KR20150132760A - 정렬판을 구비한 샤워헤드 - Google Patents

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KR20150132760A KR1020140059054A KR20140059054A KR20150132760A KR 20150132760 A KR20150132760 A KR 20150132760A KR 1020140059054 A KR1020140059054 A KR 1020140059054A KR 20140059054 A KR20140059054 A KR 20140059054A KR 20150132760 A KR20150132760 A KR 20150132760A
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Abstract

본 발명은 샤워헤드에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 복수 개의 모듈 사이에 분사튜브가 끼워지는 정렬판을 배치하여 모듈의 재조립시 용이하게 분사튜브 및 해당모듈을 조립할 수 있는 정렬판을 구비한 샤워헤드에 관한 것이다.
본 발명은 적어도 두 개의 모듈이 상하 방향으로 배치되는 샤워헤드에 있어서, 기체가 유입되는 제1유입구를 구비한 제1몸체, 상기 유입된 기체를 상기 제1몸체의 외부로 배출할 수 있도록 상기 제1몸체의 일측에 형성된 분사공 및 상기 분사공에 연결된 제1분사튜브를 구비한 제1모듈; 상기 제1분사튜브가 관통하는 제1안내관을 구비하여 상기 제1모듈의 하부측에 배치되는 제2모듈; 및 상기 제1분사튜브가 통과하는 통과공을 구비하고, 상기 제1모듈 및 제2모듈 사이에 배치되는 정렬판;을 포함하는 정렬판을 구비한 샤워헤드를 제공한다.

Description

정렬판을 구비한 샤워헤드{A showerhead with align plate}
본 발명은 샤워헤드에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 복수 개의 모듈 사이에 분사튜브가 끼워지는 정렬판을 배치하여 모듈의 재조립시 용이하게 분사튜브 및 해당모듈을 조립할 수 있는 정렬판을 구비한 샤워헤드에 관한 것이다.
오늘날 반도체 소자는 소자의 고집적화가 진행되고 있다. 이에 따라, 제조과정시 보다 정밀한 공정 조건 및 환경을 확보할 필요성이 커지고 있다. 특히, 기판의 대구경화가 계속되면서 기판과 기판 사이의 공정 균일성 확보와 함께 기판 내 공정 균일성을 확보하기 위한 노력이 계속되고 있다.
샤워헤드는 화학기상증착이나 에칭을 위한 과정에서 공정 기체를 공급해 줌으로써 공정의 균일성을 향상시키기 위한 장치이다.
통상적으로, 이러한 샤워헤드(1)는 도 1에 도시된 바와 같이 복수 개의 모듈(10,20,30,40)이 수직한 방향으로 배치되어 서로 적층되는 구성을 취하고 있으며, 일정길이를 갖는 분사튜브(50)를 통하여 상부 모듈로부터 공정 기체가 이동하여 최하부에 배치되는 모듈(40)의 바닥에 뚫린 구멍을 통해 기체를 균등하게 분사된다.
이러한 분사튜브(50)는 유연한 재질로 이루어져 있으며 수백에서 수천개가 배치되어 있다. 이에 따라, 복수 개의 모듈(10,20,30,40)을 서로 조립 또는 재조립하고자 하는 경우 전체적인 개수가 많을 뿐만 아니라 분사튜브(50)의 전체적인 길이가 길어 수직방향에서 어긋나기 때문에 조립이 매우 어렵고 번거로운 문제점이 있었다.
KR 10-0923453 B1
본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위한 것으로, 각각의 모듈 사이에 통과공을 갖는 정렬판을 배치하여 분사튜브가 상기 통과공에 끼워진 상태로 정렬되도록 함으로써 분사튜브 및 해당모듈을 용이하게 조립할 수 있는 정렬판을 구비한 샤워헤드를 제공하는 데 있다.
상기와 같은 목적을 달성하기 위하여 본 발명은 적어도 두 개의 모듈이 상하 방향으로 배치되는 샤워헤드에 있어서, 기체가 유입되는 제1유입구를 구비한 제1몸체, 상기 유입된 기체를 상기 제1몸체의 외부로 배출할 수 있도록 상기 제1몸체의 일측에 형성된 분사공 및 상기 분사공에 연결된 제1분사튜브를 구비한 제1모듈; 상기 제1분사튜브가 관통하는 제1안내관을 구비하여 상기 제1모듈의 하부측에 배치되는 제2모듈; 및 상기 제1분사튜브가 통과하는 통과공을 구비하고, 상기 제1모듈 및 제2모듈 사이에 배치되는 정렬판;을 포함하는 정렬판을 구비한 샤워헤드를 제공한다.
상기 정렬판은 일정 두께를 갖는 판상의 부재로 이루어질 수 있다.
상기 통과공은 상부에서 하부로 갈수록 단면적이 서서히 좁아지도록 구비될 수 있다.
상기 정렬판은 두께가 0.01~0.2mm 범위의 시트(sheet) 형태로 구비될 수 있다.
상기 제2모듈의 하부측에는 상기 제1분사튜브가 관통하는 제2안내관을 구비한 제3모듈이 구비되고, 상기 제2모듈 및 제3모듈 사이에 상기 제1분사튜브가 통과하는 통과공을 갖는 정렬판이 배치될 수 있다.
상기 제3모듈은 냉각모듈일 수 있다.
상기 제2모듈은 기체가 유입되는 제2유입구를 구비한 제2몸체, 상기 유입된 기체를 상기 제2몸체의 외부로 배출할 수 있도록 상기 제2몸체의 일측에 형성된 제2분사공 및 상기 제2분사공에 연결된 제2분사튜브를 포함할 수 있다.
상기 제3모듈은 상기 제2분사튜브가 관통하는 제3안내관을 포함할 수 있다.
상기 제1모듈 및 제2모듈의 외측에는 일정높이를 갖는 가이드바가 배치되고, 상기 제1모듈 및 제2모듈은 일측이 상기 가이드바를 따라 상,하 방향으로 이동하는 일측에 의해 서로 밀착되거나 이격될 수 있다.
상기 제1모듈은 일측에 외측으로 일정길이 연장되는 제1체결판이 구비되고, 상기 제2모듈은 상기 제1체결판과 대응되는 일측에 외측으로 일정길이 연장되는 제2체결판이 구비되며, 상기 제1체결판 및 제2체결판은 상기 가이드바를 통해 서로 연결될 수 있다.
상기 가이드바는 외주면에 나사산이 형성된 스크류바일 수 있다.
상기 제2체결판의 상부면과 하부면에는 상기 스크류바와 나사결합되는 너트부재가 각각 구비될 수 있다.
상기 너트부재는 상기 스크류바를 따라 나사이동되어 상기 제1모듈 및 제2모듈을 서로 밀착시킬 수 있다.
상기 정렬판에는 상기 제1체결판 및 제2체결판과 대응되는 위치에 상기 스크류바가 통과하는 관통공이 구비되고, 상기 관통공의 상,하부측에는 상기 스크류바와 나사결합하는 너트부재가 구비될 수 있다.
본 발명에 의하면, 각각의 모듈 사이에 통과공을 갖는 정렬판을 배치하여 분사튜브가 상기 통과공에 끼워진 상태로 정렬되도록 하여 분사튜브 및 해당모듈을 용이하게 조립할 수 있음으로써 유지보수가 용이하고 작업편의성을 높일 수 있는 장점이 있다.
도 1은 종래의 일반적인 샤워헤드를 나타낸 개략 단면도.
도 2는 본 발명에 따른 정렬판을 구비한 샤워헤드를 나타낸 전체단면도.
도 3은 도 2의 분리도.
도 4는 본 발명에 따른 정렬판을 구비한 샤워헤드에 적용되는 정렬판을 나타낸 단면도로서, a)는 일정 두께를 갖는 판상의 형태이고, b)는 두께 0.01~0.2mm의 시트(sheet) 형태이다.
도 5는 본 발명에 따른 정렬판을 구비한 샤워헤드에서 정렬판을 사용하여 모듈을 조립 또는 재조립하는 과정을 나타낸 사용상태도.
도 6은 본 발명의 다른 실시예에 따른 정렬판을 구비한 샤워헤드를 나타낸 전체단면도.
이하, 본 발명의 바람직한 실시예를 도면을 참조하여 더욱 상세히 설명하기로 한다.
이하에서, 발명의 이해를 돕기 위해 도면부호를 부가함에 있어 동일한 구성요소에 대해서는 비록 다른 도면에 표시되었다 하더라도 동일한 도면부호를 사용하기로 한다.
본 발명의 바람직한 실시예에 따른 정렬판을 구비한 샤워헤드(100,100')는 서로 수직한 방향으로 배치되는 복수 개의 모듈 사이에 분사튜브가 끼워지는 정렬판(140,140')이 배치됨으로써 조립 또는 재조립시 상기 분사튜브를 용이하게 안내관 측으로 끼울 수 있도록 한다.
이와 같은 본 발명에 따른 정렬판을 구비한 샤워헤드(100,100')는 도 2 내지 도 5에 도시된 바와 같이 제1모듈(110), 제2모듈(120) 및 정렬판(140,140')을 포함한다.
상기 제1모듈(110)은 일측에 공정 기체가 유입되는 제1유입구(111)를 갖는 제1몸체(112)와, 상기 제1유입구(111)를 통해 유입된 공정 기체를 상기 제1몸체(112)의 외부로 배출할 수 있도록 상기 제1몸체(112)의 일측에 형성된 복수 개의 제1분사공(113) 및 상기 복수 개의 제1분사공(113)에 각각 연결된 제1분사튜브(114)로 구성된다.
여기서, 상기 제1분사튜브(114)는 단단하고 열에 강한 금속재질로 이루어지며 상기 공정 기체가 이송되는 통로역할을 수행한다.
상기 제1모듈(110)은 최상부측에 배치되며, 상기 제1유입구(111)가 기체 공급포트(미도시)와 연결되어 상기 기체 공급포트로부터 공정 기체를 공급받게 된다.
이러한 제1모듈(110)은 상기 공정 기체가 일정량 저장될 수 있도록 내부공간을 갖는다. 이에 따라 상기 제1유입구(111)를 통해 유입된 공정 기체는 상기 내부공간에서 균일하게 확산된 후 상기 제1분사공(113) - 더욱 자세하게는, 상기 제1분사공(113)에 연결된 제1분사튜브(114)를 통하여 하부측으로 이동한 후 스테이지(미도시)에 안착된 기판(미도시) 측으로 분사된다.
여기서, 상기 제1분사공(113)은 상기 제1모듈(110)의 하부측에 배치되는 제2모듈(120)에 형성되는 제1안내관(126)과 서로 대응될 수 있도록 제1몸체(112)의 바닥면에 형성되는 것이 바람직하다.
상기 제2모듈(120)은 상기 제1모듈(110)의 하부측에 배치되며, 상기 제1분사공(113)으로부터 연장되는 제1분사튜브(114)가 통과할 수 있도록 높이방향을 따라 관통형성되는 복수 개의 제1안내관(126)이 구비된다.
이러한 제2모듈(120)은 상기 제1모듈(110)과 마찬가지로 일측에 공정 기체가 유입되는 제2유입구(121)를 갖는 제2몸체(122)와, 상기 제2유입구(121)를 통해 유입된 공정 기체를 상기 제2몸체(122)의 외부로 배출할 수 있도록 상기 제2몸체(122)의 일측에 형성된 복수 개의 제2분사공(123)과 상기 복수 개의 제2분사공(123)에 연결되는 제2분사튜브(124) 및 상기 제2몸체(122)의 높이방향을 따라 관통형성되는 제1안내관(126)이 구비된다.
여기서, 상기 제1안내관(126)은 상기 제1분사공(113)과 서로 대응되는 영역에 각각 형성된다. 이에 따라, 상기 제1몸체(112)의 제1분사공(113)에 단부가 연결된 제1분사튜브(114)는 상기 제2몸체(122)의 제1안내관(126)을 통과하도록 삽입됨으로써 하부방향으로 수직하게 배치된다.
그리고, 상기 제2유입구(121)는 상기 기체 공급포트와 연결되어 공정 기체가 유입되고, 상기 제2몸체(122)의 내부공간에서 확산된 후 상기 제2분사공(123)과 연결된 제2분사튜브(124)를 통해 스테이지(미도시)에 안착된 기판(미도시) 측으로 균일하게 분사된다.
이때, 서로 수직한 방향으로 배치되는 제1모듈(110) 및 제2모듈(120)의 사이에는 상기 정렬판(140,140')이 배치된다.
이러한, 정렬판(140,140')은 일정면적을 갖는 판상의 부재로 이루어지며, 상기 제1분사공(113)과 대응되는 영역에 복수 개의 통과공(142)이 관통형성된다. 그리고, 상기 제1분사공(113)으로부터 연장되는 복수 개의 제1분사튜브(114)는 상기 통과공(142)을 통과한 후 제1안내관(126) 측으로 삽입된다.
이에 따라, 청소작업이나 교체를 위해 상기 제1모듈(110)로부터 제2모듈(120)을 분리한 후 다시 조립하고자 하는 경우 상기 제1모듈(110)의 하부에 배치된 정렬판(140,140')을 제1모듈(110)로부터 하부측으로 이동시킨다. 이때, 상기 정렬판(140,140')은 상기 제1분사튜브(114)의 하부측 일부가 상기 통과공(142)에 끼워진 상태를 유지하여 상기 통과공(142)을 통과하여 하방으로 돌출된 길이가 최대한 짧아지도록 한다.
이로 인해, 상기 제1분사튜브(114)는 상기 통과공(142)을 통과하여 하방으로 돌출된 길이가 상대적으로 짧아지고 상기 통과공(142)에 의해 길이중간이 지지되어 수직한 상태를 유지할 수 있게 됨으로써 상기 제1분사튜브(114)의 하부단을 별도로 정렬할 필요없이 상기 제2모듈(120)의 제1안내관(126) 측으로 용이하게 삽입할 수 있게 된다.
이러한 정렬판(140,140')은 도 4a에 도시된 바와 같이 일정두께를 갖는 판상의 부재로 이루어질 수 있으며, 도 4b에 도시된 바와 같이 두께가 0.01mm~0.2mm범위의 시트(sheet) 형태로 구비될 수도 있다. 더불어, 상기 정렬판(140,140')이 일정두께를 갖는 판상의 부재로 이루어지는 경우 유연한 재질로 이루어진 분사튜브의 하부단이 상기 통과공(142)에 용이하게 삽입될 수 있도록 상기 통과공(142)은 상부로부터 하부로 갈수록 단면적이 서서히 좁아지도록 구비될 수 있다.
한편, 본 발명에 따른 정렬판을 구비한 샤워헤드(100,100')는 해당모듈의 조립시 작업을 용이하게 하기 위하여 별도의 가이드바(150)가 배치될 수 있다.
이러한 가이드바(150)는 상기 제1모듈(110) 및 제2모듈(120)의 전체높이를 커버할 수 있도록 일정높이를 갖도록 구비된다.
그리고, 상기 제1모듈(110) 및 제2모듈(120)은 일측이 상기 가이드바(150)를 따라 상,하 방향으로 이동가능하게 결합된다.
이를 위해, 상기 제1몸체(112)의 일측에는 외측으로 일정길이 연장되는 제1체결판(115)이 구비되고, 상기 제2몸체(122)는 상기 제1체결판(115)과 대응되는 위치에 외측으로 일정길이 연장되는 제2체결판(125)이 구비되며, 상기 가이드바(150)는 상기 제1체결판(115) 및 제2체결판(125)을 관통하도록 설치된다.
이로 인해, 상기 제2모듈(120)의 상,하 이동시 상기 제2모듈(120)이 상기 가이드바(150)에 의해 이동방향이 안내됨으로써 조립작업을 용이하게 할 수 있다.
이때, 상기 정렬판(140,140')에도 상기 가이드바(150)가 통과할 수 있는 관통공(144)이 구비됨으로써 정렬판(140,140')의 상,하 이동시 이동방향을 안내할 수도 있다.
한편, 상기 가이드바(150)는 조립 또는 재조립 과정을 더욱 용이하게 하고, 서로 인접하는 각 모듈 및 정렬판을 밀착시킬 수 있도록 외주면에 나사산이 형성된 스크류바로 구비될 수 있다.
즉, 상기 가이드바(150)가 스크류바로 구비되는 경우 상기 제1체결판(115)과 정렬판(140) 사이, 상기 정렬판(140)과 제2체결판(125)의 사이 및 상기 제2체결판(125)의 하부측에는 상기 스크류바와 나사결합되는 제1너트부재(151), 제2너트부재(152) 및 제3너트부재(153)가 각각 구비된다.
이에 따라, 상기 제1모듈(110) 및 제2모듈(120) 사이에 배치되는 정렬판(140,140')에 형성되는 관통공(144)의 상,하부측에는 상기 스크류바와 나사결합되는 제1너트부재(151) 및 제2너트부재(152)가 각각 배치되고, 상기 제2체결판(125)의 상,하부측에는 상기 제2너트부재(152) 및 제3너트부재(153)가 각각 배치된다.
이로 인해, 상기 제1모듈(110), 정렬판(140) 및 제2모듈(120)을 조립하는 경우에는 상기 제2너트부재(152)를 스크류바를 따라 상방으로 나사이동시켜 제1모듈(110) 및 정렬판(140,140')이 서로 긴밀하게 밀착되도록 하고, 상기 제3너트부재(153)를 스크류바를 따라 상방으로 나사이동시켜 상기 정렬판(140) 및 제2모듈(120)이 서로 긴밀하게 밀착될 수 있도록 한다.
반대로, 상기 제1모듈(110)로부터 상기 제2모듈(120) 또는 정렬판(140,140')을 분리하고자 하는 경우에는 상기 제2모듈(120) 및 정렬판(140,140')을 각각 지지하고 있는 제2너트부재(152) 및 제3너트부재(153)를 하방으로 나사이동시킨 후 상기 제1너트부재(151)를 하방으로 나사이동시켜 정렬판(140,140')의 상부측을 가압함으로써 정렬판(140,140') 및 제2모듈(120)을 제1모듈(110)로부터 하방으로 간편하게 이격시킬 수 있게 된다.
더불어, 본 발명에 따른 정렬판을 구비한 샤워헤드(100')는 도 6에 도시된 바와 같이 제1모듈(110) 및 제2모듈(120)은 상기 가이드바(150)와 제1체결판(115) 및 제2체결판(125)을 매개로 연결되고, 상기 정렬판(140,140')은 상기 가이드바(150)와 연결되지 않고 상기 제1모듈(110) 및 제2모듈(120)의 사이에 단순히 배치되도록 구비될 수도 있다. 이와 같은 경우 도 6에 도시된 바와 같이, 상기 제2체결판(125)의 상,하부 측에 상기 제1너트부재(151) 및 제2너트부재(152)가 각각 상기 스크류바와 나사결합된다.
한편, 상기 제2모듈(120)의 하부측에는 상기 제1분사튜브(114)가 관통하는 제2안내관(133)을 갖는 제3모듈(130)이 구비될 수 있다. 즉, 상기 제3모듈(130)은 유체가 유입되는 제3유입구(131)를 갖는 제3몸체(132)와, 상기 제3몸체(132)의 높이방향을 따라 관통형성되는 제2안내관(133)을 갖는다.
이러한 제3모듈(130)은 상기 제3유입구(131)를 통해 냉각재가 유입되어 샤워헤드의 온도를 일정하게 유지하는 냉각모듈일 수 있다. 여기서, 상기 제3모듈(130)이 냉각모듈인 경우 상기 제3몸체(132)의 일측에는 냉각재가 외부로 배출되는 별도의 배출구(136)가 구비된다.
더불어, 상기 제3모듈(130)은 상기 제2모듈(120)의 제2분사공(123)으로부터 연장되는 제2분사튜브(124)가 통과할 수 있도록 높이방향을 따라 관통형성되는 제3안내관(134)을 포함할 수 있다.
이와 같이, 상기 제2모듈(120)의 하부측에 제3모듈(130)이 배치되는 경우 상기 제2모듈(120) 및 제3모듈(130)의 사이에도 상기 정렬판(140,140')이 배치됨으로써 제3모듈(130)의 조립 및 재조립시 상기 제1,2분사튜브(114,124)가 제2안내관(133) 및 제3안내관(134) 측으로 용이하게 삽입될 수 있도록 한다.
또한, 상기 제3모듈(130) 역시 제3몸체(132)의 일측에는 상기 제1,2체결판(115,125)과 대응되는 위치에 외측으로 일정길이 연장되는 제3체결판(135)이 구비되어 상기 가이드바(150)에 연결될 수 있다.
이와 같이 상기 제2모듈(120)의 하부측에 상기 정렬판(140,140') 및 제3모듈(130)이 배치되는 경우, 상기 제2모듈(120) 및 제3모듈(130) 사이에 배치되는 정렬판(140,140')에 형성되는 관통공의 상,하부측에는 상기 제3너트부재(153) 및 제4너트부재(154)가 각각 배치되고, 상기 제3체결판(135)의 상, 하부측에는 상기 가이드바(150)와 나사결합되는 제6너트부재(156) 및 제7너트부재(157)가 각각 구비되어 상기 제3너트부재(153), 제4너트부재(154) 및 제6너트부재(156)의 나사이동을 통해 상기 제3모듈(130)을 상,하 방향으로 이동시킬 수도 있다.
여기서, 상기 제3모듈(130)이 상기 제2모듈(120)의 하부에 직접 배치되는 경우 도면상에서 상기 제6너트부재(156)는 상기 제4너트부재(154)로 대체될 수 있다.
한편, 상기 제1모듈(110), 제2모듈(120) 및 제3모듈(130)이 순차적으로 적층되는 것으로 설명하였지만 이에 한정하는 것은 아니며, 상기 제3모듈(130)이 냉각모듈인 경우 상기 제3모듈(130)은 제1모듈(110)의 하부측에 정렬판(140,140')이 배치된 상태에서 상기 정렬판(140,140')의 하부측에 직접 배치될 수도 있음을 밝혀둔다.
더불어, 본 발명에 따른 정렬판을 구비한 샤워헤드(100,100')는 최상부측에 배치되는 모듈과 최하부측에 배치되는 모듈 사이에 2개 이상의 모듈이 추가적으로 구비될 수 있다. 이러한 경우 서로 인접하는 모듈 사이에는 상기 정렬판이 각각 구비될 수 있다.
또한, 복수 개의 모듈 사이에 복수 개의 정렬판이 배치되는 경우 상기 복수 개의 정렬판은 두께 0.01mm~0.2mm의 시트(sheet) 형태와 일정 두께를 갖는 판상의 형태가 서로 혼합되어 배치될 수도 있으며, 같은 종류의 정렬판만이 사용될 수도 있음을 밝혀둔다.
상기와 같은 본 발명에 의하면, 샤워헤드를 구성하는 복수 개의 모듈 중 일부를 분리한 후 재조립해야할 필요가 있는 경우 반응챔버(미도시) 내에서 샤워헤드 전체를 분리할 필요없이 해당되는 모듈만을 선택적으로 분리한 후 교체 또는 해당 작업을 수행할 수 있음으로써 재조립 과정이 매우 간편해지는 장점이 있다.
상기에서 본 발명의 특정 실시예와 관련하여 도면을 참조하여 상세히 설명하였지만, 본 발명을 이와 같은 특정 구조에 한정하는 것은 아니다. 당 업계에서 통상의 지식을 가진 자라면 이하의 특허청구범위에 기재된 기술적 사상을 벗어나지 않고서도 용이하게 수정 또는 변경할 수 있을 것이다. 그러나, 단순한 설계변형 또는 수정을 통한 등가물, 변형물 및 교체물은 모두 명백하게 본 발명의 권리범위 내에 속함을 미리 밝혀둔다.
100,100' : 정렬판을 구비한 샤워헤드
110 : 제1모듈 111 : 제1유입구
112 : 제1몸체 113 : 제1분사공
114 : 제1분사튜브 115 : 제1체결판
120 : 제2모듈 121 : 제2유입구
122 : 제2몸체 123 : 제2분사공
124 : 제2분사튜브 125 : 제2체결판
126 : 제1안내관 130 : 제3모듈
131 : 제3유입구 132 : 제3몸체
133 : 제2안내관 134 : 제3안내관
135 : 제3체결판 136 : 배출구
140,140' : 정렬판 142 : 통과공
144 : 관통공 150 : 가이드바
151 : 제1너트부재 152 : 제2너트부재
153 : 제3너트부재 154 : 제4너트부재

Claims (14)

  1. 적어도 두 개의 모듈이 상하 방향으로 배치되는 샤워헤드에 있어서,
    기체가 유입되는 제1유입구를 구비한 제1몸체, 상기 유입된 기체를 상기 제1몸체의 외부로 배출할 수 있도록 상기 제1몸체의 일측에 형성된 분사공 및 상기 분사공에 연결된 제1분사튜브를 구비한 제1모듈;
    상기 제1분사튜브가 관통하는 제1안내관을 구비하여 상기 제1모듈의 하부측에 배치되는 제2모듈; 및
    상기 제1분사튜브가 통과하는 통과공을 구비하고, 상기 제1모듈 및 제2모듈 사이에 배치되는 정렬판;을 포함하는 정렬판을 구비한 샤워헤드.
  2. 제 1항에 있어서,
    상기 정렬판은 일정 두께를 갖는 판상의 부재로 이루어지는 것을 특징으로 하는 정렬판을 구비한 샤워헤드.
  3. 제 2항에 있어서,
    상기 통과공은 상부에서 하부로 갈수록 단면적이 서서히 좁아지도록 구비되는 것을 특징으로 하는 정렬판을 구비한 샤워헤드.
  4. 제 1항에 있어서,
    상기 정렬판은 두께가 0.01~0.2mm 범위의 시트(sheet) 형태로 구비되는 것을 특징으로 하는 정렬판을 구비한 샤워헤드.
  5. 제 1항에 있어서,
    상기 제2모듈의 하부측에는 상기 제1분사튜브가 관통하는 제2안내관을 구비한 제3모듈이 구비되고, 상기 제2모듈 및 제3모듈 사이에 상기 제1분사튜브가 통과하는 통과공을 갖는 정렬판이 배치되는 것을 특징으로 하는 정렬판을 구비한 샤워헤드.
  6. 제 5항에 있어서,
    상기 제3모듈은 냉각모듈인 것을 특징으로 하는 정렬판을 구비한 샤워헤드.
  7. 제 5항에 있어서,
    상기 제2모듈은 기체가 유입되는 제2유입구를 구비한 제2몸체, 상기 유입된 기체를 상기 제2몸체의 외부로 배출할 수 있도록 상기 제2몸체의 일측에 형성된 제2분사공 및 상기 제2분사공에 연결된 제2분사튜브를 포함하는 것을 특징으로 하는 정렬판을 구비한 샤워헤드.
  8. 제 7항에 있어서,
    상기 제3모듈은 상기 제2분사튜브가 관통하는 제3안내관을 포함하는 것을 특징으로 하는 정렬판을 구비한 샤워헤드.
  9. 제 1항에 있어서,
    상기 제1모듈 및 제2모듈의 외측에는 일정높이를 갖는 가이드바가 배치되고, 상기 제1모듈 및 제2모듈은 일측이 상기 가이드바를 따라 상,하 방향으로 이동하는 일측에 의해 서로 밀착되거나 이격되는 것을 특징으로 하는 정렬판을 구비한 샤워헤드.
  10. 제 9항에 있어서,
    상기 제1모듈은 일측에 외측으로 일정길이 연장되는 제1체결판이 구비되고, 상기 제2모듈은 상기 제1체결판과 대응되는 일측에 외측으로 일정길이 연장되는 제2체결판이 구비되며, 상기 제1체결판 및 제2체결판은 상기 가이드바를 통해 서로 연결되는 것을 특징으로 하는 정렬판을 구비한 샤워헤드.
  11. 제 10항에 있어서,
    상기 가이드바는 외주면에 나사산이 형성된 스크류바인 것을 특징으로 하는 정렬판을 구비한 샤워헤드.
  12. 제 11항에 있어서,
    상기 제2체결판의 상부면과 하부면에는 상기 스크류바와 나사결합되는 너트부재가 각각 구비되는 것을 특징으로 하는 정렬판을 구비한 샤워헤드.
  13. 제 12항에 있어서,
    상기 너트부재는 상기 스크류바를 따라 나사이동되어 상기 제1모듈 및 제2모듈을 서로 밀착시키는 것을 특징으로 하는 정렬판을 구비한 샤워헤드.
  14. 제 11항에 있어서,
    상기 정렬판에는 상기 제1체결판 및 제2체결판과 대응되는 위치에 상기 스크류바가 통과하는 관통공이 구비되고, 상기 관통공의 상,하부측에는 상기 스크류바와 나사결합하는 너트부재가 구비되는 것을 특징으로 하는 정렬판을 구비한 샤워헤드.
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