KR20150125839A - 유사이동층 장치 및 그 탈기 방법 - Google Patents

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Abstract

본 발명의 일실시예에 따른 유사이동층 장치는 다수의 흡착 컬럼 및 상기 흡착 컬럼 사이에 연결 구비된 연결 구조체를 포함한다.
본 발명의 실시예에 따른 유사이동층 장치의 탈기 방법은 연결 구조체를 이용한 탈기 모드를 통해, 흐름 구역별 압력 불균형을 최소화하고 밸브 스위치에 따른 압력 교란을 감소시켜, 장치 내의 차압을 완충하며 유량을 용이하게 조절할 수 있는 효과가 있다.

Description

유사이동층 장치 및 그 탈기 방법{SIMULATED MOVING-BED APPARATUS AND DEGAS METHOD THEREOF}
본 발명은 유사이동층 장치 및 그 탈기 방법에 관한 것으로, 특히 컬럼 사이의 유체흐름에서 발생하는 압력 불균형을 해소할 수 있는 유사이동층 장치 및 그 탈기 방법에 관한 것이다.
두 가지 이상의 성분으로 이루어진 혼합 시료의 분리는 통상 크로마토그래피법에 의해 수행되고 있는데, 종래에는 단일 컬럼에 시료를 주입하고 용매를 흘려주어 각각의 피크를 분획하는 방법을 사용하였다.
그러나, 이 방법은 대량의 시료를 분리할 경우 컬럼의 효율이 떨어지고 고가의 용매를 대량으로 소비하게 되며 분획한 시료의 농도가 낮아 농축해야 하는 단점이 있어서, 이를 보완하기 위한 방법으로 유사이동층(Simulated Moving-Bed) 장치가 개발되었다.
유사이동층 장치는 선행기술문헌에 기재된 바와 같이 컬럼을 일련의 직렬로 연결하여 여러 개, 보통 8개 이상을 사용하여 각 컬럼에서 동일한 분리공정을 수행함으로써 한 개의 컬럼으로 연속적으로 분획하기 힘든 물질들을 분획할 수 있고, 사용된 용매가 재순환됨으로써 그 사용량을 줄일 수 있는 장치이다.
그러나, 종래의 유사이동층 장치는 일반적으로 가압된 상태에서 상온에서부터 200℃의 온도 범위에서 운전되며, SMB 컬럼 안으로 미량의 기체가 원료 주입시 유입될 수 있고, 온도변화 및 압력변화로 인하여 액상으로부터 기체가 발생할 수도 있다.
또한, 이러한 종래의 유사이동층 장치의 운전에서 유체 흐름을 개폐하는 밸브의 성능은 매우 중요한 요소로서, 순환시간에 따른 밸브의 스위칭으로 인해 컬럼 사이의 압력이 교란될 수 있다.
특히, 종래의 유사이동층 장치에서 유체 흐름 내의 미량의 기체로 인하여, 이러한 압력 교란은 더욱 증폭될 수 있고, 일정한 유량 공급을 어렵게 하는 문제를 발생시킬 수 있다.
따라서, 컬럼사이에 구비된 흐름관에서 발생하는 압력 불균형을 최소화하고, 밸브 스위치에 따른 압력 교란을 감소하기 위하여, 유사이동층 분리장치 내에 순환하는 유체 흐름에 존재하는 미량의 기체를 제거해 주는 것이 필요하다.
비특허문헌 1: Kusters E.,Gerber, G., Antia, F. D. Chromatographia vol. 40, No. 7/8, pp 387-393, 1995
본 발명은 상기 문제점을 해소하기 위하여 안출된 것으로, 본 발명의 목적은 컬럼 사이에 구비된 흐름관 내에서 발생하는 압력 불균형을 최소화하고, 밸브 스위치에 따른 압력 교란을 감소시키기 위하여, 장치 내에 순환하는 유체 흐름에 존재하는 미량의 기체를 제거하는 유사이동층 장치 및 이를 위한 탈기 방법을 제공하는 데 있다.
본 발명의 일실시예에 따른 유사이동층 장치는 다수의 흡착 컬럼; 및 상기 흡착 컬럼 사이에 연결 구비된 연결 구조체;를 포함한다.
본 발명의 일실시예에 따른 유사이동층 장치에서 상기 연결 구조체는 상기 흡착 컬럼 사이에 연결된 적어도 하나의 탈기용 연결튜브; 상기 탈기용 연결튜브의 일부 또는 전체를 감싸는 연결관; 및 상기 연결관의 적어도 일측에 구비된 흡입 포트;를 포함하는 것을 특징으로 한다.
본 발명의 일실시예에 따른 유사이동층 장치에서 상기 탈기용 연결튜브는 폴리테트라플루오로에틸렌(PTFE), 테트라 플루오로 에틸렌-퍼플루오로알킬 비닐 에테르 공중합체(PFA), 테트라 플루오로 에틸렌-헥사플루오로 프로필렌 공중합체(FEP), 에틸렌-테트라 플루오로 에틸렌 공중합체(ETFE), 및 폴리 클로로트리 플루오로 에틸렌(PCTFE) 중 어느 하나의 재질로 형성되는 것을 특징으로 한다.
본 발명의 일실시예에 따른 유사이동층 장치에서 상기 탈기용 연결튜브는 5×106(분자ㆍcm/cm2ㆍsecㆍPa)보다 낮은 산소 투과 계수를 갖는 PFA로 형성된 튜브인 것을 특징으로 한다.
또는, 본 발명의 다른 실시예에 따른 유사이동층 장치의 탈기 방법은 (A) 다수의 흡착 컬럼을 포함한 유사이동층 장치를 동작하는 단계; 및 (B) 상기 다수의 흡착 컬럼 사이에 연결 구비된 연결 구조체를 이용하여 탈기 모드를 수행하는 단계;를 포함한다.
본 발명의 다른 실시예에 따른 유사이동층 장치의 탈기 방법은 상기 (B) 단계에서 상기 연결 구조체가 상기 흡착 컬럼 사이에 연결된 적어도 하나의 탈기용 연결튜브; 상기 탈기용 연결튜브의 일부 또는 전체를 감싸는 연결관; 및 상기 연결관의 적어도 일측에 구비된 흡입 포트;를 포함하고, 상기 흡입 포트를 통해 상기 연결관 내부를 진공 상태로 압력을 낮추는 것을 특징으로 한다.
본 발명의 다른 실시예에 따른 유사이동층 장치의 탈기 방법은 상기 (B) 단계에서 상기 탈기 모드가 상기 연결관 내부의 진공도를 조절하여, 상기 탈기용 연결튜브를 흐르는 유체 흐름에 존재하는 기체를 탈기 배출하는 것을 특징으로 한다.
본 발명의 다른 실시예에 따른 유사이동층 장치의 탈기 방법은 상기 탈기용 연결튜브를 폴리테트라플루오로에틸렌(PTFE), 테트라 플루오로 에틸렌-퍼플루오로알킬 비닐 에테르 공중합체(PFA), 테트라 플루오로 에틸렌-헥사플루오로 프로필렌 공중합체(FEP), 에틸렌-테트라 플루오로 에틸렌 공중합체(ETFE), 및 폴리 클로로트리 플루오로 에틸렌(PCTFE) 중 어느 하나의 재질로 형성하는 것을 특징으로 한다.
본 발명의 다른 실시예에 따른 유사이동층 장치의 탈기 방법에서 상기 탈기용 연결튜브가 5×106(분자ㆍcm/cm2ㆍsecㆍPa)보다 낮은 산소 투과 계수를 갖는 PFA로 형성된 튜브인 것을 특징으로 한다.
본 발명의 특징 및 이점들은 첨부도면에 의거한 다음의 상세한 설명으로 더욱 명백해질 것이다.
이에 앞서, 본 명세서 및 청구범위에 사용된 용어나 단어는 통상적이고, 사전적인 의미로 해석되어서는 아니 되며, 발명자가 그 자신의 발명을 가장 최선의 방법으로 설명하기 위해 용어의 개념을 적절하게 정의할 수 있다는 원칙에 입각하여 본 발명의 기술적 사상에 부합되는 의미와 개념으로 해석되어야만 한다.
본 발명의 실시예에 따른 유사이동층 장치는 연결 구조체를 통해 탈기 기능을 수행하여, 흐름 구역별 압력 불균형을 최소화하고 밸브 스위치에 따른 압력 교란을 감소시켜, 장치 내의 차압을 완충하며 유량을 용이하게 조절할 수 있는 효과가 있다.
본 발명의 실시예에 따른 유사이동층 장치의 탈기 방법은 연결 구조체를 이용한 탈기 모드를 통해, 흐름 구역별 압력 불균형을 최소화하고 밸브 스위치에 따른 압력 교란을 감소시켜, 장치 내의 차압을 완충하며 유량을 용이하게 조절할 수 있는 효과가 있다.
도 1은 본 발명의 일실시예에 따른 유사이동층 장치의 구성도.
도 2는 본 발명의 일실시예에 따른 유사이동층 장치에 구비된 연결 구조체의 분해 사시도.
도 3은 도 2에 도시된 연결 구조체의 단면 예시도.
본 발명의 목적, 특정한 장점들 및 신규한 특징들은 첨부된 도면들과 연관되는 이하의 상세한 설명과 바람직한 실시예로부터 더욱 명백해질 것이다. 본 명세서에서 각 도면의 구성요소들에 참조번호를 부가함에 있어서, 동일한 구성 요소들에 한해서는 비록 다른 도면상에 표시되더라도 가능한 한 동일한 번호를 가지도록 하고 있음에 유의하여야 한다. 또한, 제1, 제2 등의 용어는 다양한 구성요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 상기 구성요소들은 상기 용어들에 의해 한정되어서는 안 된다. 상기 용어들은 하나의 구성요소를 다른 구성요소로부터 구별하는 목적으로만 사용된다. 또한, 본 발명을 설명함에 있어서, 관련된 공지 기술에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 불필요하게 흐릴 수 있다고 판단되는 경우 그 상세한 설명은 생략한다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 상세히 설명하기로 한다. 도 1은 본 발명의 일실시예에 따른 유사이동층 장치의 구성도이고, 도 2는 본 발명의 일실시예에 따른 유사이동층 장치에 구비된 연결 구조체의 분해 사시도이며, 도 3은 도 2에 도시된 연결 구조체의 단면 예시도이다.
본 발명의 일실시예에 따른 유사이동층 장치(100)는 도 1에 도시된 바와 같이 예컨대, 2개의 유입 포트와 2개의 배출 포트에 의해 탈착(desorbent) 구역, 정제(extract) 구역, 흡착(feed) 구역 및 완충(raffinate) 구역의 4 구역으로 구분된다.
본 발명의 일실시예에 따른 유사이동층 장치(100)는 각각의 구역마다 고정층의 흡착 컬럼이 2개씩 배치되어 총 8개의 흡착 컬럼(101~108)을 구비하고, 각 구역에 구비된 흡착 컬럼과 흡착 컬럼 사이의 유체 흐름에 존재하는 미량의 기체를 제거하는 연결 구조체(110)를 이용하여 연결하며, 4개 구역의 유량이 정해진 순환 주기로 유동상으로 흐르면서 이동층(moving bed)처럼 동작할 수 있다.
이러한 본 발명의 일실시예에 따른 유사이동층 장치(100)는 예를 들어 로터리 밸브 등과 같은 밸브를 통해 일정한 스위칭 타임(switching time) 간격을 주어 주기적으로 각각의 유체 흐름을 이웃한 라인으로 이동시켜 줌으로써 연속 공정과 유사한 효과를 얻을 수 있다.
따라서, 흡착 구역의 유입 포트(105-1)를 통해 주입된 물질 중 흡착력이 약한 물질은 이동상을 따라 완충 구역의 유출 포트(107-1)로 나오게 되며, 흡착력이 강한 물질은 흡착 컬럼(101~108) 내에서 흡착제에 흡착되어 일정시간의 스위칭에 따라 상대적으로 칼럼이 움직이게 되어 정제 구역의 유출 포트(103-1)로 배출될 수 있다.
연결 구조체(110)는 도 2에 도시된 바와 같이 흡착 컬럼(101~108) 사이에 연결된 적어도 하나의 탈기용 연결튜브(111), 탈기용 연결튜브(111)의 일부 또는 전체를 감싸는 연결관(112) 및 연결관(112)의 적어도 일측에 구비된 제 1 및 제 2 흡입 포트(115,116)를 포함한다.
이때, 연결관(112)은 양단부에 탈기용 연결튜브(111)에 맞물리면서 흡착 컬럼(101~108) 각각에 결합 장착되는 연결단(113,114)을 구비할 수 있다.
구체적으로, 탈기용 연결튜브(111)는 예를 들어 폴리테트라플루오로에틸렌(PTFE), 테트라 플루오로 에틸렌-퍼플루오로알킬 비닐 에테르 공중합체(PFA), 테트라 플루오로 에틸렌-헥사플루오로 프로필렌 공중합체(FEP), 에틸렌-테트라 플루오로 에틸렌 공중합체(ETFE), 및 폴리 클로로트리 플루오로 에틸렌(PCTFE) 중 어느 하나의 재질로 형성될 수 있고, 바람직하게 내구성과 탈기 효율성을 위해 PFA로 형성될 수 있다.
특히, 탈기용 연결튜브(111)는 예컨대, 5×106(분자ㆍcm/cm2ㆍsecㆍPa) 미만의 산소 투과 계수를 갖는 PFA의 튜브를 이용할 수 있다.
이러한 연결 구조체(110)는 8개의 흡착 컬럼(101~108) 전체 또는 일부 사이에 연결될 수 있고, 흡입 펌프에 연결된 제 1 흡입 포트(115)와 제 2 흡입 포트(116)를 통해 내부의 압력을 낮게 형성하여, 탈기용 연결튜브(111)에 흐르는 유체로부터 미량 가스를 제거하는 탈기 기능을 수행한다. 여기서, 연결 구조체(110)는 2개의 흡입 포트, 제 1 흡입 포트(115)와 제 2 흡입 포트(116)를 구비하지만, 이에 한정되지 않고 1개의 흡입 포트 또는 길이 방향을 따라 일정 간격으로 다수의 흡입 포트를 구비할 수 있다.
이때, 연결 구조체(110)의 탈기 속도(degas flux)는 탈기용 연결튜브(111) 내에 흐르는 유체의 압력과 연결 구조체(110)에 걸리는 진공압력의 차이에 따라 결정된다. 즉, 탈기 속도(J[cm3/m2/s])는 아래의 [수학식 1]에 기재된 바와 같이 탈기용 연결튜브(111) 내외의 압력차(△P=(Pin - Pout)[atm]), 탈기용 연결튜브(111)의 두께(△x[m]), 및 탈기용 연결튜브(111)의 투과계수(π[cm3/m/s/atm])에 의해 구할 수 있다.
Figure pat00001
예를 들어, PFA로 형성된 1/4인치 두께의 탈기용 연결튜브(111)에 대한 산소의 탈기속도는 아래의 [표 1]에서 정리된다. 여기서, 산소의 투과계수는 Dupont 사의 PFA 튜브에 대해 상온에서 측정된 평균값이고, 1/4인치 튜브 두께는 세계적으로 표준화되어 사용되는 값이며, 탈기용 연결튜브(111)의 내부는 10기압, 탈기용 연결튜브(111) 외부의 진공압력은 0.5 기압이므로 압력차는 9.5 atm 이다.
산소기체 투과계수(π) 압력차 (△P) 튜브두께 (△x) 탈기속도(J)
단위 cm3/m/s/atm atm m cm3/m2/s
값 3.42×0-6 9.5 1.59×0-3 0.0205
이러한 PFA로 형성된 1/4인치 두께의 탈기용 연결튜브(111)를 5cm 길이로 구비하여 사용할 경우, 겉면적은 9.975×0-4 m2 이므로, 탈기 부피 유속은 1.22×0-3 cm3/min 이다. 따라서, 이러한 부피 유속으로 10분 동안 탈기할 경우, 탈기 부피는 1.22×10-2 cm3 이다.
이때, 탈기용 연결튜브(111)의 축방향 유체 흐름에 따른 압력차(△P)는 층류(Laminar flow)에 대하여 [수학식 2]와 같이 표시된다.
Figure pat00002
여기서, △P[atm]는 탈기용 연결튜브(111) 내에서의 축방향 압력차, L[m] 은 탈기용 연결튜브(111)의 길이, μ[atm·s] 는 점도, u[m/s]는 유체의 흐름 속도, d[m] 는 탈기용 연결튜브(111)의 직경이다.
특히, 탈기용 연결튜브(111) 내에 흐르는 유체에서 기체가 발생한다면, 탈기용 연결튜브(111) 내에 유체가 흐를 수 있는 부피가 감소한다. 이러한 특징을 고려하여, 탈기용 연결튜브(111) 내의 전체 부피에 대해 기체의 부피를 제외한 부피 비율을 ε(0<ε<1)라고 하면, [수학식 2]는 아래와 같이 [수학식 3]으로 변형된다.
Figure pat00003
이러한 [수학식 3]에 따라 10분 동안의 탈기 부피에 해당하는 기체가 5cm 길이의 1/4인치 탈기용 연결튜브(111) 내에 존재할 경우, ε= 0.992 로서 약 1% 정도의 차압이 감소한다. 즉, 기체가 발생하여 기포가 존재하는 구역의 차압은 기포가 존재하지 않는 구역보다 차압이 감소하고, 흐름 구역별 압력의 변동이 유발된다.
이에 따라, 본 발명의 일실시예에 따른 유사이동층 장치(100)는 이러한 기체 발생에 따른 차압 변동성을 해소하기 위해, 연결 구조체(110)를 이용한 탈기를 수행하여 차압완충효과를 획득할 수 있다.
따라서, 본 발명의 일실시예에 따른 유사이동층 장치(100)는 연결 구조체(110)를 통해 탈기 기능을 수행하여, 흐름 구역별 압력 불균형을 최소화하고 밸브 스위치에 따른 압력 교란을 감소시켜, 장치 내의 차압을 완충하며 유량을 용이하게 조절할 수 있다.
이하, 본 발명의 일실시예에 따른 유사이동층 장치(100)의 탈기 방법에 대해 구체적으로 설명한다.
본 발명의 일실시예에 따른 유사이동층 장치(100)의 탈기 방법은 흡착 컬럼(101~108) 내에 순환하는 유체에서 미량 기체를 제거하는 탈기 방법으로, 흡착 컬럼(101~108) 사이의 압력 불균형을 최소화하고, 밸브 스위치에 따른 압력 교란을 감소시키기 위한 방법이다.
구체적으로, 본 발명의 일실시예에 따른 유사이동층 장치(100)의 탈기 방법은 먼저 본 발명의 일실시예에 따른 유사이동층 장치(100)를 동작시킨다.
이후, 흡착 컬럼(101~108) 내에 순환하는 유체에서 미량 기체를 제거하기 위해 연결 구조체(110)를 이용한 탈기 모드를 수행한다.
구체적으로, 연결 구조체(110)를 이용한 탈기 모드는 도 3에 도시된 바와 같이 흡착 컬럼(101~108) 사이에 연결된 연결 구조체(110) 내에 구비된 탈기용 연결튜브(111)에 흐르는 유체로부터 기체를 탈기시켜 배출하는 과정으로, 제 1 흡입 포트(115)와 제 2 흡입 포트(116)를 통해 연결관(112)의 내부 기압을 낮춰 진공상태로 형성한다.
일반적으로 유사이동층 장치(100)는 10 기압 이상에서 운전되므로, 탈기용 연결튜브(111)를 PFA로 형성하여 예를 들어, 5×106(분자ㆍcm/cm2ㆍsecㆍPa) 미만의 산소 투과 계수를 갖고 3기압 이상에서 탈기 배출 능력을 갖는 PFA의 특징을 이용할 수 있다. 물론, 탈기용 연결튜브(111)는 PFA 이외에 탈기 배출 능력을 갖는 합성수지로서, 예를 들어 폴리테트라플루오로에틸렌(PTFE), 테트라 플루오로 에틸렌-헥사플루오로 프로필렌 공중합체(FEP), 에틸렌-테트라 플루오로 에틸렌 공중합체(ETFE), 및 폴리 클로로트리 플루오로 에틸렌(PCTFE) 중 어느 하나의 재질을 이용할 수 있다.
이때, 흡입 펌프에 연결된 제 1 흡입 포트(115)와 제 2 흡입 포트(116)를 통해 연결관(112) 내부의 기압을 낮춰 진공도를 조절 형성하고, 조절 형성된 진공도에 따라 탈기용 연결튜브(111)로부터 탈기되는 기체의 탈기량을 조절할 수 있다.
이러한 연결 구조체(110)를 이용한 탈기 모드는 연결관(112)에 걸리는 진공도를 조절하여, 탈기 속도 및 탈기 정도를 조정할 수 있다.
따라서, 본 발명의 일실시예에 따른 유사이동층 장치(100)의 탈기 방법은 연결 구조체(110)를 이용한 탈기 모드를 통해, 컬럼(101~108) 사이의 압력 불균형을 최소화하고 밸브 스위치에 따른 압력 교란을 감소시켜, 장치 내의 차압을 완충하며 유량을 용이하게 조절할 수 있다.
본 발명의 기술사상은 상기 바람직한 실시예에 따라 구체적으로 기술되었으나, 전술한 실시예들은 그 설명을 위한 것이며, 그 제한을 위한 것이 아님을 주의하여야 한다.
또한, 본 발명의 기술분야의 통상의 전문가라면 본 발명의 기술사상의 범위 내에서 다양한 실시가 가능함을 이해할 수 있을 것이다.
100: 유사이동층 장치 101~108: 컬럼
110: 연결 구조체 111: 탈기용 연결튜브
112: 연결관 113,114: 연결단
115: 제 1 흡입 포트 116: 제 2 흡입 포트

Claims (9)

  1. 다수의 흡착 컬럼; 및
    상기 흡착 컬럼 사이에 연결 구비된 연결 구조체;
    를 포함하는 유사이동층 장치.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 연결 구조체는
    상기 흡착 컬럼 사이에 연결된 적어도 하나의 탈기용 연결튜브;
    상기 탈기용 연결튜브의 일부 또는 전체를 감싸는 연결관; 및
    상기 연결관의 적어도 일측에 구비된 흡입 포트;
    를 포함하는 것을 특징으로 하는 유사이동층 장치.
  3. 제 2 항에 있어서,
    상기 탈기용 연결튜브는
    폴리테트라플루오로에틸렌(PTFE), 테트라 플루오로 에틸렌-퍼플루오로알킬 비닐 에테르 공중합체(PFA), 테트라 플루오로 에틸렌-헥사플루오로 프로필렌 공중합체(FEP), 에틸렌-테트라 플루오로 에틸렌 공중합체(ETFE), 및 폴리 클로로트리 플루오로 에틸렌(PCTFE) 중 어느 하나의 재질로 형성되는 것을 특징으로 하는 유사이동층 장치.
  4. 제 2 항에 있어서,
    상기 탈기용 연결튜브는
    5×106(분자ㆍcm/cm2ㆍsecㆍPa)보다 낮은 산소 투과 계수를 갖는 PFA로 형성된 튜브인 것을 특징으로 하는 유사이동층 장치.
  5. (A) 다수의 흡착 컬럼을 포함한 유사이동층 장치를 동작하는 단계; 및
    (B) 상기 다수의 흡착 컬럼 사이에 연결 구비된 연결 구조체를 이용하여 탈기 모드를 수행하는 단계;
    를 포함하는 유사이동층 장치의 탈기 방법.
  6. 제 5 항에 있어서,
    상기 (B) 단계에서
    상기 연결 구조체는 상기 흡착 컬럼 사이에 연결된 적어도 하나의 탈기용 연결튜브; 상기 탈기용 연결튜브의 일부 또는 전체를 감싸는 연결관; 및 상기 연결관의 적어도 일측에 구비된 흡입 포트;를 포함하고,
    상기 흡입 포트를 통해 상기 연결관 내부를 진공 상태로 압력을 낮추는 것을 특징으로 하는 유사이동층 장치의 탈기 방법.
  7. 제 6 항에 있어서,
    상기 (B) 단계에서 상기 탈기 모드는 상기 연결관 내부의 진공도를 조절하여, 상기 탈기용 연결튜브를 흐르는 유체 흐름에 존재하는 기체를 탈기 배출하는 것을 특징으로 하는 유사이동층 장치의 탈기 방법.
  8. 제 6 항에 있어서,
    상기 탈기용 연결튜브는
    폴리테트라플루오로에틸렌(PTFE), 테트라 플루오로 에틸렌-퍼플루오로알킬 비닐 에테르 공중합체(PFA), 테트라 플루오로 에틸렌-헥사플루오로 프로필렌 공중합체(FEP), 에틸렌-테트라 플루오로 에틸렌 공중합체(ETFE), 및 폴리 클로로트리 플루오로 에틸렌(PCTFE) 중 어느 하나의 재질로 형성되는 것을 특징으로 하는 유사이동층 장치의 탈기 방법.
  9. 제 6 항에 있어서,
    상기 탈기용 연결튜브는 5×106(분자ㆍcm/cm2ㆍsecㆍPa)보다 낮은 산소 투과 계수를 갖는 PFA로 형성된 튜브인 것을 특징으로 하는 유사이동층 장치의 탈기 방법.
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