KR20150103018A - Light source device - Google Patents

Light source device Download PDF

Info

Publication number
KR20150103018A
KR20150103018A KR1020157017455A KR20157017455A KR20150103018A KR 20150103018 A KR20150103018 A KR 20150103018A KR 1020157017455 A KR1020157017455 A KR 1020157017455A KR 20157017455 A KR20157017455 A KR 20157017455A KR 20150103018 A KR20150103018 A KR 20150103018A
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
light
plate
housing
opening
shutter
Prior art date
Application number
KR1020157017455A
Other languages
Korean (ko)
Other versions
KR101617304B1 (en
Inventor
카츠미 아시다
Original Assignee
호야 칸데오 옵트로닉스 가부시키가이샤
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 호야 칸데오 옵트로닉스 가부시키가이샤 filed Critical 호야 칸데오 옵트로닉스 가부시키가이샤
Publication of KR20150103018A publication Critical patent/KR20150103018A/en
Application granted granted Critical
Publication of KR101617304B1 publication Critical patent/KR101617304B1/en

Links

Images

Classifications

    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F21—LIGHTING
    • F21S—NON-PORTABLE LIGHTING DEVICES; SYSTEMS THEREOF; VEHICLE LIGHTING DEVICES SPECIALLY ADAPTED FOR VEHICLE EXTERIORS
    • F21S2/00—Systems of lighting devices, not provided for in main groups F21S4/00 - F21S10/00 or F21S19/00, e.g. of modular construction
    • F21S2/005—Systems of lighting devices, not provided for in main groups F21S4/00 - F21S10/00 or F21S19/00, e.g. of modular construction of modular construction
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F21—LIGHTING
    • F21V—FUNCTIONAL FEATURES OR DETAILS OF LIGHTING DEVICES OR SYSTEMS THEREOF; STRUCTURAL COMBINATIONS OF LIGHTING DEVICES WITH OTHER ARTICLES, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • F21V11/00—Screens not covered by groups F21V1/00, F21V3/00, F21V7/00 or F21V9/00
    • F21V11/16—Screens not covered by groups F21V1/00, F21V3/00, F21V7/00 or F21V9/00 using sheets without apertures, e.g. fixed
    • F21V11/18—Screens not covered by groups F21V1/00, F21V3/00, F21V7/00 or F21V9/00 using sheets without apertures, e.g. fixed movable, e.g. flaps, slides
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F21—LIGHTING
    • F21V—FUNCTIONAL FEATURES OR DETAILS OF LIGHTING DEVICES OR SYSTEMS THEREOF; STRUCTURAL COMBINATIONS OF LIGHTING DEVICES WITH OTHER ARTICLES, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • F21V11/00—Screens not covered by groups F21V1/00, F21V3/00, F21V7/00 or F21V9/00
    • F21V11/08—Screens not covered by groups F21V1/00, F21V3/00, F21V7/00 or F21V9/00 using diaphragms containing one or more apertures
    • F21V11/10—Screens not covered by groups F21V1/00, F21V3/00, F21V7/00 or F21V9/00 using diaphragms containing one or more apertures of iris type
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F21—LIGHTING
    • F21V—FUNCTIONAL FEATURES OR DETAILS OF LIGHTING DEVICES OR SYSTEMS THEREOF; STRUCTURAL COMBINATIONS OF LIGHTING DEVICES WITH OTHER ARTICLES, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • F21V7/00—Reflectors for light sources
    • F21V7/04—Optical design
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F21—LIGHTING
    • F21V—FUNCTIONAL FEATURES OR DETAILS OF LIGHTING DEVICES OR SYSTEMS THEREOF; STRUCTURAL COMBINATIONS OF LIGHTING DEVICES WITH OTHER ARTICLES, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • F21V14/00—Controlling the distribution of the light emitted by adjustment of elements
    • F21V14/08—Controlling the distribution of the light emitted by adjustment of elements by movement of the screens or filters

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Non-Portable Lighting Devices Or Systems Thereof (AREA)
  • Exposure And Positioning Against Photoresist Photosensitive Materials (AREA)
  • Coating Apparatus (AREA)

Abstract

광원 장치가, 방전 램프와, 방전 램프로부터 방사되는 광을 반사하는 타원 미러와, 방전 램프와 타원 미러를 수용하고, 전면 패널에 광을 출사하는 출사구가 마련되는 상자형의 광체와, 광의 광량을 제어하는 조리개 기구와, 조리개 기구를 통과하는 광의 출사와 차단을 제어하는 셔터 기구와, 셔터 기구와 조리개 기구를 지지하는 대략 상자형의 케이스 부재를 가지는 광량 조정 유닛을 구비하고, 광체의 일측면 패널은, 광량 조정 유닛을 삽입 가능한 부착 개구부를 가지고, 케이스 부재는, 광량 조정 유닛의 삽입 방향 후단에, 부착 개구부를 복개 가능한 덮개체를 가지고, 광량 조정 유닛은, 부착 개구부로부터 광체 내에 삽입되고, 덮개체가 부착 개구부를 덮도록, 광체의 일측면 패널에 부착되는 것을 특징으로 한다.A light source device includes a discharge lamp, an elliptical mirror which reflects light emitted from the discharge lamp, a box-shaped optical body in which an exit port for receiving the discharge lamp and the elliptical mirror and emitting light to the front panel is provided, And a light amount adjusting unit having a shutter mechanism for controlling emission and interruption of light passing through the diaphragm mechanism and a substantially box-shaped case member for supporting the shutter mechanism and the diaphragm mechanism, Wherein the panel has a mounting opening through which the light amount adjusting unit can be inserted and the case member has a lid capable of covering the mounting opening at the rear end of the light amount adjusting unit in the inserting direction, And the cover body is attached to one side panel of the housing body so as to cover the attachment opening.

Description

광원 장치{Light source device}Light source device

본 발명은, 방전 램프를 구비한 광원 장치에 관한 것으로, 특히 방전 램프로부터 조사되는 광의 광로 상에 조리개 및 셔터를 구비한 광원 장치에 관한 것이다.The present invention relates to a light source device having a discharge lamp, and more particularly to a light source device having a diaphragm and a shutter on an optical path of light emitted from a discharge lamp.

종래부터, 광학부품의 접착, 도료나 접착제의 경화, 반도체 제조의 웨이퍼 주변 노광 등을 행하기 위하여, 방전 램프를 광원으로서 구비한 광원 장치가 사용되고 있다. 이 종류의 방전 램프는, 예를 들면, 크세논 램프에서는 Xe가스, 초고압수은 램프에서는 수은, 메탈할라이드 램프에서는 수은과 금속 할로겐화물을 발광시키는 방전 램프며, 발광관의 직경에 비해 짧은 아크, 즉 짧은 전극간 거리에서 방전하고, 매우 높은 휘도의 광을 발생한다.BACKGROUND ART [0002] Conventionally, a light source device having a discharge lamp as a light source is used in order to adhere an optical component, cure a paint or an adhesive, or to expose a wafer to the periphery of a semiconductor manufacturing process. This type of discharge lamp is, for example, a discharge lamp that emits Xe gas in a xenon lamp, mercury in an ultra-high pressure mercury lamp, mercury and metal halide in a metal halide lamp, and a short arc Discharge occurs at the distance between the electrodes, and light of very high luminance is generated.

방전 램프로부터 방사된 광은, 반사 미러에 의해 반사, 집광되어 광원 장치의 출사구에 도광되고, 출사구에 접속된 광파이버·번들 등의 도광수단에 의해 외부에 출사된다. 방전 램프로부터 방사된 광의 광량은, 방전 램프와 출사구 사이에 마련된 조리개 기구에 의해 조정된다. 또한, 방전 램프로부터 방사된 광의 온/오프(즉, 광의 출사/차단)는, 방전 램프와 출사구 사이에 마련된 셔터 기구에 의해 제어된다(예를 들면, 특허문헌 1).The light emitted from the discharge lamp is reflected and condensed by the reflection mirror, is guided to the exit port of the light source device, and is emitted to the outside by the light guide means such as an optical fiber bundle or the like connected to the exit port. The amount of light emitted from the discharge lamp is adjusted by a diaphragm mechanism provided between the discharge lamp and the exit aperture. Further, on / off of the light emitted from the discharge lamp is controlled by a shutter mechanism provided between the discharge lamp and the emission aperture (for example, Patent Document 1).

특허문헌 1: 일본특허공개 2000-057816호 공보Patent Document 1: Japanese Unexamined Patent Application Publication No. 2000-057816

일반적으로, 조리개 기구나 셔터 기구는, 로터리 솔레노이드 등의 액추에이터에 의해 구동되는데, 이러한 액추에이터는, 장시간의 사용에 의한 발열이나 진동의 영향, 또한 장시간의 미사용에 의한 그리스의 열화 등의 영향에 의해 해가 갈수록 열화되기 때문에, 정기적으로 교환할 필요가 있다.Generally, the diaphragm mechanism and the shutter mechanism are driven by an actuator such as a rotary solenoid. Such an actuator is influenced by the influence of heat generation or vibration due to prolonged use, deterioration of grease caused by unused for a long time, It is necessary to exchange them regularly.

특허문헌 1에 기재된 광원 장치는, 방전 램프와 출사구 사이에 내상(?箱)을 마련하고, 이 내상의 커버(내상 커버)에, 셔터판이나 셔터 구동부(로터리 솔레노이드) 등으로 구성되는 셔터 기구를 일체적으로 고정하는 구성으로 하고 있다. 그리고, 셔터 기구의 교환시에는, 내상 커버째 교환함으로써, 교환시의 셔터의 위치조정 등, 복잡한 작업을 없애고 있다.The light source device disclosed in Patent Document 1 is provided with an inner box between a discharge lamp and an exit port and a shutter mechanism including a shutter plate or a shutter drive unit (rotary solenoid) Is integrally fixed. When replacing the shutter mechanism, complicated operations such as position adjustment of the shutter at the time of replacement are eliminated by replacing the inner cover for the first time.

그러나, 특허문헌 1에 기재된 광원 장치에 있어서, 셔터 기구를 교환하는 경우에는, (1)하우징의 상면 커버를 분리하거나, (2)내상으로부터 내상 커버를 분리하거나, (3)전기배선(커넥터)을 분리하거나, (4)새로운 내상 커버로 교환하거나, (5)전기배선을 접속하거나, (6)내상에 내상 커버를 부착하거나, (7)하우징에 상면 커버를 부착하는 것과 같은 일련의 작업이 필요하게 되어, 셔터 기구의 교환시에 발생하는 다운 타임(비가동시간)은 여전히 단축되지 않는다고 하는 문제가 있었다.However, in the light source device described in Patent Document 1, when replacing the shutter mechanism, (1) removing the top cover of the housing, (2) separating the inner cover from the inner surface, and (3) A series of operations such as (4) replacing with a new internal cover, (5) connecting electrical wiring, (6) attaching an internal top cover on the inside, or (7) There is a problem that the downtime (downtime) occurring at the time of replacement of the shutter mechanism is not shortened.

본 발명은, 이러한 사정을 감안하여 이루어진 것이며, 셔터 기구나 조리개 기구의 교환을 용이하게 행할 수 있고, 다운 타임을 단축하는 것이 가능한 광원 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.SUMMARY OF THE INVENTION It is an object of the present invention to provide a light source device capable of easily replacing a shutter mechanism and a diaphragm mechanism and capable of shortening a downtime.

상기한 목적을 달성하기 위하여, 본 발명의 광원 장치는, 방전 램프와, 방전 램프로부터 방사되는 광을 반사하는 타원 미러와, 방전 램프와 타원 미러를 수용하고, 전면 패널에 광을 출사하는 출사구가 마련되는 상자형의 광체와, 광의 광량을 제어하는 조리개 기구와, 조리개 기구를 통과하는 광의 출사와 차단을 제어하는 셔터 기구와, 셔터 기구와 조리개 기구를 지지하는 대략 상자형의 케이스 부재를 가지는 광량 조정 유닛을 구비한다. 광체의 일측면 패널은, 광량 조정 유닛을 삽입 가능한 부착 개구부를 가지고, 케이스 부재는, 광량 조정 유닛의 삽입 방향 후단에, 부착 개구부를 복개(覆蓋) 가능한 덮개체를 가지고, 광량 조정 유닛은, 부착 개구부로부터 광체 내에 삽입되고, 덮개체가 부착 개구부를 덮도록, 광체의 일측면 패널에 부착되는 것을 특징으로 한다.According to an aspect of the present invention, there is provided a light source device including a discharge lamp, an elliptical mirror for reflecting light emitted from the discharge lamp, an outlet port for receiving the discharge lamp and the elliptical mirror, A diaphragm mechanism for controlling the amount of light, a shutter mechanism for controlling the emission and blocking of light passing through the diaphragm mechanism, and a substantially box-shaped case member for supporting the shutter mechanism and the diaphragm mechanism And a light quantity adjusting unit. The one side panel of the housing has a mounting opening into which the light quantity adjusting unit can be inserted and the case member has a cover capable of covering the mounting opening at the rear end of the light quantity adjusting unit in the inserting direction, And is attached to one side panel of the housing body so as to be inserted into the housing body from the opening portion and cover the attachment opening portion.

이러한 구성에 의하면, 광체의 패널을 분리하지 않고, 광량 조정 유닛을 교환할 수 있기 때문에, 다운 타임을 비약적으로 단축하는 것이 가능하게 된다.According to such a configuration, since the light quantity adjusting unit can be replaced without detaching the panel of the optical body, the downtime can be drastically shortened.

또한, 케이스 부재는, 광체의 일측면 패널에 부착되었을 때에, 타원 미러측에 배치되고, 광을 통과시키는 제1 개구부를 가지는 제1 판 형상 부재와, 광체의 측면 패널에 부착되었을 때에, 제1 판 형상 부재와 대향하도록 제1 판 형상 부재와 전면 패널 사이에 배치되고, 광을 통과시키는 제2 개구부를 가지는 제2 판 형상 부재와, 제1 판 형상 부재와 제2 판 형상 부재 사이의 공간을, 제1 개구부와 제2 개구부를 연통시켜 광을 통과시키는 광 투과 영역과, 광을 차광하는 차광 영역으로 구획하는 구획판을 갖도록 구성할 수 있다. 이 경우, 구획판은, 제1 개구부 및 제2 개구부의 주위를 홈통 형상으로 포위하고, 광 투과 영역은, 구획판에 의해 포위된 공간 내에 형성되는 것이 바람직하다. 또한, 이 경우, 구획판에 의해 포위된 공간은, 광의 광로와 직교하는 방향으로 개방되어 있는 것이 바람직하다. 이러한 구성에 의하면, 제1 판 형상 부재와 제2 판 형상 부재 사이의 공간에 광 투과 영역 및 차광 영역을 용이하게 형성할 수 있고, 광에 포함되는 자외선에 의해 열화하는 전기부품 등을 차광 영역 내에 배치하는 것이 가능하게 된다.The case member includes a first plate-like member disposed on the elliptical mirror side when attached to one side panel of the housing and having a first opening for allowing light to pass therethrough; A second plate-shaped member disposed between the first plate-shaped member and the front panel so as to face the plate-shaped member and having a second opening for passing light therethrough, and a second plate-shaped member having a space between the first plate- A light transmitting region through which the first opening and the second opening communicate with each other to allow light to pass therethrough, and a light shielding region for shielding light. In this case, it is preferable that the partition plate surrounds the peripheries of the first and second openings in a trough-like manner, and the light transmitting region is formed in the space surrounded by the partition plate. In this case, it is preferable that the space surrounded by the partition plate is opened in a direction orthogonal to the optical path of light. According to this configuration, it is possible to easily form the light transmitting area and the light shielding area in the space between the first plate-like member and the second plate-like member, and to prevent the electric parts or the like deteriorated by the ultraviolet rays contained in the light from entering the light- It becomes possible to arrange it.

또한, 조리개 기구는, 광의 광로 상에 배치되고, 광의 투과량을 변경하는 조광소자와, 조광소자를 구동시키는 제1 액추에이터를 구비하고, 제1 액추에이터는 차광 영역에 배치되고, 조광소자는 제2 판 형상 부재의 외측에 배치되도록 구성할 수 있다. 이러한 구성에 의하면, 광에 포함되는 자외선에 의해 제1 액추에이터가 열화하는 것을 방지할 수 있다.The diaphragm mechanism includes a light control element disposed on an optical path of the light and changing a light transmission amount and a first actuator for driving the light control element, the first actuator is disposed in the light shielding region, And can be arranged outside the shape member. With this configuration, it is possible to prevent the first actuator from being deteriorated by ultraviolet rays contained in the light.

또한, 조광소자는, 광의 광로를 가로지르도록 배치되는 원반 형상의 회전판과, 회전판의 둘레방향을 따라 개구 면적이 연속하여 변화하도록 형성된 그물 형상개구부를 구비할 수 있다.Further, the light control element may have a disk-like rotary plate disposed so as to cross the light path of the light, and a net-shaped opening portion formed so as to change the opening area continuously along the circumferential direction of the rotary plate.

또한, 조광소자는, 광의 광로를 가로지르도록 배치되는 원반 형상의 회전판과, 회전판의 둘레방향을 따라 광의 투과율이 연속하여 변화하도록 형성된 광학필터부를 구비할 수 있다.The light control element may include a disc-shaped rotary plate disposed to cross the optical path of the light, and an optical filter portion formed so that the transmittance of light continuously changes along the circumferential direction of the rotary plate.

또한, 제1 액추에이터는, 회전판을 회전시키는 모터인 것이 바람직하다.It is preferable that the first actuator is a motor that rotates the rotating plate.

또한, 셔터 기구는, 광의 광로 상에 배치되고, 광을 차광하는 셔터판과, 셔터판을 상기 광의 광로 상에 진퇴 구동하는 제2 액추에이터를 구비하고, 제2 액추에이터는 차광 영역에 배치되고, 셔터판은 제2 판 형상 부재의 외측에 배치되도록 구성할 수 있다. 이러한 구성에 의하면, 광에 포함되는 자외선에 의해 제2 액추에이터가 열화하는 것을 방지할 수 있다.The shutter mechanism includes a shutter plate disposed on an optical path of light for shielding light, and a second actuator for moving the shutter plate forward and backward along the optical path of the light. The second actuator is disposed in the light- And the plate may be arranged outside the second plate-shaped member. According to this configuration, it is possible to prevent the second actuator from being deteriorated by the ultraviolet rays contained in the light.

또한, 조광소자는, 제2 판 형상 부재와 셔터판 사이에 배치되는 것이 바람직하다. 이러한 구성에 의하면, 방전 램프로부터 셔터판까지의 거리가, 조광소자까지의 거리보다도 길어지기 때문에, 광량 조정 유닛으로부터 출사되는 광을 비교적 작은 셔터판으로 차광하는 것이 가능하게 된다.It is preferable that the light control element is disposed between the second plate member and the shutter plate. According to this configuration, since the distance from the discharge lamp to the shutter plate is longer than the distance to the light control element, it is possible to shield the light emitted from the light amount adjusting unit with a relatively small shutter plate.

또한, 광원 장치는, 광체의 외부로부터 공기를 흡기하는 흡기구와, 흡기구로부터 흡기한 공기를 광체의 외부로 배기하는 배기구를 가지고, 차광 영역은, 흡기구로부터 흡기한 공기를 배기구를 향하여 흘리는 유로를 형성하도록 구성할 수 있다. 이 경우, 광량 조정 유닛은, 덮개체와 케이스 부재 사이에 중공부를 형성하도록, 덮개체와 케이스 부재를 연결하는 연결 부재를 구비하고, 중공부는, 차광 영역과 연통하고, 광량 조정 유닛이 광체의 일측면 패널에 부착되었을 때에, 중공부 및 차광 영역이 흡기구로부터 흡기한 공기를 배기구를 향하여 흘리는 유로를 형성하는 것이 바람직하다. 이러한 구성에 의하면, 차광 영역에 배치된 부품을 효율적으로 냉각하는 것이 가능하게 된다.The light source device has an air intake port for air intake from the outside of the housing and an air outlet for exhausting the air sucked from the air inlet to the outside of the housing. The light shielding area forms a flow path for air sucked from the air inlet to the air outlet . In this case, the light amount adjusting unit includes a connecting member for connecting the cover member and the case member so as to form a hollow portion between the cover member and the case member. The hollow portion communicates with the light shielding region, It is preferable that the hollow portion and the light shielding region form a flow path for flowing the air sucked from the suction port toward the exhaust port when attached to the side panel. According to such a configuration, it becomes possible to efficiently cool the components arranged in the light shielding region.

또한, 케이스 부재는, 덮개체와 대향하는 측의 면에, 셔터 기구 및 조리개 기구에 전기적으로 접속된 제1 접속기구를 가지고, 광체는, 상기 광체의 내부에 제1 접속기구와 감합하는 제2 접속기구를 구비하고, 제1 접속기구 또는 제2 접속기구 중 적어도 어느 일방이, 케이스 부재 또는 광체에 대하여, 소정의 여유를 가지고 고정되는 것이 바람직하다. 또한, 이 경우, 제1 접속기구 또는 제2 접속기구 중 적어도 어느 일방이, 어느 타방을 안내하여 상호의 감합을 보조하는 안내 기구를 구비하는 것이 바람직하다. 이러한 구성에 의하면, 광량 조정 유닛의 가공 오차, 조립 오차, 장착 위치 오차 등이 여유에 의해 흡수되기 때문에 광량 조정 유닛이 광체 내에 정확하게 위치 결정된다. 또한, 제1 접속기구와 제2 접속기구의 감합이 유연하고 또한 확실히 행해진다.The case member has a first connecting mechanism electrically connected to the shutter mechanism and the diaphragm mechanism on a surface of the case member opposite to the lid body. The housing body includes a second connecting mechanism It is preferable that at least one of the first connecting mechanism and the second connecting mechanism is fixed with a predetermined clearance to the case member or the housing. In this case, it is preferable that at least one of the first connection mechanism and the second connection mechanism includes a guide mechanism for guiding the other of the first and second connection mechanisms to assure mutual engagement. According to such a configuration, since the processing error, the assembly error, the mounting position error, and the like of the light amount adjusting unit are absorbed by the margin, the light amount adjusting unit is accurately positioned within the housing. Further, the engagement of the first connection mechanism and the second connection mechanism is smooth and reliable.

또한, 광체는, 광량 조정 유닛이 광체 내에 삽입될 때에, 케이스 부재의 삽입을 안내하는 가이드 레일을 갖도록 구성할 수 있다. 이러한 구성에 의하면, 광량 조정 유닛의 삽입이 용이해진다.Further, the optical member may be configured to have a guide rail for guiding the insertion of the case member when the light amount adjusting unit is inserted into the optical member. With this configuration, insertion of the light amount adjusting unit is facilitated.

이상과 같이, 본 발명의 광원 장치에 의하면, 셔터 기구 및 조리개 기구의 교환을 용이하게 행할 수 있고, 광원 장치의 다운 타임을 비약적으로 단축하는 것이 가능하게 된다.As described above, according to the light source apparatus of the present invention, the shutter mechanism and the diaphragm mechanism can be easily exchanged, and the downtime of the light source apparatus can be remarkably shortened.

도 1은, 본 발명의 일실시형태에 따른 광원 장치의 개략 구성도이다.
도 2는, 본 발명의 일실시형태에 따른 광원 장치의 개략 구성을 설명하는 사시도이다.
도 3은, 본 발명의 일실시형태에 따른 광원 장치에 수용되는 액추에이터 유닛의 개략 구성을 설명하는 사시도이다.
도 4는, 도 3에 나타내는 액추에이터 유닛의 분해 사시도이다.
도 5는, 본 발명의 일실시형태에 따른 광원 장치의 내부의 공기의 흐름을 설명하는 도면이다.
도 6은, 도 5의 A-A단면도이다.
도 7은, 도 3에 나타내는 액추에이터 유닛의 변형예를 나타내는 사시도이다.
도 8은, 도 7에 나타내는 액추에이터 유닛의 변형예의 분해 사시도이다.1 is a schematic configuration diagram of a light source device according to an embodiment of the present invention.
2 is a perspective view for explaining a schematic configuration of a light source device according to an embodiment of the present invention.
3 is a perspective view for explaining a schematic structure of an actuator unit accommodated in a light source device according to an embodiment of the present invention.
4 is an exploded perspective view of the actuator unit shown in Fig.
5 is a view for explaining the flow of air inside the light source device according to the embodiment of the present invention.
6 is a sectional view taken along the line AA of Fig.
Fig. 7 is a perspective view showing a modified example of the actuator unit shown in Fig. 3;
8 is an exploded perspective view of a modified example of the actuator unit shown in Fig.

이하, 본 발명의 실시형태에 대하여 도면을 참조하여 상세하게 설명한다. 또한, 도면 중 동일 또는 상당 부분에는 동일한 부호를 부여하고 그 설명은 반복하지 않는다.BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the drawings. In the drawings, the same or equivalent portions are denoted by the same reference numerals, and description thereof is not repeated.

도1은, 본 발명의 일실시형태에 따른 광원 장치(1)의 개략 구성을 설명하는 도면이다. 도1은, 광체(10)의 상면 커버(10f)(도 1에 있어서 도시하지 않음)를 분리했을 때의 상면도이지만, 설명의 편의를 위하여, 일부의 구성(예를 들면, 타원 미러(40) 등)에 대해서는 단면도로 나타내고 있다. 광원 장치(1)는, 감광성 수지를 광경화에 의해 모노머로부터 폴리머에 경화시키는 UV큐어링 등에 있어서 자외광을 공급하는 장치이다. 도 1에 나타낸 바와 같이, 광원 장치(1)는, 각 구성부품을 수용하는 상자형의 광체(10), 방전 램프(30) 및 방전 램프(30)로부터 방사되는 광을 반사하는 타원 미러(40)가 수용된 램프 유닛(14), 타원 미러(40)에 의해 반사된 광(이하, ?떳慈?이라고 함)을 출사하는 출사구(12a)가 형성된 광 커넥터부(12), 타원 미러(40)와 광 커넥터부(12) 사이에 배치되는 액추에이터 유닛(100), 방전 램프(30)나 액추에이터 유닛(100)을 구동 제어하는 제어회로(50)를 구비한다.1 is a view for explaining a schematic configuration of a light source device 1 according to an embodiment of the present invention. 1 is a top view when the top cover 10f (not shown in Fig. 1) of the housing 10 is detached. However, for the sake of convenience of explanation, some constructions (for example, an oval mirror 40 ), Etc.) are shown in cross-sectional views. The light source device 1 is an apparatus for supplying ultraviolet light in UV curing or the like for curing a photosensitive resin from a monomer to a polymer by photo-curing. 1, the light source device 1 includes a box-shaped housing 10 housing the respective components, a discharge lamp 30, and an elliptical mirror 40 for reflecting the light emitted from the discharge lamp 30 An optical connector section 12 in which an output port 12a for emitting light reflected by the elliptical mirror 40 is formed, an elliptical mirror 40 An actuator unit 100 disposed between the optical connector unit 12 and the optical connector unit 12 and a control circuit 50 for driving and controlling the discharge lamp 30 and the actuator unit 100.

광체(10)는, 전면 패널(10a), 배면 패널(10b), 우측면 패널(10c), 좌측면 패널(10d), 바닥판(10e), 상면 커버(10f)(도 1에 있어서 도시하지 않음)를 구비하고 있다. 전면 패널(10a)에는, 출사구(12a)가 광원 장치(1)의 외측을 향하여 개구하도록, 광 커넥터부(12)가 부착되어 있다. 광 커넥터부(12)는, 도시하지 않은 광파이버·번들이 접속되는 원통 형상의 부재이며, 방전 램프(30)로부터 방사되는 조명광은, 광 커넥터부(12)를 통과하여, 광파이버·번들에 의해 도광되어 외부에 출사된다. 또한, 배면 패널(10b)에는, 광체(10)의 외부의 공기를 내부에 흡기하고 또한, 광체(10)의 내부의 공기를 외부로 배기하는 팬 유닛(200)(도 1에 있어서 도시하지 않음)이 부착 가능하게 구성되어 있고(후술), 광체(10)의 내부에는, 광체(10) 내에 도입된 공기의 유로를 구성하고 또한, 방전 램프(30)로부터 방사되는 광이 외부에 누출되지 않도록 차광하는 구획판(15a~15f, 16)이 배설되어 있다. 또한, 본 명세서에 있어서는, 광원 장치(1)로부터 조명광이 출사되는 방향(즉, 광체(10)의 전후 방향)을 X축으로 하고, 전면 패널(10a) 및 배면 패널(10b)의 길이 방향(즉, 광체(10)의 좌우측 방향)을 Y축으로 하고, X축 및 Y축에 직교하는 방향(즉, 광체(10)의 높이 방향)을 Z축으로 하여 설명한다.The housing 10 includes a front panel 10a, a back panel 10b, a right side panel 10c, a left side panel 10d, a bottom plate 10e and a top cover 10f . An optical connector portion 12 is attached to the front panel 10a such that the exit aperture 12a is opened toward the outside of the light source device 1. [ The optical connector section 12 is a cylindrical member to which an optical fiber bundle (not shown) is connected. The illumination light emitted from the discharge lamp 30 passes through the optical connector section 12, And is emitted to the outside. A fan unit 200 (not shown in Fig. 1) for sucking air outside the housing 10 and exhausting the air inside the housing 10 to the outside is provided in the rear panel 10b, (Hereinafter, described later), the inside of the housing 10 constitutes a flow path of the air introduced into the housing 10, and the light emitted from the discharge lamp 30 is prevented from leaking to the outside Shielding partition plates 15a to 15f and 16 are disposed. In the present specification, the direction in which the illumination light is emitted from the light source device 1 (that is, the front-back direction of the optical body 10) is taken as the X-axis and the longitudinal direction of the front panel 10a and the back panel 10b (That is, the left and right directions of the housing 10) is taken as the Y axis and the direction orthogonal to the X and Y axes (i.e., the height direction of the housing 10) is taken as the Z axis.

액추에이터 유닛(100)(광량 조정 유닛)은, 타원 미러(40)로부터 출사되는 광의 광량을 제어하는 조리개 기구(110)와, 타원 미러(40)로부터 출사되는 조명광의 온/오프(즉, 조명광의 출사/차단)를 제어하는 셔터 기구(130)를 일체적으로 구비한 유닛(부품)이다. 본 실시형태의 액추에이터 유닛(100)은, 일종의 교환 부품으로서 구성되어 있고, 광체(10)의 좌측면 패널(10d)에 형성된 개구부(10da)를 통과하여 광체(10)에 삽발(揷拔) 가능하도록(즉, 좌측면 패널(10d)에 대하여 Y축 방향으로 착탈 가능하도록) 구성되어 있다. 그리고, 액추에이터 유닛(100)은, 광체(10)에 장착되었을 때, 광체(40) 내의 커넥터(18)에 접속되고, 타원 미러(40)와 출사구(12a) 사이에 배치된다. 커넥터(18)(제2 접속기구)는, 액추에이터 유닛(100)에 마련된 커넥터(103)(제1 접속기구)와 접속되는 커넥터이다.The actuator unit 100 includes a diaphragm mechanism 110 for controlling the amount of light emitted from the elliptical mirror 40 and a diaphragm 110 for on / off of the illumination light emitted from the elliptical mirror 40 (A component) that integrally includes a shutter mechanism 130 that controls shutter release / interruption. The actuator unit 100 of the present embodiment is configured as a kind of replacement part and is capable of being pulled out to the housing 10 through the opening 10da formed in the left side panel 10d of the housing 10 (That is, removable in the Y-axis direction with respect to the left side panel 10d). The actuator unit 100 is connected to the connector 18 in the housing 40 and is disposed between the elliptical mirror 40 and the exit aperture 12a when the actuator unit 100 is mounted on the housing 10. The connector 18 (second connection mechanism) is a connector connected to the connector 103 (first connection mechanism) provided in the actuator unit 100. [

도 2는, 본 실시형태의 광원 장치(1)의 개략 구성을 설명하는 사시도이다. 도 2에 있어서는, 광체(10)의 상면 커버(10f)를 파단하여, 장치 내부의 개략 구성을 나타내고 있다. 또한, 도 2에 있어서는, 도면을 명료하게 하기 위하여, 내부의 전기배선 등, 일부 구성을 생략하고 나타내고 있다.2 is a perspective view for explaining a schematic configuration of the light source device 1 of the present embodiment. 2, the top cover 10f of the housing 10 is broken to show a schematic structure inside the apparatus. In Fig. 2, for clarification of the drawings, a part of the internal electrical wiring or the like is omitted.

도 1 및 도 2에 나타낸 바와 같이, 광원 장치(1)에는, 구획판(16)을 끼우고 좌측(즉, 좌측면 패널(10d)측)에 램프 유닛(14)이 배치되고, 우측(즉, 우측면 패널(10c)측)에 구동회로(50)가 배치되어 있다. 구동회로(50)는, 배면 패널(10b)에 부착된 AC인렛(51)으로부터 공급되는 상용전원에 의해 동작하고, 방전 램프(30), 액추에이터 유닛(100) 등의 각 구성부품과 전기적으로 접속되고, 이들의 구성부품에 전원을 공급하고 또한, 제어신호를 송수신한다. 또한, 본 실시형태에 있어서는, 구동회로(50)와 액추에이터 유닛(100)은, 커넥터(18)를 개재하여 접속되도록 되어 있고, 후술하는 액추에이터(100)의 모터(114), 로터리 솔레노이드(134) 등에는(도 4), 커넥터(18)를 개재하여 전원이 공급되고 또한, 제어신호가 송수신된다.As shown in Figs. 1 and 2, the lamp unit 14 is disposed on the left side (i.e., on the left side panel 10d side) of the light source device 1 with the partition plate 16 interposed therebetween, And the right side panel 10c side), the driving circuit 50 is disposed. The drive circuit 50 is operated by a commercial power source supplied from the AC inlet 51 attached to the rear panel 10b and is electrically connected to components such as the discharge lamp 30 and the actuator unit 100 And supplies power to these components and also transmits and receives control signals. The driving circuit 50 and the actuator unit 100 are connected to each other via the connector 18. The motor 114 of the actuator 100 and the rotary solenoid 134 of the actuator 100, (Fig. 4), power is supplied via the connector 18, and control signals are transmitted and received.

램프 유닛(14)은, 방전 램프(30) 및 타원 미러(40)를 수용하는 케이스이며, 전면 패널(14a), 배면 패널(14b), 우측면 패널(14c), 좌측면 패널(14d)을 구비하고 있다(도 1). 램프 유닛(14)의 전면 패널(14a)과 광체(10)의 전면 패널(10a)은, 광 커넥터부(12)를 개재하여 접속되어 있고, 램프 유닛(14)으로부터의 조명광이, 광 커넥터부(12)의 출사구(12a)로부터 출사되도록 되어 있다. 방전 램프(30)는, 자외광 투과성이나 내열성이 우수한 석영유리 등을 이용하여 형성된 발광관을 구비한 시판의 램프다. 방전 램프(30)는, 선단측(X축 방향 정측)으로 양극측의 꼭지쇠(31)가 부착되고, 기단측(X축 방향 부측)에 음극측의 꼭지쇠(32)(고정용 꼭지쇠)가 부착되어 있다. 배면 패널(14b)에는, 꼭지쇠(32)를 클 램프하는 클 램프 부재(도시하지 않음)가 노출되어 있고, 방전 램프(30)는, 꼭지쇠(32)를 클 램프 부재에 클 램프함으로써 램프 유닛(14) 내에 위치 결정되어 고정된다. 방전 램프(30)가 램프 유닛(14)에 장착되면, 방전 램프(30)의 아크 휘점의 위치가 타원 미러(40)의 제1 초점의 위치와 일치하도록 되어 있다. 그리고, 광원 장치(1)의 전원을 온하면, 구동회로(50)에 의해, 꼭지쇠(31)와 꼭지쇠(32) 사이(즉, 양극과 음극 사이)에 고전압이 인가된다. 그 결과, 양극과 음극 간에 절연파괴가 발생하고, 아크방전이 개시된다. 아크방전이 개시되면, 구동회로(50)는, 아크방전을 유지하도록 전류를 공급한다. 이 때문에, 방전 램프(30)가 안정적으로 점등한다. The lamp unit 14 is a case for accommodating the discharge lamp 30 and the elliptical mirror 40 and has a front panel 14a, a rear panel 14b, a right side panel 14c, and a left side panel 14d (Fig. 1). The front panel 14a of the lamp unit 14 and the front panel 10a of the housing 10 are connected via the optical connector unit 12 so that the illumination light from the lamp unit 14 is transmitted through the optical connector unit 12. [ (12a) of the light source (12). The discharge lamp 30 is a commercially available lamp having an arc tube formed using quartz glass or the like having excellent ultraviolet light transmittance and heat resistance. The discharge lamp 30 has a positive electrode side positive electrode 31 on the tip side (positive X axis direction side) and a negative electrode side positive electrode 32 (on the base side (X axis direction side) Respectively. A discharge lamp 30 is provided in the back panel 14b such that a lamp member (not shown) for lifting up the mouthpiece 32 is exposed, Is positioned and fixed within the unit (14). When the discharge lamp 30 is mounted on the lamp unit 14, the position of the arc bright point of the discharge lamp 30 coincides with the position of the first focal point of the elliptic mirror 40. When the power source of the light source device 1 is turned on, a high voltage is applied between the mouthpiece 31 and the mouthpiece 32 (that is, between the anode and the cathode) by the drive circuit 50. As a result, insulation breakdown occurs between the positive electrode and the negative electrode, and arc discharge is started. When the arc discharge is started, the drive circuit 50 supplies the current to maintain the arc discharge. Therefore, the discharge lamp 30 stably lights up.

타원 미러(40)는, 방전 램프(30)로부터 방사되는 광을 출사구(12a)를 향하여 반사하는 반사 부재이다. 타원 미러(40)에 의해 반사된 조명광은, 출사구(12a)에 있어서 소정의 스폿 직경이 되도록, 서서히 집광되고, 액추에이터 유닛(100)을 통과하여 출사구(12a)로부터 출사된다(도 1).The elliptical mirror 40 is a reflecting member that reflects the light emitted from the discharge lamp 30 toward the exit aperture 12a. The illumination light reflected by the elliptical mirror 40 is gradually converged so as to have a predetermined spot diameter at the exit aperture 12a and is emitted from the exit aperture 12a through the actuator unit 100 (Figure 1) .

도 2에 나타낸 바와 같이, 액추에이터 유닛(100)은, 광체(10)의 좌측면 패널(10d)에 형성된 개구부(10da)로부터 광체(10) 내에 삽발 가능하게 구성되어 있다. 광체(10) 내에는, 액추에이터 유닛(100)의 삽입 방향(즉, Y축 방향)으로 평행하게 연장되고, 액추에이터 유닛(100)이 광체(10) 내에 삽입될 때에, 액추에이터 유닛(100)의 상단부 및 하단부에 있어서 외경을 가이드하는 한 쌍의 가이드 레일(17)(도 2에 있어서, 하측의 가이드 레일(17)은 도시하지 않음)이 형성되어 있다. 따라서, 액추에이터 유닛(100)을 장착할 때는, 액추에이터 유닛(100)의 선단측(Y축 방향 정측)을 개구부(10da)에 삽입하고, 광체(10) 내로 압입함으로써 용이하게 장착된다.2, the actuator unit 100 is configured to be removable from the opening 10da formed in the left side panel 10d of the housing 10 in the housing 10. The actuator unit 100 is extended in parallel in the inserting direction of the actuator unit 100 (i.e., the Y-axis direction), and the actuator unit 100 is inserted into the housing 10, And a pair of guide rails 17 (in FIG. 2, the lower guide rail 17 is not shown) for guiding the outer diameter at the lower end. Therefore, when mounting the actuator unit 100, the front end side (positive side in the Y-axis direction) of the actuator unit 100 is easily inserted by inserting the actuator unit 100 into the opening 10da and pushing it into the housing 10.

도3은, 본 실시형태의 액추에이터 유닛(100)의 개략 구성을 설명하는 사시도이다. 또한, 도 4는, 도 3에 나타내는 액추에이터 유닛(100)의 분해 사시도이다. 또한, 도 4에 있어서는, 도면을 명료하게 하기 위하여, 내부의 전기배선 등, 일부구성을 생략하고 나타내고 있다.3 is a perspective view for explaining a schematic configuration of the actuator unit 100 of the present embodiment. 4 is an exploded perspective view of the actuator unit 100 shown in Fig. In Fig. 4, for clarification of the drawings, a part of the internal electrical wiring or the like is omitted.

<액추에이터 유닛(100)의 구성>&Lt; Configuration of Actuator Unit 100 >

도 3 및 도 4에 나타낸 바와 같이, 본 실시형태의 액추에이터 유닛(100)은, 타원 미러(40)로부터 출사되는 조명광의 광량을 제어하는 조리개 기구(110)와, 조명광의 온/오프(즉, 조명광의 출사/차단)를 제어하는 셔터 기구(130)와, 조리개 기구(110) 및 셔터 기구(130)가 일체적으로 고정되는 케이스(101)와, 케이스(101)의 삽입 방향(Y축 방향) 후단측의 일측면(제1 측판(101c))에 부착된 덮개체(102)와, 조리개 기구(110) 및 셔터 기구(130)와 전기적으로 접속되고, 케이스(10)의 삽입 방향(Y축 방향) 선단측의 타측면(제2 측판(101d))에 부착된 커넥터(103)를 구비하고 있다.3 and 4, the actuator unit 100 of the present embodiment includes an iris mechanism 110 for controlling the amount of illumination light emitted from the elliptical mirror 40, A case 101 in which the diaphragm mechanism 110 and the shutter mechanism 130 are integrally fixed to each other and a case 101 in which the case 101 is inserted A cover member 102 attached to one side surface (first side plate 101c) on the rear end side of the case 10 and a cover member 102 electrically connected to the diaphragm mechanism 110 and the shutter mechanism 130, And a connector 103 attached to the other side surface (the second side plate 101d) on the tip side in the axial direction.

케이스(101)는, 대략 상자형의 금속성의 케이스이며, 액추에이터 유닛(100)이 광체(10)에 장착되었을 때에, 타원 미러(40)측에 위치하는 제1 차광판(101a)과, 제1 차광판(101a)과 대향하도록 출사구(12a)측에 위치하는 제2 차광판(101b)과, 제1 차광판(101a)과 제2 차광판(101b)을 연결하기 위한 제1 측판(101c) 및 제2 측판(101d)과, 제1 차광판(101a)과 제2 차광판(101b) 사이의 공간을, 타원 미러(40)로부터 출사된 조명광이 통과하는 광 투과 영역과 타원 미러(40)로부터 출사된 조명광이 차광되는 차광 영역으로 구획하는 구획판(101e)을 구비하고 있다.The case 101 is a substantially box-shaped metallic case. When the actuator unit 100 is mounted on the housing 10, the first light-shielding plate 101a located on the side of the elliptic mirror 40, A second shade plate 101b located on the side of the exit aperture 12a so as to face the first shade plate 101a and a first shore plate 101c and a second shade plate 101b for connecting the first shade plate 101a and the second shade plate 101b, Shielding plate 101d and the space between the first shield plate 101a and the second shield plate 101b are shielded by a light transmitting region through which the illumination light emitted from the elliptical mirror 40 passes and the illumination light emitted from the elliptical mirror 40, And a partition plate 101e that divides the light-shielding area into a light-shielding area.

제1 차광판(101a)(제1 판 형상 부재)은, 대략 중심부에 원형의 개구(101ao)(제1 개구부)가 형성된 직사각형의 판 형상 부재이며, 액추에이터 유닛(100)이 광체(10)에 장착되었을 때에 개구(101ao)가 조명광의 광로를 가로지르도록 배치된다. 따라서, 타원 미러(40)로부터 출사된 조명광 중, 개구(101ao)를 통과한 광만이, 케이스(101) 내에 입사한다.The first light shielding plate 101a (first plate member) is a rectangular plate-shaped member having a circular opening 101ao (first opening) at a substantially central portion thereof. The actuator unit 100 is mounted on the housing 10 The aperture 101ao is disposed so as to cross the optical path of the illumination light. Therefore, of the illumination light emitted from the elliptic mirror 40, only the light that has passed through the aperture 101ao is incident into the case 101.

제1 측판(101c)은, 케이스(101)의 삽입 방향 후단측(Y축 방향 부측)에 마련된, 제1 차광판(101a)과 제2 차광판(101b)을 연결하기 위한 판 형상 부재이다. 본 실시형태의 제1 측판(101c)은, 제1 차광판(101a)과 공통의 판재로 형성되어 있고, 제1 차광판(101a)의 Y축 방향 부측의 단부를 X축 방향 정측으로 절곡함으로써 형성되어 있다. 제1 측판(101c)은, Y축 방향 부측에서 보았을 때에, 역?자 형상을 나타내고 있으며, 액추에이터 유닛(100)이 광체(10)에 장착되었을 때에, 광체(10) 내에 공기의 유로를 구성하는(즉, 공기를 통과시키기 위한) 직사각형 형상의 노치부(101ca)가 형성되어 있다(상세한 것은 후술). 또한, 제1 측판(101c)의 제2 차광판(101b)측은, 제2 차광판(101b)과 대향하도록 더욱 절곡되어, 제2 차광판(101b)을 부착하기 위한 상측 부착면(101cb) 및 하측 부착면(101cc)이 형성되어 있다.The first side plate 101c is a plate member for connecting the first light blocking plate 101a and the second light blocking plate 101b provided on the rear end side (Y axis direction side) of the insertion direction of the case 101. [ The first side plate 101c of this embodiment is formed by a plate member common to the first light blocking plate 101a and is formed by bending an end portion of the first light blocking plate 101a in the Y axis direction side to the positive side in the X axis direction have. The first side plate 101c shows a reverse shape when viewed from the side in the Y axis direction and when the actuator unit 100 is mounted on the housing 10, (That is, to allow air to pass through) a notched portion 101ca (described later in detail). The second shading plate 101b side of the first shingling plate 101c is further bent so as to face the second shading plate 101b and has an upper attachment surface 101cb for attaching the second light shielding plate 101b, (101cc) is formed.

제2 측판(101d)은, 케이스(101)의 삽입 방향 선단측(Y축 방향 정측)에 마련된, 제1 차광판(101a)과 제2 차광판(101b)을 연결하기 위한 판 형상 부재이다. 본 실시형태의 제2 측판(101d)은, 제1 차광판(101a)과 공통의 판재로 형성되어 있고, 제1 차광판(101a)의 Y축 방향 정측의 단부를 X축 방향 정측으로 절곡함으로써 형성되어 있다. 제2 측판(101d)의 상측에는, 액추에이터 유닛(100)이 광체(10)에 장착되었을 때에, 광체(10) 내에 공기의 유로를 구성하는(즉, 공기를 통과시키기 위한) 직사각형 형상의 노치부(101da)가 형성되어 있다(상세한 것은 후술). 또한, 제2 측판(101d)의 하측에는 커넥터(103)를 부착하기 위한 직사각형 형상의 개구(101db)가 형성되어 있다. 커넥터(103)는, 개구(101db)에 삽입되어 위치 결정되고, 도시하지 않은 나사에 의해 제2 측판(101d)에 고정된다. 또한, 커넥터(103)의 각 단자는, 도시하지 않은 케이블에 의해 조리개 기구(110)의 모터(114), 셔터 기구(130)의 로터리 솔레노이드(134)와 전기적으로 접속된다. 또한, 제2 측판(101d)의 제2 차광판(101b)측은, 제2 차광판(101b)과 대향하도록 더욱 절곡되어, 제2 차광판(101b)을 부착하기 위한 상측 부착면(101dc), 중앙 부착면(101dd) 및 하측 부착면(101de)이 형성되어 있다.The second side plate 101d is a plate-like member for connecting the first light blocking plate 101a and the second light blocking plate 101b provided on the front end side (Y axis direction positive side) of the insertion direction of the case 101. [ The second side plate 101d of the present embodiment is formed by a plate member common to the first light blocking plate 101a and is formed by bending an end portion of the first light blocking plate 101a in the Y axis direction on the positive side in the X axis direction have. An upper portion of the second side plate 101d is provided with a rectangular notch portion constituting an air flow passage (that is, for passing air) in the housing 10 when the actuator unit 100 is mounted on the housing 10, (To be described in detail later). A rectangular opening 101db for attaching the connector 103 is formed on the lower side of the second side plate 101d. The connector 103 is inserted into the opening 101db and positioned, and fixed to the second side plate 101d by a not shown screw. Each terminal of the connector 103 is electrically connected to the motor 114 of the diaphragm mechanism 110 and the rotary solenoid 134 of the shutter mechanism 130 by a cable not shown. The second shading plate 101b side of the second shingling plate 101d is further bent so as to face the second shading plate 101b and has an upper attachment surface 101dc for attaching the second light shielding plate 101b, A lower surface 101dd and a lower attachment surface 101de are formed.

제2 차광판(101b)(제2 판 형상 부재)은, 대략 중심부에 원형의 개구(101bo)(제2 개구부)가 형성된 직사각형의 판 형상 부재이며, 액추에이터 유닛(100)이 광체(10)에 장착되었을 때에 개구(101bo)가 조명광의 광로를 가로지르도록 배치된다. 따라서, 개구(101ao)를 통과하여 케이스(101)에 입사한 광 중, 개구(101bo)를 통과한 광만이, 케이스(101)로부터 출사된다. 또한, 제2 차광판(101b)에는, 조리개 기구(110) 및 셔터 기구(130)가 장착된다(후술). 그리고, 조리개 기구(110) 및 셔터 기구(130)가 장착된 제2 차광판(101b)이 제1 측판(101c) 및 제2 측판(101d)에 나사 고정됨으로써, 조리개 기구(110) 및 셔터 기구(130)가 케이스(101)에 대하여 고정된다.The second light shielding plate 101b (second plate member) is a rectangular plate-like member having a circular opening 101bo (second opening) at a substantially central portion. The actuator unit 100 is mounted on the housing 10 The aperture 101bo is disposed so as to cross the optical path of the illumination light. Therefore, of the light that has passed through the opening 101ao and is incident on the case 101, only the light that has passed through the opening 101bo is emitted from the case 101. [ The diaphragm mechanism 110 and the shutter mechanism 130 are mounted on the second light blocking plate 101b (described later). The second light blocking plate 101b on which the diaphragm mechanism 110 and the shutter mechanism 130 are mounted is screwed to the first side plate 101c and the second side plate 101d so that the diaphragm mechanism 110 and the shutter mechanism 130 are fixed to the case 101.

덮개체(102)는, 광체(10)의 좌측면 패널(10d)에 형성된 개구부(10da)를 복개하는(즉, 개구부(10da)를 덮기 위한) 판 형상 부재이며, 덮개체(102)의 뒷쪽(Y축 방향 정측)에는, 스페이서(102a)가 고정되어 있다. 스페이서(102a)는, X축 방향의 단면이 ?자 형상의 판 형상 부재이며, 덮개체(102)는, 스페이서(102a)를 끼우고 제1 측판(101c)에 나사 고정된다. 덮개체(102)와 스페이서(102a) 사이의 중공부는, 액추에이터 유닛(100)이 광체(10)에 장착되었을 때에, 광체(10) 내에 공기의 유로를 형성한다. 또한, 스페이서(102a)에는, 노치부(101ca)와 대향하는 위치에 개구부(도시하지 않음)가 형성되어 있고, 덮개체(102)와 스페이서(102a) 사이의 중공부와, 케이스(101)의 내부(차광 영역)가 연통하도록 구성되어 있다.The lid body 102 is a plate-like member that covers the opening 10da formed in the left side panel 10d of the housing 10 (that is, covers the opening 10da) (Positive side in the Y-axis direction), a spacer 102a is fixed. The spacer 102a is a plate-like member whose cross section in the X-axis direction is a letter shape. The cover 102 is screwed to the first side plate 101c with the spacer 102a sandwiched therebetween. The hollow portion between the cover body 102 and the spacer 102a forms an air flow path in the housing 10 when the actuator unit 100 is mounted on the housing 10. An opening (not shown) is formed in the spacer 102a at a position facing the notch 101ca and a hollow portion between the cover 102 and the spacer 102a and a hollow portion between the cover 102a and the spacer 102a. (Light-shielding region) are communicated with each other.

덮개체(102)는, 액추에이터 유닛(100)이 광체(10)에 장착되었을 때에, 개구부(10da)를 덮고 또한, 좌측면 패널(10d)에 접촉하고, 덮개체(102)에 형성된 3개의 관통홀(102b)에 삽입되는 나사(도시하지 않음)에 의해 좌측면 패널(10d)에 고정된다. 즉, 본 실시형태의 덮개체(102)는, 액추에이터 유닛(100)이 광체(10)에 장착되었을 때에, 좌측면 패널(10d)의 일부를 구성하도록 되어 있다. 따라서, 액추에이터 유닛(100)을 교환할 때는, 덮개체(102)를 고정하고 있는 나사를 분리하여 액추에이터 유닛(100)을 교체시키기만 해도 되고, 광체(10)의 각 패널을 분리하는 등의 번거로운 작업은 발생하지 않는다.The cover body 102 covers the opening portion 10da and contacts the left side panel 10d when the actuator unit 100 is mounted on the housing 10, And fixed to the left side panel 10d by a screw (not shown) inserted into the hole 102b. That is, the lid body 102 of the present embodiment constitutes a part of the left side panel 10d when the actuator unit 100 is mounted on the housing 10. Therefore, when replacing the actuator unit 100, the actuator unit 100 may be replaced only by removing the screws fixing the cover 102. In this case, No work will occur.

구획판(101e)은, 가늘고 긴 금속의 판재를 대략 U자 형상으로 만곡시켜 형성한 부재이며, 상측이 개방된 U자 형상의 만곡부(101ea)를 구비하고 있다. 구획판(101e)은, 제1 차광판(101a)과 제2 차광판(101b) 사이에 끼워지도록 배치되고, 만곡부(101ea)가 개구(101ao) 및 개구(101bo)의 주위를 포위하도록 되어 있다. 만곡부(101ea)의 상단은, 제1 차광판(101a)의 상단 가장자리부를 따르도록, 제1 측판(101c) 및 제2 측판(101d)측으로 절곡되고, 만곡부(101ea)의 내측(즉, U자의 내측)의 공간은 상측을 향하여 개방되어 있고, 만곡부(101ea)의 외측(즉, U자의 외측)의 공간은 하측을 향하여 개방되어 있다. 이와 같이, 본 실시형태의 구획판(101e)은, 제1 차광판(101a)과 제2 차광판(101b) 사이의 공간을 U자 형상으로 구획함으로써, 만곡부(101ea)의 내측의 공간에 타원 미러(40)로부터 출사된 조명광이 통과하는 광 투과 영역을 형성하고, 만곡부(101ea)의 외측의 공간에 타원 미러(40)로부터 출사된 조명광이 차광되는 차광 영역을 형성하고 있다. 그리고, 본 실시형태의 액추에이터 유닛(100)은, 이 차광 영역에, 조리개 기구(110)의 모터(114), 셔터 기구(130)의 로터리 솔레노이드(134), 및 이들의 배선 케이블을 배치함으로써, 이들의 전기부품이 조명광에 포함되는 자외선에 노출되어 열화되지 않도록 구성하고 있다. 또한, 타원 미러(40)로부터 출사된 조명광 중, 개구(101ao) 내에 입사되지 않는 광(즉, 제1 차광판(101a) 상에 입사하는 광)은, 제1 차광판(101a)에 의해 타원 미러(40)측에 반사되고, 타원 미러(40)와 제1 차광판(101a) 사이의 공간에 가두어진다. 또한, 개구(101bo) 내에 입사되지 않는 광(즉, 제2 차광판(101b) 상에 입사하는 광)은, 제2 차광판(101b)에 의해 제1 차광판(101a)측에 반사되고, 제2 차광판(101b)과 제1 차광판(101a) 사이의 공간에 가두어진다. 따라서, 타원 미러(40)로부터 출사된 조명광의 일부가 개구(101bo) 이외의 부분으로부터 램프 유닛(14)의 외부로 누출되는 일은 없다.The partition plate 101e is a member formed by curving a thin and long metal plate into a substantially U-shape, and has a U-shaped bent portion 101ea whose upper side is opened. The partition plate 101e is arranged to be sandwiched between the first light blocking plate 101a and the second light blocking plate 101b and the curved portion 101ea surrounds the openings 101ao and 101bo. The upper end of the curved portion 101ea is bent toward the first side plate 101c and the second side plate 101d side so as to follow the upper edge portion of the first light shielding plate 101a and the inside of the curved portion 101ea Is open toward the upper side, and the space outside the curved portion 101ea (i.e., the outer side of the U-shape) is opened toward the lower side. As described above, the partitioning plate 101e of this embodiment divides the space between the first light blocking plate 101a and the second light blocking plate 101b into a U-shape so that an elliptical mirror (not shown) is formed in the space inside the curved portion 101ea Shielding region in which the illumination light emitted from the elliptical mirror 40 is shielded is formed in the space outside the curved portion 101ea. The actuator unit 100 according to the present embodiment is arranged such that the motor 114 of the diaphragm mechanism 110, the rotary solenoid 134 of the shutter mechanism 130, and the wiring cables thereof are disposed in the light- And these electric components are not exposed to ultraviolet rays included in the illumination light to be deteriorated. The light not incident on the aperture 101ao (that is, light incident on the first light blocking plate 101a) among the illumination light emitted from the elliptical mirror 40 is reflected by the first light blocking plate 101a through the elliptical mirror 40, and is confined in the space between the elliptic mirror 40 and the first light blocking plate 101a. The light not incident on the opening 101bO (that is, the light incident on the second light blocking plate 101b) is reflected to the first light blocking plate 101a side by the second light blocking plate 101b, Is confined in the space between the first light blocking plate 101b and the first light blocking plate 101a. Therefore, a part of the illumination light emitted from the elliptical mirror 40 does not leak outside the lamp unit 14 from a portion other than the opening 101bo.

<조리개 기구(110)의 구성>&Lt; Configuration of the diaphragm mechanism 110 >

이어서, 본 실시형태의 액추에이터 유닛(100)의 제2 차광판(101b)에 부착되는 조리개 기구(110)의 구체적인 구성에 대하여 설명한다. 조리개 기구(110)는, 원반 형상의 조리개판(111)과, 조리개판(111)을 회전시키는 모터(114)와, 조리개판(111)을 모터(114)의 회전축(114a)에 고정하는 원통 형상의 스페이서(112)와, 조리개판(111)의 회전각도를 검출하는 포토인터럽터(113)에 의해 구성된다.Next, a specific configuration of the diaphragm mechanism 110 attached to the second light blocking plate 101b of the actuator unit 100 of the present embodiment will be described. The diaphragm mechanism 110 includes a disk shaped cooktop 111, a motor 114 for rotating the cooktop 111 and a cylinder 114 for fixing the cooktop 111 to the rotary shaft 114a of the motor 114. [ Shaped spacer 112 and a photo interrupter 113 for detecting the rotation angle of the cooking cavity 111. [

제2 차광판(101b)에는, 모터(114)의 회전축(114a)이 삽통되는 관통홀(101ba)이 형성되어 있고, 모터(114)는, 제2 차광판(101b)의 내측(즉, 차광 영역측)으로부터 제2 차광판(101b)에 부착되고, 도시하지 않은 나사에 의해 고정된다. 제2 차광판(101b)에 모터(114)가 부착되면, 제2 차광판(101b)의 외측에 모터(114)의 회전축(114a)이 돌출한다. 그리고, 스페이서(112)의 감합홀(112a)에 모터(114)의 회전축(114a)이 삽통되어 스페이서(112)가 부착되고, 이어서, 도시하지 않은 나사에 의해 스페이서(112)의 선단에 조리개판(111)이 부착된다. 제2 차광판(101b)의 외측(X축 방향 정측)에는, 포토인터럽터(113)를 위치 결정하는 오목부(101bb)가 형성되어 있고, 포토인터럽터(113)는, 이 오목부(101bb)에 부착되어 도시하지 않은 나사에 의해 고정된다.A through hole 101ba through which the rotation shaft 114a of the motor 114 is inserted is formed in the second light blocking plate 101b and the motor 114 is disposed inside the second light blocking plate 101b Shielding plate 101b, and is fixed by a screw (not shown). When the motor 114 is attached to the second light blocking plate 101b, the rotating shaft 114a of the motor 114 protrudes outside the second light blocking plate 101b. The rotating shaft 114a of the motor 114 is inserted into the fitting hole 112a of the spacer 112 and the spacer 112 is attached to the tip end of the spacer 112. Then, (111) is attached. A concave portion 101bb for positioning the photo interrupter 113 is formed outside the second light blocking plate 101b (in the X axis direction positive side), and the photo interrupter 113 is attached to the concave portion 101bb And is fixed by screws (not shown).

조리개판(111)은, 개구(101bo)를 통과한 조명광의 투과량을 변경하는 그물 형상의 개구(111a)와, 개구(101bo)를 통과한 조명광을 100% 투과시키는 원형의 개구(111b)를 가진 금속제의 부재이며, 원반면이 조명광의 광로를 수직으로 가로지르도록, 제2 차광판(101b)의 외측(즉, 개구(101bo)의 외측)에 배치된다. 개구(111a)는, 조리개판(111)의 둘레방향을 따라 서서히(연속적으로) 그물코의 직경이 변화되도록 형성되어 있고, 조리개판(111)의 정지 위치(즉, 개구(111a)의 정지 위치)를 따라, 조명광의 투과량(즉, 출사광량)을 조정할 수 있도록 되어 있다. 또한, 조리개판(111)의 외주 가장자리부에는, 조리개판(111)의 기준위치(기준각도)를 나타내는 노치부(111c)가 형성되어 있다.The cooking cavity 111 has a net opening 111a for changing the amount of illumination light transmitted through the opening 101bo and a circular opening 111b for transmitting the illumination light 100% And is disposed outside the second light blocking plate 101b (i.e., outside the opening 101bo) so that the circular light beam crosses the optical path of the illumination light vertically. The opening 111a is formed such that the diameter of the mesh gradually changes along the circumferential direction of the cooking oven 111. The stop position of the cooking oven 111 (i.e., the stop position of the opening 111a) (That is, the amount of emitted light) of the illumination light can be adjusted. A notch 111c indicating a reference position (reference angle) of the cooking cavity 111 is formed in the outer peripheral edge portion of the cooking cavity 111. [

모터(114)는, 조리개판(111)을 회전시키기 위한 스테핑 모터(제1 액추에이터)이며, 상기 서술한 바와 같이, 회전축(114a)이 조명광의 광로와 평행해지도록 제2 차광판(101b)에 부착된다. 모터(114)는, 커넥터(103)와 전기적으로 접속되어 있고, 구동회로(50)로부터 커넥터(103)를 개재하여 공급되는 전원 및 구동 펄스를 따라서 회전축(114a)을 소정의 스텝각으로 회전시킨다. 모터(114)의 회전축(114a)의 선단에는, 스페이서(112)를 개재하여 조리개판(111)이 부착되어 있다. 따라서, 회전축(114a)이 소정의 스텝각도로 회전하면, 그에 수반하여 조리개판(111)이 회전한다.The motor 114 is a stepping motor (first actuator) for rotating the cooking cavity plate 111. As described above, the motor 114 is attached to the second light blocking plate 101b such that the rotation axis 114a is parallel to the optical path of the illumination light do. The motor 114 is electrically connected to the connector 103 and rotates the rotary shaft 114a at a predetermined step angle in accordance with the power source and drive pulse supplied from the drive circuit 50 through the connector 103 . A cooking cavity 111 is attached to the tip of the rotary shaft 114a of the motor 114 via a spacer 112. [ Therefore, when the rotary shaft 114a rotates at a predetermined step angle, the cooking cavity 111 rotates accordingly.

포토인터럽터(113)는, 조리개판(111)의 외주 가장자리부의 근방에 배치되고, 조리개판(111)에 형성된 노치부(111c)를 검출하는 투과형의 포토인터럽터이다. 포토인터럽터(113)는, 커넥터(103)와 전기적으로 접속되어 있고, 구동회로(50)로부터 커넥터(103)를 개재하여 공급되는 전원에 의해 동작한다. 그리고, 포토인터럽터(113)의 위치에 조리개판(111)의 노치부(111c)가 위치했을 때(즉, 노치부(111c)를 검출했을 때), 검출 신호가 커넥터(103)를 개재하여 구동회로(50)에 출력된다. 본 실시형태에 있어서는, 포토인터럽터(113)의 위치에 조리개판(111)의 노치부(111c)가 위치했을 때, 개구(101bo)의 중심과 개구(111b)의 중심이 대략 일치하고, 개구(101bo)를 통과한 조명광이 100% 투과하도록 구성되어 있고, 조리개판(111)의 이 위치를 기준위치로 하고 있다. 그리고, 광원 장치(1)의 유저가, 도시하지 않은 조작 패널이나 조작 버튼을 조작함으로써, 조명광의 출사 광량을 낮추기 위한 입력을 행한 경우, 구동회로(50)는, 유저로부터의 입력에 따른 출사 광량이 되도록 모터(114)에 대하여 소정의 구동 펄스를 출력하고, 조리개판(111)을 소정의 각도만큼 회전시킨다. 이와 같이, 본 실시형태의 조리개 기구(110)는, 유저로부터의 입력에 따라 조리개판(111)을 회전시킴으로써, 유저가 원하는 출사 광량의 조명광이 출사구(12a)로부터 출사되도록 광량제어를 행한다.The photointerruptor 113 is a transmissive photointerrupter disposed near the outer peripheral edge of the cooking cavity 111 and detecting the notch 111c formed in the cooking cavity 111. [ The photo interrupter 113 is electrically connected to the connector 103 and operated by a power source supplied from the drive circuit 50 via the connector 103. [ When the notch portion 111c of the cooking cavity 111 is located at the position of the photo interrupter 113 (that is, when the notch portion 111c is detected), a detection signal is sent to the driver circuit (50). In the present embodiment, when the notch 111c of the cooking cavity 111 is located at the position of the photo interrupter 113, the center of the opening 101bo and the center of the opening 111b substantially coincide with each other, 101b, and 100% of the illumination light having passed through the cooking cavity 111, and the reference position is the position of the cooking cavity 111. When the user of the light source device 1 performs an input for lowering the amount of emitted light of the illumination light by operating an operation panel or an operation button (not shown), the drive circuit 50 calculates the amount of emitted light A predetermined driving pulse is outputted to the motor 114 so that the cooking cavity 111 is rotated by a predetermined angle. As described above, the diaphragm mechanism 110 of the present embodiment rotates the cooking cavity 111 according to an input from the user, thereby controlling the amount of light so that the user can output the illumination light of the desired amount of emitted light from the exit aperture 12a.

<셔터 기구(130)의 구성>&Lt; Configuration of the shutter mechanism 130 >

이어서, 본 실시형태의 셔터 기구(130)의 구체적인 구성에 대하여 설명한다. 셔터 기구(130)는, 가늘고 긴 판 형상의 셔터판(131)과, 셔터판(131)을 회전시키는 로터리 솔레노이드(134)와, 셔터판(131)을 로터리 솔레노이드(134)에 고정하는 3개의 스페이서(132)와, 로터리 솔레노이드(134)을 지지하는 지지판(135)과, 셔터판(131)의 회전각도를 검출하는 포토인터럽터(133)에 의해 구성된다.Next, a specific configuration of the shutter mechanism 130 of the present embodiment will be described. The shutter mechanism 130 includes an elongated plate-shaped shutter plate 131, a rotary solenoid 134 for rotating the shutter plate 131, and three rotary plates 131 for fixing the shutter plate 131 to the rotary solenoid 134 A spacer 132, a support plate 135 for supporting the rotary solenoid 134, and a photo interrupter 133 for detecting the rotation angle of the shutter plate 131.

셔터 기구(130)는, 지지판(135)에 부착되어, 제2 차광판(101b)에 고정된다. 구체적으로는, 우선, 로터리 솔레노이드(134)가 지지판(135)에 부착되고, 도시하지 않은 나사에 의해 고정된다. 이어서, 포토인터럽터(133)가, 지지판(135)에 부착되고, 도시하지 않은 나사에 의해 고정된다. 그리고, 로터리 솔레노이드(134)의 회전판(134a)과 셔터판(131) 사이에 스페이서(132)를 끼우고, 도시하지 않은 나사에 의해, 회전판(134a)에 셔터판(131)을 고정한다. 그리고, 지지판(135)에 고정된 셔터 기구(130)를, 제2 차광판(101b)에 형성된 노치 개구부(101bc)에, 제2 차광판(101b)의 내측(즉, 차광 영역측)으로부터 삽입하고, 도시하지 않은 나사에 의해 고정한다. 또한, 본 실시형태의 셔터 기구(130)가 제2 차광판(101b)에 고정되었을 때, 로터리 솔레노이드(134)는, 제2 차광판(101b)의 표면보다도 약간 돌출하도록 부착되는데(도 3), 로터리 솔레노이드(134)와 개구(101bo) 사이에는 차광판(101bd)이 형성되어 있기 때문에, 개구(101bo)로부터의 누출광이 로터리 솔레노이드(134)에 직접 입사하는 일은 없다.The shutter mechanism 130 is attached to the support plate 135 and fixed to the second light blocking plate 101b. Specifically, first, the rotary solenoid 134 is attached to the support plate 135 and fixed by a screw (not shown). Then, the photo interrupter 133 is attached to the support plate 135 and fixed by screws (not shown). The spacer 132 is sandwiched between the rotary plate 134a of the rotary solenoid 134 and the shutter plate 131 and the shutter plate 131 is fixed to the rotary plate 134a by a not shown screw. The shutter mechanism 130 fixed to the support plate 135 is inserted into the notch opening 101bc formed in the second light blocking plate 101b from the inside of the second light blocking plate 101b (i.e., the light blocking area side) It is fixed by a screw not shown. When the shutter mechanism 130 of the present embodiment is fixed to the second light blocking plate 101b, the rotary solenoid 134 is attached so as to protrude slightly from the surface of the second light blocking plate 101b (Fig. 3) The leaked light from the opening 101bo is not directly incident on the rotary solenoid 134 because the shield plate 101bd is formed between the solenoid 134 and the opening 101bo.

셔터판(131)은, 조리개판(111)의 외측에 배치되는 금속제의 판 형상 부재이며, 그 선단부(131a)가 조리개판(111)을 통과한 조명광의 광로 내에 진퇴 가능하게 구성되어 있다. 액추에이터 유닛(100)이 광체(10)에 장착되었을 때에, 셔터판(131)의 선단부(131a)가 조리개판(111)을 통과한 조명광의 광로 내에 배치되면, 조명광이 셔터판(131)에 의해 차단되기 때문에, 출사구(12a)로부터 출사되는 조명광이 차단된다. 반대로, 셔터판(131)의 선단부(131a)가 조리개판(111)을 통과한 조명광의 광로로부터 벗어난 위치에 배치되면(퇴피하면), 조명광이 셔터판(131)에 의해 차단되지 않기 때문에, 출사구(12a)로부터 조명광이 출사된다. 이와 같이, 본 실시형태의 셔터판(131)은, 조명광의 광로 내의 위치(이하, "차단 위치" 라고 함)와, 조명광의 광로 외의 위치(이하, "퇴피 위치" 라고 함) 사이에서 이동하도록 구성되어 있고, 이에 의해 조명광의 온/오프 제어를 행하고 있다. 셔터판(131)의 기단부(131b)측에는, 포토인터럽터(133)가 셔터판(131)의 위치(차단 위치 또는 퇴피 위치)를 검출할 수 있도록, 설부(131c)가 형성되어 있다.The shutter plate 131 is a metal plate member disposed on the outer side of the cooking cavity 111. The front end portion 131a of the shutter plate 131 is movable in the optical path of the illumination light that has passed through the cooking cavity 111. When the front end portion 131a of the shutter plate 131 is disposed in the optical path of the illumination light that has passed through the cooking aperture 111 when the actuator unit 100 is mounted on the housing 10, The illumination light emitted from the exit aperture 12a is blocked. On the other hand, when the front end 131a of the shutter plate 131 is disposed at a position deviated from the optical path of the illumination light that has passed through the cooking aperture 111, the illumination light is not blocked by the shutter plate 131, The illumination light is emitted from the aperture 12a. As described above, the shutter plate 131 of the present embodiment is configured to move between a position in the optical path of the illumination light (hereinafter referred to as a "blocking position") and a position outside the optical path of the illumination light (hereinafter referred to as a "retracted position" Thereby controlling on / off of the illumination light. A tongue 131c is formed on the proximal end 131b side of the shutter plate 131 so that the photo interrupter 133 can detect the position of the shutter plate 131 (the blocking position or the retracted position).

로터리 솔레노이드(134)는, 회전판(134a)에 부착된 셔터판(131)을 회전시키기(진퇴시키기) 위한 액추에이터이다. 로터리 솔레노이드(134)는, 커넥터(103)와 전기적으로 접속되어 있고, 구동회로(50)로부터 커넥터(103)를 개재하여 공급되는 전원 및 제어신호를 따라서 회전판(134a)을 소정의 각도(예를 들면, 30°)만큼 회전시킨다. 로터리 솔레노이드(134)의 회전판(134a)에는, 원통 형상의 스페이서(132)를 끼우고 셔터판(131)의 기단부(131b)가 부착되어 있고, 회전판(134a)이 소정의 각도만큼 회전하면, 이에 수반하여 셔터판(131)의 선단부(131a)가 이동하도록 되어 있다. 즉, 본 실시형태의 로터리 솔레노이드(134)는, 조리개판(111)을 소정의 각도만큼 회전시킴으로써, 셔터판(131)의 위치를 차단 위치와 퇴피 위치 사이에서 전환하고 있다.The rotary solenoid 134 is an actuator for rotating (advancing and retracting) the shutter plate 131 attached to the rotary plate 134a. The rotary solenoid 134 is electrically connected to the connector 103 and drives the rotary plate 134a at a predetermined angle (for example, , 30 [deg.]). The base 131b of the shutter plate 131 is attached to the rotary plate 134a of the rotary solenoid 134 with a cylindrical spacer 132 interposed therebetween. When the rotary plate 134a rotates by a predetermined angle, The leading end 131a of the shutter plate 131 is moved. That is, the rotary solenoid 134 of this embodiment rotates the cooking plate 111 by a predetermined angle, thereby switching the position of the shutter plate 131 between the cutoff position and the retracted position.

포토인터럽터(133)는, 셔터판(131)의 설부(131c)를 끼우도록 배치된 투과형의 포토인터럽터이다. 포토인터럽터(133)는, 커넥터(103)와 전기적으로 접속되어 있고, 구동회로(50)로부터 커넥터(103)를 개재하여 공급되는 전원에 의해 동작한다. 그리고, 포토인터럽터(133)의 위치에 셔터판(131)의 설부(131c)가 위치했을 때(즉, 설부(131c)를 검출했을 때), 검출 신호가 커넥터(103)를 개재하여 구동회로(50)에 출력된다. 본 실시형태에 있어서는, 포토인터럽터(133)의 위치에 셔터판(131)의 설부(131c)가 위치했을 때, 셔터판(131)의 선단부(131a)가, 조리개판(111)을 통과한 조명광의 광로 내에 배치되도록(즉, 차단 위치에 배치되도록) 구성되어 있고, 셔터판(131)의 이 위치를 기준위치로 하고 있다. 그리고, 광원 장치(1)의 유저가, 도시하지 않은 조작 패널이나 조작 버튼을 조작함으로써, 조명광을 온하기 위한 입력을 행한 경우, 구동회로(50)는, 로터리 솔레노이드(134)에 대하여 소정의 신호를 출력하고, 셔터판(131)을 소정의 각도만큼 회전시키고, 조명광의 광로로부터 퇴피시키도록(즉, 퇴피 위치에 이동시키도록) 구성되어 있다. 이와 같이, 본 실시형태의 셔터 기구(130)는, 유저로부터의 입력에 따라 셔터판(131)을 회전(이동)시킴으로써, 조명광의 온/오프 제어를 행한다. 또한, 본 실시형태에 있어서는, 타원 미러(40)에 의해 반사된 조명광은, 출사구(12a)에 있어서 소정의 스폿 직경이 되도록, 서서히 집광된다. 이 때문에, 셔터판(131)을 조리개판(111)보다 외측에 배치함으로써, 방전 램프(30)로부터 셔터판(131)까지의 거리가, 조리개판(111)까지의 거리보다도 길어지기 때문에, 케이스(101)로부터 출사되는 광을 비교적 작은 셔터판(131)으로 차광하는 것이 가능하게 된다.The photo interrupter 133 is a transmission type photo interrupter arranged to sandwich the tongue 131c of the shutter plate 131. [ The photo interrupter 133 is electrically connected to the connector 103 and operated by a power source supplied from the drive circuit 50 through the connector 103. [ When the tongue 131c of the shutter plate 131 is positioned at the position of the photo interrupter 133 (that is, when the tongue 131c is detected), the detection signal is transmitted to the drive circuit 50. When the tongue 131c of the shutter plate 131 is positioned at the position of the photo interrupter 133, the front end portion 131a of the shutter plate 131 is tilted with respect to the illumination light (That is, to be disposed in the blocking position), and the position of the shutter plate 131 is set as the reference position. When the user of the light source device 1 performs an input for turning on illumination light by operating an operation panel or an operation button (not shown), the drive circuit 50 causes the rotary solenoid 134 to apply a predetermined signal And is configured to rotate the shutter plate 131 by a predetermined angle and to retract the shutter plate 131 from the optical path of the illumination light (that is, to move to the retreat position). As described above, the shutter mechanism 130 of the present embodiment performs on / off control of the illumination light by rotating (moving) the shutter plate 131 according to the input from the user. Further, in the present embodiment, the illumination light reflected by the elliptical mirror 40 is gradually converged so as to have a predetermined spot diameter at the exit aperture 12a. The distance from the discharge lamp 30 to the shutter plate 131 is longer than the distance to the cooking plate 111 by arranging the shutter plate 131 on the outer side of the cooking cavity 111. Therefore, It is possible to shield the light emitted from the light source 101 with a relatively small shutter plate 131.

이와 같이, 본 실시형태의 액추에이터 유닛(100)은, 조명광의 광량을 제어하는 조리개 기구(110)와, 조명광의 온/오프(즉, 조명광의 출사/차단)를 제어하는 셔터 기구(130)를 일체적으로 구비하고 있으며, 광체(10)의 좌측면 패널(10d)에 형성된 개구부(10da)를 통과하여 광체(10)에 삽발 가능하도록(즉, 좌측면 패널(10d)에 대하여 Y축 방향으로 착탈 가능하도록) 구성되어 있다. 그리고, 액추에이터 유닛(100)이 광체(10)에 장착되었을 때, 커넥터(103)가 광체(40) 내의 커넥터(18)와 감합하고, 양자가 전기적으로 접속되도록 구성되어 있다. 따라서, 본 실시형태의 구성에 의하면, 액추에이터 유닛(100)을 교환할 때의 전기배선의 탈착 작업이 불필요하게 된다. 또한, 본 실시형태의 커넥터(18)는, 액추에이터 유닛(100)의 가공 오차, 조립 오차, 장착 위치 오차 등을 흡수하기 위하여, 소정의 여유를 가지고, 광체(10) 내에 느슨하게 고정되어 있다. 다른 실시형태에서는, 커넥터(18)를 광체(10) 내에 확실히 고정하고, 커넥터(103)를 느슨하게 고정할 수도 있다. 또한, 커넥터(103)와 커넥터(18)의 감합이 유연하고 또한 확실하게 행해지도록, 커넥터(103)와 커넥터(18) 중 적어도 어느 일방이, 어느 타방을 안내하여 상호의 감합을 보조하는 안내 기구를 구비할 수도 있다.Thus, the actuator unit 100 of the present embodiment includes the diaphragm mechanism 110 for controlling the light amount of the illumination light and the shutter mechanism 130 for controlling on / off of the illumination light (that is, And passes through the opening 10da formed in the left side panel 10d of the housing 10 so as to be able to be inserted into the housing 10 (i.e., in the Y-axis direction with respect to the left side panel 10d) So as to be detachable. When the actuator unit 100 is mounted on the housing 10, the connector 103 is configured to engage with the connector 18 in the housing 40 so that both are electrically connected. Therefore, according to the configuration of the present embodiment, it is not necessary to perform the operation of attaching and detaching the electric wiring when replacing the actuator unit 100. [ The connector 18 of the present embodiment is loosely fixed in the housing 10 with a predetermined margin in order to absorb machining errors, assembly errors, mounting position errors, and the like of the actuator unit 100. In another embodiment, the connector 18 can be securely fixed in the housing 10, and the connector 103 can be loosely fixed. At least one of the connector 103 and the connector 18 guides the other of the connectors 103 and the connector 18 so as to be flexible and reliable, .

상기 서술한 바와 같이, 본 실시형태의 액추에이터 유닛(100)에 있어서는, 차광 영역에, 모터(114), 로터리 솔레노이드(134) 및 이들의 배선 케이블을 배치함으로써, 이들의 전기부품이 조명광에 포함되는 자외선에 노출되어 열화되지 않도록 구성하고 있다. 그러나, 모터(114) 및 로터리 솔레노이드(134)가 좁은 차광 영역에 배치되고, 항상 통전되어 있는 상태가 되면, 발열의 문제가 우려된다. 따라서, 본 실시형태에 있어서는, 액추에이터 유닛(100)이 광체(10)에 장착되었을 때, 액추에이터 유닛(100)의 차광 영역이 공기의 유로가 되도록 구성하고, 모터(114) 및 로터리 솔레노이드(134)가 냉각되도록 되어 있다.As described above, in the actuator unit 100 according to the present embodiment, the motor 114, the rotary solenoid 134, and the wiring cable are disposed in the light shielding area, so that these electric parts are included in the illumination light And is not exposed to ultraviolet rays to be deteriorated. However, when the motor 114 and the rotary solenoid 134 are disposed in a narrow light shielding area and are always energized, there is a concern of heat generation. Therefore, in the present embodiment, when the actuator unit 100 is mounted on the housing 10, the shielding region of the actuator unit 100 is configured to be an air flow path, and the motor 114 and the rotary solenoid 134, Is cooled.

도 5는, 본 실시형태의 광원 장치(1)의 배면 패널(10b)에 팬 유닛(200)이 부착되었을 때의 개략 구성을 설명하는 도면이다. 또한, 도6은, 도 5의 A-A단면도이다. 또한, 도 5에 있어서, 각 화살표는 공기의 흐름을 나타내고 있다.5 is a view for explaining a schematic configuration when the fan unit 200 is attached to the back panel 10b of the light source device 1 of the present embodiment. 6 is a cross-sectional view taken along line A-A of Fig. In Fig. 5, each arrow indicates the flow of air.

도 5에 나타낸 바와 같이, 본 실시형태의 광원 장치(1)의 내부는, 구획판(16)에 의해, 제어회로(50)가 배치되는 공간(이하, "공간(A)" 이라고 함)과, 램프 유닛(14)이 배치되는 공간(이하, "공간(B)이라고 함)이 완전하게 분리되어 있다. 그리고, 공간(A)에 있어서는, 배면 패널(10b)에 흡기구(IN1) 및 배기구(EX1)가 형성되어 있고, 팬 유닛(200) 내의 팬이 회전하면, 흡기구(IN1)로부터 광체(10)의 공간(A)에 공기가 흡기되고, 공간(A)에 공기의 흐름이 형성된다. 그리고, 공간(A)의 공기는, 공간(A) 내에서 순환한 후, 배기구(EX1)로부터 팬 유닛(200)을 통과하여 외부에 배기된다. 이와 같이, 공간(A)의 공기가 순환함으로써, 제어회로(50)가 냉각된다.5, the inside of the light source device 1 of the present embodiment is divided into a space (hereinafter referred to as "space A") where the control circuit 50 is arranged by the partition plate 16 and a space (Hereinafter referred to as "space B &quot;) in which the lamp unit 14 is disposed are completely separated from each other. In the space A, the air inlet IN1 and the air outlet When the fan in the fan unit 200 rotates, air is sucked into the space A of the housing 10 from the intake port IN1, and a flow of air is formed in the space A. The air in the space A is circulated in the space A and then exhausted from the exhaust port EX1 to the outside through the fan unit 200. As described above, , The control circuit 50 is cooled.

공간(B)에 있어서는, 좌측면 패널(10d)에 흡기구(IN2)가 형성되어 있고, 배면 패널(10b)에 배기구(EX2)가 형성되어 있다. 팬 유닛(200) 내의 팬이 회전하면, 흡기구(IN2)로부터 광체(10)의 공간(B)에 공기가 흡기된다. 공간(B)에 흡기된 공기는, 공간(B) 내에서 복수의 경로로 분기하여 흐른다. 구체적으로는, 공간(B)에 흡기된 공기는, 우선, 램프 유닛(14)의 좌측면 패널(14d)을 따라 2방향으로 나누어진다. 일방(X축 방향 정측)에 흐른 공기는, 구획판(15d)의 개구부(도시하지 않음)를 통과하여, 일부는 램프 유닛(14)의 내부에 유입되고, 일부는 구획판(15e)의 개구부(도시하지 않음)를 통과하여, 액추에이터 유닛(100)의 내부에 유입된다. 또한, 좌측면 패널(14d)을 따라, X축 방향 부측에 흐른 공기는, 구획판(15c 및 15b)의 개구부(도시하지 않음)를 통과하여, 일부는 램프 유닛(14)의 내부의 타원 미러(40)의 뒤쪽으로 유입되고, 일부는 구획판(15a)의 개구부(도시하지 않음)를 통과하여, 배면 패널(14b)과 배면 패널(10b) 사이의 공간에 유입된다.In the space B, the air inlet IN2 is formed in the left side panel 10d, and the air outlet EX2 is formed in the rear panel 10b. When the fan in the fan unit 200 rotates, air is drawn into the space B of the housing 10 from the intake port IN2. Air sucked into the space B flows in a plurality of paths in the space B in a branched manner. Concretely, the air sucked into the space B is divided into two directions along the left side panel 14d of the lamp unit 14 first. The air flowing in one direction (the positive direction in the X axis direction) passes through an opening (not shown) of the partition plate 15d, a part of the air flows into the interior of the lamp unit 14, (Not shown), and flows into the interior of the actuator unit 100. The air flowing along the left side panel 14d along the X axis direction passes through openings (not shown) of the partition plates 15c and 15b and a part of the air passes through the elliptical mirror (Not shown) of the partition plate 15a and flows into the space between the back panel 14b and the back panel 10b.

램프 유닛(14)의 내부의 타원 미러(40)의 뒤쪽으로 유입된 공기는, 배면 패널(14b)의 우측면 패널(14c)측에 형성된 개구부(도시하지 않음)로부터 배면 패널(14b)과 배면 패널(10b) 사이의 공간에 유입된다. 그리고, 배면 패널(14b)과 배면 패널(10b) 사이의 공간에 유입된 공기는, 구획판(15f)과 배면 패널(10b) 사이의 공간에 유입되고, 배기구(EX2)로부터 배기된다. 이와 같이, 공간(B)의 공기가 순환함으로써, 타원 미러(40) 및 방전 램프(30)의 꼭지쇠(32)가 냉각된다. The air that has flowed into the rear of the elliptical mirror 40 inside the lamp unit 14 is guided from the opening (not shown) formed on the right side panel 14c side of the rear panel 14b to the rear panel 14b, (10b). The air introduced into the space between the rear panel 14b and the rear panel 10b flows into the space between the partition plate 15f and the rear panel 10b and is exhausted from the air outlet EX2. Thus, the air in the space B circulates, and the elliptical mirror 40 and the mouthpiece 32 of the discharge lamp 30 are cooled.

구획판(15d)을 통과하여 램프 유닛(14)의 내부에 유입된 공기는, 타원 미러(40)와 제1 차광판(101a)으로 둘러싸인 공간을 통과하여, 우측면 패널(14c)에 형성된 개구부(14ca)(도 2)로부터 푸드(14g) 내를 통과하고, 또한, 구획판(15f)의 개구부(도시하지 않음)를 통과하여, 배기구(EX2)로부터 배기된다. 이와 같이, 공간(B)의 공기가 순환함으로써, 타원 미러(40) 및 방전 램프(30)의 선단측이 냉각된다.The air that has passed through the partition plate 15d and flows into the interior of the lamp unit 14 passes through the space surrounded by the elliptic mirror 40 and the first light shielding plate 101a and passes through the opening 14ca (Fig. 2), passes through the food 14g, passes through an opening (not shown) of the partition plate 15f, and is exhausted from the exhaust port EX2. Thus, the air in the space B circulates, and the tip side of the elliptic mirror 40 and the discharge lamp 30 is cooled.

구획판(15e)을 통과하여 액추에이터 유닛(100)의 내부에 유입된 공기는, 덮개체(102)와 스페이서(102a) 사이의 중공부를 통과하여, 제1 측판(101c)의 노치부(101ca)로부터 차광 영역으로 유입된다(도 6). 그리고, 차광 영역 내에 유입된 공기는, 로터리 솔레노이드(134) 및 모터(114)를 냉각하면서 차광 영역 내를 진행하고, 제2 측판(101d)의 노치부(101da)로부터 램프 유닛(14)과 구획판(16) 사이의 공간에 배기된다. 램프 유닛(14)과 구획판(16) 사이의 공간에 유입된 공기는, 나아가, 구획판(15f)의 개구부(도시하지 않음)를 통과하여, 배기구(EX2)로부터 배기된다. 이와 같이, 본 실시형태에 있어서는, 액추에이터 유닛(100)이 광체(10)에 장착되었을 때, 액추에이터 유닛(100)의 차광 영역이 공기의 유로가 되도록 구성되어 있다. 이 때문에, 모터(114) 및 로터리 솔레노이드(134)가 효율적으로 냉각되고, 모터(114) 및 로터리 솔레노이드(134)가 발열에 의해 파손되거나, 수명이 짧아진다고 하는 문제도 발생하지 않는다.The air that has passed through the partition plate 15e and flows into the actuator unit 100 passes through the hollow portion between the cover body 102 and the spacer 102a and flows into the notch portion 101ca of the first side plate 101c, Shielding region (Fig. 6). The air introduced into the light shielding region advances in the light shielding region while cooling the rotary solenoid 134 and the motor 114 and is guided from the notch 101da of the second side plate 101d to the lamp unit 14, And is exhausted into the space between the plates 16. The air introduced into the space between the lamp unit 14 and the partition plate 16 further passes through the opening of the partition plate 15f (not shown) and is exhausted from the exhaust port EX2. As described above, in the present embodiment, when the actuator unit 100 is mounted on the housing 10, the shielding region of the actuator unit 100 is configured to be an air passage. Therefore, there is no problem that the motor 114 and the rotary solenoid 134 are efficiently cooled, the motor 114 and the rotary solenoid 134 are damaged by heat generation, and the service life is shortened.

이상이 본 발명의 일실시형태의 설명이다. 본 발명의 실시형태는, 상기에 설명한 것에 한정되지 않고, 본 발명의 기술적 사상의 범위에 있어서 다양한 변형이 가능하다.The foregoing is a description of an embodiment of the present invention. The embodiments of the present invention are not limited to those described above, and various modifications are possible within the scope of the technical idea of the present invention.

예를 들면, 본 실시형태의 조리개판(111)의 개구(111a)는, 조리개판(111)의 둘레방향을 따라 서서히(연속적으로) 그물코의 직경이 변화되도록 형성된 그물 형상의 개구로 했지만, 이 구성에 한정되는 것이 아니고, 예를 들면, 조리개판(111)의 둘레방향을 따라 서서히(연속적으로) 투과율이 변화되는 광학필터를 사용해도 된다.For example, the opening 111a of the cooking cavity 111 of this embodiment is a mesh-like opening formed so that the diameter of the cavity gradually changes (continuously) along the circumferential direction of the cooking cavity 111, The present invention is not limited to this configuration. For example, an optical filter whose transmittance is changed gradually (continuously) along the circumferential direction of the cooking cavity 111 may be used.

또한, 본 실시형태의 구획판(101e)은, 상측이 개방된 U자 형상의 만곡부(101ea)를 구비하고 있는 구성으로 했지만, 만곡부(101ea)는, 반드시 상측이 개방된 것일 필요는 없고, 예를 들면, 하측으로 개방한 것일 수도 있다. 이 경우, 차광 영역이 광 투과 영역의 상측에 형성된다. 또한, 만곡부(101ea)는, 반드시 U자 형상일 필요는 없고, 예를 들면, V자 형상, ?자 형상 등, 일방이 개방된 홈통 형상으로 형성되어 있으면 된다. 또한, 제1 차광판(101a)의 개구(101ao)는, 반드시 원형일 필요는 없다.Although the partition plate 101e of this embodiment has the U-shaped bent portion 101ea opened on the upper side, the bent portion 101ea does not necessarily need to be open on the upper side, For example, it may be opened to the lower side. In this case, a light shielding region is formed on the upper side of the light transmitting region. The curved portion 101ea does not necessarily have to be U-shaped, but may be formed in a trough-like shape such as a V shape or a taper shape. The opening 101ao of the first light blocking plate 101a is not necessarily circular.

도 7은, 본 실시형태의 액추에이터 유닛(100)의 변형예를 나타내는 사시도이다. 또한, 도 8은, 도 7에 나타내는 액추에이터 유닛(100M)의 분해 사시도이다. 또한, 도 8에 있어서는, 도 4와 마찬가지로, 도면을 명료하게 하기 위하여, 내부의 전기배선 등, 일부 구성을 생략하고 나타내고 있다.7 is a perspective view showing a modified example of the actuator unit 100 of the present embodiment. 8 is an exploded perspective view of the actuator unit 100M shown in Fig. In FIG. 8, like in FIG. 4, a part of the internal electrical wiring or the like is omitted for clarity.

본 변형예의 액추에이터 유닛(100M)은, 제1 차광판(101aM), 제2 차광판(101bM), 및 구획판(101eM)의 형상이 본 실시형태의 제1 차광판(101a), 제2 차광판(101b), 및 구획판(101e)의 형상과 상이하다.The actuator unit 100M of the present variation is configured such that the shapes of the first light blocking plate 101aM, the second light blocking plate 101bM and the partition plate 101eM are different from those of the first light blocking plate 101a, the second light blocking plate 101b, And the shape of the partition plate 101e.

구체적으로는, 본 변형예의 제1 차광판(101aM)은, 구획판(101eM)을 따라 U자 형상으로 형성된 개구(101aoM)을 가지는 점에서 본 실시형태의 제1 차광판(101a)과 상이하다. 또한, 본 변형예의 제2 차광판(101bM)은, 제1 차광판(101aM)을 향하여 돌출하고, 선단부가 하향으로 절곡된 단면 역L자 형상의 설부(101be)가 마련되어 있는 점에서 본 실시형태의 제2 차광판(101b)과 상이하다. 또한, 본 변형예의 구획판(101eM)은, 만곡부(101eaM)(즉, 구획판(101eM))의 상단이 제1 차광판(101aM)의 상단 가장자리부를 따르도록 절곡되지 않는 점에서, 본 실시형태의 구획판(101e)과 상이하다.Specifically, the first light blocking plate 101aM of the present modification is different from the first light blocking plate 101a of the present embodiment in that it has an opening 101aoM formed in a U shape along the partition plate 101eM. The second light shielding plate 101bM of the present modification has a tongue 101be of an inverted L-shape in cross section which is projected toward the first light shielding plate 101aM and whose front end portion is bent downward. Therefore, And is different from the second light blocking plate 101b. Since the upper end of the curved portion 101eaM (that is, the partition plate 101eM) is not bent along the upper edge portion of the first light shielding plate 101aM, the partition plate 101eM of the present modification And is different from the partition plate 101e.

이러한 구성으로 하면, 타원 미러(40)로부터 출사된 조명광은, U자 형상의 개구(101aoM)를 통과하여 케이스(101) 내에 입사하는데, 또한, 설부(101be)의 선단부에 의해 그 일부가 차광되고, 설부(101be)의 선단부에 의해 차광되지 않은 조명광(즉, 만곡부(101eaM)의 주변을 통과한 조명광)만이 제2 차광판(101bM)을 향하는 것이 된다. 그리고, 제2 차광판(101bM)을 향하는 조명광 중, 개구(101bo)를 통과한 광만이, 케이스(101M)로부터 출사된다.With this configuration, the illumination light emitted from the elliptical mirror 40 passes through the U-shaped opening 101aoM and enters the case 101. In addition, a part of the illumination light is shielded by the tip end of the tongue 101be , The illumination light that has not been shielded by the tip end of the tongue 101be (that is, the illumination light that has passed the periphery of the curved portion 101eaM) is directed to the second light shield plate 101bM. Of the illumination light directed toward the second light blocking plate 101bM, only the light that has passed through the opening 101bo is emitted from the case 101M.

이와 같이, 케이스(101M)로부터 출사되는 조명광은, 최종적으로 개구(101bo)에서 규제되기 때문에, 만곡부(101eaM)의 내측의 공간에 조명광이 통과하는 광 투과 영역이 형성되어 있으면, 본 발명의 목적은 달성할 수 있고, 본 실시형태와 같이 제1 차광판(101aM)에 형성되는 개구(101aoM)는, 반드시 원형일 필요가 없다.As described above, since the illumination light emitted from the case 101M is finally regulated by the aperture 101bo, if the light transmission region through which the illumination light passes is formed in the space inside the curved portion 101eaM, And the aperture 101aoM formed in the first light blocking plate 101aM as in the present embodiment does not necessarily have to be circular.

또한, 이번에 개시된 실시형태는, 모든 점에서 예시로서, 제한적인 것은 아니라고 생각되어야 한다. 본 발명의 범위는, 상기한 설명이 아니고, 특허청구범위에 의해 나타내고, 특허청구범위와 균등한 의미 및 범위 내에서의 모든 변경이 포함되는 것이 의도된다.It is also to be understood that the embodiments disclosed herein are by way of illustration and not of limitation in all respects. The scope of the present invention is not limited to the above description, but is intended to include all modifications within the meaning and scope equivalent to the claims of the present invention.

Claims (15)

방전 램프와,
상기 방전 램프로부터 방사되는 광을 반사하는 타원 미러와,
상기 방전 램프와 상기 타원 미러를 수용하고, 전면 패널에 상기 광을 출사하는 출사구가 마련되는 상자형의 광체와,
상기 광의 광량을 제어하는 조리개 기구와, 상기 조리개 기구를 통과하는 상기 광의 출사와 차단을 제어하는 셔터 기구와, 상기 셔터 기구와 상기 조리개 기구를 지지하는 대략 상자형의 케이스 부재를 가지는 광량 조정 유닛,
을 구비하고,
상기 광체의 일측면 패널은, 상기 광량 조정 유닛을 삽입 가능한 부착 개구부를 가지고,
상기 케이스 부재는, 상기 광량 조정 유닛의 삽입 방향 후단에, 상기 부착 개구부를 복개(覆蓋) 가능한 덮개체를 가지고,
상기 광량 조정 유닛은, 상기 부착 개구부로부터 상기 광체 내에 삽입되고, 상기 덮개체가 상기 부착 개구부를 덮도록, 상기 광체의 일측면 패널에 부착되는
것을 특징으로 하는 광원 장치.A discharge lamp,
An elliptical mirror for reflecting the light emitted from the discharge lamp,
A box-like optical body housing the discharge lamp and the elliptical mirror and having an exit port for outputting the light to the front panel,
A light amount adjustment unit having a shutter mechanism for controlling emission and blocking of the light passing through the diaphragm mechanism, and a substantially box-shaped case member for supporting the shutter mechanism and the diaphragm mechanism,
And,
Wherein one side panel of the housing has a mounting opening through which the light quantity adjusting unit can be inserted,
Wherein the case member has a cover body capable of covering the attachment opening portion at the rear end of the light amount adjustment unit in the insertion direction,
The light amount adjusting unit is attached to the one side panel of the housing so as to be inserted into the housing from the mounting opening and cover the mounting opening
. 제1항에 있어서,
상기 케이스 부재는,
상기 광체의 일측면 패널에 부착되었을 때에, 상기 타원 미러측에 배치되고, 상기 광을 통과시키는 제1 개구부를 가지는 제1 판 형상 부재와,
상기 광체의 측면 패널에 부착되었을 때에, 상기 제1 판 형상 부재와 대향하도록 상기 제1 판 형상 부재와 상기 전면 패널 사이에 배치되고, 상기 광을 통과시키는 제2 개구부를 가지는 제2 판 형상 부재와,
상기 제1 판 형상 부재와 상기 제2 판 형상 부재 사이의 공간을, 상기 제1 개구부와 상기 제2 개구부를 연통시켜 상기 광을 통과시키는 광 투과 영역과, 상기 광을 차광하는 차광 영역으로 구획하는 구획판,
을 가지는 것을 특징으로 하는 광원 장치.The method according to claim 1,
The case member
A first plate-like member disposed on the side of the elliptic mirror and having a first opening through which the light passes when attached to one side panel of the housing,
A second plate-shaped member disposed between the first plate-shaped member and the front panel so as to face the first plate-shaped member when attached to the side panel of the housing, the second plate-shaped member having a second opening through which the light passes; ,
A space between the first plate-like member and the second plate-shaped member is divided into a light transmitting region for allowing the light to pass through the first opening and the second opening, and a light shielding region for shielding the light Partition plate,
And a light source for emitting light. 제2항에 있어서,
상기 구획판은, 상기 제1 개구부 및 상기 제2 개구부의 주위를 홈통 형상으로 포위하고,
상기 광 투과 영역은, 상기 구획판에 의해 포위된 공간 내에 형성되는 것을 특징으로 하는 광원 장치.3. The method of claim 2,
Wherein the partition plate surrounds the first opening and the second opening in a trough-
Wherein the light transmitting region is formed in a space surrounded by the partition plate. 제3항에 있어서,
상기 구획판에 의해 포위된 공간은, 상기 광의 광로와 직교하는 방향으로 개방되어 있는 것을 특징으로 하는 광원 장치.The method of claim 3,
And the space enclosed by the partition plate is opened in a direction orthogonal to the optical path of the light. 제2항 내지 제4항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 조리개 기구는, 상기 광의 광로 상에 배치되고, 상기 광의 투과량을 변경하는 조광소자와, 상기 조광소자를 구동시키는 제1 액추에이터를 구비하고,
상기 제1 액추에이터는 상기 차광 영역에 배치되고, 상기 조광소자는 상기 제2 판 형상 부재의 외측에 배치되는
것을 특징으로 하는 광원 장치.5. The method according to any one of claims 2 to 4,
The diaphragm mechanism includes a light control element disposed on an optical path of the light and changing the amount of light transmitted therethrough and a first actuator for driving the light control element,
The first actuator is disposed in the light shielding region, and the light control element is disposed outside the second plate-
. 제5항에 있어서,
상기 조광소자는, 상기 광의 광로를 가로지르도록 배치되는 원반 형상의 회전판과, 상기 회전판의 둘레방향을 따라 개구 면적이 연속하여 변화하도록 형성된 그물 형상 개구부를 구비하는 것을 특징으로 하는 광원 장치.6. The method of claim 5,
Wherein the light control element comprises a disc-shaped rotary plate disposed so as to cross the light path of the light, and a net-like opening portion formed so that an opening area continuously changes along the circumferential direction of the rotary plate. 제5항에 있어서,
상기 조광소자는, 상기 광의 광로를 가로지르도록 배치되는 원반 형상의 회전판과, 상기 회전판의 둘레방향을 따라 상기 광의 투과율이 연속하여 변화하도록 형성된 광학필터부를 구비하는 것을 특징으로 하는 광원 장치.6. The method of claim 5,
Wherein the light control element comprises a disc-shaped rotary plate disposed so as to cross the light path of the light, and an optical filter portion formed so that the transmittance of the light changes continuously along the circumferential direction of the rotary plate. 제6항 또는 제7항에 있어서,
상기 제1 액추에이터는, 상기 회전판을 회전시키는 모터인 것을 특징으로 하는 광원 장치.8. The method according to claim 6 or 7,
Wherein the first actuator is a motor for rotating the rotating plate. 제2항 내지 제8항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 셔터 기구는, 상기 광의 광로 상에 배치되고, 상기 광을 차광하는 셔터판과, 상기 셔터판을 상기 광의 광로 상에 진퇴 구동하는 제2 액추에이터를 구비하고,
상기 제2 액추에이터는 상기 차광 영역에 배치되고, 상기 셔터판은 상기 제2 판 형상 부재의 외측에 배치되는
것을 특징으로 하는 광원 장치.9. The method according to any one of claims 2 to 8,
Wherein the shutter mechanism includes a shutter plate disposed on an optical path of the light and shielding the light, and a second actuator moving the shutter plate forward and backward on the optical path of the light,
The second actuator is disposed in the light shielding region, and the shutter plate is disposed outside the second plate-
. 제5항 내지 제8항 중 어느 한 항을 인용하는 제9항에 있어서,
상기 조광소자는, 상기 제2 판 형상 부재와 상기 셔터판 사이에 배치되는 것을 특징으로 하는 광원 장치.10. The method according to claim 9, wherein the method further comprises the steps of:
And the light control element is disposed between the second plate-shaped member and the shutter plate. 제2항 내지 제10항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 광원 장치는, 상기 광체의 외부로부터 공기를 흡기하는 흡기구와, 상기 흡기구로부터 흡기한 공기를 상기 광체의 외부로 배기하는 배기구를 가지고,
상기 차광 영역은, 상기 흡기구로부터 흡기한 공기를 상기 배기구를 향하여 흘리는 유로를 형성하고 있는
것을 특징으로 하는 광원 장치.11. The method according to any one of claims 2 to 10,
Wherein the light source device has an inlet port for drawing air from the outside of the housing and an outlet for discharging air sucked from the inlet port to the outside of the housing,
Wherein the light shielding region forms a flow path for flowing the air sucked from the air inlet port toward the air outlet
. 제11항에 있어서,
상기 광량 조정 유닛은, 상기 덮개체와 상기 케이스 부재 사이에 중공부를 형성하도록, 상기 덮개체와 상기 케이스 부재를 연결하는 연결 부재를 구비하고,
상기 중공부는, 상기 차광 영역과 연통하고, 상기 광량 조정 유닛이 상기 광체의 일측면 패널에 부착되었을 때에, 상기 중공부 및 상기 차광 영역이 상기 흡기구로부터 흡기한 공기를 상기 배기구를 향하여 흘리는 유로를 형성하는 것을 특징으로 하는 광원 장치.12. The method of claim 11,
The light amount adjusting unit includes a connecting member for connecting the cover member and the case member so as to form a hollow portion between the cover member and the case member,
The hollow portion communicates with the light shielding region, and when the light amount adjusting unit is attached to one side panel of the housing, the hollow portion and the light shielding region form a flow path for flowing the air sucked from the inlet port toward the exhaust port And the light source device. 제1항 내지 제12항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 케이스 부재는, 상기 덮개체와 대향하는 측의 면에, 상기 셔터 기구 및 상기 조리개 기구에 전기적으로 접속된 제1 접속기구를 가지고,
상기 광체는, 상기 광체의 내부에 상기 제1 접속기구와 감합하는 제2 접속기구를 구비하고,
상기 제1 접속기구 또는 상기 제2 접속기구 중 적어도 어느 일방이, 상기 케이스 부재 또는 상기 광체에 대하여, 소정의 여유를 가지고 고정되는
것을 특징으로 하는 광원 장치.13. The method according to any one of claims 1 to 12,
The case member has a first connecting mechanism electrically connected to the shutter mechanism and the diaphragm mechanism on a surface of the case member opposite to the lid body,
Wherein the housing includes a second connecting mechanism for fitting the inside of the housing with the first connecting mechanism,
Wherein at least one of the first connection mechanism and the second connection mechanism is fixed to the case member or the housing body with a predetermined margin
. 제13항에 있어서,
상기 제1 접속기구 또는 상기 제2 접속기구 중 적어도 어느 일방이, 어느 타방을 안내하여 상호의 감합을 보조하는 안내 기구를 구비하는 것을 특징으로 하는 광원 장치.14. The method of claim 13,
Wherein at least one of the first connecting mechanism and the second connecting mechanism includes a guide mechanism for guiding either one of the first connecting mechanism and the second connecting mechanism to assemble each other. 제1항 내지 제14항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 광체는, 상기 광량 조정 유닛이 상기 광체 내에 삽입될 때에, 상기 케이스 부재의 삽입을 안내하는 가이드 레일을 가지는
것을 특징으로 하는 광원 장치.15. The method according to any one of claims 1 to 14,
Wherein the optical body has a guide rail for guiding insertion of the case member when the light amount adjusting unit is inserted into the optical body
.
KR1020157017455A 2012-12-29 2013-12-24 Light source device KR101617304B1 (en)

Applications Claiming Priority (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JPJP-P-2012-289235 2012-12-29
JP2012289235 2012-12-29
PCT/JP2013/084479 WO2014104014A1 (en) 2012-12-29 2013-12-24 Light source device

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20150103018A true KR20150103018A (en) 2015-09-09
KR101617304B1 KR101617304B1 (en) 2016-05-02

Family

ID=51021095

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020157017455A KR101617304B1 (en) 2012-12-29 2013-12-24 Light source device

Country Status (5)

Country Link
JP (1) JP5815894B2 (en)
KR (1) KR101617304B1 (en)
CN (1) CN104884859B (en)
TW (1) TWI539108B (en)
WO (1) WO2014104014A1 (en)

Families Citing this family (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN105221956B (en) * 2015-09-08 2018-08-21 高利通科技（深圳）有限公司 A kind of thermostabilization light source
JP6652829B2 (en) * 2015-12-17 2020-02-26 シャープ株式会社 Light emitting device and lighting device
WO2017164094A1 (en) * 2016-03-23 2017-09-28 住友精密工業株式会社 Displacement increasing mechanism and shutter device

Family Cites Families (19)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS6430639A (en) * 1987-07-25 1989-02-01 Toshiba Electric Equip Ultraviolet ray irradiation device
JP4112696B2 (en) 1998-08-07 2008-07-02 浜松ホトニクス株式会社 Spot light source device
JP2000268625A (en) * 1999-03-12 2000-09-29 Hamamatsu Photonics Kk Lamp unit, light source device and spot light source device
JP2001014941A (en) 1999-06-29 2001-01-19 Ushio Inc Light irradiation device
CN1120734C (en) * 2000-07-18 2003-09-10 李潭溪 Phototherapy unit
JP2005024735A (en) * 2003-06-30 2005-01-27 Toshiba Corp Light source device
JP4273912B2 (en) * 2003-10-07 2009-06-03 ウシオ電機株式会社 Light source device
JP2005134565A (en) * 2003-10-29 2005-05-26 Ushio Inc Light source device
CN2779226Y (en) * 2004-11-12 2006-05-10 四川汇源光通信股份有限公司 Optical fiber decorated lighting system with dynamic effect
JP2006260865A (en) * 2005-03-16 2006-09-28 Mitsubishi Electric Corp Light-source equipment and projection type image display device
JP4648102B2 (en) * 2005-06-17 2011-03-09 浜松ホトニクス株式会社 Spot light source device
JP4664129B2 (en) * 2005-06-17 2011-04-06 浜松ホトニクス株式会社 Spot light source device
JP2007290233A (en) * 2006-04-25 2007-11-08 Ushio Inc Light irradiation device and inkjet printer
CN200952672Y (en) * 2006-09-07 2007-09-26 田温志 Large power total reflection varifocal cold-light focus lamp
JP2008103143A (en) * 2006-10-18 2008-05-01 Ushio Inc Light irradiator, and inkjet printer
JP4878295B2 (en) * 2007-01-26 2012-02-15 浜松ホトニクス株式会社 Light source device
CN201141901Y (en) * 2008-01-16 2008-10-29 中国电子科技集团公司第四十五研究所 Multipath optical spectrum synchronization adjustable device
JP5035055B2 (en) * 2008-03-19 2012-09-26 ウシオ電機株式会社 Light source device
WO2011064832A1 (en) * 2009-11-24 2011-06-03 Ｎｅｃディスプレイソリューションズ株式会社 Projection display device

Also Published As

Publication number Publication date
JPWO2014104014A1 (en) 2017-01-12
WO2014104014A1 (en) 2014-07-03
TWI539108B (en) 2016-06-21
TW201441525A (en) 2014-11-01
JP5815894B2 (en) 2015-11-17
KR101617304B1 (en) 2016-05-02
CN104884859B (en) 2017-05-31
CN104884859A (en) 2015-09-02

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR101617304B1 (en) Light source device
WO2011103073A1 (en) Led light for examinations and procedures
US20140340922A1 (en) Vehicle lamp
JP4259555B2 (en) LIGHT SOURCE DEVICE AND LIGHT SOURCE DEVICE MANUFACTURING METHOD
JP5538467B2 (en) Lens unit, light irradiation unit and light irradiation device
JP4421048B2 (en) Light source device and spot light source device
JP4330748B2 (en) Light source device and spot light source device
JP4188458B2 (en) Spot light source device
JP4237907B2 (en) Light source device, spot light source device, and discharge tube for light source device
JP2006351439A (en) Spot light source device
JP4308394B2 (en) Light source device and spot light source device
JP4421047B2 (en) Lamp unit, light source device and spot light source device
JP6164446B2 (en) Light irradiation device
JP2007303924A (en) Ionization potential measuring device
JP3145280U (en) Light irradiation device
JP2000268625A (en) Lamp unit, light source device and spot light source device
JP2004006378A (en) Light source device and spot light source device
JP4237817B2 (en) Light source device, spot light source device, and discharge tube for light source device
JP2007042517A (en) Light irradiation apparatus
US20240085040A1 (en) Air cleaner
JP5428719B2 (en) Light source device
JP4965488B2 (en) UV irradiation equipment
JP4645021B2 (en) Electronic flash device and adapter for electronic flash device
JP2018048828A (en) Irradiation device
JP2006351440A (en) Spot light source device

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
A302 Request for accelerated examination
E902 Notification of reason for refusal
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant
FPAY Annual fee payment

Payment date: 20190329

Year of fee payment: 4