JP2001014941A - Light irradiation device - Google Patents
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Abstract
Description
【０００１】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は、ショートアーク型
の光源ランプから放射される光を被処理物に照射する光
照射装置に関するものであり、更には、複数のかかる光
照射装置をスペースを有効に利用して設置できる光照射
装置に関するものである。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a light irradiating device for irradiating a workpiece with light radiated from a short arc type light source lamp. The present invention relates to a light irradiation device that can be installed by using the light irradiation device.
【０００２】[0002]
【従来の技術】光照射装置から放射される光を被処理物
である接着剤、塗料、インキ、レジストなどに照射して
硬化させたり乾燥させることが行われる。また、逆に、
これらの被処理物を溶融させたり軟化させるなどのさま
ざまな処理が行われる。そして、光照射処理が光ディス
ク用のピックアップレンズの接着や、電子部品の基板へ
の接着の場合などは、微小域に光を照射する必要があ
り、この場合は、光照射装置の光出射部に導光ファイバ
ーを取り付け、光源ランプの光を導光ファイバーで導い
て微小域に照射する。2. Description of the Related Art Light, which is radiated from a light irradiation device, is irradiated onto an object to be processed, such as an adhesive, a paint, an ink, or a resist, so as to be cured or dried. Also, conversely,
Various treatments such as melting and softening these objects are performed. In the case where the light irradiation process involves bonding a pickup lens for an optical disc or bonding an electronic component to a substrate, it is necessary to irradiate light in a minute area. A light guide fiber is attached, and the light from the light source lamp is guided by the light guide fiber to irradiate a minute area.
【０００３】図１は、光源ランプの光を導光ファイバー
で導く光照射装置の光源部および空冷系統の構成図の一
例を示す。ケーシング１０内には、光源ランプ４１が配
置されている。光源ランプ４１として、キセノンランプ
や超高圧水銀ランプなどのショートアーク型の放電ラン
プが使用される。光源ランプ４１の発光部が、断面が楕
円形の集光鏡４２の第１焦点に配置され、集光鏡４２の
反射光は、平面鏡４３で反射する。平面鏡４３と導光フ
ァイバー３２の入射端面３２ａの間にシャッター４４が
配置され、シャッター４４が開くと、光源ランプ４１か
ら放射された光は導光ファイバー３２の入射端面３２ａ
に集光する。導光ファイバー３２の先端にはレンズ４５
が取り付けられており、導光ファイバー３２で導かれた
光はワークＷにスポット状に照射される。そして、冷却
ファン２３が作動すると、矢印で示す方向から、ケーシ
ング１０に設けられた給気口を介して冷却風がケーシン
グ１０内に取り込まれ、光源ランプ４１などを冷却した
後、矢印の方向に排出される。FIG. 1 shows an example of a configuration diagram of a light source unit and an air cooling system of a light irradiation device for guiding light from a light source lamp through a light guide fiber. A light source lamp 41 is disposed in the casing 10. As the light source lamp 41, a short arc discharge lamp such as a xenon lamp or an ultra-high pressure mercury lamp is used. The light-emitting part of the light source lamp 41 is arranged at the first focal point of the condenser mirror 42 having an elliptical cross section, and the reflected light of the condenser mirror 42 is reflected by the plane mirror 43. A shutter 44 is arranged between the plane mirror 43 and the incident end face 32a of the light guide fiber 32, and when the shutter 44 is opened, light emitted from the light source lamp 41 emits light from the incident end face 32a of the light guide fiber 32.
Focus on A lens 45 is provided at the tip of the light guide fiber 32.
Is attached, and the light guided by the light guide fiber 32 is applied to the work W in a spot shape. Then, when the cooling fan 23 operates, cooling air is taken into the casing 10 from the direction indicated by the arrow through the air supply port provided in the casing 10 and cools the light source lamp 41 and the like. Is discharged.
【０００４】図２は、かかる光照射装置を用いて光照射
処理する工程の説明図である。回転テーブルＲＴは例え
ば８個のステーションを有し、搬入ステーションＳ１に
おいて被処理物であるワークＷ、例えば接着剤を塗布し
たピックアップレンズが搬入される。回転テーブルＲＴ
が回転し、ワークＷが照射ステーションＳ２に停止する
と、導光ファイバー４２で導かれた光がワークＷにスポ
ット状に照射され、接着剤が硬化する。そして、光照射
処理の完了したワークＷは搬出ステーションＳ ３から搬
出され、次の工程に移送される。FIG. 2 shows light irradiation using such a light irradiation apparatus.
It is explanatory drawing of the process which processes. Rotary table RT
Has eight stations, and the loading station S1To
The work W to be processed, for example, is coated with an adhesive.
Pickup lens is carried in. Rotary table RT
Rotates, and the work W moves to the irradiation station S.2Stop at
And the light guided by the light guide fiber 42
The adhesive is irradiated in the form of a slit, and the adhesive is cured. And light irradiation
The completed work W is transferred to the unloading station S. 3From
And transferred to the next step.
【０００５】[0005]
【発明が解決しようとする課題】このような処理工程に
おいて、回転テーブルＲＴの周囲に複数個の光照射装置
を設置して光照射処理すれば、回転テーブルＲＴの１回
転当たりの処理能力がアップし、効率が良い。しかし、
そのためには、光照射装置がコンパクトであり、かつ複
数個の光処理装置を狭いスペースに設置できることが必
要である。従って、複数個のコンパクトな光照射装置の
ケーシングがお互いに接触した状態で設置できることが
望ましい。In such a process, if a plurality of light irradiation devices are installed around the turntable RT to perform light irradiation processing, the processing capacity per rotation of the turntable RT is improved. And efficient. But,
For that purpose, it is necessary that the light irradiation device is compact and a plurality of light processing devices can be installed in a small space. Therefore, it is desirable that the casings of a plurality of compact light irradiation devices can be installed in a state where they are in contact with each other.
【０００６】光照射装置の設置場所は、そのスペースや
他の機材との関係などの都合によって、回転テーブルＲ
Ｔの周囲の床上、回転テーブルＲＴの周囲に配置された
台上、回転テーブルＲＴ上方の棚など、さまざまな位置
の可能性がある。従って、光照射装置の設置姿勢もさま
ざまであり、どのような設置姿勢であっても、ケーシン
グがお互いに接触した状態で設置できることが望まし
い。[0006] The location of the light irradiation device depends on the space and the relationship with other equipment, etc.
There are various possible positions, such as on the floor around T, on a table placed around the turntable RT, on a shelf above the turntable RT. Therefore, the installation posture of the light irradiation device is also various, and it is desirable that the installation can be performed in any installation posture while the casings are in contact with each other.
【０００７】光照射装置の内部の構成は、光源部と電源
部に大別される。光源部は、光源ランプや、集光鏡など
の光学部品、および光源ランプや光学部品を固定する部
材、更には、シャッター機構などで構成される。電源部
は、光源ランプを点灯させるための電気回路基板や部品
などが設けられる部分であり、一次側電流平滑回路、イ
ンバータ回路、二次側整流平滑回路などの種々の部品や
基板によって構成される。そして、光照射装置をコンパ
クトにするためには、１つのケーシング内に、これらの
光源部と電源部をコンパクトに収納する必要がある。The internal structure of the light irradiation device is roughly divided into a light source section and a power supply section. The light source unit includes an optical component such as a light source lamp and a condenser mirror, a member for fixing the light source lamp and the optical component, and a shutter mechanism. The power supply section is a section where an electric circuit board and components for lighting the light source lamp are provided, and is configured by various components and boards such as a primary side current smoothing circuit, an inverter circuit, and a secondary side rectifying smoothing circuit. . Then, in order to make the light irradiation device compact, it is necessary to compactly house the light source unit and the power supply unit in one casing.
【０００８】ところで、光源ランプは点灯中は高温にな
るので適切に冷却しなければならない。ことに光源ラン
プの口金部は、２００℃以上になると、ランプ内部の電
極と外部の給電部をつなぐ箔シール部材が酸化し、点灯
不能になる場合がある。また、電源部も、トランスや半
導体素子などの部品が発熱するので、過熱しないように
冷却する必要がある。そして、１つのケーシング内に、
光源部と電源部をコンパクトに収納すると、これらの冷
却の重要性が大きくなる。By the way, since the light source lamp becomes hot during operation, it must be appropriately cooled. In particular, when the temperature of the base of the light source lamp is 200 ° C. or higher, the foil seal member connecting the electrode inside the lamp and the external power supply unit may be oxidized, and lighting may not be possible. Also, the power supply unit needs to be cooled so as not to overheat, since components such as the transformer and the semiconductor element generate heat. And in one casing,
If the light source unit and the power supply unit are housed compactly, the importance of their cooling will increase.
【０００９】光照射装置内部の冷却は、図１に示すよう
に、通常は空冷方式がとられる。つまり、ケーシングに
形成された給気口から空気を取り込み、冷却後に同じく
ケーシングに形成された排気口から外部に排出するが、
光源部冷却用の給気口、電源部冷却用の給気口、および
排気口がケーシングのそれぞれ異なる面に設けられてい
る。そして、ケーシングには光出射部や操作パネルなど
を設ける必要がある。従って、直方体状のケーシングの
６面の内、３面以上の面に光出射部、給気口、排気口な
どが設けられている。そして、光出射部、給気口、排気
口などが設けられたケーシングの面は、隣接する他の光
照射装置のケーシングに接触させることはできない。As shown in FIG. 1, the inside of the light irradiation device is usually cooled by air. In other words, air is taken in from the air supply port formed in the casing, and after cooling, is discharged to the outside through the exhaust port also formed in the casing.
An air supply port for cooling the light source unit, an air supply port for cooling the power supply unit, and an exhaust port are provided on different surfaces of the casing. Then, it is necessary to provide a light emitting unit, an operation panel, and the like on the casing. Therefore, out of the six surfaces of the rectangular parallelepiped casing, three or more surfaces are provided with a light emitting portion, an air supply port, an exhaust port, and the like. Then, the surface of the casing provided with the light emitting portion, the air supply port, the exhaust port, and the like cannot be brought into contact with the casing of another adjacent light irradiation device.
【００１０】このため、前述のように、設置スペースや
他の機材との関係などの都合によって、光照射装置の設
置姿勢はさまざまであるが、設置姿勢によっては、光照
射装置のケーシングがお互いに接触した状態で設置でき
ず、設置スペースが広くなってスペースの有効利用がで
きない不具合がある。For this reason, as described above, the installation posture of the light irradiation device varies depending on the installation space and the relationship with other equipment, and the like. There is a problem that the installation cannot be performed in a contact state, and the installation space is widened, and the space cannot be effectively used.
【００１１】そこで本発明は、ケーシング内に光源部と
電源部をコンパクトに収納可能であり、どのような設置
姿勢であっても、ケーシングがお互いに接触した状態で
設置でき、スペースの有効利用が可能な光照射装置を提
供することを目的とする。Therefore, according to the present invention, the light source section and the power supply section can be compactly housed in the casing, and the casing can be installed in any state of contact with the casing, and the space can be effectively used. It is an object to provide a possible light irradiation device.
【００１２】[0012]
【課題を解決するための手段】かかる目的を達成するた
めに、請求項１の発明は、直方体のケーシング内に、光
源ランプと集光鏡を備えた光源部と、光源ランプを点灯
させる電源部が配置され、光源ランプから放射される光
が被処理物に照射される光照射装置において、光源ラン
プから放射される光が出射する光出射部を設ける面と対
向する面に冷却風の給気口および排気口を設け、何も設
けられていないケーシングの他の４面がいずれもが隣接
する他の光照射装置のケーシングに接触した状態で設置
可能とする。In order to achieve the above object, a first aspect of the present invention is to provide a light source unit having a light source lamp and a condenser mirror in a rectangular parallelepiped casing, and a power source unit for lighting the light source lamp. In a light irradiation device in which light radiated from a light source lamp is radiated to an object to be processed, cooling air is supplied to a surface opposed to a surface provided with a light emitting portion from which light radiated from the light source lamp is emitted. A port and an exhaust port are provided, and the other four surfaces of the casing in which nothing is provided can be installed in a state where all of them are in contact with the casing of another adjacent light irradiation device.
【００１３】請求項２の発明は、請求項１の発明におい
て、光源部と電源部の間に仕切板を配置し、給気口から
ケーシング内に導入された冷却風が先ず光源ランプをは
じめとする光源部を冷却し、仕切板端部の通風部で折り
返した冷却風が電源部を冷却した後に、排気口から排気
されるようにする。また、請求項３の発明は、給気口お
よび排気口が設けられたケーシングの面に脚部を取り付
け、この面を床などに向けて設置可能にする。According to a second aspect of the present invention, in the first aspect of the present invention, a partition plate is disposed between the light source section and the power supply section, and the cooling air introduced into the casing from the air supply port first emits the light source lamp and the like. The light source unit to be cooled is cooled, and the cooling air turned back by the ventilation portion at the end of the partition plate cools the power supply unit and is then exhausted from the exhaust port. According to a third aspect of the present invention, a leg is attached to a surface of a casing provided with an air supply port and an exhaust port, and this surface can be installed facing a floor or the like.
【００１４】[0014]
【発明の実施の形態】以下に、図面に基づいて本発明の
実施の形態を具体的に説明する。図３は、本発明の光照
射装置の内部の斜視図を示し、図４は内部の縦断面図を
示す。なお、図３は概略斜視図であり、寸法関係などは
図４と必ずしも一致しない。図３および図４において、
直方体状、つまり６面を有するケーシング１０の内部
は、仕切板１３により２室に区画され、一方の室Ｃ１に
光源部４０が配置され、他方の室Ｃ２に電源部５０が配
置されている。ケーシング１０の前面１１には、光出射
部３１が配置され、光出射部３１に導光ファイバー３２
が取り付けられている。また、ケーシング１０の前面１
１には、ランプ点灯スイッチ３３、ランプ点灯表示灯３
４、点灯時間表示器３５などが配置されている。Embodiments of the present invention will be specifically described below with reference to the drawings. FIG. 3 shows a perspective view of the inside of the light irradiation device of the present invention, and FIG. 4 shows a longitudinal sectional view of the inside. FIG. 3 is a schematic perspective view, and the dimensional relationship and the like do not always match those of FIG. 3 and 4,
Rectangular parallelepiped, the casing 10 having the words six faces, the partition plate 13 is partitioned into two chambers, is arranged a light source unit 40 into one chamber C 1, is arranged a power supply unit 50 to the other chamber C 2 I have. On the front surface 11 of the casing 10, a light emitting unit 31 is disposed, and the light emitting unit 31 has a light guide fiber 32.
Is attached. Also, the front 1 of the casing 10
1 includes a lamp lighting switch 33 and a lamp lighting indicator 3
4. A lighting time indicator 35 and the like are arranged.
【００１５】光源部４０は、前述のとおり、光源ランプ
４１、集光鏡４２などの光学部品、および光源ランプ４
１や光学部品を固定する部材、更には、シャッター機構
などで構成される。なお、図３および図４においては、
シャッター機構の図示を省略してある。光源ランプ４１
として、例えば消費電力が１００Ｗのショートアーク型
のキセノン水銀ランプが使用される。光源ランプ４１の
発光部が、断面が楕円形の集光鏡４２の第１焦点に配置
され、導光ファイバー３２の入射端面の前段に配置され
たシャッターが開くと、集光鏡４２の反射光は、導光フ
ァイバー３２の入射端面に集光する。そして、導光ファ
イバー３２で導かれた光はワークＷにスポット状に照射
される。As described above, the light source unit 40 includes optical components such as the light source lamp 41 and the condenser mirror 42 and the light source lamp 4.
1 and a member for fixing the optical component, and further, a shutter mechanism and the like. In FIGS. 3 and 4,
Illustration of the shutter mechanism is omitted. Light source lamp 41
For example, a short arc xenon mercury lamp with a power consumption of 100 W is used. When the light-emitting portion of the light source lamp 41 is disposed at the first focal point of the converging mirror 42 having an elliptical cross section, and the shutter disposed in front of the incident end face of the light guide fiber 32 is opened, the reflected light of the converging mirror 42 becomes The light is focused on the incident end face of the light guide fiber 32. The light guided by the light guide fiber 32 is applied to the work W in a spot shape.
【００１６】電源部５０は、前述のとおり、光源ランプ
４１を点灯させるための電気回路基板や部品などが設け
られる部分であり、基板５１に一次側電流平滑回路、イ
ンバータ回路、二次側整流平滑回路などの種々の部品、
例えばトランス５２、コンデンサ５３、ＩＣ部品５４な
どが取り付けられている。また、第２仕切板１５で仕切
られた室にはスタータ５３が配置されている。第２仕切
板１５の上部には窓部２７が形成されており、スタータ
５３の発熱により昇温した温風は窓部２７から光源部４
０の方向に流れ出すようになっている。As described above, the power supply section 50 is a section on which an electric circuit board and components for lighting the light source lamp 41 are provided, and a primary side current smoothing circuit, an inverter circuit, a secondary side rectifying smoothing section are provided on the board 51. Various components such as circuits,
For example, a transformer 52, a capacitor 53, an IC component 54, and the like are attached. Further, a starter 53 is arranged in a room partitioned by the second partition plate 15. A window 27 is formed on the upper part of the second partition plate 15, and the warm air heated by the heat generated by the starter 53 flows from the window 27 to the light source 4.
It flows in the direction of 0.
【００１７】ケーシング１０の前面１１に対向する背面
１２の光源部４０側には、多数の通気孔からなる給気口
２１が設けられ、背面１２の電源部５０側には、八角形
の開口である排気口２２が設けられ、この排気口２２を
覆うように排風型（プル型）の冷却ファン２３が配置さ
れている。なお、冷却ファン２３を給気口２１に設け、
吸風型（プッシュ型）の冷却ファンとしてもよい。ま
た、排気口２２の形状は、冷却ファン２３の形状にあわ
せて、四角形、円形などにしてもよい。On the light source section 40 side of the rear face 12 facing the front face 11 of the casing 10, an air supply port 21 composed of a large number of ventilation holes is provided, and on the power supply section 50 side of the rear face 12, an octagonal opening is provided. An exhaust port 22 is provided, and an exhaust-type (pull-type) cooling fan 23 is arranged so as to cover the exhaust port 22. In addition, a cooling fan 23 is provided in the air supply port 21,
It may be an air-blowing (push-type) cooling fan. Further, the shape of the exhaust port 22 may be square, circular, or the like in accordance with the shape of the cooling fan 23.
【００１８】仕切板１３のケーシング１０前面１１側の
端部に通風部２６が形成されている。つまり、光源部４
０が配置された室Ｃ１と電源部５０が配置された室Ｃ２
は、通風部２６で連通している。また、仕切板１３には
冷却風ガイド板１４が取り付けられており、仕切板１３
と冷却風ガイド板１４の間の空間が通風路２４である。
そして、冷却風ガイド板１４には、開口がノズル状に絞
られて冷却風が勢い良く吹き出す冷却風吹出口２５が形
成されており、冷却風吹出口２５から勢い良く吹き出し
た冷却風は光源ランプ４１の口金４１ａを効率良く冷却
するようになっている。A ventilation portion 26 is formed at the end of the partition plate 13 on the front surface 11 side of the casing 10. That is, the light source unit 4
0 is arranged chamber C 1 and the chamber C 2 of the power supply unit 50 is disposed
Communicate with each other through a ventilation section 26. Further, a cooling air guide plate 14 is attached to the partition plate 13.
The space between the cooling air guide plate 14 and the cooling air guide plate 14 is a ventilation path 24.
The cooling air guide plate 14 is formed with a cooling air outlet 25 whose opening is narrowed in a nozzle shape and the cooling air blows out vigorously. The base 41a is efficiently cooled.
【００１９】ケーシング１０の背面１２には一対の脚部
６１が取り付けられており、背面１２を床面等に向けて
設置しても、給気口２１および排気口２２は床面等に密
着して塞がれることはなく、給気口２１および排気口２
２として機能するようになっている。A pair of legs 61 is attached to the rear surface 12 of the casing 10. Even if the rear surface 12 is installed facing the floor or the like, the air supply port 21 and the exhaust port 22 are in close contact with the floor or the like. Air supply port 21 and exhaust port 2
It functions as 2.
【００２０】このように、ケーシング１０の前面１１に
は光出射部３１などが配置され、背面１２には給気口２
１および排気口２２、更には脚部６１が設けられている
が、前面１１と背面１２以外の４面には何も設けられて
おらず、同一構造の他の光照射装置のケーシングの前面
１１および背面１２以外の面に密着した状態で設置でき
るようになっている。As described above, the light emitting portion 31 and the like are disposed on the front surface 11 of the casing 10, and the air supply port 2 is provided on the rear surface 12.
1 and the exhaust port 22, and furthermore, the leg 61 is provided, but nothing is provided on the four surfaces other than the front surface 11 and the rear surface 12, and the front surface 11 of the casing of another light irradiation device having the same structure is provided. And it can be installed in a state in which it is in close contact with a surface other than the back surface 12.
【００２１】かかる光照射装置は、前述のとおり、設置
スペースや他の機材との関係などの都合によって、種々
の設置姿勢で設置されるが、図５〜図７は、３個の光照
射装置を使用して照射効率を向上させる例を示す。図５
は、３個の同一構造の光照射装置を床面に配置された設
置台Ｔ１の上に、ケーシング１０の面積の大きな面を密
着した状態で３段に積み重ねた例を示す。図６は、３個
の同一構造の光照射装置を天井から吊られた棚Ｔ２の上
に、ケーシング１０の面積の小さな面を密着した状態で
横一列に並べた例を示す。図７は、３個の同一構造の光
照射装置を、ケーシング１０の背面１２を下側にして床
面上にケーシング１０の面積の小さな面を密着した状態
で横一列に並べた例を示す。このように、複数個の光照
射装置を使用して照射効率を向上させる場合に、どのよ
うな設置姿勢であっても、同一構造の他の光照射装置の
ケーシングの光出射部が設けられる面およびこの面に対
向する給気口および排気口が設けられる面以外の面に密
着した状態で設置でき、従って、設置スペースを有効に
利用することができる。As described above, such a light irradiation device is installed in various installation postures depending on the installation space and the relationship with other equipment, and the like, and FIGS. 5 to 7 show three light irradiation devices. An example in which the irradiation efficiency is improved by using the following will be described. FIG.
Fig. 3 shows an example in which three light irradiation devices having the same structure are stacked in three stages on an installation table T1 arranged on the floor surface, with the large surface area of the casing 10 closely contacted. FIG. 6 shows an example in which three light irradiation devices having the same structure are arranged in a horizontal line on a shelf T2 suspended from the ceiling with a small surface area of the casing 10 closely attached. FIG. 7 shows an example in which three light irradiation devices having the same structure are arranged in a row in a state where the back surface 12 of the casing 10 is on the lower side and a small surface area of the casing 10 is in close contact with the floor surface. As described above, when the irradiation efficiency is improved by using a plurality of light irradiation devices, the surface on which the light emitting portion of the casing of another light irradiation device having the same structure is provided regardless of the installation posture. In addition, it can be installed in a state in which it is in close contact with a surface other than the surface where the air supply port and the exhaust port facing the surface are provided.
【００２２】次に冷却風の流れを説明する。冷却ファン
２３が作動すると、ケーシング１０内部の空気が排気さ
れるので、冷却風が給気口２１から取り込まれる。そし
て、冷却風は、図３において矢印で示すように、通風路
２４を通って冷却風吹出口２５から勢い良く吹き出し、
光源ランプ４１や集光鏡４２などの光源部４０を冷却す
るが、とりわけ光源ランプ４１の口金４１ａを効率良く
冷却する。従って、光源ランプ４１の口金４１ａは、２
００℃以上に過熱されることがなく、ランプ内部の電極
と外部の給電部をつなぐ箔シール部材の酸化が防止さ
れ、点灯不能になることがない。光源部４０を冷却した
冷却風は、仕切板１３端部の通風部２６を通って折り返
し、電源部５０の各部品を冷却する。そして、冷却を終
えた冷却風は排気口２２から排出される。このように、
光源部４０および電源部５０の空冷系統が１系統であ
り、装置全体をコンパクトな構成にすることができる。
そして、光源部４０を先に冷却するので、つまり、温度
の上昇していないフレッシュな冷却風で光源部４０を冷
却するので、冷却の必要性の高い光源部４０を有効に冷
却することができる。Next, the flow of the cooling air will be described. When the cooling fan 23 operates, the air inside the casing 10 is exhausted, so that the cooling air is taken in from the air supply port 21. Then, as shown by the arrow in FIG. 3, the cooling air blows out from the cooling air outlet 25 through the ventilation passage 24 and vigorously.
The light source unit 40 such as the light source lamp 41 and the condenser mirror 42 is cooled. In particular, the base 41 a of the light source lamp 41 is efficiently cooled. Therefore, the base 41a of the light source lamp 41 is 2
It is not overheated to more than 00 ° C., the oxidation of the foil sealing member connecting the electrode inside the lamp and the external power supply unit is prevented, and the lamp is not turned off. The cooling air that has cooled the light source unit 40 turns back through the ventilation unit 26 at the end of the partition plate 13 to cool the components of the power supply unit 50. After the cooling, the cooling air is discharged from the exhaust port 22. in this way,
Since the air cooling system of the light source unit 40 and the power supply unit 50 is one system, the whole apparatus can be made compact.
Since the light source unit 40 is cooled first, that is, the light source unit 40 is cooled by fresh cooling air whose temperature has not risen, it is possible to effectively cool the light source unit 40 that needs high cooling. .
【００２３】[0023]
【発明の効果】以上説明したように、本発明の光照射装
置は、ケーシングの１面に光出射部を設け、この面と対
向する面に冷却風の給気口および排気口を設けたので、
何も設けられていないケーシングの他の４面がいずれも
が隣接する他の光照射装置のケーシングに接触した状態
で設置可能であり、複数個の光照射装置を使用して照射
効率を向上させる場合に、設置スペースを有効に利用す
ることができる。また、光源部と電源部の間に仕切板を
配置し、給気口からケーシング内に導入された冷却風が
先ず光源ランプをはじめとする光源部を冷却し、仕切板
端部の通風部で折り返した冷却風が電源部を冷却した後
に、排気口から排気されるようにするので、空冷系統が
１系統であり、装置全体をコンパクトな構成にすること
ができる。更には、給気口および排気口が設けられたケ
ーシングの面に脚部を取り付けるので、この面を床など
に向けて設置することが可能になる。As described above, in the light irradiation device of the present invention, the light emitting portion is provided on one surface of the casing, and the supply and exhaust ports for the cooling air are provided on the surface opposite to this surface. ,
The other four surfaces of the empty casing can be installed in contact with the casings of other adjacent light irradiation devices, and the irradiation efficiency can be improved by using a plurality of light irradiation devices. In this case, the installation space can be used effectively. Further, a partition plate is arranged between the light source unit and the power supply unit, and the cooling air introduced into the casing from the air supply port first cools the light source unit including the light source lamp, and the cooling air flows through the ventilation portion at the end of the partition plate. Since the folded cooling air is exhausted from the exhaust port after cooling the power supply unit, the air cooling system is one system, and the entire apparatus can be made compact. Further, since the legs are attached to the surface of the casing provided with the air inlet and the air outlet, the surface can be installed facing the floor or the like.
【図１】光照射装置の従来例の説明図である。FIG. 1 is an explanatory view of a conventional example of a light irradiation device.
【図２】光照射工程の説明図である。FIG. 2 is an explanatory view of a light irradiation step.
【図３】本発明実施例の内部の斜視図である。FIG. 3 is an internal perspective view of the embodiment of the present invention.
【図４】本発明実施例の縦断面図である。FIG. 4 is a longitudinal sectional view of an embodiment of the present invention.
【図５】複数個の光照射装置の設置姿勢例の説明図であ
る。FIG. 5 is an explanatory diagram of an example of an installation posture of a plurality of light irradiation devices.
【図６】複数個の光照射装置の設置姿勢例の説明図であ
る。FIG. 6 is an explanatory diagram of an example of an installation posture of a plurality of light irradiation devices.
【図７】複数個の光照射装置の設置姿勢例の説明図であ
る。FIG. 7 is an explanatory diagram of an example of an installation posture of a plurality of light irradiation devices.
１０ ケーシング １１ ケーシングの前面 １２ ケーシングの背面 １３ 仕切板 ２１ 給気口 ２２ 排気口 ２３ 冷却ファン ２４ 通風路 ２５ 冷却風吹出口 ２６ 通風部 ３１ 光出射部 ３２ 導光ファイバー ４０ 光源部 ４１ 光源ランプ ４１ａ 光源ランプの口金 ４２ 集光鏡 ５０ 電源部 ５１ 基板 ６１ 脚部 ＲＴ 回転テーブル Ｗ 被処理物 DESCRIPTION OF SYMBOLS 10 Casing 11 Front of casing 12 Back of casing 13 Partition plate 21 Air supply port 22 Exhaust port 23 Cooling fan 24 Ventilation path 25 Cooling air outlet 26 Ventilation part 31 Light emitting part 32 Light guide fiber 40 Light source part 41 Light source lamp 41a Light source lamp Base 42 Condensing mirror 50 Power supply unit 51 Substrate 61 Leg part RT Rotary table W Workpiece
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 ＦＩ テーマコート゛(参考） Ｈ０５Ｋ 3/00 Ｆ２１Ｍ 1/00 Ｂ // Ｂ０５Ｃ 9/10 Ｓ Ｃ０８Ｊ 3/28 Ｆ２１Ｗ 131:403 Ｆ２１Ｙ 101:00 Ｆターム(参考） 3K042 AA01 AC06 BA07 BB05 CC04 CC05 CC10 4F042 AA10 BA19 BA22 DD47 4F070 AA71 AE08 AE23 BA02 BA03 BA08 HA01 HA02 HB01 ──────────────────────────────────────────────────続 き Continued on the front page (51) Int.Cl. 7 Identification symbol FI Theme coat ゛ (Reference) H05K 3/00 F21M 1/00 B // B05C 9/10 S C08J 3/28 F21W 131: 403 F21Y 101: 00 F term (reference) 3K042 AA01 AC06 BA07 BB05 CC04 CC05 CC10 4F042 AA10 BA19 BA22 DD47 4F070 AA71 AE08 AE23 BA02 BA03 BA08 HA01 HA02 HB01
Claims (3)
集光鏡を備えた光源部と、光源ランプを点灯させる電源
部が配置され、光源ランプから放射される光が被処理物
に照射される光照射装置において、 光源ランプから放射される光が出射する光出射部が設け
られる面と対向する面に冷却風の給気口および排気口が
設けられ、ケーシングの他の４面がいずれもが隣接する
他の光照射装置のケーシングに接触した状態で設置可能
であることを特徴とする光照射装置。1. A light source unit having a light source lamp and a condenser mirror, and a power supply unit for turning on the light source lamp are arranged in a rectangular parallelepiped casing, and light radiated from the light source lamp is applied to an object to be processed. In the light irradiation device, a cooling air supply port and a discharge port are provided on a surface opposite to a surface on which a light emitting portion from which light emitted from the light source lamp is provided, and the other four surfaces of the casing are all provided. A light irradiation device that can be installed in a state of being in contact with a casing of another adjacent light irradiation device.
され、該給気口からケーシング内に導入された冷却風が
先ず光源ランプをはじめとする光源部を冷却し、該仕切
板端部の通風部で折り返した冷却風が電源部を冷却した
後に、該排気口から排気されることを特徴とする請求項
１記載の光照射装置。2. A partition plate is disposed between the light source unit and a power supply unit, and cooling air introduced into the casing from the air supply port first cools a light source unit including a light source lamp. 2. The light irradiation device according to claim 1, wherein the cooling air returned by the ventilation section at the end cools the power supply section and is exhausted from the exhaust port.
ーシングの面に脚部が取り付けられたことを特徴とする
請求項１記載の光照射装置。3. The light irradiation device according to claim 1, wherein a leg is attached to a surface of the casing provided with the air supply port and the exhaust port.
Priority Applications (1)
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| JP18293299A JP2001014941A (en) | 1999-06-29 | 1999-06-29 | Light irradiation device |
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|---|---|
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