect a mobile device to a process facility in the flowchart shown in FIG. 1. FIG. FIG. 5 is a screen capture of a screen of a mobile device when remotely driving a process facility in the flowchart shown in FIG. 1. FIG.

도 1 내지 도 5를 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따라 공정 설비(10)를 제어하기 위하여 우선 작업자(20)는 모바일 장치(30)를 이용하여 공정 설비(10)에 무선 접속한다(S100). 여기서, 상기 공정 설비(10)는 일 예로, 반도체 소자를 자동화 방식을 통해서 제조하는데 필요한 장비일 수 있다. 또한, 상기 모바일 장치(30)는 안드로이드 방식 또는 iOS 방식이 적용된 스마트폰, 태블릿 PC 또는 노트북과 같이 휴대가 간편하면서 무선 통신이 가능한 모든 장치를 포함할 수 있다.1 to 5, in order to control the process facility 10 according to an embodiment of the present invention, the worker 20 wirelessly connects to the process facility 10 using the mobile device 30 S100). Here, the process equipment 10 may be, for example, equipment necessary for manufacturing semiconductor devices through an automated method. In addition, the mobile device 30 may include all devices that are portable and capable of wireless communication, such as a smart phone, a tablet PC, or a notebook computer to which the Android method or the iOS method is applied.

이에, 본 S100 단계를 구체적으로 설명하면, 작업자(20)는 상기 공정 설비(10)의 제어부(12)로 이동하여 상기 공정 설비(10)를 on시킨 후 상기 제어부(12)의 조작 패널에 구동 준비 상태가 표시되도록 한다. 이후, 작업자(20)는 상기 공정 설비(10)의 많은 구동 유닛(14)들 중 수동 구동이 필요한 어느 한 구동 유닛(14)을 상기 표시된 조작 패널을 참조하여 선택한다. 여기서, 상기 선택된 구동 유닛(14)은 본 발명의 효과를 확실하게 이해하기 위하여 상기 제어부(12)에 위치한 작업자(20)가 직접 눈으로 확인하기 어려운 사각 지대에 위치한 것일 수 있다. 이러면, 상기에서 선택된 구동 유닛(14)에 관한 정보가 상기 조작 패널에 표시되면서 터치 스크린, 마우스 또는 키보드를 이용한 수동 조작이 가능한 상태로 변경된다. The operator 20 moves to the control unit 12 of the process facility 10 and turns on the process facility 10 to be operated on the operation panel of the control unit 12. In step S100, Display the ready status. Thereafter, the operator 20 selects one of the plurality of drive units 14 of the process facility 10, which requires manual drive, with reference to the displayed operation panel. Here, the selected driving unit 14 may be located in a blind spot where the operator 20 located in the control unit 12 is difficult to visually recognize in order to reliably understand the effect of the present invention. In this case, information on the drive unit 14 selected in the above is displayed on the operation panel and changed to a state in which manual operation using a touch screen, a mouse, or a keyboard is possible.

이런 상황에서 상기 선택된 구동 유닛(14)에 관한 정보가 표시된 조작 패널을 참조하여 상기 구동 유닛(14)을 원격 조정할 수 있는 모드를 실행한다. 이러면, 도 3에서와 같이, 설비 IP, 브라우저 접속 및 동작 보안 코드가 상기 조작 패널의 화면 상에 표시된다.In this situation, the control unit 10 executes a mode in which the drive unit 14 can be remotely adjusted with reference to the operation panel on which the information on the selected drive unit 14 is displayed. 3, the facility IP, the browser connection and the operation security code are displayed on the screen of the operation panel.

이에, 작업자(20)는 휴대한 모바일 장치(30)의 웹 브라우저를 실행한 다음, 도 3에 표시된 "\\192.168.0.112\\REMOTE"와 같은 웹 주소를 상기 웹 브라우저의 주소창에 입력한다. The worker 20 executes the web browser of the portable mobile device 30 and then inputs a web address such as " \\ 192.168.0.112 \\ REMOTE "shown in Fig. 3 to the address window of the web browser.

이러면, 도 4에서와 같이 상기 모바일 장치(30)의 화면에 상기 공정 설비(10)의 제어와 관련된 정보들이 표시된다. 이에, 작업자(20)는 상기 표시된 정보들 중 상기 공정 설비(10)에 사전에 미리 준비해둔 html 파일을 선택한다. 이러면, 상기 모바일 장치(30)의 화면에 상기 공정 설비(10)의 선택된 구동 유닛(14)을 원격 구동할 수 있는 화면이 도 5에서와 같이 표시된다.4, the information related to the control of the process facility 10 is displayed on the screen of the mobile device 30. Accordingly, the worker 20 selects an html file prepared in advance in the process facility 10 among the displayed information. In this case, a screen capable of remotely driving the selected drive unit 14 of the process facility 10 is displayed on the screen of the mobile device 30 as shown in FIG.

상기에서 설명한 본 S100 단계에서와 같이, 작업자(20)가 휴대한 모바일 장치(30)를 이용하여 상기 공정 설비(10)에 웹브라우저를 통해 무선 접속하게 되면, 상기 공정 설비(10)에 설비용 html 파일을 사전에 미리 준비해 두고 있기 때문에, 별도의 실행 어플리케이션을 굳이 개발할 필요성이 없다는 장점이 있다. 또한, 상기 모바일 장치(30)가 상기 공정 설비(10)의 html 파일을 로딩할 때 공유 폴더 방식으로 접근할 수 있으므로, 상기 공정 설비(10)에 웹 서비스를 위한 서버가 필요없다는 또 다른 장점이 있다. 즉, 상기 모바일 장치(30)에서 상기 html 파일이 로딩된 이후에는 상기 로딩된 html 파일 안에서 모든 이벤트, 예컨대 화면 갱신, TCP/IP 통신 또는 명령 수행 등이 자체적으로 처리되기 때문이다.If the mobile equipment 30 carried by the worker 20 is wirelessly connected to the process facility 10 through a web browser as in the step S100 described above, Since the html file is prepared in advance, there is an advantage that there is no need to develop a separate execution application. Another advantage is that the process facility 10 does not need a server for the web service since the mobile device 30 can access the html file of the process facility 10 in a shared folder manner have. That is, after the html file is loaded in the mobile device 30, all events such as screen update, TCP / IP communication, or command execution are processed in the loaded html file.

이렇게 도 5에서와 같이 원격 구동 화면이 표시되면, 작업자(20)는 사용자 IP와 상기 공정 설비(10)의 IP 및 상기 공정 설비(10)의 조작 패널 화면에 표시된 보안 코드를 상기 휴대한 모바일 장치(30)에 입력한다. 이때, 작업자(20)가 상기 보안 코드를 상기 모바일 장치(30)에 입력하면, 이전에 다른 작업자(20)의 모바일 장치(30)를 통한 무선 접속이 동시에 차단된다. 이는, 상기 선택된 구동 유닛(14)의 수동 구동을 단 한 사람의 작업자(20)에 의해서 진행되도록 함으로써, 다수의 작업자(20)가 동일한 구동 유닛(14)을 수동 동작할 경우 발생될 수 있는 상기 구동 유닛(14)의 기계적 손상 및 이를 직접 주시하면서 수동 구동하는 작업자(20)의 신체적 상해를 방지하기 위해서이다. 또한, 이와 유사한 개념으로 상기 공정 설비(10)의 제어부(12)에 의한 상기 선택된 구동 유닛(14)의 구동도 제한하여 다른 작업자(20)가 상기 제어부(12)를 통해 구동하지 못하도록 한다. 5, the worker 20 transmits the user IP, the IP of the process facility 10, and the security code displayed on the operation panel screen of the process facility 10 to the mobile device (30). At this time, when the worker 20 inputs the security code to the mobile device 30, the wireless connection through the mobile device 30 of the other worker 20 is blocked at the same time. This is because the manual operation of the selected drive unit 14 is carried out by a single operator 20 so that the plurality of operators 20 can be manually operated by operating the same drive unit 14. [ This is to prevent a mechanical injury of the drive unit 14 and a bodily injury of the worker 20 manually driving while directly observing it. In addition, in a similar concept, the control unit 12 of the process facility 10 limits the drive of the selected drive unit 14 to prevent the other worker 20 from driving through the control unit 12.

이렇게 작업자(20)의 모바일 장치(30)와 상기 공정 설비(10)의 무선 접속이 성공되면 상기 공정 설비(10)의 조작 패널 화면과 상기 모바일 장치(30)의 화면에 "무선 접속 중"을 알리는 정보가 표시된다. 예를 들어, 상기 "무선 접속 중" 정보는 로그 정보로 표시될 수 있다. If the wireless connection between the mobile device 30 of the worker 20 and the process facility 10 is successful in this way, the operation panel screen of the process facility 10 and the screen of the mobile device 30 are displayed as " Information to be notified is displayed. For example, the "wirelessly connected" information may be displayed as log information.

이어서, 작업자(20)는 상기 공정 설비(10)에 무선 접속된 모바일 장치(30)를 휴대한 상태로 상기 공정 설비(10) 중 상기의 설명에서 선택된 사각 지대에 위치하는 구동 유닛(14)으로 이동한다(S200).Next, the worker 20 carries the mobile unit 30 wirelessly connected to the process facility 10, and transfers it to the drive unit 14 located in the dead zone selected in the above description among the process facilities 10 (S200).

이어서, 작업자(20)는 상기 휴대한 모바일 장치(30)의 원격 구동 화면을 이용하여 상기 선택된 구동 유닛(14)을 원격 구동시킨다(S300). 구체적으로, 작업자(20)는 상기 원격 구동 화면을 통해서 목표값을 설정한 후, 상기 설정된 목표값에 따라 상기 구동 유닛(14)을 원격 구동시킨다. 이에, 작업자(20)는 상기 원격 구동된 구동 유닛(14)이 상기 설정된 목표값에 따라 구동되었는지 확인하여, 그 결과 상기 구동 유닛(14)이 상기 설정된 목표값으로 구동되지 않았을 경우에는 상기 구동 유닛(14)을 재구동시키고, 상기 설정된 목표값으로 구동되었을 경우에는 상기 공정 설비(10)의 제어부(12), 즉 상기 html 파일에 이 정보를 저장한다. 이후, 작업자(20)는 상기 선택된 구동 유닛(14)의 수동 원격 구동 작업을 완료하면, 상기의 무선 접속을 차단하여 그 원격 모드를 해제한다.Then, the worker 20 remotely drives the selected driving unit 14 using the remote driving screen of the portable mobile device 30 (S300). Specifically, the operator 20 sets the target value on the remote driving screen, and then remotely drives the driving unit 14 according to the set target value. The operator 20 checks whether the remotely-driven drive unit 14 is driven according to the set target value, and as a result, if the drive unit 14 is not driven to the set target value, The control unit 12 of the process facility 10, that is, the html file, stores the information in the html file. Thereafter, when the operator 20 completes the manual remote driving operation of the selected driving unit 14, the operator 20 cancels the wireless connection and cancels the remote mode.

이와 같이, 작업자(20)가 휴대가 간편한 상기 모바일 장치(30)를 이용하여 상기 공정 설비(10)에 웹브라우저를 통해 무선 접속한 다음, 상기 공정 설비(10)의 제어부(12)와 사각 지대에 위치하는 상기 선택된 구동 유닛(14)으로 이동한 후, 상기 선택된 구동 유닛(14)을 상기 무선 접속한 모바일 장치(30)를 이용하여 원격 구동시킴으로써, 단 한명의 작업자(20)가 상기 공정 설비(10)를 편리하게 수동 동작할 수 있다. 이로써, 상기 공정 설비(10)를 수동 동작하는 작업 인원 및 작업 시간을 줄임으로써, 전체적인 공정 비용을 절감할 수 있다. After the operator 20 wirelessly accesses the process facility 10 through the web browser using the mobile device 30 that is easy to carry, the control unit 12 of the process facility 10, So that only one worker 20 can operate the process facility 14 by using the wirelessly connected mobile device 30 to remotely drive the selected drive unit 14 after moving to the selected drive unit 14, 10 can conveniently be manually operated. Thus, the overall process cost can be reduced by reducing the number of workers manually operating the process facility 10 and the working time.

앞서 설명한 본 발명의 상세한 설명에서는 본 발명의 바람직한 실시예들을 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야의 숙련된 당업자 또는 해당 기술분야에 통상의 지식을 갖는 자라면 후술될 특허청구범위에 기재된 본 발명의 사상 및 기술 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.While the present invention has been described in connection with what is presently considered to be practical and exemplary embodiments, it is to be understood that the invention is not limited to the disclosed embodiments, but, on the contrary, It will be understood by those skilled in the art that various changes in form and details may be made therein without departing from the spirit and scope of the invention as defined by the appended claims.

10 : 공정 설비 12 : 제어부
14 : 구동 유닛 20 : 작업자
30 : 모바일 장치10: Process equipment 12:
14: drive unit 20: worker
30: Mobile device

Claims (4)

모바일 장치를 이용하여 공정 설비에 웹브라우저를 통해 무선 접속하는 단계;
상기 공정 설비에 무선 접속된 모바일 장치를 휴대한 상태로 상기 공정 설비 중 그 전체적인 동작을 제어하는 제어부와 사각 지대에 위치한 어느 한 구동 유닛으로 이동하는 단계; 및
상기 어느 한 구동 유닛을 상기 공정 설비에 무선 접속된 모바일 장치를 이용하여 원격 구동시키는 단계를 포함하는 공정 설비 제어 방법.Wirelessly connecting to a process facility using a mobile device via a web browser;
Moving to a control unit for controlling the overall operation of the process equipment and a drive unit located in a blind spot while carrying a mobile device wirelessly connected to the process facility; And
And remotely operating any of the drive units using a mobile device wirelessly connected to the process facility. 제1항에 있어서, 상기 무선 접속하는 단계는
상기 공정 설비에서 보안 코드를 부여하는 단계; 및
상기 모바일 장치에 상기 부여된 보안 코드를 입력하여 상기 모바일 장치를 상기 공정 설비에 무선 접속하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 공정 설비 제어 방법.The method of claim 1, wherein the step of wirelessly connecting
Providing a security code in the process facility; And
And inputting the security code given to the mobile device to wirelessly connect the mobile device to the process facility. 제2항에 있어서, 상기 모바일 장치에 상기 부여된 보안 코드를 입력하는 단계가 진행될 때 그 전에 상기 공정 설비와 무선 접속된 다른 모바일 장치는 접속이 차단되는 것을 특징으로 하는 공정 설비 제어 방법.3. The method according to claim 2, wherein, when the step of inputting the security code to the mobile device is performed, the other mobile devices wirelessly connected to the process equipment are disconnected. 제1항에 있어서, 상기 어느 한 구동 유닛을 상기 모바일 장치를 이용하여 원격 구동시키는 단계는,
상기 모바일 장치에 구동 목표값을 설정하는 단계;
상기 설정된 목표값에 따라 상기 구동 유닛을 원격 구동시키는 단계;
상기 구동된 구동 유닛이 상기 설정된 목표값에 따라 구동되었는지 확인하는 단계; 및
상기 확인한 결과, 상기 구동 유닛이 상기 설정된 목표값으로 구동되지 않았을 경우에는 상기 구동 유닛을 재구동시키고, 상기 설정된 목표값으로 구동되었을경우에는 상기 공정 설비의 제어부에 이를 저장하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 공정 설비 제어 방법.The method according to claim 1, wherein remotely driving any one of the drive units using the mobile device comprises:
Setting a drive target value to the mobile device;
Remotely driving the drive unit according to the set target value;
Confirming whether the driven driving unit is driven according to the set target value; And
And if the driving unit is not driven to the set target value, re-driving the driving unit, and if the driving unit is driven to the set target value, storing the driving unit in the control unit of the processing facility To control the process equipment.
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