KR20150084321A - Cylindrical X-ray tube using triode electron emitting device - Google Patents
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Abstract
Description
본 발명은 X선을 발생시키는 X-선관에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 3극 전계방출소자를 내장한 X-선관의 신규 구조에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention [0001] The present invention relates to an X-ray tube for generating X-rays, and more particularly to a novel structure of an X-ray tube incorporating a triode field emission device.
X-선관은 고진공의 공간내에 전자방출소자를 구비하고, 전자방출소자로부터 발생한 전자를 Tube내의 타겟(target)에 조사시켜 X선을 발생시키는 장치이다.An X-ray tube is an apparatus that includes an electron-emitting device in a high-vacuum space and irradiates electrons generated from the electron-emitting device to a target in a tube to generate X-rays.
전자방출소자는 X-선관내에 내장되는 핵심 소자로 일반적으로 열전자를 활용한 전자총에서 CNT와 같은 냉음극 나노 전자원을 사용하는 등 다양한 기술이 활용되고 있다. 이중에서 전계방출(Field emission)을 이용한 전계방출소자는 전자방출소자의 일종으로, 강력한 전계에 의해서 금속 표면에서 전자를 끌어내는 원리를 이용한 것이다. 전계방출 소자는 2극관을 사용하여 양극 전압에 의한 전계를 1kV/μm 이상으로 강력하게 가하면 음극에서 전자 방출이 일어나게 되는 원리를 이용한 것이며, 최근에는 방출되는 전자를 더욱 효율적으로 제어하기 위해 3극형 전계방출 소자도 활용하고 있다. 3극 전계방출 소자는 게이트 전극의 전자방출 유도에 따라 캐소드에 형성된 전자방출소자로부터 전자가 방출되면, 방출된 전자가 집속용 전극에 의해 애노드에 집속되어 애노드 상에 형성된 타겟에 전자가 충돌하여 X선, 가시광 등을 발현할 수 있도록 구성된다.The electron-emitting device is a core element embedded in the X-ray tube, and various technologies such as using a cold cathode nano electron source such as CNT in an electron gun utilizing a thermoelectric are generally utilized. Of these, the field emission device using field emission is a type of electron emission device, and it uses a principle of drawing electrons from a metal surface by a strong electric field. The field emission device is based on the principle that electron emission occurs at the cathode when a bipolar tube is used and the electric field by the anode voltage is strongly applied at 1 kV / μm or more. In recent years, in order to more efficiently control the emitted electrons, Emitting devices. When the electrons are emitted from the electron-emitting devices formed on the cathode according to the electron emission induction of the gate electrode, the emitted electrons are focused on the anode by the focusing electrode and electrons collide with the target formed on the anode, Lines, visible light, and the like.
일반적으로 전계방출소자를 내재한 X-선관에 있어서, 전자방출소자로부터 방출된 전자는 X-선관내에 조사되는 타겟외에도 다른 영역에 조사되어 문제를 야기시킨다. 따라서 전계방출소자의 전극들 간에는 각 전극의 절연 상태를 유지시키기 위하여 절연체로 절연을 시키는데 이러한 전열체에 방출된 전자가 충돌하여 대전할 경우, 전극간 내전압 특성을 저하시킴은 물론 아킹현상으로 전계방출소자를 파괴시키고 나아가서는 X-선관의 구동불능을 유발할 수도 있다. Generally, in an X-ray tube containing a field emission device, electrons emitted from the electron emission device are irradiated to other areas besides the target irradiated in the X-ray tube, causing problems. Therefore, insulators are insulated between the electrodes of the field emission device to maintain the insulation state of each electrode. When electrons emitted from the electrons collide with each other due to collision of electrons emitted from the electrons, the breakdown voltage characteristics between the electrodes are degraded. The device may be destroyed and further, the X-ray tube may be unable to operate.
본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위해, 3극 전계방출소자를 내장한 X-선관으로, 내전압 특성 향상은 물론 제품의 수명을 기존제품보다 장시간 유지가 가능한 소형에 적합한 원통형 3극 전계방출소자 X-선관을 제공한다.In order to solve the above problems, the present invention provides an X-ray tube having a built-in three-pole field emission device, which can improve the withstand voltage characteristic and can maintain the life of the product longer than conventional products. X-ray tube is provided.
상술한 목적을 달성하기 위해 본 발명의 일실시예에 따른 원통형 3극 전계방출 X-선관은 전자를 방출하는 전자원이 형성된 캐소드 전극, 상기 캐소드 전극과 대향하여 배치된 아노드 전극, 상기 방출된 전자가 조사되어 X-선을 발생하도록 상기 아노드 전극 중심영역에 도포된 금속물질, 상기 캐소드전극 및 애노드전극의 교차점에 대응하는 캐소드전극 상에 전자방출소자로서 형성된 나노 전자원, 상기 나노 전자원으로부터 방출되는 전자를 제어하기 위하여 상기 캐소드전극과 애노드전극 사이에 일정한 간격을 두고 배치된 Gate전극 및 상부는 상기 캐소드 전극이, 하부는 아노드 전극이 각각 접합된 원통형 절연 케이스로 이루어진 원통형 3극 전계방출 X-선관에 있어서, 상기 나노 전자원 및 Gate전극의 측부를 완전히 감싸면서 상부로 돌출된 원통형의 전극체를 구비한 원통형 3극 전계방출 X-선관을 제공한다.According to an aspect of the present invention, there is provided a cylindrical triode field emission X-ray tube including a cathode electrode having an electron source for emitting electrons, an anode electrode disposed to face the cathode electrode, A nano electron source formed as an electron-emitting device on a cathode electrode corresponding to an intersection of the cathode electrode and the anode electrode, a nano electron source formed as a nano electron source, A gate electrode disposed at a predetermined interval between the cathode electrode and the anode electrode to control electrons emitted from the cathode electrode, and a cylindrical three-electrode electric field A discharge X-ray tube, comprising: a nano electron source; and a cylindrical A cylindrical three-pole field emission X-ray tube having an electrode body is provided.
상기 Gate전극과 애노드전극사이에 Focusing 전극을 더 포함한다. And further includes a focusing electrode between the gate electrode and the anode electrode.
상기 원통형 절연 케이스는 2단으로 이루어진다. The cylindrical insulating case has two stages.
본 발명의 일실시예에 따른 3극 전계방출 X-선관은 상기 2단으로 이루어진 절연 케이스 각각을 전극체를 매개로 접합되도록 한다.In the triode field emission X-ray tube according to an embodiment of the present invention, the two-stage insulating case is bonded to each other through an electrode body.
상기 캐소드 전극은 원형의 전극 플레이트와 상기 전극 플레이트의 중심부에 원통형 전극체로 이루어지며, 상기 원형의 전극 플레이트는 2개의 전극 플레이트를 적층시켜 구성된다.The cathode electrode comprises a circular electrode plate and a cylindrical electrode body at the center of the electrode plate, and the circular electrode plate is formed by laminating two electrode plates.
상기 원통형 전극체의 외주면에 게터부를 더 포함할 수 있다.The cylindrical electrode assembly may further include a getter portion on an outer circumferential surface thereof.
본 발명은 전자방출소자에서 생성된 전자가 절연체에 대전되지 않아 절연체 대전에 의한 문제를 방지하고, X-선 방출을 위한 금속물질층에 보다 많은 전자를 공급할 수 있어, 3극 전계방출소자를 내장한 X-선관의 내전압 특성 향상은 물론 제품의 수명을 기존제품보다 장시간 유지가 가능한 소형에 적합한 3극 전계방출소자 X-선관을 제공한다. 본 발명은 제조상 매우 용이하게 조립될 수 있으며 또한 손쉽게 교체가 가능한 효과가 있다. The present invention prevents electrons generated in an electron-emitting device from being charged on an insulator, thereby preventing a problem caused by insulator charging, and can supply more electrons to a metal material layer for X-ray emission, A three-pole field emission device X-ray tube is provided which is suitable for small size that can improve the withstand voltage characteristic of an X-ray tube and maintain the life of the product longer than conventional products. The present invention is very easy to assemble in manufacture and has the effect of being easily replaceable.
도 1은 본 발명의 일실시예에 따른 원통형 3극 전계방출 X-선관을 개략적으로 나타낸 도면.
도 2는 본 발명의 일실시예에 따른 캐소드 전극체에 대한 도면.
도 3은 본 발명의 일실시예에 따른 원통형 3극 전계방출 X-선관의 결합구조 및 세부 구성도를 나타낸 도면.
도 4는 본 발명의 일실시예에 따른 원통형 3극 전계방출 X-선관의 결합구조 및 세부 구성도.BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS FIG. 1 is a schematic view of a cylindrical triode field emission X-ray tube according to an embodiment of the present invention; FIG.
2 is a view of a cathode electrode body according to an embodiment of the present invention.
3 is a view showing a coupling structure and a detailed configuration of a cylindrical triode field emission X-ray tube according to an embodiment of the present invention.
FIG. 4 is a view showing a coupling structure and a detailed structure of a cylindrical three-pole field emission X-ray tube according to an embodiment of the present invention. FIG.
이하, 본 발명의 실시 예를 도면을 참조하여 구체적으로 설명하면 다음과 같다. 이하의 상세한 설명은 본 발명의 적합한 실시예를 나타내기 위한 것 일뿐 본 발명의 사상 및 범위에 있어서의 여러 가지 변형 및 개량을 포함하는 것으로 이해되어야 한다.Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the drawings. The following detailed description is intended to illustrate the preferred embodiments of the present invention and should be understood to include various modifications and improvements within the spirit and scope of the present invention.
제1, 제2 등의 용어는 다양한 구성 요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 상기 구성 요소들은 상기 용어들에 의해 한정될 수 없다. 상기 용어들은 하나의 구성 요소를 다른 구성 요소로부터 구별하는 목적으로만 사용된다. 예를 들어, 본 발명의 권리범위를 벗어나지 않으면서 제1 구성 요소는 제2 구성요소로 명명될 수 있고, 유사하게 제2 구성 요소도 제1 구성 요소로 명명될 수 있다.The terms first, second, etc. may be used to describe various elements, but the elements may not be limited by the terms. The terms are used only for the purpose of distinguishing one component from another. For example, without departing from the scope of the present invention, the first component may be referred to as a second component, and similarly, the second component may also be referred to as a first component.
본 출원에서 사용한 용어는 단지 특정한 실시예들을 설명하기 위하여 사용된 것으로, 본 발명을 한정하려는 의도가 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 정의되지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 본 출원에서, "포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 명세서에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성 요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성 요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.The terminology used herein is for the purpose of describing particular embodiments only and is not intended to be limiting of the invention. The singular forms "a", "an", and "the" include plural referents unless the context clearly dictates otherwise. In the present application, the terms "comprising" or "having ", and the like, are intended to specify the presence of stated features, integers, steps, operations, elements, parts, or combinations thereof, But do not preclude the presence or addition of one or more other features, integers, steps, operations, elements, parts, or combinations thereof.
이하, 첨부한 도면들을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예들을 보다 상세하게 설명한다.Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described in more detail with reference to the accompanying drawings.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 원통형 3극 전계방출 X-선관을 도시한 것이다.1 illustrates a cylindrical triode field emission X-ray tube according to an embodiment of the present invention.
도 1을 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 원통형 3극 전계방출 X선관은 전자를 방출하는 전자방출소자로 3극 전계방출소자를 적용한 구조이다. 먼저 캐소드 전극체(10)를 구비한다. 캐소드 전극체(10)에 대해서는 도2에서 상세히 후술토록 한다. 캐소드 전극체(10)는 전극체 구조물들로 이루어지며, 그 형상은 원형의 전극 플레이트 및 상기 전극 플레이트의 중심부에서 상부로 돌출된 원통형의 전극체로 이루어진다. 상기 원통형 전극체 상부에는 에미터(미도시)가 위치하도록 한다. 상기 에미터는 본 발명의 실시예에서는 CNT 에미터를 적용하였다.Referring to FIG. 1, a cylindrical triode field emission X-ray tube according to an embodiment of the present invention is a structure using a triode field emission device as an electron emission device that emits electrons. First, the
한편 Gate전극체(40)는 3개의 전극체로 이루어졌으며, 제1 전극체(41)는 케이스와 접합될 수 있는 지지체 역할을 수행하는 전극체로 하부에 구비되며, 제 2 전극체(42)는 상기 제 1 전극체(41) 상단에 위치하여 상기 에미터(20)에서 방출되는 전자를 상부로만 방출될 수 있도록 상부가 오픈되고 측부는 상기 에미터(20)를 감싸도록 한 전극체이며, 제 3 전극체(43)는 Gate 역할을 수행하기 위한 전극체로 상기 제 2 전극체(42) 상부에 위치토록 한다. 한편 방출되는 전자를 집극하는 제 4 전극체를 더 구비할 수 있으며 본 발명의 일실시예에서는 제 4 전극체(44)를 구비한 도면을 도시하였으며 이를 Focusing 전극체로 지칭한다.The
케이스(30,50)는 원통형 형상의 절연체로 상하 2단으로 분리된 구조로, 케이스 상부(50)는 캐소드 전극체(10) 일부와 Gate전극체(40)의 측부를 완전히 감싸도록 한 구조이며 케이스 하부(30)는 캐소드 전극체(10) 일부를 감싸도록 한 구조이다. 케이스(30,50)는 일반적으로 유리 또는 ceramic재질로 형성한다. 아노드전극(60)은 케이스 상부(50)와 접합되며, 아노드전극(60) 중심에는 에미터(미도시)에서 방출된 전자가 집중적으로 충돌하여 X선을 발생하는 금속물질(미도시)을 구비하여 고진공으로 밀폐시켜 외부로 X-ray를 조사하도록 구현한 것이다.The
상기와 같이 구성한 원통형 3극 전계방출 X-선관은 상기 Gate전극체(40)의 제 2전극체(42)가 전자를 방출하는 에미터(20)를 충분히 감싸기 때문에 에미터(20)로부터 방출된 전자는 오픈된 상측을 제외하고는 절연체와 가급적 충돌하지 않도록 구현한 구조이다. The cylindrical triode field emission X-ray tube constructed as above sufficiently covers the
도 2는 본 발명의 일실시예에 따른 캐소드 전극체(10)에 대한 도면이다. 2 is a view of a
도 2를 참조하면, 캐소드 전극체(10)는 하부에 원형의 전극 플레이트(11)를 구비하고 전극 플레이트(11)의 중심부에 원통형 전극체(12)를 위치하여 결합시키고 원통형 전극체(12) 상부에는 에미터 전극(미도시)이 접합되도록 한다. 캐소드 전극체(10)의 전극 플레이트(11)는 한 개의 전극플레이트로 구성할 수 있고 2개의 전극 플레이트(11-1,11-2)를 적층하여 구성할 수도 있다. 본 발명의 일실시예에서는 후공정상에서 접합되는 케이스와의 조립을 용이하게 하도록 각 구성품의 정렬을 위하여 2개의 전극 플레이트(11-1,11-2)로 구성하는 것이 바람직하다.2, the
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 3극 전계방출 X-선관의 결합되기 이전의 구성도를 정렬시켜 도시한 것이다. 도 3을 참조하여 본 발명의 일실시예에 따른 원통형 3극 전계방출소자 X선관을 설명하면, 캐소드 전극체(10), 에미터(20), 하부 케이스(30), Gate전극체(40) 및 상부 케이스(50), 애노드전극(60) 및 금속물질(70)을 구비한다. 하부 케이스(30)는 캐소드 전극체(10)의 전극플레이트(미도시)와 Gate전극체(40)의 제1 전극체(42)에 각각 상하로 접합되며, 상부 케이스(50)는 Gate전극체(40)의 제1 전극체(41)와 애노드전극(60)에 각각 상하로 접합하도록 구성한다. 제 4 전극체(44)는 제 3 전극체(43) 상부에 위치하며, 에미터(20)에서 발생된 전자의 확산을 방지하고 전자가 금속물질(70)에 집속될 수 있는 기능을 수행한다. 한편 제 4 전극체(44)는 제 3 전극체(43)와 같은 내/외경을 갖도록 형성되며, 다른 내/외경을 갖도록 형성하여도 문제가 되지는 않는다.FIG. 3 is a view showing an arrangement of a triode field emission X-ray tube before being coupled, according to an embodiment of the present invention. 3, the cylindrical
한편, 제2 전극체(42)의 외주면 일측에 게터부(80)가 추가로 구비될 수 있으며, 게터부(80)를 통해 내부에 남아있는 기체와 반응하여 내부 진공도를 높일 수 있다. 예를들어 게터부(80)에 열을 가하거나, 레이저, 고주파를 인가하는 방법으로 게터부(80)에 에너지를 가하여 게터를 활성화시킬 수 있다. 또한, 게터를 활성화하여 용기 내부에 남아있는 잔류가스를 흡착시켜 내부의 진공도를 유지시킬 수 있다.Meanwhile, a getter unit 80 may be further provided on one side of the outer circumferential surface of the
상기와 같이 구성된 본 발명의 일실시예에 따른 X선관은 소형에 적합하고, 제조상 매우 용이하게 조립될 수 있으며 또한 손쉽게 교체가 가능한 잇점을 갖추고 있다.The X-ray tube according to an embodiment of the present invention configured as described above is suitable for a small size, has an advantage that it can be assembled very easily in manufacture and can be easily replaced.
앞서 설명한 본 발명의 상세한 설명에서는 본 발명의 바람직한 실시 예들만을 설명하였지만, 해당 기술분야의 숙련된 당업자 또는 해당 기술분야에 통상의 지식을 갖는 자라면 후술될 특허청구범위에 기재된 본 발명의 사상 및 기술 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있을 것이다. 따라서, 전술한 설명 및 아래의 도면은 본 발명의 기술사상을 한정하는 것이 아닌 본 발명을 예시하는 것으로 해석되어야 한다.While the preferred embodiments of the present invention have been disclosed for illustrative purposes, those skilled in the art will appreciate that various modifications, additions and substitutions are possible, without departing from the scope and spirit of the invention as disclosed in the accompanying claims. It will be understood by those skilled in the art that various changes in form and details may be made therein without departing from the spirit and scope of the invention as defined by the appended claims. Accordingly, the foregoing description and drawings are to be regarded as illustrative rather than limiting of the present invention.
10: 캐소드 전극체 20: 에미터
30: 케이스 하부 40: Gate 전극체
41: 제1 전극체 42: 제2 전극체
43: 제3 전극체 44: 제4 전극체
50: 케이스 상부 60: 애노드전극
70: 금속물질 80: 게터부10: cathode electrode body 20: emitter
30: Case bottom 40: Gate electrode body
41: first electrode body 42: second electrode body
43: third electrode body 44: fourth electrode body
50: case upper part 60: anode electrode
70: metal material 80: getter portion
Claims (7)
상기 Gate전극과 애노드전극사이에 Focusing 전극을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 원통형 3극 전계방출 X-선관.The method according to claim 1,
And a focusing electrode between the gate electrode and the anode electrode.
상기 원통형 절연 케이스는 2단으로 이루어진 것을 특징으로 하는 원통형 3극 전계방출 X-선관.The method according to claim 1,
Wherein the cylindrical insulating case comprises two stages.
상기 2단으로 이루어진 절연 케이스 각각은 전극체를 매개로 접합되는 것을 특징으로 하는 원통형 3극 전계방출 X-선관.The method of claim 3,
Wherein each of the two-stage insulating cases is joined via an electrode body.
상기 캐소드 전극은 원형의 전극 플레이트와 상기 전극 플레이트의 중심부에 원통형 전극체로 이루어진 것을 특징으로 하는 원통형 3극 전계방출 X-선관.The method according to claim 1,
Wherein the cathode electrode comprises a circular electrode plate and a cylindrical electrode body at the center of the electrode plate.
상기 원형의 전극 플레이트는 2개의 전극 플레이트를 적층시켜 구성된 것을 특징으로 하는 원통형 3극 전계방출 X-선관.6. The method of claim 5,
Wherein the circular electrode plate is formed by laminating two electrode plates.
상기 원통형의 전극체의 외주면에 게터부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 원통형 3극 전계방출 X-선관.The method according to claim 1,
Further comprising a getter portion on an outer peripheral surface of the cylindrical electrode body.
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